特開 2023-143389 振動アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023143389

(43)【公開日】2023-10-06

(54)【発明の名称】振動アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   B06B 1/04 20060101AFI20230928BHJP

【ＦＩ】

B06B1/04 S

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022050725

(22)【出願日】2022-03-25

(71)【出願人】

【識別番号】000112565

【氏名又は名称】フォスター電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】舟橋 康太

(72)【発明者】

【氏名】原 晃

【テーマコード（参考）】

5D107

【Ｆターム（参考）】

5D107AA04

5D107BB08

5D107CC09

5D107CD01

5D107DD03

5D107DD09

5D107DD12

5D107FF10

(57)【要約】

【課題】弾性支持部材の変形に伴って振動する可動体の加速度の最大値を簡単に調整できる振動アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも磁石を含んで磁気回路を構成する磁気回路構成部材及びコイル２０の一方を含む固定体２４と、固定体に支持された弾性支持部材２５と、弾性支持部材に形成された可動体支持部４５に固定され且つコイル及び磁気回路構成部材の他方を含み、コイルに電流が流れたときに弾性支持部材を撓ませながら所定方向に振動する可動体５５と、弾性支持部材又は可動体に支持された補助弾性支持部材７１と、補助弾性支持部材に支持された補助質量体７２と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも磁石を含んで磁気回路を構成する磁気回路構成部材及びコイルの一方を含む固定体と、
前記固定体に支持された弾性支持部材と、
前記弾性支持部材に形成された可動体支持部に固定され且つ前記コイル及び前記磁気回路構成部材の他方を含み、前記コイルに電流が流れたときに前記弾性支持部材を撓ませながら所定方向に振動する可動体と、
前記弾性支持部材又は前記可動体に支持された補助弾性支持部材と、
前記補助弾性支持部材に支持された補助質量体と、
を備える、
振動アクチュエータ。

【請求項2】

前記弾性支持部材に前記補助弾性支持部材が支持された請求項１に記載の振動アクチュエータ。

【請求項3】

前記弾性支持部材及び前記可動体に前記補助弾性支持部材が支持されない場合と比べて、前記可動体が振動するときの前記可動体の加速度の最大値が低くなるように、前記補助弾性支持部材が前記弾性支持部材又は前記可動体に支持された請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータ。

【請求項4】

前記可動体の振動周波数が所定の第１周波数帯に含まれる第１周波数であるときに、前記可動体の加速度が前記第１周波数帯において最大の第１ピーク値となり、且つ、前記振動周波数が前記第１周波数帯とは異なる第２周波数帯に含まれる第２周波数であるときに、前記加速度が前記第２周波数帯において最大の第２ピーク値となるように、前記補助弾性支持部材が前記弾性支持部材又は前記可動体に支持された請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータ。

【請求項5】

前記弾性支持部材と前記補助弾性支持部材が互いに別部材である請求項１～４の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。

【請求項6】

前記弾性支持部材が、一方の端部のみが前記固定体に支持された片持ち梁であり、
前記弾性支持部材の前記一方の端部と前記可動体支持部との間に位置する部位に、前記補助弾性支持部材が支持された請求項１～５の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。

【請求項7】

前記弾性支持部材が、一方の端部のみが前記固定体に支持された片持ち梁であり、
前記弾性支持部材の他方の端部と前記可動体支持部との間に位置する部位に、前記補助弾性支持部材が支持された請求項１～５の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動アクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、コイルを含む固定体と、固定体に一端である固定端が固定された片持ち梁状の弾性支持部材と、弾性支持部材に固定された磁石を有する可動体と、を備える振動アクチュエータが開示されている。コイルに電流が流れたときに、磁気回路で発生した磁力が、弾性支持部材を撓ませながら可動体（磁石）を所定方向に振動させる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－６９４４７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、振動アクチュエータの弾性支持部材にエラストマーからなる部材を固定することにより、可動体の振動時の加速度の最大値を調整できる。しかし、エラストマーの特性は温度変化に伴って変わり易い。そのため、この方法により可動体の加速度の最大値を、所望の値となるように調整するのは容易ではない。

【0005】

本発明は、弾性支持部材の変形に伴って振動する可動体の加速度の最大値を簡単に調整できる振動アクチュエータを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

請求項１に記載の振動アクチュエータは、少なくとも磁石を含んで磁気回路を構成する磁気回路構成部材及びコイルの一方を含む固定体と、前記固定体に支持された弾性支持部材と、前記弾性支持部材に形成された可動体支持部に固定され且つ前記コイル及び前記磁気回路構成部材の他方を含み、前記コイルに電流が流れたときに前記弾性支持部材を撓ませながら所定方向に振動する可動体と、前記弾性支持部材又は前記可動体に支持された補助弾性支持部材と、前記補助弾性支持部材に支持された補助質量体と、を備える振動アクチュエータ。

【0007】

請求項１に記載の発明では、弾性支持部材又は可動体に補助弾性支持部材が支持され、且つ、補助弾性支持部材に補助質量体が支持される。即ち、補助弾性支持部材及び補助質量体がマスダンパ（動吸振器）として機能する。そのため、弾性支持部材又は可動体に補助弾性支持部材を支持させることにより、弾性支持部材の変形に伴って振動する可動体の加速度の最大値を簡単に調整できる。

【0008】

請求項２に記載の振動アクチュエータは、請求項１において、前記弾性支持部材に前記補助弾性支持部材が支持される。

【0009】

請求項２に記載の発明は、弾性支持部材の変形に伴って振動する可動体の加速度の最大値を簡単に調整できる。

【0010】

請求項３に記載の振動アクチュエータは、請求項１又は請求項２において、前記弾性支持部材及び前記可動体に前記補助弾性支持部材が支持されない場合と比べて、前記可動体が振動するときの前記可動体の加速度の最大値が低くなるように、前記補助弾性支持部材が前記弾性支持部材又は前記可動体に支持される。

【0011】

請求項３に記載の発明では、補助弾性支持部材及び補助質量体を備えるマスダンパによって、振動アクチュエータがマスダンパを備えない場合と比べて、可動体の加速度の最大値を低くできる。

【0012】

請求項４に記載の振動アクチュエータは、請求項１又は請求項２において、前記可動体の振動周波数が所定の第１周波数帯に含まれる第１周波数であるときに、前記可動体の加速度が前記第１周波数帯において最大の第１ピーク値となり、且つ、前記振動周波数が前記第１周波数帯とは異なる第２周波数帯に含まれる第２周波数であるときに、前記加速度が前記第２周波数帯において最大の第２ピーク値となるように、前記補助弾性支持部材が前記弾性支持部材又は前記可動体に支持される。

【0013】

請求項４に記載の発明では、補助弾性支持部材及び補助質量体を備えるマスダンパによって、可動体の振動周波数が第１周波数のときに可動体の加速度が第１ピーク値となり、且つ、可動体の振動周波数が第２周波数のときに可動体の加速度が第２ピーク値となる。

【0014】

請求項５に記載の振動アクチュエータは、請求項１～４の何れか１項において、前記弾性支持部材と前記補助弾性支持部材が互いに別部材である。

【0015】

請求項５に記載の発明では、弾性支持部材と補助弾性支持部材が一体成形される場合と比べて、補助弾性支持部材（マスダンパ）の設計の自由度が高くなる。

【0016】

請求項６に記載の振動アクチュエータは、請求項１～５の何れか１項に記載において、前記弾性支持部材が、一方の端部のみが前記固定体に支持された片持ち梁であり、前記弾性支持部材の前記一方の端部と前記可動体支持部との間に位置する部位に、前記補助弾性支持部材が支持される。

【0017】

請求項６に記載の発明は、弾性支持部材の変形に伴って振動する可動体の加速度の最大値を簡単に調整できる。

【0018】

請求項７に記載の振動アクチュエータは、請求項１～５の何れか１項に記載において、前記弾性支持部材が、一方の端部のみが前記固定体に支持された片持ち梁であり、前記弾性支持部材の他方の端部と前記可動体支持部との間に位置する部位に、前記補助弾性支持部材が支持される。

【0019】

請求項７に記載の発明は、弾性支持部材の変形に伴って振動する可動体の加速度の最大値を簡単に調整できる。

【発明の効果】

【0020】

本発明に振動アクチュエータによれば、弾性支持部材の変形に伴って振動する可動体の加速度の最大値を簡単に調整できる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】実施形態に係る振動アクチュエータを示す斜視図である。

【図2】振動アクチュエータの分解斜視図である。

【図3】図１の３－３線で切断した断面図である。

【図4】振動アクチュエータの背面図である。

【図5】弾性支持部材が下方へ撓んだときの図３と同様の断面図である。

【図6】弾性支持部材が上方へ撓んだときの図３と同様の断面図である。

【図7】実施形態、比較例及び変形例の振動部材の振動周波数と加速度の関係を示すグラフである。

【図8】比較例の図３と同様の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、実施形態に係る振動アクチュエータ１０について添付図面を参照しながら説明する。なお、各図に適宜示す矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは互いに直交する。さらに便宜上、Ｘ方向が前後方向であり、Ｙ方向が左右方向であり、Ｚ方向が上下方向であるものとする。振動アクチュエータ１０が後述する取付対象物（図示省略）に取り付けられたときの矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは、これらと異なる方向と平行になることがある。

【0023】

取付対象物には、例えば、タッチパネルとして構成された液晶パネル等の表示装置、及び、ゲーム機器又は家電製品のコントローラが含まれる。タッチパネルが取付対象物である場合、振動アクチュエータ１０が発生する振動が、タッチパネルに触れた使用者の指に伝達される。

【0024】

図１及び図２に示されるように振動アクチュエータ１０は、ベース部材１５、ボイスコイル（コイル）２０、弾性支持部材２５及び可動体５５を備える。

【0025】

ベース部材１５は、本体板１６と、本体板１６の厚み方向の一方の面に設けられた突部１７と、突部１７の一方の面に設けられたコイル取付部１８と、を備える。ベース部材１５は例えば金属製である。本体板１６は、Ｚ方向に沿って見たときに長方形をなす平板である。突部１７のＺ方向に沿って見たときの形状は長方形である。コイル取付部１８のＺ方向に沿って見たときの形状は円形である。ベース部材１５には、本体板１６、突部１７及びコイル取付部１８を貫通する貫通孔１９が設けられている。さらに本体板１６には、コイル取付部１８より前方に位置する回路部１６Ａが設けられている。

【0026】

金属製の電線によって構成されたボイスコイル２０の形状は、Ｚ方向と平行な軸線２１（図２参照）を中心とする略円筒形状である。ボイスコイル２０の下端面がベース部材１５のコイル取付部１８に固定されている。このように一体化されたベース部材１５及びボイスコイル２０によって固定体２４が構成される。

【0027】

弾性支持部材２５は、弾性材料によって構成された一体成形品である。弾性支持部材２５の構成材料の一例はステンレスである。本実施形態のボイスコイル２０は、金型（図示省略）を用いた金属板に対するプレス成形によって形成される。図２に示されるように、弾性支持部材２５は、第１構成部２６、第２構成部３０、第１角部３１、第３構成部３３、第２角部３４、第４構成部３６、第３角部３７、第５構成部３９、第４角部４０、第６構成部４７、第５角部４８、第７構成部５０及び第６角部５１を備える。

【0028】

第１構成部２６は平板であり、Ｚ方向に見たときの形状は長方形である。軸線２１に対して直交するＹ方向（直交方向）に見たときに、第１構成部２６はＸ方向に直線的に延びる。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第１構成部２６はＸＹ平面上に位置する。図３及び図４に示されるように、第１構成部２６のＸ方向寸法は本体板１６より大きく、第１構成部２６のＹ方向寸法は本体板１６と略同一である。第１構成部２６には突部１７とほぼ同じ平面形状の貫通孔２７が形成されている。さらに第１構成部２６のＹ方向の両側縁部にはＺ方向上方に延びる一対の立ち上げリブ２８が設けられている。各立ち上げリブ２８は、ＸＺ平面と平行であり、第１構成部２６の両側縁部全体に渡って設けられている。

【0029】

第１構成部２６の後縁部に第２構成部３０の下縁部が接続されている。第２構成部３０は平板であり、Ｘ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第２構成部３０はＹＺ平面上に位置する。即ち、第１構成部２６と第２構成部３０は互いに直交する。なお、弾性支持部材２５の説明における「直交」は、互いに交差する２つの部位（部材）同士がなす角度が９０°であること又は９０°と微小角度だけ異なる角度であることを意味する。第２構成部３０のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第１構成部２６と第２構成部３０の接続部はＹ方向に延びる第１角部３１を構成する。第１角部３１の曲げ剛性は、その周辺部である第１構成部２６及び第２構成部３０より高い。

【0030】

第２構成部３０の上縁部に第３構成部３３の後縁部が接続されている。第３構成部３３は平板であり、Ｚ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第３構成部３３はＸＹ平面上に位置する。即ち、第２構成部３０と第３構成部３３は互いに直交する。第３構成部３３のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第２構成部３０と第３構成部３３の接続部はＹ方向に延びる第２角部３４を構成する。第２角部３４の曲げ剛性は、その周辺部である第２構成部３０及び第３構成部３３より高い。

【0031】

第３構成部３３の前縁部に第４構成部３６の下縁部が接続されている。第４構成部３６は平板であり、Ｘ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第４構成部３６はＹＺ平面上に位置する。即ち、第３構成部３３と第４構成部３６は互いに直交する。第４構成部３６のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第３構成部３３と第４構成部３６の接続部はＹ方向に延びる第３角部３７を構成する。第３角部３７の曲げ剛性は、その周辺部である第３構成部３３及び第４構成部３６より高い。

【0032】

第４構成部３６の上縁部に第５構成部３９の後縁部が接続されている。第５構成部３９は平板であり、Ｚ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第５構成部３９はＸＹ平面上に位置する。即ち、第４構成部３６と第５構成部３９は互いに直交する。第５構成部３９のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第４構成部３６と第５構成部３９の接続部はＹ方向に延びる第４角部４０を構成する。第４角部４０の曲げ剛性は、その周辺部である第４構成部３６及び第５構成部３９より高い。

【0033】

さらに第４角部４０には左右一対の立体リブ４１が形成されている。立体リブ４１は上記プレス成形時に上記金型によって形成される。図１～図４に示されたように、各立体リブ４１は共に三角形状の平板である第１リブ構成部４２及び第２リブ構成部４３を有する。Ｘ方向及びＺ方向に沿って弾性支持部材２５を見たときに、第１リブ構成部４２と第２リブ構成部４３は互いに対称をなす。さらに第５構成部３９には円形の可動体支持孔４５が形成されている。

【0034】

第５構成部３９の前縁部に第６構成部４７の上縁部が接続されている。第６構成部４７は平板であり、Ｘ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第６構成部４７はＹＺ平面上に位置する。第６構成部４７のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第５構成部３９と第６構成部４７の接続部はＹ方向に延びる第５角部４８を構成する。

【0035】

第６構成部４７の下縁部に第７構成部５０の後縁部が接続されている。第７構成部５０は平板であり、Ｚ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第７構成部５０はＸＹ平面上に位置する。第７構成部５０のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第６構成部４７と第７構成部５０の接続部はＹ方向に延びる第６角部５１を構成する。

【0036】

続いて可動体５５について説明する。可動体５５は、ヨーク５６、永久磁石（磁石）６１及びポールピース６３を備える。可動体５５の質量（重量）はボイスコイル２０より大きい。ヨーク５６、永久磁石（磁石）６１及びポールピース６３は、磁気回路を構成する磁気回路構成部材を構成する。なお、磁気回路構成部材は、少なくとも磁石６１を備えていればよい。

【0037】

ヨーク５６は、下側が開放された有底円筒状の部品であり、軟磁性体で構成されている。ヨーク５６は、Ｚ方向に見たときに円形をなす天板部５７と、天板部５７の外周縁から下方に突出する円筒部５８と、天板部５７の上面に設けられた円形の凸部５９と、を備える。

【0038】

永久磁石６１は、天板部５７より外径が小さい略円柱状の部材である。永久磁石６１の上面が天板部５７の下面に固定される。

【0039】

ポールピース６３は、永久磁石６１より大径の円盤状部材である。ポールピース６３は永久磁石６１の下面に固定される。

【0040】

一体化された可動体５５の凸部５９が下方から可動体支持孔４５に挿入され、且つ、天板部５７の上面（端面）が第５構成部３９の下面の一部である可動体支持部３９Ａに固定される。弾性支持部材２５及び可動体５５によって振動部材６０が構成される。

【0041】

ベース部材１５及びボイスコイル２０からなる一体物である固定体２４は、弾性支持部材２５と一体化される。即ち、図３に示されるように、ボイスコイル２０が貫通孔２７を介して第１構成部２６と第５構成部３９との間の空間に配置され且つ突部１７が貫通孔２７内に位置する。さらに本体板１６の上面全体が第１構成部２６の下面に接触させられ、且つ、接着剤（図示省略）によって本体板１６の上面が第１構成部２６の一部である固定端２６Ａの下面に固定される。即ち、第１構成部２６における本体板１６の後縁部より前方に位置する部位が固定端２６Ａである。そのため弾性支持部材２５は、一つの固定端２６Ａを有する片持ち梁（片持ち支持）を構成する。図３に示されるように、第１構成部２６の固定端２６Ａより後方に位置する部位である突出部２６Ｂは、ベース部材１５より後方に位置する。

【0042】

図３に示されるように、ボイスコイル２０の内周側空間に永久磁石６１及びポールピース６３が位置する。さらに弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、ヨーク５６の円筒部５８とボイスコイル２０の外周面との間、及び、永久磁石６１及びポールピース６３とボイスコイル２０の内周面との間には、それぞれ環状の隙間が形成される。

【0043】

さらにボイスコイル２０を構成する電線の両端部は回路部１６Ａに接続され、回路部１６Ａに一対の電線６６、６７の一端がそれぞれ接続される。電線６６、６７の他端は、制御装置（図示省略）を介して電源（図示省略）に接続される。さらにベース部材１５の本体板１６が上記取付対象物に固定される。

【0044】

さらに図１～図６に示されたように弾性支持部材２５の第５構成部３９の上面の後部にはマスダンパ（動吸振器）７０が設けられている。マスダンパ７０は、弾性材料からなる板バネである補助弾性支持部材７１と、補助弾性支持部材７１の後端部に固定された補助質量体７２と、を備える。補助弾性支持部材７１の前端部が第５構成部３９の上面に固定されている。補助弾性支持部材７１の前端部は可動体支持部３９Ａより後方に位置する。マスダンパ７０は、弾性支持部材２５とは別部材として製造される。マスダンパ７０の固有振動数は、振動部材６０の固有振動数と略同一である。

【0045】

（作用）
次に、本実施形態の作用を説明する。

【0046】

本実施形態に係る振動アクチュエータ１０では、上記電源の電力がボイスコイル２０に通電されると、ボイスコイル２０と可動体５５との間に形成される磁気回路が発生する磁力によって、可動体５５がボイスコイル２０に対して軸線２１に沿って往復運動しようとする。例えば上記電源が交流電源の場合は、交流電源からボイスコイル２０へ所定の一方向に流れる電力が供給されたとき、磁気回路が発生する磁力によって、可動体５５がボイスコイル２０に対して下方へ移動するので、弾性支持部材２５が図５に示された位置ＰＤまで移動するように撓む。続いて、交流電源からボイスコイル２０へ他方向に流れる電力が供給されたときに、磁気回路が発生する磁力によって、弾性支持部材２５が図６で示された位置ＰＵまで移動するように撓む。このような要領によって電源の電力がボイスコイル２０へ供給されることにより、弾性支持部材２５は位置ＰＤと位置ＰＵの間を往復移動する。

【0047】

このように弾性支持部材２５が上下方向に撓むと、振動アクチュエータ１０のベース部材１５から上記取付対象物へ振動が伝わる。そのため、例えば上記取付対象物がタッチパネル（液晶パネル）の場合は、振動アクチュエータ１０からタッチパネルに伝わった振動が、タッチパネルからタッチパネルに触れた使用者の手に伝わる。

【0048】

図７に二点鎖線で示されたグラフは、本実施形態の振動アクチュエータ１０の振動周波数と可動体５５のＺ軸方向の加速度との関係を示す。本実施形態の振動アクチュエータ１０の加速度の最大値はおおよそ７．８（ｍ／ｓ^２）であり、この最大値は振動周波数が約１４０（Ｈｚ）のときに発生する。

【0049】

図７に鎖線で示されたグラフは、本実施形態の比較例の振動アクチュエータの振動周波数と可動体５５のＺ軸方向の加速度との関係を示す。比較例の振動アクチュエータはマスダンパ７０を具備しない点を除いて本実施形態の振動アクチュエータ１０と同じ構造である。比較例の振動アクチュエータの加速度の最大値はおおよそ１０．２（ｍ／ｓ^２）であり、この最大値は振動周波数が約１４０（Ｈｚ）のときに発生する。

【0050】

図７から明らかなように、弾性支持部材２５にマスダンパ７０を設けることにより、可動体５５の加速度の最大値が発生するときの振動周波数をほぼ変えずに、可動体５５の加速度の最大値を低下させることができる。

【0051】

マスダンパ７０を構成する材料として様々な材料を利用可能である。例えば、温度変化に伴って特性が変化し難い材料を利用可能である。さらにマスダンパ７０は弾性支持部材２５とは別部材として製造されるので、補助弾性支持部材７１と弾性支持部材２５が一体成形される場合と比べて、マスダンパ７０の設計の自由度が高い。そのため、弾性支持部材２５の変形に伴って振動する可動体５５の加速度の最大値を簡単に調整できる。

【0052】

さらにボイスコイル２０より質量が大きい可動体５５が弾性支持部材２５と一緒に振動するので、ボイスコイル２０が弾性支持部材２５と一緒に振動する場合と比べて、振動アクチュエータ１０が大きな振動を発生できる。

【0053】

以上、実施形態に係る振動アクチュエータ１０について説明したが、振動アクチュエータ１０は本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、適宜設計変更可能である。

【0054】

例えば、図８に示された変形例のように、弾性支持部材２５の第５構成部３９の上面の前部にマスダンパ（動吸振器）７５が設けられてもよい。マスダンパ７５は、弾性材料からなる板バネである補助弾性支持部材７６と、補助弾性支持部材７６の後端部に固定された補助質量体７７と、を備える。補助弾性支持部材７６の後端部が第５構成部３９の上面に固定されている。補助弾性支持部材７６の後端部は可動体支持部３９Ａより前方に位置する。マスダンパ７５の固有振動数は、振動部材６０の固有振動数と略同一である。

【0055】

図７に実線で示されたグラフは、変形例の振動アクチュエータ１０の振動周波数と可動体５５のＺ軸方向の加速度との関係を示す。変形例の振動アクチュエータ１０の加速度のピーク値は２つである。即ち、可動体５５（振動部材６０）の振動周波数が所定の第１周波数帯に含まれる第１周波数Ｆ１（約１１３Ｈｚ）であるときに、可動体５５のＺ方向の加速度が第１周波数帯において最大の第１ピーク値Ｐ１（約４．２５（ｍ／ｓ^２））となる。比較例の第１周波数帯は、１４０（ｍ／ｓ^２）未満の周波数帯である。さらに可動体５５の振動周波数が第１周波数帯とは異なる第２周波数帯に含まれる第２周波数Ｆ２（約１７０Ｈｚ）であるときに、可動体５５のＺ方向の加速度が第２周波数帯において最大の第２ピーク値Ｐ２（約４．４（ｍ／ｓ^２））となる。比較例の第２周波数帯は、１４０（ｍ／ｓ^２）以上の周波数帯である。このように変形例の振動アクチュエータ１０は、可動体５５（振動部材６０）のＺ方向の加速度のピーク値を２つ有する。

【0056】

振動アクチュエータが、弾性支持部材２５の代わりに、ベース部材１５によって両持ち支持された弾性支持部材を備えてもよい。

【0057】

マスダンパ７０が可動体５５によって支持されてもよい。同様に、マスダンパ７５が可動体５５に設けられてもよい。

【0058】

弾性支持部材２５又は可動体５５とマスダンパ７０が一体成形されてもよい。同様に、弾性支持部材２５又は可動体５５とマスダンパ７５が一体成形されてもよい。

【0059】

ベース部材１５に可動体５５に相当する部材を設けて、弾性支持部材２５にボイスコイル２０を設けてもよい。

【0060】

左右方向に延びる補助弾性支持部材が弾性支持部材２５又は可動体５５に支持されてもよいし、上下方向に延びる補助弾性支持部材が弾性支持部材２５又は可動体５５に支持されてもよい。

【0061】

補助弾性支持部材は板バネ以外の弾性部材であってもよい。例えば、補助弾性支持部材は圧縮コイルバネであってもよい。

【0062】

ボイスコイル２０の外周側に永久磁石６１及びポールピース６３が位置するように、振動アクチュエータを構成してもよい。

【符号の説明】

【0063】

１０ 振動アクチュエータ
２０ ボイスコイル（コイル）
２４ 固定体
２５ 弾性支持部材
２５Ｃ 弾性支持部材
３９Ａ 可動体支持部
４５ 可動体支持孔
５５ 可動体
６１ 永久磁石（磁石）
７０ マスダンパ（動吸振器）
７１ 補助弾性支持部材
７２ 補助質量体
７５ マスダンパ（動吸振器）
７６ 補助弾性支持部材
７７ 補助質量体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】