特開 2023-128472 振動処理装置、ステージ駆動装置、振動処理方法、振動処理プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023128472

(43)【公開日】2023-09-14

(54)【発明の名称】振動処理装置、ステージ駆動装置、振動処理方法、振動処理プログラム

(51)【国際特許分類】

   G05D 3/12 20060101AFI20230907BHJP

【ＦＩ】

G05D3/12 305V

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022032833

(22)【出願日】2022-03-03

(71)【出願人】

【識別番号】000002107

【氏名又は名称】住友重機械工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105924

【弁理士】

【氏名又は名称】森下 賢樹

(74)【代理人】

【識別番号】100116274

【弁理士】

【氏名又は名称】富所 輝観夫

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼原 大地

(72)【発明者】

【氏名】柳川 敦志

(72)【発明者】

【氏名】近藤 章

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 まりの

【テーマコード（参考）】

5H303

【Ｆターム（参考）】

5H303AA01

5H303BB02

5H303BB07

5H303CC03

5H303DD08

5H303KK25

(57)【要約】

【課題】アクチュエータの更なる高精度化が可能な振動処理装置等を提供する。
【解決手段】振動処理装置３は、Ｘアクチュエータ１２０、Ｙアクチュエータ１３０の非駆動時の振動データを収集する振動データ収集部３１と、振動データの周波数解析を通じて、極大値が現れるピーク周波数を少なくとも一つ特定するピーク周波数特定部３２と、ピーク周波数を出力するピーク周波数出力部３３と、所定の抑制対象周波数の周波数成分を抑制可能なフィルタ４に対して、ピーク周波数出力部３３が出力したピーク周波数を抑制対象周波数としてＸアクチュエータ１２０、Ｙアクチュエータ１３０の非駆動時に設定する抑制対象周波数設定部３５と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

アクチュエータの非駆動時の振動データを収集する振動データ収集部と、
前記振動データの周波数解析を通じて、極大値が現れるピーク周波数を少なくとも一つ特定するピーク周波数特定部と、
前記ピーク周波数を出力するピーク周波数出力部と、
を備える振動処理装置。

【請求項2】

前記ピーク周波数出力部は、前記極大値が大きい方から所定数以下の前記ピーク周波数を出力する、請求項１に記載の振動処理装置。

【請求項3】

前記ピーク周波数出力部は、所定周波数以上の前記ピーク周波数を出力する、請求項１または２に記載の振動処理装置。

【請求項4】

所定の抑制対象周波数の周波数成分を抑制可能なフィルタに対して、前記ピーク周波数出力部が出力した前記ピーク周波数を前記抑制対象周波数として前記アクチュエータの非駆動時に設定する抑制対象周波数設定部を更に備える、請求項１から３のいずれかに記載の振動処理装置。

【請求項5】

前記ピーク周波数出力部は、前記ピーク周波数を表示する、請求項１から４のいずれかに記載の振動処理装置。

【請求項6】

前記ピーク周波数出力部は、前記ピーク周波数における前記極大値を表示する、請求項５に記載の振動処理装置。

【請求項7】

前記ピーク周波数出力部は、周波数解析された前記振動データと共に前記ピーク周波数を表示する、請求項５または６に記載の振動処理装置。

【請求項8】

前記ピーク周波数出力部は、周波数解析された前記振動データ上に前記極大値および／または前記ピーク周波数を指すマークを表示する、請求項５から７のいずれかに記載の振動処理装置。

【請求項9】

前記ピーク周波数出力部は、所定の抑制対象周波数の周波数成分を抑制可能なフィルタに対して、前記ピーク周波数を前記抑制対象周波数として設定する操作を受け付ける設定操作受付部を、当該ピーク周波数と共に表示する、請求項５から８のいずれかに記載の振動処理装置。

【請求項10】

アクチュエータと、
前記アクチュエータによって駆動されるステージと、
前記アクチュエータの非駆動時の振動データを収集する振動データ収集部と、
前記振動データの周波数解析を通じて、極大値が現れるピーク周波数を少なくとも一つ特定するピーク周波数特定部と、
前記ピーク周波数を出力するピーク周波数出力部と、
を備えるステージ駆動装置。

【請求項11】

アクチュエータの非駆動時の振動データを収集する振動データ収集ステップと、
前記振動データの周波数解析を通じて、極大値が現れるピーク周波数を少なくとも一つ特定するピーク周波数特定ステップと、
前記ピーク周波数を出力するピーク周波数出力ステップと、
を備える振動処理方法。

【請求項12】

アクチュエータの非駆動時の振動データを収集する振動データ収集ステップと、
前記振動データの周波数解析を通じて、極大値が現れるピーク周波数を少なくとも一つ特定するピーク周波数特定ステップと、
前記ピーク周波数を出力するピーク周波数出力ステップと、
をコンピュータに実行させる振動処理プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はアクチュエータの振動処理に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、半導体の製造に使用される露光装置におけるステージ駆動装置として、ステージ駆動時の共振周波数成分を自動的に除去できるものが開示されている。ステージを目標位置に駆動した際の信号解析を通じてステージ駆動に伴う共振が検知され、その周波数成分を除去するようにフィルタの周波数特性が自動的に調整される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３－２２８４２２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

半導体の微細化の進展に伴ってステージ駆動装置に求められる位置決め精度はますます高まっている。このように「超精密」なアクチュエータ（駆動装置）では、特許文献１で考慮されていたステージ駆動時の共振の他にも、アクチュエータ自体の構造や動作機構、アクチュエータの設置環境等に起因する撹乱要素が存在しうる。

【0005】

本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、アクチュエータの更なる高精度化が可能な振動処理装置等を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明のある態様の振動処理装置は、アクチュエータの非駆動時の振動データを収集する振動データ収集部と、振動データの周波数解析を通じて、極大値が現れるピーク周波数を少なくとも一つ特定するピーク周波数特定部と、ピーク周波数を出力するピーク周波数出力部と、を備える。

【0007】

この態様では、アクチュエータの非駆動時の振動データから撹乱要素となりうるピークが特定および出力されるため、その周波数成分を抑制する等のアクチュエータの更なる高精度化のためのアクションに繋げられる。

【0008】

本発明の別の態様は、ステージ駆動装置である。この装置は、アクチュエータと、アクチュエータによって駆動されるステージと、アクチュエータの非駆動時の振動データを収集する振動データ収集部と、振動データの周波数解析を通じて、極大値が現れるピーク周波数を少なくとも一つ特定するピーク周波数特定部と、ピーク周波数を出力するピーク周波数出力部と、を備える。

【0009】

本発明の更に別の態様は、振動処理方法である。この方法は、アクチュエータの非駆動時の振動データを収集する振動データ収集ステップと、振動データの周波数解析を通じて、極大値が現れるピーク周波数を少なくとも一つ特定するピーク周波数特定ステップと、ピーク周波数を出力するピーク周波数出力ステップと、を備える。

【0010】

なお、以上の構成要素の任意の組合せや、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラム等の間で変換したものも、本発明の態様として有効である。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、アクチュエータを更に高精度化できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】エアステージの斜視図である。

【図2】エアアクチュエータの断面図である。

【図3】アクチュエータの振動処理装置の機能ブロック図である。

【図4】ピーク周波数出力部が出力する画面の例を示す。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下では、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下では実施形態ともいう）について詳細に説明する。説明および／または図面においては、同一または同等の構成要素、部材、処理等に同一の符号を付して重複する説明を省略する。図示される各部の縮尺や形状は、説明の簡易化のために便宜的に設定されており、特に言及がない限り限定的に解釈されるものではない。実施形態は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。実施形態に記載される全ての特徴やそれらの組合せは、必ずしも本発明の本質的なものであるとは限らない。

【0014】

本発明は任意の原理（例えば磁気や電気）に基づく任意のタイプのアクチュエータに適用できるが、本実施形態では空気等の作動流体によって駆動対象を駆動する流体アクチュエータまたはエアアクチュエータについて説明する。

【0015】

図１は、本実施形態の流体アクチュエータが適用されるエアステージ１００の斜視図である。エアステージ１００は、定盤１０２と、除振台１０４と、除振装置１０６と、ステージ１１０と、一つのＸ軸エアアクチュエータ１２０と、二つのＹ軸エアアクチュエータ１３０Ａ、１３０Ｂ（以下ではＹ軸エアアクチュエータ１３０と総称する）を備える。定盤１０２は除振台１０４によって支持される。エアステージ１００は、上軸としてのＸ軸エアアクチュエータ１２０と、下軸としての二つのＹ軸エアアクチュエータ１３０Ａ、１３０Ｂによって上面視でＨ字状に形成される。除振装置１０６は、エアステージ１００が配置されている床等から定盤１０２への振動の伝播を抑制する。

【0016】

Ｘ軸エアアクチュエータ１２０およびＹ軸エアアクチュエータ１３０は、空気を作動流体として駆動対象であるステージ１１０をＸ軸およびＹ軸に沿って駆動する流体アクチュエータである。Ｘ軸エアアクチュエータ１２０は、ガイド１２２（スクエアシャフト）と、スライダ１２４と、サーボバルブ１２６（不図示）と、配管１２８（不図示）を有する。同様に、Ｙ軸エアアクチュエータ１３０は、ガイド１３２と、スライダ１３４と、サーボバルブ１３６と、配管１３８を有する。ステージ１１０は、スライダ１２４に設けられる。ガイド１２２の両端は、Ｙ軸エアアクチュエータ１３０のスライダ１３４によって支持される。

【0017】

スライダ１２４、１３４は、駆動対象としてのステージ１１０をＸ軸、Ｙ軸に沿って駆動する駆動部を構成する。また、サーボバルブ１２６、１３６は、制御装置が演算した空気の作動量である吸排気量に基づき空気をスライダ１２４、１３４に供給する作動流体供給部を構成する。配管１２８、１３８は、駆動部と作動流体供給部の間で空気を流通させる。位置センサ１４０はステージ１１０のＸ軸方向の位置を検出し、位置センサ１４２はステージ１１０のＹ軸方向の位置を検出する。

【0018】

図２は、エアアクチュエータの断面図である。Ｘ軸エアアクチュエータ１２０は、ガイド１２２と、スライダ１２４と、サーボバルブ１２６（スプールバルブ）と、配管１２８を備える。ガイド１２２の外周面とスライダ１２４の内周面の間には、加圧空気が供給されて静圧軸受が形成される。加圧空気によってガイド１２２から浮上したスライダ１２４は、ガイド１２２と非接触で滑らかにＸ軸方向に移動可能である。スライダ１２４には、内部空間であるサーボチャンバ１５０が設けられる。サーボチャンバ１５０は、ガイド１２２と一体的に形成された受圧プレート１２３によって、正側チャンバ室１５２と負側チャンバ室１５４に区画される。

【0019】

スライダ１２４は、サーボバルブ１２６によって駆動される。サーボバルブ１２６は、スプールの位置によってコントロールポートの吸排気量を制御する。各軸のエアアクチュエータ１２０、１３０は、正側と負側に配置された一対のサーボバルブ１２６Ｐ、１２６Ｎを備える。正側のサーボバルブ１２６Ｐのコントロールポートは、正側配管１２８Ｐを介して正側チャンバ室１５２と連通する。負側のサーボバルブ１２６Ｎのコントロールポートは、負側配管１２８Ｎを介して負側チャンバ室１５４と連通する。サーボバルブ１２６Ｐ、１２６Ｎのスプール位置に応じて正側チャンバ室１５２と負側チャンバ室１５４の間に生じる差圧によって、ガイド１２２（受圧プレート１２３）に対するスライダ１２４の位置が制御される。以上では主にＸ軸エアアクチュエータ１２０について説明したが、Ｙ軸エアアクチュエータ１３０もＸ軸エアアクチュエータ１２０と同様に構成できる。

【0020】

図３は、Ｘ軸エアアクチュエータ１２０やＹ軸エアアクチュエータ１３０等のアクチュエータの振動処理装置３の機能ブロック図である。振動処理装置３は、振動データ収集部３１と、ピーク周波数特定部３２と、ピーク周波数出力部３３と、設定操作受付部３４と、抑制対象周波数設定部３５と、抑制対象周波数記憶部３６を備える。これらの機能ブロックは、コンピュータの中央演算処理装置、メモリ、入力装置、出力装置、コンピュータに接続される周辺機器等のハードウェア資源と、それらを用いて実行されるソフトウェアの協働により実現される。コンピュータの種類や設置場所は問わず、上記の各機能ブロックは、単一のコンピュータのハードウェア資源で実現してもよいし、複数のコンピュータに分散したハードウェア資源を組み合わせて実現してもよい。例えば、振動処理装置３の機能ブロックの一部または全部を、アクチュエータ（Ｘ軸エアアクチュエータ１２０やＹ軸エアアクチュエータ１３０等）や駆動装置（エアステージ１００等）に設けられるコンピュータやプロセッサで分散的または集中的に実現してもよいし、アクチュエータや駆動装置と有線または無線で通信可能なコンピュータやプロセッサで分散的または集中的に実現してもよい。

【0021】

ステージコントローラ１６０において、エアステージ１００および／またはエアアクチュエータ１２０、１３０の制御部２は、位置センサ１４０、１４２で測定されるステージ１１０のＸ位置、Ｙ位置に基づいてエアアクチュエータ１２０、１３０をフィードバック制御し、ステージ１１０を目的のＸ位置、Ｙ位置に移動させる。具体的には、制御部２は、Ｘ位置センサ１４０で測定されるステージ１１０の現在Ｘ位置と、Ｘ位置指令部２１から提供される目標Ｘ位置（Ｘ位置指令）の偏差（Ｘ位置偏差）に基づいて、Ｘアクチュエータ１２０に対する操作量であるＸサーボバルブ１２６の吸排気量を定めるＸバルブ指令を生成する。同様に、制御部２は、Ｙ位置センサ１４２で測定されるステージ１１０の現在Ｙ位置と、Ｙ位置指令部２２から提供される目標Ｙ位置（Ｙ位置指令）の偏差（Ｙ位置偏差）に基づいて、Ｙアクチュエータ１３０に対する操作量であるＹサーボバルブ１３６の吸排気量を定めるＹバルブ指令を生成する。

【0022】

振動データ収集部３１は、アクチュエータ１２０、１３０の非駆動時におけるステージ１１０の振動データを収集する。ここで「非駆動時」とは、アクチュエータ１２０、１３０の駆動対象としてのステージ１１０が、各アクチュエータ１２０、１３０の駆動方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）において停止または静止している時を意味する。すなわち、ステージ１１０がＸ軸方向において停止している時がＸアクチュエータ１２０の非駆動時であり、ステージ１１０がＹ軸方向において停止している時がＹアクチュエータ１３０の非駆動時である。振動データ収集部３１によってステージ１１０の振動データを収集するのは、両方のアクチュエータ１２０、１３０の非駆動時、すなわちステージ１１０がＸ軸方向においてもＹ軸方向においても停止している時とするのが好ましいが、一方のアクチュエータ１２０、１３０の非駆動時にステージ１１０の振動データを収集してもよい。なお、典型的には、アクチュエータ１２０、１３０は非駆動時にも通電されており、ステージ１１０の停止位置を目標位置とするサーボ制御が行われている。

【0023】

振動データ収集部３１が振動データを収集するステージ１１０の位置（停止位置）は、ステージ１１０のＸ軸方向およびＹ軸方向の可動域内の任意の位置でよいが、図３には典型的な停止位置の例としてＸ軸方向およびＹ軸方向のそれぞれの両端の位置を点線で示す。ＸＬはＸ軸方向の一端（左端）の位置であり、ＸＲはＸ軸方向の他端（右端）の位置であり、ＹＵはＹ軸方向の一端（上端）の位置であり、ＹＤはＹ軸方向の他端（下端）の位置である。これらの位置に加えてまたは代えて、図３において実線で示される中央位置等にステージ１１０を停止させて、振動データ収集部３１が振動データを収集してもよい。

【0024】

振動データ収集部３１による振動データの収集や、後述する振動処理装置３の他の機能ブロックによる処理は、エアステージ１００等の駆動装置を製造する工場において出荷前に行ってもよいし、駆動装置が使用されるファシリティへの設置後の本格稼働前のセットアップや調整の際に行ってもよいし、駆動装置の稼働中におけるステージ１１０の一時停止時や駆動装置の稼働時間の合間の待機時等に行ってもよい。

【0025】

振動データ収集部３１は、アクチュエータ１２０、１３０の非駆動時、すなわちステージ１１０の停止時の振動データを収集するため、アクチュエータ１２０、１３０自体の構造や動作機構、アクチュエータ１２０、１３０の設置環境等に起因する撹乱要素を効果的に検知できる。特許文献１のように、アクチュエータ１２０、１３０の駆動時、すなわちステージ１１０の移動時の振動データを収集することも考えられるが、特許文献１の主題であるステージ駆動に伴う共振その他の振動によって上記の静的な撹乱要素が埋もれてしまう可能性が高い。

【0026】

振動データ収集部３１は、ステージ１１０のＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置の微小な変動としての振動を検出する位置センサ１４０、１４２や、ステージ１１０等に取り付けられる振動センサ等によって、アクチュエータ１２０、１３０の非駆動時におけるステージ１１０の振動データを直接的に収集してもよい。あるいは、振動データ収集部３１は、ステージ１１０が停止している間の制御部２内部の信号の変動に基づいて、ステージ１１０の振動データを間接的に収集してもよい。ステージ１１０が停止している場合（非駆動時）、巨視的にはＸ位置センサ１４０からの現在Ｘ位置がＸ位置指令部２１からの目標Ｘ位置に一致し、Ｙ位置センサ１４２からの現在Ｙ位置がＹ位置指令部２２からの目標Ｙ位置に一致するが、実際には微視的な振動によってそれぞれの現在位置と目標位置に乖離が生じて制御部２内部の信号が変動するため、ここからステージ１１０の振動を間接的に検知できる。

【0027】

ピーク周波数特定部３２は、振動データ収集部３１が収集した振動データの周波数解析を通じて、極大値が現れるピーク周波数を少なくとも一つ特定する。具体的には、ピーク周波数特定部３２は、振動データ収集部３１が収集した時間ドメインの振動データをフーリエ変換した周波数ドメインの振動データにおいてピーク周波数を特定する。ピーク周波数出力部３３は、ピーク周波数特定部３２が特定したピーク周波数を出力する。ピーク周波数出力部３３は、例えば図４に示されるような画像または画面を、エアステージ１００の調整者等の操作端末（コンピュータ等）のディスプレイに表示する。図４の左側には、ピーク周波数特定部３２の周波数解析（フーリエ変換）によって得られた周波数ドメインの振動データが表示され、図４の右側には、ピーク周波数特定部３２が特定したピークに関する情報が表示される。

【0028】

ピーク周波数出力部３３は、極大値が大きい方から所定数以下のピーク周波数を出力または表示する。図４の例では所定数が３であり、ピーク周波数出力部３３は極大値が大きい方から３個以下のピーク周波数を出力または表示する。ここで、極大値またはピークの大きさは、ピークの絶対値（図４に示される「強度」の値）でもよいし、ピークとその周囲の強度の差（実質的なピークの高さ）でもよい。ピーク周波数出力部３３は、所定周波数（例えば3Hz）以上のピーク周波数のみを出力または表示してもよい。後述するようにピーク周波数出力部３３によって出力されるピーク周波数はフィルタ４による除去対象となるが、例えば3Hz未満の低周波成分をフィルタ４によって除去してしまうとアクチュエータ１２０、１３０の動作が不安定になる可能性がある。そこで、このような低いピーク周波数はピーク周波数出力部３３の出力対象外とするのが好ましい。

【0029】

以上のようなピーク検出基準を適用した結果、図４の例では一回の処理当たりの最大出力可能ピーク数である３個より少ない２個のピークが、ピーク周波数特定部３２によって特定されてピーク周波数出力部３３によって表示されている。図４の左側における周波数解析された周波数ドメインの振動データ上には、２個のピークを指すマークＰ１、Ｐ２が表示される。各マークＰ１、Ｐ２は、それぞれが指すピークの極大値（強度）に対応する縦軸（強度）位置とピーク周波数に対応する横軸（周波数）位置に表示される。図４の右側には、２個のピークそれぞれについて、周波数（ピーク周波数）と強度（極大値）が表示される。このように図４の画面では、周波数解析された周波数ドメインの振動データ（左側）と共にピークの周波数および強度（右側）が表示されることで一覧性が高められている。

【0030】

ピーク周波数出力部３３は、所定の抑制対象周波数の周波数成分を抑制可能なステージコントローラ１６０のフィルタ４（図３）に対して、ピーク周波数特定部３２が特定したピーク周波数を抑制対象周波数として設定する操作を受け付ける設定操作受付部３４を、当該ピーク周波数と共に表示する。図４に示されるように、ピーク周波数特定部３２が特定した２個のピーク周波数それぞれについて、フィルタ４の抑制対象周波数として設定する「フィルタ適用」およびフィルタ４の抑制対象周波数として設定しない「フィルタ非適用」を選択可能なボタンとしての設定操作受付部３４が表示される。エアステージ１００の調整者等は、画面上の設定操作受付部３４に対するクリック等の操作によって、「フィルタ適用」および「フィルタ非適用」を簡単に切り替えられる。

【0031】

抑制対象周波数設定部３５は、設定操作受付部３４によって「フィルタ適用」とされたピーク周波数を、フィルタ４に対して抑制対象周波数として設定する。あるいは、抑制対象周波数設定部３５は、設定操作受付部３４を介さずに、ピーク周波数特定部３２が特定してピーク周波数出力部３３が出力したピーク周波数を、フィルタ４に対して抑制対象周波数として設定してもよい。この場合、振動データ収集部３１による振動データの収集、ピーク周波数特定部３２によるピーク周波数の特定、ピーク周波数出力部３３によるピーク周波数の出力、抑制対象周波数設定部３５による抑制対象周波数の設定という一連の処理を自動化できる。なお、抑制対象周波数設定部３５によるフィルタ４の抑制対象周波数の設定または更新は、振動データ収集部３１による振動データの収集と同様に、アクチュエータ１２０、１３０の非駆動時に行われる。アクチュエータ１２０、１３０の駆動時には、制御部２がフィルタ４を利用してステージ１１０を精密に駆動しているため、フィルタ４の抑制対象周波数に変更を加えることは避けるのが好ましい。

【0032】

フィルタ４は、抑制対象周波数設定部３５によって設定された抑制対象周波数の周波数成分を抑制可能なノッチフィルタ等のバンドストップフィルタである。制御部２は、Ｘ位置偏差およびＹ位置偏差に基づいてＸアクチュエータ１２０およびＹアクチュエータ１３０をフィードバック制御する際に、フィルタ４によって抑制対象周波数の周波数成分を抑制または除去する。例えば、Ｘ位置指令部２１、Ｙ位置指令部２２からのＸ位置指令、Ｙ位置指令に対して指令フィルタとしてのフィルタ４が適用され、Ｘ位置指令、Ｙ位置指令に含まれる抑制対象周波数成分が除去される。この結果、フィードバック制御に対する外乱となる図４におけるＰ１等のピークの影響が低減または除去されるため、Ｘアクチュエータ１２０およびＹアクチュエータ１３０によるステージ１１０の位置決め精度を高められる。なお、抑制対象周波数設定部３５によって設定された複数の抑制対象周波数の差が所定値より小さい場合は、これら複数の抑制対象周波数をまとめて抑制する一つのバンドストップフィルタまたは一つの阻止帯域が形成されるようにフィルタ４が設定されてもよい。

【0033】

抑制対象周波数記憶部３６は、抑制対象周波数設定部３５が設定した抑制対象周波数を記憶する。抑制対象周波数記憶部３６で記憶された抑制対象周波数をフィルタ４に設定可能とすることで、エアステージ１００の稼働条件が変わらない間は振動処理装置３の他の機能ブロック（３１～３５）の一連の処理を繰り返すことなく適切な抑制対象周波数をフィルタ４に設定できる。なお、抑制対象周波数記憶部３６は、抑制対象周波数となるピーク周波数が検出または特定されたステージ１１０の位置を、当該抑制対象周波数と共に記憶してもよい。

【0034】

例えば図３において、各位置ＸＬ、ＸＲ、ＹＵ、ＹＤで検出された各抑制対象周波数ＦＬ、ＦＲ、ＦＵ、ＦＤ（ピーク周波数）を、当該各位置ＸＬ、ＸＲ、ＹＵ、ＹＤとの組（ＦＬ，ＸＬ）、（ＦＲ，ＸＲ）、（ＦＵ，ＹＵ）、（ＦＤ，ＹＤ）として、抑制対象周波数記憶部３６に記憶してもよい。この場合、エアステージ１００の稼働時に、位置ＸＬからステージ１１０が移動する際は抑制対象周波数記憶部３６に記憶された抑制対象周波数ＦＬをフィルタ４に適用し、位置ＸＲからステージ１１０が移動する際は抑制対象周波数記憶部３６に記憶された抑制対象周波数ＦＲをフィルタ４に適用し、位置ＹＵからステージ１１０が移動する際は抑制対象周波数記憶部３６に記憶された抑制対象周波数ＦＵをフィルタ４に適用し、位置ＹＤからステージ１１０が移動する際は抑制対象周波数記憶部３６に記憶された抑制対象周波数ＦＤをフィルタ４に適用する。このように、ステージ１１０の位置毎に記憶された抑制対象周波数を動的に適用することで、ステージ１１０の位置決め精度を更に高められる。

【0035】

以上、本発明を実施形態に基づいて説明した。実施形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。

【0036】

なお、実施形態で説明した各装置の機能構成はハードウェア資源またはソフトウェア資源により、あるいはハードウェア資源とソフトウェア資源の協働により実現できる。ハードウェア資源としてプロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、その他のＬＳＩを利用できる。ソフトウェア資源としてオペレーティングシステム、アプリケーション等のプログラムを利用できる。

【符号の説明】

【0037】

２ 制御部、３ 振動処理装置、４ フィルタ、３１ 振動データ収集部、３２ ピーク周波数特定部、３３ ピーク周波数出力部、３４ 設定操作受付部、３５ 抑制対象周波数設定部、３６ 抑制対象周波数記憶部、１００ エアステージ、１１０ ステージ、１２０ Ｘアクチュエータ、１３０ Ｙアクチュエータ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】