特開2023-139436フォトマスク検査装置

発明の名称　フォトマスク検査装置

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 60 位（419件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 68 位（331件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-139436

公報発行日　2023年10月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-139436

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