特開 2023-13564 電子線照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023013564

(43)【公開日】2023-01-26

(54)【発明の名称】電子線照射装置

(51)【国際特許分類】

   G21K 5/00 20060101AFI20230119BHJP

   G21K 5/04 20060101ALI20230119BHJP

【ＦＩ】

G21K5/00 S

G21K5/00 E

G21K5/04 E

G21K5/00 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021117855

(22)【出願日】2021-07-16

(71)【出願人】

【識別番号】503237806

【氏名又は名称】株式会社ＮＨＶコーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】外村 英之

(57)【要約】

【課題】保護カバーの損傷を抑制できる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】電子線照射装置１０は、電子線が通過する開口窓部１９を有する走査管１６と、開口窓部１９を塞ぐように設けられ電子線を透過させる窓箔２０と、窓箔２０の外部側を覆う着脱可能な保護カバー５０と、窓箔２０における走査管１６の外部側の面２０ａが露出するとともに窓箔２０を冷却するための冷却ガスが通る流路３５と、流路３５内の圧力を測定する測定部６１と、測定部６１の測定結果に基づいて保護カバー５０が取付状態にあるか否かを検知し、保護カバー５０が非取付状態であることを条件として窓箔２０を介した電子線の出射を許可する制御装置４１と、を備える。流路３５は、開口窓部１９を通過した電子線が通過する排出口３４を有する。冷却ガスは、排出口３４から流路３５の外に排出される。保護カバー５０は、排出口３４を覆うことにより窓箔２０の面２０ａを覆う。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子線を発生させる電子線発生部と、
前記電子線が通過する開口窓部を有する筐体部と、
前記開口窓部を塞ぐように設けられ、前記電子線を前記筐体部の内部から前記筐体部の外部に透過させる窓箔と、
前記窓箔の外部側を覆う、着脱可能な保護カバーと、
を備えた電子線照射装置であって、
前記窓箔における前記筐体部の外部側の面が露出するとともに前記窓箔を冷却するための冷却ガスが通る流路と、
前記流路内の圧力もしくは前記流路を通る前記冷却ガスの流量を測定する測定部と、
前記測定部の測定結果に基づいて前記保護カバーが取付状態にあるか否かを検知し、前記保護カバーが非取付状態であることを条件として前記窓箔を介した前記電子線の出射を許可する制御部と、を備え、
前記流路は、前記開口窓部を通過した前記電子線が通過する排出口を有し、
前記冷却ガスは、前記排出口から前記流路の外に排出され、
前記保護カバーは、前記排出口を覆うことにより前記窓箔における前記筐体部の外部側の面を覆う、電子線照射装置。

【請求項2】

前記保護カバーが取付状態にあるか否かに関する前記制御部の検知結果に基づく報知を行う報知部を備えた、請求項１に記載の電子線照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子線照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特許文献１に記載された電子線照射装置は、電子線発生部からの電子線が通過する開口窓部を有する筐体部と、開口窓部を塞ぐように設けられ、電子線を筐体部の内部から筐体部の外部に透過させる窓箔と、窓箔の外部側を覆う着脱可能な保護カバーと、を備えている。電子線照射装置の通常使用時には、保護カバーを筐体部から取り外した状態とし、窓箔を介して筐体部の外部に出射された電子線を被照射物に照射する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第６３４３１５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のような電子線照射装置では、保護カバーを外し忘れた状態で電子線の照射を行ってしまうと、電子線が保護カバーに照射されて保護カバーが損傷するおそれがある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決する電子線照射装置は、電子線を発生させる電子線発生部と、前記電子線が通過する開口窓部を有する筐体部と、前記開口窓部を塞ぐように設けられ、前記電子線を前記筐体部の内部から前記筐体部の外部に透過させる窓箔と、前記窓箔の外部側を覆う、着脱可能な保護カバーと、を備えた電子線照射装置であって、前記窓箔における前記筐体部の外部側の面が露出するとともに前記窓箔を冷却するための冷却ガスが通る流路と、前記流路内の圧力もしくは前記流路を通る前記冷却ガスの流量を測定する測定部と、前記測定部の測定結果に基づいて前記保護カバーが取付状態にあるか否かを検知し、前記保護カバーが非取付状態であることを条件として前記窓箔を介した前記電子線の出射を許可する制御部と、を備え、前記流路は、前記開口窓部を通過した前記電子線が通過する排出口を有し、前記冷却ガスは、前記排出口から前記流路の外に排出され、前記保護カバーは、前記排出口を覆うことにより前記窓箔における前記筐体部の外部側の面を覆う。

【0006】

この構成によれば、流路に冷却ガスが供給されている場合、保護カバーが取り付けられているときよりも保護カバーが取り付けられていないときの方が、排出口から流路の外に排出される冷却ガスの量は多くなる。そのため、保護カバーが取り付けられている状態における流路内の圧力は、保護カバーが取り外されている状態における流路内の圧力よりも高くなる。また、保護カバーが取り付けられているときに流路を通る冷却ガスの流量は、保護カバーが取り付けられていないときに流路を通る冷却ガスの流量よりも少なくなる。従って、測定部が測定する流路内の圧力もしくは流路を通る冷却ガスの流量に基づいて、保護カバーが取付状態にあるか否かを検知できる。

【0007】

そして、制御部は、保護カバーが非取付状態であることを条件として窓箔を介した電子線の出射を許可する。従って、保護カバーを外し忘れた状態では、制御部は、電子線の出射を許可しない。このため、保護カバーに電子線が照射されることによる保護カバーの損傷を抑制できる。

【0008】

上記電子線照射装置において、前記保護カバーが取付状態にあるか否かに関する前記制御部の検知結果に基づく報知を行う報知部を備えた。
この構成によれば、報知部によって、制御部の検知結果に基づいた報知が可能となる。これにより、電子線の出射が許可されているか否かを作業者が認識しやすくなるため、作業性の向上を図ることができる。

【発明の効果】

【0009】

本発明の電子線照射装置によれば、保護カバーの損傷を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】一実施形態における電子線照射装置の概略構成図。

【図2】同形態における電子線照射装置の一部を示す概略構成図。

【図3】同形態における保護カバーが取り付けられた状態の電子線照射装置の一部を示す概略構成図。

【図4】変更例における保護カバーが取り付けられた状態の電子線照射装置の一部を示す概略構成図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、電子線照射装置の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。

【0012】

図１に示す本実施形態の電子線照射装置１０は、走査型の電子線照射装置である。電子線照射装置１０は、熱電子放出を行う例えばタングステン製のフィラメント１１を備えている。フィラメント１１は、電子線ｅを発生させる電子線発生部に該当する。フィラメント１１は、フィラメント用電源１２からの電源供給に基づく自身の加熱により電子を放出する。フィラメント１１は、加速管１３の上端側に設けられている。

【0013】

加速管１３は、フィラメント１１が配置される上端側が閉塞された筒状をなしている。加速管１３は、自身の管軸方向に並設される複数の加速電極１４を有している。加速電極１４は、加速電極用電源１５からの電源供給に基づき、フィラメント１１から放出された電子を収束させつつ下方に向けて加速させるような電界を生じさせる。つまり、加速管１３では、加速電極１４にて生じる電界にて、管軸方向の下方に向く電子流、即ち電子線ｅが生じるようになっている。加速管１３は、下端部に走査管１６が接続されている。加速管１３と走査管１６とは互いに内部空間１７が連通し、その内部空間１７において電子線ｅが加速管１３から走査管１６側に進む。なお、走査管１６は電子線照射装置１０の筐体部に該当する。

【0014】

走査管１６は、上端側が幅狭で、下方に向かうほど拡開する形状をなしている。走査管１６は、その幅狭の上端部に走査コイル１８が設けられている。走査コイル１８は、自身への通電に基づき、加速管１３にて生成された電子線ｅの向きを偏向する、即ち電子線ｅの走査を行う。

【0015】

（窓箔２０の構成）
図１及び図２に示すように、走査管１６の下端部、即ち出射側の端部には、例えば略長方形状の開口窓部１９が設けられている。開口窓部１９には略長方形状の窓箔２０が取り付けられている。窓箔２０は、例えば、極めて薄い金属箔からなる。窓箔２０の材料としては、例えばチタン系の金属材料が用いられる。窓箔２０は、開口窓部１９よりも一回り大きな形状をなし、開口窓部１９を塞ぐように設けられている。

【0016】

窓箔２０は、走査管１６の下端部と、開口窓部１９の周縁部に固定された取付枠１９ａとによって挟まれる態様で固定されている。取付枠１９ａは、走査管１６の下端部に対して、図示しないボルトなどによって固定されている。取付枠１９ａは、窓箔２０を透過した電子線ｅを通すための開口１９ｂを有する。

【0017】

窓箔２０は、電子線ｅを透過させつつも、開口窓部１９を密閉するものである。つまり、加速管１３と走査管１６とに跨がる内部空間１７は、密閉空間である。内部空間１７は、例えば走査管１６に接続された真空ポンプ２１の駆動にて、少なくとも電子線ｅを生じさせる期間は真空状態とされる。

【0018】

（冷却ガス吐出装置３１の構成）
図２に示すように、電子線照射装置１０は、冷却ガス吐出装置３１を有していてもよい。冷却ガス吐出装置３１は、例えば、開口窓部１９及び取付枠１９ａの外周を囲むように配置されている。冷却ガス吐出装置３１は、少なくとも１つの吐出口３２を有する。例えば、冷却ガス吐出装置３１は、取付枠１９ａの外周に複数の吐出口３２を有する。

【0019】

冷却ガス吐出装置３１は、窓箔２０を冷却するための冷却ガスを吐出口３２から吐出する。なお、図中では、冷却ガスを一点鎖線の矢印で図示している。冷却ガスは、例えば空気である。なお、冷却ガスは、空気に限らず、例えば窒素ガスなどの気体であってもよい。

【0020】

（案内部材３３の構成）
電子線照射装置１０は、吐出口３２から吐出された冷却ガスを窓箔２０に案内する案内部材３３を有していてもよい。案内部材３３は、取付枠１９ａの開口１９ｂよりも一回り大きい形状をなしている。案内部材３３は、当該案内部材３３と窓箔２０との間に取付枠１９ａが配置される位置に配置されている。案内部材３３は、窓箔２０及び取付枠１９ａから電子線ｅの進行方向に離れた位置に配置されている。このため、窓箔２０及び取付枠１９ａと案内部材３３との間には空間Ｓｐ１がある。空間Ｓｐ１は、窓箔２０、取付枠１９ａ、冷却ガス吐出装置３１及び案内部材３３によって囲まれている。窓箔２０における走査管１６の外部側の面２０ａは、開口１９ｂから空間Ｓｐ１に露出している。

【0021】

案内部材３３は、例えば、吐出口３２よりも外周で図示しないボルトなどにより冷却ガス吐出装置３１に固定されている。そして、吐出口３２は空間Ｓｐ１に開口している。このため、冷却ガスは、吐出口３２から空間Ｓｐ１に吐出される。

【0022】

案内部材３３は、開口窓部１９を通過した電子線ｅが通過する排出口３４を有する。開口窓部１９、窓箔２０、開口１９ｂ及び排出口３４は、電子線ｅの進行方向に沿って、開口窓部１９、窓箔２０、開口１９ｂ、排出口３４の順に並んでいる。吐出口３２から空間Ｓｐ１に供給された冷却ガスは、案内部材３３によって案内されることにより窓箔２０の方へ流れる。その後、冷却ガスは、排出口３４を通って空間Ｓｐ１の外部に排出される。

【0023】

（流路３５の構成）
電子線照射装置１０は、窓箔２０を冷却するための冷却ガスが通る流路３５を有する。流路３５は、例えば、冷却ガス吐出装置３１における冷却ガスが通る部分を含む。また、流路３５は空間Ｓｐ１を含む。排出口３４は、空間Ｓｐ１を囲む案内部材３３が有するものであるため、流路３５は排出口３４を有する。冷却ガスは、排出口３４から流路３５の外に排出される。また、窓箔２０における走査管１６の外部側の面２０ａは、空間Ｓｐ１に露出しているため、流路３５に露出している。なお、空間Ｓｐ１は、例えば流路３５の終点に該当する。

【0024】

（遮蔽体Ｓの構成）
図１及び図２に示すように、上記した電子線照射装置１０の構成部材において、少なくともフィラメント１１、加速管１３及び走査管１６は、遮蔽体Ｓによって囲われている。なお、図１では、説明の便宜上、遮蔽体Ｓの図示を省略している。遮蔽体Ｓは、被照射物４３に電子線ｅを照射する際に発生するＸ線を遮るためのものである。遮蔽体Ｓは、例えば鉛系の金属材料にて形成されている。

【0025】

遮蔽体Ｓは、フィラメント１１、加速管１３及び走査管１６が内部に配置された第１構成体Ｓ１と、第１構成体Ｓ１の開口部Ｓａを覆う第２構成体Ｓ２とを備えている。第２構成体Ｓ２は、第１構成体Ｓ１に対して着脱可能に構成されている。第１構成体Ｓ１と第２構成体Ｓ２とが連結された状態では、電子線照射装置１０から出射される電子線ｅを被照射物４３に照射する際に発生するＸ線が遮蔽体Ｓの外部に流出しないようになっている。なお、排出口３４から流路３５の外に排出された冷却ガスは、遮蔽体Ｓが有する図示しない排出口から遮蔽体Ｓの外部に排出される。

【0026】

（制御装置４１の構成）
上記したフィラメント用電源１２、加速電極用電源１５、走査コイル１８、真空ポンプ２１及び冷却ガス吐出装置３１は、制御装置４１にて制御される。制御装置４１は、各電源１２，１５を通じて電子線ｅの出力調整を行ったり、走査コイル１８を通じて電子線ｅの走査制御を行ったり、真空ポンプ２１を通じて加速管１３及び走査管１６の内部空間１７の真空調整を行ったりする。また、制御装置４１は、冷却ガス吐出装置３１を通じて窓箔２０への冷却ガスの供給を行う。例えば、制御装置４１は、窓箔２０への冷却ガスの供給中は、吐出口３２から空間Ｓｐ１に吐出される冷却ガスの流量が一定となるように冷却ガス吐出装置３１を制御する。

【0027】

なお、制御装置４１は、コンピュータプログラム（ソフトウェア）に従って各種処理を実行する１つ以上のプロセッサ、または、各種処理のうち少なくとも一部の処理を実行する、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）などの１つ以上の専用のハードウェア回路、または、それらの組み合わせ、を含む回路（circuitry）として構成し得る。プロセッサは、ＣＰＵ並びに、ＲＡＭ及びＲＯＭなどのメモリを含み、メモリは、処理をＣＰＵに実行させるように構成されたプログラムコードまたは指令を格納している。メモリ即ちコンピュータ可読媒体は、汎用または専用のコンピュータでアクセスできるあらゆる利用可能な媒体を含む。

【0028】

（被照射物４３への電子線ｅの照射）
図１に示すように、開口窓部１９に装着された窓箔２０を介して出射される電子線ｅは、例えば搬送装置４２により搬送方向ｘに搬送される被照射物４３に対して照射される。そして、電子線ｅによって被照射物４３に所定処理を行う。なお、電子線照射装置１０は、例えば、略長方形状をなす開口窓部１９の長手方向が搬送装置４２の搬送直交方向ｙに向くように配置されている。搬送方向ｘ及び搬送直交方向ｙを含めた電子線ｅの所定走査が行われることにより、開口窓部１９に対応した略長方形状の照射エリアＡに電子線ｅが照射される。電子線ｅの被照射物４３への照射効果としては、例えば素材の性質改善や機能付加、殺菌・滅菌等が期待できる。

【0029】

（保護カバー５０の構成）
次に、窓箔２０を保護するための保護カバー５０について説明する。
図３に示すように、電子線照射装置１０は、案内部材３３に対して着脱可能な保護カバー５０を備えている。図３は、保護カバー５０が装着された状態の電子線照射装置１０の一部を示している。例えば、保護カバー５０は、排出口３４よりも一回り大きい形状をなしている。

【0030】

ここで、案内部材３３の外面３３ａは、流路３５の外壁面の一部を構成している。なお、外面３３ａは、空間Ｓｐ１を内側とした場合における案内部材３３の外側の面である。保護カバー５０は、外面３３ａに着脱可能に取り付けられて排出口３４の全体を覆う。即ち、保護カバー５０は、流路３５の外壁面に着脱可能に取り付けられて排出口３４の全体を覆う。

【0031】

電子線照射装置１０は、保護カバー５０を案内部材３３に着脱可能に取り付けるための取付部材５１を有していてもよい。取付部材５１は、例えばボルトである。保護カバー５０は、排出口３４を塞ぐ態様で取付部材５１によって案内部材３３に固定される。保護カバー５０が取付状態にあるとき、取付部材５１は、流路３５の外部に位置する。例えば、保護カバー５０が取付状態にあるとき、取付部材５１は、空間Ｓｐ１の外部に位置する。なお、保護カバー５０は、取付部材５１を取り外すことにより、案内部材３３の外面３３ａから取り外すことができる。

【0032】

保護カバー５０が案内部材３３に装着された状態では、保護カバー５０は窓箔２０の外部側を覆っている。詳しくは、保護カバー５０は、排出口３４を覆うことにより窓箔２０における走査管１６の外部側の面２０ａを覆う。そして、保護カバー５０における排出口３４から空間Ｓｐ１に露出する部分、即ち排出口３４から流路３５に露出する部分は、電子線ｅの進行方向に窓箔２０の面２０ａと対向する。これにより、保護カバー５０により、窓箔２０に対して外部側から接触できない状態となり、外部側からの接触による窓箔２０の損傷を防止できるようになっている。

【0033】

（測定部６１の構成）
また、電子線照射装置１０は、流路３５内の圧力を測定する測定部６１を有する。測定部６１としては、例えば電子圧力計が用いられる。測定部６１は、流路３５内の圧力を測定する。また、測定部６１は、その測定結果に応じた信号を制御装置４１に出力する。例えば、測定部６１は、測定した流路３５内の圧力値に応じた電気信号を出力する。測定部６１による流路３５内の圧力の測定のタイミング、及び、測定部６１による電気信号の出力のタイミングは、任意に設定することができる。測定部６１は、例えば、連続的に流路３５内の圧力を測定する。そして、測定部６１は、例えば、あらかじめ設定された時間ごとにその時点の測定結果に応じた電気信号を出力する。

【0034】

（制御装置４１による保護カバー５０が取付状態にあるか否かの検知）
制御装置４１は、測定部６１の測定結果に基づいて保護カバー５０が取付状態にあるか否かを検知する。空間Ｓｐ１に冷却ガスが供給されている場合、保護カバー５０が取り外されている状態から保護カバー５０が取り付けられた状態になると、流路３５内の圧力が上昇する。例えば、制御装置４１は、保護カバー５０が取付状態にあるかを判定するための閾値を持っている。閾値は、例えば、保護カバー５０が取付状態にあるときの流路３５内の圧力に応じた値である。制御装置４１は、測定部６１から入力された測定結果と閾値とを比較する。そして、制御装置４１は、測定部６１から入力された測定結果が閾値以下である場合には、保護カバー５０は取付状態にないと判定する。即ち、制御装置４１は、保護カバー５０が非取付状態であることを検知する。一方、制御装置４１は、測定部６１から入力された測定結果が閾値よりも大きい場合には、保護カバー５０が取付状態にあると判定する。即ち、制御装置４１は、保護カバー５０が取付状態にあることを検知する。制御装置４１は、保護カバー５０が非取付状態であることを条件としてフィラメント１１からの電子線ｅの出力を許可する。

【0035】

（報知部６２の構成）
また、電子線照射装置１０は、保護カバー５０の取付状態に関する制御装置４１の検知結果に基づいて、保護カバー５０が取付状態にある旨を報知する報知部６２を備えていてもよい。報知部６２は、例えば、制御装置４１の制御によって動作するものである。報知部６２は、ディスプレイ、スピーカー及び表示灯のうちの少なくとも１つを備え、ディスプレイの表示、スピーカーからの音出力、または、表示灯の点灯により、作業者に対して、保護カバー５０が取付状態にある旨を報知する。

【0036】

本実施形態の作用について説明する。
図３に示すように、電子線照射装置１０を使用しない状況では、作業者は、第２構成体Ｓ２を第１構成体Ｓ１から外して第１構成体Ｓ１の開口部Ｓａを開けた状態として、保護カバー５０を案内部材３３の外面３３ａに取付部材５１によって取り付ける。これにより、窓箔２０の外部側が保護カバー５０によって覆われる。また、保護カバー５０によって排出口３４が覆われる。なお、このとき、吐出口３２から空間Ｓｐ１に冷却ガスが供給されている。

【0037】

保護カバー５０が案内部材３３の外面３３ａに取り付けられると、排出口３４が覆われるため、保護カバー５０が案内部材３３の外面３３ａに取り付けられていない状態のときに比べて、流路３５内の圧力が高くなる。測定部６１が出力する測定結果も、流路３５内の圧力に応じて変化する。制御装置４１は、測定部６１から入力される測定結果と閾値とを比較する。そして、制御装置４１は、測定部６１から入力された測定結果が閾値よりも大きい場合に、保護カバー５０が取付状態にあると判定する。即ち、制御装置４１は、保護カバー５０が取付状態にあることを検知する。

【0038】

制御装置４１は、保護カバー５０が取付状態にあることを検知すると、フィラメント１１からの電子線ｅの出力を許可しないように制御する。これにより、保護カバー５０を取り付けた状態で、電子線ｅが出射されることが防止されるようになっている。

【0039】

また、報知部６２の動作の一例を説明する。制御装置４１によって保護カバー５０が取り付けられていることが検知されている状況下において、作業者によって電子線ｅの出力操作がなされたとき、制御装置４１は、報知部６２としてのディスプレイに保護カバー５０が取り付けられている旨を表示する。または、制御装置４１は、報知部６２としてのスピーカーから音出力を行う。または、制御装置４１は、報知部６２としての表示灯を点灯させる。これにより、作業者に対して、保護カバー５０が取付状態にある旨が報知される。

【0040】

電子線照射装置１０を使用するときには、図２に示すように、作業者は、保護カバー５０を案内部材３３の外面３３ａから取り外した後、第１構成体Ｓ１の開口部Ｓａを第２構成体Ｓ２にて閉塞する。この状態で吐出口３２から空間Ｓｐ１に冷却ガスが供給されると、排出口３４が保護カバー５０によって覆われていないため、流路３５内の圧力は、保護カバー５０が案内部材３３の外面３３ａに取り付けられている状態のときに比べて低くなる。測定部６１が出力する測定結果も、流路３５内の圧力に応じて変化する。制御装置４１は、測定部６１から入力される測定結果と閾値とを比較する。そして、制御装置４１は、測定部６１から入力された測定結果が閾値以下である場合に、保護カバー５０が非取付状態にあると判定する。即ち、制御装置４１は、保護カバー５０が非取付状態にあることを検知する。制御装置４１は、保護カバー５０が非取付状態にあることを検知すると、フィラメント１１からの電子線ｅの出力を許可する。

【0041】

本実施形態の効果について説明する。
（１）電子線照射装置１０は、電子線ｅを発生させるフィラメント１１と、電子線ｅが通過する開口窓部１９を有する走査管１６とを備える。また、電子線照射装置１０は、開口窓部１９を塞ぐように設けられ、電子線ｅを走査管１６の内部から走査管１６の外部に透過させる窓箔２０と、窓箔２０の外部側を覆う、着脱可能な保護カバー５０とを備える。また、電子線照射装置１０は、窓箔２０における走査管１６の外部側の面２０ａが露出するとともに窓箔２０を冷却するための冷却ガスが通る流路３５を備える。また、電子線照射装置１０は、流路３５内の圧力を測定する測定部６１を備える。更に、電子線照射装置１０は、測定部６１の測定結果に基づいて保護カバー５０が取付状態にあるか否かを検知し、保護カバー５０が非取付状態であることを条件として窓箔２０を介した電子線ｅの出射を許可する制御装置４１を備える。流路３５は、開口窓部１９を通過した電子線ｅが通過する排出口３４を有する。冷却ガスは、排出口３４から流路３５の外に排出される。保護カバー５０は、排出口３４を覆うことにより窓箔２０における走査管１６の外部側の面２０ａを覆う。

【0042】

この構成によれば、流路３５に冷却ガスが供給されている場合、保護カバー５０が取り付けられているときよりも保護カバー５０が取り付けられていないときの方が、排出口３４から流路３５の外に排出される冷却ガスの量は多くなる。そのため、保護カバー５０が取り付けられている状態における流路３５内の圧力は、保護カバー５０が取り外されている状態における流路３５内の圧力よりも高くなる。従って、測定部６１が測定する流路３５内の圧力に基づいて、保護カバー５０が取付状態にあるか否かを検知できる。

【0043】

そして、制御装置４１は、保護カバー５０が非取付状態であることを条件として窓箔２０を介した電子線ｅの出射を許可する。従って、保護カバー５０を外し忘れた状態では、制御装置４１は、電子線ｅの出射を許可しない。このため、保護カバー５０に電子線ｅが照射されることによる保護カバー５０の損傷を抑制できる。

【0044】

（２）電子線照射装置１０は、保護カバー５０が取付状態にあるか否かに関する制御装置４１の検知結果に基づく報知を行う報知部６２を備えている。この構成によれば、報知部６２によって、制御装置４１の検知結果に基づいた報知が可能となる。これにより、電子線ｅの出射が許可されているか否かを作業者が認識しやすくなるため、作業性の向上を図ることができる。

【0045】

（３）報知部６２は、保護カバー５０が取付状態にあることが制御装置４１で検知されているときに、保護カバー５０が取付状態にある旨を報知する。この構成によれば、報知部６２によって、保護カバー５０が取付状態であることを作業者に報知可能となる。

【0046】

（４）電子線照射装置１０は、保護カバー５０を流路３５の外面３３ａに取り付ける取付部材５１を備える。保護カバー５０が取付状態にあるとき、取付部材５１は、流路３５の外部に位置する。この構成によれば、取付部材５１が流路３５の内部に突出しない。そのため、取付部材５１によって冷却ガスの流れが乱されることを抑制できる。

【0047】

本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・図４に示すように、電子線照射装置１０は、排出口３４と保護カバー５０との間をシールするシール部材７１を備えてもよい。保護カバー５０は、案内部材３３の外面３３ａに着脱可能に取り付けられて排出口３４の全体を覆う。シール部材７１は、外面３３ａにおける排出口３４の外周部分と保護カバー５０との間に位置する。また、シール部材７１は、排出口３４を囲むとともに、外面３３ａにおける排出口３４の外周部分及び保護カバー５０の各々に密着する。シール部材７１は、例えば、電子線ｅの進行方向から見て排出口３４を囲む環状をなす。なお、この説明で使用される「環状」という用語は、ループ、即ち端部の無い連続形状、を形成する任意の構造、並びに、Ｃ字形のようなギャップを有する、全体としてループ形状をなす構図を指すことがある。「環状」の形状には、円形、楕円形、及び尖ったまたは丸い角を有する多角形が含まれるが、これらに限定されない。

【0048】

この構成によれば、保護カバー５０が案内部材３３の外面３３ａに取り付けられると、保護カバー５０と外面３３ａとの間を冷却ガスが通り抜けることがシール部材７１によって抑制される。従って、保護カバー５０が外面３３ａに取り付けられてから、流路３５内の圧力が制御装置４１において保護カバー５０が取付状態にあることを検知可能な圧力になるまでの時間を、電子線照射装置１０がシール部材７１を備えない場合よりも短くできる。よって、保護カバー５０が取り付けられてから、制御装置４１が保護カバー５０が取付状態にあることを検知するまでに要する時間を短くできる。

【0049】

・取付部材５１は、流路３５の内部に突出していてもよい。
・上記実施形態では、閾値は、保護カバー５０が取付状態にあるときの流路３５の圧力に応じた値である。しかしながら、閾値は、例えば、保護カバー５０が取り付けられた後の単位時間あたりの流路３５内の圧力の増加量に基づく値であってもよい。この場合、制御装置４１は、測定部６１から入力される測定結果に基づいて単位時間あたりの流路３５内の圧力の増加量を算出する。そして、制御装置４１は、算出結果と閾値とを比較して、算出結果が閾値よりも大きい場合に、保護カバー５０が取付状態にあると判定する。即ち、制御装置４１は、保護カバー５０が取付状態にあることを検知する。一方、制御装置４１は、算出結果と閾値とを比較して、算出結果が閾値以下である場合に、保護カバー５０が非取付状態にあると判定する。即ち、制御装置４１は、保護カバー５０が非取付状態であることを検知する。

【0050】

・上記実施形態では、測定部６１は、流路３５内の圧力を測定する。しかしながら、測定部６１は、流路３５を通る冷却ガスの流量を測定するものであってもよい。この場合においても、制御装置４１は、測定部６１の測定結果に基づいて保護カバー５０が取付状態にあるか否かを検知する。この場合、保護カバー５０が取付状態にあるかを判定するための閾値は、例えば、保護カバー５０が取付状態にあるときの流路３５を通る冷却ガスの流量に応じた値である。制御装置４１は、測定部６１から入力された測定結果と閾値とを比較する。そして、制御装置４１は、測定部６１から入力された測定結果が閾値以上である場合には、保護カバー５０は取付状態にないと判定する。即ち、制御装置４１は、保護カバー５０が非取付状態であることを検知する。一方、制御装置４１は、測定部６１から入力された測定結果が閾値よりも小さい場合には、保護カバー５０が取付状態にあると判定する。即ち、制御装置４１は、保護カバー５０が取付状態にあることを検知する。

【0051】

この構成によれば、流路３５に冷却ガスが供給されている場合、保護カバー５０が取り付けられているときよりも保護カバー５０が取り付けられていないときの方が、排出口３４から流路３５の外に排出される冷却ガスの量は多くなる。そのため、保護カバー５０が取り付けられているときに流路３５を通る冷却ガスの流量は、保護カバー５０が取り付けられていないときに流路３５を通る冷却ガスの流量よりも少なくなる。従って、測定部６１が測定する流路３５を通る冷却ガスの流量に基づいて、保護カバー５０が取付状態にあるか否かを検知できる。

【0052】

・保護カバー５０は、取付状態にあるとき、排出口３４の全体を覆っていなくてもよい。ただし、取付状態にある保護カバー５０は、窓箔２０を保護できる程度に排出口３４を覆う。

【0053】

・窓箔２０に用いる材料は上記実施形態の材料に限定されるものではなく、チタン系の金属材料以外の材料を用いてもよい。
・遮蔽体Ｓに用いる材料は上記実施形態の材料に限定されるものではなく、鉛系の金属材料以外のコンクリートなどを用いてもよい。

【0054】

・上記実施形態の報知部６２は、保護カバー５０が取付状態にあることが制御装置４１で検知されているときに、保護カバー５０が取付状態にある旨を報知する。しかしながら、これに限らず、報知部６２は、保護カバー５０が取付状態にあるか否かに関する制御装置４１の検知結果に基づく報知を行うものであればよい。例えば、報知部６２は、保護カバー５０が非取付状態にあることが制御装置４１で検知されているときに、保護カバー５０が非取付状態にある旨（即ち電子線ｅの出射が許可されている旨）を報知するように構成されていてもよい。

【0055】

・上記実施形態の電子線照射装置１０では、開口窓部１９の開口方向を下向きとした構成、即ち、電子線ｅの進行方向を下方向の設定としていたが、上方向や水平方向、斜め方向であってもよい。

【0056】

・上記実施形態では、電子線照射装置１０は、単一のフィラメント１１から放出された電子から電子線ｅを形成し走査コイル１８にて走査して照射エリアＡの照射を行う走査型の電子線照射装置であるとした。しかしながら、電子線照射装置１０は、照射エリアＡに対応して複数のフィラメント１１を用い走査コイル１８を省略した態様のエリア型の電子線照射装置であってもよい。

【0057】

・今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

【0058】

上記実施形態及び変更例から把握できる技術的思想について記載する。
（イ）電子線照射装置において、前記報知部は、前記保護カバーが取付状態にあることが前記制御部で検知されているときに、前記保護カバーが取付状態にある旨を報知する。

【0059】

この構成によれば、報知部によって、保護カバーが取付状態であることを作業者に報知可能となる。
（ロ）電子線照射装置において、前記保護カバーは、前記流路の外壁面に着脱可能に取り付けられて前記排出口の全体を覆うものであり、前記流路の外壁面における前記排出口の外周部分と前記保護カバーとの間に、前記排出口を囲み前記外周部分及び前記保護カバーの各々に密着するシール部材を備える。

【0060】

この構成によれば、保護カバーが流路の外壁面に取り付けられると、保護カバーと外壁面との間を冷却ガスが通り抜けることがシール部材によって抑制される。従って、測定部が流路内の圧力を測定する場合には、保護カバーが流路の外壁面に取り付けられてから、流路内の圧力が制御部において保護カバーが取付状態にあることを検知可能な圧力になるまでの時間を、電子線照射装置がシール部材を備えない場合よりも短くできる。また、測定部が流路を通る冷却ガスの流量を測定する場合には、保護カバーが流路の外壁面に取り付けられてから、流路を通る冷却ガスの流量が制御部において保護カバーが取付状態にあることを検知可能な流量になるまでの時間を、電子線照射装置がシール部材を備えない場合よりも短くできる。よって、保護カバーが取り付けられてから、制御部が保護カバーが取付状態にあることを検知するまでに要する時間を短くできる。

【0061】

（ハ）電子線照射装置において、前記保護カバーを前記流路の外壁面に取り付ける取付部材を備え、前記保護カバーが取付状態にあるとき、前記取付部材は、前記流路の外部に位置する。

【0062】

この構成によれば、取付部材が流路の内部に突出しない。そのため、取付部材によって冷却ガスの流れが乱されることを抑制できる。

【符号の説明】

【0063】

１０…電子線照射装置
１１…フィラメント（電子線発生部）
１６…走査管（筐体部）
１９…開口窓部
２０…窓箔
２０ａ…面
２２…制御装置（制御部）
３４…排出口
３５…流路
５０…保護カバー
６１…測定部
６２…報知部
ｅ…電子線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】