特開 2023-135914 基板搬送用の台車

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023135914

(43)【公開日】2023-09-29

(54)【発明の名称】基板搬送用の台車

(51)【国際特許分類】

   B65G 65/02 20060101AFI20230922BHJP

   H01L 21/50 20060101ALI20230922BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20230922BHJP

   B62B 3/04 20060101ALI20230922BHJP

   B62B 5/00 20060101ALI20230922BHJP

【ＦＩ】

B65G65/02

H01L21/50 C

B65G1/00 501C

B62B3/04 A

B62B5/00 F

【審査請求】有

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022041241

(22)【出願日】2022-03-16

【公序良俗違反の表示】

（特許庁注：以下のものは登録商標）

１．ＢＬＵＥＴＯＯＴＨ

(71)【出願人】

【識別番号】522105861

【氏名又は名称】日本徳森精密株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142745

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 世子

(74)【代理人】

【識別番号】100148275

【弁理士】

【氏名又は名称】山内 聡

(72)【発明者】

【氏名】江 傑

【テーマコード（参考）】

3D050

3F022

【Ｆターム（参考）】

3D050AA11

3D050BB02

3D050BB23

3D050DD03

3D050EE08

3D050EE15

3F022EE05

3F022HH05

3F022LL02

3F022LL19

3F022MM03

3F022MM11

(57)【要約】

【課題】基板搬送装置との間でマガジンラックを自動で受け渡しすることのできる基板搬送用の台車を提供する。
【解決手段】台車１０は、複数の基板７１を収容可能なマガジンラック６０を搬送するものであり、ローダ５０などの基板搬送装置との間でマガジンラック６０の受け渡しを行う。台車１０は、キャスター１１と、マガジンラック６０を載置する載置台１２とを備えている。載置台１２は、上下方向に移動可能である。載置台１２は、マガジンラック６０を前後方向に移動させるコンベア１３と、ローダ５０などの外部の装置と接続される接続部１４とを有している。載置台１２が第１の位置にあるとき、コンベア１３は、外部の装置へマガジンラック６０を送り出し、載置台１２が第２の位置にあるとき、コンベア１３は、外部の装置からマガジンラック６０を受け取る。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の基板を収容可能な収容体を搬送する台車であって、
移動用部材と、
前記収容体を載置し、上下方向に移動可能な載置台と
を備え、
前記載置台は、
前記収容体を前記上下方向と直交する前後方向に移動させる搬送部と、
外部の装置と接続される接続部と
を有し、
前記載置台が第１の位置にあるとき、前記搬送部は、前記外部の装置へ前記収容体を送り出し、
前記載置台が第２の位置にあるとき、前記搬送部は、前記外部の装置から前記収容体を受け取る、台車。

【請求項2】

前記外部の装置は、基板供給装置であり、
前記載置台が前記第１の位置にあるとき、前記搬送部は、前記基板供給装置に対して、複数の基板を収容している前記収容体を送り出し、
前記載置台が前記第２の位置にあるとき、前記搬送部は、基板を収容していない前記収容体を前記基板供給装置から受け取る、
請求項１に記載の台車。

【請求項3】

前記外部の装置は、基板収納装置であり、
前記載置台が前記第１の位置にあるとき、前記搬送部は、前記基板収納装置に対して、基板を収容していない前記収容体を送り出し、
前記載置台が前記第２の位置にあるとき、前記搬送部は、複数の基板を収容している前記収容体を前記基板収納装置から受け取る、
請求項１に記載の台車。

【請求項4】

前記載置台は、前記前後方向に複数の収容体を並べて配置可能となっている、
請求項１から３の何れか１項に記載の台車。

【請求項5】

前記搬送部の動作を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記接続部が前記外部の装置と接続されているときに、前記搬送部を動作させる、
請求項１から４の何れか１項に記載の台車。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プリント基板の製造工程、基板実装工程、及び半導体製造工場などにおいて、基板供給装置（ローダ）などへ基板を供給したり、基板収納装置（アンローダ）から基板を回収したりするために用いられる基板搬送用の台車に関する。

【背景技術】

【0002】

電気機器に内蔵されている配線基板などのプリント基板は、例えば、回路パターン形成工程、部品実装工程、洗浄工程、検査工程などの種々の工程を経て製造される。このような各工程が行われるプリント基板の製造工場には、材料となるプリント基板の供給を行う基板供給装置（ローダとも呼ばれる）や、製造されたプリント基板、または半導体基板などを収納して搬送する基板収納装置（アンローダとも呼ばれる）などの基板を搬送するための装置が備えられている。

【0003】

例えば、特許文献１には、回路基板などの基板を搬送するための基板搬送装置が開示されている。この基板搬送装置は、工場の床面などに設置される搬送装置本体２を備え、この搬送装置本体２は、その上流側部に配設される上流側搬送部４と、その下流側に配設される下流側搬送部６から構成されている。上流側搬送部４の上流側には第１装置８が配設され、下流側搬送部６の下流側には第２装置１０が配設され、第１装置８から搬送された基板１２は、この基板搬送装置（上流側搬送部４及び下流側搬送部６）を通して第２装置１０に搬送される。

【0004】

多くのプリント基板の製造工場、および半導体製造工場では、製造に供される基板は、例えば、特許文献１の基板ストック手段７２などのように、複数枚積層された状態で、前工程の装置から後工程の装置へと搬送される。このような複数枚の基板を積層した状態で収納する収容体は、マガジンラックとも呼ばれる（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００８－２３０７４９号公報

【特許文献2】特開２００１－８５４９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

このようなマガジンラックに積層された状態で収納された基板は、基板供給装置（ローダ）から一枚ずつ取り出されて所定の工程を行うための処理装置へ供給される（例えば、特許文献２参照）。また、所定の工程を経た各基板は、処理装置から一枚ずつ取り出されて基板収納装置（アンローダ）へと搬送され、マガジンラック内に積層された状態で収納される。

【0007】

このように、マガジンラックから処理装置への基板の供給、および、処理装置からマガジンラックへの基板の収納は、ローダおよびアンローダを用いて人手を介することなく実施することができる。

【0008】

しかしながら、工場内でのマガジンラックの運搬は、依然として、台車などを用いて人手で行われる場合が多い。すなわち、例えば、保管庫に収納されている原材料の絶縁基板を収納したマガジンラックを台車に載せたり、台車に載置されたマガジンラックをローダおよびアンローダへ供給したりする場面では、依然として人手を介した重労働が必要となる。また、複数の基板が収納されたマガジンラックを人手で運搬すると、運搬時の振動などが原因で基板に傷などが付き、プリント基板、および半導体基板の品質が低下する可能性がある。

【0009】

そこで、本発明では、基板搬送装置との間でマガジンラックを自動で受け渡しすることのできる台車を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一局面にかかる台車は、複数の基板を収容可能な収容体を搬送する。この台車は、移動用部材と、前記収容体を載置し、上下方向に移動可能な載置台とを備えている。前記載置台は、前記収容体を前記上下方向と直交する前後方向に移動させる搬送部と、外部の装置と接続される接続部とを有し、前記載置台が第１の位置にあるとき、前記搬送部は、前記外部の装置へ前記収容体を送り出し、前記載置台が第２の位置にあるとき、前記搬送部は、前記外部の装置から前記収容体を受け取る。

【発明の効果】

【0011】

本発明の一局面にかかる台車によれば、基板搬送装置との間でマガジンラックを自動で受け渡しすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】第１の実施形態にかかる基板供給システムの概略構成を示す模式図である。

【図2】基板を収容したマガジンラックを収納する第１収納棚と、空のマガジンラックを収納する第２収納棚とを示す模式図である。

【図3】図１に示す基板供給システムにおいて台車からローダへラックを送り出す様子を示す模式図である。

【図4】図１に示す基板供給システムにおいて台車がローダからラックを受け取る様子を示す模式図である。

【図5】一実施形態にかかる台車の構成を示すブロック図である。

【図6】基板供給システムおよび基板回収システムにおいて、台車の載置台とローダのマガジンラック送給機構とが接続される前の状態を示す平面模式図である。

【図7】基板供給システムおよび基板回収システムにおいて、台車の載置台とローダのマガジンラック送給機構とが接続された状態を示す平面模式図である。

【図8】基板供給システムにおいて、台車の載置台に２つのマガジンラックが置かれている場合のローダへのマガジンラックの送り出しを説明するための模式図である。

【図9】第２の実施形態にかかる基板回収システムにおいて台車からアンローダへマガジンラックを送り出す様子を示す模式図である。

【図10】図９に示す基板回収システムにおいて台車がアンローダからマガジンラックを受け取る様子を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の各実施形態では、半導体基板の製造工場などにおいて、基板搬送装置（例えば、ローダ、アンローダなど）と基板搬送用の台車との間で基板（具体的には、複数の基板を収容したマガジンラック）の受け渡しを行うことのできるシステムについて説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰り返さない。

【0014】

＜第１の実施形態＞
（基板供給システムの全体構成）
第１の実施形態では、基板供給システム１を例に挙げて説明する。基板供給システム１は、主として、基板搬送用の台車の一例である台車１０と、基板供給装置の一例であるローダ５０とで構成される。

【0015】

まず、基板供給システム１の全体構成について説明する。図１には、本実施形態にかかる基板供給システム１を示す。基板供給システム１は、主な構成要素として、台車１０と、ローダ５０とを含んでいる。

【0016】

台車１０（具体的には、送受信部２３）とローダ５０（具体的には、送受信部５５）との間では、無線での信号の送受信が行われる。ここでの信号の送受信には、例えば、ＮＦＣ、ＲＦＩＤ、Bluetooth、赤外線通信などの近距離無線通信が利用される。なお、別の実施形態では、台車１０とローダ５０との間で行う信号の送受信は、サーバ（例えば、クラウドサーバなど）を介して行ってもよい。

【0017】

台車１０は、複数の基板７１を収容可能なマガジンラック（収容体）６０を搬送する。マガジンラック６０（以下、単にラック６０ともいう）には、複数の基板７１が積み重ねられた状態で収容される。

【0018】

台車１０は、例えば、基板７１を保管している工場内の第１収納棚９１などから取り出されたラック６０を、プリント基板および半導体基板製造設備に備えられているローダ５０にまで搬送する。図２には、ラック６０が保管されている収納棚の一例を示す。第１収納棚９１には、基板７１を収容した状態の複数のラック６０が、縦横に並べて配置されている。第２収納棚９２には、空の状態の複数のラック６０が、縦横に並べて配置されている。

【0019】

各ラック６０には、例えば、バーコード、二次元コードなどの識別コードを表示するコード表示部６１が取り付けられている。外部の端末は、コード表示部６１の内容を読み取ることで、各ラック６０に関する情報（例えば、基板７１を収容しているか否か、収容されている基板７１の種類および枚数、収納棚内のラック６０の配置場所など）を確認することができる。例えば、台車１０およびローダ５０などに設けられているコード読み取り装置によって、各ラック６０に関する情報を取得することができる。コード表示部６１は、例えば、液晶パネル、電子タグなどで形成されており、コード表示部６１に表示される識別コードは、ラック６０の状況に応じて書き換えることができる。

【0020】

ローダ５０は、半導体製造における各工程において基板７１を処理装置へ供給するための装置である。ローダ５０は、ラック６０内に収納されている複数の基板７１を一枚ずつ取り出し、次の工程の処理装置に供給する。

【0021】

図３には、基板供給システム１において台車１０からローダ５０へラック６０を送り出す様子を示す。図４には、基板供給システム１において台車１０がローダ５０からラック６０を受け取る様子を示す。

【0022】

ローダ５０は、例えば、ラック送給機構５１、ラック送出機構５２、送受信部５５などを備えている。ラック送給機構５１は、ローダ５０の上方側に配置されており、ラック送出機構５２は、ローダ５０の下方側に配置されている。なお、別の実施態様では、ラック送給機構５１がローダ５０の下方側に配置されており、ラック送出機構５２がローダ５０の上方側に配置されていてもよい。

【0023】

ラック送給機構５１には、基板７１を収容した状態のラック６０が台車１０の載置台１２から供給される（図３参照）。ラック送出機構５２は、基板７１が取り出された後の空のラック６０を台車１０の載置台１２へ送り出す（図４参照）。ローダ５０において、台車１０との間で行われる動作に関する構成以外については、従来の一般的なローダの構成を適用することができる。

【0024】

（台車の構成）
続いて、台車１０のより具体的な構成について説明する。図５には、台車１０の内部構成を示す。図６および図７には、台車１０の載置台１２の上面、および、ローダ５０のラック送給機構５１の上面を示す。

【0025】

台車１０は、主として、本体部２０と、キャスター（移動用部材）１１と、載置台１２とを備えている。

【0026】

本体部２０は、台車１０の外形の大部分を形成している。本体部２０の外観構成については、ラック６０を搬送するために利用される一般的な台車と同様の構成が適用できる。本体部２０内には、例えば、制御ユニット２１、操作パネル２２、および送受信部２３などが備えられている。

【0027】

キャスター１１は、本体部２０の底面に配置されている。本実施形態の台車１０は、複数個のキャスター１１を有している。各キャスター１１は、車輪を有しており、台車１０を所望の方向に移動させることができる。

【0028】

複数のキャスター１１の少なくとも一つは、電気などによって駆動される駆動部（図示しない）と接続されており、駆動部からの動力によって車輪が回転する。また、駆動部に接続されているキャスター１１は、駆動部からの動力によって向きを変えることができる。駆動部の動作は、制御ユニット２１を介して接続されている操作パネル２２を操作することで制御される。これにより、例えば、作業者が、操作パネル２２を操作することで、台車１０の移動の開始および停止、並びに台車１０の進行方向を決めることができる。またあるいは、制御ユニット２１内のメモリ３２に記憶されているプログラムによってＣＰＵ３１が、自動でキャスター１１を動作させてもよい。

【0029】

なお、別の実施態様では、例えば、リモートコントローラなどの外部の端末を操作することによって、台車１０を移動させてもよい。さらに別の実施態様では、台車１０に、キャスター１１を駆動する駆動部が備えられておらず、人が手押しで移動させるものであってもよい。

【0030】

載置台１２は、ラック６０を載置するための台である。載置台１２上には、少なくとも一つのラック６０が載置される。

【0031】

載置台１２は、本体部２０に対して上下方向（図１の矢印Ａの方向）に移動可能な状態で配置されている。載置台１２は、例えば、コンベア（搬送部）１３、接続部１４、および昇降機構１５などを備えている。

【0032】

コンベア１３は、載置台１２の載置面に沿って配置されている。コンベア１３は、図１の矢印Ａで示す上下方向に直交する載置台１２の前後方向（図１の矢印Ｂの方向）に沿って配置されている。本実施形態では、コンベア１３は、２つのベルト１３ａおよび１３ｂで構成されている。コンベア１３は、制御ユニット２１からの指令に応じて動作を開始したり停止したりする。このようなコンベア１３を有していることで、載置台１２上に配置されたラック６０などの物体は、載置台１２上を前後方向（図１の矢印Ｂの方向）に移動することができる。

【0033】

接続部１４は、載置台１２の前後方向の一端部に配置されている。接続部１４は、ローダ５０のラック送給機構５１側の接続部５６と接続される。接続部１４と接続部５６との接続は、例えば、接続部１４側の凸部が、接続部５６側の凹部に嵌まり込むような方法で行われる。また、別の方法では、磁石などを用いて行うこともできる。なお、接続部１４と接続部５６との接続が実行されると、その旨の情報が、台車１０の制御ユニット２１へ送信される。また、この情報は、各送受信部２３および５５を介して、ローダ５０側へも送信される。

【0034】

接続部１４と接続部５６との接続が行われると、台車１０側のコンベア１３と、ローダ５０のラック送給機構５１側のコンベア５３とがほぼ同一直線上に配置される（図７参照）。この状態で各コンベア１３および５３を動作させると、載置台１２上のラック６０は、ローダ５０のラック送給機構５１の方へ移送される。

【0035】

昇降機構１５は、制御ユニット２１からの指令に応じて、載置台１２を上下方向に移動させる。載置台１２は、昇降機構１５を有していることで、第１の位置（例えば、図３に示す上段の位置）と第２の位置（例えば、図４に示す下段の位置）との間を上下に移動することができる。ここで、第１の位置とは、載置台１２の上面が、ローダ５０のラック送給機構５１の上面とほぼ同じ高さ（すなわち、略面一）になる位置をいう。また、第２の位置とは、載置台１２の上面が、ローダ５０のラック送出機構５２の上面とほぼ同じ高さ（すなわち、略面一）になる位置をいう。

【0036】

なお、昇降機構１５は、台車１０と接続されるローダ５０のラック送給機構５１の高さに応じて、第１の位置の高さを調整可能に構成されていることが好ましい。同様に、昇降機構１５は、台車１０と接続されるローダ５０のラック送出機構５２の高さに応じて、第２の位置の高さを調整可能に構成されていることが好ましい。これにより、種類の異なるローダ５０に対して使用することのできる汎用性の高い台車１０を得ることができる。

【0037】

制御ユニット２１は、本体部２０内に備えられている。制御ユニット２１には、ＣＰＵ３１、メモリ３２、タイマ３３、およびバッテリ３４などが内蔵されている。

【0038】

ＣＰＵ３１は、メモリ３２に記憶されているプログラムを実行することによって、台車１０の各部を制御する。たとえば、ＣＰＵ３１は、操作パネル２２、送受信部２３、および接続部１４などから送信された信号に基づいて、メモリ３２に格納されているプログラムを実行することによって、キャスター１１、コンベア１３、および昇降機構１５などを動作させる。

【0039】

メモリ３２は、各種のＲＡＭ（Random Access Memory）、各種のＲＯＭ（Read-Only Memory）などによって実現される。メモリ３２は、ＣＰＵ３１によって実行されるプログラム、および、送受信部２３から送信された各種データなどを記憶する。

【0040】

バッテリ３４は、動力源（電源）を台車１０内の各部（例えば、キャスター１１、コンベア１３、昇降機構１５、操作パネル２２など）へ供給する。バッテリ３４は、例えば、二次電池で構成されており、電源接続部（図示せず）を介して充電が行われる。

【0041】

操作パネル２２は、例えば、本体部２０の上方側に備えられている。操作パネル２２には、台車１０に対して各種の操作及び設定を行うための操作ボタンが複数設けられている。作業者が操作パネル２２に対して入力を行うと、制御ユニット２１内のＣＰＵ３１に信号が送信される。

【0042】

送受信部２３は、例えば、本体部２０の上方側に備えられている。送受信部２３は、アンテナやコネクタによって実現される。送受信部２３は、無線通信によってローダ５０との間で信号のやり取りをする。

【0043】

（台車とローダとの間でのラックの受け渡しについて）
続いて、台車１０とローダ５０との間でのラック６０の受け渡し動作について説明する。

【0044】

先ず、基板７１を収容したラック６０を台車１０からローダ５０へ送り出すときの動作について、図１、図３、図６、および図７などを参照しながら説明する。図６は、台車１０の載置台１２とローダ５０のラック送給機構５１とが接続される前の状態を示す。図７は、台車１０の載置台１２とローダ５０のラック送給機構５１とが接続された状態を示す。

【0045】

台車１０がローダ５０へラック６０を送り出すときには、台車１０の載置台１２は、第１の位置（すなわち、ラック送給機構５１とほぼ同じ高さ）にある。例えば、図１に示すように、２つのラック６０を載せた台車１０は、ローダ５０のラック送給機構５１の手前に移動する。そして、図６の矢印で示すように、台車１０の載置台１２は、ラック送給機構５１へと接近し、互いの接続部１４および５６の接続が行われる。載置台１２とラック送給機構５１とが接続されると、図７に示すように、台車１０側のコンベア１３と、ローダ側のコンベア５３とがほぼ同一直線上に配置される。

【0046】

載置台１２とラック送給機構５１との接続が完了すると、その旨の情報が、台車１０の制御ユニット２１（具体的には、ＣＰＵ３１）およびローダ５０の制御部（図示せず）へ送信される。ＣＰＵ３１は、この接続完了の情報を受けた後に、コンベア１３の動作を開始させる。同様に、ローダ５０の制御部は、この接続完了の情報を受けた後に、コンベア５３の動作を開始させる。

【0047】

これにより、載置台１２上に置かれたラック６０は、ローダ５０のラック送給機構５１へ移送される（図３参照）。ラック６０がラック送給機構５１へ置かれると、ラック６０内に収容された基板７１は、一枚ずつ取り出されて所定の工程を行うための処理装置へ供給される。

【0048】

収容されたすべての基板７１が取り出されたラック６０は、空の状態となり、ラック送給機構５１の下方に位置するラック送出機構５２へと移動する。空の状態のラック６０は、後述するように、台車１０によって回収される。空の状態のラック６０の回収は、基板７１を収容したラック６０のローダ５０への送り渡し動作が終了した後に、同一の台車１０に対して連続して行ってもよい。またあるいは、基板７１を収容したラック６０のローダ５０への送り渡し動作が終了すると、台車１０は、ローダ５０から離れてもよい。

【0049】

なお、載置台１２上に複数のラック６０が置かれている場合には、一つ目のラック６０をラック送給機構５１に送り出した後に、２つ目のラック６０をラック送給機構５１に送り出す。図８には、台車１０の載置台１２に２つのラック６０が置かれている場合に、載置台１２からラック送給機構５１へラック６０が移動する様子を示す。

【0050】

図８に示す例では、台車１０の載置台１２は、ラック送給機構５１により近い側の前方部１２ａと、ラック送給機構５１から離れた側の後方部１２ｂとで構成されている。載置台１２の前方部１２ａにはコンベア１３が設けられている一方、載置台１２の後方部１２ｂにはコンベア１３は設けられていない。台車１０を用いて２つのラック６０を搬送する際には、一つ目のラック６０は、載置台１２の前方部１２ａ上に置かれ、２つの目のラック６０は、載置台１２の前方部１２ａ上に置かれる。

【0051】

台車１０の載置台１２がローダ５０のラック送給機構５１に接続されると、一つ目のラック６０は、上述した方法で、ラック送給機構５１に送り出される。

【0052】

その後、後方部１２ｂに置かれている２つ目のラック６０が、台車１０に設けられているラック６０の送り出し機構１６によって、前方部１２ａ側へ押し出される。送り出し機構１６は、例えば、２つのアーム１６ａおよび１６ｂを有しており、各アームの間にラック６０を挟み込んだ状態でラック６０を前後方向に移動させることができる。前方部１２ａ側へ移動した２つ目のラック６０は、１つ目のラック６０と同様にしてラック送給機構５１に送り出される。

【0053】

続いて、台車１０が、空の状態のラック６０をローダ５０から受け取るときの動作について、図１、および図４などを参照しながら説明する。空の状態のラック６０の回収は、基板７１を収容したラック６０のローダ５０への送り渡し動作が終了した後に同一の台車１０が連続して行うこともできるし、同一の台車１０がローダ５０から離れた後に、新たに近づく別の台車１０が行うこともできる。

【0054】

台車１０がローダ５０からラック６０を受け取るときには、台車１０の載置台１２は、第２の位置（すなわち、ラック送出機構５２とほぼ同じ高さ）にあり、載置台１２上にはラック６０は載せられていない。この状態の台車１０は、ローダ５０のラック送出機構５２の手前に移動する。そして、台車１０の載置台１２は、ラック送出機構５２へと接近し、接続部１４および５６の接続のときと同様に、互いの接続部の接続が行われる。載置台１２とラック送出機構５２とが接続されると、台車１０側のコンベア１３と、ローダ５０のラック送出機構５２のコンベア（図示せず）とがほぼ同一直線上に配置される。

【0055】

載置台１２とラック送出機構５２との接続が完了すると、その旨の情報が、台車１０の制御ユニット２１（具体的には、ＣＰＵ３１）およびローダ５０の制御部（図示せず）へ送信される。ＣＰＵ３１は、この接続完了の情報を受けた後に、コンベア１３の動作を開始させる。同様に、ローダ５０の制御部は、この接続完了の情報を受けた後に、ラック送出機構５２のコンベアの動作を開始させる。

【0056】

これにより、ラック送出機構５２上に置かれたラック６０は、台車１０の載置台１２へ移送される（図４参照）。台車１０の載置台１２に載せられたラック６０は、例えば、第２収納棚９２へと移動し、第２収納棚９２内の所定の位置に格納される。

【0057】

なお、ラック６０の大きさは、内部に収容される基板７１のサイズに応じて種々に異なっている。そのため、コンベア１３を構成する２つのベルト１３ａおよび１３ｂ間の距離は、ラック６０の大きさに応じて適宜変更される。載置台１２に配置された２つのベルト１３ａおよび１３ｂ間の距離は、変更可能に構成されていてもよい。これにより、台車１０は、種々の大きさのラック６０を搬送し、ローダ５０へ供給することができる。

【0058】

（第１の実施形態のまとめ）
以上のように、本実施形態にかかる基板供給システム１は、台車１０と、基板供給装置の一例であるローダ５０とを備えている。台車１０は、複数の基板７１を収容可能なマガジンラック６０を搬送するものであり、ローダ５０との間でマガジンラック６０の受け渡しを行う。台車１０は、キャスター１１と、マガジンラック６０を載置する載置台１２とを備えている。載置台１２は、上下方向に移動可能である。載置台１２は、マガジンラック６０を前後方向に移動させるコンベア１３と、ローダ５０などの外部の装置と接続される接続部１４とを有している。載置台１２が第１の位置にあるとき、コンベア１３は、外部の装置へマガジンラック６０を送り出し、載置台１２が第２の位置にあるとき、コンベア１３は、外部の装置からマガジンラック６０を受け取る。

【0059】

上記の構成によれば、ローダ５０へのマガジンラック６０の搬送作業を、人手を介することなく自動で行うことができる。特に、自動化の進んでいない小規模の半導体製造工場では、マガジンラックを載せた台車は人手を介して工場内を移動し、ローダなどの基板搬送装置との間のマガジンラックの受け渡し作業も、人力で行われることが多い。本実施形態にかかる基板供給システム１は、このような場面で利用されることで、工場内の重労働の軽減、および、人件費の削減に貢献できる。

【0060】

また、マガジンラックに収容される基板が、プリント配線基板などの場合には、基板表面に半田が形成されている。このようなプリント配線基板を収容したマガジンラックを、人力でローダへ搬送すると、運搬時の振動で半田にクラックが生じる可能性があり、基板の信頼性が損なわれる。

【0061】

そのため、本実施形態にかかる台車１０からローダ５０へ（人手を介することなく）自動でラック６０を送り出すことで、振動の少ない状態でよりスムーズにラック６０を移動させることができる。これにより、搬送される基板７１の信頼性の低下を抑えることができる。

【0062】

＜第２の実施形態＞
続いて、本発明の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態では、基板回収システム１０１を例に挙げて説明する。基板回収システム１０１は、主として、基板搬送用の台車の一例である台車１０と、基板収納装置の一例であるアンローダ１５０とで構成される。

【0063】

（基板回収システムの全体構成）
まず、基板回収システム１０１の全体構成について説明する。図９には、本実施形態にかかる基板回収システム１０１を示す。基板回収システム１０１は、主な構成要素として、台車１０と、アンローダ１５０とを含んでいる。本実施形態にかかる基板回収システム１０１は、ローダ５０の代わりにアンローダ１５０を構成要素としている点が第１の実施形態とは異なっている。以下では、第１の実施形態とは異なる点を中心に説明する。

【0064】

台車１０（具体的には、送受信部２３）とアンローダ１５０（具体的には、送受信部１５５）との間では、無線での信号の送受信が行われる。ここでの信号の送受信の方法については、第１の実施形態と同様の方法が適用できる。

【0065】

台車１０は、例えば、空のラック６０が収納されている第２収納棚９２（図２参照）などから取り出されたラック６０を、半導体製造設備に備えられているアンローダ１５０にまで搬送する。そして、台車１０は、アンローダ１５０から基板７１を収容したラック６０を受け取り、例えば、次工程のローダ５０や第１収納棚９１にまで搬送する。台車１０は、第１の実施形態で説明した台車１０と同様の構成を有している。

【0066】

アンローダ１５０は、半導体製造における各工程において処理装置での処理が施された基板７１を一枚ずつ取り出してラック６０へ収納するための装置である。

【0067】

図９には、基板回収システム１０１において台車１０からアンローダ１５０へラック６０を送り出す様子を示す。図１０には、基板回収システム１０１において台車１０がアンローダ１５０からラック６０を受け取る様子を示す。

【0068】

アンローダ１５０は、例えば、ラック送給機構１５１、ラック送出機構１５２、送受信部１５５などを備えている。ラック送給機構１５１は、アンローダ１５０の下方側に配置されており、ラック送出機構１５２は、アンローダ１５０の上方側に配置されている。なお、別の実施態様では、ラック送給機構１５１がアンローダ１５０の上方側に配置されており、ラック送出機構１５２がアンローダ１５０の下方側に配置されていてもよい。

【0069】

ラック送給機構１５１には、空のラック６０が台車１０の載置台１２から供給される（図９参照）。ラック送出機構１５２は、基板７１が収容された状態のラック６０を台車１０の載置台へ送り出す（図１０参照）。アンローダ１５０において、台車１０との間で行われる動作に関する構成以外については、従来の一般的なアンローダの構成を適用することができる。

【0070】

（台車とアンローダとの間でのラックの受け渡しについて）
続いて、台車１０とアンローダ１５０との間でのラック６０の受け渡し動作について説明する。

【0071】

先ず、空のラック６０を台車１０からアンローダ１５０へ送り出すときの動作について、図９などを参照しながら説明する。

【0072】

台車１０がアンローダ１５０へラック６０を送り出すときには、台車１０の載置台１２は、第１の位置（すなわち、ラック送給機構１５１とほぼ同じ高さ）にある。ここでの第１の位置は、台車１０における下方の位置であり、第１の実施形態における第２の位置に相当する（図８参照）。

【0073】

例えば、図９に示すように、２つのラック６０を載せた台車１０は、アンローダ１５０のラック送給機構１５１の手前に移動する。そして、台車１０の載置台１２は、ラック送給機構１５１へと接近し、互いの接続部１４および５６の接続が行われる（図６参照）。載置台１２とラック送給機構１５１とが接続されると、台車１０側のコンベア１３と、アンローダ側のコンベア５３とがほぼ同一直線上に配置される（図７参照）。

【0074】

載置台１２とラック送給機構１５１との接続が完了すると、その旨の情報が、台車１０の制御ユニット２１（具体的には、ＣＰＵ３１）およびアンローダ１５０の制御部（図示せず）へ送信される。ＣＰＵ３１は、この接続完了の情報を受けた後に、コンベア１３の動作を開始させる。同様に、アンローダ１５０の制御部は、この接続完了の情報を受けた後に、コンベア５３の動作を開始させる。

【0075】

これにより、載置台１２上に置かれたラック６０は、アンローダ１５０のラック送給機構１５１へ移送される（図９参照）。ラック６０は、ラック送給機構１５１へ置かれた後、ラック送給機構１５１の上方に位置するラック送出機構１５２へと移動する。

【0076】

ラック送出機構１５２へ移動したラック６０には、処理装置での処理が終了した基板７１が一枚ずつ収容される。そして、ラック６０内には、複数の基板７１が積層された状態で収納される。基板７１が収容された状態のラック６０は、後述するように、台車１０によって回収される。

【0077】

続いて、台車１０が、基板７１が収容された状態のラック６０をアンローダ１５０から受け取るときの動作について、図１０などを参照しながら説明する。

【0078】

台車１０がアンローダ１５０からラック６０を受け取るときには、台車１０の載置台１２は、第２の位置（すなわち、ラック送出機構１５２とほぼ同じ高さ）にある。ここでの第２の位置は、台車１０における上方の位置であり、第１の実施形態における第１の位置に相当する（図１０参照）。このとき、台車１０の載置台１２上にはラック６０は載せられていない。この状態の台車１０は、ローダ５０のラック送出機構１５２の手前に移動する。そして、台車１０の載置台１２は、ラック送出機構１５２へと接近し、接続部１４および５６の接続のときと同様に、互いの接続部の接続が行われる。載置台１２とラック送出機構１５２とが接続されると、台車１０側のコンベア１３と、アンローダ１５０のラック送出機構１５２のコンベア（図示せず）とがほぼ同一直線上に配置される。

【0079】

載置台１２とラック送出機構１５２との接続が完了すると、その旨の情報が、台車１０の制御ユニット２１（具体的には、ＣＰＵ３１）およびアンローダ１５０の制御部（図示せず）へ送信される。ＣＰＵ３１は、この接続完了の情報を受けた後に、コンベア１３の動作を開始させる。同様に、アンローダ１５０の制御部は、この接続完了の情報を受けた後に、ラック送出機構１５２のコンベアの動作を開始させる。

【0080】

これにより、ラック送出機構１５２上に置かれたラック６０は、台車１０の載置台１２へ移送される（図１０参照）。台車１０の載置台１２に載せられたラック６０は、例えば、次工程のローダ５０や第１収納棚９１にまで搬送される。

【0081】

以上のように、本実施形態にかかる基板回収システム１０１は、台車１０と、基板収納装置の一例であるアンローダ１５０とを備えている。台車１０は、複数の基板７１を収容可能なマガジンラック６０を搬送するものであり、アンローダ１５０との間でマガジンラック６０の受け渡しを行う。台車１０は、キャスター１１と、マガジンラック６０を載置する載置台１２とを備えている。載置台１２は、上下方向の移動可能である。載置台１２は、マガジンラック６０を前後方向に移動させるコンベア１３と、アンローダ１５０などの外部の装置と接続される接続部１４とを有している。載置台１２が第１の位置にあるとき、コンベア１３は、外部の装置へマガジンラック６０を送り出し、載置台１２が第２の位置にあるとき、コンベア１３は、外部の装置からマガジンラック６０を受け取る。

【0082】

上記の構成によれば、アンローダ１５０へのマガジンラック６０の搬送作業を、人手を介することなく自動で行うことができる。特に、自動化の進んでいない小規模のプリント基板製造工場および半導体製造工場では、マガジンラックを載せた台車は人手を介して工場内を移動し、ローダなどの基板搬送装置との間のマガジンラックの受け渡し作業も、人力で行われることが多い。本実施形態にかかる基板回収システム１０１は、このような場面で利用されることで、工場内の重労働の軽減、および、人件費の削減に貢献できる。

【0083】

（まとめ）
本発明の一局面にかかる台車（例えば、台車１０）は、複数の基板（例えば、基板７１）を収容可能な収容体（例えば、マガジンラック６０）を搬送する。この台車は、移動用部材（例えば、キャスター１１）と、前記収容体を載置し、上下方向に移動可能な載置台（例えば、載置台１２）とを備えている。前記載置台は、前記収容体を前記上下方向と直交する前後方向に移動させる搬送部（例えば、コンベア１３）と、外部の装置（例えば、ローダ５０、アンローダ１５０）と接続される接続部（例えば、接続部１４）とを有し、前記載置台が第１の位置（例えば、上方の位置、または下方の位置）にあるとき、前記搬送部は、前記外部の装置へ前記収容体を送り出し、前記載置台が第２の位置（例えば、下方の位置、または上方の位置）にあるとき、前記搬送部は、前記外部の装置から前記収容体を受け取る。

【0084】

上記の本発明の一局面にかかる台車（例えば、台車１０）において、前記外部の装置は、基板供給装置（例えば、ローダ５０）であり、前記載置台（例えば、載置台１２）が前記第１の位置にあるとき、前記搬送部（例えば、コンベア１３）は、前記基板供給装置に対して、複数の基板（例えば、基板７１）を収容している前記収容体（例えば、マガジンラック６０）を送り出し、前記載置台が前記第２の位置にあるとき、前記搬送部は、基板を収容していない前記収容体を前記基板供給装置から受け取ってもよい。

【0085】

上記の本発明の一局面にかかる台車（例えば、台車１０）において、前記外部の装置は、基板収納装置（例えば、アンローダ１５０）であり、前記載置台（例えば、載置台１２）が前記第１の位置にあるとき、前記搬送部（例えば、コンベア１３）は、前記基板収納装置に対して、基板を収容していない前記収容体（例えば、マガジンラック６０）を送り出し、前記載置台が前記第２の位置にあるとき、前記搬送部は、複数の基板（例えば、基板７１）を収容している前記収容体を前記基板収納装置から受け取ってもよい。

【0086】

上記の本発明の一局面にかかる台車（例えば、台車１０）において、前記載置台（例えば、載置台１２）は、前記前後方向に複数の収容体（例えば、マガジンラック６０）を並べて配置可能となっていてもよい。

【0087】

上記の本発明の一局面にかかる台車（例えば、台車１０）は、前記搬送部（例えば、コンベア１３）の動作を制御する制御部（例えば、ＣＰＵ３１）をさらに備えており、前記制御部は、前記接続部（例えば、接続部１４）が前記外部の装置（例えば、ローダ５０、アンローダ１５０）と接続されているときに、前記搬送部を動作させてもよい。

【0088】

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。また、本明細書で説明した異なる実施形態の構成を互いに組み合わせて得られる構成についても、本発明の範疇に含まれる。

【符号の説明】

【0089】

１ ：基板供給システム
１０ ：台車
１１ ：キャスター（移動用部材）
１２ ：載置台
１３ ：コンベア（搬送部）
１４ ：（台車側の）接続部
１５ ：昇降機構
２０ ：（台車の）本体部
２１ ：制御ユニット
２２ ：操作パネル
２３ ：送受信部
３１ ：ＣＰＵ（制御部）
３２ ：メモリ
３３ ：タイマ
３４ ：バッテリ
５０ ：ローダ（基板供給装置）
５１ ：ラック送給機構
５２ ：ラック送出機構
５３ ：コンベア
５５ ：送受信部
５６ ：（ローダ側の）接続部
６０ ：マガジンラック（収容体）
６１ ：コード表示部
７１ ：基板
１０１：基板回収システム
１５０：アンローダ（基板収納装置）
１５１ ：ラック送給機構
１５２ ：ラック送出機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】