特開 2023-148895 部品圧着装置、及び、部品圧着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023148895

(43)【公開日】2023-10-13

(54)【発明の名称】部品圧着装置、及び、部品圧着方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/60 20060101AFI20231005BHJP

【ＦＩ】

H01L21/60 311T

H01L21/60 311S

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022057174

(22)【出願日】2022-03-30

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(74)【代理人】

【識別番号】100137235

【弁理士】

【氏名又は名称】寺谷 英作

(74)【代理人】

【識別番号】100131417

【弁理士】

【氏名又は名称】道坂 伸一

(72)【発明者】

【氏名】山田 真五

(72)【発明者】

【氏名】松尾 暢也

【テーマコード（参考）】

5F044

【Ｆターム（参考）】

5F044KK01

5F044LL09

5F044PP15

(57)【要約】

【課題】シリンダが正常に機能しているか否かを簡単な構成で判定できる部品圧着装置等を提供する。
【解決手段】部品圧着装置１００は、本体部２０６と、ピストンロッド２０８と、を有するシリンダ２０５と、ピストンロッド２０８の一端部に取り付けられる圧着ヘッド２０３と、ピストンロッドの他端部に設けられるストッパ２１１と、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を一端部側から支持する支持体２２０と、支持体２２０を移動させるモータ２１４と、シリンダ２０５及びモータ２１４を制御することにより、支持体２２０をピストンロッド２０８とともに移動させて、圧着ヘッド２０３に、バックアップ部２０１ａに支持された基板１５０に部品１６０を圧着させる制御部２３２と、モータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する判定部２３３と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を支持するバックアップ部と、
前記バックアップ部が設置される基台に立設される支柱と、
前記支柱に対して固定的に設けられる本体部と、前記支柱に沿って移動可能なピストンロッドと、を有するシリンダと、
前記ピストンロッドの一端部に取り付けられる圧着ヘッドと、
前記ピストンロッドの前記一端部とは反対側に位置する他端部に設けられるストッパと、
前記支柱に沿って移動可能に設けられ、前記ストッパを介して前記ピストンロッドを前記一端部側から支持する支持体と、
前記支持体を前記支柱に沿って移動させるモータと、
前記シリンダ及び前記モータを制御することにより、前記支持体を前記ピストンロッドとともに前記一端部側に移動させて、前記圧着ヘッドに、前記バックアップ部に支持された前記基板に部品を圧着させる制御部と、
前記モータに生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、前記シリンダが正常に機能しているか否かを判定する判定部と、を備える、
部品圧着装置。

【請求項2】

前記制御部は、
前記シリンダを制御することにより、前記ストッパを介して前記ピストンロッドを前記支持体に支持させて、前記ストッパを介して前記ピストンロッドから前記支持体に作用する前記一端部側に向かう第１押圧力を発生させるための第１制御を行ってから、
前記モータを制御することにより、前記支持体を前記ピストンロッドとともに前記一端部側に移動させて、前記圧着ヘッドに前記部品を前記基板に圧着させる第２制御を行う、
請求項１に記載の部品圧着装置。

【請求項3】

前記判定部は、前記第１制御を行っている間に前記モータに生じるトルクに関する前記トルク情報に基づいて、前記シリンダが正常に機能しているか否かを判定する、
請求項２に記載の部品圧着装置。

【請求項4】

前記判定部は、前記トルク情報に基づいて、前記制御部が前記圧着ヘッドに前記部品を前記基板に圧着させる前に、前記シリンダが正常に機能しているか否かを判定する、
請求項２又は３に記載の部品圧着装置。

【請求項5】

前記制御部は、前記第１制御では、前記シリンダを制御することにより、前記ストッパを介して前記ピストンロッドを前記支持体に支持させて、前記ストッパを介して前記ピストンロッドから前記支持体に作用する前記一端部側に向かう第２押圧力であって、前記第１押圧力よりも小さい第２押圧力を発生させてから、前記第１押圧力を発生させ、
前記判定部は、前記第２押圧力を発生させている間に前記モータに生じるトルクに関する前記トルク情報に基づいて、前記シリンダが正常に機能しているか否かを判定する、
請求項２から４のいずれか１項に記載の部品圧着装置。

【請求項6】

前記制御部は、前記判定部が、前記シリンダが正常に機能していないと判定した場合に、前記第２制御を行わない、
請求項２から５のいずれか１項に記載の部品圧着装置。

【請求項7】

前記判定部が、前記シリンダが正常に機能していないと判定した場合に、前記シリンダが正常に機能していない旨を示す不良情報を報知する報知部をさらに備える、
請求項１から６のいずれか１項に記載の部品圧着装置。

【請求項8】

前記判定部は、
前記トルク情報に基づいて、前記モータに生じるトルクが所定のトルク以上であるか否かを判定し、
前記モータに生じるトルクが前記所定のトルク以上であると判定した場合、前記シリンダが正常に機能していると判定し、
前記モータに生じるトルクが前記所定のトルク未満であると判定した場合、前記シリンダが正常に機能していないと判定する、
請求項１から７のいずれか１項に記載の部品圧着装置。

【請求項9】

基板を支持するバックアップ部と、
前記バックアップ部が設置される基台に立設される支柱と、
前記支柱に対して固定的に設けられる本体部と、前記支柱に沿って移動可能なピストンロッドと、を有するシリンダと、
前記ピストンロッドの一端部に取り付けられる圧着ヘッドと、
前記ピストンロッドの前記一端部とは反対側に位置する他端部に設けられるストッパと、
前記支柱に沿って移動可能に設けられ、前記ストッパを介して前記ピストンロッドを前記一端部側から支持する支持体と、
前記支持体を前記支柱に沿って移動させるモータと、を備える部品圧着装置が実行する部品圧着方法であって、
前記シリンダ及び前記モータを制御することにより、前記支持体を前記ピストンロッドとともに前記一端部側に移動させて、前記圧着ヘッドに、前記バックアップ部に支持された前記基板に部品を圧着させる制御ステップと、
前記モータに生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、前記シリンダが正常に機能しているか否かを判定する判定ステップと、を含む、
部品圧着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、部品圧着装置、及び、部品圧着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、シリンダを用いて部品を基板に圧着する部品圧着装置がある（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１に開示されている部品圧着装置の一例である加圧装置は、シリンダを用いて、当該シリンダが有するピストンロッドの端部に設けられた圧着ヘッドに加圧力（押圧力ともいう）を発生させて、部品を基板に実装する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第５００９７３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

シリンダが所定の押圧力を圧着ヘッドに発生させているか否かを検知するために、例えば、圧力センサが必要になる。しかしながら、例えば部品圧着装置が複数の圧着ヘッドを備えるような場合には、圧着ヘッドの数に応じた圧力センサが必要となる。そこで、シリンダが所定の押圧力を発生させているか否か、つまり、シリンダが正常に機能しているか否かを簡単な構成で判定できることが望まれている。

【0006】

本発明は、シリンダが正常に機能しているか否かを簡単な構成で判定できる部品圧着装置等を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様に係る部品圧着装置は、基板を支持するバックアップ部と、前記バックアップ部が設置される基台に立設される支柱と、前記支柱に対して固定的に設けられる本体部と、前記支柱に沿って移動可能なピストンロッドと、を有するシリンダと、前記ピストンロッドの一端部に取り付けられる圧着ヘッドと、前記ピストンロッドの前記一端部とは反対側に位置する他端部に設けられるストッパと、前記支柱に沿って移動可能に設けられ、前記ストッパを介して前記ピストンロッドを前記一端部側から支持する支持体と、前記支持体を前記支柱に沿って移動させるモータと、前記シリンダ及び前記モータを制御することにより、前記支持体を前記ピストンロッドとともに前記一端部側に移動させて、前記圧着ヘッドに、前記バックアップ部に支持された前記基板に部品を圧着させる制御部と、前記モータに生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、前記シリンダが正常に機能しているか否かを判定する判定部と、を備える。

【0008】

また、本発明の一態様に係る部品圧着方法は、基板を支持するバックアップ部と、前記バックアップ部が設置される基台に立設される支柱と、前記支柱に対して固定的に設けられる本体部と、前記支柱に沿って移動可能なピストンロッドと、を有するシリンダと、前記ピストンロッドの一端部に取り付けられる圧着ヘッドと、前記ピストンロッドの前記一端部とは反対側に位置する他端部に設けられるストッパと、前記支柱に沿って移動可能に設けられ、前記ストッパを介して前記ピストンロッドを前記一端部側から支持する支持体と、前記支持体を前記支柱に沿って移動させるモータと、を備える部品圧着装置が実行する部品圧着方法であって、前記シリンダ及び前記モータを制御することにより、前記支持体を前記ピストンロッドとともに前記一端部側に移動させて、前記圧着ヘッドに、前記バックアップ部に支持された前記基板に部品を圧着させる制御ステップと、前記モータに生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、前記シリンダが正常に機能しているか否かを判定する判定ステップと、を含む。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、シリンダが正常に機能しているか否かを簡単な構成で判定できる部品圧着装置等を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施の形態に係る部品圧着装置の構成を示す概略図である。

【図2】図２は、実施の形態に係る部品圧着装置が備えるピストンロッド及び支持体の動作を説明するための図である。

【図3】図３は、トルクの時間変化の一例を説明するための図である。

【図4】図４は、実施の形態に係る部品圧着装置の処理手順を示すフローチャートである。

【図5】図５は、トルクの時間変化の変形例を説明するための図である。

【図6】図６は、実施の形態に係る部品圧着装置の処理手順の変形例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

（本発明に至った経緯）
上記した通り、従来、シリンダを用いて部品を基板に圧着する部品圧着装置がある。この種の部品圧着装置は、例えば、圧着ヘッドの押圧力を発生させるエアシリンダ等のシリンダと、当該圧着ヘッドを昇降させることで当該圧着ヘッドの高さを制御するサーボモータ等のモータを備える。

【0012】

このように、圧着ヘッドを加圧するためのシリンダと圧着ヘッドの高さを制御するためのサーボモータとを備える部品圧着装置において、例えば、シリンダに圧縮空気を供給するための電磁バルブが故障して、所定のエア圧がシリンダに供給されなかった場合、部品に対して必要な加圧力が得られず実装不良を発生させてしまう場合がある。

【0013】

このような実装不良を防止するために、シリンダの出限の位置及び戻限の位置を検出するリミットスイッチを設けて、シリンダが備えるピストンロッドが正常に動作しているか否かを確認する方法がある。

【0014】

しかしながら、ピストンロッドが動作していても、所定の押圧力が得られている保証はなく、エアシリンダにより発生させた押圧力が所望の範囲からはずれたことを検知することは困難である。例えば、ピストンロッドの動作不良を防止するためには、シリンダに供給されるエアの圧力（単にエア圧ともいう）を監視するための圧力センサを用いることが考えられる。しかしながら、例えば、部品圧着装置が複数の圧着ヘッドを備える場合には、圧着ヘッドの数だけ圧力センサを設ける必要があるため、圧着ヘッドが多いほど、部品圧着装置のコストが高くなる。

【0015】

そこで、本願発明者らは、シリンダが正常に機能しているか否かを簡単な構成で判定できる装置等を見出した。具体的には、本発明の一態様に係る部品圧着装置等は、圧力センサを設けることなく、シリンダの押圧力の不足を検出することで、実装不良が発生することを抑制できる。また、本発明によれば、圧力センサを設ける必要がないため、本発明に係る部品圧着装置のコストを抑制できる。

【0016】

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

【0017】

また、図面は、本発明を示すために適宜強調や省略、比率の調整を行った模式的な図となっており、実際の形状や位置関係、比率とは異なる場合がある。

【0018】

また、本明細書及び図面において、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、三次元直交座標系の三軸を示している。以下の実施の形態では、Ｚ軸方向を上下方向（鉛直方向）とし、Ｚ軸の正方向を上方としている。

【0019】

また、本明細書において、「上方」及び「下方」という用語は、絶対的な空間認識における上方向（鉛直上方）及び下方向（鉛直下方）を指すものではなく、相対的な位置関係により規定される用語として用いる。また、「上方」及び「下方」という用語は、２つの構成要素が互いに間隔を空けて配置されて２つの構成要素の間に別の構成要素が存在する場合のみならず、２つの構成要素が互いに密着して配置されて２つの構成要素が接する場合にも適用される。

【0020】

（実施の形態）
［構成］
まず、部品圧着装置２００の構成について説明する。

【0021】

図１は、実施の形態に係る部品圧着装置２００の構成を示す概略図である。

【0022】

部品圧着装置２００は、部品１６０を基板１５０に圧着（つまり、実装）する装置である。部品圧着装置２００を備える生産システムは、液晶ディスプレイなどの表示パネルを生産するシステムである。

【0023】

基板１５０としては、ガラス基板等が用いられたディスプレイパネル等が例示される。

【0024】

部品１６０としては、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）等のフレキシブル部品やＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）チップが例示される。

【0025】

生産システムは、例えば、ＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）貼付装置、仮圧着（部品配置）装置、部品圧着装置２００、及び、搬送装置から構成される。

【0026】

ＡＣＦ貼付装置は、電極の端子を有するガラス板などの基板１５０の周縁部に設けられた電極端子部にＡＣＦテープを貼り付ける装置である。

【0027】

ここで、「ＡＣＦテープ」とは、テープ状の異方性導電フィルムのことであり、熱硬化性を有する樹脂に導電性を有する微細な金属粒子を混ぜ合わせた素材からなる。種類、大きさなどＡＣＦテープの性質に応じた条件で押圧することにより、上下に配置された各端子間の導通性を保持して接合し、硬化する。

【0028】

仮圧着装置は、部品１６０を基板１５０周縁部上のＡＣＦテープが貼り付けられた電極の端子に取り付ける装置である。

【0029】

搬送装置は、ＡＣＦ貼付装置、仮圧着装置、及び、部品圧着装置２００の間で、基板１５０を搬送する装置である。

【0030】

部品圧着装置２００は、いわゆる本圧着装置であって、基板１５０の周縁部に貼付されたＡＣＦテープを介して、部品１６０と、部品１６０が取り付けられる基板１５０とを所定の圧着条件で押圧することで、基板１５０と部品１６０とを圧着する装置である。これにより、ＡＣＦテープは、硬化するとともに、基板１５０が有する電極の端子と部品１６０の電極の端子とを導通させる。

【0031】

ここで、圧着条件とは、部品１６０を押圧する条件のことをいう。圧着条件とは、例えば、部品１６０を基板１５０に押圧する時間、当該押圧する際の温度、及び、当該押圧する際の圧力等が含まれる。

【0032】

部品圧着装置２００は、具体的には、支持ステージ１３１により支持される基板１５０と部品１６０とを圧着する装置である。本実施の形態では、部品圧着装置２００は、基板１５０の端部下方がバックアップ部２０１ａに支持され、且つ、当該端部上方に部品１５０が載置された基板１５０を、圧着ヘッド２０３により上方から押圧することで、基板１５０に部品１６０を圧着する。部品圧着装置２００は、基台２０１と、バックアップ部２０１ａと、支柱２０２と、圧着ヘッド２０３と、シリンダ２０５と、ストッパ２１１と、圧力制御部２１３と、モータ２１４と、支持体２２０と、制御装置２３０と、報知部２４０と、を備える。

【0033】

基台２０１は、シリンダ２０５（より具体的には、本体部２０６）及びモータ２１４等を支持するための台である。基台２０１には、バックアップ部２０１ａ及び支柱２０２が設置される。

【0034】

バックアップ部２０１ａは、基板１５０を支持する下受け部である。具体的には、バックアップ部２０１ａは、部品１６０が接合される基板１５０の周縁部を下方より支持し、基板１５０に部品１６０が押圧される際にこれらを下支えするバックアップステージである。

【0035】

支柱２０２は、基台２０１に立設される柱状の部材である。支柱２０２は、ボールネジ２１８と、移動ガイド２０４と、を備える。

【0036】

ボールネジ２１８は、支持体２２０と螺合し、支持体２２０をボールねじ２１８の延在方向に移動可能に支持するネジ溝が設けられた柱状部材である。

【0037】

移動ガイド２０４は、圧着ヘッド２０３の部品１６０に対する移動を支柱２０２に沿った方向に規制するガイドである。

【0038】

シリンダ２０５は、支柱２０２に設けられ、基板１５０と部品１６０とを押圧するための押圧力を発生させる部品である。本実施の形態では、シリンダ２０５は、ポンプ等のエアを供給するための供給部等を有する圧力制御部２１３から供給されるエアによって押圧力を発生させるエアシリンダである。シリンダ２０５は、本体部２０６と、ピストン２０７と、ピストンロッド２０８と、を備える。

【0039】

本体部２０６は、支柱２０２に対して固定的に設けられるシリンダチューブである。具体的には、本体部２０６は、支柱２０２に対して相対的な位置関係が変化しないように、支柱２０２に固定して配置されている。本体部２０６は、圧力の伝達媒体となる流体である気体（例えば、エア）が流入及び流出する内部が中空の円筒である。

【0040】

なお、圧力の伝達媒体となる流体は、気体のような圧縮流体及び液体のような非圧縮流体のいずれであってもよい。また、本実施の形態では、シリンダ２０５には、エア（空気）が供給されるが、その他のガスが供給されてもよい。

【0041】

ピストン２０７は、本体部２０６の内部にて往復動する円盤状の部位である。ピストン２０７には、基板１５０と部品１６０とを押圧するための圧力がエアによりかけられる。ピストン２０７には、気密性の向上、円滑な移動等のために本体部２０６と接する外周面にリング部材２０７ａが取り付けられている。

【0042】

ピストンロッド２０８は、ピストン２０７に接続され、ピストン２０７の往復動と連動して往復動する柱状部材である。ピストンロッド２０８は、支柱２０２に沿って移動可能に設けられる。具体的には、ピストンロッド２０８は、支柱２０２の延在方向と平行な方向に延在する柱状部材であり、支柱２０２の延在方向と平行な方向に移動（昇降移動）可能に配置されている。また、ピストンロッド２０８は、ピストン２０７の摺動方向におけるピストン２０７の両側に延出されている。

【0043】

圧着ヘッド２０３は、ピストンロッド２０８の一端部（本実施の形態では、下端側）に取り付けられ、バックアップ部２０１ａに支持された基板１５０を押圧することで、基板１５０に部品１６０を圧着するためのヘッドである。具体的には、圧着ヘッド２０３は、ピストンロッド２０８の延在方向に位置する両端部のうち、基板１５０及び部品１６０が配置される側である一端部（先端部）に取り付けられる、バックアップ部２０１ａに支持された基板１５０に部品１６０を押圧することで、部品１６０を基板１５０に圧着する。圧着ヘッド２０３は、支柱２０２の延在方向に沿って、ピストンロッド２０８の移動に連動して移動する。圧着ヘッド２０３には、ＡＣＦテープを介して基板１５０に部品１６０を加熱接合するためのヒータも備えられている。

【0044】

ストッパ２１１は、ピストンロッド２０８の一端部とは反対側に位置する他端部（本実施の形態では、上端部）に設けられる部材である。ストッパ２１１は、ピストンロッド２０８に固定されている。

【0045】

支持体２２０は、支柱２０２に沿って移動可能に設けられ、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８をピストンロッド２０８の一端部側から支持する部材である。言い換えると、支持体２２０は、ストッパ２１１の下端を支持することで、ピストンロッド２０８の上端部を、下端部側から支持するための部材である。具体的には、支持体２２０は、支柱２０２に沿って移動可能に設けられ、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を一端部側から支持する。より具体的には、支持体２２０は、ストッパ２１１をシリンダ２０５による加圧方向（本実施の形態では、Ｚ軸負方向）とは反対側から下支えし、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を支持する。支持体２２０は、ボールネジ２１８と螺合しており、ボールネジ２１８の回転に連動して支柱２０２の延在方向と平行な方向に移動する。この移動により、支持体２２０が支持するピストンロッド２０８及びピストンロッド２０８に設けられる圧着ヘッド２０３等を支柱２０２に沿って移動させる。

【0046】

圧力制御部２１３は、基板１５０と部品１６０とに目標となる押圧力（以下、目標押圧力ともいう）をかけるために必要な押圧力をシリンダ２０５が発生させるように、シリンダ２０５による押圧力を制御するための装置である。圧力制御部２１３は、例えば、エアをシリンダ２０５に供給するポンプ（エア源）、エアの供給量を制御する電磁バルブ等のレギュレータ、及び、ソレノイドバルブ等により実現される。

【0047】

モータ２１４は、支持体２２０を支柱２０２に沿って移動させるモータである。具体的には、モータ２１４は、ボールネジ２１８を回転させ、ボールネジ２１８と螺合する支持体２２０を支柱２０２に沿って移動させる駆動源である。つまり、モータ２１４は、支持体２２０をピストンロッド２０８の延在方向と平行な方向に移動させる。本実施の形態では、モータ２１４は、エンコーダとドライバを備えるサーボモータ（より具体的には、ＡＣサーボモータ）である。

【0048】

エンコーダは、モータ２１４が備える駆動軸の位置を検出するための検出器である。エンコーダは、検出した駆動軸の位置を示す位置情報をドライバを介して制御装置２３０に出力する。位置情報は、例えば、回転量（回転角度）、回転速度等の情報である。ドライバは、制御装置２３０の指令に応じてモータ２１４を駆動するための駆動回路である。ドライバはモータ２１４のトルクに関する情報を制御装置２３０に出力する。例えば、制御装置２３０は、モータ２１４が備えるエンコーダやドライバ等によって検知されたモータ２１４のトルク等の情報に基づいてモータ２１４の回転動作を制御する。

【0049】

制御装置２３０は、モータ２１４の駆動を制御するための指令をドライバに行ったり、圧力制御部２１３を制御することでシリンダ２０５の押圧力を制御させたりする制御装置である。

【0050】

制御装置２３０は、例えば、モータ２１４からのトルク等の情報に基づいてモータ２１４の回転量を制御することによって、支持体２２０の移動の開始、移動の速度及び移動後の配置を制御する。また、制御装置２３０は、例えば、基板１５０と部品１６０との厚さの合計を示す情報、及び、基板１５０と部品１６０とにかける押圧力を示す情報等を記憶部２３５等から取得し、取得した情報に基づいて、支持体２２０が配置されるべき位置を決定する。

【0051】

制御装置２３０は、例えば、圧力制御部２１３及びモータ２１４を制御するための制御線が接続されるインターフェース、プログラムが格納された不揮発性メモリ、プログラムを実行するための一時的な記憶領域である揮発性メモリ、信号の送受信をするための入出力ポート、及び、プログラムを実行するプロセッサ等により実現される。

【0052】

制御装置２３０は、取得部２３１と、制御部２３２と、判定部２３３と、出力部２３４と、記憶部２３５と、を備える。

【0053】

取得部２３１は、制御部２３２及び判定部２３３が実行する処理に用いられる各種情報を取得する処理部である。取得部２３１は、例えば、モータ２１４から、モータ２１４のトルクに関するトルク情報を取得する。

【0054】

トルク情報は、例えば、モータ２１４のドライバから出力される、モータ２１４に生じるトルクに応じた電流値である。

【0055】

制御部２３２は、シリンダ２０５（より具体的には、圧力制御部２１３）とモータ２１４とを制御する処理部である。具体的には、制御部２３２は、シリンダ２０５及びモータ２１４を制御することにより、支持体２２０をピストンロッド２０８とともにピストンロッド２０８の一端部側に移動させて、圧着ヘッド２０３に、バックアップ部２０１ａに支持された基板１５０に部品１６０を圧着させる。より具体的には、制御部２３２は、シリンダ２０５を制御することにより、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を支持体２２０に支持させて、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８から支持体２２０に作用するピストンロッド２０８の一端部側に向かう第１押圧力を発生させるための第１制御を行ってから、モータ２１４を制御することにより、支持体２２０をピストンロッド２０８とともにピストンロッド２０８の一端部側に移動させて、圧着ヘッド２０３に部品１６０を基板１５０に圧着させる第２制御を行う。

【0056】

図２は、実施の形態に係る部品圧着装置２００が備えるピストンロッド２０８及び支持体２２０の動作を説明するための図である。

【0057】

図２の（ａ）に示すように、例えば、部品圧着装置２００が部品１６０を基板１５０に圧着する前には、ピストンロッド２０８の他端部に位置するストッパ２１１と支持体２２０とが接触していない状態でピストンロッド２０８が位置する。つまり、この状態では、ピストンロッド２０８が支持体２２０に支持されていない。

【0058】

次に、図２の（ｂ）に示すように、制御部２３２は、部品圧着装置２００が部品１６０を基板１５０に圧着させる際に、シリンダ２０５を制御することでピストンロッド２０８を下方に移動させて、ピストンロッド２０８の他端部に位置するストッパ２１１と支持体２２０とを接触させる第１制御を行う。これにより、ピストンロッド２０８が支持体２２０に支持された状態となる。このときにピストンロッド２０８から支持体２２０に作用する、ピストンロッド２０８の一端部側に向かう押圧力が第１押圧力である。また、モータ２１４には、当該押圧力によって下方に移動されそうになる支持体２２０の位置を維持するためにトルクが生じる。

【0059】

次に、図２の（ｃ）に示すように、制御部２３２は、シリンダ２０５を制御することでピストンロッド２０８を下方に移動させ、且つ、支持体２２０を下方に移動させることで、部品１６０を基板１５０に圧着させる第２制御を行う。つまり、ピストンロッド２０８の一端部側に向かう第１押圧力が発生された状態で、部品１６０が基板１５０に押圧される。これにより、第１押圧力に応じた、シリンダ２０５（より具体的には、ピストンロッド２０８）による押圧力を、基板１５０及び部品１６０に印加しつつ、基板１５０に部品１６０を圧着できる。

【0060】

判定部２３３は、モータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。具体的には、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、シリンダ２０５に所定のエア圧が加わっているか否か（つまり、本体部２０６に所定のエア圧が供給されているか否か）を判定する。つまり、判定部２３３は、圧着ヘッド２０３が基板１５０を（より具体的には、部品１６０を介して基板１５０を）押圧する押圧力の良否を判定する。判定部２３３は、例えば、支持体２２０がピストンロッド２０８を支持している間にモータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。

【0061】

また、例えば、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク以上であるか否かを判定する。例えば、判定部２３３は、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク以上であると判定した場合、シリンダ２０５が正常に機能していると判定する。一方、例えば、判定部２３３は、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク未満であると判定した場合、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定する。

【0062】

所定のトルクは、予め任意に定められてよく、特に限定されない。所定のトルクを示す閾値情報は、例えば、予め記憶部２３５に記憶される。

【0063】

例えば、判定部２３３は、制御部２３２が第１制御を行っている間にモータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。具体的には、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、制御部２３２が圧着ヘッド２０３に部品１６０を基板１５０に圧着させる前に、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。

【0064】

なお、制御部２３２が第１制御を行う時間、つまり、第１押圧力を発生させる時間は、任意に定められてよい。この時間を示す時間情報は、例えば、記憶部２３５に予め記憶される。

【0065】

或いは、制御部２３２は、判定部２３３によるシリンダ２０５の良否判定の判定結果がでるまで、第１押圧力が発生するようにシリンダ２０５（より具体的には、圧力制御部２１３）を制御してもよい。

【0066】

また、例えば、制御部２３２は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合には、第２制御、つまり、部品１６０を基板１５０に圧着させる制御を行わない。

【0067】

なお、制御部２３２は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合には、モータ２１４及びシリンダ２０５をそのままの状態（例えば、図２の（ｂ）に示す状態）で停止させてもよいし、モータ２１４及びシリンダ２０５を初期位置（例えば、図２の（ａ）に示す状態）に戻して停止させてもよい。

【0068】

図３は、トルクの時間変化の一例を説明するための図である。具体的には、図３の（ａ）は、ピストンロッド２０８に加わる下方への駆動力の時間変化を模式的に示すグラフである。また、図３の（ｂ）は、圧着ヘッド２０３の高さの時間変化を模式的に示すグラフである。また、図３の（ｃ）は、ピストンロッド２０８が支持体２２０を押し下げる力（押圧力）の時間変化を模式的に示すグラフである。また、図３の（ｄ）は、支持体２２０の高さの時間変化を模式的に示すグラフである。また、図３の（ｅ）は、圧着ヘッド２０３が部品１６０を基板１５０に押圧する押圧力の時間変化を模式的に示すグラフである。また、図３の（ｆ）は、モータ２１４に生じるトルク（モータ２１４が所定の位置を維持するために用いる電流量）の時間変化を模式的に示すグラフである。

【0069】

図３に示すように、シリンダ２０５の加圧側ポートへのエアの供給が開始される、言い換えると、第１制御によってピストンロッド２０８を下方に移動させるように本体部２０６へのエアの供給（エア圧の供給ともいう）が開始されると、支持体２２０の高さが変化されずに圧着ヘッド２０３の高さが下がる。つまり、ピストンロッド２０８が下方に移動する。次に、ストッパ２１１と支持体２２０とが接触し、支持体２２０に作用する第１押圧力が発生される。次に、第２制御によって、第１押圧力が発生された状態で、支持体２２０を下方に移動させ、部品１６０を基板１５０に圧着させる。判定部２３３は、例えば、シリンダ２０５の加圧側ポートへのエアの供給が開始されてから支持体２２０を下降させるまでにモータ２１４に生じたトルクに基づいて、シリンダ２０５が正常に動作しているか否かを判定する。

【0070】

なお、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、モータ２１４に生じるトルクが所定の範囲内であるか否かを判定してもよい。例えば、判定部２３３は、モータ２１４に生じるトルクが所定の範囲内であると判定した場合、シリンダ２０５が正常に機能していると判定する。一方、例えば、判定部２３３は、モータ２１４に生じるトルクが所定の範囲外であると判定した場合、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定する。このように、判定部２３３は、モータ２１４に生じるトルクが大きすぎる場合（例えば、所定のトルク以上である場合）に、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定してもよい。

【0071】

出力部２３４は、判定部２３３による判定結果（判定結果情報）を報知部２４０に出力する処理部である。

【0072】

なお、出力部２３４は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合に、シリンダ２０５が正常に機能していない旨を示す不良情報を判定結果として出力してもよい。この場合、例えば、出力部２３４は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合には、判定結果を出力しなくてもよい。

【0073】

記憶部２３５は、基板１５０のサイズ、基板１５０に実装する部品１６０の種類、実装位置、実装方向、各装置の動作、当該動作のタイミング、基板１５０を搬送するタイミング等の部品圧着処理に必要な各種データ、処理部が実行する制御プログラム等を記憶する記憶装置である。

【0074】

記憶部２３５は、例えば、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等のメモリにより実現される。

【0075】

報知部２４０は、判定部２３３による判定結果をユーザに報知する装置である。

【0076】

報知部２４０は、例えば、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合に、シリンダ２０５が正常に機能していない旨を示す不良情報を判定結果として報知する。

【0077】

なお、例えば、報知部２４０は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合には、判定結果を報知しなくてもよい。

【0078】

報知部２４０は、判定部２３３による判定結果をユーザに報知することができる装置であればよく、例えば、判定結果を示す画像を表示するディスプレイ等の表示装置でもよいし、判定結果を示す音を出力する音響装置でもよい。

【0079】

［処理手順］
続いて、部品圧着装置２００の処理手順について説明する。

【0080】

図４は、実施の形態に係る部品圧着装置２００の処理手順を示すフローチャートである。

【0081】

まず、制御部２３２は、シリンダ２０５を制御することにより、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を支持体２２０に支持させる（Ｓ１１０）。具体的には、制御部２３２は、ピストンロッド２０８が下方に移動するように、圧力制御部２１３に、本体部２０６に所定のエア圧を供給させて、ストッパ２１１の下端側を支持体２２０に支持させることで、ストッパ２１１に固定されているピストンロッド２０８を下方側から支持体２２０に支持させる。

【0082】

これにより、制御部２３２は、ピストンロッド２０８から支持体２２０に作用する、ピストンロッド２０８の一端部側に向かう第１押圧力を発生させる（Ｓ１２０）。

【0083】

次に、取得部２３１は、モータ２１４のドライバから、モータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報を取得する（Ｓ１３０）。

【0084】

次に、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。具体的には、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク以上であるか否かを判定する（Ｓ１４０）。

【0085】

制御部２３２は、判定部２３３が、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク以上であると判定した場合（Ｓ１４０でＹｅｓ）、つまり、シリンダ２０５が正常に機能していると判定した場合、モータ２１４を制御することにより、支持体２２０をピストンロッド２０８とともにピストンロッド２０８の一端部側に移動させて、圧着ヘッド２０３に部品１６０を基板１５０に圧着させる（Ｓ１５０）。

【0086】

これにより、制御部２３２は、第１押圧力を発生させた状態で、圧着ヘッド２０３に部品１６０を基板１５０に圧着させることができる。

【0087】

一方、制御部２３２は、判定部２３３が、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク未満であると判定した場合（Ｓ１４０でＮｏ）、つまり、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合、部品１６０を基板１５０に圧着させる処理を中止する（Ｓ１６０）。具体的には、制御部２３２は、第２制御を実行しない。

【0088】

次に、制御部２３２は、シリンダ２０５が正常に機能していない旨を示す不良情報を報知部２４０に報知させる（Ｓ１７０）。

【0089】

以上のように、制御部２３２は、判定部２３３の判定結果に基づいて、各種処理を実行する。例えば、制御部２３２は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していると判定した場合には、第２制御を実行する、つまり、基板１５０に部品１６０を圧着させる制御を実行する。一方、例えば、制御部２３２は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合には、第２制御を実行しない、つまり、基板１５０に部品１６０を圧着させる制御を実行しない。また、例えば、制御部２３２は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合には、報知部２４０を制御することで、シリンダ２０５が正常に機能していない旨を示す不良情報をユーザに報知する。

【0090】

［変形例］
変形例では、制御部２３２は、第１制御では、シリンダ２０５を制御することにより、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を支持体２２０に支持させて、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８から支持体２２０に作用するピストンロッド２０８の一端部側に向かう第２押圧力であって、第１押圧力よりも小さい第２押圧力を発生させてから、第１押圧力を発生させる。つまり、制御部２３２は、部品１６０を基板１５０に圧着させる際の押圧力である第１押圧力をシリンダ２０５に発生させる前に、当該第１押圧力よりも低い押圧力である第２押圧力をシリンダ２０５に発生させるように、シリンダ２０５に供給するエア圧を制御する。

【0091】

また、判定部２３３は、制御部２３２が第２押圧力を発生させている間にモータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。

【0092】

図５は、トルクの時間変化の変形例を説明するための図である。具体的には、図５の（ａ）は、ピストンロッド２０８に加わる下方への駆動力の時間変化の変形例を模式的に示すグラフである。また、図５の（ｂ）は、ピストンロッド２０８が支持体２２０を押し下げる力（押圧力）の時間変化の変形例を模式的に示すグラフである。また、図５の（ｃ）は、モータ２１４に生じるトルクの時間変化の変形例を模式的に示すグラフである。

【0093】

図５に示すように、シリンダ２０５の加圧側ポートへのエアの供給が開始される、言い換えると、第１制御によってピストンロッド２０８を下方に移動させるように本体部２０６へのエアの供給が開始され、ストッパ２１１と支持体２２０とが接触し、支持体２２０に作用する押圧力が発生される。

【0094】

本変形例では、まず、本体部２０６には、本体部２０６に第２エア圧が供給される。これにより、支持体２２０に作用する第２押圧力が発生される。

【0095】

次に、所定の時間が経過後に、本体部２０６には、本体部２０６に、第２エア圧より高い第１エア圧が供給される。これにより、支持体２２０に作用する、第２押圧力より高い第１押圧力が発生される。

【0096】

次に、第２制御によって、第１押圧力が発生された状態で、支持体２２０を下方に移動させ、部品１６０を基板１５０に圧着させる。判定部２３３は、例えば、支持体２２０に作用する第２押圧力が発生された状態においてモータ２１４に生じたトルクに基づいて、シリンダ２０５が正常に動作しているか否かを判定する。

【0097】

なお、第２押圧力を発生させる所定の時間は、任意に定められてよい。所定の時間を示す時間情報は、例えば、記憶部２３５に予め記憶される。

【0098】

或いは、制御部２３２は、判定部２３３によるシリンダ２０５の良否判定の判定結果がでるまで、第２押圧力が発生するようにシリンダ２０５（より具体的には、圧力制御部２１３）を制御してもよい。

【0099】

続いて、部品圧着装置２００の処理手順の変形例について説明する。

【0100】

図６は、実施の形態に係る部品圧着装置２００の処理手順の変形例を示すフローチャートである。

【0101】

まず、制御部２３２は、シリンダ２０５を制御することにより、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を支持体２２０に支持させる（Ｓ１１０）。

【0102】

これにより、制御部２３２は、ピストンロッド２０８から支持体２２０に作用する、ピストンロッド２０８の一端部側に向かう第２押圧力を発生させる（Ｓ２１０）。

【0103】

次に、取得部２３１は、モータ２１４のドライバから、モータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報を取得する（Ｓ１３０）。

【0104】

次に、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。具体的には、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク以上であるか否かを判定する（Ｓ１４０）。

【0105】

制御部２３２は、判定部２３３が、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク以上であると判定した場合（Ｓ１４０でＹｅｓ）、つまり、シリンダ２０５が正常に機能していると判定した場合、シリンダ２０５を制御することにより、ピストンロッド２０８から支持体２２０に作用する、ピストンロッド２０８の一端部側に向かう第１押圧力を発生させる（Ｓ２２０）。具体的には、制御部２３２は、圧力制御部２１３に、本体部２０６に第１エア圧を供給させることで、第１押圧力を発生させる。

【0106】

次に、制御部２３２は、モータ２１４を制御することにより、支持体２２０をピストンロッド２０８とともにピストンロッド２０８の一端部側に移動させて、圧着ヘッド２０３に部品１６０を基板１５０に圧着させる（Ｓ１５０）。

【0107】

一方、制御部２３２は、判定部２３３が、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク未満であると判定した場合（Ｓ１４０でＮｏ）、つまり、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合、部品１６０を基板１５０に圧着させる処理を中止する（Ｓ１６０）。具体的には、制御部２３２は、第１押圧力を発生させる制御はせず、且つ、第２制御を実行しない。

【0108】

次に、制御部２３２は、シリンダ２０５が正常に機能していない旨を示す不良情報を報知部２４０に報知させる（Ｓ１７０）。

【0109】

以上のように、制御部２３２は、判定部２３３の判定結果に基づいて、各種処理を実行する。例えば、制御部２３２は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していると判定した場合には、第１押圧力を発生させた後に、第２制御を実行する、つまり、基板１５０に部品１６０を圧着させる制御を実行する。一方、例えば、制御部２３２は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合には、第１押圧力を発生させず、且つ、第２制御を実行しない、つまり、基板１５０に部品１６０を圧着させる制御を実行しない。

【0110】

［効果等］
以上説明したように、実施の形態に係る部品圧着装置２００は、基板１５０を支持するバックアップ部２０１ａと、バックアップ部２０１ａが設置される基台２０１に立設される支柱２０２と、支柱２０２に対して固定的に設けられる本体部２０６と、支柱２０２に沿って移動可能なピストンロッド２０８と、を有するシリンダ２０５と、ピストンロッド２０８の一端部に取り付けられる圧着ヘッド２０３と、ピストンロッド２０８の一端部とは反対側に位置する他端部に設けられるストッパ２１１と、支柱２０２に沿って移動可能に設けられ、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を一端部側から支持する支持体２２０と、支持体２２０を支柱２０２に沿って移動させるモータ２１４と、シリンダ２０５及びモータ２１４を制御することで、支持体２２０をピストンロッド２０８とともに一端部側に移動させて、圧着ヘッド２０３に、バックアップ部２０１ａに支持された基板１５０に部品１６０を圧着させる制御部２３２と、モータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する判定部２３３と、を備える。

【0111】

これによれば、シリンダ２０５のエア圧を測定する圧力センサ等を設けることなく、通常備えられるモータ２１４から得られるトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かが判定される。そのため、部品圧着装置２００によれば、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを簡単な構成で判定できる。

【0112】

また、例えば、制御部２３２は、シリンダ２０５を制御することにより、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を支持体２２０に支持させて、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８から支持体２２０に作用する一端部側に向かう第１押圧力を発生させるための第１制御を行ってから、モータ２１４を制御することにより、支持体２２０をピストンロッド２０８とともに一端部側に移動させて、圧着ヘッド２０３に部品１６０を基板１５０に圧着させる第２制御を行う。

【0113】

また、例えば、判定部２３３は、第１制御を行っている間にモータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。

【0114】

これによれば、支持体２２０を移動させていないため、第１押圧力が安定する。そのため、安定したトルク情報が取得され得る。

【0115】

また、例えば、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、制御部２３２が圧着ヘッド２０３に部品１６０を基板１５０に圧着させる前に、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。

【0116】

これによれば、例えば、シリンダ２０５が正常に機能していない場合に圧着を停止させる等することで実装不良の発生が抑制され得る。

【0117】

また、例えば、制御部２３２は、第１制御では、シリンダ２０５を制御することにより、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を支持体２２０に支持させて、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８から支持体２２０に作用する一端部側に向かう第２押圧力であって、第１押圧力よりも小さい第２押圧力を発生させてから、第１押圧力を発生させ、判定部２３３は、第２押圧力を発生させている間にモータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する。

【0118】

例えば圧着される部品１６０の種類が互いに異なる基板Ａと基板Ｂと基板Ｃとでは、部品１６０を基板１５０に圧着するときに必要となる押圧力が異なる。そのため、押圧力を適切な値にするために、基板１５０の種類に応じて本体部２０６に供給されるエア圧が設定される。図５に示す例では、基板Ｂに部品を実装する際に必要な第１押圧力が、基板Ａに部品を実装する際に必要な第１押圧力よりも大きいため、図５の（ａ）に一点鎖線で示すように、基板Ｂに部品を実装する際には、基板Ａに部品を実装する際に本体部２０６に供給される第１エア圧よりも高いエア圧が本体部２０６に供給される。また、基板Ｃに部品を実装する際に必要な第１押圧力が、基板Ａに部品を実装する際に必要な第１押圧力よりも小さいため、図５の（ａ）に二点鎖線で示すように、基板Ｃに部品を実装する際には、基板Ａに部品を実装する際に本体部２０６に供給される第１エア圧よりも低いエア圧が本体部２０６に供給される。そのため、第１押圧力を発生させた際にモータ２１４に生じるトルクは、図５の（ｃ）に示すように、基板Ａに部品１６０を実装する際と、基板Ｂに部品１６０を実装する際と、基板Ｃに部品１６０を実装する際とで異なる。そうすると、第１押圧力を発生させた際のトルクに基づいて、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定するためには、基板１５０の種類毎の判定基準が必要になる。

【0119】

そこで、各基板１５０に部品１６０を圧着させる際には、図５の（ｂ）に示すように、基板１５０の種類によらず共通の第２押圧力を発生させる。つまり、図５の（ａ）に示すように、基板１５０の種類によらず共通の第２押圧力を発生するように、本体部２０６に第２エア圧を供給する。これにより、ピストンロッド２０８が支持体２２０に接触する瞬間の負荷を、基板１５０の種類（つまり、部品１６０の種類）によらず同じ値とすることができる。そのため、基板１５０の種類（つまり、部品１６０の種類）によって異なる押圧力に応じた判定基準を設ける必要がなくなる。

【0120】

また、例えば、制御部２３２は、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合に、第２制御を行わない。

【0121】

これによれば、実装不良の発生が抑制され得る。

【0122】

また、例えば、判定部２３３が、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定した場合に、シリンダ２０５が正常に機能していない旨を示す不良情報を報知する報知部２４０をさらに備える。

【0123】

これによれば、シリンダ２０５が正常に機能していない旨をユーザに通知できる。

【0124】

また、例えば、判定部２３３は、トルク情報に基づいて、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク以上であるか否かを判定し、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク以上であると判定した場合、シリンダ２０５が正常に機能していると判定し、モータ２１４に生じるトルクが所定のトルク未満であると判定した場合、シリンダ２０５が正常に機能していないと判定する。

【0125】

これによれば、シリンダが正常に機能しているか否かが適切に判定され得る。

【0126】

また、実施の形態に係る部品圧着方法は、基板１５０を支持するバックアップ部２０１ａと、バックアップ部２０１ａが設置される基台２０１に立設される支柱２０２と、支柱２０２に対して固定的に設けられる本体部２０６と、支柱２０２に沿って移動可能なピストンロッド２０８と、を有するシリンダ２０５と、ピストンロッド２０８の一端部に取り付けられる圧着ヘッド２０３と、ピストンロッド２０８の一端部とは反対側に位置する他端部に設けられるストッパ２１１と、支柱２０２に沿って移動可能に設けられ、ストッパ２１１を介してピストンロッド２０８を一端部側から支持する支持体２２０と、支持体２２０を支柱２０２に沿って移動させるモータ２１４と、を備える部品圧着装置２００が実行する部品圧着方法であって、シリンダ２０５及びモータ２１４を制御することで、支持体２２０をピストンロッド２０８とともに一端部側に移動させて、圧着ヘッド２０３に、バックアップ部２０１ａに支持された基板１５０に部品１６０を圧着させる制御ステップと、モータ２１４に生じるトルクに関するトルク情報に基づいて、シリンダ２０５が正常に機能しているか否かを判定する判定ステップと、を含む。

【0127】

これによれば、部品圧着装置２００と同様の効果を奏する。

【0128】

（その他の実施の形態）
以上、本実施の形態に係る部品圧着装置等について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。

【0129】

上記実施の形態では、部品圧着装置２００は、１つの圧着ヘッド２０３を備えるが、複数の圧着ヘッドを備えてもよい。例えば、部品圧着装置は、圧着ヘッドとシリンダとの組を複数備え、各組を１つのモータで制御（高さ制御）している場合には、各シリンダによって発生される押圧力の合計値を用いて各シリンダが正常に機能しているか否かを判定してもよい。

【0130】

また、例えば、モータ２１４は、サーボモータではなく、パルスモータ、又は、リニアモータ等であってもよい。

【0131】

また、例えば、モータ２１４の回転量等を検出するエンコーダは、モータ２１４に設けられるロータリーエンコーダでもよいし、モータ２１４とは別途設けられたリニアエンコーダ等でもよい。

【0132】

また、例えば、上記実施の形態では、制御装置２３０が備える処理部の構成要素の全部又は一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、或いは、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ＨＤＤ又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

【0133】

また、制御装置２３０が備える処理部は、１つ又は複数の電子回路で構成されてもよい。１つ又は複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。

【0134】

１つ又は複数の電子回路には、例えば、半導体装置、ＩＣ又はＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等が含まれてもよい。ＩＣ又はＬＳＩは、１つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、ＩＣ又はＬＳＩと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Ｖｅｒｙ Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）、又は、ＵＬＳＩ（Ｕｌｔｒａ Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）と呼ばれるかもしれない。また、ＬＳＩの製造後にプログラムされるＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）も同じ目的で使うことができる。

【0135】

その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。

【産業上の利用可能性】

【0136】

本発明は、部品を基板に圧着する圧着装置に利用可能である。

【符号の説明】

【0137】

１３１ 支持ステージ
１５０ 基板
１６０ 部品
２００ 部品圧着装置
２０１ 基台
２０１ａ バックアップ部
２０２ 支柱
２０３ 圧着ヘッド
２０４ 移動ガイド
２０５ シリンダ
２０６ 本体部
２０７ ピストン
２０７ａ リング部材
２０８ ピストンロッド
２１１ ストッパ
２１３ 圧力制御部
２１４ モータ
２１８ ボールネジ
２２０ 支持体
２３０ 制御装置
２３１ 取得部
２３２ 制御部
２３３ 判定部
２３４ 出力部
２３５ 記憶部
２４０ 報知部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】