特開 2023-129007 圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023129007

(43)【公開日】2023-09-14

(54)【発明の名称】圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置

(51)【国際特許分類】

   B01D 45/08 20060101AFI20230907BHJP

   G01L 19/06 20060101ALI20230907BHJP

【ＦＩ】

B01D45/08 Z

G01L19/06 Z

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022033740

(22)【出願日】2022-03-04

(71)【出願人】

【識別番号】519433126

【氏名又は名称】アダプティブ プラズマ テクノロジー コーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】100130111

【弁理士】

【氏名又は名称】新保 斉

(72)【発明者】

【氏名】チェ、ウ ヒョン

(72)【発明者】

【氏名】イ、サン ウ

(72)【発明者】

【氏名】チャン、フィ ゴン

(72)【発明者】

【氏名】クォン、ギョン ホ

【テーマコード（参考）】

2F055

4D031

【Ｆターム（参考）】

2F055BB08

2F055CC02

2F055EE25

2F055FF38

2F055HH09

4D031AB01

4D031BB04

(57)【要約】

【課題】圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置を提供すること。
【解決手段】圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置に関するものであり、圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置は、圧力測定手段１５；工程チャンバ１１と圧力測定手段１５とを連結する測定導管１２；及び測定導管１２に結合されるか、測定導管１２の一部を形成しながら測定導管１２に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段；を含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧力測定手段１５と、
工程チャンバ１１と圧力測定手段１５とを連結する測定導管１２と、
測定導管１２に結合されるか、測定導管１２の一部を形成しながら測定導管１２に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段と、を含む
ことを特徴とする圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項2】

捕獲手段は、流体の温度を調節する温度調節手段を含む
請求項１に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項3】

捕獲手段は、粒子の捕獲のためのフィルターブロックを含む
請求項１に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項4】

フィルターブロックは、多数個の気孔が形成されながら連続して配列された多数個の多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋを含み、互いに隣接する多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋに形成された気孔は、流体移動方向に対して互いに異なる直線上に位置する
請求項３に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項5】

捕獲手段は、アノダイジングによって形成されたアルミニウム多孔板を含む
請求項１に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項6】

捕獲手段は、互いに分離されて積層された多数個の多孔板ブロックになる
請求項１に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項7】

冷却水の流動のための流動ブロック４３１を含む
請求項２ないし５のいずれかに記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項8】

捕獲手段は、多孔捕獲チャンバ５３になり、多孔捕獲チャンバ５３は、シリンダー状に延びる捕獲胴体５３１と、
捕獲胴体５３１の前面を形成する流入多孔板５３２と、
捕獲胴体５３１の裏面を形成する排出多孔板と、からなる
請求項１に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置に係り、具体的に、圧力計に流入可能な粒子をあらかじめ捕獲して測定エラーの発生を防止する圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体工程のための工程チャンバの真空度の探知のために、マノメーター（Ｍａｎｏｍｅｔｅｒ）のような圧力計が使われる。マノメーターが工程チャンバに連結されて工程チャンバ内部の圧力が探知され、これに基づいて工程過程の真空適合度が判断される。このような機能を有するマノメーターは、弾性ダイアフラム（ｅｌａｓｔｉｃ ｄｉａｐｈｒａｇｍ）の静電容量を圧力に変換する構造を有しうる。しかし、エッチングまたはこれと類似した工程過程で工程副産物による弾性ダイアフラムの特性変形によって測定エラーが発生しうる。具体的に、工程過程で発生してチャンバ内部に浮遊する粒子が測定導管に沿って流動して弾性ダイアフラムに付着されて弾性特性を変形させ、これにより、マノメーターの測定にエラーを発生させる。これと関連して、特許文献１は、プラズマ機器で圧力を測定する方法について開示する。また、特許文献２は、ガス圧力の測定のための電気容量マノメーターについて開示する。弾性ダイアフラムに付着される粒子または異物は、マノメーターに到達する前にあらかじめ除去されることが有利である。例えば、粒子は、チャンバとマノメーターとを連結する測定導管からあらかじめ除去されることが有利である。しかし、先行技術は、このような方法について開示しない。
本発明は、先行技術の問題点を解決するためのものであって、下記のような目的を有する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】米国特許番号ＵＳ ６，４５１，１５９（Ｌａｍ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、２００２．０９．１７．公告）Ｇｒｏｕｎｄ Ｃｅｎｔｅｒｉｎｇ Ｒｉｎｇ ｆｏｒ Ｉｎｈｉｂｉｔｉｎｇ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｂｕｉｌｄ－ｕｐ ｏｎ ｔｈｅ Ｄｉａｐｈｒａｇｍ ｏｆ ａ Ｍａｎｏｍｅｔｅｒ

【特許文献2】米国特許番号ＵＳ ６，９０１，８０８（Ｌａｍ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、２００５．０６．０７．公告）Ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ Ｍａｎｏｍｅｔｅｒ Ｈａｖｉｎｇ Ｒｅｄｕｃｅｄ Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｄｒｉｆｔ

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の目的は、工程チャンバと圧力測定のための圧力測定手段とを連結する測定導管に配されて流動粒子の捕獲が可能な圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置を提供するところにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の適切な実施形態によれば、圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置は、圧力測定手段；工程チャンバと圧力測定手段とを連結する測定導管；及び測定導管に結合されるか、測定導管の一部を形成しながら測定導管に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段；を含む。

【0006】

本発明の他の適切な実施形態によれば、捕獲手段は、流体の温度を調節する温度調節手段を含む。

【0007】

本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、捕獲手段は、粒子の捕獲のためのフィルターブロックを含む。

【0008】

本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、フィルターブロックは、多数個の気孔が形成されながら連続して配列された多数個の多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋを含み、互いに隣接する多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋに形成された気孔は、流体移動方向に対して互いに異なる直線上に位置する。

【0009】

本発明のさらに他の実施形態によれば、捕獲手段は、アノダイジングによって形成されたアルミニウム多孔板を含む。

【0010】

本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、捕獲手段は、互いに分離されて積層された多数個の多孔板ブロックになる。

【0011】

本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、冷却水の流動のための流動ブロックを含む。

【0012】

本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、捕獲手段は、多孔捕獲チャンバ５３になり、多孔捕獲チャンバ５３は、シリンダー状に延びる捕獲胴体５３１；捕獲胴体５３１の前面を形成する流入多孔板５３２；及び捕獲胴体５３１の裏面を形成する排出多孔板；からなることを特徴とする圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【発明の効果】

【0013】

本発明による圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置は、工程チャンバに残留する粒子状の物質が流動してマノメーターのような圧力測定手段に付着されて工程チャンバ内部の圧力測定エラーの発生を防止することができる。具体的に、粒子がマノメーターのダイアフラムの前面に付着されて弾性特性が変化して静電容量方式の圧力測定エラーの発生が防止される。本発明によるトラップは、独立したモジュールに作られて工程チャンバと圧力計との間の流動経路に設けられ、これにより、既に設けられた圧力測定手段に適用が可能であるという利点を有する。本発明によるトラップは、流動経路に多様な捕集経路が形成されたフィルターが形成されて圧力測定手段の測定エラーを防止させ、それによって減少した工程ドリフト及び改善された工程制御能力を提供させる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明による圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置の実施形態を示した図面である。

【図2】本発明による粒子トラップ装置の他の実施形態を示した図面である。

【図3】本発明による粒子トラップ装置のための多孔ブロックの生成過程の実施形態を示した図面である。

【図4】本発明による粒子トラップ装置のさらに他の実施形態を示した図面である。

【図5】本発明による粒子トラップ装置のさらに他の実施形態を示した図面である。

【図6】本発明による粒子トラップ装置のための多孔板の生成過程の実施形態を示した図面である。

【図7】本発明による粒子トラップ装置が適用された実施形態を示した図面である。

【図8】本発明による粒子トラップ装置が適用された工程チャンバの圧力測定過程の実施形態を示した図面である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明は、添付図面に提示された実施形態を参照して詳細に説明されるが、実施形態は、本発明の明確な理解のためのものであって、本発明は、これに制限されるものではない。下記の説明で、互いに異なる図面で同じ図面符号を有する構成要素は、類似した機能を有するので、発明の理解のために、不要であれば、反復説明はせず、公知の構成要素は、簡略に説明されるか、省略されるが、本発明の実施形態から除外されるものではない。

【0016】

図１は、本発明による圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置の実施形態を図示したものである。

【0017】

図１を参照すれば、圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置は、圧力測定手段１５；工程チャンバ１１と圧力測定手段１５とを連結する測定導管１２；及び測定導管１２に結合されるか、測定導管１２の一部を形成しながら測定導管１２に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段；を含む。

【0018】

工程チャンバ１１は、例えば、半導体工程のためのチャンバになり、多様な工程過程が進行しうる。工程チャンバ１１で工程が進行する前、進行する過程または進行後、内部圧力が測定され、該測定された圧力に基づいて工程条件が設定されうる。圧力測定手段１５は、例えば、マノメーターになり、工程チャンバ１１とガス流動が可能になるように連結される。圧力測定手段１５は、ガスが流入される流入チューブ１５１；ガスによって加えられる圧力を探知するダイアフラムのような測定膜１５２；及び測定膜１５２に加えられる圧力を探知する探知センサー１５３；を含みうる。圧力測定手段１５は、静電容量方式で作動し、測定膜１５２の圧力を電気的信号に変換する方式になりうる。工程チャンバ１１に測定導管１２が連結され、測定導管１２は、圧力測定手段１５と連結される。測定導管１２に粒子の捕獲のための捕獲手段が配され、捕獲手段によって測定導管１２に沿ってガスと共に流動する粒子（Ｐ）が捕獲される。

【0019】

本発明の１つの実施形態によれば、捕獲手段は、流体の温度を調節する温度調節手段になりうる。例えば、温度調節手段は、流動ガスを冷却させる冷却手段になり、測定導管１２を取り囲む熱電素子モジュール１６または冷却ジャケットになりうる。温度調節手段は、測定導管１２の一部を取り囲むジャケットブロック１３になり、ジャケットブロック１３は、冷却流体の流動のための流動ラインを含むか、熱電効果を発生させる熱電素子モジュール１６を含みうる。ジャケットブロック１３は、例えば、熱伝導性素材を含み、ジャケットブロック１３に冷却水または冷却ガスの流動のための多様な形態の冷却ラインが形成されうる。そして、冷却ラインに冷却流体が流動しながら流動ガスを冷却させて、一部が微粒子になりながら粒子（Ｐ）を捕獲することができ、これにより、粒子（Ｐ）が圧力測定手段１５への流入が防止される。または、ジャケットブロック１３は、熱電素子モジュール１６を含み、熱電素子モジュール１６は、熱の吸収（Ｈ＿ＩＮ）及び放出（Ｈ＿ＯＵＴ）のための一対の絶縁基板１６１、１６２；一対の絶縁基板１６１、１６２の内部に配される一対の伝導基板１６５ａ、１６５ｂ；及び一対の伝導基板１６５ａ、１６５ｂの間に配されるＮ型及びＰ型半導体１６３、１６４；からなりうる。それぞれの半導体１６３、１６４は、銅のような伝導基板１６５ａ、１６５ｂに固定され、伝導基板１６５ａ、１６５ｂの外側にセラミック素材のような絶縁体からなりながら熱伝導性が大きな絶縁基板１６１、１６２が結合されうる。それぞれの半導体１６３、１６４に連結された電極１６６ａ、１６６ｂを通じて電力が供給されれば、１つの伝導基板１６５ａが冷却されながら測定導管１２の内部に沿って流動する誘導ガスから熱を吸収することができる。そして、吸収された熱は、第２伝導基板１６５ｂ及び第２絶縁基板１６２を通じて外部に放出される。図１の下側を参照すれば、測定導管１２の少なくとも一部は、ベンチュリ管（ｖｅｎｔｕｒｉ ｐｉｐｅ）１２ａになりうる。このようなベンチュリ管１２ａによって測定導管１２の内部で拡散効果が発生して粒子が捕集される。このようなベンチュリ管１２ａに、または、ベンチュリ管１２ａの裏側に前述したジャケットブロック１３が配置される。測定導管１２は、冷却効果を発生させる多様な構造を有し、ジャケットブロック１３は、多様な冷却手段を含みうる。捕獲手段は、またジャケットブロック１３と共に、または、ジャケットブロック１３と独立してフィルターブロックを含みうる。

【0020】

図２は、本発明による粒子トラップ装置の他の実施形態を図示したものである。

【0021】

図２を参照すれば、捕獲手段は、粒子の捕獲のためのフィルターブロックになる。また、フィルターブロックは、多数個の気孔が形成されながら連続して配列された多数個の多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋを含み、互いに隣接する多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋに形成された気孔は、流体移動方向に対して互いに異なる直線上に位置する。

【0022】

フィルターブロックによって粒子が捕獲され、フィルターブロックは、少なくとも１つのフィルターを含みうる。フィルターブロックは、それぞれが中空のハーフシリンダー状になる一対のフィルターケース２１ａ、２１ｂ；及び一対のフィルターケース２１ａ、２１ｂの内部に配される少なくとも１つの多孔板２３＿１ないし２３＿Ｋ；を含みうる。一対のフィルターケース２１ａ、２１ｂは、互いに結合されて全体としてシリンダー状に作られ、それぞれのフィルターケース２１ａ、２１ｂの内部の周面に長手方向に沿って互いに分離されて連続して配列された固定タブ２２＿１ないし２２＿Ｎが形成されうる。そして、固定タブ２２＿１ないし２２＿Ｎに多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎが配置される。それぞれの多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎは、円板状になり、互いに異なる多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎは、同一または類似した形状になりうる。それぞれの多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎに多数個の気孔Ｐ＿１ないしＰ＿Ｋが形成されうる。それぞれの多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎは、同一または類似した形状を有しながら同一または類似した位置に気孔Ｐ＿１ないしＰ＿Ｋが形成されうる。互いに隣接する多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋが配列された状態で互いに隣接する多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋの気孔Ｐ＿１ないしＰ＿Ｋは、ガスの流動方向に対して交互に位置しうる。具体的に、１グループの第１多孔板２３＿１と２グループの第２多孔板２４＿１との同一または類似した位置に気孔Ｐ＿１ないしＰ＿Ｋが形成され、フィルターケース２１ａ、２１ｂに配置する過程で２グループの第１多孔板２４＿１を１グループの第１多孔板２３＿１に対して一定角度ほど回転させることができる。これにより、１、２グループの第１多孔板２３＿１、２４＿１は、交互に気孔Ｐ＿１ないしＰ＿Ｋが位置する。このように、一対のフィルターケース２３１ａ、２１ｂに配される多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎは、１グループの多孔板２３＿１ないし２３＿Ｎと１グループの多孔板２３＿１ないし２３＿Ｎとの間に配されながら気孔Ｐ＿１ないしＰ＿Ｋの位置がずれるように回転した２グループの多孔板２４＿１ないし２４＿Ｎからなりうる。このような方法で多数個の多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎが一定間隔で互いに分離されて一対のフィルターケース２１ａ、２１ｂの内部に配置される。ガスは、一対のフィルターケース２１ａ、２１ｂの内部で流体流れ（Ｆ）を形成することができ、流体流れ（Ｆ）は、隣接した多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎを通過しながら曲がった形態になりうる。このような流体流れによって粒子が多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋの表面に付着される。多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎは、多様な素材で作られ、例えば、アルミニウム（Ａｌ）またはこれと類似した素材で作られる。以下、このような素材の多孔板２３＿１ないし２３＿Ｋが作られる過程について説明される。

【0023】

図３は、本発明による粒子トラップ装置のための多孔ブロックの生成過程の実施形態を図示したものである。

【0024】

図３を参照すれば、捕獲手段は、アノダイジングによって形成されたアルミニウム多孔板になる。基材ブロック３１にアルミニウムベース３２が配され、アルミニウムベース３２は、空気中で酸化して、例えば、０．５～１０ｎｍの厚さを有する酸化フィルム層を形成しうる。酸化フィルム層が形成されたアルミニウムベース３２を硫酸（ｓｕｌｆａｔｅ）を含む電解槽（ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｉｃ ｂａｔｈ）に沈殿させれば、バリア（ｂａｒｒｉｅｒ）形態の酸化層３２ａが形成されうる。このような状態で電気分解（ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｚａｔｉｏｎ）を進行し続ければ、硫酸アルミニウムが生成されながら微細多孔層３３が形成されうる。以後、酸化反応（ｏｘｉｄａｔｉｖｅ ｒｅａｃｔｉｏｎ）及び溶離反応（ｅｌｕｔｉｏｎ ｒｅａｃｔｉｏｎ）が持続しながら均一な多孔層３４が形成されうる。多孔層の厚さは、電気分解またはアノダイジングの時間によって決定され、最終的に５～１００ｎｍの直径を有しながら均一に分布された多孔フィルム層３５が獲得され、これにより、アルミニウムアノダイジング素材の多孔板が獲得される。気孔は、多様な素材を用いて多様な方法で形成され、これにより、本発明は制限されるものではない。

【0025】

図４は、本発明による粒子トラップ装置のさらに他の実施形態を図示したものである。

【0026】

図４を参照すれば、捕獲手段は、互いに分離されて積層された多数個の多孔板ブロックになる。それぞれの多孔板４３２は、前述した方法によって作られ、それぞれの多孔板４３２は、全体として四角板状になりうる。多数個の多孔板４３２は、互いに分離されて垂直方向に積層され、互いに積層された多孔板４３２の中心部分に垂直方向に分離板４３１が形成されうる。また、最も下側に位置する多孔板４３２に接触部分４３３が形成されうる。分離板４３１は、上側部分に突出する蓋４４と結合されうる。このような構造を有する多孔フィルターブロックが六面体状またはボックス状の流動フィルターケース４１の内部に配置される。流動フィルターケース４１の一面に工程チャンバと連結される流入導管４２ａが形成され、流動フィルターケース４１の他面に圧力測定手段１５と連結されるフィルター導管４２ｂが形成されうる。多孔フィルターブロックは、蓋４４に結合され、分離板４３１に冷却経路（ＣＬ）が形成されうる。冷却経路（ＣＬ）は、蓋４４が外側に形成された入口４５ａ及び出口４５ｂと連結される。このような構造で蓋４４が流動フィルターケース４１に結合されれば、多孔フィルターブロックが流動フィルターケース４１の内部に位置しながら流入導管４２ａを通じて流入されたガスが多孔フィルターブロックを経由してフィルター導管４２ｂを通じて圧力測定手段１５に移動することができる。このような過程で多孔フィルターブロックによって粒子が除去される。冷却ガスまたは冷却水が入口４５ａを通じて流入されて分離板４３１を経由して出口４５ｂを通じて排出され、流動ガスの冷却によって粒子の除去が容易になる。多孔フィルターブロックは、多様な構造で作られ、提示された実施形態に制限されるものではない。

【0027】

図５は、本発明による粒子トラップ装置のさらに他の実施形態を図示したものである。

【0028】

図５を参照すれば、捕獲手段は、前面、裏面または周面に多数の気孔が形成されたシリンダー状の多孔捕獲チャンバ５３を含む。多孔捕獲チャンバ５３は、全体としてシリンダー状になりながら内部にガスの流動が可能な構造を有しうる。多孔捕獲チャンバ５３は、シリンダー状に延びる捕獲胴体５３１；捕獲胴体５３１の前面及び裏面を形成する流入多孔板５３２及び排出多孔板；及び捕獲胴体５３１の前端部及び後端部に形成された固定フレーム５３３ａ、５３３ｂ；を含みうる。捕獲チャンバ５３１は、内部表面に粒子が付着される多様な素材で作られ、選択的に表面に均一に形成された多数個の気孔を含みうる。または、内部表面に均一に形成された捕集ホールを含みうる。流入多孔板５３２は、既定の直径を有する気孔を含み、気孔の直径は、例えば、一定サイズの直径を有する粒子が透過することができない直径になりうる。排出多孔板は、流入多孔板５３２と同一または類似した構造を有しうる。但し、排出多孔板に形成される気孔は、流入多孔板５３２に形成される気孔に比べて、同径を有するか、さらに小径を有しうる。このような構造によって、粒子は捕獲チャンバ５３の前側に捕集されるか、捕獲チャンバ５３の内部に捕集されるか、または捕獲チャンバ５３の周面に捕獲される。捕獲チャンバ５３は、それぞれシリンダー状を有する一対のチャンバケース５１ａ、５１ｂの内部に配され、チャンバケース５１ａ、５１ｂの前側及び裏側に捕獲チャンバ５３の固定フレーム５３３ａ、５３３ｂが固定される内部固定溝５２ａ、５２ｂが形成されうる。このような構造を有する多孔チャンバブロックは、前述した測定導管の内部に配されるか、測定導管を連結する構造になりうる。流入多孔板５３２、排出多孔板または捕獲胴体５３１は、多様な素材で作られ、後述するようにアルミニウム素材で作られる。

【0029】

図６は、本発明による粒子トラップ装置のための多孔板の生成過程の実施形態を図示したものである。

【0030】

図６を参照すれば、流入多孔板または排出多孔板のような多孔板は、既定のサイズの直径を有する気孔を有しうる。このような既定の気孔直径を有する多孔板の製造のために、モールド６１が準備され、モールド６１に既定の直径を有する第１素材結晶６１＿１ないし６１＿Ｎが均一に配置される。第１素材結晶６１＿１ないし６１＿Ｎは、例えば、約８００℃の融点を有するナトリウム粒子になりうる。第１素材結晶６１＿１ないし６１＿Ｎが均一にモールド６１に配されれば、溶解された第２素材６２がモールド６１に注入される。第２素材６２は、液状になり、第１素材結晶６１＿１ないし６１＿Ｎの間を満たしながら層を形成しうる。第２素材６２は、例えば、約６６０℃の融点を有するアルミニウムになりうる。このように、第２素材６２は、第１素材結晶６１＿１ないし６１＿Ｎに比べて低い融点を有しうる。これにより、モールド６１に第２素材６２が満たされる過程で第１素材結晶６１＿１ないし６１＿Ｎの形状が保持される。モールド６１が第２素材６２で完全に満たされた後、第２素材６２が冷却され、これにより、第２素材層６３が形成されうる。このような状態で第１素材結晶６１＿１ないし６１＿Ｎを溶解させる溶媒を注入して第１素材結晶６１＿１ないし６１＿Ｎを除去することができる。これにより、第２素材気孔６３＿Ｋが均一に形成された第２素材層６３が獲得される。溶媒は、例えば、水になりうるが、これに制限されるものではない。このように獲得された第２素材気孔６３＿Ｋを含む素材層６３によって前述した流入多孔板、排出多孔板または捕獲胴体が加工される。第１素材結晶６１＿１ないし６１＿Ｎまたは第２素材６２は、提示された条件を満たす多様な素材になり、これにより、本発明は制限されるものではない。

【0031】

図７は、本発明による粒子トラップ装置が適用された実施形態を図示したものである。

【0032】

図７を参照すれば、工程チャンバ７１の内部に静電チャック７２が配され、静電チャック７２でウェーハに対する工程が進行しうる。工程進行過程で多様な形態の粒子（Ｐ）が発生して残留することができ、粒子は、測定導管７４ａ、７４ｂを経由して圧力測定手段１５ａ、１５ｂに到達することができる。圧力測定手段１５ａ、１５ｂは、例えば、マノメーターになり、例えば、１００Ｔｏｒｒレベルの圧力を測定するマノメーターまたは５Ｔｏｒｒレベルの圧力を測定するマノメーターになりうる。粒子トラップ装置１０は、工程チャンバ７１と第１圧力測定手段１５ａとを連結する第１測定導管７４ａに結合されて粒子（Ｐ）が第１圧力測定手段１５ａに到達することを防止することができる。これにより、第１圧力測定手段１５ａによる工程チャンバ７１の圧力測定エラーが防止される。多様な圧力測定手段１５ａ、１５ｂに本発明による粒子トラップ装置１０が設けられ、これにより、本発明は制限されるものではない。

【0033】

図８は、本発明による粒子トラップ装置が適用された工程チャンバの圧力測定過程の実施形態を図示したものである。

【0034】

図８を参照すれば、粒子トラップ装置による工程チャンバ内部の圧力が測定される方法は、測定誘導管のガス誘導特性が決定される段階（Ｐ８１）；測定誘導管に粒子捕獲フィルターモジュールが配される段階（Ｐ８２）；マノメーターによる工程チャンバ内部の圧力測定が準備される段階（Ｐ８３）；捕獲フィルターモジュールの温度が調節される段階（Ｐ８４）；マノメーターによる圧力測定が開始されながら粒子捕獲フィルターの粒子捕獲状態が探知される段階（Ｐ８５）；及び工程チャンバの圧力が探知される段階（Ｐ８６）；を含む。ガス誘導特性は、例えば、流動ガスの特性、粒子の含むレベルまたはこれと類似した流動特性を含む。粒子捕獲フィルターは、粒子トラップ装置を形成することができ、測定誘導管の内部に設けられるか、測定誘導管の一部を形成しうる（Ｐ６２）。選択的に粒子捕獲フィルターの温度が調節され（Ｐ６４）、粒子捕獲フィルターによる粒子捕獲レベルが探知される（Ｐ６５）。このような粒子捕獲フィルターによって工程チャンバの圧力がエラーがなしに正確に測定される（Ｐ６６）。工程チャンバの圧力は、多様な方法で測定され、提示された実施形態に制限されるものではない。

【0035】

以上、本発明は、提示された実施形態を参照して詳細に説明されたが、当業者は、提示された実施形態を参照して、本発明の技術的思想を外れない範囲で多様な変形及び修正発明を作ることができる。本発明は、このような変形及び修正発明によって制限されず、但し、下記特許請求の範囲によって制限される。

【符号の説明】

【0036】

１１：工程チャンバ
１２：測定導管
１５：圧力測定手段
１６：熱電素子モジュール
２１ａ、２１ｂ：フィルターケース
２３＿１ないし２４＿Ｋ：多孔板
３１：基材ブロック
３２：アルミニウムベース
５１ａ、５１ｂ：チャンバケース
５３：多孔捕獲チャンバ
４３１：流動ブロック
４３２：多孔板
５３１：捕獲胴体
５３２：流入多孔板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【手続補正書】

【提出日】2023-08-01

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧力測定手段１５と、
工程チャンバ１１と圧力測定手段１５とを連結する測定導管１２と、
測定導管１２に結合されるか、測定導管１２の一部を形成しながら測定導管１２に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段と、を含み、
捕獲手段は、粒子の捕獲のためのフィルターブロックを含み、
フィルターブロックは、それぞれが中空のハーフシリンダー状になる一対のフィルターケース２１ａ、２１ｂ；及び一対のフィルターケース２１ａ、２１ｂの内部に配される複数の多孔板２３＿１ないし２３＿Ｋ；を含み、それぞれのフィルターケース２１ａ、２１ｂの内部の周面に長手方向に沿って互いに分離されて連続して配列された固定タブ２２＿１ないし２２＿Ｎに多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎが配置され、それぞれの多孔板２３＿１ないし２４＿Ｎに多数個の気孔Ｐ＿１ないしＰ＿Ｋが形成され、互いに隣接する多孔板２３＿１ないし２４＿Ｋの気孔Ｐ＿１ないしＰ＿Ｋがガスの流動方向に対して交互に位置しうる
ことを特徴とする圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項2】

捕獲手段は、流体の温度を調節する温度調節手段を含む
請求項１に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項3】

多孔板はアノダイジングによって形成されたアルミニウム多孔板を含む
請求項１に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項4】

圧力測定手段１５と、
工程チャンバ１１と圧力測定手段１５とを連結する測定導管１２と、
測定導管１２に結合されるか、測定導管１２の一部を形成しながら測定導管１２に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段と、を含み、
捕獲手段は、互いに分離されて垂直方向に積層された多数個の多孔板４３２と、互いに積層された多孔板４３２の中心部分に垂直方向に分離板４３１及び、分離板４３１の上側部分に突出し、分離板４３１と結合する蓋４４を含み、多数個の多孔板４３２及び、分離板４３１の内部に配置される流動フィルターケース４１の一面に工程チャンバと連結される流入導管４２ａが形成され、流動フィルターケース４１の他面に圧力測定手段１５と連結されるフィルター導管４２ｂが形成され、蓋４４が外側に形成された入口４５ａ及び出口４５ｂと連結された冷却経路（ＣＬ）が分離板４３１に形成される
ことを特徴とする圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項5】

冷却水の流動のための流動ブロック４３１を含む
請求項１に記載の圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。

【請求項6】

圧力測定手段１５と、
工程チャンバ１１と圧力測定手段１５とを連結する測定導管１２と、
測定導管１２に結合されるか、測定導管１２の一部を形成しながら測定導管１２に沿って流動する流体に含まれた粒子を捕獲する捕獲手段と、を含み、
捕獲手段は、多孔捕獲チャンバ５３を含み、多孔捕獲チャンバ５３は、シリンダー状に延びる捕獲胴体５３１と、
捕獲胴体５３１の前面及び裏面を形成する流入多孔板５３２及び排出多孔板と、
捕獲胴体５３１の前端部及び後端部に形成された固定フレーム５３３ａ、５３３ｂを含み、捕獲チャンバ５３１は、表面に均一に形成された多数個の気孔を含み、内部表面に均一に形成された捕集ホールを含む
ことを特徴とする圧力測定エラーの防止のための粒子トラップ装置。