特開 2023-149955 微動装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023149955

(43)【公開日】2023-10-16

(54)【発明の名称】微動装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/68 20060101AFI20231005BHJP

   G12B 5/00 20060101ALI20231005BHJP

   B23Q 5/22 20060101ALI20231005BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20231005BHJP

   B23Q 1/48 20060101ALI20231005BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 K

G12B5/00 T

B23Q5/22 520F

B23Q5/22 520C

G03F7/20 521

B23Q1/48 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022058792

(22)【出願日】2022-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】000004204

【氏名又は名称】日本精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 俊徳

【テーマコード（参考）】

2F078

2H197

3C048

5F131

【Ｆターム（参考）】

2F078CA01

2F078CA03

2F078CA06

2F078CA08

2F078CB13

2F078CB14

2F078CC01

2H197CD15

2H197CD18

2H197CD41

2H197HA03

3C048BC02

3C048DD09

3C048DD12

3C048DD27

5F131EA02

5F131EA22

5F131EA27

(57)【要約】

【課題】簡便な構成で微動テーブルを基部に対して回転させることができる微動装置を提供すること。
【解決手段】微動装置は，基部と、微動テーブルと、基部に配置され、基部に対して微動テーブルを回転させる回転装置と、を備え、回転装置は、微動テーブルの第１被支持部を支持する第１移動部材を含み、第１軸線に沿って第１移動部材を移動させる第１駆動部と、微動テーブルにおいて第１被支持部と平面視での位置が異なる第２被支持部を支持する第２移動部材を含み、第１軸線と平行な第２軸線に沿って第２移動部材を移動させる第２駆動部と、微動テーブルにおいて第１被支持部および第２被支持部と平面視での位置が異なる第３被支持部を支持する第３移動部材を含み、第１軸線と平行な第３軸線に沿って第３移動部材を移動させる第３駆動部と、微動テーブルの側面を押圧することで、微動テーブルを平面視において回転させる第４駆動部と、を備えている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基部と、
微動テーブルと、
前記基部に配置され、前記基部に対して前記微動テーブルを回転させる回転装置と、を備え、
前記回転装置は、
前記微動テーブルの第１被支持部を支持する第１移動部材を含み、第１軸線に沿って前記第１移動部材を移動させる第１駆動部と、
前記微動テーブルにおいて前記第１被支持部と平面視での位置が異なる第２被支持部を支持する第２移動部材を含み、前記第１軸線と平行な第２軸線に沿って前記第２移動部材を移動させる第２駆動部と、
前記微動テーブルにおいて前記第１被支持部および前記第２被支持部と平面視での位置が異なる第３被支持部を支持する第３移動部材を含み、前記第１軸線と平行な第３軸線に沿って前記第３移動部材を移動させる第３駆動部と、
前記微動テーブルの側面を押圧することで、前記微動テーブルを平面視において回転させる第４駆動部と、を備えている、
微動装置。

【請求項2】

前記第１移動部材は、前記第１被支持部を回転支持する、
請求項１に記載の微動装置。

【請求項3】

前記第１移動部材は、第１球面を有し、
前記第１被支持部は、前記第１球面と線接触するテーパ面を有している、
請求項２に記載の微動装置。

【請求項4】

前記第２移動部材は、前記第２被支持部を可動支持し、
前記第３移動部材は、前記第３被支持部を可動支持する、
請求項１から３の何れか１項に記載の微動装置。

【請求項5】

前記第２移動部材は、第２球面を有し、
前記第２被支持部は、前記第２球面と接触する面を有し、
前記第３移動部材は、第３球面を有し、
前記第３被支持部は、前記第３球面と接触する面を有している、
請求項４に記載の微動装置。

【請求項6】

前記基部に向けて前記微動テーブルを移動させる第１マグネットをさらに備えている、
請求項１から５の何れか１項に記載の微動装置。

【請求項7】

前記第４駆動部が前記微動テーブルを押圧する方向と反対方向に前記微動テーブルを移動させる第２マグネットをさらに備えている、
請求項１から６の何れか１項に記載の微動装置。

【請求項8】

前記第１軸線と直交する直交平面と前記第１軸線との第１交点、前記直交平面と前記第２軸線との第２交点および前記直交平面と前記第３軸線との第３交点によって形成される三角形は、前記第１交点と前記第２交点とを結ぶ辺の長さと、前記第１交点と前記第３交点とを結ぶ辺の長さとが等しい二等辺三角形である、
請求項１から７の何れか１項に記載の微動装置。

【請求項9】

前記微動テーブルは、平面視において、前記第１交点を通り、かつ前記第２交点と前記第３交点とを結ぶ底辺と直交する直線を対称軸とする線対称形状である、
請求項８に記載の微動装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、微動装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、互いに直交する２つの軸に沿って移動可能な粗動テーブル、および、粗動テーブルに支持され、粗動テーブルに対して互いに直交する２つの軸に沿って微動可能な微動テーブルを備えているテーブル装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－３９１８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のテーブル装置において、微動テーブルの姿勢を調整するために、微動テーブルを支持している基部に対して微動テーブルを回転させたい要望がある。

【0005】

本開示の態様は、簡便な構成で微動テーブルを基部に対して回転させることができる微動装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の態様は、基部と、微動テーブルと、前記基部に配置され、前記基部に対して前記微動テーブルを回転させる回転装置と、を備え、前記回転装置は、前記微動テーブルの第１被支持部を支持する第１移動部材を含み、第１軸線に沿って前記第１移動部材を移動させる第１駆動部と、前記微動テーブルにおいて前記第１被支持部と平面視での位置が異なる第２被支持部を支持する第２移動部材を含み、前記第１軸線と平行な第２軸線に沿って前記第２移動部材を移動させる第２駆動部と、前記微動テーブルにおいて前記第１被支持部および前記第２被支持部と平面視での位置が異なる第３被支持部を支持する第３移動部材を含み、前記第１軸線と平行な第３軸線に沿って前記第３移動部材を移動させる第３駆動部と、前記微動テーブルの側面を押圧することで、前記微動テーブルを平面視において回転させる第４駆動部と、を備えている、微動装置を提供する。

【0007】

本開示の態様によれば、微動テーブルは、第１移動部材、第２移動部材および第３移動部材によって平面視において互いに位置が異なる３点で支持される。また、第１移動部材、第２移動部材および第３移動部材は、それぞれ、互いに平行な第１軸線、第２軸線および第３軸線に沿って移動する。よって、第１移動部材、第２移動部材および第３移動部材の移動量および移動する向きが調整されることで、微動テーブルは、第１軸線と平行な軸線に対して傾斜することができる。換言すれば、微動テーブルは、第１軸線と直交し、かつ、互いに直交する２つの軸線それぞれを中心軸として回転することができる。

【0008】

また、微動テーブルは、第４駆動部によって側面を押圧されることで、平面視において回転することができる。つまり、微動テーブルは、第１軸線と平行な軸線を中心軸として回転することができる。よって、微動テーブルは、第１軸線と平行な軸線を含み互いに直交する３つの軸線それぞれを中心軸として回転することができる。

【0009】

このように、微動装置は、簡便な構成で微動テーブルを基部に対して回転するように微動させることができる。

【0010】

本開示の態様において、前記第１移動部材は、前記第１被支持部を回転支持してもよい。

【0011】

これにより、微動装置は、第１移動部材を中心として微動テーブルを回転させることができる。また、第１移動部材とは別に微動テーブルを回転支持する部材を微動装置が備える場合と比べて、微動装置の部品点数を低減し、微動装置を簡便な構成にすることができる。

【0012】

本開示の態様において、前記第１移動部材は、第１球面を有し、前記第１被支持部は、前記第１球面と線接触するテーパ面を有してもよい。

【0013】

これにより、第１移動部材は、簡便な形状で第１被支持部を回転支持することができる。

【0014】

本開示の態様において、前記第２移動部材は、前記第２被支持部を可動支持し、前記第３移動部材は、前記第３被支持部を可動支持してもよい。

【0015】

これにより、第２移動部材および第３移動部材は、微動テーブルが回転するように第２被支持部および第３被支持部を支持することができる。

【0016】

本開示の態様において、前記第２移動部材は、第２球面を有し、前記第２被支持部は、前記第２球面と接触する面を有し、前記第３移動部材は、第３球面を有し、前記第３被支持部は、前記第３球面と接触する面を有してもよい。

【0017】

これにより、第２移動部材および第３移動部材は、簡便な形状で、微動テーブルが回転するように、第２被支持部および第３被支持部を支持することができる。

【0018】

本開示の態様において、前記基部に向けて前記微動テーブルを移動させる第１マグネットをさらに備えてもよい。

【0019】

これにより、第１マグネットによって、第１移動部材と第１被支持部との接触状態、第２移動部材と第２被支持部との接触状態、および、第３移動部材と第３被支持部との接触状態を維持することができる。よって、回転装置は、微動テーブルを精度よく回転させることができる。

【0020】

本開示の態様において、前記第４駆動部が前記微動テーブルを押圧する方向と反対方向に前記微動テーブルを移動させる第２マグネットをさらに備えてもよい。

【0021】

これにより、微動テーブルは、第２マグネットによって、第４駆動部が微動テーブルを押圧する方向と反対方向に回転することができる。よって、第４移動部材と微動テーブルとの側面とが接触した状態を維持することができる。したがって、第４駆動部は、微動テーブルを精度よく回転させることができる。

【0022】

本開示の態様において、前記第１軸線と直交する直交平面と前記第１軸線との第１交点、前記直交平面と前記第２軸線との第２交点および前記直交平面と前記第３軸線との第３交点によって形成される三角形は、前記第１交点と前記第２交点とを結ぶ辺の長さと、前記第１交点と前記第３交点とを結ぶ辺の長さとが等しい二等辺三角形でもよい。

【0023】

これにより、第１交点、第２交点および第３交点によって形成される三角形が二等辺三角形でない場合と比べて、微動テーブルの回転量および回転の向きに対応する第１移動部材、第２移動部材、および、第３移動部材の移動量および移動の向きを簡便に算出することができる。

【0024】

本開示の態様において、微動テーブルは、平面視において、前記第１交点を通り、かつ、前記第２交点と前記第３交点とを結ぶ底辺と直交する直線を対称軸とする線対称形状でもよい。

【0025】

これにより、微動テーブルが回転した場合においても、微動テーブルの重心が平面視において対称軸の近傍に位置する。よって、微動テーブルの姿勢の安定化を図ることができる。

【発明の効果】

【0026】

本開示の態様によれば、簡便な構成で微動テーブルを基部に対して回転させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】図１は、本実施形態に係る微動装置および微動装置が取り付けられる搬送装置の一例を示す平面図である。

【図2】図２は、本実施形態に係る微動装置の平面図である。

【図3】図３は、本実施形態に係る微動装置の側面図である。

【図4】図４は、本実施形態に係る微動装置の断面図である。

【図5】図５は、本実施形態に係る第２駆動部および第３駆動部の軸方向断面図である。

【図6】図６は、本実施形態に係る第４駆動部の軸方向断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。

【0029】

以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。また、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸に沿う方向をそれぞれ、Ｘ方向、Ｙ方向、および、Ｚ方向とする。さらに、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を中心とする回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ方向、θＹ方向、および、θＺ方向とする。

【0030】

本実施形態において、ＸＹ平面は、後述する基部１０の主面Ｓと平行である。Ｚ軸は、基部１０の主面Ｓと直交する。Ｘ軸は、ＹＺ平面と直交する。Ｙ軸は、ＸＺ平面と直交する。Ｚ軸は、ＸＹ平面と直交する。ＸＹ平面は、Ｘ軸およびＹ軸を含む。ＸＺ平面は、Ｘ軸およびＺ軸を含む。ＹＺ平面は、Ｙ軸およびＺ軸を含む。

【0031】

図１は、本実施形態に係る微動装置および微動装置が取り付けられる搬送装置の一例を示す平面図である。微動装置１および搬送装置２は、例えば半導体デバイスの製造において、半導体デバイスの製造工程の一部に使用される。

【0032】

微動装置１は、半導体デバイスを製造するための物体を支持するとともに、物体の姿勢を微調整する。搬送装置２は、微動装置１を支持し、所望の位置に物体が位置するように微動装置１を搬送する。

【0033】

搬送装置２は、ベース部材３およびベース部材３に対して相対移動する支持部材４を備えている。ベース部材３には、一対のガイド部材３ａ、ボールねじ３ｂ、および、回転モータ３ｃが配置されている。

【0034】

一対のガイド部材３ａは、ベース部材３における支持部材４と対向する面（＋Ｚ側の面）にＸ方向に沿って延びるように配置されている。ボールねじ３ｂは、一対のガイド部材３ａの間で、Ｘ方向に沿って延びるように配置されている。回転モータ３ｃは、ボールねじ３ｂを回転させるように駆動する。

【0035】

支持部材４は、ベース部材３と対向する面（－Ｚ側の面）と反対側の面で微動装置１を支持する。支持部材４には、一対のリニアベアリング４ａおよびナット４ｂが配置されている。

【0036】

一対のリニアベアリング４ａは、それぞれ、支持部材４におけるベース部材３と対向する面に取り付けられ、一対のガイド部材３ａと嵌合する。ナット４ｂは、支持部材４におけるベース部材３と対向する面に取り付けられ、ボールねじ３ｂと結合する。

【0037】

回転モータ３ｃがボールねじ３ｂを回転させると、ナット４ｂがボールねじ３ｂの軸線に沿って移動する。これにより、支持部材４が一対のリニアベアリング４ａを介して一対のガイド部材３ａに案内される。つまり、支持部材４は、Ｘ方向に沿って移動する。

【0038】

このように、支持部材４がＸ方向に沿って移動するように搬送装置２が構成されているが、支持部材４がＸ方向およびＹ方向に沿って２方向それぞれに移動するように搬送装置２が構成されてもよいし、支持部材４がＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に沿って３方向それぞれに移動するように搬送装置２が構成されてもよい。

【0039】

図２は、本実施形態に係る微動装置の平面図である。微動装置１は、基部１０、微動テーブル２０、および、回転装置３０を備えている。

【0040】

基部１０は、微動テーブル２０と対向する面（＋Ｚ側の面）を主面Ｓとする板状である。基部１０は、主面Ｓと反対の背面で支持部材４に取り付けられて支持される。

【0041】

微動テーブル２０は、板状であり、例えば半導体デバイスを製造するための物体を載置可能である。微動テーブル２０は、Ｘ方向に沿って延びる板状の第１板部２１と、Ｙ方向に沿って延びる板状の第２板部２２とが一体となっている平面視Ｔ字状である。

【0042】

図３は、本実施形態に係る微動装置の側面図である。図４は、本実施形態に係る微動装置の断面図である。具体的には、図４は、後述する直線Ｌに沿った微動装置１の断面図である。

【0043】

回転装置３０は、基部１０に配置され、微動テーブル２０を基部１０に対して回転させる。回転装置３０は、第１駆動部３１、第２駆動部３２、第３駆動部３３、および、第４駆動部３４を備えている。

【0044】

第１駆動部３１は、基部１０の主面Ｓにおいて、微動テーブル２０の＋Ｘ側の端部と対向する位置に配置されている。第１駆動部３１は、第１ハウジング３１ａ、第１駆動素子３１ｂ、第１保持部３１ｃ、および、第１移動部材３１ｄを備えている。第１駆動部３１は、第１移動部材３１ｄを第１軸線３１ｅに沿って移動させる。第１軸線３１ｅは、Ｚ方向と平行である。なお、第１軸線３１ｅは、Ｚ方向に対して傾斜していてもよい。

【0045】

第１ハウジング３１ａは、＋Ｚ側を開放する箱状である。第１駆動素子３１ｂは、第１ハウジング３１ａの底部に収納され、第１移動部材３１ｄを移動させる。第１駆動素子３１ｂは、例えば、電圧が印加されることにより、第１軸線３１ｅに沿う長さが変化するように変形する圧電素子（ピエゾ素子）である。

【0046】

第１保持部３１ｃは、－Ｚ側の面が第１駆動素子３１ｂと接触し、かつ、第１ハウジング３１ａに対して第１軸線３１ｅに沿って摺動可能に第１ハウジング３１ａに収納されている。また、第１保持部３１ｃは、＋Ｚ側で第１移動部材３１ｄを保持する。

【0047】

第１移動部材３１ｄは、＋Ｚ側に第１球面３１ｄ１を有する球状である。なお、第１移動部材３１ｄの－Ｚ側が例えば円柱状であってもよいし、第１保持部３１ｃと一体でもよい。第１軸線３１ｅは、第１球面３１ｄ１を有する球体の中心を通る。

【0048】

第１駆動素子３１ｂに電圧が印加されると、第１駆動素子３１ｂが変形し、第１保持部３１ｃひいては第１移動部材３１ｄが第１軸線３１ｅに沿って移動する。また、第１移動部材３１ｄは、微動テーブル２０の第１被支持部２３を支持する。

【0049】

第１被支持部２３は、微動テーブル２０の－Ｚ側の面に第１移動部材３１ｄと対向するように配置されている。第１被支持部２３は、板状であり、第１移動部材３１ｄと対向する面にテーパ面２３ａを有している。テーパ面２３ａは、具体的には、＋Ｚ側に頂点を有する円錐面である。なお、テーパ面２３ａは、角錐面でもよい。

【0050】

第１移動部材３１ｄは、第１球面３１ｄ１がテーパ面２３ａに線接触するように、第１被支持部２３を支持する。つまり、第１移動部材３１ｄは、第１被支持部２３を回転支持する。

【0051】

第２駆動部３２は、基部１０の主面Ｓにおいて、微動テーブル２０の＋Ｙ側の端部と対向する位置に配置されている。第３駆動部３３は、基部１０の主面Ｓにおいて、微動テーブル２０の－Ｙ側の端部と対向する位置に配置されている。

【0052】

図５は、本実施形態に係る第２駆動部および第３駆動部の軸方向断面図である。第２駆動部３２は、第２ハウジング３２ａ、第２駆動素子３２ｂ、第２保持部３２ｃ、および、第２移動部材３２ｄを備えている。第２駆動部３２は、第２移動部材３２ｄを第２軸線３２ｅに沿って移動させる。第２軸線３２ｅは、第１軸線３１ｅと平行である。

【0053】

第３駆動部３３は、第３ハウジング３３ａ、第３駆動素子３３ｂ、第３保持部３３ｃ、および、第３移動部材３３ｄを備えている。第３駆動部３３は、第３移動部材３３ｄを第３軸線３３ｅに沿って移動させる。第３軸線３３ｅは、第１軸線３１ｅと平行である。つまり、第１軸線３１ｅ、第２軸線３２ｅ、および、第３軸線３３ｅは、それぞれ、互いと平行である。

【0054】

第２駆動部３２および第３駆動部３３は、第１駆動部３１と同様に構成されている。つまり、第２ハウジング３２ａおよび第３ハウジング３３ａ、第２駆動素子３２ｂおよび第３駆動素子３３ｂ、第２保持部３２ｃおよび第３保持部３３ｃ、並びに、第２移動部材３２ｄおよび第３移動部材３３ｄは、それぞれ、第１ハウジング３１ａ、第１駆動素子３１ｂ、第１保持部３１ｃ、および、第１移動部材３１ｄと同様に構成されている。

【0055】

第２駆動素子３２ｂに電圧が印加されると、第２駆動素子３２ｂが変形し、第２保持部３２ｃひいては第２移動部材３２ｄが第２軸線３２ｅに沿って移動する。また、第３駆動素子３３ｂに電圧が印加されると、第３駆動素子３３ｂが変形し、第３保持部３３ｃひいては第３移動部材３３ｄが第３軸線３３ｅに沿って移動する。

【0056】

図２に示すように、第１軸線３１ｅと直交する直交平面と第１軸線３１ｅとの第１交点Ｐ１、直交平面と第２軸線３２ｅとの第２交点Ｐ２および直交平面と第３軸線３３ｅとの第３交点Ｐ３によって形成される三角形は、第１交点Ｐ１と第２交点Ｐ２とを結ぶ辺の長さと、第１交点Ｐ１と第３交点Ｐ３とを結ぶ辺の長さとが等しい二等辺三角形である。なお、第１軸線３１ｅがＺ方向に沿っている場合、直交平面は、基部１０の主面Ｓと平行である。

【0057】

また、微動テーブル２０は、基部１０に対して回転（傾斜）していない状態で、平面視において、第１交点Ｐ１を通り、かつ、第２交点Ｐ２と第３交点Ｐ３とを結ぶ底辺と直交する直線Ｌを対称軸とする線対称形状である。よって、微動テーブル２０の重心Ｇは、基部１０に対して回転（傾斜）していない状態で、平面視において、直線Ｌ上に位置する。

【0058】

また、図３および図４に示すように、第２移動部材３２ｄおよび第３移動部材３３ｄは、それぞれ、微動テーブル２０の第２被支持部２４および第３被支持部２５を支持する。

【0059】

第２被支持部２４は、微動テーブル２０の－Ｚ側の面に第２移動部材３２ｄと対向するように配置されている。つまり、第２被支持部２４の位置は、平面視において、第１被支持部２３の位置と異なる。第２被支持部２４は、板状であり、－Ｚ側に第１平面２４ａを有している。

【0060】

第２移動部材３２ｄは、第２球面３２ｄ１と第１平面２４ａとが接触するように、第２被支持部２４を支持する。具体的には、第２球面３２ｄ１は、第１平面２４ａと点接触する。つまり、第２移動部材３２ｄは、第２被支持部２４を可動支持する。

【0061】

第３被支持部２５は、微動テーブル２０の－Ｚ側の面に第３移動部材３３ｄと対向するように配置されている。つまり、第３被支持部２５の位置は、平面視において、第１被支持部２３の位置および第２被支持部２４の位置と異なる。第３被支持部２５は、板状であり、－Ｚ側に第２平面２５ａを有している。

【0062】

第３移動部材３３ｄは、第３球面３３ｄ１と第２平面２５ａとが接触するように、第３被支持部２５を支持する。具体的には、第３球面３３ｄ１は、第２平面２５ａと点接触する。つまり、第３移動部材３３ｄは、第３被支持部２５を可動支持する。

【0063】

図２および図３に示すように、第４駆動部３４は、基部１０における第１板部２１より－Ｙ側の位置に配置されている。第４駆動部３４は、微動テーブル２０の側面を押圧することで、微動テーブル２０を平面視において回転させる。

【0064】

図６は、本実施形態に係る第４駆動部の軸方向断面図である。第４駆動部３４は、第４ハウジング３４ａ、第４駆動素子３４ｂ、第４保持部３４ｃ、および、第４移動部材３４ｄを備えている。第４駆動部３４は、第４移動部材３４ｄを第４軸線３４ｅに沿って移動させる。第４軸線３４ｅは、第１軸線３１ｅと直交する。具体的には、第４軸線３４ｅは、Ｙ方向と平行である。なお、第４軸線３４ｅは、Ｙ方向に対して傾斜していてもよい。

【0065】

第４ハウジング３４ａは、＋Ｙ側を開放する箱状である。第４駆動素子３４ｂは、第４ハウジング３４ａの底部に収納され、第４移動部材３４ｄを移動させるものである。第４駆動素子３４ｂは、電圧が印加されることにより、第４軸線３４ｅに沿う長さが変化するように変形する圧電素子（ピエゾ素子）である。

【0066】

第４保持部３４ｃは、－Ｙ側の面が第４駆動素子３４ｂと接触し、かつ、第４ハウジング３４ａ対して第４軸線３４ｅに沿って摺動可能に第４ハウジング３４ａに収納されている。また、第４保持部３４ｃは、＋Ｙ側で第４移動部材３４ｄを保持する。

【0067】

第４移動部材３４ｄは、＋Ｙ側に第４球面３４ｄ１を有し、－Ｙ側を円柱状とする形状である。なお、第４移動部材３４ｄは、球状でもよいし、第４保持部３４ｃと一体でもよい。第４軸線３４ｅは、第４球面３４ｄ１を有する球体の中心を通る。

【0068】

第４駆動素子３４ｂに電圧が印加されると、第４駆動素子３４ｂが変形し、第４保持部３４ｃひいては第４移動部材３４ｄが第４軸線３４ｅに沿って移動する。また、第４移動部材３４ｄは、微動テーブル２０の側面を、被押圧部２６を介して押圧する。

【0069】

図２、３に示すように、被押圧部２６は、第１板部２１の－Ｙ側の面に配置されている。被押圧部２６は、板状であり、－Ｙ側に第３平面２６ａを有している。第３平面２６ａは、微動テーブル２０が配転していない状態において、Ｙ軸と直交する。第４移動部材３４ｄが移動することで、第４球面３４ｄ１が第３平面２６ａと点接触し、第３平面２６ａを＋Ｙ側に向けて押圧する。

【0070】

図２から図４に示すように、微動装置１は、第１マグネット５０および第２マグネット６０をさらに備えている。

【0071】

第１マグネット５０は、基部１０に向けて微動テーブル２０を移動させる。第１マグネット５０は、第１板部２１の－Ｚ側の面に配置されている。第１マグネット５０は、例えば、永久磁石である。

【0072】

基部１０の主面Ｓには、第１マグネット５０と対向する位置に、第１マグネット５０と引き合う板状の第１磁性体１１が配置されている。第１磁性体１１は、例えば鉄を含んで構成されている。なお、第１磁性体１１は、永久磁石でもよい。

【0073】

第１マグネット５０は、第１磁性体１１と引き合うことで、微動テーブル２０を基部１０に向けて、すなわち、－Ｚ側に移動させる。これにより、第１球面３１ｄ１とテーパ面２３ａとが接触している状態、第２球面３２ｄ１と第１平面２４ａとが接触している状態、および、第３球面３３ｄ１と第２平面２５ａとが接触している状態を、それぞれ、確実に維持することができる。なお、第１マグネット５０が主面Ｓに配置され、かつ、第１磁性体１１が微動テーブル２０に配置されてもよい。

【0074】

第２マグネット６０は、第４駆動部３４が微動テーブル２０を押圧する方向と反対方向に微動テーブル２０を移動させる。第２マグネット６０は、基部１０における第１板部２１より－Ｙ側の位置に取付部６０ａを介して配置されている。第２マグネット６０は、例えば、永久磁石である。

【0075】

第１板部２１には、第２マグネット６０と対向する位置に、第２マグネット６０と引き合う板状の第２磁性体２７が第２マグネット６０から離れて配置されている。第２磁性体２７は、例えば鉄を含んで構成されている。なお、第２磁性体２７は、永久磁石でもよい。

【0076】

第２マグネット６０は、第２磁性体２７と引き合うことで、微動テーブル２０を第２マグネット６０に向けて、すなわち、－Ｙ側に移動させる。つまり、第４駆動部３４が微動テーブル２０を押圧する方向と反対方向に微動テーブル２０を移動させる。これにより、第４球面３４ｄ１と第３平面２６ａとが接触している状態を維持することができる。

【0077】

また、図４に示すように、微動装置１は、微動テーブル２０の回転を制御する制御装置７０をさらに備えている。制御装置７０は、微動テーブル２０を回転させるための制御信号を第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、第３駆動素子３３ｂ、および、第４駆動素子３４ｂに出力する。第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、第３駆動素子３３ｂ、および、第４駆動素子３４ｂに出力される制御信号は、それぞれ、第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、第３駆動素子３３ｂ、および、第４駆動素子３４ｂの変形量および変形の向きを特定する指令値を含んでいる。

【0078】

第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、第３駆動素子３３ｂ、および、第４駆動素子３４ｂの変形量および変形の向きを特定する指令値は、それぞれ、使用者によって制御装置７０に入力される所望の微動テーブル２０の回転量に基づいて制御装置７０によって導出されてもよいし、物体の姿勢を検出するためのセンサ（例えば光学式測距センサ）の検出結果と、制御装置７０に予め記憶されている所定の姿勢との差分に基づいて、物体が所定の姿勢となるように制御装置７０によって導出されてもよい。なお、制御装置７０は、搬送装置２を統括制御してもよい。

【0079】

次に、制御装置７０が微動テーブル２０を基部１０に対して回転させる際の微動装置１の動作について説明する。はじめに、微動テーブル２０の＋Ｚ側の面がＸＹ平面と平行である微動テーブル２０の初期状態から、微動テーブル２０が基部１０に対してθＸ方向に沿って回転する場合について説明する。

【0080】

微動テーブル２０が初期状態から基部１０に対してθＸ方向に沿って回転する場合、制御装置７０が出力する制御信号において、例えば、第１駆動素子３１ｂの変形量はゼロであり、第２駆動素子３２ｂの変形量と第３駆動素子３３ｂの変形量とは同じであり、かつ、第２駆動素子３２ｂの変形の向きと第３駆動素子３３ｂの変形の向きとは反対向きである。

【0081】

制御信号に基づいて、第１駆動素子３１ｂが変形しないことで第１移動部材３１ｄは移動しない。制御信号に基づいて、第２駆動素子３２ｂおよび第３駆動素子３３ｂが変形することで、第２移動部材３２ｄおよび第３移動部材３３ｄは、それぞれ、互いと等しい移動量で互いと異なる向きに第２軸線３２ｅおよび第３軸線３３ｅに沿って移動する。

【0082】

このような第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、および、第３移動部材３３ｄの動作により、第１被支持部２３は、テーパ面２３ａと第１球面３１ｄ１とが接触した状態で、第１移動部材３１ｄに対して、第１球面３１ｄ１の中心点を中心として回転し、平面視でＹ方向に沿って移動する。第２被支持部２４は、第１平面２４ａと第２球面３２ｄ１とが接触した状態で、第２移動部材３２ｄに対して回転し、平面視でＹ方向に沿って移動する。第３被支持部２５は、第２平面２５ａと第３球面３３ｄ１とが接触した状態で、第３移動部材３３ｄに対して回転し、平面視でＹ方向に沿って移動する。

【0083】

このような第１被支持部２３、第２被支持部２４、および、第３被支持部２５の動作により、微動テーブル２０は、初期状態から基部１０に対してθＸ方向に沿って、第１移動部材３１ｄを中心に回転する。

【0084】

また、制御信号において、第４駆動素子３４ｂの変形量および変形の向きは、微動テーブル２０がθＸ方向に沿って回転することで生じる被押圧部２６の第３平面２６ａにおける第４軸線３４ｅに沿った変形量および変形の向きと等しくなるようにしてもよい。このような制御信号によって、微動テーブル２０がθＸ方向に沿って回転することで生じる第３平面２６ａの変位に対応するように、第４移動部材３４ｄが移動する。これにより、第４移動部材３４ｄが微動テーブル２０のθＸ方向の回転を妨げることを防ぐことができる。

【0085】

次に、微動テーブル２０が初期状態から基部１０に対してθＹ方向に沿って回転する場合について説明する。この場合、制御装置７０が出力する制御信号において、例えば、第１駆動素子３１ｂの変形の向きが＋Ｚ側または－Ｚ側であり、第２駆動素子３２ｂの変形量および第３駆動素子３３ｂの変形量がゼロである。

【0086】

このような制御信号によって、第１駆動素子３１ｂが変形することで第１移動部材３１ｄは第１軸線３１ｅに沿って＋Ｚ側または－Ｚ側に向けて移動し、第２駆動素子３２ｂおよび第３駆動素子３３ｂが変形しないことで第２移動部材３２ｄおよび第３移動部材３３ｄは移動しない。

【0087】

このような第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、および、第３移動部材３３ｄの動作により、第１被支持部２３は、テーパ面２３ａと第１球面３１ｄ１とが接触した状態で、第１移動部材３１ｄに対して、第１球面３１ｄ１の中心点を中心として回転し、平面視でＸ方向に沿って移動する。第２被支持部２４は、第１平面２４ａと第２球面３２ｄ１とが接触した状態で、第２移動部材３２ｄに対して回転し、平面視でＸ方向に沿って移動する。第３被支持部２５は、第２平面２５ａと第３球面３３ｄ１とが接触した状態で、第３移動部材３３ｄに対して回転し、平面視でＸ方向に沿って移動する。

【0088】

このような第１被支持部２３、第２被支持部２４、および、第３被支持部２５の動作により、微動テーブル２０は、初期状態から基部１０に対してθＹ方向に沿って、第１移動部材３１ｄを中心に回転する。

【0089】

また、上記のように、被押圧部２６の第３平面２６ａはＹ軸と直交しているため、微動テーブル２０が基部１０に対してθＹ方向に沿って回転する際、被押圧部２６の第３平面２６ａは第４軸線３４ｅに沿って変位しない。つまり、第４移動部材３４ｄの移動量がゼロでも、微動テーブル２０の回転は妨げられない。よって、制御信号において、第４駆動素子３４ｂの変形量は、ゼロである。

【0090】

なお、微動テーブル２０が初期状態から基部１０に対してθＹ方向に沿って回転する場合、制御装置７０が出力する制御信号において、例えば、第１駆動素子３１ｂの変形量がゼロであり、第２駆動素子３２ｂの変形量と第３駆動素子３３ｂの変形量とは同じであり、かつ、第２駆動素子３２ｂの変形の向きと第３駆動素子３３ｂの変形の向きとは同じ向きとしてもよい。

【0091】

次に、微動テーブル２０が初期状態から基部１０に対してθＺ方向に沿って回転する場合について説明する。この場合、制御装置７０が出力する制御信号において、例えば、第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、および、第３駆動素子３３ｂの変形量がゼロであり、第４駆動素子３４ｂの変形量および変形の向きは、所望のθＺ方向の回転量および回転の向きに対応している。

【0092】

このような制御信号によって、第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、および、第３駆動素子３３ｂが変形しないことで第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、および、第３移動部材３３ｄが移動せず、第４駆動素子３４ｂが変形することで、第４移動部材３４ｄは第４軸線３４ｅに沿って＋Ｙ側または－Ｙ側に移動する。

【0093】

このような第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、第３移動部材３３ｄ、および、第４移動部材３４ｄの動作により、第４移動部材３４ｄが第４軸線３４ｅに沿って＋Ｙ側に移動する場合、第４移動部材３４ｄが被押圧部２６を押圧することで、被押圧部２６が＋Ｙ側に向けて移動する。一方、第４移動部材３４ｄが第４軸線３４ｅに沿って－Ｙ側に移動する場合、第２マグネット６０と第２磁性体２７とが引き合うことで、被押圧部２６が－Ｙ側に移動する。

【0094】

このような被押圧部２６の移動により、微動テーブル２０が変位することで、第１被支持部２３は、テーパ面２３ａと第１球面３１ｄ１とが接触した状態で、第１移動部材３１ｄに対して、第１軸線３１ｅを中心軸としてθＺ方向に沿って回転する。第２被支持部２４は、第１平面２４ａと第２球面３２ｄ１とが接触した状態で、第２移動部材３２ｄに対して、第１軸線３１ｅを中心軸としてθＺ方向に沿って回転する。

【0095】

そして、第３被支持部２５は、第２平面２５ａと第３球面３３ｄ１とが接触した状態で、第３移動部材３３ｄに対して、第１軸線３１ｅを中心軸としてθＺ方向に沿うように移動する。さらに、被押圧部２６は、第３平面２６ａと第４球面３４ｄ１とが接触した状態で、第４移動部材３４ｄに対して、第１軸線３１ｅを中心軸としてθＺ方向に沿うように移動する。

【0096】

このような第１被支持部２３、第２被支持部２４、第３被支持部２５および被押圧部２６の動作により、微動テーブル２０は、初期状態から基部１０に対して、第１移動部材３１ｄを中心にθＺ方向に沿って回転する。

【0097】

また、微動テーブル２０は、基部１０に対して回転せずにＺ方向に移動可能、すなわち、Ｚ方向に沿って並進可能である。微動テーブル２０が初期状態から基部１０に対してＺ方向に沿って並進する場合、制御装置７０が出力する制御信号において、例えば、第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、および、第３駆動素子３３ｂの変形量それぞれは互いと同じであり、かつ、第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、および、第３駆動素子３３ｂの変形の向きそれぞれは互いと同じである。

【0098】

このような制御信号によって、第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、および、第３駆動素子３３ｂが変形することで、第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、および、第３移動部材３３ｄは、それぞれ、互いと等しい移動量で互いと異なる向きに移動する。

【0099】

このような第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、および、第３移動部材３３ｄの動作により、第１被支持部２３は、テーパ面２３ａと第１球面３１ｄ１とが接触した状態で、Ｚ方向に沿って並進する。第２被支持部２４は、第１平面２４ａと第２球面３２ｄ１とが接触した状態で、Ｚ方向に沿って並進する。第３被支持部２５は、第２平面２５ａと第３球面３３ｄ１とが接触した状態で、Ｚ方向に沿って並進する。

【0100】

このような第１被支持部２３、第２被支持部２４、および、第３被支持部２５の動作により、微動テーブル２０は、Ｚ方向に沿って並進する。また、この場合、上記のように、被押圧部２６の第３平面２６ａはＹ軸と直交しているため、微動テーブル２０がＺ方向に沿って並進する際、被押圧部２６の第３平面２６ａは第４軸線３４ｅに沿って変位しない。つまり、第４移動部材３４ｄの移動量がゼロでも、微動テーブル２０のＺ方向の並進は妨げられない。よって、制御信号において、第４駆動素子３４ｂの変形量は、ゼロである。

【0101】

このように、回転装置３０は、微動テーブル２０を、θＸ方向、θＹ方向およびθＺ方向に沿って回転させることができ、かつ、Ｚ方向に沿って並進させることができる。つまり、微動テーブル２０の自由度は４である。第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、第３駆動素子３３ｂ、および、第４駆動素子３４ｂの変形量および変形の向きそれぞれが調整されることで、微動テーブル２０の回転量および並進量が調整される。また、第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、第３駆動素子３３ｂ、および、第４駆動素子３４ｂの変形量および変形の向きそれぞれが調整されることで、回転装置３０は、上記と異なる方向（例えば、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸それぞれと交差する軸線を中心軸とする方向）に微動装置１を回転させることができる。

【0102】

以上、説明したように、本実施形態によれば、微動装置１は、微動テーブル２０と、基部１０に配置され、基部１０に対して微動テーブル２０を回転させる回転装置３０と、を備えている。回転装置３０は、微動テーブル２０の第１被支持部２３を支持する第１移動部材３１ｄを含み、第１軸線３１ｅに沿って第１移動部材３１ｄを移動させる第１駆動部３１と、微動テーブル２０において第１被支持部２３と平面視での位置が異なる第２被支持部２４を支持する第２移動部材３２ｄを含み、第１軸線３１ｅと平行な第２軸線３２ｅに沿って第２移動部材３２ｄを移動させる第２駆動部３２と、微動テーブル２０において第１被支持部２３および第２被支持部２４と平面視での位置が異なる第３被支持部２５を支持する第３移動部材３３ｄを含み、第１軸線３１ｅと平行な第３軸線３３ｅに沿って第３移動部材３３ｄを移動させる第３駆動部３３と、微動テーブル２０の側面を押圧することで、微動テーブル２０を平面視において回転させる第４駆動部３４と、を備えている。
これによれば、微動テーブル２０は、第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄおよび第３移動部材３３ｄによって平面視において互いに位置が異なる３点で支持される。また、第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄおよび第３移動部材３３ｄは、それぞれ、互いに平行な第１軸線３１ｅ、第２軸線３２ｅおよび第３軸線３３ｅに沿って移動する。よって、第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄおよび第３移動部材３３ｄの移動量および移動する向きが調整されることで、微動テーブル２０は、第１軸線３１ｅと平行な軸線に対して傾斜することができる。換言すれば、微動テーブル２０は、第１軸線３１ｅと直交し、かつ、互いに直交する２つの軸線それぞれを中心軸として回転することができる。
また、微動テーブル２０は、第４駆動部３４によって側面を押圧されることで、平面視において回転することができる。つまり、微動テーブル２０は、第１軸線３１ｅと平行な軸線を中心軸として回転することができる。よって、微動テーブル２０は、第１軸線３１ｅと平行な軸線を含み互いに直交する３つの軸線を中心軸として回転することができる。
このように、微動装置１は、簡便な構成で微動テーブル２０を基部１０に対して回転するように微動させることができる。

【0103】

また、本実施形態において、第１移動部材３１ｄは、第１被支持部２３を回転支持する。
これにより、微動装置１は、第１移動部材３１ｄを中心として微動テーブル２０を回転させることができる。また、第１移動部材３１ｄとは別に微動テーブル２０を回転支持する部材を微動装置１が備える場合と比べて、微動装置１の部品点数を低減し、微動装置１を簡便な構成にすることができる。

【0104】

また、本実施形態において、第１移動部材３１ｄは、第１球面３１ｄ１を有する。第１被支持部２３は、第１球面３１ｄ１と線接触するテーパ面２３ａを有する。
これにより、第１移動部材３１ｄは、簡便な形状で第１被支持部２３を回転支持することができる。

【0105】

また、本実施形態において、第２移動部材３２ｄは、第２被支持部２４を可動支持する。第３移動部材３３ｄは、第３被支持部２５を可動支持する。
これにより、第２移動部材３２ｄおよび第３移動部材３３ｄは、微動テーブル２０が回転するように第２被支持部２４および第３被支持部２５を支持することができる。

【0106】

また、本実施形態において、第２移動部材３２ｄは、第２球面３２ｄ１を有する。第２被支持部２４は、第２球面３２ｄ１と接触する面を有する。第３移動部材３３ｄは、第３球面３３ｄ１を有する。第３被支持部２５は、第３球面３３ｄ１と接触する面を有する。
これにより、第２移動部材３２ｄおよび第３移動部材３３ｄは、簡便な形状で、微動テーブル２０が回転するように、第２被支持部２４および第３被支持部２５を支持することができる。

【0107】

また、本実施形態において、微動装置１は、基部１０に向けて微動テーブル２０を移動させる第１マグネット５０を備える。
これにより、第１マグネット５０によって、第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、および、第３移動部材３３ｄと第１被支持部２３、第２被支持部２４、および、第３被支持部２５とがそれぞれ接触した状態を維持することができる。よって、回転装置３０は、微動テーブル２０を精度よく回転させることができる。

【0108】

また、本実施形態において、微動装置１は、第４駆動部３４が微動テーブル２０を押圧する方向と反対方向に微動テーブル２０を移動させる第２マグネット６０を備える。
これにより、微動テーブル２０は、第２マグネット６０によって、第４駆動部３４が微動テーブル２０を押圧する方向と反対方向に回転することができる。よって、第２マグネット６０によって第４移動部材３４ｄと微動テーブル２０との側面とが接触した状態を維持することができる。したがって、第４駆動部３４は、微動テーブル２０を精度よく回転させることができる。

【0109】

また、本実施形態において、第１軸線３１ｅと直交する直交平面と第１軸線３１ｅとの第１交点Ｐ１、直交平面と第２軸線３２ｅとの第２交点Ｐ２および直交平面と第３軸線３３ｅとの第３交点Ｐ３によって形成される三角形は、第１交点Ｐ１と第２交点Ｐ２とを結ぶ辺の長さと、第１交点Ｐ１と第３交点Ｐ３とを結ぶ辺の長さとが等しい二等辺三角形である。
これにより、第１交点Ｐ１、第２交点Ｐ２、および、第３交点Ｐ３によって形成される三角形が二等辺三角形でない場合と比べて、微動テーブル２０の回転量および回転の向きに対応する第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、および、第３移動部材３３ｄの移動量および移動の向き、ひいては、第１駆動素子３１ｂ、第２駆動素子３２ｂ、および、第３駆動素子３３ｂの変形量および変形の向きを簡便に算出することができる。

【0110】

また、本実施形態において、微動テーブル２０は、平面視において、第１交点Ｐ１を通り、かつ、第２交点Ｐ２と第３交点Ｐ３とを結ぶ底辺と直交する直線Ｌを対称軸とする線対称形状である。
これにより、微動テーブル２０が回転した場合においても、微動テーブル２０の重心Ｇが平面視において対称軸の近傍に位置する。よって、微動テーブル２０の姿勢の安定化を図ることができる。

【0111】

なお、本実施形態において、第１被支持部２３のテーパ面２３ａを、平面および曲面に代えてもよい。この場合、微動装置１は、第１移動部材３１ｄに代えて、第１被支持部２３、第２被支持部２４、および、第３被支持部２５と異なる位置で微動テーブル２０を回転支持する部材をさらに備えてもよい。

【0112】

また、第２被支持部２４の第１平面２４ａ、第３被支持部２５の第２平面２５ａおよび被押圧部２６の第３平面２６ａを、曲面に代えてもよい。さらに、第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、第３移動部材３３ｄ、および、第４移動部材３４ｄの第１球面３１ｄ１、第２球面３２ｄ１、第３球面３３ｄ１、および、第４球面３４ｄ１を、錐面に代えてもよい。

【0113】

また、第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、第３移動部材３３ｄ、および、第４移動部材３４ｄは、それぞれ、第１被支持部２３、第２被支持部２４、第３被支持部２５および被押圧部２６と面接触する形状でもよい。この場合、第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、第３移動部材３３ｄ、および、第４移動部材３４ｄは、円柱状でもよく、端面で第１被支持部２３、第２被支持部２４、第３被支持部２５および被押圧部２６と面接触してもよい。

【0114】

また、第１交点Ｐ１、第２交点Ｐ２、および、第３交点Ｐ３によって形成される三角形が二等辺三角形以外の三角形でもよい。微動テーブル２０の形状は、平面視Ｔ字状以外の平面視多角形状でもよいし、線対称形状以外の形状でもよい。

【0115】

また、微動装置１は、第１マグネット５０を備えなくてもよい。この場合、第１移動部材３１ｄ、第２移動部材３２ｄ、および、第３移動部材３３ｄは、それぞれ微動テーブル２０の重みによって第１被支持部２３、第２被支持部２４、および、第３被支持部２５を支持してもよい。

【0116】

また、第２マグネット６０および被押圧部２６は、第１板部２１の＋Ｙ側の面に配置されてもよい。この場合、被押圧部２６は、例えば永久磁石であり、第２マグネット６０と反発しあうように配置される。

【0117】

また、微動装置１は、第２マグネット６０を備えなくてもよい。この場合、微動装置１は、第４駆動部３４が微動テーブル２０を押圧する方向と反対方向に微動テーブル２０の側面を押圧する押圧部材を備えてもよい。

【0118】

なお、被押圧部２６が第１板部２１に配置されずに、第４移動部材３４ｄが微動テーブル２０の側面を直接押圧してもよい。この場合、第４移動部材３４ｄが微動テーブル２０と接触する面は、円柱面でもよい。

【符号の説明】

【0119】

１ 微動装置
１０ 基部
２０ 微動テーブル
２３ 第１被支持部
２３ａ テーパ面
２４ 第２被支持部
２４ａ 第１平面
２５ 第３被支持部
２５ａ 第２平面
３０ 回転装置
３１ 第１駆動部
３１ｄ 第１移動部材
３１ｄ１ 第１球面
３１ｅ 第１軸線
３２ 第２駆動部
３２ｄ 第２移動部材
３２ｄ１ 第２球面
３２ｅ 第２軸線
３３ 第３駆動部
３３ｄ 第３移動部材
３３ｄ１ 第３球面
３３ｅ 第３軸線
３４ 第４駆動部
３４ｄ 第４移動部材
３４ｄ１ 第４球面
３４ｅ 第４軸線
５０ 第１マグネット
６０ 第２マグネット
Ｇ 重心
Ｌ 直線
Ｐ１ 第１交点
Ｐ２ 第２交点
Ｐ３ 第３交点

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】