特開 2023-151679 長尺フィルム、及び接続構造体の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023151679

(43)【公開日】2023-10-16

(54)【発明の名称】長尺フィルム、及び接続構造体の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 3/32 20060101AFI20231005BHJP

   B41M 5/26 20060101ALI20231005BHJP

   B32B 7/06 20190101ALI20231005BHJP

【ＦＩ】

H05K3/32 B

B41M5/26

B32B7/06

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022061427

(22)【出願日】2022-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】000108410

【氏名又は名称】デクセリアルズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100113424

【弁理士】

【氏名又は名称】野口 信博

(74)【代理人】

【識別番号】100185845

【弁理士】

【氏名又は名称】穂谷野 聡

(72)【発明者】

【氏名】田中 雄介

(72)【発明者】

【氏名】玉川 翔悟

【テーマコード（参考）】

2H111

4F100

5E319

【Ｆターム（参考）】

2H111HA14

2H111HA23

2H111HA32

4F100AT00A

4F100BA02

4F100BA03

4F100BA07

4F100BA10A

4F100BA10B

4F100BA10C

4F100CB00B

4F100EJ94

4F100GB41

4F100HB31C

5E319AA03

5E319AA07

5E319AB05

5E319AC02

5E319BB16

5E319CC03

5E319CD53

5E319CD55

5E319GG15

(57)【要約】

【課題】接着フィルムの個片の性能を維持することができる長尺フィルム、及び接続構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】
長尺フィルム１０は、長尺の基材フィルム１１と、基材フィルム１１の長手方向に配置された接着フィルムの個片２１～１５とを有し、所定の個片又は所定の個片を配置する基材フィルムの少なくとも一方に識別マーク３０が付与されている。これにより、個片の使用時には、識別マークを識別することにより不良個片を避けることができ、接着フィルムの個片の性能を維持することができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺の基材フィルムと、前記基材フィルムの長手方向に配置された接着フィルムの個片とを有し、不良個片が判別可能なように所定の個片又は所定の個片を配置する基材フィルムの少なくとも一方に識別マークが付与された長尺フィルム。

【請求項2】

当該長尺フィルムの幅方向の端部に前記基材フィルムからなる端部領域が設けられ、前記端部領域に前記識別マークを有する請求項１記載の長尺フィルム。

【請求項3】

前記端部領域の幅方向の長さが、１００μｍ以上である請求項２記載の長尺フィルム。

【請求項4】

前記個片が、前記基材フィルムが露出した窓枠部を有し、該窓枠部の基材フィルムに前記識別マークが付与された請求項１乃至３のいずれか１項に記載の長尺フィルム。

【請求項5】

前記識別マークが、レーザー印字されてなる請求項１乃至４のいずれか１項に記載の長尺フィルム。

【請求項6】

当該長尺フィルムが、リールに巻き回されてなる請求項１乃至５のいずれか１項に記載の長尺フィルム。

【請求項7】

長尺の基材フィルムと、前記基材フィルムの長手方向に配置された接着フィルムの個片とを有し、不良個片が判別可能なように所定の個片又は所定の個片を配置する基材フィルムの少なくとも一方に識別マークが付与された長尺フィルムを用い、前記識別マークに基づいて正常個片のみを端子列を有する第１の電子部品又は第２の電子部品に貼付する貼付工程と、
前記正常個片を介して、前記第１の電子部品の端子と前記第２の電子部品の端子とを接続させる接続工程と
を有する接続構造体の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本技術は、基材フィルムの長手方向に個片が配置された長尺フィルム、及び接続構造体の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Anisotropic Conductive Film）、導電性フィルム、接着剤フィルム（ＮＣＦ：Non Conductive Film）などの接着フィルムを、例えば任意形状の個片に打ち抜き、基材フィルムの長手方向に個片が配置された長尺フィルムをリールに巻き取り、出荷している（例えば、特許文献１参照。）。

【0003】

しかしながら、例えば打ち抜き時に、破片の残存、破片の個片への転着、個片の捲れなどが発生することがあるため、長尺フィルムの各個片から不良個片を検査し、ピックアップする必要がある。

【0004】

不良個片のピックアップは、検査後に行われるため、不良個片の両端の個片に影響が出る可能性がある。また、接着フィルムの僅かな破片がベースフィルム上に残ってしまい、接続構造体の製造ラインで異物になる可能性がある。このように不良個片のピックアップでは、長尺フィルムの個片の性能を維持することは困難である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－１９８４２２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本技術は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、接着フィルムの個片の性能を維持することができる長尺フィルム、及び接続構造体の製造方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本技術に係る長尺フィルムは、長尺の基材フィルムと、前記基材フィルムの長手方向に配置された接着フィルムの個片とを有し、所定の個片又は所定の個片を配置する基材フィルムの少なくとも一方に識別マークが付与されている。

【発明の効果】

【0008】

本技術によれば、個片の使用時には、識別マークを画像認識することにより不良個片を避けることができ、接着フィルムの個片の性能を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、長尺フィルムの一例を示す図である。

【図2】図２は、窓枠部を有する個片の不良個片の一例を示す模式図であり、図２（Ａ）は、異物が混入した状態を示し、図２（Ｂ）は、ヨレが発生した状態を示し、図２（Ｃ）は、欠けが発生した状態を示す。

【図3】図３は、識別マークの一例を示す図である。

【図4】図４は、検査マーキング装置の構成例を示す図である。

【図5】図５は、検出センサの動作を説明するための図であり、図５（Ａ）は、搬送された長尺フィルムの各個片を検知する検出センサを示し、図５（Ｂ）は、検出センサにて検知された個片の検知信号を示す。

【図6】図６は、検出センサの検知タイミングを説明するための図である。

【図7】図７は、検査判定におけるＮＧ信号及びＯＫ信号を説明するための図である。

【図8】図８は、レーザーマーカーによる識別マークの付与例である。

【図9】図９は、長尺フィルムの供給モータ又は回収モータの加速減速波形例を示す図である。

【図10】図１０は、長尺フィルムの検査方法を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら下記順序にて詳細に説明する。
１．長尺フィルム
２．検査マーキング装置
３．長尺フィルムの製造方法
４．接続構造体の製造方法

【0011】

＜１．長尺フィルム＞
本実施の形態に係る長尺フィルムは、長尺の基材フィルムと、基材フィルムの長手方向に配置された接着フィルムの個片とを有し、不良個片が判別可能なように所定の個片又は所定の個片を配置する基材フィルムの少なくとも一方に識別マークが付与されている。これにより、接個片の使用時には、識別マークを例えば画像認識により識別することにより不良個片を避けることができ、接着フィルムの個片の性能を維持することができる。

【0012】

図１は、長尺フィルムの一例を示す図である。図１に示すように、長尺フィルム１０は、長尺の基材フィルム１１と、基材フィルム１１の長手方向に配置された接着フィルムの個片２１～２５とを有し、不良個片である個片２３及び不良個片である個片２３を配置する基材フィルム１１に識別マーク３０が付与されている。

【0013】

長尺フィルム１０は、幅方向の端部に基材フィルム１１からなる端部領域が設けられることが好ましい。基材フィルム１１からなる端部領域の幅方向の長さＷは、好ましくは１００μｍ以上、より好ましくは５００μｍ以上、さらに好ましくは１０００μｍ以上である。これにより、基材フィルム１１からなる端部領域に識別マークを付与することができ、個片へ識別マークを付与した場合に比べて印字品質の低下を抑制することができる。
また、このような端部領域があることで、長尺になった場合に発生し易い、接着剤のはみ出しが起こり難くなる。接着剤が基材フィルム端部まで届き難いためであり、所謂、ブロッキングが発生し難くなることから、実用上の利便性が向上する。後述するように、個片が基材フィルムの端部から離れている場合、ブロッキングは発生し難くなることから、生産性にも寄与できる。

【0014】

長尺フィルム１０は、個片２１～２５が長手方向に単位領域毎に連続して配置され、リールに巻き回されたものであってもよい。ここで、「単位領域」とは、基材の長さ方向に所定長さを有し、例えば矩形状の領域を示し、個片間の中心線と隣接する個片間の中心線との間の領域、又は個片一つが個片間中心線に挟まれた領域、と考えてもよい。この接着フィルムは、基材フィルムから剥離して分離されるものとなる。本技術では、個片の接着フィルムには、これに対応した支持体はなく、接着剤からなる層のみで構成されているものになる（基材と略同じ幅のカバーフィルムが積層されている場合はある）。

【0015】

基材フィルム１１は、複数の個片を支持する支持フィルムである。基材フィルム１１としては、例えば、ＰＥＴ（Poly Ethylene Terephthalate）、ＯＰＰ（Oriented Polypropylene）、ＰＭＰ（Poly-4-methylpentene-1）、ＰＴＦＥ（Polytetrafluoroethylene）などが挙げられる。また、基材フィルム１１は、少なくとも個片側の面が例えばシリコーン樹脂により剥離処理されたものを好適に用いることができる。

【0016】

基材フィルム１１の厚みは、特に限定されるものではない。基材フィルム１１の厚みの下限は、剥離の観点からは、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは２５μｍ以上、さらに好ましくは３８μｍ以上である。基材フィルムの厚みの上限は、厚すぎると過度に接着フィルムに圧力がかかりすぎることが懸念されるため、好ましくは２００μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下、さらに好ましくは７５μｍ以下であり、５０μｍ以下としてもよい。また、接着フィルムの個片上にカバーフィルムを設ける場合、カバーフィルムの厚みも同様の範囲となるが、カバーフィルムは、基材フィルムより薄い方が好ましい。

【0017】

また、基材フィルム１１の幅も、特に限定されるものではない。基材フィルム１１の幅の下限は、巻き回す観点からは、好ましくは１ｍｍ以上、より好ましくは２ｍｍ以上、さらに好ましくは４ｍｍ以上である。基材フィルム１１の幅の上限は、大きすぎると持ち運びや取り扱いが困難となることが懸念されるため、好ましくは５００ｍｍ以下、より好ましくは２５０ｍｍ以下、さらに好ましくは１２０ｍｍ以下である。

【0018】

接着フィルムとしては、特に制限はなく、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Anisotropic Conductive Film）、導電粒子が接着剤に含有された導電性フィルム、接着剤フィルム（ＮＣＦ：Non Conductive Film）、半田粒子を含有する半田含有フィルムなどが挙げられる。接着フィルムのバインダーは、熱硬化性であっても、熱可塑性であっても構わない。

【0019】

金属粒子、樹脂コア金属被覆粒子、半田粒子などの導電粒子を含有する場合、個片は、導電粒子を含有する領域と、導電粒子を含有しない領域とを有していてもよい。また、個片は、２層以上の構成であってもよく、導電粒子や半田粒子を含む層と含まない層の２層以上の構成であってもよく、導電粒子を含む層同士の２層以上の構成であってもよく、導電粒子を含まない層同士の２層以上の構成であってもよい。

【0020】

接着フィルムの個片の形状は、特に制限はなく、例えば特開２０２０－１９８４２２号公報に記載されているように、水平２辺及び垂直１辺のコの字型、水平２辺及び垂直２辺のロの字型、Ｌ字型、Ｕの字型、Ｃの字型などであってもよい。また、導電粒子を含有する場合、特許第６１８７６６５号公報に記載されているように、導電粒子が絶縁性樹脂に埋め込まれていてもよい。また、導電粒子は、ランダム又は規則的に配置してもよく、導電粒子は、フィルム厚方向の位置が揃っていることが好ましい。また、半田粒子を含有する場合、特許第６８９８４１３号公報に記載されているように、常温で固形であり、温度１９０℃、荷重２．１６ｋｇの条件で測定されたメルトフローレートが１０ｇ／１０ｍｉｎ以上である熱可塑性樹脂を配合し、半田粒子の平均粒径の５０％以上３００％以下の厚みとすることが好ましく、特許第７０３２３６７号公報に記載されているように、接着フィルムの最低溶融粘度が１００Ｐａ・ｓ未満であることが好ましい。なお、接着フィルムのバインダーは、熱硬化性であっても、熱可塑性であっても構わない。また、単層であってもよく、複数層に積層されていてもよい。

【0021】

個片の厚みは、特に限定されるものではなく、個片の厚みの下限は、好ましくは１μｍ以上、より好ましくは３μｍ以上、さらに好ましくは４μｍ以上であり、個片の厚みの上限は、好ましくは５０μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下、さらに好ましくは１０μｍ以下である。

【0022】

個片の厚みは、公知のマイクロメータやデジタルシックネスゲージ（例えば、最小表示量０．０００１ｍｍ）を用いて測定することができる。但し、導電粒子の粒子径よりも個片の厚みが薄い場合には、接触式の厚み測定器は適さないので、レーザー変位計（例えば、分光干渉変位タイプなど）を用いることが好ましい。ここで、個片の厚みとは、バインダー樹脂層のみの厚みであり、導電粒子の粒子径は含まない。

【0023】

また、図１に示すように、個片は、基材フィルム１１が露出した窓枠部を有し、窓枠部の基材フィルムに識別マーク３０が付与されていてもよい。窓枠部を有する個片は、不良個片になり易いため、本技術の適用は特に有用である。

【0024】

図２は、窓枠部を有する個片の不良個片の一例を示す模式図であり、図２（Ａ）は、異物が混入した状態を示し、図２（Ｂ）は、ヨレが発生した状態を示し、図２（Ｃ）は、欠けが発生した状態を示す。図２（Ａ）に示すように、個片上又は基材フィルム上に混入した異物Ｈ１は、外観検査において、例えば導電粒子の粒子径以上の大きさの金属物又は非金属物である場合、不良個片と判別される。また、図２（Ｂ）に示すように、個片の外形に発生したヨレＨ２は、外観検査において、例えばヨレが±５０μｍ以上である場合、不良個片と判別される。また、図２（Ｃ）に示すように、個片の外形に発生した欠けＨ３は、外観検査において、例えば欠けが±５０μｍ以上である場合、不良個片と判別される。

【0025】

識別マーク３０は、レーザーマーカー、インクジェット、パンチングなどを用いて付与することができ、これらの中でも、レーザーマーカーによりレーザー印字されることが好ましい。例えばインクジェットを用いて識別マーク３０を付与する場合、周辺にインクが飛散するため、不良個片の判断を誤ったり、汚損による新たな不良が発生したりする虞がある。また、搬送を止めることなく、不良個所へパンチングによりマーキングを行う場合、個片が配置された長尺フィルムをリールに巻き取る時にパンチングホールによる形状変化で巻き品質が悪化したり、パンチング痕が隣の巻き層にある個片に転写したりする虞がある上、パンチングによる廃棄物の回収が必要となる。また、パンチングによるフィルム振動が前段の検査カメラのフォーカスに悪影響を及ぼすため、搬送を止めることなくマーキングすることが困難となる。識別マーク３０をレーザーマーキングで付与することにより、これらの虞を解消することができる。

【0026】

また、識別マーク３０の幅は、導電粒子を含有する場合は導電粒子の粒子径以上であり、好ましくは２０μｍ以上、より好ましくは５０μｍ以上、さらに好ましくは１００μｍ以上である。これにより、識別マーク３０の識別力を向上させることができきる。

【0027】

また、識別マーク３０は、不良個片が識別可能であれば、印字位置が限定されるものではなく、例えば、長尺フィルムの幅方向の端部に基材フィルムの領域を設けている場合、不良個片の端部の基材フィルムのみに印字してもよく、不良個片のみに印字してもよく、不良個片及び不良個片の端部の基材フィルムの両方に印字してもよい。また、例えば、長尺フィルム幅方向の端部に基材フィルムの領域を設けている場合、正常個片の端部の基材フィルムのみに印字するようにしてもよく、不良個片の前の個片の端部の基材フィルムに印字するようにしてもよい。

【0028】

図３は、識別マークの一例を示す図である。例えば図３（Ａ）に示すように、識別マークＭ１は、個片の窓枠部中央部から基材フィルムからなる端部領域までに印字した幅方向のラインであってもよい。また、例えば図３（Ｂ）に示すように、識別マークＭ２は、基材フィルムからなる端部領域に印字した搬送方向のラインであってもよい。また、例えば図３（Ｃ）に示すように、識別マークＭ３は、個片の窓枠部内に印字した搬送方向のラインであってもよい。また、例えば図３（Ｄ）に示すように、識別マークＭ４は、基材フィルムからなる端部領域に印字した搬送方向のジグザグラインであってもよい。また、例えば図３（Ｅ）に示すように、識別マークＭ５は、個片の窓枠部中央部から基材フィルムからなる端部領域までに印字したサークルであってもよい。また、例えば図３（Ｆ）に示すように、識別マークＭ６は、個片の搬送方向の両端部の内側に印字した斜めラインであってもよい。なお、例えば図３（Ｇ）に示すように、識別マークＭ７は、隣の個片に印字することがなく、不良個片を識別することができれば、特に限定されるものではない。

【0029】

このような長尺フィルムによれば、個片の使用時には、識別マークを例えば画像認識により識別することにより不良個片を避けることができ、接着フィルムの個片の性能を維持することができる。また、各個片についてユーザ側で安全に使用できるように管理することもでき、より安定的に製品の圧着特性等(導通、接着強度、絶縁、信頼性等)を維持することができる。

【0030】

＜２．検査マーキング装置＞
本実施の形態に係る検査マーキング装置は、基材フィルムの長手方向に接着フィルムの個片が配置された長尺フィルムを長手方向に搬送する搬送部と、搬送された長尺フィルムの各個片を検知する検知部と、搬送された長尺フィルムの各個片を検査する検査部と、搬送された長尺フィルムの所定の個片又は所定の個片を配置する基材フィルムの少なくとも一方に識別マークを付与する付与部と、検知部から長尺フィルムの長手方向の各個片の検知位置を含む位置情報を取得し、各個片の位置情報に基づいて、検査部から各個片の検査情報を取得し、各個片の位置情報及び検査情報に基づいて、付与部に識別マークを付与させる制御部とを備える。これにより、接着フィルムの個片を高速に検査し、生産性を向上させることができ、また、個片の使用時には、識別マークを画像認識することにより不良個片を避けることができる。

【0031】

また、制御部は、各個片の検知位置と共に、付与部における各個片の付与位置を位置情報に記録し、付与部は、各個片の付与位置に基づいて、識別マークを付与することが好ましい。これにより、印字トリガを容易に出力することができ、搬送速度を上げても識別マークの位置を安定化させることができる。

【0032】

また、制御部は、各個片の検知位置と共に、検査部における各個片の検査位置を位置情報に記録し、検査部は、各個片の検査位置に基づいて、搬送された長尺フィルムの各個片を検査することが好ましい。これにより、撮像トリガを容易に出力することができ、搬送速度を上げても個片の検査位置を安定化させることができる。

【0033】

また、制御部は、長尺フィルムの搬送速度に基づいて、付与部における識別マークの付与タイミングを制御することが好ましい。これにより、例えば、加速時、減速時の印字位置ズレを抑制することができる。

【0034】

また、付与部は、レーザーマーカー、インクジェット、パンチングなどを用いることができ、これらの中でも、レーザーマーカーにより識別マークを付与することが好ましい。例えばインクジェットを用いて識別マークを付与する場合、周辺にインクが飛散するため、不良個片の判断を誤ったり、汚損による新たな不良が発生したり、といった懸念が生じる場合がある。また、搬送を止めることなく、不良個所へパンチングによりマーキングを行う場合、個片が配置された長尺フィルムをリールに巻き取る時にパンチングホールによる形状変化で巻き品質が悪化したり、パンチング痕が隣の巻き層にある個片に転写したりする虞がある上、パンチングによる廃棄物の回収が必要となる。また、パンチングによるフィルム振動が前段の検査カメラのフォーカスに悪影響を及ぼすため、搬送速度に影響が生じ、生産性に悪影響が生じる場合がある。このような理由から、付与部として、レーザーマーキングを用いることにより、これらの懸念を回避することができる。

【0035】

図４は、検査マーキング装置の構成例を示す図である。図４に示すように、検査マーキング装置４０は、巻き出し機構４１と、検出センサ４２と、検査カメラ４３と、レーザーマーカー４４と、巻き取り機構４５とを備える。また、外観検査マーキング装置は、巻き出し機構４１と、検出センサ４２と、検査カメラ４３と、レーザーマーカー４４と、巻き取り機構４５とを制御する制御部を備える。ここで、巻き出し機構４１及び巻き取り機構４５は、前述の搬送部に対応し、検出センサ４２は、前述の検知部に対応し、検査カメラ４３は、前述の検査部に対応し、レーザーマーカー４４は、前述の付与部に対応する。

【0036】

巻き出し機構４１は、図示しないが、例えば長尺フィルムが収容される供給リール、供給リールから長尺フィルムが巻き出されるよう供給リールを回転駆動する供給モータ、長尺フィルムを転がり接触状態で支持するローラなどを備え、供給リールから長尺フィルムを巻き出し、長手方向に搬送する。また、図示しないが、巻き出し機構４１から巻き取り機構４５までの長尺フィルムは、例えばローラの作用により長尺フィルムの長手方向に引っ張り力が付与される。

【0037】

検出センサ４２は、例えば、ラインセンサカメラ、エリアラインカメラなどから構成することができ、搬送された長尺フィルムの各個片を検知する。例えば、ラインセンサカメラを用いて搬送された長尺フィルムの幅方向を撮像し、基材フィルム上に個片がある場合と個片がない場合との反射光の違いを検出することにより、個片を検知することができる。

【0038】

図５は、検出センサの動作を説明するための図であり、図５（Ａ）は、搬送された長尺フィルムの各個片を検知する検出センサを示し、図５（Ｂ）は、検出センサにて検知された個片の検知信号を示す。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、検出センサ４２は、例えば搬送された長尺フィルムに対して個片が有る状態をＨｉ、及び個片が無い状態をＬｏとして検知信号を出力し、制御部は、検知信号がＬｏからＨｉに変わるタイミングで各個片５０を検知する。

【0039】

図６は、検出センサの検知タイミングを説明するための図である。検出センサ４２は、例えば図６に示すように、ｔ＝０、ｔ＝１、ｔ＝２、ｔ＝３、ｔ＝４、ｔ＝５、のタイミングで撮像し、制御部は、検知信号がＬｏからＨｉに変わるｔ＝１及びｔ＝５のタイミングで個片を検知する。

【0040】

後述するように、検査カメラ４３の撮像トリガ及びレーザーマーカー４４の印字トリガをオフセット設定する場合、検出センサ４２の撮像間隔を短くすることにより、検知位置の誤差が小さくなり、検査カメラ４３の撮像位置及びレーザーマーカー４４の位置精度が向上する。このため、検出センサ４２の撮像間隔は、好ましくは１～５０ミリ秒、より好ましくは１～１０ミリ秒、さらに好ましくは１～５ミリ秒である。

【0041】

検査カメラ４３は、例えば、エリアラインカメラなどから構成され、例えば、基材フィルムへの破片の残存、破片の個片への転着、個片の捲れなどの外観検査のための撮像を行い、外観検査の結果を制御部の個片情報メモリに記録する。外観検査は、正常個片であるＯＫ判定と不良個片であるＮＧ判定との２つの検査判定を行い、１つの個片の検査判定に対してＮＧ信号及びＯＫ信号を出力することが好ましい。

【0042】

図７は、検査判定におけるＮＧ信号及びＯＫ信号を説明するための図である。外観検査は、例えば図７に示すように、１つの個片の検査判定に対してＮＧ信号及びＯＫ信号を出力し、例えば個片番号３の不良個片に対してＮＧ信号をＨｉとして出力し、個片番号１，２，４，５の正常個片に対してＯＫ信号をＨｉとして出力する。これにより、例えば個片番号３の不良個片のＮＧ判定が遅れ、ＮＧ信号の出力が遅れた場合でも、個片番号３の不良個片がレーザーマーカー４４の印字トリガに到達する前に個片番号３のＮＧ結果をメモリに個片情報として記録すればよく、判定処理に余裕を持たせることができる。

【0043】

レーザーマーカー４４は、対象物にレーザー光を照射して対象物表面を酸化、剥離、発色などにより状態を変化させ、搬送を止めることなく、また搬送に過度な影響（振動など）を及ぼすことなく、所定の個片又は基材フィルムの少なくとも一方に対して識別マークを付与する。レーザーマーカー４４は、１点のレーザー光を照射して、一筆書きのように印字していくスキャン方式であることが好ましい。レーザーマーカー４４に使用されるレーザーは、基材フィルムの材料、個片の接着フィルム材料などに応じて適宜選択すればよく、例えばファイバーレーザー、ＵＶレーザー、ＹＶＯ_４レーザー、ＣＯ_２レーザー、ＹＡＧレーザーなどを選択することができる。また、レーザーマーカー４４は、発塵の影響を抑制するため、印字部にバキュームを設けることが好ましい。

【0044】

図８は、レーザーマーカーによる識別マークの付与例である。図８に示すように、レーザーマーカー４４は、例えば不良個片５２、５４、５６に対してそれぞれ識別マークＭ１～Ｍ３を付与し、正常個片５１、５３、５５に対して識別マークＭを付与しない。識別マークは、単位領域内に付与されることが好ましく、単位領域の中心付近に付与されることがより好ましい。これにより不良個片の識別力を向上させることができる。なお、図８に示す識別マークの付与例では、不良個片及び不良個片の端部の基材フィルムの両方に印字しているが、本技術は、これに限られるものではない。

【0045】

巻き取り機構４５は、例えば、長尺フィルムが回収される回収リール、回収リールから長尺フィルムが巻き取られるよう回収リールを回転駆動する回収モータ、長尺フィルムを転がり接触状態で支持するローラなどを備え、個片の検査、マーキングが終了した長尺フィルムを回収リールに巻き取る。

【0046】

制御部は、メモリを有する、例えばＰＬＣ（Programmable Logic Controller）などで構成され、巻き出し機構４１からの長尺フィルムの引き出し長さ又は巻き取り機構４５への長尺フィルムの回収長さに基づいて長尺フィルムが走行した搬送距離を測長する。また、制御部は、長尺フィルムの供給モータ及び回収モータを制御し、長尺フィルムを所定の搬送速度で走行させる。長尺フィルムの搬送速度は、好ましくは１～５０ｍ／ｍｉｎ、より好ましくは５～５０ｍ／ｍｉｎ、さらに好ましくは１０～５０ｍ／ｍｉｎである。

【0047】

また、制御部は、検出センサ１２から長尺フィルムの長手方向の各個片の検知位置を含む位置情報を取得し、位置情報を個片情報としてメモリに記録する。また、制御部は、各個片の位置情報に基づいて、検査カメラ４３から各個片の検査情報を取得し、検査情報を個片情報としてメモリに記録する。また、制御部は、各個片の個片情報に基づいて、レーザーマーカー４４に識別マークを付与させる。また、制御部は、個片情報に基づいて、検査カメラ４３の撮像タイミング、レーザーマーカー４４の印字タイミングなどを制御する。

【0048】

表１に、メモリに記録される個片情報の一例を示す。表１に示すように、個片情報は、個片番号（個片Ｎｏ．）と、検出センサ４２による個片検知の測長値（有り無し検知測長）と、検査カメラ４３の撮像トリガの測長値（カメラトリガ測長）と、検査判定による検査結果（検査結果）と、レーザーマーカー４４の印字トリガの測長値（レーザー測長）とを有する。

【0049】

【表1】

【0050】

制御部は、検出センサ４２で個片を検知する毎に、個片番号を記録すると共に長尺フィルムの長手方向の各個片の検知位置を示す個片検知の測長値を個片情報に記録する。また、制御部は、各個片の検知位置と共に、検査カメラ４３における各個片の検査位置を示す撮像トリガの測長値を個片情報に記録し、検査カメラ４３は、各個片の撮像トリガの測長値に基づいて、搬送された長尺フィルムの各個片を検査することが好ましい。すなわち、制御部は、予め設定された検出センサ４２から検査カメラ４３までの距離をオフセットすることにより（表１に示す個片情報の例では、３００．００ｍｍ）、検査カメラ１３の撮像トリガを容易に出力することができる。

【0051】

また、制御部は、各個片の検知位置と共に、レーザーマーカー４４における各個片の付与位置である印字トリガの測長値を個片情報に記録し、レーザーマーカー４４は、各個片の印字トリガの測長値に基づいて、識別マークを付与することが好ましい。すなわち、制御部は、予め設定された検出センサ４２からレーザーマーカー４４までの距離をオフセットすることにより（表１に示す個片情報の例では、６００．００ｍｍ）、レーザーマーカー４４の印字トリガを容易に出力することができる。

【0052】

また、制御部は、長尺フィルムの搬送速度に基づいて、レーザーマーカー４４における識別マークの付与タイミングを制御することが好ましい。例えば、制御部は、供給モータ又は回収モータの加速減速波形の領域に基づいて印字トリガを補正することが好ましい。

【0053】

図９は、長尺フィルムの供給モータ又は回収モータの加速減速波形例を示す図である。図９に示すように、供給モータ又は回収モータの加速減速波形は、例えば、加速制御により加速し、減速制御により減速する。そして、加速減速波形は、例えば、加速開始直後領域Ｓ１と、一定増速領域Ｓ２と、加速終了領域Ｓ３と、定速領域Ｓ４と、減速開始直後領域Ｓ５と、一定減速領域Ｓ６と、減速終了領域Ｓ７との７つの速度領域に分けることができる。制御部は、供給モータ又は回収モータの速度領域を監視し、印字トリガに速度領域Ｓ１～Ｓ７に応じた補正値をそれぞれ設定することにより、例えば、加速時、減速時の印字位置ズレを抑制することができる。

【0054】

次に、図４に示す検査マーキング装置の動作例について説明する。巻き出し機構４１から搬送される接着フィルムの個片を検出センサ４２が検知し、個片を検知する毎に長尺フィルムが走行した搬送距離の測長値をメモリに個片情報として記録する。また、制御部は、個片を検知する毎に予め設定された検出センサ４２から検査カメラ４３までの距離（撮像トリガの測長値）、及び予め設定された検出センサ４２からレーザーマーカー４４までの距離（印字トリガの測長値）を個片情報にオフセットする。

【0055】

制御部は、撮像トリガの測長値分走行した場合、検査カメラ４３にカメラ撮像トリガを出力して外観検査を行い、その検査結果を個片情報に付与することにより、個片と検査結果とを紐付ける。そして、制御部は、個片情報の検査結果がＮＧである個片が印字トリガの測長値分走行した場合、レーザーマーカー４４に印字トリガを出力して不良個片に識別マークを印字する。

【0056】

このような検査マーキング装置によれば、搬送を止めることなく、接着フィルムの個片を高速に検査し、所定の個片又は基材フィルムの少なくとも一方に対して識別マークを付与することができ、生産性を向上させることができる。

【0057】

＜２．長尺フィルムの製造方法＞
本実施の形態に係る長尺フィルムの製造方法は、基材フィルムの長手方向に接着フィルムの個片が配置された長尺フィルムを作製する作製工程と、長尺フィルムを長手方向に搬送する搬送工程と、搬送された長尺フィルムの各個片を検知し、長尺フィルムの長手方向の各個片の検知位置を含む位置情報を取得する検知工程と、各個片の位置情報に基づいて、搬送された長尺フィルムの各個片を検査し、各個片の検査情報を取得する検査工程と、各個片の位置情報及び検査情報に基づいて、搬送された長尺フィルムの所定の個片又は所定の個片を配置する基材フィルムの少なくとも一方に識別マークを付与する付与工程とを有する。これにより、接着フィルムの個片を高速に検査し、生産性を向上させることができる。

【0058】

ここで、検知工程では、付与工程における各個片の付与位置を位置情報に記録し、付与工程では、各個片の付与位置に基づいて、識別マークを付与することが好ましい。これにより、印字トリガを容易に出力することができ、搬送速度を上げても識別マークの位置を安定化させることができる。

【0059】

また、検知工程では、検査工程における各個片の検査位置を位置情報に記録し、検査工程では、各個片の検査位置に基づいて、搬送された長尺フィルムの各個片を検査することが好ましい。これにより、撮像トリガを容易に出力することができ、搬送速度を上げても個片の検査位置を安定化させることができる。

【0060】

また、付与工程では、長尺フィルムの搬送速度に基づいて、識別マークの付与タイミングを制御することが好ましい。これにより、例えば、加減時、減速時の印字位置ズレを抑制することができる。

【0061】

また、付与工程では、レーザーマーカー、インクジェット、パンチングなどを用いることができ、これらの中でも、レーザーマーカーにより識別マークを付与することが好ましい。例えばインクジェットを用いて識別マークを付与する場合、周辺にインクが飛散するため、不良個片の判断を誤ったり、汚損による新たな不良が発生したりする虞がある。また、搬送を止めることなく、不良個所へパンチングによりマーキングを行う場合、個片が配置された長尺フィルムをリールに巻き取る時にパンチングホールによる形状変化で巻き品質が悪化したり、パンチング痕が隣の巻き層にある個片に転写したりする虞がある上、パンチングによる廃棄物の回収が必要となる。また、パンチングによるフィルム振動が前段の検査カメラのフォーカスに悪影響を及ぼすため、搬送を止めることなくマーキングすることが困難となる。付与部として、レーザーマーキングを用いることにより、これらの虞を解消することができる。

【0062】

以下、作製工程（Ａ）、搬送工程（Ｂ）、検知工程（Ｃ）、検査工程（Ｄ）、及び、付与工程（Ｅ）について、前述した図４～図９に示す検査マーキング装置、及び図１０に示す長尺フィルムの検査方法を示すフローチャートを用いて説明する。

【0063】

［作製工程（Ａ）］
作製工程（Ａ）では、基材フィルムの長手方向に接着フィルムの個片が配置された長尺フィルムを作製する。個片は、ハーフカット加工、スクリーン印刷、又はインクジェット印刷により基材フィルム上に形成されることが好ましい。ハーフカット加工は、ビク刃により基材フィルムをカットせずに接着フィルムのみをカットし、不必要ところは抜き加工などにより除去する。スクリーン印刷は、スクリーンマスクの網目に対し、スキージなどによる圧力で接着剤を通過させ、基材フィルム上に印刷（塗布）し、例えばスクリーンマスクの厚みにより所定厚みの個片を作製する。スクリーンマスクは、ポリエステルなどの合成繊維又はステンレスや各種金属繊維で織ったスクリーンメッシュを用いた版である。接着剤が導電粒子や半田粒子を含む場合は、導電粒子や半田粒子の最大径よりもメッシュを大きくすればよい。インクジェット印刷は、版不要でデータから直接パターニングし、例えばノズル径により塗布量をコントロールして所定厚みの個片を作製する。

【0064】

また、個片は、２層以上の構成であってもよく、導電粒子や半田粒子を含む層と含まない層の２層以上の構成であってもよく、導電粒子や半田粒子を含む層同士の２層以上の構成であってもよく、導電粒子や半田粒子を含まない層同士の２層以上の構成であってもよい。個片を２層以上で構成する場合、塗布や積層などにより２層以上の原反を形成してからハーフカット加工することが好ましい。また、スクリーン印刷により個片を作製した後に、積層して成形してもよい。また、ノズルジェット印刷（インクジェット印刷）で、個片を作製した後に、積層して成形してもよい。

【0065】

［搬送工程（Ｂ）］
次の搬送工程（Ｂ）では、長尺フィルムを長手方向に搬送する。ステップＳ１１において、制御部は、巻き出し機構４１から接着フィルムの個片が配置された長尺フィルムを巻き出し、長尺フィルムの長手方向の位置を示す搬送距離を測長する。

【0066】

［検知工程（Ｃ）］
次の検知工程（Ｃ）では、搬送された長尺フィルムの各個片を検知し、長尺フィルムの長手方向の各個片の検知位置を含む位置情報を取得する。先ず、ステップＳ１２において、制御部は、検出センサ４２を用いて、基材フィルム上の個片の有無を判別し、各個片の長尺フィルムの長手方向の位置情報である搬送距離の測長値を取得する。

【0067】

そして、ステップＳ１３において、制御部は、例えば表１に示す個片情報のように、検出センサ４２で個片を検知する毎に、個片番号（個片Ｎｏ．）を記録すると共に長尺フィルムの長手方向の各個片の検知位置を示す個片検知の測長値（有り無し検知測長）を個片情報に記録する。

【0068】

また、制御部は、例えば表１に示す個片情報のように、検査カメラ４３における各個片の検査位置を示す撮像トリガの測長値（カメラトリガ測長）を個片情報に記録する。すなわち、制御部は、予め設定された検出センサ４２から検査カメラ４３までの距離を個片情報にオフセットする（表１に示す個片情報の例では、３００．００ｍｍ）。

【0069】

また、制御部は、例えば表１に示す個片情報のように、レーザーマーカー１４における各個片の付与位置である印字トリガの測長値（レーザー測長）を個片情報に記録する。すなわち、制御部は、予め設定された検出センサ４２からレーザーマーカー４４までの距離を個片情報にオフセットする（表１に示す個片情報の例では、６００．００ｍｍ）。

【0070】

［検査工程（Ｄ）］
次の検査工程（Ｄ）では、各個片の位置情報に基づいて、搬送された長尺フィルムの各個片を検査し、各個片の検査情報を取得する。先ず、ステップＳ１４において、制御部は、検査カメラ１３における各個片の検査位置を示す撮像トリガの測長値（カメラトリガ測長）を走行したか否かを判別し、撮像トリガの測長値を走行したと判断した場合、ステップＳ１５に進む。

【0071】

次に、ステップＳ１５において、制御部は、撮像トリガの測長値に基づいて検査カメラ１３で個片を撮像し、外観検査を行う。外観検査は、正常個片であるＯＫ判定と不良個片であるＮＧ判定との２つの検査判定を行い、１つの個片の検査判定に対してＮＧ信号及びＯＫ信号を出力することが好ましい。制御部は、外観検査のＯＫ又はＮＧの判定結果の検査情報を個片情報としてメモリに記録する。

【0072】

［付与工程（Ｅ）］
次の付与工程（Ｅ）では、各個片の位置情報及び検査情報に基づいて、搬送された長尺フィルムの所定の個片又は所定の個片を配置する基材フィルムの少なくとも一方に識別マークを付与する。先ず、ステップＳ１６において、制御部は、レーザーマーカー４４における各個片の付与位置である印字トリガの測長値を走行したか否かを判別し、撮像トリガの測長値を走行したと判断した場合、ステップＳ１７に進む。

【0073】

次に、ステップＳ１７において、制御部は、メモリに記録された個片情報に基づいて所定の個片の検査結果がＯＫか否かを判別し、検査結果がＯＫの場合は、ステップＳ１９に進み、検査結果がＮＧの場合は、ステップＳ１８に進む。

【0074】

ステップＳ１８において、制御部は、レーザーマーカー４４に個片情報の検査結果がＮＧである不良個片に対して識別マークを付与させ、ステップＳ１９に進む。ステップＳ１９において、制御部は、個片の検査、マーキングが終了した長尺フィルムを巻き取り機構４５の回収リールに巻き取る。

【0075】

このような長尺フィルムの製造方法によれば、搬送を止めることなく、接着フィルムの個片を高速に検査し、所定の個片又は基材フィルムの少なくとも一方に対して識別マークを付与することができ、生産性を向上させることができる。

【0076】

＜４．接続構造体の製造方法＞
本実施の形態に係る接続構造体の製造方法は、長尺の基材フィルムと、前記基材フィルムの長手方向に配置された接着フィルムの個片とを有し、不良個片が判別可能なように所定の個片又は所定の個片を配置する基材フィルムの少なくとも一方に識別マークが付与された長尺フィルムを用い、識別マークに基づいて正常個片のみを端子列を有する第１の電子部品又は第２の電子部品に貼付する貼付工程と、正常個片を介して、第１の電子部品の端子と第２の電子部品の端子とを接続させる接続工程とを有する。

【0077】

［貼付工程］
貼付工程では、前述した長尺フィルムを用い、識別マークに基づいて正常個片のみを端子列を有する第１の電子部品又は第２の電子部品に貼付する。例えば、画像認識により不良個片を判別して使用せずに、正常個片について貼付装置を用いて基材フィルム側から押圧し、ステージ上の第１の電子部品又は第２の電子部品の実装面に個片を貼り付ける。個片が転着された長尺フィルムは、基材フィルムのみとなって巻き取られ、不良個片は、基材フィルムと共に巻き取られてもよく、回収部材に貼り付けた後、基材フィルムのみとなって巻き取られてもよい。

【0078】

［接続工程］
接続工程では、正常個片を介して、第１の電子部品の端子と第２の電子部品の端子とを接続させる。例えば、緩衝材を介して、第１の電子部品及び第２の電子部品の端子列上を圧着ツールで押圧する。また、個片の接着フィルムの硬化型に応じて、加熱、光照射などを行い、個片を硬化させる。

【0079】

このような接続構造体の製造方法によれば、使用する接着フィルムの個片の性能を維持することができ、接続構造体の優れた圧着特性等(導通、接着強度、絶縁、信頼性等)を得ることができる。

【符号の説明】

【0080】

１０ 長尺フィルム、１１ 基材フィルム、２１～２５ 個片、３０ 識別マーク、４０ 検査マーキング装置、４１ 巻き出し機構、４２ 検出センサ、４３ 検査カメラ、４４ レーザーマーカー、４５ 巻き取り機構、５０～５６ 個片

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】