(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023140474
(43)【公開日】2023-10-05
(54)【発明の名称】試験装置、試験方法、加熱装置及び加熱方法
(51)【国際特許分類】
G01N 27/26 20060101AFI20230928BHJP
G01N 25/00 20060101ALI20230928BHJP
G01N 27/409 20060101ALI20230928BHJP
G01M 15/10 20060101ALN20230928BHJP
【ＦＩ】
G01N27/26 391B
G01N25/00 K
G01N27/409 100
G01M15/10
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022046329
(22)【出願日】2022-03-23
(71)【出願人】
【識別番号】000004064
【氏名又は名称】日本碍子株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100077665
【弁理士】
【氏名又は名称】千葉 剛宏
(74)【代理人】
【識別番号】100116676
【弁理士】
【氏名又は名称】宮寺 利幸
(74)【代理人】
【識別番号】100191134
【弁理士】
【氏名又は名称】千馬 隆之
(74)【代理人】
【識別番号】100136548
【弁理士】
【氏名又は名称】仲宗根 康晴
(74)【代理人】
【識別番号】100136641
【弁理士】
【氏名又は名称】坂井 志郎
(74)【代理人】
【識別番号】100180448
【弁理士】
【氏名又は名称】関口 亨祐
(72)【発明者】
【氏名】三須 直也
(72)【発明者】
【氏名】苅谷 涼
(72)【発明者】
【氏名】高橋 雅弘
【テーマコード（参考）】
2G004
2G040
2G087
【Ｆターム（参考）】
2G004BL18
2G040AB12
2G040BA02
2G040BA23
2G040CA01
2G040DA02
2G040DA12
2G040EA02
2G040EB01
2G040GA05
2G040ZA07
2G087AA15
2G087BB28
2G087CC19
2G087CC23
(57)【要約】 （修正有）
【解決手段】試験装置１０、試験方法、加熱装置４７及び加熱方法では、センサ１２の先端部３０は、第１断熱部材３６の内部空間５０に配置される。センサ１２のうち、先端部３０以外の中間部位５２の外周面は、第２断熱部材４２で覆われている。第２断熱部材４２の外周面には、第２ヒータ４４が設けられる。第１ヒータ３８は、センサ１２の先端部３０を加熱する。第２ヒータ４４の熱は、第２断熱部材４２内に設けた熱伝達部材４６を介して、センサ１２に伝達される。
【効果】センサのうち、先端部以外の部分の温度が周囲環境の影響を受けにくくなる。これにより、実使用時にセンサの内部に発生する温度勾配に近い環境を模擬した状態で、センサに対する試験を行うことができる。
【選択図】図１
【効果】センサのうち、先端部以外の部分の温度が周囲環境の影響を受けにくくなる。これにより、実使用時にセンサの内部に発生する温度勾配に近い環境を模擬した状態で、センサに対する試験を行うことができる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
所定方向に沿って延びるセンサが検出する検出信号の温度による挙動を観察するための試験装置であって、
内部空間を有し、前記内部空間に前記センサの先端部が配置される第１断熱部材と、
前記センサと離間した状態で前記内部空間に設けられた第１ヒータと、
前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を覆い、前記センサを支持する第２断熱部材と、
前記第２断熱部材の外周面に設けられた第２ヒータと、
前記第２断熱部材内に設けられ、前記第２ヒータの熱を前記センサに伝達する熱伝達部材と、
を備える、試験装置。
内部空間を有し、前記内部空間に前記センサの先端部が配置される第１断熱部材と、
前記センサと離間した状態で前記内部空間に設けられた第１ヒータと、
前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を覆い、前記センサを支持する第２断熱部材と、
前記第２断熱部材の外周面に設けられた第２ヒータと、
前記第２断熱部材内に設けられ、前記第２ヒータの熱を前記センサに伝達する熱伝達部材と、
を備える、試験装置。
【請求項2】
請求項１記載の試験装置において、
前記センサの前記先端部、前記第１断熱部材及び前記第１ヒータを収容する第１チャンバをさらに備える、試験装置。
前記センサの前記先端部、前記第１断熱部材及び前記第１ヒータを収容する第１チャンバをさらに備える、試験装置。
【請求項3】
請求項１又は２記載の試験装置において、
前記センサの前記中間部位、前記第２断熱部材及び前記第２ヒータを収容する第２チャンバをさらに備える、試験装置。
前記センサの前記中間部位、前記第２断熱部材及び前記第２ヒータを収容する第２チャンバをさらに備える、試験装置。
【請求項4】
請求項１～３のいずれか１項に記載の試験装置において、
前記第１ヒータと前記第２ヒータとは、互いに異なる加熱温度に設定される、試験装置。
前記第１ヒータと前記第２ヒータとは、互いに異なる加熱温度に設定される、試験装置。
【請求項5】
請求項４記載の試験装置において、
前記第１ヒータの加熱温度は、前記第２ヒータの加熱温度よりも高温である、試験装置。
前記第１ヒータの加熱温度は、前記第２ヒータの加熱温度よりも高温である、試験装置。
【請求項6】
請求項１～５のいずれか１項に記載の試験装置において、
前記熱伝達部材は、銅製の治具である、試験装置。
前記熱伝達部材は、銅製の治具である、試験装置。
【請求項7】
所定方向に沿って延びるセンサが検出する検出信号の温度による挙動を観察するための試験方法であって、
第１断熱部材の内部空間に第１ヒータが設けられている状態で、前記センサの先端部を、前記第１ヒータと離間した状態で前記内部空間に配置し、
前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を第２断熱部材で覆って、前記センサを支持し、
前記第２断熱部材の外周面に第２ヒータを設け、
前記第１ヒータで前記センサの前記先端部を加熱し、
前記第２ヒータの熱を、前記第２断熱部材内に設けた熱伝達部材を介して、前記センサに伝達する、試験方法。
第１断熱部材の内部空間に第１ヒータが設けられている状態で、前記センサの先端部を、前記第１ヒータと離間した状態で前記内部空間に配置し、
前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を第２断熱部材で覆って、前記センサを支持し、
前記第２断熱部材の外周面に第２ヒータを設け、
前記第１ヒータで前記センサの前記先端部を加熱し、
前記第２ヒータの熱を、前記第２断熱部材内に設けた熱伝達部材を介して、前記センサに伝達する、試験方法。
【請求項8】
所定方向に沿って延びるセンサの先端部が配置されるチャンバを備えるセンサ検査装置に取り付け可能な加熱装置であって、
前記センサのうち、前記先端部以外の部分は、前記チャンバから外部に露出し、
前記加熱装置は、
前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を覆い、前記センサを支持する断熱部材と、
前記断熱部材の外周面に設けられたヒータと、
前記断熱部材内に設けられ、前記ヒータの熱を前記センサに伝達する熱伝達部材と、
を備える、加熱装置。
前記センサのうち、前記先端部以外の部分は、前記チャンバから外部に露出し、
前記加熱装置は、
前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を覆い、前記センサを支持する断熱部材と、
前記断熱部材の外周面に設けられたヒータと、
前記断熱部材内に設けられ、前記ヒータの熱を前記センサに伝達する熱伝達部材と、
を備える、加熱装置。
【請求項9】
所定方向に沿って延びるセンサを加熱するための加熱方法であって、
前記センサのうち、先端部以外の部分がセンサ検査装置のチャンバから外部に露出するように、前記先端部を前記チャンバ内に配置し、
前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を断熱部材で覆って、前記センサを支持し、
前記断熱部材の外周面にヒータを設け、
前記ヒータの熱を、前記断熱部材内に設けた熱伝達部材を介して、前記センサに伝達する、加熱方法。
前記センサのうち、先端部以外の部分がセンサ検査装置のチャンバから外部に露出するように、前記先端部を前記チャンバ内に配置し、
前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を断熱部材で覆って、前記センサを支持し、
前記断熱部材の外周面にヒータを設け、
前記ヒータの熱を、前記断熱部材内に設けた熱伝達部材を介して、前記センサに伝達する、加熱方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、試験装置、試験方法、加熱装置及び加熱方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、センサの試験装置が開示されている。
【0003】
センサは、自動車の排気管に取り付けられる。センサは、先端部が排気管の内部に配置されるように、排気管に取り付けられる。排気管には、自動車のエンジンから排出される排気ガス（被測定ガス）が流れる。排気ガスは、比較的高温のガスである。センサは、排気ガスに含まれる所定のガス成分を検出し、その検出結果に応じた検出信号を出力する。
【0004】
試験装置は、排気管の内部の環境を模擬することで、検出信号の温度による挙動を評価する。具体的には、排気管を模擬したチャンバ内にセンサの先端部を配置する。チャンバ内には、高温の排気ガスを模擬した検査用ガスが導入される。検査用ガスは、バーナーによって所定温度に加熱されている。チャンバ内を検査用ガスが流れることにより、センサの先端部が加熱される。センサは、先端部からの熱伝導によって、全体が加熱される。センサは、検出用ガスの成分を検出し、その検出結果に応じた検出信号を出力する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１９－１６８３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
センサが排気管に取り付けられている場合、センサのうち、先端部以外の部分は、排気管の外部に配置されている。センサのうち、先端部以外の部分は、エンジン等から外気を介して伝達される熱によって加熱される。
【0007】
これに対して、特許文献１の試験装置では、センサのうち、先端部以外の部分は、バーナー等の熱源から遠い場所に配置されている。そのため、センサのうち、先端部以外の部分は、熱源からの熱が伝わりにくい。この結果、センサのうち、先端部以外の部分は、周囲環境の影響を受けやすい。
【0008】
本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の第１の態様は、所定方向に沿って延びるセンサが検出する検出信号の温度による挙動を観察するための試験装置であって、前記試験装置は、内部空間を有し、前記内部空間に前記センサの先端部が配置される第１断熱部材と、前記センサと離間した状態で前記内部空間に設けられた第１ヒータと、前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を覆い、前記センサを支持する第２断熱部材と、前記第２断熱部材の外周面に設けられた第２ヒータと、前記第２断熱部材内に設けられ、前記第２ヒータの熱を前記センサに伝達する熱伝達部材と、を備える。
【0010】
本発明の第２の態様は、所定方向に沿って延びるセンサが検出する検出信号の温度による挙動を観察するための試験方法であって、前記試験方法では、第１断熱部材の内部空間に第１ヒータが設けられている状態で、前記センサの先端部を、前記第１ヒータと離間した状態で前記内部空間に配置し、前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を第２断熱部材で覆って、前記センサを支持し、前記第２断熱部材の外周面に第２ヒータを設け、前記第１ヒータで前記センサの前記先端部を加熱し、前記第２ヒータの熱を、前記第２断熱部材内に設けた熱伝達部材を介して、前記センサに伝達する。
【0011】
本発明の第３の態様は、所定方向に沿って延びるセンサの先端部が配置されるチャンバを備えるセンサ検査装置に取り付け可能な加熱装置であって、前記センサのうち、前記先端部以外の部分は、前記チャンバから外部に露出し、前記加熱装置は、前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を覆い、前記センサを支持する断熱部材と、前記断熱部材の外周面に設けられたヒータと、前記断熱部材内に設けられ、前記ヒータの熱を前記センサに伝達する熱伝達部材と、を備える。
【0012】
本発明の第４の態様は、所定方向に沿って延びるセンサを加熱するための加熱方法であって、前記加熱方法では、前記センサのうち、先端部以外の部分がセンサ検査装置のチャンバから外部に露出するように、前記先端部を前記チャンバ内に配置し、前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を断熱部材で覆って、前記センサを支持し、前記断熱部材の外周面にヒータを設け、前記ヒータの熱を、前記断熱部材内に設けた熱伝達部材を介して、前記センサに伝達する。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、センサのうち、先端部以外の部分の温度が周囲環境の影響を受けにくくなる。これにより、実使用時にセンサの内部に発生する温度勾配に近い環境を模擬した状態で、センサに対する試験を行うことができる。
【0014】
また、本発明の第３の態様及び第４の態様では、加熱装置（断熱部材、ヒータ及び熱伝達部材）をセンサ検査装置に外付けすることにより、センサに対して上記の試験を行うことができる。すなわち、既存の設備（モデルガス装置等のセンサ検査装置）を利用して、より少額の設備投資で、上記の試験を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【発明を実施するための形態】
【0016】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の断面図である。試験装置１０は、センサ１２の検出信号の温度による挙動を観察するための装置である。
【0017】
センサ１２は、センサ素子１４と、外筒１６と、固定部１８と、カバー２０と、封止材２２とを有する。
【0018】
センサ素子１４は、長尺な形状を有する。外筒１６は、センサ素子１４を覆う。センサ素子１４は、支持部材（不図示）によって、外筒１６の内側に支持されている。センサ素子１４の先端部（図１の下方向の端部）は、外筒１６の先端部から突出している。センサ素子１４の先端部は、カバー２０で覆われている。カバー２０は、外筒１６の先端部に取り付けられている。センサ素子１４の先端部をカバー２０で覆うことにより、カバー２０内におけるセンサ１２の先端部の周囲に内部空間（不図示）が形成される。カバー２０には、センサ１２の外部とカバー２０の内部空間とを連通させる孔（不図示）が形成されている。
【0019】
外筒１６の基端部（図１の上方向の端部）には、グロメット等の封止材２２が取り付けられている。封止材２２によって、外筒１６の内部が封止される。封止材２２には、リード線２４が貫通している。リード線２４は、センサ素子１４に接続されている。外筒１６の外周面には、固定部１８が取り付けられている。固定部１８は、ナット部２６とボルト部２８とを有する。
【0020】
センサ１２のうち、ボルト部２８からカバー２０までの部分が、センサ１２の先端部３０である。センサ１２のうち、外筒１６の基端部は、センサ１２の基端部３２である。
【0021】
センサ１２は、例えば、車両の排気管（不図示）に取り付けられる。排気管には、ネジ孔が形成されている。ボルト部２８とネジ孔とを螺合させ、ナット部２６を排気管の外周面に接触させることで、センサ１２が排気管に取り付けられる。これにより、センサ１２の先端部３０は、排気管内に配置される。センサ１２のうち、先端部３０以外の部分は、排気管の外部に配置される。
【0022】
エンジンの動作中、エンジンから排気管に比較的高温の排気ガスが排出される。排気ガスは、排気管の内部を流れる。排気ガスは、孔を介してセンサ１２の内部空間に流れる。センサ１２の先端部３０は、排気ガスの熱によって、加熱される。センサ素子１４は、被測定ガスである排気ガスに含まれる所定のガス成分を検出し、その検出結果に応じた検出信号を出力する。検出信号は、センサ素子１４からリード線２４を介して外部に出力される。センサ１２のうち、先端部３０以外の部分は、エンジン等から外気を介して伝わる熱で加熱される。
【0023】
試験装置１０は、排気管に取り付けられたセンサ１２の環境を模擬した状態で、検出信号の温度による挙動を観察する。試験装置１０は、第１チャンバ３４（チャンバ）と、第１断熱部材３６と、第１ヒータ３８と、第２チャンバ４０と、第２断熱部材４２（断熱部材）と、第２ヒータ４４（ヒータ）と、熱伝達部材４６とを備える。なお、図１では、第１チャンバ３４と第２チャンバ４０とが、模式的に図示されている。また、第２チャンバ４０、第２断熱部材４２、第２ヒータ４４及び熱伝達部材４６は、加熱装置４７を構成する。
【0024】
第１チャンバ３４の内部には、第１断熱部材３６及び第１ヒータ３８が配置されている。第１断熱部材３６は、内部空間５０を有する部材である。図１では、第１断熱部材３６が筒状である場合を図示している。従って、第１断熱部材３６の内側が内部空間５０となる。内部空間５０は、排気管の内部を模擬している。第１ヒータ３８は、内部空間５０の下方に配置されている。第１ヒータ３８は、コイルヒータである。
【0025】
センサ１２の先端部３０は、内部空間５０に配置される。具体的には、第１チャンバ３４の上壁４８にネジ孔（不図示）が形成されている。固定部１８のボルト部２８とネジ孔とが螺合し、ナット部２６が第１チャンバ３４の上壁４８に当接することで、センサ１２が第１チャンバ３４の上壁４８に取り付けられる。これにより、センサ１２の先端部３０は、第１チャンバ３４の内部に配置される。この場合、内部空間５０において、センサ１２と第１ヒータ３８とは、互いに離間した状態で配置される。
【0026】
第２チャンバ４０は、排気管の外部を模擬している。第２チャンバ４０は、第１チャンバ３４の上壁４８に配置される。第２ヒータ４４、第２断熱部材４２及び熱伝達部材４６は、第２チャンバ４０の内部に配置される。第２チャンバ４０の内部には、センサ１２のうち、先端部３０以外の部分が配置されている。
【0027】
第２断熱部材４２は、センサ１２のうち、先端部３０と基端部３２との間の中間部位５２の外周面を覆う。具体的には、第２断熱部材４２は、外筒１６及びナット部２６のうち、センサ１２の基端部３２以外の箇所を覆う。第２断熱部材４２は、筒状の部材である。第２断熱部材４２は、センサ１２を支持する。
【0028】
第２ヒータ４４は、第２断熱部材４２の外周面に設けられている。第２ヒータ４４は、筒状のヒータである。
【0029】
熱伝達部材４６は、第２断熱部材４２内に設けられている。熱伝達部材４６は、第２断熱部材４２を貫通して、第２ヒータ４４と外筒１６とを連結する。熱伝達部材４６は、銅製の治具である。
【0030】
次に、試験装置１０によるセンサ１２の試験方法について説明する。
【0031】
先ず、第１チャンバ３４内に第１断熱部材３６及び第１ヒータ３８を配置する。この場合、ネジ孔に対して略同軸となるように第１断熱部材３６を配置する。また、ネジ孔に対して略同軸となるように、内部空間５０に第１ヒータ３８を配置する。
【0032】
次に、センサ１２の先端部３０をネジ孔を介して第１チャンバ３４内に差し込んだ状態で、固定部１８のボルト部２８とネジ孔とを螺合させる。ボルト部２８とネジ孔とが螺合し、固定部１８のナット部２６が第１チャンバ３４の上壁４８に当接することで、センサ１２が第１チャンバ３４の上壁４８に取り付けられる。この結果、センサ１２の先端部３０は、内部空間５０に配置される。
【0033】
次に、センサ１２のうち、第１チャンバ３４から突出する部分（中間部位５２）を囲むように、第１チャンバ３４の上壁４８に第２断熱部材４２を配置する。これにより、熱伝達部材４６と外筒１６とが連結される。
【0034】
次に、第２断熱部材４２の外側に第２ヒータ４４を配置する。これにより、第２ヒータ４４と熱伝達部材４６とが連結される。
【0035】
次に、第１チャンバ３４の上壁４８に第２チャンバ４０を配置する。この場合、センサ１２、第２ヒータ４４、第２断熱部材４２及び熱伝達部材４６を覆うように、第２チャンバ４０を第１チャンバ３４の上壁４８に配置する。このときに、リード線２４は、第２チャンバ４０から外部に引き出される。
【0036】
次に、外部から第１チャンバ３４内に被測定ガスを供給する。次に、第１ヒータ３８及び第２ヒータ４４を駆動させる。このときに、第１ヒータ３８の加熱温度は、第２ヒータ４４の加熱温度よりも高温に設定されている。
【0037】
第１ヒータ３８は、内部空間５０の被測定ガスを加熱する。加熱された被測定ガスは、カバー２０の孔からカバー２０の内部空間に導入される。これにより、センサ１２の先端部３０が加熱される。センサ素子１４は、被測定ガスに含まれる所定のガス成分を検出し、その検出結果に応じた検出信号を出力する。検出信号は、リード線２４を介して外部に出力される。
【0038】
第２ヒータ４４の熱は、熱伝達部材４６を介して、外筒１６に伝達される。外筒１６に熱が伝達されることで、センサ１２のうち、先端部３０以外の部分が加熱される。具体的には、外筒１６及び封止材２２が、外筒１６に伝達される熱で加熱される。第２ヒータ４４と外筒１６との間には、第２断熱部材４２が配置されている。これにより、熱伝達部材４６と外筒１６との連結箇所に、第２ヒータ４４の熱をピンポイントで伝熱することができる。
【0039】
なお、本発明は、上述した実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を取り得る。
【0040】
上記のように、試験装置１０は、実際の車両の状況を模擬している。従って、第１ヒータ３８及び第２ヒータ４４の各々の加熱温度と、熱伝達部材４６の形状とは、センサ１２が搭載される車両の環境に応じて適宜変更可能である。
【0041】
また、図１では、１つのセンサ１２に対する試験について説明した。試験装置１０は、複数のセンサ１２に対して試験を行ってもよい。この場合、複数のセンサ１２は、所定の間隔を隔てて、第１チャンバ３４の上壁４８に固定される。第２チャンバ４０は、複数のセンサ１２を覆うように第１チャンバ３４の上壁４８に配置される。試験装置１０では、センサ１２毎に、第１断熱部材３６、第１ヒータ３８、第２断熱部材４２、第２ヒータ４４及び熱伝達部材４６が配置される。これにより、試験装置１０におけるセンサ１２の取付場所によって、センサ１２の温度にばらつきが発生することを抑制することができる。
【0042】
また、加熱装置４７が試験装置１０に対して取り外し可能であってもよい。これにより、既存のモデルガス装置等のセンサ検査装置に加熱装置４７を外付けすることで、既存の設備を利用して、センサ１２に対する上記の試験を行うことが可能となる。すなわち、加熱装置４７は、独立した装置として使用可能である。なお、センサ検査装置は、例えば、第１チャンバ３４、第１断熱部材３６及び第１ヒータ３８を備えていればよい。
【0043】
具体的には、加熱装置４７が外付けされたセンサ検査装置では、上記の試験方法を一部変更することにより、下記のように、センサ１２に対する試験を行うことができる。なお、下記の説明では、上記の試験方法に共通する内容については、説明を簡略化するか、又は、説明を省略する。
【0044】
先ず、センサ１２のうち、先端部３０以外の部分がセンサ検査装置の第１チャンバ３４から外部に露出するように、先端部３０を第１チャンバ３４内に配置する。次に、センサ１２のうち、第１チャンバ３４から突出する中間部位５２を囲むように、第２断熱部材４２を配置する。次に、第２断熱部材４２の外側に第２ヒータ４４を配置する。次に、センサ１２、第２ヒータ４４、第２断熱部材４２及び熱伝達部材４６を覆うように、第１チャンバ３４の上壁４８に第２チャンバ４０を配置する。
【0045】
次に、センサ検査装置において、センサ１２の先端部３０を加熱する。また、第２ヒータ４４を駆動させることで、第２ヒータ４４の熱を熱伝達部材４６を介して外筒１６に伝達し、センサ１２のうち、先端部３０以外の部分を加熱させる。
【0046】
上記の実施形態から把握し得る発明について、以下に記載する。
【0047】
本発明の第１の態様は、所定方向に沿って延びるセンサ（１２）が検出する検出信号の温度による挙動を観察するための試験装置（１０）であって、前記試験装置は、内部空間（５０）を有し、前記内部空間に前記センサの先端部（３０）が配置される第１断熱部材（３６）と、前記センサと離間した状態で前記内部空間に設けられた第１ヒータ（３８）と、前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位（５２）の外周面を覆い、前記センサを支持する第２断熱部材（４２）と、前記第２断熱部材の外周面に設けられた第２ヒータ（４４）と、前記第２断熱部材内に設けられ、前記第２ヒータの熱を前記センサに伝達する熱伝達部材（４６）と、を備える。
【0048】
本発明によれば、センサの各部が周囲環境の影響を受けにくくなる。これにより、実使用時にセンサの内部に発生する温度勾配に近い環境を模擬した状態で、センサに対する試験を行うことができる。
【0049】
本発明の第１の態様において、前記試験装置は、前記センサの前記先端部、前記第１断熱部材及び前記第１ヒータを収容する第１チャンバ（３４）をさらに備える。
【0050】
これにより、センサの先端部が周囲環境の影響を受けにくくなる。また、センサの先端部の温度調整が容易になる。
【0051】
本発明の第１の態様において、前記試験装置は、前記センサの前記中間部位、前記第２断熱部材及び前記第２ヒータを収容する第２チャンバ（４０）をさらに備える。
【0052】
これにより、センサのうち、先端部以外の部分が周囲環境の影響を受けにくくなる。また、センサのうち、先端部以外の部分の温度調整が容易になる。
【0053】
本発明の第１の態様において、前記第１ヒータと前記第２ヒータとは、互いに異なる加熱温度に設定される。
【0054】
これにより、実使用に近い環境でセンサの試験を行うことができる。すなわち、実使用時にセンサの内部に発生する温度勾配により近い環境を模擬した状態で、センサの試験を行うことができる。
【0055】
本発明の第１の態様において、前記第１ヒータの加熱温度は、前記第２ヒータの加熱温度よりも高温である。
【0056】
これにより、より一層、実使用に近い環境でセンサの試験を行うことができる。すなわち、実使用時にセンサの内部に発生する温度勾配により一層近い環境を模擬した状態で、センサの試験を行うことができる。
【0057】
本発明の第１の態様において、前記熱伝達部材は、銅製の治具である。
【0058】
これにより、第２ヒータからセンサに熱を効率よく伝熱することができる。
【0059】
本発明の第２の態様は、所定方向に沿って延びるセンサが検出する検出信号の温度による挙動を観察するための試験方法であって、前記試験方法は、第１断熱部材の内部空間に第１ヒータが設けられている状態で、前記センサの先端部を、前記第１ヒータと離間した状態で前記内部空間に配置し、前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を第２断熱部材で覆って、前記センサを支持し、前記第２断熱部材の外周面に第２ヒータを設け、前記第１ヒータで前記センサの前記先端部を加熱し、前記第２ヒータの熱を、前記第２断熱部材内に設けた熱伝達部材を介して、前記センサに伝達する。
【0060】
本発明によれば、センサのうち、先端部以外の部分の温度が周囲環境の影響を受けにくくなる。これにより、実使用時にセンサの内部に発生する温度勾配に近い環境を模擬した状態で、センサに対する試験を行うことができる。
【0061】
本発明の第３の態様は、所定方向に沿って延びるセンサの先端部が配置されるチャンバ（３４）を備えるセンサ検査装置に取り付け可能な加熱装置（４７）であって、前記センサのうち、前記先端部以外の部分は、前記チャンバから外部に露出し、前記加熱装置は、前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を覆い、前記センサを支持する断熱部材（４２）と、前記断熱部材の外周面に設けられたヒータ（４４）と、前記断熱部材内に設けられ、前記ヒータの熱を前記センサに伝達する熱伝達部材と、を備える。
【0062】
本発明では、加熱装置（断熱部材、ヒータ及び熱伝達部材）をセンサ検査装置に外付けすることにより、センサに対して上記の試験を行うことができる。すなわち、既存の設備（モデルガス装置等のセンサ検査装置）を利用して、より少額の設備投資で、上記の試験を行うことが可能となる。
【0063】
本発明の第４の態様は、所定方向に沿って延びるセンサを加熱するための加熱方法であって、前記加熱方法では、前記センサのうち、先端部以外の部分がセンサ検査装置のチャンバから外部に露出するように、前記先端部を前記チャンバ内に配置し、前記センサのうち、前記先端部以外の中間部位の外周面を断熱部材で覆って、前記センサを支持し、前記断熱部材の外周面にヒータを設け、前記ヒータの熱を、前記断熱部材内に設けた熱伝達部材を介して、前記センサに伝達する。
【0064】
本発明でも、加熱装置（断熱部材、ヒータ及び熱伝達部材）をセンサ検査装置に外付けすることにより、センサに対して上記の試験を行うことができる。すなわち、既存の設備（モデルガス装置等のセンサ検査装置）を利用して、より少額の設備投資で、上記の試験を行うことが可能となる。
【符号の説明】
【0065】
１０…試験装置
１２…センサ
３０…先端部
３４…第１チャンバ（チャンバ）
３６…第１断熱部材
３８…第１ヒータ
４２…第２断熱部材（断熱部材）
４４…第２ヒータ（ヒータ）
４６…熱伝達部材
４７…加熱装置
５０…内部空間
５２…中間部位
１２…センサ
３０…先端部
３４…第１チャンバ（チャンバ）
３６…第１断熱部材
３８…第１ヒータ
４２…第２断熱部材（断熱部材）
４４…第２ヒータ（ヒータ）
４６…熱伝達部材
４７…加熱装置
５０…内部空間
５２…中間部位
【図1】