特開 2023-130611 洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023130611

(43)【公開日】2023-09-21

(54)【発明の名称】洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20230913BHJP

   B08B 5/02 20060101ALI20230913BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 643Z

B08B5/02 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022034995

(22)【出願日】2022-03-08

(71)【出願人】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】別府 永志

(72)【発明者】

【氏名】田島 渉吾

【テーマコード（参考）】

3B116

5F157

【Ｆターム（参考）】

3B116AA03

3B116AB01

3B116BB22

3B116BB82

3B116BB88

5F157AA74

5F157AB02

5F157AB16

5F157AB33

5F157BC35

5F157CF22

5F157CF30

5F157DA41

5F157DB02

5F157DB03

(57)【要約】

【課題】ドライアイススノー洗浄によるオイル除去において、ウエハ裏面へのオイルの回り込みを抑制する。
【解決手段】洗浄装置は、載置台１０１と、載置台１０１に載置されたウエハ１５１の表面にドライアイススノーを吹き付けるノズル１０２と、ウエハ１５１の周囲を囲う環状の環状部材１０３と、環状部材１０３の内周面に設けられた吹き出し口１０４とを備える。吹き出し口１０４は、ウエハ１５１の周縁部に向けてエアを吹き出す。吹き出し口１０４は、ウエハ１５１の周縁部の表面側に向けてエアを吹き出す。また、吹き出し口１０４は、ウエハ１５１の中心部に向けてエアを吹き出す。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

対象となるウエハの裏面側に空間を備える状態で前記ウエハを載置する載置台と、
前記載置台に載置された前記ウエハの表面にドライアイススノーを吹き付けるノズルと、
前記ウエハの周囲を囲う環状の環状部材と、
前記環状部材の内周面に設けられ、前記ウエハの周縁部に向けてエアを吹き出す吹き出し口と
を備える洗浄装置。

【請求項2】

請求項１記載の洗浄装置において、
前記吹き出し口は、前記ウエハの中心部に向けて前記エアを吹き出すことを特徴とする洗浄装置。

【請求項3】

請求項２記載の洗浄装置において、
前記吹き出し口は、前記ウエハの外周に沿って設けられており、前記吹き出し口と前記ウエハの外周との距離は全周において略同一となっていることを特徴とする洗浄装置。

【請求項4】

請求項２または３記載の洗浄装置において、
前記吹き出し口は、複数設けられていることを特徴とする洗浄装置。

【請求項5】

請求項４記載の洗浄装置において、
前記吹き出し口は、偶数個設けられ、
一対の前記吹き出し口は、前記ウエハの中心に点対称な位置に配置されていることを特徴とする洗浄装置。

【請求項6】

請求項１～５のいずれか１項に記載の洗浄装置において、
前記環状部材に設けられて、前記載置台の上で前記ウエハを押さえるウエハ押さえ機構を備えることを特徴とする洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウエハなどを洗浄する洗浄装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、半導体チップ内に、ピエゾ抵抗素子が形成された半導体膜から２つのダイアフラムを平面方向に並んで配置し、それぞれのダイアフラムの直上に形成された２つの部屋（ダイアフラム室）を連通路によって互いに空間的に接続した構造のセンサチップを用いたダイアフラム並列配置型の差圧計が知られている。

【0003】

この種の差圧計では、一方のダイアフラムに加えられた圧力を他方のダイアフラムに伝達させるために、２つの部屋および連通路を、オイルなどによる圧力伝達物質で満たしている。また、２つの部屋および連通路に満たしたオイルは、これらの空間に封入するため、オイルの導入孔を、封止部材で封止している。このオイルの封入は、一般に、ウエハに形成されている複数のセンサチップの各々のダイアフラム室内を真空状態とした後、ウエハをオイルに浸し、ダイアフラム室に連通する導入孔よりダイアフラム室内にオイルを導入してダイアフラム室内をオイルで満たした後、導入孔を封止している。

【0004】

このため、ウエハ表面がオイルで汚染されるという問題がある。このオイル残渣によって他の設備を汚染し、また、特性検査でのプローブ接触やダイシングテープの貼り付けなどでトラブルの原因ともなる。このため、従来、ウエハ表面に残ったオイルを、洗浄・除去してから後工程へ投入している。この洗浄には、ドライアイススノー洗浄が用いられている（特許文献１参照）。ドライアイススノー洗浄は、液化炭酸ガスから作るドライアイス微粒子を、窒素やドライエアなどの推進ガスに混合し、高速で洗浄対象部に衝突させ、洗浄対象の表面のパーティクルや有機物を除去する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第３４９３４９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、上述した技術では、ドライアイス微粒子を推進ガスに混合してウエハ表面に吹き付ける際に、除去しようとしているオイルが流されてウエハ裏面に回り込み、ウエハ裏面にオイル残渣が発生するという問題があった。

【0007】

本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、ドライアイススノー洗浄によるオイル除去において、ウエハ裏面へのオイルの回り込みを抑制することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に係る洗浄装置は、対象となるウエハの裏面側に空間を備える状態でウエハを載置する載置台と、載置台に載置されたウエハの表面にドライアイススノーを吹き付けるノズルと、ウエハの周囲を囲う環状の環状部材と、環状部材の内周面に設けられ、ウエハの周縁部に向けてエアを吹き出す吹き出し口とを備える。

【0009】

上記洗浄装置の一構成例において、吹き出し口は、ウエハの中心部に向けてエアを吹き出す。

【0010】

上記洗浄装置の一構成例において、吹き出し口は、ウエハの外周に沿って設けられており、吹き出し口とウエハの外周との距離は全周において略同一となっている。

【0011】

上記洗浄装置の一構成例において、吹き出し口は、複数設けられている。

【0012】

上記洗浄装置の一構成例において、吹き出し口は、偶数個設けられ、一対の吹き出し口は、ウエハの中心に点対称な位置に配置されている。

【0013】

上記洗浄装置の一構成例において、環状部材に設けられて、載置台の上でウエハを押さえるウエハ押さえ機構を備える。

【発明の効果】

【0014】

以上説明したように、本発明によれば、ウエハの周囲を囲う環状の環状部材を設け、環状部材の内周面にウエハの周縁部に向けてエアを吹き出す吹き出し口を設けたので、ドライアイススノー洗浄によるオイル除去において、ウエハ裏面へのオイルの回り込みが抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置の一部構成を示す断面図である。

【図2】図２は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置の構成を示す斜視図である。

【図3】図３は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置の一部構成を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施の形態に係る洗浄装置について図１，図２，図３を参照して説明する。

【0017】

この洗浄装置は、載置台１０１と、載置台１０１に載置されたウエハ１５１の表面にドライアイススノーを吹き付けるノズル１０２と、ウエハ１５１の周囲を囲う環状の環状部材１０３と、環状部材１０３の内周面に設けられた吹き出し口１０４とを備える。また、図２に示すように、環状部材１０３に設けられて、載置台１０１の上でウエハ１５１を押さえるウエハ押さえ機構１０８を備えることができる。

【0018】

載置固定台１０１は、対象となるウエハ１５１の裏面側に空間１２１を備える状態でウエハ１５１を載置固定する。ウエハ１５１は、例えば、載置固定台１０１が真空吸着によりウエハ１５１の裏面を吸着して固定してもよいし、図２に示すように、環状部材１０３に設けられて、載置固定台１０１の上でウエハ１５１を押さえるウエハ押さえ機構１０８で固定してもよい。吹き出し口１０４は、ウエハ１５１の周縁部の表面側に向けてエアを吹き出す。また、吹き出し口１０４は、ウエハ１５１の中心部に向けてエアを吹き出す構造となっている。

【0019】

例えば、環状部材１０３の側面には、エア供給口１０５が設けられている。エア供給口１０５から供給されるエアは、環状部材１０３の内部を貫通する第１流路１０６および第２流路１０７を経て、吹き出し口１０４から吹き出される。例えば、環状部材１０３は、本体１０３ａと、本体１０３ａの上面を覆おう蓋部１０３ｂとから構成することができる。第２流路１０７は、本体１０３ａの上面と蓋部１０３ｂとの間に設けられた隙間から構成することができる。この隙間による第２流路１０７の環状部材１０３の内周面側の出口を、吹き出し口１０４とすることができる。

【0020】

また、吹き出し口１０４はウエハ１５１外周に沿って設けられており、吹き出し口１０４とウエハ１５１外周との距離は全周にわたって略同一の距離となっている。また、吹き出し口１０４は、複数設けることができる。吹き出し口１０４は、例えば、偶数個設け、一対の吹き出し口１０４は、ウエハ１５１の中心に点対称な位置に配置することができる。また、第２流路１０７を、環状部材１０３の全周に連続して設け、吹き出し口１０４を環状部材１０３の内周面側において、全周に連続して設けることができる。
とすることができる。

【0021】

次に、上述した洗浄装置による洗浄動作について説明する。まず、載置台１０１にウエハ１５１を載置して載置する。次いで、環状部材１０３を、載置台１０１の載置されているウエハ１５１の周囲に配置する。環状部材１０３には、ウエハ押さえ機構１０８が設けられており、ウエハ押さえ機構１０８の先端部に設けられているプランジャでウエハ１５１を上から抑えつける。次に、環状部材１０３の吹き出し口１０４より、ウエハ１５１の周縁部に向けてエアを吹き付ける。吹き出し口１０４より吹き出されるエアは、ウエハ１５１の周縁部の表面に向かって、斜め上方から吹き付けられる（図３）。上述したエアの吹き出し（吹き付け）方向は、ウエハ１５１の表面の面に直交する成分と、ウエハ１５１の表面の面に平行な成分とを合成した方向となる。

【0022】

この状態で、ノズル１０２より推進ガスに混合したドライアイス微粒子（ドライアイススノー）を吐出し、ウエハ１５１の表面に吹き付ける。ウエハ１５１の表面で、ノズル１０２のｘ軸方向の直線走査を、直交するｙ軸方向に逐次走査していくことで、ウエハ１５１の表面全域にドライアイススノーを吹き付けて洗浄を実施する。

【0023】

上述したドライアイススノーの吹き付けによって、ウエハ１５１の表面に付着しているオイルが洗浄・除去されるが、これらの一部がウエハ１５１の外周方向へ移動していく。しかしながら、吹き出し口１０４より吹き出されるエアの吹き付けによって、上述したオイルの移動は抑制され、ウエハ１５１の端面からウエハ１５１の裏面へのオイルの回り込みが抑制される。このように、ウエハ１５１の裏面へのオイルの回り込みが抑制されている状態で、ドライアイススノーの吹き付けを実施することによって、ウエハ１５１の表面のオイルがやがて除去される。

【0024】

以上に説明したように本発明によれば、ウエハの周囲を囲う環状の環状部材を設け、環状部材の内周面にウエハの周縁部に向けてエアを吹き出す吹き出し口を設けたので、ドライアイススノー洗浄によるオイル除去において、ウエハ裏面へのオイルの回り込みが抑制できるようになる。

【0025】

なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。

【符号の説明】

【0026】

１０１…載置台、１０２…ノズル、１０３…環状部材、１０３ａ…本体、１０３ｂ…蓋部、１０４…吹き出し口、１０５…エア供給口、１０６…第１流路、１０７…第２流路、１０８…ウエハ押さえ機構、１２１…空間、１５１…ウエハ。

【図1】

【図2】

【図3】