特開 2023-127145 測定器の演算装置および探針並びに測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023127145

(43)【公開日】2023-09-13

(54)【発明の名称】測定器の演算装置および探針並びに測定方法

(51)【国際特許分類】

   G08C 17/00 20060101AFI20230906BHJP

   G08C 25/00 20060101ALI20230906BHJP

   G06K 19/07 20060101ALI20230906BHJP

【ＦＩ】

G08C17/00 Z

G08C25/00 H

G06K19/07 230

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022030747

(22)【出願日】2022-03-01

(71)【出願人】

【識別番号】000117814

【氏名又は名称】安立計器株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001368

【氏名又は名称】清流国際弁理士法人

(74)【代理人】

【識別番号】100129252

【弁理士】

【氏名又は名称】昼間 孝良

(74)【代理人】

【識別番号】100155033

【弁理士】

【氏名又は名称】境澤 正夫

(72)【発明者】

【氏名】高橋 克美

(72)【発明者】

【氏名】高橋 裕亮

(72)【発明者】

【氏名】原 悠季

【テーマコード（参考）】

2F073

【Ｆターム（参考）】

2F073AA02

2F073AA23

2F073AA40

2F073AB01

2F073AB04

2F073BB01

2F073BB04

2F073BC01

2F073BC02

2F073CC01

2F073CC03

2F073CC12

2F073CC14

2F073CD01

2F073CD11

2F073DD01

2F073DE02

2F073EE01

2F073EE03

2F073EF05

2F073FF03

2F073FF13

2F073FG01

2F073FG02

2F073FG04

2F073GG01

2F073GG05

2F073GG08

2F073GG09

(57)【要約】

【課題】ＲＦタグに保存された固有のデータの取得の成否に関わらずに測定可能な測定器の演算装置および探針並びに測定方法を提供する。
【解決手段】測定器１の演算装置１０において、演算処理部１２は、探針２０から送信されたアナログ信号Ａｄを変換して得られるデジタルデータＭｔを補正データ３０に基づいて補正することにより、出力値Ｄｔが出力される測定処理を実行し、補助記憶部１４には、既定データ３２が予め保存されていて、リーダ３３は、ＲＦタグ３４との通信により、ＲＦタグ３４に保存されている固有のデータ３１を取得するデータ取得処理を実行し、実行された測定処理では、固有のデータ３１が取得された場合に、補正データ３０としてその固有のデータ３１を用いて、固有のデータ３１が取得されない場合に、補正データ３０として既定データ３２を用いる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

演算処理部と記憶部と雌コネクタとリーダとを備えていて、前記雌コネクタに探針の雄コネクタが着脱自在に差し込まれて、前記演算処理部と前記探針とが電気的に接続される測定器の演算装置において、
前記演算処理部は、前記探針から送信されたアナログ信号を変換して得られるデジタルデータを前記記憶部の所定のメモリアドレスに保存されたデータに基づいて補正することにより、測定対象の物理量を示す出力値を算出する測定処理を実行し、
前記記憶部には、前記探針の機械誤差が非把握な既定データが予め保存されていて、
前記リーダは、前記測定処理が実行されるよりも前に、前記演算処理部に接続された前記探針が有するＲＦタグとの通信により、そのＲＦタグに保存されていて前記探針の機械誤差が予め把握されている固有のデータが取得されるデータ取得処理を実行し、
実行された前記測定処理では、前記データ取得処理で前記固有のデータが取得された場合に、前記データとしてその固有のデータが用いられて、その固有のデータが取得されない場合に、前記データとして前記既定データが用いられることを特徴とする測定器の演算装置。

【請求項2】

前記演算処理部は、前記リーダが前記データ取得処理を実行するよりも前に、前記既定データを前記所定のメモリアドレスに保存するデータ処理を実行し、前記リーダが前記データ取得処理を実行して前記固有のデータを取得した場合にその固有のデータを前記所定のメモリアドレスに上書きして保存するデータ処理を実行する請求項１に記載の測定器の演算装置。

【請求項3】

前記演算処理部は、前記既定データを前記所定のメモリアドレスに保存した後に前記リーダに前記データ取得処理を実行させる指示を出す請求項２に記載の測定器の演算装置。

【請求項4】

前記演算処理部は、前記測定処理での前記データとして前記既定データもしくは前記固有のデータのどちらを用いたのかを区別可能にするデータ処理を実行する請求項１～３のいずれか１項に記載の測定器の演算装置。

【請求項5】

前記雌コネクタは、前記演算処理部から導出された各々の電線に接続された複数のコンタクトが収納されたレセプタクルであり、前記リーダは、前記雌コネクタに前記探針の前記雄コネクタが差し込まれた状態で前記ＲＦタグに内蔵されたタグ用アンテナに対向するリーダ用アンテナを有し、通信方式が電磁誘導方式である請求項１～４のいずれか１項に記載の測定器の演算装置。

【請求項6】

請求項１～５のいずれかの１項に記載の測定器の演算装置に電気的に接続される探針であって、前記固有のデータが保存された前記ＲＦタグを有することを特徴とする測定器の探針。

【請求項7】

前記固有のデータは、当該探針を前記演算装置に接続した状態で行われた校正結果に基づいている請求項６に記載の測定器の探針。

【請求項8】

前記探針の前記雄コネクタは、前記探針の素子から導出された各々の電線に接続された複数のコンタクトが収納されたプラグであり、前記ＲＦタグは、前記プラグの前記雌コネクタに挿入される部位の外面に設置される請求項６または７に記載の測定器の探針。

【請求項9】

探針の雄コネクタを演算装置の雌コネクタに着脱自在に差し込んで、前記演算装置の演算処理部と前記探針とを電気的に接続する測定器の測定方法において、
前記演算装置のリーダにより、前記演算処理部に接続された前記探針が有するＲＦタグと通信して、そのＲＦタグに保存されていて前記探針の機械誤差が予め把握されている固有のデータを取得するデータ取得工程を行った後に、前記演算処理部により、前記探針から送信されたアナログ信号を変換して得られるデジタルデータを前記記憶部の所定のメモリアドレスに保存されたデータに基づいて補正することにより、測定対象の物理量を示す出力値を出力する測定工程を行い、
前記測定工程では、前記データ取得工程で前記固有のデータを取得した場合に、前記データとしてその固有のデータを用いて、その固有のデータを取得できない場合に、前記データとして前記記憶部に予め保存されていて前記探針の機械誤差が非把握な既定データを用いることを特徴とする測定器の測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定器の演算装置および探針並びに測定方法に関し、より詳細には、探針の雄コネクタが演算装置の雌コネクタに差し込まれた探針を用いて測定対象の物理量の測定を行う測定器の演算装置および探針並びに測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

探針と演算装置とが別体の測定器（センサ）を用いた測定により得られた測定対象の物理量を示す出力値には、系統誤差として探針ごとの個体差を起因とする機械誤差が含まれている。この機械誤差は、探針に備えられている測定素子の製造ロットの相違や探針の製造精度、さらには、探針を用いた測定による測定対象物の物理量の変化などに影響されるものであり、探針ごとに異なっている。この機械誤差を解消する方法として、例えば、探針と記憶媒体とをセットにし、その記憶媒体にその探針の機械誤差を解消する固有のデータを保存して、演算装置にその固有のデータを取得させて、その固有のデータを用いて補正する方法がある。この方法を用いることで、探針ごとに異なる機械誤差を解消することが可能になる。

【0003】

記憶媒体としては、測定器に関する発明ではないが、電子装置の電線ケーブルに備えられたＲＦ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）タグ（電子タグ、無線タグ、ＩＣタグ、ＲＦＩＤタグ）が種々提案されている（特許文献１参照）。測定器の探針が特許文献１で提案されているＲＦタグを備え、測定器の演算装置がそのＲＦタグに保存した固有のデータを取得するリーダを備えることで、非常に簡便に探針ごとに異なる機械誤差の解消が可能になる。

【0004】

しかしながら、ＲＦタグとリーダとを用いたＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｄｅｎｔｉｆｉｅｒ）システムが組み込まれた管理システムでは、管理の対象となる対象物（例えば、特許文献１の電線ケーブル）の全てがＲＦタグを備えていることが前提となっている。それ故、ＲＦタグを備えていない対象物やＲＦタグを備えていてもリーダがそのＲＦタグからデータを取得できない対象物は管理の対象外となっている。つまり、ＲＦＩＤシステムが組み込まれた測定器では、探針がＲＦタグを備えていない場合や探針がＲＦタグを備えていてもリーダがそのＲＦタグから固有のデータを取得できない場合に、固有のデータを用いる補正を行うことができない。その結果、出力値を出力することができずに、測定できない事態に陥る。このように、測定器に既存のＲＦＩＤシステムを組み込んだとしても、固有のデータの取得の成否に関わらずに測定するには、改善の余地がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－１７１４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明の目的は、ＲＦタグに保存された固有のデータの取得の成否に関わらずに測定可能な測定器の演算装置および探針並びに測定方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の目的を達成する本発明の測定器の演算装置は、演算処理部と記憶部と雌コネクタとリーダとを備えていて、前記雌コネクタに探針の雄コネクタが着脱自在に差し込まれて、前記演算処理部と前記探針とが電気的に接続される測定器の演算装置において、前記演算処理部は、前記探針から送信されたアナログ信号を変換して得られるデジタルデータが補正データにより補正されて、測定対象の物理量を示す出力値が出力される測定処理を実行し、前記記憶部には、既定データが予め保存されていて、前記リーダは、前記測定処理が実行されるよりも前に、前記演算処理部に接続された前記探針が有するＲＦタグとの通信により、そのＲＦタグに保存されている固有のデータが取得されるデータ取得処理を実行し、実行された前記測定処理では、前記データ取得処理で前記固有のデータが取得された場合に、その固有のデータが前記補正データとして用いられて前記探針の機械誤差が解消された前記出力値が出力され、その固有のデータが取得されない場合に、前記既定データが前記補正データとして用いられて前記探針の機械誤差を含む前記出力値が出力されることを特徴とする。

【0008】

本発明の測定器の探針は、上記の測定器の演算装置に電気的に接続される探針であって、前記固有のデータが保存された前記ＲＦタグを有することを特徴とする。

【0009】

本発明の測定器の測定方法は、探針の雄コネクタを演算装置の雌コネクタに着脱自在に差し込んで、前記演算装置の演算処理部と前記探針とを電気的に接続する測定器の測定方法において、前記演算装置のリーダにより、前記演算処理部に接続された前記探針が有するＲＦタグと通信して、そのＲＦタグに保存されている固有のデータを取得するデータ取得工程を行った後に、前記演算処理部により、前記探針から送信されたアナログ信号を変換して得られるデジタルデータを補正データにより補正して、測定対象の物理量を示す出力値を出力する測定工程を行い、前記測定工程では、前記データ取得工程で前記固有のデータを取得した場合に、その固有のデータを前記補正データとして用いて前記探針の機械誤差を解消した前記出力値を出力し、その固有のデータを取得できない場合に、前記既定データを前記補正データとして用いて前記探針の機械誤差を含む前記出力値を出力することを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、ＲＦタグに保存された固有のデータの取得の成否により、測定処理で用いるデータを入れ替えることで、ＲＦタグに保存された固有のデータが取得できない場合でも出力値が出力されるまでのデータ処理を途中で中断することなくその実行を完了できる。これにより、本発明は、ＲＦタグを備えていない探針を使用した測定を可能にする構成でありながら、ＲＦタグを備えた探針を使用した測定ではＲＦＩＤシステムを利用することで、非常に簡便に探針ごとに異なる機械誤差を解消した高精度な測定を実現することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】測定器の演算装置および探針の実施形態を例示する構成図である。

【図2】図１の演算装置の雌コネクタおよび探針の雄コネクタを例示する斜視図である。

【図3】図１の演算装置の雌コネクタに探針の雄コネクタを差し込んだ状態を例示する構成図である。

【図4】測定工程で用いる補正データを例示する説明図である。

【図5】固有のデータおよび既定データのそれぞれの基準値および校正値の関係を例示するグラフ図である。

【図6】測定器の測定方法の実施形態の工程を例示するフロー図である。

【図7】図６の測定工程を例示するフロー図である。

【図8】実施例の測定結果の誤差を例示するグラフ図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、測定器の演算装置および探針並びに測定方法を、図に示す実施形態に基づいて説明する。

【0013】

図１に例示する測定器（センサ）１は、互いに別体の演算装置１０と探針（プローブ）２０とを備え、科学的原理を利用して測定対象の物理量を数値化する公知の種々のデジタルセンサを用いることができる。測定器１が数値化可能な物理量としては、機械的性質、電磁気的性質、熱的性質、音響的性質、化学的性質、空間情報、および、時間情報などが例示される。例えば、測定器１は、科学的原理としてゼーベック効果を用いて物理量として温度を数値化する熱電対温度センサである。

【0014】

演算装置１０の実施形態は、筐体１１、演算処理部１２、主記憶部１３、補助記憶部１４、ディスプレイ１５、外部バスコネクタ１６、雌コネクタ１７、電源スイッチ１８、および、リーダ３３を備えている。演算装置１０は、探針２０で検出されたアナログ信号Ａｄを変換して得られるデジタルデータＭｔを主記憶部１３の所定のメモリアドレスに保存されたデータ３０（以下、補正データ）により補正して、測定対象の物理量を示す出力値Ｄｔを出力する。なお、主記憶部１３および補助記憶部１４のそれぞれが記憶部に相当する。演算装置１０は、ポータブル電源（例えば、乾電池）から供給された電力により作動する携帯型であるが、商用電源から供給された電力により作動する設置型でもよい。演算装置１０としては、公知の種々のコンピュータを用いることもできる。

【0015】

筐体１１は、内部に演算処理部１２、主記憶部１３、補助記憶部１４、および、リーダ３３が収納されていて、外装に出力部や入力部としてディスプレイ１５、外部バスコネクタ１６、雌コネクタ１７、および、電源スイッチ１８が設置されている。筐体１１を構成する材料は特に限定されるものではないが、少なくともリーダ３３の設置箇所の周辺だけは磁力や電波に対して干渉が生じ難い材料で構成されることが望ましい。そのような材料としては、合成樹脂などが例示される。

【0016】

演算処理部１２は、出力値Ｄｔを出力するまでの各データ処理を実行可能な構成であればよく、公知の種々のプロセッサを用いることができる。演算処理部１２は、プロセッサに加えて、マルチプレクサや補償器などの公知の電子回路が含まれてもよい。熱電対温度センサにおいて、演算処理部１２は、補償器として雌コネクタ１７を基準接点とする基準接点補償器を含む。

【0017】

主記憶部１３は、公知の種々のＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）を用いることができる。主記憶部１３には、演算処理部１２が実行する一連のデータ処理で用いる補正データ３０の領域として所定のアドレスが指定されている。補助記憶部１４は、公知の種々のＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）を用いることができる。補助記憶部１４は、筐体１１の内部に収納されるものに限定されずに、フラッシュメモリなどの外部記憶装置を用いてもよい。補助記憶部１４には、既定データ３２が予め保存されている。ディスプレイ１５は、公知の種々の映像表示装置を用いることができる。外部バスコネクタ１６は、公知の種々のシリアルバスあるいはパラレルバスのコネクタを用いることができる。

【0018】

雌コネクタ１７は、探針２０の雄コネクタ２４が着脱自在に差し込まれるコネクタであり、公知の雌レセプタクルを用いることができる。雌コネクタ１７は、筐体１１から導出した電線の末端に取り付けられた公知の雌アダプタを用いてもよいが、後述するリーダ３３のアンテナ基盤３５の設置を考慮すると雌レセプタクルを用いることが望ましい。雌コネクタ１７は、筐体１１の外部から内部に向かって窪んで成る空間を有し、その空間に複数の雄コンタクト（ピンインサート）１９が収納されている。複数の雄コンタクト１９は、筐体１１の外部から内部に向かって突出するピン端子であり、演算処理部１２から導出された各々の電線に接続されている。雄コンタクト１９の本数は、演算処理部１２と探針２０との間で送受信される信号の数と同数であり、熱電対温度計では二本である。雄コンタクト１９はその先端が雌コネクタ１７から外側に向かって突出することなく、雌コネクタ１７に収納されている。

【0019】

リーダ３３は、公知のＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｄｅｎｔｉｆｉｅｒ）システムのリーダを用いることができる。リーダ３３は、互いに別体のアンテナ基盤３５とコントローラ基盤３６とを有している。アンテナ基盤３５は、その盤面が複数の雄コンタクト１９に対して雄コネクタ２４の抜き差し方向（Ｘ方向）に交差する方向（例えば、Ｚ方向）で対向している。コントローラ基盤３６は、演算処理部１２およびアンテナ基盤３５のそれぞれに信号線を介して接続されている。コントローラ基盤３６は、演算処理部１２の指示により後述するデータ取得処理を実行する。なお、リーダ３３は、アンテナ基盤３５とコントローラ基盤３６とが一体化されていてもよい。また、リーダ３３は、読み取り機能のみを有するものであるが、書き込み機能を有していてもよい。

【0020】

探針２０の実施形態は、測定素子２１、探針本体２２、ケーブル２３、雄コネクタ２４、および、ＲＦタグ３４を備えている。探針２０は、測定素子２１が測定対象の物理量をアナログ信号Ａｄとして検出し、検出したそのアナログ信号Ａｄを演算装置１０に送信する。探針２０は、測定対象の物理量を測定素子２１が直に受信する受動型が例示されるが、測定対象に所定の信号を送信し、送信したその信号の反射を受信する能動型でもよい。熱電対温度センサにおいて、探針２０は測定素子２１として熱電対を用いた能動型である。

【0021】

測定素子２１は、公知の種々の測定素子を用いることができる。例えば、温度を測定する測定素子２１としては、熱電対、白金抵抗体、サーミスタなどがある。熱電対温度センサにおいて、測定素子２１は熱電対であり、異なる二種類の金属線からなり、それらの接合点である測定部２５に生じる起電力の電圧をアナログ信号Ａｄとして検出する。熱電対としては、＋極にクロメル、－極にアルメルを用いたタイプＫ、＋極にクロメル、－極にコンスタンタンを用いたタイプＥ、＋極に白金ロジウム合金（ロジウム含有量３０％）、－極に白金ロジウム合金（ロジウム含有量６％）を用いたタイプＢなどが例示される。

【0022】

探針本体２２およびケーブル２３は、特に限定されるものではない。例えば、受動型の探針２０の探針本体２２では、測定素子２１が内部に収納されていて、その先端部に測定素子２１の異種金属線どうしの接合点である測定部２５が配置されている。ケーブル２３は、探針本体２２から導出された測定素子２１または測定素子２１からの信号を伝送する測定素子２１とは別体の電線のいずれかの線材が被覆材により被覆されて構成されている。

【0023】

雄コネクタ２４は、演算装置１０の雌コネクタ１７に着脱自在に差し込まれるコネクタであり、ケーブル２３の末端に取り付けられている。雄コネクタ２４は、公知の雄プラグを用いることができる。雄コネクタ２４は、末端部に複数の雌コンタクト（ソケットインサート）２６が埋め込まれている。複数の雌コンタクト２６は、複数の雄コンタクト１９の各々が挿入されるソケット端子であり、ケーブル２３に電気的に接続されている。雌コンタクト２６の本数は、演算処理部１２と探針２０との間で送受信される信号の数と同数であり、熱電対温度センサでは二本である。雌コンタクト２６はその末端が雄コネクタ２４から外側に向かって突出することなく、雄コネクタ２４に収納されている。

【0024】

ＲＦタグ３４は、公知のＲＦＩＤシステムのＲＦ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）タグ（電子タグ、無線タグ、ＩＣタグ、ＲＦＩＤタグ）を用いることができる。ＲＦタグ３４は、一枚の基盤で構成されている。ＲＦタグ３４は、雄コネクタ２４の雌コネクタ１７に挿入される部位の外面に配置されることが望ましい。また、ＲＦタグ３４は、雄コネクタ２４の外面から内側に向かって窪んだ穴に埋設されている。埋設されたＲＦタグ３４は、その盤面が雄コネクタ２４の外面に露出しなくてもよいが、通信の強度の確保には露出することが望ましい。

【0025】

リーダ３３およびＲＦタグ３４から成るＲＦＩＤシステムは、無線通信を用いてリーダ３３によりＲＦタグ３４に保存された固有のデータ３１を取得する。ＲＦＩＤシステムの周波数帯としては、１３５ＫＨｚ以下の長波（ＬＦ）、１３．５６MＨｚの短波（ＨＦ）、４３３ＭＨｚまたは８６０ＭＨｚ～９６０ＭＨｚまたは２．４５ＧＨｚの極超短波（ＵＨＦ）などが例示される。ＲＦＩＤシステムは、それぞれの周波数帯に応じて、電磁結合方式、電磁誘導方式、電波方式などの通信方式（空間伝送方式）を用いている。

【0026】

ＲＦＩＤシステムは、その周波数帯が長波または短波であることが望ましい。ＲＦＩＤシステムの周波数帯が長波または短波であれば、演算装置１０が備えているリーダ３３と探針２０が備えているＲＦタグ３４とが一対一で、かつ、それらが近接した短距離（１０ｃｍ以下）でのみ通信可能になり、不要なデータ（固有のデータ３１以外のデータ）の取得を回避するには有利になる。また、周波数帯が長波または短波のＲＦＩＤシステムは、周波数帯が極超短波のＲＦＩＤシステムに比して安価であり、導入に要するコストの低減には有利になる。

【0027】

図２は雌コネクタ１７に雄コネクタ２４を差し込む前の状態を示し、図３は雌コネクタ１７に雄コネクタ２４を差し込んだ状態を示している。雌コネクタ１７に雄コネクタ２４を差し込むと、雄コンタクト１９が雌コンタクト２６に挿入されて電気的に接合される。雌コネクタ１７および雄コネクタ２４のそれぞれには、キーイングが施されており、雌コネクタ１７には、内部の空間から外側に向かって窪んだ溝が形成されており、雄コネクタ２４には、外表面から外側に向かって出っ張って、溝に嵌合する出っ張りが形成されている。雄コネクタ２４のキーイングは、ＲＦタグ３４が設置されていない箇所に施されている。

【0028】

アンテナ基盤３５には、リーダ用アンテナ３７が形成されている。リーダ用アンテナ３７は、公知の種々のアンテナを用いることができる。リーダ用アンテナ３７は、雌コネクタ１７に雄コネクタ２４を差し込んだ状態で、ＲＦタグ３４のタグ用アンテナ３８に対向することが望ましい。周波数帯が長波または短波のＲＦＩＤシステムでは、リーダ用アンテナ３７により生じさせた磁界の向きが、探針２０の雄コネクタ２４の抜き差し方向（Ｘ方向）に交差する方向（Ｚ方向）を向いている。リーダ用アンテナ３７により生じする磁界の向きは、雄コネクタ２４の雌コネクタ１７に挿入される部分に設置されたＲＦタグ３４の盤面に対して垂直な向きが望ましい。また、リーダ用アンテナ３７は、Ｘ方向視における筐体１１の中央部に寄せて配置されることが望ましい。リーダ用アンテナ３７が筐体１１の中央部に寄せて配置されることで、リーダ用アンテナ３７による無線通信可能な範囲の一部を筐体１１が専有することになり、不要なデータ（固有のデータ３１以外のデータ）の取得を回避するには有利になる。さらに、リーダ用アンテナ３７は、ＲＦタグ３４よりも大きく、かつ、その中心が、雌コネクタ１７に雄コネクタ２４が差し込まれた状態でのＲＦタグ３４の中心に位置することが望ましい。

【0029】

ＲＦタグ３４は、タグ用アンテナ３８とメモリ３９とを内蔵する。タグ用アンテナ３８としてはリーダ用アンテナ３７と同様に公知の種々のアンテナを用いることができる。メモリ３９は、タグ用アンテナ３８に信号線を介して接続されており、固有のデータ３１が保存されている。固有のデータ３１は予め把握されているデータであり、ＲＦＩＤシステムのライタを用いてメモリ３９に書き込まれている。

【0030】

図４に示す補正データ３０は、主記憶部１３の所定のメモリアドレスに保存された固有のデータ３１または既定データ３２のどちらか一方のデータであり、それぞれのデータが固有のデータ３１の取得の有無により入れ替えられている。補正データ３０は、表の同一の行において対になる基準値（Ｆ１、・・・、Ｆｎ）および校正値（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）が複数組、集積している。基準値および校正値のそれぞれは、数値の大小の順に並んでおり、図４の表中では列の上から下に向かって数値が大きくなっている。図４の表中では、基準値および校正値の具体的な値が「・・・」によって省略された記載になっているが実際は、数値が記載されている。表外に記載されている機械誤差（Ｅ１、・・・、Ｅｎ）は、表の同一行における基準値および校正値の差分を示しており、実際の補正データ３０に含まれるものではない。この機械誤差は、測定素子２１の製造ロットの相違や探針本体２２の製造精度、さらには、探針２０を測定対象に直に接触する場合に生じる測定対象の物理量の変化（例えば、物理量が温度の場合に、探針２０の接触による伝熱による温度の変化）などに影響される。それ故、この機械誤差は、探針２０ごとに異なっており、探針２０の設計過程や製造過程で予め予測することが困難な誤差である。

【0031】

固有のデータ３１と既定データ３２とは、補正データ３０と同一のデータ構造を成すが、探針２０の機械誤差を解消可能か否かが異なっている。固有のデータ３１は、測定器１を用いた校正結果で校正されており、探針２０の機械誤差が予め把握されていて、その機械誤差を小さくして出力値Ｄｔを真値に近似させることが可能なデータである。また、固有のデータ３１は、図４に示す機械誤差のうちのいくつかが「０」の場合もあるが、その全てが「０」であることは無いデータである。既定データ３２は、固有のデータ３１のデータ構造に合わせて任意に作成されていて、探針２０の機械誤差が非把握なデータである。また、既定データ３２は、図４に示す機械誤差（Ｅ１～Ｅｎ）の全てが「０」であるデータである。以下、固有のデータ３１と既定データ３２について詳述する。

【0032】

図５に例示する固有のデータ３１および既定データ３２は、測定器１の測定可能範囲を－１００～１００（単位は省略）とし、基準値どうしの間隔を正の範囲では５０ずつの等間隔とし、負の範囲では－３０ずつの等間隔とし、ｎ＝６としたものである。固有のデータ３１および既定データ３２は、それぞれの基準値（または、校正値）どうしの間隔が、不等間隔であってもよいが、最も小さい基準値（Ｆ１）が測定器１の測定可能範囲（公称精度を担保可能な範囲）の最小値の近傍に、最も大きい基準値（Ｆ６）が測定可能範囲の最大値の近傍に位置することが望ましい。また、固有のデータ３１および既定データ３２は、不等間隔とする場合に、固有のデータ３１がグラフ図における非線形の変曲点のそれぞれを示すことが望ましい。

【0033】

固有のデータ３１は、測定器１とは異なる基準の測定器を用いた公知の種々の校正方法を利用して、基準の測定器による測定で得られた基準値と測定器１による測定で得られた校正値が複数組（ｎ組）、集積している。固有のデータ３１は、基準値の変化量に対する校正値の変化量が、非線形になっている。基準の測定器は、予め機械誤差を含む系統誤差が把握されており、測定結果である基準値が真値に近似する値であれば特に限定されるものではないが、測定器１と異なる科学的原理を用いるものがより好ましい。基準値は、基準の測定器で測定され、測定対象の物理量の真値に対する誤差が小さく、真値に近似する値である。校正値は、探針２０を演算装置１０に接続した測定器１で測定される（ただし、この測定での補正データ３０としては、既定データ３２を用いる）。基準値や校正値は、測定対象の物理量や測定環境などが統一された同条件下で、複数回測定して得られた複数の値の平均値や中央値を用いてもよい。

【0034】

公知の校正方法では、測定対象の物理量を漸次変化させて、基準の測定器と測定器１との両方を用いて変化させた物理量を測定し、基準の測定器による測定で得られた基準値と測定器１による測定で得られた校正値との差分（系統誤差）を「ゼロ」に近づけている。しかし、測定対象の物理量を変化させた全ての範囲で、基準値と校正値との差分を「ゼロ」にすることは基準値と校正値との関係が完全な線形関係でない限り不可能であり、最終的な校正結果である基準値と校正値との差分が校正不可能な系統誤差として残ることになる。特に、探針２０はアナログ回路であり、製造後の調整が容易ではない。このような校正不可能な系統誤差は、概ね探針２０の機械誤差と見做せる。このように、公知の校正方法を利用することで、探針２０の機械誤差を把握することが可能になる。そして、固有のデータ３１は、公知の校正方法の最終的な校正結果である基準値と校正値とを、ＲＦＩＤシステムのライタを用いて、ＲＦタグ３４のメモリ３９に保存したデータである。

【0035】

測定器１の測定可能範囲における探針２０の機械誤差は、線形や非線形の特性になる。機械誤差の特性が線形の場合に、固有のデータ３１は、測定範囲内の二組の基準値および校正値（ｎ＝２）であればよい。機械誤差の特性が非線形の場合に、固有のデータ３１は、測定範囲を離散化し（二分化を除く）、機械誤差の特性を離散化連続関数として表すことが可能な組数の基準値および校正値であればよい。ただし、その組数が多くなるほど探針２０の機械誤差を取り除くには有利になるが、情報量が増えることになる。特に、ＲＦＩＤシステムを利用する固有のデータ３１には、情報量に制限がある場合がある。そこで、その組数は、ＲＦＩＤシステムを利用可能な情報量に収まる組数であることが望ましい。ＲＦＩＤシステムを利用可能な情報量は、ＲＦタグ３４のメモリ３９の容量やＲＦＩＤシステムでの送受信可能な容量により制限される。固有のデータ３１の組数は、所望する機械誤差の補正精度とＲＦＩＤシステムを利用可能な情報量とに基づいて、適宜、選択可能である。

【0036】

既定データ３２は、固有のデータ３１のデータ構造（例えば、ｎ＝６）に合わせて、いずれの組でも差分が「０」になるように任意に作成された基準値および校正値が複数組（ｎ組）、集積している。既定データ３２は、基準値の変化に対する校正値の変化が、等倍である。つまり、既定データ３２は、デジタルデータＭｔと出力値Ｄｔとの関係を変化させないデータであり、デジタルデータＭｔを既定データ３２で補正した場合に、出力値Ｄｔが元のデジタルデータＭｔから変化しない。

【0037】

図６および図７に測定方法の一例を示す。まず、電源スイッチ１８が測定者により操作されて演算装置１０が起動すると、演算処理部１２が各データ処理を実行する（Ｓ１１０～Ｓ１６０）。測定工程（Ｓ１６０）は、所定の周期ごとに測定が終了するまで行われる。最終的に、測定が終了すると（Ｓ１７０）、終了となる。なお、電源スイッチ１８を有さない演算装置１０では、電源コネクタが商用電源に差し込まれることで、演算装置１０が起動する。以下に、（Ｓ１１０）～（Ｓ１７０）の各ステップの内容を詳述する。

【0038】

測定器１への操作を検出したか否かを判定するステップ（Ｓ１１０）では、演算処理部１２により、測定者による測定器１への操作により、電気的な接続による電気的な回路への通電や電子機器への通電が開始されたか否かを判定する。このような操作としては、測定者による電源スイッチ１８の操作や測定者による探針２０の雄コネクタ２４の演算装置１０の雌コネクタ１７への差し込みが例示される。差し込みの検出は、演算処理部１２がラインアウト検出回路を有していれば可能になる。演算装置１０や探針２０が測定工程（Ｓ１６０）を開始するための測定スイッチを有する場合は、測定者による測定スイッチの操作を検出してもよい。なお、測定器１への操作として、探針２０の雄コネクタ２４の演算装置１０の雌コネクタ１７への差し込みを用いる場合には、演算装置１０の起動後に測定者により差し込みの操作を行わせる必要がある。

【0039】

既定化工程（Ｓ１２０）では、演算処理部１２により、測定器１への操作を検出したと判定すると（Ｓ１１０：ＹＥＳ）、補助記憶部１４に保存されていた既定データ３２を、補正データ３０の領域として指定された主記憶部１３の所定のメモリアドレスに保存する。このときに、既に主記憶部１３の所定のメモリアドレスに別のデータが保存されている場合には、既定データ３２によりそのデータを上書きする。

【0040】

データ取得工程（Ｓ１３０）では、演算処理部１２により、リーダ３３にデータ取得処理を実行させる指示を出す。ついで、その指示を受けたリーダ３３により、ＲＦタグ３４との間の通信を開始して、ＲＦタグ３４に保存された固有のデータ３１を取得する。このデータ取得工程は、探針２０のＲＦタグ３４の有無に依らずに行われるものであり、探針２０がＲＦタグ３４を有していない場合にも行われる。公知のＲＦＩＤシステムのリーダには、常時、ＲＦタグへの通信を行っているものがあるが、その通信には電力の消費が伴う。そこで、リーダ３３によるＲＦタグ３４への通信が、演算処理部１２により所定のタイミングに限定されることで、通信に要する電力の削減には有利になる。

【0041】

固有のデータ３１を取得したか否かを判定するステップ（Ｓ１４０）では、演算処理部１２により、データ取得工程（Ｓ１３０）を行った結果、リーダ３３が固有のデータ３１を取得したか否かを判定する。固有のデータ３１を取得できない場合としては、探針２０がＲＦタグ３４を有していない場合、探針２０がＲＦタグ３４を有していてもＲＦＩＤシステムの通信不良や機器の不良が生じている場合などが挙げられる。固有のデータ３１を取得したと判定した場合には（Ｓ１３０：ＹＥＳ）、データ保存工程（Ｓ１５０）へ進み、固有のデータ３１を取得していないと判定した場合には（Ｓ１３０：NO）、測定工程（Ｓ１６０）へ進む。

【0042】

データ保存工程（Ｓ１５０）では、演算処理部１２により、リーダ３３が取得した固有のデータ３１を補正データ３０の領域として指定された主記憶部１３の所定のメモリアドレスに上書きして保存する。既定化工程（Ｓ１２０）により所定のメモリアドレスには、既定データ３２が保存されているが、このデータ保存工程（Ｓ１５０）により所定のメモリアドレスには、固有のデータ３１が保存されることになる。なお、リーダ３３が取得した固有のデータ３１は、補助記憶部１４に保存した後に、主記憶部１３の所定のメモリアドレスに保存してもよい。

【0043】

図７に示す測定工程（Ｓ１６０）では、演算処理部１２により測定処理として各データ処理（Ｓ１６２～Ｓ１６６）が実行される。具体的に、演算処理部１２により各データ処理が実行されることで、アナログ信号Ａｄを変換して得られるデジタルデータＭｔが補正データ３０により補正されて、出力値Ｄｔが出力される。測定工程（Ｓ１６０）は、所定の周期ごとに繰り返され、随時、出力値Ｄｔが出力される。

【0044】

アナログ信号ＡｄをデジタルデータＭｔに変換するステップ（Ｓ１６２）では、演算処理部１２により、探針２０から送信されたアナログ信号Ａｄを公知の変換方法を用いて測定対象の物理量を示すデジタルデータＭｔに変換する。変換方法としては、アナログ信号Ａｄを数値化したデータを、測定対象の物理量を示すデジタルデータＭｔに変換できればよく、測定素子２１や測定対象の物理量に応じたものを用いる。変換方法によっては、演算処理部１２が有する補償器から出力される補償値や補助記憶部１４に予め保存されていた変換表、変換式などの変換用データを用いることができる。例えば、熱電対温度センサにおいて、アナログ信号Ａｄは、測定素子２１である熱電対の起電力の電圧であり、デジタルデータＭｔは、測定対象の温度を示す。起電力の電圧から温度を示すデジタルデータＭｔに変換するには、基準接点補償器で得られる補償値や日本工業規格（ＪＩＳ Ｒ １６０２）に規定される規準熱起電力表を用いる。日本工業規格の規準熱起電力表の代わりに米国標準局（ＮＢＳ）の熱電対テーブルを用いた温度変換多項式を用いてもよい。基準熱起電力表や熱電対テーブルは、熱電対の種類に応じて異なっており、熱電対温度センサでは、複数の基準起電力表や熱電対テーブルが用意されており、熱電対の種類に応じてそれらを切り替えている。このように、測定素子２１が複数種類に分類される場合には、変換用データもその種類に応じて複数、用意するとよい。

【0045】

デジタルデータＭｔを補正データ３０で補正するステップ（Ｓ１６４）では、演算処理部１２により、補正データ３０を用いた公知の補間法（内挿法）によりデジタルデータＭｔを補正して、出力値Ｄｔを算出する。補正データ３０は、固有のデータ３１の取得の有無により固有のデータ３１と既定データ３２とが入れ替えられている。詳述すると、補正データ３０は、データ保存工程（Ｓ１５０）が行われた場合に固有のデータ３１になり、データ保存工程（Ｓ１５０）が行われない場合に、既定化工程（Ｓ１２０）より保存された既定データ３２になる。補間法としては、補正データ３０として固有のデータ３１を用いた場合に、探針２０の機械誤差を解消可能な方法であればよく、線形補間（１次補間）、ニュートン補間やラグランジュ補間などの多項式補間、区分線形補間（スプライン補間）、放射基底関数（ＲＢＦ）補間などが例示される。

【0046】

出力値Ｄｔを出力するステップ（Ｓ１６６）では、演算処理部１２により、算出した出力値Ｄｔをディスプレイ１５に表示させるとともに補助記憶部１４に保存する。なお、算出された出力値Ｄｔは、ディスプレイ１５での表示のみでもよく、補助記憶部１４への保存のみでもよい。このステップでは、演算処理部１２により、補正データ３０として固有のデータ３１もしくは既定データ３２のどちらを用いたのかを区別可能にするデータ処理を実行させることが望ましい。例えば、出力値Ｄｔをディスプレイ１５に表示させる場合に、補正データ３０として固有のデータ３１もしくは既定データ３２のどちらを用いたのかを区別可能な印などを表示させる。また、出力値Ｄｔを補助記憶部１４に保存する場合に、出力値Ｄｔとセットで、補正データ３０として固有のデータ３１もしくは既定データ３２のどちらを用いたのかを区別可能なデータを保存する。このようなデータ処理を実行させることで、ＲＦＩＤシステムで固有のデータ３１の読み取り不良が生じた場合に、測定の終了後に補正データ３０として規定データ３２を用いて出力された出力値Ｄｔを補正することが可能となる。また、ＲＦタグ３４を有していない探針２０を用いた測定で、意図せずに他の探針２０のＲＦタグ３４から固有のデータ３１が読み取られた場合に、測定の終了後に補正データ３０として固有のデータ３１を用いて出力された出力値Ｄｔを補正することが可能となる。

【0047】

測定が終了したか否かを判定するステップ（Ｓ１７０）では、測定者または演算処理部１２のどちらかによる測定の終了の判定が行われる。測定者による測定の終了は、電源スイッチ１８が測定者により操作されて演算装置１０が停止した場合である。なお、測定者による測定の終了は、測定者による測定スイッチの操作でもよい。演算処理部１２による測定の終了は、予め設定された測定期間が経過した場合や測定回数に達した場合である。

【0048】

以上のとおり、本実施形態によれば、リーダ３３によるＲＦタグ３４に保存された固有のデータ３１の取得の成否により、補正データ３０として使用するデータを固有のデータ３１と既定データ３２とで入れ替える。それ故、ＲＦタグ３４に保存された固有のデータ３１が取得できない場合には、補正データ３０として既定データ３２を用いることで出力値Ｄｔが出力されるまでのデータ処理を途中で中断することなくその実行を完了できる。

【0049】

また、本実施形態によれば、固有のデータ３１として、最終的な校正結果のデータを用いている。それ故、補正データ３０として固有のデータ３１を用いて出力された出力値Ｄｔは、校正不可能な探針２０の機械誤差が小さくなり、真値に近似し易くなる。本実施形態は、以上のようにＲＦタグ３４を備えていない探針を使用した測定を可能にする構成でありながら、ＲＦタグ３４を備えた探針２０を使用した測定ではＲＦＩＤシステムを利用することで、非常に簡便に探針２０ごとに異なる機械誤差を解消した高精度な測定を実現することが可能となる。

【0050】

また、本実施形態によれば、演算装置１０と探針２０とをセットにする必要がない。それ故、一つの演算装置１０に対して、複数の探針２０を用いることができる。さらに、コネクタなどの規格が同一のものであれば、従来使用していた演算装置に探針２０を接続して測定したり、従来使用していた探針を演算装置１０に接続して測定したりすることができる。このように、従来の資産を活用可能になることで、導入のコストを削減できる。

【0051】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の測定器の演算装置および探針並びに測定方法は特定の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【0052】

アナログ信号ＡｄをデジタルデータＭｔに変換するステップ（Ｓ１６２）では、デジタルデータＭｔが、アナログ信号Ａｄを数値化したデータであってもよい。デジタルデータＭｔがアナログ信号Ａｄを数値化したデータ、つまり、測定対象の物理量を直接的に示さない数値である場合に、固有のデータ３１は、アナログ信号Ａｄから測定対象の物理量を示す数値に変換する変換用データと探針２０の機械誤差を解消可能なデータとを有する。また、既定データ３２は、アナログ信号Ａｄから測定対象の物理量を示す数値に変換する変換用データのみを有する。このように、固有のデータ３１や既定データ３２が変換用データを有することで、デジタルデータＭｔを補正データ３０で補正するステップ（Ｓ１６４）では、アナログ信号Ａｄを直に数値化したデータを補正データ３０により補正することで、出力値Ｄｔを算出することが可能になる。ただし、補正データ３０の情報量は、固有のデータ３１および既定データ３２のそれぞれの情報量と一致させる必要がある。ＲＦＩＤシステムを利用する固有のデータ３１には、情報量に制限があるため、その制限に応じて、固有のデータ３１への変換用データの追加の有無を判断するとよい。固有のデータ３１が変換用データを有することで、演算装置１０で測定素子２１の種類に応じた複数の変換用データから所定の変換用データを選択する手間を省くことが可能になる。これにより、演算装置１０での変換用データの選択のミスによる誤測定を防ぐには有利になる。

【0053】

測定器１への操作を検出したか否かを判定するステップ（Ｓ１１０）では、測定者による測定器１への操作を一つに限定せずに、複数の操作を検出対象とするとよい。例えば、電源スイッチ１８の操作と、演算装置１０および探針２０の接続操作との二つの操作を検出対象とすることで、測定途中で、探針２０を別の探針に変更することが可能となる。

【0054】

既定化工程（Ｓ１２０）とデータ取得工程（Ｓ１３０）との順番は、データ取得工程の順番が既定化工程の順番よりも後であればよく、データ取得工程の開始が既定化工程の完了を合図に行われるものに限定されない。例えば、電源スイッチ１８の操作により演算装置１０が起動してから探針２０が演算装置１０に接続される使用方法に限定した場合に、既定化工程の開始は電源スイッチ１８の操作を合図とし、データ取得工程の開始は探針２０が演算装置１０に接続されたことを合図としてもよい。

【0055】

補正データ３０は、その領域として補助記憶部１４の所定のメモリアドレスが指定されていてもよい。この場合に、既定化工程とデータ取得工程では、補助記憶部１４の所定のメモリアドレスに固有のデータ３１や既定データ３２が保存される。そして、測定工程で、補助記憶部１４の所定のメモリアドレスに保存された補正データ３０が主記憶部１３の所定のメモリアドレスに書き込まれて、出力値Ｄｔの算出が行われる。なお、主記憶部１３に保存されたデータは、演算装置１０が停止すると消去される。

【0056】

測定器１は、演算装置１０と探針２０とを接続し、演算装置１０を起動した時点から測定作業が可能な状態になっている。しかし、測定作業は、測定工程（Ｓ１６０）の直前までの処理が完了してから行われることが望ましい。そこで、測定工程の直前までの処理が完了したときに、演算装置１０のディスプレイ１５に測定作業の開始の合図を表示するようにしてもよい。

【0057】

本発明の応用例として、補助記憶部１４に複数の固有のデータ３１が予め保存されていて、複数の固有のデータ３１の各々には、探針２０ごとに異なる識別番号が付与されており、ＲＦタグ３４には、その識別番号が保存されている構成がある。この構成では、データ取得工程（Ｓ１３０）で、固有のデータ３１の代わりに識別番号を取得し、補助記憶部１４に保存された複数の固有のデータ３１のなかから取得したその識別番号が付与されている固有のデータ３１を特定し、データ保存工程（Ｓ１５０）で、特定したその固有のデータ３１を所定のメモリアドレスに上書きする。この応用例では、探針２０と電子記憶媒体（ＵＳＢメモリやフラッシュメモリなど）とをセットにして、その電子記憶媒体から演算装置１０の補助記憶部１４に識別番号が付与された固有のデータ３１を保存する必要がある。

【実施例0058】

測定素子がタイプＫの熱電対であり、探針が測定対象に直に接する受動型の熱電対温度センサに、周波数帯が短波（ＨＦ）で、通信可能距離が１０ｃｍのＲＦＩＤシステムを組み込んで、図１～図３に例示する構造の測定器の演算装置および探針を試作した。試作した測定器の測定可能範囲は、－１００．００℃～２００．００℃とした。

【0059】

試作した測定器での測定工程では、熱電対で検出したアナログ信号を数値化した検出値Ｖｔ〔μＶ〕から基準接点補償器で得られる補償値Ｒｔ〔μＶ〕を減算した値を、日本工業規格に規定されるタイプＫの規準熱起電力表を用いてデジタルデータＭｔ〔℃〕に変換した。ついで、そのデジタルデータＭｔを、補間法として下記の数式（１）で示す線形補間を用いて補間した。数式（１）のＦｎ＋１、Ｆｎは補正データ３０の基準値を示し、Ｓｎ＋１、Ｓｎは補正データ３０の校正値を示し、ｎは下記の数式（２）の条件を満たす値とした。

【0060】

【数1】

【0061】

【数2】

【0062】

なお、上記の数式（２）は、基準値の代わりに校正値を用いてもよい。また、上記の数式（２）を満たすｎが、０の場合（デジタルデータＭｔが基準値の最小値であるＦ１よりも小さい場合）に、Ｆ０としてＦ１を用いて、ｎの場合（デジタルデータＭｔが基準値の最大値であるＦｎよりも大きい場合）に、Ｆｎ＋１としてＦｎを用いた。

【0063】

表１は、試作した測定器の最終的な校正結果である基準値（Ｆ１、・・・、Ｆ７）と校正値（Ｓ１、・・・、Ｓ７）であり、試作した測定器の探針の固有のデータを示す。試作した測定器の校正では、基準の測定器として白金（Ｐｔ）を用いた測温抵抗体を用いて、測定対象の温度を正の温度範囲では５０℃ずつ変化させ、負の温度範囲では４０℃ずつ変化させた。

【0064】

【表1】

【0065】

表２は、試作した測定器の固有のデータに合わせて、基準値および校正値を正の温度範囲では５０℃刻み、負の温度範囲では４０℃刻みとした既定データである。

【0066】

【表2】

【0067】

図８は、実線が、試作した測定器の探針のＲＦタグに表１に示す固有のデータを保存しして測定した結果を示し、点線が、試作した測定器の探針のＲＦタグに表１に示す固有のデータを保存せずに測定した結果を示す。なお、測定では、ＲＦタグに保存した固有のデータを演算装置のリーダが取得できない状況が発生していないものとする。

【0068】

ＲＦタグに固有のデータを保存していない測定では、上記の数式（１）の線形補間において表２に示す既定データを用いる。既定データを用いても出力値Ｄｔをデータ処理することは可能であることが分かる。図８の点線に示すように、既定データを用いた出力値Ｄｔは元のデジタルデータＭｔから変化せず、機械誤差を含んでいることが分かる。一方、ＲＦタグに固有のデータを保存した測定では、上記の数式（１）の線形補間において表１に示す固有のデータを用いる。図８の実線に示すように、固有のデータを用いた出力値Ｄｔは、デジタルデータＭｔが含む機械誤差が解消されて、より真値に近似することが分かる。また、固有のデータの基準値と校正値との組数が七組でも、測定可能範囲の誤差を０．１℃未満に収められた。

【符号の説明】

【0069】

１ 測定器
１０ 演算装置
１２ 演算処理部
１３ 主記憶部
１４ 補助記憶部
１７ 雌コネクタ
２０ 探針
２１ 測定素子
２４ 雄コネクタ
３０ 補正データ
３１ 固有のデータ
３２ 既定データ
３３ リーダ
３４ ＲＦタグ
Ａｄ アナログ信号
Ｍｔ デジタルデータ
Ｄｔ 出力値

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】