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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023148234
(43)【公開日】2023-10-13
(54)【発明の名称】フォイル型気体軸受
(51)【国際特許分類】
F16C 27/02 20060101AFI20231005BHJP
【ＦＩ】
F16C27/02 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022056143
(22)【出願日】2022-03-30
(71)【出願人】
【識別番号】000003218
【氏名又は名称】株式会社豊田自動織機
(74)【代理人】
【識別番号】100105957
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100068755
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 博宣
(72)【発明者】
【氏名】篠田 史也
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 文博
(72)【発明者】
【氏名】國枝 享仁
【テーマコード（参考）】
3J012
【Ｆターム（参考）】
3J012AB20
3J012BB01
3J012CB05
3J012DB04
3J012EB10
3J012EB11
3J012FB01
(57)【要約】
【課題】トップフォイルの負荷容量の低下を抑制できるフォイル型気体軸受を提供すること。
【解決手段】フォイル型気体軸受は、トップフォイル２０と、バンプフォイルと、軸受ハウジングと、を備えている。トップフォイル２０は、周方向Ｂに位置する一端である自由端５１と、周方向Ｂに位置する他端であり、周方向Ｂにおいて自由端５１と所定の隙間Ｓをおいて対向し、軸受ハウジングに固定される固定端５２と、を有している。隙間Ｓは、周方向Ｂにずれるように配置されている。
【選択図】図２
【解決手段】フォイル型気体軸受は、トップフォイル２０と、バンプフォイルと、軸受ハウジングと、を備えている。トップフォイル２０は、周方向Ｂに位置する一端である自由端５１と、周方向Ｂに位置する他端であり、周方向Ｂにおいて自由端５１と所定の隙間Ｓをおいて対向し、軸受ハウジングに固定される固定端５２と、を有している。隙間Ｓは、周方向Ｂにずれるように配置されている。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
回転軸をラジアル方向で支持するフォイル型気体軸受であって、
１枚の薄板で形成される筒状のトップフォイルと、
前記トップフォイルを弾性的に支持するバンプフォイルと、
前記トップフォイル及び前記バンプフォイルを収容する軸受ハウジングと、を備え、
前記トップフォイルは、
前記トップフォイルの周方向に位置する一端である自由端と、
前記トップフォイルの周方向に位置する他端であり、前記周方向において前記自由端と所定の隙間をおいて対向し、前記軸受ハウジングに固定される固定端と、を有し、
前記隙間は、前記周方向にずれるように配置されることを特徴とするフォイル型気体軸受。
１枚の薄板で形成される筒状のトップフォイルと、
前記トップフォイルを弾性的に支持するバンプフォイルと、
前記トップフォイル及び前記バンプフォイルを収容する軸受ハウジングと、を備え、
前記トップフォイルは、
前記トップフォイルの周方向に位置する一端である自由端と、
前記トップフォイルの周方向に位置する他端であり、前記周方向において前記自由端と所定の隙間をおいて対向し、前記軸受ハウジングに固定される固定端と、を有し、
前記隙間は、前記周方向にずれるように配置されることを特徴とするフォイル型気体軸受。
【請求項2】
前記自由端は、前記トップフォイルの軸方向のうち一方向に向かうにつれて前記周方向のうち一方向に段階的にずれるように配置された複数の縁により形成され、
前記固定端は、前記自由端を形成する前記縁の各々に対向する部位により形成され、
前記自由端を形成する１つの前記縁には、前記固定端を形成する１つの前記部位が対向しており、
前記隙間は、互いに対向する前記縁と前記部位とにより前記軸方向のうち一方向に向かうにつれて前記周方向のうち一方向に段階的にずれるように配置されており、
前記トップフォイルは、前記自由端を形成する１つの前記縁を一端とし、当該縁に対向する１つの部位を他端とする円弧状の延設板部を複数有している、請求項１に記載のフォイル型気体軸受。
前記固定端は、前記自由端を形成する前記縁の各々に対向する部位により形成され、
前記自由端を形成する１つの前記縁には、前記固定端を形成する１つの前記部位が対向しており、
前記隙間は、互いに対向する前記縁と前記部位とにより前記軸方向のうち一方向に向かうにつれて前記周方向のうち一方向に段階的にずれるように配置されており、
前記トップフォイルは、前記自由端を形成する１つの前記縁を一端とし、当該縁に対向する１つの部位を他端とする円弧状の延設板部を複数有している、請求項１に記載のフォイル型気体軸受。
【請求項3】
前記トップフォイルは、全ての前記延設板部が前記軸方向に継ぎ目なく一体的に連続している連続板部を有している、請求項２に記載のフォイル型気体軸受。
【請求項4】
前記自由端は、前記トップフォイルの軸方向に対して傾斜しており、
前記固定端は、前記自由端に沿って延びている、請求項１に記載のフォイル型気体軸受。
前記固定端は、前記自由端に沿って延びている、請求項１に記載のフォイル型気体軸受。
【請求項5】
前記自由端と前記固定端との前記隙間の距離は一定である請求項１～請求項４のいずれか一項に記載のフォイル型気体軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、回転軸をラジアル方向に支持するフォイル型気体軸受に関する。
【背景技術】
【0002】
フォイル型気体軸受は、トップフォイルと、バンプフォイルと、軸受ハウジングと、を備えている。トップフォイルは、１枚の薄板を筒状に形成した部材である。バンプフォイルは、トップフォイルを弾性的に支持する。軸受ハウジングは、トップフォイル及びバンプフォイルを収容する。
【0003】
例えば、特許文献１で紹介されている一般的なフォイル型気体軸受におけるトップフォイルは、１つの自由端と、１つの固定端と、を有している。自由端は、トップフォイルの周方向に位置する端である。固定端は、トップフォイルの周方向で自由端とは反対側に位置する端である。固定端は、軸受ハウジングに固定されている。自由端及び固定端は、周方向において自由端と固定端との間に隙間を形成するように対向している。隙間は、トップフォイルの軸方向の全長に直線状に延びている。
【0004】
このようなフォイル型気体軸受は、回転軸の回転数が所定の回転数に到達するまでは、回転軸がトップフォイルに接触する。そして、回転軸の回転数が所定の回転数に到達したとき、回転軸とトップフォイルとの間には、回転軸の回転により引き込まれた空気により空気膜が形成される。トップフォイルと回転軸との間に形成される空気膜の動圧により回転軸が浮上する。このため、回転軸の回転数が所定の回転数に到達すると、フォイル型気体軸受は、回転軸に接触することなく空気膜により回転軸を支持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２００５－９５５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ところで、トップフォイルにおいて隙間が形成された部分は、負荷容量が大きく低下する。回転軸が回転したとき、トップフォイルにはラジアル荷重が作用する。ラジアル荷重がトップフォイルの隙間が形成された部分に作用したとき、ラジアル荷重が負荷容量を上回ると、回転軸がトップフォイルに接触する。よって、回転軸及びトップフォイルが摩耗したり、回転軸とトップフォイルとが焼き付いたりする虞がある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するフォイル型気体軸受は、回転軸をラジアル方向で支持するフォイル型気体軸受であって、１枚の薄板で形成される筒状のトップフォイルと、前記トップフォイルを弾性的に支持するバンプフォイルと、前記トップフォイル及び前記バンプフォイルを収容する軸受ハウジングと、を備え、前記トップフォイルは、前記トップフォイルの周方向に位置する一端である自由端と、前記トップフォイルの周方向に位置する他端であり、前記周方向において前記自由端と所定の隙間をおいて対向し、前記軸受ハウジングに固定される固定端と、を有し、前記隙間は、前記周方向にずれるように配置される。
【0008】
上記構成によれば、トップフォイルに形成される隙間が周方向にずれている。このため、トップフォイルには、隙間の任意の位置に軸方向で隣り合う壁部が存在する。トップフォイルの内側に挿通される回転軸が回転したとき、トップフォイルには、ラジアル荷重が作用する。トップフォイルの隙間が形成されている部分にラジアル荷重が作用しても、隙間の任意の位置に軸方向で隣り合う壁部によりラジアル荷重を受けることができる。よって、トップフォイルの軸方向の全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイルの負荷容量の低下を抑制できる。
【0009】
上記のフォイル型気体軸受は、前記自由端は、前記トップフォイルの軸方向のうち一方向に向かうにつれて前記周方向のうち一方向に段階的にずれるように配置された複数の縁により形成され、前記固定端は、前記自由端を形成する前記縁の各々に対向する部位により形成され、前記自由端を形成する１つの前記縁には、前記固定端を形成する１つの前記部位が対向しており、前記隙間は、互いに対向する前記縁と前記部位とにより前記軸方向のうち一方向に向かうにつれて前記周方向のうち一方向に段階的にずれるように配置されており、前記トップフォイルは、前記自由端を形成する１つの前記縁を一端とし、当該縁に対向する１つの部位を他端とする円弧状の延設板部を複数有しているとよい。
【0010】
上記構成によれば、トップフォイルに形成される隙間は、周方向及び軸方向に離散的に配置される。よって、隙間がトップフォイルの軸方向の全長に延びないうえに、隙間の任意の位置に軸方向で隣り合う延設板部を、ラジアル荷重を受ける壁部とすることができる。したがって、トップフォイルの軸方向の全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイルの負荷容量の低下をより抑制できる。
【0011】
上記のフォイル型気体軸受において、前記トップフォイルは、全ての前記延設板部が前記軸方向に継ぎ目なく一体的に連続している連続板部を有しているとよい。
例えば、トップフォイルに挿通される回転軸が低速回転している、又は回転していない場合、トップフォイルに回転軸が接触する場合がある。
例えば、トップフォイルに挿通される回転軸が低速回転している、又は回転していない場合、トップフォイルに回転軸が接触する場合がある。
【0012】
上記構成によれば、例えば、連続板部が鉛直方向の下方に位置する状態でフォイル型気体軸受を使用する場合、回転軸が低速回転しているとき、又は回転軸が回転しないときに連続板部に回転軸が接触する。よって、トップフォイルにおいて隙間が形成された部分に回転軸が接触することを抑制できる。
【0013】
上記のフォイル型気体軸受において、前記自由端は、前記トップフォイルの軸方向に対して傾斜しており、前記固定端は、前記自由端に沿って延びているとよい。
上記構成によれば、自由端と固定端との間に形成される隙間を軸方向で挟みこむ壁部が少なくとも存在する。よって、トップフォイルの軸方向の全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイルの負荷容量の低下を抑制できる。
上記構成によれば、自由端と固定端との間に形成される隙間を軸方向で挟みこむ壁部が少なくとも存在する。よって、トップフォイルの軸方向の全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイルの負荷容量の低下を抑制できる。
【0014】
上記のフォイル型気体軸受において、前記自由端と前記固定端との前記隙間の距離は一定であるとよい。
上記構成によれば、自由端と固定端との隙間の距離が一定であることにより、トップフォイルの負荷容量の低下をより抑制できる。
上記構成によれば、自由端と固定端との隙間の距離が一定であることにより、トップフォイルの負荷容量の低下をより抑制できる。
【発明の効果】
【0015】
この発明によれば、トップフォイルの負荷容量の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】フォイル型気体軸受の第１実施形態の正面図である。
【図2】第１実施形態のトップフォイルの斜視図である。
【図3】第１実施形態のトップフォイルの展開図である。
【図4】第１実施形態と回転軸との配置を示す斜視図である。
【図5】フォイル型気体軸受の第２実施形態におけるトップフォイルが展開された状態を示す平面図である。
【図6】第２実施形態におけるトップフォイルの斜視図である。
【図7】第２実施形態におけるトップフォイルの側面図である。
【図8】フォイル型気体軸受の第３実施形態におけるトップフォイルが展開された状態を示す平面図である。
【図9】第３実施形態におけるトップフォイルの側面図である。
【図10】フォイル型気体軸受の変更例におけるトップフォイルが展開された状態を示す平面図である。
【図11】変更例におけるトップフォイルの側面図である。
【図12】変更例におけるトップフォイルの側面図である。
【図13】変更例におけるトップフォイルの側面図である。
【図14】フォイル型気体軸受の変更例におけるトップフォイルが展開された状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
【0018】
＜フォイル型気体軸受＞
図１に示すように、フォイル型気体軸受１０は、筒状のトップフォイル２０と、３つのバンプフォイル３０と、筒状の軸受ハウジング４０と、を備えている。トップフォイル２０及びバンプフォイル３０は、金属材料製である。
図１に示すように、フォイル型気体軸受１０は、筒状のトップフォイル２０と、３つのバンプフォイル３０と、筒状の軸受ハウジング４０と、を備えている。トップフォイル２０及びバンプフォイル３０は、金属材料製である。
【0019】
トップフォイル２０の軸線ｍが延びる方向を軸方向Ａとする。トップフォイル２０の軸線ｍを中心として描く円が延びる方向を周方向Ｂとする。トップフォイル２０の軸線ｍに直交する方向を径方向Ｒとする。
【0020】
軸受ハウジング４０は、トップフォイル２０及び全てのバンプフォイル３０を収容している。軸受ハウジング４０には、３つの切り欠き溝４１が形成されている。３つの切り欠き溝４１は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａに設けられている。３つの切り欠き溝４１は、周方向Ｂにおいて等間隔に配置されている。３つの切り欠き溝４１は、軸方向Ａにおいて軸受ハウジング４０の内周面４０ａの全長に設けられている。
【0021】
【0022】
＜トップフォイルが展開された状態＞
以下、トップフォイル２０が展開された平板状の薄板である状態を前提としてトップフォイル２０の構成を説明する。
以下、トップフォイル２０が展開された平板状の薄板である状態を前提としてトップフォイル２０の構成を説明する。
【0023】
図３に示すように、トップフォイル２０は、長板状である。トップフォイル２０の長縁が延びる方向を長縁方向Ｃとする。長縁方向Ｃ及びトップフォイル２０の厚さ方向の双方向に直交する方向であって、トップフォイル２０の短縁が延びる方向をトップフォイル２０の短縁方向Ｄとする。
【0024】
トップフォイル２０は、長縁方向Ｃにおいて、第１端２１と、第２端２２と、を有している。トップフォイル２０は、短縁方向Ｄにおいて、第３端２３と、第４端２４と、を有している。第３端２３及び第４端２４は、長縁方向Ｃに直線状に延びている。
【0025】
長縁方向Ｃにおいて、第１端２１から第２端２２に向かう方向を第１長縁方向Ｃ１とする。短縁方向Ｄにおいて、第３端２３から第４端２４に向かう方向を第１短縁方向Ｄ１とする。
【0026】
第１端２１は、階段状である。第１端２１は、第１縁２１１と、第２縁２１２と、第３縁２１３と、第１接続縁２１４と、第２接続縁２１５と、を有している。第１縁２１１は、第３端２３の長縁方向Ｃにおける一端２３ａに連続している。第１縁２１１は、第３端２３から第１短縁方向Ｄ１に延びている。
【0027】
第１接続縁２１４は、第１縁２１１に接続されている。第１接続縁２１４は、第１縁２１１のうち短縁方向Ｄにおいて第３端２３とは反対側の部分に接続されている。第１接続縁２１４は、第１縁２１１から第１長縁方向Ｃ１に延びている。第１接続縁２１４は、第３端２３と平行である。
【0028】
第２縁２１２は、第１接続縁２１４に接続されている。第１接続縁２１４は、第１縁２１１と第２縁２１２とを接続している。第２縁２１２は、第１接続縁２１４から第１短縁方向Ｄ１に延びている。
【0029】
第２接続縁２１５は、第２縁２１２に接続されている。第２接続縁２１５は、第２縁２１２のうち短縁方向Ｄにおいて第１接続縁２１４とは反対側の部分に接続されている。第２接続縁２１５は、第２縁２１２から第１長縁方向Ｃ１に延びている。第２接続縁２１５は、第１接続縁２１４と平行である。
【0030】
第３縁２１３は、第２接続縁２１５に接続されている。第２接続縁２１５は、第２縁２１２と第３縁２１３とを接続している。第３縁２１３は、第２接続縁２１５から第１短縁方向Ｄ１に延びている。第３縁２１３は、第４端２４の長縁方向Ｃにおける一端２４ａに接続されている。
【0031】
第２端２２は、階段状である。第２端２２は、第１縁２２１と、第２縁２２２と、第３縁２２３と、第１接続縁２２４と、第２接続縁２２５と、を有している。第１縁２２１は、第３端２３における長縁方向Ｃにおける他端２３ｂに接続されている。第１縁２２１は、第３端２３から第１短縁方向Ｄ１に延びている。第１縁２２１の短縁方向Ｄにおける長さは、第１縁２１１の短縁方向Ｄにおける長さと同じである。
【0032】
第１接続縁２２４は、第１縁２２１のうち短縁方向Ｄにおいて第３端２３とは反対側の部分から第１長縁方向Ｃ１に延びている。第２縁２２２は、第１接続縁２２４に接続されている。第１接続縁２２４は、第１縁２２１と第２縁２２２とを接続している。第２縁２２２は、第１接続縁２２４から第１短縁方向Ｄ１に延びている。第２縁２２２の短縁方向Ｄにおける長さは、第２縁２１２の短縁方向Ｄにおける長さと同じである。
【0033】
第２接続縁２２５は、第２縁２２２のうち短縁方向Ｄにおいて第１接続縁２２４とは反対側の部分から第１長縁方向Ｃ１に延びている。第２接続縁２２５は、第１接続縁２２４と平行である。
【0034】
第３縁２２３は、第２接続縁２２５に接続されている。第２接続縁２２５は、第２縁２２２と第３縁２２３とを接続している。第３縁２２３は、第２接続縁２２５から第１短縁方向Ｄ１に延びている。第３縁２２３は、第４端２４の長縁方向Ｃにおける他端２４ｂに接続されている。第３縁２２３の短縁方向Ｄにおける長さは、第３縁２１３の短縁方向Ｄにおける長さと同じである。
【0035】
第１縁２１１、第２縁２１２、及び第３縁２１３は、第１短縁方向Ｄ１に向かうにつれて、第１長縁方向Ｃ１に段階的にずれるように配置されている。第１縁２２１、第２縁２２２、及び第３縁２２３は、第１短縁方向Ｄ１に向かうにつれて、第１長縁方向Ｃ１に段階的にずれるように配置されている。なお、本実施形態において、トップフォイル２０は、２つの長縁を有している。
【0036】
＜第１延設板部、第２延設板部、及び第３延設板部＞
長縁方向Ｃにおいて第１端２１の第１接続縁２１４と、第２端２２の第１接続縁２２４とを結ぶ仮想線を第１仮想線ＶＬ１とする。長縁方向Ｃにおいて第１端２１の第２接続縁２１５と第２端２２の第２接続縁２２５とを結ぶ仮想線を第２仮想線ＶＬ２とする。
長縁方向Ｃにおいて第１端２１の第１接続縁２１４と、第２端２２の第１接続縁２２４とを結ぶ仮想線を第１仮想線ＶＬ１とする。長縁方向Ｃにおいて第１端２１の第２接続縁２１５と第２端２２の第２接続縁２２５とを結ぶ仮想線を第２仮想線ＶＬ２とする。
【0037】
トップフォイル２０は、第１延設板部Ｐ１と、第２延設板部Ｐ２と、第３延設板部Ｐ３と、を有している。第１延設板部Ｐ１は、トップフォイル２０において、第１縁２１１，２２１と、第１接続縁２１４と、第３端２３と、第１仮想線ＶＬ１とにより区画される部分である。第２延設板部Ｐ２は、トップフォイル２０において、第２縁２１２，２２２と、第２接続縁２１５と、第１接続縁２２４と、第１仮想線ＶＬ１と、第２仮想線ＶＬ２とにより区画される部分である。第３延設板部Ｐ３は、トップフォイル２０において、第３縁２１３，２２３と、第４端２４と、第２接続縁２２５と、第２仮想線ＶＬ２とにより区画される部分である。各延設板部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３は、長板状である。
【0038】
＜第１切れ目及び第２切れ目＞
トップフォイル２０は、第１切れ目２５と、第２切れ目２６と、を有している。第１切れ目２５は、第１延設板部Ｐ１と第２延設板部Ｐ２との境界において、第１縁２２１から第１仮想線ＶＬ１に沿って直線状に設けられている。第１切れ目２５は、第１延設板部Ｐ１と第２延設板部Ｐ２との境界を一部分だけ切断した部位である。
トップフォイル２０は、第１切れ目２５と、第２切れ目２６と、を有している。第１切れ目２５は、第１延設板部Ｐ１と第２延設板部Ｐ２との境界において、第１縁２２１から第１仮想線ＶＬ１に沿って直線状に設けられている。第１切れ目２５は、第１延設板部Ｐ１と第２延設板部Ｐ２との境界を一部分だけ切断した部位である。
【0039】
第２切れ目２６は、第２延設板部Ｐ２と第３延設板部Ｐ３との境界において、第２縁２２２から第２仮想線ＶＬ２に沿って直線状に設けられている。第２切れ目２６は、第２延設板部Ｐ２と第３延設板部Ｐ３との境界を一部分だけ切断した部位である。
【0040】
＜第１折り目、第２折り目、及び第３折り目＞
トップフォイル２０には、第１折り目２７と、第２折り目２８と、第３折り目２９とが存在する。図３の破線で示すように、第１折り目２７は、長縁方向Ｃにおいて第１縁２２１から所定の距離だけ離れた位置に設けられている。第１折り目２７は、短縁方向Ｄに延びている。第１折り目２７は、第３端２３から第１切れ目２５の終端に至るまで延びている。トップフォイル２０において、第１折り目２７から第１縁２２１までの部分を第１折り曲げ部２７ａとする。第１折り曲げ部２７ａは、トップフォイル２０を筒状に形成したときにトップフォイル２０の径方向Ｒの外側に向けて折り曲げられる部分である。
トップフォイル２０には、第１折り目２７と、第２折り目２８と、第３折り目２９とが存在する。図３の破線で示すように、第１折り目２７は、長縁方向Ｃにおいて第１縁２２１から所定の距離だけ離れた位置に設けられている。第１折り目２７は、短縁方向Ｄに延びている。第１折り目２７は、第３端２３から第１切れ目２５の終端に至るまで延びている。トップフォイル２０において、第１折り目２７から第１縁２２１までの部分を第１折り曲げ部２７ａとする。第１折り曲げ部２７ａは、トップフォイル２０を筒状に形成したときにトップフォイル２０の径方向Ｒの外側に向けて折り曲げられる部分である。
【0041】
第２折り目２８は、長縁方向Ｃにおいて第２縁２２２から所定の距離だけ離れた位置に設けられている。第２折り目２８は、短縁方向Ｄに延びている。第２折り目２８は、第１接続縁２２４から第２切れ目２６の終端に至るまで延びている。トップフォイル２０において、第２折り目２８から第２縁２２２までの部分を第２折り曲げ部２８ａとする。第２折り曲げ部２８ａは、トップフォイル２０を筒状に形成したときにトップフォイル２０の径方向Ｒの外側に向けて折り曲げられる部分である。
【0042】
第３折り目２９は、第３縁２２３から第３縁２１３に向けて所定の距離だけ離れた位置に設けられている。第３折り目２９は、短縁方向Ｄに延びている。第３折り目２９は、第２接続縁２２５から第４端２４に至るまでのびている。トップフォイル２０において、第３折り目２９から第３縁２２３までの部分を第３折り曲げ部２９ａとする。第３折り曲げ部２９ａは、トップフォイル２０を筒状にしたときにトップフォイル２０の径方向Ｒの外側に向けて折り曲げられる部分である。各折り目２７，２８，２９は、各折り曲げ部２７ａ，２８ａ，２９ａの折り曲げ位置を示している。
【0043】
＜連続板部＞
第１端２１の第３縁２１３は、長縁方向Ｃにおいて、第１折り目２７と第１端２１の第２縁２１２との間に配置されている。すなわち、短縁方向Ｄにおいて、第１端２１と第２端２２とが重ならない。トップフォイル２０は、短縁方向Ｄにおいて各延設板部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３が継ぎ目なく一体的に連続している連続板部Ｐ４を有している。
第１端２１の第３縁２１３は、長縁方向Ｃにおいて、第１折り目２７と第１端２１の第２縁２１２との間に配置されている。すなわち、短縁方向Ｄにおいて、第１端２１と第２端２２とが重ならない。トップフォイル２０は、短縁方向Ｄにおいて各延設板部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３が継ぎ目なく一体的に連続している連続板部Ｐ４を有している。
【0044】
第３縁２１３に沿って延びる仮想線を第３仮想線ＶＬ３とする。第１折り目２７に沿って延びる仮想線を第４仮想線ＶＬ４とする。連続板部Ｐ４は、第３縁２１３と、第３仮想線ＶＬ３と、第３端２３の一部と、第１折り目２７と、第４仮想線ＶＬ４と、第４端２４の一部とにより区画される部分である。
【0045】
＜第１延設板部、第２延設板部、第３延設板部、連続板部の長縁方向の長さ＞
第１延設板部Ｐ１において、第１縁２１１から第１折り目２７までの長縁方向Ｃの長さＬ１は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａの円周よりも若干小さい。第２延設板部Ｐ２において、第２縁２１２から第２折り目２８までの長縁方向Ｃの長さＬ２は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａの円周よりも若干小さい。第３延設板部Ｐ３において、第３縁２１３から第３折り目２９までの長縁方向Ｃの長さＬ３は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａの円周よりも若干小さい。第１延設板部Ｐ１の長さＬ１、第２延設板部Ｐ２の長さＬ２、及び第３延設板部Ｐ３の長さＬ３は、全ての同じである。連続板部Ｐ４の長縁方向Ｃの長さは、長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３の３分の１である。
第１延設板部Ｐ１において、第１縁２１１から第１折り目２７までの長縁方向Ｃの長さＬ１は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａの円周よりも若干小さい。第２延設板部Ｐ２において、第２縁２１２から第２折り目２８までの長縁方向Ｃの長さＬ２は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａの円周よりも若干小さい。第３延設板部Ｐ３において、第３縁２１３から第３折り目２９までの長縁方向Ｃの長さＬ３は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａの円周よりも若干小さい。第１延設板部Ｐ１の長さＬ１、第２延設板部Ｐ２の長さＬ２、及び第３延設板部Ｐ３の長さＬ３は、全ての同じである。連続板部Ｐ４の長縁方向Ｃの長さは、長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３の３分の１である。
【0046】
＜トップフォイルを筒状に形成した状態＞
図２及び図３に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を筒状に形成する場合、第１縁２１１と第１折り目２７とが対向するように第１延設板部Ｐ１を円弧状に湾曲させる。同様に、第２縁２１２と第２折り目２８とが対向するように第２延設板部Ｐ２を円弧状に湾曲させる。同様に、第３縁２１３と第３折り目２９とが対向するように第３延設板部Ｐ３を円弧状に湾曲させる。そして、第１折り曲げ部２７ａ、第２折り曲げ部２８ａ、及び第３折り曲げ部２９ａは、径方向Ｒの外側に突出するように折り曲げられる。第１折り曲げ部２７ａ、第２折り曲げ部２８ａ、及び第３折り曲げ部２９ａは、周方向Ｂにおいて等間隔に配置されている。
図２及び図３に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を筒状に形成する場合、第１縁２１１と第１折り目２７とが対向するように第１延設板部Ｐ１を円弧状に湾曲させる。同様に、第２縁２１２と第２折り目２８とが対向するように第２延設板部Ｐ２を円弧状に湾曲させる。同様に、第３縁２１３と第３折り目２９とが対向するように第３延設板部Ｐ３を円弧状に湾曲させる。そして、第１折り曲げ部２７ａ、第２折り曲げ部２８ａ、及び第３折り曲げ部２９ａは、径方向Ｒの外側に突出するように折り曲げられる。第１折り曲げ部２７ａ、第２折り曲げ部２８ａ、及び第３折り曲げ部２９ａは、周方向Ｂにおいて等間隔に配置されている。
【0047】
図１、図２、及び図３に示すように、筒状のトップフォイル２０の外径は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａの直径よりも小さい。トップフォイル２０の軸方向Ａは、展開されたトップフォイル２０における短縁方向Ｄと一致する。すなわち、展開された状態のトップフォイル２０の第１短縁方向Ｄ１は、筒状のトップフォイル２０の軸方向Ａのうち一方向である。
【0048】
トップフォイル２０の周方向Ｂは、展開されたトップフォイル２０の長縁方向Ｃと一致する。すなわち、展開された状態のトップフォイル２０における第１長縁方向Ｃ１は、筒状のトップフォイル２０の周方向Ｂのうち一方向である。
【0049】
図２に示すように、第１接続縁２１４と第１接続縁２２４とは軸方向Ａで接触している。第２接続縁２１５と第２接続縁２２５とは軸方向Ａで接触している。
第１縁２１１と、第１折り目２７との間には、所定の第１隙間Ｓ１が形成されている。第１縁２１１と第１折り目２７とは軸方向Ａに平行に延びている。第１隙間Ｓ１は、第１縁２１１と、第１折り目２７と、第２延設板部Ｐ２とにより囲まれるとともにトップフォイル２０の第１短縁方向Ｄ１とは反対の方向に開口している。
第１縁２１１と、第１折り目２７との間には、所定の第１隙間Ｓ１が形成されている。第１縁２１１と第１折り目２７とは軸方向Ａに平行に延びている。第１隙間Ｓ１は、第１縁２１１と、第１折り目２７と、第２延設板部Ｐ２とにより囲まれるとともにトップフォイル２０の第１短縁方向Ｄ１とは反対の方向に開口している。
【0050】
第２縁２１２と第２折り目２８との間には、所定の第２隙間Ｓ２が形成されている。第２縁２１２と第２折り目２８とは軸方向Ａに平行に延びている。第２隙間Ｓ２は、第２縁２１２と、第２折り目２８と、第１延設板部Ｐ１と、第３延設板部Ｐ３とにより囲まれている。
【0051】
第３縁２１３と第３折り目２９との間には、所定の第３隙間Ｓ３が形成されている。第３縁２１３と第３折り目２９とは軸方向Ａに平行に延びている。第３隙間Ｓ３は、第３縁２１３と、第３折り目２９と、第２延設板部Ｐ２とにより囲まれるとともにトップフォイル２０の第１短縁方向Ｄ１に開口している。
【0052】
トップフォイル２０は、全ての延設板部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３が軸方向Ａに継ぎ目なく一体的に連続している連続板部Ｐ４を有している。
＜自由端、固定端、隙間の配置、壁部＞
図１に示すように、筒状のトップフォイル２０が軸受ハウジング４０に収容された状態において、トップフォイル２０は、径方向Ｒにおいて軸受ハウジング４０の内周面４０ａと所定の間隔をあけて配置されている。
＜自由端、固定端、隙間の配置、壁部＞
図１に示すように、筒状のトップフォイル２０が軸受ハウジング４０に収容された状態において、トップフォイル２０は、径方向Ｒにおいて軸受ハウジング４０の内周面４０ａと所定の間隔をあけて配置されている。
【0053】
トップフォイル２０の各折り曲げ部２７ａ，２８ａ，２９ａは、各切り欠き溝４１に嵌合されている。各折り曲げ部２７ａ，２８ａ，２９ａは、各切り欠き溝４１に固定されている。なお、説明の便宜上、図１には、各切り欠き溝４１と各折り曲げ部２７ａ，２８ａ，２９ａとの間に隙間が存在している。しかし、実際には各折り曲げ部２７ａ，２８ａ，２９ａは、各切り欠き溝４１を形成する面に固定されている。
【0054】
図１及び図２に示すように、トップフォイル２０において、第１縁２１１、第２縁２１２、及び第３縁２１３は、軸受ハウジング４０に固定されない。第１縁２１１、第２縁２１２、及び第３縁２１３は、トップフォイル２０の周方向Ｂに位置する一端である自由端５１を形成している。自由端５１は、複数の縁２１１，２１２，２１３により形成されている。トップフォイル２０は、周方向Ｂに位置する一端である自由端５１を有している。
【0055】
トップフォイル２０は、第１折り曲げ部２７ａ及び第１折り目２７、第２折り曲げ部２８ａ及び第２折り目２８、第３折り曲げ部２９ａ及び第３折り目２９により形成される固定端５２を有している。トップフォイル２０は、軸受ハウジング４０に固定される固定端５２を有している。第１折り曲げ部２７ａ及び第１折り目２７は、第１縁２１１に対向する部位である。第２折り曲げ部２８ａ及び第２折り目２８は、第２縁２１２に対向する部位である。第３折り曲げ部２９ａ及び第３折り目２９は、第３縁２１３に対向する部位である。自由端５１を形成する１つの縁には、固定端５２を形成する１つの部位が対向している。固定端５２は、自由端５１を形成する縁２１１，２１２，２１３の各々に対向する部位により形成されている。
【0056】
固定端５２は、周方向Ｂにおいて自由端５１と所定の隙間Ｓをおいて対向している。隙間Ｓは、第１隙間Ｓ１と、第２隙間Ｓ２と、第３隙間Ｓ３とにより形成されている。第１隙間Ｓ１、第２隙間Ｓ２、及び第３隙間Ｓ３は、周方向Ｂにおいてトップフォイル２０に等間隔に配置されている。隙間Ｓは、第１短縁方向Ｄ１に向かうにつれて第１長縁方向Ｃ１に段階的にずれるように配置されている。すなわち、隙間Ｓは、周方向Ｂにずれるように配置されている。固定端５２は、トップフォイル２０の周方向Ｂにおいて自由端５１とは反対側に位置している。このため、固定端５２は、トップフォイル２０の周方向Ｂに位置する他端である。
【0057】
第１隙間Ｓ１、第２隙間Ｓ２、及び第３隙間Ｓ３の周方向Ｂにおける幅は、軸方向Ａにおいて変化しない。第１隙間Ｓ１、第２隙間Ｓ２、及び第３隙間Ｓ３の各々の周方向Ｂの幅は同じである。すなわち、自由端５１と固定端５２との隙間Ｓの距離は一定である。
【0058】
第１延設板部Ｐ１は、自由端５１を形成する１つの縁である第１縁２１１を一端として、第１縁２１１に対向する第１折り曲げ部２７ａ及び第１折り目２７を他端とする円弧状である。第２延設板部Ｐ２は、自由端５１を形成する１つの縁である第２縁２１２を一端として、第２縁２１２に対向する第２折り曲げ部２８ａ及び第２折り目２８を他端とする円弧状である。第３延設板部Ｐ３は、自由端５１を形成する１つの縁である第３縁２１３を一端として、第３縁２１３に対向する第３折り曲げ部２９ａ及び第３折り目２９を他端とする円弧状である。よって、トップフォイル２０は、自由端５１を形成する１つの縁を一端とし、当該縁に対向する固定端５２を形成する部位を他端とする円弧状の延設板部を複数有している。
【0059】
トップフォイル２０は、第１隙間Ｓ１及び第３隙間Ｓ３の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第２延設板部Ｐ２を有している。トップフォイル２０は、第２隙間Ｓ２の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１延設板部Ｐ１及び第３延設板部Ｐ３を有している。したがって、第１延設板部Ｐ１、第２延設板部Ｐ２、及び第３延設板部Ｐ３は、隙間Ｓの任意の位置に軸方向Ａで隣り合う壁部である。
【0060】
＜バンプフォイル＞
図１に示すように、各バンプフォイル３０は、トップフォイル２０と軸受ハウジング４０の内周面４０ａとの間に配置されている。バンプフォイル３０は、周方向Ｂにおいて隣り合う固定端５２の間の各々に配置されている。各バンプフォイル３０は、その厚さ方向に円弧状に湾曲した支持部３０ａを複数有している。各バンプフォイル３０は、波板である。各支持部３０ａは、弾性変形可能である。各バンプフォイル３０の支持部３０ａは、トップフォイル２０に接触している。よって、各バンプフォイル３０は、トップフォイル２０を弾性的に支持している。
図１に示すように、各バンプフォイル３０は、トップフォイル２０と軸受ハウジング４０の内周面４０ａとの間に配置されている。バンプフォイル３０は、周方向Ｂにおいて隣り合う固定端５２の間の各々に配置されている。各バンプフォイル３０は、その厚さ方向に円弧状に湾曲した支持部３０ａを複数有している。各バンプフォイル３０は、波板である。各支持部３０ａは、弾性変形可能である。各バンプフォイル３０の支持部３０ａは、トップフォイル２０に接触している。よって、各バンプフォイル３０は、トップフォイル２０を弾性的に支持している。
【0061】
各バンプフォイル３０は、固定板部３１を有している。各バンプフォイル３０の固定板部３１は、各切り欠き溝４１に嵌合されている。各固定板部３１は、各折り曲げ部２７ａ，２８ａ，２９ａとともに切り欠き溝４１に嵌合されている。各固定板部３１は、各切り欠き溝４１に固定されている。なお、説明の便宜上、図１には、各切り欠き溝４１と各固定板部３１との間に隙間が存在している。しかし、実際には各固定板部３１は、各切り欠き溝４１を形成する面に固定されている。
【0062】
［本実施形態の作用］
本実施形態の作用を説明する。
図４に示すように、フォイル型気体軸受１０は、回転軸６０をラジアル方向に支持する。ラジアル方向とは、上述した径方向Ｒに一致する方向である。フォイル型気体軸受１０は、連続板部Ｐ４を鉛直方向Ｖｄの下方に位置した状態で使用される。図４の二点鎖線で示すように、回転軸６０は、トップフォイル２０の内側を貫通する。回転軸６０が回転していないとき、もしくは低速回転しているとき、回転軸６０は、連続板部Ｐ４により支持される。
本実施形態の作用を説明する。
図４に示すように、フォイル型気体軸受１０は、回転軸６０をラジアル方向に支持する。ラジアル方向とは、上述した径方向Ｒに一致する方向である。フォイル型気体軸受１０は、連続板部Ｐ４を鉛直方向Ｖｄの下方に位置した状態で使用される。図４の二点鎖線で示すように、回転軸６０は、トップフォイル２０の内側を貫通する。回転軸６０が回転していないとき、もしくは低速回転しているとき、回転軸６０は、連続板部Ｐ４により支持される。
【0063】
回転軸６０の回転数が所定の回転数に到達したとき、トップフォイル２０と回転軸６０との間には、回転軸６０の回転により引き込まれた空気により形成される空気膜が形成される。このため、回転軸６０の回転数が所定の回転数に到達すると、フォイル型気体軸受１０は、回転軸６０に接触することなく空気膜により回転軸６０を支持する。トップフォイル２０の内側に挿通される回転軸６０が回転したとき、トップフォイル２０には、ラジアル荷重が作用する。
【0064】
トップフォイル２０の隙間Ｓの位置は、トップフォイル２０のうちで負荷容量が比較的に低い箇所である。よって、トップフォイル２０は、ラジアル荷重を受けると、隙間Ｓが周方向Ｂに広がるように弾性変形する。換言すると、トップフォイル２０は、自由端５１が固定端５２から離れるように弾性変形する。そして、トップフォイル２０の弾性変形を各バンプフォイル３０が弾性的に支持する。このため、トップフォイル２０を軸受ハウジング４０に対して接触させずに回転軸６０が支持される。
【0065】
本実施形態によれば、トップフォイル２０に形成される隙間Ｓが周方向Ｂにずれている。このため、トップフォイル２０には、隙間Ｓの任意の位置に軸方向Ａで隣り合う壁部としての第１延設板部Ｐ１、第２延設板部Ｐ２、及び第３延設板部Ｐ３が存在する。
【0066】
トップフォイル２０の隙間Ｓが形成されている部分にラジアル荷重が作用しても、隙間Ｓの任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１延設板部Ｐ１、第２延設板部Ｐ２、及び第３延設板部Ｐ３が、ラジアル荷重を受ける。よって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下が抑制される。
【0067】
［本実施形態の効果］
本実施形態の効果を説明する。
（１－１）隙間Ｓが周方向Ｂにずれるように配置されている。このため、トップフォイル２０の隙間Ｓが形成されている部分にラジアル荷重が作用しても、隙間Ｓの任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１延設板部Ｐ１、第２延設板部Ｐ２、及び第３延設板部Ｐ３によりラジアル荷重を受けることができる。よって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下を抑制できる。
本実施形態の効果を説明する。
（１－１）隙間Ｓが周方向Ｂにずれるように配置されている。このため、トップフォイル２０の隙間Ｓが形成されている部分にラジアル荷重が作用しても、隙間Ｓの任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１延設板部Ｐ１、第２延設板部Ｐ２、及び第３延設板部Ｐ３によりラジアル荷重を受けることができる。よって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下を抑制できる。
【0068】
（１－２）トップフォイル２０に形成される隙間Ｓは、周方向Ｂ及び軸方向Ａに離散的に配置される。よって、隙間Ｓがトップフォイル２０の軸方向Ａの全長に延びないうえに、隙間Ｓの任意の位置と軸方向Ａで隣り合う第１延設板部Ｐ１、第２延設板部Ｐ２、及び第３延設板部Ｐ３を、ラジアル軸受を受ける壁部とすることができる。したがって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下をより抑制できる。
【0069】
（１－３）トップフォイル２０は、連続板部Ｐ４を有している。回転軸６０が低速回転している、又は回転軸６０が回転しない場合、連続板部Ｐ４により回転軸６０を支持できる。よって、トップフォイル２０に形成される隙間Ｓに回転軸６０が接触することを抑制しやすい構成にできる。また、第１接続縁２１４と第１接続縁２２４とが接触している部分や、第２接続縁２１５と第２接続縁２２５とが接触している部分に回転軸６０が接触することを抑制しやすい構成にできる。
【0070】
（１－４）隙間Ｓの距離が一定であることにより、トップフォイル２０の負荷容量の低下をより抑制できる。
［第２実施形態］
以下、フォイル型気体軸受を具体化した第２実施形態を図５、図６、及び図７にしたがって説明する。なお、本実施形態の第１実施形態との主な相違点は、トップフォイル２０の形状を変更した点である。その点について詳しく説明し、第１実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を割愛する。
［第２実施形態］
以下、フォイル型気体軸受を具体化した第２実施形態を図５、図６、及び図７にしたがって説明する。なお、本実施形態の第１実施形態との主な相違点は、トップフォイル２０の形状を変更した点である。その点について詳しく説明し、第１実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を割愛する。
【0071】
＜トップフォイルが展開された状態＞
以下、トップフォイル２０が展開された平板状の薄板である状態を前提としてトップフォイル２０の構成を説明する。
以下、トップフォイル２０が展開された平板状の薄板である状態を前提としてトップフォイル２０の構成を説明する。
【0072】
図５に示すように、トップフォイル２０は、その厚さ方向から見たときに平行四辺形状である。トップフォイル２０の第１端２１は、第３端２３の一端２３ａと第４端２４の一端２４ａとを接続している。第１端２１は、第３端２３の一端２３ａから第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて直線状に延びている。
【0073】
トップフォイル２０の第２端２２は、第３端２３の他端２３ｂと第４端２４の他端２４ｂとを接続している。第２端２２は、第３端２３の他端２３ｂから第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて直線状に延びている。第１端２１と第２端２２とは互いに平行に延びている。
【0074】
トップフォイル２０には、折り目２０ａが存在する。図５の破線で示すように、折り目２０ａは、長縁方向Ｃにおいて第２端２２から所定の距離だけ離れた位置に設けられている。折り目２０ａは、第２端２２に平行に延びている。折り目２０ａは、第３端２３から第４端２４に至るまで延びている。トップフォイル２０において、折り目２０ａから第２端２２までの部分を折り曲げ部２０ｂとする。折り曲げ部２０ｂは、トップフォイル２０を筒状に形成したときにトップフォイル２０の径方向Ｒの外側に向けて折り曲げられる部分である。折り目２０ａは、折り曲げ部２０ｂの折り曲げ位置を示している。トップフォイル２０において、第１端２１から折り目２０ａまでの長縁方向Ｃの長さＬ４は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａの円周よりも若干小さい。
【0075】
第４端２４の一端２４ａは、長縁方向Ｃにおいて、第３端２３の一端２３ａと、第３端２３と折り目２０ａとの交点との間に配置されている。すなわち、短縁方向Ｄにおいて、第１端２１と第２端２２とが重ならない。第４端２４の一端２４ａから第３端２３に向けて短縁方向Ｄに延びる仮想線を第５仮想線ＶＬ５とする。折り目２０ａと第３端２３との交点から第４端２４に向けて短縁方向Ｄに延びる仮想線を第６仮想線ＶＬ６とする。
【0076】
トップフォイル２０は、第１部位２０ｃと、第２部位２０ｄと、第３部位２０ｅと、を有している。第１部位２０ｃは、第１端２１と、第５仮想線ＶＬ５と、第３端２３の一部とにより区画された部分である。第２部位２０ｄは、第５仮想線ＶＬ５と、第６仮想線ＶＬ６と、第３端２３の一部と、第４端２４の一部とにより区画された部分である。第３部位２０ｅは、折り目２０ａと、第６仮想線ＶＬ６と、第４端２４の一部とにより区画された部分である。
【0077】
＜トップフォイルを筒状に形成した状態＞
図５及び図６に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を筒状に形成する場合、第１端２１と折り目２０ａとが対向するようにトップフォイル２０を円弧状に湾曲させる。そして、折り曲げ部２０ｂは、径方向Ｒの外側に突出するように折り曲げられる。
図５及び図６に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を筒状に形成する場合、第１端２１と折り目２０ａとが対向するようにトップフォイル２０を円弧状に湾曲させる。そして、折り曲げ部２０ｂは、径方向Ｒの外側に突出するように折り曲げられる。
【0078】
図６及び図７に示すように、折り曲げ部２０ｂは、軸方向Ａに対して傾斜している。径方向Ｒにおいて折り曲げ部２０ｂを見たとき、折り曲げ部２０ｂは、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて延びている。なお、折り曲げ部２０ｂは、図示しないが、軸受ハウジング４０の切り欠き溝４１に固定される。この場合、切り欠き溝４１は、折り曲げ部２０ｂが延びる方向に沿って軸受ハウジング４０の内周面４０ａに設けられるとよい。
【0079】
第１端２１と、折り目２０ａとの間に所定の隙間Ｓ４が形成されている。第１端２１と折り目２０ａとは平行に延びている。第１端２１及び折り目２０ａは、軸方向Ａに対して傾斜している。隙間Ｓ４は、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて連続的にずれるように配置されている。隙間Ｓ４は、軸方向Ａに対して傾斜している。すなわち、隙間Ｓ４は、周方向Ｂにずれるように配置されている。
【0080】
＜自由端、固定端、壁部＞
トップフォイル２０において、第１端２１は、軸受ハウジング４０に固定されない。よって、第１端２１は、自由端５１である。第１端２１は、トップフォイル２０の周方向Ｂに位置する一端である。トップフォイル２０は、周方向Ｂに位置する一端である自由端５１を有している。自由端５１は、軸方向Ａに対して傾斜している。
トップフォイル２０において、第１端２１は、軸受ハウジング４０に固定されない。よって、第１端２１は、自由端５１である。第１端２１は、トップフォイル２０の周方向Ｂに位置する一端である。トップフォイル２０は、周方向Ｂに位置する一端である自由端５１を有している。自由端５１は、軸方向Ａに対して傾斜している。
【0081】
トップフォイル２０は、折り曲げ部２０ｂ及び折り目２０ａにより形成される固定端５２を有している。トップフォイル２０は、軸受ハウジング４０に固定される固定端５２を有している。固定端５２は、周方向Ｂにおいて自由端５１と所定の隙間Ｓ４をおいて対向している。固定端５２は、自由端５１に沿って延びている。固定端５２は、周方向Ｂにおいて自由端５１とは反対側に位置している。このため、固定端５２は、トップフォイル２０の周方向Ｂに位置する他端である。
【0082】
隙間Ｓ４は、自由端５１と固定端５２との間に形成されている。隙間Ｓ４の周方向Ｂにおける幅は、軸方向Ａにおいて変化しない。よって、自由端５１と固定端５２との隙間Ｓ４の距離は一定である。
【0083】
トップフォイル２０は、隙間Ｓ４の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１部位２０ｃ及び第３部位２０ｅを有している。したがって、第１部位２０ｃ及び第３部位２０ｅは、隙間Ｓ４の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う壁部である。第１部位２０ｃ及び第３部位２０ｅは、隙間Ｓ４を軸方向Ａで挟み込む位置に配置されている。
【0084】
［本実施形態の作用及び効果］
本実施形態の作用及び効果を説明する。
（２－１）隙間Ｓ４は、周方向Ｂにずれるように配置されている。このため、トップフォイル２０の隙間Ｓ４が形成されている部分にラジアル荷重が作用しても、隙間Ｓ４の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１部位２０ｃ及び第３部位２０ｅによりラジアル荷重を受けることができる。よって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下を抑制できる。
本実施形態の作用及び効果を説明する。
（２－１）隙間Ｓ４は、周方向Ｂにずれるように配置されている。このため、トップフォイル２０の隙間Ｓ４が形成されている部分にラジアル荷重が作用しても、隙間Ｓ４の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１部位２０ｃ及び第３部位２０ｅによりラジアル荷重を受けることができる。よって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下を抑制できる。
【0085】
（２－２）自由端５１は、軸方向Ａに対して傾斜している。そして、固定端５２は、自由端５１に沿って延びている。隙間Ｓ４は、自由端５１と固定端５２との間に形成されている。
【0086】
このため、隙間Ｓ４を軸方向Ａで挟みこむ第１部位２０ｃ及び第３部位２０ｅが少なくとも存在する。よって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下を抑制できる。
【0087】
（２－３）自由端５１と固定端５２との隙間Ｓ４の距離が一定であることにより、トップフォイル２０の負荷容量の低下をより抑制できる。
［第３実施形態］
以下、フォイル型気体軸受を具体化した第３実施形態を図８及び図９にしたがって説明する。なお、本実施形態の第１実施形態との主な相違点は、トップフォイル２０の形状を変更した点である。その点について詳しく説明し、第１実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を割愛する。
［第３実施形態］
以下、フォイル型気体軸受を具体化した第３実施形態を図８及び図９にしたがって説明する。なお、本実施形態の第１実施形態との主な相違点は、トップフォイル２０の形状を変更した点である。その点について詳しく説明し、第１実施形態と同じ構成については、同じ符号を付し、詳細な説明を割愛する。
【0088】
＜トップフォイルが展開された状態＞
以下、トップフォイル２０が展開された平板状の薄板である状態を前提としてトップフォイル２０の構成を説明する。
以下、トップフォイル２０が展開された平板状の薄板である状態を前提としてトップフォイル２０の構成を説明する。
【0089】
図８に示すように、第３端２３及び第４端２４の短縁方向Ｄの中央を第３端２３及び第４端２４と平行に延びる仮想線を第７仮想線ＶＬ７とする。
トップフォイル２０の第１端２１は、第１縁２１ａと、第２縁２１ｂと、を有している。第１縁２１ａは、第３端２３の一端２３ａから第７仮想線ＶＬ７に向けて延びている。第１縁２１ａは、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて直線状に延びている。第２縁２１ｂは、第４端２４の一端２４ａから第７仮想線ＶＬ７に向けて延びている。第２縁２１ｂは、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１とは反対の方向に直線状に延びている。第２縁２１ｂは、第１縁２１ａに接続されている。
トップフォイル２０の第１端２１は、第１縁２１ａと、第２縁２１ｂと、を有している。第１縁２１ａは、第３端２３の一端２３ａから第７仮想線ＶＬ７に向けて延びている。第１縁２１ａは、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて直線状に延びている。第２縁２１ｂは、第４端２４の一端２４ａから第７仮想線ＶＬ７に向けて延びている。第２縁２１ｂは、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１とは反対の方向に直線状に延びている。第２縁２１ｂは、第１縁２１ａに接続されている。
【0090】
トップフォイル２０の第２端２２は、第１縁２２ａと、第２縁２２ｂと、を有している。第１縁２２ａは、第３端２３の他端２３ｂから第７仮想線ＶＬ７に向けて延びている。第１縁２２ａは、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて直線状に延びている。第１縁２２ａは、第１縁２１ａと平行である。
【0091】
第２縁２２ｂは、第４端２４の他端２４ｂから第７仮想線ＶＬ７に向けて延びている。第２縁２２ｂは、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１とは反対の方向に直線状に延びている。第２縁２２ｂは、第２縁２１ｂと平行である。
【0092】
トップフォイル２０には、第１折り目２０ｆ及び第２折り目２０ｇが存在する。図８の破線で示すように、第１折り目２０ｆは、長縁方向Ｃにおいて第１縁２２ａから所定の距離だけ離れた位置に設けられている。第１折り目２０ｆは、第１縁２２ａに平行に延びている。第１折り目２０ｆは、第３端２３から第７仮想線ＶＬ７に至るまで延びている。
【0093】
図８の破線で示すように、第２折り目２０ｇは、長縁方向Ｃにおいて第２縁２２ｂから所定の距離だけ離れた位置に設けられている。第２折り目２０ｇは、第２縁２２ｂに平行に延びている。第２折り目２０ｇは、第４端２４から第７仮想線ＶＬ７に至るまで延びている。第２折り目２０ｇは、第１折り目２０ｆに連続している。
【0094】
トップフォイル２０は、切れ目２０ｈを有している。切れ目２０ｈは、第１縁２２ａと第２縁２２ｂとの交点から第１折り目２０ｆと第２折り目２０ｇとの交点まで直線状に設けられている。切れ目２０ｈは、第７仮想線ＶＬ７に沿って設けられている。切れ目２０ｈは、トップフォイル２０をその厚さ方向に切断している。
【0095】
トップフォイル２０において、第１折り目２０ｆから第１縁２２ａまでの部分を第１折り曲げ部２０ｉとする。第１折り曲げ部２０ｉは、トップフォイル２０を筒状に形成したときにトップフォイル２０の径方向Ｒの外側に向けて折り曲げられる部分である。第１折り目２０ｆは、第１折り曲げ部２０ｉの折り曲げ位置を示している。
【0096】
トップフォイル２０において、第２折り目２０ｇから第２縁２２ｂまでの部分を第２折り曲げ部２０ｊとする。第２折り曲げ部２０ｊは、トップフォイル２０を筒状に形成したときにトップフォイル２０の径方向Ｒの外側に向けて折り曲げられる部分である。第２折り目２０ｇは、第２折り曲げ部２０ｊの折り曲げ位置を示している。切れ目２０ｈは、第１折り曲げ部２０ｉと第２折り曲げ部２０ｊとを分離している。
【0097】
トップフォイル２０において、第１縁２１ａから第１折り目２０ｆまでの長縁方向Ｃの長さは、第２縁２１ｂから第２折り目２０ｇまでの長縁方向Ｃの長さと同じである。すなわち、トップフォイル２０において、第１端２１から第１折り目２０ｆ及び第２折り目２０ｇまでの長縁方向Ｃの長さＬ５は、常に同じ大きさである。長さＬ５は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａの円周よりも若干小さい。
【0098】
第１端２１における第１縁２１ａと第２縁２１ｂとの交点は、長縁方向Ｃにおいて、第１折り目２０ｆと第３端２３との交点と、第３端２３の一端２３ａとの間に配置されている。第１端２１における第１縁２１ａと第２縁２１ｂとの交点は、長縁方向Ｃにおいて、第２折り目２０ｇと第４端２４との交点と、第４端２４の一端２４ａとの間に配置されている。すなわち、短縁方向Ｄにおいて、第１端２１と第２端２２とが重ならない。
【0099】
第１縁２１ａと第２縁２１ｂとの交点を通過して短縁方向Ｄに延びる仮想線を第８仮想線ＶＬ８とする。第１折り目２０ｆと第３端２３との交点と、第２折り目２０ｇと第４端２４との交点とを結ぶ仮想線を第９仮想線ＶＬ９とする。
【0100】
トップフォイル２０は、第１部位２０ｋと、第２部位２０ｍと、第３部位２０ｎと、第４部位２０ｐと、を有している。第１部位２０ｋは、第１縁２１ａと、第３端２３の一部と、第８仮想線ＶＬ８とにより区画された部分である。第２部位２０ｍは、第２縁２１ｂと、第４端２４の一部と、第８仮想線ＶＬ８とにより区画された部分である。第３部位２０ｎは、第８仮想線ＶＬ８と、第９仮想線ＶＬ９と、第３端２３の一部と、第４端２４の一部とにより区画された部分である。第４部位２０ｐは、第９仮想線ＶＬ９と、第１折り目２０ｆと、第２折り目２０ｇとにより区画された部分である。
【0101】
＜トップフォイルを筒状に形成した状態＞
図８及び図９に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を筒状に形成する場合、第１縁２１ａと第１折り目２０ｆとが対向するように、且つ第２縁２１ｂと第２折り目２０ｇとが対向するようにトップフォイル２０を円弧状に湾曲させる。そして、第１折り曲げ部２０ｉ及び第２折り曲げ部２０ｊは、径方向Ｒの外側に突出するように折り曲げられる。
図８及び図９に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を筒状に形成する場合、第１縁２１ａと第１折り目２０ｆとが対向するように、且つ第２縁２１ｂと第２折り目２０ｇとが対向するようにトップフォイル２０を円弧状に湾曲させる。そして、第１折り曲げ部２０ｉ及び第２折り曲げ部２０ｊは、径方向Ｒの外側に突出するように折り曲げられる。
【0102】
図９に示すように、第１折り曲げ部２０ｉは、軸方向Ａに対して傾斜している。第２折り曲げ部２０ｊは、軸方向Ａに対して傾斜している。径方向Ｒにおいて第１折り曲げ部２０ｉを見たとき、第１折り曲げ部２０ｉは、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて延びている。径方向Ｒにおいて第２折り曲げ部２０ｊを見たとき、第２折り曲げ部２０ｊは、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１とは反対の方向に向けて延びている。なお、各折り曲げ部２０ｉ，２０ｊは、図示しないが、軸受ハウジング４０の切り欠き溝４１に固定される。この場合、切り欠き溝４１は、各折り曲げ部２０ｉ，２０ｊが延びる方向に沿って軸受ハウジング４０の内周面４０ａに設けられるとよい。
【0103】
第１折り目２０ｆと第２折り目２０ｇとの交点は、軸方向Ａにおいて第１縁２１ａと第２縁２１ｂとに挟まれる位置に配置されている。
第１縁２１ａ及び第１折り目２０ｆは、軸方向Ａに対して傾斜している。トップフォイル２０が円弧状に湾曲した状態において、第２縁２１ｂ及び第２折り目２０ｇは、軸方向Ａに対して傾斜している。
第１縁２１ａ及び第１折り目２０ｆは、軸方向Ａに対して傾斜している。トップフォイル２０が円弧状に湾曲した状態において、第２縁２１ｂ及び第２折り目２０ｇは、軸方向Ａに対して傾斜している。
【0104】
第１端２１と、各折り目２０ｆ，２０ｇとの間に隙間Ｓ５が形成されている。第１縁２１ａと第１折り目２０ｆとは平行に延びている。第２縁２１ｂと第２折り目２０ｇとは平行に延びている。隙間Ｓ５は、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて延びる部分と、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１とは反対の方向に延びる部分と、を含んでいる。隙間Ｓ５は、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて短縁方向Ｄに連続的にずれるように配置されている。隙間Ｓ５は、軸方向Ａに対して傾斜している。すなわち、隙間Ｓ５は、周方向Ｂにずれるように配置されている。
【0105】
＜自由端、固定端、壁部＞
トップフォイル２０において、第１端２１は、自由端５１である。第１端２１は、トップフォイル２０の周方向Ｂに位置する一端である。トップフォイル２０は、周方向Ｂに位置する一端である自由端５１を有している。自由端５１は、軸方向Ａに対して傾斜している。
トップフォイル２０において、第１端２１は、自由端５１である。第１端２１は、トップフォイル２０の周方向Ｂに位置する一端である。トップフォイル２０は、周方向Ｂに位置する一端である自由端５１を有している。自由端５１は、軸方向Ａに対して傾斜している。
【0106】
トップフォイル２０は、各折り曲げ部２０ｉ，２０ｊ及び各折り目２０ｆ，２０ｇにより形成される固定端５２を有している。トップフォイル２０は、軸受ハウジング４０に固定される固定端５２を有している。固定端５２は、周方向Ｂにおいて自由端５１と所定の隙間Ｓ５をおいて対向している。固定端５２は、自由端５１に沿って延びている。固定端５２は、周方向Ｂにおいて自由端５１とは反対側に位置している。このため、固定端５２は、トップフォイル２０の周方向Ｂに位置する他端である。
【0107】
隙間Ｓ５は、自由端５１と固定端５２との間に形成されている。隙間Ｓ５の周方向Ｂにおける幅は、軸方向Ａにおいて変化しない。よって、自由端５１と固定端５２との距離は一定である。
【0108】
トップフォイル２０は、隙間Ｓ５の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１部位２０ｋ、第２部位２０ｍ、及び第４部位２０ｐを有している。したがって、第１部位２０ｋ、第２部位２０ｍ、及び第４部位２０ｐは、隙間Ｓ４の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う壁部である。第１部位２０ｋ及び第３部位２０ｎは、隙間Ｓ４の一部を軸方向Ａで挟み込む位置に配置されている。
【0109】
［本実施形態の作用及び効果］
本実施形態の作用及び効果を説明する。
（３－１）隙間Ｓ５は、周方向Ｂにずれるように配置されている。このため、トップフォイル２０の隙間Ｓ５が形成されている部分にラジアル荷重が作用しても、隙間Ｓ５の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１部位２０ｋ、第２部位２０ｍ、及び第４部位２０ｐによりラジアル荷重を受けることができる。よって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下を抑制できる。
本実施形態の作用及び効果を説明する。
（３－１）隙間Ｓ５は、周方向Ｂにずれるように配置されている。このため、トップフォイル２０の隙間Ｓ５が形成されている部分にラジアル荷重が作用しても、隙間Ｓ５の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う第１部位２０ｋ、第２部位２０ｍ、及び第４部位２０ｐによりラジアル荷重を受けることができる。よって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下を抑制できる。
【0110】
（３－２）自由端５１は、軸方向Ａに対して傾斜している。そして、固定端５２は、自由端５１に沿って延びている。隙間Ｓ５は、自由端５１と固定端５２との間に形成されている。
【0111】
このため、隙間Ｓ５を軸方向Ａで挟みこむ第１部位２０ｋ及び第２部位２０ｍが少なくとも存在する。よって、トップフォイル２０の軸方向Ａの全長に直線状に隙間が形成されるフォイル型気体軸受と比較して、トップフォイル２０の負荷容量の低下を抑制できる。
【0112】
（３－３）自由端５１と固定端５２との隙間Ｓ５の距離が一定であることにより、トップフォイル２０の負荷容量の低下をより抑制できる。
［変更例］
なお、上記各実施形態は、以下のように変更して実施できる。上記各実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施できる。
［変更例］
なお、上記各実施形態は、以下のように変更して実施できる。上記各実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施できる。
【0113】
○ 第１実施形態において、トップフォイル２０を以下のように変更してもよい。
図１０に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を前提として説明する。第１縁２１１，２２１、第２縁２１２，２２２、第３縁２１３，２２３、各折り目２７，２８，２９は、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて直線状に延びるように形状を変更してもよい。本変更例のトップフォイル２０を筒状に形成した場合について以下説明する。
図１０に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を前提として説明する。第１縁２１１，２２１、第２縁２１２，２２２、第３縁２１３，２２３、各折り目２７，２８，２９は、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて直線状に延びるように形状を変更してもよい。本変更例のトップフォイル２０を筒状に形成した場合について以下説明する。
【0114】
【0115】
図１１に示すように、トップフォイル２０において、第３延設板部Ｐ３の一部が軸方向Ａにおいて第３隙間Ｓ３に隣り合っている。よって、第３延設板部Ｐ３は、第２延設板部Ｐ２と同様に、第３隙間Ｓ３の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う壁部である。
【0116】
図１２に示すように、トップフォイル２０において、第２延設板部Ｐ２の一部が軸方向Ａにおいて第２隙間Ｓ２に隣り合っている。よって、第２延設板部Ｐ２は、第１延設板部Ｐ１及び第３延設板部Ｐ３と同様に、第２隙間Ｓ２の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う壁部である。
【0117】
図１３に示すように、トップフォイル２０において、第１延設板部Ｐ１の一部が軸方向Ａにおいて第１隙間Ｓ１に隣り合っている。よって、第１延設板部Ｐ１は、第２延設板部Ｐ２と同様に、第１隙間Ｓ１の任意の位置に軸方向Ａで隣り合う壁部である。
【0118】
○ 上記変更例において、第１縁２１１，２２１、第２縁２１２，２２２、第３縁２１３，２２３、各折り目２７，２８，２９は、第１長縁方向Ｃ１に向かうにつれて第１短縁方向Ｄ１に向けて直線状に延びていたが、これに限らない。例えば、第１縁２１１，２２１、第２縁２１２，２２２、第３縁２１３，２２３、各折り目２７，２８，２９が曲線状となっていてもよい。自由端５１及び固定端５２の形状は、適宜変更してもよい。
【0119】
○ 第１実施形態において、トップフォイル２０は、連続板部Ｐ４を有していなくてもよい。以下、具体的に説明する。
図１４に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を前提として説明する。
図１４に示すように、展開された状態のトップフォイル２０を前提として説明する。
【0120】
トップフォイル２０の第２縁２１２の位置は、長さＬ１の２／３の大きさの距離だけ第１縁２１１から第１長縁方向Ｃ１に向けて離れた位置と一致している。トップフォイル２０の第３縁２１３の位置は、長さＬ２の２／３の大きさの距離だけ第２縁２１２から第１長縁方向Ｃ１に向けて離れた位置と一致している。すなわち、短縁方向Ｄにおいて、第１端２１の一部と、第２端２２の一部とが重なっている。このため、各延設板部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３が短縁方向Ｄにおいて連続しない状態となる。
【0121】
○ 第１実施形態において、第１隙間Ｓ１、第２隙間Ｓ２、及び第３隙間Ｓ３が周方向Ｂに等間隔に配置されていたが、これに限らない。第１隙間Ｓ１、第２隙間Ｓ２、及び第３隙間Ｓ３は、周方向Ｂに所定の間隔をおいて配置されていればよい。すなわち、隙間Ｓは、周方向Ｂにずれるように配置されていればよい。
【0122】
○ 第１実施形態において、トップフォイル２０において、自由端５１は、複数の縁２１１，２１２，２１３により形成されている。そして、トップフォイル２０において、固定端５２は、自由端５１を形成する縁の各々に対向する部位により形成されている。自由端５１を形成する縁の数を４つ以上としてもよい。そして、固定端５２は、自由端５１を形成する縁の各々に対向する部位を有していればよい。なお、自由端５１を形成する縁の数に応じて、延設板部の数が増減する。
【0123】
○ 第１実施形態において、第１切れ目２５及び第２切れ目２６は、直線状に形成されていたが、短縁方向Ｄに幅を有する切れ込みであってもよい。
○ 第２及び第３実施形態において、第１端２１の全体が軸方向Ａに対して傾斜しており、第２端２２の全体が軸方向Ａに対して傾斜していたが、これに限らない。例えば、第１端２１及び第２端２２は、軸方向Ａに延びる部分を含んでいてもよい。このため、自由端５１は、軸方向Ａに対して傾斜している部分を少なくとも含んでいることが好ましい。同様に、固定端５２は、軸方向Ａに対して傾斜している部分を少なくとも含んでいることが好ましい。そして、隙間Ｓ４，Ｓ５は、第１端２１における軸方向Ａに対して傾斜している部分と、第２端２２における軸方向Ａに対して傾斜している部分との間に少なくとも形成されていればよい。
○ 第２及び第３実施形態において、第１端２１の全体が軸方向Ａに対して傾斜しており、第２端２２の全体が軸方向Ａに対して傾斜していたが、これに限らない。例えば、第１端２１及び第２端２２は、軸方向Ａに延びる部分を含んでいてもよい。このため、自由端５１は、軸方向Ａに対して傾斜している部分を少なくとも含んでいることが好ましい。同様に、固定端５２は、軸方向Ａに対して傾斜している部分を少なくとも含んでいることが好ましい。そして、隙間Ｓ４，Ｓ５は、第１端２１における軸方向Ａに対して傾斜している部分と、第２端２２における軸方向Ａに対して傾斜している部分との間に少なくとも形成されていればよい。
【0124】
○ 第２及び第３実施形態において、自由端５１の形状、及び固定端５２の形状は適宜変更してもよい。ただし、隙間Ｓ４，Ｓ５がトップフォイル２０の軸方向Ａの一端から他端に向けて直線的に連通しないように形状を変更する。
【0125】
○ 第２及び第３実施形態において、短縁方向Ｄにおいて、第１端２１と第２端２２とが重なるように第１端２１の形状及び第２端２２の形状を変更してもよい。
○ 第３実施形態において、切れ目２０ｈは、直線状に形成されていたが、短縁方向Ｄに幅を有する切れ込みであってもよい。
○ 第３実施形態において、切れ目２０ｈは、直線状に形成されていたが、短縁方向Ｄに幅を有する切れ込みであってもよい。
【0126】
○ 上記各実施形態において、自由端５１と固定端５２との隙間Ｓ，Ｓ４，Ｓ５の距離は一定でなくてもよい。自由端５１と固定端５２とが平行に延びていなくてもよい。第２及び第３実施形態に本変更例を適用する場合、隙間Ｓ４，Ｓ５がトップフォイル２０の軸方向Ａの一端から他端に向けて直線的に連通しないように自由端５１及び固定端５２の形状を変更する。
【0127】
○ 上記各実施形態において、固定端５２は、軸受ハウジング４０の切り欠き溝４１に嵌合されることにより固定されていたが、これに限らない。例えば、固定端５２は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａに溶接することにより固定してもよい。この場合、切り欠き溝４１は、バンプフォイル３０の固定板部３１を固定するために使用する。なお、バンプフォイル３０は、軸受ハウジング４０の内周面４０ａに溶接することにより固定してもよい。固定端５２及びバンプフォイル３０を溶接により固定する手法を採用する場合、軸受ハウジング４０の切り欠き溝４１は省略してもよい。また、固定端５２を溶接により固定する手法を採用する場合、トップフォイル２０における第１折り目２７、第２折り目２８、第３折り目２９、及び、第１折り曲げ部２７ａ、第２折り曲げ部２８ａ、第３折り曲げ部２９ａは省略してもよい。
【0128】
○ 上記各実施形態において、バンプフォイル３０は、３つ採用されていたが、採用数を適宜変更してもよい。例えば、バンプフォイル３０は１つだけ採用されてもよい。この場合、固定端５２が複数存在するのであれば、全ての固定端５２の軸受ハウジング４０への固定を妨げないように形状を適宜変更する。
【符号の説明】
【0129】
１０…フォイル型気体軸受、２０…トップフォイル、３０…バンプフォイル、４０…軸受ハウジング、５１…自由端、５２…固定端、６０…回転軸、２１１…自由端を形成する縁としての第１縁、２１２…自由端を形成する縁としての第２縁、２１３…自由端を形成する縁としての第３縁、Ａ…軸方向、Ｂ…周方向、Ｃ１…周方向のうち一方向としての第１長縁方向、Ｄ１…軸方向のうち一方向としての第１短縁方向、Ｐ１…第１延設板部、Ｐ２…第２延設板部、Ｐ３…第３延設板部、Ｐ４…連続板部、Ｓ，Ｓ４，Ｓ５…隙間。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】