特開 2023-129396 放熱板、その製造方法およびそれを含む画像表示装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023129396

(43)【公開日】2023-09-14

(54)【発明の名称】放熱板、その製造方法およびそれを含む画像表示装置

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/11 20060101AFI20230907BHJP

   G03F 7/032 20060101ALI20230907BHJP

   H05B 33/02 20060101ALI20230907BHJP

   H10K 50/10 20230101ALI20230907BHJP

   H10K 50/00 20230101ALI20230907BHJP

   H10K 59/00 20230101ALI20230907BHJP

   H10K 59/10 20230101ALI20230907BHJP

   H10K 50/87 20230101ALI20230907BHJP

【ＦＩ】

G03F7/11 501

G03F7/032 501

H05B33/02

H05B33/14 A

H10K50/00

H10K50/10

H10K59/00

H10K59/10

H10K50/87

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023033485

(22)【出願日】2023-03-06

(31)【優先権主張番号】10-2022-0028252

(32)【優先日】2022-03-04

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】514217912

【氏名又は名称】東友ファインケム株式会社

【氏名又は名称原語表記】ＤＯＮＧＷＯＯ ＦＩＮＥ－ＣＨＥＭ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】１３２，Ｙａｋｃｈｏｎ－ｒｏ，Ｉｋｓａｎ－ｓｉ Ｊｅｏｌｌａｂｕｋ－ｄｏ ５７０－９７７，Ｋｏｒｅａ

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】キム，ボムチョル

(72)【発明者】

【氏名】キム，ドクキョム

(72)【発明者】

【氏名】チェ，ジョンミン

【テーマコード（参考）】

2H225

3K107

【Ｆターム（参考）】

2H225AC36

2H225AD06

2H225AD24

2H225AE12P

2H225AE13P

2H225AN11P

2H225AN23P

2H225AN36P

2H225AN39P

2H225AN72P

2H225BA02P

2H225BA09P

2H225BA13P

2H225CA21

2H225CA24

2H225CB06

2H225CC01

2H225CC13

3K107AA01

3K107BB01

3K107CC31

3K107CC41

3K107EE49

3K107EE62

3K107FF06

3K107FF15

3K107FF17

3K107GG06

3K107GG11

3K107GG26

3K107GG28

(57)【要約】      （修正有）

【課題】金属箔、および前記金属箔の少なくとも一方の面に形成された耐腐食パッシベーション膜を含み、前記耐腐食パッシベーション膜は、感光性樹脂組成物から形成される放熱板、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物から形成された耐腐食パッシベーション膜を有することで放熱効果を発揮しながらも耐腐食性に優れるだけでなく、金属特有の美麗な外観特性を維持することができる放熱板。さらに、金属箔と耐腐食パッシベーション膜との密着性を確保することができ、且つ必要に応じて耐腐食パッシベーション膜のパターニングが可能である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

金属箔、および
前記金属箔の少なくとも一方の面に形成された耐腐食パッシベーション膜を含み、
前記耐腐食パッシベーション膜は感光性樹脂組成物から形成される、放熱板。

【請求項2】

前記金属箔は、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、亜鉛（Ｚｎ）、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、スズ（Ｓｎ）、およびインジウム（Ｉｎ）からなる群より選択される金属又はそれらの合金を含む、請求項１に記載の放熱板。

【請求項3】

前記金属箔の厚さは７０～１５０μｍである、請求項１に記載の放熱板。

【請求項4】

前記感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶媒を含み、前記アルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基を有する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂を含む、請求項１に記載の放熱板。

【請求項5】

前記アルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位を含む第１のアルカリ可溶性樹脂、および芳香族環基を有する繰り返し単位を含む第２のアルカリ可溶性樹脂を含む、請求項４に記載の放熱板。

【請求項6】

前記耐腐食パッシベーション膜は可視光透過率が８９％以上である、請求項１に記載の放熱板。

【請求項7】

前記耐腐食パッシベーション膜の厚さは１～５μｍである、請求項１に記載の放熱板。

【請求項8】

前記耐腐食パッシベーション膜がパターニングされている、請求項１に記載の放熱板。

【請求項9】

金属箔の少なくとも一方の面に感光性樹脂組成物を塗布して塗膜を得る段階；
前記塗膜を乾燥する段階；
前記乾燥された塗膜を光硬化する段階；および
前記光硬化された塗膜をポストベークして耐腐食パッシベーション膜を形成する段階を含む、放熱板の製造方法。

【請求項10】

前記光硬化する段階でマスクを用いて光照射を行い、前記光硬化する段階の後に光硬化された塗膜を現像する段階を含む、請求項９に記載の放熱板の製造方法。

【請求項11】

前記感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶媒を含み、前記アルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位を含む第１のアルカリ可溶性樹脂、および芳香族環基を有する繰り返し単位を含む第２のアルカリ可溶性樹脂を含む、請求項９に記載の放熱板の製造方法。

【請求項12】

前記ポストベークは９０～１５０℃で行われる、請求項９に記載の放熱板の製造方法。

【請求項13】

請求項１～８のいずれか一項に記載の放熱板を含む画像表示装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、放熱板、その製造方法およびそれを含む画像表示装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、画像表示装置の大型化や高解像度化に伴い部品の単位面積当たりの発熱量が急増しており、そのため関連部品の放熱問題が関心事として台頭している。特に、ＯＬＥＤ、ディスプレイなどに使用されるデバイスから発生する熱を効果的に放出できないと、製品の寿命が低下する問題が生じる。

【0003】

そこで、画像表示装置の放熱性を確保するために金属素材の放熱板を使用する方案が提示されている。

【0004】

しかし、金属素材の場合、高い熱伝導度による熱エネルギーの分散には優れるものの、腐食に脆弱であるという問題点がある。

【0005】

そこで、金属素材の耐腐食性を確保するための様々な方案が提案されている。

【0006】

例えば、大韓民国登録特許第１０－１５３２２０１号は、湿気硬化型ポリウレタン樹脂３５～５５重量部、ポリマーがコートされたアルミニウムペースト１５～２５重量部、添加剤１～１０重量部、および炭化水素溶媒とアセテート系溶媒２５～３５重量部を含む金属用耐腐食性塗料組成物を開示している。

【0007】

しかし、耐腐食性塗料組成物は、放熱板が最外郭に位置するときに金属特有の美麗な外観特性を維持し難いという問題点を有する。
したがって、耐腐食性に優れるだけでなく、金属特有の美麗な外観特性を維持することができる金属素材の放熱板の開発が求められている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明の一目的は、耐腐食性に優れるだけでなく、金属特有の美麗な外観特性を維持することができる放熱板を提供することである。

【0009】

本発明の他の目的は、前記放熱板の製造方法を提供することである。

【0010】

本発明のまた他の目的は、前記放熱板を含む画像表示装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

一方で、本発明は、金属箔、および
前記金属箔の少なくとも一方の面に形成された耐腐食パッシベーション（Ｐａｓｓｉｖａｔｉｏｎ）膜を含み、
前記耐腐食パッシベーション膜は、感光性樹脂組成物から形成される放熱板を提供する。

【0012】

本発明の一実施形態において、前記金属箔は、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、亜鉛（Ｚｎ）、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、スズ（Ｓｎ）、およびインジウム（Ｉｎ）からなる群より選択される金属又はこれらの合金を含んでよい。

【0013】

本発明の一実施形態において、前記金属箔の厚さは７０～１５０μｍであってよい。

【0014】

本発明の一実施形態において、前記感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶媒を含み、前記アルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基を有する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂を含んでよい。

【0015】

本発明の一実施形態において、前記アルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位を含む第１のアルカリ可溶性樹脂、および芳香族環基を有する繰り返し単位を含む第２のアルカリ可溶性樹脂を含んでよい。

【0016】

本発明の一実施形態において、前記耐腐食パッシベーション膜は可視光透過率が８９％以上であってよい。

【0017】

本発明の一実施形態において、前記耐腐食パッシベーション膜の厚さは１～５μｍであってよい。

【0018】

本発明の一実施形態において、前記耐腐食パッシベーション膜はパターニングされていてよい。

【0019】

他の一方で、本発明は、
金属箔の少なくとも一方の面に感光性樹脂組成物を塗布して塗膜を得る段階；
前記塗膜を乾燥する段階；
前記乾燥された塗膜を光硬化する段階；および
前記光硬化された塗膜をポストベークして耐腐食パッシベーション膜を形成する段階を含む放熱板の製造方法を提供する。

【0020】

本発明の一実施形態に係る製造方法は、前記光硬化する段階でマスクを用いて光照射を行い、前記光硬化する段階の後に光硬化された塗膜を現像する段階を含んでよい。

【0021】

本発明の一実施形態において、前記感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶媒を含み、前記アルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位を含む第１のアルカリ可溶性樹脂、および芳香族環基を有する繰り返し単位を含む第２のアルカリ可溶性樹脂を含んでよい。

【0022】

本発明の一実施形態において、前記ポストベークは９０～１５０℃で行われてよい。

【0023】

また他の一方で、本発明は、前記放熱板を含む画像表示装置を提供する。

【発明の効果】

【0024】

本発明の放熱板は、感光性樹脂組成物から形成された耐腐食パッシベーション膜を有することで放熱効果を発揮しながらも耐腐食性に優れるだけでなく、金属特有の美麗な外観特性を維持することができる。さらに、本発明の放熱板は、金属箔と耐腐食パッシベーション膜との密着性を確保することができ、且つ必要に応じて耐腐食パッシベーション膜のパターニングが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】本発明の一実施形態に係る放熱板を示したものである。

【図2】塩水放置前の銅箔基材の表面写真である。

【図3】塩水放置後の、耐腐食パッシベーション膜が形成されていない銅箔基材の表面写真である。

【図4】塩水放置後の、本発明に係る放熱板の銅箔基材の表面写真である。

【図5】耐腐食パッシベーション膜の３６０～７４０ｎｍ波長領域の可視光透過率の測定結果である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、本発明をより詳細に説明する。

【0027】

本発明の一実施形態は、金属箔、および
前記金属箔の少なくとも一方の面に形成された耐腐食パッシベーション膜を含み、
前記耐腐食パッシベーション膜は、感光性樹脂組成物から形成される放熱板に関する。

【0028】

本発明の一実施形態に係る放熱板は、感光性樹脂組成物から形成された耐腐食パッシベーション膜を有することで耐腐食性に優れるだけでなく、金属特有の美麗な外観特性を維持することができる。さらに、本発明の一実施形態に係る放熱板は、金属箔と耐腐食パッシベーション膜との密着性を確保することができ、且つ必要に応じて耐腐食パッシベーション膜のパターニングが可能である。

【0029】

熱抵抗は、熱伝達を阻害する性質を数値化したものであって、厚さ／熱伝導率で表される。本発明の放熱板は、熱伝導率の良い金属素材を用いて放熱板の熱抵抗を下げることができ、且つ耐腐食パッシベーション膜を薄膜にて形成して熱抵抗の上昇を最小化することができ、結果として優れた放熱性能を確保することができる。

【0030】

本発明の一実施形態に係る放熱板は、金属箔の少なくとも一方の面に耐腐食パッシベーション膜が積層されてよいが、好ましくは、図１のように金属箔１００の両面に第１の耐腐食パッシベーション膜２０１と第２の耐腐食パッシベーション膜２０２とが積層された構造を有する。

【0031】

本発明の一実施形態において、前記金属箔１００は、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、亜鉛（Ｚｎ）、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、スズ（Ｓｎ）、およびインジウム（Ｉｎ）からなる群より選択される金属又はこれらの合金を含んでよく、好ましくは、電気伝導度に優れ且つ安価な銅薄膜、すなわち銅箔であってよいが、これに限定されるものではない。前記金属箔は、電解によって形成された層であるか圧延によって形成された層であってよい。

【0032】

例えば、前記金属箔は、Ｃｕを９０±９重量％、例えば９７重量％の量で含み、残量は、前述した他の金属を含む銅合金（Ｃｕ ａｌｌｏｙ）箔であってよい。
前記金属箔の厚さは、本発明において特に限定することではないが、好ましくは、７０～１５０μｍであってよい。前記金属箔の厚さが前述した範囲未満であると、十分な放熱特性を確保し難いことがあり、また前記範囲を超えると、放熱板が適用される装置の厚さと重量が増加したり、厚くなった厚さによって却って熱排出が阻害されることがある。
本発明の一実施形態において、前記第１の耐腐食パッシベーション膜２０１と第２の耐腐食パッシベーション膜２０２は、それぞれ独立して感光性樹脂組成物から形成される。

【0033】

前記感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶媒を含んでよい。

【0034】

前記アルカリ可溶性樹脂は、通常、光や熱の作用による反応性を有し、パターンを形成する際の現像処理工程で用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を付与する成分である。

【0035】

前記アルカリ可溶性樹脂としては、耐腐食性、透過率、および密着性の面からエポキシ基を有する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂を含んでよく、好ましくは、エポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位を含む第１のアルカリ可溶性樹脂、および芳香族環基を有する繰り返し単位を含む第２のアルカリ可溶性樹脂を含んでよい。

【0036】

前記第１のアルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位を含む。

【0037】

前記エポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位は、エポキシ基含有架橋環基を有するエチレン性不飽和単量体、例えば、エポキシ基含有架橋環基を有する（メタ）アクリレート単量体によって導入されてよい。

【0038】

前記第１のアルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位に加えて、他のエポキシ基含有官能基を有する繰り返し単位をさらに含んでよい。

【0039】

前記他のエポキシ基含有官能基を有する繰り返し単位は、脂肪族又は脂環族エポキシ基含有官能基を有するエチレン性不飽和単量体、例えば、脂肪族又は脂環族エポキシ基含有官能基を有する（メタ）アクリレート単量体によって導入されてよい。

【0040】

また、前記第１のアルカリ可溶性樹脂は、アルカリ現像液への可溶性を確保するためにカルボキシル基含有繰り返し単位を含む。

【0041】

前記カルボキシル基含有繰り返し単位は、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体によって導入されてよい。前記カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体の具体的な例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタレート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルフタレート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルサクシネートなどのモノカルボン酸類；フマル酸、メサコン酸、イタコン酸などのジカルボン酸類；およびこれらのジカルボン酸の無水物；ω－カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートなどの両末端にカルボキシル基と水酸基を有するポリマーのモノ（メタ）アクリレート類などが挙げられ、アクリル酸、メタクリル酸が好ましい。

【0042】

好ましくは、前記第１のアルカリ可溶性樹脂は、下記化学式１で表される繰り返し単位を含んでよい。

【0043】

【化1】

【0044】

前記式中、
Ｒ_１、Ｒ_２、およびＲ_３は、互いに独立して水素又はメチル基であり、
Ｒ_４は、下記式（１）～（３）からなる群より選択される単量体に由来する構造であり、

【0045】

【化2】

【0046】

Ｒ_５は、下記式（４）～（１２）からなる群より選択される単量体に由来する構造であり、

【0047】

【化3】

【0048】

Ｒ_６は、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体に由来する構造であり、
ａは２０～７０ｍｏｌ％、ｂは２０～６０ｍｏｌ％、ｃは５～３０ｍｏｌ％を示す。

【0049】

前記化学式１で表される繰り返し単位の好ましい例としては、下記化学式１－１で表される繰り返し単位が挙げられる。

【0050】

【化4】

【0051】

前記式中、
Ｒ_１、Ｒ_２、およびＲ_３は、それぞれ独立して水素又はメチル基であり、
ａは２０～７０ｍｏｌ％、ｂは２０～６０ｍｏｌ％、ｃは５～３０ｍｏｌ％を示す。

【0052】

前記第２のアルカリ可溶性樹脂は、芳香族環基を有する繰り返し単位を含む。

【0053】

前記芳香族環基を有する繰り返し単位は、芳香族環基を有するエチレン性不飽和単量体、例えば、芳香族環基を有するビニル単量体および／又は芳香族環基を有する（メタ）アクリレート単量体によって導入されてよい。

【0054】

前記第２のアルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基無含有架橋環基を有する繰り返し単位およびエポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位以外の他のエポキシ基含有官能基を有する繰り返し単位をさらに含んでよい。

【0055】

前記エポキシ基無含有架橋環基を有する繰り返し単位は、エポキシ基無含有架橋環基を有するエチレン性不飽和単量体、例えば、エポキシ基無含有架橋環基を有する（メタ）アクリレート単量体によって導入されてよい。

【0056】

前記エポキシ基含有架橋環基を有する繰り返し単位以外の他のエポキシ基含有官能基を有する繰り返し単位は、脂肪族又は脂環族エポキシ基含有官能基を有するエチレン性不飽和単量体、例えば、脂肪族又は脂環族エポキシ基含有官能基を有する（メタ）アクリレートによって導入されてよい。

【0057】

また、前記第２のアルカリ可溶性樹脂は、アルカリ現像液への可溶性を確保するためにカルボキシル基含有繰り返し単位を含む。

【0058】

前記カルボキシル基含有繰り返し単位は、前記第１のアルカリ可溶性樹脂で説明したとおりである。

【0059】

好ましくは、前記第２のアルカリ可溶性樹脂は、下記化学式２で表される繰り返し単位を含んでよい。

【0060】

【化5】

【0061】

前記式中、
Ｒ_７、Ｒ_８、Ｒ_９、およびＲ_１０は、互いに独立して水素又はメチル基であり、
Ｒ_１１は、下記式（１３）～（１８）からなる群より選択される単量体に由来する構造であり、ｎは１～５の整数であり、

【0062】

【化6】

【0063】

Ｒ_１２は、下記式（１９）～（２３）からなる群より選択される単量体に由来する構造であり、

【0064】

【化7】

【0065】

Ｒ_１３は、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体に由来する構造であり、
Ｒ_１４は、下記式（２４）～（３２）からなる群より選択される単量体に由来する構造であり、

【0066】

【化8】

【0067】

ｄは１０～２０ｍｏｌ％、ｅは１０～３０ｍｏｌ％、ｆは１０～３０ｍｏｌ％、ｇは３０～６０ｍｏｌ％を示す。

【0068】

前記化学式２で表される繰り返し単位の好ましい例としては、下記化学式２－１で表される繰り返し単位が挙げられる。

【0069】

【化9】

【0070】

前記式中、
Ｒ_７、Ｒ_８、Ｒ_９、およびＲ_１０は、それぞれ独立して水素又はメチル基であり、
ｄは１０～２０ｍｏｌ％、ｅは１０～３０ｍｏｌ％、ｆは１０～３０ｍｏｌ％、ｇは３０～６０ｍｏｌ％を示す。

【0071】

本発明において、「（メタ）アクリル－」は、「メタクリル－」、「アクリル－」又はこれらの両方を指す。

【0072】

本発明において、化学式１および化学式２で表される各繰り返し単位は、化学式１および化学式２で表されたそのものに限定して解釈されてはならず、括弧内のサブ繰り返し単位が定められたｍｏｌ％の範囲内で鎖のどの位置でも自由に位置してよい。すなわち、化学式１および化学式２の各括弧は、ｍｏｌ％を示すために一つのブロックにて表されているが、各サブ繰り返し単位は、該当の樹脂内であれば制限されることなくブロックにて又はそれぞれ分離して位置されてよい。

【0073】

本発明において、前記式（１）～（３２）で表される単量体は、該単量体の異性体を含むものであって、各式で表される単量体が異性体のある場合には、該当の式で表される単量体はその異性体までも含む代表化学式を意味する。

【0074】

前記第１のアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は６,０００～１２,０００であることが好ましい。前記分子量の範囲内で優れた耐腐食性、透過率、および密着性を示すことができる。

【0075】

前記第２のアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は２０,０００～３０,０００であることが好ましい。前記分子量の範囲内で優れた耐腐食性、透過率、および密着性を示すことができる。

【0076】

前記第１のアルカリ可溶性樹脂と第２のアルカリ可溶性樹脂の混合重量比は、５０：５０～９０：１０であり、好ましくは、７０：３０～８０：２０であってよい。前記第１のアルカリ可溶性樹脂の含量が前記下限よりも少なくなると、低温硬化性が低下し且つパターン境界部の段差のたるみ現象により解像度が低下したり、現像後の残渣が発生することがあり、また前記上限よりも多いと、パターン形成性が低下することがあり且つ貯蔵安定性が低下して長期間の保管後に性能が低下することがある。

【0077】

前記第１のアルカリ可溶性樹脂と第２のアルカリ可溶性樹脂は、それぞれ独立して、上述した繰り返し単位のほかにも当該技術分野で公知の他の単量体から形成された繰り返し単位をさらに含んでよい。

【0078】

前記他の単量体としては、特に限定されるものではないが、例えば、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド、Ｎ－ベンジルマレイミド、Ｎ－フェニルマレイミド、Ｎ－ｏ－ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ－ｍ－ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ－ｐ－ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ－ｏ－メチルフェニルマレイミド、Ｎ－ｍ－メチルフェニルマレイミド、Ｎ－ｐ－メチルフェニルマレイミド、Ｎ－ｏ－メトキシフェニルマレイミド、Ｎ－ｍ－メトキシフェニルマレイミド、Ｎ－ｐ－メトキシフェニルマレイミドなどのＮ－置換マレイミド系化合物；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、ｉ－プロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、i－ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ－ブチル（メタ）アクリレートなどのアルキル（メタ）アクリレート類；シクロペンチル（メタ）アクリレート、２－メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、２－ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレートなどの脂環族（メタ）アクリレート類；３－（メタクリロイルオキシメチル）オキセタン、３－（メタクリロイルオキシメチル）－３－エチルオキセタン、３－（メタクリロイルオキシメチル）－２－トリフルオロメチルオキセタン、３－（メタクリロイルオキシメチル）－２－フェニルオキセタン、２－（メタクリロイルオキシメチル）オキセタン、２－（メタクリロイルオキシメチル）－４－トリフルオロメチルオキセタンなどの不飽和オキセタン化合物などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらは単独で又は２種以上混合して用いられてよい。

【0079】

前記第１のアルカリ可溶性樹脂および第２のアルカリ可溶性樹脂は、酸価がそれぞれ独立して２０～２００（ＫＯＨｍｇ／ｇ）の範囲であることが好ましい。酸価が前記範囲にあると、優れた現像性および経時安定性を示すことができる。

【0080】

前記アルカリ可溶性樹脂の含量は特に限定されないが、例えば、感光性樹脂組成物中の全固形分１００重量部に対して、１０～９０重量部、好ましくは、２５～７０重量部で含まれてよい。前記の範囲内で含まれると、現像液への溶解性が十分になって現像性に優れ、優れた機械的物性を持つ耐腐食パッシベーション膜を形成できるようにする。

【0081】

前記光重合性化合物は、製造工程中において架橋密度を増加させ、耐腐食パッシベーション膜の機械的特性を強化させる役割をする。

【0082】

前記光重合性化合物は、光および後述する光重合開始剤の作用で重合され得る化合物であって、単官能光重合性化合物、二官能光重合性化合物、又は三官能以上の多官能光重合性化合物などが挙げられる。

【0083】

前記単官能光重合性化合物の具体的な例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロピルアクリレート、２－エチルヘキシルカルビトールアクリレート、２－ヒドロキシエチルアクリレート、Ｎ－ビニルピロリドンなどが挙げられ、市販品としては、アロニックスＭ－１０１（東亜合成）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＴＣ－１１０Ｓ（日本化薬）、又はビスコート１５８（大阪有機化学工業）などが挙げられる。

【0084】

前記二官能光重合性化合物の具体的な例としては、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイルオキシエチル）エーテル、３－メチルペンタンジオールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられ、市販品としては、アロニックスＭ－２１０、Ｍ－１１００、Ｍ－１２００（東亜合成）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＨＤＤＡ（日本化薬）、ビスコート２６０（大阪有機化学工業）、ＡＨ－６００、ＡＴ－６００又はＵＡ－３０６Ｈ（共栄社化学社）などが挙げられる。

【0085】

前記三官能以上の多官能光重合性化合物の具体的な例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシル化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロポキシル化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エトキシル化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エトキシル化ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、プロポキシル化ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどがあり、市販品としては、ＮＫ ＥＳＴＥＲ ＡＴＭ－４Ｅ（新中村化学工業）、ＮＫ ＥＳＴＥＲ Ａ－ＤＰＨ－１２Ｅ（新中村化学工業）、Ａ－９５７０（新中村化学工業）、アロニックスＭ－３０９、Ｍ－５２０（東亜合成）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＴＭＰＴＡ、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ又はＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ－４０Ｈ（日本化薬）などが挙げられる。

【0086】

前記で例示した光重合性化合物は、単独で又は２種以上混合して用いてよい。

【0087】

前記光重合性化合物の含量は特に限定されないが、例えば、感光性樹脂組成物中の全固形分１００重量部に対して、１０～９０重量部で含まれることが好ましく、３０～８０重量部で含まれることがより好ましい。光重合性化合物が前記の含量範囲で含まれると、優れた耐久性を有することができ、且つ現像性を向上させることができる。

【0088】

前記光重合開始剤は、前記光重合性化合物を重合できるものであれば、その種類を特に制限することなく用いることができる。特に、前記光重合開始剤は、重合特性、開始効率、吸収波長、入手性、価格などの観点から、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物、ビイミダゾール系化合物、オキシム系化合物、およびチオキサントン系化合物からなる群より選択される１種以上の化合物を用いることが好ましい。

【0089】

前記アセトフェノン系化合物の具体的な例としては、ジエトキシアセトフェノン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、ベンジルジメチルケタール、２－ヒドロキシ－１－［４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル]－２－メチルプロパン－１－オン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルホリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）ブタン－１－オン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－[４－（１－メチルビニル）フェニル]プロパン－１－オン、２－（４－メチルベンジル）－２－（ジメチルアミノ）－１－（４－モルホリノフェニル）ブタン－１－オンなどが挙げられる。

【0090】

前記ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、０－ベンゾイル安息香酸メチル、４－フェニルベンゾフェノン、４－ベンゾイル－４'－メチルジフェニルスルフィド、３，３’，４，４’－テトラ（ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２,４,６－トリメチルベンゾフェノンなどがある。

【0091】

前記トリアジン系化合物の具体的な例としては、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－（４－メトキシフェニル）－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－（４－メトキシナフチル）－１,３,５－トリアジン、２,４－ビス（トリクロロメチル）－６－ピペロニル－１,３,５－トリアジン、２,４－ビス（トリクロロメチル）－６－（４－メトキシスチリル）－１,３,５－トリアジン、２,４－ビス（トリクロロメチル）－６－[２－（５－メチルフラン－２－イル）エテニル]－１,３,５－トリアジン、２,４－ビス（トリクロロメチル）－６－[２－（フラン－２－イル）エテニル]－１,３,５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－［２－（４－ジエチルアミノ－２－メチルフェニル）エテニル］－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－［２－（３，４－ジメトキシフェニル）エテニル］－１，３，５－トリアジンなどが挙げられる。

【0092】

前記ビイミダゾール系化合物の具体的な例としては、２,２'－ビス（２－クロロフェニル）－４,４',５,５'－テトラフェニルビイミダゾール、２,２'－ビス（２,３－ジクロロフェニル）－４,４',５,５'－テトラフェニルビイミダゾール、２,２'－ビス（２－クロロフェニル）－４,４',５,５'－テトラ（アルコキシフェニル）ビイミドダゾール、２,２'－ビス（２－クロロフェニル）－４,４',５,５'－テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２,２－ビス（２,６－ジクロロフェニル）－４,４',５,５'－テトラフェニル－１,２'－ビイミダゾール又は４,４',５,５'位のフェニル基がカルボアルコキシ基で置換されているビイミダゾール化合物などが挙げられる。これらのうち、２,２'－ビス（２－クロロフェニル）－４,４',５,５'－テトラフェニルビイミダゾール、２,２'－ビス（２,３－ジクロロフェニル）－４,４'、５，５’－テトラフェニルビイミダゾール、２，２－ビス（２，６－ジクロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾールが好ましく用いられる。

【0093】

前記オキシム系化合物の具体的な例としては、ｏ－エトキシカルボニル－α－オキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、１，２－オクタンジオン、－１－（４－フェニルチオ）フェニル、－２－（o－ベンゾイルオキシム）、エタノン、－１－（９－エチル）－６－（２－メチルベンゾイル）カルバゾール－３－イル、１－（o－アセチルオキシム）などが挙げられ、市販品として、ＣＧＩ－１２４（チバガイギー社）、ＣＧＩ－２２４（チバガイギー社）、イルガキュア ＯＸＥ－０１（ＢＡＳＦ社）、イルガキュア ＯＸＥ－０２（ＢＡＳＦ社）、Ｎ－１９１９（ＡＤＥＫＡ社）、ＮＣＩ－８３１（ＡＤＥＫＡ社）などがある。

【0094】

前記チオキサントン系化合物としては、例えば、２－イソプロピルチオキサントン、２，４－ジエチルチオキサントン、２，４－ジクロロチオキサントン、１－クロロ－４－プロポキシチオキサントンなどがある。

【0095】

また、前記光重合開始剤は、前記感光性樹脂組成物の感度を向上させるために、光重合開始助剤をさらに含んでよい。前記感光性樹脂組成物は、光重合開始助剤を含有することにより、感度がさらに高まって生産性を向上させることができる。

【0096】

前記光重合開始助剤としては、例えば、アミン化合物、カルボン酸化合物およびチオール基を有する有機硫黄化合物からなる群より選択される１種以上の化合物が好ましく用いられてよい。

【0097】

前記アミン化合物としては、具体的に、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物、４－ジメチルアミノ安息香酸メチル、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４－ジメチルアミノ安息香酸２－エチルヘキシル、安息香酸２－ジメチルアミノエチル、Ｎ,Ｎ－ジメチルパラトルイジン、４,４'－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称：ミヒラーケトン）、４,４'－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどの芳香族アミン化合物を用いてよく、特に芳香族アミン化合物を用いることが好ましい。

【0098】

前記カルボン酸化合物は、芳香族ヘテロ酢酸類であることが好ましく、具体的には、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、Ｎ－フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、Ｎ－ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸などが挙げられる。

【0099】

前記チオール基を有する有機硫黄化合物の具体的な例としては、２－メルカプトベンゾチアゾール、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチルオキシエチル）－１,３,５－トリアジン－２,４,６（１Ｈ,３Ｈ,５Ｈ）－トリオン、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３－メルカプトプロピオネート）、テトラエチレングリコールビス（３－メルカプトプロピオネート）などが挙げられる。

【0100】

前記光重合開始剤は、感光性樹脂組成物中の全固形分１００重量部に対して、０．１～１０重量部、好ましくは、０．１～５重量部で含まれてよい。前記光重合開始剤が前記範囲内で含まれると、感光性樹脂組成物が高感度化して露光時間が短縮するため生産性が向上し、且つ高解像度を維持することができる。

【0101】

また、前記光重合開始助剤をさらに用いる場合、前記光重合開始助剤は、感光性樹脂組成物中の全固形分１００重量部に対して、０．１～１０重量部、好ましくは、０．１～５重量部で含まれてよい。前記光重合開始助剤の使用量が前記範囲内にあると、感光性樹脂組成物の感度がさらに高まり、且つ前記組成物を用いて形成される光硬化膜の生産性が向上することがある。

【0102】

前記感光性樹脂組成物は、多官能チオール化合物をさらに含んでよい。

【0103】

前記多官能チオール化合物は、三官能以上のチオール化合物であって、架橋密度を向上させて耐腐食パッシベーション膜の耐久性および金属基材との密着性を向上させ、且つ高温での黄変現象を防止する機能をする。

【0104】

前記多官能チオール化合物は、三官能以上のチオール化合物であって、感光性樹脂組成物に用いられ得る化合物であれば特に限定されず、四官能以上のチオール化合物が好ましい。例えば、前記多官能チオール化合物は、下記化学式３で表される化合物であってよい。

【0105】

【化10】

【0106】

前記式中、
Ｚ_１は、メチレン基又は炭素数２～１０の直鎖若しくは分岐鎖のアルキレン基又はアルキルメチレン基であり、
Ｙは、存在しないか、－ＣＯ－、－Ｏ－ＣＯ－又は－ＮＨＣＯ－であり、
Ｘは、１個又は複数個のエーテル結合を有してよい炭素数２～７０のｎ価の炭化水素基であるか、又は下記化学式４で表される３価の基であり、
ｎは、３～１０の整数であり、

【0107】

【化11】

【0108】

前記式中、
Ｚ_２、Ｚ_３、およびＺ_４は、互いに独立してメチレン基又は炭素数２～６のアルキレン基であり、
「*」は結合手を示す。

【0109】

前記多官能チオール化合物の含量は特に限定されないが、例えば、アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、０．１～１５重量部、好ましくは、１～１０重量部の範囲であってよい。多官能チオール化合物が前記の含量範囲で含まれる場合、優れた低温硬化性能を示すことができる。

【0110】

前記感光性樹脂組成物は、前記成分の他、本発明の目的を損なわない範囲で当業者の必要に応じて他の高分子化合物、硬化剤、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などの添加剤を併用することができる。

【0111】

前記感光性樹脂組成物の粘度は２０ｃＰ以下、例えば、５～２０ｃＰであってよい。前記感光性樹脂組成物の粘度が２０ｃＰを超えると、コーティング性の低下により塗膜表面の平坦性が不足することがあり、特に、下部基材の表面に異物がある場合、異物部位の段差が増加することがある。

【0112】

前記耐腐食パッシベーション膜は、可視光透過率が８９％以上、好ましくは、９５％以上であってよい。

【0113】

前記可視光透過率は、可視光全域の波長、例えば、３６０ｎｍ～７４０ｎｍの範囲における透過率を意味する。

【0114】

前記耐腐食パッシベーション膜の可視光透過率が８９％未満であると、金属特有の美麗な外観特性を維持し難いことがある。

【0115】

前記耐腐食パッシベーション膜の厚さは、１～５μｍ、好ましくは、１．５～２．５μｍであってよい。前記耐腐食パッシベーション膜の厚さが１μｍ未満であると、金属箔の粗さによってコーティングがうまく施されなかったり、外部水分が浸透したり、十分な膜厚の未確保により耐腐食性が低下することがあり、また５μｍを超えると、硬化時間が増加して生産性が低下したり、放熱性能が低下することがある。

【0116】

前記金属箔への耐腐食パッシベーション膜の密着力は、ＡＳＴＭ Ｄ３３５９規格で５Ｂ水準であってよい。

【0117】

前記金属箔への耐腐食パッシベーション膜の密着力が５Ｂ未満であると、耐腐食性が低下したり、外部水分が浸透したり、あるいは後工程の加工段階で膜浮き不良が発生することがある。

【0118】

前記耐腐食パッシベーション膜は、感光性樹脂組成物から形成され、必要に応じてパターニングされていてよい。前記パターニングは、通常のフォトリソグラフィ方法を用いて行われてよい。

【0119】

本発明の一実施形態は、前記放熱板の製造方法に関する。

【0120】

本発明の一実施形態に係る放熱板の製造方法は、
金属箔の少なくとも一方の面に感光性樹脂組成物を塗布して塗膜を得る段階；
前記塗膜を乾燥する段階；
前記乾燥された塗膜を光硬化する段階；および
前記光硬化された塗膜をポストベークして耐腐食パッシベーション膜を形成する段階を含む。

【0121】

前記金属箔および耐腐食パッシベーション膜の構成成分、厚さ、物性などは、前記放熱板で説明したのと同様である。

【0122】

前記感光性樹脂組成物の塗布方法としては、例えば、スピンコーティング法、スロットダイコーティング法、グラビアコーティング法、インクジェットプリンティング、ロール塗布法、スリットアンドスピンコーティング法などが挙げられる。

【0123】

前記塗膜の乾燥（プリベーク）は、一次乾燥で溶媒を揮発させてから光硬化反応サイトを密着させてより円滑に光硬化が行われるようにする工程であり、光硬化塗膜の緻密性の確保に寄与する。これは、９０～１１０℃で１～１０分、好ましくは、１００℃で２分～５分程度行ってよい。

【0124】

前記プリベークは、オーブン、ホットプレートなどによって加熱することで行われる。

【0125】

前記光硬化は、光照射によって行ってよい。

【0126】

前記耐腐食パッシベーション膜をパターン化する場合は、前記光硬化する段階でマスクを用いて光照射を行い、前記光硬化する段階の後に光硬化された塗膜を現像する段階を含んでよい。

【0127】

このとき、露光部の全体に均一に平行光線が照射され、且つマスクと基板との正確な位置合わせが実施されるように、マスクアライナーやステッパなどの装置を用いることが好ましい。紫外線を照射すると、紫外線が照射された部位の硬化がなされる。

【0128】

前記紫外線としては、ｇ線（波長：４３６ｎｍ）、ｈ線、ｉ線（波長：３６５ｎｍ）などを用いてよく、特にｉ線（波長：３６５ｎｍ）を用いてよい。紫外線の照射量は、必要に応じて適宜選択されてよく、例えば、７０～２００ｍＪ／ｃｍ^２、好ましくは、１００～１５０ｍＪ／ｃｍ^２であってよい。

【0129】

前記現像は、非露光部分の感光性樹脂組成物を除去する目的から行われ、該現像によって所望のパターンが形成される。

【0130】

前記現像に適合した現像液としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属の水酸化物の水溶液などを用いてよい。特に、ＫＯＨを０．０１～０．１重量％、例えば、０．０４５重量％の濃度で含有するアルカリ水溶液を用いて常温で６０～１２０秒間行ってよい。

【0131】

前記現像方法は、液添加法、ディッピング法、スプレー法などのいずれであってもよい。また、現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。

【0132】

現像後に水洗し、ポストベークを行う。

【0133】

ポストベークは、パターニングされた膜の硬化度を高め、パターンのテーパ角のリフローを高めるために行い、９０～１５０℃、好ましくは、９０～１２０℃で２０～３０分の条件にて熱処理により行われる。高信頼性が求められるとき、２００℃までポストベーク温度を上げて過硬化を行うことにより、密着力や硬化度をさらに上昇させることができる。

【0134】

ポストベークは、フリーベークと同様に、オーブン、ホットプレートなどを用いて行う。

【0135】

前記ポストベークを相対的に低温で行うことで生産性や密着力を向上させることができる。

【0136】

本発明の一実施形態は、上述した放熱板を含む画像表示装置に関する。前記画像表示装置としては、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機発光素子（ＯＬＥＤ）などが挙げられるが、これらに限定されることではなく、適用が可能な当技術分野で知られたあらゆる画像表示装置を含んでよい。特に、前記画像表示装置はフレキシブルディスプレイであってよい。

【0137】

以下、実施例、比較例および実験例により本発明をより具体的に説明する。なお、これらの実施例、比較例および実験例は本発明を説明するためのものであって、本発明の範囲がこれらに限定されないことは当業者にとって明らかである。

【0138】

合成例１：第１のアルカリ可溶性樹脂の合成
還流冷却器、滴下漏斗および攪拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流し込んで窒素雰囲気とし、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル２５０ｇを入れて攪拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、下記化学式ａおよび化学式ｂで表される化合物の混合物（（モル比は５０：５０）１３２．２ｇ（０．６０ｍｏｌ）、グリシジルメタクリレート４２．７ｇ（０．３０ｍｏｌ）およびメタクリル酸８．６ｇ（０．１０ｍｏｌ）をジエチレングリコールメチルエチルエーテル１００ｇに溶解して投入した。

【0139】

【化12】

【0140】

調製された溶液を、滴下漏斗を用いてフラスコ内に滴下した後、重合開始剤の２,２'－アゾビス（２,４－ジメチルバレロニトリル）２７．９ｇ（０．１１ｍｏｌ）をジエチレングリコールメチルエチルエーテル２００ｇに溶解した溶液を、別途の滴下漏斗を用いて４時間に亘ってフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、７０℃で４時間維持し、その後、室温まで冷却させ、固形分３６．７質量％、酸価５９ｍｇＫＯＨ／ｇ（固形分換算）の下記化学式１－１ａで表される繰り返し単位を含む第１のアルカリ可溶性樹脂（Ａ－１）の溶液を得、重量平均分子量（Ｍｗ）は８,４００、分子量分布は１．８９であった。

【0141】

【化13】

【0142】

前記式中、ｏは６０ｍｏｌ％、ｐは３０ｍｏｌ％、ｑは１０ｍｏｌ％を示す。

【0143】

合成例２：第２のアルカリ可溶性樹脂の合成
還流冷却器、滴下漏斗および攪拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流し込んで窒素雰囲気とし、ジエチレングリコールメチルエチルエーテルアセテート２００ｇを加えて１００℃に昇温した後、スチレン１０．４ｇ（０．１０モル）、トリシクロ［５.２.１.０^２,６］デカニルメタクリレート５５．１ｇ（０．２５モル）、メタクリル酸１２．９ｇ（０．１５モル）、グリシジルメタクリレート７１．１ｇ（０．５０モル）を加えた後、２,２'－アゾビス（２,４－ジメチルバレロニトリル）２．０ｇをジエチレングリコールメチルエチルエーテル１００ｇに溶解させた溶液を滴下ロートから２時間にかけてフラスコに滴下した後、さらに１００℃で５時間攪拌を続けた。
反応の終了後、固形分酸価が５５ｍｇＫＯＨ／ｇの下記化学式２－１ａで表される繰り返し単位を含む第２のアルカリ可溶性樹脂（Ａ－２）を得た。ＧＰＣにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は２３,５００であり、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は２．３であった。

【0144】

【化14】

【0145】

前記式中、ｏは１０ｍｏｌ％、ｐは２５ｍｏｌ％、ｑは１５ｍｏｌ％、ｒは５０ｍｏｌ％を示す。

【0146】

製造例１：感光性樹脂組成物の製造
前記合成例１の第１のアルカリ可溶性樹脂９．２２重量％、前記合成例２の第２のアルカリ可溶性樹脂３．９５重量％、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート８．７８重量％、下記化学式３ａで表される多官能チオール化合物０．６６重量％、光重合開始剤として２,２'－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４,５,４',５'－テトラフェニル－１,２'－ビイミダゾール（Ｂ－ＣＩＭ、保土谷化学工業）０．７７重量％および下記化学式４ａで表されるオキシム系化合物０．４４重量％、溶媒としてジエチレングリコールメチルエチルエーテル２６．６０重量％、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３０．４０重量％および３－メトキシ－１－ブタノール１９．００重量％、そして酸化防止剤として４,４'－ブチリデンビス［６－ｔｅｒｔ－ブチル－３－メチルフェノール］（ＢＢＭ－Ｓ、住友精密化学）０．１８重量％を混合して感光性樹脂組成物を製造した。

【0147】

【化15】

【0148】

実施例１：放熱板の製造
金属箔として銅箔基材（成分：Ｃｕ／Ｎｉ合金、Ｃｕ ９７重量％、Ｎｉ ３重量％、厚さ：１００μｍ）の一方の面に前記製造例１の感光性樹脂組成物をスピンコートした後、ホットプレート（Ｈｏｔ ｐｌａｔｅ）を用いて１００℃で５分間プリベークを行った。この後、常温に冷却後、石英ガラス製のフォトマスクとの間隔を１８０μｍにしてｉ線（波長：３６５ｎｍ）を１００ｍＪ／ｃｍ^２で照射した。光照射の後、０．０４５重量％のＫＯＨ水溶液に前記塗膜を常温で６０秒間浸漬して現像し、水洗および乾燥の後、クリーンオーブンを用いて１１０℃で２０分間ポストベークを行った。次いで、常温に冷却後、前記銅箔基材の他の一方の面に前記製造例１の感光性樹脂組成物をスピンコートした後、同様な段階を繰り返し行って、銅箔基材の両面に耐腐食パッシベーション膜が形成された放熱板を製造した。

【0149】

実験例１：耐腐食性の評価
前記実施例の放熱板の耐腐食性を、ＷＥＩＳＳ ＳＣ４５０を用いて金属の塩水腐食加速評価法に従い下記のように評価した。比較のために、耐腐食パッシベーション膜が形成されていない銅箔基材（成分：Ｃｕ／Ｎｉ合金、Ｃｕ ９７重量％、Ｎｉ ３重量％、厚さ：１００μｍ）の耐腐食性も同様の条件下で評価した。

【0150】

具体的に、製造された放熱板の４面をテープで固定してテスト領域（ｔｅｓｔ ａｒｅａ）をオープンし、当該領域に５重量％濃度の塩水（ＮａＣｌ）を連続噴霧して３５℃で７２時間放置してから、放置前後の表面状態を比較して腐食の程度を判断した。

【0151】

実施例の放熱板の耐腐食性は、塩水噴霧下で放置した後、銅箔基材の表面の腐食発生部位を確認して評価した。

【0152】

その結果を図２～図４に示した。

【0153】

図２は、塩水放置前の銅箔基材の表面写真である。図３は、塩水放置後の、耐腐食パッシベーション膜が形成されていない銅箔基材の表面写真であり、図４は、塩水放置後の、実施例１の放熱板の銅箔基材の表面写真である。

【0154】

図２～図４から、本発明に係る感光性樹脂組成物から形成される耐腐食パッシベーション膜を含む実施例１の放熱板は耐腐食性に優れるのに対し、耐腐食パッシベーション膜が形成されていない銅箔基材の耐腐食性は不良であることが確認できる。

【0155】

実験例２：透過率
透過率は、分光測色計（Ｍｉｎｏｌｔａ ＣＭ－３６００Ａ）を用いて測定した。

【0156】

試料の測定前に大気（ａｉｒ）下でホワイト補正（Ｗｈｉｔｅ Ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ）を行い、試料のない状態で１００％の透過率が出るか否かを確認した。この後、試料を載置して３６０～７４０ｎｍの波長域の透過率を測定した。
金属箔に耐腐食パッシベーション膜を塗布してから透過率を測定すると、金属箔によって透過率の確認が不可能であり、耐腐食パッシベーション膜を基材なしに形成することはできないため、光学用透明基材（２３μｍのＰＥＴ）の透過率と透明基材に塗布された耐腐食パッシベーション膜の透過率とを比較して透過率を得た。

【0157】

その結果を図５に示した。

【0158】

図５から、耐腐食パッシベーション膜が可視光（３６０～７４０ｎｍ）波長帯で８９％以上の透過率を示すことが確認できる。

【0159】

実験例３：密着力
密着力の評価は、標準規格ＡＳＴＭ Ｄ３３５９の規格に準拠して実施した。
具体的に、耐腐食パッシベーション膜の上面に１ｍｍ間隔で横と縦方向にそれぞれ１１本ずつカッターで切り込みを入れて裁断して横縦それぞれ１ｍｍの１００個の正方形格子を形成した。その後、ニチバン社（Ｎｉｃｈｉｂａｎ）のＣＴ－２４接着テープを前記裁断した面に貼り付けてから該接着テープを剥がし取るときに一緒に剥離される面の状態を測定し、下記基準で評価した。

【0160】

＜評価基準＞
５Ｂ：剥離された面がない場合
４Ｂ：剥離された面が総面積に対して５％未満である場合
３Ｂ：剥離された面が総面積に対して５％以上１５％未満である場合
２Ｂ：剥離された面が総面積に対して１５％以上３５％未満である場合
１Ｂ：剥離された面が総面積に対して３５％以上６５％未満である場合
０Ｂ：剥離された面が総面積に対して６５％以上である場合
その結果、本発明に係る感光性樹脂組成物から形成される耐腐食パッシベーション膜を含む実施例１の放熱板は、５Ｂ水準の密着力を示すことが確認された。

【符号の説明】

【0161】

１００：金属箔
２０１：第１の耐腐食パッシベーション膜
２０２：第２の耐腐食パッシベーション膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】