(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023013552
(43)【公開日】2023-01-26
(54)【発明の名称】リンク装置および延伸機
(51)【国際特許分類】
B29C 55/16 20060101AFI20230119BHJP
【ＦＩ】
B29C55/16
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021117833
(22)【出願日】2021-07-16
(71)【出願人】
【識別番号】000004215
【氏名又は名称】株式会社日本製鋼所
(74)【代理人】
【識別番号】110002066
【氏名又は名称】弁理士法人筒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】吉松 尚暁
(72)【発明者】
【氏名】中嶋 一郎
【テーマコード（参考）】
4F210
【Ｆターム（参考）】
4F210AJ08
4F210AM24
4F210AR12
4F210QA02
4F210QC07
4F210QG01
4F210QG18
4F210QL04
4F210QL05
4F210QL06
4F210QL09
4F210QL16
(57)【要約】
【課題】狭い間隔で膜を把持することができるリンク装置を実現する。
【解決手段】リンク装置１０Ｒ，１０Ｌは、無端チェーンを構成するように連結され、２本のレールに沿って移動可能な複数のリンク機構１１を有する。それぞれのリンク機構１１は、レールホルダ２４，２５と、レールホルダ２４に設けられ、回転しながら一方のレールに沿って移動する複数のガイドローラ３０と、レールホルダ２５に設けられ、回転しながら他方のレールに沿って移動する複数のガイドローラ３０と、を有する。複数のリンク機構１１には、レールホルダ２４に３個のガイドローラ３０が設けられている３ローラリンク機構１１Ａと、レールホルダ２４に２個のガイドローラ３０が設けられている２ローラリンク機構１１Ｂと、が含まれ、３ローラリンク機構１１Ａと２ローラリンク機構１１Ｂとは交互に配置される。
【選択図】図７
【解決手段】リンク装置１０Ｒ，１０Ｌは、無端チェーンを構成するように連結され、２本のレールに沿って移動可能な複数のリンク機構１１を有する。それぞれのリンク機構１１は、レールホルダ２４，２５と、レールホルダ２４に設けられ、回転しながら一方のレールに沿って移動する複数のガイドローラ３０と、レールホルダ２５に設けられ、回転しながら他方のレールに沿って移動する複数のガイドローラ３０と、を有する。複数のリンク機構１１には、レールホルダ２４に３個のガイドローラ３０が設けられている３ローラリンク機構１１Ａと、レールホルダ２４に２個のガイドローラ３０が設けられている２ローラリンク機構１１Ｂと、が含まれ、３ローラリンク機構１１Ａと２ローラリンク機構１１Ｂとは交互に配置される。
【選択図】図７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
膜を引き延ばす延伸機に用いられるリンク装置であって、
無端チェーンを構成するように連結され、２本のレールに沿って移動可能な複数のリンク機構を有し、
それぞれの前記リンク機構は、
第１のレールホルダ及び第２のレールホルダと、
前記第１のレールホルダと前記第２のレールホルダとに跨るベース部材と、
一端が前記第２のレールホルダと回転可能に連結され、他端が他のリンク機構が備える前記第１のレールホルダと回転可能に連結されるリンクプレートと、
前記ベース部材に設けられ、前記膜を把持するクリップと、
前記第１のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの一方に沿って移動する複数のガイドローラと、
前記第２のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの他方に沿って移動する複数のガイドローラと、を有し、
前記複数のリンク機構には、前記第１のレールホルダに３個の前記ガイドローラが設けられている３ローラリンク機構と、前記第１のレールホルダに２個の前記ガイドローラが設けられている２ローラリンク機構と、が含まれ、
前記３ローラリンク機構と前記２ローラリンク機構とが交互に配置されている、リンク装置。
無端チェーンを構成するように連結され、２本のレールに沿って移動可能な複数のリンク機構を有し、
それぞれの前記リンク機構は、
第１のレールホルダ及び第２のレールホルダと、
前記第１のレールホルダと前記第２のレールホルダとに跨るベース部材と、
一端が前記第２のレールホルダと回転可能に連結され、他端が他のリンク機構が備える前記第１のレールホルダと回転可能に連結されるリンクプレートと、
前記ベース部材に設けられ、前記膜を把持するクリップと、
前記第１のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの一方に沿って移動する複数のガイドローラと、
前記第２のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの他方に沿って移動する複数のガイドローラと、を有し、
前記複数のリンク機構には、前記第１のレールホルダに３個の前記ガイドローラが設けられている３ローラリンク機構と、前記第１のレールホルダに２個の前記ガイドローラが設けられている２ローラリンク機構と、が含まれ、
前記３ローラリンク機構と前記２ローラリンク機構とが交互に配置されている、リンク装置。
【請求項2】
請求項１に記載のリンク装置において、
前記３ローラリンク機構の前記第１のレールホルダに、外径が同一の２個の小径ガイドローラと、前記小径ガイドローラよりも外径が大きい１個の大径ガイドローラと、が設けられ、
前記小径ガイドローラは、前記レールの一側に沿って移動し、前記大径ガイドローラは、前記レールの他側に沿って移動する、リンク装置。
前記３ローラリンク機構の前記第１のレールホルダに、外径が同一の２個の小径ガイドローラと、前記小径ガイドローラよりも外径が大きい１個の大径ガイドローラと、が設けられ、
前記小径ガイドローラは、前記レールの一側に沿って移動し、前記大径ガイドローラは、前記レールの他側に沿って移動する、リンク装置。
【請求項3】
請求項２に記載のリンク装置において、
前記２ローラリンク機構の前記第１のレールホルダに、前記大径ガイドローラと同一の外径を有する２個の大径ガイドローラが設けられ、
１個の前記大径ガイドローラは、前記レールの一側に沿って移動し、他の１個の前記大径ガイドローラは、前記レールの他側に沿って移動する、リンク装置。
リンク装置。
前記２ローラリンク機構の前記第１のレールホルダに、前記大径ガイドローラと同一の外径を有する２個の大径ガイドローラが設けられ、
１個の前記大径ガイドローラは、前記レールの一側に沿って移動し、他の１個の前記大径ガイドローラは、前記レールの他側に沿って移動する、リンク装置。
リンク装置。
【請求項4】
請求項３に記載のリンク装置において、
隣り合う前記３ローラリンク機構と前記２ローラリンク機構とは、前記３ローラリンク機構に設けられている２個の前記小径ガイドローラの一方と、前記２ローラリンク機構に設けられている２個の前記大径ガイドローラの一方とが部分的に重なり合うまで近接可能である、リンク装置。
隣り合う前記３ローラリンク機構と前記２ローラリンク機構とは、前記３ローラリンク機構に設けられている２個の前記小径ガイドローラの一方と、前記２ローラリンク機構に設けられている２個の前記大径ガイドローラの一方とが部分的に重なり合うまで近接可能である、リンク装置。
【請求項5】
請求項４に記載のリンク装置において、
前記３ローラリンク機構に設けられている２個の前記小径ガイドローラは、回転軸の方向で異なる高さに配置され、かつ、径方向一部が互いに重なり合っている、リンク装置。
前記３ローラリンク機構に設けられている２個の前記小径ガイドローラは、回転軸の方向で異なる高さに配置され、かつ、径方向一部が互いに重なり合っている、リンク装置。
【請求項6】
請求項５に記載のリンク装置において、
前記大径ガイドローラの外径が３７mmであり、
前記小径ガイドローラの外径が３２mmであり、
隣り合う前記リンク機構の間の最小ピッチが４０mmである、リンク装置。
前記大径ガイドローラの外径が３７mmであり、
前記小径ガイドローラの外径が３２mmであり、
隣り合う前記リンク機構の間の最小ピッチが４０mmである、リンク装置。
【請求項7】
請求項１～６のいずれか一項に記載のリンク装置において、
前記ガイドローラは、シャフトに装着された転がり軸受の外輪である、リンク装置。
前記ガイドローラは、シャフトに装着された転がり軸受の外輪である、リンク装置。
【請求項8】
膜の搬送および延伸を行う一対のリンク装置を備える延伸機であって、
それぞれの前記リンク装置は、無端チェーンを構成するように連結され、２本のレールに沿って移動可能な複数のリンク機構を有し、
それぞれの前記リンク機構は、
第１のレールホルダ及び第２のレールホルダと、
前記第１のレールホルダと前記第２のレールホルダとに跨るベース部材と、
一端が前記第２のレールホルダと回転可能に連結され、他端が他のリンク機構が備える前記第１のレールホルダと回転可能に連結されるリンクプレートと、
前記ベース部材に設けられ、前記膜を把持するクリップと、
前記第１のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの一方に沿って移動する複数のガイドローラと、
前記第２のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの他方に沿って移動する複数のガイドローラと、を有し、
前記複数のリンク機構には、前記第１のレールホルダに３個の前記ガイドローラが設けられている３ローラリンク機構と、前記第１のレールホルダに２個の前記ガイドローラが設けられている２ローラリンク機構と、が含まれ、
前記３ローラリンク機構と前記２ローラリンク機構とが交互に配置されている、延伸機。
それぞれの前記リンク装置は、無端チェーンを構成するように連結され、２本のレールに沿って移動可能な複数のリンク機構を有し、
それぞれの前記リンク機構は、
第１のレールホルダ及び第２のレールホルダと、
前記第１のレールホルダと前記第２のレールホルダとに跨るベース部材と、
一端が前記第２のレールホルダと回転可能に連結され、他端が他のリンク機構が備える前記第１のレールホルダと回転可能に連結されるリンクプレートと、
前記ベース部材に設けられ、前記膜を把持するクリップと、
前記第１のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの一方に沿って移動する複数のガイドローラと、
前記第２のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの他方に沿って移動する複数のガイドローラと、を有し、
前記複数のリンク機構には、前記第１のレールホルダに３個の前記ガイドローラが設けられている３ローラリンク機構と、前記第１のレールホルダに２個の前記ガイドローラが設けられている２ローラリンク機構と、が含まれ、
前記３ローラリンク機構と前記２ローラリンク機構とが交互に配置されている、延伸機。
【請求項9】
請求項８に記載の延伸機において、
前記３ローラリンク機構の前記第１のレールホルダに、外径が同一の２個の小径ガイドローラと、前記小径ガイドローラよりも外径が大きい１個の大径ガイドローラと、が設けられ、
前記３ローラリンク機構が有する２個の前記小径ガイドローラは、一方の前記レールの一側に沿って移動し、前記３ローラリンク機構が有する１個の前記大径ガイドローラは、一方の前記レールの他側に沿って移動し、
前記２ローラリンク機構の前記第１のレールホルダに、前記大径ガイドローラと同一の外径を有する２つの大径ガイドローラが設けられ、
前記２ローラリンク機構が有する１個の前記大径ガイドローラは、他方の前記レールの一側に沿って移動し、前記２ローラリンク機構が有する他の１個の前記大径ガイドローラは、他方の前記レールの他側に沿って移動する、延伸機。
前記３ローラリンク機構の前記第１のレールホルダに、外径が同一の２個の小径ガイドローラと、前記小径ガイドローラよりも外径が大きい１個の大径ガイドローラと、が設けられ、
前記３ローラリンク機構が有する２個の前記小径ガイドローラは、一方の前記レールの一側に沿って移動し、前記３ローラリンク機構が有する１個の前記大径ガイドローラは、一方の前記レールの他側に沿って移動し、
前記２ローラリンク機構の前記第１のレールホルダに、前記大径ガイドローラと同一の外径を有する２つの大径ガイドローラが設けられ、
前記２ローラリンク機構が有する１個の前記大径ガイドローラは、他方の前記レールの一側に沿って移動し、前記２ローラリンク機構が有する他の１個の前記大径ガイドローラは、他方の前記レールの他側に沿って移動する、延伸機。
【請求項10】
請求項９に記載の延伸機において、
隣り合う前記３ローラリンク機構と前記２ローラリンク機構とは、前記３ローラリンク機構に設けられている２個の前記小径ガイドローラの一方と、前記２ローラリンク機構に設けられている２個の前記大径ガイドローラの一方とが部分的に重なり合うまで近接可能である、延伸機。
隣り合う前記３ローラリンク機構と前記２ローラリンク機構とは、前記３ローラリンク機構に設けられている２個の前記小径ガイドローラの一方と、前記２ローラリンク機構に設けられている２個の前記大径ガイドローラの一方とが部分的に重なり合うまで近接可能である、延伸機。
【請求項11】
請求項１０に記載の延伸機において、
前記大径ガイドローラの外径が３７mmであり、
前記小径ガイドローラの外径が３２mmであり、
隣り合う前記リンク機構の間の最小ピッチが４０mmである、延伸機。
前記大径ガイドローラの外径が３７mmであり、
前記小径ガイドローラの外径が３２mmであり、
隣り合う前記リンク機構の間の最小ピッチが４０mmである、延伸機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、リンク装置および延伸機に関する。
【背景技術】
【0002】
シートやフィルムなどの膜を搬送しながら縦方向や横方向に引き延ばす延伸機が知られている。例えば、特許文献１には、シート状物の縦延伸と横延伸とを一度に行う同時二軸延伸機が開示されている。特許文献１に開示されている同時二軸延伸機は、リンク装置を備えており、そのリンク装置は、折尺状に連結された複数の等長リンク装置（リンク機構）を備えている。
【0003】
特許文献１に開示されている同時二軸延伸機では、シート状物を把持している複数の等長リンク装置（リンク機構）の間隔を変化させることにより、シート状物を引き伸ばす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第４３７９３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
引き延ばされた膜の特性を向上させるためには、膜を把持する間隔（チャッキング幅）を狭くすることが望ましい。
【0006】
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0007】
一実施形態のリンク装置は、２本のレールに沿って移動可能な複数のリンク機構を有する。それぞれの前記リンク機構は、第１のレールホルダ及び第２のレールホルダと、前記第１のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの一方に沿って移動する複数のガイドローラと、前記第２のレールホルダに設けられ、回転しながら前記２本のレールの他方に沿って移動する複数のガイドローラと、を有する。前記複数のリンク機構には、前記第１のレールホルダに３個の前記ガイドローラが設けられている３ローラリンク機構と、前記第１のレールホルダに２個の前記ガイドローラが設けられている２ローラリンク機構と、が含まれ、前記３ローラリンク機構と前記２ローラリンク機構とは交互に配置される。
【発明の効果】
【0008】
一実施形態によれば、特性の良いシート，フィルムその他の膜を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】薄膜製造システムを示す模式図である。
【図2】延伸機の構造を模式的に示す平面図である。
【図3】延伸機の構造を模式的に示す他の平面図である。
【図4】閉じられた複数のリンク機構を示す平面図である。
【図5】開かれた複数のリンク機構を示す平面図である。
【図6】複数のリンク機構の一部を示す上方斜視図である。
【図7】複数のリンク機構の一部を示す下方斜視図である。
【図8】３ローラリンク機構の１つを示す拡大図である。
【図9】２ローラリンク機構の１つを示す拡大図である。
【図10】複数のリンク機構が最小ピッチまで閉じられたときのガイドローラの位置関係を示す説明図である。
【図11】２ローラリンク機構のチャッキング部に作用するモーメントの説明図である。
【図12】３ローラリンク機構のチャッキング部に作用するモーメントの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一または実質的に同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【0011】
＜製造システムの構成＞
図１は、延伸機を含む薄膜製造システムを示す模式図である。図１に示される薄膜製造システム１は、押出装置（押出機，混練押出機）２，Ｔダイ３，原反冷却装置４，延伸機５，引き取り装置６および巻き取り装置７を有する。
図１は、延伸機を含む薄膜製造システムを示す模式図である。図１に示される薄膜製造システム１は、押出装置（押出機，混練押出機）２，Ｔダイ３，原反冷却装置４，延伸機５，引き取り装置６および巻き取り装置７を有する。
【0012】
薄膜製造システム１では、次のようなプロセスによって薄膜が製造される。まず、押出装置２の原料供給部（原料投入口，ホッパ）２ａに原料が供給される。押出装置２に供給される原料は、樹脂材料（例えば、ペレット状の熱可塑性樹脂材料）や添加剤などからなる。押出装置２に供給された原料は、混練（混合）されながら搬送される。具体的には、押出装置２に供給された原料は、押出装置２内で、スクリューの回転によって前方へ送られながら溶融され、かつ、混練される。押出装置２によって混練された原料（混練物）は、Ｔダイ３に供給される。Ｔダイ３に供給された混練物は、Ｔダイ３のスリットから原反冷却装置４に向けて押し出される。押出装置２からＴダイ３に供給された混練物は、Ｔダイ３を通過することにより、所定の形状（ここでは、フィルム状）に成形される。
【0013】
Ｔダイ３から押し出された混練物は、原反冷却装置４において冷却されて膜８になる。膜８は、固化状態（固体状態）の樹脂膜である。より特定的には、膜８は、熱可塑性樹脂膜である。Ｔダイ３からは、膜８が連続的に押し出される。この結果、延伸機５に膜８が連続的に供給される。
【0014】
延伸機５に供給された膜８は、延伸機５によってＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸される。延伸機５によって延伸処理（引き伸ばし処理）が施された膜８は、引き取り装置６を介して巻き取り装置７に搬送され、巻き取り装置７に巻き取られる。巻き取り装置７に巻き取られた膜８は、必要に応じて切断される。
【0015】
図１に示される薄膜製造システム１は、上記のようなプロセスによって薄膜を製造する。もっとも、薄膜製造システム１は、製造する薄膜の特性などに応じて種々の変更が可能である。例えば、図１に示される引き取り装置６の近傍に抽出槽が設置され、膜８に含まれる可塑剤（例えば、パラフィン）が除去される場合もある。
【0016】
薄膜製造システム１を構成している延伸機５は、膜８をＭＤ方向に搬送しながら、その膜８をＭＤ方向およびＴＤ方向に引き延ばす。言い換えれば、ＭＤ（Machine Direction）方向は、膜８の搬送方向である。また、ＴＤ（Transverse Direction）方向は、膜８の搬送方向と交差する方向である。そこで、以下の説明では、ＭＤ方向を“搬送方向”または“縦方向”と呼び、ＴＤ方向を“横方向”と呼ぶ場合がある。ＭＤ方向（搬送方向，縦方向）とＴＤ方向（横方向）とは、互いに交差する方向であり、より特定的には、互いに直交する方向である。つまり、図１に示される延伸機５は、膜８を搬送しながら、その膜８を互いに交差する二方向に同時に延伸させることが可能な延伸機であり、一般的に“同時二軸延伸機”と呼ばれる。
【0017】
＜延伸機＞
図２，図３は、延伸機の構造を模式的に示す平面図である。延伸機５は、一対のリンク装置１０を有している。一対のリンク装置１０は、平面視において互いに離間している。以下の説明では、一対のリンク装置１０の一方を“リンク装置１０Ｒ”と呼び、一対のリンク装置１０の他方を“リンク装置１０Ｌ”と呼ぶ場合がある。
図２，図３は、延伸機の構造を模式的に示す平面図である。延伸機５は、一対のリンク装置１０を有している。一対のリンク装置１０は、平面視において互いに離間している。以下の説明では、一対のリンク装置１０の一方を“リンク装置１０Ｒ”と呼び、一対のリンク装置１０の他方を“リンク装置１０Ｌ”と呼ぶ場合がある。
【0018】
図２，図３では、リンク装置１０Ｒは、搬送方向（ＭＤ方向）に対して右側（Ｒ側）に配置されおり、リンク装置１０Ｌは、搬送方向（ＭＤ方向）に対して左側（Ｌ側）に配置されている。リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとは、ＴＤ方向に離間しており、膜８を挟んでＴＤ方向に対向している。膜８は、リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間のスペースをＭＤ方向に搬送される。言い換えれば、対向するリンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間のスペースは、膜８を搬送するための搬送路として機能する。
【0019】
図３を参照する。延伸機５は、搬送方向（ＭＤ方向）に沿って３つの領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに分けられる。領域２０Ａは、予熱領域（プレヒート領域）であり、領域２０Ｂは、延伸領域であり、領域２０Ｃは、熱固定領域である。領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、この順で搬送方向（ＭＤ方向）に並んでいる。
【0020】
延伸機５における膜８の入口（図２，図３中に「ＩＮ」と示されている部分）は、領域２０Ａに存在している。また、延伸機５における膜８の出口（図２，図３中に「ＯＵＴ」と示されている部分）は、領域２０Ｃに存在している。そして、膜８の入口がある領域２０Ａと膜８の出口がある領域２０Ｃとの間に、延伸処理が行われる領域２０Ｂが存在している。
【0021】
熱処理部９は、領域２０Ａの一部，領域２０Ｂの全部および領域２０Ｃの一部を覆っている。また、熱処理部９は、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌの中央部を覆っており、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌによって搬送される膜８を加熱する。本実施形態の熱処理部９は、膜８を所望の温度に加熱可能なオーブンによって形成されている。膜８は、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌに把持された状態で、熱処理部９としてのオーブンの庫内を通過する。
【0022】
＜リンク装置＞
リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれは、無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク機構１１を有しており、それぞれのリンク機構１１は、膜８を把持する治具であるクリップ２１を備えている。膜８は、リンク装置１０Ｒを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、リンク装置１０Ｌを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、によって保持される。すなわち、膜８の一側（Ｒ側／右側）は、リンク装置１０Ｒが備える複数のクリップ２１によって把持され、膜８の他側（Ｌ側／左側）は、リンク装置１０Ｌが備える複数のクリップ２１によって把持される。
リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれは、無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク機構１１を有しており、それぞれのリンク機構１１は、膜８を把持する治具であるクリップ２１を備えている。膜８は、リンク装置１０Ｒを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、リンク装置１０Ｌを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、によって保持される。すなわち、膜８の一側（Ｒ側／右側）は、リンク装置１０Ｒが備える複数のクリップ２１によって把持され、膜８の他側（Ｌ側／左側）は、リンク装置１０Ｌが備える複数のクリップ２１によって把持される。
【0023】
リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備えるリンク機構１１は、支持台（ベッド）の上に配置された一対のレール１３，１４上を走行する。レール１４は、レール１３の外側に配置され、レール１３を取り囲んでいる。別の見方をすると、レール１３は、レール１４の内側に配置され、レール１４に取り囲まれている。そこで、レール１３は“内側レール”と呼ばれ、レール１４は“外側レール”と呼ばれることもある。また、レール１３は“基準レール”や“ＳＰレール”と呼ばれ、レール１４は“ＭＤレール”と呼ばれることもある。
【0024】
レール１３，１４は、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに亘って環状に配置されている。より特定的には、レール１３，１４は、膜８の入口がある領域２０Ａで折り返されるとともに、膜８の出口がある領域２０Ｃで折り返されて、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに亘って環状に配置されている。
【0025】
リンク装置１０Ｒは、レール１３の内側に配置された３つのスプロケット１５，１６，１７を有する。同様に、リンク装置１０Ｌは、レール１３の内側に配置された３つのスプロケット１５，１６，１７を有する。それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌが有するスプロケット１５，１６は、領域Ａに配置されており、それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌが有するスプロケット１７は、領域Ｃに配置されている。もっとも、スプロケット１５，１６は、領域Ａの一部を覆っている熱処理部９の外に配置されている。また、スプロケット１７は、領域Ｃの一部を覆っている熱処理部９の外に配置されている。つまり、それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのスプロケット１５，１６，１７は、熱処理部９としてのオーブンの庫外に配置されている。
【0026】
リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備える複数のリンク機構１１は、レール１３，１４に沿って移動可能な状態で、レール１３，１４上に配置されている。リンク装置１０Ｒのスプロケット１５，１６，１７は、リンク装置１０Ｒの複数のリンク機構１１と係合する。よって、スプロケット１５，１６，１７が回転すると、リンク装置１０Ｒの複数のリンク機構１１に駆動力が働き、それらリンク機構１１がレール１３，１４に沿って移動（走行）する。
【0027】
リンク装置１０Ｌのスプロケット１５，１６，１７は、リンク装置１０Ｌの複数のリンク機構１１と係合する。よって、スプロケット１５，１６，１７が回転すると、リンク装置１０Ｌの複数のリンク機構１１に駆動力が働き、それらリンク機構１１がレール１３，１４に沿って移動（走行）する。
【0028】
つまり、レール１３，１４は、複数のリンク機構１１を所定方向に移動（走行）させるためのガイドレールである。
【0029】
以下の説明では、図３に示されるリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれについて、膜８と対向する側を“膜側”と呼び、膜側と反対側を“リターン側”と呼ぶ場合がある。つまり、クリップ２１が膜８を把持した状態で、複数のリンク機構１１が入口（ＩＮ）から出口（ＯＵＴ）に向かって移動する側（サイド）が膜側である。また、膜側の反対に位置し、クリップ２１が膜８を把持しない状態で、複数のリンク機構１１が出口（ＯＵＴ）から入口（ＩＮ）に向かって移動する側（サイド）がリターン側である。
【0030】
隣り合うリンク機構１１間の間隔（ピッチ）は、レール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）に応じて変化する。言い換えれば、レール１３とレール１４との離間距離を調節することにより、隣り合うリンク機構１１間の間隔を調節することができる。なお、
隣り合うリンク機構１１間の間隔（ピッチ）は、“リンクピッチ”と呼ばれることもある。
隣り合うリンク機構１１間の間隔（ピッチ）は、“リンクピッチ”と呼ばれることもある。
【0031】
図４は、閉じられた複数のリンク機構を示す平面図である。図５は、開かれた複数のリンク機構を示す平面図である。図４，図５に示されるように、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が小さくなるほど、隣り合うリンク機構１１が成す角度が大きくなり、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰが大きくなる。一方、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が大きくなるほど、隣り合うリンク機構１１が成す角度が小さくなり、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰが小さくなる。
【0032】
なお、図４に示されているピッチＰは４０mmであり、図５に示されているピッチＰは２００mmである。つまり、図５には、図４に示されているリンク機構１１を縦方向の倍率が５倍になるまで開いた状態が示されている。また、図４に示されている複数のリンク機構１１は、隣り合うリンク機構１１同士が最も接近するまで閉じられている。つまり、隣り合うリンク機構１１間の最小ピッチは４０mmである。
【0033】
既述のとおり、それぞれのリンク機構１１は、膜８を把持するクリップ２１を有している。よって、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰの増減に応じて、隣り合うクリップ２１間のピッチも増減する。具体的には、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が減少すると、リンク機構１１のピッチＰが増大する。そして、リンク機構１１のピッチＰが増大すると、クリップ２１のピッチも増大する（図４→図５）。一方、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が増大すると、リンク機構１１のピッチＰが減少する。そして、リンク機構１１のピッチＰが減少すると、クリップ２１のピッチも減少する（図５→図４）。
【0034】
なお、複数のリンク機構１１のそれぞれがクリップ２１を備えているので、隣り合う２つのリンク機構１１間のピッチと、それらリンク機構１１が備える２つのクリップ２１間のピッチとは、同一である。すなわち、図４，図５に示されているピッチＰは、隣り合うリンク機構１１間のピッチであると同時に、隣り合うクリップ２１間のピッチでもある。
【0035】
＜延伸機の動作＞
図１に示される原反冷却装置４から延伸機５に供給された膜８は、延伸機５の入口でリンク装置１０Ｒ，１０Ｌにより把持される。具体的には、膜８は、図２，図３に示されるリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。より具体的には。膜８の幅方向一側がリンク装置１０Ｒのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持され、膜８の幅方向他側がリンク装置１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。
図１に示される原反冷却装置４から延伸機５に供給された膜８は、延伸機５の入口でリンク装置１０Ｒ，１０Ｌにより把持される。具体的には、膜８は、図２，図３に示されるリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。より具体的には。膜８の幅方向一側がリンク装置１０Ｒのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持され、膜８の幅方向他側がリンク装置１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。
【0036】
幅方向両側がクリップ２１によって把持された膜８は、クリップ２１を含むリンク機構１１の移動に伴って、延伸機５の入口から出口に向かって搬送され、領域２０Ａ（予熱領域），領域２０Ｂ（延伸領域），領域２０Ｃ（熱固定領域）をこの順で通過する。膜８は、領域２０Ｂ（延伸領域）を通過する過程でＭＤ方向およびＴＤ方向に引き伸ばされる。その後、膜８は、領域２０Ｃ（熱固定領域）を経て出口に到達し、クリップ２１から外される。クリップ２１から外された膜８は、引き取り装置６に搬送され、引き取り装置６から巻き取り装置７に搬送される。
【0037】
図３に示されるように、領域２０Ａ（予熱領域）では、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１が走行するレール１３，１４と、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１が走行するレール１３，１４との間の間隔（離間距離）Ｌ２は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａでは、膜８に対するＴＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ａでは、搬送される膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は変化せず、一定のままである。
【0038】
また、領域２０Ａの膜側では、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１が走行するレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａの膜側では、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１のピッチＰはほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒのクリップ２１のピッチもほぼ一定である。
【0039】
また、領域２０Ａの膜側では、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１が走行するレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１も、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａの膜側では、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１のピッチＰはほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌのクリップ２１のピッチもほぼ一定である。
【0040】
この結果、領域２０Ａでは、膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。つまり、領域２０Ａでは、ＴＤ方向にもＭＤ方向にも、膜８に対する延伸処理は行われない。
【0041】
次に、領域２０Ｂにおける延伸機５の動作について説明する。領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１が走行するレール１３，１４と、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１が走行するレール１３，１４との間の間隔（離間距離）Ｌ２が徐々に大きくなっている。このため、領域２０Ｂでは、膜８は、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従ってＴＤ方向に引っ張られて引き伸ばされる。言い換えれば、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）が徐々に大きくなる。
【0042】
また、領域２０Ｂの膜側では、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１が走行するレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１が徐々に小さくなっている。また、領域２０Ｂの膜側では、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１が走行するレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１も徐々に小さくなっている。
【0043】
このため、領域２０Ｂの膜側では、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１のピッチＰが徐々に大きくなり、それに従ってリンク装置１０Ｒのクリップ２１のピッチも徐々に大きくなる。また、領域２０Ｂの膜側では、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１のピッチＰが徐々に大きくなり、それに従ってリンク装置１０Ｒのクリップ２１のピッチも徐々に大きくなる。
【0044】
この結果、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８は、ＭＤ方向に引っ張られて引き伸ばされる。従って、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、膜８は、ＴＤ方向およびＭＤ方向に引き伸ばされる（延伸される。）。すなわち、領域２０Ｂでは、ＴＤ方向およびＭＤ方向の延伸処理が、膜８に対して施される。
【0045】
次に、領域２０Ｃにおける延伸機５の動作について説明する。領域２０Ｃでは、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１が走行するレール１３，１４と、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１が走行するレール１３，１４との間の間隔（離間距離）Ｌ２は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃでは、膜８に対するＴＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ｃでは、搬送される膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は変化せず、一定のままである。
【0046】
また、領域２０Ｃの膜側では、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１が走行するレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃの膜側では、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１のピッチＰはほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒのクリップ２１のピッチもほぼ一定である。
【0047】
同様に、領域２０Ｃの膜側では、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１が走行するレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃの膜側では、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１のピッチＰはほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌのクリップ２１のピッチもほぼ一定である。
【0048】
この結果、領域２０Ｃでは、膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。つまり、領域２０Ｃでは、ＴＤ方向にもＭＤ方向にも、膜８に対する延伸処理は行われない。
【0049】
上述のように、領域２０Ａの膜側では、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１のピッチＰは一定に維持され、かつ、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１のピッチＰも一定に維持される。その後、領域２０Ｂの膜側では、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１のピッチＰおよびリンク装置１０Ｌのリンク機構１１のピッチＰが徐々に拡大される。そして、領域２０Ｃの膜側では、リンク装置１０Ｒのリンク機構１１のピッチＰは再び一定に維持され、リンク装置１０Ｌのリンク機構１１のピッチＰも再び一定に維持される。このため、領域２０Ｃの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰは、領域２０Ａの膜側におけるリンク機構１１のピッチＰよりも大きい。別の見方をすると、領域２０Ｃの膜側におけるクリップ２１のピッチは、領域２０Ａの膜側におけるクリップ２１のピッチよりも大きい。さらに別の見方をすると、領域２０Ｃ内で各リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのリンク機構１１が走行するレール１３，１４の離間距離Ｌ１は、領域２０Ａ内で各リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのリンク機構１１が走行するレール１３，１４の離間距離Ｌ１よりも小さい。
【0050】
＜リンク機構＞
図６は、複数のリンク機構の一部を示す上方斜視図である。図７は、複数のリンク機構の一部を示す下方斜視図である。リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備える複数のリンク機構１１のそれぞれは、クリップ２１に加えて、上段リンクプレート２２と、下段リンクプレート２３と、一対のレールホルダ２４，２５と、一対のレールホルダ２４，２５に跨るベース部材２６と、を有している。一方のレールホルダ２４は、レール１４上に配置され、他方のレールホルダ２５は、レール１３上に配置される。
図６は、複数のリンク機構の一部を示す上方斜視図である。図７は、複数のリンク機構の一部を示す下方斜視図である。リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備える複数のリンク機構１１のそれぞれは、クリップ２１に加えて、上段リンクプレート２２と、下段リンクプレート２３と、一対のレールホルダ２４，２５と、一対のレールホルダ２４，２５に跨るベース部材２６と、を有している。一方のレールホルダ２４は、レール１４上に配置され、他方のレールホルダ２５は、レール１３上に配置される。
【0051】
上段リンクプレート２２および下段リンクプレート２３は、平面視において直線的に延びる板状の部材である。ベース部材２６は、平面視において直線的に延びている点で上段リンクプレート２２および下段リンクプレート２３と共通しているが、これらよりも厚みが厚い。
【0052】
それぞれのリンク機構１１の上段リンクプレート２２および下段リンクプレート２３の一端は、当該リンク機構１１のレールホルダ２５に回転可能に連結されている。一方、それぞれのリンク機構１１の上段リンクプレート２２および下段リンクプレート２３の他端は、隣りのリンク機構１１のレールホルダ２４に回転可能に連結されている。
【0053】
それぞれのリンク機構１１のベース部材２６の一端は、当該リンク機構１１のレールホルダ２４に回転可能に連結され、それぞれのリンク機構１１のベース部材２６の他端は、当該リンク機構１１のレールホルダ２５に回転可能に連結されている。
【0054】
それぞれのリンク機構１１のレールホルダ２４，２５には、回転しながらレール１３，１４に沿って移動する複数のガイドローラ３０が設けられている。もっとも、隣り合う２つのリンク機構１１の間で、ガイドローラ３０の総数が異なっている。
【0055】
具体的には、あるリンク機構１１のレールホルダ２４には３個のガイドローラ３０が設けられているが、このリンク機構１１の前後に配置されている他のリンク機構１１のレールホルダ２４には２個のガイドローラ３０が設けられている。別の見方をすると、あるリンク機構１１のレールホルダ２４には２個のガイドローラ３０が設けられているが、このリンク機構１１の前後に配置されている他のリンク機構１１のレールホルダ２４には３個のガイドローラ３０が設けられている。
【0056】
一方、全てのリンク機構１１のレールホルダ２５には、２個のガイドローラ３０が設けられている。つまり、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌでは、合計５個のガイドローラ３０を備えるリンク機構１１と、合計４個のガイドローラ３０を備えるリンク機構１１と、が交互に配置されている。より特定的には、３個のガイドローラ３０が設けられたレールホルダ２４を備えるリンク機構１１と、２個のガイドローラ３０が設けられたレールホルダ２４を備えるリンク機構１１と、が交互に配置されている。
【0057】
以下の説明では、３個のガイドローラ３０が設けられたレールホルダ２４を備えるリンク機構１１を“３ローラリンク機構１１Ａ”と呼び、２個のガイドローラ３０が設けられたレールホルダ２４を備えるリンク機構１１を“２ローラリンク機構１１Ｂ”と呼ぶ場合がある。
【0058】
＜３ローラリンク機構（２つのレールホルダの連結構造）＞
図８は、３ローラリンク機構の１つを示す拡大図である。３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２４は、レール１４の上に、当該レール１４を横断するように配置される。このとき、レールホルダ２４の長手方向中央は、レール１４の直上または略直上に配置される。よって、レールホルダ２４の長手方向一端側は、レール１４の内側（レール１３と対向する側）に突出し、レールホルダ２４の長手方向他端側は、レール１４の外側（レール１３と対向する側と反対側）に突出する。
図８は、３ローラリンク機構の１つを示す拡大図である。３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２４は、レール１４の上に、当該レール１４を横断するように配置される。このとき、レールホルダ２４の長手方向中央は、レール１４の直上または略直上に配置される。よって、レールホルダ２４の長手方向一端側は、レール１４の内側（レール１３と対向する側）に突出し、レールホルダ２４の長手方向他端側は、レール１４の外側（レール１３と対向する側と反対側）に突出する。
【0059】
３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２５は、レール１３の上に、当該レール１３を横断するように配置される。このとき、レールホルダ２５の長手方向中央は、レール１３の直上または略直上に配置される。よって、レールホルダ２５の長手方向一端側は、レール１３の内側（レール１４と対向する側）に突出し、レールホルダ２５の長手方向他端側は、レール１３の外側（レール１４と対向する側と反対側）に突出する。
【0060】
レールホルダ２４には、ベース部材２６の一端が回転可能に連結されるリンクシャフト４０が設けられており、レールホルダ２５には、ベース部材２６の他端が回転可能に連結されるリンクシャフト４１が設けられている。リンクシャフト４０は、レール１４の内側に突出しているレールホルダ２４の一端側に設けられている。一方、リンクシャフト４１は、レール１３の直上または略直上に位置しているレールホルダ２５の長手方向中央に設けられている。
【0061】
レールホルダ２５に設けられているリンクシャフト４１には、ベース部材２６の一端に加えて、上段リンクプレート２２および下段リンクプレート２３の一端も回転可能に連結されている。なお、上段リンクプレート２２および下段リンクプレート２３の他端は、隣り合う他のリンク機構１１（２ローラリンク機構１１Ｂ）のレールホルダ２４に設けられているリンクシャフト４０に回転可能に連結される。
【0062】
リンクシャフト４０は、レール１４側のリンク軸である。また、リンクシャフト４１は、レール１３側のリンク軸である。リンクシャフト４０は、レール１４の内側に突出しているレールホルダ２４の一端側に設けられている。よって、３ローラリンク機構１１Ａでは、レール１４側のリンク軸がレール１４の中心から外れている。一方、リンクシャフト４１は、レール１３の直上または略直上に位置しているレールホルダ２５の長手方向中央に設けられている。よって、３ローラリンク機構１１Ａでは、レール１３側のリンク軸は、レール１３の中心と一致している。なお、クリップ２１は、レール１４の外側に突出しているレールホルダ２４の端部に設けられている。
【0063】
＜３ローラリンク機構（一方のレールホルダに設けられるガイドローラ）＞
３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２４には、互いに平行な３本のローラシャフト４２，４３，４４が設けられている。レールホルダ２４がレール１４上に配置されると、ローラシャフト４２，４３は、レール１４の一側（内側）に配置され、ローラシャフト４４は、レール１４の他側（外側）に配置される。
３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２４には、互いに平行な３本のローラシャフト４２，４３，４４が設けられている。レールホルダ２４がレール１４上に配置されると、ローラシャフト４２，４３は、レール１４の一側（内側）に配置され、ローラシャフト４４は、レール１４の他側（外側）に配置される。
【0064】
ローラシャフト４２，４３，４４の一部はレールホルダ２４に圧入されており、ローラシャフト４２，４３，４４の他の一部はレールホルダ２４の下方に突出している。レールホルダ２４の下方に突出しているローラシャフト４２，４３，４４の突出部に、ガイドローラ３０が回転自在に装着されている。
【0065】
具体的には、ローラシャフト４２，４３には、外径が同一のガイドローラ３０がそれぞれ回転自在に装着されている。ローラシャフト４４には、ローラシャフト４２，４３に装着されているガイドローラ３０よりも外径が大きなガイドローラ３０が回転自在に装着されている。
【0066】
以下の説明では、ローラシャフト４２に装着されているガイドローラ３０を“小径ガイドローラ３１ａ”と呼び、ローラシャフト４３に装着されているガイドローラ３０を“小径ガイドローラ３１ｂ”と呼び、ローラシャフト４４に装着されているガイドローラ３０を“大径ガイドローラ３２”と呼ぶ場合がある。尚、小径ガイドローラ３１ａおよび小径ガイドローラ３１ｂの外径は３２mmであり、大径ガイドローラ３２の外径は３７mmである。
【0067】
もっとも、レールホルダ２４に設けられている３つのガイドローラ３０は、シャフトに装着された転がり軸受の外輪である点で共通している。よって、小径ガイドローラ３１ａは、ローラシャフト４２を回転軸として回転し、小径ガイドローラ３１ｂは、ローラシャフト４３を回転軸として回転する。また、大径ガイドローラ３２は、ローラシャフト４４を回転軸として回転する。
【0068】
小径ガイドローラ３１ａと小径ガイドローラ３１ｂとは、回転軸の方向で異なる高さに配置されている。さらに、小径ガイドローラ３１ａと小径ガイドローラ３１ｂとは、径方向一部が互いに重なり合っている。
【0069】
図８に示される３ローラリンク機構１１Ａでは、小径ガイドローラ３１ａは、回転軸の方向で小径ガイドローラ３１ｂよりも高い位置に配置されている。言い換えれば、小径ガイドローラ３１ｂは、回転軸の方向で小径ガイドローラ３１ａよりも低い位置に配置されている。別の見方をすると、小径ガイドローラ３１ａと小径ガイドローラ３１ｂとが段違いで配置されている。
【0070】
上記のような小径ガイドローラ３１ａと小径ガイドローラ３１ｂとの上下関係は、３ローラリンク機構１１Ａによって異なる。図６，図７に示される５つのリンク機構１１が図中の矢印方向に移動（走行）すると仮定する。移動方向で１番目（先頭）に位置している３ローラリンク機構１１Ａの小径ガイドローラ３１ａと小径ガイドローラ３１ｂとの上下関係は、図８に示される上下関係と同一である。つまり、小径ガイドローラ３１ａが高位置に配置され、小径ガイドローラ３１ｂが低位置に配置されている。
【0071】
一方、２番目（全てのリンク機構１１の中では３番目）に位置している３ローラリンク機構１１Ａの小径ガイドローラ３１ａと小径ガイドローラ３１ｂとの上下関係は、図８に示される上下関係と反対である。つまり、小径ガイドローラ３１ａが低位置に配置され、小径ガイドローラ３１ｂが高位置に配置されている。
【0072】
要するに、小径ガイドローラ３１ａが高位置に配置され、小径ガイドローラ３１ｂが低位置に配置されている３ローラリンク機構１１Ａと、小径ガイドローラ３１ａが低位置に配置され、小径ガイドローラ３１ｂが高位置に配置されている３ローラリンク機構１１Ａと、が交互に並んでいる。もっとも、隣り合う２つの３ローラリンク機構１１Ａの間には、２ローラリンク機構１１Ｂが介在している。
【0073】
小径ガイドローラ３１ａが高位置に配置され、小径ガイドローラ３１ｂが低位置に配置されている３ローラリンク機構１１Ａでは、レールホルダ２４と小径ガイドローラ３１ｂとの間に、小径ガイドローラ３１ａの厚み以上の隙間が存在している。一方、小径ガイドローラ３１ａが低位置に配置され、小径ガイドローラ３１ｂが高位置に配置されている３ローラリンク機構１１Ａでは、レールホルダ２４と小径ガイドローラ３１ａとの間に、小径ガイドローラ３１ｂの厚み以上の隙間が存在している。
【0074】
レールホルダ２４には、支持ローラ５０（図７）が回転自在に設けられている。支持ローラ５０は、レールホルダ２４の長手方向で小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂと大径ガイドローラ３２との間に配置されている。さらに、支持ローラ５０の回転軸は、小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂや大径ガイドローラ３２の回転軸と直交している。
【0075】
レールホルダ２４がレール１４上を移動する際、小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂは、回転しながらレール１４の内側面に沿って移動する。レールホルダ２４がレール１４上を移動する際、大径ガイドローラ３２は、回転しながらレール１４の外側面に沿って移動する。レールホルダ２４がレール１４上を移動する際、支持ローラ５０は、回転しながらレール１４の上面を移動する。
【0076】
支持ローラ５０は、レール１４の上面と常に接し、レールホルダ２４を支持する。一方、レールホルダ２４のより円滑な移動を実現すべく、小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂとレール１４の内側面との間には僅かな隙間（クリアランス）が設けられる。同様の理由により、大径ガイドローラ３２とレール１４の外側面との間にも僅かな隙間（クリアランス）が設けられる。
【0077】
＜３ローラリンク機構（他方のレールホルダに設けられるガイドローラ）＞
再び図８を参照すると、３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２５には、互いに平行な２本のローラシャフト４５，４６が設けられている。レールホルダ２５がレール１３上に配置されると、ローラシャフト４５は、レール１３の一側（内側）に配置され、ローラシャフト４６は、レール１３の他側（外側）に配置される。
再び図８を参照すると、３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２５には、互いに平行な２本のローラシャフト４５，４６が設けられている。レールホルダ２５がレール１３上に配置されると、ローラシャフト４５は、レール１３の一側（内側）に配置され、ローラシャフト４６は、レール１３の他側（外側）に配置される。
【0078】
ローラシャフト４５，４６の一部はレールホルダ２５に圧入されており、ローラシャフト４５，４６の他の一部はレールホルダ２５の下方に突出している。レールホルダ２５の下方に突出しているローラシャフト４５，４６の突出部に、ガイドローラ３０が回転自在に装着されている。
【0079】
具体的には、ローラシャフト４５，４６には、大径ガイドローラ３２と同一の外径を有するガイドローラ３０がそれぞれ回転自在に装着されている。以下の説明では、ローラシャフト４５に装着されているガイドローラ３０を“大径ガイドローラ３３ａ”と呼び、ローラシャフト４６に装着されているガイドローラ３０を“大径ガイドローラ３３ｂ”と呼ぶ場合がある。
【0080】
もっとも、レールホルダ２５に設けられている２つのガイドローラ３０は、シャフトに装着された転がり軸受の外輪である点で共通している。よって、大径ガイドローラ３３ａは、ローラシャフト４５を回転軸として回転する。また、大径ガイドローラ３３ｂは、ローラシャフト４６を回転軸として回転する。
【0081】
レールホルダ２５には、支持ローラ５１（図７）が回転自在に設けられている。支持ローラ５１は、レールホルダ２５の長手方向で大径ガイドローラ３３ａと大径ガイドローラ３３ｂとの間に配置されている。さらに、支持ローラ５１の回転軸は、大径ガイドローラ３３ａ，３３ｂの回転軸と直交している。
【0082】
レールホルダ２５がレール１３上を移動する際、大径ガイドローラ３３ａは、回転しながらレール１３の内側面に沿って移動する。レールホルダ２５がレール１３上を移動する際、大径ガイドローラ３３ｂは、回転しながらレール１３の外側面に沿って移動する。レールホルダ２５がレール１３上を移動する際、支持ローラ５１は、回転しながらレール１３の上面を移動する。
【0083】
支持ローラ５１は、レール１３の上面と常に接し、レールホルダ２５を支持する。一方、レールホルダ２５のより円滑な移動を実現すべく、大径ガイドローラ３３ａとレール１３の内側面との間には僅かな隙間（クリアランス）が設けられる。同様の理由により、大径ガイドローラ３３ｂとレール１３の外側面との間にも僅かな隙間（クリアランス）が設けられる。
【0084】
＜２ローラリンク機構（２つのレールホルダの連結構造）＞
図９は、２ローラリンク機構の１つを示す拡大図である。２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２４は、レール１４の上に、当該レール１４を横断するように配置される。このとき、レールホルダ２４の長手方向中央は、レール１４の直上または略直上に配置される。よって、レールホルダ２４の長手方向一端側は、レール１４の内側（レール１３と対向する側）に突出し、レールホルダ２４の長手方向他端側は、レール１４の外側（レール１３と対向する側と反対側）に突出する。
図９は、２ローラリンク機構の１つを示す拡大図である。２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２４は、レール１４の上に、当該レール１４を横断するように配置される。このとき、レールホルダ２４の長手方向中央は、レール１４の直上または略直上に配置される。よって、レールホルダ２４の長手方向一端側は、レール１４の内側（レール１３と対向する側）に突出し、レールホルダ２４の長手方向他端側は、レール１４の外側（レール１３と対向する側と反対側）に突出する。
【0085】
２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２５は、レール１３の上に、当該レール１３を横断するように配置される。このとき、レールホルダ２５の長手方向中央は、レール１３の直上または略直上に配置される。よって、レールホルダ２５の長手方向一端側は、レール１３の内側（レール１４と対向する側）に突出し、レールホルダ２５の長手方向他端側は、レール１３の外側（レール１４と対向する側と反対側）に突出する。
【0086】
レールホルダ２４には、ベース部材２６の一端が回転可能に連結されるリンクシャフト４０が設けられており、レールホルダ２５には、ベース部材２６の他端が回転可能に連結されるリンクシャフト４１が設けられている。リンクシャフト４０は、レール１４の内側に突出しているレールホルダ２４の一端側に設けられている。一方、リンクシャフト４１は、レール１３の直上または略直上に位置しているレールホルダ２５の長手方向中央に設けられている。
【0087】
レールホルダ２５に設けられているリンクシャフト４１には、ベース部材２６の一端に加えて、上段リンクプレート２２および下段リンクプレート２３の一端も回転可能に連結されている。なお、上段リンクプレート２２および下段リンクプレート２３の他端は、隣りのリンク機構１１（３ローラリンク機構１１Ａ）のレールホルダ２４に回転可能に連結される。
【0088】
リンクシャフト４０は、レール１４側のリンク軸である。また、リンクシャフト４１は、レール１３側のリンク軸である。リンクシャフト４０は、レール１４の内側に突出しているレールホルダ２４の一端側に設けられている。よって、２ローラリンク機構１１Ｂでは、レール１４側のリンク軸がレール１４の中心から外れている。一方、リンクシャフト４１は、レール１３の直上または略直上に位置しているレールホルダ２５の長手方向中央に設けられている。よって、２ローラリンク機構１１Ｂでは、レール１３側のリンク軸は、レール１３の中心と一致している。
【0089】
上記のとおり、３ローラリンク機構１１Ａのレール１４側のリンク軸はレール１４の中心から外れており、レール１３側のリンク軸はレール１３の中心と一致している。つまり、本実施形態では、リンク装置１０Ｒ，１０ＬのＭＤレール側のリンク軸はレール中心から外れており、ＳＰレール側のリンク軸はレール中心と一致している。
【0090】
なお、２ローラリンク機構１１Ｂのクリップ２１は、３ローラリンク機構１１Ａのクリップ２１と同じく、レール１４の外側に突出しているレールホルダ２４の端部に設けられている。
【0091】
＜２ローラリンク機構（一方のレールホルダに設けられるガイドローラ）＞
２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２４には、互いに平行な２本のローラシャフト６２，６３が設けられている。レールホルダ２４がレール１４上に配置されると、ローラシャフト６２は、レール１４の一側（内側）に配置され、ローラシャフト６３は、レール１４の他側（外側）に配置される。
２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２４には、互いに平行な２本のローラシャフト６２，６３が設けられている。レールホルダ２４がレール１４上に配置されると、ローラシャフト６２は、レール１４の一側（内側）に配置され、ローラシャフト６３は、レール１４の他側（外側）に配置される。
【0092】
ローラシャフト６２，６３の一部はレールホルダ２４に圧入されており、ローラシャフト６２，６３の他の一部はレールホルダ２４の下方に突出している。レールホルダ２４の下方に突出しているローラシャフト６２，６３の突出部に、ガイドローラ３０が回転自在に装着されている。
【0093】
具体的には、ローラシャフト６２，６３には、３ローラリンク機構１１Ａの大径ガイドローラ３２と同一の外径を有するガイドローラ３０がそれぞれ回転自在に装着されている。以下の説明では、ローラシャフト６２に装着されているガイドローラ３０を“大径ガイドローラ３４ａ”と呼び、ローラシャフト６３に装着されているガイドローラ３０を“大径ガイドローラ３４ｂ”と呼ぶ場合がある。
【0094】
もっとも、レールホルダ２４に設けられている２つのガイドローラ３０は、シャフトに装着された転がり軸受の外輪である点で共通している。よって、大径ガイドローラ３４ａは、ローラシャフト６２を回転軸として回転し、大径ガイドローラ３４ｂは、ローラシャフト６３を回転軸として回転する。
【0095】
３ローラリンク機構１１Ａを挟んで隣り合う２つの２ローラリンク機構１１Ｂの間で、大径ガイドローラ３４ａの高さが異なる。図９に示される２ローラリンク機構１１Ｂの大径ガイドローラ３４ａは、隣り合う他の２ローラリンク機構１１Ｂの大径ガイドローラ３４ａよりも回転軸の方向で高い位置に配置されている。
【0096】
図６，図７に示される５つのリンク機構１１が図中の矢印方向に移動（走行）すると仮定する。移動方向で１番目（全てのリンク機構１１の中では２番目）に位置している２ローラリンク機構１１Ｂの大径ガイドローラ３４ａは、回転軸の方向で図９に示される大径ガイドローラ３４ａと同じ位置（高位置）に配置されている。
【0097】
一方、２番目（全てのリンク機構１１の中では４番目）に位置している２ローラリンク機構１１Ｂの大径ガイドローラ３４ａは、回転軸の方向で図９に示される大径ガイドローラ３４ａよりも低い位置（低位置）に配置されている。
【0098】
つまり、大径ガイドローラ３４ａが高位置に配置されている２ローラリンク機構１１Ｂと、大径ガイドローラ３４ａが低位置に配置されている２ローラリンク機構１１Ｂと、が交互に並んでいる。もっとも、隣り合う２つの２ローラリンク機構１１Ｂの間には、３ローラリンク機構１１Ａが介在している。
【0099】
大径ガイドローラ３４ａが低位置に配置されている２ローラリンク機構１１Ｂでは、レールホルダ２４と大径ガイドローラ３４ａとの間に、当該大径ガイドローラ３４ａの厚み以上の隙間が存在している。
【0100】
２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２４にも、支持ローラ５０（図７）が回転自在に設けられている。支持ローラ５０は、レールホルダ２４の長手方向で２つの大径ガイドローラ３４ａ，３４ｂの間に配置されている。さらに、支持ローラ５０の回転軸は、大径ガイドローラ３４ａ，３４ｂの回転軸と直交している。
【0101】
レールホルダ２４がレール１４上を移動する際、大径ガイドローラ３４ａは、回転しながらレール１４の内側面に沿って移動し、大径ガイドローラ３４ｂは、回転しながらレール１４の外側面に沿って移動する。レールホルダ２４がレール１４上を移動する際、支持ローラ５０は、回転しながらレール１４の上面を移動する。
【0102】
支持ローラ５０は、レール１４の上面と常に接し、レールホルダ２４を支持する。一方、レールホルダ２４のより円滑な移動を実現すべく、大径ガイドローラ３４ａとレール１４の内側面との間には僅かな隙間（クリアランス）が設けられる。同様の理由により、大径ガイドローラ３４ｂとレール１４の外側面との間にも僅かな隙間（クリアランス）が設けられる。
【0103】
＜２ローラリンク機構（他方のレールホルダに設けられるガイドローラ）＞
再び図９を参照すると、２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２５には、互いに平行な２本のローラシャフト６５，６６が設けられている。レールホルダ２５がレール１３上に配置されると、ローラシャフト６５は、レール１３の一側（内側）に配置され、ローラシャフト６６は、レール１３の他側（外側）に配置される。
再び図９を参照すると、２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２５には、互いに平行な２本のローラシャフト６５，６６が設けられている。レールホルダ２５がレール１３上に配置されると、ローラシャフト６５は、レール１３の一側（内側）に配置され、ローラシャフト６６は、レール１３の他側（外側）に配置される。
【0104】
ローラシャフト６５，６６の一部はレールホルダ２５に圧入されており、ローラシャフト６５，６６の他の一部はレールホルダ２５の下方に突出している。レールホルダ２５の下方に突出しているローラシャフト６５，６６の突出部に、ガイドローラ３０が回転自在に装着されている。
【0105】
具体的には、ローラシャフト６５，６６には、大径ガイドローラ３４ａ，３４ｂと同一の外径を有するガイドローラ３０がそれぞれ回転自在に装着されている。以下の説明では、ローラシャフト６５に装着されているガイドローラ３０を“大径ガイドローラ３５ａ”と呼び、ローラシャフト６６に装着されているガイドローラ３０を“大径ガイドローラ３５ｂ”と呼ぶ場合がある。
【0106】
もっとも、レールホルダ２５に設けられている２つのガイドローラ３０は、シャフトに装着された転がり軸受の外輪である点で共通している。よって、大径ガイドローラ３５ａは、ローラシャフト６５を回転軸として回転する。また、大径ガイドローラ３５ｂは、ローラシャフト６６を回転軸として回転する。
【0107】
２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２５にも、支持ローラ５１（図７）が回転自在に設けられている。支持ローラ５１は、レールホルダ２５の長手方向で２つの大径ガイドローラ３５ａ，３５ｂの間に配置されている。さらに、支持ローラ５１の回転軸は、大径ガイドローラ３５ａ，３５ｂの回転軸と直交している。
【0108】
レールホルダ２５がレール１３上を移動する際、大径ガイドローラ３５ａは、回転しながらレール１３の内側面に沿って移動する。レールホルダ２５がレール１３上を移動する際、大径ガイドローラ３５ｂは、回転しながらレール１３の外側面に沿って移動する。レールホルダ２５がレール１３上を移動する際、支持ローラ５１は、回転しながらレール１３の上面を移動する。
【0109】
支持ローラ５１は、レール１３の上面と常に接し、レールホルダ２５を支持する。一方、レールホルダ２５のより円滑な移動を実現すべく、大径ガイドローラ３５ａとレール１３の内側面との間には僅かな隙間（クリアランス）が設けられる。同様の理由により、大径ガイドローラ３５ｂとレール１３の外側面との間にも僅かな隙間（クリアランス）が設けられる。
【0110】
＜クリップ＞
それぞれのリンク機構１１に設けられているクリップ２１は、本体部７０，把持部７１，バネ部７２などを有している。本体部７０は、レールホルダ２４に固定されている。把持部７１は、本体部７０に上下に動作可能に取り付けられている。バネ部７２は、把持部７１が下方に向かって動作するように、把持部７１を付勢する。バネ部７２の付勢によって把持部７１が下方に向かって動作することにより、本体部７０と把持部７１との間に膜８が挟まれる。つまり、クリップ２１によって膜８が把持される。一方、バネ部７２の付勢に抗して把持部７１を上方に向かって動作させると、膜８の把持が解除される。
それぞれのリンク機構１１に設けられているクリップ２１は、本体部７０，把持部７１，バネ部７２などを有している。本体部７０は、レールホルダ２４に固定されている。把持部７１は、本体部７０に上下に動作可能に取り付けられている。バネ部７２は、把持部７１が下方に向かって動作するように、把持部７１を付勢する。バネ部７２の付勢によって把持部７１が下方に向かって動作することにより、本体部７０と把持部７１との間に膜８が挟まれる。つまり、クリップ２１によって膜８が把持される。一方、バネ部７２の付勢に抗して把持部７１を上方に向かって動作させると、膜８の把持が解除される。
【0111】
＜リンク機構が閉じられたときのガイドローラの位置関係＞
図１０は、複数のリンク機構が最小ピッチまで閉じられたときのガイドローラの位置関係を示す説明図である。
図１０は、複数のリンク機構が最小ピッチまで閉じられたときのガイドローラの位置関係を示す説明図である。
【0112】
本実施形態では、隣り合う３ローラリンク機構１１Ａと２ローラリンク機構１１Ｂとは、お互いのガイドローラ３０同士が部分的に重なり合うまで近接可能である。
【0113】
上記のとおり、３ローラリンク機構１１Ａと２ローラリンク機構１１Ｂとは交互に並んでいる。さらに、３ローラリンク機構１１Ａのみに着目すると、小径ガイドローラ３１ａが高位置に配置され、小径ガイドローラ３１ｂが低位置に配置されている３ローラリンク機構１１Ａと、小径ガイドローラ３１ａが低位置に配置され、小径ガイドローラ３１ｂが高位置に配置されている３ローラリンク機構１１Ａと、が交互に配置されている。
【0114】
また、２ローラリンク機構１１Ｂのみに着目すると、大径ガイドローラ３４ａが高位置に配置されている２ローラリンク機構１１Ｂと、大径ガイドローラ３４ａが低位置に配置されている２ローラリンク機構１１Ｂと、が交互に並んでいる。
【0115】
リンク機構１１が閉じられると、２ローラリンク機構１１Ｂの高位置に配置されている大径ガイドローラ３４ａ（「Ａ」）が、前後の３ローラリンク機構１１Ａの低位置に配置されている小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂに重なる。より特定的には、２ローラリンク機構１１Ｂの大径ガイドローラ３４ａの径方向一部が、前後の３ローラリンク機構１１Ａの小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂの径方向一部の上に重なる。
【0116】
また、リンク機構１１が閉じられると、２ローラリンク機構１１Ｂの低位置に配置されている大径ガイドローラ３４ａ（「Ｂ」）が、前後の３ローラリンク機構１１Ａの高位置に配置されている小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂに重なる。より特定的には、２ローラリンク機構１１Ｂの大径ガイドローラ３４ａの径方向一部が、３ローラリンク機構１１Ａの小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂの径方向一部の下に重なる。
【0117】
別の見方をすると、３ローラリンク機構１１Ａの高位置に配置されている小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂの径方向一部が、２ローラリンク機構１１Ｂの低位置に配置されている大径ガイドローラ３４ａとレールホルダ２４との間に入り込む。
【0118】
＜リンク機構の最小ピッチ＞
本実施形態のリンク装置１０Ｒ，１０Ｌは、連結された複数のリンク機構１１を有している。より特定的には、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌは、複数の３ローラリンク機構１１Ａおよび２ローラリンク機構１１Ｂを有している。さらに、３ローラリンク機構１１Ａと２ローラリンク機構１１Ｂとは交互に配置されている。
本実施形態のリンク装置１０Ｒ，１０Ｌは、連結された複数のリンク機構１１を有している。より特定的には、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌは、複数の３ローラリンク機構１１Ａおよび２ローラリンク機構１１Ｂを有している。さらに、３ローラリンク機構１１Ａと２ローラリンク機構１１Ｂとは交互に配置されている。
【0119】
したがって、全てのリンク機構１１が３ローラリンク機構１１Ａである形態に比べて、隣り合うリンク機構１１間の最小ピッチが小さい。また、２つ以上の３ローラリンク機構１１Ａが連続して配置された形態と比べても、隣り合うリンク機構１１間の最小ピッチが小さい。
【0120】
また、３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２４に設けられている２つの小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂは、径方向一部が互いに重なり合っている。よって、小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂの外径を小さくすることなく、３ローラリンク機構１１Ａが小型化されている。別の見方をすると、小径ガイドローラ３１ａ，３１ｂの強度を確保しつつ、３ローラリンク機構１１Ａが小型化されている。３ローラリンク機構１１Ａが小型化されることにより、隣り合うリンク機構１１間の最小ピッチがさらに小さくなっている。
【0121】
加えて、隣り合う３ローラリンク機構１１Ａと２ローラリンク機構１１Ｂとは、お互いのガイドローラ３０同士が部分的に重なり合うまで近接可能である。この結果、隣り合うリンク機構１１間の最小ピッチがさらに小さくなっている。
【0122】
樹脂フィルムや樹脂シートなどの樹脂膜を延伸させる場合、当該樹脂膜を把持する間隔（チャッキング幅）を狭くすると、分子配向や結晶構造の等方性が良好な樹脂膜を得ることができる。そして、分子配向や結晶構造の等方性が良好な樹脂膜は、力学的特性，熱的特性，光学的特性，表面特性などの様々な特性が優れている。
【0123】
本実施形態では、複数のリンク機構１１のそれぞれに設けられているクリップ２１によって膜８を把持して引き延ばす。よって、隣り合うリンク機構１１間の最小ピッチが膜８を把持する間隔（チャッキング幅）に相当する。つまり、隣り合うリンク機構１１間の最小ピッチが小さい本実施形態のリンク装置１０Ｒ，１０Ｌを用いれば、上記特性を含む膜８の様々な特性を向上させることができる。
【0124】
＜チャッキング部に作用するモーメント＞
図１１は、２ローラリンク機構のチャッキング部に作用するモーメントの説明図である。図１２は、３ローラリンク機構のチャッキング部に作用するモーメントの説明図である。
図１１は、２ローラリンク機構のチャッキング部に作用するモーメントの説明図である。図１２は、３ローラリンク機構のチャッキング部に作用するモーメントの説明図である。
【0125】
３ローラリンク機構１１Ａおよび２ローラリンク機構１１Ｂは、レールホルダ２４に設けられているクリップ２１によって膜８を把持する。つまり、クリップ２１は、膜８を把持するチャッキング部である。
【0126】
クリップ２１が設けられているレールホルダ２４は、リンクシャフト４０を介してベース部材２６に回転可能に連結されている。別の見方をすると、チャッキング部は、レール１４側のリンク軸を回転軸として回転可能である。また、上記のとおり、レール１４とレールホルダ２４に設けられているガイドローラ３０との間にはクリアランスが設けられている。
【0127】
したがって、図１１に示される２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２４に時計回りのモーメントＭ１が作用すると、レールホルダ２４が時計回りに回転する。すると、大径ガイドローラ３４ｂがレール１４の側面に当たり、モーメントＭ１を打ち消す力Ｆが生じる。
【0128】
また、図１１に示される２ローラリンク機構１１Ｂのレールホルダ２４に反時計回りのモーメントＭ２が作用すると、レールホルダ２４が反時計回りに回転する。このときも、大径ガイドローラ３４ｂがレール１４の側面に当たり、モーメントＭ２を打ち消す力Ｆが生じる。
【0129】
図１２に示される３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２４に時計回りのモーメントＭ１が作用すると、レールホルダ２４が時計回りに回転する。すると、小径ガイドローラ３１ａがレール１４の側面に当たり、モーメントＭ１を打ち消す力Ｆが生じる。
【0130】
また、図１２に示される３ローラリンク機構１１Ａのレールホルダ２４に反時計回りのモーメントＭ２が作用すると、レールホルダ２４が反時計回りに回転する。すると、小径ガイドローラ３１ｂがレール１４の側面に当たり、モーメントＭ２を打ち消す力Ｆが生じる。
【0131】
図１１に示されているレールホルダ２４が時計回りに回転したときに、大径ガイドローラ３４ｂがレール１４に当たるまでの移動距離（Ｄ１ａ）と、図１２に示されているレールホルダ２４が時計回りに回転したときに、小径ガイドローラ３１ａがレール１４に当たるまでの移動距離（Ｄ２ａ）と、を比較すると、Ｄ２ａはＤ１ａよりも短い（Ｄ２ａ＜Ｄ１ａ）。
【0132】
図１１に示されているレールホルダ２４が反時計回りに回転したときに、大径ガイドローラ３４ｂがレール１４に当たるまでの移動距離（Ｄ１ｂ）と、図１２に示されているレールホルダ２４が反時計回りに回転したときに、小径ガイドローラ３１ｂがレール１４に当たるまでの移動距離（Ｄ２ｂ）と、を比較すると、Ｄ２ｂはＤ１ｂよりも短い（Ｄ２ｂ＜Ｄ１ｂ）。
【0133】
つまり、３ローラリンク機構１１Ａおよび２ローラリンク機構１１Ｂに同じモーメントが作用したとき、３ローラリンク機構１１Ａのチャッキング部の移動量は、２ローラリンク機構１１Ｂのチャッキング部の移動量よりも小さい。別の見方をすると、３ローラリンク機構１１Ａのチャッキング部は、２ローラリンク機構１１Ｂのチャッキング部に比べて、モーメントに対する安定性に優れている。
【0134】
２ローラリンク機構１１Ｂのみでリンク装置１０Ｒ，１０Ｌを構成すれば、隣り合うリンク機構１１間の最小ピッチをさらに小さくすることができる。しかし、２ローラリンク機構１１Ｂのみでリンク装置１０Ｒ，１０Ｌを構成した場合、モーメントに対するチャッキング部の安定性が低下する。モーメントに対するチャッキング部の安定性が低下すると、膜８に捻れが生じたり、膜８が裂けたりする虞がある。
【0135】
つまり、３ローラリンク機構１１Ａと２ローラリンク機構１１Ｂとが交互に配置されている本実施形態のリンク装置１０Ｒ，１０Ｌでは、モーメントに対するチャッキング部の安定性を低下させることなく、隣り合うリンク機構１１間の最小ピッチが狭められている。
【0136】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態および実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態または実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、それぞれのリンク機構が有するガイドローラは、１つの転がり軸受の外輪によって形成してもよく、２つ以上の転がり軸受の外輪によって形成してもよい。例えば、多段に重ねた２つ以上の転がり軸受の外輪によって１つのガイドローラを形成してもよい。もっとも、ガイドローラは転がり軸受の外輪に限定されない。また、ガイドローラの寸法（外径や厚みなど）は、適宜変更することができる。
【符号の説明】
【0137】
１ 薄膜製造システム
２ 押出装置（押出機、混練押出機）
２ａ 原料供給部（原料投入口，ホッパ）
３ Ｔダイ
４ 原反冷却装置
５ 延伸機
６ 引き取り装置
７ 巻き取り装置
８ 膜
９ 熱処理部
１０，１０Ｒ，１０Ｌ リンク装置
１１ リンク機構
１１Ａ ３ローラリンク機構
１１Ｂ ２ローラリンク機構
１３，１４ レール
１５，１６，１７ スプロケット
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ 領域
２１ クリップ
２２ 上段リンクプレート
２３ 下段リンクプレート
２４，２５ レールホルダ
２６ ベース部材
３０ ガイドローラ
３１ａ，３１ｂ 小径ガイドローラ
３２ 大径ガイドローラ
３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂ 大径ガイドローラ
４０，４１ リンクシャフト
４２，４３，４４，４５，４６ ローラシャフト
５０，５１ 支持ローラ
６２，６３，６５，６６ ローラシャフト
７０ 本体部
７１ 把持部
７２ バネ部
２ 押出装置（押出機、混練押出機）
２ａ 原料供給部（原料投入口，ホッパ）
３ Ｔダイ
４ 原反冷却装置
５ 延伸機
６ 引き取り装置
７ 巻き取り装置
８ 膜
９ 熱処理部
１０，１０Ｒ，１０Ｌ リンク装置
１１ リンク機構
１１Ａ ３ローラリンク機構
１１Ｂ ２ローラリンク機構
１３，１４ レール
１５，１６，１７ スプロケット
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ 領域
２１ クリップ
２２ 上段リンクプレート
２３ 下段リンクプレート
２４，２５ レールホルダ
２６ ベース部材
３０ ガイドローラ
３１ａ，３１ｂ 小径ガイドローラ
３２ 大径ガイドローラ
３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂ 大径ガイドローラ
４０，４１ リンクシャフト
４２，４３，４４，４５，４６ ローラシャフト
５０，５１ 支持ローラ
６２，６３，６５，６６ ローラシャフト
７０ 本体部
７１ 把持部
７２ バネ部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】