特開2023-141049圧力式流量制御装置および気化供給装置

発明の名称　圧力式流量制御装置および気化供給装置

出願人　株式会社フジキン　（識別番号 390033857）

　　　　特許公開件数ランキング 1346 位（15件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 873 位（25件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-141049

公報発行日　2023年10月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-141049

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