特開 2023-147523 コンプライアンスユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023147523

(43)【公開日】2023-10-13

(54)【発明の名称】コンプライアンスユニット

(51)【国際特許分類】

   B25J 17/02 20060101AFI20231005BHJP

   F16C 19/06 20060101ALI20231005BHJP

【ＦＩ】

B25J17/02 G

F16C19/06

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022055071

(22)【出願日】2022-03-30

(71)【出願人】

【識別番号】000102511

【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100077665

【弁理士】

【氏名又は名称】千葉 剛宏

(74)【代理人】

【識別番号】100116676

【弁理士】

【氏名又は名称】宮寺 利幸

(74)【代理人】

【識別番号】100191134

【弁理士】

【氏名又は名称】千馬 隆之

(74)【代理人】

【識別番号】100136548

【弁理士】

【氏名又は名称】仲宗根 康晴

(74)【代理人】

【識別番号】100136641

【弁理士】

【氏名又は名称】坂井 志郎

(74)【代理人】

【識別番号】100180448

【弁理士】

【氏名又は名称】関口 亨祐

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 太平

【テーマコード（参考）】

3C707

3J701

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707BT20

3C707CY13

3C707DS01

3C707HS14

3C707HT36

3C707MT07

3J701AA02

3J701AA32

3J701AA42

3J701AA53

3J701AA63

3J701AA72

3J701AA73

3J701BA35

3J701GA32

3J701GA60

(57)【要約】      （修正有）

【課題】テーブル部がスライド部に対して傾斜可能であり、傾斜について誤差を吸収することができるコンプライアンスユニットを提供する。
【解決手段】スライド部３０を構成するスライドボデイ３８と、テーブル部５４を構成するベースプレート６２との間に、複数の第１ボールを保持するリテーナ６８が配置され、複数の第１ボールは、Ｚ軸と一致するスライド部の軸線Ｃ１の周りに並び、スライド部を構成するボール受け板４２とテーブル部を構成するボール受け板６０との間でスライド部の軸線上に単一の第２ボール７２が配置される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ボデイ部と、スライド部と、テーブル部とを備えるコンプライアンスユニットであって、
前記スライド部を構成するスライドボデイと、前記テーブル部を構成するベースプレートとの間に、複数の第１ボールを保持するリテーナが配置され、複数の前記第１ボールは、Ｚ軸と一致する前記スライド部の軸線の周りに並び、前記スライド部を構成するボール受け板と前記テーブル部を構成するボール受け板との間で前記スライド部の軸線上に単一の第２ボールが配置され、前記テーブル部は、前記スライド部に対してＸＹ平面内で移動可能であり、前記テーブル部は、前記スライド部に対して傾斜可能であるコンプライアンスユニット。

【請求項2】

請求項１記載のコンプライアンスユニットにおいて、
前記スライド部は、前記ボデイ部に対してＺ方向に移動可能であり、複数のガイドボールを保持するリテーナが前記ボデイ部と前記スライドボデイとの間に配置されるコンプライアンスユニット。

【請求項3】

請求項２記載のコンプライアンスユニットにおいて、
前記ボデイ部と前記スライド部との間に圧力室が形成され、前記ボデイ部は、前記圧力室にエアを給排するための給排ポートを有するコンプライアンスユニット。

【請求項4】

請求項１記載のコンプライアンスユニットにおいて、
前記テーブル部を前記スライド部に対して原点位置に復帰させるとともに、前記テーブル部を前記スライド部に対して元の姿勢に戻す復帰機構を備えるコンプライアンスユニット。

【請求項5】

請求項４記載のコンプライアンスユニットにおいて、
前記復帰機構は、テーパ状のボール受け面を有するボール受け体と、前記ボール受け面に当接するリターンボールと、前記リターンボールを前記ボール受け面に向けて付勢するリターンスプリングとを含むコンプライアンスユニット。

【請求項6】

請求項５記載のコンプライアンスユニットにおいて、
前記ボール受け体は、前記スライド部の前記ボール受け板に取り付けられ、前記リターンスプリングは、前記テーブル部に装着されるコンプライアンスユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ロボットハンドによる自動組立において、ワークを柔軟に保持し、位置決め誤差を吸収するコンプライアンスユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、ロボットハンドに保持されたワークに、外部からの作用に対する柔軟性を付与するため、コンプライアンスユニットが用いられている。

【0003】

例えば、特許文献１には、円筒状のボデイ内にスライド要素を介して摺動部材を配置し、摺動部材の内側に平面スライド要素を介してテーブルを摺動自在に配置したコンプライアンスユニットが記載されている。摺動部材は、ボデイに対してＺ方向に移動可能であり、テーブルは、摺動部材に対してＸＹ平面内で移動可能である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０００－１５３４８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記コンプライアンスユニットによれば、ＸＹ平面内の位置決め誤差およびＺ方向の位置決め誤差を吸収可能である。しかしながら、テーブルは、Ｘ軸回りおよびＹ軸回りに回動できないので、傾斜について誤差を吸収することができない。

【0006】

本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、ボデイ部と、スライド部と、テーブル部とを備えるコンプライアンスユニットであって、スライド部を構成するスライドボデイと、テーブル部を構成するベースプレートとの間に、複数の第１ボールを保持するリテーナが配置され、複数の第１ボールは、Ｚ軸と一致するスライド部の軸線の周りに並ぶ。スライド部を構成するボール受け板とテーブル部を構成するボール受け板との間でスライド部の軸線上に単一の第２ボールが配置される。テーブル部は、スライド部に対してＸＹ平面内で移動可能であり、テーブル部は、スライド部に対して傾斜可能である。

【発明の効果】

【0008】

本発明に係るコンプライアンスユニットによれば、テーブル部がスライド部に対して傾斜可能であり、傾斜について誤差を吸収することができる。また、テーブル部をスライド部に対してＸＹ平面内で移動可能とし、かつ、テーブル部をスライド部に対して傾斜可能とする構成をコンパクトに実現できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、本発明の実施形態に係るコンプライアンスユニットをＸ軸およびＺ軸を含む平面で切断したときの断面図である。

【図2】図２は、図１のコンプライアンスユニットにエアを供給したときの断面図である。

【図3】図３は、図１のコンプライアンスユニットのテーブル部に押付力を付与したときの断面図である。

【図4】図４は、図１のコンプライアンスユニットがＸ方向の誤差を吸収したときの断面図である。

【図5】図５は、図１のコンプライアンスユニットが傾斜について誤差を吸収したときの断面図である。

【図6】図６は、図１のコンプライアンスユニットの外観図である。

【図7】図７は、Ｚ軸を含みＸ軸を含まない平面で図１のコンプライアンスユニットを切断したときの断面図の一部である。

【図8】図８は、ボデイ部の規制ピンとテーブル本体の切欠溝との関係を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

図１に示されるように、本発明の実施形態に係るコンプライアンスユニット１０は、ボデイ部１２と、ボデイ部１２に支持されるスライド部３０と、スライド部３０に支持されるテーブル部５４とを含む。ボデイ部１２は、図示しないロボットハンドに取り付けられる。ボデイ部１２およびスライド部３０の軸線Ｃ１は、Ｚ軸と一致する。スライド部３０は、ボデイ部１２に対してＺ方向に移動可能である。

【0011】

テーブル部５４は、スライド部３０に対してＸ方向およびＹ方向（紙面に垂直な方向）に移動可能であり、かつ、スライド部３０の軸線Ｃ１（Ｚ軸）周りに回転可能である。換言すれば、テーブル部５４は、スライド部３０に対して、ＸＹ平面内で移動可能である。また、テーブル部５４は、スライド部３０に対して傾斜可能である。換言すれば、テーブル部５４は、Ｘ軸回りおよびＹ軸回りに回動可能である。以下、上下の方向に関する言葉を用いたときは、Ｚ軸と平行な方向をいう。また、左右の方向に関する言葉を用いたときは、Ｘ軸と平行な方向をいう。

【0012】

ボデイ部１２は、円筒状のハウジング１４と、矩形状のカバープレート１６と、円盤状の圧力プレート２２と、円環状のエンドプレート２６とから構成される。カバープレート１６は、ハウジング１４の上部に固定される。圧力プレート２２は、カバープレート１６の下部中央に固定される。エンドプレート２６は、ハウジング１４の下部に固定される。カバープレート１６は、下面に環状の凹部１６ａを有し、圧力プレート２２は、上部に環状の嵌合部２２ａを備える。圧力プレート２２の嵌合部２２ａは、カバープレート１６の凹部１６ａの内周に嵌合する。

【0013】

スライド部３０は、ボデイ部１２の内部に収容される。スライド部３０は、有底円筒状のシリンダボデイ３２と、円筒状のスライドボデイ３８と、円形のボール受け板４２とから構成される。シリンダボデイ３２の上面は、カバープレート１６の凹部１６ａの底面に当接可能である。スライドボデイ３８は、厚肉部３８ａと、厚肉部３８ａの上面から上方に延びる嵌合部３８ｂと、厚肉部３８ａの下部から径方向内方に突出するフランジ部３８ｃとを有する。スライドボデイ３８の嵌合部３８ｂは、シリンダボデイ３２の外側に圧入され嵌合する。ボール受け板４２は、シリンダボデイ３２の下面とスライドボデイ３８の厚肉部３８ａの上面との間で挟持される。

【0014】

ハウジング１４の内周面とスライドボデイ３８の外周面との間に、円筒状の第１リテーナ４４が配置される。第１リテーナ４４は、円周方向に並ぶ複数の上部ボール収容孔４４ａと、円周方向に並ぶ複数の下部ボール収容孔４４ｂとを有する。上部ボール収容孔４４ａおよび下部ボール収容孔４４ｂは、第１リテーナ４４の壁面を径方向に貫通する。上部ボール収容孔４４ａおよび下部ボール収容孔４４ｂにガイドボール４６が配置され、第１リテーナ４４は、複数のガイドボール４６を保持する。ガイドボール４６の直径は、第１リテーナ４４の壁厚よりも僅かに大きい。

【0015】

ガイドボール４６は、ハウジング１４の内周面に当接するとともに、スライドボデイ３８の外周面に当接する。第１リテーナ４４を下方に付勢する複数の第１スプリング４８が第１リテーナ４４とカバープレート１６との間に配置される。第１リテーナ４４を上方に付勢する複数の第２スプリング５０が第１リテーナ４４とエンドプレート２６との間に配置される。第１リテーナ４４は、第１スプリング４８および第２スプリング５０の付勢力により、カバープレート１６およびエンドプレート２６からそれぞれ離間する位置に保持される。

【0016】

ガイドボール４６がハウジング１４の内周面およびスライドボデイ３８の外周面を転動することによって、スライド部３０は、ボデイ部１２に対してＺ方向に円滑に移動することができる。ガイドボール４６がハウジング１４の内周面およびスライドボデイ３８の外周面を転動しながらスライド部３０がボデイ部１２に対して移動すると、第１リテーナ４４も同じ方向に移動する。

【0017】

シリンダボデイ３２の上面からスライドボデイ３８の下面までの距離（スライド部３０の高さ）は、カバープレート１６の凹部１６ａの底面からエンドプレート２６の上面までの距離（ボデイ部１２の内部空間の高さ）よりもＬ１だけ短い。スライド部３０に対するテーブル部５４のＺ方向の最大移動量は、Ｌ１に等しい。エンドプレート２６とスライドボデイ３８との間には、ボデイ部１２に対してスライド部３０を上方に付勢するスライド部付勢スプリング５２が配置されている（図７参照）。

【0018】

圧力プレート２２は、シリンダボデイ３２の内側に入り込んでいる。筒状のパッキン３６が圧力プレート２２の外周に装着されている。パッキン３６の上面は、カバープレート１６の下面に密着し、パッキン３６の外周面は、シリンダボデイ３２の内周面に摺接する。外部から気密に保持される圧力室３４が、圧力プレート２２とシリンダボデイ３２との間に形成される。

【0019】

カバープレート１６は、図示しないエア供給源に接続される給排ポート１８と、給排ポート１８から延びるエア通路２０を有する。カバープレート１６のエア通路２０の端部は、カバープレート１６の下面に開口する。圧力プレート２２は、上下方向に貫通するエア通路２４を中央に有する。圧力プレート２２のエア通路２４は、上端においてカバープレート１６のエア通路２０に接続され、下端において圧力室３４に接続される。

【0020】

カバープレート１６の給排ポート１８を通じて圧力室３４にエアが供給されると、スライド部３０が下方に付勢される。この付勢力は、スライド部付勢スプリング５２の付勢力に対抗するほか、テーブル部５４に作用する外力と対抗する。圧力室３４に供給するエア圧を調整することにより、テーブル部５４の押付力を制御することができ、所望のバッファ作用が得られる。

【0021】

スライドボデイ３８は、スライドボデイ３８の下面から下方に突出する規制ピン２８を備える。エンドプレート２６は、スライドボデイ３８の規制ピン２８と対応する位置に規制孔２６ａを有する。スライドボデイ３８の規制ピン２８は、エンドプレート２６の規制孔２６ａに係合する。これにより、ボデイ部１２に対するスライド部３０の回動が規制される。

【0022】

テーブル部５４は、円盤状のテーブル本体５６と、円形のボール受け板６０と、円筒状のベースプレート６２とから構成される。ボール受け板６０は、テーブル本体５６の上側中央に配置され、ベースプレート６２は、ボール受け板６０の上側に配置される。テーブル本体５６、ボール受け板６０およびベースプレート６２は、ボルト６６により一体的に連結される。ベースプレート６２は、スライドボデイ３８の内側に配置される。ベースプレート６２は、大径部６２ａと、大径部６２ａから下方に延びる小径部６２ｂと、大径部６２ａの上部から径方向外方に突出するフランジ部６２ｃとを有する。

【0023】

ベースプレート６２のフランジ部６２ｃの外径は、スライドボデイ３８の厚肉部３８ａの内径よりもＬ２だけ小さい。ベースプレート６２のフランジ部６２ｃの外周とスライドボデイ３８の厚肉部３８ａの内周との間に隙間が形成されている。ベースプレート６２の小径部６２ｂの外径は、スライドボデイ３８のフランジ部３８ｃの内径よりもＬ２だけ小さい。ベースプレート６２の小径部６２ｂの外周とスライドボデイ３８のフランジ部３８ｃの内周との間に隙間が形成されている。スライド部３０に対するテーブル部５４のＸ方向およびＹ方向の最大移動量は、Ｌ２に等しい。

【0024】

ベースプレート６２のフランジ部６２ｃは、スライドボデイ３８のフランジ部３８ｃの上方に位置する。ベースプレート６２のフランジ部６２ｃとスライドボデイ３８のフランジ部３８ｃとの間に、環状の第２リテーナ６８が配置される。第２リテーナ６８は、円周方向に並ぶ複数のボール収容孔６８ａを有する。第２リテーナ６８の各ボール収容孔６８ａに第１ボール７０が配置され、複数の第１ボール７０が第２リテーナ６８に保持される。複数の第１ボール７０は、スライド部３０の軸線Ｃ１の周りに並ぶ。

【0025】

第１ボール７０は、スライドボデイ３８のフランジ部３８ｃの上面に当接する。また、第１ボール７０は、ベースプレート６２のフランジ部６２ｃの下面に当接可能である。第１ボール７０がスライドボデイ３８のフランジ部３８ｃの上面およびベースプレート６２のフランジ部６２ｃの下面を転動することによって、テーブル部５４は、スライド部３０に対して、ＸＹ平面内で円滑に移動することができる。

【0026】

ベースプレート６２の中央は、上下方向に貫通する第１孔部６２ｄを有する。ベースプレート６２の第１孔部６２ｄに第２ボール７２が収容される。すなわち、テーブル部５４のボール受け板６０とスライド部３０のボール受け板４２との間で、スライド部３０の軸線Ｃ１上に単一の第２ボール７２が配置される。第２ボール７２の直径は、第１ボール７０の直径に比べて数倍大きい。第２ボール７２は、テーブル部５４のボール受け板６０の上面に当接する。また、第２ボール７２は、ベースプレート６２の第１孔部６２ｄから上方に突出しており、スライド部３０のボール受け板４２の下面に当接可能である。

【0027】

テーブル部５４は、テーブル部５４の軸線Ｃ２がスライド部３０の軸線Ｃ１と交差するように、姿勢を変えることができる。すなわち、テーブル部５４は、スライド部３０に対して傾斜することができる。テーブル部５４に外力が作用した状態でテーブル部５４がスライド部３０に対して傾斜する場合、第２ボール７２は、テーブル部５４のボール受け板６０およびスライド部３０のボール受け板４２と当接する。この場合、複数の第１ボール７０は、その一部のみがベースプレート６２のフランジ部６２ｃに当接し、当該第１ボール７０は、ベースプレート６２のフランジ部６２ｃとスライドボデイ３８のフランジ部３８ｃとの間で挟持される（図５参照）。

【0028】

ボデイ部１２は、エンドプレート２６の下面から下方に突出する規制ピン４０を備える。テーブル本体５６は、ボデイ部１２の規制ピン４０と対応する位置に切欠溝５６ａを有する。ボデイ部１２の規制ピン４０は、テーブル本体５６の切欠溝５６ａに挿入され、規制ピン４０の外周には所定の隙間が形成されている（図８参照）。このため、テーブル部５４は、ボデイ部１２およびスライド部３０の軸線Ｃ１（Ｚ軸）周りに所定角度回転可能である。

【0029】

コンプライアンスユニット１０は、テーブル部５４をスライド部３０に対して原点位置に復帰させるとともに、テーブル部５４をスライド部３０に対して元の姿勢に戻す復帰機構を備える。復帰機構は、リターンボール７６と、ボール受け体７８と、リターンスプリング８０とを含む。

【0030】

ベースプレート６２は、第１孔部６２ｄの周囲において、上下方向に貫通する複数（例えば３つ）の第２孔部６２ｅを有する。テーブル部５４のボール受け板６０は、ベースプレート６２の第２孔部６２ｅと対応する位置に孔部６０ａを有する。テーブル本体５６は、ベースプレート６２の第２孔部６２ｅと対応する位置に孔部５６ｂを有する。ベースプレート６２の第２孔部６２ｅおよびボール受け板６０の孔部６０ａに亘って、スプリング挿入用のスリーブ６４が装着されている。

【0031】

スリーブ６４に挿入されるリターンスプリング８０の下端は、テーブル本体５６の孔部５６ｂの下部に取り付けられたプラグ５８に係止する。リターンスプリング８０の上端は、ベースプレート６２の第２孔部６２ｅの上部に収容されるリターンボール７６に当接する。ボール受け体７８は、下方に拡がるテーパ状のボール受け面７８ａを有し、スライド部３０のボール受け板４２に取り付けられる。リターンスプリング８０によって上方に付勢されるリターンボール７６は、ボール受け板４２のボール受け面７８ａに当接する。

【0032】

スライド部３０の軸線Ｃ１と平行な向きに付勢される複数のリターンボール７６は、ボール受け体７８のテーパ状のボール受け面７８ａに当接する。このため、テーブル本体５６に外力が作用しないとき、テーブル部５４の軸線Ｃ２は、スライド部３０の軸線Ｃ１と一致する。すなわち、テーブル部５４がスライド部３０に対してＸＹ平面内の原点位置に保持され、かつ、テーブル部５４がスライド部３０に対して傾斜しない姿勢に保持される。

【0033】

テーブル部５４がスライド部３０に対してＸＹ平面内の原点位置に保持されるのは、リターンボール７６がテーパ状のボール受け面７８ａの頂点（中心）に当接しようとするからである。テーブル部５４がスライド部３０に対して傾斜しない姿勢に保持されるのは、テーブル部５４がスライド部３０に対して傾斜したままでは、複数のリターンスプリング８０で相互に反発力が異なり、傾斜を是正しようとするモーメントが働くからである。

【0034】

リターンスプリング８０は、プラグ５８を介してテーブル本体５６を下方に付勢する作用を奏する。テーブル本体５６に外力が作用しない状態では、複数の第１ボール７０は、リターンスプリング８０の付勢力により、テーブル本体５６と一体のベースプレート６２のフランジ部６２ｃとスライドボデイ３８のフランジ部３８ｃとの間で挟持される。なお、参照符号８２で示されるのは、カバープレート１６をハウジング１４に取り付ける際の位置決めピンである。また、参照符号８４で示されるのは、スライド部３０のボール受け板４２をスライドボデイ３８に取り付ける際の位置決めピンである。

【0035】

本発明の実施形態に係るコンプライアンスユニット１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、以下、その作用について説明する。圧力室３４にエアが供給されず、かつ、テーブル部５４に外力が作用していない状態を初期状態とする（図１参照）。

【0036】

上記初期状態において、シリンダボデイ３２は、スライド部付勢スプリング５２の付勢力により、カバープレート１６の凹部１６ａの底面に当接している。すなわち、スライド部３０は、ボデイ部１２に対して上端まで移動している。また、復帰機構の作用により、テーブル部５４の軸線Ｃ２は、スライド部３０の軸線Ｃ１と一致している。また、複数の第１ボール７０は、リターンスプリング８０の付勢力により、ベースプレート６２のフランジ部６２ｃとスライドボデイ３８のフランジ部３８ｃとの間で挟持されている。このとき、第２ボール７２は、スライド部３０のボール受け板４２に当接していない。

【0037】

上記初期状態から、圧力室３４にエアが供給されると、スライド部３０が下方に付勢される。図２に示されるように、スライド部３０は、スライド部付勢スプリング５２に抗して下端まで移動し、スライドボデイ３８がエンドプレート２６に当接する。スライド部３０が下方に移動する際には、ガイドボール４６がハウジング１４の内周面およびスライドボデイ３８の外周面を転動する。

【0038】

この状態で、テーブル本体５６を図示しないワークに押し付けると、押付力の反力としての外力がテーブル本体５６に作用する。このため、図３に示されるように、テーブル部５４がスライド部３０に対して上方に移動するとともに、スライド部３０がボデイ部１２に対して上方に移動する。スライド部３０に対するテーブル部５４の移動は、リターンスプリング８０の圧縮を伴う。第２ボール７２は、スライド部３０のボール受け板４２に当接する。ベースプレート６２のフランジ部６２ｃは、複数の第１ボール７０から離間する。

【0039】

テーブル本体５６に作用する外力がリターンボール７６および第２ボール７２を介してスライド部３０に加わることで、スライド部３０は、ボデイ部１２に対して上方に移動する。このとき、テーブル本体５６に作用する外力と、スライド部付勢スプリング５２がテーブル部５４を上方に付勢する力とを合わせた力は、圧力室３４のエア圧がテーブル部５４を下方に付勢する力と釣り合う。すなわち、圧力室３４に供給されるエア圧に見合った押付力がテーブル部５４に付与される。スライド部３０がボデイ部１２に対して上方に移動する際には、ガイドボール４６がハウジング１４の内周面およびスライドボデイ３８の外周面を転動する。

【0040】

コンプライアンスユニット１０は、テーブル部５４に押付力が付与された状態で、ＸＹ平面内の誤差を吸収することができる。テーブル部５４が右端まで移動し、Ｘ方向の誤差を最大に吸収した状態が図４に示されている。同図に示されるように、ベースプレート６２のフランジ部６２ｃの外周は、スライドボデイ３８の厚肉部３８ａの内周に当接し、かつ、ベースプレート６２の小径部６２ｂの外周は、スライドボデイ３８のフランジ部３８ｃの内周に当接している。また、リターンボール７６は、ボール受け面７８ａの頂点から外れた位置でボール受け面７８ａに当接している。

【0041】

テーブル部５４に押付力が付与された状態で、テーブル部５４が右方に移動する際には、第２ボール７２がテーブル部５４のボール受け板６０の上面およびスライド部３０のボール受け板４２の下面を転動する。第２ボール７２は、十分な大きさの直径を有しているので、１個だけで押付荷重を支えることができる。

【0042】

コンプライアンスユニット１０は、テーブル部５４に押付力が付与された状態で、テーブル部５４の傾斜（ワークに対するテーブル部５４の傾斜）について、誤差を吸収することができる。テーブル部５４がＹ軸回りに回動して、テーブル部５４の軸線Ｃ２がスライド部３０の軸線Ｃ１に角度αで交差し、傾斜について誤差を吸収した状態が図５に示されている。

【0043】

図５に示されるように、第２ボール７２は、テーブル部５４のボール受け板６０およびスライド部３０のボール受け板４２に当接している。複数の第１ボール７０のうち左端に位置する第１ボール７０のみが、ベースプレート６２のフランジ部６２ｃに当接し、ベースプレート６２のフランジ部６２ｃとスライドボデイ３８のフランジ部３８ｃとの間で挟持されている。それ以外の第１ボール７０は、ベースプレート６２のフランジ部６２ｃから離間している。また、リターンボール７６は、ボール受け面７８ａの頂点から少し外れた位置でボール受け面７８ａに当接している。

【0044】

コンプライアンスユニット１０は、ボデイ部１２に対するスライド部３０の移動量と、スライド部３０に対するテーブル部５４の移動量とを合わせた量で、Ｚ方向の誤差を吸収することもできる。また、コンプライアンスユニット１０は、テーブル部５４に押付力が付与された状態で、ＸＹ平面内の誤差を吸収し、かつ、テーブル部５４の傾斜について誤差を吸収することもできる。

【0045】

本実施形態に係るコンプライアンスユニット１０によれば、テーブル部５４がスライド部３０に対して傾斜可能であり、傾斜について誤差を吸収することができる。また、テーブル部５４をスライド部３０に対してＸＹ平面内で移動可能とし、かつ、テーブル部５４をスライド部３０に対して傾斜可能とする構成をコンパクトに実現できる。

【0046】

本発明に係るコンプライアンスユニットは、上述した実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得る。

【符号の説明】

【0047】

１０…コンプライアンスユニット １２…ボデイ部
１８…給排ポート ３０…スライド部
３４…圧力室 ３８…スライドボデイ
４２、６０…ボール受け板 ４４…第１リテーナ（リテーナ）
４６…ガイドボール ５４…テーブル部
６２…ベースプレート ６８…第２リテーナ（リテーナ）
７０…第１ボール ７２…第２ボール
７６…リターンボール ７８…ボール受け体
７８ａ…ボール受け面 ８０…リターンスプリング

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】