(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023142627
(43)【公開日】2023-10-05
(54)【発明の名称】半導体ウェーハ搬送容器
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20230928BHJP
B65D 85/30 20060101ALI20230928BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 T
B65D85/30 500
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022049609
(22)【出願日】2022-03-25
(71)【出願人】
【識別番号】000000077
【氏名又は名称】アキレス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100095407
【弁理士】
【氏名又は名称】木村 満
(74)【代理人】
【識別番号】100104329
【弁理士】
【氏名又は名称】原田 卓治
(74)【代理人】
【識別番号】100132883
【弁理士】
【氏名又は名称】森川 泰司
(72)【発明者】
【氏名】廣瀬 賢一
【テーマコード（参考）】
3E096
5F131
【Ｆターム（参考）】
3E096AA03
3E096BA16
3E096BB04
3E096CA06
3E096CB01
3E096DA01
3E096DA23
3E096EA02X
3E096EA02Y
3E096FA09
3E096FA10
3E096GA04
5F131AA02
5F131CA09
5F131GA13
5F131GA33
5F131GA53
5F131GA63
5F131GA72
5F131GA82
5F131GA83
5F131GA92
(57)【要約】
【課題】収容部への収容や収容部からの取り出しの際にウェーハに損傷を与えることのない半導体ウェーハ搬送容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ搬送容器１は、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部１２を有する容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体と、を備えるウェーハ搬送容器１で、容器本体１０は、搭載部１２に、ウェーハを収容する収容部１３を区画する複数の本体側壁部が立設され、本体側壁部１４は、曲率中心が収容部１３の中心と一致する円弧状の本体側壁主部１４ａと、曲率中心が本体側壁主部とは逆向きの円弧状の本体側壁端部１４ｂと、からなる。
【選択図】図１
【解決手段】半導体ウェーハ搬送容器１は、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部１２を有する容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体と、を備えるウェーハ搬送容器１で、容器本体１０は、搭載部１２に、ウェーハを収容する収容部１３を区画する複数の本体側壁部が立設され、本体側壁部１４は、曲率中心が収容部１３の中心と一致する円弧状の本体側壁主部１４ａと、曲率中心が本体側壁主部とは逆向きの円弧状の本体側壁端部１４ｂと、からなる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部を有する容器本体と、
前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える半導体ウェーハ搬送容器であって、
前記容器本体は、前記搭載部に、
前記ウェーハを収容する収容部を区画する複数の本体側壁部が立設され、
前記本体側壁部は、曲率中心が前記収容部の中心と一致する円弧状の本体側壁主部と、曲率中心が前記本体側壁主部とは逆向きの円弧状の本体側壁端部と、からなる、
ことを特徴とする半導体ウェーハ搬送容器。
前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える半導体ウェーハ搬送容器であって、
前記容器本体は、前記搭載部に、
前記ウェーハを収容する収容部を区画する複数の本体側壁部が立設され、
前記本体側壁部は、曲率中心が前記収容部の中心と一致する円弧状の本体側壁主部と、曲率中心が前記本体側壁主部とは逆向きの円弧状の本体側壁端部と、からなる、
ことを特徴とする半導体ウェーハ搬送容器。
【請求項2】
前記本体側壁部は、前記本体側壁端部の端縁に連続して背面側に突き出す補強壁部が形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の半導体ウェーハ搬送容器。
ことを特徴とする請求項１に記載の半導体ウェーハ搬送容器。
【請求項3】
前記本体側壁主部と前記本体側壁端部は、それぞれの背面に補強リブを備える、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の半導体ウェーハ搬送容器。
ことを特徴とする請求項１または２に記載の半導体ウェーハ搬送容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体ウェーハ搬送容器に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体ウェーハを収容して搬送する半導体ウェーハ搬送容器として、例えば特許文献１に開示されたウェーハ収容容器がある。特許文献１に開示されたウェーハ収容容器は、合成樹脂材料で成形されている。ウェーハ収容容器は、容器本体上に略筒状となる複数の円弧状の本体側壁部で区画された収容部が設けられる。収容部には、最上段と最下段にクッション材等を配置し、上下のクッション材の間にウェーハと層間シート（合成樹脂製シートまたは無塵紙または合成樹脂製成形品等）とを交互に介在させて収容される。ウェーハ収容容器は、容器本体に、略筒状の蓋体側壁部を備える蓋体を被せるようにし、互いを保持機構で保持して密閉状態でウェーハを収容して搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１８－１７４１７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
合成樹脂製のウェーハ収容容器では、ウェーハを収容する容器本体の収容部は、複数の本体側壁部が底面部上に立設してウェーハの外径に合わせるよう略筒状に成形されている。
ところが、樹脂成形では、成形後の収縮によって本体側壁部が容器本体の底面部から開口部に向かって離れるにしたがって内側（中心側）に倒れるように収縮する傾向がある。特に、本体側壁部の端部が内側に倒れやすく、本体側壁部の内側への倒れによって、ウェーハを収容部に収容する際やウェーハを取り出す際に本体側壁部に接触してしまう虞があり、ウェーハの損傷を招く虞もある。
本体側壁部とウェーハとの接触を防止するために、本体側壁部の収縮を予め考慮して収容部の内径を大きめに設計することも可能であるが、そうすると特に容器本体底面部においては、ウェーハと本体側壁部との間に隙間が生じてしまうため、ウェーハの水平方向の移動を防止することができず、ウェーハの損傷を招きかねない。
ところが、樹脂成形では、成形後の収縮によって本体側壁部が容器本体の底面部から開口部に向かって離れるにしたがって内側（中心側）に倒れるように収縮する傾向がある。特に、本体側壁部の端部が内側に倒れやすく、本体側壁部の内側への倒れによって、ウェーハを収容部に収容する際やウェーハを取り出す際に本体側壁部に接触してしまう虞があり、ウェーハの損傷を招く虞もある。
本体側壁部とウェーハとの接触を防止するために、本体側壁部の収縮を予め考慮して収容部の内径を大きめに設計することも可能であるが、そうすると特に容器本体底面部においては、ウェーハと本体側壁部との間に隙間が生じてしまうため、ウェーハの水平方向の移動を防止することができず、ウェーハの損傷を招きかねない。
【0005】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、ウェーハの水平方向の移動を確実に防止するとともに、収容部への収容や収容部からの取り出しの際にウェーハに損傷を与えることのない半導体ウェーハ搬送容器を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するため、本発明にかかる半導体ウェーハ搬送容器は、
一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部を有する容器本体と、
前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える半導体ウェーハ搬送容器であって、
前記容器本体は、前記搭載部に、
前記ウェーハを収容する収容部を区画する複数の本体側壁部が立設され、
前記本体側壁部は、曲率中心が前記収容部の中心と一致する円弧状の本体側壁主部と、曲率中心が前記本体側壁主部とは逆向きの円弧状の本体側壁端部と、からなる、
ことを特徴とする。
一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部を有する容器本体と、
前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える半導体ウェーハ搬送容器であって、
前記容器本体は、前記搭載部に、
前記ウェーハを収容する収容部を区画する複数の本体側壁部が立設され、
前記本体側壁部は、曲率中心が前記収容部の中心と一致する円弧状の本体側壁主部と、曲率中心が前記本体側壁主部とは逆向きの円弧状の本体側壁端部と、からなる、
ことを特徴とする。
【0007】
前記本体側壁部は、前記本体側壁端部の端縁に連続して背面側に突き出す補強壁部が形成されている、ことが好ましい。
【0008】
前記本体側壁主部と前記本体側壁端部は、それぞれの背面に補強リブを備える、ことが好ましい。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、ウェーハの水平方向の移動を確実に防止するとともに、収容部への収容や収容部からの取り出しの際にウェーハに損傷を与えることのない半導体ウェーハ搬送容器とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本発明の半導体ウェーハ搬送容器の一実施の形態の容器本体にかかる概略斜視図である。
【図2】本発明の一実施の形態の本体側壁端部を拡大した部分平面図である。
【図3】本発明の一実施の形態の保持機構にかかり、（ａ）は背面図、（ｂ）は断面図である。
【図4】本発明の一実施の形態の蓋体にかかる上下を反転した状態の概略斜視図である。
【図5】本発明の一実施の形態の蓋体の一部を拡大した部分断面図である。
【図6】本発明の一実施の形態の案内部材の動作にかかり、（ａ）は案内開始状態の説明図、（ｂ）は案内完了後の説明図である。
【図7】本発明の一実施の形態の押え部にかかる部分断面図である。
【図8】本発明の一実施の形態にかかる分解状態の概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本発明の半導体ウェーハ搬送容器の一実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。
本発明の半導体ウェーハ搬送容器（以下、単にウェーハ搬送容器とする）１は、容器本体１０と蓋体２０とを有して合成樹脂材料で成形されている。容器本体１０は、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向し半導体ウェーハ（以下、単にウェーハとする）Ｗが重ねて収容され底面部となる搭載部１２を有している。蓋体２０は、容器本体１０の開口部１１を塞ぐように被せられる。ウェーハ搬送容器１は、容器本体１０と蓋体２０との間に開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０を有している。保持機構３０は、容器本体１０に設けられる係止爪部３１を備える係止部材３２と、蓋体２０に設けられ係止爪部３１が係止される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有している。ウェーハ搬送容器１は、蓋体２０の容器本体１０への嵌合時に、係止部材３２に接触しながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する案内部材４０を蓋体側壁部２１に有している。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、少なくとも２箇所で蓋体側壁部２１の案内部材４０が容器本体１０に設けた係止部材３２に接触しながら同心状態を保持して蓋体２０を案内することで、収容したウェーハＷに蓋体側壁部２１で損傷を与えることなく蓋体２０を被せることができる。
本発明の半導体ウェーハ搬送容器（以下、単にウェーハ搬送容器とする）１は、容器本体１０と蓋体２０とを有して合成樹脂材料で成形されている。容器本体１０は、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向し半導体ウェーハ（以下、単にウェーハとする）Ｗが重ねて収容され底面部となる搭載部１２を有している。蓋体２０は、容器本体１０の開口部１１を塞ぐように被せられる。ウェーハ搬送容器１は、容器本体１０と蓋体２０との間に開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０を有している。保持機構３０は、容器本体１０に設けられる係止爪部３１を備える係止部材３２と、蓋体２０に設けられ係止爪部３１が係止される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有している。ウェーハ搬送容器１は、蓋体２０の容器本体１０への嵌合時に、係止部材３２に接触しながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する案内部材４０を蓋体側壁部２１に有している。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、少なくとも２箇所で蓋体側壁部２１の案内部材４０が容器本体１０に設けた係止部材３２に接触しながら同心状態を保持して蓋体２０を案内することで、収容したウェーハＷに蓋体側壁部２１で損傷を与えることなく蓋体２０を被せることができる。
【0012】
ウェーハ搬送容器１は、容器本体１０の搭載部１２に、ウェーハＷを収容する収容部１３を区画する複数の本体側壁部１４が立設され、本体側壁部１４は、曲率中心が収容部１３の中心と一致する円弧状の本体側壁主部１４ａと、曲率中心が本体側壁主部１４ａとは逆向きの円弧状の本体側壁端部１４ｂと、からなる。
こうすることで、本体側壁部１４の端部を除く主要部分である本体側壁主部１４ａが成形後の収縮変形で中心側に倒れることを、逆向きの本体側壁端部１４ｂを外側に収縮変形させるように配置して倒れを相殺し、ウェーハＷを収容する際や収容したウェーハＷの取り出しの際に本体側壁部１４と接触することによる損傷を防止できるようにしている（図１、図２参照）。
本明細書において、本体側壁部１４の本体側壁主部１４ａと本体側壁端部１４ｂの境界を、変曲点１４ｄという。
本実施の形態では、容器本体１０の開口部１１が上方に向けて開口し、底面部となる搭載部１２上に水平にウェーハＷを重ねて収容する場合を例に説明する。
なお、ウェーハ搬送容器１にウェーハＷを重ねて収容し、蓋体２０を被せた収容完了後は、ウェーハＷがどのような状態（ウェーハＷの向きが、例えば水平や垂直等）で、搬送などが行われても良いものである。
こうすることで、本体側壁部１４の端部を除く主要部分である本体側壁主部１４ａが成形後の収縮変形で中心側に倒れることを、逆向きの本体側壁端部１４ｂを外側に収縮変形させるように配置して倒れを相殺し、ウェーハＷを収容する際や収容したウェーハＷの取り出しの際に本体側壁部１４と接触することによる損傷を防止できるようにしている（図１、図２参照）。
本明細書において、本体側壁部１４の本体側壁主部１４ａと本体側壁端部１４ｂの境界を、変曲点１４ｄという。
本実施の形態では、容器本体１０の開口部１１が上方に向けて開口し、底面部となる搭載部１２上に水平にウェーハＷを重ねて収容する場合を例に説明する。
なお、ウェーハ搬送容器１にウェーハＷを重ねて収容し、蓋体２０を被せた収容完了後は、ウェーハＷがどのような状態（ウェーハＷの向きが、例えば水平や垂直等）で、搬送などが行われても良いものである。
【0013】
容器本体１０は、合成樹脂材料で成形され、底面部となる搭載部１２を備える。搭載部１２は、図１に示すように、略正方形状の４角形とされ４隅が円弧状に切り欠かれて形成されている。搭載部１２は、底面部の上面にウェーハＷが重ねられて収容される。なお、搭載部１２は、外形が略正方形状に限らず他の形状であっても良い。
搭載部１２は、ウェーハＷの収容部１３を区画する本体側壁部１４が上方に突き出すように立設して形成される。本体側壁部１４は、円筒状の一部をなす複数、例えば２つの円弧状に形成される。本体側壁部１４の端部を除く主要部分である本体側壁主部１４ａは、ウェーハＷの形状に合うようにされている。本体側壁部１４は、円周に沿って間隔Ｄを開けて立設され、搭載部１２と一体に成形されている。これにより、本体側壁部１４の上端部が容器本体１０の開口部１１となり、本体側壁部１４で区画された略円筒状の空間がウェーハＷの収容部１３となる。
本体側壁部１４で区画された略円筒状の収容部１３の内径は、ウェーハＷの収容や取り出しに支障のない大きさに形成され、ウェーハＷの大きさ（直径）、例えば５インチ、６インチ、８インチ、１２インチ等のサイズに比べて大きく（例えば、直径で１～２ｍｍ程度）してある。本体側壁部１４の間隔Ｄは、例えは、等間隔に２箇所設けられ、ウェーハＷの収容の際や取り出しの際のロボットアームや作業者の手の挿入口となる。
搭載部１２は、ウェーハＷの収容部１３を区画する本体側壁部１４が上方に突き出すように立設して形成される。本体側壁部１４は、円筒状の一部をなす複数、例えば２つの円弧状に形成される。本体側壁部１４の端部を除く主要部分である本体側壁主部１４ａは、ウェーハＷの形状に合うようにされている。本体側壁部１４は、円周に沿って間隔Ｄを開けて立設され、搭載部１２と一体に成形されている。これにより、本体側壁部１４の上端部が容器本体１０の開口部１１となり、本体側壁部１４で区画された略円筒状の空間がウェーハＷの収容部１３となる。
本体側壁部１４で区画された略円筒状の収容部１３の内径は、ウェーハＷの収容や取り出しに支障のない大きさに形成され、ウェーハＷの大きさ（直径）、例えば５インチ、６インチ、８インチ、１２インチ等のサイズに比べて大きく（例えば、直径で１～２ｍｍ程度）してある。本体側壁部１４の間隔Ｄは、例えは、等間隔に２箇所設けられ、ウェーハＷの収容の際や取り出しの際のロボットアームや作業者の手の挿入口となる。
【0014】
本体側壁部１４は、図２に示すように、曲率中心が収容部１３の中心と一致する円弧状の本体側壁主部１４ａと、曲率中心が本体側壁主部１４ａとは逆向きの円弧状の本体側壁端部１４ｂを備える。本体側壁端部１４ｂは、本体側壁部１４による円周上から端縁に向かうにしたがい外側にずれるように形成してある。本体側壁端部１４ｂは、例えば本体側壁部１４の直径を約３００ｍｍとした場合に、外側端の最大のズレ量を約１．５ｍｍ程度とする。本体側壁部１４は、容器本体１０の搭載部１２と一体に成形されている。
これにより、曲率中心が収容部１３の中心と一致する本体側壁主部１４ａは、成形後の冷却による収縮変形で中心側に倒れるように変形するのに対し、本体側壁端部１４ｂは、本体側壁主部１４ａとは反対の外側の曲率中心側に倒れるように収縮変形が生じることになる。この本体側壁主部１４ａの収縮変形の方向と本体側壁端部１４ｂの収縮変形の方向とが逆向きとなって変形が相殺され、本体側壁部１４の先端縁部の内側への倒れが防止される。これにより、ウェーハＷを収容する際や収容したウェーハＷの取り出しの際に本体側壁部１４と接触することによる損傷を防止する。
これにより、曲率中心が収容部１３の中心と一致する本体側壁主部１４ａは、成形後の冷却による収縮変形で中心側に倒れるように変形するのに対し、本体側壁端部１４ｂは、本体側壁主部１４ａとは反対の外側の曲率中心側に倒れるように収縮変形が生じることになる。この本体側壁主部１４ａの収縮変形の方向と本体側壁端部１４ｂの収縮変形の方向とが逆向きとなって変形が相殺され、本体側壁部１４の先端縁部の内側への倒れが防止される。これにより、ウェーハＷを収容する際や収容したウェーハＷの取り出しの際に本体側壁部１４と接触することによる損傷を防止する。
【0015】
本体側壁端部１４ｂは、図１、図２に示すように、端縁に連続して背面側に突き出す補強壁部１４ｃが形成されている。補強壁部１４ｃは、本体側壁端部１４ｂの端縁に連続し本体側壁端部１４ｂの円弧の曲率中心方向に配置され、本体側壁主部１４ａや本体側壁端部１４ｂと同一の全高にわたって形成してある。本体側壁端部１４ｂおよび補強壁部１４ｃは、容器本体１０の搭載部１２と一体に成形されている。補強壁部１４ｃによって本体側壁端部１４ｂの端縁が補強されて倒れが抑えられ、一層確実に本体側壁部１４の倒れを相殺して、ウェーハＷを収容する際や収容したウェーハＷの取り出しの際に本体側壁部１４と接触することによる損傷を防止する。
【0016】
また、本体側壁主部１４ａと本体側壁端部１４ｂは、それぞれの背面に補強リブ１４ｅを備え、補強リブ１４ｅの間の変曲点１４ｄから本体側壁端部１４ｂが形成してある。これにより、逆方向の変形応力が作用する変曲点１４ｄが補強リブ１４ｅによって補強され、確実に本体側壁部１４の倒れを相殺して、ウェーハＷを収容する際や収容したウェーハＷの取り出しの際に本体側壁部１４と接触することによる損傷を防止する。
なお、変曲点１４ｄを挟む両側に設ける補強リブ１４ｅは、変曲点１４ｄに接近する両側に配置することが補強に有効となる。
なお、変曲点１４ｄを挟む両側に設ける補強リブ１４ｅは、変曲点１４ｄに接近する両側に配置することが補強に有効となる。
【0017】
容器本体１０は、図１～図３に示すように、本体側壁部１４の下端部外周に蓋体２０（図４～図６参照）との環状のシール面１５が上方に突き出すように形成されている。搭載部１２の外周の本体側壁部１４の間隔Ｄ部分には、凹部１５ａが形成され突き出し量が小さくなっている。また、略正方形状の容器本体１０の外周部には、底面部を段差状に切り欠いたシール面１６が環状に形成されている。これら２つのシール面１５，１６により、容器本体１０は、全周が２重のシール面１５，１６で囲まれている。
【0018】
蓋体２０は、図４～図６に示すように、容器本体１０の開口部１１（図１参照）を塞ぐように被せられるものである。蓋体２０は、外形が搭載部１２と同一形状の略正方形状の４隅を円弧状に切り欠いた形状とされ、天面を塞ぐ蓋体天面部２３を備えている。蓋体天面部２３には、容器本体１０の本体側壁部１４に対応して４つに分割された円弧状の蓋体側壁部２１が下方に突き出すように４隅に形成される。蓋体２０は、円弧状の蓋体側壁部２１の外側に略正方形状の蓋体外壁部２２が下方に突き出して一体に形成されている。蓋体側壁部２１は、両端部がそれぞれ蓋体外壁部２２の内側に連結されて蓋体側壁部２１と蓋体外壁部２２とで環状に連続し、蓋体２０の全周を囲んでいる。
ウェーハ搬送容器１は、容器本体１０に蓋体２０が被せられると、蓋体２０の４つの蓋体側壁部２１の内側面が容器本体１０の円弧状のシール面１５に接触する。これと同時に、蓋体２０の蓋体外壁部２２の直線状の内側面が容器本体１０の外周部のシール面１６に接触する。これにより、ウェーハ搬送容器１は、収容部１３内がシールされ、密封状態にすることができる。
ウェーハ搬送容器１は、容器本体１０に蓋体２０が被せられると、蓋体２０の４つの蓋体側壁部２１の内側面が容器本体１０の円弧状のシール面１５に接触する。これと同時に、蓋体２０の蓋体外壁部２２の直線状の内側面が容器本体１０の外周部のシール面１６に接触する。これにより、ウェーハ搬送容器１は、収容部１３内がシールされ、密封状態にすることができる。
【0019】
ウェーハ搬送容器１は、図１～図６に示すように、容器本体１０と蓋体２０とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０を備えている。保持機構３０は、容器本体１０に形成される係止部材３２と、蓋体２０に形成される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有している。係止部材３２は、容器本体１０の他端から一端に伸びるよう形成され、一端部に係止爪部３１を備える。係止孔部３３は、蓋体２０に設けられ容器本体１０の係止爪部３１が係止される。
容器本体１０には、図１，図３，図６に示すように、搭載部１２の４隅の、本体側壁部１４の外側４箇所に、先端内側に係止爪部３１が設けられた係止部材３２が搭載部１２と一体に上方（一端の開口部１１側）に突き出して形成されている。係止部材３２の係止爪部３１は、蓋体２０の係止孔部３３に係止することで容器本体１０と蓋体２０との連結状態を保持する。
容器本体１０の係止爪部３１は、上端が高く中心側に向かって低い傾斜面とされ、傾斜面下端が外側に凹んだ下端水平面とされている。係止爪部３１は、傾斜面の中央部がＬ字状に切り欠かれた切欠き部が形成され、解放の際の操作部３１ａとされる。
容器本体１０には、図１，図３，図６に示すように、搭載部１２の４隅の、本体側壁部１４の外側４箇所に、先端内側に係止爪部３１が設けられた係止部材３２が搭載部１２と一体に上方（一端の開口部１１側）に突き出して形成されている。係止部材３２の係止爪部３１は、蓋体２０の係止孔部３３に係止することで容器本体１０と蓋体２０との連結状態を保持する。
容器本体１０の係止爪部３１は、上端が高く中心側に向かって低い傾斜面とされ、傾斜面下端が外側に凹んだ下端水平面とされている。係止爪部３１は、傾斜面の中央部がＬ字状に切り欠かれた切欠き部が形成され、解放の際の操作部３１ａとされる。
【0020】
蓋体２０は、蓋体天面部２３の４隅に、容器本体１０の係止部材３２の配置に対応する４箇所に、係止孔部３３が形成されている（図６，図８等参照）。容器本体１０の搭載部１２から上方に突き出す係止部材３２の係止爪部３１が係止孔部３３を乗り越えた後、係止爪部３１の下端水平面が係止されて保持状態となる。
係止孔部３３は、図５に示すように、蓋体天面部２３の上面に形成された凹部２４に形成される。係止部材３２の係止爪部３１が凹部２４により蓋体２０の表面から突き出さないようにしてある。凹部２４の表面は、係止爪部３１が係止される係止面３４となる。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにして４箇所の容器本体１０側の係止部材３２の係止爪部３１を、蓋体２０側の係止孔部３３を乗り越えさせて、係止爪部３１の下端水平面が凹部２４の表面の係止面３４に係止される。
この係止状態では、容器本体１０と蓋体２０とによってウェーハＷの収容部１３が密閉状態でシールされた状態で保持される。
一方、係止された保持状態の解放は、蓋体２０の凹部２４の表面に沿って係止爪部３１の操作部３１ａを中心側から外側に押し戻すことで行うことができる。
なお、保持機構３０は、４箇所とする場合に限らず、少なくとも２箇所、例えば対角位置の２箇所に設ければ良く、容器本体１０と蓋体２０とを係止状態に保持できれば良い。
係止孔部３３は、図５に示すように、蓋体天面部２３の上面に形成された凹部２４に形成される。係止部材３２の係止爪部３１が凹部２４により蓋体２０の表面から突き出さないようにしてある。凹部２４の表面は、係止爪部３１が係止される係止面３４となる。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにして４箇所の容器本体１０側の係止部材３２の係止爪部３１を、蓋体２０側の係止孔部３３を乗り越えさせて、係止爪部３１の下端水平面が凹部２４の表面の係止面３４に係止される。
この係止状態では、容器本体１０と蓋体２０とによってウェーハＷの収容部１３が密閉状態でシールされた状態で保持される。
一方、係止された保持状態の解放は、蓋体２０の凹部２４の表面に沿って係止爪部３１の操作部３１ａを中心側から外側に押し戻すことで行うことができる。
なお、保持機構３０は、４箇所とする場合に限らず、少なくとも２箇所、例えば対角位置の２箇所に設ければ良く、容器本体１０と蓋体２０とを係止状態に保持できれば良い。
【0021】
蓋体２０は、ウェーハＷの外側部に当てて押える押え部２５を備えている（図４，図７等参照）。押え部２５は、ウェーハＷの外側部となる少なくとも２箇所、容器本体１０の本体側壁部１４の間隔Ｄに対応する２箇所で押える。このウェーハ搬送容器１では、蓋体２０をどのような位置（９０度回転した位置）で被せてもウェーハＷを押えることができるように、蓋体外壁部２２の４箇所に押え部２５を形成してある。
押え部２５は、蓋体外壁部２２の中央部の直線状の部分の内壁面に設けられる。押え部２５は、２本のリブ状の押えリブ２６が蓋体外壁部２２と一体に形成され、蓋体天面部２３側の突き出し量が大きく蓋体２０の開口部側の突き出し量が小さい傾斜面として形成されている。押えリブ２６の天面側の最大突き出し量が重ねて収容されるウェーハＷの外径に合わせた位置となるように設定される。
また、容器本体１０の搭載部１２に収容されたウェーハＷを、上下に押えるための上部押え部２７が蓋体天面部２３に一体に形成されており、これまでと同様に、重ねられたウェーハＷを搭載部１２との間で上下に押える。
なお、押え部２５は、蓋体外壁部２２とは別体あるいは、別素材で形成して取り付けたものであっても良く、確実にウェーハＷの外周を押えることができれば良い。
押え部２５は、蓋体外壁部２２の中央部の直線状の部分の内壁面に設けられる。押え部２５は、２本のリブ状の押えリブ２６が蓋体外壁部２２と一体に形成され、蓋体天面部２３側の突き出し量が大きく蓋体２０の開口部側の突き出し量が小さい傾斜面として形成されている。押えリブ２６の天面側の最大突き出し量が重ねて収容されるウェーハＷの外径に合わせた位置となるように設定される。
また、容器本体１０の搭載部１２に収容されたウェーハＷを、上下に押えるための上部押え部２７が蓋体天面部２３に一体に形成されており、これまでと同様に、重ねられたウェーハＷを搭載部１２との間で上下に押える。
なお、押え部２５は、蓋体外壁部２２とは別体あるいは、別素材で形成して取り付けたものであっても良く、確実にウェーハＷの外周を押えることができれば良い。
【0022】
容器本体１０は、図１および図２に示すように、搭載部１２、本体側壁部１４の補強リブ１４ｅのほか、他の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部やリブ等が形成されて補強や剛性向上等を図っている。
また、ウェーハ搬送容器１を積み重ねる場合の位置決め用の正方形状の凹部と凸部が容器本体１０の底面部外側面（凹部は図示省略）と蓋体２０の蓋体天面部２３の外側面に凸部２８が形成してある（図４等参照）。
また、ウェーハ搬送容器１を積み重ねる場合の位置決め用の正方形状の凹部と凸部が容器本体１０の底面部外側面（凹部は図示省略）と蓋体２０の蓋体天面部２３の外側面に凸部２８が形成してある（図４等参照）。
【0023】
ウェーハ搬送容器１では、容器本体１０に蓋体２０を被せてシールして係止した状態では、４箇所の押え部２５のうち、本体側壁部１４の間隔Ｄに対応した２箇所の押え部２５がウェーハＷの外径に対応した位置で、重ねられたウェーハＷの外周を押えることで、ウェーハＷの水平移動を確実に防止する。
また、蓋体２０を９０度回転した位置で容器本体１０に被せた場合でも、他の２箇所の押え部２５でウェーハＷを押えることができる。
また、押え部２５は、蓋体２０を取り外した容器本体１０には、存在しないので、容器本体１０へのウェーハＷの収容は、押え部２５に邪魔されることなく、本体側壁部１４の間隔Ｄを開放状態としてこれまで通りに行うことができる。
また、蓋体２０を９０度回転した位置で容器本体１０に被せた場合でも、他の２箇所の押え部２５でウェーハＷを押えることができる。
また、押え部２５は、蓋体２０を取り外した容器本体１０には、存在しないので、容器本体１０へのウェーハＷの収容は、押え部２５に邪魔されることなく、本体側壁部１４の間隔Ｄを開放状態としてこれまで通りに行うことができる。
【0024】
蓋体２０は、図４～図８に示すように、蓋体側壁部２１、蓋体外壁部２２、蓋体天面部２３等の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部やリブ等が形成されて補強や剛性向上等を図っている。
また、容器本体１０の搭載部１２に収容されたウェーハＷを、上下に押えるための上部押え部２７が蓋体天面部２３に一体に形成されており、これまでと同様に、重ねられたウェーハＷを搭載部１２との間で上下に押える。
また、容器本体１０の搭載部１２に収容されたウェーハＷを、上下に押えるための上部押え部２７が蓋体天面部２３に一体に形成されており、これまでと同様に、重ねられたウェーハＷを搭載部１２との間で上下に押える。
【0025】
ウェーハ搬送容器１は、容器本体１０に蓋体２０を被せる際に、収容部１３に収容されたウェーハＷの損傷を防止する案内部材４０が少なくとも２箇所に設けられる。案内部材４０は、容器本体１０の中心軸と蓋体２０の中心軸とを一致させた同心状態を保持して蓋体２０を案内するためのものであり、図示例では、蓋体２０の４隅の４箇所に設けてある（図１，図３，図６等参照）。
案内部材４０は、蓋体側壁部２１に設けてあり、容器本体１０に設けた４箇所の係止部材３２に接触させながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する。各案内部材４０は、リブ状の案内部４１で構成される。案内部４１は、例えば２つの案内部４１が蓋体側壁部２１の外側に間隔をあけて中心方向外側に突き出すように平行に形成してある。案内部４１は、先端の開口側突き出し量が小さく、基端の蓋体天面部２３側の突き出し量が大きい傾斜面としてある。案内部４１は、先端の開口側から基端の蓋体天面部２３の凹部２４の係止孔部３３まで形成された案内面となっている。
案内部材４０は、蓋体側壁部２１に設けてあり、容器本体１０に設けた４箇所の係止部材３２に接触させながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する。各案内部材４０は、リブ状の案内部４１で構成される。案内部４１は、例えば２つの案内部４１が蓋体側壁部２１の外側に間隔をあけて中心方向外側に突き出すように平行に形成してある。案内部４１は、先端の開口側突き出し量が小さく、基端の蓋体天面部２３側の突き出し量が大きい傾斜面としてある。案内部４１は、先端の開口側から基端の蓋体天面部２３の凹部２４の係止孔部３３まで形成された案内面となっている。
【0026】
蓋体２０の案内部４１は、容器本体１０の係止爪部３１の上端の傾斜面（外側が高く中心側に向かって低い）と接触することで同心状態が保持される。
これにより、容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１と蓋体２０の案内部材４０の案内部４１が蓋体２０の被せ始めから被せ終わって容器本体１０の係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止されまでの間、同心状態を保持しながら保持機構３０で保持されるまで案内される（図６等参照）。
また、案内部４１の開口側が低く蓋体天面部２３側が高い傾斜面とすることで、成形時の金型からの脱型性を向上することができる。
これにより、容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１と蓋体２０の案内部材４０の案内部４１が蓋体２０の被せ始めから被せ終わって容器本体１０の係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止されまでの間、同心状態を保持しながら保持機構３０で保持されるまで案内される（図６等参照）。
また、案内部４１の開口側が低く蓋体天面部２３側が高い傾斜面とすることで、成形時の金型からの脱型性を向上することができる。
【0027】
ウェーハ搬送容器１は、蓋体２０が案内部材４０を構成する２つのリブ状の案内部４１を備えることにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、４箇所でそれぞれ２つの案内部４１の先端が容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１の上面に当たる。
この状態で案内部４１と係止爪部３１の傾斜面同士を接触させながら蓋体２０を押し込むように被せると、案内部４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。
さらに、４箇所の蓋体２０の案内部４１と４箇所の係止部材３２の係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていき、被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止され、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態で密閉され保持機構３０で保持状態となる。
この状態で案内部４１と係止爪部３１の傾斜面同士を接触させながら蓋体２０を押し込むように被せると、案内部４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。
さらに、４箇所の蓋体２０の案内部４１と４箇所の係止部材３２の係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていき、被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止され、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態で密閉され保持機構３０で保持状態となる。
【0028】
なお、ウェーハ搬送容器１では、案内部材４０として蓋体側壁部２１の外側に２つの案内部４１を形成したが、案内部４１の幅を広くして１つの案内部４１で案内部材４０を構成しても良い。
また、案内部材４０は、２つの案内部４１の間の蓋体側壁部２１を取り除き、案内部４１の先端側を壁面で連続させた断面コ字状の案内部４１とし蓋体側壁部２１から外側に突き出すように形成しても良く、容器本体１０の係止部材３２と接触させて同心状態で蓋体２０を被せることができるものであれば良い。
また、案内部材４０は、２つの案内部４１の間の蓋体側壁部２１を取り除き、案内部４１の先端側を壁面で連続させた断面コ字状の案内部４１とし蓋体側壁部２１から外側に突き出すように形成しても良く、容器本体１０の係止部材３２と接触させて同心状態で蓋体２０を被せることができるものであれば良い。
【0029】
ウェーハ搬送容器１では、蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、同心状態が確保されるので、蓋体２０の蓋体側壁部２１が容器本体１０に収容されたウェーハＷに当たってウェーハＷを損傷することが防止される。
また、ウェーハ搬送容器１は、蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、容器本体１０の本体側壁部１４よりも係止部材３２が高くしてあるので、最初に係止部材３２の係止爪部３１に案内部材４０の案内部４１が当たることで、収容部１３のウェーハＷの損傷を蓋体２０の被せ始めから一層確実に防止することができる。
また、蓋体２０には、ウェーハＷの外側を押える押え部２５が設けてあるので、蓋体２０を同心状態で被せ、しかも押え部２５によってウェーハＷを確実に押さえて容器本体１０と蓋体２０との同心状態を保持することができる。
これにより、ウェーハ搬送容器１では、ロボットアームなどの自動化装置を使用せず作業者により手動で蓋体２０を被せる場合であっても容器本体１０と蓋体２０の中心軸がずれることなく、確実に密閉することができる。
また、容器本体１０の本体側壁部１４が内側に倒れることが本体側壁端部１４ｂおよび補強壁部１４ｃで防止されるので、本体側壁部１４の倒れによるウェーハＷとの接触も防止でき、損傷を防止して収容し、搬送することができる。
また、ウェーハ搬送容器１は、蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、容器本体１０の本体側壁部１４よりも係止部材３２が高くしてあるので、最初に係止部材３２の係止爪部３１に案内部材４０の案内部４１が当たることで、収容部１３のウェーハＷの損傷を蓋体２０の被せ始めから一層確実に防止することができる。
また、蓋体２０には、ウェーハＷの外側を押える押え部２５が設けてあるので、蓋体２０を同心状態で被せ、しかも押え部２５によってウェーハＷを確実に押さえて容器本体１０と蓋体２０との同心状態を保持することができる。
これにより、ウェーハ搬送容器１では、ロボットアームなどの自動化装置を使用せず作業者により手動で蓋体２０を被せる場合であっても容器本体１０と蓋体２０の中心軸がずれることなく、確実に密閉することができる。
また、容器本体１０の本体側壁部１４が内側に倒れることが本体側壁端部１４ｂおよび補強壁部１４ｃで防止されるので、本体側壁部１４の倒れによるウェーハＷとの接触も防止でき、損傷を防止して収容し、搬送することができる。
【0030】
ウェーハ搬送容器１では、容器本体１０および蓋体２０は、導電性プラスチックにより形成することが好ましい。導電性プラスチックとしては、導電性フィラーを添加したプラスチックやポリマーアロイ処理したプラスチック等が挙げられる。導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末や繊維等が挙げられる。
【0031】
このように構成したウェーハ搬送容器１では、図８に示すように、容器本体１０の２つの本体側壁部１４で囲まれた搭載部１２上の収容部１３に、最下段のクッション材とするリングスペーサ５１を配置し、その上にウェーハＷと層間シート５２とを交互に重ね、最上段にクッション材とするリングスペーサ５１を配置して収容する。この本体側壁部１４の収容部１３へのウェーハＷの収容の際には、本体側壁部１４の内側への倒れ込みが防止されることで、ウェーハＷとの接触による損傷を防止して収容することができる。
容器本体１０に所定枚数のウェーハＷを重ねて収容した後、蓋体２０を被せるようにする。
容器本体１０に所定枚数のウェーハＷを重ねて収容した後、蓋体２０を被せるようにする。
【0032】
蓋体２０を容器本体１０に被せるようにすると、図６（ａ）に示すように、ウェーハ搬送容器１の４箇所（４隅）でそれぞれ２つの案内部４１の先端が容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１の上面に当たる。
この状態で蓋体２０を押し込むように被せると、案内部４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。これにより、直交する対角線方向と、直交する左右・前後方向にもガイドされて同心状態が保持される。
さらに、４箇所の蓋体２０の案内部４１と４箇所の係止部材３２の内側表面および係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていき、被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止され、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態となって、シール面１５，１６でシールされて密閉され保持状態となる（図６（ｂ）参照）。
蓋体２０が容器本体１０に完全に被せられた状態では、図７に示すように、押え部２５は、内側面がウェーハＷの外径に接する位置となる。
これにより、２箇所の押え部２５で、重ねられたウェーハＷの外周が押えられ、水平方向の移動が防止される。
この状態で蓋体２０を押し込むように被せると、案内部４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。これにより、直交する対角線方向と、直交する左右・前後方向にもガイドされて同心状態が保持される。
さらに、４箇所の蓋体２０の案内部４１と４箇所の係止部材３２の内側表面および係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていき、被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止され、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態となって、シール面１５，１６でシールされて密閉され保持状態となる（図６（ｂ）参照）。
蓋体２０が容器本体１０に完全に被せられた状態では、図７に示すように、押え部２５は、内側面がウェーハＷの外径に接する位置となる。
これにより、２箇所の押え部２５で、重ねられたウェーハＷの外周が押えられ、水平方向の移動が防止される。
【0033】
このようなウェーハ搬送容器１では、容器本体１０にウェーハＷを収容した状態で、蓋体２０を被せても、案内部材４０による案内によって容器本体１０と蓋体２０との中心軸がずれることなく同心状態となり、蓋体２０の蓋体側壁部２１や押え部２５がウェーハＷに当たって損傷を与えることを防止することができる。
また、重ねられたウェーハＷは、容器本体１０の搭載部１２の上面と蓋体２０の蓋体天面部２３の上部押え部２７によって押えられ、上下方向の移動も押えられる。
さらに、この蓋体２０を容器本体１０に完全に被せた状態では、蓋体２０の蓋体側壁部２１および蓋体外壁部２２が容器本体１０の環状のシール面１５およびシール面１６に接触した密封状態になる。
こうして容器本体１０にウェーハＷを重ねて収容し、蓋体２０を被せた後は、収容部１３に収容したウェーハＷは、上下及び左右方向が押えられるので、ウェーハ搬送容器１を任意の方向にして搬送しても、ウェーハＷは移動せず、ウェーハＷと直接接触する層間シート等と擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分によるウェーハＷへの汚染等の問題を解消することができる。
また、重ねられたウェーハＷは、容器本体１０の搭載部１２の上面と蓋体２０の蓋体天面部２３の上部押え部２７によって押えられ、上下方向の移動も押えられる。
さらに、この蓋体２０を容器本体１０に完全に被せた状態では、蓋体２０の蓋体側壁部２１および蓋体外壁部２２が容器本体１０の環状のシール面１５およびシール面１６に接触した密封状態になる。
こうして容器本体１０にウェーハＷを重ねて収容し、蓋体２０を被せた後は、収容部１３に収容したウェーハＷは、上下及び左右方向が押えられるので、ウェーハ搬送容器１を任意の方向にして搬送しても、ウェーハＷは移動せず、ウェーハＷと直接接触する層間シート等と擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分によるウェーハＷへの汚染等の問題を解消することができる。
【0034】
以上、実施の形態とともに、具体的に説明したように、本発明のウェーハ搬送容器１は、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向しウェーハＷが重ねて収容される搭載部１２を有する容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、を備えるウェーハ搬送容器１であって、容器本体１０は、搭載部１２に、ウェーハＷを収容する収容部１３を区画する複数の本体側壁部１４が立設され、本体側壁部１４は、曲率中心が収容部１３の中心と一致する円弧状の本体側壁主部１４ａと、曲率中心が本体側壁主部１４ａとは逆向きの円弧状の本体側壁端部１４ｂと、からなる。
かかる構成によれば、容器本体１０の搭載部１２に立設された本体側壁部１４が収縮変形によって内側に倒れることを本体側壁主部１４ａと逆の円弧状に形成した本体側壁端部１４ｂによって変形方向を逆にして変形を相殺することができる。これにより、収容部１３に収容されたウェーハＷの収容や取り出しの際に本体側壁部１４とウェーハＷとが接触して損傷することを防止できる。
かかる構成によれば、容器本体１０の搭載部１２に立設された本体側壁部１４が収縮変形によって内側に倒れることを本体側壁主部１４ａと逆の円弧状に形成した本体側壁端部１４ｂによって変形方向を逆にして変形を相殺することができる。これにより、収容部１３に収容されたウェーハＷの収容や取り出しの際に本体側壁部１４とウェーハＷとが接触して損傷することを防止できる。
【0035】
本発明のウェーハ搬送容器１では、本体側壁端部１４ｂは、本体側壁端部１４ｂの端縁に連続して背面側に突き出す補強壁部１４ｃが形成されているので、補強壁部１４ｃによって本体側壁端部１４ｂの端縁が補強されて倒れが抑えられ、一層確実に本体側壁部１４の倒れを相殺して、ウェーハＷを収容する際や収容したウェーハＷの取り出しの際に本体側壁部１４と接触することによる損傷を防止できる。
【0036】
本発明のウェーハ搬送容器１では、本体側壁主部１４ａと本体側壁端部１４ｂが、それぞれの背面に補強リブ１４ｅを備える。
かかる構成によれば、逆方向の変形応力が作用する変曲点１４ｄがそれぞれの補強リブ１４ｅによって補強され、一層確実に本体側壁部１４の倒れを相殺して、ウェーハＷを収容する際や収容したウェーハＷの取り出しの際に本体側壁部１４と接触することによるウェーハＷの損傷を防止できる。
かかる構成によれば、逆方向の変形応力が作用する変曲点１４ｄがそれぞれの補強リブ１４ｅによって補強され、一層確実に本体側壁部１４の倒れを相殺して、ウェーハＷを収容する際や収容したウェーハＷの取り出しの際に本体側壁部１４と接触することによるウェーハＷの損傷を防止できる。
【0037】
なお、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
【符号の説明】
【0038】
１ ウェーハ搬送容器（半導体ウェーハ搬送容器）
１０ 容器本体
１１ 開口部
１２ 搭載部
１３ 収容部
１４ 本体側壁部
１４ａ 本体側壁主部
１４ｂ 本体側壁端部
１４ｃ 補強壁部
１４ｄ 変曲点
１４ｅ 補強リブ
１５ 環状のシール面
１５ａ 凹部
１６ シール面
１７ 凹部
２０ 蓋体
２１ 蓋体側壁部
２２ 蓋体外壁部
２３ 蓋体天面部
２４ 凹部
２５ 押え部
２６ 押えリブ
２７ 上部押え部
２８ 凸部
３０ 保持機構
３１ 係止爪部
３１ａ 操作部
３２ 係止部材
３３ 係止孔部
３４ 係止面
４０ 案内部材
４１ 案内部
５１ リングスペーサ
５２ 層間シート
Ｄ 間隔
Ｗ ウェーハ
１０ 容器本体
１１ 開口部
１２ 搭載部
１３ 収容部
１４ 本体側壁部
１４ａ 本体側壁主部
１４ｂ 本体側壁端部
１４ｃ 補強壁部
１４ｄ 変曲点
１４ｅ 補強リブ
１５ 環状のシール面
１５ａ 凹部
１６ シール面
１７ 凹部
２０ 蓋体
２１ 蓋体側壁部
２２ 蓋体外壁部
２３ 蓋体天面部
２４ 凹部
２５ 押え部
２６ 押えリブ
２７ 上部押え部
２８ 凸部
３０ 保持機構
３１ 係止爪部
３１ａ 操作部
３２ 係止部材
３３ 係止孔部
３４ 係止面
４０ 案内部材
４１ 案内部
５１ リングスペーサ
５２ 層間シート
Ｄ 間隔
Ｗ ウェーハ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】