特開 2023-128065 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023128065

(43)【公開日】2023-09-14

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   G05D 3/12 20060101AFI20230907BHJP

   H02P 29/00 20160101ALI20230907BHJP

【ＦＩ】

G05D3/12 W

H02P29/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022032123

(22)【出願日】2022-03-02

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142022

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 一晃

(74)【代理人】

【識別番号】100196623

【弁理士】

【氏名又は名称】松下 計介

(72)【発明者】

【氏名】常吉 豪

【テーマコード（参考）】

5H303

5H501

【Ｆターム（参考）】

5H303AA04

5H303CC03

5H303DD01

5H303FF01

5H303FF09

5H303HH05

5H501AA22

5H501BB11

5H501DD01

5H501GG01

5H501JJ25

5H501LL35

5H501LL37

5H501MM19

(57)【要約】

【課題】環境温度が所定の温度条件と異なっていても塗布位置精度を維持することができるインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、移動体Ｍを移動させる電動モータ４、１０と、電動モータ４、１０に供給する電力Ｖ１、Ｖ２を制御する供給電力制御装置６、１２と、電動モータ４、１０における可動子の位置を供給電力制御装置６、１２に対して出力する位置計測装置７、１３とをそれぞれ含む少なくとも１つの駆動装置３、９と、位置制御信号Ｓｔを供給電力制御装置６、１２に対して出力する位置制御装置１５と、を有する。駆動装置３、９は、位置計測装置７、１３が供給電力制御装置６、１２に対して出力した位置パルス列信号Ｓ１、Ｓ２を補正する信号補正装置８、１４を有する。信号補正装置８、１４は、補正した位置パルス列信号Ｓ１、Ｓ２を供給電力制御装置６、１２に対して出力する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

移動体を移動させる電動モータと、前記電動モータに供給する電力を制御する供給電力制御装置と、前記電動モータにおける可動子の位置を位置パルス列信号として前記供給電力制御装置に対して出力する位置計測装置とをそれぞれ含む少なくとも１つの駆動装置と、前記可動子の目標位置におけるパルス数に関する位置制御信号を前記供給電力制御装置に対して出力する位置制御装置と、を有し、
前記供給電力制御装置が前記位置制御信号と前記位置パルス列信号のパルス数との差分に基づいて前記電動モータに電力を供給する搬送装置であって、
前記駆動装置は、
前記位置計測装置が前記供給電力制御装置に対して出力した位置パルス列信号を補正する信号補正装置を有し、
前記信号補正装置は、
前記移動体が原点位置から任意の位置に移動する場合に前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と前記原点位置から前記任意の位置までの距離との関係についての情報に基づいて、前記位置計測装置が出力した位置パルス列信号を補正し、補正した前記位置パルス列信号を前記供給電力制御装置に対して出力する、
搬送装置。

【請求項2】

請求項１に記載の搬送装置において、
前記信号補正装置は、
前記関係についての情報に基づいて補正に必要な位置パルス数を算出し、補正に必要な位置パルスを前記位置パルス列信号に加算または減算して前記位置パルス列信号を補正する、
搬送装置。

【請求項3】

請求項１また２に記載の搬送装置において、
前記信号補正装置は、
前記移動体が移動される条件毎に前記関係についての情報を有し、前記移動体が移動される条件から選択した1つの前記関係に基づいて、前記位置パルス列信号を補正する、
搬送装置。

【請求項4】

請求項３に記載の搬送装置において、
前記信号補正装置は、
前記移動体が移動される環境温度毎に前記関係についての情報を有する、
搬送装置。

【請求項5】

請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送装置において、
前記信号補正装置は、
前記関係についての情報である補正式に基づいて前記位置パルス列信号を補正する、
搬送装置。

【請求項6】

請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送装置において、
前記信号補正装置は、
前記関係についての情報である補正テーブルに基づいて前記位置パルス列信号を補正する、
搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は電動モータによって移動体を移動させる搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置、インクジェット塗布装置等の製造装置は、カラーフィルタ、基板等を載置するステージと、インクを塗布する塗布装置等の加工装置とを有している。前記製造装置は、ステージ上の基板等に対して加工装置を搬送装置によって任意の位置に移動可能に構成されている。前記搬送装置は、前記ステージ及び前記加工装置をそれぞれ移動させる駆動装置と、前記駆動装置を制御する位置制御装置とを有する。また、前記駆動装置は、前記ステージ及び前記加工装置の位置を計測する位置計測装置を有している。前記搬送装置は、前記位置計測装置からの計測信号に基づいて前記ステージ及び前記加工装置を所定の位置に移動させる。

【0003】

このような製造装置は、環境温度に応じて装置全体が熱膨張または熱収縮する。この際、前記製造装置に固定されている位置計測装置は、前記製造装置の熱膨張または熱収縮に伴って延伸または収縮されることにより計測値に誤差が生じる。よって、前記位置計測装置の計測値に基づいて前記ステージ及び加工装置を移動させる搬送装置は、前記位置計測装置が延伸または収縮した場合、位置制御装置からの制御信号にしたがって駆動装置を作動させても目標位置に対してずれが生じる。そこで、製造装置が熱膨張または熱収縮しても目標位置に対するずれを抑制することができる製造装置が知られている。例えば、特許文献１の如くである。

【0004】

特許文献１に記載のインクジェット塗布装置は、基板を載置するステージと、前記ステージ上の基板に対してインクを塗布する塗布ユニットを備え、前記基板に対して前記塗布ユニットが移動するインクジェット塗布装置である。前記インクジェット塗布装置は、前記塗布ユニットの位置を計測する位置計測装置と、前記位置計測装置からの位置パルス列に基づいて塗布ユニットの制御を行う位置制御装置を備える。前記制御装置は、環境温度における位置パルス補正テーブルを取得し、前記位置パルス補正テーブルに基づいて生成した補正位置パルス列によって前記塗布ユニットの位置制御を行う。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１９－７２６６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１に記載のインクジェット塗布装置が塗布ユニット等の移動体を複数の駆動装置によって移動させる場合、搬送装置は、前記位置制御装置が生成した前記移動体の位置に関する補正位置パルス列によって複数の前記駆動装置を同時に制御している。したがって、前記搬送装置は、補正位置パルス列によって熱膨張または熱収縮による前記移動体の目標位置に対するずれを抑制可能である。しかし、前記複数の駆動装置が有する位置計測装置にそれぞれ異なる熱膨張または熱収縮が生じている場合、前記複数の駆動装置における単位時間毎の移動量は、位置計測装置の伸縮位置及び伸縮量によって変動する。これにより、前記複数の駆動装置によって移動される移動体は、単位時間毎に移動中の速度及び姿勢が変動する。よって、前記移動体を移動させながら加工を行う製造装置では、前記移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることが求められている。

【0007】

本発明の目的は、位置制御装置が出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの駆動装置による移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる搬送装置の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明者は、電動モータによって移動体を移動させる搬送装置において、位置制御装置が出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの駆動装置による移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる搬送装置の構成について検討した。鋭意検討の結果、本発明者は、以下のような構成に想到した。

【0009】

本発明の一実施形態に係る搬送装置は、移動体を移動させる電動モータと、前記電動モータに供給する電力を制御する供給電力制御装置と、前記電動モータにおける可動子の位置を位置パルス列信号として前記供給電力制御装置に対して出力する位置計測装置とをそれぞれ含む少なくとも１つの駆動装置と、前記可動子の目標位置におけるパルス数に関する位置制御信号を前記供給電力制御装置に対して出力する位置制御装置と、を有し、前記供給電力制御装置が前記位置制御信号と前記位置パルス列信号のパルス数との差分に基づいて前記電動モータに電力を供給する搬送装置である。

【0010】

前記駆動装置は、前記位置計測装置が前記供給電力制御装置に対して出力した位置パルス列信号を補正する信号補正装置を有する。前記信号補正装置は、前記移動体が原点位置から任意の位置に移動する場合に前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と熱収縮がない場合での前記原点位置から前記任意の位置までの距離との関係についての情報に基づいて、前記位置計測装置が出力した位置パルス列信号を補正し、補正した前記位置パルス列信号を前記供給電力制御装置に対して出力する。

【0011】

上述の構成では、搬送装置は、各駆動装置がそれぞれ有する位置計測装置から出力される位置パルス列信号の誤差を、対応する信号補正装置によってそれぞれ補正する。よって、位置制御装置は、前記各駆動装置に対して各前記位置パルス列信号の誤差を考慮した位置制御信号をそれぞれ出力する必要がない。つまり、前記搬送装置は、位置制御装置が各駆動装置に対して出力した1つの位置制御信号に基づいて各駆動装置がそれぞれの位置パルス列信号を補正しつつ電動モータを制御しているので、同期制御用の制御機器を用いることなく各電動モータを同期させることができる。また、前記各駆動装置は、位置計測装置が位置パルス列信号を出力する毎に信号補正装置によって位置パルス列信号を補正する。つまり、前記各駆動装置は、位置計測装置がパルス列信号を出力している間、信号補正装置によって常に位置パルス列信号を補正している。これにより、前記位置制御装置が出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの前記駆動装置による前記移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【0012】

他の観点によれば、本発明の搬送装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記関係についての情報に基づいて補正に必要な位置パルス数を算出し、補正に必要な位置パルスを前記位置パルス列信号に加算または減算して前記位置パルス列信号を補正する。

【0013】

上述の構成では、信号補正装置は、位置計測装置が位置パルス列信号を出力する毎に補正に必要な位置パルス数を前記位置パルス列信号に加算または減算して補正する。よって、前記信号補正装置は、前記位置パルス列信号を補正するために必要な処理時間にばらつきがない。また、前記信号補正装置は、補正した位置パルス列信号を遅滞なく速やかに供給電力制御装置に対して出力することができる。これにより、位置制御装置が出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの駆動装置による移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【0014】

他の観点によれば、本発明の搬送装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記移動体が移動される条件毎に前記関係についての情報を有し、前記移動体が移動される条件から選択した1つの前記関係についての情報に基づいて、前記位置パルス列信号を補正する。

【0015】

上述の構成では、信号補正装置は、移動体が移動される環境温度、前記移動体に搭載される搬送物の重量、前記移動体の移動パターン等が異なる前記移動体の移動条件毎に、前記移動体が原点位置から任意の位置に移動する場合において位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と熱収縮がない場合での前記原点位置から前記任意の位置までの距離との関係についての情報を有している。よって、駆動装置は、前記信号補正装置によって前記移動体が移動される条件に適した前記関係についての情報を選択し、前記パルス列信号の補正を行う。これにより、前記移動体が移動される条件に関わらず、位置制御装置が出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの前記駆動装置による移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【0016】

他の観点によれば、本発明の搬送装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記移動体が移動される環境温度毎に前記関係についての情報を有する。

【0017】

上述の構成では、信号補正装置は、移動体が移動される環境温度毎に位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と熱収縮がない場合での前記原点位置から前記任意の位置までの距離との関係についての情報を有している。よって、駆動装置は、前記信号補正装置によって前記移動体が移動される条件に適した関係についての情報を選択し、前記パルス列信号の補正を行う。これにより、前記移動体が移動される環境温度に関わらず、位置制御装置が出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの前記駆動装置による前記移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【0018】

他の観点によれば、本発明の搬送装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記関係についての情報である補正式に基づいて前記位置パルス列信号を補正する。

【0019】

上述の構成では、信号補正装置は、位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と熱収縮がない場合での原点位置から任意の位置までの距離との関係についての情報である補正式を有している。前記信号補正装置は、移動体が任意の位置にいる場合において前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数を前記補正式によって継ぎ目なく連続して補正することができる。これにより、位置制御装置が駆動装置に対して出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの駆動装置による移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【0020】

他の観点によれば、本発明の搬送装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記関係についての情報である補正テーブルに基づいて前記位置パルス列信号を補正する。

【0021】

上述の構成では、信号補正装置は、移動体が原点位置から任意の位置に移動する場合において位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と熱収縮がない場合での前記原点位置から前記任意の位置までの距離との関係についての情報である補正テーブルを有している。前記信号補正装置は、前記移動体が前記任意の位置にいる場合において前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号を前記補正テーブルによって補正する。よって、前記信号補正装置は、前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号を前記補正テーブルに当てはめることによって前記位置パルス列信号を計算誤差なく補正することができる。これにより、位置制御装置が出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの駆動装置による移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【0022】

本明細書で使用される専門用語は、特定の実施形態のみを定義する目的で使用されるのであって、前記専門用語によって発明を制限する意図はない。

【0023】

本明細書において、「含む、備える（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」「含む、備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」または「有する（ｈａｖｉｎｇ）」及びそれらの変形の使用は、記載された特徴、工程、要素、成分、及び／または、それらの等価物の存在を特定するが、ステップ、動作、要素、コンポーネント、及び／または、それらのグループのうちの１つまたは複数を含むことができる。

【0024】

本明細書において、「取り付けられた」、「接続された」、「結合された」、及び／または、それらの等価物は、広義の意味で使用され、“直接的及び間接的な”取り付け、接続及び結合の両方を包含する。さらに、「接続された」及び「結合された」は、物理的または機械的な接続または結合に限定されず、直接的または間接的な電気的接続または結合を含むことができる。

【0025】

他に定義されない限り、本明細書で使用される全ての用語（技術用語及び科学用語を含む）は、本発明が属する技術分野の当業者によって一般的に理解される意味と同じ意味を有する。

【0026】

［電動モータ］
本明細書において、電動モータとは、電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換する装置である。前記電動モータは、電気により磁界を発生させるコイルを有する固定子と、前記固定子の磁界によって前記固定子に対して移動する可動子とを有する。前記電動モータは、前記固定子に対して前記可動子が回転または直動するように構成されている。

【0027】

［位置計測装置］
本明細書において、位置計測装置とは、電動モータの可動子の位置を計測するパルス列信号発生装置である。前記位置計測装置は、前記可動子の単位移動量に対して単位位置パルスを出力する。つまり、前記位置計測装置は、前記可動子の移動量に応じて位置パルス列信号を出力する。前記位置計測装置は、前記可動子が回転する場合、例えばロータリエンコーダによって構成される。前記位置計測装置は、前記可動子が直動する場合、例えばリニアスケールによって構成される。

【0028】

［供給電力制御装置］
本明細書において、供給電力制御装置は、１つの電動モータに対して電力を供給する装置である。前記供給電力制御装置は、上位の位置制御装置の制御信号と位置計測装置からの位置パルス列信号との差分に基づいて前記電動モータに電力を供給する。つまり、前記供給電力制御装置は、前記位置計測装置からの位置パルス列信号をフィードバック信号として取得している。

【0029】

［位置パルス列信号］
本明細書において、位置パルス列信号とは、電動モータの可動子が単位移動量だけ移動した際に位置計測装置が出力する信号である。位置パルス列信号は、矩形波が連続して生成されたパルス列から構成される。前記位置パルス列信号は、信号補正装置が生成した単一の矩形波であるパルスを加算または減算可能に構成されている。

【発明の効果】

【0030】

本発明の一実施形態によれば、電動モータと、前記モータに供給する電力を制御する供給電力制御装置と、前記モータにおける可動子の位置を位置パルス列信号として前記供給電力制御装置に対して出力する位置計測装置と、前記供給電力制御装置に対して出力する位置制御装置と、を有する搬送装置において、位置制御装置が出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの駆動装置による移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0031】

【図1】図１は、本発明の実施形態１における搬送装置の全体構成を示す模式図である。

【図2】図２は、本発明の実施形態１における搬送装置の制御構成を示すブロック図である。

【図3】図３は、本発明の実施形態１における搬送装置の第１位置計測装置が所定の環境温度において出力した第１位置パルス列信号から算出した測定誤差と第１信号補正装置が補正した第１補正パルス列信号とを示すグラフである。

【図4】図４は、本発明の実施形態１における搬送装置の第２位置計測装置が出力する位置パルス列信号と第２信号補正装置が補正した第１補正パルス列信号とを示すグラフである。

【図5】図５は、本発明の実施形態２における搬送装置の制御構成を示すブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0032】

図１から図３を用いて、本発明に係る搬送装置の実施形態１である搬送装置１について説明する。図１は、本発明の実施形態１における搬送装置１の全体構成を示す模式図である。図２は、搬送装置１の制御構成を示すブロック図である。図３は、搬送装置１の第１位置計測装置７が出力する第１位置パルス列信号Ｓ１における誤差と第１信号補正装置８が出力する第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１における補正値とを示すグラフである。図４は、搬送装置１の第２位置計測装置１３が出力する第２位置パルス列信号Ｓ２における誤差と第２信号補正装置１４が補正した第２補正位置パルス列信号Ｓｃ２における補正値とを示すグラフである。
本実施形態における環境温度とは、搬送装置１を作動させる際の周囲の温度であって、搬送装置１の周囲の温度がＴ１になっている状態における温度を環境温度Ｔ１とする。

【0033】

図１に示すように、搬送装置１は、移動対象物である移動体Ｍを搬送する搬送装置である。搬送装置１は、図示しない製造装置に設けられているものとする。搬送装置１は、案内装置２と、第１駆動装置３と、第２駆動装置９と、位置制御装置１５（図２参照）とを有する。

【0034】

案内装置２は、移動体Ｍを直線状の任意の位置に案内する装置である。案内装置２は、図示しないインクジェット塗布装置等に設けられている。案内装置２は、例えば、インクジェット塗布装置のベース上に固定されている一対のレール２ａと、一対のレール２ａ上を移動可能な一対のブロック２ｂとを有する。一対のレール２ａは、平行に隣り合って位置している。一対のブロック２ｂのうち一方のブロック２ｂは、一対のレール２ａのうち一方のレール２ａに沿って移動可能に構成されている。一対のブロック２ｂのうち他方のブロック２ｂは、一対のレール２ａのうち他方のレール２ａに沿って移動可能に構成されている。一方のブロック２ｂには、移動体Ｍの一方の端部が固定されている。他方のブロック２ｂには、移動体Ｍの他方の端部が固定されている。つまり、案内装置２は、移動体Ｍを一対のレール２ａの延伸方向に移動可能に支持している。

【0035】

第１駆動装置３は、移動体Ｍを移動させる駆動装置である。第１駆動装置３は、第１電動モータ４と、第１動力変換機構５と、第１供給電力制御装置６（図２参照）と、第１位置計測装置７（図２参照）と、第１信号補正装置８（図２参照）とを有する。

【0036】

第１電動モータ４は、移動体Ｍを移動させる駆動力を発生させるアクチュエータである。第１電動モータ４は、案内装置２における一対のレール２ａのうち一方のレール２ａの近傍に位置している。第１電動モータ４は、ボールねじ軸等の第１動力変換機構５を介して移動体Ｍの一方の端部に連結されている。第１電動モータ４は、図示しない可動子の回転運動を第１動力変換機構５によって直進運動に変換して移動体Ｍの一方の端部に伝達する。つまり、第１電動モータ４は、可動子の回転移動によって移動体Ｍの一方の端部を一方のレール２ａの延伸方向に移動可能に構成されている。

【0037】

図２に示すように、第１供給電力制御装置６は、第１電動モータ４に電力Ｖ１を供給する供給電力制御装置（モータアンプ）である。第１供給電力制御装置６は、第１電動モータ４と電気的に接続されている。第１供給電力制御装置６は、任意の大きさの電力Ｖ１を第１電動モータ４に供給可能である。つまり、第１供給電力制御装置６は、第１電動モータ４の可動子を任意の回転位置に移動可能である。

【0038】

図１と図２とに示すように、第１位置計測装置７は、第１電動モータ４の可動子の位置を計測する光学式のリニアスケールによって構成される位置計測装置である。第１位置計測装置７は、スケール７ａと、スケール７ａの目盛を読み取る度に位置パルスを出力する検出器７ｂとから構成されている。検出器７ｂは、第１電動モータ４が第１動力変換機構５を介して連結されている移動体Ｍの一方の端部に固定されている。スケール７ａは、図示しない製造装置であって案内装置２の一方のレール２ａの近傍に固定されている。これにより、第１位置計測装置７は、移動体Ｍの一方の端部のスケール７ａに対する位置を計測可能である。つまり、第１位置計測装置７は、スケール７ａに対する移動体Ｍの一方の端部の位置から第１電動モータ４の可動子の回転位置を間接的に計測可能である。第１位置計測装置７の検出器７ｂは、第１信号補正装置８を介して第１供給電力制御装置６と電気的に接続されている。よって、第１位置計測装置７は、第１電動モータ４の可動子の回転位置として第１位置パルス列信号Ｓ１を第１供給電力制御装置６に対して出力可能に構成されている。

【0039】

図２に示すように、第１信号補正装置８は、第１位置パルス列信号Ｓ１を補正する信号補正装置である。第１信号補正装置８は、第１位置計測装置７に電気的に接続されている。第１信号補正装置８は、第１位置計測装置７が第１供給電力制御装置６に対して出力した第１位置パルス列信号Ｓ１を取得可能に構成されている。また、第１信号補正装置８は、第１供給電力制御装置６に電気的に接続されている。第１信号補正装置８は、補正した第１位置パルス列信号Ｓ１である第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１を第１供給電力制御装置６に対して出力可能に構成されている。つまり、第１位置計測装置７が第１供給電力制御装置６に対して出力した第１位置パルス列信号Ｓ１は、第１信号補正装置８を経由して第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１として第１供給電力制御装置６に伝達される。

【0040】

第１信号補正装置８は、所定の環境温度Ｔ１において、第１位置パルス列信号Ｓ１を補正するための第１補正式Ｆ１を有している。第１補正式Ｆ１は、所定の環境温度Ｔ１において、移動体Ｍの一方の端部が移動体Ｍの移動範囲における基準となる原点位置から任意の位置に移動する際に第１位置計測装置７が出力する第１位置パルス列信号Ｓ１のパルス数と、熱収縮がない場合での前記原点位置から任意の位置までの距離との関係についての情報である。

【0041】

第１補正式Ｆ１は、スケール７ａが、例えば環境温度２３℃で外力が加わっていない場合の伸縮状態（以下、単に「基準状態」と記す）において、熱収縮がない場合での前記原点位置から任意の位置までの距離と第１位置計測装置７における１パルス当りの移動体Ｍの移動距離とから算出される理論パルス数に対する、環境温度Ｔ１において前記任意の位置に移動された移動体Ｍの位置を第１位置計測装置７が計測した際の実パルス数の関係を示す式である。第１信号補正装置８は、第１位置計測装置７が計測した任意の位置におけるパルス数に基づいて算出した第１補正式Ｆ１を複数の環境温度毎に有している。第１信号補正装置８は、複数の第１補正式Ｆ１から環境温度Ｔ１に対応した第１補正式Ｆ１を選択する。また、第１信号補正装置８は、取得した第１位置パルス列信号Ｓ１を第１補正式Ｆ１に基づいて補正可能である。

【0042】

図１と図２とに示すように、第２駆動装置９は、移動体Ｍを移動させる駆動装置である。第２駆動装置９は、第２電動モータ１０と、第２動力変換機構１１と、第２供給電力制御装置１２と、第２位置計測装置１３と、第２信号補正装置１４とを有する。

【0043】

図１に示すように、第２電動モータ１０は、移動体Ｍを移動させる駆動力を発生させるアクチュエータである。第２電動モータ１０は、案内装置２における他方のレール２ａの近傍に位置している。第２電動モータ１０は、第２動力変換機構１１を介して移動体Ｍの他方の端部に連結されている。第２電動モータ１０は、可動子の回転運動を第２動力変換機構１１によって直進運動に変換して移動体Ｍの他方の端部に伝達する。つまり、第２電動モータ１０は、可動子の回転移動によって移動体Ｍの他方の端部を他方のレール２ａの延伸方向に移動可能に構成されている。

【0044】

図２に示すように、第２供給電力制御装置１２は、第２電動モータ１０に電力Ｖ２を供給する供給電力制御装置である。第２供給電力制御装置１２は、第２電動モータ１０と電気的に接続されている。第２供給電力制御装置１２は、任意の大きさの電力Ｖ２を第２電動モータ１０に供給可能である。つまり、第１供給電力制御装置６は、第２電動モータ１０の可動子を任意の回転位置に移動可能である。

【0045】

第２位置計測装置１３は、第２電動モータ１０の可動子の位置を計測する光学式のリニアスケール等から構成される位置計測装置である。第２位置計測装置１３は、スケール１３ａと、スケール１３ａの目盛を読み取る度に位置パルスを出力する検出器１３ｂとから構成されている。検出器１３ｂは、第２電動モータ１０が第２動力変換機構１１を介して連結されている移動体Ｍの他方の端部に固定されている。スケール１３ａは、案内装置２の他方のレール２ａに固定されている。これにより、第２位置計測装置１３は、移動体Ｍの他方の端部のスケール１３ａに対する位置を計測可能である。つまり、第２位置計測装置１３は、スケール１３ａに対する移動体Ｍの他方の端部の位置から第２電動モータ１０の可動子の回転位置を間接的に計測可能である。よって、第２位置計測装置１３は、第２電動モータ１０の可動子の回転位置として第２位置パルス列信号Ｓ２を第２供給電力制御装置１２に対して出力可能に構成されている。

【0046】

第２信号補正装置１４は、第２位置パルス列信号Ｓ２を補正する信号補正装置である。第２信号補正装置１４は、第２位置計測装置１３に電気的に接続されている。第２信号補正装置１４は、第２位置計測装置１３が第２供給電力制御装置１２に対して出力した第２位置パルス列信号Ｓ２を取得可能に構成されている。また、第２信号補正装置１４は、第２位置計測装置１３に電気的に接続されている。第２信号補正装置１４は、補正した第２位置パルス列信号Ｓ２である第２補正位置パルス列信号Ｓｃ２を第２供給電力制御装置１２に対して出力可能に構成されている。つまり、第２位置計測装置１３が第２供給電力制御装置１２に対して出力した第２位置パルス列信号Ｓ２は、第２信号補正装置１４を経由して第２補正位置パルス列信号Ｓｃ２として第２供給電力制御装置１２に伝達される。

【0047】

第２信号補正装置１４は、第２位置パルス列信号Ｓ２を補正するための第２補正式Ｆ２を環境温度毎に有している。第２補正式Ｆ２は、所定の環境温度Ｔ１において、移動体Ｍの他方の端部が移動体Ｍの移動範囲における基準となる原点位置から任意の位置に移動する際に第２位置計測装置１３が出力する第２位置パルス列信号Ｓ２のパルス数と、熱収縮がない場合での前記原点位置から任意の位置までの距離との関係についての情報である。第２信号補正装置１４は、複数の第２補正式Ｆ２から環境温度Ｔ１に対応した第２補正式Ｆ２を選択する。また、第２信号補正装置１４は、取得した第２位置パルス列信号Ｓ２を第２補正式Ｆ２に基づいて補正可能である。

【0048】

位置制御装置１５は、第１駆動装置３及び第２駆動装置９を制御する制御装置である。位置制御装置１５は、実体的には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等がバスで接続されている。または、位置制御装置１５は、ワンチップのＬＳＩ等からなる構成であってもよい。位置制御装置１５は、第１駆動装置３及び第２駆動装置９の動作を制御するために種々のプログラムおよびデータが格納されている。位置制御装置１５は、第１位置計測装置７のスケール７ａ及び第２位置計測装置１３のスケール１３ａが基準状態において、第１電動モータ４及び第２電動モータ１０の可動子の目標位置におけるパルス数に関する位置制御信号Ｓｔを生成可能である。

【0049】

位置制御装置１５は、第１駆動装置３の第１供給電力制御装置６及び第２駆動装置９の第２供給電力制御装置１２に電気的に接続されている。位置制御装置１５は、第１供給電力制御装置６及び第２供給電力制御装置１２に、位置制御信号Ｓｔを送信可能である。

【0050】

このように構成される搬送装置１は、位置制御装置１５から第１駆動装置３及び第２駆動装置９に対して位置制御信号Ｓｔを送信する。位置制御信号Ｓｔを取得した第１駆動装置３の第１供給電力制御装置６は、第１位置計測装置７から現在位置における第１位置パルス列信号Ｓ１を取得する。この際、第１駆動装置３は、第１信号補正装置８によって第１位置パルス列信号Ｓ１を補正する。第１供給電力制御装置６は、位置制御信号Ｓｔと第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１との差分に基づいて第１電動モータ４に電力Ｖ１を供給する。同様に、位置制御信号Ｓｔを取得した第２駆動装置９の第２供給電力制御装置１２は、第２位置計測装置１３から現在位置における第２位置パルス列信号Ｓ２を取得する。この際、第２駆動装置９は、第２信号補正装置１４によって第２位置パルス列信号Ｓ２を補正する。第２供給電力制御装置１２は、位置制御信号Ｓｔと第２補正位置パルス列信号Ｓｃ２との差分に基づいて第２電動モータ１０に電力Ｖ２を供給する。

【0051】

次に、図２から図４を用いて、搬送装置１における移動体Ｍの搬送制御について説明する。なお、搬送装置１は、環境温度Ｔ１において移動体Ｍを搬送するものとする。

【0052】

図２に示すように、搬送装置１の位置制御装置１５は、第１駆動装置３及び第２駆動装置９に対して、移動体Ｍを目標位置に移動させる位置制御信号Ｓｔを出力する。第１駆動装置３の第１位置計測装置７は、第１供給電力制御装置６に対して第１位置パルス列信号Ｓ１を出力する。第２駆動装置９の第２位置計測装置１３は、第２供給電力制御装置１２に対して第２位置パルス列信号Ｓ２を出力する。

【0053】

図３に示すように、環境温度Ｔ１において、第１位置計測装置７は、スケール７ａの熱収縮の影響により、熱収縮がない場合での原点位置から１００ｍｍの位置において４μｍ分大きな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から２００ｍｍの位置において６μｍ分大きな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から３００ｍｍの位置において８μｍ分大きな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から４００ｍｍの位置において６μｍ分大きな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から５００ｍｍの位置において熱伸縮の影響がない値を計測し、スケール７ａの熱膨張の影響により、熱収縮がない場合での前記原点位置から６００ｍｍの位置において８μｍ分小さな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から７００ｍｍの位置において熱伸縮の影響がない値を計測することが予め確認されている（破線参照）。

【0054】

上述のように伸縮する第１位置計測装置７に対して、第１信号補正装置８は、複数の第１補正式Ｆ１のうち環境温度Ｔ１における第１位置計測装置７の誤差を補正するための第１補正式Ｆ１を選択する（図２参照）。例えば、スケール７ａが収縮した第１位置計測装置７が前記原点位置から１００．０００ｍｍの位置に相当する第１位置パルス列信号Ｓ１を出力した際、移動体Ｍの一方の端部は、前記原点位置から９９．９９６ｍｍの位置に移動している。

【0055】

第１信号補正装置８は、前記原点位置から１００．０００ｍｍの位置に相当する第１位置パルス列信号Ｓ１を第１位置計測装置７から取得すると、第１補正式Ｆ１によって第１位置パルス列信号Ｓ１を前記原点位置から９９．９９６ｍｍの位置に相当する第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１に補正する。つまり、第１信号補正装置８は、第１位置パルス列信号Ｓ１から４μｍ分の補正に必要な位置パルス数を減算補正した第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１を第１供給電力制御装置６に対して出力する（図３の実線参照）。このように、第１信号補正装置８は、第１位置計測装置７のスケール７ａの収縮によって移動体Ｍの一方の端部が第１位置パルス列信号Ｓ１から算出される位置よりも原点位置に近い位置に移動される場合、スケール７ａの伸縮分を移動させるために第１位置パルス列信号Ｓ１から補正に必要な位置パルス数を減算した第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１を生成する。

【0056】

また、スケール７ａが延伸した第１位置計測装置７が前記原点位置から６００．００ｍｍの位置に相当する第１位置パルス列信号Ｓ１を出力した際、移動体Ｍの一方の端部は、前記原点位置から６００．００８ｍｍの位置に移動している。

【0057】

第１信号補正装置８は、前記原点位置から６００．０００ｍｍの位置に相当する第１位置パルス列信号Ｓ１を第１位置計測装置７から取得すると、第１補正式Ｆ１によって第１位置パルス列信号Ｓ１を前記原点位置から６００．００８ｍｍの位置に相当する第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１に補正する。つまり、第１信号補正装置８は、第１位置パルス列信号Ｓ１から８μｍ分の補正に必要な位置パルス数を加算補正した第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１を第１供給電力制御装置６に対して出力する（図３の実線参照）。このように、第１信号補正装置８は、第１位置計測装置７がスケール７ａの延伸によって移動体Ｍの一方の端部が第１位置パルス列信号Ｓ１から算出される位置よりも原点位置から遠い位置に移動される場合、スケール７ａの延伸分を移動させないために第１位置パルス列信号Ｓ１から補正に必要な位置パルス数を加算して第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１を生成する。

【0058】

図４に示すように、環境温度Ｔ１において、第２位置計測装置１３は、スケール１３ａの熱収縮の影響により、熱収縮がない場合での原点位置から１００ｍｍの位置において４μｍ分大きな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から２００ｍｍの位置において５μｍ分大きな値を計測し、スケール１３ａの熱膨張の影響により熱収縮がない場合での前記原点位置から３００ｍｍの位置において３μｍ分小さな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から４００ｍｍの位置において８μｍ分小さな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から５００ｍｍの位置において１０μｍ分小さな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から６００ｍｍの位置において８μｍ小さな値を計測し、熱収縮がない場合での前記原点位置から７００ｍｍの位置において１μｍ小さな値を計測することが予め確認されている（二点鎖線参照）。

【0059】

伸縮する第２位置計測装置１３に対して、第２信号補正装置１４は、複数の第２補正式Ｆ２のうち環境温度Ｔ１における第２位置計測装置１３の誤差を補正するための第２補正式Ｆ２を選択する（図２参照）。例えば、スケール１３ａが収縮した第２位置計測装置１３が前記原点位置から１００．０００ｍｍの位置に相当する第２位置パルス列信号Ｓ２を出力した際、移動体Ｍの他方の端部は、前記原点位置から９９．９９６ｍｍの位置に移動している。

【0060】

第２信号補正装置１４は、前記原点位置から１００．０００ｍｍの位置に相当する第２位置パルス列信号Ｓ２を前記原点位置から９９．９９６ｍｍの位置に相当する第２補正位置パルス列信号Ｓｃ２に補正する。つまり、第２位置計測装置１３は、第２位置パルス列信号Ｓ２から４μｍ分の補正に必要な位置パルス数を減算補正した第２補正位置パルス列信号Ｓｃ２を第２供給電力制御装置１２に対して出力する（破線参照）。

【0061】

また、スケール１３ａが延伸した第２位置計測装置１３が前記原点位置から５００．０００ｍｍの位置に相当する第１位置パルス列信号Ｓ１を出力した際、移動体Ｍの一方の端部は、前記原点位置から５００．０１０ｍｍの位置に移動している。

【0062】

第２信号補正装置１４は、前記原点位置から５００．０００ｍｍの位置に相当する第２位置パルス列信号Ｓ２を第２位置計測装置１３から取得すると、第２補正式Ｆ２によって第２位置パルス列信号Ｓ２を前記原点位置から５００．０１０ｍｍの位置に相当する第２補正位置パルス列信号Ｓｃ２に補正する。つまり、第２位置計測装置１３は、第２位置パルス列信号Ｓ２から１０μｍ分の補正に必要な位置パルス数を加算補正した第２補正位置パルス列信号Ｓｃ２を第２供給電力制御装置１２に対して出力する（破線参照）。

【0063】

図２に示すように、第１供給電力制御装置６は、位置制御信号Ｓｔと第１補正位置パルス列信号Ｓｃ１との差分に基づいて、第１電動モータ４に電力Ｖ１を供給する。第２供給電力制御装置１２は、位置制御信号Ｓｔと第２補正位置パルス列信号Ｓｃ２との差分に基づいて、第２電動モータ１０に電力Ｖ２を供給する。移動体Ｍは、第１電動モータ４と第２電動モータ１０とによって目的位置に向かって移動する。

【0064】

この際、第１電動モータ４の可動子の移動量は、第１位置計測装置７が第１位置パルス列信号Ｓ１を出力している間、常に第１信号補正装置８によって理論パルス数と一致するように補正されるので、第１位置計測装置７の熱による伸縮の影響が抑制される。同様に、第２電動モータ１０の可動子の移動量は、第２位置計測装置１３が第２位置パルス列信号Ｓ２を出力している間、常に第２信号補正装置１４によって理論パルス数と一致するように補正されるので、第２位置計測装置１３の熱による伸縮の影響が抑制される。つまり、搬送装置１は、第１駆動装置３において第１位置計測装置７のスケール７ａの伸縮を打ち消し、第２駆動装置９において第２位置計測装置１３のスケール１３ａの伸縮を打ち消した状態において移動体Ｍを移動させる。

【0065】

このように構成される搬送装置１は、1つの位置制御信号Ｓｔを第１駆動装置３と第２駆動装置９とに同時に送信している。更に、搬送装置１は、位置制御信号Ｓｔに基づいて第１駆動装置３が第１位置パルス列信号Ｓ１を補正し、第２駆動装置９が第２位置パルス列信号Ｓ２を補正している。よって、搬送装置１は、第１駆動装置３と第２駆動装置９とを同期させるための制御機器を用いることなく第１電動モータ４と第２電動モータ１０とを同期させることができる。

【0066】

また、第１駆動装置３と第２駆動装置９とは、第１位置計測装置７及び第２位置計測装置１３がパルス列信号を出力している間、第１信号補正装置８と第２信号補正装置１４とによって常に第１位置パルス列信号Ｓ１と第２位置パルス列信号Ｓ２とを補正している。したがって、搬送装置１は、様々な環境温度において移動体Ｍを原点位置から任意の位置まで移動させる際、第１位置計測装置７のスケール７ａ及び第２位置計測装置１３のスケール１３ａの伸縮による単位時間当たりの移動量の変動を抑制した状態において熱収縮がない場合での前記原点位置から任意の位置までの距離を移動させることができる。つまり、搬送装置１は、前記原点位置から任意の位置までの移動中の移動体Ｍの速度及び姿勢を安定させることができる。

【0067】

第１信号補正装置８及び第２信号補正装置１４は、補正に必要な位置パルス数を第１位置パルス列信号Ｓ１及び第２位置パルス列信号Ｓ２に加算または減算して補正する。よって、第１信号補正装置８及び第２信号補正装置１４は、第１位置パルス列信号Ｓ１及び第２位置パルス列信号Ｓ２を補正するために必要な処理時間にばらつきがない。また、第１信号補正装置８及び第２信号補正装置１４は、補正位置パルス列信号を遅滞なく速やかに第１供給電力制御装置６及び第２供給電力制御装置１２に対して出力することができる。

【0068】

第１信号補正装置８及び第２信号補正装置１４は、移動体Ｍが移動される環境温度毎に第１補正式Ｆ１と第２補正式Ｆ２とを有している。第１信号補正装置８及び第２信号補正装置１４は、移動体Ｍが任意の位置にいる場合において第１位置計測装置７及び第２位置計測装置１３が出力する第１位置パルス列信号Ｓ１及び第２位置パルス列信号Ｓ２のパルス数を第１補正式Ｆ１及び第２補正式Ｆ２によって継ぎ目なく連続して補正することができる。これにより、位置制御装置１５が出力する１つの位置制御信号Ｓｔに基づいて、第１駆動装置３と第２駆動装置９とによる移動体Ｍの移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【0069】

次に、図５を用いて、本発明の実施形態２に係る搬送装置１Ａについて説明する。図５は、搬送装置１Ａの制御構成を示すブロック図である。なお、以下の実施形態において、既に説明した実施形態と同様の点に関してはその具体的説明を省略し、相違する部分を中心に説明する。

【0070】

図５に示すように、第１信号補正装置８Ａは、第１位置パルス列信号Ｓ１を補正する装置である。第１信号補正装置８Ａは、第１位置パルス列信号Ｓ１を補正するための第１補正テーブルＮ１を有している。第１補正テーブルＮ１は、所定の環境温度Ｔ１において移動体Ｍの一方の端部が移動体Ｍの移動範囲における基準となる原点位置から任意の位置に移動する際に、環境温度Ｔ１によって熱伸縮した第１位置計測装置７が出力する第１位置パルス列信号Ｓ１のパルス数と、熱収縮がない場合での前記原点位置から任意の位置までの距離との関係を示す情報である。

【0071】

第１補正テーブルＮ１は、第１位置計測装置７のスケール７ａが基準状態において、前記原点位置から任意の位置までの距離と第１位置計測装置７における１パルス当りの移動距離とから算出される理論パルス数と、環境温度Ｔ１において任意の位置に移動された移動体Ｍの位置を第１位置計測装置７が計測した際の実パルス数との差分を任意の位置毎に示すテーブルである。第１信号補正装置８Ａは、第１位置計測装置７が計測した任意の位置におけるパルス数に基づいて算出した第１補正テーブルＮ１を複数の環境温度毎に有している。第１信号補正装置８Ａは、複数の第１補正テーブルＮ１から環境温度Ｔ１に対応した第１補正テーブルＮ１を選択可能である。また、第１信号補正装置８Ａは、取得した第１位置パルス列信号Ｓ１を第１補正テーブルＮ１に基づいて補正可能である。

【0072】

第２信号補正装置１４Ａは、第２位置パルス列信号Ｓ２を補正する装置である。第２信号補正装置１４Ａは、第２位置パルス列信号Ｓ２を補正するための第２補正テーブルＮ２を環境温度毎に有している。第２補正テーブルＮ２は、所定の環境温度Ｔ１において移動体Ｍの他方の端部が移動体Ｍの移動範囲における基準となる原点位置から任意の位置に移動する際に、第２位置計測装置１３が出力する第２位置パルス列信号Ｓ２のパルス数と、熱収縮がない場合での前記原点位置から任意の位置までの距離との関係を示す情報である。第２補正テーブルＮ２は、第２信号補正装置１４Ａのスケール１４ａが基準状態において、熱収縮がない場合での前記原点位置から任意の位置までの距離と第２位置計測装置１３における１パルス当りの移動距離とから算出される理論パルス数と、環境温度Ｔ１において任意の位置に移動された移動体Ｍの位置を第２位置計測装置１３が計測した際の実パルス数との差分を任意の位置毎に示すテーブルである。第２信号補正装置１４Ａは、複数の第２補正テーブルＮ２から環境温度Ｔ１に対応した第２補正テーブルＮ２を選択可能である。また、第２信号補正装置１４Ａは、取得した第２位置パルス列信号Ｓ２を第２補正テーブルＮ２に基づいて補正可能である。

【0073】

このように構成される第１信号補正装置８Ａは、移動体Ｍが任意の位置にいる場合において、複数の第１補正テーブルＮ１のうち環境温度Ｔ１における第１位置計測装置７の誤差を補正するための第１補正テーブルＮ１を選択する。第１信号補正装置８Ａは、第１位置計測装置７が出力する第１位置パルス列信号Ｓ１を選択した第１補正テーブルＮ１で補正する。第２信号補正装置１４Ａは、複数の第２補正テーブルＮ２のうち環境温度Ｔ１における第２位置計測装置１３の誤差を補正するための第２補正テーブルＮ２を選択する。第２信号補正装置１４Ａは、第２位置計測装置１３が出力する第２位置パルス列信号Ｓ２を選択した第２補正テーブルＮ２によって補正する。よって、第１信号補正装置８Ａ及び第２信号補正装置１４Ａは、第１位置計測装置７が出力する第１位置パルス列信号Ｓ１を第１補正テーブルＮ１に当てはめることによって計算誤差なく補正することができる。第２位置パルス列信号Ｓ２についても同様である。これにより、位置制御装置１５が出力する１つの位置制御信号Ｓｔに基づいて、第１駆動装置３と第２駆動装置９とによる移動体Ｍの移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【0074】

（その他の実施形態）
なお、上述の全ての実施形態において、搬送装置１は、第１駆動装置３と第２駆動装置９とによって移動体Ｍを移動可能に構成されている。しかしながら、搬送装置１は、少なくとも１つの駆動装置を有していればよい。搬送装置１は、１つの駆動装置によって移動体Ｍを移動させる構成でも、３つ以上の駆動装置によって移動体Ｍを移動させる構成でもよい。

【0075】

また、上述の全ての実施形態において、第１信号補正装置８、８Ａは、環境温度毎に第１位置計測装置７の誤差を補正するための第１補正式Ｆ１または第１補正テーブルＮ１を有している。同様に、第２信号補正装置１４、１４Ａは、環境温度毎に第２位置計測装置１３の誤差を補正するための第２補正式Ｆ２または第２補正テーブルＮ２を有している。しかしながら、第１信号補正装置及び第２信号補正装置は、移動体Ｍが移動される様々な条件毎に補正式または補正テーブルを有していてもよい。第１信号補正装置及び第２信号補正装置は、例えば、移動体の重量、移動体の移動パターン毎に補正式または補正テーブルを有していてもよい。

【0076】

また、上述の全ての実施形態において、搬送装置１は、案内装置２によって移動可能に支持された移動体Ｍを第１駆動装置３及び第２駆動装置９によって移動させている。しかしながら、搬送装置は、第１移動装置の第１電動モータ及び第２移動装置の第２電動モータを、案内ガイドを有する直動のリニアモータで構成してもよい。搬送装置は、第１駆動装置と第２駆動装置とによって移動体を案内しつつ、移動可能に構成されている。

【0077】

また、上述の全ての実施形態において、第１駆動装置３の第１電動モータ４及び第２駆動装置９の第２電動モータ１０は、第１動力変換機構５及び第２動力変換機構１１を介して回転運動を直進運動に変換している。しかしながら、駆動装置は、動力変換機構を介さずに移動体Ｍを電動モータによって移動させる構成でもよい。駆動装置は、例えば電動モータを直動のリニアモータで構成してもよい。

【0078】

また、上述の全ての実施形態において、第１位置計測装置７及び第２位置計測装置１３は、光学式リニアスケールから構成されている。しかしながら、第１位置計測装置及び第２位置計測装置は、可動子の位置を計測できるものであれば、磁気式リニアスケール、光学式または磁気式のロータリエンコーダでもよい。

【0079】

以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。

【符号の説明】

【0080】

１、１Ａ 搬送装置
２ 案内装置
３ 第１駆動装置
４ 第１電動モータ
５ 第１動力変換機構
６ 第１供給電力制御装置
７ 第１位置計測装置
８、８Ａ 第１信号補正装置
９ 第２駆動装置
１０ 第２電動モータ
１１ 第２動力変換機構
１２ 第２供給電力制御装置
１３ 第２位置計測装置
１４、１４Ａ 第２信号補正装置
１５ 位置制御装置
Ｍ 移動体
Ｆ１ 第１補正式
Ｆ２ 第２補正式
Ｓｔ 位置制御信号
Ｓ１ 第１位置パルス列信号
Ｓｃ１ 第１補正位置パルス列信号
Ｓ２ 第２位置パルス列信号
Ｓｃ２ 第２補正位置パルス列信号
Ｎ１ 第１補正テーブル
Ｎ２ 第２補正テーブル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】