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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023148208
(43)【公開日】2023-10-13
(54)【発明の名称】防爆ガスセンサ用フィルタ及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
G01N 25/18 20060101AFI20231005BHJP
G01N 27/18 20060101ALI20231005BHJP
B01D 46/42 20060101ALI20231005BHJP
B01D 46/10 20060101ALI20231005BHJP
【ＦＩ】
G01N25/18 Z
G01N27/18
B01D46/42 A
B01D46/10 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】2
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022056111
(22)【出願日】2022-03-30
(71)【出願人】
【識別番号】000133526
【氏名又は名称】株式会社チノー
(74)【代理人】
【識別番号】100067323
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 教光
(74)【代理人】
【識別番号】100124268
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 典行
(72)【発明者】
【氏名】柳橋 直毅
(72)【発明者】
【氏名】江川 益博
【テーマコード（参考）】
2G040
2G060
4D058
【Ｆターム（参考）】
2G040AA02
2G040AB09
2G040BA04
2G040BA23
2G040CA02
2G040DA02
2G040DA12
2G040GA01
2G040GA05
2G040HA05
2G060AA01
2G060AE19
2G060AF07
2G060BA05
2G060BB02
2G060BB12
2G060BB14
2G060BD06
2G060JA01
2G060KA01
4D058JA12
4D058KC34
4D058SA20
4D058UA11
(57)【要約】
【課題】強度の向上を図るとともにルーチン試験が不要な防爆ガスセンサ用フィルタを提供する。
【解決手段】防爆ガスセンサ用フィルタは、検知素子８を収容した容器２に取り付けられるガス導入フランジ１３のガス導入穴１３ｃから対象エリアの検出対象ガスが導入され、導入された検出対象ガスを検知素子８で検出する防爆ガスセンサ１に用いられ、ガス導入穴１３ｃとほぼ同径の小径穴１９ａと小径穴１９ａよりも大径の大径穴１９ｂからなる段付きの貫通穴１９が形成され、ガス導入フランジ１３に着脱可能に取り付けられるホルダ１８と、段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂにステンレス粉末を充填して放電プラズマ焼結により段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂに一体形成される焼結フィルタ２０と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】防爆ガスセンサ用フィルタは、検知素子８を収容した容器２に取り付けられるガス導入フランジ１３のガス導入穴１３ｃから対象エリアの検出対象ガスが導入され、導入された検出対象ガスを検知素子８で検出する防爆ガスセンサ１に用いられ、ガス導入穴１３ｃとほぼ同径の小径穴１９ａと小径穴１９ａよりも大径の大径穴１９ｂからなる段付きの貫通穴１９が形成され、ガス導入フランジ１３に着脱可能に取り付けられるホルダ１８と、段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂにステンレス粉末を充填して放電プラズマ焼結により段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂに一体形成される焼結フィルタ２０と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ガス検出部を収容した容器に取り付けられるガス導入フランジのガス導入穴から対象エリアの検出対象ガスが導入され、導入された前記検出対象ガスを前記ガス検出部で検出する防爆ガスセンサに用いられる防爆ガスセンサ用フィルタであって、
前記ガス導入穴とほぼ同径の小径穴と該小径穴よりも大径の大径穴からなる段付きの貫通穴が形成され、前記ガス導入フランジに着脱可能に取り付けられるホルダと、
前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴にステンレス粉末を充填して放電プラズマ焼結により前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に一体形成される焼結フィルタと、
を備えたことを特徴とする防爆ガスセンサ用フィルタ。
前記ガス導入穴とほぼ同径の小径穴と該小径穴よりも大径の大径穴からなる段付きの貫通穴が形成され、前記ガス導入フランジに着脱可能に取り付けられるホルダと、
前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴にステンレス粉末を充填して放電プラズマ焼結により前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に一体形成される焼結フィルタと、
を備えたことを特徴とする防爆ガスセンサ用フィルタ。
【請求項2】
ガス検出部を収容した容器に取り付けられるガス導入フランジのガス導入穴から対象エリアの検出対象ガスが導入され、導入された前記検出対象ガスを前記ガス検出部で検出する防爆ガスセンサに用いられる防爆ガスセンサ用フィルタの製造方法であって、
前記ガス導入フランジに着脱可能で前記ガス導入穴とほぼ同径の小径穴と該小径穴よりも大径の大径穴からなる段付き貫通穴が形成されたホルダをパンチ下の上にセットするステップと、
定量したステンレス粉末を前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に充填した後、前記ホルダをダイに下から挿入するステップと、
パンチ上で前記ステンレス粉末を押さえた状態で放電プラズマ焼結により前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に焼結フィルタが一体化されたガス採気フィルタを前記ホルダに形成するステップと、
所定温度以下になった前記ガス採気フィルタを超音波洗浄するステップと、
前記ガス採気フィルタをバブルポイント法で試験するステップと、
を含むことを特徴とする防爆ガスセンサ用フィルタの製造方法。
前記ガス導入フランジに着脱可能で前記ガス導入穴とほぼ同径の小径穴と該小径穴よりも大径の大径穴からなる段付き貫通穴が形成されたホルダをパンチ下の上にセットするステップと、
定量したステンレス粉末を前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に充填した後、前記ホルダをダイに下から挿入するステップと、
パンチ上で前記ステンレス粉末を押さえた状態で放電プラズマ焼結により前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に焼結フィルタが一体化されたガス採気フィルタを前記ホルダに形成するステップと、
所定温度以下になった前記ガス採気フィルタを超音波洗浄するステップと、
前記ガス採気フィルタをバブルポイント法で試験するステップと、
を含むことを特徴とする防爆ガスセンサ用フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、防爆構造の容器に導入される検出対象ガスを検出する防爆ガスセンサに用いられる防爆ガスセンサ用フィルタ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、可燃性ガスが発生する場所でのガス検出に使用するために、防爆構造の容器に導入される検出対象ガスを検出する防爆ガスセンサとしては、例えば下記特許文献１に開示される耐圧防爆型ガス検知器が知られている。特許文献１に開示される耐圧防爆型ガス検知器は、十分なガス透過性を得るとともに火災逸走を確実に防止するため、ステンレス鋼粉末の焼結体や銅合金粉末の焼結体などの金属焼結体からなる火災逸走防止部材がホルダー部材の開口部に設けられている。
【0003】
さらに説明すると、特許文献１の耐圧防爆型ガス検知器に用いられる火災逸走防止部材は、小径筒状部分と大径筒状部分を有するホルダー部材の小径筒状部分と突出縁部によって区画された凹所内に収容され、ホルダー部材の前方側開口を塞ぐようにホルダー部材に保持固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１２－１４１１５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、上述した特許文献１に開示される火災逸走防止部材は、ホルダー部材の小径筒状部分に収容して挟み込む保持構造なので、火災逸走防止部材の保持部分の強度が十分ではなく、さらなる強度の向上とともに、ルーチン試験が不要な構造が望まれていた。
【0006】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、強度の向上を図るとともにルーチン試験が不要な防爆ガスセンサ用フィルタ及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載された防爆ガスセンサ用フィルタは、ガス検出部を収容した容器に取り付けられるガス導入フランジのガス導入穴から対象エリアの検出対象ガスが導入され、導入された前記検出対象ガスを前記ガス検出部で検出する防爆ガスセンサに用いられる防爆ガスセンサ用フィルタであって、
前記ガス導入穴とほぼ同径の小径穴と該小径穴よりも大径の大径穴からなる段付きの貫通穴が形成され、前記ガス導入フランジに着脱可能に取り付けられるホルダと、
前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴にステンレス粉末を充填して放電プラズマ焼結により前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に一体形成される焼結フィルタと、
を備えたことを特徴とする。
前記ガス導入穴とほぼ同径の小径穴と該小径穴よりも大径の大径穴からなる段付きの貫通穴が形成され、前記ガス導入フランジに着脱可能に取り付けられるホルダと、
前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴にステンレス粉末を充填して放電プラズマ焼結により前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に一体形成される焼結フィルタと、
を備えたことを特徴とする。
【0008】
本発明の請求項２に記載された防爆ガスセンサ用フィルタの製造方法は、ガス検出部を収容した容器に取り付けられるガス導入フランジのガス導入穴から対象エリアの検出対象ガスが導入され、導入された前記検出対象ガスを前記ガス検出部で検出する防爆ガスセンサに用いられる防爆ガスセンサ用フィルタの製造方法であって、
前記ガス導入フランジに着脱可能で前記ガス導入穴とほぼ同径の小径穴と該小径穴よりも大径の大径穴からなる段付き貫通穴が形成されたホルダをパンチ下の上にセットするステップと、
定量したステンレス粉末を前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に充填した後、前記ホルダをダイに下から挿入するステップと、
パンチ上で前記ステンレス粉末を押さえた状態で放電プラズマ焼結により前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に焼結フィルタが一体化されたガス採気フィルタを前記ホルダに形成するステップと、
所定温度以下になった前記ガス採気フィルタを超音波洗浄するステップと、
前記ガス採気フィルタをバブルポイント法で試験するステップと、
を含むことを特徴とする。
前記ガス導入フランジに着脱可能で前記ガス導入穴とほぼ同径の小径穴と該小径穴よりも大径の大径穴からなる段付き貫通穴が形成されたホルダをパンチ下の上にセットするステップと、
定量したステンレス粉末を前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に充填した後、前記ホルダをダイに下から挿入するステップと、
パンチ上で前記ステンレス粉末を押さえた状態で放電プラズマ焼結により前記段付き貫通穴の小径穴および大径穴に焼結フィルタが一体化されたガス採気フィルタを前記ホルダに形成するステップと、
所定温度以下になった前記ガス採気フィルタを超音波洗浄するステップと、
前記ガス採気フィルタをバブルポイント法で試験するステップと、
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、ホルダとステンレス粉末を同時焼結した一体化構造により、強度の向上を図って防爆構造を実現でき、ルーチン試験が不要な防爆ガスセンサ用フィルタを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本発明に係る防爆ガスセンサ用フィルタを含むセンサ部の一部断面を施した図である。
【図2】本発明に係る防爆ガスセンサ用フィルタの製造方法に関する説明図である。
【図3】本発明に係る防爆ガスセンサ用フィルタの試験に関する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本発明を実施するための形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【0012】
本実施の形態の防爆ガスセンサは、検知素子と参照素子を備えた自然拡散式の熱伝導式センサからなる。その検知原理について簡単に説明すると、所定温度に加熱された検知素子に対し、採気方式として自然拡散により導入される検出対象ガスが触れたときに、ガス固有の熱伝導率により熱放散の状態が変わり、検知素子の温度が変化し、この温度変化に伴って素子を構成する白金抵抗体の抵抗値も変化し、抵抗値の変化量をブリッジ回路（検知素子、参照素子、２つの固定抵抗により構成される回路）により電圧として取り出すことでガス濃度を算出している。
【0013】
図１に示すように、防爆ガスセンサ１の検知部をなす防爆構造の容器２は、例えばアルミからなり、開口部２ａを有し、先細の先端部２ｂの中心部分に開口部２ａと連通して内周にネジが切られた貫通ネジ穴２ｃが形成される。
【0014】
なお、図１では、本発明の要部であるフィルタを含む検知部の容器２のみを図示しているが、容器２はケーブルを介して不図示の本体に接続されており、不図示の本体にてガス濃度の算出および結果表示、信号出力などが行われる。
【0015】
容器２の基端部２ｄには、例えばアルミからなる容器蓋３が開口部２ａを覆うように着脱可能に取り付けられる。容器２の開口部２ａには、平板状の均熱ブロック固定ホルダ４がネジ止め固定され、開口部２ａの一部が収容部２ｅを形成している。
【0016】
収容部２ｅには、均熱ブロック５がスペーサ６を介して均熱ブロック固定ホルダ４に固定される。均熱ブロック５の外周には、均熱ブロック５の温度制御性の向上を図るため、例えばエアロフレックスからなる断熱材７が取り付けられる。
【0017】
均熱ブロック５には、ガス検出部としての検知素子８が容器２の先端部２ｂの中心軸Ｌに沿って設けられる。検知素子８は、検出対象ガスに接触するようにガラス管内に白金抵抗体が設けられ、白金抵抗体から引き出された導線が素子基板９に接続される。検知素子８の先端部分は、Ｏリング１０を介して均熱ブロック５に固定される。
【0018】
また、均熱ブロック５には、参照素子１１が検知素子８と並設される。参照素子１１は、検出対象ガスに接触しないように密閉して白金抵抗体が収容され、白金抵抗体から引き出された導線が素子基板９に接続される。さらに、均熱ブロック５には、均熱ブロック５の温度制御用のサーミスタ１２が設けられる。
【0019】
容器２の先端部２ｂには、検出対象ガスを導入するためのガス導入フランジ１３が貫通ネジ穴２ｃに対して着脱可能に取り付けられる。ガス導入フランジ１３は、容器２の先端部２ｂの反対側に位置する一端に開口部１３ａを有しており、外周にネジが切られた突出部１３ｂが他端に形成され、突出部１３ｂが容器２の先端部２ｂの貫通ネジ穴２ｃに取り付けられる。ガス導入フランジ１３の突出部１３ｂは、開口部１３ａ内に一部が臨むように形成され、検出対象ガスを検知素子８に導くためのガス導入穴１３ｃが容器２の先端部２ｂの中心軸Ｌに沿って形成される。
【0020】
均熱ブロック５とガス導入フランジ１３の突出部１３ｂとの間には、均熱ブロック５の熱漏れを防止するための例えばＰＥＥＫ樹脂からなる均熱ブロック遮熱板１４がＯリング１５を介して設けられる。
【0021】
ガス導入フランジ１３の開口部１３ａ内に臨む突出部１３ｂは、外周にネジが切られており、フッ素ゴムシート１６を介してガス採気フィルタ１７が着脱可能に取り付けられる。フッ素ゴムシート１６は、ガス導入フランジ１３とガス採気フィルタ１７との間をシールして気密性を保つために設けられる。
【0022】
ガス採気フィルタ１７は、フィルタ台座となるホルダ１８の段付き貫通穴１９にステンレス粉末（例えばＳＵＳ３０４粉末）を充填した状態で放電プラズマ焼結により焼結フィルタ２０がホルダ１８の段付き貫通穴１９に一体化して形成されたものである。
【0023】
なお、ガス採気フィルタ１７のフィルタ台座となるホルダ１８には、内周にネジが切られ、ガス導入フランジ１３の突出部１３ｂに取り付けられる開口部１８ａが形成される。また、ホルダ１８には、開口部１８ａの反対側に突出部１８ｂが一体形成され、段付き貫通穴１９が開口部１８ａに連通して形成される。段付き貫通穴１９は、ガス導入フランジ１３のガス導入穴１３ｃとほぼ同径の小径穴１９ａと、小径穴１９ａよりも大径で小径穴１９ａに連続する大径穴１９ｂからなる。
【0024】
【0025】
【0026】
ガス採気フィルタ１７は、以下の（１）～（１２）の手順に従って製造される。
（１）所定粒径（例えば１５０～３００μｍ）のステンレス粉末（ＳＵＳ３０４）２１を定量する。
（２）図２に示すように、ガス採気フィルタ１７のフィルタ台座となるホルダ１８をパンチ下２２の上にセットする。
（３）ステンレス粉末２１をホルダ１８の段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂに充填する。
（４）（３）でできたものを図２のダイ２３に下から挿入する。
（５）（４）の上から図２のパンチ上２４でステンレス粉末２１を押さえる。
（６）（５）を放電プラズマ焼結装置（以下、ＳＰＳ装置という）にセットする。
（７）荷重を所定値（例えば０．４～０．５ｋＮ）に設定する。
（８）ＳＰＳ装置の温度を制御する。例えば０℃→８８０～９２０℃（１５～２５分保持）→０℃ なお、勾配は例えば２５～３５℃／ｍｉｎで昇温する。この昇温中にステンレス粉末２１の焼結体は熱膨張するが、ステンレス粉末２１がホルダ１８の段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂに接合し始める。
（９）ステンレス粉末２１の焼結体が膨張から収縮に切り替わった後、所定量（例えば０．３ｍｍ）縮むまでの間で通電を止める。
（１０）１００℃以下になったらホルダ１８とステンレス粉末２１の焼結体からなるガス採気フィルタ１７をＳＰＳ装置から取り出す。
（１１）ＳＰＳ装置から取り出したガス採気フィルタ１７に対し、純水、アルコールで超音波洗浄を所定時間（例えば５ｍｉｎ）ずつ実施する。
（１２）バブルポイント法でガス採気フィルタ１７の試験を実施する。図３におけるバルブ２５を少しずつ開放してエアポンプ２６により空気を送り、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）２７内のガス採気フィルタ１７の焼結フィルタ２０から空気が出始める限界圧力から気孔率を算出する。なお、孔径と限界圧力の対応は、例えば孔径が５０μｍで１．６ｋＰａ、孔径が６０μｍで１．４ｋＰａ、孔径が７０μｍで１．２ｋＰａとなっている。
（１）所定粒径（例えば１５０～３００μｍ）のステンレス粉末（ＳＵＳ３０４）２１を定量する。
（２）図２に示すように、ガス採気フィルタ１７のフィルタ台座となるホルダ１８をパンチ下２２の上にセットする。
（３）ステンレス粉末２１をホルダ１８の段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂに充填する。
（４）（３）でできたものを図２のダイ２３に下から挿入する。
（５）（４）の上から図２のパンチ上２４でステンレス粉末２１を押さえる。
（６）（５）を放電プラズマ焼結装置（以下、ＳＰＳ装置という）にセットする。
（７）荷重を所定値（例えば０．４～０．５ｋＮ）に設定する。
（８）ＳＰＳ装置の温度を制御する。例えば０℃→８８０～９２０℃（１５～２５分保持）→０℃ なお、勾配は例えば２５～３５℃／ｍｉｎで昇温する。この昇温中にステンレス粉末２１の焼結体は熱膨張するが、ステンレス粉末２１がホルダ１８の段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂに接合し始める。
（９）ステンレス粉末２１の焼結体が膨張から収縮に切り替わった後、所定量（例えば０．３ｍｍ）縮むまでの間で通電を止める。
（１０）１００℃以下になったらホルダ１８とステンレス粉末２１の焼結体からなるガス採気フィルタ１７をＳＰＳ装置から取り出す。
（１１）ＳＰＳ装置から取り出したガス採気フィルタ１７に対し、純水、アルコールで超音波洗浄を所定時間（例えば５ｍｉｎ）ずつ実施する。
（１２）バブルポイント法でガス採気フィルタ１７の試験を実施する。図３におけるバルブ２５を少しずつ開放してエアポンプ２６により空気を送り、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）２７内のガス採気フィルタ１７の焼結フィルタ２０から空気が出始める限界圧力から気孔率を算出する。なお、孔径と限界圧力の対応は、例えば孔径が５０μｍで１．６ｋＰａ、孔径が６０μｍで１．４ｋＰａ、孔径が７０μｍで１．２ｋＰａとなっている。
【0027】
ここで、国際整合技術指針（Ｅｘ 指針２０１５）第２編耐圧防爆構造１５．１．３．１過圧試験－第１法（静的過圧試験）に適合することを確認することを目的とし、水圧試験機：Ｔ－１００Ｋ（株式会社キョーワ）を使用測定機として過圧試験を行った。なお、試験は、加圧圧力…３．２０ＭＰａ（０．７４ＭＰａ：基準圧力×４＝２．９６ＭＰａ以上）、加圧時間…試験時間：３０秒（１０秒以上）を条件として、爆発試験結果で得られた基準圧力の４倍に等しい静的圧力を容器２に加えて行うものとする。
【0028】
上記の試験により、防爆性能に影響する変形及び破損は無く、基準圧力の４倍に耐え、かつ溶接構造ではなく同時焼結によりブリーザ部が固定されているためルーチン試験は必要としないという結果が得られた。
【0029】
なお、ルーチン試験とは、容器が圧力に耐え、かつ、容器には外部に通じる穴又は亀裂がないことを確実にするためのものであり、ＴＩＩＳ技術資料 Ｅｘ２０１５上巻 第２編 耐圧防爆構造”ｄ” １６ルーチン試験 ２－４６～２－４７に記載された事項を含むものである。
【0030】
ところで、上述した実施の形態のガス採気フィルタ１７が採用される防爆ガスセンサ１として、熱伝導式ガスセンサを図示して説明したが、例えば接触燃焼式、半導体式などの他の方式のガスセンサに採用することもできる。また、検出対象ガスとしては、例えばＨ2 ，Ｈｅ，ＣＯ2 ，ＣＨ4 ，ＮＨ3 ，水蒸気などがある。
【0031】
このように、上述した実施の形態によれば、防爆構造の容器に検知素子が収容され、ガス導入フランジのガス導入穴から導入される対象エリアの検出対象ガスを検知素子にて検出する防爆ガスセンサに用いられる防爆ガスセンサ用フィルタとして、ガス導入フランジ１３のガス導入穴１３ｃとほぼ同径の小径穴１９ａと小径穴１９ａよりも大径の大径穴１９ｂからなる段付きの貫通穴１９が形成されたホルダ１８に対し、段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂにステンレス粉末２１を充填した状態で放電プラズマ焼結により段付き貫通穴１９の小径穴１９ａおよび大径穴１９ｂに焼結フィルタ２０を一体形成している。
【0032】
これにより、ホルダ１８とステンレス粉末２１を同時焼結した一体化構造により、特許文献１に開示される保持構造よりも強度の向上を図った防爆構造を実現でき、ルーチン試験が不要な防爆ガスセンサ用フィルタを製造することができる。
【0033】
また、焼結フィルタ２０が一体化形成されるホルダ１８の段付き貫通穴１９の小径穴１９ａとガス導入フランジ１３のガス導入穴１３ｃとがほぼ同径なので、対象エリアの検出対象ガスを効率的に焼結フィルタ２０を介してガス導入穴１３ｃから検知素子８に導入することができる。
【0034】
以上、本発明に係る防爆ガスセンサ用フィルタ及びその製造方法の最良の形態について説明したが、この形態による記述及び図面により本発明が限定されることはない。すなわち、この形態に基づいて当業者等によりなされる他の形態、実施例及び運用技術などはすべて本発明の範疇に含まれることは勿論である。
【符号の説明】
【0035】
１ 防爆ガスセンサ
２ 容器
２ａ 開口部
２ｂ 先端部
２ｃ 貫通ネジ穴
２ｄ 基端部
２ｅ 収容部
３ 容器蓋
４ 均熱ブロック固定ホルダ
５ 均熱ブロック
６ スペーサ
７ 断熱材
８ 検知素子
９ 素子基板
１０ Ｏリング
１１ 参照素子
１２ サーミスタ
１３ ガス導入フランジ
１３ａ 開口部
１３ｂ 突出部
１３ｃ ガス導入穴
１４ 均熱ブロック遮熱板
１５ Ｏリング
１６ フッ素ゴムシート
１７ ガス採気フィルタ
１８ ホルダ
１８ａ 開口部
１８ｂ 突出部
１９ 段付き貫通穴
１９ａ 小径穴
１９ｂ 大径穴
２０ 焼結フィルタ
２１ ステンレス粉末
２２ パンチ下
２３ ダイ
２４ パンチ上
２５ バルブ
２６ エアポンプ
２７ ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）
２ 容器
２ａ 開口部
２ｂ 先端部
２ｃ 貫通ネジ穴
２ｄ 基端部
２ｅ 収容部
３ 容器蓋
４ 均熱ブロック固定ホルダ
５ 均熱ブロック
６ スペーサ
７ 断熱材
８ 検知素子
９ 素子基板
１０ Ｏリング
１１ 参照素子
１２ サーミスタ
１３ ガス導入フランジ
１３ａ 開口部
１３ｂ 突出部
１３ｃ ガス導入穴
１４ 均熱ブロック遮熱板
１５ Ｏリング
１６ フッ素ゴムシート
１７ ガス採気フィルタ
１８ ホルダ
１８ａ 開口部
１８ｂ 突出部
１９ 段付き貫通穴
１９ａ 小径穴
１９ｂ 大径穴
２０ 焼結フィルタ
２１ ステンレス粉末
２２ パンチ下
２３ ダイ
２４ パンチ上
２５ バルブ
２６ エアポンプ
２７ ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）
【図1】
【図2】
【図3】