特開 2023-141024 プローブ、プローブ保持装置およびプローブの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023141024

(43)【公開日】2023-10-05

(54)【発明の名称】プローブ、プローブ保持装置およびプローブの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20230928BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022047137

(22)【出願日】2022-03-23

(71)【出願人】

【識別番号】000153018

【氏名又は名称】株式会社日本マイクロニクス

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100095500

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 正和

(74)【代理人】

【識別番号】100070024

【弁理士】

【氏名又は名称】松永 宣行

(72)【発明者】

【氏名】岸 康貴

【テーマコード（参考）】

2G011

【Ｆターム（参考）】

2G011AA10

2G011AB01

2G011AB07

2G011AC14

2G011AE01

2G011AF07

(57)【要約】

【課題】カンチレバー構造を有し、プローブの歪みを検出できるプローブ、プローブ保持装置およびプローブの製造方法を提供する。
【解決手段】プローブは、先端部、アーム部、支持部およびガイド部を有する。先端部は、被検査体に接触する接触部を有する。アーム部は、自由端と固定端を連結する接続アームを有するカンチレバー構造であり、自由端が先端部に接続する。支持部は、固定端に接続する。ガイド部は、接触部から見て被検査体が位置する先端方向に向いたアーム部の設置領域に接続し、設置領域よりも先端方向に突出する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査体の検査に使用するプローブであって、
前記被検査体に接触する接触部を有する先端部と、
自由端と固定端を連結する接続アームを有するカンチレバー構造であり、前記自由端が前記先端部に接続するアーム部と、
前記固定端に接続する支持部と、
前記接触部から見て前記被検査体が位置する先端方向に向いた前記アーム部の設置領域に接続し、前記設置領域よりも前記先端方向に突出するガイド部と
を備えるプローブ。

【請求項2】

前記ガイド部が、前記自由端と前記固定端の中間位置に配置されている、請求項１に記載のプローブ。

【請求項3】

前記先端方向に向いた前記ガイド部の突出面が平面である、請求項１又は２に記載のプローブ。

【請求項4】

前記設置領域が、前記自由端と前記固定端の間を直線的に延伸する、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のプローブ。

【請求項5】

前記アーム部が、相互に離間して前記先端方向に沿って配列された第１接続アームと第２接続アームを有し、
前記第２接続アームよりも前記接触部に近接する前記第１接続アームに前記ガイド部が接続されている、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブ。

【請求項6】

請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプローブを保持するプローブ保持装置であって、
前記先端方向に前記プローブが貫通するスリットを有する第１ガイド板と、
前記先端方向から見て前記第１ガイド板と重なって配置され、前記先端部の少なくとも前記接触部を含む一部が収納される第１収納空間および前記ガイド部が収納される第２収納空間が前記第１ガイド板と対向する主面に形成された第２ガイド板と
を備え、
前記第２ガイド板の前記主面の前記第１収納空間と前記第２収納空間の形成された領域の残余の領域と前記アーム部の前記設置領域とが当接した状態で前記プローブを保持する、プローブ保持装置。

【請求項7】

前記先端部の前記接触部と前記ガイド部を同時に形成する、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプローブの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被検査体の検査に使用するプローブ、プローブ保持装置およびプローブの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

被検査体の検査に、カンチレバー構造のプローブが用いられている。カンチレバー構造のプローブは、被検査体に接触する先端部が接続する自由端とプローブが固定される固定端とを連結するアーム部を有する。例えば、プローブは、固定端をプローブ基板に接続した状態で検査に使用される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７－３０３８３４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

プローブの先端部の位置を認識しながら、プローブがプローブ基板に装着される。このため、プローブのアーム部が歪んでいても、プローブ基板に装着する際にプローブの歪みを検出できない。プローブが歪んだ状態でプローブ基板に装着されると、被検査体の検査において、被検査体の電極パッドの中心にプローブの先端部を正確に接触させることができない。電極パッドの中心から偏ってプローブの先端部が被検査体に接触すると、プローブと被検査体との接触強度が低下したり、プローブと被検査体の電極パッドとの間の電気抵抗が増大したりする。その結果、検査の精度が低下するなどの問題が生じる。

【0005】

本発明は、カンチレバー構造を有し、プローブの歪みを検出できるプローブ、プローブ保持装置およびプローブの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係るプローブは、先端部、アーム部、支持部およびガイド部を備えることを要旨とする。先端部は、被検査体に接触する接触部を有する。アーム部は、自由端と固定端を連結する接続アームを有するカンチレバー構造であり、自由端が先端部に接続する。支持部は、固定端に接続する。ガイド部は、接触部から見て被検査体が位置する先端方向に向いたアーム部の設置領域に接続し、設置領域よりも先端方向に突出する。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、カンチレバー構造を有し、プローブの歪みを検出できるプローブ、プローブ保持装置およびプローブの製造方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。

【図2】図２は、比較例のプローブの構成を示す模式図である。

【図3】図３は、実施形態に係るプローブを検査する方法を説明するための模式図である。

【図4】図４は、実施形態に係るプローブのガイド部の位置を説明するための模式図である。

【図5A】図５Ａは、実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式的な平面図である（その１）。

【図5B】図５Ｂは、実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式的な側面図である（その１）。

【図6A】図６Ａは、実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式的な平面図である（その２）。

【図6B】図６Ｂは、実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式的な側面図である（その２）。

【図7A】図７Ａは、実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式的な平面図である（その３）。

【図7B】図７Ｂは、実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式的な側面図である（その３）。

【図8A】図８Ａは、実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式的な平面図である（その４）。

【図8B】図８Ｂは、実施形態に係るプローブの製造方法を説明するための模式的な側面図である（その４）。

【図9】図９は、実施形態に係るプローブ保持装置の構成を示す模式図である。

【図10A】図１０Ａは、実施形態に係るプローブ保持装置の第１ガイド板の構成を示す模式的な平面図である。

【図10B】図１０Ｂは、実施形態に係るプローブ保持装置の第２ガイド板の構成を示す模式的な平面図である。

【図11A】図１１Ａは、実施形態に係るプローブのガイド部の形状の例を示す模式図である。

【図11B】図１１Ｂは、実施形態に係るプローブのガイド部の形状の他の例を示す模式図である。

【図12A】図１２Ａは、実施形態に係るプローブのガイド部の位置の例を示す模式図である。

【図12B】図１２Ｂは、実施形態に係るプローブのガイド部の位置の他の例を示す模式図である。

【図12C】図１２Ｃは、実施形態に係るプローブのガイド部の位置の更に他の例を示す模式図である。

【図12D】図１２Ｄは、実施形態に係るプローブのガイド部の位置の更に他の例を示す模式図である。

【図13】図１３は、その他の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。

【0010】

図１に示す本発明の実施形態に係るプローブ１は、被検査体の検査に使用される。プローブ１は、先端部１０、カンチレバー構造のアーム部２０、支持部３０およびガイド部４０を備える。先端部１０は、被検査体に接触する接触部１１および接触部１１に連結する連結部１２を有する。先端部１０は、連結部１２においてアーム部２０の自由端２０１に接続する。支持部３０は、アーム部２０の固定端２０２に接続する。支持部３０は、例えばプローブ１が装着されるプローブ基板に固定される。ガイド部４０は、アーム部２０に接続されている。

【0011】

プローブ１を用いた被検査体の検査は、先端部１０の接触部１１が被検査体に当接した状態で行われる。接触部１１の先端が被検査体に当接するように、先端部１０がアーム部２０に接続されている。支持部３０は、例えばプローブ基板を介して、テスタなどの検査装置（図示略）と電気的に接続する。つまり、プローブ１を介して、検査装置と被検査体の間で電気信号が伝搬する。このため、電気信号が伝搬するプローブ１に、金属などの導電性の高い材料を使用してもよい。

【0012】

アーム部２０は、それぞれが自由端２０１と固定端２０２を連結する複数の接続アームを有する。図１に示すアーム部２０は、それぞれが自由端２０１と固定端２０２を連結する第１接続アーム２１１と第２接続アーム２１２を有する。以下において、アーム部２０が有する接続アームのそれぞれを限定しない場合は、接続アーム２１０と表記する。

【0013】

図１に示すように、先端部１０の連結部１２から接触部１１が延伸する方向をＺ方向とする。また、Ｚ方向に垂直な平面をＸＹ平面とする。図１では、Ｚ方向は紙面の上下方向であり、Ｘ方向は紙面の左右方向、Ｙ方向は紙面の奥行方向である。以下において、被検査体の検査において先端部１０の接触部１１から見て被検査体が位置する方向を、「先端方向」とも称する。すなわち、図１の連結部１２から接触部１１が延伸するＺ方向が先端方向である。

【0014】

複数の接続アーム２１０のうち接触部１１に最近接の接続アーム２１０の、先端方向に向いた領域をアーム部２０の設置領域２００と称する。アーム部２０の設置領域２００に、先端方向に突出するガイド部４０が接続する。プローブ１では、アーム部２０は、相互に離間して先端方向に沿って配列された第１接続アーム２１１と第２接続アーム２１２を有する。そして、第２接続アーム２１２よりも接触部１１に近接する第１接続アーム２１１にガイド部４０が接続されている。アーム部２０が複数の接続アーム２１０を有する場合、接触部１１に最近接の接続アーム２１０にガイド部４０が接続される。

【0015】

図１に示すプローブ１の詳細を説明する前に、図２に示す比較例のプローブ（以下、「比較プローブ１Ｍ」と称する。）について説明する。比較プローブ１Ｍは、図１に示すプローブ１と同様に、先端部１０、アーム部２０、支持部３０を有する。図１に示すプローブ１と比較プローブ１Ｍの相違点は、比較プローブ１Ｍはガイド部４０を有さないことである。ガイド部４０を有さない比較プローブ１Ｍを被検査体の検査に使用する場合に、例えば以下のように問題が生じる。

【0016】

被検査体の電極パッドと比較プローブ１Ｍの先端部１０の位置合わせをするために、比較プローブ１Ｍの先端部１０の位置を測定し、先端部１０の位置を基準にして比較プローブ１Ｍをプローブ基板に装着する。そして、比較プローブ１Ｍをプローブ基板に装着した後に先端部１０の位置を測定し、電極パッドの位置からの先端部１０のずれ量を調査し、検査での精度を保障する。しかし、比較プローブ１Ｍの先端部１０の位置しか測定しないため、アーム部２０の歪みを検出できない。

【0017】

プローブ基板に歪んだ状態の比較プローブ１Ｍが装着されていると、比較プローブ１Ｍの先端部１０の接触部１１を、被検査体の電極パッドの中心に正確に接触させることができない。接触部１１が電極パッドの中心に接触していないと、比較プローブ１Ｍと被検査体との接触強度が低下するなどの問題が生じる。その結果、被検査体の検査の精度が低下して、測定値が不正確になったり良品が不良品として判定されたりする。

【0018】

これに対し、図１に示すプローブ１では、先端部１０の接触部１１の位置とガイド部４０の位置をそれぞれ測定することができる。したがって、接触部１１とガイド部４０の相対的な位置関係から、プローブ１全体としてのＸＹＺ座標のずれ量を数値化できる。このため、プローブ１によれば、アーム部２０の歪みを検出できる。

【0019】

なお、Ｚ方向に向いたガイド部４０の突出面４００が、平面であってもよい。ガイド部４０の突出面４００が平面であると、図３に示すように、突出面４００の面法線方向からガイド部４０に光Ｌを照射することにより、突出面４００からの反射光によってプローブ１の状態を検査できる。すなわち、突出面４００から光Ｌが正反射しないプローブ１は、姿勢不良や反り、ねじれが生じている不良プローブである。つまり、ガイド部４０の突出面４００が平面であるプローブ１によれば、光Ｌの反射光を用いて不良プローブを検出することができる。

【0020】

上記のように、ガイド部４０を有するプローブ１について、接触部１１とガイド部４０の相対的な位置関係や突出面４００からの反射光などによって不良プローブを検出できる。被検査体の検査の前に不良プローブを検出して廃棄することにより、検査の精度の低下を抑制できる。また、プローブ基板に装着する前に不良プローブを除外することにより、プローブ基板に装着したプローブ１の交換工程を低減することができる。

【0021】

ガイド部４０は、アーム部２０の任意の位置に配置することができる。例えば、ガイド部４０をアーム部２０の中央付近に配置してよい。すなわち、ガイド部４０を自由端２０１と固定端２０２の中間位置に配置してもよい。ガイド部４０を接続アーム２１０の中央位置に配置するのは、以下の理由による。

【0022】

図４に示すように、被検査体２の検査時に先端部１０の接触部１１が被検査体２と接触すると、アーム部２０がＺ方向に湾曲する。アーム部２０が弾性変形することにより、接触部１１が被検査体２に印加する押圧Ｆが生じる。つまり、アーム部２０は弾力性を有するバネとして機能する。ところが、ガイド部４０を配置した位置ではアーム部２０の弾力性が低下するため、アーム部２０のバネとして機能する部分が短くなる。その結果、アーム部２０に発生する応力が増大する。特に、被検査体２の検査時にはアーム部２０の固定端２０２に近い端部位置Ｐ１で大きな応力が発生するため、ガイド部４０を配置する位置は固定端２０２から離れている方が好ましい。一方、ガイド部４０を自由端２０１に近い位置に配置すると、アーム部２０がＺ方向に湾曲した際に被検査体２にガイド部４０が接触しやすい。

【0023】

これに対し、アーム部２０の中央付近の中央位置Ｐ０は、固定端２０２に近い端部位置Ｐ１よりも発生する応力が小さい。したがって、中央位置Ｐ０にガイド部４０を配置することにより、ガイド部４０に起因する応力への影響を小さくできる。また、自由端２０１から離れた位置に配置したガイド部４０は、被検査体２と接触しにくい。したがって、自由端２０１と固定端２０２の中間位置にガイド部４０を配置することにより、アーム部２０に発生する応力に対するガイド部４０の影響を低減し、かつ、被検査体２とガイド部４０の接触を防止することができる。

【0024】

また、ガイド部４０と先端部１０をある程度離間して配置することにより、ガイド部４０の位置と接触部１１の位置の関係からアーム部２０の歪みや反りなどを検出しやすい。更に、プローブ１をプローブ基板に装着する際に支持部３０をプローブ基板に押し付けるため、ガイド部４０は支持部３０からある程度離間して配置されていることが好ましい。このように、プローブ１をプローブ基板に実装する場合の操作面からも、自由端２０１と固定端２０２の中間位置にガイド部４０を配置することが好ましい。

【0025】

ガイド部４０の高さは、例えば１０μｍ程度である。ここでガイド部４０の「高さ」は、設置領域２００の表面からガイド部４０の突出面４００までのＺ方向の長さである。ガイド部４０の高さが高すぎると、ガイド部４０が被検査体に接触しやすくなる。一方、ガイド部４０の高さが低すぎると、ガイド部４０の位置を測定しにくい。また、ガイド部４０のサイズが大きくなるにつれて検査時にプローブ１に発生する応力が大きくなるため、ガイド部４０のサイズが大きすぎると、所定の押圧でプローブ１の接触部１１を被検査体に接触させることが阻害される。したがって、ガイド部４０の位置が測定しやすく、かつ、被検査体の検査に影響を及ぼさないサイズに設定されたガイド部４０が、接続アーム２１０に接続される。

【0026】

以下に、図５Ａおよび図５Ｂから図８Ａおよび図８Ｂを参照して、プローブ１の製造方法を説明する。なお、以下に述べるプローブ１の製造方法は一例であり、この変形例を含めて、これ以外の種々の製造方法によりプローブ１を製造可能である。図５Ａから図８Ａは、ガイド部４０がアーム部２０から延伸する先端方向（Ｚ方向）からみた平面図である。図５Ｂから図８Ｂは、先端方向（Ｚ方向）およびアーム部２０の延伸方向（Ｘ方向）にそれぞれ垂直な方向（Ｙ方向）からみた側面図である。

【0027】

まず、図５Ａおよび図５Ｂに示すように、基板６０の表面６００に成膜した犠牲層を選択的に除去して、接触部１１およびガイド部４０の位置にそれぞれ対応する位置に犠牲層の接触部領域７１１およびガイド領域７４０を形成する。例えば、フォトリソグラフィ技術を用いた犠牲層のパターニングにより、接触部領域７１１およびガイド領域７４０を形成する。犠牲層は、例えば銅メッキなどにより形成される。

【0028】

次に、図６Ａおよび図６Ｂに示すように、接触部領域７１１の上面および側面に接触部１１を形成し、ガイド領域７４０の上面および側面にガイド部４０を形成する。ガイド部４０は、ガイド領域７４０の上面に形成された領域とガイド領域７４０の側面に形成された領域が連続する。このように、接触部１１とガイド部４０は同時に形成される。接触部１１およびガイド部４０は、例えば基板６０の表面６００に成膜した金属膜をフォトリソグラフィ技術によりパターニングして形成してもよい。接触部１１とガイド部４０の材料は、例えばロジウムなどである。

【0029】

次いで、図７Ａおよび図７Ｂに示すように、接触部１１とガイド部４０を除いたプローブ１の残りの部分（以下、「本体部分１００」と称する。）を形成する。つまり、接触部１１とガイド部４０が、本体部分１００に同時に接続される。接触部１１の接触部領域７１１の側面に形成された部分は、本体部分１００に埋め込まれる。ガイド部４０のガイド領域７４０の側面に形成された領域の少なくとも一部が、本体部分１００に埋め込まれる。本体部分１００の材料は、例えばニッケルなどである。

【0030】

その後、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、犠牲層を除去した後、基板６０からプローブ１を剥離する。以上により、プローブ１が完成する。

【0031】

上記に説明した製造方法によれば、先端部１０の接触部１１とガイド部４０が同一工程で同時に形成される。接触部１１と同時にガイド部４０を形成することにより、先端部１０とガイド部４０の相対的な位置関係の精度を高くできる。プローブ１の製造工程における接触部１１とガイド部４０の位置ずれがないため、例えば先端部１０を観察しなくも精度よくプローブ１の位置を検出することも可能である。

【0032】

プローブ１は、例えば図９に示すプローブ保持装置５０により保持されてもよい。プローブ保持装置５０は、Ｚ方向にプローブ１が貫通するスリット５１１を有する第１ガイド板５１と、Ｚ方向から見て第１ガイド板５１と重なって配置された第２ガイド板５２を有する。第２ガイド板５２の第１ガイド板５１と対向する主面５２０に、先端部１０の少なくとも接触部１１を含む一部が収納される第１収納空間５２１、および、ガイド部４０が収納される第２収納空間５２２が形成されている。スリット５１１は、第１ガイド板５１を板厚方向に貫通する。第１収納空間５２１および第２収納空間５２２は、第２ガイド板５２を板厚方向に貫通する。第１ガイド板５１と第２ガイド板５２が重なった状態で、第１収納空間５２１および第２収納空間５２２は、スリット５１１と連通する。

【0033】

プローブ保持装置５０は、第２ガイド板５２の主面５２０にアーム部２０の設置領域２００が対向した状態でプローブ１を保持する。例えば、第２ガイド板５２の主面５２０の第１収納空間５２１および第２収納空間５２２が形成された領域の残余の領域に、設置領域２００のガイド部４０が配置された領域を除いた領域が当接する。また、プローブ１の支持部３０の一部が第１ガイド板５１の外側に露出してもよい。

【0034】

設置領域２００を有する第１接続アーム２１１は、直線状のストレート形状である。言い換えると、設置領域２００は、自由端２０１と固定端２０２の間を直線的に延伸する。このため、先端部１０が第１収納空間５２１に収納され、ガイド部４０が第２収納空間５２２に収納され、第２ガイド板５２の主面５２０と設置領域２００が当接したプローブ１の安定した姿勢で、プローブ保持装置５０はプローブ１を保持する。例えば、プローブ１をプローブ保持装置５０に保持した状態で、プローブ１の姿勢を安定させて運搬することができる。

【0035】

また、接触部１１と同時にガイド部４０を形成することにより、先端部１０とガイド部４０の相対的な位置関係の精度を高くできる。このため、プローブ１をプローブ保持装置５０に収納する際に、先端部１０を第１収納空間５２１に収納するのと同時に第２ガイド板５２の第２収納空間５２２にガイド部４０を収納することが容易である。

【0036】

複数のプローブ１を保持するプローブ保持装置５０が、第１ガイド板５１と第２ガイド板５２を１枚ずつ有する構成であってもよい。つまり、第１ガイド板５１が複数のスリット５１１を有し、第２ガイド板５２が第１収納空間５２１および第２収納空間５２２を複数有してもよい。先端方向からみた第１ガイド板５１と第２ガイド板５２の平面図を、図１０Ａと図１０Ｂに示す。図１０Ａは、プローブ１の２つ分に相当するスリット５１１が形成された第１ガイド板５１を示す。図１０Ｂは、プローブ１の２つ分に相当する第１収納空間５２１および第２収納空間５２２が形成された第２ガイド板５２を示す。

【0037】

第１ガイド板５１の材料に、例えば樹脂フィルムなどの柔軟性を有するフィルムが好適に使用される。機械的な硬度の低い材料の第１ガイド板５１をプローブ保持装置５０に使用することにより、プローブ１を第１ガイド板５１のスリット５１１に挿入する場合に、プローブ１が第１ガイド板５１に接触して破損することを抑制できる。或いは、第１ガイド板５１の材料に強化プラスチックやセラミックを使用してもよい。

【0038】

第２ガイド板５２の材料に、例えばセラミックなどを使用してもよい。第２ガイド板５２が撓まない程度の機械的強度を有する材料を第２ガイド板５２に使用することにより、プローブ保持装置５０によってプローブ１を安定して保持することができる。例えば、第２ガイド板５２の材料に、第１ガイド板５１の材料よりも硬い材料を使用してもよい。

【0039】

以上に説明したように、実施形態に係るプローブ１は、接触部１１から見て被検査体が位置する先端方向に向いた接続アーム２１０の設置領域２００に接続し、設置領域２００よりも先端方向に突出するガイド部４０を有する。プローブ１によれば、接触部１１の位置とガイド部４０の位置から、プローブ１の歪みを検出できる。また、プローブ保持装置５０によれば、歪みの検出が容易なプローブ１を、安定して保持および運搬することができる。

【0040】

＜変形例＞
上記では、Ｚ方向と接続アーム２１０の延伸するＸ方向にそれぞれ垂直なＹ方向（以下、接続アーム２１０の「幅方向」とも称する。）からみた形状が矩形状であるガイド部４０を示した。しかし、ガイド部４０の形状は、ガイド部４０の位置が測定できる形状であればどのような形状であってもよい。例えば、図１１Ａに示すように、アーム部２０の幅方向からみたガイド部４０の形状が、台形状であってもよい。あるいは、図１１Ｂに示すように、アーム部２０の幅方向からみたガイド部４０の形状が、矩形状の部分の上に台形状の部分を乗せた形状であってもよい。ガイド部４０の設置領域２００に接続する部分よりも突出した部分を小さくすることにより、第２ガイド板５２の第２収納空間５２２にガイド部４０を収納しやすい。

【0041】

また、接続アーム２１０の幅方向において、ガイド部４０の接続アーム２１０に接続する位置を任意に設定可能である。図１２Ａ～図１２Ｄは、ガイド部４０が接続する第１接続アーム２１１の幅方向に沿った、ガイド部４０および第１接続アーム２１１の断面図である。図１２Ａは、第１接続アーム２１１の幅方向の中央付近に配置したガイド部４０の例である。図１２Ｂは、第１接続アーム２１１の幅方向の端部付近に配置したガイド部４０の例である。図１２Ｃは、第１接続アーム２１１との接続部分が第１接続アーム２１１を貫通するガイド部４０の例である。図１２Ｄは、第１接続アーム２１１を貫通した部分が第１接続アーム２１１の設置領域２００に対向する領域を越えているガイド部４０の例である。

【0042】

（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。

【0043】

例えば、上記では接続アーム２１０が直線形状である場合を説明したが、図１３に示すように第２接続アーム２１２が湾曲形状であってもよい。第２接続アーム２１２の湾曲の程度や材料の選択などによりアーム部２０の弾性率を設定して、接触部１１で被検査体に印加する押圧を調整することができる。また、アーム部２０の接続アーム２１０の本数が２本である場合を例示的に説明したが、アーム部２０の有する接続アーム２１０が３本以上であってもよい。

【0044】

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。

【符号の説明】

【0045】

１…プローブ
１０…先端部
１１…接触部
１２…連結部
２０…アーム部
３０…支持部
４０…ガイド部
５０…プローブ保持装置
５１…第１ガイド板
５２…第２ガイド板
２００…設置領域
２０１…自由端
２０２…固定端
２１１…第１接続アーム
２１２…第２接続アーム
４００…突出面
５１１…スリット
５２１…第１収納空間
５２２…第２収納空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7A】

【図7B】

【図8A】

【図8B】

【図9】

【図10A】

【図10B】

【図11A】

【図11B】

【図12A】

【図12B】

【図12C】

【図12D】

【図13】