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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023142505
(43)【公開日】2023-10-05
(54)【発明の名称】圧力制御バルブ
(51)【国際特許分類】
F16K 51/02 20060101AFI20230928BHJP
【ＦＩ】
F16K51/02 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022049454
(22)【出願日】2022-03-25
(71)【出願人】
【識別番号】501417929
【氏名又は名称】株式会社キッツエスシーティー
(74)【代理人】
【識別番号】100081293
【弁理士】
【氏名又は名称】小林 哲男
(72)【発明者】
【氏名】岩渕 俊昭
【テーマコード（参考）】
3H066
【Ｆターム（参考）】
3H066AA01
3H066BA17
(57)【要約】
【課題】真空チャンバーの下方にコンパクトに設けることができ、しかも、真空チャンバー内の処理対象物に対してプロセスガスを用いた均一な処理を施すことができる圧力制御バルブを提供すること。
【解決手段】圧力制御バルブ１は、真空チャンバーＤ１に対して下方から接続する入口側開口１１と、真空ポンプＰに接続する出口側開口１２とを対向配置したボデー１０に内蔵した弁体５０と、前記弁体５０を前記入口側開口１１の中心線Ｃに沿って前記入口側開口１１に対する閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構６０と、を備えた。
【選択図】図４
【解決手段】圧力制御バルブ１は、真空チャンバーＤ１に対して下方から接続する入口側開口１１と、真空ポンプＰに接続する出口側開口１２とを対向配置したボデー１０に内蔵した弁体５０と、前記弁体５０を前記入口側開口１１の中心線Ｃに沿って前記入口側開口１１に対する閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構６０と、を備えた。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
真空チャンバーに対して下方から接続する入口側開口と、真空ポンプに接続する出口側開口とを対向配置したボデーに内蔵した弁体と、
前記弁体を前記入口側開口の中心線に沿って前記入口側開口に対する閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構と、を備えたことを特徴とする圧力制御バルブ。
前記弁体を前記入口側開口の中心線に沿って前記入口側開口に対する閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構と、を備えたことを特徴とする圧力制御バルブ。
【請求項2】
前記弁体駆動機構が、前記ボデーの外部に設けた駆動源と、
前記駆動源に前記ボデーの外部で接続すると共に前記ボデーの内部に回転自在に導入したステム回転軸、及び、前記ステム回転軸と前記弁体とを接続するステム接続部を有して前記駆動源による回転動作を前記弁体の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部と、を有する請求項１に記載の圧力制御バルブ。
前記駆動源に前記ボデーの外部で接続すると共に前記ボデーの内部に回転自在に導入したステム回転軸、及び、前記ステム回転軸と前記弁体とを接続するステム接続部を有して前記駆動源による回転動作を前記弁体の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部と、を有する請求項１に記載の圧力制御バルブ。
【請求項3】
前記弁体駆動機構が、前記ボデーの外部に設けた駆動源と、
前記駆動源に前記ボデーの外部で接続すると共に前記ボデーの内部に傾動自在に導入した傾動ステム、及び、前記傾動ステムと前記弁体とを接続するステム接続部を有して前記駆動源による回転動作を前記弁体の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部と、を有する請求項１に記載の圧力制御バルブ。
前記駆動源に前記ボデーの外部で接続すると共に前記ボデーの内部に傾動自在に導入した傾動ステム、及び、前記傾動ステムと前記弁体とを接続するステム接続部を有して前記駆動源による回転動作を前記弁体の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部と、を有する請求項１に記載の圧力制御バルブ。
【請求項4】
前記動作変換部が、駆動力の供給停止状態で前記弁体を前記閉位置に保持可能とした請求項２又は請求項３に記載の圧力制御バルブ。
【請求項5】
前記真空チャンバーの底面に当接する第一チャンバー当接面を形成した入口側接続フランジと、
前記ボデーの入口側開口側の上端面に着脱自在、かつ、該上端面に取り付けた状態で前記真空チャンバーの底面に当接する第二チャンバー当接面を形成すると共に、前記弁体の外周縁部が当接可能に前記入口側開口の径内方に一部を迫り出した弁体当接面を有するシートリングと、
前記真空チャンバーの底面に対して前記ボデーの上端面を離間自在に前記ボデーの高さ位置を調整するボデー昇降機構と、を備えた請求項１乃至４の何れか１項に記載の圧力制御バルブ。
前記ボデーの入口側開口側の上端面に着脱自在、かつ、該上端面に取り付けた状態で前記真空チャンバーの底面に当接する第二チャンバー当接面を形成すると共に、前記弁体の外周縁部が当接可能に前記入口側開口の径内方に一部を迫り出した弁体当接面を有するシートリングと、
前記真空チャンバーの底面に対して前記ボデーの上端面を離間自在に前記ボデーの高さ位置を調整するボデー昇降機構と、を備えた請求項１乃至４の何れか１項に記載の圧力制御バルブ。
【請求項6】
前記シートリングが、前記第二チャンバー当接面に外部シール材を設け、前記弁体当接面に弁座シール材を設けた請求項１乃至５の何れか１項に記載の圧力制御バルブ。
【請求項7】
前記第二チャンバー当接面が、前記第一チャンバー当接面に比して上側に突出した内側凸の段差形状である請求項１乃至６の何れか１項に記載の圧力制御バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、圧力制御バルブに関し、特に、真空チャンバーの排気系に使用される圧力制御バルブに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、半導体製造装置の真空チャンバーの排気系に使用される圧力制御バルブとして、真空チャンバーの下方に設けるものが知られている。
【0003】
例えば、特許文献１には、流路を備えるハウジングと、このハウジング内に配設され流路の流れを阻止する閉鎖位置と流れを許容する開放位置との間を流路軸に垂直に移動するスライドプレートと、流路を囲み、かつ、閉鎖位置においてスライドプレートと係合し、開放位置においてスライドプレートと離間するシールリングとからなるスライドバルブが記載されている。
このようなスライドバルブは、バルブのボデーが薄型であるため、真空チャンバーの下方に高さ方向の寸法を小さく抑えて設置することができる。
このようなスライドバルブは、バルブのボデーが薄型であるため、真空チャンバーの下方に高さ方向の寸法を小さく抑えて設置することができる。
【0004】
そして、特許文献２には、開口軸を画定するバルブ開口を含み、第一の密閉面を備えた弁座を有し、そして第一の密閉面に対応する第二の密閉面をもつバルブディスクを有し、第二の密閉面は、バルブディスクに接続されており、バルブディスクおよび弁座が互いと相対的に接触しない様式で存在する開放位置から、バルブディスクの第二の密閉面がそれらの間にあるシールによって第一の密閉面に対して押圧される閉鎖位置にバルブディスクを調節可能な真空制御バルブが記載されている。
このような真空制御バルブは、真空チャンバー内のプロセスガスの流れを均一にすることができる。
このような真空制御バルブは、真空チャンバー内のプロセスガスの流れを均一にすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特許第３６５５７１５号公報
【特許文献2】特開２０１７－２２７３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、特許文献１のスライドバルブは、スライドプレートを弁口に対して水平方向にスライド移動させるため、微小開度で使用した際、弁口の開口部分が三日月形状となり、真空チャンバー内のプロセスガスの流れが偏り、結果的に、真空チャンバー内における処理対象物に対してプロセスガスを用いた均一な処理が行えない問題があった。
【0007】
また、特許文献２の真空制御バルブは、バルブディスクがバルブのボデーの外側で昇降移動できるように真空チャンバーとバルブのボデーとを上下方向で接続する接続配管を設ける必要があるため、高さ方向の設置スペースを大きく確保しなければならない問題があった。
【0008】
本発明は、従来の課題を解決するために開発したものであり、その目的とするところは、真空チャンバーの下方にコンパクトに設けることができ、しかも、真空チャンバー内の処理対象物に対してプロセスガスを用いた均一な処理を施すことができる圧力制御バルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、真空チャンバーに対して下方から接続する側の入口側開口と、真空ポンプに接続する出口側開口とを対向配置したボデーに内蔵した弁体と、この弁体を入口側開口の中心線に沿って入口側開口に対する閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構とを備えた圧力制御バルブである。
【0010】
請求項２に係る発明は、弁体駆動機構が、ボデーの外部に設けた駆動源と、駆動源にボデーの外部で接続すると共にボデーの内部に回転自在に導入したステム回転軸、及び、このステム回転軸と弁体とを接続するステム接続部を有して駆動源による回転動作を弁体の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部とを有する圧力制御バルブである。
【0011】
請求項３に係る発明は、弁体駆動機構が、ボデーの外部に設けた駆動源と、駆動源にボデーの外部で接続すると共にボデーの内部に傾動自在に導入した傾動ステム、及び、傾動ステムと弁体とを接続するステム接続部を有して駆動源による回転動作を弁体の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部とを有する圧力制御バルブである。
【0012】
請求項４に係る発明は、動作変換部が、駆動力の供給停止状態で弁体を閉位置に保持可能とした圧力制御バルブである。
【0013】
請求項５に係る発明は、真空チャンバーの底面に当接する第一チャンバー当接面を形成した入口側接続フランジと、ボデーの入口側開口側の上端面に着脱自在、かつ、この上端面に取り付けた状態で真空チャンバーの底面に当接する第二チャンバー当接面を形成すると共に、弁体の外周縁部が当接可能に入口側開口の径内方に一部を迫り出した弁体当接面を有するシートリングと、真空チャンバーの底面に対してボデーの上端面を離間自在にボデーの高さ位置を調整するボデー昇降機構とを備えた圧力制御バルブである。
【0014】
請求項６に係る発明は、シートリングが、第二チャンバー当接面に外部シール材を設け、弁体当接面に弁座シール材を設けた圧力制御バルブである。
【0015】
請求項７に係る発明は、第二チャンバー当接面が、第一チャンバー当接面に比して上側に突出した内側凸の段差形状である。
【発明の効果】
【0016】
請求項１に係る発明によると、真空チャンバーに対して下方から接続する入口側開口と、真空ポンプに接続する出口側開口とを対向配置したボデーに内蔵した弁体と、この弁体を入口側開口の中心線に沿って入口側開口に対する閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構とを備えたことにより、弁体が真空チャンバー内のスペースを有効に利用して設けられると共に、真空チャンバー内のプロセスガスが入口側開口の中心領域を通して排気され、真空チャンバー内におけるプロセスガスが入口側開口に向けた均一な流れを形成して排気されるため、真空チャンバーの下方にコンパクトに設けることができ、しかも、真空チャンバー内の処理対象物に対してプロセスガスを用いた均一な処理を施すことができる。
【0017】
請求項２に係る発明によると、弁体駆動機構が、ボデーの外部に設けた駆動源と、駆動源にボデーの外部で接続すると共にボデーの内部に回転自在に導入したステム回転軸、及び、このステム回転軸と弁体とを接続するステム接続部を有して駆動源による回転動作を弁体の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部とを有することにより、ボデーの外部に設けた駆動源による駆動力がステム回転軸を介してボデーの内部に伝達し、弁体を閉位置および開位置へ移動する動力に変換されるため、ボデーの内部の気密性をステム回転軸周りに設けたОリング等の簡易な構成で確保することができ、結果的に、低コストでボデーの内部の気密性を確保することができる。
【0018】
請求項３に係る発明によると、弁体駆動機構が、ボデーの外部に設けた駆動源と、駆動源にボデーの外部で接続すると共にボデーの内部に傾動自在に導入した傾動ステム、及び、傾動ステムと弁体とを接続するステム接続部を有して駆動源による回転動作を弁体の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部とを有することにより、ボデーの外部に設けた駆動源による駆動力がステム回転軸を介してボデーの内部に伝達し、弁体を閉位置および開位置へ移動する動力に変換されるため、ボデーの内部の気密性を傾動ステム周りに設けたベローズ等の簡易な構成で確保することができ、結果的に、低コストでボデーの内部の気密性を確保することができる。
【0019】
請求項４に係る発明によると、動作変換部が、駆動力の供給停止状態で弁体を閉位置に保持可能としたことにより、弁体駆動機構に対する駆動力の供給停止状態で弁を閉じた状態から開く荷重が作用した場合であっても、弁を閉じた状態が保持され、弁を閉じた状態でのエネルギー消費を抑えることができる。
【0020】
請求項５に係る発明によると、真空チャンバーの底面に当接する第一チャンバー当接面を形成した入口側接続フランジと、ボデーの入口側開口側の上端面に着脱自在、かつ、この上端面に取り付けた状態で、真空チャンバーの底面に当接する第二チャンバー当接面を形成すると共に、弁体の外周縁部が当接可能に入口側開口の径内方に一部を迫り出した弁体当接面を有するシートリングと、真空チャンバーの底面に対してボデーの上端面を離間自在にボデーの高さ位置を調整するボデー昇降機構と、を備えたことにより、真空チャンバーの下方にボデーを固定する場合、真空チャンバーの底面とボデーとの間にシートリングを介在して入口側接続フランジによってボデーを真空チャンバーの底面に固定する。
そして、シートリングあるいは弁体のメンテナンスを実施する場合、ボデー昇降機構を用いて真空チャンバーの底面に対してボデーを離間してシートリングをボデーの入口側開口側の上端面から離脱する。
このため、請求項５に係る発明によると、真空チャンバーの底面に接続配管を介することなくボデーを容易に取り付けることができ、しかも、真空チャンバーに対してボデーの位置を容易に調整でき、結果的に、圧力制御バルブを容易に設置することができ、さらには、真空チャンバーに対してボデーを離間した状態でシートリングおよび弁体のメンテナンスを容易に行うことができる。
そして、シートリングあるいは弁体のメンテナンスを実施する場合、ボデー昇降機構を用いて真空チャンバーの底面に対してボデーを離間してシートリングをボデーの入口側開口側の上端面から離脱する。
このため、請求項５に係る発明によると、真空チャンバーの底面に接続配管を介することなくボデーを容易に取り付けることができ、しかも、真空チャンバーに対してボデーの位置を容易に調整でき、結果的に、圧力制御バルブを容易に設置することができ、さらには、真空チャンバーに対してボデーを離間した状態でシートリングおよび弁体のメンテナンスを容易に行うことができる。
【0021】
請求項６に係る発明によると、シートリングが、第二チャンバー当接面に外部シール材を設け、弁体当接面に弁座シール材を設けたことにより、ボデーが真空チャンバーの底面に対してシートリングの外部シール材を介して固定され、弁体がシートリングの弁座シールを介して入口側開口を閉じるため、シートリングに設けた外部シール材及び弁座シールを介して、真空チャンバーとボデーの接続部分の気密性、及び、弁体を閉位置にした場合の真空チャンバー内の気密性を向上することができる。
【0022】
請求項７に係る発明によると、第二チャンバー当接面が第一チャンバー当接面に比して上側に突出した内側凸の段差形状であることにより、真空チャンバーの底面に第二チャンバー当接面による上側突出部分が篏入する凹部を設けて、真空チャンバーにボデーを取り付けた場合、シートリングが真空チャンバーの凹部に埋設するため、高さ方向の設置寸法をコンパクト化することができ、しかも、真空チャンバーへのボデーの取付部分の気密性を向上することができ、さらには、真空チャンバーにボデーを取り付ける際の位置決めが容易になり真空チャンバーに対するボデーの組付け性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【0023】
【図1】本発明の実施形態１に係る圧力制御バルブの使用態様を示す図である。
【図2】圧力制御バルブの斜視図である。
【図3】圧力制御バルブの上面図である。
【図4】ステム回転軸の軸方向から圧力制御バルブのボデーの内部を視た図である。
【図5】弁閉状態の圧力制御バルブの動作変換部周辺を示す斜視図である。
【図6】弁開状態の圧力制御バルブの動作変換部周辺を示す斜視図である。
【図7】ボデー昇降機構を用いて圧力制御バルブのボデーの高さ位置を調整した状態を示す図である。
【図8】本発明の実施形態２に係る圧力制御バルブの斜視図である。
【図9】圧力制御バルブの動作変換部周辺を示す斜視図である。
【図10】圧力制御バルブの上面図である。
【図11】圧力制御バルブの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0024】
以下、この発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0025】
実施形態１に係る圧力制御バルブ１について図１－図７を用いて詳細に説明する。図１は、圧力制御バルブ１の使用態様を示す図である。図２は、圧力制御バルブ１の斜視図である。図３は、圧力制御バルブ１の上面図である。図４は、ステム回転軸６２ａの軸方向から圧力制御バルブ１のボデー１０の内部を視た図である。図５は、弁閉状態の圧力制御バルブ１の動作変換部６２周辺を示す斜視図である。図６は、弁開状態の圧力制御バルブ１の動作変換部６２周辺を示す斜視図である。図７は、ボデー昇降機構７０を用いて圧力制御バルブ１のボデー１０の高さ位置を調整した状態を示す図である。
なお、図１において、開位置の弁体５０を仮想線で示す。
また、図２－図７において、一部構成を断面及び隠れ線により示す。
なお、図１において、開位置の弁体５０を仮想線で示す。
また、図２－図７において、一部構成を断面及び隠れ線により示す。
【0026】
本発明の実施形態１に係る圧力制御バルブ１は、半導体製造装置Ｄの真空チャンバーＤ１の排気系に使用するものである。
半導体製造装置１００の真空チャンバーＤ１は、図１に示すように、ステージ上に保持したシリコンウエハー等の処理対象物Ｍの表面にプロセスガスを施すものである。
半導体製造装置１００の真空チャンバーＤ１は、図１に示すように、ステージ上に保持したシリコンウエハー等の処理対象物Ｍの表面にプロセスガスを施すものである。
【0027】
圧力制御バルブ１は、プロセスガスの入口となる一端側を真空チャンバーＤ１に接続し、プロセスガスの出口側となる他端側をターボ分子ポンプ等の真空ポンプＰに接続している。
【0028】
この圧力制御バルブ１は、本体を構成するボデー１０と、ボデー１０に一体的に形成した入口側接続フランジ２０及び出口側接続フランジ３０と、ボデー１０に着脱自在に設けたシートリング４０と、ボデー１０に内蔵した弁体５０と、弁体５０を閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構６０と、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に対してボデー１０の上端面１０ａを離間自在にボデー１０の位置を調整するボデー昇降機構７０とを備えている。
【0029】
（ボデー１０について）
ボデー１０は、例えば、アルミニウム製であり、水平断面の外形が略四角形状の切削加工し易い形状になっている。なお、ボデー１０の材質及び形状としては、これに限定せず、その他の材質及び形状を用いても構わない。
ボデー１０は、例えば、アルミニウム製であり、水平断面の外形が略四角形状の切削加工し易い形状になっている。なお、ボデー１０の材質及び形状としては、これに限定せず、その他の材質及び形状を用いても構わない。
【0030】
このボデー１０は、真空チャンバーＤ１に対して下方から接続する入口側開口１１と、真空ポンプＰに接続する出口側開口１２とを対向配置し、プロセスガスの流路として入口側開口１１と出口側開口１２を繋ぐ空間を内部に設けている。
より具体的には、ボデー１０は、上端部に円形状の入口側開口１１を形成し、下端部に円形状の出口側開口１２を形成した周側壁１３を有し、この周側壁１３によって形成した内部空間が真空ポンプＰを介して入口側開口１１から流入して出口側開口１２から流出するプロセスガスの流路になっている。
なお、本実施形態１では、ボデー１０の上端面１０ａに取り付けたシートリング４０によって入口側の開口径が決まる。
本実施形態１では、シートリング４０の開口４０ａと出口側開口１２とが同一径の円形状になっているが、形状及び直径についてはこれに限定せず、他の形状及び直径にしてもよい。
より具体的には、ボデー１０は、上端部に円形状の入口側開口１１を形成し、下端部に円形状の出口側開口１２を形成した周側壁１３を有し、この周側壁１３によって形成した内部空間が真空ポンプＰを介して入口側開口１１から流入して出口側開口１２から流出するプロセスガスの流路になっている。
なお、本実施形態１では、ボデー１０の上端面１０ａに取り付けたシートリング４０によって入口側の開口径が決まる。
本実施形態１では、シートリング４０の開口４０ａと出口側開口１２とが同一径の円形状になっているが、形状及び直径についてはこれに限定せず、他の形状及び直径にしてもよい。
【0031】
（入口側接続フランジ２０について）
入口側接続フランジ２０は、ボデー１０の周側壁１３から水平方向外側に突出するようにボデー１０に一体的に設けている。
この入口側接続フランジ２０は、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に当接する第一チャンバー当接面２１を形成している。
なお、本実施形態１では、入口側接続フランジ２０は、水平断面の外形がボデー１０に対応した略四角形状になっている。
この入口側接続フランジ２０は、ボルト孔２２を形成し、このボルト孔２２にボルトＢＴを通して真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に固定する。
ボルト孔２２は、入口側接続フランジ２０の四隅にそれぞれ設けている。これら４つのボルト孔２２のうち、対角線上の２つのボルト孔２２には、後述のスタッドボルト７１を螺挿し、残りの対角線上の２つのボルト孔２２にはボルトＢＴを螺挿する。
入口側接続フランジ２０は、ボデー１０の周側壁１３から水平方向外側に突出するようにボデー１０に一体的に設けている。
この入口側接続フランジ２０は、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に当接する第一チャンバー当接面２１を形成している。
なお、本実施形態１では、入口側接続フランジ２０は、水平断面の外形がボデー１０に対応した略四角形状になっている。
この入口側接続フランジ２０は、ボルト孔２２を形成し、このボルト孔２２にボルトＢＴを通して真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に固定する。
ボルト孔２２は、入口側接続フランジ２０の四隅にそれぞれ設けている。これら４つのボルト孔２２のうち、対角線上の２つのボルト孔２２には、後述のスタッドボルト７１を螺挿し、残りの対角線上の２つのボルト孔２２にはボルトＢＴを螺挿する。
【0032】
（出口側接続フランジ３０について）
出口側接続フランジ３０は、ボデー１０の周側壁１３よりも水平方向内側に幅を縮めてボデー１０下部に一体的に設けている。
この出口側接続フランジ３０は、ボデー１０の出口側開口１２から下端開口に向けて連通する流路を内部に形成した筒状をなす。
この出口側接続フランジ３０は、下端面が真空ポンプＰに接続する面になっている。
出口側接続フランジ３０は、ボデー１０の周側壁１３よりも水平方向内側に幅を縮めてボデー１０下部に一体的に設けている。
この出口側接続フランジ３０は、ボデー１０の出口側開口１２から下端開口に向けて連通する流路を内部に形成した筒状をなす。
この出口側接続フランジ３０は、下端面が真空ポンプＰに接続する面になっている。
【0033】
（シートリング４０について）
シートリング４０は、ボデー１０の入口側開口１１側の上端面１０ａ（以下、単に「上端面」という。）に着脱自在に設けている。このシートリング４０は、例えば、脱落防止付きボルトＢTを用いて上端面１０ａに固定する。
このシートリング４０は、上端面１０ａに取り付けた状態で真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に当接する第二チャンバー当接面４１を形成すると共に、弁体５０の外周縁部５１ａが当接可能に入口側開口１１の径内方に一部を迫り出した弁体当接面４２を有する。
ここで、図２に示すように、シートリング４０によって形成された第二チャンバー当接面４１が入口側接続フランジ２０によって形成された第一チャンバー当接面２１に比して上側に突出している。
このため、圧力制御バルブ１は、第二チャンバー当接面４１が第一チャンバー当接面２１に比して上側に突出した内側凸の段差形状になっている。
シートリング４０は、ボデー１０の入口側開口１１側の上端面１０ａ（以下、単に「上端面」という。）に着脱自在に設けている。このシートリング４０は、例えば、脱落防止付きボルトＢTを用いて上端面１０ａに固定する。
このシートリング４０は、上端面１０ａに取り付けた状態で真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に当接する第二チャンバー当接面４１を形成すると共に、弁体５０の外周縁部５１ａが当接可能に入口側開口１１の径内方に一部を迫り出した弁体当接面４２を有する。
ここで、図２に示すように、シートリング４０によって形成された第二チャンバー当接面４１が入口側接続フランジ２０によって形成された第一チャンバー当接面２１に比して上側に突出している。
このため、圧力制御バルブ１は、第二チャンバー当接面４１が第一チャンバー当接面２１に比して上側に突出した内側凸の段差形状になっている。
【0034】
また、シートリング４０は、第二チャンバー当接面４１に外部シール材４３を設け、弁体当接面４２に弁座シール材４４を設けている。
【0035】
弁座シール材４４は、シートリング４０の下面側、すなわち、シートリング４０の真空チャンバーＤ１側となる上面に対して反対側に設けてているため、真空チャンバーＤ１からの腐食性ガスや生成物に侵され難いようになっている。
この弁座シール材４４は、腐食性ガスや生成物に侵され難い材質を用いるのがより好ましい。
この弁座シール材４４は、腐食性ガスや生成物に侵され難い材質を用いるのがより好ましい。
【0036】
（弁体５０について）
弁体５０は、シートリング４０に当接して入口側開口１１を閉じる弁本体５１と、弁本体５１に対して着脱自在に設けて動作変換部６２の後述の接続リンク６２ｄに連結する連結部５２とを有する。
弁本体５１は略円盤状をなし、外周縁部５１ａが弁座となるシートリング４０、より具体的には、シートリング４０に設けた弁座シール材４４に当接するようになっている。
弁体５０は、シートリング４０に当接して入口側開口１１を閉じる弁本体５１と、弁本体５１に対して着脱自在に設けて動作変換部６２の後述の接続リンク６２ｄに連結する連結部５２とを有する。
弁本体５１は略円盤状をなし、外周縁部５１ａが弁座となるシートリング４０、より具体的には、シートリング４０に設けた弁座シール材４４に当接するようになっている。
【0037】
連結部５２は、弁本体５１に対して脱落防止機能のあるボルトＢＴ等によって固定し、動作変換部６２の一対の接続リンク６２ｄの一端に連結する一対の連結片５２ａを有する。
各連結片５２ａは、接続リンク６２ｄの一端に設けた一対のベアリングＢの内輪に通したリンクピンＰＮに連結している。
各連結片５２ａは、接続リンク６２ｄの一端に設けた一対のベアリングＢの内輪に通したリンクピンＰＮに連結している。
【0038】
このように弁体５０は、動作変換部６２に連結する連結部５２に対して弁本体５１を着脱自在に設けることによって弁座となるシートリング４０に当接して消耗する弁本体５１をメンテナンス時にボデー１０内部から外部に容易に取り出すことができるようになっている。
【0039】
（弁体駆動機構６０について）
弁体駆動機構６０は、駆動源６１と、駆動源６１による回転動作を弁体５０の閉位置および開位置への移動動作に変換する動作変換部６２とを有する。
弁体駆動機構６０は、駆動源６１と、駆動源６１による回転動作を弁体５０の閉位置および開位置への移動動作に変換する動作変換部６２とを有する。
【0040】
駆動源６１は、例えば、ステッピングモータによって実現し、ボデー１０の外部に設置している。より具体的には、駆動源６１は、ボデー１０の周側壁１３の外面に固定している。
なお、本実施形態１では、駆動源６１としてステッピングモータを用いているが、ステッピングモータに限らず、その他の駆動源を用いても構わない。例えば、サーボモータを用いても良い。
なお、本実施形態１では、駆動源６１としてステッピングモータを用いているが、ステッピングモータに限らず、その他の駆動源を用いても構わない。例えば、サーボモータを用いても良い。
【0041】
動作変換部６２は、駆動源６１にボデー１０の外部で接続すると共にボデー１０の内部に回転自在に導入したステム回転軸６２ａと、ステム回転軸６２ａと弁体５０とを接続するステム接続部６２ｂと、弁体５０の昇降移動をガイドする昇降ガイド６２ｅとを有する。
【0042】
ステム回転軸６２ａは、駆動源６１にボデー１０の外部で接続すると共にボデー１０の内部に回転自在に導入している。
ステム回転軸６２ａは、より具体的には、一端部をボデー１０の外部で駆動源６１の出力軸６１ａに軸心を合致して接続し、他端部をボデー１０の内部に回転自在に導入している。
そして、ボデー１０の周側壁１３には、ステム回転軸６２ａを挿通可能なステム挿通孔１３ａが形成され、このステム挿通孔１３ａを通してステム回転軸６２ａをボデー１０の外部から内部に挿通するようになっている。
ボデー１０の外部から内部に延びるステム回転軸６２ａは、図３に示すように、軸方向沿って複数配置したベアリングＢによって回転自在に支持されている。
ステム回転軸６２ａは、より具体的には、一端部をボデー１０の外部で駆動源６１の出力軸６１ａに軸心を合致して接続し、他端部をボデー１０の内部に回転自在に導入している。
そして、ボデー１０の周側壁１３には、ステム回転軸６２ａを挿通可能なステム挿通孔１３ａが形成され、このステム挿通孔１３ａを通してステム回転軸６２ａをボデー１０の外部から内部に挿通するようになっている。
ボデー１０の外部から内部に延びるステム回転軸６２ａは、図３に示すように、軸方向沿って複数配置したベアリングＢによって回転自在に支持されている。
【0043】
また、ステム挿通孔１３ａの周辺には、ОリングＳ１を設け、このОリングＳ１によってボデー１０の内部と外部との接続部分となるステム挿通孔１３ａ周辺の気密性を確保している。
【0044】
ステム接続部６２ｂは、ステム回転軸６２ａの動力を弁体５０に伝達するようにステム回転軸６２ａと弁体５０との間を繋ぐ円弧動リンク６２ｃ及び接続リンク６２ｄを有する２節リンクを構成している。
【0045】
円弧動リンク６２ｃは、一端がステム回転軸６２ａに接続し、他端が接続リンク６２ｄに接続している。
そして、円弧動リンク６２ｃの接続リンク６２ｄに接続する側の端部は、ベアリングＢを設けて接続リンク６２ｄに回転自在に接続する。
より具体的には、接続リンク６２ｄの円弧動リンク６２ｃに接続する側の端部に一対のベアリングＢを設け、この一対のベアリングＢの内輪に通したリンクピンＰＮに円弧動リンク６２ｃの端部が連結している。
なお、ベアリングＢは、例えば、ＳＵＳ４４０Ｃフライスボールベアリングやウルトラクリーン（登録商標）ベアリングを用いると良い。
そして、円弧動リンク６２ｃの接続リンク６２ｄに接続する側の端部は、ベアリングＢを設けて接続リンク６２ｄに回転自在に接続する。
より具体的には、接続リンク６２ｄの円弧動リンク６２ｃに接続する側の端部に一対のベアリングＢを設け、この一対のベアリングＢの内輪に通したリンクピンＰＮに円弧動リンク６２ｃの端部が連結している。
なお、ベアリングＢは、例えば、ＳＵＳ４４０Ｃフライスボールベアリングやウルトラクリーン（登録商標）ベアリングを用いると良い。
【0046】
そして、接続リンク６２ｄは、弁体５０の連結片５２ａに接続する側の端部についても、一対のベアリングＢを設け、この一対のベアリングＢの内輪に通したリンクピンＰＮに弁体５０の連結片５２ａが連結している。
このため、円弧動リンク６２ｃ及び接続リンク６２ｄによって構成したステム接続部６２ｂは、弁体５０に負荷される荷重を４つのベアリングＢに分散して受けることが可能となり、小型のベアリングを採用することができる。
このようなステム接続部６２ｂは、弁体５０が開位置にある状態では、図６に示すように、円弧動リンク６２ｃと接続リンク６２ｄとがステム回転軸６２ａに巻き付くようにコンパクトに折り畳まれるようになっているため、ボデー１０に内蔵した弁体５０の開位置をステム回転軸６２ａにより近づけた位置に設定することができる。
一方、弁体５０が開位置にある状態では、図５に示すように、円弧動リンク６２ｃと接続リンク６２ｄとを折り畳まれた状態から伸ばしている。
このため、ボデー１０内のステム回転軸６２ａとボデー１０の入口側開口１１との距離を弁体５０の開閉に伴う移動距離に有効に利用することができるようになっている。
つまり、ステム接続部６２ｂは、弁体５０をボデー１０内にコンパクトに収容しつつ、弁体５０の開閉に伴う移動距離を最大限にのばすことができ、結果的に、弁の開度を大きく設定することができるようになっている。
このため、円弧動リンク６２ｃ及び接続リンク６２ｄによって構成したステム接続部６２ｂは、弁体５０に負荷される荷重を４つのベアリングＢに分散して受けることが可能となり、小型のベアリングを採用することができる。
このようなステム接続部６２ｂは、弁体５０が開位置にある状態では、図６に示すように、円弧動リンク６２ｃと接続リンク６２ｄとがステム回転軸６２ａに巻き付くようにコンパクトに折り畳まれるようになっているため、ボデー１０に内蔵した弁体５０の開位置をステム回転軸６２ａにより近づけた位置に設定することができる。
一方、弁体５０が開位置にある状態では、図５に示すように、円弧動リンク６２ｃと接続リンク６２ｄとを折り畳まれた状態から伸ばしている。
このため、ボデー１０内のステム回転軸６２ａとボデー１０の入口側開口１１との距離を弁体５０の開閉に伴う移動距離に有効に利用することができるようになっている。
つまり、ステム接続部６２ｂは、弁体５０をボデー１０内にコンパクトに収容しつつ、弁体５０の開閉に伴う移動距離を最大限にのばすことができ、結果的に、弁の開度を大きく設定することができるようになっている。
【0047】
なお、本実施形態１では、水平方向のスペース、すなわち、ステム回転軸６２ａの軸方向のスペースを有効利用して、ステム接続部６２ｂをステム回転軸６２ａの軸方向に沿った２か所に設けている。
このように、ステム接続部６２ｂをステム回転軸６２ａの軸方向に沿った２か所に設けることによって、弁体５０を通してステム接続部６２ｂに負荷される荷重を各ステム接続部６２ｂに分散して受けることができる。
このように、ステム接続部６２ｂをステム回転軸６２ａの軸方向に沿った２か所に設けることによって、弁体５０を通してステム接続部６２ｂに負荷される荷重を各ステム接続部６２ｂに分散して受けることができる。
【0048】
昇降ガイド６２ｅは、ステム回転軸６２ａからステム接続部６２ｂを介して動力を伝達された弁体５０を入口側開口１１の中心線Ｃ（図４参照）に沿って閉位置と開位置に昇降移動するようにガイドする。
この昇降ガイド６２ｅは、弁体５０、より具体的には、弁体５０の連結部５２に上端部を接続した棒状をなし、伸縮自在にボデー１０内部に固定されている。
そして、昇降ガイド６２ｅは、２本設けている。２本の昇降ガイド６２ｅは、ステム回転軸６２ａに沿って２か所に設けたステム接続部６２ｂの間の位置であって、ステム回転軸６２ａに直交する方向に対向配置している。
なお、昇降ガイド６２ｅは、メンテナンスフリーにするため、グリスレス軸受けを用いるとよい。
この昇降ガイド６２ｅは、弁体５０、より具体的には、弁体５０の連結部５２に上端部を接続した棒状をなし、伸縮自在にボデー１０内部に固定されている。
そして、昇降ガイド６２ｅは、２本設けている。２本の昇降ガイド６２ｅは、ステム回転軸６２ａに沿って２か所に設けたステム接続部６２ｂの間の位置であって、ステム回転軸６２ａに直交する方向に対向配置している。
なお、昇降ガイド６２ｅは、メンテナンスフリーにするため、グリスレス軸受けを用いるとよい。
【0049】
このような弁体駆動機構６０及び弁体５０は、２節のリンクと１つのスライダからなるトグル機構を構成している。
つまり、円弧動リンク６２ｃ及び接続リンク６２ｄがトグル機構の２つのリンクとして機能し、昇降ガイド６２eによってガイドされる弁体５０がトグル機構のスライダとして機能している。
このため、図４に示すように、円弧動リンク６２ｃ及び接続リンク６２ｄの２か所の対偶の回転中心が略一直線上に並んだ状態が保持される。つまり、弁体５０が閉位置の状態が保持されるようになっている。
つまり、円弧動リンク６２ｃ及び接続リンク６２ｄがトグル機構の２つのリンクとして機能し、昇降ガイド６２eによってガイドされる弁体５０がトグル機構のスライダとして機能している。
このため、図４に示すように、円弧動リンク６２ｃ及び接続リンク６２ｄの２か所の対偶の回転中心が略一直線上に並んだ状態が保持される。つまり、弁体５０が閉位置の状態が保持されるようになっている。
【0050】
また、本実施形態では、弁体駆動機構６０の弁体５０周辺、より具体的には、弁体５０が昇降ガイド６２ｅにガイドされて昇降する部分を囲う筒状の整流カバー６３を設け、この整流カバー６３によってステム接続部６２ｂへのプロセスガスの周り込みを抑えるようにしている。
【0051】
（ボデー昇降機構７０について）
ボデー昇降機構７０は、上述の入口側接続フランジ２０と、入口側接続フランジ２０のボルト孔２２に螺挿したスタッドボルト７１と、このスタッドボルト７１に螺合するナット７２とを有する。
スタッドボルト７１は、入口側接続フランジ２０のボルト孔２２に螺挿してボルト孔２２から入口側接続フランジ２０の上方に挿出した部分を真空チャンバーＤ１の底面のボルト孔に螺合するようになっている。
なお、圧力制御バルブ１は、出口側接続フランジ３０をボデー１０の周側壁１３よりも水平方向内側に幅を縮めてボデー１０下部に一体的に設けているので、出口側接続フランジ３０が入口側接続フランジ２０に螺挿したスタッドボルト７１に対して干渉しない構造になっている。
ボデー昇降機構７０は、上述の入口側接続フランジ２０と、入口側接続フランジ２０のボルト孔２２に螺挿したスタッドボルト７１と、このスタッドボルト７１に螺合するナット７２とを有する。
スタッドボルト７１は、入口側接続フランジ２０のボルト孔２２に螺挿してボルト孔２２から入口側接続フランジ２０の上方に挿出した部分を真空チャンバーＤ１の底面のボルト孔に螺合するようになっている。
なお、圧力制御バルブ１は、出口側接続フランジ３０をボデー１０の周側壁１３よりも水平方向内側に幅を縮めてボデー１０下部に一体的に設けているので、出口側接続フランジ３０が入口側接続フランジ２０に螺挿したスタッドボルト７１に対して干渉しない構造になっている。
【0052】
ナット７２は、入口側接続フランジ２０の下方位置からスタッドボルト７１に螺合する。
このため、ナット７２を締めた場合には、ボデー１０がスタッドボルト７１に沿って上昇し、入口側接続フランジ２０の上端面が真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に当接することによってボデー１０が真空チャンバーＤ１に固定されるようになっている。
一方、ナット７２を緩めた場合には、ボデー１０がスタッドボルト７１に沿って下降し、ボデー１０が真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２から離間するようになっている。
このため、ナット７２を締めた場合には、ボデー１０がスタッドボルト７１に沿って上昇し、入口側接続フランジ２０の上端面が真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に当接することによってボデー１０が真空チャンバーＤ１に固定されるようになっている。
一方、ナット７２を緩めた場合には、ボデー１０がスタッドボルト７１に沿って下降し、ボデー１０が真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２から離間するようになっている。
【0053】
（弁体５０の開閉動作について）
以下に、弁体５０の開閉動作について説明する。
駆動源６１は、不図示の制御装置にドライバを介して接続し、制御装置からの制御信号に基づいて駆動する。
すなわち、制御装置から出力した圧力制御バルブ１の閉から開への制御信号がドライバを介して駆動源６１に入力されると、駆動源６１がボデー１０内の弁体５０を閉位置から開位置に移動させるようにステム回転軸６２ａを所定の回転角度で回転する。
なお、本実施形態１では、弁体５０の開閉位置を変化するために必要な回転角度が１２０度程度となるように調整している。
以下に、弁体５０の開閉動作について説明する。
駆動源６１は、不図示の制御装置にドライバを介して接続し、制御装置からの制御信号に基づいて駆動する。
すなわち、制御装置から出力した圧力制御バルブ１の閉から開への制御信号がドライバを介して駆動源６１に入力されると、駆動源６１がボデー１０内の弁体５０を閉位置から開位置に移動させるようにステム回転軸６２ａを所定の回転角度で回転する。
なお、本実施形態１では、弁体５０の開閉位置を変化するために必要な回転角度が１２０度程度となるように調整している。
【0054】
弁体５０が閉位置の状態では、図４に示すように、ステム回転軸６２ａの回転中心と、円弧動リンク６２ｃ及び接続リンク６２ｄによって構成した２節リンクの２か所の対偶の回転中心が上下方向の略一直線上に並んだ状態となる。
このため、圧力制御バルブ１は、弁体駆動機構６０及び弁体５０からなるトグル機構としての作用によって、駆動源６１による動力供給を停止した状態、すなわち、駆動電源をＯＦＦにした状態であっても、弁体５０を閉位置に保持することができるようになっている。
つまり、圧力制御バルブ１は、弁体５０を閉位置にし、かつ、駆動電源をＯＦＦにした状態で、差圧による逆圧荷重が弁体５０に負荷された場合であっても、弁体５０が閉位置に保持される。
このため、圧力制御バルブ１は、弁体駆動機構６０及び弁体５０からなるトグル機構としての作用によって、駆動源６１による動力供給を停止した状態、すなわち、駆動電源をＯＦＦにした状態であっても、弁体５０を閉位置に保持することができるようになっている。
つまり、圧力制御バルブ１は、弁体５０を閉位置にし、かつ、駆動電源をＯＦＦにした状態で、差圧による逆圧荷重が弁体５０に負荷された場合であっても、弁体５０が閉位置に保持される。
【0055】
このような閉位置の弁体５０（図４及び図５参照）が、開位置に移動すると、円弧動リンク６２ｃ及び接続リンク６２ｄによって構成した２節リンクが、ステム回転軸６２ａの回転によって、くの字型の接続リンク６２ｄの凹部にステム回転軸６２ａが配置され、図６に示す状態に変位する。
ここで、接続リンク６２ｄに接続する側の円弧動リンク６２ｃの端部が円弧軌跡に沿って下方に移動し、この円弧動リンク６２ｃの移動に連動して、接続リンク６２ｄ及び接続リンク６２ｄに連結した弁体５０が下方に移動する。
このようにして円弧動リンク６２ｃと接続リンク６２ｄとがステム回転軸６２ａに巻き付くようにコンパクトに折り畳まれる。
このため、弁体５０がボデー１０の入口側開口１１そばの閉位置からステム回転軸６２ａ近傍の開位置までボデー１０内における移動距離を最大限にのばして移動され、弁の開度が大きくなり、結果、真空排気速度が速くなる。
なお、弁体５０は、昇降ガイド６２ｅによって入口側開口１１の中心線Ｃに沿って直線的に下降ガイドされながら外周縁部５１ａをシートリング４０に当接した閉位置から、シートリング４０に対して下方に離れた開位置に移動する。
このように弁体５０が入口側開口１１の中心線Ｃ（図４参照）に沿って移動することによって、図１に示すように、真空チャンバーＤ１内のプロセスガスが入口側開口１１の中心を流れの中心として均一に分散してボデー１０内に排出されるため、真空チャンバーＤ１内でのプロセスガスの流れが均一になる。
ここで、接続リンク６２ｄに接続する側の円弧動リンク６２ｃの端部が円弧軌跡に沿って下方に移動し、この円弧動リンク６２ｃの移動に連動して、接続リンク６２ｄ及び接続リンク６２ｄに連結した弁体５０が下方に移動する。
このようにして円弧動リンク６２ｃと接続リンク６２ｄとがステム回転軸６２ａに巻き付くようにコンパクトに折り畳まれる。
このため、弁体５０がボデー１０の入口側開口１１そばの閉位置からステム回転軸６２ａ近傍の開位置までボデー１０内における移動距離を最大限にのばして移動され、弁の開度が大きくなり、結果、真空排気速度が速くなる。
なお、弁体５０は、昇降ガイド６２ｅによって入口側開口１１の中心線Ｃに沿って直線的に下降ガイドされながら外周縁部５１ａをシートリング４０に当接した閉位置から、シートリング４０に対して下方に離れた開位置に移動する。
このように弁体５０が入口側開口１１の中心線Ｃ（図４参照）に沿って移動することによって、図１に示すように、真空チャンバーＤ１内のプロセスガスが入口側開口１１の中心を流れの中心として均一に分散してボデー１０内に排出されるため、真空チャンバーＤ１内でのプロセスガスの流れが均一になる。
【0056】
次に、図７を用いて、圧力制御バルブ１の設置及びメンテナンスの手順について説明する。
（圧力制御バルブ１の設置の手順について）
まず、圧力制御バルブ１の設置の手順について説明する。
作業者は、出口側接続フランジ３０に真空ポンプＰを組み付けた状態、あるいは、出口側接続フランジ３０に真空ポンプＰを組み付ける前の状態のボデー１０の入口側接続フランジ２０の対角位置の２つのボルト孔２２にスタッドボルト７１を螺挿し、各スタッドボルト７１の上端部を真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２の対応するボルト孔に螺合する。
（圧力制御バルブ１の設置の手順について）
まず、圧力制御バルブ１の設置の手順について説明する。
作業者は、出口側接続フランジ３０に真空ポンプＰを組み付けた状態、あるいは、出口側接続フランジ３０に真空ポンプＰを組み付ける前の状態のボデー１０の入口側接続フランジ２０の対角位置の２つのボルト孔２２にスタッドボルト７１を螺挿し、各スタッドボルト７１の上端部を真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２の対応するボルト孔に螺合する。
【0057】
そして、作業者は、各スタッドボルト７１の下端側から通したナット７２を締めつける。これによって、ボデー１０が真空チャンバーＤ１に向けて上昇し、入口側接続フランジ２０の上端面が真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に当接する。
【0058】
その後、作業者は、入口側接続フランジ２０の対角に位置する残りの２つのボルト孔２２にボルトＢＴを螺挿して真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２の対応するボルト孔に締結し、圧力制御バルブ１の設置作業を完了する。
【0059】
（圧力制御バルブ１のメンテナンスの手順について）
次に、圧力制御バルブ１のメンテナンスの手順について説明する。
圧力制御バルブ１をメンテナンスする場合、より具体的には、消耗品のシートリング４０、あるいは弁体５０を交換あるいは洗浄する場合について説明する。
まず、作業者は、入口側接続フランジ２０のボルト孔２２に螺挿したスタッドボルト７１以外の２つのボルトＢＴを緩めて締結を解除する。
次に、２つのスタッドボルト７１に螺合したナット７２を緩める。すると、圧力制御バルブ１のボデー１０が真空チャンバーＤ１から徐々に離間するようにスタッドボルト７１に沿って下降し、ボデー１０の上端面１０ａ、より具体的には、シートリング４０の第二チャンバー当接面４１と真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２との間に隙間が発生する。
この隙間は、ボデー１０の上端面１０ａからシートリング４０を離脱する作業、あるいは、ボデー１０に内蔵した弁体５０を離脱する作業を容易に行うことができるように調整している。
次に、圧力制御バルブ１のメンテナンスの手順について説明する。
圧力制御バルブ１をメンテナンスする場合、より具体的には、消耗品のシートリング４０、あるいは弁体５０を交換あるいは洗浄する場合について説明する。
まず、作業者は、入口側接続フランジ２０のボルト孔２２に螺挿したスタッドボルト７１以外の２つのボルトＢＴを緩めて締結を解除する。
次に、２つのスタッドボルト７１に螺合したナット７２を緩める。すると、圧力制御バルブ１のボデー１０が真空チャンバーＤ１から徐々に離間するようにスタッドボルト７１に沿って下降し、ボデー１０の上端面１０ａ、より具体的には、シートリング４０の第二チャンバー当接面４１と真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２との間に隙間が発生する。
この隙間は、ボデー１０の上端面１０ａからシートリング４０を離脱する作業、あるいは、ボデー１０に内蔵した弁体５０を離脱する作業を容易に行うことができるように調整している。
【0060】
そして、作業者は、ボデー１０の上端面１０ａにシートリング４０を固定するボルトＢＴの締結を解除し、ボデー１０からシートリング４０を離脱する。
さらに、ボデー１０に内蔵した弁体５０を離脱する場合、作業者は、弁本体５１と連結部５２とを固定するボルトＢＴの締結を解除し、連結部５２から弁本体５１を取り外す。
このようにして駆動源６１に連結する連結部５２についてはボデー１０内に残しつつ、弁座となるシートリング４０に当接して消耗する弁本体５１のみをボデー１０内から取り出すことができる。
さらに、ボデー１０に内蔵した弁体５０を離脱する場合、作業者は、弁本体５１と連結部５２とを固定するボルトＢＴの締結を解除し、連結部５２から弁本体５１を取り外す。
このようにして駆動源６１に連結する連結部５２についてはボデー１０内に残しつつ、弁座となるシートリング４０に当接して消耗する弁本体５１のみをボデー１０内から取り出すことができる。
【0061】
本実施形態１によると、圧力制御バルブ１は、真空チャンバーＤ１に対して下方から接続する入口側開口１１と、真空ポンプＰに接続する出口側開口１２とを対向配置したボデー１０に内蔵した弁体５０と、この弁体５０を入口側開口１１の中心線Ｃに沿って入口側開口１１に対する閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構６０とを備えたことにより、弁体５０が真空チャンバーＤ１内のスペースを有効に利用して設けられると共に、真空チャンバーＤ１内のプロセスガスが入口側開口１１の中心領域を通して排気されて、真空チャンバーＤ１内におけるプロセスガスが入口側開口１１に向けた均一な流れを形成して排気されるため、真空チャンバーＤ１の下方にコンパクトに設けることができ、しかも、真空チャンバーＤ１内の処理対象物Ｍに対してプロセスガスを用いた均一な処理を施すことができる。
【0062】
また、本実施形態１によると、圧力制御バルブ１は、弁体駆動機構６０が、ボデー１０の外部に設けた駆動源６１と、駆動源６１にボデー１０の外部で接続すると共にボデー１０の内部に回転自在に導入したステム回転軸６２ａ、及び、このステム回転軸６２ａと弁体５０とを接続するステム接続部６２ｂを有して駆動源６１による回転動作を弁体５０の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部６２とを有することにより、ボデー１０の外部に設けた駆動源６１による駆動力がステム回転軸６２ａを介してボデー１０内部に伝達し、弁体５０を閉位置および開位置へ移動する動力に変換されるため、ボデー１０の内部の気密性をステム回転軸６２ａ周りに設けたОリングＳ１等の簡易な構成で確保することができ、結果的に、低コストでボデー１０内部の気密性を確保することができる。
【0063】
また、本実施形態１によると、圧力制御バルブ１は、動作変換部６２が、駆動力の供給停止状態で弁体５０を閉位置に保持可能としたことにより、弁を閉じた状態で弁体駆動機構６０に対する駆動力の供給を停止した場合であっても、弁を開く荷重に抗して弁を閉じた状態が保持されるため、弁を閉じた状態でのエネルギー消費を抑えることができる。
【0064】
また、本発明の実施形態１に係る圧力制御バルブ１は、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に当接する第一チャンバー当接面２１を形成した入口側接続フランジ２０と、ボデー１０の上端面１０ａに着脱自在、かつ、この上端面１０ａに取り付けた状態で真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に当接する第二チャンバー当接面４１を形成すると共に、弁体５０の外周縁部５１ａが当接可能に入口側開口１１の径内方に一部を迫り出した弁体当接面４２を有するシートリング４０と、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に対してボデー１０の上端面１０ａを離間自在にボデー１０の高さ位置を調整するボデー昇降機構と、を備えたことにより、真空チャンバーＤ１の下方にボデー１０を固定する場合、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２とボデー１０との間にシートリング４０を介在して入口側接続フランジ２０によってボデー１０を真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に固定する。
そして、シートリング４０および弁体５０のメンテナンスを実施する場合、ボデー昇降機構７０を用いて真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に対してボデー１０を離間してシートリング４０をボデー１０の上端面１０ａから離脱する。
このため、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に接続配管を介することなくボデー１０を容易に取り付けることができ、しかも、真空チャンバーＤ１に対してボデー１０の位置を容易に調整でき、結果的に、圧力制御バルブ１を容易に設置することができ、さらには、真空チャンバーＤ１に対してボデー１０を離間した状態でシートリング４０および弁体５０のメンテナンスを容易に行うことができる。
そして、シートリング４０および弁体５０のメンテナンスを実施する場合、ボデー昇降機構７０を用いて真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に対してボデー１０を離間してシートリング４０をボデー１０の上端面１０ａから離脱する。
このため、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に接続配管を介することなくボデー１０を容易に取り付けることができ、しかも、真空チャンバーＤ１に対してボデー１０の位置を容易に調整でき、結果的に、圧力制御バルブ１を容易に設置することができ、さらには、真空チャンバーＤ１に対してボデー１０を離間した状態でシートリング４０および弁体５０のメンテナンスを容易に行うことができる。
【0065】
また、本実施形態１によると、圧力制御バルブ１は、シートリング４０が、第二チャンバー当接面４１に外部シール材４３を設け、弁体当接面４２に弁座シール材４４を設けたことにより、ボデー１０が真空チャンバーＤ１に対してシートリング４０の外部シール材４３を介して固定され、弁体５０がシートリング４０の弁座シール材４４を介して入口側開口１１を閉じるため、シートリング４０に設けた外部シール材４３及び弁座シール材４４を介して、真空チャンバーＤ１とボデー１０の接続部分の気密性、及び、弁体５０を閉位置にした場合の真空チャンバーＤ１内の気密性を向上することができる。
【0066】
また、本実施形態１によると、圧力制御バルブ１は、第二チャンバー当接面４１が第一チャンバー当接面２１に比して上側に突出した内側凸の段差形状であることにより、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に第二チャンバー当接面４１による上側突出部分が篏入する凹部を設けて、真空チャンバーＤ１にボデー１０を取り付けた場合、シートリング４０が真空チャンバーＤ１の凹部に埋設するため、高さ方向の設置寸法をコンパクト化することができ、しかも、真空チャンバーＤ１へのボデー１０の取付部分の気密性を向上することができ、さらには、真空チャンバーＤ１にボデー１０を取り付ける際の位置決めが容易になり真空チャンバーＤ１に対するボデー１０の組付け性を向上することができる。
【0067】
実施形態２に係る圧力制御バルブ２について図８－図１１を用いて詳細に説明する。
図８は、本発明の実施形態２に係る圧力制御バルブ２の斜視図である。図９は、圧力制御バルブ２の動作変換部８２周辺を示す斜視図である。図１０は、圧力制御バルブ２の上面図である。図１１は、圧力制御バルブ２の側面図である。
なお、図８－図１１において、一部構成を断面図で示すと共に隠れ線を用いて示す。
この実施形態２に係る圧力制御バルブ２は、弁体５０を閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構８０の構成が異なる点で実施形態１の圧力制御バルブ１と異なる。
実施形態２では、実施形態１と同一構成についての説明を省略する。
図８は、本発明の実施形態２に係る圧力制御バルブ２の斜視図である。図９は、圧力制御バルブ２の動作変換部８２周辺を示す斜視図である。図１０は、圧力制御バルブ２の上面図である。図１１は、圧力制御バルブ２の側面図である。
なお、図８－図１１において、一部構成を断面図で示すと共に隠れ線を用いて示す。
この実施形態２に係る圧力制御バルブ２は、弁体５０を閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構８０の構成が異なる点で実施形態１の圧力制御バルブ１と異なる。
実施形態２では、実施形態１と同一構成についての説明を省略する。
【0068】
本発明の実施形態２に係る圧力制御バルブ２は、本体を構成するボデー１０と、ボデー１０に一体的に形成した入口側接続フランジ２０及び出口側接続フランジ３０と、ボデー１０に着脱自在に設けたシートリング４０と、ボデー１０に内蔵した弁体５０と、弁体５０を閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構８０と、真空チャンバーＤ１の底面Ｄ２に対してボデー１０の上端面１０ａを離間自在にボデー１０の位置を調整するボデー昇降機構７０とを備えている。
【0069】
弁体駆動機構８０は、ボデー１０の外部に設けた駆動源８１と、駆動源８１にボデー１０の外部で接続すると共にボデー１０の内部に傾動自在に導入した傾動ステム８２ａ、及び、傾動ステム８２ａと弁体５０とを接続するステム接続部８２ｂを有して駆動源８１による回転動作を弁体５０の閉位置および開位置への移動動作に変換する動作変換部８２とを有する。
【0070】
駆動源８１は、例えば、ステッピングモータによって実現し、ボデー１０の外部に設けている。
なお、本実施形態２では、駆動源としてステッピングモータを用いているが、ステッピングモータに限らず、その他の駆動源を用いても構わない。例えば、サーボモータを用いても良い。
なお、本実施形態２では、駆動源としてステッピングモータを用いているが、ステッピングモータに限らず、その他の駆動源を用いても構わない。例えば、サーボモータを用いても良い。
【0071】
動作変換部８２は、駆動源８１の出力軸８１ａに中心を合致して接続した回転盤８２ｄと、回転盤８２ｄ上の偏心位置に設けた円弧動カムローラ８２ｅと、円弧動カムローラ８２ｅに一端部が接続した駆動アーム８２ｆと、駆動アーム８２ｆの前方に連続的に延びるように設けた傾動ステム８２ａと、傾動ステム８２ａを傾動自在に傾動ステム８２ａと駆動アーム８２ｆとを連結する傾動支点８２ｈと、傾動ステム８２ａと弁体５０とを接続するステム接続部８２ｂと、弁体５０の昇降移動をガイドする昇降ガイド８２ｍとを有する。
【0072】
円弧動カムローラ８２ｅは、回転盤８２ｄの回転に伴って円弧軌跡に沿って動作する。
この円弧動カムローラ８２ｅは、後述するスライダー孔８２ｇへの挿入部分を回転自在なローラによって構成している。
この円弧動カムローラ８２ｅは、後述するスライダー孔８２ｇへの挿入部分を回転自在なローラによって構成している。
【0073】
駆動アーム８２ｆは、一端部に円弧動カムローラ８２ｅを挿入する長孔状のスライダー孔８２ｇを設けている。この駆動アーム８２ｆは、円弧動カムローラ８２ｅが円弧の軌跡に沿って移動することによってスライダー孔８２ｇを介して駆動源８１から動力が伝達される。
【0074】
傾動ステム８２ａは、傾動支点８２ｈを支点としたシーソー構造の一端側を駆動アーム８２ｆによって構成した場合の他端側を構成している。
このような傾動ステム８２ａは、駆動アーム８２ｆの動作に連動して傾動支点８２ｈを支点として傾動するようになっている。
このような傾動ステム８２ａは、駆動アーム８２ｆの動作に連動して傾動支点８２ｈを支点として傾動するようになっている。
【0075】
傾動支点８２ｈは、ボデー１０の外部に設けている。この傾動支点８２ｈは、駆動アーム８２ｆと傾動ステム８２ａとを連結するステム連結部８２ｉと、駆動源８１の出力軸８１ａに平行にステム連結部８２ｉに設けた一対の回転軸部８２ｎと、一対の回転軸部８２ｎを支持する一対の軸受け部８２ｏとを有する。
【0076】
ステム連結部８２ｉは、傾動ステム８２ａの後端部及び駆動アーム８２ｆの先端部をボルト等の固定部材で固定するように傾動ステム８２ａの延在方向に直交して設けた連結壁８２ｋと、連結壁８２ｋに両端部から傾動ステム８２ａの延在方向に突出し、一対の回転軸部８２ｎをそれぞれ設けた一対の軸設置壁８２ｌとを有する。
【0077】
軸受け部８２ｏは、一対の軸設置壁８２ｌに対向して設けたベアリングによって実現し、一対の回転軸部８２ｎを軸支している。
【0078】
このような傾動支点８２ｈは、図１１に示すように、駆動アーム８２ｆのスライダー孔８２ｇに挿入した円弧動カムローラ８２ｅ及び傾動ステム８２ａの先端に接続する接続リンク８２ｃの対偶の中心を通る線上に回転軸部８２ｎの中心が位置するようになっている。
このため、駆動アーム８２ｆの後端から傾動ステム８２ａの先端まで連続する部材が傾動支点８２ｈを支点としてシーソー状に動作可能になっている。
すなわち、傾動ステム８２ａは、傾動支点８２ｈによって傾動自在に支持されている。
このため、駆動アーム８２ｆの後端から傾動ステム８２ａの先端まで連続する部材が傾動支点８２ｈを支点としてシーソー状に動作可能になっている。
すなわち、傾動ステム８２ａは、傾動支点８２ｈによって傾動自在に支持されている。
【0079】
そして、傾動ステム８２ａをボデー１０の内部に挿通する孔は、金属製のベローズＳ２によって封止している。
より具体的には、図１０に示すように、傾動ステム８２ａの後端部のステム連結部８２iとの連結部分として径を拡大した部分を設け、そこにベローズＳ２の一端側を接続すると共に、ベローズＳ２の他端側を挿通孔の周りを囲うようにしてボデー１０の周側壁１３に接続している。
本実施形態２では、傾動ステム８２ａ及びボデー１０に対して溶接によってベローズＳ２を接続している。
より具体的には、図１０に示すように、傾動ステム８２ａの後端部のステム連結部８２iとの連結部分として径を拡大した部分を設け、そこにベローズＳ２の一端側を接続すると共に、ベローズＳ２の他端側を挿通孔の周りを囲うようにしてボデー１０の周側壁１３に接続している。
本実施形態２では、傾動ステム８２ａ及びボデー１０に対して溶接によってベローズＳ２を接続している。
【0080】
なお、本実施形態２では、一対の回転軸部８２ｎを傾動ステム８２ａの延在方向に沿って一端側から他端側に延びるベローズＳ２の略中央位置に設けている。
つまり、一対の回転軸部８２ｎは、傾動ステム８２ａの後端部よりもボデー１０に近づけて配置している。
このため、傾動ステム８２ａの傾動角度の範囲を小さく抑えることができ、ベローズＳ２による高耐久性の気密性能を可能にしている。
つまり、一対の回転軸部８２ｎは、傾動ステム８２ａの後端部よりもボデー１０に近づけて配置している。
このため、傾動ステム８２ａの傾動角度の範囲を小さく抑えることができ、ベローズＳ２による高耐久性の気密性能を可能にしている。
【0081】
ステム接続部８２ｂは、接続リンク８２ｃを有し、この接続リンク８２ｃの傾動ステム８２ａの先端に接続する側の端部に一対のベアリングＢを設け、この一対のベアリングＢの内輪に通したリンクピンＰＮに傾動ステム８２ａの先端が連結している。
また接続リンク８２ｃは、傾動ステム８２ａに接続する一端に対して他端となり、弁体５０の連結片５２ａに接続する部分についても、一対のベアリングＢを設け、この一対のベアリングＢの内輪に通したリンクピンＰＮに弁体５０の連結片５２ａが連結するようになっている。
このため、接続リンク８２ｃによって構成したステム接続部８２ｂは、弁体５０に負荷される荷重を４つのベアリングＢに分散して受けるこが可能となり、小型のベアリングを採用することできる。
また接続リンク８２ｃは、傾動ステム８２ａに接続する一端に対して他端となり、弁体５０の連結片５２ａに接続する部分についても、一対のベアリングＢを設け、この一対のベアリングＢの内輪に通したリンクピンＰＮに弁体５０の連結片５２ａが連結するようになっている。
このため、接続リンク８２ｃによって構成したステム接続部８２ｂは、弁体５０に負荷される荷重を４つのベアリングＢに分散して受けるこが可能となり、小型のベアリングを採用することできる。
【0082】
（弁体５０の開閉動作について）
以下に、弁体５０の開閉動作について説明する。
駆動源８１は、不図示の制御装置にドライバを介して接続し、制御装置からの制御信号に基づいて駆動する。
すなわち、制御装置から出力した圧力制御バルブ２の閉から開への制御信号がドライバを介して駆動源８１に入力されると、駆動源８１が弁体５０を閉位置から開位置にボデー１０内で移動させるように回転盤８２ｄを所定の回転角度で回転する。
以下に、弁体５０の開閉動作について説明する。
駆動源８１は、不図示の制御装置にドライバを介して接続し、制御装置からの制御信号に基づいて駆動する。
すなわち、制御装置から出力した圧力制御バルブ２の閉から開への制御信号がドライバを介して駆動源８１に入力されると、駆動源８１が弁体５０を閉位置から開位置にボデー１０内で移動させるように回転盤８２ｄを所定の回転角度で回転する。
【0083】
傾動ステム８２ａが上方に傾いて弁体５０が閉位置にある状態では、図１１の実線で示す傾動ステム８２ａのように、弁体５０に対して開くように図１１中下方に向けた荷重（逆荷重）が作用すると、傾動ステム８２ａの先端から駆動アーム８２ｆの後端まで連続した連続部材が傾動支点８２ｈを支点としてシーソー状に動くよう荷重が伝達される。
このようにして傾動ステム８２ａの先端から駆動アーム８２ｆに伝達された荷重がスライダー孔８２ｇを介して円弧動カムローラ８２ｅに作用すると、その円弧動カムローラ８２eには、駆動源８１の出力軸８１ａの中心方向に向く力（図１１中矢印Ａ）が作用する。
このため、円弧動カムローラ８２eによって出力軸８１ａを中心として回転盤８２ｄを回転させる力が作用せず、結果的に、傾動ステム８２ａが弁体５０を閉位置とする傾きに保持される。
つまり、圧力制御バルブ２は、駆動源８１から動力を供給しない状態、すなわち、駆動電源をＯＦＦにした状態であっても、弁体５０を閉位置に保持することができるようになっている。
このようにして傾動ステム８２ａの先端から駆動アーム８２ｆに伝達された荷重がスライダー孔８２ｇを介して円弧動カムローラ８２ｅに作用すると、その円弧動カムローラ８２eには、駆動源８１の出力軸８１ａの中心方向に向く力（図１１中矢印Ａ）が作用する。
このため、円弧動カムローラ８２eによって出力軸８１ａを中心として回転盤８２ｄを回転させる力が作用せず、結果的に、傾動ステム８２ａが弁体５０を閉位置とする傾きに保持される。
つまり、圧力制御バルブ２は、駆動源８１から動力を供給しない状態、すなわち、駆動電源をＯＦＦにした状態であっても、弁体５０を閉位置に保持することができるようになっている。
【0084】
このような弁体５０が閉位置の状態から、回転盤８２ｄの回転によって円弧動カムローラ８２ｅが円弧状に移動して図１１の仮想線の位置になると、傾動ステム８２ａが下方に傾いた状態に変位する。
ここで、接続リンク８２ｃが円弧軌跡に沿って下方に移動し、この接続リンク８２ｃの移動に連動して、接続リンク８２ｃに連結した弁体５０が下方に移動する。
なお、弁体５０は、昇降ガイド８２ｍによって上下方向にガイドされながら入口側開口１１の中心線に沿って外周縁部５１ａをシートリング４０に当接した閉位置から、シートリング４０から下方に離れた開位置に移動する。
ここで、接続リンク８２ｃが円弧軌跡に沿って下方に移動し、この接続リンク８２ｃの移動に連動して、接続リンク８２ｃに連結した弁体５０が下方に移動する。
なお、弁体５０は、昇降ガイド８２ｍによって上下方向にガイドされながら入口側開口１１の中心線に沿って外周縁部５１ａをシートリング４０に当接した閉位置から、シートリング４０から下方に離れた開位置に移動する。
【0085】
本実施形態２によると、圧力制御バルブ２は、真空チャンバーＤ１に対して下方から接続する入口側開口１１と、真空ポンプＰに接続する出口側開口１２とを対向配置したボデー１０に内蔵した弁体５０と、この弁体５０を入口側開口１１の中心線Ｃに沿って入口側開口１１に対する閉位置と開位置とに移動する弁体駆動機構８０とを備えたことにより、弁体５０が真空チャンバーＤ１内のスペースを有効に利用して設けられると共に、真空チャンバーＤ１内のプロセスガスが入口側開口１１の中心領域を通して排気されて、真空チャンバーＤ１内におけるプロセスガスが入口側開口１１に向けた均一な流れを形成して排気されるため、実施形態１の圧力制御バルブ１と同様に、真空チャンバーＤ１の下方にコンパクトに設けることができ、しかも、真空チャンバーＤ１内の処理対象物Ｍに対してプロセスガスを用いた均一な処理を施すことができる。
【0086】
また、本実施形態２によると、圧力制御バルブ２は、弁体駆動機構８０が、ボデー１０の外部に設けた駆動源８１と、駆動源８１にボデー１０の外部で接続すると共にボデー１０の内部に傾動自在に導入した傾動ステム８２ａ、及び、傾動ステム８２ａと弁体５０とを接続するステム接続部８２ｂを有して駆動源８１による回転動作を弁体５０の閉位置及び開位置への移動動作に変換する動作変換部８２とを有することにより、ボデー１０の外部に設けた駆動源８１による駆動力が傾動ステム８２ａを介してボデー１０の内部に伝達し、弁体５０を閉位置および開位置へ移動する動力に変換されるため、ボデー１０の気密性を傾動ステム８２ａ周りに設けたベローズＳ２等の簡易な構成で確保することができ、結果的に、低コストでボデー１０の内部の気密性を確保することができる。
【0087】
以上、本発明の実施の形態について詳述したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載されている発明の精神を逸脱しない範囲で、種々の変更ができるものである。
【0088】
上記の実施の形態では、動作変換部６２、８２について、ステム回転軸６２ａ、あるいは、傾動ステム８２ａ、それらに接続するステム接続部６２ｂ、８２ｂで構成するものを例示したが、これに限らず、駆動源６１、８１による回転動作を弁体５０の閉位置及び開位置への移動動作に変換することができれば、その他の構成にしてもよい。例えば、ステム接続部６２ｂを２節以上のリンク機構で構成してもよい。
【0089】
また、上記の実施の形態では、動作変換部６２、８２のリンク構成によって弁体５０を閉位置に保持するようにしていたが、これに限らず、例えば、駆動源となるステッピングモータの電磁ブレーキを利用して弁体５０を閉位置に保持するようにしてもよい。
【符号の説明】
【0090】
１、２ 圧力制御バルブ
１０ ボデー
１０ａ 上端面
１１ 入口側開口
１２ 出口側開口
１３ 周側壁
１３ａ ステム挿通孔
２０ 入口側接続フランジ
２１ 第一チャンバー当接面
２２ ボルト孔
３０ 出口側接続フランジ
４０ シートリング
４０ａ 開口
４１ 第二チャンバー当接面
４２ 弁体当接面
４３ 外部シール材
４４ 弁座シール材
５０ 弁体
５１ 弁本体
５１ａ 外周縁部
５２ 連結部
５２ａ 連結片
６０、８０ 弁体駆動機構
７０ ボデー昇降機構
７１ スタッドボルト
７２ ナット
６１、８１ 駆動源
６１ａ、８１ａ 出力軸
６２、８２ 動作変換部
６２ａ ステム回転軸
８２ａ 傾動ステム
６２ｂ、８２ｂ ステム接続部
６２ｃ 円弧動リンク
６２ｄ 接続リンク
６３ 整流カバー
８２ｃ 接続リンク
８２ｄ 回転盤
８２ｅ 円弧動カムローラ
８２ｆ 駆動アーム
８２ｇ スライダー孔
８２ｈ 傾動支点
８２ｉ ステム連結部
８２ｋ 連結壁
８２ｌ 軸設置壁
６２ｅ、８２ｍ 昇降ガイド
８２ｎ 回転軸部
８２о 軸受け部
Ｓ１ Оリング
Ｓ２ ベローズ
Ｄ 半導体製造装置
Ｄ１ 真空チャンバー
Ｄ２ 底面
Ｐ 真空ポンプ
Ｍ 処理対象物
１０ ボデー
１０ａ 上端面
１１ 入口側開口
１２ 出口側開口
１３ 周側壁
１３ａ ステム挿通孔
２０ 入口側接続フランジ
２１ 第一チャンバー当接面
２２ ボルト孔
３０ 出口側接続フランジ
４０ シートリング
４０ａ 開口
４１ 第二チャンバー当接面
４２ 弁体当接面
４３ 外部シール材
４４ 弁座シール材
５０ 弁体
５１ 弁本体
５１ａ 外周縁部
５２ 連結部
５２ａ 連結片
６０、８０ 弁体駆動機構
７０ ボデー昇降機構
７１ スタッドボルト
７２ ナット
６１、８１ 駆動源
６１ａ、８１ａ 出力軸
６２、８２ 動作変換部
６２ａ ステム回転軸
８２ａ 傾動ステム
６２ｂ、８２ｂ ステム接続部
６２ｃ 円弧動リンク
６２ｄ 接続リンク
６３ 整流カバー
８２ｃ 接続リンク
８２ｄ 回転盤
８２ｅ 円弧動カムローラ
８２ｆ 駆動アーム
８２ｇ スライダー孔
８２ｈ 傾動支点
８２ｉ ステム連結部
８２ｋ 連結壁
８２ｌ 軸設置壁
６２ｅ、８２ｍ 昇降ガイド
８２ｎ 回転軸部
８２о 軸受け部
Ｓ１ Оリング
Ｓ２ ベローズ
Ｄ 半導体製造装置
Ｄ１ 真空チャンバー
Ｄ２ 底面
Ｐ 真空ポンプ
Ｍ 処理対象物
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】