特開 2023-1428 ＣＴ画像生成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023001428

(43)【公開日】2023-01-06

(54)【発明の名称】ＣＴ画像生成方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/046 20180101AFI20221226BHJP

【ＦＩ】

G01N23/046

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021102140

(22)【出願日】2021-06-21

(71)【出願人】

【識別番号】512097042

【氏名又は名称】日本装置開発株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】木下 修

【テーマコード（参考）】

2G001

【Ｆターム（参考）】

2G001AA01

2G001BA11

2G001CA01

2G001DA09

2G001FA02

2G001HA08

2G001HA14

2G001JA08

2G001LA11

2G001MA05

(57)【要約】

【課題】斜め方向から被検査体にＸ線を照射して被検査体のＸ線画像を取得するとともに取得した複数枚のＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＸ線検査装置において、より精度の高いＣＴ画像を生成することが可能となるＣＴ画像生成方法を提供する。
【解決手段】このＣＴ画像生成方法では、球体画像取得ステップにおいて、被検査体のＸ線画像を取得するときの傾斜角度と同じ角度θでＸ線光軸ＯＡを回転中心軸ＣＲに対して傾けた状態でテーブル５を回転させて一定角度ごとに球体２２のＸ線画像を取得し、軌跡特定ステップにおいて、球体画像取得ステップで取得した複数枚の球体２２のＸ線画像に基づいて、テーブル５が１回転する間の球体２２の中心の軌跡である球体中心軌跡を特定し、ＣＴ画像生成ステップにおいて、球体中心軌跡に基づく所定の補正を行って被検査体のＣＴ画像を生成している。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｘ線発生器と、前記Ｘ線発生器との間に被検査体を挟むように配置されるＸ線検出器と、前記被検査体が載置されるテーブルと、上下方向に平行な回転中心軸を中心にして前記テーブルを回転させる回転機構とを備え、前記Ｘ線発生器が射出するＸ線の光軸であるＸ線光軸と前記回転中心軸とが前記Ｘ線発生器と前記被検査体との間においてなす角度が鋭角になっているＸ線検査装置でＣＴ画像を生成するためのＣＴ画像生成方法であって、
前記テーブルに球状の球体を載置し、前記被検査体のＸ線画像を取得するときの傾斜角度と同じ角度で前記Ｘ線光軸を前記回転中心軸に対して傾けた状態で前記テーブルを回転させるとともに前記Ｘ線発生器にＸ線を照射させて、一定角度ごとに前記Ｘ線検出器に前記球体のＸ線画像を取得させる球体画像取得ステップと、
前記球体画像取得ステップで取得した複数枚の前記球体のＸ線画像に基づいて、前記テーブルが１回転する間の前記球体の中心の軌跡である球体中心軌跡を特定する軌跡特定ステップと、
前記テーブルに前記被検査体を載置し、前記テーブルを回転させるとともに前記Ｘ線発生器にＸ線を照射させて、一定角度ごとに前記Ｘ線検出器に前記被検査体のＸ線画像を取得させる画像取得ステップと、
前記画像取得ステップで取得した複数枚の前記被検査体のＸ線画像に基づく所定の演算を行って前記被検査体のＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成ステップとを備え、
前記ＣＴ画像生成ステップでは、前記球体中心軌跡に基づく所定の補正を行って前記被検査体のＣＴ画像を生成することを特徴とするＣＴ画像生成方法。

【請求項2】

前記ＣＴ画像生成ステップでは、前記球体中心軌跡の重心と前記球体中心軌跡との平均距離を半径とし前記球体中心軌跡の重心を中心とする仮想円、または、前記球体中心軌跡に内接する仮想円、あるいは、前記球体中心軌跡に外接する仮想円の中心から前記球体中心軌跡までの距離と前記仮想円の半径との差の分の補正を行って前記被検査体のＣＴ画像を生成することを特徴とする請求項１記載のＣＴ画像生成方法。

【請求項3】

前記球体画像取得ステップでは、前記回転中心軸の近傍に前記球体を載置し、
前記ＣＴ画像生成ステップでは、前記球体中心軌跡の重心と前記球体中心軌跡との距離の分の補正を行って前記被検査体のＣＴ画像を生成することを特徴とする請求項１記載のＣＴ画像生成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、工業製品等の被検査体を非破壊で検査するためのＸ線検査装置においてＣＴ画像を生成するためのＣＴ画像生成方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、Ｘ線を用いて被検査体の断層像を撮影する断層撮影装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の断層撮影装置は、Ｘ線管と、Ｘ線検出器と、被検査体が載置されるテーブルと、上下方向に平行な回転中心軸を回転中心にしてテーブルを回転させる回転機構と、Ｘ線検出器を移動させる検出器移動機構とを備えている。この断層撮影装置では、検出器移動機構によってＸ線検出器を移動させることで、テーブルの回転中心軸とＸ線光軸とがなす角度であるラミノ角を０°～約７０°の範囲で変えることが可能になっている。

【0003】

特許文献１に記載の断層撮影装置では、被検査体の検査を行うときに、回転中心軸を回転中心にしてテーブルを回転させ３６０°に亘ってＸ線検出器で被検査体のＸ線画像を取得する。このときには、ラミノ角は０°を超える角度に設定されている。すなわち、この断層撮影装置では、被検査体の検査を行うときのラミノ角は鋭角になっており、被検査体に斜め方向からＸ線を照射している。

【0004】

特許文献１に記載の断層撮影装置では、被検査体の検査に先立って、ラミノ角を０°に設定するとともに被検査体の代わりに基準被検査体をテーブルの回転中心軸の近傍に載置し、回転中心軸を中心にしてテーブルを回転させ３６０°に亘ってＸ線検出器で基準被検査体のＸ線画像を取得している。基準被検査体は、たとえば、Ｘ線を透過しやすい板の上にＸ線を透過しにくい金属ボールを接着したものであり、金属ボールが回転中心軸の近傍に配置される。

【0005】

特許文献１に記載の断層撮影装置では、基準被検査体のＸ線画像から、テーブルが３６０°回転したときの金属ボールの重心の振れを求めてメモリに記憶する。より具体的には、上述のように、この断層撮影装置では、基準被検査体のＸ線画像を取得するときのラミノ角が０°に設定されているため、基準被検査体のＸ線画像から、テーブルが３６０°回転したときの金属ボールの重心の水平方向の振れを求めてメモリに記憶する。被検査体の検査時には、メモリに記憶された金属ボールの重心の水平方向の振れに基づいて、Ｘ線検出器で取得された被検査体のＸ線画像を補正している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第５０６０８６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本願発明者は、工業製品等の被検査体を非破壊で検査するためのＸ線検査装置を開発している。具体的には、本願発明者は、特許文献１に記載の断層撮影装置と同様に、被検査体の検査を行うときのラミノ角が鋭角に設定されるＸ線検査装置を開発している。すなわち、本願発明者は、斜め方向から被検査体にＸ線を照射して被検査体のＸ線画像を取得するＸ線検査装置を開発している。このＸ線検査装置では、Ｘ線検出器で取得された被検査体の複数枚のＸ線画像に基づく所定の演算が行われてＣＴ画像が生成される。このＸ線検査装置において、被検査体の検査精度をより高めるためには、より精度の高いＣＴ画像が生成されることが好ましい。

【0008】

そこで、本発明の課題は、斜め方向から被検査体にＸ線を照射して被検査体のＸ線画像を取得するとともに取得した複数枚のＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＸ線検査装置において、より精度の高いＣＴ画像を生成することが可能となるＣＴ画像生成方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記の課題を解決するため、本願発明者は、まず、被検査体が載置されるテーブルを回転させる回転機構の機械的な調整を精度良く行って、被検査体がテーブルと一緒に回転するときの被検査体の水平方向の振れを抑制することにした。また、本願発明者は、回転機構の機械的な調整を行ってテーブルと一緒に回転する被検査体の水平方向の振れを抑制した後、テーブルを回転させてＸ線検出器で被検査体のＸ線画像を取得し、取得したＸ線画像を確認することにした。

【0010】

本願発明者は、かかる過程の中で、テーブルと一緒に回転する被検査体の水平方向の振れが抑制されてくると、テーブルと一緒に回転する被検査体の上下方向（鉛直方向）の振れが被検査体のＸ線画像に与える影響が大きくなって、被検査体のＸ線画像の精度を高めることが困難になり、その結果、より精度の高いＣＴ画像を生成することが困難になることを知見するに至った。また、本願発明者は、テーブルと一緒に回転する被検査体の上下方向の振れが被検査体のＸ線画像に与える影響が大きくなって、被検査体のＸ線画像の精度を高めることが困難になっても、複数枚のＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成する際に、テーブルと一緒に回転する被検査体の水平方向の振れを補正するだけでなく被検査体の上下方向の振れを補正することで、より精度の高いＣＴ画像を生成することが可能になることを知見するに至った。

【0011】

本発明のＣＴ画像生成方法は、かかる新たな知見に基づくものであり、Ｘ線発生器と、Ｘ線発生器との間に被検査体を挟むように配置されるＸ線検出器と、被検査体が載置されるテーブルと、上下方向に平行な回転中心軸を中心にしてテーブルを回転させる回転機構とを備え、Ｘ線発生器が射出するＸ線の光軸であるＸ線光軸と回転中心軸とがＸ線発生器と被検査体との間においてなす角度が鋭角になっているＸ線検査装置でＣＴ画像を生成するためのＣＴ画像生成方法であって、テーブルに球状の球体を載置し、被検査体のＸ線画像を取得するときの傾斜角度と同じ角度でＸ線光軸を回転中心軸に対して傾けた状態でテーブルを回転させるとともにＸ線発生器にＸ線を照射させて、一定角度ごとにＸ線検出器に球体のＸ線画像を取得させる球体画像取得ステップと、球体画像取得ステップで取得した複数枚の球体のＸ線画像に基づいて、テーブルが１回転する間の球体の中心の軌跡である球体中心軌跡を特定する軌跡特定ステップと、テーブルに被検査体を載置し、テーブルを回転させるとともにＸ線発生器にＸ線を照射させて、一定角度ごとにＸ線検出器に被検査体のＸ線画像を取得させる画像取得ステップと、画像取得ステップで取得した複数枚の被検査体のＸ線画像に基づく所定の演算を行って被検査体のＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成ステップとを備え、ＣＴ画像生成ステップでは、球体中心軌跡に基づく所定の補正を行って被検査体のＣＴ画像を生成することを特徴とする。

【0012】

本発明のＣＴ画像生成方法では、球体画像取得ステップにおいて、上下方向に平行な回転中心軸に対してＸ線光軸を傾けた状態でテーブルを回転させて一定角度ごとにＸ線検出器に球体のＸ線画像を取得させ、軌跡特定ステップにおいて、球体画像取得ステップで取得した複数枚の球体のＸ線画像に基づいて、テーブルが１回転する間の球体の中心の軌跡である球体中心軌跡を特定している。そのため、本発明では、テーブルと一緒に回転する球体の水平方向の振れに加えて球体の上下方向の振れを含んだ球体のＸ線画像を取得して、テーブルと一緒に回転する球体の水平方向の振れおよび上下方向の振れを含んだ球体中心軌跡を取得することが可能になる。

【0013】

また、本発明では、球体画像取得ステップにおいて、被検査体のＸ線画像を取得するときの傾斜角度と同じ角度でＸ線光軸を回転中心軸に対して傾けた状態でテーブルを回転させているため、被検査体のＸ線画像を取得するときにテーブルと一緒に回転する被検査体の水平方向の振れおよび上下方向の振れと同程度の振れを含んだ球体中心軌跡を取得することが可能になる。

【0014】

さらに、本発明では、被検査体のＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成ステップにおいて、テーブルと一緒に回転する被検査体の水平方向の振れおよび上下方向の振れと同程度の振れを含んだ球体中心軌跡に基づく所定の補正を行って被検査体のＣＴ画像を生成している。そのため、本発明では、複数枚の被検査体のＸ線画像に基づいて被検査体のＣＴ画像を生成する際に、テーブルと一緒に回転する被検査体の水平方向の振れを補正するだけでなく被検査体の上下方向の振れを補正することが可能になる。したがって、本発明のＣＴ画像生成方法でＣＴ画像を生成すれば、より精度の高いＣＴ画像を生成することが可能になる。

【0015】

本発明において、ＣＴ画像生成ステップでは、たとえば、球体中心軌跡の重心と球体中心軌跡との平均距離を半径とし球体中心軌跡の重心を中心とする仮想円、または、球体中心軌跡に内接する仮想円、あるいは、球体中心軌跡に外接する仮想円の中心から球体中心軌跡までの距離と仮想円の半径との差の分の補正を行って被検査体のＣＴ画像を生成する。この場合には、ＣＴ画像生成ステップでの補正量を小さくすることが可能になる。

【0016】

本発明において、球体画像取得ステップでは、回転中心軸の近傍に球体を載置し、ＣＴ画像生成ステップでは、球体中心軌跡の重心と球体中心軌跡との距離の分の補正を行って被検査体のＣＴ画像を生成しても良い。

【発明の効果】

【0017】

以上のように、本発明のＣＴ画像生成方法でＣＴ画像を生成すれば、斜め方向から被検査体にＸ線を照射して被検査体のＸ線画像を取得するとともに取得した複数枚のＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＸ線検査装置において、より精度の高いＣＴ画像を生成することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施の形態にかかるＣＴ画像生成方法でＣＴ画像を生成するＸ線検査装置の概略構成を説明するための図である。

【図2】図１に示す保持部材の平面図である。

【図3】本発明の実施の形態にかかるＣＴ画像生成方法の球体画像取得ステップを説明するための概略図である。

【図4】（Ａ）は、本発明の実施の形態にかかるＣＴ画像生成方法を説明するための図であり、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の他の実施の形態にかかるＣＴ画像生成方法を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0020】

（Ｘ線検査装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるＣＴ画像生成方法でＣＴ画像を生成するＸ線検査装置１の概略構成を説明するための図である。図２は、図１に示す保持部材１１の平面図である。

【0021】

本形態のＣＴ画像生成方法は、工業製品等の被検査体２を非破壊で検査するためのＸ線検査装置１においてＣＴ画像を生成するための方法である。被検査体２は、たとえば、平板状に形成されるガラスエポキシ基板等の基板（回路基板）である。被検査体２である基板には、ＩＣチップ等の電子部品が実装されており、Ｘ線検査装置１では、基板と電子部品との接合部分の検査が行われる。そのため、Ｘ線検査装置１での検査では、たとえば、ミクロン単位の高い検査精度が要求される。

【0022】

Ｘ線検査装置１は、被検査体２にＸ線を照射するＸ線発生器３と、Ｘ線発生器３との間で被検査体２を挟むように配置されるとともに被検査体２のＸ線画像を取得するＸ線検出器４と、被検査体２が載置されるテーブル５と、上下方向（鉛直方向）に平行な回転中心軸ＣＲを回転中心にしてテーブル５を回転させる回転機構６と、Ｘ線検出器４で取得されたＸ線画像を取り込んで処理するパーソナルコンピュータ（ＰＣ）７とを備えている。

【0023】

Ｘ線検査装置１では、Ｘ線発生器３が射出するＸ線の光軸であるＸ線光軸ＯＡが水平方向に対して傾くとともに上下方向に対して傾いている。具体的には、Ｘ線検査装置１では、Ｘ線発生器３と被検査体２との間においてＸ線光軸ＯＡと回転中心軸ＣＲとがなす角度（ラミノ角）θが鋭角になっている。すなわち、Ｘ線検査装置１は、いわゆる斜めＣＴ装置である。角度θは、たとえば、４５°～６０°となっている。

【0024】

Ｘ線発生器３は、被検査体２に向かって円錐状のＸ線を射出する。Ｘ線検出器４は、二次元のＸ線検出器（エリアセンサ）である。Ｘ線検出器４は、Ｘ線検出器４の受光面がＸ線発生器３側を向くように配置されている。Ｘ線光軸ＯＡは、Ｘ線検出器４の受光面に直交している。Ｘ線検出器４には、被検査体２の透視像が写し出される。Ｘ線発生器３とＸ線検出器４との間には、たとえば、被検査体２の一部分が挟まれている。テーブル５は、回転機構６の上端に取り付けられており、回転機構６の上側に配置されている。Ｘ線発生器３は、被検査体２よりも上側に配置されている。Ｘ線検出器４は、回転機構６よりも下側に配置されている。

【0025】

テーブル５は、いわゆるＸＹテーブルであり、テーブル５に載置される被検査体２は、上下方向に直交するＸ方向と、上下方向とＸ方向とに直交するＹ方向とに移動可能となっている。被検査体２である基板は、基板の厚さ方向と上下方向とが一致するようにテーブル５に載置される。テーブル５には、Ｘ線発生器３から射出されるＸ線を通過させるための貫通穴が形成されている。

【0026】

回転機構６は、テーブル５が取り付けられるとともにテーブル５と一緒に回転する回転部材１０と、回転部材１０を回転可能に保持する保持部材１１と、回転部材１０と保持部材１１との間に配置される転がり軸受１２とを備えている。また、回転機構６は、回転部材１０を回転させる駆動機構（図示省略）を備えている。駆動機構は、たとえば、駆動源としてのモータと、モータの動力を回転部材１０に伝達する動力伝達機構とを備えている。モータは、保持部材１１に固定されている。動力伝達機構は、たとえば、モータの出力軸に固定される駆動歯車と、回転部材１０に固定される円環状かつ大径の従動歯車とを備えている。

【0027】

転がり軸受１２（以下「軸受１２」とする。）は、クロスローラ軸受である。軸受１２は、回転部材１０に固定される円環状の内輪１４と、保持部材１１に固定される円環状の外輪１５と、内輪１４と外輪１５との間に配置される複数のローラ（ころ）とを備えている。軸受１２は、比較的大型の軸受であり、内輪１４の内径は、たとえば、５００ｍｍとなっている。なお、軸受１２は、クロスローラ軸受以外のころ軸受（ローラ軸受）であっても良いし、玉軸受（ボール軸受）であっても良い。

【0028】

回転部材１０は、内輪１４の内周側に配置されている。回転部材１０は、円環状に形成されている。Ｘ線発生器３から射出されるＸ線は、円環状に形成される回転部材１０の内周側を通過する。保持部材１１は、円環状に形成されている。Ｘ線発生器３から射出されるＸ線は、円環状に形成される保持部材１１の内周側を通過する。保持部材１１には、外輪１５が載置される載置面１１ａが形成されている。載置面１１ａは、円環状に形成される保持部材１１の中心を曲率中心とする円環状に形成されている。また、載置面１１ａは、上下方向に直交する平面である。載置面１１ａに載置される外輪１５は、軸受１２の周方向に配列される複数の固定用ネジによって保持部材１１に固定されている。

【0029】

（ＣＴ画像生成方法）
図３は、本発明の実施の形態にかかるＣＴ画像生成方法の球体画像取得ステップを説明するための概略図である。図４（Ａ）は、本発明の実施の形態にかかるＣＴ画像生成方法を説明するための図である。

【0030】

Ｘ線検査装置１では、以下のように被検査体２のＣＴ画像が生成される。まず、被検査体２のＸ線画像を取得する前に、テーブル５に球状の球体２２を載置し、被検査体２のＸ線画像を取得するときの傾斜角度と同じ角度θでＸ線光軸ＯＡを回転中心軸ＣＲに対して傾けた状態でテーブル５を回転させるとともにＸ線発生器３にＸ線を照射させて、テーブル５の回転方向における一定角度ごとにＸ線検出器４に球体２２のＸ線画像を取得させる（球体画像取得ステップ）。

【0031】

球体画像取得ステップにおいてテーブル５に載置される球体２２は、Ｘ線が透過しにくい（あるいは、Ｘ線が透過しない）金属製のボールである。球体２２は、たとえば、鋼材によって形成された鋼球であり、球体２２の真球度は高くなっている。球体２２の直径は、たとえば、０．３ｍｍとなっている。球体２２は、被検査体２の検査を行う作業者によって回転中心軸ＣＲの近傍に載置される。

【0032】

球体画像取得ステップでは、回転機構６は、球体２２が載置されたテーブル５を一定速度で少なくとも３６０°回転させ、Ｘ線発生器３は、回転機構６が等速で回転させている球体２２にＸ線を照射する。Ｘ線検出器４は、球体２２の透視像が写る二次元のＸ線画像を、テーブル５が一定角度回転するごとに連続的に複数枚取得する。たとえば、Ｘ線検出器４は、テーブル５が０．３６°回転するごとに連続的に１０００枚のＸ線画像を取得する。Ｘ線検出器４で取得された複数枚の球体２２のＸ線画像は、ＰＣ７に取り込まれる。本形態では、後述の画像取得ステップで取得される被検査体２のＸ線画像の枚数と同じ枚数の球体２２のＸ線画像が取得される。

【0033】

なお、本形態では、球体画像取得ステップの前に、回転機構６の機械的な調整が行われている。たとえば、テーブル５と一緒に回転する球体２２の水平方向の振れが５μｍ程度となり、テーブル５と一緒に回転する球体２２の上下方向の振れが１０μｍ程度となるように、回転機構６の精密な調整が行われている。

【0034】

球体画像取得ステップで球体２２のＸ線画像が取得されると、球体画像取得ステップで取得した複数枚の球体２２のＸ線画像に基づいて、テーブル５が１回転する間（３６０°回転する間）の球体２２の中心（重心）の軌跡である球体中心軌跡ＢＴを特定する（軌跡特定ステップ）。軌跡特定ステップでは、ＰＣ７に取り込まれた複数枚の球体２２のＸ線画像に基づいてＰＣ７が球体中心軌跡ＢＴを特定する。球体中心軌跡ＢＴは、テーブル５の回転角度に応じて、たとえば、図４（Ａ）のように変動する。

【0035】

また、球体画像取得ステップの後には、テーブル５から球体２２を降ろしてテーブル５に被検査体２を載置し、テーブル５を回転させるとともにＸ線発生器３にＸ線を照射させて、テーブル５の回転方向における一定角度ごとにＸ線検出器４に被検査体２のＸ線画像を取得させる（画像取得ステップ）。画像取得ステップでは、回転機構６は、被検査体２が載置されたテーブル５を一定速度で少なくとも３６０°回転させ、Ｘ線発生器３は、回転機構６が等速で回転させている被検査体２にＸ線を照射する。Ｘ線検出器４は、被検査体２の透視像が写る二次元のＸ線画像を、テーブル５が一定角度回転するごとに連続的に複数枚取得する。Ｘ線検出器４で取得された複数枚の被検査体２のＸ線画像は、ＰＣ７に取り込まれる。

【0036】

画像取得ステップで被検査体２のＸ線画像が取得されると、画像取得ステップで取得した複数枚の被検査体２のＸ線画像に基づく所定の演算を行って被検査体２のＣＴ画像を生成する（ＣＴ画像生成ステップ）。ＣＴ画像生成ステップでは、ＰＣ７に取り込まれた複数枚の被検査体２のＸ線画像に基づいてＰＣ７が所定の演算処理を行って被検査体２のＣＴ画像を生成する。また、ＣＴ画像生成ステップでは、球体中心軌跡ＢＴに基づく所定の補正を行って被検査体２のＣＴ画像を生成する。

【0037】

球体中心軌跡ＢＴの重心と球体中心軌跡ＢＴとの平均距離（球体中心軌跡ＢＴの重心と球体中心軌跡ＢＴとの距離の平均値）を半径ｒとし、球体中心軌跡ＢＴの重心を中心Ｃとする円を仮想円ＶＣとすると（図４（Ａ）参照）、本形態では、ＣＴ画像生成ステップにおいて、仮想円ＶＣの中心Ｃから球体中心軌跡ＢＴまでの距離と仮想円ＶＣの半径ｒとの差ｄの分の補正を行って被検査体２のＣＴ画像を生成する。具体的には、上述のように、画像取得ステップでは、テーブル５の回転方向における一定角度ごとに複数枚の被検査体２のＸ線画像が取得されており、ＣＴ画像生成ステップでは、テーブル５の各回転角度における被検査体２のＸ線画像に対して、その回転角度において算出される差ｄの分の補正を行って被検査体２のＣＴ画像を生成する。

【0038】

たとえば、ＣＴ画像生成ステップでは、テーブル５の各回転角度における被検査体２のＸ線画像を差ｄの分だけ所定の方向へずらす補正を行う。この場合、仮想円ＶＣの中心Ｃから球体中心軌跡ＢＴまでの距離が仮想円ＶＣの半径ｒよりも大きければ、差ｄの分だけマイナスの方向に被検査体２のＸ線画像をずらし、仮想円ＶＣの中心Ｃから球体中心軌跡ＢＴまでの距離が仮想円ＶＣの半径ｒよりも小さければ、差ｄの分だけプラスの方向に被検査体２のＸ線画像をずらす。

【0039】

あるいは、ＣＴ画像生成ステップでは、複数枚のＸ線画像に対する所定の演算を行う際に、テーブル５の各回転角度において算出される差ｄの分の補正を行う。なお、本形態では、球体画像取得ステップにおける回転部材１０、保持部材１１および軸受１２等の状態と、画像取得ステップにおける回転部材１０、保持部材１１および軸受１２等の状態とが、環境温度の変動等に伴って変動するのを抑制して、回転部材１０、保持部材１１および軸受１２等の状態の変動がＣＴ画像に与える影響を最小限に抑制するために、球体画像取得ステップの直後に画像取得ステップを行っている。

【0040】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、球体画像取得ステップにおいて、上下方向に平行な回転中心軸ＣＲに対してＸ線光軸ＯＡを傾けた状態でテーブル５を回転させて一定角度ごとに球体２２のＸ線画像を取得し、軌跡特定ステップにおいて、球体画像取得ステップで取得した複数枚の球体２２のＸ線画像に基づいて、テーブル５が１回転する間の球体２２の中心の軌跡である球体中心軌跡ＢＴを特定している。そのため、本形態では、テーブル５と一緒に回転する球体２２の水平方向の振れに加えて球体２２の上下方向の振れを含んだ球体２２のＸ線画像を取得して、テーブル５と一緒に回転する球体２２の水平方向の振れおよび上下方向の振れを含んだ球体中心軌跡ＢＴを取得することが可能になる。

【0041】

また、本形態では、球体画像取得ステップにおいて、被検査体２のＸ線画像を取得するときの傾斜角度と同じ角度θでＸ線光軸ＯＡを回転中心軸ＣＲに対して傾けた状態でテーブル５を回転させているため、被検査体２のＸ線画像を取得するときにテーブル５と一緒に回転する被検査体２の水平方向の振れおよび上下方向の振れと同程度の振れを含んだ球体中心軌跡ＢＴを取得することが可能になる。

【0042】

さらに、本形態では、ＣＴ画像生成ステップにおいて、テーブル５と一緒に回転する被検査体２の水平方向の振れおよび上下方向の振れと同程度の振れを含んだ球体中心軌跡ＢＴに基づく所定の補正を行って被検査体２のＣＴ画像を生成している。そのため、本形態では、複数枚の被検査体２のＸ線画像に基づいて被検査体２のＣＴ画像を生成する際に、テーブル５と一緒に回転する被検査体２の水平方向の振れを補正するだけでなく被検査体２の上下方向の振れを補正することが可能になる。したがって、本形態のＣＴ画像生成方法でＣＴ画像を生成すれば、より精度の高いＣＴ画像を生成することが可能になる。

【0043】

なお、本形態では、軸受１２が比較的大型の軸受であって、内輪１４の内径は比較的大きくなっている。また、本形態では、Ｘ線発生器３から射出されるＸ線が回転部材１０および保持部材１１の内周側を通過するように、回転部材１０および保持部材１１が円環状に形成されている。そのため、本形態では、回転部材１０、保持部材１１および軸受１２の剛性が比較的低くなっていて、テーブル５と一緒に回転する被検査体２に上下方向の振れが生じやすくなるが、本形態では、テーブル５と一緒に回転する被検査体２に上下方向の振れが生じやすくなっていても、より精度の高いＣＴ画像を生成することが可能になる。

【0044】

本形態では、ＣＴ画像生成ステップにおいて、仮想円ＶＣの中心Ｃから球体中心軌跡ＢＴまでの距離と仮想円ＶＣの半径ｒとの差ｄの分の補正を行って被検査体２のＣＴ画像を生成している。そのため、本形態では、球体中心軌跡ＢＴの重心と球体中心軌跡ＢＴとの距離の分の補正を行う場合と比較して、ＣＴ画像生成ステップでの補正量を小さくすることが可能になる。

【0045】

（他の実施の形態）
上述した形態において、仮想円ＶＣは、図８（Ｂ）に示すように、球体中心軌跡ＢＴに内接する内接円であっても良いし、図８（Ｃ）に示すように、球体中心軌跡ＢＴに外接する外接円であっても良い。この場合であっても、ＣＴ画像生成ステップにおいて、仮想円ＶＣの中心Ｃから球体中心軌跡ＢＴまでの距離と仮想円ＶＣの半径ｒとの差ｄの分の補正を行って被検査体２のＣＴ画像を生成する。この場合であっても、ＣＴ画像生成ステップでの補正量を小さくすることが可能になる。また、上述した形態において、仮想円ＶＣの半径ｒが十分に小さい場合には、ＣＴ画像生成ステップにおいて、球体中心軌跡ＢＴの重心と球体中心軌跡ＢＴとの距離の分の補正を行って被検査体２のＣＴ画像を生成しても良い。

【0046】

上述した形態において、画像取得ステップで被検査体２のＸ線画像を取得するときに、３６０°の等分割位置においてテーブル５を一時停止させながら、順次、Ｘ線検出器４が被検査体２のＸ線画像を取得しても良い。また、上述した形態において、球体画像取得ステップで球体２２のＸ線画像を取得するときに、３６０°の等分割位置においてテーブル５を一時停止させながら、順次、Ｘ線検出器４が球体２２のＸ線画像を取得しても良い。

【0047】

上述した形態において、画像取得ステップの後に球体画像取得ステップを行っても良い。この場合には、画像取得ステップの直後に球体画像取得ステップを行うことが好ましい。また、上述した形態において、画像取得ステップで取得される被検査体２のＸ線画像の枚数と球体画像取得ステップで取得される球体２２のＸ線画像の枚数とが異なっていても良い。さらに、上述した形態において、Ｘ線検出器４が被検査体２より上側に配置され、Ｘ線発生器３が回転機構６より下側に配置されていても良い。また、上述した形態において、Ｘ線検査装置１で検査が行われる被検査体２は、基板以外のものであっても良い。

【符号の説明】

【0048】

１ Ｘ線検査装置
２ 被検査体
３ Ｘ線発生器
４ Ｘ線検出器
５ テーブル
６ 回転機構
２２ 球体
ＢＴ 球体中心軌跡
Ｃ 仮想円の中心
ＣＲ 回転中心軸
ｄ 仮想円の中心から球体中心軌跡までの距離と仮想円の半径との差
ＯＡ Ｘ線光軸
ｒ 仮想円の半径
ＶＣ 仮想円

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】