特開 2023-133667 塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023133667

(43)【公開日】2023-09-27

(54)【発明の名称】塗布装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/02 20060101AFI20230920BHJP

【ＦＩ】

B05C5/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022038773

(22)【出願日】2022-03-14

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】岸谷 征典

【テーマコード（参考）】

4F041

【Ｆターム（参考）】

4F041AA11

4F041AB01

4F041BA01

4F041BA05

4F041BA10

4F041BA11

4F041BA32

4F041BA35

4F041BA36

4F041BA53

4F041BA59

4F041CA03

4F041CA13

4F041CA17

4F041CA18

4F041CA23

(57)【要約】

【課題】従来よりも塗布液を精度よく塗布することができる塗布装置を提供することを目的としている。
【解決手段】長尺方向に搬送される基材に塗布液を塗布して塗膜を形成する塗布装置であって、基材の幅方向に長く塗布液を溜める空間であり供給路を介して塗布液が供給されるマニホールドと、前記マニホールドと繋がった前記幅方向に長いスリットと、前記マニホールドから前記スリットを経由して塗布液を吐出する吐出口と、を有し、搬送される基材に対して塗布液を塗布する塗布部と、前記供給路内に配置され、塗布液の供給と停止を切り替える供給バルブと、前記スリットにおける塗布液の流量を調節する流量調節手段と、を備えており、前記流量調節手段は、塗布液の流路において前記供給バルブよりも下流に位置する部分と連通するよう設けられ、塗布液が充填される充填部と、前記充填部内に出し入れされ、前記充填部の容積を変化させることで、前記スリットにおける塗布液の流量を調節する容積調節部と、を有する構成とする。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺方向に搬送される基材に塗布液を塗布して塗膜を形成する塗布装置であって、
基材の幅方向に長く塗布液を溜める空間であり供給路を介して塗布液が供給されるマニホールドと、前記マニホールドと繋がった前記幅方向に長いスリットと、前記マニホールドから前記スリットを経由して塗布液を吐出する吐出口と、を有し、搬送される基材に対して塗布液を塗布する塗布部と、
前記供給路の途中に配置され、塗布液の供給と供給の停止を切り替える供給バルブと、
前記スリットにおける塗布液の流量を調節する流量調節手段と、を備えており、
前記流量調節手段は、塗布液の流路において前記供給バルブよりも下流に位置する部分と連通するよう設けられ、塗布液が充填される充填部と、
前記充填部内に出し入れされ、前記充填部の容積を変化させることで、前記スリットにおける塗布液の流量を調節する容積調節部と、を有することを特徴とする塗布装置。

【請求項2】

前記流量調節手段は、複数の前記充填部と、各々の前記充填部の容積を変化させる複数の容積調節部と、を有し、
各々の前記充填部が、前記幅方向に配列されることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。

【請求項3】

前記流量調節手段は、前記塗布部により形成する塗膜の始端である塗布開始部を形成するとき、前記幅方向の端部寄りに配置された各々の前記充填部内から容積調節部の少なくとも一部を出すことで前記充填部の容積を大きくし、
前記塗布部により形成する塗膜の終端である塗布終了部を形成するとき、前記幅方向の中央部寄りに配置された各々の前記充填部内から容積調節部の少なくとも一部を出すことで前記充填部の容積を大きくすることを特徴とする請求項２に記載の塗布装置。

【請求項4】

前記充填部が、前記スリットに連通して設けられることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の塗布装置。

【請求項5】

前記充填部が、前記スリットにおいて前記マニホールドよりも前記吐出口寄りの位置に連通して設けられることを特徴とする請求項４に記載の塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、連続的に搬送される基材の表面に、塗布液を塗布して塗膜を形成する塗布装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、リチウムイオン電池の電池用極板は、ロールトゥロールで搬送される基材に活物質、バインダー、導電助剤および溶媒を含むスラリー（以下、塗布液）が塗布されて製造されている。

【0003】

近年、リチウムイオン電池の電池用極板の製造において、生産性向上のための高速化、塗布液のロス軽減のために間欠塗布方式による塗布装置が提案されている（たとえば、特許文献１）。

【0004】

特許文献１に示す塗布装置は、塗布液を塗布する塗布部と、塗布部に塗布液を供給する供給手段と、を有し、供給手段から塗布部に供給された塗布液が塗布部の内部のマニホールドおよびスリットを経由して、基材に対向する吐出口から吐出される。

【0005】

また、供給手段は、塗布液が貯留されたタンクと、タンクとマニホールドとを接続する供給路と、供給路の途中に設けられ、マニホールドに塗布液を供給する供給バルブと、塗布液を再びタンクに回収する回収バルブと、を有している。特許文献１に示す塗布装置では、これら２つの切替バルブを切り替えることによって、間欠塗布を行っている。これにより、基材上に塗膜が形成された塗布領域が形成される。なお、以下の説明では、基材の搬送方向における各々の塗布領域間の塗膜が形成されていない部分を不塗布領域と呼ぶ。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１４－１８８４４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、従来の塗布装置では、塗布液を精度よく塗布することができない場合があった。具体的には、２つの切替バルブは、供給路に設けられているため、吐出口と離れた位置で塗布部による塗布液の塗布量を制御しなければならず、塗布量の制御が困難である。そのため、形成する塗膜を所望の形状にすることができない場合がある。

【0008】

特に、塗布領域が始まる塗膜の始端である塗布開始部と、塗布領域から不塗布領域になる塗膜の終端である塗布終了部を形成するときに、塗布部による塗布液の塗布量が塗布すべき塗布量になるように素早く制御を行う必要がある。しかし、この制御を行うための２つの切り替えバルブが吐出口から離れた位置に設けられているため、塗布部による塗布液の塗布量の制御が間に合わず、基材上に形成された塗膜の塗布開始部と塗布終了部の形状を所望の形状にすることができない。すなわち、塗布液を精度よく塗布することができないため、基材上に所望の形状を有する塗膜を形成することができない。

【0009】

本発明は、上記問題を鑑みてされたものであり、従来よりも塗布液を精度よく塗布することができる塗布装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記課題を解決するための本発明の塗布装置は、長尺方向に搬送される基材に塗布液を塗布して塗膜を形成する塗布装置であって、基材の幅方向に長く塗布液を溜める空間であり供給路を介して塗布液が供給されるマニホールドと、前記マニホールドと繋がった前記幅方向に長いスリットと、前記マニホールドから前記スリットを経由して塗布液を吐出する吐出口と、を有し、搬送される基材に対して塗布液を塗布する塗布部と、前記供給路の途中に配置され、塗布液の供給と供給の停止を切り替える供給バルブと、前記スリットにおける塗布液の流量を調節する流量調節手段と、を備えており、前記流量調節手段は、塗布液の流路において前記供給バルブよりも下流に位置する部分と連通するよう設けられ、塗布液が充填される充填部と、前記充填部内に出し入れされ、前記充填部の容積を変化させることで、前記スリットにおける塗布液の流量を調節する容積調節部と、を有することを特徴としている。

【0011】

上記塗布装置によれば、流量調節手段を備え、その流量調節手段が塗布液の流路において供給バルブよりも下流に位置する部分と連通するよう設けられた充填部の容積を容積調節部により調節することによって、より吐出口に近い位置でスリットにおける塗布液の流量を調節することができるため、従来よりも塗布液を精度よく塗布することができる。

【0012】

また、前記流量調節手段は、複数の前記充填部と、各々の前記充填部の容積を変化させる複数の容積調節部と、を有し、各々の前記充填部が、前記幅方向に配列される構成としてもよい。

【0013】

この構成によれば、幅方向に配列するよう設けられた複数の充填部のそれぞれの容積を容積調節手段により変化させている。これにより、スリットにおける塗布液の流量を基材の幅方向にわたって調節することができるため、塗布液をより精度よく塗布することができる。

【0014】

また、前記流量調節手段は、前記塗布部により形成する塗膜の始端である塗布開始部を形成するとき、前記幅方向の端部寄りに配置された各々の前記充填部内から容積調節部の少なくとも一部を出すことで前記充填部の容積を大きくし、前記塗布部により形成する塗膜の終端である塗布終了部を形成するとき、前記幅方向の中央部寄りに配置された各々の前記充填部内から容積調節部の少なくとも一部を出すことで前記充填部の容積を大きくする構成としてもよい。

【0015】

この構成によれば、基材の幅方向における塗膜の幅を塗布開始部と塗布終了部とで均一にすることができる。

【0016】

また、前記充填部が、前記スリットに連通して設けられる構成としてもよい。

【0017】

この構成によれば、より吐出口の近くでスリットにおける塗布液の流量を調節することができるため、塗布液を精度よく塗布することができる。

【0018】

また、各々の前記充填部が、前記スリットにおいて前記マニホールドよりも前記吐出口寄りの位置に連通して設けられる構成としてもよい。

【0019】

この構成によれば、より吐出口の近くでスリットにおける塗布液の流量を調節することができるため、塗布液をより精度よく塗布することができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明の塗布装置によれば、従来よりも塗布液を精度よく塗布することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の一実施形態における塗布装置を概略的に示す図である。

【図2】本発明の一実施形態における塗布装置を概略的に示す図である。

【図3】本発明の一実施形態における塗布装置の塗布動作を説明するための図である。

【図4】本発明の一実施形態における流量調節手段を示す拡大図である。

【図5】本発明の一実施形態における塗布装置の塗布動作を説明するための図である。

【図6】従来の塗布装置により形成された塗膜の状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

本発明の一実施形態における塗布装置について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、水平方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向と表現し、ＸＹ平面と垂直な方向（つまり、鉛直方向）をＺ軸方向と表現する。

【0023】

図１は、本実施形態における塗布装置１００を概略的に示す図であり、塗布開始部Ｓの形成時を示している。図２は、本実施形態における塗布装置１００を概略的に示す図であり、塗布終了部Ｅの形成時を示している。図３は、本実施形態における塗布装置１００の動作を説明するための図であり、図３（ａ）は塗布開始部Ｓの形成時における図１で示す塗布部２のＡ－Ａ矢視図であり、図３（ｂ）は、塗布終了部Ｅの形成時における図２で示す塗布部２のＢ－Ｂ矢視図である。図４は、本実施形態における流量調節手段４を示す拡大図であり、図４（ａ）は塗布開始部Ｓの形成時の動作、図４（ｂ）は、塗布終了部Ｅの形成時の動作を示している。図５は、本実施形態における塗布装置１００の動作を説明するための図であり、図５（ａ）は、供給バルブ３３、回収バルブ３５、ボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂ、およびボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄのそれぞれの動作、図５（ｂ）は、基材Ｗに形成される塗膜Ｍの状態を示している。

【0024】

本実施形態における塗布装置１００は、図１に示すように基材Ｗを搬送する搬送手段１と、基材Ｗに塗布液Ｌを塗布する塗布部２と、塗布部２に塗布液Ｌを供給する供給手段３と、塗布部２が有するスリット２２における塗布液Ｌの流量を調節する流量調節手段４と、を備えている。

【0025】

本実施形態における塗布装置１００は、搬送手段１により搬送される基材Ｗの所定面に塗布部２により塗布液Ｌを塗布し、塗膜Ｍを形成する。

【0026】

本実施形態における基材Ｗは、リチウムイオン電池などの電池の電池用極板となる金属箔であり、正極を構成する場合はアルミニウム箔などが用いられ、負極を構成する場合は銅箔などが用いられる。この基材Ｗは、一方向に長い帯状のシートであり、搬送手段１により搬送される。

【0027】

本実施形態における塗布液Ｌは、たとえば、活物質、バインダー、導電助剤、および溶媒を含むスラリーのことであり、リチウムイオン電池などの電池の電池用極板の材料（所謂、電極材料）として用いられる。この塗布液Ｌを基材Ｗに塗布することで、基材Ｗ上に塗膜が形成される。

【0028】

本実施形態における搬送手段１は、基材Ｗを搬送するためのものであり、複数のロールが回転することにより基材Ｗを搬送するロールツーロール方式を採用している。なお、本実施形態では、塗布液Ｌを塗布する場所に基材Ｗを案内する塗布ロール１１のみを図１および図２に示している。また、塗布ロール１１は、塗布部２と対向し、後述する吐出口２３と所定の間隔を空けて配置される。そのため、塗布部２と一定の間隔を保ちながら基材Ｗを搬送することができる。

【0029】

本実施形態における塗布部２は、搬送される基材Ｗに塗布液Ｌを塗布して塗膜Ｍを形成するためのものである。塗布部２は、基材Ｗの幅方向（図１におけるＹ軸方向）に沿って長く形成されている。ここで、前述した塗布ロール１１が、塗布部２に対して、塗布ロール１１の回転軸方向と、塗布部２の幅方向とが平行になるよう所定の間隔を空けて配置される。なお、以下の説明では、基材Ｗの幅方向を幅方向と呼ぶ。

【0030】

また、塗布部２は、図１に示すように後述する供給路３２に接続され、幅方向に長く塗布液Ｌを溜める空間であるマニホールド２１と、このマニホールド２１と繋がった幅方向に広いスリット２２と、幅方向においてスリット２２と同一の長さで開口し、塗布液Ｌを吐出する吐出口２３により構成される。これにより、マニホールド２２に溜められた塗布液Ｌがスリット２２を経由して、吐出口２３から基材Ｗに吐出される。

【0031】

また、吐出口２３は、塗布ロール１１と基材Ｗを挟んで対向している。すなわち、吐出口２３は基材Ｗの表面側で基材Ｗと対向している。これにより、吐出口２３と基材Ｗとの間隔を一定に保った状態で、基材Ｗの表面側に塗布液Ｌを塗布することができる。

【0032】

本実施形態における供給手段３は、塗布部２に塗布液Ｌを供給するためのものである。この供給手段３は、図１に示すように塗布液Ｌを貯留するタンク３１と、タンク３１とマニホールド２１とを接続する供給路３２と、塗布液Ｌを送液する図示しない送液ポンプと、供給路３２の開閉を制御する供給バルブ３３と、供給路３２とタンク３１に接続される回収路３４と、回収路３４の開閉を制御する回収バルブ３５と、を有している。

【0033】

タンク３１は、塗布液Ｌを貯留するためのものである。また、送液ポンプは、塗布液Ｌを圧送するためのものであり、たとえば、ギアポンプなどである。

【0034】

供給路３２は、図１に示すようにマニホールド２１とタンク３１とを接続し、タンク３１からマニホールド２１へ塗布液Ｌが送液ポンプにより送液される流路である。なお、本実施形態における供給路３２は、幅方向におけるマニホールド２１の中央部に接続されている。また、供給路３２の途中に供給バルブ３３が配置される。

【0035】

供給バルブ３３は、供給路３２の開閉を制御して塗布液Ｌの供給と供給の停止を切り替えるためのものであり、図１に示すように弁体３３ａと、シャフト３３ｂと、弁体駆動手段３３ｃと、を有している。

【0036】

弁体３３ａは、供給路３２の途中に配置され、供給路３２を開閉するものであり、シャフト３３ｂの先端とつながっている。また、弁体駆動手段３３ｃは、弁体３３ａの位置を変化させるための駆動源であり、たとえば、エアシリンダーや電動モーターなどである。

【0037】

この弁体駆動手段３３ｃは、図１および図２に示すように弁体３３ａにつながるシャフト３３ｂを供給路３２の開閉方向に移動させることによって、弁体３３ａにより供給路３２を開閉する。なお、弁体駆動手段３３ｃの制御は、図示しない制御部により行われる。この制御部はたとえば、汎用のコンピューターのことである。

【0038】

これら構成により、供給バルブ３３は、塗布部２への塗布液Ｌの供給と供給の停止を切り替えることができる。この塗布部２への塗布液Ｌの供給と供給の停止を断続的に行うことで、搬送手段１により搬送される基材Ｗに塗布液Ｌを間欠的に塗布することができる。ここでいう、間欠的に塗布するとは、図５（ｂ）に示すように基材Ｗ上に塗膜Ｍが形成された塗布領域Ｔを断続的に形成することである。なお、以下の説明では、基材Ｗの搬送方向（図１におけるＸ軸方向）における塗布領域Ｔ間の塗膜Ｍが形成されていない部分を不塗布領域Ｎと呼ぶ。

【0039】

回収路３４は、図１に示すように塗布液Ｌの流路において供給バルブ３３よりも上流に位置する供給路３２とタンク３１に接続され、供給路３２からタンク３１へ塗布液Ｌが送液ポンプにより送液される流路である。また、回収路３４の途中に回収バルブ３５が配置される。

【0040】

回収バルブ３５は、回収路３４の開閉を制御して塗布液Ｌの回収と回収の停止を切り替えるためのものであり、図１に示すように弁体３５ａと、シャフト３５ｂと、弁体駆動手段３５ｃと、を有している。

【0041】

弁体３５ａは、回収路３４の供給路３２との接続部に配置され、回収路３４を開閉するものであり、シャフト３５ｂの先端とつながっている。また、弁体駆動手段３５ｃは、弁体３５ａの駆動源であり、たとえば、エアシリンダーや電動モーターなどである。

【0042】

この弁体駆動手段３５ｃは、図１および図２に示すように弁体３５ａにつながるシャフト３５ｂを回収路３４の開閉方向に移動させることによって、弁体３５ａにより回収路３４を開閉する。この弁体駆動手段３３ｃの制御は、前述した制御部により行われる。

【0043】

これら構成により、回収バルブ３５は、タンク３１への塗布液Ｌの回収と回収の停止を切り替えることができる。

【0044】

また、回収バルブ３５による回収路３４の開閉動作は、図５（ａ）に示すように供給バルブ３３による供給路３２の開閉動作に合わせて行う。具体的には、図１および図２に示すように回収バルブ３５は、供給バルブ３３により供給路３２を開状態にするときに回収路３４を閉状態とし、供給バルブ３３により供給路３１を閉状態にするときに回収路３４を開状態とする。

【0045】

これにより、供給バルブ３３により供給路３２を閉状態にするときに供給バルブ３３よりも上流に位置する供給路３２内の塗布液Ｌの内圧が高くなることを防ぐことができる。そのため、供給バルブ３３により供給路３２を閉状態から開状態に切り替えたときに塗布液Ｌが塗布部２に多く供給されることを防ぐことができ、基材Ｗに形成される塗膜Ｍの塗布領域Ｔが始まる始端である塗布開始部Ｓ（図５（ｂ）を参照）が盛り上がることを防ぐことができる。

【0046】

また、供給バルブ３３により供給路３２を開状態から閉状態に切り替えたときに、供給路３２から塗布部２に塗布液Ｌが漏れ出ることを防ぐことができる。そのため、塗膜Ｍの塗布領域Ｓから不塗布領域Ｎになる終端を塗布終了部Ｅ（図５（ｂ）を参照）において塗布液Ｌの液切れがよくなり、不塗布領域Ｎに塗布液Ｌが付着することを防ぐことができる。

【0047】

本実施形態における塗布装置１００には、スリット２２における塗布液Ｌの流量を調節する流量調節手段４であるボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが図３（ａ）に示すようにスリット２２の幅方向にわたって配列するよう設けられている。

【0048】

各々のボリュームコントロールバルブ４は、図３（ａ）および図４（ａ）に示すように塗布液Ｌが充填される空間である充填部４１と、充填部４１の容積を変化させる容積調節手段４２と、を有している。

【0049】

充填部４１は、図３（ａ）に示すようにスリット２２と開口を通じて連通するよう設けられた空間であり、スリット２２に流れる塗布液Ｌが流入し、充填されるようになっている。なお、充填部４１は、図１に示すようにマニホールド２２よりも吐出口２３寄りの位置でスリット２２に連通する。

【0050】

容積調節手段４２は、充填部４１の容積を変化させるためのものであり、図４（ａ）に示すように容積調節部４２ａと、シャフト４２ｂと、容積調節部駆動手段４２ｃと、を有している。

【0051】

容積調節部４２ａは、充填部４１内に出し入れされることで、充填部４１の容積を調節するためのものであり、図４（ａ）に示すようにシャフト４２ｂの先端とつながっている。この容積調節部４２ａは、充填部４１の内壁面と密接しつつ移動するものである。また、容積調節部４２ａは、略円柱状の部材で構成され、その外周部に図示しないリング状のパッキンが取り付けられており、充填部４１内に出し入れされる方向に移動できる構成をしている。

【0052】

容積調節部駆動手段４２ｃは、容積調節部４２ａの駆動源であり、たとえば、エアシリンダーや電動モーターなどである。この容積調節部駆動手段４２ｃは、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように充填部４１内に容積調節部４２ａを出し入れする方向に容積調節部４２ａにつながるシャフト４２ｂを移動させることによって、容積調節部４２ａの位置を変化させる。これにより、充填部４１の容積を調節する。この容積調節部駆動手段４２ｃの制御は、前述した制御部により行われる。

【0053】

このようにボリュームコントロールバルブ４は、充填部４１の容積を調節することで、スリット２２における塗布液Ｌの流量を調節する。具体的には、図４（ａ）に示すボリュームコントロールバルブ４のように容積調節部４２ａが一部を残して充填部４１内から出た初期位置から、図４（ｂ）に示すボリュームコントロールバルブ４のように容積調節部４２ａのほとんどが充填部４１内に入った位置に移動することで、容積調節部４２ａの位置が変化した分（図４（ａ）の鎖線部Ｃ）だけ充填部４１の容積が小さくなる。この容積が小さく変化した分だけ、充填部４１に充填されていた塗布液Ｌがスリット２２に戻されるため、ボリュームコントロールバルブ４が設けられた位置の近傍に位置するスリット２２における塗布液Ｌの流量が増える。

【0054】

また、図４（ｂ）に示すボリュームコントロールバルブ４のように容積調節部４２ａのほとんどが充填部４１内に入った位置から図４（ａ）に示すボリュームコントロールバルブ４のように容積調節部４２ａが一部を残して充填部４１内から出る位置に移動することで、容積調節部４２ａの位置が変化した分（図４（ａ）の鎖線部Ｃ）だけ充填部４１の容積が大きくなる。この容積が大きく変化した分だけ、充填部４２ａにスリット２２から塗布液Ｌが充填されるため、ボリュームコントロールバルブ４が設けられた位置の近傍に位置するスリット２２における塗布液Ｌの流量が減る。

【0055】

なお、容積調節部駆動手段４２ｃによる容積調節部４２ａの位置の変化量や、容積調節部４２ａを移動する速度は、基材Ｗに形成する塗膜Ｍの形状に応じて適宜変更される。

【0056】

これら構成により、ボリュームコントロールバルブ４は、スリット２２における塗布液Ｌの流量を調節できる。そして、スリット２２においてボリュームコントロールバルブ４により流量を調節された塗布液Ｌが吐出口２３から吐出される。すなわち、ボリュームコントロールバルブ４は、塗布部２による塗布液Ｌの塗布量を調節する。

【0057】

また、ボリュームコントロールバルブ４は、前述したようにスリット２２の幅方向わたって配列するよう複数設けられているため、スリット２２における塗布液Ｌの流量を幅方向にわたって調節することができるようになっている。そして、各々のボリュームコントロールバルブ４によりスリット２２の幅方向にわたって流量を調節された塗布液Ｌが吐出口２３から吐出される。すなわち、各々のボリュームコントロールバルブ４は、塗布部２による塗布液Ｌの塗布量を幅方向にわたって調節する。

【0058】

以下に本実施形態における塗布装置１００の動作について具体的に説明する。

【0059】

まず、塗布装置１００は、塗布部２によって搬送手段１により搬送される基材Ｗに対して塗布液Ｌを塗布し、塗布開始部Ｓを形成する。具体的には、供給バルブ３３が、図２および図５（ａ）に示すように閉状態の供給路３２を図１および図５（ａ）に示すように開状態にし、送液ポンプによりタンク３１から供給路３２を通じて塗布液Ｌをマニホールド２１に供給する。そして、マニホールド２１に供給された塗布液Ｌがスリット２２を経由して吐出口２３から吐出される。

【0060】

ここで、供給路３２を開閉する供給バルブ３３の動作（以下、供給バルブ３３の動作と呼ぶ）と同時に回収バルブ３５は、図２および図５（ａ）に示すように開状態の回収路３４を図１および図５（ａ）に示すように閉状態にする。

【0061】

また、供給バルブ３３の動作および回収路３４を開閉する回収バルブ３５の動作（以下、回収バルブ３５の動作と呼ぶ）と同時に各々のボリュームコントロールバルブ４は、スリット２２における塗布液Ｌの流量を調節する。

【0062】

具体的には、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すようにスリット２２の幅方向の端部寄り設けられたボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂと、スリット２２の幅方向の中央部寄りに設けられたボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄのそれぞれの充填部４１の容積を調節することで、スリット２２における塗布液Ｌの流量を幅方向にわたって調節する。

【0063】

より具体的には、ボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂは、図３（ｂ）および図５（ａ）に示すように容積調節部４２ａのほとんどが充填部４１内に入った初期位置から、図３（ａ）および図５（ａ）に示すように容積調節部駆動手段４２ｃにより容積調節部４２ａが一部を残して充填部４１内から出る位置に容積調節部４２ａを移動させる。

【0064】

これにより、容積調節部４２ａが初期位置に位置していたときよりも充填部４１の容積が大きくなり、この充填部４１の容積が大きくなった分の塗布液Ｌがスリット２２から充填部４１に充填される。したがって、ボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂが設けられた位置の近傍に位置するスリット２２の幅方向における端部とその近傍の塗布液Ｌの流量が減る。

【0065】

そして、ボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄは、図３（ｂ）および図５（ａ）に示すように容積調節部４２ａが一部を残して充填部４１内から出た初期位置から、図３（ａ）および図５（ａ）に示すように容積調節部駆動手段４２ｃにより容積調節部４２ａのほとんどが充填部４１内に入る位置に容積調節部４２ａを移動させる。

【0066】

これにより、容積調節部４２ａが初期位置に位置していたときよりも充填部４１の容積が小さくなり、この充填部４１の容積が小さくなった分の塗布液Ｌが充填部４１からスリット２２に戻される。したがって、ボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄが設けられた位置の近傍に位置するスリット２２の幅方向における中央部とその近傍の塗布液Ｌの流量が増える。

【0067】

以上により、供給バルブ３３により供給路３２が開状態になり、塗布部２による塗布液Ｌの塗布が開始されるまでに各々のボリュームコントロールバルブ４によりスリット２２の幅方向にわたって流量を調節された塗布液Ｌが吐出口２３から吐出される。これにより、図５（ｂ）に示すように塗布開始部Ｓが形成される。

【0068】

その後、塗布装置１００は、図５（ａ）に示すように供給バルブ３３、回収バルブ３５、および各々のボリュームコントロールバルブ４の状態を維持しながら塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布を続けて塗膜Ｍを形成していく。

【0069】

次に、塗布装置１００は、塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布を停止し、塗布終了部Ｅを形成する。具体的には、供給バルブ３３が図１および図５（ａ）に示すように開状態の供給路３２を図２および図５（ａ）に示すように閉状態にし、塗布部２への塗布液Ｌの供給を停止する。これにより、塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｅの塗布を停止する。

【0070】

ここで、供給バルブ３３の動作と同時に回収バルブ３５は、図１および図５（ａ）に示すように閉状態の回収路３４を図２および図５（ａ）に示すように開状態にし、供給路３２における塗布液Ｌを回収する。

【0071】

また、供給バルブ３３の動作および回収バルブ３５の動作と同時に各々のボリュームコントロールバルブ４は、スリット２２における塗布液Ｌの流量を調節する。

【0072】

具体的には、ボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂは、図３（ａ）および図５（ａ）に示すように容積調節部４２ａが一部を残して充填部４１内から出た初期位置から、図３（ｂ）および図５（ａ）に示すように容積調節部駆動手段４３ｃにより容積調節部４２ａのほとんどが充填部４１内に入る位置に容積調節部４２ａを移動させる。

【0073】

これにより、容積調節部４２ａが初期位置に位置していたときよりも充填部４１の容積が小さくなり、この充填部４１の容積が小さくなった分の塗布液Ｌが充填部４１からスリット２２に戻される。したがって、ボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂが設けられた位置の近傍に位置するスリット２２の幅方向における端部とその近傍の塗布液Ｌの流量が増える。

【0074】

そして、ボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄは、図３（ａ）および図５（ａ）に示すように容積調節部４２ａのほとんどが充填部４１内に入った初期位置から、図３（ｂ）および図５（ａ）に示すように容積調節部駆動手段４２ｃにより一部を残して容積調節部４２ａが充填部４１内から出る位置に容積調節部４２ａを移動させる。

【0075】

これにより、容積調節部４２ａが初期位置に位置していたときよりも充填部４１の容積が大きくなり、この充填部４１の容積が大きくなった分の塗布液Ｌがスリット２２から充填部４１に充填される。したがって、ボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄが設けられた位置の近傍に位置するスリット２２の幅方向における中央部とその近傍の塗布液Ｌの流量が減る。

【0076】

以上により、供給バルブ３３により供給路３２が閉状態になり、塗布部２による塗布液Ｌの塗布が完全に停止するまでの間に各々のボリュームコントロールバルブ４によりスリット２２の幅方向にわたって流量を調節された塗布液Ｌが吐出口２３から吐出される。これにより、図５（ｂ）に示すように塗布終了部Ｅが形成される。そして、塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布が停止する。

【0077】

そして、これら塗布装置１００の動作を図５（ａ）に示すように断続的に行うことで、塗布部２は基材Ｗに塗布液Ｌを間欠的に塗布する。これにより、図５（ｂ）に示すように基材Ｗに塗膜Ｍが断続的に形成される。

【0078】

このように上記実施形態における塗布装置１００によれば、従来よりも塗布液Ｌを精度よく塗布することができる。具体的には、塗布装置１００では、流量調節手段４であるボリュームコントロールバルブ４をスリット２２に連通するよう設けているため、より吐出口に近い位置で塗布液Ｌの流量を調節することができる。そのため、供給バルブ３３による供給路３２の開閉動作のみによってスリット２２における塗布液Ｌの流量を調節していた従来の塗布装置よりも塗布部２による塗布液Ｌの塗布量を精度よく制御することができる。これにより、基材Ｗに形成される塗膜Ｍを所望の形状に形成しやすくなる。すなわち、塗布装置１００は、従来よりも塗布液Ｌを精度よく塗布することができる。

【0079】

また、従来よりも吐出口２３に近い位置で塗布部２による塗布液Ｌの塗布の開始と停止の補助を行うことができる。具体的には、塗布開始部Ｓにおける塗膜Ｍの盛り上がりや、塗布終了部Ｅでの塗布液Ｌの引きずりを防ぎやすくなる。

【0080】

また、ボリュームコントロールバルブ４が、塗布部２の高さ方向に狭いスリット２２と連通して設けられていることによって、ボリュームコントロールバルブ４がマニホールド２１や供給路３２に設けられるよりも塗布部２による塗布液Ｌの塗布量を応答良く制御することができる。

【0081】

また、複数のボリュームコントロールバルブ４が、幅方向に配列されるように設けられているため、スリット２２における塗布液Ｌの流量を幅方向にわたって調節することができる。そのため、塗布部２による塗布液Ｌの塗布量をより精度よく制御することができ、基材Ｗに形成する塗膜Ｍを所望の形状に形成しやすくなる。

【0082】

また、本実施形態における塗布装置１００によれば、基材Ｗに形成する塗布開始部Ｓおよび塗布終了部Ｅを従来よりも精度よく形成することができる。

【0083】

具体的に説明する。塗布装置１００は、塗布開始部Ｓを形成するときに、供給バルブ３３により供給路３２を閉状態から開状態に、回収バルブ３５により回収路３４を開状態から閉状態にすることによって、塗布部２に塗布液Ｌを供給して塗布液Ｌを基材Ｗに塗布している。ここで、従来の塗布装置では、塗布部２に供給された塗布液Ｌがスリット２２の幅方向の中央部から端部に向かって広がりながら吐出口２３へ送液される。

【0084】

そのため、塗布開始時点では、スリット２２の幅方向の端部を流れる塗布液Ｌが吐出口２３に早く到達してしまい、基材Ｗに塗布されてしまう。これにより、塗布開始部Ｓが、図６の鎖線Ｄで示すような弓形の形状に形成されてしまう。

【0085】

これに対して、本実施形態における塗布装置１００では、供給バルブ３３の動作および回収バルブ３５の動作と同時に、ボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂのそれぞれは、各々が設けられた位置と近傍に位置するスリット２２の幅方向の端部とその近傍の塗布液Ｌの流量を減らし、ボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄのそれぞれは、各々が設けられた位置と近傍に位置するスリット２２の幅方向の中央部とその近傍の塗布液Ｌの流量を増やしている。

【0086】

そのため、塗布開始時点で、スリット２２における塗布液Ｌの流量を幅方向で均一にすることができる。これにより、吐出口２３から吐出される塗布液Ｌが幅方向で均一になり、塗布開始部Ｓが弓形の形状に形成されることを防ぐことができる。

【0087】

一方、塗布装置１００は、塗布終了部Ｅを形成するときに、供給バルブ３３により供給路３２を開状態から閉状態に、回収バルブ３５により回収路３４を閉状態から開状態にすることによって、塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布を停止している。ここで、従来の塗布装置では、供給バルブ３３により供給路３２が開状態から閉状態になるまでの間に、塗布部２に供給されていた塗布液Ｌがスリット２２の幅方向の端部から中央に向かって引き戻されていく。

【0088】

そのため、塗布部２による塗布液Ｌの塗布が完全に停止するまでの間に塗布される塗布液Ｌの塗布量は、幅方向の端部に向かうにつれて少なくなる。これにより、形成される塗布終了部Ｅは、図６の鎖線Ｆで示すような前述した塗布開始部Ｓとは反対の弓形の形状に形成されてしまう。

【0089】

これに対して、本実施形態における塗布装置１００では、供給バルブ３３の動作および回収バルブ３５の動作と同時に、ボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂのそれぞれ、各々が設けられた位置と近傍に位置するスリット２２の幅方向の端部とその近傍の塗布液Ｌの流量を増やし、ボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄのそれぞれは、各々が設けられた位置と近傍に位置するスリット２２の幅方向の中央部とその近傍の塗布液Ｌの流量を減らしている。

【0090】

そのため、塗布部２による塗布液Ｌの塗布が完全に停止するまでの間のスリット２２における塗布液Ｌの流量を幅方向で均一にすることができる。これにより、塗布部２による塗布液Ｌの塗布が完全に停止するまでの間に吐出口２３から吐出される塗布液Ｌを幅方向で均一にすることができ、塗布終了部Ｅが弓形の形状に形成されることを防ぐことができる。

【0091】

以上により、基材Ｗに形成する塗膜Ｍの幅方向における幅を塗布開始部Ｓと塗布終了部Ｅとで均一にすることができる。したがって、基材Ｗに形成する塗布開始部Ｓおよび塗布終了部Ｅを従来よりも精度よく形成することができる。

【0092】

また、各々のボリュームコントロールバルブ４は、供給バルブ３３の動作および回収バルブ３５の動作に合わせてスリット２２における塗布液Ｌの流量を調節しているため、基材Ｗに形成される塗膜Ｍの厚みのばらつきを抑えることができる。

【0093】

以上、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳述したが、各実施形態における構成およびそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の追加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。たとえば、上記実施形態では、塗布装置１００が供給路３２、供給バルブ３３、回収路３４および回収バルブ３５をそれぞれ一つずつ備える例について説明したが、複数有していてもよい。

【0094】

また、塗布部２と供給バルブ３３の間に位置する供給路３２を分岐させ、分岐した供給路３２をマニホールド２１の幅方向に配列して接続してもよい。

【0095】

また、上記実施形態では、ボリュームコントロールバルブ４がスリット２２に連通するよう設けられている例について説明したが、この構成に限らなくてもよい。たとえば、塗布液Ｌの流路において供給バルブ３３よりも下流側に位置する部分（供給路３２やマニホールド２１）と連通するようのボリュームコントロールバルブ４を設けてもよい。

【0096】

なお、前述したように供給路３２、供給バルブ３３、回収路３４および回収バルブ３５を複数有している場合や供給路３２が分岐している場合、各々の供給路３２において供給バルブ３３よりも下流側に位置する部分にボリュームコントロールバルブ４を設けるとよい。

【0097】

また、上記実施形態では、ボリュームコントロールバルブ４が複数設けられている例について説明したが、一つであってもよい。

【0098】

また、上記実施形態では、スリット２２の幅方向の端部寄りに設けられたボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂが、同じ動作を行ってスリット２２における塗布液Ｌの流量を調節していたが、形成する塗膜Ｍの形状に応じて適宜変更してもよい。なお、スリット２２の幅方向の中央部寄りに設けられたボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄも同様である。すなわち、ボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂ、４ｃ、および４ｄは、形成する塗膜Ｍの形状に応じて、別々に動作してスリット２２における塗布液Ｌの流量を調節してもよい。

【0099】

また、塗布開始部Ｓ、塗布終了部Ｅを形成する際に、スリット２２における塗布液Ｌの流量の調節をボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂまたはボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄのいずれかの一組のボリュームコントロールバルブ４によって行ってもよい。

【0100】

たとえば、塗布開始部Ｓの形成時には、ボリュームコントロールバルブ４ａ、４ｂによりスリット２２の幅方向の端部とその近傍における塗布液Ｌの流量を減らすことで、スリット２２における塗布液Ｌを幅方向で均一にする。一方、塗布終了部Ｅを形成時にはボリュームコントロールバルブ４ｃ、４ｄによりスリット２２の幅方向の中央部とその近傍における塗布液Ｌの流量を減らすことで、スリット２２における塗布液Ｌを幅方向で均一にする。これにより、基材Ｗに形成する塗膜Ｍの幅方向における幅を塗布開始部Ｓと塗布終了部Ｅとで均一にすることができる。

【0101】

また、各々のボリュームコントロールバルブ４の容積調節部駆動手段４２ｃによる容積調節部４２ａの位置の変化量は、形成する塗膜Ｍの形状に応じて適宜変更してもよい。なお、各々のボリュームコントロールバルブ４の容積調節部駆動手段４２ｃによる容積調節部４２ａの移動速度についても同様である。

【0102】

また、上記実施形態では、各々のボリュームコントロールバルブ４が、供給バルブ３３および回収バルブ３５と同時に動作していたが、形成する塗膜Ｍの形状に応じて適宜変更しても構わない。

【符号の説明】

【0103】

１００ 塗布装置
１ 搬送手段
１１ 塗布ロール
２ 塗布部
２１ マニホールド
２２ スリット
２３ 吐出口
３ 供給手段
３１ タンク
３２ 供給路
３３ 供給バルブ
３３ａ 弁体
３３ｂ シャフト
３３ｃ 弁体駆動手段
３４ 回収路
３５ 回収バルブ
３５ａ 弁体
３５ｂ シャフト
３５ｃ 弁体駆動手段
４ 流量調節手段（ボリュームコントロールバルブ）
４ａ ボリュームコントロールバルブ
４ｂ ボリュームコントロールバルブ
４ｃ ボリュームコントロールバルブ
４ｄ ボリュームコントロールバルブ
４１ 充填部
４２ 容積調節手段
４２ａ 容積調節部
４２ｂ シャフト
４２ｃ 容積調節部駆動手段
Ｌ 塗布液
Ｍ 塗膜
Ｓ 塗布開始部
Ｅ 塗布終了部
Ｔ 塗布領域
Ｎ 不塗布領域
Ｗ 基材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】