特開 2023-151896 光走査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023151896

(43)【公開日】2023-10-16

(54)【発明の名称】光走査装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/10 20060101AFI20231005BHJP

   G02B 26/12 20060101ALI20231005BHJP

   B41J 2/47 20060101ALI20231005BHJP

   H04N 1/113 20060101ALI20231005BHJP

【ＦＩ】

G02B26/10 F

G02B26/12

B41J2/47 101D

H04N1/113

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022061760

(22)【出願日】2022-04-01

(71)【出願人】

【識別番号】000005267

【氏名又は名称】ブラザー工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100116034

【弁理士】

【氏名又は名称】小川 啓輔

(74)【代理人】

【識別番号】100144624

【弁理士】

【氏名又は名称】稲垣 達也

(72)【発明者】

【氏名】横井 淳一

【テーマコード（参考）】

2C362

2H045

5C072

【Ｆターム（参考）】

2C362AA03

2C362BA04

2C362BA84

2C362BA87

2C362BA90

2C362DA03

2C362DA14

2H045AA03

2H045BA22

2H045BA34

2H045CA03

2H045CA63

2H045DA02

2H045DA04

2H045DA41

5C072AA05

5C072BA02

5C072BA04

5C072DA02

5C072DA04

5C072DA23

5C072HA02

5C072HA09

5C072HA13

(57)【要約】

【課題】走査光学装置の組立時において、反射ミラーの角度調整が容易となる走査光学装置を提供する。
【解決手段】光走査光学装置は、ビームを出射する入射光学系と、ポリゴンミラーと、ポリゴンミラーを回転させるモータと、走査光学系と、フレームＦとを備える。走査光学系は、走査レンズと、反射ミラー８１とを有する。フレームＦは、モータが固定され、ポリゴンミラーおよび走査光学系を収容する。反射ミラー８１は、ビームを軸方向の一方側に向かう方向に反射する。フレームＦは、座面ＦｓＺと、カバー壁ＣＷとを有する。座面ＦｓＺは、反射ミラー８１を支持して反射ミラー８１の角度の調整が可能である。カバー壁ＣＷは、反射ミラー８１の第１方向の他方側に位置し、反射ミラー８１を覆い、かつ、第１方向の他方側に座面ＦｓＺを露出させる。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ビームを出射する入射光学系と、
前記入射光学系から出射されたビームを偏向するポリゴンミラーと、
軸方向に延びる回転軸線を中心に前記ポリゴンミラーを回転させるモータと、
前記ポリゴンミラーで偏向されたビームを像面に結像させる走査レンズと、ビームを反射する反射ミラーと、を有する走査光学系と、
前記モータが固定され、前記ポリゴンミラーおよび前記走査光学系を収容するフレームと、を備え、
前記反射ミラーは、ビームを前記軸方向の一方側に向かう方向に反射し、
前記フレームは、
前記反射ミラーを支持して前記反射ミラーの角度の調整が可能な座面と、
前記反射ミラーの前記軸方向の他方側に位置し、前記反射ミラーを覆い、かつ、前記軸方向の他方側に前記座面を露出させるカバー壁と、を有することを特徴とする走査光学装置。

【請求項2】

前記反射ミラーは、前記軸方向と直交する長手方向に延びており、
前記フレームは、前記ポリゴンミラーおよび前記走査光学系の長手方向における一方側に位置する第１側壁と、前記ポリゴンミラーおよび前記走査光学系の長手方向における他方側に位置する第２側壁と、を有し、
前記第１側壁は、前記反射ミラーの前記長手方向の一方側の端面を露出させる開口を有することを特徴とする請求項１に記載の走査光学装置。

【請求項3】

前記入射光学系は、光を出射する半導体レーザと、前記半導体レーザからの光をビームに変換するカップリングレンズと、を有し、前記走査光学系の前記長手方向における他方側に位置することを特徴とする請求項２に記載の走査光学装置。

【請求項4】

前記反射ミラーは、前記軸方向において、前記走査レンズと重なることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の走査光学装置。

【請求項5】

前記反射ミラーは、前記軸方向と直交する長手方向に延びており、
前記長手方向において、前記カバー壁は、前記走査光学系の有効走査範囲を含む範囲に渡って延びることを特徴とする請求項１に記載の走査光学装置。

【請求項6】

前記座面に対する前記反射ミラーの向きを保持するスペーサをさらに備え、
前記スペーサは、光硬化樹脂で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の走査光学装置。

【請求項7】

前記座面は、前記反射ミラーに向けて突出し、前記反射ミラーと接触して前記反射ミラーの向きを調整する際の支点となる突起を有することを特徴とする請求項６に記載の走査光学装置。

【請求項8】

前記反射ミラーを前記座面に向けて押圧するバネをさらに備え、
前記バネは、前記光硬化樹脂を硬化させる光が透過可能な開口部を有することを特徴とする請求項６または請求項７に記載の走査光学装置。

【請求項9】

前記フレームに取り付けられ、前記座面を有する支持部材をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の走査光学装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、組立時において角度の調整が可能な反射ミラーを備えた光走査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、光源と、光源から出射されたビームを偏向するポリゴンミラーと、ポリゴンミラーを駆動するモータと、ベース壁および側壁を有する筐体と、を備えた光走査装置が知られている（特許文献１参照）。この光走査装置は、ベース壁にポリゴンモータが固定され、ベース壁とは反対側の開口から感光体に向けてビームが出射される。光走査装置の組立時にはビームの出射方向である開口側から反射ミラーの角度調整をする。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４－１７８３４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１の光走査装置では、光走査装置の組立時には、反射ミラーの角度調整をビームの出射方向である開口側からするため、反射ミラーの角度調整が容易でないという問題点があった。

【0005】

そこで、本発明は、光走査装置の組立時において、反射ミラーの角度調整が容易な光走査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記課題を解決するため、本発明に係る光走査光学装置は、ビームを出射する入射光学系と、入射光学系から出射されたビームを偏向するポリゴンミラーと、軸方向に延びる回転軸線を中心にポリゴンミラーを回転させるモータと、走査光学系と、フレームと、を備える。
走査光学系は、ポリゴンミラーで偏向されたビームを像面に結像させる走査レンズと、ビームを反射する反射ミラーと、を有する。フレームは、モータが固定され、ポリゴンミラーおよび走査光学系を収容する。反射ミラーは、ビームを軸方向の一方側に反射する。フレームは、座面と、カバー壁と、を有する。座面は、反射ミラーを支持して反射ミラーの角度の調整が可能である。カバー壁は、反射ミラーの軸方向の他方側に位置し、反射ミラーを覆い、かつ、軸方向の他方側に座面を露出させる。

【0007】

この構成によれば、反射ミラーの角度調整をビームの出射方向とは反対側から行うことができる。このため、光走査装置の組立時において、反射ミラーの角度調整が容易となる。

【0008】

また、前記した走査光学装置において、反射ミラーは、軸方向と直交する長手方向に延びており、フレームは、ポリゴンミラーおよび走査光学系の長手方向における一方側に位置する第１側壁と、ポリゴンミラーおよび走査光学系の長手方向における他方側に位置する第２側壁と、を有し、第１側壁は、反射ミラーの長手方向の一方側の端面を露出させる開口を有する構成としてもよい。

【0009】

この構成によれば、反射ミラーを走査光学装置に取り付ける場合に、反射ミラーを長手方向から取り付けることができる。

【0010】

また、前記した走査光学装置において、入射光学系は、光を出射する半導体レーザと、半導体レーザからの光をビームに変換するカップリングレンズと、を有し、走査光学系の長手方向における他方側に位置する構成としてもよい。

【0011】

この構成によれば、反射ミラーを取り付けるときに入射光学系が邪魔にならない。

【0012】

また、前記した走査光学装置において、反射ミラーは、軸方向において、走査レンズと重なる構成としてもよい。

【0013】

この構成によれば、走査レンズに干渉しない方向（ビームの出射方向とは反対側）から反射ミラーの角度を調整できる。

【0014】

また、前記した走査光学装置において、反射ミラーは、軸方向と直交する長手方向に延びており、長手方向において、カバー壁は、走査光学系の有効走査範囲を含む範囲に渡って延びる構成としてもよい。

【0015】

この構成によれば、走査光学系の有効走査範囲にゴミが付着するのを抑制できる。

【0016】

また、前記した走査光学装置において、座面に対する反射ミラーの向きを保持するスペーサをさらに備え、スペーサは、光硬化樹脂で構成されていてもよい。

【0017】

また、前記した走査光学装置において、座面は、反射ミラーに向けて突出し、反射ミラーと接触して反射ミラーの向きを調整する際の支点となる突起を有する構成としてもよい。

【0018】

また、前記した走査光学装置において、反射ミラーを座面に向けて押圧するバネをさらに備え、バネは、光硬化樹脂を硬化させる光が透過可能な開口部を有する構成としてもよい。

【0019】

また、前記した走査光学装置において、フレームに取り付けられ、座面を有する支持部材をさらに有する構成としてもよい。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、光走査装置の組立時において、反射ミラーの角度調整が容易となる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】一実施形態に係る走査光学装置の斜視図である。

【図2】カップリングレンズ周りの構造を示す斜視図（ａ）と、（ａ）とは異なる方向から見た斜視図（ｂ）である。

【図3】走査光学装置を下側から見た斜視図である。

【図4】図１のＩＶ－ＩＶ断面図である。

【図5】図１のＶ－Ｖ断面図である。

【図6】走査光学装置のフレームを上から見た図である。

【図7】フレームの側面図であり、反射ミラーを取り付ける開口を示す図である。

【図8】反射ミラーを走査光学装置に取り付ける方法を説明する斜視図である。

【図9】走査光学系の有効走査範囲とカバー壁の延びる範囲を説明する図である。

【図10】反射ミラーの角度調整をする方法を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図１～図３に示すように、走査光学装置１は、フレームＦと、入射光学系Ｌｉと、偏向器５０と、走査光学系Ｌｏとを備える。走査光学装置１は、電子写真式の画像形成装置に適用される。以下の説明では、図３に示すポリゴンミラー５１の回転軸線Ｘ１に沿った方向を、「第１方向」と称する。また、第１方向に直交する方向であって、図３に示すポリゴンミラー５１と第１走査レンズ６０が並ぶ方向を、「第２方向」と称する。また、第１方向および第２方向に直交する方向を「第３方向」と称する。
なお、第３方向は、後述する反射ミラー８１の長手方向の一例であり、走査光学系Ｌｏにおいては主走査方向に相当する。第１方向は、ポリゴンミラー５１の軸方向の一例であり、副走査方向に相当する。また、図面における各方向を示す矢印は、各方向における「一方側」を指すこととする。

【0023】

図１に示すように、入射光学系Ｌｉは、走査光学系Ｌｏの第３方向（長手方向）における他方側に位置する。図２（ａ），（ｂ）に示すように、入射光学系Ｌｉは、４つの半導体レーザ１０と、４つのカップリングレンズ２０と、絞り板３０と、集光レンズ４０とを備える。半導体レーザ１０とカップリングレンズ２０は、光源の一例である。

【0024】

半導体レーザ１０は、光を出射する装置である。半導体レーザ１０は、走査光学装置１が走査露光する４つの感光ドラム２００（図５参照）に対応して４つ設けられている。各感光ドラム２００には、それぞれ異なる色のトナー像が形成される。

【0025】

なお、本実施形態では、第１色を「イエロー（Ｙ）」、第２色を「マゼンタ（Ｍ）」、第３色を「シアン（Ｃ）」、第４色を「ブラック（Ｋ）」とする。以下の説明では、第１色に対応した部品の名称の頭に「第１」を付し、第１色に対応した部品の符号の末尾に「Ｙ」を付して区別する場合がある。また、第２色、第３色、第４色に対応した部品ついても同様に、名称の頭に「第２」、「第３」、「第４」を付し、符号の末尾に「Ｍ」、「Ｃ」、「Ｋ」を付して区別する場合がある。

【0026】

第１半導体レーザ１０Ｙは、第２半導体レーザ１０Ｍに対して第１方向に間隔を空けて並んでいる。第１半導体レーザ１０Ｙは、第２半導体レーザ１０Ｍに対して第１方向の一方側に位置する。

【0027】

第３半導体レーザ１０Ｃは、第２半導体レーザ１０Ｍに対して第２方向に間隔を空けて並んでいる。第３半導体レーザ１０Ｃは、第２半導体レーザ１０Ｍに対して第２方向の他方側に位置する。第４半導体レーザ１０Ｋは、第１方向において第３半導体レーザ１０Ｃと間隔を空けて並び、かつ、第２方向において第１半導体レーザ１０Ｙと間隔を空けて並んでいる。

【0028】

カップリングレンズ２０は、半導体レーザ１０からの光をビームに変換するレンズである。各色に対応したカップリングレンズ２０Ｙ，２０Ｍ，２０Ｃ，２０Ｋは、対応する半導体レーザ１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０Ｋと対向する位置に配置されている。

【0029】

図２（ｂ）に示すように、絞り板３０は、カップリングレンズ２０からのビームが通過する開口絞り３１を有する部位であり、フレームＦに一体に形成されている。絞り板３０は、カップリングレンズ２０と集光レンズ４０の間に位置している。

【0030】

集光レンズ４０は、カップリングレンズ２０からのビームを副走査方向においてポリゴンミラー５１に集光するレンズである。集光レンズ４０は、絞り板３０に対してカップリングレンズ２０とは反対側に位置している。

【0031】

図３に示すように、偏向器５０は、ポリゴンミラー５１と、モータ５２とを有する。ポリゴンミラー５１は、光源から出射されたビームを偏向する。具体的には、ポリゴンミラー５１は、集光レンズ４０を通過したビームを主走査方向に偏向する。ポリゴンミラー５１は、回転軸線Ｘ１から等距離に設けられた５つのミラー面を有している。モータ５２は、第１方向に延びる回転軸線Ｘ１を中心にポリゴンミラー５１を回転させるモータである。モータ５２は、フレームＦに固定されている。

【0032】

走査光学系Ｌｏは、偏向器５０に偏向されたビームを、像面としての感光ドラム２００の表面に結像する光学系である。走査光学系Ｌｏは、フレームＦに固定されている。図５に示すように、走査光学系Ｌｏは、イエローに対応した第１走査光学系ＬｏＹと、マゼンタに対応した第２走査光学系ＬｏＭと、シアンに対応した第３走査光学系ＬｏＣと、ブラックに対応した第４走査光学系ＬｏＫとを有する。

【0033】

第１走査光学系ＬｏＹおよび第２走査光学系ＬｏＭは、第２方向において、ポリゴンミラー５１の一方側に配置されている。第３走査光学系ＬｏＣおよび第４走査光学系ＬｏＫは、第２方向において、ポリゴンミラー５１の他方側に配置されている。各走査光学系ＬｏＹ，ＬｏＭ，ＬｏＣ，ＬｏＫには、ポリゴンミラー５１によって主走査方向に偏向されたビームが入射する。

【0034】

第１走査光学系ＬｏＹ、第２走査光学系ＬｏＭ、第３走査光学系ＬｏＣおよび第４走査光学系ＬｏＫは、ポリゴンミラー５１で偏向されたビームが通る第１走査レンズと、第１走査レンズを通過し、像面に向かうビームを反射する少なくとも１つの反射ミラーと、反射ミラーに反射されたビームを副走査方向に集光する第２走査レンズと、をそれぞれ有する。
本実施形態では、第１走査光学系ＬｏＹの第１走査レンズと、第２走査光学系ＬｏＭの第１走査レンズとは共通の１つのレンズ６０ＹＭである。同様に、第３走査光学系ＬｏＣの第１走査レンズと、第４走査光学系ＬｏＫの第１走査レンズとは共通の１つのレンズ６０ＣＫである。
また、本実施形態では、第１走査光学系ＬｏＹおよび第４走査光学系ＬｏＫは、それぞれ、反射ミラーを１つ有する。また、第２走査光学系ＬｏＭおよび第３走査光学系ＬｏＣは、それぞれ、反射ミラーを２つ有する。

【0035】

第１走査光学系ＬｏＹは、ポリゴンミラー５１で偏向されたビームＢＹを第１感光ドラム２００Ｙの第１像面に向けて出射する。第１走査光学系ＬｏＹは、第１走査レンズ６０ＹＭと、第２走査レンズ７０Ｙと、第１反射ミラー８１Ｙとを有する。

【0036】

第１走査レンズ６０ＹＭは、偏向器５０で偏向されたビームＢＹを主走査方向に屈折させて像面に結像させるレンズである。また、第１走査レンズ６０ＹＭは、偏向器５０によって等角速度で走査された光を、像面において等速度となるようにするｆθ特性を有する。第１走査レンズ６０ＹＭは、第１走査光学系ＬｏＹのうちポリゴンミラー５１に最も近い走査レンズである。

【0037】

第１反射ミラー８１Ｙは、第１走査レンズ６０ＹＭからのビームＢＹを、第２走査レンズ７０Ｙに向けて反射するミラーである。第１反射ミラー８１Ｙは、第３方向（長手方向）に延びている。第２走査レンズ７０Ｙは、第１反射ミラー８１Ｙで反射されたビームＢＹを副走査方向に屈折させて像面に結像させるレンズである。第１反射ミラー８１Ｙは、第２走査レンズ７０Ｙと第１方向から見て重なる。第２走査レンズ７０Ｙは、ポリゴンミラー５１に対して第１方向の一方側に配置されている。第２走査レンズ７０Ｙは、第１走査光学系ＬｏＹのうち像面に最も近い走査レンズである。

【0038】

第２走査光学系ＬｏＭは、ポリゴンミラー５１で偏向されたビームＢＭを第２感光ドラム２００Ｍの第２像面に向けて出射する。第２走査光学系ＬｏＭは、第２方向において、第１走査光学系ＬｏＹのビームＢＹよりポリゴンミラー５１に近い位置でビームＢＭを第２感光ドラム２００Ｍの第２像面に向けて出射する。第２走査光学系ＬｏＭは、第１走査レンズ６０ＹＭと、第２走査レンズ７０Ｍと、第１反射ミラー８１Ｍと、第２反射ミラー８２Ｍとを有する。第１反射ミラー８１Ｍは、第３方向（長手方向）に延びている。

【0039】

第２走査光学系ＬｏＭの第１走査レンズ６０ＹＭは、第１反射ミラー８１Ｍから第２走査レンズ７０Ｍへ向けて進むビームＢＭとポリゴンミラー５１との間に位置する。

【0040】

第２反射ミラー８２Ｍは、第１走査レンズ６０ＹＭからのビームを、第１反射ミラー８１Ｍに向けて反射するミラーである。第１反射ミラー８１Ｍは、第２反射ミラー８２ＭからのビームＢＭを第２走査レンズ７０Ｍに向けて反射するミラーである。第１反射ミラー８１Ｍは、第２走査レンズ７０Ｍと第１方向から見て重なる。第２走査レンズ７０Ｍは、第１反射ミラー８１Ｙで反射されたビームを副走査方向に屈折させて像面に結像させるレンズである。第２走査光学系ＬｏＭにおいて、第１走査レンズ６０ＹＭと第２走査レンズ７０Ｍは、第１方向から見て重なる。第２走査レンズ７０Ｍは、ポリゴンミラー５１に対して第１方向の一方側に配置されている。第２走査レンズ７０Ｍは、第２走査光学系ＬｏＭのうち像面に最も近い走査レンズである。

【0041】

第３走査光学系ＬｏＣは、ポリゴンミラー５１で偏向されたビームを第３感光ドラム２００Ｃの第３像面に向けて出射する。第３走査光学系ＬｏＣは、第１走査レンズ６０ＣＫと、第２走査レンズ７０Ｃと、第１反射ミラー８１Ｃと、第２反射ミラー８２Ｃとを有する。第１反射ミラー８１Ｃは、第３方向（長手方向）に延びている。

【0042】

第１走査レンズ６０ＣＫは、偏向器５０で偏向されたビームを主走査方向に屈折させて像面に結像させるレンズである。また、第１走査レンズ６０ＣＫは、偏向器５０によって等角速度で走査された光を、像面において等速度となるようにするｆθ特性を有する。第１走査レンズ６０ＣＫは、第３走査光学系ＬｏＣのうちポリゴンミラー５１に最も近い走査レンズである。第３走査光学系ＬｏＣの第１走査レンズ６０ＣＫは、第１反射ミラー８１Ｃから第２走査レンズ７０Ｃへ向けて進むビームＢＣとポリゴンミラー５１との間に位置する。

【0043】

第２反射ミラー８２Ｃは、第１走査レンズ６０ＣＫからのビームを第１反射ミラー８１Ｃに向けて反射するミラーである。第１反射ミラー８１Ｃは、第２反射ミラー８２ＣからのビームＢＣを第２走査レンズ７０Ｃに向けて反射するミラーである。第１反射ミラー８１Ｃは、第２走査レンズ７０Ｃと第１方向から見て重なる。第２走査レンズ７０Ｃは、第１反射ミラー８１Ｃで反射されたビームを副走査方向に屈折させて像面に結像させるレンズである。第２走査レンズ７０Ｃは、ポリゴンミラー５１に対して第１方向の他方側に配置されている。第２走査レンズ７０Ｃは、第３走査光学系ＬｏＣのうち像面に最も近い走査レンズである。

【0044】

第４走査光学系ＬｏＫは、ポリゴンミラー５１で偏向されたビームを第４感光ドラム２００Ｋの第４像面に向けて出射する。第４走査光学系ＬｏＫは、第２方向において、第４走査光学系ＬｏＫのビームＢＫよりポリゴンミラー５１に遠い位置でビームＢＫを第４感光ドラム２００Ｋの第４像面に向けて出射する。第４走査光学系ＬｏＫは、第１走査レンズ６０ＣＫと、第２走査レンズ７０Ｋと、第１反射ミラー８１Ｋを有する。

【0045】

第１走査レンズ６０ＣＫは、偏向器５０で偏向されたビームＢＫを主走査方向に屈折させて像面に結像させるレンズである。また、第１走査レンズ６０ＣＫは、偏向器５０によって等角速度で走査された光を、像面において等速度となるようにするｆθ特性を有する。第１走査レンズ６０ＣＫは、第４走査光学系ＬｏＫのうちポリゴンミラー５１に最も近い走査レンズである。

【0046】

第１反射ミラー８１Ｋは、第１走査レンズ６０ＣＫからのビームＢＫを、第２走査レンズ７０Ｋに向けて反射するミラーである。第１反射ミラー８１Ｋは、第３方向（長手方向）に延びている。第１反射ミラー８１Ｋは、第２走査レンズ７０Ｋと第１方向から見て重なる。第２走査レンズ７０Ｋは、第１反射ミラー８１Ｋで反射されたビームＢＫを副走査方向に屈折させて像面に結像させるレンズである。第２走査レンズ７０Ｋは、ポリゴンミラー５１に対して第１方向の他方側に配置されている。第２走査レンズ７０Ｋは、第４走査光学系ＬｏＫのうち像面に最も近い走査レンズである。

【0047】

第１走査光学系ＬｏＹ、第２走査光学系ＬｏＭ、第３走査光学系ＬｏＣおよび第４走査光学系ＬｏＫの第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ，７０Ｃ，７０Ｋのそれぞれは、第２方向に直線状に並んでいる。別の言い方をすれば、各第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ，７０Ｃ，７０Ｋは、第２方向から見て、互いに、少なくとも一部が重なるように配置されている。

【0048】

図４に示すように、各半導体レーザ１０Ｙ～１０Ｋから出射された光は、各カップリングレンズ２０Ｙ～２０Ｋを通ることでビームＢＹ～ＢＫに変換される。ビームＢＹ～ＢＫは、絞り板３０の対応する開口絞り３１Ｙ～３１Ｋを通った後、集光レンズ４０を通って、ポリゴンミラー５１に入射される。集光レンズ４０は、ビームＢＹ，ＢＭ，ＢＣ，ＢＫが共通して通過するレンズであり、入射面が円筒面、出射面が平面で構成される。

【0049】

図５に示すように、ポリゴンミラー５１は、ビームＢＹ，ＢＭ，ＢＣ，ＣＫを、対応する走査光学ＬｏＹ，ＬｏＭ，ＬｏＣ，ＬｏＫに向けて偏向する。第１走査光学系ＬｏＹに向かうビームＢＹは、第１走査レンズ６０ＹＭを通った後、第１反射ミラー８１Ｙで反射され、第２走査レンズ７０Ｙを通って第１方向の一方側の像面に向けて出射される。ビームＢＹは、第１方向と所定の角度をなして第２走査レンズ７０Ｙから出射される。ビームＢＹは、第１感光ドラム２００Ｙに結像され主走査方向に走査される。

【0050】

第２走査光学系ＬｏＭに向かうビームＢＭは、第１走査レンズ６０ＹＭを通った後、第２反射ミラー８２Ｍおよび第１反射ミラー８１Ｍで反射され、第２走査レンズ７０Ｍを通って第１方向の一方側の像面に向けて出射される。ビームＢＭは、第１方向と所定の角度をなして第２走査レンズ７０Ｍから出射される。ビームＢＭは、第２感光ドラム２００Ｍに結像され主走査方向に走査される。なお、ビームＢＣ，ＢＫも、同様に、対応する走査光学系ＬｏＣ，ＬｏＫによって、第１方向の一方側の像面に向けて出射されて、対応する感光ドラム２００Ｃ，２００Ｋに結像され主走査方向に走査される。

【0051】

図３、図５に示すように、フレームＦは、ポリゴンミラー５１、モータ５２、第１走査光学系ＬｏＹ、第２走査光学系ＬｏＭ、第３走査光学系ＬｏＣおよび第４走査光学系ＬｏＫが固定されている。フレームＦは、樹脂製であり、成形によって一体に造られている。フレームＦは、図３に示す第１凹部ＣＰ１と、図１に示す第２凹部ＣＰ２とを有する。第１凹部ＣＰ１は、第１方向の一方側に開口する。第２凹部ＣＰ２は、第１方向の他方側に開口する。図５に示すように、第１凹部ＣＰ１内には、偏向器５０と、走査光学系Ｌｏとが配置されている。図２（ａ），（ｂ）に示すように、第２凹部ＣＰ２内には、カップリングレンズ２０、絞り板３０および集光レンズ４０が配置されている。

【0052】

図５に示すように、走査光学装置１は、カバーＣをさらに備える。カバーＣは、偏向器５０および第１ベース壁Ｆｂ１を、第１方向の一方側から覆うカバーであり、フレームＦにネジで固定されている。詳しくは、カバーＣは、第１凹部ＣＰ１の開口を覆う。第１走査レンズ６０ＹＭ，６０ＣＫおよび第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ，７０Ｃ，７０Ｋは、第１ベース壁Ｆｂ１とカバーＣとの間に配置され、第１凹部ＣＰ１に収容されている。

【0053】

図１および図３に示すように、フレームＦは、第１凹部ＣＰ１の底に位置するベース壁の一例としての第１ベース壁Ｆｂ１と、第２凹部ＣＰ２の底に位置する第２ベース壁Ｆｂ２とを有する。

【0054】

第１ベース壁Ｆｂ１および第２ベース壁Ｆｂ２は、第１方向に交差する壁である。詳しくは、第１ベース壁Ｆｂ１および第２ベース壁Ｆｂ２は、厚み方向が第１方向に沿っている壁である。つまり、第１ベース壁Ｆｂ１および第２ベース壁Ｆｂ２は、第１方向に直交する平面を有する壁である。

【0055】

第２ベース壁Ｆｂ２は、第１ベース壁Ｆｂ１に対して、第１方向の一方側にずれた位置に位置する。図５に示すように、第１ベース壁Ｆｂ１には、偏向器５０と走査光学系Ｌｏが、直接または間接的に第１方向の一方側から取り付けられている。そのため、偏向器５０と走査光学系Ｌｏは、第１ベース壁Ｆｂ１に対して、第１方向の一方側に位置する。本実施形態では、偏向器５０すなわちポリゴンミラー５１およびモータ５２が複数のネジＮによって第１ベース壁Ｆｂ１に固定されている。

【0056】

図５に示すように、走査光学系ＬｏＹ，ＬｏＭ，ＬｏＣ，ＬｏＫの各第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ，７０Ｃ，７０Ｋは、第１ベース壁Ｆｂ１から各第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ，７０Ｃ，７０Ｋに向かう方向にビームＢＹ，ＢＭ，ＢＣ，ＣＫを出射する。第１反射ミラー８１Ｙ，８１Ｍ，８１Ｃ，８１Ｋは、ビームＢＹ，ＢＭ，ＢＣ，ＣＫを第１方向の一方側に向かう方向に反射する。

【0057】

図２（ａ），（ｂ）に示すように、半導体レーザ１０、カップリングレンズ２０および絞り板３０は、第２ベース壁Ｆｂ２に対して、第１方向の他方側に位置する。また、集光レンズ４０も、第２ベース壁Ｆｂ２に対して、第１方向の他方側に位置する。

【0058】

図１に示すように、フレームＦは、第１反射ミラー８１の少なくとも一部を第１ベース壁Ｆｂ１の第１方向の他方側（第１凹部ＣＰ１の開口と反対側）に露出させる形状を有する。

【0059】

具体的には、第１反射ミラー８１は、第１ベース壁Ｆｂ１付近に配置され、第３方向における中央部分が第１ベース壁Ｆｂ１に対して、第１方向の一方側に位置し、第３方向における両端部が第１ベース壁Ｆｂ１に対して、第１方向の他方側に露出している。

【0060】

さらに具体的には、図６に示すように、フレームＦは、座面ＦｓＺと、カバー壁ＣＷと、を有する。本実施形態では、４つの反射ミラー８１Ｙ，８１Ｍ，８１Ｃ，８１Ｋに対応して、４つのカバー壁ＣＷＹ，ＣＷＭ，ＣＷＣ，ＣＷＫが設けられている。座面ＦｓＺは、カバー壁ＣＷの第３方向の一方側と他方側に並んで位置する。座面ＦｓＺは、反射ミラー８１の第３方向の両端に位置する。座面ＦｓＺは、反射ミラー８１を支持して反射ミラー８１の角度の調整が可能である。カバー壁ＣＷは、第１ベース壁Ｆｂ１の一部である。すなわち、４つのカバー壁ＣＷＹ，ＣＷＭ，ＣＷＣ，ＣＷＫは、フレームＦと一体に成型されている

【0061】

カバー壁ＣＷは、反射ミラー８１の第１方向の他方側に位置する。カバー壁ＣＷは、反射ミラー８１を第１方向の他方側から覆い、かつ、第１方向の他方側に座面ＦｓＺを露出させる。図９に示すように、カバー壁ＣＷは、第３方向において、走査光学系の有効走査範囲Ｈ１を含む範囲Ｈ２に渡って延びている。

【0062】

図３に示すように、フレームＦは、第１凹部ＣＰ１と第２凹部ＣＰ２の間に位置する第１仕切壁Ｆ１をさらに有する。第１仕切壁Ｆ１は、第１ベース壁Ｆｂ１と第２ベース壁Ｆｂ２に接続されている。第１仕切壁Ｆ１は、第２ベース壁Ｆｂ２から第１方向の他方側に突出するとともに、第１ベース壁Ｆｂ１から第１方向の一方側に突出している。

【0063】

第１仕切壁Ｆ１は、絞り板３０の各開口絞り３１からポリゴンミラー５１に向かうビームＢＹ～ＢＫが通過する２つの第１開口Ｆ１１，Ｆ１２を有する。第１開口Ｆ１１，Ｆ１２は、第１方向に長いスリット状に形成され、第３方向に貫通するとともに、第１方向の一方側に開口している。第１開口Ｆ１１は、ビームＢＹ，ＢＭを通す。第１開口Ｆ１２は、ビームＢＣ，ＢＫを通す。

【0064】

図２（ｂ）に示すように、集光レンズ４０は、図３に示す第１開口Ｆ１１，Ｆ１２を塞ぐように配置されている。集光レンズ４０は、第１仕切壁Ｆ１と絞り板３０の間で挟まれている。

【0065】

図３に示すように、フレームＦは、第２方向においてポリゴンミラー５１の両側に位置する２つの第２仕切壁Ｆ２をさらに有する。第２方向の一方側の第２仕切壁Ｆ２は、ポリゴンミラー５１で反射されたビームＢＹ，ＢＭが通過する第２開口Ｆ２１を有する。第２方向の他方側の第２仕切壁Ｆ２は、ポリゴンミラー５１で反射されたビームＢＣ，ＢＫが通過する第２開口Ｆ２２を有する。各第２開口Ｆ２１，Ｆ２２は、第２方向に貫通するとともに、第１方向の一方側に開口する。

【0066】

各第２仕切壁Ｆ２は、第１ベース壁Ｆｂ１から第１方向の一方側に突出する。各第２仕切壁Ｆ２は、第１仕切壁Ｆ１と後述する第１側壁Ｆ４１に接続されている。これにより、第１ベース壁Ｆｂ１、第１仕切壁Ｆ１、各第２仕切壁Ｆ２および第１側壁Ｆ４１によって、ポリゴンミラー５１を収容するための収容凹部ＣＰ３が形成されている。

【0067】

フレームＦは、第１凹部ＣＰ１および第２凹部ＣＰ２を囲う略矩形の枠を構成する第１側壁Ｆ４１、第２側壁Ｆ４２、第３側壁Ｆ４３および第４側壁Ｆ４４をさらに有する。第１側壁Ｆ４１、第２側壁Ｆ４２、第３側壁Ｆ４３および第４側壁Ｆ４４は、第１ベース壁Ｆｂ１を囲う側壁である。
第１凹部ＣＰ１は、第１側壁Ｆ４１、第３側壁Ｆ４３、第４側壁Ｆ４４および第１仕切壁Ｆ１によって囲まれている。また、図１に示すように、第２凹部ＣＰ２は、第２側壁Ｆ４２、第３側壁Ｆ４３、第４側壁Ｆ４４および第１仕切壁Ｆ１によって囲まれている。本実施形態では、第３側壁Ｆ４３および第４側壁Ｆ４４は、第１凹部ＣＰ１に対応する部分と第２凹部ＣＰ２に対応する部分とで第２方向にずれている。

【0068】

第１側壁Ｆ４１は、フレームＦのポリゴンミラー５１および走査光学系Ｌｏの第３方向における一方側に位置する。第１側壁Ｆ４１は、偏向器５０に対して半導体レーザ１０とは反対側に位置する。第１側壁Ｆ４１は、第１ベース壁Ｆｂ１から第１方向の一方側に突出する。

【0069】

第１側壁Ｆ４１は、反射ミラー８１の第３方向の一方側の端面を露出させる開口ＡＰを有する。本実施形態では、第１側壁Ｆ４１は、第１開口ＡＰＹと、第２開口ＡＰＭと、第３開口ＡＰＣと、第４開口ＡＰＫとを有する。

【0070】

図７に示すように、第１開口ＡＰＹは、第１側壁Ｆ４１の第２方向における一方側の端部に位置している。第１開口ＡＰＹは、第３方向から見て第１側壁Ｆ４１を第１方向の一方側に切り欠いた形状となっている。第１開口ＡＰＹは、第３方向から見て第１反射ミラー８１Ｃの第３方向の一方側の端面を露出させる。このため、第１反射ミラー８１Ｙを走査光学装置１に取り付ける場合に、第１反射ミラー８１Ｙを第３方向の一方側から取り付けることができる（図８も参照）。

【0071】

第２開口ＡＰＭは、第１側壁Ｆ４１の第２方向における一方側に位置している。第２開口ＡＰＭは、第３方向から見て第１側壁Ｆ４１を第１方向の一方側に切り欠いた形状となっている。第２開口ＡＰＭは、第３方向から見て第１反射ミラー８１Ｍの第３方向の一方側の端面を露出させる。このため、第１反射ミラー８１Ｍを走査光学装置１に取り付ける場合に、第１反射ミラー８１Ｍを第３方向の一方側から取り付けることができる（図８も参照）。

【0072】

第３開口ＡＰＣは、第１側壁Ｆ４１の第２方向における他方側に位置している。第３開口ＡＰＣは、第３方向から見て第１側壁Ｆ４１を第１方向の一方側に切り欠いた形状となっている。第３開口ＡＰＣは、第３方向から見て第１反射ミラー８１Ｃの第３方向の一方側の端面を露出させる。このため、第１反射ミラー８１Ｃを走査光学装置１に取り付ける場合に、第１反射ミラー８１Ｃを第３方向の一方側から取り付けることができる（図８も参照）。

【0073】

第４開口ＡＰＫは、第１側壁Ｆ４１の第２方向における他方側の端部に位置している。第４開口ＡＰＫは、第３方向から見て第１側壁Ｆ４１を第１方向の一方側に切り欠いた形状となっている。第４開口ＡＰＫは、第３方向から見て第１反射ミラー８１Ｋの第３方向の一方側の端面を露出させる。このため、第１反射ミラー８１Ｋを走査光学装置１に取り付ける場合に、第１反射ミラー８１Ｋを第３方向の一方側から取り付けることができる（図８も参照）。

【0074】

第２側壁Ｆ４２は、フレームＦのポリゴンミラー５１および走査光学系Ｌｏの第３方向における他方側に位置する。第２側壁Ｆ４２は、偏向器５０に対して第１側壁Ｆ４１とは反対側に位置する。詳しくは、第２側壁Ｆ４２は、カップリングレンズ２０に対して偏向器５０とは反対側に位置する。第２側壁Ｆ４２は、第２ベース壁Ｆｂ２から第１方向の他方側に突出する。

【0075】

第３側壁Ｆ４３は、第１走査レンズ６０ＹＭに対して偏向器５０とは反対側に位置する。第３側壁Ｆ４３は、第１側壁Ｆ４１、第１ベース壁Ｆｂ１、第２ベース壁Ｆｂ２および第２側壁Ｆ４２の第２方向における一方側の端部に接続されている。第３側壁Ｆ４３の一部は、第１ベース壁Ｆｂ１から第１方向の一方側に突出し、他部は、第２ベース壁Ｆｂ２から第１方向の他方側に突出する。

【0076】

第４側壁Ｆ４４は、第１走査レンズ６０ＣＫに対して偏向器５０とは反対側に位置する。第４側壁Ｆ４４は、第１側壁Ｆ４１、第１ベース壁Ｆｂ１、第２ベース壁Ｆｂ２および第２側壁Ｆ４２の第２方向における他方側の端部に接続されている。第４側壁Ｆ４４の一部は、第１ベース壁Ｆｂ１から第１方向の一方側に突出し、他部は、第２ベース壁Ｆｂ２から第１方向の他方側に突出する。

【0077】

図１０に示すように、走査光学装置１は、前述した第１凹部ＣＰ１および第２凹部ＣＰ２等を有するフレームＦに着脱可能な支持部材Ｆｓをさらに有している。支持部材Ｆｓは、第１反射ミラー８１を支持する部材である。支持部材Ｆｓは、第１反射ミラー８１を支持して、第１反射ミラー８１の角度の調整が可能な座面ＦｓＺを有している。座面ＦｓＺは、第１反射ミラー８１を傾動可能に支持することが可能な球状の突起Ｆｓ１を有する。突起Ｆｓ１は、第１反射ミラー８１に向けて突出し、第１反射ミラー８１と接触して第１反射ミラー８１の向きを調整する際の支点となる。第１反射ミラー８１は、光硬化樹脂Ｐによって座面ＦｓＺに対する向きが固定されている。光硬化樹脂Ｐは、座面に対する反射ミラーの向きを保持するスペーサの一例である。光硬化樹脂Ｐは、例えば紫外線硬化樹脂とすることができる。光硬化樹脂Ｐによって固定された第１反射ミラー８１および支持部材Ｆｓは、Ｕ形状の板バネＳＰによって、フレームＦに取り付けられる。

【0078】

板バネＳＰは、バネの一例であり、第１反射ミラー８１を座面ＦｓＺに向けて押圧するバネである。板バネＳＰは、光硬化樹脂を硬化させる光が透過可能な開口部ＳＰＫを有する（図１参照）。

【0079】

フレームＦは、第１反射ミラー８１の座面ＦｓＺと厚み方向（反射面に直交する方向）に重なる部分を第１方向の他方側に露出させる形状を有する。第１反射ミラー８１は、第３方向の両端部には反射面を構成する反射膜を設けていない。これにより、開口部ＳＰＫを透過した光が光硬化樹脂に到達する。

【0080】

図１に示すように、支持部材Ｆｓおよび板バネＳＰは、１つの第１反射ミラー８１に対して、第１反射ミラー８１の長手方向の両端部に１つずつ配置されている。１つの第１反射ミラー８１に対応した一対の支持部材Ｆｓと一対の板バネＳＰは、４つの第１反射ミラー８１のそれぞれに対して設けられている。

【0081】

図１０に示すように、フレームＦは、支持部材Ｆｓを支持する支持面Ｆｍ１を有する。支持面Ｆｍ１は、４つの第１反射ミラー８１の長手方向の各端部に対応した位置に配置されている。

【0082】

第１反射ミラー８１をフレームＦに取り付ける場合には、まず、支持部材Ｆｓの突起Ｆｓ１の両側に光硬化樹脂Ｐを塗布し、支持部材Ｆｓを支持面Ｆｍ１に取り付ける。その後、第１反射ミラー８１を、支持部材Ｆｓの突起Ｆｓ１に接触させる。このとき、光硬化樹脂Ｐは、支持部材Ｆｓと第１反射ミラー８１の両方に接触した状態で配置される。その後、板ばねＳＰを取り付け、第１反射ミラー８１を支持部材ＦｓとともにフレームＦに向けて押圧する。次いで、半導体レーザ１０から光を出射させた状態で、像面におけるビームの位置を監視しながら、突起Ｆｓ１を起点にして第１反射ミラー８１を傾動させることで、第１反射ミラー８１の角度を調整する。第１反射ミラー８１の角度を調整するときには、アームＡＭを第１反射ミラー８１に押し当てて、第１反射ミラー８１を動かす。角度調整が完了した後、光硬化樹脂Ｐに紫外線などの光を当てることで、第１反射ミラー８１が支持部材Ｆｓに固定される。

【0083】

図３に示すように、フレームＦは、第１壁Ｗ１と、第２壁Ｗ２と、第３壁Ｗ３とをさらに有する。

【0084】

第１壁Ｗ１は、複数の第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ、７０Ｃ，７０Ｋを支持する壁である。第１壁Ｗ１は、第１ベース壁Ｆｂ１から第１方向の一方側に向けて立ち上がる壁である。第１壁Ｗ１は、第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ、７０Ｃ，７０Ｋの長手方向（第３方向）の両端部にそれぞれ配置されている。各第１壁Ｗ１には、第１方向の他方側に凹む切り欠き形状の第２レンズ座面Ｗ１１が形成されている。各第２レンズ座面Ｗ１１は、各第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ、７０Ｃ，７０Ｋの長手方向の両端部が入り込む。各第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ、７０Ｃ，７０Ｋは、両端部が第２レンズ座面Ｗ１１の第１方向の一方側を向く座面ＦｓＺに押し当てられた状態で図示しないバネによりフレームに固定される。

【0085】

第２壁Ｗ２は、第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ、７０Ｃ，７０Ｋの長手方向の両側に配置され、第１壁Ｗ１と平行に延びる壁である。本実施形態では、第１仕切壁Ｆ１および第１側壁Ｆ４１が第２壁Ｗ２を構成している。

【0086】

第３壁Ｗ３は、第１方向と直交する方向に延びる壁である。第３壁Ｗ３は、第１壁Ｗ１と第２壁Ｗ２を接続する。

【0087】

以上によれば、本実施形態において以下のような効果を得ることができる。
図１に示すように、走査光学装置１のフレームＦは、座面ＦｓＺと、カバー壁ＣＷとを有する。４つのカバー壁ＣＷＹ，ＣＷＭ，ＣＷＣ，ＣＷＫは、各反射ミラー８１Ｙ，８１Ｍ，８１Ｃ，８１Ｋを第１方向の他方側から覆い、かつ、第１方向の他方側に座面ＦｓＺを露出させる。このため、反射ミラー８１の角度調整をビームＢＹ，ＢＭ，ＢＣ，ＢＫの出射方向とは反対側から行うことができる。このため、走査光学装置１の組立時において、反射ミラー８１の角度調整が容易となる（図１０参照）。また、４つのカバー壁ＣＷＹ，ＣＷＭ，ＣＷＣ，ＣＷＫは、フレームＦと一体に成型されていることから、フレームＦの剛性を高めることができる。

【0088】

また、フレームＦの第１側壁Ｆ４１は、反射ミラー８１の第３方向の一方側の端面を露出させる開口ＡＰを有する。このため、図８に示すように、反射ミラー８１を走査光学装置１に取り付ける場合に、反射ミラー８１を第３方向から取り付けることができる。

【0089】

また、入射光学系Ｌｉは、走査光学系Ｌｏの第３方向における他方側に位置する。このため、反射ミラー８１を取り付けるときに入射光学系Ｌｉが邪魔にならない。

【0090】

また、各反射ミラー８１Ｙ，８１Ｍ，８１Ｃ，８１Ｋは、第１方向において、各第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ，７０Ｃ，７０Ｋと重なる。このため、各第２走査レンズ７０Ｙ，７０Ｍ，７０Ｃ，７０Ｋに干渉しない方向（ビームＢＹ，ＢＭ，ＢＣ，ＢＫの出射方向とは反対側）から各反射ミラー８１Ｙ，８１Ｍ，８１Ｃ，８１Ｋの角度を調整できる。

【0091】

また、各カバー壁ＣＷＹ，ＣＷＭ，ＣＷＣ，ＣＷＫは、走査光学系Ｌｏの有効走査範囲Ｈ１を含む範囲Ｈ２に渡って延びる（図９参照）。このため、走査光学系Ｌｏの有効走査範囲Ｈ１にゴミが付着するのを抑制できる。

【0092】

なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、以下に例示するように様々な形態で利用できる。

【0093】

前記実施形態では、第１凹部ＣＰ１内には、偏向器５０（ポリゴンミラー５１およびモータ５２）と、走査光学系Ｌｏとが配置されていたが、偏向器５０が第１凹部ＣＰ１の外側に配置される構成であってもよい。

【0094】

前記実施形態では、バネの一例として板バネＳＰを例示したが、バネは板バネに限られず、線バネなどであってもよい。

【0095】

前記実施形態では、フレームＦと、座面ＦｓＺを有する支持部材Ｆｓと、が異なる部材で構成されていたが、座面ＦｓＺがフレームＦと一体に構成されていてもよい。

【0096】

前記実施形態では、第２走査レンズ７０が図示しないバネによりフレームに固定されていたが、第２走査レンズ７０の固定方法は、特に限定されるものではなく、光硬化樹脂などによる接着で固定されていてもよい。

【0097】

前記実施形態では、半導体レーザ１０が１つの発光点を有する構成であったが、半導体レーザ１０は、複数の発光点を有する構成としてもよい。この場合、半導体レーザ１０からの複数の光が、１つのカップリングレンズ２０によって複数のビームに変換され、複数のビームが対応する走査光学系Ｌｏによって感光ドラム２００の表面に結像される。この構成では、前記実施形態のビームＢＹ，ＢＭ，ＢＣ，ＢＫがそれぞれ複数のビームを含む。

【0098】

前記した実施形態および変形例で説明した各要素を、任意に組み合わせて実施してもよい。

【符号の説明】

【0099】

１ 走査光学装置
５１ ポリゴンミラー
５２ モータ
６０ 第１走査レンズ
７０ 第２走査レンズ
８１ 反射ミラー
２００ 感光ドラム
ＡＭ アーム
ＡＰ 開口
ＣＷ カバー壁
Ｆ フレーム
Ｆ４１ 第１側壁
Ｆ４２ 第２側壁
Ｆ４３ 第３側壁
Ｆ４４ 第４側壁
Ｆｂ１ 第１ベース壁
Ｆｂ２ 第２ベース壁
ＦｓＺ 座面
Ｈ１ 有効走査範囲
Ｈ２ 範囲
Ｌｉ 入射光学系
Ｌｏ 走査光学系

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】