特開 2023-128075 冷却モジュール、前処理装置および前処理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023128075

(43)【公開日】2023-09-14

(54)【発明の名称】冷却モジュール、前処理装置および前処理方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 1/42 20060101AFI20230907BHJP

【ＦＩ】

G01N1/42

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022032142

(22)【出願日】2022-03-02

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100108523

【弁理士】

【氏名又は名称】中川 雅博

(74)【代理人】

【識別番号】100125704

【弁理士】

【氏名又は名称】坂根 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100187931

【弁理士】

【氏名又は名称】澤村 英幸

(72)【発明者】

【氏名】日野岳 要

【テーマコード（参考）】

2G052

【Ｆターム（参考）】

2G052DA32

2G052EB13

2G052GA27

2G052HC04

2G052HC22

2G052JA08

2G052JA20

(57)【要約】

【課題】試料の前処理を適切に行うことが可能な冷却モジュール、前処理装置および前処理方法を提供する。
【解決手段】
冷却モジュール１００は、基台部１０、冷却面部２０および蝶番部３０を備える。冷却面部２０は、第１の姿勢にある状態において、上面に載置された処理対象を冷却する。蝶番部３０は、基台部１０に取り付けられる。蝶番部３０は、冷却面部２０を第１の姿勢と、第２の姿勢との間で回動可能に支持する。第２の姿勢においては、冷却面部２０は、第１の姿勢よりも水平面に対して大きく傾斜する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基台部と、
第１の姿勢にある状態において、上面に載置された処理対象を冷却する冷却面部と、
前記基台部に取り付けられ、前記冷却面部を前記第１の姿勢と、前記第１の姿勢よりも水平面に対して大きく傾斜する第２の姿勢との間で回動可能に支持する蝶番部とを備える、冷却モジュール。

【請求項2】

前記第１の姿勢は水平姿勢である、請求項１記載の冷却モジュール。

【請求項3】

前記蝶番部は、トルクヒンジである、請求項１または２記載の冷却モジュール。

【請求項4】

前記冷却面部は、前記上面に凹部を有し、
前記凹部内には、前記冷却面部を貫通する孔部が形成される、請求項１～３のいずれか一項に記載の冷却モジュール。

【請求項5】

前記孔部は、前記蝶番部の回動軸に直交する方向において、前記蝶番部に最も近い前記凹部内の部分に位置する、請求項４記載の冷却モジュール。

【請求項6】

処理対象に前処理を行う前処理装置であって、
請求項１～５のいずれか一項に記載の冷却モジュールと、
前記冷却モジュールの前記冷却面部を前記第１の姿勢と前記第２の姿勢との間で回動させるアームとを備える、前処理装置。

【請求項7】

処理対象に前処理を行う前処理装置であって、
請求項４または５記載の冷却モジュールと、
前記冷却モジュールにおける前記冷却面部の前記孔部に捕集される液体を吸引するポンプとを備える、前処理装置。

【請求項8】

前記冷却モジュールの前記冷却面部を前記第１の姿勢と前記第２の姿勢との間で回動させるアームをさらに備える、請求項７記載の前処理装置。

【請求項9】

前記アームを含み、当該アームにより前記処理対象を搬送する搬送部をさらに備える、請求項６または８記載の前処理装置。

【請求項10】

処理対象を冷却する冷却モジュールの基台部に取り付けられた蝶番部により支持された冷却面部が第１の姿勢になるように前記蝶番部を回動させることと、
前記冷却面部の上面に前記処理対象を載置することと、
前記冷却面部から前記処理対象を搬出することと、
前記蝶番部により支持された前記冷却面部が前記第１の姿勢よりも水平面に対して大きく傾斜する第２の姿勢になるように前記蝶番部を回動させることとを含む、前処理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、冷却モジュール、前処理装置および前処理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

クロマトグラフ等の分析装置を用いた試料の分析においては、前処理装置により試料の前処理が行われることがある。例えば、特許文献１に記載された試料前処理装置においては、試料が収容された複数のバイアルを保持するバイアルラックが温調プレート上に載置される。これにより、各バイアルに収容された試料が冷却される。その後、試料は搬送装置機構により複数の処理ユニットに順次搬送される。これにより、試料に所定の前処理が順次行われる。前処理後の試料は、搬送装置機構により分析装置のオートサンプラに搬送される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０２０／０９０１５９号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の試料前処理装置においては、温調プレートに結露が発生することにより、温調プレート上に載置されたバイアルラックに水滴が付着する。そのため、温調プレートからバイアルラックが搬出される際に、バイアルラックから他の処理ユニットに載置されたマイクロプレート等に水滴が落下すると、汚染による前処理不良が発生する。また、結露による水滴が温調プレートに溜まると、温調プレートに温度ムラが発生する。この場合、複数のバイアルの試料を均一に冷却することができない。

【0005】

本発明の目的は、試料の前処理を適切に行うことが可能な冷却モジュール、前処理装置および前処理方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様は、基台部と、第１の姿勢にある状態において、上面に載置された処理対象を冷却する冷却面部と、前記基台部に取り付けられ、前記冷却面部を前記第１の姿勢と、前記第１の姿勢よりも水平面に対して大きく傾斜する第２の姿勢との間で回動可能に支持する蝶番部とを備える、冷却モジュールに関する。

【0007】

本発明の他の態様は、処理対象に前処理を行う前処理装置であって、上記の冷却モジュールと、前記冷却モジュールの前記冷却面部を前記第１の姿勢と前記第２の姿勢との間で回動させるアームとを備える、前処理装置に関する。

【0008】

本発明のさらに他の態様は、処理対象に前処理を行う前処理装置であって、上記の冷却モジュールと、前記冷却モジュールにおける前記冷却面部の前記孔部に捕集される液体を吸引するポンプとを備える、前処理装置に関する。

【0009】

本発明のさらに他の態様は、処理対象を冷却する冷却モジュールの基台部に取り付けられた蝶番部により支持された冷却面部が第１の姿勢になるように前記蝶番部を回動させることと、前記冷却面部の上面に前記処理対象を載置することと、前記冷却面部から前記処理対象を搬出することと、前記蝶番部により支持された前記冷却面部が前記第１の姿勢よりも水平面に対して大きく傾斜する第２の姿勢になるように前記蝶番部を回動させることとを含む、前処理方法に関する。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、試料の前処理を適切に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一実施の形態に係る前処理装置の概略構成を示すブロック図である。

【図2】図１の冷却モジュールを示す外観斜視図である。

【図3】図２の冷却モジュールを示す平面図である。

【図4】冷却モジュールの動作を説明するための図である。

【図5】冷却モジュールの動作を説明するための図である。

【図6】図１の制御装置の構成を示す図である。

【図7】制御装置の制御動作の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0012】

（１）前処理装置の構成
以下、本発明の実施の形態に係る冷却モジュール、前処理装置および前処理方法について図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係る前処理装置の概略構成を示すブロック図である。図１に示すように、前処理装置２００は、冷却モジュール１００、複数の処理モジュール１１０、搬送部１２０、ポンプ１３０および制御装置１４０を備える。

【0013】

冷却モジュール１００には、試料に添加されるべき試薬を収容するプレートが載置される。冷却モジュール１００は、載置されたプレートを冷却する。これにより、プレートに収容された試薬が所定の温度に冷却される。複数の処理モジュール１１０は、処理対象の試料に異なる前処理を行う。前処理は、分注、試薬の添加、撹拌およびろ過等を含む。搬送部１２０は、試薬または試料が収容されたプレートを冷却モジュール１００および複数の処理モジュール１１０の間で搬送する。これにより、試料に所定の前処理が順次行われる。

【0014】

ポンプ１３０は、例えばチューブポンプであり、冷却モジュール１００において結露により発生した水滴の除去に用いられる。冷却モジュール１００の詳細な構成については後述する。制御装置１４０は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリ、またはマイクロコンピュータを含み、冷却モジュール１００、各処理モジュール１１０、搬送部１２０およびポンプ１３０の動作を制御する。

【0015】

（２）冷却モジュールの構成
図２は、図１の冷却モジュール１００を示す外観斜視図である。図２に示すように、冷却モジュール１００は、基台部１０、冷却面部２０、蝶番部３０、冷却部４０およびファン５０を含む。本例では、基台部１０は、内部に空間が形成された略直方体形状のケーシングであり、上部に開口を有する。

【0016】

冷却面部２０は、略矩形状の平板部材である。冷却面部２０の上面の中央部には凹部２１が形成される。これにより、冷却面部２０の上面の縁部は中央部よりも上方に突出する。冷却面部２０の上面の縁部には、試料または試薬等の処理対象が収容されたプレートが載置される。冷却面部２０は、上面の縁部に載置されたプレートを冷却する。

【0017】

蝶番部３０は、回動軸３１を有する。蝶番部３０は、回動軸３１が基台部１０の上部の開口を取り囲む上縁部の一辺に沿って延びる状態で、基台部１０の上縁部に設けられる。蝶番部３０は、回動軸３１を中心に冷却面部２０を第１の姿勢と第２の姿勢との間で回動可能に支持する。第２の姿勢においては、冷却面部２０は、第１の姿勢よりも水平面に対して大きく傾斜する。本例では、第１の姿勢は略水平姿勢である。

【0018】

冷却部４０およびファン５０は、基台部１０の内部の空間に収容される。本例では、冷却部４０は、ペルチェ素子であり、互いに反対方向を向く吸熱面と発熱面とを有する。冷却部４０は、吸熱面が冷却面部２０の下面と接する状態で、ネジ等により冷却面部２０に取り付けられる。冷却部４０が動作することにより、冷却面部２０が冷却される。ファン５０は、冷却部４０の発熱面と近接するように保持部材により冷却面部２０に保持される。ファン５０が動作することにより、冷却部４０の発熱面から発生する熱が放散される。

【0019】

図３は、図２の冷却モジュール１００を示す平面図である。図３に示すように、冷却面部２０の凹部２１内には、上下方向に貫通する孔部２２が形成される。冷却面部２０の下面には、孔部２２に連なるようにチューブ１３１（後述する図４参照）の一端部が接続される。チューブ１３１の他端部は、図１のポンプ１３０に接続される。孔部２２は、蝶番部３０の回動軸３１に直交する方向において、蝶番部３０に最も近い凹部２１内の部分に位置する。この位置は、冷却面部２０が第２の姿勢にあるときに、凹部２１内において最も低くなる位置である。

【0020】

本例では、冷却面部２０は、平面視において矩形状を有する。凹部２１は、平面視において４つの外縁２１ａ～２１ｄにより区画される台形状を有する。外縁２１ａ，２１ｂは、互いに対向し、冷却面部２０の長辺に平行に延びる。外縁２１ｂは、外縁２１ａよりも長い。外縁２１ｃは、冷却面部２０の短辺に平行に延び、外縁２１ａの一端部と外縁２１ｂの一端部とを接続する。外縁２１ｄは、外縁２１ａの他端部と外縁２１ｂの他端部とを接続する。外縁２１ｄは、外縁２１ｃよりも蝶番部３０の近くに位置する。

【0021】

この構成においては、凹部２１の外縁２１ｂと外縁２１ｄとにより成される角部の近傍が、蝶番部３０の回動軸３１に直交する方向において、凹部２１における蝶番部３０に最も近い部分となる。したがって、本例では、台形状の凹部２１において、外縁２１ｂと外縁２１ｄとにより成される角部の近傍に孔部２２が形成される。

【0022】

（３）冷却モジュールの動作
図４および図５は、冷却モジュール１００の動作を説明するための図である。図４に示すように、搬送部１２０は、一対のアーム１２１を有する。搬送部１２０は、冷却面部２０が第１の姿勢にあるときに、処理対象が収容されたプレート２１０の側面を一対のアーム１２１により把持してプレート２１０を冷却モジュール１００に搬入し、プレート２１０を冷却面部２０に載置する。この状態で、冷却モジュール１００が動作することにより、プレート２１０および処理対象が冷却される。

【0023】

ここで、結露により冷却面部２０の凹部２１に水滴が付着することがある。この場合でも、凹部２１はプレート２１０とは接触しないので、プレート２１０の底面には水滴がほとんど付着しない。冷却の終了後、搬送部１２０は、プレート２１０の側面をアーム１２１により把持してプレート２１０を冷却モジュール１００から搬出し、プレート２１０を他の処理モジュール１１０（図１）に搬送する。

【0024】

図５に示すように、搬送部１２０は、冷却モジュール１００からプレート２１０を搬出した後、冷却面部２０の側面をアーム１２１により把持して上方に引き上げる。この場合、冷却面部２０は、蝶番部３０の回動軸３１を中心に回動することにより、水平面に対して傾斜する第２の姿勢になる。なお、本例では、蝶番部３０は、フリーストップ機能を有するトルクヒンジである。したがって、搬送部１２０による冷却面部２０の把持が解除された後でも、冷却面部２０の姿勢が維持される。

【0025】

冷却面部２０が第２の姿勢にあるときには、孔部２２は、凹部２１内において最も低くなる部分に位置する。そのため、凹部２１に付着した水滴は、重力により凹部２１の底面、外縁２１ａ、外縁２１ｂおよび外縁２１ｃに沿って孔部２２に導かれ、孔部２２に捕集される。第２の姿勢にあるときの水平面に対する冷却面部２０の角度は、例えば１０度以上９０度以下であるが、凹部２１に付着した水滴を孔部２２に捕集可能である限り当該角度は特に限定されない。

【0026】

孔部２２に捕集された水滴は、チューブ１３１を通してポンプ１３０により吸引された後、廃棄される。これにより、凹部２１に付着した水滴を、孔部２２を通して除去することができる。凹部２１から水滴が除去された後、搬送部１２０は、冷却面部２０の側面をアーム１２１により把持して下方に引き下げる。この場合、冷却面部２０は、蝶番部３０の回動軸３１を中心に回動することにより、略水平に基台部１０の上部に載置される第１の姿勢となる。

【0027】

（４）制御部
図６は、図１の制御装置１４０の構成を示す図である。図６に示すように、制御装置１４０は、機能部として、搬送制御部１４１、回動制御部１４２、処理制御部１４３およびポンプ制御部１４４を含む。制御装置１４０のＣＰＵがメモリに記憶された前処理装置２００の制御プログラムを実行することにより、制御装置１４０の機能部が実現される。制御装置１４０の機能部の一部または全部が電子回路等のハードウエアにより実現されてもよい。

【0028】

搬送制御部１４１は、試薬または試料が収容されたプレートを冷却モジュール１００および複数の処理モジュール１１０の間で搬送するように搬送部１２０の動作を制御する。回動制御部１４２は、冷却モジュール１００の冷却面部２０（図２）が第１の姿勢と第２の姿勢との間で回動するように搬送部１２０の動作を制御する。

【0029】

処理制御部１４３は、試薬の冷却が実行されるように冷却部４０またはファン５０等の冷却モジュール１００の各部の動作を制御する。また、処理制御部１４３は、試料の前処理が実行されるように各処理モジュール１１０の動作を制御する。ポンプ制御部１４４は、冷却モジュール１００の冷却面部２０の孔部２２（図３）に捕集された水滴を、チューブ１３１を通して吸引するようにポンプ１３０の動作を制御する。

【0030】

図７は、制御装置１４０の制御動作の一例を示すフローチャートである。以下、図２の冷却モジュール１００、図６の制御装置１４０および図７のフローチャートを用いて、冷却モジュール１００に関連する制御装置１４０の制御動作を説明する。なお、初期状態では、冷却面部２０は第１の姿勢であるとする。

【0031】

まず、搬送制御部１４１は、搬送部１２０を制御することによりプレート２１０を冷却モジュール１００に搬入する（ステップＳ１）。搬入されたプレート２１０は、冷却モジュール１００の冷却面部２０の上面の縁部に載置される。次に、処理制御部１４３は、冷却モジュール１００の動作を制御することにより、ステップＳ１で搬入されたプレート２１０を冷却する（ステップＳ２）。この状態で、所定時間が経過することにより、プレート２１０の冷却が終了する。

【0032】

続いて、搬送制御部１４１は、搬送部１２０を制御することによりプレート２１０を冷却モジュール１００から搬出する（ステップＳ３）。搬出されたプレート２１０は、他の処理モジュール１１０に搬送される。その後、回動制御部１４２は、搬送部１２０を制御することにより、冷却面部２０を第２の姿勢に回動する（ステップＳ４）。この場合、結露により冷却面部２０の凹部２１に付着した水滴が孔部２２に捕集される。

【0033】

ポンプ制御部１４４は、ポンプ１３０を制御することにより、孔部２２に捕集された水滴をチューブ１３１を通して吸引する（ステップＳ５）。吸引された水滴は、外部に排出される。最後に、回動制御部１４２は、搬送部１２０を制御することにより、冷却面部２０を第１の姿勢に回動し（ステップＳ６）、ステップＳ１に戻る。

【0034】

上記の制御装置１４０の制御動作においては、冷却モジュール１００の冷却部４０およびファン５０はステップＳ２の期間にオンにされるが、実施の形態はこれに限定されない。冷却部４０またはファン５０は、ステップＳ２よりも前の時点でオンにされてもよいし、ステップＳ２よりも後の時点でオフにされてもよいし、常時オンにされていてもよい。同様に、ポンプ１３０は、ステップＳ５の期間にオンにされるが、実施の形態はこれに限定されない。ファン５０は、ステップＳ５よりも前の時点でオンにされてもよいし、ステップＳ５よりも後の時点でオフにされてもよいし、常時オンにされていてもよい。

【0035】

（５）効果
本実施の形態に係る冷却モジュール１００においては、プレート２１０を第１の姿勢の冷却面部２０の上面に載置することにより、プレート２１０を冷却することができる。冷却面部２０には、結露により水滴が付着することがある。この場合でも、冷却面部２０を第２の姿勢にすることにより、冷却面部２０に付着した水滴が除去される。そのため、水滴が冷却面部２０に溜まることが防止される。

【0036】

この構成によれば、結露により発生した水滴がプレート２１０に付着しない。したがって、プレート２１０を冷却モジュール１００から搬出した場合でも、処理対象から水滴が落下することがなく、他の処理対象を汚染することもない。また、水滴の付着に起因する冷却面部２０の温度ムラが発生しないので、プレート２１０を適切に冷却することが可能になる。その結果、処理モジュール１１０において試料の前処理を適切に行うことができる。また、水滴の付着に起因する冷却モジュール１００または前処理装置２００の故障を防止することができる。

【0037】

第１の姿勢時には、冷却面部２０は略水平になるので、処理対象を冷却面部２０の上面に安定的に載置することができる。そのため、処理対象を適切に冷却することができる。

【0038】

蝶番部３０の回動軸３１に直交する方向において、蝶番部３０に最も近い凹部２１内の部分には、冷却面部２０を貫通する孔部２２が形成される。この場合、冷却面部２０が第２の姿勢であるときに、孔部２２が凹部２１内において最も低くなる部分に位置する。したがって、冷却面部２０を第２の姿勢にすることにより、冷却面部２０に付着した水滴を、孔部２２を通してより確実に除去することができる。また、孔部２２に捕集される液体はポンプ１３０により吸引されるので、水滴を効率的に除去することができる。

【0039】

冷却面部２０の回動は、プレート２１０を搬送する搬送部１２０のアーム１２１により行われる。そのため、冷却モジュール１００の冷却面部２０を回動させるための構成を別途設ける必要がない。これにより、前処理装置２００のコストを低減させることができる。

【0040】

（６）他の実施の形態
（ａ）上記実施の形態において、冷却モジュール１００は前処理装置２００の一部として設けられるが、実施の形態はこれに限定されない。冷却モジュール１００は、前処理装置２００とは別個に単体で設けられてもよい。

【0041】

（ｂ）上記実施の形態において、冷却面部２０は第１の姿勢時に略水平になるが、実施の形態はこれに限定されない。冷却面部２０の上面にプレート２１０を安定的に載置可能である限り、冷却面部２０は、第１の姿勢時にわずかに水平面に対して傾斜していてもよい。

【0042】

（ｃ）上記実施の形態において、蝶番部３０はフリーストップ機能を有するトルクヒンジであるが、実施の形態はこれに限定されない。冷却面部２０の姿勢が搬送部１２０のアーム１２１等により維持される場合には、蝶番部３０はフリーストップ機能を有さなくてもよい。

【0043】

（ｄ）上記実施の形態において、孔部２２は冷却面部２０が第２の姿勢であるときに凹部２１内の最も低くなる部分に形成されるが、実施の形態はこれに限定されない。冷却面部２０に付着した水滴を除去可能である限り、孔部２２は冷却面部２０の他の位置に形成されてもよいし、凹部２１および孔部２２は形成されなくてもよい。あるいは、前処理装置２００にポンプ１３０が設けられなくてもよい。

【0044】

（ｅ）上記実施の形態において、冷却面部２０の回動はプレート２１０を搬送する搬送部１２０のアーム１２１により行われるが、実施の形態はこれに限定されない。冷却面部２０の回動は、プレート２１０を搬送する搬送部１２０のアーム１２１とは別に設けられたアームにより行われてもよい。あるいは、冷却面部２０の回動は、冷却モジュール１００または前処理装置２００に設けられたアクチュエータにより行われてもよいし、手動で行われてもよい。

【0045】

（７）態様
上記の複数の例示的な実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0046】

（第１項）一態様に係る冷却モジュールは、
基台部と、
第１の姿勢にある状態において、上面に載置された処理対象を冷却する冷却面部と、
前記基台部に取り付けられ、前記冷却面部を前記第１の姿勢と、前記第１の姿勢よりも水平面に対して大きく傾斜する第２の姿勢との間で回動可能に支持する蝶番部とを備えてもよい。

【0047】

この冷却モジュールにおいては、処理対象を第１の姿勢の冷却面部の上面に載置することにより、処理対象を冷却することができる。冷却面部には、結露により水滴が付着することがある。この場合でも、冷却面部を第２の姿勢にすることにより、冷却面部に付着した水滴が除去される。そのため、水滴が冷却面部に溜まることが防止される。

【0048】

この構成によれば、結露により発生した水滴が処理対象に付着しない。したがって、処理対象を冷却モジュールから搬出した場合でも、処理対象から水滴が落下することがなく、他の処理対象を汚染することもない。また、水滴の付着に起因する冷却面部の温度ムラが発生しないので、処理対象を適切に冷却することが可能になる。その結果、試料の前処理を適切に行うことができる。

【0049】

（第２項）第１項に記載の冷却モジュールにおいて、
前記第１の姿勢は水平姿勢であってもよい。

【0050】

この場合、冷却面部を第１の姿勢にすることにより、処理対象を冷却面部の上面に安定的に載置することができる。これにより、処理対象をより適切に冷却することができる。

【0051】

（第３項）第１項または第２項に記載の冷却モジュールにおいて、
前記蝶番部は、トルクヒンジであってもよい。

【0052】

この場合、冷却面部を任意の姿勢で容易に維持することができる。

【0053】

（第４項）第１項～第３項のいずれか一項に記載の冷却モジュールにおいて、
前記冷却面部は、前記上面に凹部を有し、
前記凹部内には、前記冷却面部を貫通する孔部が形成されてもよい。

【0054】

この場合、冷却面部に付着した水滴を、孔部を通して容易に除去することができる。

【0055】

（第５項）第４項に記載の冷却モジュールにおいて、
前記孔部は、前記蝶番部の回動軸に直交する方向において、前記蝶番部に最も近い前記凹部内の部分に位置してもよい。

【0056】

この場合、冷却面部が第２の姿勢であるときに、孔部が凹部内において最も低くなる部分に位置する。そのため、冷却面部に付着した水滴を、孔部を通してより確実に除去することができる。

【0057】

（第６項）前処理装置は、
処理対象に前処理を行う前処理装置であって、
第１項～第５項のいずれか一項に記載の冷却モジュールと、
前記冷却モジュールの前記冷却面部を前記第１の姿勢と前記第２の姿勢との間で回動させるアームとを備えてもよい。

【0058】

この前処理装置においては、アームが冷却モジュールの冷却面部を第１の姿勢に回動させることにより、冷却面部の上面に載置された処理対象を冷却することができる。また、アームが冷却面部を第２の姿勢に回動させることにより、冷却面部に付着した水滴が除去される。これにより、処理対象を適切に冷却することが可能になる。その結果、試料の前処理を適切に行うことができる。

【0059】

（第７項）前処理装置は、
処理対象に前処理を行う前処理装置であって、
第４項または第５項に記載の冷却モジュールと、
前記冷却モジュールにおける前記冷却面部の前記孔部に捕集される液体を吸引するポンプとを備えてもよい。

【0060】

この前処理装置においては、冷却面部に付着した水滴を、孔部を通してポンプにより効率的に除去することができる。これにより、処理対象を適切に冷却することが可能になる。その結果、試料の前処理を適切に行うことができる。

【0061】

（第８項）第７項に記載の前処理装置は、
前記冷却モジュールの前記冷却面部を前記第１の姿勢と前記第２の姿勢との間で回動させるアームをさらに備えてもよい。

【0062】

この場合、アームが冷却モジュールの冷却面部を第１の姿勢に回動させることにより、冷却面部の上面に載置された処理対象を冷却することができる。また、アームが冷却面部を第２の姿勢に回動させることにより、冷却面部に付着した水滴が除去される。これにより、処理対象を適切に冷却することが可能になる。その結果、試料の前処理を適切に行うことができる。

【0063】

（第９項）第６項または第８項に記載の前処理装置は、
前記アームを含み、当該アームにより前記処理対象を搬送する搬送部をさらに備えてもよい。

【0064】

この場合、処理対象を搬送する搬送部のアームにより、冷却モジュールの冷却面部を回動させることができる。そのため、冷却モジュールの冷却面部を回動させるための構成を別途設ける必要がない。これにより、前処理装置のコストを低減させることができる。

【0065】

（第１０項）前処理方法は、
処理対象を冷却する冷却モジュールの基台部に取り付けられた基台部により支持された冷却面部が第１の姿勢になるように前記基台部を回動させることと、
前記冷却面部の上面に前記処理対象を載置することと、
前記冷却面部から前記処理対象を搬出することと、
前記基台部により支持された前記冷却面部が前記第１の姿勢よりも水平面に対して大きく傾斜する第２の姿勢になるように前記基台部を回動させることとを含んでもよい。

【0066】

この前処理方法においては、冷却モジュールの冷却面部を第１の姿勢に回動させることにより、冷却面部の上面に載置された処理対象を冷却することができる。また、冷却面部を第２の姿勢に回動させることにより、冷却面部に付着した水滴が除去される。これにより、処理対象を適切に冷却することが可能になる。その結果、試料の前処理を適切に行うことができる。

【符号の説明】

【0067】

１０…基台部，２０…冷却面部，２１…凹部，２１ａ～２１ｄ…外縁，２２…孔部，３０…蝶番部，３１…回動軸，４０…冷却部，５０…ファン，１００…冷却モジュール，１１０…処理モジュール，１２０…搬送部，１２１…アーム，１３０…ポンプ，１３１…チューブ，１４０…制御装置，１４１…搬送制御部，１４２…回動制御部，１４３…処理制御部，１４４…ポンプ制御部，２００…前処理装置，２１０…プレート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】