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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023132471
(43)【公開日】2023-09-22
(54)【発明の名称】静電容量測定検査治具
(51)【国際特許分類】
G01L 27/02 20060101AFI20230914BHJP
G01L 9/12 20060101ALI20230914BHJP
G01L 21/00 20060101ALI20230914BHJP
【ＦＩ】
G01L27/02
G01L9/12
G01L21/00 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022037817
(22)【出願日】2022-03-11
(71)【出願人】
【識別番号】000006666
【氏名又は名称】アズビル株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100098394
【弁理士】
【氏名又は名称】山川 茂樹
(72)【発明者】
【氏名】福辺 卓史
(72)【発明者】
【氏名】牛島 大
(72)【発明者】
【氏名】▲高▼本 祐輔
【テーマコード（参考）】
2F055
【Ｆターム（参考）】
2F055AA11
2F055BB08
2F055CC02
2F055DD20
2F055EE25
2F055FF49
2F055GG49
2F055HH01
(57)【要約】
【課題】静電容量型圧力センサのリークチェックを静電容量型圧力センサ単体で行うことが可能な静電容量測定検査治具を提供する。
【解決手段】減圧管３２の一端に静電容量型圧力センサ１２の受圧部２４を対向させて静電容量型圧力センサ１２を保持するベース１４と、ベース１４と着脱可能に結合して静電容量型圧力センサ１２を囲い込むと同時に当接して固定するカバー１５とを備える。カバー１５には静電容量型圧力センサ１２から突出するリードピン２７が通る開口部４１が形成されている。外部からカバー１５の開口部４１に着脱可能に装着され、装着された状態において内部の中継コンタクト４７がリードピン２７に電気的に接続されるソケット４２を備える。静電容量型圧力センサ１２が検出した静電容量値を示す検出信号がソケット４２から外部に取り出される。
【選択図】 図３
【解決手段】減圧管３２の一端に静電容量型圧力センサ１２の受圧部２４を対向させて静電容量型圧力センサ１２を保持するベース１４と、ベース１４と着脱可能に結合して静電容量型圧力センサ１２を囲い込むと同時に当接して固定するカバー１５とを備える。カバー１５には静電容量型圧力センサ１２から突出するリードピン２７が通る開口部４１が形成されている。外部からカバー１５の開口部４１に着脱可能に装着され、装着された状態において内部の中継コンタクト４７がリードピン２７に電気的に接続されるソケット４２を備える。静電容量型圧力センサ１２が検出した静電容量値を示す検出信号がソケット４２から外部に取り出される。
【選択図】 図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
静電容量型圧力センサの静電容量測定検査に用いられる静電容量測定検査治具であって、
真空ポンプに接続される減圧管と、
前記減圧管を内部へ導入する導入孔を有し、前記導入孔より内部に導入された前記減圧管の一端に検査対象の静電容量型圧力センサをその受圧部を対向させた状態で保持するベースと、
前記ベースと着脱可能に結合して検査対象の静電容量型圧力センサを囲い込むと同時に当接して固定する一方、前記検査対象の静電容量型圧力センサから突出するリードピンが外部と連通する開口部を有するカバーと、
外部から前記カバーの開口部に着脱可能に装着され、装着された状態において内部に保持された中継コンタクトと前記リードピンとの電気的接続を確保することにより、前記検査対象の静電容量型圧力センサが検出した静電容量値を示す検出信号を外部に取り出すソケットと
を備えることを特徴とする静電容量測定検査治具。
真空ポンプに接続される減圧管と、
前記減圧管を内部へ導入する導入孔を有し、前記導入孔より内部に導入された前記減圧管の一端に検査対象の静電容量型圧力センサをその受圧部を対向させた状態で保持するベースと、
前記ベースと着脱可能に結合して検査対象の静電容量型圧力センサを囲い込むと同時に当接して固定する一方、前記検査対象の静電容量型圧力センサから突出するリードピンが外部と連通する開口部を有するカバーと、
外部から前記カバーの開口部に着脱可能に装着され、装着された状態において内部に保持された中継コンタクトと前記リードピンとの電気的接続を確保することにより、前記検査対象の静電容量型圧力センサが検出した静電容量値を示す検出信号を外部に取り出すソケットと
を備えることを特徴とする静電容量測定検査治具。
【請求項2】
請求項１に記載の静電容量測定検査治具において、
前記カバーに外部よりヒーターを内部に挿入し保持するヒーター挿入保持部が設けられ、
前記ヒーター挿入保持部にヒーターを装着されて、前記ベースと前記カバーで囲まれた内部空間が加熱されることを特徴とする静電容量測定検査治具。
前記カバーに外部よりヒーターを内部に挿入し保持するヒーター挿入保持部が設けられ、
前記ヒーター挿入保持部にヒーターを装着されて、前記ベースと前記カバーで囲まれた内部空間が加熱されることを特徴とする静電容量測定検査治具。
【請求項3】
請求項１または２の何れかに記載の静電容量測定検査治具において、
前記ソケットの少なくとも前記カバーに対向接触する部分は絶縁材料で構成されていることを特徴とする静電容量測定検査治具。
前記ソケットの少なくとも前記カバーに対向接触する部分は絶縁材料で構成されていることを特徴とする静電容量測定検査治具。
【請求項4】
請求項１～３の何れか一つに記載の静電容量測定検査治具において、
前記ベースは、
前記検査対象の静電容量型圧力センサを保持する第１のベース部材と、
前記第１のベース部材に取付けられた第２のベース部材とを備え、
前記第２のベース部材は、前記検査対象の静電容量型圧力センサを囲む枠状に形成されていることを特徴とする静電容量測定検査治具。
前記ベースは、
前記検査対象の静電容量型圧力センサを保持する第１のベース部材と、
前記第１のベース部材に取付けられた第２のベース部材とを備え、
前記第２のベース部材は、前記検査対象の静電容量型圧力センサを囲む枠状に形成されていることを特徴とする静電容量測定検査治具。
【請求項5】
請求項１～４の何れか一つに記載の静電容量測定検査治具において、
前記カバーは、
前記検査対象の静電容量型圧力センサと重ねられる板状の第１のカバー部材と、
前記第１のカバー部材に取付けられた第２のカバー部材とを備え、
前記開口部は、前記第１のカバー部材に形成された第１の貫通孔と、前記第２のカバー部材に形成された第２の貫通孔とによって形成されていることを特徴とする静電容量測定検査治具。
前記カバーは、
前記検査対象の静電容量型圧力センサと重ねられる板状の第１のカバー部材と、
前記第１のカバー部材に取付けられた第２のカバー部材とを備え、
前記開口部は、前記第１のカバー部材に形成された第１の貫通孔と、前記第２のカバー部材に形成された第２の貫通孔とによって形成されていることを特徴とする静電容量測定検査治具。
【請求項6】
請求項１～５のいずれか一つに記載の静電容量測定検査治具において、
さらに、前記検査対象の静電容量型圧力センサを囲む状態で緊縛するばね材料からなるバンドを備え、
前記バンドと前記検査対象の静電容量型圧力センサとの間に温度センサが配置されていることを特徴とする静電容量測定検査治具。
さらに、前記検査対象の静電容量型圧力センサを囲む状態で緊縛するばね材料からなるバンドを備え、
前記バンドと前記検査対象の静電容量型圧力センサとの間に温度センサが配置されていることを特徴とする静電容量測定検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、静電容量型圧力センサのリークチェックを行うために使用する静電容量測定検査治具に関する。
【背景技術】
【0002】
静電容量型圧力センサは、真空容器の内部にセンサ本体を収容して形成されている。真空容器は、複数の部品を溶接して外形が円柱を呈する形状に形成されており、信号を取り出すためのリードピンが貫通している。リードピンの貫通部はハーメチックシールによって封止されている。また、真空容器の内部には、容器内で生じたガスを吸収するゲッターが設けられている。
【0003】
真空容器の溶接部やハーメチックシール部などから大気が容器内に入ると、容器内の真空度が低下してセンサ本体の検出精度が低下する。このため、静電容量型圧力センサは、真空容器の内部を真空状態とした後にリークチェックを行う必要がある。リークチェックは、静電容量型圧力センサを所定の温度に加熱するとともに、被測定圧力が導入される部分も真空としてセンサ本体をニュートラルな状態とし、センサ本体の静電容量を測定することにより行う。静電容量の測定は、静電容量型圧力センサをＡｒガスの雰囲気中に所定の時間放置して行う。すなわち、真空容器にリーク箇所が存在すると、Ａｒがリーク箇所から真空容器内に入り、真空容器内の圧力が増加してセンサ本体の静電容量が変化する。この静電容量の変化の大きさに基づいてリークチェックの良否判定が行われる。
【0004】
従来の静電容量型圧力センサのリークチェックは、図１８に示すように静電容量型圧力センサ１がセンサハウジング２の内部に組み込まれた完成状態で行われている。図１８に示す静電容量型圧力センサ１は、隔膜真空計３において圧力を検出するためのもので、被測定圧力を導入するための導圧管４が一端部（図１８においては下端部）に設けられており、ヒーター５の内部に組み込まれている。この静電容量型圧力センサ１の内部にセンサ本体６と支持ダイアフラム７によって導入管側とは仕切られた基準真空室８が形成されている。リークチェック時の加熱は、静電容量型圧力センサ１を覆うヒーター５を用いて行われている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
従来の静電容量型圧力センサ１では、リークチェックを行って不良品であると判定されると、センサハウジング２やヒーター５などの全ての部品が無駄になってしまうという問題があった。
【0006】
本発明の目的は、静電容量型圧力センサのリークチェックを静電容量型圧力センサ単体で行うことが可能な静電容量測定検査治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
この目的を達成するために本発明に係る静電容量測定検査治具は、静電容量型圧力センサの静電容量測定検査に用いられる静電容量測定検査治具であって、真空ポンプに接続される減圧管と、前記減圧管を内部へ導入する導入孔を有し、前記導入孔より内部に導入された前記減圧管の一端に検査対象の静電容量型圧力センサをその受圧部を対向させた状態で保持するベースと、前記ベースと着脱可能に結合して検査対象の静電容量型圧力センサを囲い込むと同時に当接して固定する一方、前記検査対象の静電容量型圧力センサから突出するリードピンが外部と連通する開口部を有するカバーと、外部から前記カバーの開口部に着脱可能に装着され、装着された状態において内部に保持された中継コンタクトと前記リードピンとの電気的接続を確保することにより、前記検査対象の静電容量型圧力センサが検出した静電容量値を示す検出信号を外部に取り出すソケットとを備えているものである。
【0008】
本発明は、前記静電容量測定検査治具において、前記カバーに外部よりヒーターを内部に挿入し保持するヒーター挿入保持部が設けられ、前記ヒーター挿入保持部にヒーターを装着されて、前記ベースと前記カバーで囲まれた内部空間が加熱されてもよい。
【0009】
本発明は、前記静電容量測定検査治具において、前記ソケットの少なくとも前記カバーに対向接触する部分は絶縁材料で構成されていてもよい。
【0010】
本発明は、前記静電容量測定検査治具において、前記ベースは、前記検査対象の静電容量型圧力センサを保持する第１のベース部材と、前記第１のベース部材に取付けられた第２のベース部材とを備え、前記第２のベース部材は、前記検査対象の静電容量型圧力センサを囲む枠状に形成されていてもよい。
【0011】
本発明は、前記静電容量測定検査治具において、前記カバーは、前記検査対象の静電容量型圧力センサと重ねられる板状の第１のカバー部材と、前記第１のカバー部材に取付けられた第２のカバー部材とを備え、前記開口部は、前記第１のカバー部材に形成された第１の貫通孔と、前記第２のカバー部材に形成された第２の貫通孔とによって形成されていてもよい。
【0012】
本発明は、前記静電容量測定検査治具において、さらに、前記検査対象の静電容量型圧力センサを囲む状態で緊縛するばね材料からなるバンドを備え、前記バンドと前記検査対象の静電容量型圧力センサとの間に温度センサが配置されていてもよい。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、静電容量型圧力センサにベース、カバーおよびソケットを組み付け、減圧管内を真空状態とすることにより、静電容量型圧力センサの静電容量を測定することが可能になる。したがって、本発明によれば、静電容量型圧力センサのリークチェックを静電容量型圧力センサ単体で行うことが可能な静電容量測定検査治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【発明を実施するための形態】
【0015】
（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る静電容量測定検査治具の一実施の形態を図１～図７（Ｄ）を参照して詳細に説明する。
図１に示す静電容量測定検査治具１１は、内部に収容した静電容量型圧力センサ１２（図３参照）のリークチェックを行うための治具である。この実施の形態で使用する静電容量型圧力センサ１２（以下、単に圧力センサ１２という）は、図１８に示した隔膜真空計３に使用するもので、内部が真空状態とされて組立が完了しているものである。リークチェックは、圧力センサ１２を実際に動作させて静電容量を測定して行う。リーク箇所があると、圧力センサ１２内の真空度が低下して静電容量の値が変化する。この静電容量の変化に基づいて良否が判定される。
以下、本発明に係る静電容量測定検査治具の一実施の形態を図１～図７（Ｄ）を参照して詳細に説明する。
図１に示す静電容量測定検査治具１１は、内部に収容した静電容量型圧力センサ１２（図３参照）のリークチェックを行うための治具である。この実施の形態で使用する静電容量型圧力センサ１２（以下、単に圧力センサ１２という）は、図１８に示した隔膜真空計３に使用するもので、内部が真空状態とされて組立が完了しているものである。リークチェックは、圧力センサ１２を実際に動作させて静電容量を測定して行う。リーク箇所があると、圧力センサ１２内の真空度が低下して静電容量の値が変化する。この静電容量の変化に基づいて良否が判定される。
【0016】
この実施の形態による静電容量測定検査治具１１は、図１の中央部に描かれている引き止め用のファスナー止め金具１３によって連結されたベース１４とカバー１５とを備えている。ファスナー止め金具１３は、操作用レバー１３ａと係合片１３ｂとを有し、係合片１３ｂをカバー１５のフック１６に掛けて操作用レバー１３ａを図１において下方に操作することによって、カバー１５をベース１４に引き寄せて固定する。この静電容量測定検査治具１１は、詳細は後述するが、ベース１４とカバー１５の内部に検査対象の圧力センサ１２を装填した状態でファスナー止め金具１３を操作することによって、ベース１４とカバー１５の内部に圧力センサ１２が固定される構成が採られている。
【0017】
（圧力センサの説明）
圧力センサ１２は、図５に示すように、円柱状のセンサケース２１の中に支持ダイアフラム２２およびセンサ本体２３などを収容して形成されている。この圧力センサ１２の軸線方向の一端部（図５においては下端部）には、受圧部２４が設けられている。
センサケース２１は、複数の部品を溶接して組み立てられている。受圧部２４は、円板状の支持ダイアフラム２２と、支持ダイアフラム２２の中央部に設けられたセンサ本体２３とが壁の一部となるように形成されている。
圧力センサ１２は、図５に示すように、円柱状のセンサケース２１の中に支持ダイアフラム２２およびセンサ本体２３などを収容して形成されている。この圧力センサ１２の軸線方向の一端部（図５においては下端部）には、受圧部２４が設けられている。
センサケース２１は、複数の部品を溶接して組み立てられている。受圧部２４は、円板状の支持ダイアフラム２２と、支持ダイアフラム２２の中央部に設けられたセンサ本体２３とが壁の一部となるように形成されている。
【0018】
支持ダイアフラム２２とセンサ本体２３は、圧力センサ１２の内部を基準真空室２５と被測定圧室２６とに分けている。圧力センサ１２の軸線方向の他端部（図５においては上端部）には、センサ本体２３に一端部が電気的に接続された複数のリードピン２７が立設されている。これらのリードピン２７がセンサケース２１を貫通する部分は、ハーメチックシール２８によって封止されている。センサケース２１の内部には、センサケース２１内で生じたガスを吸入するゲッター２９が設けられている。
この圧力センサ１２は、受圧部２４に導入された被測定圧力をセンサ本体２３の静電容量に基づいて検出する構成のものである。
この圧力センサ１２は、受圧部２４に導入された被測定圧力をセンサ本体２３の静電容量に基づいて検出する構成のものである。
【0019】
（ベースの説明）
ベース１４は、図３および図４に示すように、中心部に貫通孔３１を有する円柱状に形成されている。ベース１４を形成する材料はステンレス鋼である。貫通孔３１には、減圧管３２が嵌合した状態で溶接されている。減圧管３２は、貫通孔３１によってベース１４の内部に導入されている。この減圧管３２は、リークチェック時に圧力センサ１２の受圧部２４内を真空状態とするためのもので、図示していない配管を介して真空ポンプ３３（図１参照）に接続されている。この実施の形態においては、貫通孔３１が本発明でいう「導入孔」に相当する。
ベース１４は、図３および図４に示すように、中心部に貫通孔３１を有する円柱状に形成されている。ベース１４を形成する材料はステンレス鋼である。貫通孔３１には、減圧管３２が嵌合した状態で溶接されている。減圧管３２は、貫通孔３１によってベース１４の内部に導入されている。この減圧管３２は、リークチェック時に圧力センサ１２の受圧部２４内を真空状態とするためのもので、図示していない配管を介して真空ポンプ３３（図１参照）に接続されている。この実施の形態においては、貫通孔３１が本発明でいう「導入孔」に相当する。
【0020】
ベース１４は、軸線方向の一端側と他端側とで外径を変えて形成されている。ベース１４の大径部１４ａに上述したファスナー止め金具１３が取付用ボルト３４によって取付けられている。
ベース１４の小径部１４ｂには、静電容量型圧力センサ１２の受圧部２４が嵌合するリング状の突条３５（図５および図６参照）が形成されているとともに、Ｏリング３６が挿入される環状の溝３７が形成されている。Ｏリング３６は、圧力センサ１２の受圧部２４とベース１４との間をシールするものである。
ベース１４の小径部１４ｂには、静電容量型圧力センサ１２の受圧部２４が嵌合するリング状の突条３５（図５および図６参照）が形成されているとともに、Ｏリング３６が挿入される環状の溝３７が形成されている。Ｏリング３６は、圧力センサ１２の受圧部２４とベース１４との間をシールするものである。
【0021】
小径部１４ｂの突条３５が圧力センサ１２の受圧部２４に嵌入することにより、図５に示すように、貫通孔３１よりベース１４の内部に導入された減圧管３２の一端に圧力センサ１２の受圧部２４が対向する。すなわち、ベース１４は、圧力センサ１２の受圧部２４を減圧管３２に対向させた状態で圧力センサ１２を保持する。
【0022】
（カバーの説明）
カバー１５は、ベース１４の小径部１４ｂに着脱可能に嵌合して結合される有底筒状に形成されている。カバー１５を形成する材料はステンレス鋼である。カバー１５の底壁１５ａ（図３においては上側の壁）は、ベース１４に保持された圧力センサ１２の軸線方向の端面と重なるように平板状に形成されている。この底壁１５ａの中央部分には、圧力センサ１２から突出する複数のリードピン２７を通すための開口部４１が形成されている。リードピン２７は、カバー１５の開口部４１を通ってカバー１５の外部と連通する。リードピン２７には、圧力センサ１２がベース１４およびカバー１５に固定された状態において、後述するソケット４２が接続される。
カバー１５は、ベース１４の小径部１４ｂに着脱可能に嵌合して結合される有底筒状に形成されている。カバー１５を形成する材料はステンレス鋼である。カバー１５の底壁１５ａ（図３においては上側の壁）は、ベース１４に保持された圧力センサ１２の軸線方向の端面と重なるように平板状に形成されている。この底壁１５ａの中央部分には、圧力センサ１２から突出する複数のリードピン２７を通すための開口部４１が形成されている。リードピン２７は、カバー１５の開口部４１を通ってカバー１５の外部と連通する。リードピン２７には、圧力センサ１２がベース１４およびカバー１５に固定された状態において、後述するソケット４２が接続される。
【0023】
カバー１５がベース１４の小径部１４ｂに嵌合して底壁１５ａが圧力センサ１２に重ねられた状態においては、図３に示すように、カバー１５の側壁１５ｂが圧力センサ１２を囲い込むと同時に底壁１５ａが圧力センサ１２に当接し、圧力センサ１２がベース１４とカバー１５とに固定されるようになる。
側壁１５ｂには、図４に示すように、複数のヒーター挿入保持部４３が設けられている。この実施の形態によるヒーター挿入保持部４３は、円柱状のヒーター４４が嵌合する貫通孔によって形成されている。
側壁１５ｂには、図４に示すように、複数のヒーター挿入保持部４３が設けられている。この実施の形態によるヒーター挿入保持部４３は、円柱状のヒーター４４が嵌合する貫通孔によって形成されている。
【0024】
ヒーター４４は、通電されることにより発熱する構成のもので、ヒーター挿入保持部４３にカバー１５の外部より挿入されることによりカバー１５の内部に保持される。図４に示すヒーター４４は、通電用の配線を省略して描いてある。ヒーター４４の一端部には、カバー１５の底壁１５ａに沿って延びる突片４４ａが設けられている。突片４４ａが底壁１５ａに重ねられることによって、ヒーター４４がヒーター挿入保持部４３内の所定の位置に位置決めされる。
ヒーター挿入保持部４３にヒーター４４が装着された状態でヒーター４４が発熱することにより、ベース１４とカバー１５で囲まれた内部空間Ｓが加熱される。
カバー１５の側壁１５ｂの外側面には、ファスナー止め金具１３が係合するフック１６が設けられている。
ヒーター挿入保持部４３にヒーター４４が装着された状態でヒーター４４が発熱することにより、ベース１４とカバー１５で囲まれた内部空間Ｓが加熱される。
カバー１５の側壁１５ｂの外側面には、ファスナー止め金具１３が係合するフック１６が設けられている。
【0025】
（ソケットの説明）
ソケット４２は、圧力センサ１２が検出した静電容量値を示す検出信号を外部に取り出すためのもので、カバー１５の開口部４１にカバー１５の外から着脱可能に装着されている。この実施の形態によるソケット４２は、図５に示すように、金属製のボディ４５と、ボディ４５に螺着されたリードピン２７毎のねじ部材４６と、ねじ部材４６の内部に設けられた中継コンタクト４７などによって構成されている。ねじ部材４６は、絶縁性を有するプラスチック材料によって中空のねじ状に形成されている。
ソケット４２は、圧力センサ１２が検出した静電容量値を示す検出信号を外部に取り出すためのもので、カバー１５の開口部４１にカバー１５の外から着脱可能に装着されている。この実施の形態によるソケット４２は、図５に示すように、金属製のボディ４５と、ボディ４５に螺着されたリードピン２７毎のねじ部材４６と、ねじ部材４６の内部に設けられた中継コンタクト４７などによって構成されている。ねじ部材４６は、絶縁性を有するプラスチック材料によって中空のねじ状に形成されている。
【0026】
中継コンタクト４７は、導体によって棒状に形成されており、ねじ部材４６の中空部に圧入されている。中継コンタクト４７の圧力センサ１２側の端部は、圧力センサ１２のリードピン２７が圧入されて電気的に接続されるように構成されている。
このソケット４２をカバー１５の開口部４１に装着し、ソケット４２の内部に保持された中継コンタクト４７とリードピン２７との電気的接続を確保することにより、圧力センサ１２から検出信号を外部に取り出すことが可能になる。
このソケット４２をカバー１５の開口部４１に装着し、ソケット４２の内部に保持された中継コンタクト４７とリードピン２７との電気的接続を確保することにより、圧力センサ１２から検出信号を外部に取り出すことが可能になる。
【0027】
（リークチェックの説明）
圧力センサ１２の静電容量測定検査（以下、単にリークチェックという）は、圧力センサ１２内のゲッター２９と反応することがないＡｒを使用して行う。詳述すると、圧力センサ１２をＡｒガスの雰囲気中に所定時間放置する以前と以後とでそれぞれ静電容量値を測定し、値の変化を検出する。
静電容量値を測定するにあたっては、図７（Ａ）～（Ｄ）に示すように静電容量測定検査治具１１に圧力センサ１２を組み付ける。圧力センサ１２を組付けるにあたっては、先ず、図７（Ａ）に示すように、ベース１４を小径部１４ｂが上に位置する姿勢で支持台４８に保持させ、このベース１４の小径部１４ｂに圧力センサ１２を載置する。なお、ベース１４を支持台４８に装着したときには、減圧管３２に図示していない配管を介して真空ポンプ３３を接続する。
圧力センサ１２の静電容量測定検査（以下、単にリークチェックという）は、圧力センサ１２内のゲッター２９と反応することがないＡｒを使用して行う。詳述すると、圧力センサ１２をＡｒガスの雰囲気中に所定時間放置する以前と以後とでそれぞれ静電容量値を測定し、値の変化を検出する。
静電容量値を測定するにあたっては、図７（Ａ）～（Ｄ）に示すように静電容量測定検査治具１１に圧力センサ１２を組み付ける。圧力センサ１２を組付けるにあたっては、先ず、図７（Ａ）に示すように、ベース１４を小径部１４ｂが上に位置する姿勢で支持台４８に保持させ、このベース１４の小径部１４ｂに圧力センサ１２を載置する。なお、ベース１４を支持台４８に装着したときには、減圧管３２に図示していない配管を介して真空ポンプ３３を接続する。
【0028】
次に、図７（Ｂ）に示すように、ベース１４にカバー１５を被せ、ファスナー止め金具１３をロック状態としてベース１４にカバー１５を引き寄せて固定する。このようにファスナー止め金具１３をロック状態とすると、図３に示すように、カバー１５の底壁１５ａとベース１４との間に圧力センサ１２が挟まれて保持される。そして、図７（Ｃ）に示すように、カバー１５の開口部４１にソケット４２を装着し、ソケット４２の中継コンタクト４７を圧力センサ１２のリードピン２７に接続する。
【0029】
ソケット４２を圧力センサ１２に接続した後、ソケット４２に図示していない計測器を接続する。しかる後、図７（Ｄ）に示すように、カバー１５にヒーター４４を装着する。ヒーター４４がカバー１５に組み付けられた後、真空ポンプ３３を動作させるとともに、ヒーター４４に通電して静電容量測定検査治具１１の内部空間Ｓを所定の温度に加熱する。減圧管３２内および圧力センサ１２の受圧部２４内の圧力が所定の真空度となるまで減圧されるとともにカバー１５や圧力センサ１２が所定の温度に加熱された状態で圧力センサ１２の静電容量値を測定する。
圧力センサ１２をＡｒガスの雰囲気中で所定時間放置する際には、圧力センサ１２が組み込まれた静電容量測定検査治具１１を図示していないチャンバーの中に設置する。チャンバー内にはＡｒガスを充填する。このようにＡｒガスの雰囲気中に圧力センサ１２が設置されることにより、圧力センサ１２にリーク箇所が存在する場合はＡｒがリーク箇所を通って圧力センサ１２内に侵入し、基準真空室２５の真空度が低下する。
圧力センサ１２をＡｒガスの雰囲気中で所定時間放置する際には、圧力センサ１２が組み込まれた静電容量測定検査治具１１を図示していないチャンバーの中に設置する。チャンバー内にはＡｒガスを充填する。このようにＡｒガスの雰囲気中に圧力センサ１２が設置されることにより、圧力センサ１２にリーク箇所が存在する場合はＡｒがリーク箇所を通って圧力センサ１２内に侵入し、基準真空室２５の真空度が低下する。
【0030】
この実施の形態による静電容量測定検査治具１１においては、圧力センサ１２にベース１４、カバー１５およびソケット４２を組み付け、減圧管３２内を真空状態とすることにより、圧力センサ１２の静電容量を測定することが可能になる。したがって、この実施の形態によれば、圧力センサ１２のリークチェックを行うにあたって隔膜真空計の他の部品を使用することなく圧力センサ単体で行うことができるから、圧力センサ１２が不良品であった場合であっても無駄を最小限にとどめることができる。
【0031】
この実施の形態による静電容量測定検査治具１１のカバー１５には、外部よりヒーター４４を内部に挿入し保持するヒーター挿入保持部４３が設けられている。そして、ヒーター挿入保持部４３にヒーター４４を装着されて、ベース１４とカバー１５で囲まれた内部空間が加熱される構成が採られている。このため、カバー１５のヒーター挿入保持部４３をヒーター４４に適合する形状に形成することができるから、例えば既製品のヒーターを使用して静電容量測定検査治具１１の製造コストを低減することが可能になる。
【0032】
（第２の実施の形態）
本発明に係る静電容量測定検査治具は、図８～図１７に示すように構成することができる。図８～図１７において、図１～図７によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図８に示す静電容量測定検査治具５１は、第１の実施の形態を採るときの静電容量測定検査治具１１と較べてベース１４と、カバー１５と、ソケット４２とがそれぞれ二つの部材によって形成されている。
本発明に係る静電容量測定検査治具は、図８～図１７に示すように構成することができる。図８～図１７において、図１～図７によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図８に示す静電容量測定検査治具５１は、第１の実施の形態を採るときの静電容量測定検査治具１１と較べてベース１４と、カバー１５と、ソケット４２とがそれぞれ二つの部材によって形成されている。
【0033】
（ベースの説明）
ベース１４は、図１０および図１１に示すように、検査対象の静電容量型圧力センサ１２（以下、単に圧力センサ１２という）を保持する第１のベース部材５２と、第１のベース部材５２に取付用ボルト５３（図１２参照）によって取付けられた第２のベース部材５４とによって形成されている。
第１のベース部材５２には、図１０に示すように、減圧管３２とファスナー止め金具１３とが設けられている。また、第１のベース部材５２には、図１５に示すように、圧力センサ１２を取付けるための突条３５と、Ｏリング３６を装着するための環状の溝３７と、ヒーター４４を挿入するための貫通孔５５と、第２のベース部材５４を取付けるためのねじ孔５６とが形成されている。
ベース１４は、図１０および図１１に示すように、検査対象の静電容量型圧力センサ１２（以下、単に圧力センサ１２という）を保持する第１のベース部材５２と、第１のベース部材５２に取付用ボルト５３（図１２参照）によって取付けられた第２のベース部材５４とによって形成されている。
第１のベース部材５２には、図１０に示すように、減圧管３２とファスナー止め金具１３とが設けられている。また、第１のベース部材５２には、図１５に示すように、圧力センサ１２を取付けるための突条３５と、Ｏリング３６を装着するための環状の溝３７と、ヒーター４４を挿入するための貫通孔５５と、第２のベース部材５４を取付けるためのねじ孔５６とが形成されている。
【0034】
この実施の形態による圧力センサ１２の外周部には、図１６に示すようにバンド５７が取付けられている。このバンド５７は、ばね材料によって形成されており、圧力センサ１２の外周部を緊縛している。また、バンド５７は、圧力センサ１２の径方向の外側に向けて膨出する膨出部５７ａを有している。この膨出部５７ａには、図１３および図１６に示すように温度センサ５８が挿入されている。温度センサ５８は、リークチェック時に圧力センサ１２の温度を検出するためのもので、バンド５７と圧力センサ１２とに挟まれてこれらの部材の間に配置されている。
【0035】
第２のベース部材５４は、図１０に示すように、圧力センサ１２を囲む枠状に形成されており、図１２に示すように、取付用ボルト５３によって第１のベース部材５２に取付けられている。この第２のベース部材５４には、ヒーター４４を挿入するための貫通孔６１と、取付用ボルト５３が挿通される貫通孔６２とが形成されている。
【0036】
（カバーの説明）
カバー１５は、図１５に示すように、板状の第１のカバー部材６３と、第１のカバー部材６３に取付用ボルト６４によって取付けられた第２のカバー部材６５とによって形成されている。
第１のカバー部材６３には、切欠き６６と、切欠き６６に連なる円形の開口部６７と、取付用ボルト６４がねじ込まれる複数のねじ孔６８と、ヒーター４４を挿入するための貫通孔６９とが形成されている。円形の開口部６７は、図１４に示すように、ソケット４２の複数のねじ部材４６を挿入するための孔である。この実施の形態においては、第１のカバー部材６３の円形の開口部６７が本発明でいう「第１の貫通孔」に相当する。
カバー１５は、図１５に示すように、板状の第１のカバー部材６３と、第１のカバー部材６３に取付用ボルト６４によって取付けられた第２のカバー部材６５とによって形成されている。
第１のカバー部材６３には、切欠き６６と、切欠き６６に連なる円形の開口部６７と、取付用ボルト６４がねじ込まれる複数のねじ孔６８と、ヒーター４４を挿入するための貫通孔６９とが形成されている。円形の開口部６７は、図１４に示すように、ソケット４２の複数のねじ部材４６を挿入するための孔である。この実施の形態においては、第１のカバー部材６３の円形の開口部６７が本発明でいう「第１の貫通孔」に相当する。
【0037】
第２のカバー部材６５は、図１５に示すように、平面視において略十字状に形成されている。第２のカバー部材６５の一側部６５ａと他側部６５ｂとを構成する十字の２辺には、取付用ボルト６４が挿通される貫通孔７０がそれぞれ形成されているととともに、ファスナー止め金具１３が係合するフック１６が設けられている。第２のカバー部材６５の中央部には、切欠き７１と、切欠き７１に連なる円形の開口部７２とが形成されている。第１のカバー部材６３の切欠き６６と第２のカバー部材６５の切欠き７１は、温度センサ５８（図１３参照）のリード線７３を通すために形成されている。
第２のカバー部材６５の円形の開口部７２は、ソケット４２の後述する本体７４（図１０および図１１参照）を挿入するための孔である。この実施の形態においは、第２のカバー部材６５の円形の開口部７２が本発明でいう「第２の貫通孔」に相当する。この実施の形態においては、円形の開口部６７と円形の開口部７２とが本発明でいう「開口部」に相当する。
第２のカバー部材６５の円形の開口部７２は、ソケット４２の後述する本体７４（図１０および図１１参照）を挿入するための孔である。この実施の形態においは、第２のカバー部材６５の円形の開口部７２が本発明でいう「第２の貫通孔」に相当する。この実施の形態においては、円形の開口部６７と円形の開口部７２とが本発明でいう「開口部」に相当する。
【0038】
第２のカバー部材６５が平面視において略十字状に形成されていることにより、ヒーター４４を第２のカバー部材６５の貫通孔６９に挿入するときに一側部６５ａと他側部６５ｂとに隣接する凹部６５ｃ，６５ｄ（図１１参照）に通すことができる。この実施の形態においては、図１１に示すように、第１のベース部材５２の貫通孔５５と、第２のベース部材５４の貫通孔６１と、第１のカバー部材６３の貫通孔６９とによって、ヒーター挿入保持部４３が構成されている。
【0039】
第２のカバー部材６５の切欠き７１とは反対側の側部には、図１３に示すように永久磁石７５が取付用ボルト７６によって取付られている。永久磁石７５の一端面（図１３においては上面）は、第２のカバー部材６５における第１のカバー部材６３とは反対側の端面と同一平面上に位置している。
【0040】
（ソケットの説明）
ソケット４２は、図１０に示すように、ねじ部材４６が螺着された本体７４と、本体７４に取付用ボルト７７によって取付けられたリング７８とによって形成されている。本体は金属材料によって形成され、リング７８は絶縁材料によって形成されている。
本体７４は、第２のカバー部材６５の円形の開口部７２に挿入される円柱部７４ａと、円柱部７４ａの一端（図１０においては上端であって第１のカバー部材６３とは反対側の一端）から径方向の外側に突出するフランジ７４ｂとによって形成されている。リング７８をフランジ７４ｂに取付ける取付用ボルト７７は、フランジ７４ｂに形成された貫通孔７９に通されている。このフランジ７４ｂと第２のカバー部材６５との間にリング７８が挟まれている。この実施の形態においては、リング７８が本発明でいう「カバーに対向接触する部分」に相当する。
ソケット４２は、図１０に示すように、ねじ部材４６が螺着された本体７４と、本体７４に取付用ボルト７７によって取付けられたリング７８とによって形成されている。本体は金属材料によって形成され、リング７８は絶縁材料によって形成されている。
本体７４は、第２のカバー部材６５の円形の開口部７２に挿入される円柱部７４ａと、円柱部７４ａの一端（図１０においては上端であって第１のカバー部材６３とは反対側の一端）から径方向の外側に突出するフランジ７４ｂとによって形成されている。リング７８をフランジ７４ｂに取付ける取付用ボルト７７は、フランジ７４ｂに形成された貫通孔７９に通されている。このフランジ７４ｂと第２のカバー部材６５との間にリング７８が挟まれている。この実施の形態においては、リング７８が本発明でいう「カバーに対向接触する部分」に相当する。
【0041】
リング７８の中空部は、本体７４の円柱部７４ａが嵌合する形状に形成されている。リング７８の外周部には、取付用ボルト７７がねじ込まれるねじ孔８０が形成されているとともに、磁性材からなる板８１（図１３参照）が取付用ボルト８２によって取付けられている。取付用ボルト８２は、図１３に示すように、本体７４のフランジ７４ｂに形成された貫通孔８３とリング７８の貫通孔８４とに通されて板８１のねじ孔８５にねじ込まれている。
この板８１は、リング７８における、本体７４のフランジ７４ｂとは反対側の端面の一部を構成するようにリング７８に取付けられており、ソケット４２を圧力センサ１２に接続したときに第２のカバー部材６５の永久磁石７５に磁気によって吸着される。
この板８１は、リング７８における、本体７４のフランジ７４ｂとは反対側の端面の一部を構成するようにリング７８に取付けられており、ソケット４２を圧力センサ１２に接続したときに第２のカバー部材６５の永久磁石７５に磁気によって吸着される。
【0042】
この実施の形態による静電容量測定検査治具５１を組立てるためには、先ず、図１７（Ａ）に示すように、第１のベース部材５２に第２のベース部材５４を取付けてベース１４を組み立てる。そして、図１７（Ｂ）に示すように、第２のベース部材５４に圧力センサ１２を搭載する。次に、図１７（Ｃ）に示すように、第２のベース部材５４にカバー１５を重ね、ファスナー止め金具１３によってカバー１５をベース１４に引き寄せて固定する。
その後、図１７（Ｄ）に示すように、カバー１５にソケット４２を重ね、ソケット４２の中継コンタクト４７を圧力センサ１２のリードピン２７に電気的に接続する。このようにソケット４２を圧力センサ１２に取付けた後、ヒーター４４に通電して圧力センサ１２を所定の温度に加熱するとともに減圧管３２内および圧力センサ１２の受圧部２４内を所定の真空度とした状態で圧力センサ１２の静電容量が測定される。
その後、図１７（Ｄ）に示すように、カバー１５にソケット４２を重ね、ソケット４２の中継コンタクト４７を圧力センサ１２のリードピン２７に電気的に接続する。このようにソケット４２を圧力センサ１２に取付けた後、ヒーター４４に通電して圧力センサ１２を所定の温度に加熱するとともに減圧管３２内および圧力センサ１２の受圧部２４内を所定の真空度とした状態で圧力センサ１２の静電容量が測定される。
【0043】
(実施の形態による効果の説明）
この実施の形態によるソケット４２のカバー１５に対向接触する部分（リング７８）は絶縁材料で構成されている。このため、圧力センサ１２のセンサケース２１に電流が流れることを防ぐことができるから、静電容量を測定する際の精度が高くなる。なお、ソケット４２の本体７４を絶縁材料によって形成することもできる。
この実施の形態によるソケット４２のカバー１５に対向接触する部分（リング７８）は絶縁材料で構成されている。このため、圧力センサ１２のセンサケース２１に電流が流れることを防ぐことができるから、静電容量を測定する際の精度が高くなる。なお、ソケット４２の本体７４を絶縁材料によって形成することもできる。
【0044】
この実施の形態によるベース１４は、圧力センサ１２を保持する第１のベース部材５２と、第１のベース部材５２に取付けられた枠状の第２のベース部材５４とを備えている。このため、ベース１４に圧力センサ１２を載せた状態で圧力センサ１２が第２のベース部材５４よって囲まれるから、カバー１５をベース１４に取付けるまでの間に圧力センサ１２がベース１４から脱落することを防ぐことができる。
また、第１のベース部材５２と第２のベース部材５４は、それぞれ単純な形状に形成できるから、第１の実施の形態で示した段付き円柱状のベース１４と較べると、ベース１４を簡単に製造することができる。
また、第１のベース部材５２と第２のベース部材５４は、それぞれ単純な形状に形成できるから、第１の実施の形態で示した段付き円柱状のベース１４と較べると、ベース１４を簡単に製造することができる。
【0045】
この実施の形態によるカバー１５は、圧力センサ１２と重ねられる板状の第１のカバー部材６３と、第１のカバー部材６３に取付けられた第２のカバー部材６５とを備えている。このため、圧力センサ１２に接触する部分とベース１４に接触する部分とを有する複雑な形状のカバー１５を単純な形状の第１のカバー部材６３と第２のカバー部材６５とを組み合わせて形成することができる。
このため、カバー１５が有底筒状に形成されている第１の実施の形態を採る場合と較べて、カバー１５を簡単に製造することができる。
このため、カバー１５が有底筒状に形成されている第１の実施の形態を採る場合と較べて、カバー１５を簡単に製造することができる。
【0046】
この実施の形態による静電容量測定検査治具５１は、圧力センサ１２を緊縛するバンド５７を備え、このバンド５７と圧力センサ１２によって温度センサ５８を挟んで保持する構成が採られている。このため、リークチェック後に温度センサ５８を簡単に取り外すことができる。
【符号の説明】
【0047】
１１，５１…静電容量測定検査治具、１２…静電容量型圧力センサ、１４…ベース、１５…カバー、２４…受圧部、２７…リードピン、３１…貫通孔（導入孔）、３２…減圧管、３３…真空ポンプ、４１…開口部、４２…ソケット、４４…ヒーター、４３…ヒーター挿入保持部、４７…中継コンタクト、５２…第１のベース部材、５４…第２のベース部材、５７…バンド、５８…温度センサ、６３…第１のカバー部材、６５…第２のカバー部材、６７…円形の開口部（第１の貫通孔）、７２…円形の開口部（第２の貫通孔）、７８…リング、Ｓ…内部空間。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】