特開 2023-147207 プローブ及びその弾性構造体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023147207

(43)【公開日】2023-10-12

(54)【発明の名称】プローブ及びその弾性構造体

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20231004BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

G01R1/067 A

【審査請求】有

【請求項の数】17

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023026458

(22)【出願日】2023-02-22

(31)【優先権主張番号】111111987

(32)【優先日】2022-03-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】523065085

【氏名又は名称】ロウ チュン レオン

(74)【代理人】

【識別番号】100120891

【弁理士】

【氏名又は名称】林 一好

(74)【代理人】

【識別番号】100165157

【弁理士】

【氏名又は名称】芝 哲央

(74)【代理人】

【識別番号】100205659

【弁理士】

【氏名又は名称】齋藤 拓也

(74)【代理人】

【識別番号】100126000

【弁理士】

【氏名又は名称】岩池 満

(74)【代理人】

【識別番号】100185269

【弁理士】

【氏名又は名称】小菅 一弘

(72)【発明者】

【氏名】ロウ チュン レオン

【テーマコード（参考）】

2G011

【Ｆターム（参考）】

2G011AA02

2G011AA10

2G011AA16

2G011AB01

2G011AB03

2G011AB04

2G011AB07

2G011AC14

2G011AE01

(57)【要約】      （修正有）

【課題】プローブ及びその弾性構造体を提供する。
【解決手段】プローブ１は、第一の端部分１１と、第二の端部分１３と、複数の弾性ユニット１５と、を含む。弾性ユニット１５は、第一の端部分１１と第二の端部分１３との間に配置される。各弾性ユニット１５は、第一の支持要素及び第二の支持要素を含み、第一の支持要素及び第二の支持要素は、軸の対向する側にあり、軸は、プローブの長さに沿って延びている。いくつかの実施形態では、第一の支持要素及び第二の支持要素のいずれも、軸と交差しない。プローブ１の２つの端部分は、最大幅を有し、第一の支持要素と第二の支持要素との間で軸に垂直な線分の長さは、最大幅以下である。
【選択図】図１Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

プローブであって、
第一の端部分と、
第二の端部分と、
前記第一の端部分と前記第二の端部分との間に配置された複数の弾性ユニットであって、前記弾性ユニットのそれぞれが、
第一の支持要素及び第二の支持要素であって、前記第一の支持要素及び前記第二の支持要素は、軸の対向する側に鏡面構成で配置され、前記軸は、前記プローブの中心線であり、前記プローブの長さに沿って延びる、第一の支持要素及び第二の支持要素を備える、複数の弾性ユニットと、
を備える、プローブ。

【請求項2】

前記第一の支持要素及び前記第二の支持要素のいずれも、前記軸と交差していない、請求項１に記載のプローブ。

【請求項3】

前記第一の支持要素と前記第二の支持要素との間で前記軸に垂直な線分の長さが、前記第一の端部分又は前記第二の端部分の最大幅以下である、請求項１に記載のプローブ。

【請求項4】

前記プローブの前記第一の端部分及び前記第二の端部分が力を受けて前記プローブが圧縮されると、前記第一の支持要素及び前記第二の支持要素のそれぞれが変形し、変形した前記第一の支持要素及び変形した前記第二の支持要素が互いに接触しない、請求項１に記載のプローブ。

【請求項5】

前記プローブの前記第一の端部分及び前記第二の端部分が前記力を受けて前記プローブが圧縮されると、前記第一の支持要素及び前記第二の支持要素は、前記軸に向かう方向に変形する、請求項４に記載のプローブ。

【請求項6】

前記プローブの前記第一の端部分及び前記第二の端部分が力を受けて前記プローブが圧縮されると、前記第一の支持要素及び前記第二の支持要素は、前記軸から離れる方向に変形し、変形した前記第一の支持要素と変形した前記第二の支持要素との間で前記軸に垂直な最長の線分の長さは、最大幅以下である、請求項３に記載のプローブ。

【請求項7】

複数の接続ユニットをさらに備え、前記複数の接続ユニットは、前記弾性ユニット、前記第一の端部分、及び前記第二の端部分に接続されている、請求項１に記載のプローブ。

【請求項8】

前記弾性ユニット、前記接続ユニット、前記第一の端部分及び前記第二の端部分は、一体型ユニットとして形成される、請求項７に記載のプローブ。

【請求項9】

前記プローブが少なくとも１つのガイドプレートの横方向の力を受けると、前記プローブの少なくとも一部が前記軸から変位する、請求項７に記載のプローブ。

【請求項10】

前記プローブの前記少なくとも一部は、前記第一の端部分、前記第二の端部分、前記弾性ユニットの少なくとも１つ、又は前記接続ユニットの少なくとも１つを備える、請求項９に記載のプローブ。

【請求項11】

プローブの弾性構造体であって、
第一のセクションと、
第二のセクションと、
接続ユニットと、
前記接続ユニットに接続され、前記接続ユニットから第一の方向に延び、前記第一のセクションに接続される第一の弾性ユニットであって、前記第一の弾性ユニットが、
前記接続ユニットを前記第一のセクションに接続する第一の支持部分及び第二の支持部分を備える、第一の弾性ユニットと、
前記接続ユニットに接続され、前記接続ユニットから第二の方向に延び、前記第二のセクションに接続される第二の弾性ユニットであって、前記第二の弾性ユニットが、
前記接続ユニットを前記第二のセクションに接続する第三の支持部分及び第四の支持部分を備える、第二の弾性ユニットと、
を備え、
前記第一の支持部分及び前記第二の支持部分は、軸の対向する側にあり、
前記第三の支持部分及び前記第四の支持部分は、前記軸の対向する側にあり、前記軸は、前記プローブの長さに沿って延びる、弾性構造体。

【請求項12】

前記プローブが力を受けて圧縮されると、前記第一の支持部分、前記第二の支持部分、前記第三の支持部分、及び前記第四の支持部分が変形し、変形した前記第一の支持部分の任意の点と変形した前記第二の支持部分の任意の点との間に形成され、前記第一の方向に垂直な線分の長さは、前記第一のセクション及び前記第二のセクションの最大幅以下であり、変形した前記第三の支持部分の任意の点と変形した前記第四の支持部分の任意の点との間に形成され、前記第二の方向に垂直な線分の長さは、前記第一のセクション及び前記第二のセクションの最大幅以下である、請求項１１に記載の弾性構造体。

【請求項13】

前記第一のセクション、前記第二のセクション、前記接続ユニット、前記第一の支持部分、前記第二の支持部分、前記第三の支持部分、及び前記第四の支持部分は、一体型ユニットとして形成される、請求項１１に記載の弾性構造体。

【請求項14】

前記第一の支持部分の任意の点と前記第二の支持部分の任意の点との間に形成され、前記第一の方向に垂直な線分の長さは、前記第一のセクション及び前記第二のセクションの最大幅以下であり、変形した前記第三の支持部分の任意の点と変形した前記第四の支持部分の任意の点との間に形成され、前記第二の方向に垂直な線分の長さは、前記第一のセクション及び前記第二のセクションの最大幅以下である、請求項１１に記載の弾性構造体。

【請求項15】

前記軸は、前記プローブの中心線である、請求項１１に記載の弾性構造体。

【請求項16】

前記第一の支持部分及び前記第二の支持部分は、前記軸の対向する側に鏡面構成で配置され、前記第三の支持部分及び前記第四の支持部分は、前記軸の対向する側に鏡面構成で配置される、請求項１５に記載の弾性構造体。

【請求項17】

前記第一の支持部分及び前記第三の支持部分は、前記接続ユニットの対向する側に鏡面構成で配置され、前記第二の支持部分及び前記第四の支持部分は、前記接続ユニットの対向する側に鏡面構成で配置される、請求項１１に記載の弾性構造体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

（関連出願との相互参照）
本出願は、２０２２年３月２９日に出願された台湾出願第１１１１１９８７号の優先権を主張し、その全体が参照により組み込まれる。

【0002】

本開示は、プローブに関し、より具体的には、プローブ及びその弾性構造体に関する。

【背景技術】

【0003】

従来技術において、スリーピース弾性ピン（例えば、ポゴピン）は、プローブの１つの一般的な構造であり、主にプランジャー、チューブ及びバネで構成されている。スリーピース弾性ピンでは、バネは、一般に、チューブ内に配置される。しかしながら、このような構造体には、様々な欠点がある。例えば、（１）バネの配置により、プローブの体積が減少する可能性があるという物理的な制約があること、（２）弾性ピンの内部に設けられたバネにより、弾性ピンが電流を流すために提供できる有効面積が著しく制限されること、（３）弾性ピンの上下の接触点の弾性力が実質的に等しく、試験中のデバイス又は試験キャリア基板に接触する際に、圧力が過度に大きくなったり、あるいは不十分だったりして、電流の流路が影響すること、（４）バネが不均一な力分布を受けやすく、プローブが斜めになり、信号伝達が悪くなること、（５）寄生容量値又は抵抗値が前述の問題とともに容易に増加し、その結果、高周波回路の試験用途で不正確になり、信頼性がなくなることである。

【0004】

この背景技術の節は、背景情報のためにのみ提供される。この背景技術における記述は、この節に開示された主題が本開示の従来技術を構成することを認めるものではなく、この背景技術を含む本出願のいかなる部分も、本開示の従来技術を構成することを認めるものとして使用することはできない。

【発明の概要】

【0005】

本開示の実施形態に従って提供されるプローブは、第一の端部分と、第二の端部分と、複数の弾性ユニットとを含む。弾性ユニットは、第一の端部分と第二の端部分との間に配置される。各弾性ユニットは、第一の支持要素及び第二の支持要素を含む。第一の支持要素及び第二の支持要素は、軸の対向する側に鏡面構成で配置され、軸は、プローブの中心線であり、プローブの長さに沿って延びる。

【0006】

いくつかの実施形態では、第一の支持要素及び第二の支持要素のいずれも、軸と交差しない。

【0007】

いくつかの実施形態では、プローブの２つの端部分は、最大幅を有し、第一の支持要素と第二の支持要素との間で軸に垂直な線分の長さは、最大幅以下である。

【0008】

いくつかの実施形態では、プローブの２つの端部分が圧縮されると、第一の支持要素及び第二の支持要素のそれぞれが変形し、変形した第一の支持要素及び変形した第二の支持要素が互いに接触することはない。

【0009】

いくつかの実施形態では、第一の支持要素及び第二の支持要素は、軸に向かう方向に変形される。

【0010】

いくつかの実施形態では、第一の支持要素及び第二の支持要素は、軸から離れる方向に変形し、変形した第一の支持要素と変形した第二の支持要素との間で軸に垂直な最長の線分の長さは、最大幅以下である。

【0011】

いくつかの実施形態では、弾性ユニット、複数の接続ユニット、第一の端部分及び第二の端部分は、一体型ユニットとして形成される。

【0012】

いくつかの実施形態において、プローブが少なくとも１つのガイドプレートの横方向の力を受けると、プローブの少なくとも一部は、軸から変位する。

【0013】

いくつかの実施形態において、プローブの少なくとも一部は、第一の端部分、第二の端部分、弾性ユニットのうちの少なくとも１つ、又は接続ユニットのうちの少なくとも１つを含む。

【0014】

本開示の別の実施形態に従って提供されるプローブの弾性構造体は、第一のセクションと、第二のセクションと、接続ユニットと、第一の弾性ユニットと、第二の弾性ユニットとを含む。第一の弾性ユニットは、接続ユニットに接続され、接続ユニットから第一の方向に延び、第一のセクションに接続される。第一の弾性ユニットは、第一の支持部分及び第二の支持部分を含み、接続ユニットを第一のセクションに接続するためのものである。第二の弾性ユニットは、接続ユニットに接続され、接続ユニットから第二の方向に延び、第二のセクションに接続される。第二の弾性ユニットは、第三の支持部分及び第四の支持部分を含み、接続ユニットを第二のセクションに接続するためのものである。第一の支持部分及び第二の支持部分は、軸の対向する側にあり、第三の支持部分及び第四の支持部分は、軸の対向する側にあり、軸は、プローブの長さに沿って延びる。

【0015】

いくつかの実施形態では、プローブが力を受けて圧縮されると、第一の支持部分、第二の支持部分、第三の支持部分及び第四の支持部分が変形される。変形した第一の支持部分の任意の点と変形した第二の支持部分の任意の点との間に形成され、第一の方向に垂直な線分の長さは、第一のセクション及び第二のセクションの最大幅以下であり、変形した第三の支持部分の任意の点と変形した第四の支持部分の任意の点との間に形成され、第二の方向に垂直な線分の長さは、第一のセクション及び第二のセクションの最大幅以下である。

【0016】

いくつかの実施形態では、第一のセクション、第二のセクション、接続ユニット、第一の支持部分、第二の支持部分、第三の支持部分及び第四の支持部分は、一体型ユニットとして形成される。

【0017】

いくつかの実施形態では、第一の支持部分の任意の点と第二の支持部分の任意の点との間に形成され、第一の方向に垂直な線分の長さは、第一のセクション及び第二のセクションの最大幅以下である。いくつかの実施形態では、第三の支持部分の任意の点と第四の支持部分の任意の点との間に形成され、第二の方向に垂直な線分の長さは、第一のセクション及び第二のセクションの最大幅以下である。

【0018】

いくつかの実施形態では、軸は、プローブの中心線である。

【0019】

いくつかの実施形態では、第一の支持部分及び第二の支持部分は、軸の対向する側に鏡面構成で配置され、第三の支持部分及び第四の支持部分は、軸の対向する側に鏡面構成で配置される。

【0020】

いくつかの実施形態では、第一の支持部分及び第三の支持部分は、接続ユニットの対向する側に鏡面構成で配置され、第二の支持部分及び第四の支持部分は、接続ユニットの対向する側に鏡面構成で配置される。

【0021】

本開示の技術的特徴及び利点は、以下の説明で与えられる詳細から本開示をより良く理解できるように、上記の説明で包括的に提供される。本開示の特許請求の範囲の主題を形成する追加の技術的特徴及び利点は、以下の説明で提供される。本開示の技術分野の当業者は、以下の説明で開示される概念及び具体的な実施形態に基づいて、他の構造体又はプロセスの修正又は設計により、本開示と同じ目的を容易に実現できることを理解すべきである。さらに、当業者は、そのような同等の配置が、添付の特許請求の範囲によって定義される本開示の趣旨及び範囲内に包含されることを理解すべきである。

【図面の簡単な説明】

【0022】

本開示のより完全な理解は、図と関連して考慮される場合、詳細な説明及び特許請求の範囲を参照することによって導き出すことができる。同様の参照番号は、図全体を通して同様の要素を指す。

【0023】

【図1A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブの例示的な概略図である。

【図1B】本開示のいくつかの実施形態による弾性ユニットの例示的な図である。

【図1C】本開示のいくつかの実施形態による、力を受けるプローブの例示的な概略図である。

【図2A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブの例示的な概略図である。

【図2B】本開示のいくつかの実施形態による弾性ユニットの例示的な図である。

【図2C】本開示のいくつかの実施形態による、力を受けるプローブの例示的な概略図である。

【図2D】本開示のいくつかの実施形態による、圧縮されている弾性ユニットの例示的な図である。

【図2E】本開示のいくつかの実施形態による、湾曲されているプローブの例示的な概略図である。

【図2F】本開示のいくつかの実施形態による、湾曲されているプローブの例示的な概略図である。

【図2G】本開示のいくつかの実施形態による、湾曲されているプローブの例示的な概略図である。

【図2H】本開示のいくつかの実施形態による、湾曲されているプローブの例示的な概略図である。

【図2I】本開示のいくつかの実施形態による、湾曲されているプローブの例示的な概略図である。

【図2J】本開示のいくつかの実施形態による、湾曲されているプローブの例示的な概略図である。

【図2K】本開示のいくつかの実施形態による、湾曲されているプローブの例示的な概略図である。

【図2L】本開示のいくつかの実施形態による、湾曲されているプローブの例示的な概略図である。

【図3A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブの例示的な概略図である。

【図3B】本開示のいくつかの実施形態による弾性ユニットの例示的な図である。

【図3C】本開示のいくつかの実施形態による、力を受けるプローブの例示的な概略図である。

【図4A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブの例示的な概略図である。

【図4B】本開示のいくつかの実施形態による弾性構造体の例示的な図である。

【図4C】本開示のいくつかの実施形態による、力を受けるプローブの例示的な概略図である。

【図4D】本開示のいくつかの実施形態による、圧縮されている弾性構造体の例示的な図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下の本開示の説明は、本開示の実施形態を説明するために、本開示の一部を形成する図面を伴っている。しかしながら、本開示は、これらの実施形態に限定されないことに留意されたい。さらに、以下の実施形態は、別の実施形態に、適切に統合することができる。

【0025】

「実施形態」、「一実施形態」、「例示的な実施形態」、「他の実施形態」及び「別の実施形態」という用語は、本開示で説明する実施形態が特定の特徴、構造又は特性を含み得ることを意味する。しかしながら、全ての実施形態がかかる特定の特徴、構造又は特性を含む必要がないことに留意されたい。さらに、「実施形態において」又は「実施形態の」という表現の繰り返し使用は、必ずしも同じ実施形態を指すとは限らず、同じ実施形態を指す場合もある。

【0026】

本開示を完全に理解するために、ステップ及び構造を以下に詳細に説明する。本開示の実施は、当業者に一般的に知られている特定の詳細を制限するものではないことは明らかであろう。さらに、一般的に知られている構造及びステップは、本開示に対する不必要な限定を防ぐために、詳細には説明されない。本開示の好ましい実施形態を、以下に詳細に説明する。しかしながら、詳細な説明とは別に、本開示は、他の実施形態においても広く適用することができる。本開示の範囲は、詳細な説明で与えられる内容に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲に従って定義される。

【0027】

以下の開示は、本開示の異なる特徴を実施するための様々な異なる実施形態又は実施例を提供することを理解されたい。構成要素及び配置の特定の実施形態又は実施例は、本開示を簡略化するために以下に記載される。そのような詳細は例示的なものであり、制限することを意図していないことに留意されたい。例えば、要素の大きさは、開示された範囲又は値に限定されるものではなく、製造条件及び／又はデバイスの予想される特性に依存し得るものである。さらに、以下の説明において、第二の特徴の「上に」又は「上方に」形成されると説明される第一の特徴は、第一の特徴及び第二の特徴が直接接触する態様で形成される実施形態を含んでもよく、第一の特徴及び第二の特徴が直接接触しなくてもよい態様で第一の特徴と第二の特徴との間に追加の特徴が形成される実施形態も含んでもよい。簡略化及び明確化のために、様々な特徴が異なる縮尺に従って描かれることもある。添付の図面では、簡略化のために、いくつかの層／特徴が省略されている。

【0028】

さらに、より良い説明のために、「下に」、「下方に」、「下部」、「上方に」及び「上部」等の相対的な空間関係の用語が、ある要素又は特徴の別の要素又は特徴に対する関係を説明するために使用されてもよい。相対的な空間関係のこのような用語は、図面に描かれた向きに加えて、使用中又は動作中の要素の異なる向きをカバーすることを意図している。装置は、それ以外の向き（９０°回転した、又は別の向きを有する）であってもよく、文献で使用されている相対的空間関係の記述用語も、同様であり、対応して解釈することができる。

【0029】

図１Ａを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ１の概略図である。プローブ１は、第一の端部分１１と、第二の端部分１３と、複数の弾性ユニット１５とを含む。第一の端部分１１及び第二の端部分１３は、プローブ１の２つの端部に配置される。弾性ユニット１５は、互いに接続されており、第一の端部分１１及び第二の端部分１３に接続されている。いくつかの実施形態では、第二の端部分１３は、試験中の集積回路チップ（図示せず）に接触するための尖った先端を含んでもよい。

【0030】

図１Ｂを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による弾性ユニット１５の拡大図である。弾性ユニット１５は、第一の支持要素１５１及び第二の支持要素１５３を含む。第一の支持要素１５１及び第二の支持要素１５３は、軸Ａ１の対向する側にあり、軸Ａ１は、プローブ１の長手方向に沿って延びている。

【0031】

図１Ｃを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による、力を受けるプローブ１の概略図である。いくつかの実施形態において、プローブ１の第一の端部分１１及び第二の端部分１３が力を受けると（図１Ｃで大きな矢印で示すように）、弾性ユニット１５の第一の支持要素１５１及び第二の支持要素１５３は圧縮され、したがって、変形し、（図１Ａに示すように、力を受けていない）元の状態から図１Ｃに示す圧縮状態に変換される。このとき、弾性ユニット１５が圧縮されるので、プローブ１の長さが短くなる。

【0032】

プローブ１の第一の端部分１１及び第二の端部分１３に加えられた力が除去されると、弾性ユニット１５の第一の支持要素１５１及び第二の支持要素１５３は、圧縮状態から（図１Ａに示すように、力を受けていない）元の状態に戻る。このとき、弾性ユニット１５が力から解放されるので、プローブ１の長さは元の長さに戻る。

【0033】

いくつかの実施形態では、プローブ１の第一の端部分１１及び第二の端部分が力を受ける前に（又は第一の端部分１１及び第二の端部分１３が力を受けた後に）、第一の支持要素１５１又は第二の支持要素１５３のどの点も軸Ａ１と交差していない。

【0034】

いくつかの実施形態では、第一の支持要素１５１及び第二の支持要素１５３の変形は、軸Ａ１の変形に対して対称的であってもよく、第一の支持要素１５１及び第二の支持要素１５３の対称的な変形は、軸Ａ１の圧縮を制限している。圧縮を制限する対称的な変形により、加えられた力の分布が不均一になり、プローブ１又は弾性ユニット１５が回転したり、斜めになったりすることを防止できるので、プローブ１の圧縮時の信頼性を確保し、良好な電気伝送を容易にすることができる。

【0035】

図２Ａを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ２の概略図である。プローブ２は、第一の端部分２１と、第二の端部分２３と、複数の弾性ユニット２５と、複数の接続ユニット２７とを含む。第一の端部分２１及び第二の端部分２３は、プローブ２の２つの端部に配置される。弾性ユニット２５は、接続ユニット２７を介して互いに接続され、第一の端部分２１と第二の端部分２３とに接続されている。第一の端部分２１は、異なる幅Ｗ２１及びＷ２２を有し、第二の端部分２３は、異なる幅Ｗ２３及びＷ２４を有する。第二の端部分２３は、試験中の集積回路チップ（図示せず）に接触するための尖った先端を含んでもよい。

【0036】

図２Ｂを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による弾性ユニット２５の拡大図である。各弾性ユニット２５は、第一の支持要素２５１及び第二の支持要素２５３を含む。第一の支持要素２５１及び第二の支持要素２５３は、軸Ａ２の対向する側にあり、軸Ａ２は、プローブ２の長手方向に沿って延びている。いくつかの実施形態では、軸Ａ２はプローブ２の中心線であり、第一の支持要素２５１と第二の支持要素２５３は、同じ非線形形状を有し、軸Ａ２の対向する側に鏡面構成で配置されている。このため、プローブ２に力を受けると、弾性ユニット２５の第一の支持要素２５１と第二の支持要素２５３は、均一な方法で力に耐え、変形することができる。

【0037】

いくつかの実施形態では、プローブ２の第一の端部分２１の最大幅Ｗ２２及び第二の端部分２３の最大幅Ｗ２３は等しく、第一の支持要素２５１と第二の支持要素２５３との間で軸Ａ２に垂直な線分の長さは、最大幅Ｗ２２／Ｗ２３未満である。例えば、軸Ａ２に垂直な線分Ｌ２１及びＬ２２は、第一の支持要素２５１と第二の支持要素２５３との間に延び、線分Ｌ２１及びＬ２２の両方の長さは、最大幅Ｗ２２／Ｗ２３未満である。

【0038】

いくつかの実施形態において、プローブ２の第一の端部分２１及び第二の端部分２３が力を受ける前（又は第一の端部分２１及び第二の端部分２３が力を受けた後）、第一の支持要素２５１又は第二の支持要素２５３のどの点も軸Ａ２と交差していない。

【0039】

図２Ｃを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による、力を受けるプローブ２の概略図である。いくつかの実施形態において、プローブ２の第一の端部分２１及び第二の端部分２３が力を受けると（図２Ｃに大きな矢印で示すように）、弾性ユニット２５の第一の支持要素２５１及び第二の支持要素２５３は圧縮され、したがって、変形し、（図２Ａに示すように、力を受けていない）元の状態から図２Ｃに示す圧縮状態に変換される。このとき、複数の弾性ユニット２５が圧縮されるので、プローブ２の長さが短くなる。

【0040】

いくつかの実施形態では、第一の支持要素２５１の変形及び第二の支持要素２５３の変形は、軸Ａ２の変形に対して対称的であってもよく、第一の支持要素２５１及び第二の支持要素２５３の対称的な変形は、軸Ａ２の圧縮を制限している。圧縮を制限する対称的な変形は、プローブ２及び弾性ユニット２５が回転したり、加えられた力の不均一な分布によって斜めになることを防止できるので、プローブ２の圧縮時の信頼性を確保し、良好な電気伝送を容易にすることができる。

【0041】

図２Ｄを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による、圧縮されている弾性ユニット２５の拡大図である。いくつかの実施形態において、第一の支持要素２５１及び第二の支持要素２５３は、形状（例えば、図面に示すように、軸Ａ２から離れる方向に突出した円弧）を有する。プローブ２の第一の端部分２１及び第二の端部分２３が力を受けて、プローブ２が圧縮されると、第一の支持要素２５１及び第二の支持要素２５３は、軸Ａ２から離れる方向に突出するように変形し、変形した第一の支持要素２５１と変形した第二の支持要素２５３との間の、軸Ａ２に垂直な最長の線分の長さは、最大幅Ｗ２２／Ｗ２３以下である。例えば、軸Ａ２に垂直な最長の線分Ｌ２３が、第一の支持要素２５１と第二の支持要素２５３との間に延びており、線分Ｌ２３の長さは、最大幅Ｗ２２／Ｗ２３以下である。

【0042】

プローブ２の第一の端部分２１及び第二の端部分２３に加えられた力が除去されると、弾性ユニット２５の第一の支持要素２５１及び第二の支持要素２５３は、圧縮状態から元の状態から（図２Ａに示すように、力を受けていない状態）に戻る。このとき、複数の弾性ユニット２５が力から解放されるので、プローブ２の長さは元の長さに戻る。

【0043】

いくつかの実施形態では、一対の弾性ユニット２５は、弾性ユニット２５に接続された接続ユニット２７の対向する２つの側に鏡面構成で配置されている。このような構造であれば、プローブ２が力を受けても、プローブ２全体に力を均一に分散させることができるので、プローブ２が斜めになることを効果的に防止することができる。

【0044】

いくつかの実施形態では、接続ユニット２７のサイズ及び数の変更に協調して、支持要素２５１及び２５３の長さを調整することにより、支持要素２５１及び２５３の圧縮を制御することができる。

【0045】

いくつかの実施形態において、プローブ２の弾性は、プローブ２に加えられる外力に基づいて適切に調整することができる。プローブ２の弾性は、少なくとも（１）支持要素２５１及び２５３の長さを調整すること、（２）支持要素２５１及び２５３の厚さを調整すること、及び（３）弾性ユニット２５の数を調整することによって、調整することができる。

【0046】

いくつかの実施形態では、プローブ２の少なくとも一端の位置が制限され、プローブ２の少なくとも一部が少なくとも１つのガイドプレートの横方向の力を受けると、プローブ２の少なくとも一部が軸Ａ２から変位する。いくつかの実施形態では、プローブ２の少なくとも一部は、第一の端部分２１、第二の端部分２３、少なくとも１つの弾性ユニット２５、及び少なくとも１つの接続ユニット２７、又はこれらの組合せを含む。プローブ２が横方向の力を受けたときのプローブ２の少なくとも一部の軸Ａ２からの変位は、以下の異なる実施形態によって説明される。しかしながら、これらの実施形態は、本開示に対する限定として解釈されるべきものではなく、当業者は、以下の説明を参照することによって、プローブ２が横方向の力を受けたときにプローブ２の少なくとも一部が軸Ａ２から変位する様々な可能な態様を理解することができるであろうことに留意されたい。

【0047】

図２Ｅ～図２Ｇを参照すると、いくつかの実施形態では、図２Ｅに示すように、プローブ２がパッケージの最終試験に使用される場合、複数のプローブ２がソケット９に配置される。図２Ｆに示すように、プローブ２の第一の端部分２１は、ソケット９の収容空間９１の首部９１０に限定され、プローブ２の第二の端部分２３は、ガイドプレート９３の開口部９３０に配置される。図２Ｇに示すようにガイドプレート９３を移動させると、プローブ２の第二の端部分２３はガイドプレート９３の横方向の力を受け、その結果、第二の端部分２３は軸Ａ２から変位する。

【0048】

図２Ｈ及び図２Ｉを参照すると、いくつかの実施形態において、プローブ２がパッケージの最終試験に用いられる場合、図２Ｈに示すように、プローブ２の第一の端部分２１及び第二の端部分２３はそれぞれ収容空間９１の首部９１０及び９２０に限定されており、プローブ２の中間セクションは、ガイドプレート９３の開口部９３０に配置される。図２Ｉに示すようにガイドプレート９３を移動させると、プローブ２の中間セクションはガイドプレート９３の横方向の力を受け、中間セクションにおける少なくとも１つの弾性ユニット２５又は少なくとも１つの接続ユニット２７が軸Ａ２から変位するようになる。

【0049】

図２Ｊ～図２Ｌを参照すると、いくつかの実施形態では、図２Ｊに示すように、プローブ２がウェーハの回路プロービングに用いられる場合、プローブ２の第一の端部分２１はガイドプレート９５の開口部９５０に配置され、プローブ２の第二の端部分２３はガイドプレート９３の開口部９３０に配置されている。図２Ｋに示すようにガイドプレート９３を移動させると、プローブ２の第二の端部分２３は、ガイドプレート９３の横方向の力を受けるため、軸Ａ２から変位する。図２Ｌに示すように、ガイドプレート９３、９５を反対方向に移動させると、プローブ２の第一の端部分２１と第二の端部分２３はそれぞれ、ガイドプレート９５、９３の横方向の力を受け、その結果、軸Ａ２から異なる方向へ変位する。ガイドプレート９３、９５の移動によりプローブ２が湾曲すると、第一の端部分２１が電極８１に接触し、第二の端部分２３が電極８３に接触する。

【0050】

図３Ａを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ３の概略図である。プローブ３は、第一の端部分３１と、第二の端部分３３と、複数の弾性ユニット３５と、複数の接続ユニット３７とを含む。第一の端部分３１及び第二の端部分３３は、プローブ３の２つの端部に配置される。弾性ユニット３５は、接続ユニット３７を介して互いに接続され、第一の端部分３１と第二の端部分３３とに接続されている。第一の端部分３１は、異なる幅Ｗ３１及びＷ３２を有し、第二の端部分３２は、異なる幅Ｗ３３及びＷ３４を有する。第二の端部分３３は、試験中の集積回路チップ（図示せず）に接触するための尖った先端を含んでもよい。

【0051】

図３Ｂを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による弾性ユニット３５の拡大図である。弾性ユニット３５は、第一の支持要素３５１及び第二の支持要素３５３を含む。第一の支持要素３５１及び第二の支持要素３５３は、軸Ａ３の対向する側にあり、軸Ａ３は、プローブ３の長手方向に沿って延びている。いくつかの実施形態では、軸Ａ３はプローブ３の中心線であり、第一の支持要素３５１と第二の支持要素３５３は、同じ非線形形状を有し、軸Ａ３の対向する側に鏡面構成で配置されている。このため、プローブ３が力を受けると、弾性ユニット３５の第一の支持要素３５１と第二の支持要素３５３は、均一な方法で力に耐え、変形することができる。

【0052】

いくつかの実施形態では、プローブ３の第一の端部分３１の最大幅Ｗ３２と第二の端部分３３の最大幅Ｗ３３は等しく、第一の支持要素３５１と第二の支持要素３５３との間で軸Ａ３に垂直な線分の長さは最大幅Ｗ３２／Ｗ３３以下である。例えば、軸Ａ３に垂直な線分Ｌ３１及びＬ３２は、第一の支持要素３５１と第二の支持要素３５３との間に延び、線分Ｌ３１の長さは最大幅Ｗ３２／Ｗ３３に等しく、線分Ｌ３２の長さは、最大幅Ｗ３２／Ｗ３３未満である。

【0053】

いくつかの実施形態では、プローブ３の第一の端部分３１及び第二の端部分３３が力を受ける前に（又は第一の端部分３１及び第二の端部分３３が力を受けた後に）、第一の支持要素３５１又は第二の支持要素３５３のどの点も軸Ａ３と交差していない。

【0054】

図３Ｃを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による、力を受けるプローブ３の概略図である。いくつかの実施形態において、プローブ３の第一の端部分３１及び第二の端部分３３が力を受けると（図３Ｃに大きな矢印で示すように）、弾性ユニット３５の第一の支持要素３５１及び第二の支持要素３５３が圧縮され、したがって、変形し、（図３Ａに示すように力を受けていない状態）元の状態から図３Ｃに示す圧縮状態に変換される。このとき、弾性ユニット３５が圧縮されるので、プローブ３の長さが短くなる。

【0055】

いくつかの実施形態では、第一の支持要素３５１及び第二の支持要素３５３は、形状（例えば、軸Ａ３に向かう方向に凹んだ円弧）を有している。プローブ３の第一の端部分３１及び第二の端部分３３が力を受けて、プローブが圧縮されると、第一の支持要素３５１及び第二の支持要素３５３は、軸Ａ３に向かう方向に変形する。

【0056】

いくつかの実施形態では、第一の支持要素３５１の変形及び第二の支持要素３５３の変形は、軸Ａ３の変形に対して対称であってよく、そのような対称的な変形は、プローブ３の圧縮中の信頼性を確保するように、プローブ３又は弾性ユニット３５の回転を防止する。いくつかの実施形態では、第一の支持要素３５１と第二の支持要素３５３は、互いに接触しない。

【0057】

プローブ３の第一の端部分３１及び第二の端部分３３に加えられた力が除去されると、弾性ユニット３５の第一の支持要素３５１及び第二の支持要素３５３は、圧縮状態から（図３Ａに示すように、力を受けてない）元の状態に戻る。このとき、弾性ユニット３５が力から解放されるので、プローブ３の長さは元の長さに戻る。

【0058】

いくつかの実施形態では、一対の弾性ユニット３５は、弾性ユニット３５に接続された接続ユニット３７の対向する２つの側に鏡面構成で配置されている。このような構造であれば、プローブ３が力を受けても、プローブ３全体に力を均一に分散させることができるので、プローブ３が斜めになることを効果的に防止することができる。

【0059】

図４Ａを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ４の概略図である。プローブ４は、第一の端部分４１と、第二の端部分４３と、複数の弾性ユニット４５と、複数の接続ユニット４７とを含む。第一の端部分４１及び第二の端部分４３は、プローブ４の２つの端部に配置される。弾性ユニット４５は、接続ユニット４７を介して互いに接続され、第一の端部分４１と第二の端部分４３とに接続されている。各弾性ユニット４５は、対向する側に２つの支持部分を含む。第二の端部分４３は、試験中の集積回路チップ（図示せず）に接触するための尖った先端を含んでもよい。

【0060】

図４Ｂを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による弾性構造体４９の拡大図である。弾性構造体４９は、第一のセクション４９１と、第二のセクション４９３と、接続ユニット４７Ａと、弾性ユニット４５Ａと、弾性ユニット４５Ｂとを含む。第一のセクション４９１は、別の弾性構造体又は第一の端部分４１に接続されることができ、第二のセクション４９３は、別の弾性構造体又は第二の端部分４３に接続されることができる。弾性ユニット４５Ａは、接続ユニット４７Ａに接続され、接続ユニット４７Ａから第一の方向Ｄ１（すなわち、第一のセクション４９１に向かう方向）に延びる。弾性ユニット４５Ｂは、接続ユニット４７Ａに接続され、接続ユニット４７Ａから第二の方向Ｄ２（すなわち、第二のセクション４９３に向かう方向）に延びる。

【0061】

いくつかの実施形態では、プローブ４は、プローブ４の長さ方向に延びる軸Ａ４を有し、軸Ａ４は、プローブ４の中心線である。弾性ユニット４５Ａは、軸Ａ４の対向する側に、接続ユニット４７Ａを第一のセクション４９１に接続するための支持部分４５１Ａ及び４５３Ａを含む。弾性ユニット４５Ｂは、軸Ａ４の対向する側に、接続ユニット４７Ａを第二のセクション４９３に接続するための支持部分４５１Ｂ及び４５３Ｂを含む。

【0062】

弾性ユニット４５Ａの構造において、支持部分４５１Ａと支持部分４５３Ａは、軸Ａ４の対向する側に鏡面構成で配置され、支持部分４５１Ａの任意の点と支持部分４５３Ａの任意の点との間に形成され、第一の方向Ｄ１に垂直な線分の長さは、第一のセクション４９１の最大幅Ｗ４１未満である。弾性ユニット４５Ｂの構造において、支持部分４５１Ｂと支持部分４５３Ｂは、軸Ａ４の対向する側に鏡面構成で配置され、支持部分４５１Ｂの任意の点と支持部分４５３Ｂの任意の点との間に形成され、第二の方向Ｄ２に垂直な線分の長さは、第二のセクション４９３の最大幅Ｗ４２未満である。

【0063】

例えば、第一の方向Ｄ１に垂直な線分Ｌ４５及びＬ４６は、支持部分４５１Ａと４５３Ａとの間に延び、線分Ｌ４５及びＬ４６の両方の長さは、最大幅Ｗ４１未満である。第二の方向Ｄ２に垂直な線分Ｌ４７及びＬ４８は、支持部分４５１Ｂと４５３Ｂとの間に延び、線分Ｌ４７及びＬ４８の両方の長さは、最大幅Ｗ４２未満である。

【0064】

図４Ｃを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による、力を受けるプローブ４の概略図である。いくつかの実施形態において、プローブ４の第一の端部分４１及び第二の端部分４３が力を受けると（図４Ｃに大きな矢印で示すように）、弾性ユニット４５の２つの支持部分が圧縮され、したがって、変形し、（図４Ａに示すように力を受けていない状態）元の状態から図４Ｃに示す圧縮状態に変換される。このとき、弾性ユニット４５が圧縮されるので、プローブ４の長さが短くなる。

【0065】

図４Ｄを参照すると、この図は、本開示のいくつかの実施形態による、弾性構造体４９が圧縮されている様子を示す拡大図である。いくつかの実施形態では、支持部分４５１Ａ及び４５１Ｂは、形状（例えば、図面に示すように、それぞれが軸Ａ４から離れる方向に突出した複数の半円形状）を有する。プローブ４の第一の端部分４１及び第二の端部分４３が力を受けて、プローブ４が圧縮されると、支持部分４５１Ａ及び４５３Ａが軸Ａ４から離れる方向に突出するように変形し、変形した支持部分４５１Ａ及び４５３Ａ間で、第一の方向Ｄ１に垂直な線分の長さは、第一のセクション４９１の最大幅Ｗ４１以下である。例えば、第一の方向Ｄ１に垂直な線分Ｌ４１及びＬ４２は、変形した支持部分４５１Ａと４５３Ａとの間に延び、線分Ｌ４１の長さは、最大幅Ｗ４１未満であり、線分Ｌ４２の長さは最大幅Ｗ４１に等しい。

【0066】

同様に、いくつかの実施形態では、支持部分４５１Ｂ及び４５３Ｂは、形状（例えば、図面に示すように、それぞれが軸Ａ４から離れる方向に突出した複数の半円形状）を有する。プローブ４の第一の端部分４１及び第二の端部分４３が力を受けて、プローブ４が圧縮されると、支持部分４５１Ｂ及び４５３Ｂが軸Ａ４から離れる方向に突出するように変形し、変形した支持部分４５１Ｂと４５３Ｂとの間で、第二の方向Ｄ２に垂直な線分の長さは、第二のセクション４９３の最大幅Ｗ４２以下である。例えば、第二の方向Ｄ２に垂直な線分Ｌ４３及びＬ４４は、変形した支持部分４５１Ｂと４５３Ｂとの間に延び、線分Ｌ４３の長さは、最大幅Ｗ４２未満であり、線分Ｌ４４の長さは、最大幅Ｗ４２に等しい。

【0067】

いくつかの実施形態では、支持部分４５１Ａの変形と支持部分４５３Ａの変形は、軸Ａ４の変形に対して対称的であってもよく、支持部分４５１Ｂの変形と支持部分４５３Ｂの変形は、軸Ａ４の変形に対して対称的であってもよい。このような対称的な変形により、プローブ４及び弾性ユニット４５が回転することを防止し、プローブ４の圧縮時の信頼性を確保することができる。

【0068】

プローブ４の第一の端部分４１及び第二の端部分４３に加えられた力を取り除くと、弾性ユニット４５の支持部分は、圧縮状態から（図４Ａに示すように、力を受けていない）元の状態に戻される。このとき、弾性ユニット４５が力から解放されるので、プローブ４の長さは、元の長さに戻る。

【0069】

いくつかの実施形態では、一対の弾性ユニット４５は、弾性ユニット４５に接続された接続ユニット４７の対向する側に鏡面構成で配置され、一対の弾性ユニット４５の支持部分は、弾性ユニット４５に接続された接続ユニット４７の対向する側に鏡面構成で配置されている。例えば、弾性ユニット４５Ａの支持部分４５１Ａと弾性ユニット４５Ｂの支持部分４５１Ｂは、弾性ユニット４５Ａ、４５Ｂと接続された接続ユニット４７Ａの対向する側に鏡面構成で配置され、弾性ユニット４５Ａの支持部分４５３Ａと弾性ユニット４５Ｂの支持部分４５３Ｂは、弾性ユニット４５Ａ、４５Ｂと接続された接続ユニット４７Ａの対向する側に鏡面構成で配置される。このような構造であれば、プローブ４が力を受けても、プローブ４全体に力を均一に分散させることができるので、プローブ４が斜めになることを効果的に防止することができる。

【0070】

上述の実施形態のプローブの一部又は全部の構成要素を一体型ユニットとして形成する（すなわち、ワンピースとして形成する）ことができることに留意されたい。例えば、プローブの弾性ユニット（支持要素を含む）、接続ユニット、プローブの２つの端部分、又はそれらの任意の組合せは、プローブの構造強度を強化し、プローブの動作信頼性を向上させるように、一体型ユニットとして形成することができる。

【0071】

本開示及びその利点を上述のように詳細に説明してきた。しかしながら、添付の特許請求の範囲によって定められる本開示の趣旨及び範囲から逸脱することなく、様々な変更、置換及び代替を行うことができることを理解すべきである。例えば、上述した様々なプロセスは、異なるアプローチで実施してもよく、上述した様々なプロセスに変えて、他のプロセス又はそれらの組合せを使用してもよい。

【0072】

さらに、本出願の範囲は、詳細な説明に記載されたプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法、又はステップの特定の実施形態に限定されない。当業者であれば、本出願の開示から、本明細書に記載された対応する実施形態と実質的に同じ機能を実行するか、実質的に同じ結果を達成する、現在存在する、又は今後開発されるプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法、又はステップを利用できることを理解することができる。したがって、添付の特許請求の範囲には、このようなプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法、及びステップは、包含されるべきである。

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図2D】

【図2E】

【図2F】

【図2G】

【図2H】

【図2I】

【図2J】

【図2K】

【図2L】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図4D】