特開 2023-150365 印刷装置、マスク印刷方法および半田基板製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023150365

(43)【公開日】2023-10-16

(54)【発明の名称】印刷装置、マスク印刷方法および半田基板製造方法

(51)【国際特許分類】

   B41F 15/08 20060101AFI20231005BHJP

   H05K 3/12 20060101ALI20231005BHJP

【ＦＩ】

B41F15/08 301A

B41F15/08 303E

H05K3/12 610N

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022059451

(22)【出願日】2022-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】萬谷 正幸

(72)【発明者】

【氏名】田中 哲矢

(72)【発明者】

【氏名】妹尾 亮

(72)【発明者】

【氏名】豊田 奨

【テーマコード（参考）】

2C035

5E343

【Ｆターム（参考）】

2C035AA06

2C035FA22

2C035FA24

2C035FB26

2C035FD01

2C035FE03

5E343AA02

5E343BB72

5E343DD03

5E343FF02

5E343GG06

(57)【要約】

【課題】マスクのテンションの変化により適した版離れ制御を実行し、半田ペーストの印刷品質の低下を抑制できる。
【解決手段】印刷装置は、所定の印刷パターンが設けられ、基板と接触可能な第１の領域と、第１の領域の両側に位置する第２の領域とを有するマスクを用いて、基板に半田ペーストを印刷する印刷装置であって、基板を保持し、保持された基板を昇降させる保持部と、マスクのテンションを計測する計測部と、マスクの第２の領域を吸引可能な吸引部と、計測部により計測されたマスクのテンションに基づいて、保持部により実行される基板とマスクとの版離れにおいて吸引部による第２の領域の吸引の要否を判定する制御部と、を備え、制御部は、第２の領域の吸引が必要であると判定した場合、吸引部に第２の領域を吸引させる。
【選択図】図２３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の印刷パターンが設けられ、基板と接触可能な第１の領域と、前記第１の領域の両側に位置する第２の領域とを有するマスクを用いて、前記基板に半田ペーストを印刷する印刷装置であって、
前記基板を保持し、保持された前記基板を昇降させる保持部と、
前記マスクのテンションを計測する計測部と、
前記マスクの前記第２の領域を吸引可能な吸引部と、
前記計測部により計測された前記マスクの前記テンションに基づいて、前記保持部により実行される前記基板と前記マスクとの版離れにおいて前記吸引部による前記第２の領域の吸引の要否を判定する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第２の領域の吸引が必要であると判定した場合、前記吸引部に前記第２の領域を吸引させる、
印刷装置。

【請求項2】

前記制御部は、前記第２の領域の吸引が必要であると判定した場合、前記吸引部により前記第２の領域を吸引したまま前記保持部を所定高さだけ下降させた後、前記吸引部による前記第２の領域の吸引を停止するとともに、前記保持部を下降させて前記版離れを行う、
請求項１に記載の印刷装置。

【請求項3】

前記制御部は、計測された前記マスクの前記テンションに基づいて、前記マスクの前記テンションが第１の閾値以上であると判定した場合、前記吸引部による前記第２の領域の吸引を省略する、
請求項１に記載の印刷装置。

【請求項4】

前記制御部は、計測された前記マスクの前記テンションに基づいて、前記マスクの前記テンションが第１の閾値未満、かつ、前記第１の閾値よりも小さい第２の閾値以上であると判定した場合、前記吸引部による前記第２の領域の吸引を実行させる、
請求項１に記載の印刷装置。

【請求項5】

前記制御部は、前記マスクの前記テンションが前記第２の閾値未満であると判定した場合、前記版離れを中止し、警告情報を生成して出力する、
請求項４に記載の印刷装置。

【請求項6】

前記保持部は、前記基板の両側面に当接して前記基板を保持する一対の当接部を有し、
前記吸引部は、前記保持部に設けられる、
請求項１に記載の印刷装置。

【請求項7】

所定の印刷パターンが設けられ、基板と接触可能な第１の領域と、前記第１の領域の両側に位置する第２の領域とを有するマスクを用いて、前記基板に半田ペーストを印刷する印刷装置が行うマスク印刷方法であって、
前記基板を保持し、
前記マスクのテンションを計測し、
計測された前記マスクの前記テンションに基づいて、前記第２の領域の吸引の要否を判定し、
前記第２の領域の吸引が必要であると判定した場合、前記第２の領域を吸引したまま前記基板を下降させて版離れを行う、
マスク印刷方法。

【請求項8】

所定の印刷パターンが設けられ、基板と接触可能な第１の領域と、前記第１の領域の両側に位置する第２の領域とを有するマスクを用いて、前記基板に半田ペーストを印刷する印刷装置が行う半田基板製造方法であって、
前記基板を保持し、
前記マスクのテンションを計測し、
計測された前記マスクの前記テンションに基づいて、前記第２の領域の吸引の要否を判定し、
前記第２の領域の吸引が必要であると判定した場合、前記第２の領域を吸引したまま前記基板を下降させて版離れを行う、
半田基板製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、印刷装置、マスク印刷方法および半田基板製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、マスクの上面にペースト状の半田を供給後、マスクの上面をスキージで掻くことにより、マスクの下面に重装したプリント基板に半田を印刷する印刷装置が開示されている。印刷装置は、マスクと、スキージと、マスクに対してスキージを離れる方向および接近する方向に変位させるスキージモータと、マスクに対してプリント基板を離れる方向および接近する方向に変位させる昇降部を有する基板支持装置と、スキージをマスクに接触させた状態から下降させ、スキージモータの電流値が所定の設定値になった時の、スキージの押し下げ量を検出する検出部と、検出部の検出する押し下げ量を基準値と比較して、押し下げ量の変化量を算出する算出部と、算出部の算出する押し下げ量の変化量より、テンションの変化量を特定する。印刷装置は、特定されたテンションの変化量に基づいて、版離れ制御パターンを変更し、変更後の版離れ制御パターンに基づく版離れ動作を実行する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４－３３６４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

半田が印刷されたプリント基板の製造において、印刷装置は、版離れ動作による半田の印刷位置がずれたり、印刷された半田の形状が崩れたりする印刷品質の劣化を抑制するために、マスクからプリント基板を均一に版離れさせることが望ましい。しかし、印刷装置は、マスクのテンションの変化量に基づいて、版離れ時のプリント基板の下降量と下降動作時間（つまり、版離れ時間）とを変更し、版離れ動作を実行する。このような版離れ動作が実行された場合、プリント基板は、まず、プリント基板の周縁部から版離れが始まり、その後、プリント基板の周縁部から中心部に向かって版離れが完了する。つまり、印刷装置は、プリント基板の周縁部と中心部とでマスクから離れる時刻に変化が生じることで、印刷された半田の形状が崩れ、印刷品質が劣化する可能性があった。

【0005】

本開示は、上述した従来の状況に鑑みて案出され、マスクのテンションの変化により適した版離れ制御を実行し、半田ペーストの印刷品質の低下を抑制する印刷装置、マスク印刷方法および半田基板製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示は、所定の印刷パターンが設けられ、基板と接触可能な第１の領域と、前記第１の領域の両側に位置する第２の領域とを有するマスクを用いて、前記基板に半田ペーストを印刷する印刷装置であって、前記基板を保持し、保持された前記基板を昇降させる保持部と、前記マスクのテンションを計測する計測部と、前記マスクの前記第２の領域を吸引可能な吸引部と、前記計測部により計測された前記マスクの前記テンションに基づいて、前記保持部により実行される前記基板と前記マスクとの版離れにおいて前記吸引部による前記第２の領域の吸引の要否を判定する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第２の領域の吸引が必要であると判定した場合、前記吸引部に前記第２の領域を吸引させる、印刷装置を提供する。

【0007】

また、本開示は、所定の印刷パターンが設けられ、基板と接触可能な第１の領域と、前記第１の領域の両側に位置する第２の領域とを有するマスクを用いて、前記基板に半田ペーストを印刷する印刷装置が行う印刷方法であって、前記基板を保持し、前記マスクのテンションを計測し、計測された前記マスクの前記テンションに基づいて、前記第２の領域の吸引の要否を判定し、前記第２の領域の吸引が必要であると判定した場合、前記第２の領域を吸引したまま前記基板を下降させて版離れを行う、マスク印刷方法を提供する。

【0008】

また、本開示は、所定の印刷パターンが設けられ、基板と接触可能な第１の領域と、前記第１の領域の両側に位置する第２の領域とを有するマスクを用いて、前記基板に半田ペーストを印刷する印刷装置が行う半田基板製造方法であって、前記基板を保持し、前記マスクのテンションを計測し、計測された前記マスクの前記テンションに基づいて、前記第２の領域の吸引の要否を判定し、前記第２の領域の吸引が必要であると判定した場合、前記第２の領域を吸引したまま前記基板を下降させて版離れを行う、半田基板製造方法を提供する。

【発明の効果】

【0009】

本開示によれば、マスクのテンションの変化により適した版離れ制御を実行し、半田ペーストの印刷品質の低下を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施の形態１に係る印刷装置の全体斜視図

【図2】実施の形態１に係る印刷装置の部分透視斜視図

【図3】実施の形態１に係る印刷装置の透視側面図

【図4】印刷部の部分断面側面図

【図5】印刷ヘッドの一例を説明する図

【図6】印刷部の部分平面図

【図7】印刷装置が備える印刷部の部分平面図

【図8】マスクの一例を示す平面図

【図9】マスク保持部によるマスクの保持状態を示す下面図

【図10】マスクガイドによりガイドされるマスクの様子を示す正面図

【図11】実施の形態１における印刷部の部分平面図

【図12】実施の形態１における印刷部の平面図

【図13】テンション計測装置の一例を示す図

【図14】実施の形態１に係る印刷装置の制御系統を示すブロック図

【図15】実施の形態１に係る印刷装置の版離れ動作手順例を説明するフローチャート

【図16】印刷装置の収納動作例を説明する図

【図17】印刷装置の収納動作例を説明する図

【図18】印刷装置の引き出し動作例を説明する図

【図19】印刷装置の引き出し動作例を説明する図

【図20】マスクのテンション計測例を説明する図

【図21】テンション計測装置の一例を説明する図

【図22】版離れモード（通常モード）を説明する図

【図23】版離れモード（マスク吸着版離れモード）を説明する図

【図24】版離れモードごとのテーブル昇降機構の制御例を比較する図

【図25】実施の形態２に係る印刷装置のマスク機種変更時の動作手順例を説明する図

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、適宜図面を参照しながら、本開示に係る印刷装置、マスク印刷方法および半田基板製造方法の構成および作用を具体的に開示した実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、添付図面および以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらにより特許請求の範囲に記載の主題を限定することは意図されていない。

【0012】

（実施の形態１）
まず、図１を参照して、実施の形態１における印刷装置１１について説明する。図１は、実施の形態１に係る印刷装置１１の全体斜視図である。

【0013】

本実施の形態１に係る印刷装置１１は、印刷対象物としての基板ＫＢ（図２参照）の上面に、半田ペースト等の半田ペーストＰｓｔ（図２参照）を印刷する印刷部１３と、この印刷部１３に供給されるマスク２７（図２参照）を格納するマスクチェンジャ１５を含む装置である。マスク２７は、基板ＫＢに半田ペーストＰｓｔを印刷するための開口パターンが設けられたステンシルＳＵＳと、テンションを与えながらステンシルＳＵＳを保持するマスク枠２７１（図８参照）を有する。

【0014】

印刷部１３は、印刷部カバー１７によって覆われた基台１９（図２参照）の上に基板搬送保持部２１を有し、所定の印刷位置に搬送された基板ＫＢに半田ペーストＰｓｔを印刷する。

【0015】

マスクチェンジャ１５は、印刷部１３の後部に隣接して設けられる。マスクチェンジャ１５の筐体２３はマガジン２５を収納可能な内部空間ＳＰ（図２参照）を有しており、筐体２３の後面側の下部には、内部空間ＳＰに対してマスク２７を収納したマガジン２５を出し入れ可能な開口部２９が設けられる。マスクチェンジャ１５は、印刷部１３にマスク２７を供給するためのマスク通過開口７１（図２参照）を有し、このマスク通過開口７１を通じて印刷部１３の内部と空間的に繋がる。マスクチェンジャ１５の筐体２３は、警報音または警報画面を出力可能なタッチパネル３１、あるいは他の照明装置（例えば、ＬＥＤ等）を後面側の上部に有する。

【0016】

次に、図２～図４を参照して、印刷部１３およびマスクチェンジャ１５の概要について説明する。図２は、実施の形態１に係る印刷装置１１の部分透視斜視図である。図３は、実施の形態１に係る印刷装置１１の透視側面図である。図４は、印刷部１３の部分断面側面図である。

【0017】

基板搬送保持部２１の上方には、マスクガイド３３が設けられている。マスクガイド３３の断面はＬ字状になっており、底面（水平部９５）でマスク２７を下支えしつつ、側面（垂直部９７）にてマスク２７をマスク保持部３５のマスク保持位置まで案内する。マスクガイド３３の上方には、印刷ヘッド３７、および気体吹付け部４３がそれぞれ設けられている。また、マスク保持位置の上方には、左右の２つのシリンダ４５のそれぞれと、前後左右の４つのシリンダ４７のそれぞれと、が設けられている。マスクガイド３３の下方には、カメラ移動機構４９およびカメラ５１と、マスク下面クリーナ５３が設けられている。

【0018】

基板搬送保持部２１は、中間コンベア８３に設けられる。基板搬送保持部２１は、テーブル昇降機構６７によりＺ軸方向に昇降され、中間コンベア８３上に搬入された基板ＫＢを、クランパ８７の間に挟んで保持する。これにより、基板搬送保持部２１は、半田ペーストＰｓｔの印刷時の基板ＫＢの位置ずれを抑制できる。

【0019】

また、基板搬送保持部２１は、基板ＫＢを保持した状態でマスク２７のステンシルＳＵＳの下面を吸着可能な吸着部２０を備える。吸着部２０は、印刷装置１１に設けられる空気圧回路（不図示）に配管接続される。空気圧回路は、空圧発生源が接続される。空圧発生源は、真空ポンプと、エア供給源とを含む。吸着部２０は、真空バルブを介して空圧発生源とブローバルブに接続される。真空バルブは、後述する吸着制御部１７３により入力ポートと出力ポートとを切り替えることにより、吸着部２０の真空圧とブロー圧とを切り替え可能にする。

【0020】

印刷ヘッド３７は、２つのスキージ１２１と、マスク移動部４０と、テンション計測装置１８３を備える。印刷ヘッド３７は、制御部１５９Ａ（図１４参照）によって駆動される。

【0021】

気体吹付け部４３は、半田ペーストＰｓｔで汚れる前（すなわち使用前、あるいはマスク２７に最初の半田ペーストＰｓｔが供給される前）のステンシルＳＵＳの上面に付着した埃などを吹き飛ばす使用前マスククリーナとして機能する。気体吹付け部４３は、マスク２７の移動経路の上方をマスク２７の移動方向（Ｘ軸方向）に対して交差する横方向に延びた管状部５５と、管状部５５の一端側に繋がるバルブ部５７と、を備えている。管状部５５は、２つの後述する前後方向ガイド部の後端側に、２つの前後方向ガイド部のそれぞれを跨ぐようにして設けられている。

【0022】

マスク下面クリーナ５３は、マスク下面クリーナガイド（不図示）によって、マスクガイド３３の下方の領域を、Ｙ軸方向に移動自在に設けられている。マスク下面クリーナ５３は、マスク下面クリーナ５３に設けられた移動ベース連結部（不図示）によってカメラ移動機構４９の移動ベース５９との間で連結され、移動ベース５９と一体となってＹ軸方向に移動する。

【0023】

マスク下面クリーナ５３は、移動ベース５９によってＹ軸方向に移動されないときは、印刷位置の前方に位置するクリーナ待機位置で待機する（図２参照）。マスク下面クリーナ５３は、マスク下面クリーナガイドに設けられた下面クリーナ昇降部（不図示）によって、マスクガイド３３に対して（つまり、印刷位置に搬送されたマスク２７に対して）昇降自在となっている。

【0024】

マスク移動部４０は、マスクチェンジャ１５が備える後述のマガジン２５と印刷部１３内の印刷位置との間でマスク２７を移動（搬送）可能な機能を有する。詳細には、マスク移動部４０は、マガジン２５からマスク２７を引き出して印刷位置まで移動させ、印刷部１３内の印刷位置からマスク２７をマガジン２５に戻す機能を有する。マスク移動部４０は、印刷ヘッド３７に接続されており、印刷ヘッド３７の動作とともにＹ軸方向に移動可能である。また、マスク移動部４０は、シリンダ１１０とロッド１１５を有している。マスク２７を移動させる際は、シリンダ１１０を用いてロッド１１５をＺ軸方向に移動させ、マスク枠２７１にロッド１１５を当接させる。

【0025】

マスクチェンジャ１５は、印刷部１３の後部に隣接して設けられており、筐体２３、マガジン２５、昇降機６５、マスク通過開口７１および昇降体７３を備える。昇降機６５は、水平面内に拡がった形状を有する昇降体７３の一端側に設けられたナット部７５と、ナット部７５に螺合して上下方向に延びたボール螺子７７と、ボール螺子７７を回転駆動する昇降体昇降モータ７９と、を備えている。

【0026】

昇降機６５は、昇降体昇降モータ７９が作動によりボール螺子７７が回転し、ボール螺子７７に設けられたナット部７５を介して昇降体７３が昇降する。昇降機６５は、マガジン２５を支持する昇降体７３を作業空間ＳＰ１と供給空間ＳＰ２との間で昇降させることにより、筐体２３の開口部２９から搬入されたマガジン２５を、筐体２３の開口部２９とその開口部２９から離れた位置である作業空間ＳＰ１との間で移動させる収納体移動機構として機能する。

【0027】

基板搬送保持部２１は、搬入コンベア８１、中間コンベア８３、搬出コンベア８５、クランパ８７および多段テーブル８９のそれぞれを備える。搬入コンベア８１、中間コンベア８３および搬出コンベア８５は、この順でＸ軸方向（左右方向とする）に並んでおり、搬入コンベア８１、中間コンベア８３、搬出コンベア８５の順に基板ＫＢを受け渡して搬送する。基板搬送保持部２１は、中間コンベア８３に搬入された基板ＫＢをＺ軸方向に昇降させて、基板ＫＢへの半田ペーストＰｓｔの印刷と、マスク２７のステンシルＳＵＳの下面と基板ＫＢとの間の版離れとを実行可能にする。

【0028】

クランパ８７は、基板ＫＢの大きさ、形状等に対応して配置された複数のサポートピン２１９を有する。クランパ８７は、中間コンベア８３とともにユニットを構成しており、中間コンベア８３が搬入コンベア８１から受け取った基板ＫＢを、複数のサポートピン２１９のそれぞれにより中間コンベア８３から持ち上げた状態に支持するとともに、その基板ＫＢの両側をクランプして保持する。多段テーブル８９は、基台１９上に設けられており、中間コンベア８３とクランパ８７とにより構成されるユニットの全体を、基台１９に対してＸＹ平面上と上下方向（Ｚ軸方向）とに移動させる。

【0029】

次に、図５を参照して、実施の形態１における印刷ヘッド３７について説明する。図５は、印刷ヘッド３７の一例を説明する図である。なお、図５に示す印刷部１３は、印刷部カバー１７の図示を省略している。

【0030】

印刷ヘッド３７は、制御部１５９Ａ（図１３参照）によって駆動を制御される。制御部１５９Ａは、２つのスキージ１２１、マスク移動部４０、およびテンション計測装置１８３の制御を実行する。

【0031】

印刷ヘッド３７は、Ｘ軸方向に延びてＹ軸方向に移動自在に設けられたスキージベース１１９と、スキージベース１１９の下方に設けられた２つのスキージ１２１と、スキージベース１１９の上面側に設けられたスキージ昇降駆動部１２３と、を備えている。２つのスキージ１２１のそれぞれは、Ｙ軸方向に対向して配置される。スキージ昇降駆動部１２３は、２つのスキージ１２１のそれぞれをスキージベース１１９の下方で独立に昇降させる。

【0032】

印刷部１３は、図７に示すように２つのシリンダ４５を備える。シリンダ４５は昇降ロッド１１７を有しており、昇降ロッド１１７をＺ軸方向に動かすことができる。２つのシリンダ４５のそれぞれが備える昇降ロッド１１７の下端はマスク枠２７１の上面に当接可能であり、印刷位置に配置されたマスク２７を固定する。

【0033】

印刷部１３は、４つのシリンダ４７をさらに備える。シリンダ４７は昇降ロッドを有しており、昇降ロッドをＺ軸方向に動かすことができる。シリンダ４７が備えるロッド１１５の下端は、マスク枠２７１の上面に当接可能であり、印刷位置に配置されたマスク２７をシリンダ４５の昇降ロッド１１７と共に固定する。シリンダ４７は、マスク枠２７１の四隅を下方に押圧する。このように、マスク２７は、シリンダ４５、シリンダ４７のそれぞれによってマスクガイド３３に押圧され、印刷位置に固定される。

【0034】

マスク移動部４０は、シリンダ１１０を用いてロッド１１５を駆動させ、マスク枠２７１の側面に沿ってロッド１１５を下降させた後、印刷ヘッド３７の動作と共にＹ軸方向に移動することでマスクチェンジャ１５へのマスク２７の収納動作、あるいはマスクチェンジャ１５からのマスク２７の引き出し動作を実行する。

【0035】

印刷ヘッド３７は、Ｘ軸方向に延びてＹ軸方向に移動自在に設けられたスキージベース１１９と、スキージベース１１９の下方に設けられた２つのスキージ１２１と、スキージベース１１９の上面側に設けられたスキージ昇降駆動部１２３と、を備えている。２つのスキージ１２１のそれぞれは、Ｙ軸方向に対向して配置されている。スキージ昇降駆動部１２３は、２つのスキージ１２１のそれぞれをスキージベース１１９の下方に個別に昇降させる。

【0036】

印刷ヘッド３７は、スクレイパユニット３９を有する。スクレイパユニット３９は、マスク２７の半田ペーストＰｓｔを回収するペースト回収部として機能する。スクレイパユニット３９は、Ｘ軸方向に延びたスクレイパベース１３３と、スクレイパベース１３３に設けられたスクレイパ昇降シリンダ１３５と、スクレイパ昇降シリンダ１３５によって昇降されるスクレイパ１３７と、を備えている。スクレイパベース１３３は、スキージベース１１９と同様に、２つのスキージベースガイド１２５のそれぞれによって左右の両端部が支持される。スクレイパベース１３３は、スキージベース１１９に連結されて、スキージベース１１９と一体となってＹ軸方向に移動する。スクレイパユニット３９は、スクレイパ昇降シリンダ１３５を駆動させてスクレイパ１３７を昇降する。

【0037】

印刷ヘッド３７は、スクレイパベース１３３に連結されたアーム部１３９と、アーム部１３９に連結されたテンション計測装置保持部１４１と、テンション計測装置１８３と、を備える。

【0038】

アーム部１３９は、マスクチェンジャ１５側に設けられた２つのシリンダ４７のそれぞれと、テンション計測装置保持部１４１とが連結される。テンション計測装置保持部１４１は、アーム部１３９に連結され、テンション計測装置１８３を保持する。

【0039】

テンション計測装置保持部１４１は、テンション計測装置保持部１４１の下部に開口を有し、この開口を通じて、測定子１８７がステンシルＳＵＳの上面（Ｚ方向側の面）に載置可能な構成を有する。テンション計測装置保持部１４１は、印刷ヘッド３７と一体となってＺ軸方向に昇降し、測定子１８７がステンシルＳＵＳの上面から所定距離だけ離間した待機高さ位置と、測定子１８７がステンシルＳＵＳの上面に載置される載置高さ位置との間で昇降される。テンション計測装置保持部１４１は、制御部１５９Ａにより制御され、測定子１８７がステンシルＳＵＳの上面に載置された後にマスク２７のテンションを計測し、計測結果を制御部１５９Ａに出力する。

【0040】

図６は、印刷部１３の部分平面図である。基板搬送保持部２１（図３，図４参照）の上方にはマスクガイド３３が設けられている。マスクガイド３３は、Ｙ軸方向（前後方向とする）に延びてＸ軸方向に対向するように平行に配置された一対のガイド部９１と、一対のガイド部９１の前方端部にＸ軸方向に延びて設けられた左右方向ガイド部９３と、を有している。一対のガイド部９１のそれぞれは、断面がＬ字状となるように形成され、水平部９５と水平部９５の外側に形成された垂直部９７とを有する。一方、左右方向ガイド部９３は、一対のガイド部９１のそれぞれの水平部９５と連接されて構成される。

【0041】

図７は、印刷装置１１が備える印刷部の部分平面図である。マスクガイド３３は、印刷位置からマスクチェンジャ１５までのマスク２７の移動をガイドする。マスク２７は平面視において矩形形状を有しており、その左右のＹ軸辺のそれぞれがマスクガイド３３の一対のガイド部９１によってＹ軸方向に案内される。マスク２７は、シリンダ４５およびシリンダ４７によって印刷位置に固定される。

【0042】

図８は、マスク２７の一例を示す平面図である。マスク２７は、略矩形状の金属板により構成される。マスク２７は、基板ＫＢの表面に形成された電極パターン（不図示）に対応するパターン開口９９が形成されたステンシルＳＵＳを備える。マスク２７は、外周がマスク枠２７１によって支持される。マスク枠２７１は、Ｙ方向の前側が前枠体１０３、Ｙ方向の後側が後枠体１０５、Ｘ方向の右側が右枠体１０７、Ｘ方向の左側が左枠体１０９により構成され、ステンシルＳＵＳとマスク枠２７１との間を接続部材１００により接続する。

【0043】

マスクガイド３３が有する一対のガイド部９１のそれぞれの後端側は、水平面（ＸＹ平面）上においてマスクチェンジャ１５の近傍位置（つまり、マスク２７の引き出し、および収納が行われるマスク通過開口７１付近）まで延びている。マスクガイド３３は、マスク２７の印刷位置とマスクチェンジャ１５のマガジン２５との間で搬送されるマスク２７の搬送経路となる。

【0044】

図９は、印刷位置におけるマスク２７を示す下面図である。気体吹付け部４３は、下面側にＸ軸方向に並んで設けられた複数の気体噴出孔１１３のそれぞれが設けられている。

【0045】

図１０は、マスクガイド３３によりガイドされるマスク２７の様子を示す正面図である。２つのシリンダ４５のそれぞれと、４つのシリンダ４７のそれぞれとは、マスクガイド３３の左右のガイド部９１のそれぞれが有する垂直部９７に固定して設けられる。

【0046】

左右の２つのシリンダ４５のそれぞれは、マスク保持部３５のＹ軸方向に延びる左右の２つの直線部分のそれぞれの中間部の上方に設けられている。４つのシリンダ４７のそれぞれは、マスク保持部３５の四隅もしくはその近傍の上方に設けられている。

【0047】

図１１は、実施の形態１における印刷部１３の部分側面図である。マスク２７は、シリンダ４５の昇降ロッド１１７およびシリンダ４７のロッド１１５によりマスク枠２７１が押さえられることによって、印刷位置に固定される。

【0048】

図１２は、実施の形態１における印刷部１３の平面図である。スキージベース１１９は、Ｙ軸方向に延びた形状を有している。

【0049】

スキージベース１１９は、Ｙ軸方向に延びてＸ軸方向に対向するように平行に配置された２つのスキージベースガイド１２５のそれぞれによって左右の両端部が支持されている。２つのスキージベースガイド１２５のうち一方のスキージベースガイド１２５の外側（Ｘ軸方向の外側）には、Ｙ軸方向に延びたスキージベース移動ボール螺子１２７が設けられている。

【0050】

スキージベース移動ボール螺子１２７は、スキージベース１１９に設けられたスキージベースナット１２９に螺合している。スキージベース移動ボール螺子１２７は、スキージベース駆動モータ１３１と連結され、スキージベース駆動モータ１３１の駆動によってスキージベース移動ボール螺子１２７が回転すると、スキージベースナット１２９を介してスキージベース１１９がＹ軸方向に移動する。

【0051】

マスク上面クリーナ４１は、スクレイパユニット３９によって半田ペーストＰｓｔが回収された後のステンシルＳＵＳの上面をクリーニングする機能を有するものであり、図１２に示すように、スキージベース１１９に取り付けられている。これにより、マスク上面クリーナ４１は、スキージベース１１９と一体となって、印刷ヘッド３７とともに印刷位置に搬送されたマスク２７上をＹ軸方向に移動してクリーニングする。なお、図１１では、マスク上面クリーナ４１の図示を省略している。

【0052】

気体吹付け部４３は、マスク２７の移動経路の上方をマスク２７の移動方向（Ｘ軸方向）に対して交差する横方向に延びた管状部５５と、管状部５５の一端側に繋がるバルブ部５７と、を備えている。管状部５５は、２つのガイド部９１のそれぞれの後端側に、２つのガイド部９１のそれぞれを跨ぐようにして設けられている。

【0053】

管状部５５は、バルブ部５７を介して高圧気体ＧＳを供給して複数の気体噴出孔１１３（図１２参照）のそれぞれから下方に位置するステンシルＳＵＳの上面に向かって高圧気体ＧＳを噴射する。なお、マスク上面クリーナ４１は、ステンシルＳＵＳの上面に気体を吹き付けるもの（つまり、ブローするもの）に限定されず、例えばステンシルＳＵＳの上面を吸引するもの、ブラッシングするもの、またはステンシルＳＵＳの上面を拭き取るもの等であってもよい。

【0054】

カメラ移動機構４９は、移動ベース５９にカメラ５１のカメラ筐体１５３が取り付けられている。カメラ筐体１５３は、略六面体形状で形成される。カメラ筐体１５３は、下面に下方撮像カメラ１５５、上面に上方撮像カメラ１５７のそれぞれの鏡筒が光軸をＺ軸に沿う方向で取り付けられている。

【0055】

カメラ移動機構４９は、移動ベース５９のＹ軸方向への移動によって吸着部６３をＹ軸方向に移動させることができる。吸着部６３は、さらにＹＺアクチュエータ６１によって、移動ベース５９に対してＹ軸に沿う方向とＺ軸に沿う方向とに移動することができる。このＹＺアクチュエータ６１の移動機構は、ラックとピニオンとにより構成される直線駆動機構、リニアモータ機構等であってよい。

【0056】

吸着部６３は、カメラ移動機構４９により、マスク通過開口７１の直前まで移動される。吸着部６３は、マスク通過開口７１の直前まで移動された状態で、ＹＺアクチュエータ６１により供給対象となるマスク２７の格納高さ（Ｚ軸方向）まで昇降された後、ＹＺアクチュエータ６１により後方に移動されて、マスクチェンジャ１５の内部に進入し、マガジン２５内に格納されたマスク２７の枠１０１（具体的には、前枠体１０３）の位置まで移動される。

【0057】

また、吸着部６３は、このマスク対向位置からさらにＹ軸方向に移動される。これにより、吸着部６３は、枠１０１に対する吸着位置の微調整が可能となる。吸着位置に微調整された吸着部６３は、マスクチェンジャ１５のマガジン２５に格納されたマスク２７が備える枠１０１（具体的には、前枠体１０３）の側面を吸着して、マガジン２５の内部からマスク通過開口７１を通じて、印刷部１３内へマスク２７を引き出すことができる。

【0058】

マスク２７の引き出し動作および収納動作は、カメラ移動機構４９と、印刷ヘッド３７と、により実行される。カメラ移動機構４９は、マガジン２５内から印刷部１３内の印刷位置の途中までマスク２７を引き出す。印刷ヘッド３７は、印刷部１３内の途中まで引き出された状態のマスク２７を、印刷処理が行われる印刷位置まで搬送する。

【0059】

吸着部６３は、例えば印刷装置１１に設けられる空気圧回路（不図示）に配管接続される。空気圧回路は、空圧発生源が接続される。空圧発生源は、真空ポンプと、エア供給源とを含む。吸着部６３は、真空バルブを介して空圧発生源とブローバルブに接続される。真空バルブは、後述する制御部１５９Ａにより入力ポートと出力ポートとを切り替えることにより、吸着部６３の真空圧とブロー圧とを切り替え可能にする。

【0060】

マスクチェンジャ１５およびカメラ移動機構４９は、マガジン２５に収納されたマスク２７をマガジン２５から引き出して印刷位置まで搬送する。

【0061】

ここで、図１３を参照して、テンション計測装置１８３について説明する。図１３は、テンション計測装置１８３の一例を説明する図である。アーム部１３９およびテンション計測装置保持部１４１の斜視図である。テンション計測装置１８３は、アーム部１３９に設けられたテンション計測装置保持部１４１により保持される。アーム部１３９は印刷ヘッド３７に設けられおり、テンション計測装置１８３は印刷ヘッド３７と一体的に駆動される。

【0062】

テンション計測装置１８３は、マスク２７のテンションを計測する。テンション計測装置１８３は、印刷ヘッド３７におけるアーム部１３９と、テンション計測装置保持部１４１とが連結され、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向のそれぞれに印刷ヘッド３７と一体的に移動される。テンション計測装置１８３は、マスク２７の入れ替え時、あるいは基板ＫＢが所定枚数印刷されるごとにマスク２７のテンションの計測を実行し、計測結果をテンション計測制御部１７８に出力する。

【0063】

具体的に、テンション計測装置１８３は、テンションを計測可能な測定子１８７がテンション計測装置保持部１４１に形成された開口１８５を通じてステンシルＳＵＳの上面に載置可能な構成を有する。テンション計測装置１８３は、テンション計測制御部１７８によりステンシルＳＵＳの上面に載置されると、開口１８５を通じて測定子１８７がステンシルＳＵＳの上面に載置され、テンションを計測する。

【0064】

テンション計測装置１８３は、筐体１９１と、テンション計測装置保持部１４１と、テンションゲージ１９３と、を含んで構成される。テンション計測装置保持部１４１は、アーム部１３９に連結され、マスク２７に対向し、略矩形状に形成された設置面を有する。テンション計測装置保持部１４１は、筐体１９１およびテンションゲージ１９３を支持し、設置面の略中央位置に形成された開口１８５に測定子１８７を収容する。

【0065】

筐体１９１は、円筒状に形成され、測定子１８７、スピンドル軸１８９、および計測用荷重１９５のそれぞれを収容する。測定子１８７は、ステンシルＳＵＳの上面に載置されると、計測用荷重１９５が印加される。マスク２７のテンションを計測する。スピンドル軸１８９は、測定子１８７と接続部１９０との間でそれぞれ固定的に接続されて、テンションの計測時に、計測用荷重１９５が印加された測定子１８７と一体的にＺ軸方向に昇降される。接続部１９０は、スピンドル軸１８９およびテンションゲージ１９３との間でそれぞれ接続される。接続部１９０は、－Ｚ方向に印加された計測用荷重１９５と、マスク２７から受けるＺ方向の反作用とに基づいて、テンションゲージ１９３を引っ張る張力あるいは接続部１９０の高さ位置が変化する。

【0066】

テンションゲージ１９３は、接続部１９０との間で接続され、接続部１９０により伝達される－Ｚ方向への張力、または接続部１９０の－Ｚ方向への降下量に基づいて、マスク２７のテンションを計測する。テンションゲージ１９３は、テンション計測制御部１７８との間で電気的に接続され、テンション計測制御部１７８に計測結果を出力する。

【0067】

次に、図１４を参照して、実施の形態１に係る印刷装置１１の制御系統について説明する。図１４は、実施の形態１に係る印刷装置１１の制御系統を示すブロック図である。

【0068】

印刷装置１１における制御部１５９Ａは、所謂プロセッサであり、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）またはＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）を用いて構成されて、メモリ１５９Ｂと協働して、各種の処理および制御を行う。具体的には、制御部１５９Ａは、メモリ１５９Ｂに保持されたプログラムおよびデータを参照し、そのプログラムを実行することにより、各部の機能を実現する。なお、ここでいう各部は、基板搬送保持制御部１６５、マスク搬送設置制御部１６７、印刷動作制御部１６９、撮像制御部１７１、吸着制御部１７３、スクレイパ制御部１７４、昇降機制御部１７５、粘度計制御部１７７、およびテンション計測制御部１７８等である。

【0069】

メモリ１５９Ｂは、例えば制御部１５９Ａの各処理を実行する際に用いられるワークメモリとしてのＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）と、制御部１５９Ａの動作を規定したプログラムおよびデータを格納するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）とを有する。ＲＡＭには、制御部１５９Ａにより生成あるいは取得されたデータもしくは情報が一時的に保存される。ＲＯＭには、制御部１５９Ａの動作を規定するプログラムが書き込まれている。

【0070】

メモリ１５９Ｂは、テンション計測装置１８３により計測されたマスク２７のテンションに基づいて、基板ＫＢの版離れモードの判定するための第１閾値および第２閾値のそれぞれを記憶する。第１閾値は、計測されたマスク２７のテンションが通常の版離れ制御を実行可能な値であるか否かを判定するための閾値である。第２閾値は、第１閾値よりも小さい値であって、計測されたマスク２７のテンションがマスク吸着版離れモードを実行可能な値であるか否かを判定するための閾値である。なお、第１閾値および第２閾値のそれぞれは、マスク２７の種類ごとに異なる値が設定されてよい。

【0071】

また、メモリ１５９Ｂは、印刷対象であるマスク２７ごとの生産データと、マスクチェンジャ１５のマガジン２５内に収納されたマスクに関する情報とを記憶する。なお、生産データは、各マスクの大きさの情報と、各マスクの識別情報とを少なくとも含む。また、マスクに関する情報は、各マスクの識別情報、マガジン２５内における収納位置の情報、半田印刷で使用済みであるか否かの情報等を含む。

【0072】

基板搬送保持制御部１６５は、基板搬送保持部２１による基板ＫＢの搬送制御（具体的には、搬入制御、搬出制御）、および保持制御を実行する。また、基板搬送保持制御部１６５は、基板ＫＢの搬入時にカメラ５１により撮像された基板ＫＢの撮像画像に基づいて、マスク２７に対する基板ＫＢの位置合わせ制御を実行する。印刷動作制御部１６９から出力された半田印刷動作の完了報告を取得した場合、基板搬送保持制御部１６５は、現在設定されている版離れモードに基づいて、テーブル昇降機構６７の複数の送りねじ６９のそれぞれをモータ（不図示）で回転させて、基板搬送保持部２１を－Ｚ方向に下降し、版離れ動作を実行する。基板搬送保持制御部１６５は、版離れ動作が終了して版離れ状態となった基板ＫＢを搬出する。なお、テーブル昇降機構６７は、送りネジ６９の代わりに基板ＫＢをＺ軸方向に昇降可能なシリンダを備えてもよい。

【0073】

マスク搬送設置制御部１６７は、印刷ヘッド３７およびカメラ移動機構４９のそれぞれを制御し、マスクチェンジャ１５へのマスク２７の引き出し制御および収納制御を行う。具体的に、マスク搬送設置制御部１６７は、移動ベース駆動モータ１５１による移動ベース５９のＹ軸方向への移動制御と、ＹＺアクチュエータ６１による吸着部６３のＹ軸方向およびＺ軸方向への移動制御と、吸着部６３による枠１０１の側面への吸着制御と、をそれぞれ実行する。マスク搬送設置制御部１６７は、所定の印刷位置にマスク２７を搬送した後、シリンダ４５，４７のそれぞれを駆動させて、マスク２７を保持する。

【0074】

印刷動作制御部１６９は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に印刷ヘッド３７を駆動させて、印刷制御を行う。具体的に、印刷動作制御部１６９は、スキージベース駆動モータ１３１によるスキージベース１１９のＹ軸方向への移動制御と、スキージ昇降駆動部１２３によるスキージ１２１のＺ軸方向の昇降制御と、をそれぞれ実行する。

【0075】

印刷動作制御部１６９は、粘度計制御部１７７から出力された半田コネ動作のパラメータに基づいて、２本のスキージ１２１のそれぞれを制御し、新たなマスク２７のステンシルＳＵＳの上面に移載された半田ペーストＰｓｔをこねて、所定の粘度（狙い値）になるように調整する。

【0076】

撮像制御部１７１は、所定の基板搬送位置で基板搬送保持部２１によって保持された基板ＫＢの下面と、印刷位置に搬送されたステンシルＳＵＳの上面とを、カメラ５１の制御を実行して撮像させる。具体的に、撮像制御部１７１は、移動ベース駆動モータ１５１による移動ベース５９のＹ軸方向への移動制御と、移動ベース５９に沿ったカメラ５１のＸ軸方向への移動制御と、カメラ５１が備える下方撮像カメラ１５５による基板ＫＢの上面の撮像制御と、カメラ５１が備える上方撮像カメラ１５７によるマスク２７の下面の撮像制御と、をそれぞれ実行する。

【0077】

吸着制御部１７３は、マガジン２５内に格納されたマスク２７の引き出し動作時に、制御部１５９Ａから送信されたマスク吸着を開始する旨の制御指令に基づいて、空気圧回路に設けられた真空バルブにポート切替信号を送信し、真空ポンプによりカメラ移動機構４９が備える吸着部６３内部を負圧にして、吸着部６３に枠１０１（具体的には、枠１０１の前枠体１０３）の側面を吸着させる。また、吸着制御部１７３は、制御部１５９Ａから送信されたマスク吸着を終了する旨の制御指令に基づいて、空気圧回路に設けられる真空バルブにポート切替信号を送り、真空バルブのポートをブローバルブに切り替えさせて、吸着部６３の吸着状態を解除させる。

【0078】

また、吸着制御部１７３は、版離れモードがマスク吸着版離れモードに設定された場合、テンション計測制御部１７８から送信された制御指令に基づいて、空気圧回路に設けられた真空バルブにポート切替信号を送信し、真空ポンプにより基板搬送保持部２１の吸着部２０内部を負圧にして、吸着部２０にマスク２７のステンシルＳＵＳ（第１の領域の一例）の下面（具体的には、基板ＫＢと接触する側の面）を吸着させる。また、吸着制御部１７３は、テーブル昇降機構６７が所定高さ（例えば、５ｍｍ等）だけ下降された後、テンション計測制御部１７８から送信されたマスク吸着を終了する旨の制御指令に基づいて、空気圧回路に設けられる真空バルブにポート切替信号を送り、真空バルブのポートをブローバルブに切り替えさせて、吸着部２０の吸着状態を解除させる。

【0079】

スクレイパ制御部１７４は、マスク搬送設置制御部１６７によりマスク２７の入れ替えが開始される前に、スクレイパユニット３９を駆動させ、現在設置されているステンシルＳＵＳの上面から半田ペーストＰｓｔを回収する。また、スクレイパ制御部１７４は、マスク搬送設置制御部１６７によりマスク２７の入れ替えが終了すると、新たに搬入されたステンシルＳＵＳの上面に回収された半田ペーストＰｓｔを移載する。

【0080】

昇降機制御部１７５は、昇降機６５における昇降体昇降モータ７９の駆動制御を実行し、マスクチェンジャ１５内のマガジン２５の位置（高さ）を昇降させる。また、昇降機制御部１７５は、安全制御部１７９を含んで構成される。

【0081】

粘度計制御部１７７は、スクレイパ制御部１７４により新たに搬入されたステンシルＳＵＳの上面への半田ペーストＰｓｔの移載が完了すると、印刷ヘッド３７を昇降させて、ＸＹ平面上における半田ペーストＰｓｔ位置で粘度計昇降シリンダ１９８を駆動させて、待機高さ位置から当接高さ位置まで粘度計１９７を下降させる。粘度計制御部１７７は、マスク２７上に移載された半田ペーストＰｓｔに粘度計１９７の下端部を接触させ、接触された半田ペーストＰｓｔの粘度を測定させる。粘度計制御部１７７は、粘度計１９７から出力された半田ペーストＰｓｔの粘度の測定結果を取得する。粘度計制御部１７７は、取得された測定結果に基づいて、半田ペーストＰｓｔの現在の粘度を所定粘度にするための半田コネ動作のパラメータ（例えば、スキージ１２１の角度、印圧、コネ時間等）を決定する。粘度計制御部１７７は、決定された半田コネ動作のパラメータを印刷動作制御部１６９に出力する。粘度計制御部１７７は、印刷動作制御部１６９による半田コネ動作が終了すると、粘度計１９７により半田ペーストＰｓｔの粘度を再度測定させる。

【0082】

なお、粘度計制御部１７７は、事前にメモリ１５９Ｂに記録された複数の印刷条件のそれぞれのうちいずれかの印刷条件を決定してよい。ここでいう印刷条件は、スキージ１２１のそれぞれのマスク２７に対する印刷角度、スキージ１２１の印刷速度（つまり、印刷時の移動速度）等である。

【0083】

テンション計測制御部１７８は、マスク搬送設置制御部１６７により新しいマスク２７が搬入された場合、メモリ１５９Ｂに記憶されたマスク２７の大きさに基づいて、印刷ヘッド３７が備えるテンション計測装置１８３の測定子１８７がマスク２７の中心位置Ｐｔ（図２２参照）、かつ、載置高さ位置に位置するように印刷ヘッド３７を移動させる。テンション計測装置１８３は、測定子１８７がマスク２７上に載置されると、マスク２７のテンションの計測を実行する。テンション計測制御部１７８は、テンション計測装置１８３により計測されたテンションを取得し、取得されたテンションに基づいて、版離れモードを決定する。テンション計測制御部１７８は、現在設定されている版離れモードを、決定された版離れモードに変更（設定）する。

【0084】

安全制御部１７９は、マスクチェンジャ１５の内部空間ＳＰに設けられた各制御、および昇降機６５への電力供給制御と、を実行する。具体的に、安全制御部１７９は、第１の運用モードと第２の運用モードとを切り替えることで、上述した制御を実行する。

【0085】

ここでいう第１の運用モードは、作業者によりマガジン２５の交換、マガジン２５へのマスク２７の供給作業が行われている間に実行される制御であって、昇降機６５への動力用電力の供給を停止させる制御である。なお、第１の運用モードにおいて、安全制御部１７９は、タッチパネル３１を通じて警報音を発生させて、作業者に注意を喚起してもよい。

【0086】

また、第２の運用モードは、マガジン２５と印刷部１３との間でマスク２７の引き出し処理または収納処理が実行されている間に実行される制御であって、昇降機６５への動力用電力の供給を行う制御である。

【0087】

制御部１５９Ａは、半田ペーストＰｓｔの粘度が所定粘度になるまで、粘度計制御部１７７による半田ペーストＰｓｔの粘度の計測動作と、印刷動作制御部１６９による半田コネ動作とを繰り返し実行させる。

【0088】

次に、図１５を参照して、版離れモードの設定手順および版離れ動作手順のそれぞれを説明する。図１５は、実施の形態１に係る印刷装置１１の版離れ動作手順例を説明するフローチャートである。なお、図１５に示す動作手順におけるステップＳｔ１１～ステップＳｔ１６の処理は、版離れモードを設定するための版離れモードの設定処理である。また、図１５に示す動作手順におけるステップＳｔ１７～ステップＳｔ２２の処理は、設定された版離れモードに基づいて、印刷済みの基板ＫＢの版離れを実行するための版離れ動作処理である。

【0089】

印刷部１３は、生産対象である基板ＫＢの種類が変更されるタイミングで、図１５に示す動作手順を実行する。なお、図１５に示す動作手順のうちステップＳｔ１２～ステップＳｔ１６のそれぞれの処理は、印刷部１３が基板ＫＢの印刷枚数が事前に設定された所定枚数以上であると判定したタイミングで実行されてもよいし、印刷装置１１の電源がＯＮとなったタイミングに実行されてもよい。

【0090】

マスク搬送設置制御部１６７は、メモリ１５９Ｂに記憶された生産データに基づいて、基板ＫＢの種類の変更があると判定した場合、スクレイパ制御部１７４にステンシルＳＵＳの上面に載置された半田ペーストＰｓｔの回収を実行させる。マスク搬送設置制御部１６７は、スクレイパ制御部１７４から出力された半田ペーストＰｓｔの回収処理の終了通知に基づいて、現在、印刷に使用されているマスク２７を、新たな生産対象である基板ＫＢに対応するマスク２７に入れ替えるマスク入れ替え動作（具体的には、マスク２７の収納動作および引き出し動作）を実行する（Ｓｔ１１）。ここで、マスク２７の収納動作または引き出し動作に関連する印刷ヘッド３７の各機構について説明する。

【0091】

印刷ヘッド３７は、制御部１５９Ａにおけるマスク搬送設置制御部１６７（図１４参照）により制御されて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向にそれぞれ駆動される。ロッド１１５は、シリンダ１１０に連結されて、シリンダ１１０と一体となってＹ軸に沿う方向に駆動される。ロッド１１５は、Ｚ軸方向に昇降されて吸着部６３によってマスクチェンジャ１５内のマガジン２５から引き出されたマスク２７の枠１０１の側面に当接し、Ｙ軸に沿う方向に駆動されて、マスク２７をＹ軸に沿う方向に搬送する。

【0092】

シリンダ１１０は、基板ＫＢに半田ペーストＰｓｔを印刷する印刷ヘッド３７に設けられ、印刷ヘッド３７と一体となって駆動される。印刷ヘッド３７は、Ｘ軸に沿う方向に延在するスキージベース１１９を有する。マスク搬送設置制御部１６７は、スキージベース駆動モータ１３１を駆動させ、スキージベース１１９と一体的に構成されたシリンダ１１０のロッド１１５がＹ軸に沿う方向に移動される。つまり、マスク搬送設置制御部１６７は、ロッド１１５を枠１０１に当接させた状態でＹ軸に沿う方向に移動させることで、マスクガイド３３に沿ってマスク２７を印刷位置まで搬送することができる。

【0093】

印刷ヘッド３７は、スキージ昇降駆動部１２３に設けられた２つのＺ軸モータ１６３のそれぞれにより、スキージベース１１９の下方に２つのスキージ１２１のそれぞれを個別に昇降させる。これにより、スキージ１２１は、マスク２７より上方の退避位置への移動が可能となる。つまり、スキージ１２１は、退避位置に移動する際に、マスク２７の枠１０１に対する干渉が回避可能となる。

【0094】

吸着部６３は、基板ＫＢの上面およびマスク２７の下面を撮像するカメラ５１を備えたカメラ移動機構４９に設けられる。カメラ移動機構４９は、Ｘ軸に沿う方向に延在する移動ベース５９を有する。カメラ移動機構４９は、移動ベース５９に対して、移動ベース５９の延在方向（Ｘ軸に沿う方向）に移動自在に設けられる。この移動ベース５９には、移動ベースナット１４９が固定される。移動ベースナット１４９は、Ｙ軸に沿う方向に延在する移動ベース移動ボール螺子１４７と螺合される。移動ベース移動ボール螺子１４７は、移動ベース駆動モータ１５１により駆動される。移動ベース駆動モータ１５１が駆動され、移動ベース移動ボール螺子１４７を介して移動ベースナット１４９が移動することにより、移動ベース５９に設けられた吸着部６３は、カメラ５１とともにＹ軸に沿う方向に移動される。これにより、吸着部６３に枠１０１が吸着されたマスク２７は、マスクガイド３３によりＹ軸に沿う方向に搬送される。

【0095】

また、制御部１５９Ａにおけるマスク搬送設置制御部１６７（図１４参照）は、マスク２７の枠１０１の側面にロッド１１５が当接した状態で、スキージベース駆動モータ１３１を駆動することにより、マスク２７を印刷位置に搬送したり、印刷位置にあるマスク２７をマスクチェンジャ１５側に向かって搬送したりすることができる。

【0096】

また、制御部１５９Ａにおけるマスク搬送設置制御部１６７（図１４参照）は、枠１０１の側面に吸着部６３が当接した状態で、移動ベース駆動モータ１５１およびＹＺアクチュエータ６１のそれぞれを駆動することにより、マスク通過開口７１を通じてマガジン２５からマスク２７を引き出したり、ロッド１１５により印刷位置よりも後方に搬送されたマスク２７を、マスク通過開口７１を通じてマガジン２５に収納したりする。

【0097】

（マスクの収納動作）
次に、図１６および図１７のそれぞれを参照して、印刷位置に位置するマスク２７をマガジン２５に収納する収納動作について詳細に説明する。図１６は、印刷装置１１の収納動作例を説明する図である。図１７は、印刷装置１１の収納動作例を説明する図である。なお、図１５に示す動作手順例では、半田ペーストＰｓｔの粘度調整に関する動作手順を省略している。

【0098】

マスクチェンジャ１５のマガジン２５内にマスク２７を収納する場合、印刷装置１１におけるマスク搬送設置制御部１６７は、シリンダ１１０によってロッド１１５を下降させて、シリンダ１１０のロッド１１５を後枠体１０５の前側面に当接させる（Ｓｔ１１－１）。なお、マスク搬送設置制御部１６７は、ロッド１１５の位置が後枠体１０５の前方に位置するまで移動させ、ロッド１１５を下降させた後に、印刷ヘッド３７をＹ軸に沿った方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向に移動させて、後枠体１０５の前側面にロッド１１５を当接させてよい。なお、この時、カメラ移動機構４９は、退避位置で待機している。

【0099】

マスク搬送設置制御部１６７は、図１６のステップＳｔ１１－２に示すように、後枠体１０５の前側面にロッド１１５を当接させた状態で、スキージベース１１９がＹ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向に印刷ヘッド３７を移動させる。マスク搬送設置制御部１６７は、ロッド１１５が当接したマスク２７を、スキージベース１１９の移動限界まで移動させる（Ｓｔ１１－２）。

【0100】

マスク搬送設置制御部１６７は、スキージベース１１９の移動限界までマスク２７を搬送した後、図１７のステップＳｔ１１－３に示すように、シリンダ１１０によってロッド１１５を上昇させ、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向へ印刷ヘッド３７を移動（退避）させる。

【0101】

マスク搬送設置制御部１６７は、マスク搬送設置制御部１６７による印刷ヘッド３７の退避が行われた後、カメラ移動機構４９を退避位置から移動させる。マスク搬送設置制御部１６７は、吸着部６３が前枠体１０３の側面（前面）に当接する位置までカメラ移動機構４９を移動させる（Ｓｔ１１－３）。

【0102】

マスク搬送設置制御部１６７は、カメラ移動機構４９をＹ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向に移動させて、吸着部６３に当接されたマスク２７を、マスク通過開口７１を通じてマガジン２５内の所定の格納位置まで移動させる（Ｓｔ１１－４）。なお、この時、吸着部６３は、枠１０１を吸着せずにマスク２７を収納してもよいし、吸着した状態でマスク２７を収納してもよい。

【0103】

（マスクの引き出し動作）
図１８および図１９を参照して、実施の形態１に係る印刷装置１１のマスク２７の引き出し動作手順について説明する。図１８は、実施の形態１に係る印刷装置１１のマスク２７の引き出し動作手順例を説明する図である。図１９は、実施の形態１に係る印刷装置１１のマスク２７の引き出し動作手順例を説明する図である。

【0104】

マスクチェンジャ１５からマスク２７を引き出す場合、印刷装置１１におけるマスク搬送設置制御部１６７は、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向にカメラ移動機構４９を移動する。カメラ移動機構４９は、吸着部６３がマスク通過開口７１の直前の位置で停止する。ＹＺアクチュエータ６１は、マスク搬送設置制御部１６７により制御されて、マスク通過開口７１からマスク２７を引き出し可能な位置（高さ）まで吸着部６３の位置（高さ）をＺ軸に沿う方向に上昇させ、マガジン２５内に格納されたマスク２７の枠１０１に当接する位置まで吸着部６３の位置をＹ軸に沿う方向に移動させる。吸着制御部１７３は、図１８のステップＳｔ１１－５に示すように、吸着部６３が引き出したいマスク２７における枠１０１の側面に当接すると、真空バルブを駆動させて、吸着部６３による枠１０１の側面の吸着を実行させる（Ｓｔ１１－５）。

【0105】

マスク搬送設置制御部１６７は、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向にカメラ移動機構４９を移動させて、吸着部６３により吸着された状態のマスク２７を牽引する（Ｓｔ１１－６）。マスク搬送設置制御部１６７は、図１８のステップＳｔ１１－６に示すように、吸着部６３が吸着したマスク２７を、移動ベース５９の移動限界まで牽引する。マスク搬送設置制御部１６７は、移動限界までの牽引制御を実行した後、マスク２７および印刷ヘッド３７と、カメラ移動機構４９との間の干渉（衝突）を回避させるために、カメラ移動機構４９を退避させる。具体的に、マスク搬送設置制御部１６７は、ＹＺアクチュエータ６１を駆動させ、吸着部６３の位置（高さ）をＺ軸方向に下降させて印刷位置へのマスク２７の搬送軌跡上からカメラ移動機構４９を退避させる。なお、退避方法は、これに限定されなくてよい。マスク搬送設置制御部１６７は、例えば、カメラ移動機構４９そのものをＺ軸方向に下降させることで、印刷位置へのマスク２７の搬送軌跡上からカメラ移動機構４９を退避させてもよい。

【0106】

マスク搬送設置制御部１６７によるカメラ移動機構４９の退避が行われた後、マスク搬送設置制御部１６７は、スキージベース１１９を移動させて、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５に接近する方向へ印刷ヘッド３７を移動させる。マスク搬送設置制御部１６７は、シリンダ１１０のロッド１１５の位置がマスク２７の枠１０１（具体的には、後枠体１０５）の後方に位置するまで移動させた後、シリンダ１１０によってロッド１１５を下降させて、後枠体１０５の後側面にロッド１１５を当接させる（つまり、後枠体１０５の後側面にロッド１１５を引っ掛ける）（Ｓｔ１１－７）。なお、マスク搬送設置制御部１６７は、ロッド１１５の位置が後枠体１０５の後方に位置するまで移動させ、印刷ヘッド３７を下降させた後に、印刷ヘッド３７をＹ軸に沿った方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向に移動させて、後枠体１０５の後側面にロッド１１５を当接させてよい。

【0107】

マスク搬送設置制御部１６７は、ロッド１１５が後枠体１０５の後側面に当接した状態で、Ｙ軸に沿う方向、かつ、マスクチェンジャ１５から離間する方向へ印刷ヘッド３７を移動させて、印刷位置までマスク２７を搬送させる（Ｓｔ１１－８）。マスク搬送設置制御部１６７は、印刷位置までマスク２７を移動させた後、印刷ヘッド３７を上昇させて、後枠体１０５からロッド１１５を離間させることで、マスク２７の引き出し動作を終了する。

【0108】

マスク搬送設置制御部１６７は、マスク２７の引き出し動作を終了した後、印刷ヘッド３７を駆動させ、２つのシリンダ４５のそれぞれと、４つのシリンダ４７のそれぞれとで、マスク保持部３５の四隅である枠１０１（図８参照）を下方に押圧する。マスク搬送設置制御部１６７は、マスク２７の入れ替え動作が完了した旨の制御指令を生成し、生成された制御指令をテンション計測制御部１７８に出力する。

【0109】

テンション計測制御部１７８は、マスク搬送設置制御部１６７から出力された制御指令に基づいて、新たなマスク２７のテンションの計測を開始する。テンション計測制御部１７８は、印刷ヘッド３７を駆動させて、テンション計測制御部１７８の測定子１８７をステンシルＳＵＳの上面に載置して、マスク２７のテンションの計測を実行する。テンション計測制御部１７８は、開口１８５を通じて測定子１８７がステンシルＳＵＳの上面に載置され、テンションを計測する（Ｓｔ１２）。

【0110】

ここで、図２０および図２１のそれぞれを参照して、マスク２７のテンション計測について説明する。図２０は、マスク２７のテンション計測装置１８３の一例を説明する図である。図２１は、テンション計測装置１８３の一例を説明する図である。なお、図２０では説明を分かり易くするために、アーム部１３９の図示を省略するとともに、テンション計測装置保持部１４１を部分的に図示している。

【0111】

マスク２７は、第１の領域の一例としてのステンシルＳＵＳと枠１０１との間がポリエステル製布等の接続部材１００により接続される。第２の領域の一例としての接続部材１００は、所定のテンションを有した状態でステンシルＳＵＳと枠１０１との間を接続するように張り付けられ、ステンシルＳＵＳと枠１０１との相対位置を位置決めする。

【0112】

テンション計測装置１８３は、テンション計測制御部１７８により、ステンシルＳＵＳの上面に載置されて、マスク２７のテンションを計測する。具体的に、テンション計測装置１８３は、測定子１８７がステンシルＳＵＳの中心位置Ｐｔに載置されると、測定子１８７に－Ｚ方向に計測用荷重１９５を印加する。なお、中心位置Ｐｔは、枠１０１の四隅の対角線のそれぞれの交点である。テンション計測装置１８３は、－Ｚ方向に印加された計測用荷重１９５と、マスク２７から受けるＺ方向の反作用とに基づく接続部１９０の高さ位置あるいは接続部１９０の張力に基づいて、テンションを計測する。テンション計測装置１８３は、計測結果をテンション計測制御部１７８に出力する。

【0113】

テンション計測制御部１７８は、メモリ１５９Ｂに記憶された第１の閾値および第２の閾値のそれぞれに基づいて、計測されたマスク２７のテンションが通常の版離れモードを実行するのに十分なテンションであるか否かを判定する（Ｓｔ１３）。

【0114】

テンション計測制御部１７８は、ステップＳｔ１３の処理において、計測されたマスク２７のテンションが第１の閾値以上であると判定した場合、通常の版離れモードを実行するのに十分なテンションであると判定し（Ｓｔ１３，ＹＥＳ）、版離れモードを通常モードに設定する（Ｓｔ１４）。

【0115】

また、テンション計測制御部１７８は、ステップＳｔ１３の処理において、計測されたマスク２７のテンションが第１の閾値未満、かつ、第２の閾値以上であると判定した場合、通常の版離れモードを実行するのに十分なテンションでないと判定し（Ｓｔ１３，Ｗａｒｎｉｎｇ）、版離れモードをマスク吸着版離れモードに設定する（Ｓｔ１５）。

【0116】

また、テンション計測制御部１７８は、ステップＳｔ１３の処理において、計測されたマスク２７のテンションが第２の閾値未満であると判定した場合、版離れ動作の実行に必要なテンションでないと判定し（Ｓｔ１３，ＮＯ）、テンションが不足している旨の警告を生成してタッチパネル３１に出力し、印刷装置１１（つまり、設備）の動作を停止する（Ｓｔ１６）。

【0117】

ここで、図２２を参照して、ステップＳｔ１７～ステップＳｔ１８の処理で実行される通常モードにおける版離れ動作について説明する。図２２は、版離れモード（通常モード）を説明する図である。

【0118】

印刷動作制御部１６９は、半田ペーストＰｓｔが載置されたステンシルＳＵＳの上面でスキージ１２１を摺動させて、ステンシルＳＵＳの第１の領域ＡＲ１（図２３参照）に形成された電極パターンを通じて基板ＫＢへ半田ペーストＰｓｔを印刷する（Ｓｔ１７）。印刷動作制御部１６９は、現在設定されている通常モードに基づいて、テーブル昇降機構６７を下降させて、マスク２７（具体的には、ステンシルＳＵＳ）の下面から基板ＫＢを離間させる版離れ動作を実行する（Ｓｔ１８）。

【0119】

ここで、図２３を参照して、ステップＳｔ１９～ステップＳｔ２２の処理で実行されるマスク吸着版離れモードにおける版離れ動作について説明する。図２３は、版離れモード（マスク吸着版離れモード）を説明する図である。

【0120】

また、印刷動作制御部１６９は、ステップＳｔ１５の処理の後、基板搬送保持部２１が備える吸着部２０によりステンシルＳＵＳの下面の第２の領域ＡＲ２を真空吸引する（Ｓｔ１９）。印刷動作制御部１６９は、吸着部２０によるステンシルＳＵＳの真空吸引を維持したまま、半田ペーストＰｓｔが載置されたステンシルＳＵＳの上面でスキージ１２１を摺動させて、ステンシルＳＵＳに形成された電極パターンを通じて基板ＫＢへ半田ペーストＰｓｔを印刷する（Ｓｔ２０）。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスク２７のテンションが十分でない場合であっても、スキージ１２１がステンシルＳＵＳの上面を摺動する印刷動作に伴ってマスク２７（具体的には、ステンシルＳＵＳ）の位置が変化する位置ずれをより効果的に抑制できる。

【0121】

印刷動作制御部１６９は、半田ペーストＰｓｔの印刷が終了した後、基板搬送保持部２１によるステンシルＳＵＳの下面の第２の領域ＡＲ２の真空吸引を維持したまま、指定量Ｈ１（例えば、２ｍｍ、５ｍｍ等）だけテーブル昇降機構６７を下降させる（Ｓｔ２１）。なお、指定量Ｈ１は、マスク２７のテンションに基づいて、決定あるいは算出されてよい。例えば、印刷動作制御部１６９は、マスク２７のテンションが第１の閾値未満、かつ、第２の閾値以上であると判定した場合、指定量Ｈ１を決定するための判定処理をさらに実行することにより、計測されたテンションにより適した指定量Ｈ１を決定あるいは算出してよい。

【0122】

印刷動作制御部１６９は、指定量Ｈ１だけテーブル昇降機構６７を下降させた後に、吸着制御部１７３によるステンシルＳＵＳの下面の第２の領域ＡＲ２の真空吸引をＯＦＦさせて、テーブル昇降機構６７を下降させてステンシルＳＵＳの下面（具体的には、第１の領域ＡＲ１）から基板ＫＢを離間させる版離れ動作を実行する（Ｓｔ２２）。

【0123】

以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスク２７のテンションが十分でない場合であっても、基板搬送保持部２１による真空吸引によりステンシルＳＵＳの下面（第１の領域ＡＲ１）と基板ＫＢの上面とが接触した状態を維持したまま、テーブル昇降機構６７を指定量Ｈ１だけ下降させる。これにより、印刷装置１１は、接続部材１００の張力を高めることができ、テンションが十分高い場合のステンシルＳＵＳの下面と基板ＫＢの上面との接触状態を再現することができる。

【0124】

また、印刷装置１１は、テンションが十分高い場合のステンシルＳＵＳの下面と基板ＫＢの上面との接触状態を再現した状態から、基板搬送保持部２１による真空吸引をＯＦＦにして、テーブル昇降機構６７を下降させることで、通常モードにおける版離れ動作を再現できる。したがって、印刷装置１１は、テンションが十分でない場合であっても、ステンシルＳＵＳの下面から基板ＫＢの上面を均一に離間（版離れ）させることができるため、基板ＫＢの上面に印刷された半田ペーストの形状変化を抑制して印刷品質の劣化を抑制できる。

【0125】

図２４を参照して、通常モードにおけるテーブル昇降機構６７の下降制御と、マスク吸着版離れモードにおけるテーブル昇降機構６７の下降制御とをそれぞれ説明する。図２４は、版離れモードごとのテーブル昇降機構６７の制御例を比較する図である。

【0126】

速度グラフＣＯＮ１は、版離れモードが通常モードに設定された時のテーブル昇降機構６７（つまり、基板ＫＢ）の下降速度を示すグラフである。印刷動作制御部１６９は、版離れモードが通常モードに設定されている場合、速度グラフＣＯＮ１に示すテーブル昇降機構６７の下降制御を実行する。具体的に、通常モードにおける印刷動作制御部１６９は、基板搬送保持部２１による基板ＫＢの真空吸引をＯＦＦにした状態でテーブル昇降機構６７を下降させて、ステンシルＳＵＳの下面と基板ＫＢの上面とを離間させる。

【0127】

速度グラフＣＯＮ２は、版離れモードがマスク吸着版離れモードに設定された時のテーブル昇降機構６７（つまり、基板ＫＢ）の下降速度を示すグラフである。印刷動作制御部１６９は、版離れモードがマスク吸着版離れモードに設定されている場合、速度グラフＣＯＮ２に示すテーブル昇降機構６７の下降制御を実行する。

【0128】

具体的に、通常モードにおける印刷動作制御部１６９は、基板搬送保持部２１による基板ＫＢの真空吸引をＯＮにした状態でテーブル昇降機構６７を指定量Ｈ１だけ下降させた後、テーブル昇降機構６７の下降制御を停止して、基板ＫＢの真空吸引をＯＦＦ状態にする。印刷動作制御部１６９は、基板ＫＢの真空吸引をＯＦＦ状態にした後、テーブル昇降機構６７の下降制御を再開してステンシルＳＵＳの下面と基板ＫＢの上面とを離間させる。

【0129】

以上により、実施の形態１における印刷部１３は、テンションの計測結果に基づいて、版離れモードを変更することにより、ステンシルＳＵＳの下面から基板ＫＢの上面を均一に離間させることができる。

【0130】

以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１は、所定のパターン開口９９（印刷パターンの一例）が設けられ、基板ＫＢと接触可能な第１の領域ＡＲ１と、第１の領域ＡＲ１の両側に位置する第２の領域ＡＲ２とを有するマスク２７を用いて、基板ＫＢに半田ペーストＰｓｔを印刷する。印刷装置１１は、基板ＫＢを保持し、保持された基板ＫＢを昇降させる基板搬送保持部２１（保持部の一例）と、マスク２７のテンションを計測するテンション計測装置１８３（計測部の一例）と、マスク２７の第２の領域ＡＲ２を吸引可能な吸着部２０（吸引部の一例）と、テンション計測装置１８３により計測されたマスク２７のテンションに基づいて、基板搬送保持部２１により実行される基板ＫＢとマスク２７との版離れにおいて吸着部２０による第２の領域ＡＲ２の吸引の要否を判定する制御部１５９Ａと、を備える。制御部１５９Ａは、ステンシルＳＵＳの下面の吸引が必要であると判定した場合、吸着部２０にステンシルＳＵＳの下面を吸引させる。

【0131】

これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスク２７のテンションにより適した版離れ動作を実行できる。したがって、印刷装置１１は、新たなマスク２７のテンションにより適したマスク版離れモードを実行することで、マスク２７の下面（第１の領域ＡＲ１）と基板ＫＢの上面とを均一に版離れさせることができ、テンションに起因する印刷品質の劣化を抑制することができる。

【0132】

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１における制御部１５９Ａは、第２の領域ＡＲ２の吸引が必要であると判定した場合、吸着部２０により第２の領域ＡＲ２を吸引したまま基板搬送保持部２１を所定高さ（例えば、５ｍｍ等）だけ下降させた後、吸着部２０による第２の領域ＡＲ２の吸引を停止するとともに、基板搬送保持部２１を下降させて版離れを行う。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスク２７のテンションにより適した版離れ動作を実行できる。したがって、印刷装置１１は、テンションが低いマスク２７であっても、吸着部２０によるステンシルＳＵＳの下面の第２の領域ＡＲ２を吸引させるマスク吸着版離れモードを実行することで、マスク２７の下面（第１の領域ＡＲ１）と基板ＫＢの上面とを均一に版離れさせることができ、テンションに起因する印刷品質の劣化を抑制することができる。

【0133】

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１における制御部１５９Ａは、計測されたマスク２７のテンションに基づいて、マスク２７のテンションが第１の閾値以上であると判定した場合、吸着部２０による第２の領域ＡＲ２の吸引を省略する。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスク２７のテンションが版離れ動作において十分なテンションであると判定した場合、版離れモードを通常モードに設定して版離れ動作を実行する。

【0134】

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１における制御部１５９Ａは、マスク２７のテンションに基づいて、マスク２７のテンションが第１の閾値未満、かつ、第１の閾値よりも小さい第２の閾値以上であると判定した場合、吸着部２０による第２の領域ＡＲ２の吸引を実行させる。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスク２７のテンションが版離れ動作においてテンションでないと判定した場合、版離れモードをマスク吸着版離れモードに設定して版離れ動作を実行する。

【0135】

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１における制御部１５９Ａは、マスク２７のテンションが第２の閾値未満であると判定した場合、版離れを中止し、警告情報を生成して出力する。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスク２７のテンションが版離れ動作において必要なテンションでないと判定した場合、版離れモードをマスク吸着版離れモードに設定して版離れ動作を実行する。

【0136】

また、以上により、実施の形態１に係る印刷装置１１における基板搬送保持部２１は、基板ＫＢの両側面に当接して基板ＫＢを保持する一対のクランパ８７（当接部の一例）を有する。吸着部２０は、基板搬送保持部２１に設けられる。これにより、実施の形態１に係る印刷装置１１は、基板ＫＢの両側面に当接して基板ＫＢを保持することにより、半田ペーストＰｓｔの印刷において、基板ＫＢの位置ずれを抑制することができる。

【0137】

（実施の形態２）
上述した実施の形態１に係る印刷装置１１は、マスク２７の入れ替え等の所定のタイミングでマスク２７のテンションを計測し、計測されたテンションに基づいて、版離れモードを決定する例を示した。実施の形態２に係る印刷装置１１は、テンションの計測および版離れモードの決定だけでなく、半田ペーストＰｓｔの回収および移載、基板ＫＢを支持するサポートピン２１９の配置変更、半田ペーストＰｓｔの粘度計測および粘度調整等の各処理を自動で実行する例について説明する。なお、実施の形態２に係る印刷装置１１の構成は、実施の形態１に係る印刷装置１１と略同様の構成を有するため、同様の構成に同一の符号を付与して説明を省略する。

【0138】

次に、図２５を参照して、実施の形態２に係る印刷装置１１の動作手順について説明する。図２５は、実施の形態２に係る印刷装置のマスク機種変更時の動作手順例を説明する図である。

【0139】

印刷装置１１における制御部１５９Ａは、生産データに基づいて、「機種Ａ」の基板ＫＢの生産（印刷）が終了したと判定した場合、マスク２７の入れ替え動作を開始する。制御部１５９Ａは、メモリ１５９Ｂに記憶され、次に生産される「機種Ｂ」基板ＫＢの生産データを読み込む（Ｓｔ３１）。

【0140】

スクレイパ制御部１７４は、スクレイパ１３７を制御し、「機種Ａ」の基板ＫＢに対応するマスク２７（つまり、現在使用されているマスク２７）の上面の半田ペーストＰｓｔを回収する（Ｓｔ３２）。

【0141】

マスク搬送設置制御部１６７および撮像制御部１７１は、それぞれ印刷ヘッド３７とカメラ移動機構４９とを駆動させて、「機種Ａ」の基板ＫＢに対応するマスク２７をマスクチェンジャ１５のマガジン２５内に収納する（Ｓｔ３３）。

【0142】

制御部１５９Ａは、メモリ１５９Ｂに記憶された「機種Ｂ」の基板ＫＢの生産データに基づいて、基板ＫＢのサポートピン２１９の配置を変更して、再配置する（Ｓｔ３４）。

【0143】

マスク搬送設置制御部１６７および撮像制御部１７１は、それぞれ印刷ヘッド３７とカメラ移動機構４９とを駆動させて、マスクチェンジャ１５のマガジン２５内から「機種Ｂ」の基板ＫＢに対応するマスク２７を引き出し、印刷位置まで搬入する（Ｓｔ３５）。

【0144】

テンション計測制御部１７８は、印刷ヘッド３７を駆動させ、印刷位置に位置する「機種Ｂ」の基板ＫＢに対応するステンシルＳＵＳの上面における略中央にテンション計測装置１８３の測定子１８７を載置し、マスク２７のテンションを計測する（Ｓｔ３６）。

【0145】

テンション計測制御部１７８は、計測されたマスク２７のテンションに基づいて、「機種Ｂ」に対応するマスク２７の版離れモードを決定し、設定する（Ｓｔ３７）。

【0146】

基板搬送保持制御部１６５は、基板ＫＢを保持する一対のクランパ８７の間の距離を、「機種Ｂ」の基板ＫＢに対応する幅に変更（調整）する（Ｓｔ３８）。

【0147】

スクレイパ制御部１７４は、スクレイパ１３７を制御し、回収された半田ペーストＰｓｔを、「機種Ｂ」の基板ＫＢに対応するステンシルＳＵＳの上面に移載する（Ｓｔ３９）。

【0148】

粘度計制御部１７７は、印刷ヘッド３７を駆動させ、粘度計１９７を用いて、ステンシルＳＵＳの上面に移載された半田ペーストＰｓｔの粘度を計測する（Ｓｔ４０）。粘度計制御部１７７は、粘度計１９７により計測された粘度に基づいて、半田ペーストＰｓｔの粘度が事前に設定された狙い値（つまり、所定粘度）にするための半田コネ動作を決定し、印刷動作制御部１６９に出力する。

【0149】

印刷動作制御部１６９は、粘度計制御部１７７から出力された制御指令に基づいて、印刷ヘッド３７のスキージ１２１を駆動させ、半田ペーストＰｓｔに半田コネ動作を実行する（Ｓｔ４１）。

【0150】

制御部１５９Ａは、印刷部１３が備える温調機（不図示）を制御し、印刷部１３内の雰囲気の温度設定を変更する（Ｓｔ４２）。制御部１５９Ａは、生産データに基づいて、「機種Ｂ」の基板ＫＢの生産（印刷）を開始する。

【0151】

以上により、実施の形態２に係る印刷装置１１は、マスク２７の入れ替え動作がある場合に、新たな基板ＫＢに対応するマスク２７に自動で入れ替えを行うとともに、版離れモードの設定、サポートピン２１９の配置変更、半田ペーストＰｓｔの粘度調整等を行うことにより、新たなマスク２７を用いた基板ＫＢの生産をより効率的に開始できる。

【0152】

以上により、実施の形態２に係る印刷装置１１は、第１のパターン開口（第１の印刷パターンの一例）が設けられた第１のマスクを用いて第１の基板に半田ペーストＰｓｔを印刷し、第２のパターン開口（第２の印刷パターンの一例）が設けられた第２のマスクを用いて第２の基板に半田ペーストＰｓｔを印刷する。第１のマスクおよび第２のマスクは、基板ＫＢと接触可能な第１の領域ＡＲ１と、第１の領域ＡＲ１の両側に位置する第２の領域ＡＲ２とを有する。印刷装置１１は、第１の基板または第２の基板を保持する基板搬送保持部２１（保持部の一例）と、第１のマスクおよび第２のマスクのテンションを計測する粘度計１９７（計測部の一例）と、第２の基板と接触する第２のマスクの第２の領域ＡＲ２を吸引可能な吸着部２０と、第１のマスクから第２のマスクに交換された後、粘度計１９７により第２のマスクのテンションを計測させ、粘度計１９７により計測された第２のマスクのテンションに基づいて、基板搬送保持部２１により実行される第２の基板と第２のマスクとの版離れにおいて吸着部２０による第２の領域ＡＲ２の吸引の要否を判定する制御部１５９Ａと、を備える。制御部１５９Ａは、第２の領域ＡＲ２の吸引が必要であると判定した場合、吸着部２０に第２の領域ＡＲ２を吸引させる。

【0153】

なお、ここでいう第１の基板は、例えば、図２５の動作手順における「機種Ａ」に対応する。第１のマスクは、例えば、図２５の動作手順における「機種Ａ」に対応するマスク２７である。同様に、第２の基板は、例えば、図２５の動作手順における「機種Ｂ」に対応する。第２のマスクは、例えば、図２５の動作手順における「機種Ｂ」に対応するマスク２７である。

【0154】

なお、ここでいう第１のパターン開口は、第１の基板の表面に形成された電極パターン（不図示）の配置に対応する配置で、ステンシルＳＵＳに設けられた開口である。第２のパターン開口は、第２の基板の表面に形成された電極パターン（不図示）の配置に対応する配置で、ステンシルＳＵＳに設けられた開口である。

【0155】

これにより、実施の形態２に係る印刷装置１１は、マスク２７の入れ替え動作がある場合に、新たなマスク２７により適した版離れモードを設定できる。したがって、印刷装置１１は、新たなマスク２７のテンションにより適したマスク版離れモードを実行することで、マスク２７の下面の第１の領域ＡＲ１と基板ＫＢの上面とを均一に版離れさせることができ、テンションに起因する印刷品質の劣化を抑制することができる。

【0156】

また、以上により、実施の形態２に係る印刷装置１１は、第１のマスクと第２のマスクとを交換する印刷ヘッド３７およびカメラ移動機構４９（マスク牽引部の一例）と、をさらに備える。印刷ヘッド３７およびカメラ移動機構４９は、第１のマスクが備える枠１０１に当接して、複数のマスク２７のそれぞれを格納可能なマガジン２５内へ第１のマスクを格納し、マガジン２５に格納された第２のマスクが備える枠１０１の側面を吸着し、マガジン２５から第２のマスクを引き出して半田ペーストＰｓｔの印刷位置まで牽引する。これにより、実施の形態２に係る印刷装置１１は、第１のマスクと第２のマスクとを自動で入れ替え、入れ替え後の第２のマスクのテンションに基づいて、新たなマスク２７により適した版離れモードを設定できる。

【0157】

また、以上により、実施の形態２に係る印刷装置１１は、第１のマスクの上面から半田ペーストＰｓｔを回収し、第２のマスクの上面に半田ペーストＰｓｔを移載するスクレイパ１３７（移載部の一例）と、をさらに備える。制御部１５９Ａは、第１のマスクと第２のマスクとの交換時に、スクレイパ１３７に第１のマスクの上面の半田ペーストＰｓｔを回収させ、印刷ヘッド３７およびカメラ移動機構４９により印刷位置に第２のマスクが牽引された後に、スクレイパ１３７により回収された半田ペーストＰｓｔを第２のマスクの上面に移載させる。これにより、実施の形態２に係る印刷装置１１は、第１のマスクと第２のマスクとを自動で入れ替え、入れ替え後の第２のマスクのテンションに基づいて、新たなマスク２７により適した版離れモードを設定できる。

【0158】

また、以上により、実施の形態２に係る印刷装置１１は、半田ペーストＰｓｔの粘度を計測する粘度計１９７（粘度計測部の一例）と、第２のマスクの上面に移載された半田ペーストＰｓｔをこねるスキージ１２１と、さらに備える。制御部１５９Ａは、半田ペーストＰｓｔが第２のマスクの上面に移載された後、粘度計１９７に半田ペーストＰｓｔの粘度を計測させ、計測された半田ペーストＰｓｔの粘度に基づいて、スキージ１２１に半田ペーストＰｓｔをこねさせる。これにより、実施の形態２に係る印刷装置１１は、第１のマスクと第２のマスクとを自動で入れ替える間に、半田ペーストＰｓｔの粘度が変化した場合であっても、粘度計１９７により計測された粘度に基づいて、半田こねを実行できる。したがって、印刷装置１１は、第２のマスクを用いた第２の基板の生産をより効率的に開始できる。

【0159】

また、以上により、実施の形態２に係る印刷装置１１は、第１の基板の下面を支持する複数のサポートピン２１９と、複数のサポートピン２１９のそれぞれの位置を変更可能な吸着ヘッド２３３および吸着ノズル２３５（吸着部の一例）と、を備える。制御部１５９Ａは、印刷ヘッド３７およびカメラ移動機構４９により第１のマスクがマガジン２５内に格納された後、吸着ヘッド２３３および吸着ノズル２３５により複数のサポートピン２１９のそれぞれを吸着し、第２の基板の下面を支持可能な位置に搬送して設置する。これにより、実施の形態２に係る印刷装置１１は、第１のマスクと第２のマスクとを自動で入れ替える間に、第２の基板に対応するように複数のサポートピン２１９のそれぞれの配置を変更できる。したがって、印刷装置１１は、第２のマスクを用いた第２の基板の生産をより効率的に開始できる。

【0160】

また、以上により、実施の形態２に係る印刷装置１１における基板搬送保持部２１は、基板ＫＢの両側面に当接して基板ＫＢを保持する一対のクランパ８７（当接部の一例）を有する。吸着部２０は、基板搬送保持部２１に設けられる。これにより、実施の形態２に係る印刷装置１１は、基板ＫＢの両側面に当接して基板ＫＢを保持することにより、半田ペーストＰｓｔの印刷において、基板ＫＢの位置ずれを抑制することができる。

【0161】

以上、図面を参照しながら各種の実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した各種の実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0162】

本開示は、マスクのテンションの変化により適した版離れ制御を実行し、半田ペーストの印刷品質の低下を抑制する印刷装置、印刷方法および半田基板製造方法として有用である。

【符号の説明】

【0163】

１１ 印刷装置
１５ マスクチェンジャ
２０ 吸着部
２１ 基板搬送保持部
２７ マスク
３７ 印刷ヘッド
４９ カメラ移動機構
８７ クランパ
９９ パターン開口
１００ 接続部材
１０１ 枠
１３１ スキージベース駆動モータ
１１５ ロッド
１５９Ａ 制御部
１８３ テンション計測装置
１９７ 粘度計
２１９ サポートピン
２３３ 吸着ヘッド
２３５ 吸着ノズル
ＫＢ 基板
ＳＵＳ ステンシル
Ｐｓｔ 半田ペースト

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】