特開 2023-140999 試験装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023140999

(43)【公開日】2023-10-05

(54)【発明の名称】試験装置

(51)【国際特許分類】

   G01T 1/17 20060101AFI20230928BHJP

   G01R 31/00 20060101ALI20230928BHJP

【ＦＩ】

G01T1/17 E

G01T1/17 A

G01T1/17 B

G01R31/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022047107

(22)【出願日】2022-03-23

(71)【出願人】

【識別番号】710002462

【氏名又は名称】セイコー・イージーアンドジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100165179

【弁理士】

【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡

(74)【代理人】

【識別番号】100126664

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 慎吾

(74)【代理人】

【識別番号】100161207

【弁理士】

【氏名又は名称】西澤 和純

(72)【発明者】

【氏名】板津 英輔

【テーマコード（参考）】

2G036

2G188

【Ｆターム（参考）】

2G036AA19

2G036BA46

2G036CA10

2G188EE01

2G188EE13

2G188EE14

2G188EE17

2G188EE25

2G188FF01

2G188FF28

(57)【要約】

【課題】入力パルス信号を計数するマルチチャネルアナライザー等の測定器を試験することを図る。
【解決手段】試験装置は、それぞれに異なる周波数でパルス信号を発生する複数のパルス発生器と、複数のパルス発生器のそれぞれに対応して設けられる複数のパルス信号カウンタと、複数のパルス信号カウンタがそれぞれに計数した計数値を集計する計数集計部と、複数のパルス発生器がそれぞれに発生したパルス信号を合成することにより入力パルス信号を生成するパルス合成器と、複数のパルス信号カウンタが行うパルス信号の計数の開始及び終了と、測定器が行うパルス信号の計数の開始及び終了と、を同期させる制御部と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

入力パルス信号を計数する測定器を試験する試験装置において、
それぞれに異なる周波数でパルス信号を発生する複数のパルス発生器と、
前記複数のパルス発生器のそれぞれに対応して設けられる複数のパルス信号カウンタと、
前記複数のパルス信号カウンタがそれぞれに計数した計数値を集計する計数集計部と、
前記複数のパルス発生器がそれぞれに発生したパルス信号を合成することにより前記入力パルス信号を生成するパルス合成器と、
前記複数のパルス信号カウンタが行うパルス信号の計数の開始及び終了と、前記測定器が行うパルス信号の計数の開始及び終了と、を同期させる制御部と、
を備える試験装置。

【請求項2】

前記パルス信号の計数の開始から終了までの実測定時間と前記計数集計部の集計値とから算出される実計数率と、前記測定器の不感時間が補正された補正測定時間と前記測定器の計数値とから算出される測定計数率と、の関係を示すデータを出力する出力部、
をさらに備える請求項１に記載の試験装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試験装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、放射能測定装置において、マルチチャネルアナライザーは、放射線検出器から出力されるパルス信号を対象にして、波高値に応じて設定された複数のチャンネル毎の計数値を算出する。例えば放射線のエネルギーに応じた波高値を有するパルス信号が放射線検出器から出力されると、マルチチャネルアナライザーは、放射線検出器から出力されるパルス信号の波高分布として、エネルギースペクトルを作成する。

【0003】

一般にマルチチャネルアナライザーは、あるパルス信号を検出した後に次のパルス信号を検出することができるようになるまでの不感時間（デッドタイム（dead time））を有する（例えば、非特許文献１参照）。このため、マルチチャネルアナライザーは、測定の際の不感時間を考慮して有効な測定時間（ライブタイム）への補正を行うライブタイム補正機能を有している（例えば、特許文献１参照）。また、ランダムパルス信号の発生装置として例えば非特許文献２に記載されるポアソンパルス列発生装置が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１６－８０５７６号公報

【非特許文献】

【0005】

【非特許文献1】「放射能測定法シリーズ Ｎｏ．７ ゲルマニウム半導体検出器によるγ線スペクトロメトリー」、原子力規制庁監視情報課、令和２年９月

【非特許文献2】小柳孝巳、中嶋新一、山田茂、「ポアソンパルス列発生装置」、計測自動制御学会論文集、第１７巻、第７号、昭和５６年６月

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

マルチチャネルアナライザーの不感時間に関する試験方法として、周期的に発生する周期的パルス信号とランダムに発生するランダムパルス信号とを合成した試験用パルス信号又はランダムパルス信号のみからなる試験用パルス信号をマルチチャネルアナライザーに入力し、実際の測定時間（リアルタイム）に対する、マルチチャネルアナライザーの計数値と、試験用パルス信号の入力数とを比較する方法が考えられる。そして、そのランダムパルス信号を得るための方法として、非特許文献２に記載された方法や実際の放射性同位元素（ＲＩ）を用いる方法がある。しかし、非特許文献２に記載された方法では、発生するパルス信号の間隔には下限が存在し、パルス信号の間隔がゼロにならないので、時間的に重複する複数のパルス信号を発生することができない。また、放射性同位元素を用いる方法は、放射性同位元素から発生したパルス信号の個数を正確に数えることが難しい。

【0007】

本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、入力パルス信号を計数するマルチチャネルアナライザー等の測定器を試験することができる試験装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様は、入力パルス信号を計数する測定器を試験する試験装置において、それぞれに異なる周波数でパルス信号を発生する複数のパルス発生器と、前記複数のパルス発生器のそれぞれに対応して設けられる複数のパルス信号カウンタと、前記複数のパルス信号カウンタがそれぞれに計数した計数値を集計する計数集計部と、前記複数のパルス発生器がそれぞれに発生したパルス信号を合成することにより前記入力パルス信号を生成するパルス合成器と、前記複数のパルス信号カウンタが行うパルス信号の計数の開始及び終了と、前記測定器が行うパルス信号の計数の開始及び終了と、を同期させる制御部と、を備える試験装置である。
本発明の一態様は、上記した試験装置において、前記パルス信号の計数の開始から終了までの実測定時間と前記計数集計部の集計値とから算出される実計数率と、前記測定器の不感時間が補正された補正測定時間と前記測定器の計数値とから算出される測定計数率と、の関係を示すデータを出力する出力部、をさらに備える試験装置である。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、入力パルス信号を計数するマルチチャネルアナライザー等の測定器を試験することができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施の形態に係る試験装置の構成図である。

【図2】本発明の実施の形態に係る試験方法の手順を示すフローチャートである。

【図3】本発明の実施の形態に係る試験結果の例を示すグラフ図である。

【図4】本発明の実施の形態に係る試験装置の変形例１を示す構成図である。

【図5】本発明の実施の形態に係る試験装置の変形例２を示す構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の一実施形態に係る試験装置について添付図面を参照しながら説明する。
本実施の形態による試験装置１は、例えば図１に示すように、複数（ｎ個）のパルス発生器２（２－１，２－２，・・・，２－ｎ、ｎは２以上の整数）と、複数（ｎ個）のパルス発生器２のそれぞれに対応して設けられる複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３（３－１，３－２，・・・，３－ｎ）と、パルス合成器４と、計数集計部５と、制御部６と、出力部７と、入力部８と、を備えて構成されている。

【0012】

試験装置１は、入力パルス信号を計数する測定器を試験するための試験装置である。図１には、入力パルス信号を計数する測定器の一例として、マルチチャネルアナライザー（ＭＣＡ）１００が試験装置１に接続されている。試験装置１は、入力パルス信号Ｂをマルチチャネルアナライザー１００に入力する。マルチチャネルアナライザー１００は、入力パルス信号Ｂを計数し、その計数結果に基づいた測定情報Ｈを出力する。マルチチャネルアナライザー１００は、試験装置１から出力される測定制御信号Ｅに従って、入力パルス信号Ｂの計数の開始及び終了を行う。

【0013】

試験装置１において、パルス発生器２は、周波数ｆでパルス信号Ａを発生する。パルス発生器２が発生したパルス信号Ａは、対応するパルス信号カウンタ３に入力される。例えば、パルス発生器２－１は、周波数ｆ１でパルス信号Ａ－１を発生する。パルス発生器２－１が発生したパルス信号Ａ－１は、パルス信号カウンタ３－１に入力される。例えば、パルス発生器２－２は、周波数ｆ２でパルス信号Ａ－２を発生する。パルス発生器２－２が発生したパルス信号Ａ－２は、パルス信号カウンタ３－２に入力される。例えば、パルス発生器２－ｎは、周波数ｆｎでパルス信号Ａ－ｎを発生する。パルス発生器２－ｎが発生したパルス信号Ａ－ｎは、パルス信号カウンタ３－ｎに入力される。

【0014】

複数（ｎ個）のパルス発生器２－１，２－２，・・・，２－ｎがそれぞれに発生するパルス信号Ａ－１，Ａ－２，・・・，Ａ－ｎの周波数ｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎは、予め設定される。周波数ｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎは、固定であってもよく、試験毎に異なってもよい。例えば、同じマルチチャネルアナライザー１００に対して、周波数ｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎが異なる試験を複数回行ってもよい。
なお、周波数ｆは、単位時間内のパルス信号Ａの個数が一定であり且つパルス信号Ａの間隔がランダム等の任意の間隔であってもよい。

【0015】

パルス信号カウンタ３は、パルス発生器２が発生したパルス信号Ａを計数し、その計数値Ｃを出力する。例えば、パルス信号カウンタ３－１は、パルス発生器２－１が発生したパルス信号Ａ－１を計数し、その計数値Ｃ－１を出力する。例えば、パルス信号カウンタ３－２は、パルス発生器２－２が発生したパルス信号Ａ－２を計数し、その計数値Ｃ－２を出力する。例えば、パルス信号カウンタ３－ｎは、パルス発生器２－ｎが発生したパルス信号Ａ－ｎを計数し、その計数値Ｃ－ｎを出力する。

【0016】

パルス信号カウンタ３は、制御部６から出力される測定制御信号Ｅに従って、パルス信号Ａの計数の開始、終了及びリセットを行う。例えば、パルス信号カウンタ３－１は、測定制御信号Ｅに従って、パルス信号Ａ－１の計数の開始、終了及びリセットを行う。例えば、パルス信号カウンタ３－２は、測定制御信号Ｅに従って、パルス信号Ａ－２の計数の開始、終了及びリセットを行う。例えば、パルス信号カウンタ３－ｎは、測定制御信号Ｅに従って、パルス信号Ａ－ｎの計数の開始、終了及びリセットを行う。

【0017】

計数集計部５は、複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎがそれぞれに計数した計数値Ｃ－１，Ｃ－２，・・・，Ｃ－ｎを集計し、その集計値Ｄを出力する。集計値Ｄは、例えば、計数値Ｃ－１，Ｃ－２，・・・，Ｃ－ｎが合算された結果の合計値である。計数集計部５は、制御部６から出力される出力制御信号Ｇににより初期化が指示されると、集計値Ｄをクリアする。

【0018】

パルス合成器４は、複数（ｎ個）のパルス発生器２－１，２－２，・・・，２－ｎがそれぞれに発生したパルス信号Ａ－１，Ａ－２，・・・，Ａ－ｎを合成することにより入力パルス信号Ｂを生成する。入力パルス信号Ｂは、例えば、パルス信号Ａ－１，Ａ－２，・・・，Ａ－ｎが加え合わされた結果の一つの波形信号である。パルス合成器４が生成した入力パルス信号Ｂは、試験装置１から出力され、マルチチャネルアナライザー１００に入力される。
なお、パルス合成器４は、時間的に重なった２個以上のパルス信号Ａが加え合わされた結果として生成されたパルス信号については削除することにより入力パルス信号Ｂに含めない（マルチチャネルアナライザー１００に入力しない）ようにしてもよい。

【0019】

制御部６は、試験装置１が行う試験の制御を行う。制御部６には、作業者が入力操作する入力部８から指示信号Ｊが入力される。指示信号Ｊは、例えば、試験のスタート又はストップや、実測定時間のプリセットや、試験のクリアなどを指示する信号である。制御部６は、指示信号Ｊに基づいて測定制御信号Ｅを出力する。測定制御信号Ｅは、複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎが行うパルス信号の計数の開始及び終了と、マルチチャネルアナライザー１００が行うパルス信号の計数の開始及び終了と、を同期させるための信号である。複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎとマルチチャネルアナライザー１００とに対して、同じ測定制御信号Ｅが入力される。これにより、複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎとマルチチャネルアナライザー１００とは、測定制御信号Ｅがパルス信号の計数の開始を示すと、パルス信号の計数を開始する。また、複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎとマルチチャネルアナライザー１００とは、測定制御信号Ｅがパルス信号の計数の終了を示すと、パルス信号の計数を終了する。

【0020】

制御部６は、タイマＴＩＭを備える。タイマＴＩＭは、実測定時間を計時する。制御部６は、指示信号Ｊで指定された実測定時間をタイマＴＩＭにセットする。制御部６は、指示信号Ｊにより試験のスタートが指示されると、タイマＴＩＭの計時をスタートさせると同時に、測定制御信号Ｅによりパルス信号の計数の開始を指示する。制御部６は、タイマＴＩＭにより実測定時間の計時が完了すると、測定制御信号Ｅによりパルス信号の計数の終了を指示する。

【0021】

例えば、測定制御信号Ｅは、タイマＴＩＭにより実測定時間の計時が開始されると、各パルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎへの各パルス信号Ａ－１，Ａ－２，・・・，Ａ－ｎの入力ゲートをオープンにする。また、測定制御信号Ｅは、タイマＴＩＭにより実測定時間の計時が完了すると、各パルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎへの各パルス信号Ａ－１，Ａ－２，・・・，Ａ－ｎの入力ゲートをクローズにする。なお、指示信号Ｊによって試験に用いるパルス発生器２（周波数ｆ）が指示された場合、制御部６は、試験に用いるパルス発生器２（周波数ｆ）に対応するパルス信号カウンタ３のみに対して、測定制御信号Ｅによりパルス信号Ａの入力ゲートをオープンにする。

【0022】

また、制御部６は、指示信号Ｊにより試験のストップが指示されると、試験を強制的に終了する。また、制御部６は、指示信号Ｊにより試験のクリアが指示されると、試験装置１のリセットを行う。

【0023】

出力部７は、試験結果を出力する。試験結果は、例えば、計数集計部５から出力される集計値Ｄや、集計値Ｄとマルチチャネルアナライザー１００の測定情報Ｈとに基づいたデータなどである。出力部７は、制御部６から出力される出力制御信号Ｇに従って、試験結果を出力する。制御部６は、出力制御信号Ｇによって、試験開始の際に初期化を出力部７に指示する。これにより、出力部７は、試験結果の初期化（データのクリア等）を行う。制御部６は、出力制御信号Ｇによって、試験終了の際に試験結果の出力を出力部７に指示する。制御部６は、例えば実測定時間の計時が完了した時や試験の強制終了時などに、出力制御信号Ｇによって試験結果の出力を出力部７に指示する。これにより、出力部７は、試験結果を出力する。

【0024】

出力部７は、例えば、実計数率（ＩＣＲ）を算出する。ＩＣＲは、計数集計部５の集計値Ｄを実測定時間（リアルタイム）で除算した結果の商である。出力部７は、計数集計部５の集計値Ｄを実測定時間で除算することによりＩＣＲを算出する。実測定時間は、出力制御信号Ｇによって、制御部６から出力部７へ通知される。

【0025】

出力部７は、例えば、ＩＣＲとＯＣＲとの関係を示すデータを試験結果として出力する。ＯＣＲは、マルチチャネルアナライザー１００が計数した結果である入力パルス信号Ｂの計数値を、マルチチャネルアナライザー１００がライブタイム補正機能により不感時間を補正した補正測定時間（ライブタイム）で除算した結果の商である。マルチチャネルアナライザー１００は、入力パルス信号Ｂの計数結果に基づいたＯＣＲを、測定情報Ｈに含めて出力する。

【0026】

なお、出力部７が以下に示す出力内容を示す情報を出力するように構成してもよい。
（出力内容）
・計数集計部５が出力する集計値Ｄ
・それぞれのパルス信号カウンタ個別の計数値Ｃ－１，Ｃ－２，・・・，Ｃ－ｎ
・タイマＴＩＭが計測している経過時間
・計数集計部５が出力する集計値やパルス信号カウンタ個別の計数値をタイマＴＩＭの経過時間で除した計数率
・それぞれのパルス発生器２－１，２－２，・・・，２－ｎの周波数ｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎ
また、出力部７は、表示装置を備え、出力する情報を表示装置で表示してもよい。

【0027】

なお、パーソナルコンピュータ（図示せず）を試験装置１及びマルチチャネルアナライザー１００に接続し、パーソナルコンピュータによって、計数集計部５の集計値Ｄやマルチチャネルアナライザー１００の測定情報Ｈを収集したり、その収集されたデータを解析したりしてもよい。

【0028】

図２を参照して本実施形態に係る試験装置１の動作を説明する。図２は、本実施形態に係る試験方法の手順を示すフローチャートである。試験装置１において、複数（ｎ個）のパルス発生器２－１，２－２，・・・，２－ｎは、それぞれの周波数ｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎでそれぞれにパルス信号Ａ－１，Ａ－２，・・・，Ａ－ｎを発生している。周波数ｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎは、例えば、入力パルス信号Ｂにおいて複数のパルス信号が短時間内に重畳するように、予め設定される。パルス信号Ａの周波数ｆの決定方法（パルス発生周波数の決定方法）については後述する。

【0029】

（ステップＳ１） 制御部６は、試験の開始の際に、出力制御信号Ｇによって初期化を計数集計部５及び出力部７に指示する。これにより、計数集計部５は集計値Ｄをクリアし、出力部７は試験結果の初期化（データのクリア等）を行う。

【0030】

（ステップＳ２） 制御部６は、測定制御信号Ｅによって、複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎとマルチチャネルアナライザー１００とに対して、パルス信号の計数の開始を指示する。これにより、複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎとマルチチャネルアナライザー１００とが、パルス信号の計数を開始する。

【0031】

（ステップＳ３） 制御部６は、所定の測定時間を計時し、測定時間が終了すると、ステップＳ４に進む。

【0032】

（ステップＳ４） 制御部６は、測定制御信号Ｅによって、複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎとマルチチャネルアナライザー１００とに対して、パルス信号の計数の終了を指示する。これにより、複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎとマルチチャネルアナライザー１００とが、パルス信号の計数を終了する。マルチチャネルアナライザー１００は、入力パルス信号Ｂの計数結果に基づいた測定情報Ｈを出力する。

【0033】

（ステップＳ５） 計数集計部５は、複数（ｎ個）のパルス信号カウンタ３－１，３－２，・・・，３－ｎがそれぞれに計数した計数値Ｃ－１，Ｃ－２，・・・，Ｃ－ｎを集計し、その集計値Ｄを出力する。

【0034】

（ステップＳ６） 制御部６は、出力制御信号Ｇによって試験結果の出力を出力部７に指示する。これにより、出力部７は試験結果を出力する。例えば、出力部７は、計数集計部５の集計値Ｄを出力する。例えば、出力部７は、計数集計部５の集計値Ｄと、マルチチャネルアナライザー１００の測定情報Ｈとに基づいた試験結果を出力する。

【0035】

図３は、本実施形態に係る試験結果の例を示すグラフ図である。図３において、横軸は実計数率（ＩＣＲ）であり、縦軸は測定計数率（ＯＣＲ）である。

【0036】

ＩＣＲは、計数集計部５の集計値Ｄを実測定時間（リアルタイム）で除算した結果の商である。出力部７は、計数集計部５の集計値Ｄを実測定時間で除算することによりＩＣＲを算出する。制御部６は、出力制御信号Ｇによって、ステップＳ３で計時した所定の測定時間を実測定時間として出力部７へ通知する。

【0037】

ＯＣＲは、マルチチャネルアナライザー１００が計数した結果である入力パルス信号Ｂの計数値を、マルチチャネルアナライザー１００がライブタイム補正機能により不感時間を補正した補正測定時間（ライブタイム）で除算した結果の商である。マルチチャネルアナライザー１００は、入力パルス信号Ｂの計数結果に基づいたＯＣＲを、測定情報Ｈに含めて出力する。

【0038】

出力部７は、ＩＣＲとＯＣＲとの関係を示すグラフＷを生成して試験結果として出力する。出力部７は、同じマルチチャネルアナライザー１００に対して行われた周波数ｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎが異なる複数回の試験によって得られたＩＣＲ及びＯＣＲを使用して、ＩＣＲとＯＣＲとの関係を示すグラフＷを生成する。このグラフＷによって、マルチチャネルアナライザー１００のＯＣＲや不感時間やライブタイム補正機能の性能などを評価することができる。

【0039】

［変形例１］
図４は、本実施形態に係る試験装置１の変形例１を示す構成図である。図４において図１の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。図１の試験装置１では制御部６がタイマＴＩＭを備えたが、図４に示される試験装置１ａでは計数集計部５ａがタイマＴＩＭを備える。制御部６ａは、測定制御信号Ｅによってパルス信号の計数の開始を指示する。計数集計部５ａは、測定制御信号Ｅがパルス信号の計数の開始を示すと、タイマＴＩＭの計時をスタートさせる。タイマＴＩＭにセットする実測定時間は、制御部６ａから測定制御信号Ｅによって事前に指示される。計数集計部５ａは、タイマＴＩＭにより実測定時間の計時が完了すると、集計値Ｄを求める。

【0040】

［変形例２］
図５は、本実施形態に係る試験装置１の変形例２を示す構成図である。図５において図１の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。図１の試験装置１では入力部８を備え、入力部８が指示信号Ｊを出力したが、図５に示される試験装置１ｂではマルチチャネルアナライザー１００ｂが指示信号Ｊｂを出力する。指示信号Ｊｂは、指示信号Ｊと同様に、例えば、試験のスタート又はストップや、実測定時間のプリセットや、試験のクリアなどを指示する信号である。マルチチャネルアナライザー１００ｂからの指示信号Ｊｂは、制御部６ｂに入力される。制御部６ｂは、マルチチャネルアナライザー１００ｂからの指示信号Ｊｂに基づいて測定制御信号Ｅを出力する。

【0041】

［パルス発生周波数の決定方法］
複数（ｎ個）のパルス発生器２－１，２－２，・・・，２－ｎは、それぞれの周波数ｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎでそれぞれにパルス信号Ａ－１，Ａ－２，・・・，Ａ－ｎを発生する。周波数ｆ１，ｆ２，・・・，ｆｎの関係は、次式で表される。
ｆ１＝Ｆ、Ｆは定数。
ｆ２＝ｆ１＋δ
ｆ３＝ｆ１＋２δ
ｆ４＝ｆ１＋３δ
ｆｎ＝ｆ１＋（ｎ－１）δ

【0042】

δは次式で表される。
δ＝ｋ×Ｐ×Ｆ（Ｈｚ）
Ｐは、試験が行われる対象の測定器（例えばマルチチャネルアナライザー１００）が認識可能な最も短い「パルス信号の間隔（秒）（連続する２個のパルス信号の間の時間）」（パルスペア分解能）である・
Ｆは、例えば「１００／ｎ」Ｈｚから「５／ｎ」ＭＨｚまでの範囲で任意に決定すればよい。
ｋは、実測定時間に応じて、例えば「１／１００」から１００までの範囲で任意に決定すればよい。例えば、「ｋ＝１」にしてもよい。

【0043】

例えば、「Ｐ＝１μｓ」且つ「Ｆ＝１０００Ｈｚ」である場合において「ｋ＝１」であるときは、「δ＝０．００１Ｈｚ」である。したがって、
ｆ１＝１０００Ｈｚ
ｆ２＝１０００．００１Ｈｚ
ｆ３＝１０００．００２Ｈｚ
ｆ４＝１０００．００３Ｈｚ
ｆｎ＝１０００Ｈｚ＋（ｎ－１）×０．００１Ｈｚ
となる。

【0044】

上述したように本実施形態によれば、入力パルス信号を計数するマルチチャネルアナライザー等の測定器を試験することができる。

【0045】

なお、上述した実施形態では、マルチチャネルアナライザーを試験したが、マルチチャネルアナライザー以外の測定器を試験対象にしてもよい。例えば、粒子測定器や異物検査装置等、多数の事象を電気信号のパルス（パルス信号）として計数する測定器の試験に適用可能である。

【0046】

本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

【符号の説明】

【0047】

１，１ａ，１ｂ…試験装置、２…パルス発生器、３…パルス信号カウンタ、４…パルス合成器、５…計数集計部、６，６ａ，６ｂ…制御部、７…出力部、８…入力部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】