特開 2023-131560 画像取得装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023131560

(43)【公開日】2023-09-22

(54)【発明の名称】画像取得装置

(51)【国際特許分類】

   G05D 3/12 20060101AFI20230914BHJP

   B05C 11/00 20060101ALI20230914BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20230914BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20230914BHJP

【ＦＩ】

G05D3/12 W

B05C11/00

B05C11/10

B05C5/00 101

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022036396

(22)【出願日】2022-03-09

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142022

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 一晃

(74)【代理人】

【識別番号】100196623

【弁理士】

【氏名又は名称】松下 計介

(72)【発明者】

【氏名】常吉 豪

【テーマコード（参考）】

4F041

4F042

5H303

【Ｆターム（参考）】

4F041AA02

4F041AB01

4F041BA01

4F041BA10

4F041BA13

4F041BA22

4F041BA38

4F042AA02

4F042BA02

4F042BA03

4F042BA04

4F042BA08

4F042BA12

4F042BA19

4F042CB03

4F042CB07

4F042DF05

4F042DH09

5H303AA06

5H303BB01

5H303BB06

5H303BB11

5H303CC01

5H303DD01

5H303FF09

5H303GG11

5H303HH07

5H303JJ08

5H303KK25

(57)【要約】

【課題】撮像装置の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる画像取得装置を提供する。
【解決手段】対象物Ｍを撮像するカメラ２と、画像処理制御装置５と、カメラ２の位置を位置パルス列信号Ｓとして画像処理制御装置５に対して出力する位置計測装置３と、を有し、出力パルス数毎に対象物Ｍを撮像する画像取得装置１である。画像取得装置１は、位置計測装置３が画像処理制御装置５に対して出力した位置パルス列信号Ｓを補正する信号補正装置４を有する。信号補正装置４は、カメラ２が等ピッチで対象物Ｍを撮像するように位置計測装置３が出力した位置パルス列信号Ｓを補正し、補正した位置パルス列信号Ｓを画像処理制御装置５に対して出力する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

対象物を撮像する撮像装置と、前記撮像装置が撮像した画像を処理する画像処理制御装置と、前記撮像装置または前記対象物を搬送する移動体の位置を位置パルス列信号として前記画像処理制御装置に対して出力する位置計測装置と、を有し、
前記画像処理制御装置が所定のパルス数毎に前記撮像装置に前記対象物を撮像させる画像取得装置であって、
前記位置計測装置が前記画像処理制御装置に対して出力した位置パルス列信号を補正する信号補正装置を有し、
前記信号補正装置は、
前記撮像装置または前記移動体が原点位置から任意の位置に移動した際に前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と前記原点位置から前記任意の位置までの距離との関係についての情報に基づいて、前記撮像装置が等ピッチで前記対象物を撮像するように前記位置計測装置が出力した位置パルス列信号を補正し、補正した前記位置パルス列信号を前記画像処理制御装置に対して出力する、
画像取得装置。

【請求項2】

請求項１に記載の画像取得装置において、
前記画像処理制御装置は、
前記撮像装置による撮像条件に応じた複数の前記所定のパルス数を設定可能に構成され、前記複数の所定のパルス数から選択した１つの前記所定のパルス数毎に前記対象物を前記撮像装置に撮像させる、
画像取得装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の画像取得装置において、
前記信号補正装置は、
前記関係についての情報に基づいて補正に必要な位置パルス数を算出し、補正に必要な位置パルスを前記位置パルス列信号に加算または減算して前記位置パルス列信号を補正する、
画像取得装置。

【請求項4】

請求項１から３のいずれか一項に記載の画像取得装置において、
前記信号補正装置は、
前記撮像装置の撮像条件または前記移動体が移動される条件毎に前記関係についての情報を有し、前記撮像装置の撮像条件または前記移動体が移動される条件から選択した1つの前記関係についての情報に基づいて、前記位置パルス列信号を補正する、
画像取得装置。

【請求項5】

請求項４に記載の画像取得装置において、
前記信号補正装置は、
前記撮像装置または前記移動体が移動される環境温度毎に前記関係についての情報を有する、
画像取得装置。

【請求項6】

請求項１から５のいずれか一項に記載の画像取得装置において、
前記信号補正装置は、
前記関係についての情報である補正式に基づいて前記位置パルス列信号を補正する、
画像取得装置。

【請求項7】

請求項１から５のいずれか一項に記載の画像取得装置において、
前記信号補正装置は、
前記関係についての情報である補正テーブルに基づいて前記位置パルス列信号を補正する、
画像取得装置。

【請求項8】

請求項１から７のいずれか一項に記載の画像取得装置において、
前記画像取得装置は、
前記移動体上のフィルムにインクジェット塗布装置によって着弾されたインクを前記所定のパルス数毎に前記撮像装置によって撮像し、前記インクの着弾位置、前記インクの面積及び前記インクの体積のうち少なくとも１つを前記撮像装置が撮像した画像から算出する、
画像取得装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、等ピッチで対象物の画像を撮像する画像取得装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置、インクジェット塗布装置等の製造装置は、基板、カラーフィルタ等を載置するステージと、前記基板等に部品を接着するボンディング装置、前記カラーフィルタ等にインクを塗布する塗布装置等の加工装置とを有している。前記製造装置は、搬送装置によってステージ上の基板等に対して加工装置を任意の位置に移動可能に構成されている。前記製造装置は、加工装置の位置を計測するリニアスケール等の位置計測装置の計測結果に基づいて加工装置を任意の位置に移動させる。このような位置計測装置は、例えば、環境温度に応じて前記製造装置全体が熱伸縮した場合、前記製造装置の熱伸縮の影響を受けて計測誤差が生じる。そこで、製造装置が熱伸縮しても目標位置に対する誤差を抑制することができる製造装置が知られている。例えば、特許文献１の如くである。

【0003】

特許文献１に記載のインクジェット塗布装置は、基板を載置するステージと、前記ステージ上の基板に対してインクを塗布する塗布ユニットを備え、前記基板に対して前記塗布ユニットを移動させる。前記インクジェット塗布装置は、塗布ユニットの位置を計測する位置計測装置と、位置計測装置からの位置パルス列に基づいて塗布ユニットの制御を行う位置制御装置を備える。前記制御装置は、環境温度に対応した前記位置パルス補正テーブルに基づいて生成した補正位置パルス列信号によって前記塗布ユニットの位置制御を行う。これにより、前記インクジェット塗布装置は、位置計測装置が熱伸縮することによる影響を抑制することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－７２６６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、微細な加工を行う製造装置は、加工装置によって加工された基板の画像を取得し、前記基板等に対する加工装置の加工位置を調整する画像取得装置を有しているものがある。前記画像取得装置は、等ピッチで撮像した複数の画像に基づいて加工位置を測定する。この際、前記画像取得装置は、特許文献１に記載のインクジェット塗布装置の位置制御技術を適用することで、前記画像取得装置に対する熱伸縮による影響を抑制しつつ対象物の画像を撮像可能である。しかし、撮像位置の数が前記画像取得装置の記憶可能な数を超えている場合、前記画像取得装置は、予め取得している複数の撮像位置のパルス数に関する情報に基づいて画像の撮像及び画像の処理を実行するとともに、予め取得していた複数の撮像位置での撮像が終了する前に次の撮像位置のパルス数に関する情報を取得しなければならない。このため、前記画像取得装置では、等ピッチでの撮像、撮像した画像の処理及び撮像位置の取得を連続して実施するために撮像位置の間隔を広げ、撮像画像による加工位置の測定精度が低下してしまう場合があった。

【0006】

本発明は、撮像装置の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる画像取得装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明者は、等ピッチで対象物の画像を取得する画像取得装置において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる画像取得装置の構成について検討した。鋭意検討の結果、本発明者は、以下のような構成に想到した。

【0008】

本発明の一実施形態に係る画像取得装置は、対象物を撮像する撮像装置と、前記撮像装置が撮像した画像を処理する画像処理制御装置と、前記撮像装置または前記対象物を搬送する移動体の位置を位置パルス列信号として前記画像処理制御装置に対して出力する位置計測装置と、を有し、前記画像処理制御装置が所定のパルス数毎に前記撮像装置に前記対象物を撮像させる画像取得装置である。

【0009】

前記画像取得装置は、前記位置計測装置が前記画像処理制御装置に対して出力した位置パルス列信号を補正する信号補正装置を有する。前記信号補正装置は、前記撮像装置または前記移動体が原点位置から任意の位置に移動した際に前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と前記原点位置から前記任意の位置までの距離との関係についての情報に基づいて、前記撮像装置が等ピッチで前記対象物を撮像するように前記位置計測装置が出力した位置パルス列信号を補正する。また、前記信号補正装置は、補正した前記位置パルス列信号を前記画像処理制御装置に対して出力する。

【0010】

上述の構成では、画像取得装置は、位置計測装置が出力する位置パルス列信号に含まれるパルス数と、例えば環境温度２３℃で外力が加わっていない場合の伸縮状態において、熱収縮がない場合での原点位置から任意の位置までの距離と、位置計測装置における１パルス当りの撮像装置の移動距離とから算出される理論パルス数との誤差を信号補正装置によって補正する。よって、前記画像処理制御装置は、補正された位置パルス列信号に基づいて前記撮像装置に対して撮像信号を出力するので対象物を等ピッチで撮像可能である。よって画像取得装置は、前記対象物に対する前記撮像装置の位置に応じて撮像位置を定めるパルス数の間隔を書き換える必要がない。つまり、前記画像処理制御装置は、所定のパルス数毎に前記対象物を前記撮像装置に撮像させることで、等ピッチで前記対象物の画像を取得することができる。また、前記画像取得装置は、位置計測装置が位置パルス列信号を出力する毎に信号補正装置によって位置パルス列信号を補正する。つまり、前記画像取得装置は、前記対象物に対して撮像装置が移動している間、常に位置パルス列信号を補正している。これにより、撮像装置の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる。

【0011】

他の観点によれば、本発明の画像取得装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記画像処理制御装置は、前記撮像装置による撮像条件に応じた複数の前記所定のパルス数を設定可能に構成され、前記複数の所定のパルス数から選択した１つの前記所定のパルス数毎に前記対象物を前記撮像装置に撮像させる。

【0012】

上述の構成では、画像取得装置は、位置計測装置が任意の位置において出力する位置パルス列信号を補正し、画像処理制御装置に対して出力する。よって、前記画像処理制御装置は、補正された位置パルス列信号に基づいて撮像しているので、撮像条件に応じて撮像装置が撮像する間隔を定める所定のパルス数を変更しても等ピッチで対象物を撮像することができる。これにより、撮像装置の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる。

【0013】

他の観点によれば、本発明の画像取得装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記関係についての情報に基づいて補正に必要な位置パルス数を算出し、前記補正に必要な位置パルスを前記位置パルス列信号に加算または減算して前記位置パルス列信号を補正する。

【0014】

上述の構成では、信号補正装置は、位置計測装置が位置パルス列信号を出力する度に前記補正に必要な位置パルスを前記位置パルス列信号に加算または減算して補正する。よって、前記信号補正装置は、前記位置パルス列信号を補正するために必要な処理時間にばらつきがない。また、前記信号補正装置は、遅滞なく速やかに補正した前記位置パルス列信号を画像処理制御装置に対して出力することができる。これにより、撮像装置の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる。

【0015】

他の観点によれば、本発明の画像取得装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記撮像装置の撮像条件または前記移動体が移動される条件毎に前記関係についての情報を有し、前記撮像装置の撮像条件または前記移動体が移動される条件から選択した1つの前記関係についての情報に基づいて、前記位置パルス列信号を補正する。

【0016】

上述の構成では、信号補正装置は、撮像装置または移動体が移動される環境温度、前記移動体に搭載される対象物の重量、前記撮像装置または前記移動体の移動パターン等が異なる条件毎に、前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と原点位置から任意の位置までの距離との関係についての情報を有している。よって、前記信号補正装置によって前記撮像装置または前記移動体が移動される条件に適した補正を行う。これにより、撮像装置の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる。

【0017】

他の観点によれば、本発明の画像取得装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記撮像装置または前記移動体が移動される環境温度毎に前記関係についての情報を有する。

【0018】

上述の構成では、信号補正装置は、撮像装置または移動体が移動される環境温度毎に、前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と原点位置から任意の位置までの距離との関係についての情報を有している。よって、前記画像取得装置は、信号補正装置によって撮像装置または前記移動体が移動される環境温度に適した補正を行う。これにより、撮像装置の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる。

【0019】

他の観点によれば、本発明の画像取得装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記関係を示す補正式に基づいて前記位置パルス列信号を補正する。

【0020】

上述の構成では、信号補正装置は、撮像装置または移動体が移動される条件毎に、位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と原点位置から任意の位置までの距離との関係を示す補正式を有している。前記信号補正装置は、前記撮像装置または前記移動体が任意の位置を移動している場合において前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号の位置パルス数を前記補正式によって補正する。よって、前記信号補正装置は、前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号を前記補正式によって継ぎ目なく連続して補正することができる。これにより、撮像装置の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる。

【0021】

他の観点によれば、本発明の画像取得装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記信号補正装置は、前記関係についての情報である補正テーブルに基づいて前記位置パルス列信号を補正する。

【0022】

上述の構成では、信号補正装置は、撮像装置または移動体が移動される条件毎に、位置計測装置が出力する位置パルス列信号のパルス数と原点位置から任意の位置までの距離との関係についての情報である補正テーブルを有している。前記信号補正装置は、前記移動体が前記任意の位置にいる場合において前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号を前記補正テーブルによって補正する。よって、前記信号補正装置は、前記位置計測装置が出力する位置パルス列信号を前記補正テーブルに当てはめることによって前記位置パルス列信号を計算誤差なく補正することができる。これにより、位置制御装置が出力する１つの位置制御信号に基づいて、少なくとも１つの駆動装置による移動体の移動中の速度及び姿勢を安定させることができる。

【0023】

他の観点によれば、本発明の画像取得装置は、以下の構成を含むことが好ましい。画像取得装置は、移動体上のフィルムにインクジェット塗布装置によって着弾されたインクを前記所定のパルス数毎に前記撮像装置によって撮像し、前記インクの着弾位置、前記インクの面積及び前記インクの体積のうち少なくとも１つの前記撮像装置が撮像した画像から算出する。

【0024】

上述の構成では、画像取得装置は、インクジェット塗布装置がフィルム上に塗布した多数の微細なインクを所定のパルス数毎に撮像装置によって撮像する。前記画像処理制御装置は、信号補正装置によって補正された位置パルス列信号に基づいて所定のパルス数毎に撮像されたインクの画像を取得している。よって、前記画像処理制御装置は、取得した画像から前記インクの着弾位置、前記インクの面積及び前記インクの体積等を画像処理制御装置によって算出可能である。これにより、撮像装置の可動範囲内において、インクジェット塗布装置の熱伸縮に関わらずインクの塗布位置を調整することができる。

【0025】

本明細書で使用される専門用語は、特定の実施形態のみを定義する目的で使用されるのであって、前記専門用語によって発明を制限する意図はない。

【0026】

本明細書において、「含む、備える（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」「含む、備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」または「有する（ｈａｖｉｎｇ）」及びそれらの変形の使用は、記載された特徴、工程、要素、成分、及び／または、それらの等価物の存在を特定するが、ステップ、動作、要素、コンポーネント、及び／または、それらのグループのうちの１つまたは複数を含むことができる。

【0027】

本明細書において、「取り付けられた」、「接続された」、「結合された」、及び／または、それらの等価物は、広義の意味で使用され、“直接的及び間接的な”取り付け、接続及び結合の両方を包含する。さらに、「接続された」及び「結合された」は、物理的または機械的な接続または結合に限定されず、直接的または間接的な電気的接続または結合を含むことができる。

【0028】

他に定義されない限り、本明細書で使用される全ての用語（技術用語及び科学用語を含む）は、本発明が属する技術分野の当業者によって一般的に理解される意味と同じ意味を有する。

【0029】

［画像処理制御装置］
本明細書において、画像処理制御装置とは、取得した画像の処理を行うコンピュータである。画像処理制御装置は、取得した複数の画像の合成、対象画像の検出、検出した対象画像の位置、面積等を算出する。また、前記画像処理制御装置は、撮像装置に撮像信号を送信可能に構成されている。

【0030】

［位置計測装置］
本明細書において、位置計測装置とは、撮像装置の位置を計測するパルス列信号発生装置である。前記位置計測装置は、前記撮像装置の単位移動量に対して単位位置パルスを出力する。つまり、前記位置計測装置は、前記撮像装置の移動量に応じて位置パルス列信号を出力する。前記位置計測装置は、例えばリニアスケールによって構成される。

【0031】

［撮像装置］
本明細書において、撮像装置とは、対象物の画像を撮像する装置である。前記撮像装置は、画像処理制御装置の撮像指令によって画像を撮像する。前記撮像装置は、撮像した画像を前記画像処理制御装置に送信する。前記撮像装置は、デジタルカメラ、ＬｉＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ Ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ）等の対象物の位置情報を取得する装置であればよい。

【0032】

［位置パルス列信号］
本明細書において、位置パルス列信号とは、撮像装置が単位移動量だけ移動した際に位置計測装置が出力する信号である。位置パルス列信号は、矩形波が連続して生成されたパルス列から構成される。前記位置パルス列信号は、信号補正装置が生成した単一の矩形波である補正に必要な位置パルスを加算または減算可能に構成されている。

【発明の効果】

【0033】

本発明の一実施形態によれば、対象物を撮像する撮像装置と、前記撮像装置が撮像した画像を処理する画像処理制御装置と、前記撮像装置または前記対象物を搬送する移動体の位置を位置パルス列信号として前記画像処理制御装置に対して出力する位置計測装置と、を有し、前記画像処理制御装置が所定のパルス数毎に前記撮像装置に前記対象物を撮像させる画像取得装置において、撮像装置の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物の一部の画像を撮像装置によって撮像することができる。

【図面の簡単な説明】

【0034】

【図1】図１は、本発明の実施形態１における画像取得装置の全体構成を示す模式図である。

【図2】図２は、本発明の実施形態１における画像取得装置の制御構成を示すブロック図である。

【図3】図３は、本発明の実施形態１における画像取得装置の位置計測装置が所定の環境温度において出力した位置パルス列信号から算出した伸縮による誤差と信号補正装置による補正値とを示すグラフである。

【図4】図４は、本発明の実施形態２における画像取得装置の制御構成を示すブロック図である。

【図5】図５は、本発明における画像取得装置による画像の合成を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0035】

図１から図３を用いて、本発明に係る画像取得装置の実施形態１である画像取得装置１について説明する。図１は、本発明の実施形態１における画像取得装置１の全体構成を示す模式図である。図２は、画像取得装置１の制御構成を示すブロック図である。図３は、画像取得装置１の位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓから算出した伸縮による誤差と信号補正装置４による補正値とを示すグラフである。本実施形態における環境温度とは、画像取得装置１を作動させる際の周囲の温度であって、画像取得装置１の周囲の温度がＴ１になっている状態における温度を環境温度Ｔ１とする。

【0036】

図１と図２とに示すように、画像取得装置１は、対象物Ｍの一部の画像を等ピッチで取得する装置である。画像取得装置１は、撮像装置であるカメラ２と、位置計測装置３と、信号補正装置４（図２参照）と、画像処理制御装置５（図２参照）と、カメラ搬送装置６とを有する。

【0037】

撮像装置であるカメラ２は、対象物Ｍの一部を連続して撮像可能なデジタルカメラである。カメラ２は、カメラ搬送装置６のブロック７ｂに固定されている。カメラ２は、画像処理制御装置５と電気的に接続されている。カメラ２は、画像処理制御装置５からの撮像信号Ｓｉを取得すると、対象物Ｍの一部を撮像する。またカメラ２は、撮像した画像Ｉを画像処理制御装置５に対して出力する。

【0038】

位置計測装置３は、カメラ２の位置を計測する光学式のリニアスケールである。位置計測装置３は、スケール３ａと、スケール３ａの目盛を読み取る度に位置パルスを出力する検出器３ｂとから構成されている。検出器３ｂは、カメラ２が設けられているカメラ搬送装置６に含まれる案内装置７のベース７ｃに固定されている。スケール３ａは、カメラ搬送装置６に含まれる案内装置７のレール７ａの近傍に固定されている。これにより、位置計測装置３は、ブロック７ｂのスケール３ａに対する位置を計測可能である。つまり、位置計測装置３は、スケール３ａに対するカメラ２の位置を間接的に計測可能である。位置計測装置３の検出器３ｂは、信号補正装置４を介して画像処理制御装置５とカメラ搬送装置６の供給電力制御装置１０に電気的に接続されている。よって、位置計測装置３は、カメラ２の位置として位置パルス列信号Ｓを画像処理制御装置５と供給電力制御装置１０とに対して出力可能に構成されている。

【0039】

図２に示すように、信号補正装置４は、位置パルス列信号Ｓを補正する装置である。信号補正装置４は、位置計測装置３に電気的に接続されている。信号補正装置４は、位置計測装置３が画像処理制御装置５に対して出力した位置パルス列信号Ｓを取得可能に構成されている。また、信号補正装置４は、画像処理制御装置５に電気的に接続されている。信号補正装置４は、補正した位置パルス列信号Ｓである補正位置パルス列信号Ｓｃを画像処理制御装置５に対して出力可能に構成されている。つまり、位置計測装置３が画像処理制御装置５に対して出力した位置パルス列信号Ｓは、信号補正装置４を経由して補正位置パルス列信号Ｓｃとして画像処理制御装置５に対して出力される。

【0040】

信号補正装置４は、任意の環境温度において、位置パルス列信号Ｓを補正するための補正式Ｆを有している。補正式Ｆは、任意の環境温度において、カメラ２がカメラ２の移動範囲における基準となる原点位置Ｐ０から任意の位置に移動する際に、位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓのパルス数と、原点位置Ｐ０から任意の位置までの距離との関係についての情報である。

【0041】

補正式Ｆは、位置計測装置３のスケール３ａが、例えば環境温度２３℃で外力が加わっていない場合の伸縮状態（以下、単に「基準状態」と記す）において、原点位置Ｐ０から任意の位置までの距離と位置計測装置３における１パルス当りのカメラ２の移動距離とから算出される理論パルス数と、環境温度Ｔ１において前記任意の位置に移動されたカメラ２の位置を位置計測装置３が計測した実パルス数との関係を示す式である。信号補正装置４は、補正式Ｆを複数の環境温度毎に有している。信号補正装置４は、複数の補正式Ｆから環境温度Ｔ１に対応した補正式Ｆを選択する。信号補正装置４は、位置パルス列信号Ｓを補正式Ｆに基づいて補正可能である。

【0042】

画像処理制御装置５は、カメラ２の動作を制御するとともに、カメラ２が撮像した画像Ｉを処理する制御装置である。画像処理制御装置５は、実体的には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等がバスで接続されている。または、画像処理制御装置５は、ワンチップのＬＳＩ等からなる構成であってもよい。画像処理制御装置５は、カメラ２の動作を制御し、カメラ２が撮像した画像Ｉを処理するために種々のプログラムおよびデータが格納されている。画像処理制御装置５は、基準状態において、位置計測装置３のスケール３ａ（図１参照）がカメラ２に対して撮像信号Ｓｉを出力する出力パルス数を複数有している。画像処理制御装置５は、複数の出力パルス数のうち、撮像対象、撮像条件等に応じて選択された出力パルス数を設定可能に構成されている。更に、画像処理制御装置５は、出力パルス数毎に撮像信号Ｓｉを出力可能に構成されている。画像処理制御装置５は、カメラ２による撮像条件に応じた出力パルス数毎に撮像信号Ｓｉをカメラ２に対して出力する。また、画像処理制御装置５は、カメラ２から画像Ｉを取得する。画像処理制御装置５は、複数の対象物Ｍの画像Ｉを合成して対象物Ｍの中心位置、面積、体積等を算出可能に構成されている。

【0043】

画像処理制御装置５は、カメラ２に電気的に接続されている。画像処理制御装置５は、カメラ２に対して撮像信号Ｓｉを送信可能である。また、画像処理制御装置５は、撮像信号Ｓｉを出力する度にカメラ２が撮像した画像Ｉを取得し、対象物Ｍの全体画像を生成する。

【0044】

画像処理制御装置５は、信号補正装置４に電気的に接続されている。画像処理制御装置５は、信号補正装置４から補正位置パルス列信号Ｓｃを取得可能である。

【0045】

このように構成される画像取得装置１は、位置計測装置３が画像処理制御装置５に対して位置パルス列信号Ｓを出力する。この際、画像取得装置１は、信号補正装置４によって位置パルス列信号Ｓを補正する。信号補正装置４は、位置パルス列信号Ｓを補正した補正位置パルス列信号Ｓｃを画像処理制御装置５に対して出力する。画像処理制御装置５は、取得した補正位置パルス列信号Ｓｃに基づいて選択した出力パルス数毎に撮像信号Ｓｉを出力する。カメラ２は、撮像信号Ｓｉを取得すると対象物Ｍの一部を撮像する。更に、カメラ２は、撮像した画像Ｉを画像処理制御装置５に送信する。画像処理制御装置５は、取得した複数の画像Ｉから対象物Ｍの全体画像の合成、対象物Ｍの位置、面積、体積を算出する処理を行う。

【0046】

図１と図２とに示すように、カメラ搬送装置６は、画像取得装置１が有するカメラ２を任意の位置に移動させる装置である。カメラ搬送装置６は、案内装置７と、電動モータ８と、動力変換機構９と、供給電力制御装置１０（図２参照）と、位置制御装置１１（図２参照）とを有する。

【0047】

図１に示すように、案内装置７は、カメラ２を直線状の任意の位置に案内する装置である。案内装置７は、図示しないインクジェット塗布装置等の製造装置に設けられている。案内装置７は、製造装置に固定されているレール７ａと、レール７ａ上を移動可能なブロック７ｂとを有する。ブロック７ｂは、レール７ａに沿って移動可能に構成されている。ブロック７ｂには、ベース７ｃを介してカメラ２が固定されている。つまり、案内装置７は、カメラ２をレール７ａの延伸方向に移動可能に支持している。

【0048】

電動モータ８は、ブロック７ｂを移動させる駆動力を発生させるアクチュエータである。電動モータ８は、案内装置７におけるレール７ａの近傍に位置している。電動モータ８は、ボールねじ軸等の動力変換機構９を介してベース７ｃに連結されている。電動モータ８は、動力変換機構９によって直進運動に変換してベース７ｃに伝達する。つまり、電動モータ８は、ベース７ｃをレール７ａの延伸方向に移動可能に構成されている。

【0049】

図２に示すように、供給電力制御装置１０は、電動モータ８に電力Ｖを供給する供給電力制御装置１０（モータアンプ）である。供給電力制御装置１０は、電動モータ８と電気的に接続されている。供給電力制御装置１０は、任意の大きさの電力Ｖを電動モータ８に供給可能である。つまり、供給電力制御装置１０は、電動モータ８を任意の回転位置に移動可能である。供給電力制御装置１０は、位置計測装置３から位置パルス列信号Ｓを取得可能に構成されている。

【0050】

図１と図２とに示すように、電動モータ８が移動させるブロック７ｂ（図１参照）の位置は、位置計測装置３によって計測される。位置計測装置３は、供給電力制御装置１０（図２参照）に対して位置パルス列信号Ｓを出力可能に構成されている。本実施形態において、位置計測装置３は、熱等による伸縮がない場合、１μｍ当り１パルス出力するものとする。

【0051】

図２に示すように、位置制御装置１１は、電動モータ８を制御する制御装置である。位置制御装置１１は、実体的には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等がバスで接続されている。または、位置制御装置１１は、ワンチップのＬＳＩ等からなる構成であってもよい。位置制御装置１１は、電動モータ８の動作を制御するために種々のプログラムおよびデータが格納されている。位置制御装置１１は、位置計測装置３のスケール３ａが基準状態において、電動モータ８の目標位置におけるパルス数に関する位置制御信号Ｓｔを生成可能である。位置制御装置１１は、供給電力制御装置１０に電気的に接続されている。位置制御装置１１は、供給電力制御装置１０に、位置制御信号Ｓｔを送信可能である。

【0052】

このように構成されるカメラ搬送装置６は、位置制御装置１１から供給電力制御装置１０に対して位置制御信号Ｓｔを送信する。位置制御信号Ｓｔを取得した供給電力制御装置１０は、位置計測装置３から現在位置における位置パルス列信号Ｓを取得する。供給電力制御装置１０は、位置制御信号Ｓｔと位置パルス列信号Ｓとの差分に基づいて電動モータ８に電力Ｖを供給する。カメラ搬送装置６は、目標位置に到達するまで（位置制御信号Ｓｔと位置パルス列信号Ｓとの差分がゼロになるまで）案内装置７のブロック７ｂに固定されているカメラ２を一定速度で移動させる。

【0053】

次に、図２と図３とを用いて、画像取得装置１における画像取得制御について説明する。なお、本実施形態において、画像取得装置１は、環境温度Ｔ１において画像Ｉを取得するものとする。また、本実施形態において、画像処理制御装置５は、撮像信号Ｓｉをカメラ２に対して出力する出力パルス数が１００パルスに設定されている。つまり、画像取得装置１は、１００パルス毎に対象物Ｍをカメラ２によって撮像する。

【0054】

図２に示すように、画像取得装置１は、製造装置の上位の制御装置１００から画像取得信号Ｓｓを取得すると、カメラ２による対象物Ｍの撮像を開始する。同時に、カメラ搬送装置６の位置制御装置１１は、上位の制御装置１００から画像取得信号Ｓｓを取得すると、位置制御信号Ｓｔを供給電力制御装置１０に対して出力する。

【0055】

位置計測装置３は、画像処理制御装置５及び供給電力制御装置１０に対して位置パルス列信号Ｓを出力する。供給電力制御装置１０は、位置制御信号Ｓｔと位置パルス列信号Ｓとの差分に基づいて電動モータ８に電力Ｖを供給する。電動モータ８は、カメラ２が固定されているブロック７ｂを目標位置である第７撮像位置Ｐ７（図３参照）に向かって移動させる。

【0056】

画像処理制御装置５は、カメラ２の移動によって位置計測装置３から位置パルス列信号Ｓを１００パルス分取得する度に撮像信号Ｓｉをカメラ２に対して出力する。

【0057】

図３に示すように、環境温度Ｔ１において、位置計測装置３は、スケール３ａの熱伸縮の影響により、基準状態で原点位置Ｐ０から１００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力する位置において１０４パルス分（＋４パルス分の誤差）のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力し、基準状態で原点位置Ｐ０から２００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力する位置において２０６パルス分（＋６パルス分の誤差）のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力し、基準状態で原点位置Ｐ０から３００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力する位置において３０８パルス分（＋８パルス分の誤差）のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力し、基準状態で原点位置Ｐ０から４００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力する位置において４０６パルス分（＋６パルス分の誤差）のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力し、基準状態で原点位置Ｐ０から５００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力する位置において５００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力し、基準状態で原点位置Ｐ０から６００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力する位置において５９２パルス分（－８パルス分の誤差）のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力し、基準状態で原点位置Ｐ０から７００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力する位置において７００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力することが予め確認されている（破線参照）。

【0058】

上述のように伸縮する位置計測装置３に対して、信号補正装置４は、複数の補正式Ｆのうち環境温度Ｔ１における位置計測装置３の誤差を補正するための補正式Ｆを選択する（図２参照）。例えば、スケール３ａが収縮した位置計測装置３が原点位置Ｐ０から１００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを出力した際、カメラ２は、基準状態で原点位置Ｐ０から９６パルス（９６μｍ）の位置に移動している。

【0059】

信号補正装置４は、原点位置Ｐ０から１００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを位置計測装置３から取得すると、補正式Ｆによって位置パルス列信号Ｓを９６パルス分のパルスを含む補正位置パルス列信号Ｓｃに補正する。つまり、信号補正装置４は、位置パルス列信号Ｓから４パルス分のパルスを減算補正した補正位置パルス列信号Ｓｃを画像処理制御装置５に対して出力する（図３の実線参照）。このように、信号補正装置４は、位置計測装置３のスケール３ａの収縮によってカメラ２が位置パルス列信号Ｓから算出される基準状態での位置よりも原点位置Ｐ０に近い位置に移動される場合、スケール３ａの収縮分を移動させるために位置パルス列信号Ｓからパルスを減算した補正位置パルス列信号Ｓｃを生成する。

【0060】

また、スケール３ａが収縮した位置計測装置３が原点位置Ｐ０から２００パルスの位置に相当する位置パルス列信号Ｓを出力した際、つまり、原点位置Ｐ０から１００パルスの位置から更に１００パルス移動した位置に相当する位置パルス列信号Ｓを出力した際、カメラ２は、基準状態で原点位置Ｐ０から１９４パルス（１９４μｍ）の位置に移動している。

【0061】

信号補正装置４は、原点位置Ｐ０から２００パルス分のパルスを含む位置パルス列信号Ｓを位置計測装置３から取得すると、補正式Ｆによって位置パルス列信号Ｓを１９４パルス分のパルスを含む補正位置パルス列信号Ｓｃに補正する。つまり、信号補正装置４は、位置パルス列信号Ｓから６パルス分のパルスを減算補正した補正位置パルス列信号Ｓｃを画像処理制御装置５に対して出力する（図３の実線参照）。

【0062】

また、スケール３ａが延伸した位置計測装置３が原点位置Ｐ０から６００パルスの位置に相当する位置パルス列信号Ｓを出力した際、カメラ２は、基準状態で原点位置Ｐ０から６０８パルス（６０８μｍ）の位置に移動している。

【0063】

信号補正装置４は、原点位置Ｐ０から６００パルスの位置に相当する位置パルス列信号Ｓを位置計測装置３から取得すると、補正式Ｆによって位置パルス列信号Ｓを原点位置Ｐ０から６０８パルス分のパルスを含む補正位置パルス列信号Ｓｃに補正する。つまり、信号補正装置４は、位置パルス列信号Ｓから８パルス分のパルスを加算補正した補正位置パルス列信号Ｓｃを画像処理制御装置５に対して出力する（図３の実線参照）。このように、信号補正装置４は、位置計測装置３がスケール３ａの延伸によってカメラ２が位置パルス列信号Ｓから算出される基準状態での位置よりも原点から離れた位置に移動される場合、スケール３ａの延伸分を移動させないために位置パルス列信号Ｓからパルスを加算した補正位置パルス列信号Ｓｃを生成する。

【0064】

図２に示すように、信号補正装置４は、スケール３ａが収縮した位置計測装置３において原点位置Ｐ０から１００パルスの位置にカメラ２が移動している際に位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓを補正式Ｆに基づいて４パルス分減算補正した補正位置パルス列信号Ｓｃを画像処理制御装置５に対して出力する。図３に示すように、画像処理制御装置５は、補正位置パルス列信号Ｓｃを取得した後に、更にカメラ２が４パルス分（＋４μｍ）移動されることにより合計１００パルス分のパルスを取得すると、撮像信号Ｓｉをカメラ２に対して出力する。この際、カメラ２は、原点位置Ｐ０からカメラ搬送装置６のレール７ａに沿って一方向に１００μｍの位置（環境温度Ｔ１において原点位置Ｐ０から１０４パルスの位置）に移動されている。よって、カメラ２は、原点位置Ｐ０から１００μｍの第１撮像位置Ｐ１において対象物Ｍを撮像する。

【0065】

図２に示すように、信号補正装置４は、スケール３ａが収縮した位置計測装置３において原点位置Ｐ０から２００パルスの位置にカメラ２が移動している際に位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓを補正式Ｆに基づいて６パルス分減算補正した補正位置パルス列信号Ｓｃを画像処理制御装置５に対して出力する。図３に示すように、画像処理制御装置５は、補正位置パルス列信号Ｓｃを取得した後に、更にカメラ２が６パルス分（＋６μｍ）移動されることにより、第１撮像位置Ｐ１から更に合計１００パルス分のパルスを取得すると、カメラ２に対して撮像信号Ｓｉを出力する。この際、カメラ２は、第１撮像位置Ｐ１からカメラ搬送装置６のレール７ａに沿って一方向に１００μｍの位置（環境温度Ｔ１において第１撮像位置Ｐ１から１０２パルスの位置、原点位置Ｐ０から２０６パルスの位置）に移動されている。よって、カメラ２は、第１撮像位置Ｐ１から１００μｍ移動された第２撮像位置Ｐ２において対象物Ｍを撮像する。

【0066】

図２に示すように、信号補正装置４は、スケール３ａが延伸した位置計測装置３において原点位置Ｐ０から５９２パルスの位置にカメラ２が移動している際に位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓを補正式Ｆに基づいて８パルス分加算補正した補正位置パルス列信号Ｓｃを画像処理制御装置５に対して出力する。図３に示すように、画像処理制御装置５は、補正位置パルス列信号Ｓｃを取得すると、撮像信号Ｓｉをカメラ２に対して出力する。この際、カメラ２は、原点位置Ｐ０から５００パルスの位置である第５撮像位置Ｐ５からカメラ搬送装置６のレール７ａに沿って一方向に１００μｍの位置（環境温度Ｔ１において第５撮像位置Ｐ５から９２パルスの位置、原点位置Ｐ０から５９２パルスの位置）に移動されている。よって、カメラ２は、第５撮像位置Ｐ５から１００μｍ移動された第６撮像位置Ｐ６において対象物Ｍを撮像する。

【0067】

画像処理制御装置５は、信号補正装置４によって補正された補正位置パルス列信号Ｓｃに基づいて１００パルス取得する度にカメラ２に対して撮像信号Ｓｉを出力する。この際、画像処理制御装置５に対して入力されるパルス数は、位置計測装置３が位置パルス列信号Ｓを出力している間、常に信号補正装置４によって理論パルス数になるように補正される。よって、カメラ２の出力パルス数当りの移動量は、位置計測装置３の熱による伸縮の影響が抑制される。つまり、画像取得装置１は、位置計測装置３のスケール３ａの伸縮を打ち消した状態においてカメラ２を出力パルス数（本実施形態において１００パルス）に応じた等ピッチ（本実施形態において１００μｍ）で移動させる。

【0068】

このように構成される画像取得装置１は、画像処理制御装置５が補正された補正位置パルス列信号Ｓｃに基づいてカメラ２に対して撮像信号Ｓｉを出力するので対象物Ｍを等ピッチで撮像可能である。よって、画像取得装置１は、対象物Ｍに対するカメラ２の位置に応じて撮像位置を定める出力パルス数を書き換える必要がない。つまり、画像処理制御装置５は、信号補正装置４によって補正された補正位置パルス列信号Ｓｃを取得しているので、所定のパルス数毎に対象物Ｍをカメラ２に撮像させることで、等ピッチで対象物Ｍの画像Ｉを取得することができる。また、画像取得装置１は、位置計測装置３が位置パルス列信号Ｓを出力する度に信号補正装置４によって位置パルス列信号Ｓを補正する。つまり、画像取得装置１は、対象物Ｍに対してカメラ２が移動している間、常に位置パルス列信号Ｓを補正している。

【0069】

また、画像取得装置１は、位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓに含まれるパルス数と理論パルス数との誤差を信号補正装置４によって補正する。よって、画像処理制御装置５は、撮像条件に応じて出力パルス数を変更しても、等ピッチで対象物Ｍを撮像することができる。これにより、カメラ２の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物Ｍの一部の画像Ｉをカメラによって撮像することができる。

【0070】

また、信号補正装置４は、位置計測装置３が位置パルス列信号Ｓを出力する度に補正に必要な位置パルスを位置パルス列信号Ｓに加算または減算して補正する。よって、信号補正装置４は、位置パルス列信号Ｓを補正するために必要な処理時間にばらつきがない。また、信号補正装置４は、遅滞なく速やかに補正した位置パルス列信号Ｓを画像処理制御装置５に対して出力することができる。

【0071】

また、信号補正装置４は、カメラ２が移動される環境温度毎に、カメラ２が原点位置Ｐ０から任意の位置に移動する場合において位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓのパルス数と基準状態での原点位置Ｐ０から任意の位置までの距離との関係についての情報を有している。本実施形態において、信号補正装置４は、カメラ２が原点位置Ｐ０から任意の位置に移動する場合において位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓのパルス数と熱収縮がない場合での原点位置Ｐ０から任意の位置までの距離との関係を示す補正式Ｆを有している。信号補正装置４は、カメラ２が任意の位置を移動している場合において位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓの位置パルス数を補正式Ｆによって補正する。よって、信号補正装置４は、位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓを補正式Ｆによって継ぎ目なく連続して補正することができる。これにより、カメラ２の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物Ｍの一部の画像Ｉをカメラ２によって撮像することができる。

【0072】

次に、図４を用いて、本発明の実施形態２に係る画像取得装置１Ａについて説明する。図４は、画像取得装置１Ａの制御構成を示すブロック図である。なお、以下の実施形態において、既に説明した実施形態と同様の点に関してはその具体的説明を省略し、相違する部分を中心に説明する。

【0073】

図４に示すように、信号補正装置４Ａは、位置パルス列信号Ｓを補正する装置である。信号補正装置４Ａは、位置パルス列信号Ｓを補正するための補正テーブルＮを有している。補正テーブルＮは、任意の環境温度においてカメラ２が移動範囲における基準となる原点位置Ｐ０から任意の位置に移動する際に、位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓのパルス数と、熱収縮がない場合での原点位置Ｐ０から任意の位置までの距離を任意の位置毎に示す情報である。

【0074】

補正テーブルＮは、位置計測装置３のスケール３ａが基準状態において、原点位置Ｐ０から任意の位置までの距離と位置計測装置３における１パルス当りの移動距離とから算出される理論パルス数と、環境温度Ｔ１において任意の位置に移動されたカメラ２の位置を位置計測装置３が計測した際の実パルス数との差分を任意の位置毎に示すテーブルである。信号補正装置４Ａは、位置計測装置３が計測した任意の位置におけるパルス数に基づいて算出した補正テーブルＮを複数の環境温度毎に有している。信号補正装置４Ａは、複数の補正テーブルＮから環境温度Ｔ１に対応した補正テーブルＮを選択可能である。また、信号補正装置４Ａは、取得した位置パルス列信号Ｓを補正テーブルＮに基づいて補正可能である。

【0075】

このように構成される信号補正装置４Ａは、カメラ２が任意の位置にいる場合において、位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓを補正テーブルＮによって補正する。よって、信号補正装置４Ａは、位置計測装置３が出力する位置パルス列信号Ｓを補正テーブルＮに当てはめることによって計算誤差なく補正することができる。これにより、カメラ２の可動範囲内において、撮像位置の数に関わらず任意の等ピッチで対象物Ｍの一部の画像Ｉをカメラ２によって撮像することができる。

【0076】

（その他の実施形態）
上述の全ての実施形態において、画像取得装置１は、図示しないインクジェット塗布装置が塗布したインクＩｋの着弾状態を確認するための画像Ｉを取得してもよい。図５は、画像取得装置１Ａによる画像Ｉ１からＩ７の合成を示す模式図である。図示しないインクジェット塗布装置は、フィルム上に塗布ユニットによって所定量のインクＩｋを所定の位置に塗布する。

【0077】

画像取得装置１は、フィルム上の所定の範囲に所定の間隔で着弾されたインクＩｋを出力パルス数である１００パルス毎に第１撮像位置Ｐ１から第７撮像位置Ｐ７においてカメラ２によって撮像する。画像処理制御装置５は、カメラ２が第１撮像位置Ｐ１から第７撮像位置Ｐ７において撮像したインクＩｋの一部の画像Ｉ１から画像Ｉ７を合成してインクＩｋの着弾画像Ｉｃを生成する。画像処理制御装置５は、生成した着弾画像Ｉｃから、インクＩｋの着弾位置Ｉｋｐ、インクＩｋの面積及びのインクＩｋの体積のうち少なくとも１つを算出する。

【0078】

なお、本実施形態において、位置計測装置３は、スケール３ａに対するカメラ２の位置を間接的に計測可能である。しかしながら、位置計測装置３は、対象物Ｍを搬送する製造装置の移動体の位置を計測する構成でもよい。この場合、画像取得装置１は、製造装置の移動体によって移動される対象物Ｍを固定されたカメラ２によって撮像する。位置計測装置３の検出器３ｂは、移動体に固定される。また、位置計測装置３のスケール３ａは、移動体のレールの近傍に固定されている。これにより、位置計測装置３は、対象物Ｍのスケール３ａに対する位置を間接的に計測可能である。

【0079】

また、上述の全ての実施形態において、信号補正装置４は、環境温度毎に位置計測装置３の誤差を補正するための補正式Ｆまたは補正テーブルＮを有している。しかしながら、信号補正装置は、撮像装置が移動される様々な条件毎に補正式または補正テーブルを有していてもよい。信号補正装置は、例えば、移動体の重量、移動体の移動パターン毎に補正式または補正テーブルを有していてもよい。信号補正装置は、撮像装置が移動される条件に適した補正式または補正テーブルによって補正を行うことができる。

【0080】

また、上述の全ての実施形態において、位置計測装置３は、光学式リニアスケールから構成されている。しかしながら、位置計測装置は、撮像装置または移動体の位置を計測できるものであれば、磁気式リニアスケール、光学式または磁気式のロータリエンコーダ等でもよい。

【0081】

また、上述の全ての実施形態において、画像取得装置１、１Ａは、カメラ搬送装置６を含んでいる。しかしながら、画像取得装置は、カメラ搬送装置を含んでいなくてもよい。カメラ搬送装置は、製造装置に含まれていてもよい。カメラ等の撮像装置は、製造装置が有する加工装置によって移動されてもよい。

【0082】

以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。

【符号の説明】

【0083】

１、１Ａ 画像取得装置
２ カメラ
３ 位置計測装置
３ａ スケール
３ｂ 検出器
４、４Ａ 信号補正装置
５ 画像処理制御装置
６ カメラ搬送装置
７ 案内装置
８ 電動モータ
９ 動力変換機構
１０ 供給電力制御装置
１１ 位置制御装置
Ｉ 画像
Ｆ 補正式
Ｔ１ 環境温度
Ｎ 補正テーブル
Ｍ 対象物
Ｓｔ 位置制御信号
Ｓ 位置パルス列信号
Ｓｃ 補正位置パルス列信号
Ｓｓ 画像取得信号

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】