特開 2023-147208 プローブ構造体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023147208

(43)【公開日】2023-10-12

(54)【発明の名称】プローブ構造体

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20231004BHJP

   H01R 33/76 20060101ALN20231004BHJP

   H01R 13/24 20060101ALN20231004BHJP

   H01R 13/04 20060101ALN20231004BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 B

H01R33/76 505Z

H01R13/24

H01R13/04 E

【審査請求】有

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023026570

(22)【出願日】2023-02-22

(31)【優先権主張番号】111111988

(32)【優先日】2022-03-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】523065085

【氏名又は名称】ロウ チュン レオン

(74)【代理人】

【識別番号】100120891

【弁理士】

【氏名又は名称】林 一好

(74)【代理人】

【識別番号】100165157

【弁理士】

【氏名又は名称】芝 哲央

(74)【代理人】

【識別番号】100205659

【弁理士】

【氏名又は名称】齋藤 拓也

(74)【代理人】

【識別番号】100126000

【弁理士】

【氏名又は名称】岩池 満

(74)【代理人】

【識別番号】100185269

【弁理士】

【氏名又は名称】小菅 一弘

(72)【発明者】

【氏名】ロウ チュン レオン

【テーマコード（参考）】

2G011

5E024

【Ｆターム（参考）】

2G011AA09

2G011AA15

2G011AA16

2G011AC14

2G011AE01

2G011AE22

2G011AF06

2G011AF07

5E024CA18

5E024CB01

(57)【要約】      （修正有）

【課題】本開示は、プローブ構造体を提供する。
【解決手段】プローブ構造体１は、複数の本体１１と、複数の突起１３とを含む。各本体１１は、端部分１１１を含む。各端部分１１１は、表面１１０を有する。複数の突起１３は、表面１１０上に形成され、同じ方向に向かって延びる。少なくとも１つの突起１３は、各表面１１０上に形成される。いくつかの実施形態において、複数の本体１１は、第一の本体と、第一の本体と連続する第二の本体とを含む。複数の突起１３は、第一の突起及び第二の突起を含み、第一の突起は、第一の本体の端部分の表面上に形成され、第二の突起は、第二の本体の端部分の表面上に形成される。
【選択図】図１Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の本体であって、それぞれが表面を有する端部分を含む、複数の本体と、
前記表面上に形成され、同じ方向に延びる複数の突起であって、少なくとも１つの突起が各表面上に形成される、複数の突起と、
を備える、プローブ構造体。

【請求項2】

前記複数の本体が、第一の本体と、前記第一の本体と連続する第二の本体とを含む、請求項１に記載のプローブ構造体。

【請求項3】

前記複数の突起が、第一の突起及び第二の突起を含み、前記第一の突起が、前記第一の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第二の突起が、前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成される、請求項２に記載のプローブ構造体。

【請求項4】

前記複数の突起は、第一の突起、第二の突起、及び第三の突起を含み、前記第一の突起は、前記第一の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第二の突起は、前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第三の突起は、前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成される、請求項２に記載のプローブ構造体。

【請求項5】

前記複数の突起は、第一の突起、第二の突起、第三の突起、及び第四の突起を含み、前記第一の突起及び前記第二の突起は、前記第一の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第三の突起及び前記第四の突起は、前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成される、請求項２に記載のプローブ構造体。

【請求項6】

前記複数の本体は、第一の本体、第二の本体、及び第三の本体を含み、前記第一の本体、前記第二の本体、及び前記第三の本体は、互いに連続している、請求項１に記載のプローブ構造体。

【請求項7】

前記複数の本体は、第一の本体、第二の本体、及び第三の本体を含み、前記第一の本体及び前記第二の本体は、それぞれ前記第三の本体と連続している、請求項１に記載のプローブ構造体。

【請求項8】

前記複数の突起は、第一の突起、第二の突起、第三の突起及び第四の突起を含み、前記第一の突起は前記第一の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第二の突起は前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第三の突起は前記第三の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第四の突起は前記第三の本体の前記端部分の前記表面上に形成される、請求項６又は７に記載のプローブ構造体。

【請求項9】

各本体は、少なくとも２つの本体と連続している、請求項１に記載のプローブ構造体。

【請求項10】

各突起は、鋭い端部を有する、請求項１に記載のプローブ構造体。

【請求項11】

複数の突起の前記鋭い端部の頂点が平面を規定し、前記平面が前記表面の１つ以上に平行である、請求項１０に記載のプローブ構造体。

【請求項12】

各突起は、前記表面のうちの対応する１つに対して垂直な方向に延びる、請求項１に記載のプローブ構造体。

【請求項13】

プローブ構造体であって、
第一の表面との第一の接触端を有する第一の本体と、
第二の表面との第二の接触端を有する第二の本体と、
前記第一の表面上に形成され、特定方向に延びる少なくとも１つの第一の鋭い端部と、
前記第二の表面上に形成され、前記特定方向に延びる少なくとも１つの第二の鋭い端部と、
を備え、
前記少なくとも１つの第一の鋭い端部の頂点及び前記少なくとも１つの第二の鋭い端部の頂点は、共線又は共平面であり、前記少なくとも１つの第一の鋭い端部の前記頂点及び前記少なくとも１つの第二の鋭い端部の前記頂点によって規定される線又は平面は、前記第一の表面及び前記第二の表面に平行である、プローブ構造体。

【請求項14】

前記特定方向と反対方向に向かって、前記線又は前記平面は、前記第一の表面及び前記第二の表面に投影像を投影し、前記投影像は、前記第一の表面及び前記第二の表面の少なくとも一部に重なる、請求項１３に記載のプローブ構造体。

【請求項15】

前記第一の本体と前記第二の本体とは、連続している、請求項１３に記載のプローブ構造体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

（関連出願との相互参照）
本出願は、２０２２年３月２９日に出願された台湾出願第１１１１１９８８号の優先権を主張し、その全体が参照により組み込まれる。

【0002】

本開示は、プローブに関し、より具体的には、複数のプローブ本体を含むプローブ構造体に関する。

【背景技術】

【0003】

従来の集積回路（ＩＣ）チップの製造プロセス中に、ＩＣチップは電気試験を受ける。このような試験を容易にするために、ＩＣチップには、電極部分として機能するはんだボール又ははんだバンプが含まれている。さらに、電極部分と電気試験に用いるプローブとの電気的接続を良好にするために、電極部分を覆う酸化膜を除去することが必要である。この酸化膜をプローブの先端の鋭利な端部分で穿孔して、良好な接触を確保する。

【0004】

しかしながら、プローブは試験中のＩＣチップに接触すると変形する。プローブの変形を緩和し、ひいてはプローブ本体の構造強度を確保するために、従来のプローブ本体には、渦巻きバネが含まれている。このような渦巻きバネは、（１）電気信号の伝達性が悪いこと、（２）電流の方向が不安定なこと、（３）摩耗及び損傷に対する回復力が低いこと等のいくつかの欠点がある。

【0005】

この背景技術の節は、背景情報のためにのみ提供される。この背景技術における記述は、この節に開示された主題が本開示の従来技術を構成することを認めるものではなく、この背景技術を含む本出願のいかなる部分も、本開示の従来技術を構成することを認めるものとして使用することはできない。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本開示の実施形態によるプローブ構造体は、複数の本体であって、各本体が表面を有する端部分を含む、複数の本体と、前記表面上に形成され、同じ方向に延びる複数の突起であって、少なくとも一つの突起が各表面上に形成される、複数の突起と、を含む。

【0007】

いくつかの実施形態において、前記複数の本体は、第一の本体と、前記第一の本体と連続する第二の本体とを含む。

【0008】

いくつかの実施形態において、前記複数の突起は、第一の突起及び第二の突起を含み、前記第一の突起は、前記第一の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第二の突起は、前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成される。

【0009】

いくつかの実施形態において、前記複数の突起は、第一の突起、第二の突起、及び第三の突起を含み、前記第一の突起は、前記第一の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第二の突起は、前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第三の突起は、前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成される。

【0010】

いくつかの実施形態において、前記複数の突起は、第一の突起、第二の突起、第三の突起、及び第四の突起を含み、前記第一の突起及び前記第二の突起は、前記第一の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第三の突起及び前記第四の突起は、前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成される。

【0011】

いくつかの実施形態において、前記複数の本体は、第一の本体、第二の本体、及び第三の本体を含み、前記第一の本体、前記第二の本体、及び前記第三の本体は、互いに連続している。

【0012】

いくつかの実施形態において、前記複数の本体は、第一の本体、第二の本体、及び第三の本体を含み、前記第一の本体及び前記第二の本体は、それぞれ前記第三の本体と連続している。

【0013】

いくつかの実施形態において、前記複数の突起は、第一の突起、第二の突起、第三の突起及び第四の突起を含み、前記第一の突起は前記第一の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第二の突起は前記第二の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第三の突起は前記第三の本体の前記端部分の前記表面上に形成され、前記第四の突起は前記第三の本体の前記端部分の前記表面上に形成される。

【0014】

いくつかの実施形態において、各本体は、前記本体のうちの少なくとも２つと連続している。

【0015】

いくつかの実施形態において、各突起は、鋭い端部を有する。

【0016】

いくつかの実施形態において、複数の突起の前記鋭い端部の頂点は、平面を規定し、前記平面は、前記表面のうちの１つ以上に平行である。

【0017】

いくつかの実施形態において、各突起は、前記表面のうちの対応する１つに対して垂直な方向に延びる。

【0018】

本開示の別の実施形態は、プローブ構造体を提供し、前記プローブ構造体は、第一の表面との第一の接触端を有する第一の本体と、第二の表面と第二の接触端を有する第二の本体と、前記第一の表面上に形成され、特定方向に延びる少なくとも１つの第一の鋭い端部と、前記第二の表面上に形成され、前記方向に延びる少なくとも１つの第二の鋭い端部と、を備え、前記少なくとも１つの第一の鋭い端部の頂点及び前記少なくとも１つの第二の鋭い端部の頂点は、共線又は共平面であり、前記少なくとも１つの第一の鋭い端部の前記頂点及び前記少なくとも１つの第二の鋭い端部の前記頂点によって規定される線又は平面は、前記第一の表面及び前記第二の表面に平行になる。

【0019】

いくつかの実施形態において、前記特定方向と反対方向に向かって、前記線又は前記平面は、前記第一の表面及び前記第二の表面に投影像を投影し、前記投影像は、前記第一の表面及び前記第二の表面の少なくとも一部に重なるようになる。

【0020】

いくつかの実施形態において、前記第一の本体と前記第二の本体とは、連続している。

【0021】

本開示の技術的特徴及び利点は、以下の説明で与えられる詳細から本開示をより良く理解できるように、上記の説明で包括的に提供される。本開示の特許請求の範囲の主題を形成する追加の技術的特徴及び利点は、以下の説明で提供される。本開示の技術分野の当業者は、以下の説明で開示される概念及び具体的な実施形態に基づいて、他の構造体又はプロセスの修正又は設計により、本開示と同じ目的を容易に実現できることを理解すべきである。さらに、当業者は、そのような同等の配置が、添付の特許請求の範囲によって定義される本開示の趣旨及び範囲内に包含されることを理解すべきである。

【図面の簡単な説明】

【0022】

本開示のより完全な理解は、図と関連して考慮される場合、詳細な説明及び特許請求の範囲を参照することによって導き出すことができる。同様の参照番号は、図全体を通して同様の要素を指す。

【0023】

【図1A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の透視図である。

【図1B】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の上面図である。

【図2A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の透視図である。

【図2B】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の上面図である。

【図2C】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の上面図である。

【図3A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の透視図である。

【図3B】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の上面図である。

【図4A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の透視図である。

【図4B】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の上面図である。

【図5A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の透視図である。

【図5B】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の上面図である。

【図6A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の透視図である。

【図6B】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の上面図である。

【図7A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の透視図である。

【図7B】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の上面図である。

【図8A】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の透視図である。

【図8B】本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体の上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下の本開示の説明は、本開示の実施形態を説明するために、本開示の一部を形成する図面を伴っている。しかしながら、本開示は、これらの実施形態に限定されないことに留意されたい。さらに、以下の実施形態は、別の実施形態に、適切に統合することができる。

【0025】

「実施形態」、「一実施形態」、「例示的な実施形態」、「他の実施形態」及び「別の実施形態」という用語は、本開示で説明する実施形態が特定の特徴、構造又は特性を含み得ることを意味する。しかしながら、全ての実施形態がかかる特定の特徴、構造又は特性を含む必要がないことに留意されたい。さらに、「実施形態において」又は「実施形態の」という表現の繰り返し使用は、必ずしも同じ実施形態を指すとは限らず、同じ実施形態を指す場合もある。

【0026】

本開示を完全に理解するために、ステップ及び構造を以下に詳細に説明する。本開示の実施は、当業者に一般的に知られている特定の詳細を制限するものではないことは明らかであろう。さらに、一般的に知られている構造及びステップは、本開示に対する不必要な限定を防ぐために、詳細には説明されない。本開示の好ましい実施形態は、以下に詳細に説明される。しかしながら、詳細な説明とは別に、本開示は、他の実施形態においても広く適用することができる。本開示の範囲は、詳細な説明で与えられる内容に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲に従って定義される。

【0027】

以下の開示は、本開示の異なる特徴を実施するための様々な異なる実施形態又は実施例を提供することを理解されたい。構成要素及び配置の特定の実施形態又は実施例は、本開示を簡略化するために以下に記載される。そのような詳細は例示的なものであり、制限することを意図していないことに留意されたい。例えば、要素の大きさは、開示された範囲又は値に限定されるものではなく、製造条件及び／又はデバイスの予想される特性に依存し得るものである。第二の特徴の「上に」又は「上方に」形成されると説明される第一の特徴は、第一の特徴及び第二の特徴が直接接触する態様で形成される実施形態を含んでもよく、第一の特徴及び第二の特徴が直接接触しなくてもよい態様で第一の特徴と第二の特徴との間に追加の特徴が形成される実施形態も含んでもよい。簡略化及び明確化のために、様々な特徴が異なる縮尺に従って描かれることもある。添付の図面では、簡略化のために、いくつかの層／特徴が省略されている。

【0028】

さらに、より良い説明のために、「下に」、「下方に」、「下部」、「上方に」及び「上部」等の相対的な空間関係の用語が、ある要素又は特徴の別の要素又は特徴に対する関係を説明するために使用されてもよい。相対的な空間関係のこのような用語は、図面に描かれた向きに加えて、使用中又は動作中の要素の異なる向きをカバーすることを意図している。装置は、それ以外の向き（９０°回転した、又は別の向きを有する）であってもよく、文献で使用されている相対的空間関係の記述用語も、同様であり、対応して解釈することができる。

【0029】

形容詞「鋭い（ｓｈａｒｐ）」は、形状を比較することだけを目的として、以下では、構成要素の形状を説明するために使用される。以下で使用される「鋭い端部（ｓｈａｒｐ ｅｎｄ）」という言葉は、プローブ構造体の端部分の形状に制限を加えることを意図していない。「端部分（ｅｎｄ ｐｏｒｔｉｏｎ）」という技術的特徴は、端部分が試験中の対象物の酸化膜を穿孔するのに有効であれば、本開示のプローブ構造体の形状の範囲から逸脱することはない。

【0030】

図１Ａ及び図１Ｂを参照すると、図１Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体１の透視図であり、図１Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体１の上面図である。プローブ構造体１は、複数の本体１１と、複数の突起１３とを備える。各本体１１は、端部分１１１を備える。各端部分１１１は、表面１１０を有する。複数の突起１３は、表面１１０上に形成され、方向Ｄ１１に延びる。少なくとも１つの突起１３は、各表面１１０上に形成される。いくつかの実施形態において、突起１３は、各表面１１０上に形成され、試験中の対象物（図示せず）、例えば、集積回路（ＩＣ）チップに接触するように適合される。

【0031】

図２Ａ及び図２Ｂを参照すると、図２Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体２の透視図であり、図２Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体２の上面図である。プローブ構造体２は、第一の本体２１Ａと、第二の本体２１Ｂと、第一の突起２３Ａと、第二の突起２３Ｂとを備える。第一の本体２１Ａは、端部分２１１Ａを備える。端部分２１１Ａは、表面２１０Ａを有する。第一の突起２３Ａは、表面２１０Ａ上に形成され、方向Ｄ２１に延びる。第二の本体２１Ｂは、端部分２１１Ｂを備える。端部分２１１Ｂは、表面２１０Ｂを有する。第二の突起２３Ｂは、表面２１０Ｂ上に形成され、方向Ｄ２１に延びる。いくつかの実施形態において、第一の突起２３Ａ及び第二の突起２３Ｂは、試験中の対象物（図示せず）、例えば、ＩＣチップに接触するように適合される。

【0032】

いくつかの実施形態では、第一の本体２１Ａ及び第二の本体２１Ｂは、連続している。第一の本体２１Ａと第二の本体２１Ｂとの間の最短距離は、ゼロ以上であり、かつ、特定の数値以下である。いくつかの実施形態では、第一の本体２１Ａと第二の本体２１Ｂとの間の最短距離は、ゼロに等しい。いくつかの実施形態において、第一の本体２１Ａと第二の本体２１Ｂとの間の最短距離が特定の数値に等しい場合、プローブ構造体２の最大幅は、従来のプローブ本体の構造幅よりも小さい。

【0033】

図２Ｃを参照すると、図２Ｃは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体２の上面図である。第一の突起２３Ａの端点を表面２１０Ａに投影することによって形成された投影点Ｐ２３Ａは、表面２１０Ａの中心Ｃ２１Ａから距離Ｘ１だけ離れている。第二の突起２３Ｂの端点を表面２１０Ｂに投影して形成された投影点Ｐ２３Ｂは、表面２１０Ｂの中心Ｃ２１Ｂから距離Ｘ２だけ離れている。投影点Ｐ２３Ａは、中心Ｃ２１Ａに対して方向Ｄ２２にシフトしている。投影点Ｐ２３Ｂは、中心Ｃ２１Ｂに対して方向Ｄ２２とは反対の方向Ｄ２３にシフトしている。

【0034】

いくつかの実施形態において、第一の突起２３Ａ及び第二の突起２３Ｂの頂点は、共線であり、表面２１０Ａ及び２１０Ｂに平行な線Ｌ２１を定義する。このように、表面２１０Ａと第一の突起２３Ａの頂点との間の最短距離は、表面２１０Ｂと第二の突起２３Ｂの頂点との間の最短距離と同じである。表面２１０Ａと表面２１０Ｂとは、共平面である。

【0035】

いくつかの実施形態では、方向Ｄ２１の反対方向に向かって、線Ｌ２１の投影像は、表面２１０Ａ及び表面２１０Ｂ上に落ちる（すなわち、線Ｌ１は、表面２１０Ａ及び表面２１０Ｂ上に投影像を投影する）。このように、線Ｌ２１の投影像は、表面２１０Ａ及び表面２１０Ｂに対して方向Ｄ２１と反対方向に落ちる。したがって、線Ｌ２１の投影像は、表面２１０Ａ及び表面２１０Ｂに重なる。

【0036】

いくつかの実施形態では、プローブ構造体２が試験中の対象物上の試験される特定領域に接触するように適合される場合、第一の突起２３Ａ及び第二の突起２３Ｂの頂点によって規定される線Ｌ２１の中心は、線Ｌ２１の中心が試験される特定領域の中心を重ねるように、試験される特定領域の中心に向かって向けられることができる。したがって、プローブ構造体２の第一の突起２３Ａ及び第二の突起２３Ｂが試験される特定領域に接触すると、接触によりプローブ構造体２に加わる力は、第一の突起２３Ａと第二の突起２３Ｂとの間で均等に分散する。

【0037】

図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、図３Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体３の透視図であり、図３Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体３の上面図である。プローブ構造体３は、第一の本体３１Ａ、第二の本体３１Ｂ、第一の突起３３Ａ、第二の突起３３Ｂ１及び第三の突起３３Ｂ２を備える。第一の本体３１Ａは、端部分３１１Ａを備える。端部分３１１Ａは、表面３１０Ａを有する。第一の突起３３Ａは、表面３１０Ａ上に形成され、方向Ｄ３１に延びる。第二の本体３１Ｂは、端部分３１１Ｂを備える。端部分３１１Ｂは、表面３１０Ｂを有する。第二の突起３３Ｂ１及び第三の突起３３Ｂ２は、表面３１０Ｂ上に形成され、方向Ｄ３１に延びる。いくつかの実施形態において、突起３３Ａ、３３Ｂ１及び３３Ｂ２は、試験中の対象物（図示せず）、例えば、ＩＣチップに接触するように適合される。

【0038】

いくつかの実施形態では、第一の本体３１Ａ及び第二の本体３１Ｂは、連続している。第一の本体３１Ａと第二の本体３１Ｂとの間の最短距離は、ゼロ以上であり、かつ、特定の数値以下である。いくつかの実施形態では、第一の本体３１Ａと第二の本体３１Ｂとの間の最短距離は、ゼロに等しい。いくつかの実施形態において、第一の本体３１Ａと第二の本体３１Ｂとの間の最短距離が特定の数値に等しい場合、プローブ構造体３の最大幅は、従来のプローブ本体の構造幅よりも小さい。

【0039】

いくつかの実施形態では、第一の突起３３Ａ、第二の突起３３Ｂ１及び第三の突起３３Ｂ２の頂点は共平面であり、表面３１０Ａ及び３１０Ｂに平行な平面Ｓ３１を規定している。このように、表面３１０Ａと第一の突起３３Ａの頂点との最短距離、表面３１０Ｂと第二の突起３３Ｂ１の頂点との最短距離、及び表面３１０Ｂと第三の突起３３Ｂ２の頂点との最短距離は、等しい。表面３１０Ａと表面３１０Ｂとは、共平面である。

【0040】

いくつかの実施形態では、方向Ｄ３１の反対方向に向かって、平面Ｓ３１の投影像は、表面３１０Ａ及び表面３１０Ｂ上に落ちる（すなわち、平面Ｓ３１は、表面３１０Ａ及び表面３１０Ｂに投影像を投影する）。このように、平面Ｓ３１の投影像は、表面３１０Ａ及び表面３１０Ｂに対して方向Ｄ３１と反対方向に落ちる。したがって、平面Ｓ３１の投影像は、表面３１０Ａ及び表面３１０Ｂに重なる。

【0041】

いくつかの実施形態では、プローブ構造体３が試験中の対象物上の試験される特定領域に接触するように適合される場合、第一の突起３３Ａ、第二の突起３３Ｂ１及び第三の突起３３Ｂ２の頂点によって規定される平面Ｓ３１の中心は、試験される特定領域の中心に重なるように、試験される特定領域の中心に向けることができる。したがって、プローブ構造体３の第一の突起３３Ａ、第二の突起３３Ｂ１及び第三の突起３３Ｂ２が試験される特定領域に接触すると、接触によりプローブ構造体３に加わる力は、第一の突起３３Ａ、第二の突起３３Ｂ１及び第三の突起３３Ｂ２の間で均等に分散される。

【0042】

図４Ａ及び図４Ｂを参照すると、図４Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体４の透視図であり、図４Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体４の上面図である。プローブ構造体４は、第一の本体４１Ａ、第二の本体４１Ｂ、第一の突起４３Ａ１、第二の突起４３Ａ２、第三の突起４３Ｂ１、及び第四の突起４３Ｂ２を備える。第一の本体４１Ａは、端部分４１１Ａを備える。端部分４１１Ａは、表面４１０Ａを有する。第一の突起４３Ａ１及び第二の突起４３Ａ２は、表面４１０Ａ上に形成され、方向Ｄ４１に延びる。第二の本体４１Ｂは、端部分４１１Ｂを備える。端部分４１１Ｂは、表面４１０Ｂを有する。第三の突起４３Ｂ１及び第四の突起４３Ｂ２は、表面４１０Ｂ上に形成され、方向Ｄ４１に延びる。いくつかの実施形態において、突起４３Ａ１、４３Ａ２、４３Ｂ１及び４３Ｂ２は、試験中の対象物（図示せず）、例えば、ＩＣチップに接触するように適合される。

【0043】

いくつかの実施形態において、第一の本体４１Ａ及び第二の本体４１Ｂは、連続している。第一の本体４１Ａと第二の本体４１Ｂとの間の最短距離は、ゼロ以上であり、かつ、特定の数値以下である。いくつかの実施形態において、第一の本体４１Ａと第二の本体４１Ｂとの間の最短距離は、ゼロに等しい。いくつかの実施形態では、第一の本体４１Ａと第二の本体４１Ｂとの間の最短距離が特定の数値に等しいとき、プローブ構造体４の最大幅は、従来のプローブ本体の構造幅よりも小さい。

【0044】

いくつかの実施形態では、第一の突起４３Ａ１、第二の突起４３Ａ２、第三の突起４３Ｂ１及び第四の突起４３Ｂ２の頂点は共平面であり、表面４１０Ａ及び４１０Ｂに平行な平面Ｓ４１を規定する。このように、表面４１０Ａと第一の突起４３Ａ１の頂点との最短距離、表面４１０Ａと第二の突起４３Ａ２の頂点との最短距離、表面４１０Ｂと第三の突起４３Ｂ１の頂点との最短距離、及び表面４１０Ｂと第四の突起４３Ｂ２の頂点との最短距離は、等しい。表面４１０Ａと表面４１０Ｂとは、共平面である。

【0045】

いくつかの実施形態では、方向Ｄ４１の反対方向に向かって、平面Ｓ４１の投影像は、表面４１０Ａ及び表面４１０Ｂ上に落ちる（すなわち、平面Ｓ４１は、投影像を表面４１０Ａ及び表面４１０Ｂ上に投影する）。このように、平面Ｓ４１の投影像は、表面４１０Ａ及び表面４１０Ｂに対して方向Ｄ４１と反対の方向に落ちる。したがって、平面Ｓ４１の投影像は、表面４１０Ａ及び表面４１０Ｂに重なる。

【0046】

いくつかの実施形態では、プローブ構造体４が試験中の対象物上の試験される特定領域に接触するように適合される場合、第一の突起４３Ａ１、第二の突起４３Ａ２、第三の突起４３Ｂ１及び第四の突起４３Ｂ２の頂点によって規定される平面Ｓ４１の中心は、試験される特定領域の中心に重なるように、試験される特定領域の中心に向けることができる。したがって、プローブ構造体４の第一の突起４３Ａ１、第二の突起４３Ａ２、第三の突起４３Ｂ１及び第四の突起４３Ｂ２が試験される特定領域に接触すると、接触によりプローブ構造体４に加わる力は、第一の突起４３Ａ１、第二の突起４３Ａ２、第三の突起４３Ｂ１及び第四の突起４３Ｂ２の間で均等に分散される。

【0047】

図５Ａ及び図５Ｂを参照すると、図５Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体５の透視図であり、図５Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体５の上面図である。プローブ構造体５は、第一の本体５１Ａ、第二の本体５１Ｂ、第三の本体５１Ｃ、第一の突起５３Ａ、第二の突起５３Ｂ及び第三の突起５３Ｃを備える。第一の本体５１Ａは、端部分５１１Ａを備える。端部分５１１Ａは、表面５１０Ａを有する。第一の突起５３Ａは、表面５１０Ａ上に形成され、方向Ｄ５１に延びる。第二の本体５１Ｂは、端部分５１１Ｂを備える。端部分５１１Ｂは、表面５１０Ｂを有する。第二の突起５３Ｂは、表面５１０Ｂ上に形成され、方向Ｄ５１に延びる。第三の本体５１Ｃは、端部分５１１Ｃを備える。端部分５１１Ｃは、表面５１０Ｃを有する。第三の突起５３Ｃは、表面５１０Ｃ上に形成され、方向Ｄ５１に延びる。いくつかの実施形態において、突起５３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃは、試験中の対象物（図示せず）、例えば、ＩＣチップに接触するように適合される。

【0048】

いくつかの実施形態において、第一の本体５１Ａ、第二の本体５１Ｂ及び第三の本体５１Ｃは、互いに連続している。第一の本体５１Ａ、第二の本体５１Ｂ及び第三の本体５１Ｃのうちの任意の２つの間の最短距離は、ゼロ以上であり、かつ、特定の数値以下である。いくつかの実施形態において、第一の本体５１Ａ、第二の本体５１Ｂ、及び第三の本体５１Ｃのうちの任意の２つの間の最短距離は、ゼロに等しい。いくつかの実施形態において、第一の本体５１Ａ、第二の本体５１Ｂ及び第三の本体５１Ｃのうちの任意の２つの間の最短距離が特定の数値に等しいとき、プローブ構造体５の最大幅は、従来のプローブ本体の構造幅よりも小さい。

【0049】

いくつかの実施形態では、第一の突起５３Ａ、第二の突起５３Ｂ、及び第三の突起５３Ｃの頂点は、共平面であり、表面５１０Ａ、５１０Ｂ及び５１０Ｃに平行な平面Ｓ５１を規定している。このように、表面５１０Ａと第一の突起５３Ａの頂点との最短距離、表面５１０Ｂと第二の突起５３Ｂの頂点との最短距離、及び表面５１０Ｃと第三の突起５３Ｃの頂点との最短距離は、等しい。表面５１０Ａ、表面５１０Ｂ、及び表面５１０Ｃは、共平面である。

【0050】

いくつかの実施形態では、方向Ｄ５１の反対方向に向かって、平面Ｓ５１の投影像は、表面５１０Ａ、表面５１０Ｂ及び表面５１０Ｃに落ちる（すなわち、平面Ｓ５１は、投影像を表面５１０Ａ、表面５１０Ｂ及び表面５１０Ｃに投影する）。このように、平面Ｓ５１の投影像は、表面５１０Ａ、表面５１０Ｂ及び表面５１０Ｃに対して方向Ｄ５１と反対の方向に落ちる。したがって、平面Ｓ５１の投影像は、表面５１０Ａ、表面５１０Ｂ、及び表面５１０Ｃに重なる。

【0051】

いくつかの実施形態では、プローブ構造体５が試験中の対象物上の試験される特定領域に接触するように適合される場合、第一の突起５３Ａ、第二の突起５３Ｂ及び第三の突起５３Ｃの頂点によって規定される平面Ｓ５１の中心は、試験される特定領域の中心に重なるように、試験される特定領域の中心に向けることができる。したがって、プローブ構造体５の第一の突起５３Ａ、第二の突起５３Ｂ及び第三の突起５３Ｃが試験される特定領域に接触すると、接触によりプローブ構造体５に加わる力は、第一の突起５３Ａ、第二の突起５３Ｂ及び第三の突起５３Ｃの間で均等に分散される。

【0052】

図６Ａ及び図６Ｂを参照すると、図６Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体６の透視図であり、図６Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体６の上面図である。プローブ構造体６は、第一の本体６１Ａ、第二の本体６１Ｂ、第三の本体６１Ｃ、第一の突起６３Ａ、第二の突起６３Ｂ及び第三の突起６３Ｃを備える。第一の本体６１Ａは、端部分６１１Ａを備える。端部分６１１Ａは、表面６１０Ａを有する。第一の突起６３Ａは、表面６１０Ａ上に形成され、方向Ｄ６１に延びる。第二の本体６１Ｂは、端部分６１１Ｂを備える。端部分６１１Ｂは、表面６１０Ｂを有する。第二の突起６３Ｂは、表面６１０Ｂ上に形成され、方向Ｄ６１に延びる。第三の本体６１Ｃは、端部分６１１Ｃを備える。端部分６１１Ｃは、表面６１０Ｃを有する。第三の突起６３Ｃは、表面６１０Ｃ上に形成され、方向Ｄ６１に延びる。いくつかの実施形態において、突起６３Ａ、６３Ｂ及び６３Ｃは、試験中の対象物（図示せず）、例えば、ＩＣチップに接触するように適合される。

【0053】

いくつかの実施形態では、第一の本体６１Ａ及び第三の本体６１Ｃは、それぞれ第二の本体６１Ｂと連続している。第一の本体６１Ａと第二の本体６１Ｂとの間の最短距離は、ゼロ以上であり、かつ、特定の数値以下である。第三の本体６１Ｃと第二の本体６１Ｂとの間の最短距離は、ゼロ以上であり、かつ、特定の数値以下である。いくつかの実施形態において、第一の本体６１Ａと第二の本体６１Ｂとの間の最短距離は、ゼロに等しい。いくつかの実施形態において、第三の本体６１Ｃと第二の本体６１Ｂとの間の最短距離は、ゼロに等しい。いくつかの実施形態において、第一の本体６１Ａと第二の本体６１Ｂとの間の最短距離が特定の数値に等しく、第三の本体６１Ｃと第二の本体６１Ｂとの間の最短距離が特定の数値に等しいとき、プローブ構造体６の最大幅は、従来のプローブ本体の構造幅よりも小さい。

【0054】

いくつかの実施形態では、第一の突起６３Ａ、第二の突起６３Ｂ及び第三の突起６３Ｃの頂点は、共線であり、表面６１０Ａ、６１０Ｂ及び６１０Ｃに平行な線Ｌ６１を規定する。このように、表面６１０Ａと第一の突起６３Ａの頂点との最短距離、表面６１０Ｂと第二の突起６３Ｂの頂点との最短距離、及び表面６１０Ｃと第三の突起６３Ｃの頂点との最短距離は、等しい。表面６１０Ａ、表面６１０Ｂ、及び表面６１０Ｃは、共平面である。

【0055】

いくつかの実施形態では、方向Ｄ６１の反対方向に向かって、線Ｌ６１の投影像は、表面６１０Ａ、表面６１０Ｂ及び表面６１０Ｃ上に落ちる（すなわち、線Ｌ６１は、表面６１０Ａ、表面６１０Ｂ及び表面６１０Ｃ上に投影像を投影する）。このように、線Ｌ６１の投影像は、表面６１０Ａ、表面６１０Ｂ及び表面６１０Ｃに対して方向Ｄ６１と反対方向に落ちる。したがって、線Ｌ６１の投影像は、表面６１０Ａ、表面６１０Ｂ、及び表面６１０Ｃに重なる。

【0056】

いくつかの実施形態では、プローブ構造体６が試験中の対象物上の試験される特定領域に接触するように適合されているとき、第一の突起６３Ａ、第二の突起６３Ｂ及び第三の突起６３Ｃの頂点によって規定される線Ｌ６１の中心は、試験される特定領域の中心に重なるように、試験される特定領域の中心に向けることができる。したがって、プローブ構造体６の第一の突起６３Ａ、第二の突起６３Ｂ及び第三の突起６３Ｃが試験される特定領域に接触すると、接触によりプローブ構造体６に加わる力は、第一の突起６３Ａ、第二の突起６３Ｂ及び第三の突起６３Ｃの間で均等に分散される。

【0057】

図７Ａ及び図７Ｂを参照すると、図７Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体７の透視図であり、図７Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体７の上面図である。プローブ構造体７は、第一の本体７１Ａ、第二の本体７１Ｂ、第三の本体７１Ｃ、第一の突起７３Ａ、第二の突起７３Ｂ１、第三の突起７３Ｂ２及び第四の突起７３Ｃを備える。第一の本体７１Ａは、端部分７１１Ａを備える。端部分７１１Ａは、表面７１０Ａを有する。第一の突起７３Ａは、表面７１０Ａ上に形成され、方向Ｄ７１に延びる。第二の本体７１Ｂは、端部分７１１Ｂを備える。端部分７１１Ｂは、表面７１０Ｂを有する。第二の突起７３Ｂ１及び第三の突起７３Ｂ２は、表面７１０Ｂ上に形成され、方向Ｄ７１に延びる。第三の本体７１Ｃは、端部分７１１Ｃを備える。端部分７１１Ｃは、表面７１０Ｃを有する。第三の突起７３Ｃは、表面７１０Ｃ上に形成され、方向Ｄ７１に延びる。いくつかの実施形態では、突起７３Ａ、７３Ｂ１、７３Ｂ２及び７３Ｃは、試験中の対象物（図示せず）、例えば、ＩＣチップに接触するように適合される。

【0058】

いくつかの実施形態において、第一の本体７１Ａ及び第三の本体７１Ｃは、それぞれ第二の本体７１Ｂと連続している。第一の本体７１Ａと第二の本体７１Ｂとの間の最短距離は、ゼロ以上であり、かつ、特定の数値以下である。第三の本体７１Ｃと第二の本体７１Ｂとの間の最短距離は、ゼロ以上であり、かつ、特定の数値以下である。いくつかの実施形態において、第一の本体７１Ａと第二の本体７１Ｂとの間の最短距離は、ゼロに等しく、第三の本体７１Ｃと第二の本体７１Ｂとの間の最短距離は、ゼロに等しい。いくつかの実施形態において、第一の本体７１Ａと第二の本体７１Ｂとの間の最短距離が特定の数値に等しく、第三の本体７１Ｃと第二の本体７１Ｂとの間の最短距離が特定の数値に等しいとき、プローブ構造体７の最大幅は、従来のプローブ本体の構造幅よりも小さい。

【0059】

いくつかの実施形態では、第一の突起７３Ａ、第二の突起７３Ｂ１、第三の突起７３Ｂ２、及び第四の突起７３Ｃの頂点は共平面であり、表面７１０Ａ、７１０Ｂ及び７１０Ｃに平行な平面Ｓ７１を規定する。このように、表面７１０Ａと第一の突起７３Ａの頂点との最短距離、表面７１０Ｂと第二の突起７３Ｂ１の頂点との最短距離、表面７１０Ｂと第三の突起７３Ｂ２の頂点との最短距離、及び表面７１０Ｃと第四の突起７３Ｃの頂点との最短距離は、等しい。表面７１０Ａ、表面７１０Ｂ、及び表面７１０Ｃは、共平面である。

【0060】

いくつかの実施形態では、方向Ｄ７１の反対方向に向かって、平面Ｓ７１の投影像は、表面７１０Ａ、表面７１０Ｂ及び表面７１０Ｃに落ちる（すなわち、平面Ｓ７１は、投影像を表面７１０Ａ、表面７１０Ｂ及び表面７１０Ｃに投影する）。このように、直線Ｓ７１の投影像は、表面７１０Ａ、表面７１０Ｂ及び表面７１０Ｃに対して方向Ｄ７１と反対方向に落ちる。したがって、平面Ｓ７１の投影像は、表面７１０Ａ、表面７１０Ｂ、及び表面７１０Ｃに重なる。

【0061】

いくつかの実施形態では、プローブ構造体７が試験中の対象物上の試験される特定領域に接触するように適合される場合、第一の突起７３Ａ、第二の突起７３Ｂ１、第三の突起７３Ｂ２及び第四の突起７３Ｃの頂点によって規定される平面Ｓ７１の中心は、試験される特定領域の中心に重なるように、試験される特定領域の中心に向けることができる。したがって、プローブ構造体７の第一の突起７３Ａ、第二の突起７３Ｂ１、第三の突起７３Ｂ２及び第四の突起７３Ｃが試験される特定領域に接触すると、接触によりプローブ構造体７に加わる力は、第一の突起７３Ａ、第二の突起７３Ｂ１、第三の突起７３Ｂ２及び第四の突起７３Ｃの間で均等に分散される。

【0062】

図８Ａ及び図８Ｂを参照すると、図８Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体８の透視図であり、図８Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるプローブ構造体８の上面図である。プローブ構造体８は、複数の本体８１と、複数の突起８３とを備える。各本体８１は、表面８１０を有する端部分８１１を備える。複数の突起８３のそれぞれは、表面８１０上に形成され、方向Ｄ８１に延びる。少なくとも１つの突起８３は、各表面８１０上に形成される。いくつかの実施形態では、各突起８３は、試験中の対象物（図示せず）、例えば、ＩＣチップに接触するように適合される。

【0063】

いくつかの実施形態において、各本体８１は、少なくとも２つの本体８１と連続している。例えば、図に示すように、各本体８１は、４つの側面を有し、４つの側面のうちの２つは、それぞれ他の２つの本体８１と連続している。

【0064】

上記実施形態における突起は、先細りの形状とすることができ、各突起は、良好な電気的接触を確保するために、試験中の対象物の電極表面の酸化膜を穿孔するための鋭い端部を有することができる。各突起は、表面のうちの対応する１つに対して実質的に垂直な方向に延びる。

【0065】

本開示及びその利点を上述のように詳細に説明してきた。しかしながら、添付の特許請求の範囲によって規定される本開示の趣旨及び範囲から逸脱することなく、様々な変更、置換及び代替を行うことができることを理解すべきである。例えば、上述した様々なプロセスは、異なるアプローチで実施してもよく、上述した様々なプロセスに変えて、他のプロセス又はそれらの組合せを使用してもよい。

【0066】

さらに、本出願の範囲は、詳細な説明に記載されたプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法、又はステップの特定の実施形態に限定されない。当業者であれば、本出願の開示から、本明細書に記載された対応する実施形態と実質的に同じ機能を実行するか、実質的に同じ結果を達成する、現在存在する、又は今後開発されるプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法、又はステップを利用できることを理解することができる。したがって、添付の特許請求の範囲には、このようなプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法、及びステップは、包含されるべきである。

【図1A】

【図1B】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7A】

【図7B】

【図8A】

【図8B】