特開 2023-152036 塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023152036

(43)【公開日】2023-10-16

(54)【発明の名称】塗布装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 11/10 20060101AFI20231005BHJP

   B05C 5/02 20060101ALI20231005BHJP

【ＦＩ】

B05C11/10

B05C5/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022061963

(22)【出願日】2022-04-01

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】岸谷 征典

【テーマコード（参考）】

4F041

4F042

【Ｆターム（参考）】

4F041AA12

4F041BA05

4F041BA10

4F041BA12

4F041BA35

4F041BA59

4F041CA03

4F041CA13

4F041CA17

4F041CA23

4F041CA28

4F042AA22

4F042AB00

4F042BA07

4F042BA08

4F042BA12

4F042BA27

4F042CA01

4F042CB02

4F042CB08

4F042CB20

4F042CC07

4F042CC30

4F042DF23

4F042ED03

(57)【要約】

【課題】塗布開始部における塗膜の盛り上がりを防ぐことができる塗布装置を提供する。
【解決手段】長尺方向に搬送される基材に塗布液を塗布して塗膜を形成する塗布装置であって、基材の幅方向に長い吐出口を有し、前記吐出口から搬送される基材に対して塗布液を塗布する塗布部と、塗布液を貯留するタンクと、前記タンクから前記塗布部に塗布液を供給する供給手段と、を備えており、前記供給手段は、塗布液を供給するための流路であり、前記塗布部と前記タンクとを接続する供給路と、前記供給路の途中に設けられ、前記供給路を開閉することによって前記塗布部への塗布液の供給と供給の停止を制御する供給バルブと、を有しており、前記供給バルブは、前記供給路を開閉するための弁体と、前記弁体と密接することで前記供給路を塞ぐ弁座と、前記弁体の位置を変化させることによって前記供給路の開閉を制御する弁体駆動部と、を有し、前記弁体が、塗布液の流路において前記弁座よりも上流に位置する部分に配置される構成とする。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺方向に搬送される基材に塗布液を塗布して塗膜を形成する塗布装置であって、
基材の幅方向に長い吐出口を有し、前記吐出口から搬送される基材に対して塗布液を塗布する塗布部と、
塗布液を貯留するタンクと、
前記タンクから前記塗布部に塗布液を供給する供給手段と、を備えており、
前記供給手段は、塗布液を供給するための流路であり、前記塗布部と前記タンクとを接続する供給路と、前記供給路の途中に設けられ、前記供給路を開閉することによって前記塗布部への塗布液の供給と供給の停止を制御する供給バルブと、を有しており、
前記供給バルブは、前記供給路を開閉するための弁体と、前記弁体と密接することで前記供給路を塞ぐ弁座と、前記弁体の位置を変化させることによって前記供給路の開閉を制御する弁体駆動部と、を有し、
前記弁体が、塗布液の流路において前記弁座よりも上流に位置する部分に配置されることを特徴とする塗布装置。

【請求項2】

塗布液を回収するための流路であり、前記供給路において前記供給バルブよりも上流に位置する部分と前記タンクを接続する回収路と、
前記回収路を開閉することによって塗布液の回収と回収の停止を制御する回収バルブと、を有しており、
前記回収バルブは、前記供給バルブにより前記供給路が開状態となるときに前記回収路を閉状態とし、前記供給路が閉状態となるときに前記回収路を開状態とすることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、連続的に搬送される基材の表面に、塗液を塗布して塗膜を形成する塗布装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、リチウムイオン電池の電池用極板は、ロールトゥロールで搬送される基材に活物質、バインダー、導電助剤および溶媒を含むスラリー（以下、塗布液）が塗布されて製造されている。

【0003】

近年、リチウムイオン電池の電池用極板の製造において、生産性向上のための高速化、塗布液のロス軽減のために間欠塗布方式による塗布装置が提案されている（たとえば、特許文献１）。

【0004】

特許文献１に示す塗布装置は、塗布液を塗布する塗布部と、塗布部に塗布液を供給する供給手段と、を有し、供給手段から塗布部に供給された塗布液が塗布部の吐出口から吐出される。

【0005】

また、供給手段は、塗布液が貯留された塗布液タンクと、塗布液タンクと塗布部とを接続する供給路と、供給路の途中に設けられ、塗布部に塗布液を供給する供給バルブと、塗布液を再び塗布液タンクに回収する回収バルブと、を有している。特許文献１に示す塗布装置では、これら２つの切替バルブを切り替えることによって、間欠塗布を行っている。これにより、基材上に塗膜が形成された塗布領域が形成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１４－１８８４４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、従来の塗布装置では、塗布開始部における塗膜を精度よく形成することができない場合があった。なお、ここでいう塗布開始部は、塗布領域が始まる塗膜の始端のことである。

【0008】

図４（ａ）および図４（ｂ）を用いて具体的に説明する。従来の塗布装置９００の供給バルブ９１０は、塗布部９３０に塗布液を供給する場合には、図４（ａ）に示すように弁座９１３と離れて弁座９１３の開口を開放する位置に弁体９１２の位置を変化させて供給路９２０を開状態にしている。また、塗布部９３０への塗布液の供給を停止する場合には、図４（ｂ）に示すように弁座９１３と密接して弁座９１３の開口を閉塞する位置に弁体９１２の位置を変化させて供給路９２１を閉状態にしている。これにより、供給バルブ９１０は、供給路９２０の開閉を行って塗布部９３０への塗布液の供給と供給の停止を切り替えている。

【0009】

そして、塗布部９３０による塗布液の塗布を開始するとき、すなわち、塗布部９３０への塗布液の供給を開始するときに、弁体９１２の位置が、図４（ｂ）に示す弁座９１３と密接して弁座９１３の開口を閉塞していた位置から図４（ａ）に示す弁座９１３と離れて弁座９１３の開口を開放する位置へと変化する。ここで、弁体９１２が塗布液の流路において弁座９１３よりも下流に位置する部分に配置されているため、弁体９１２が本体部９１１内の塗布液を供給路９２０を通じて塗布部９３０に押し出してしまう。そのため、塗布液が塗布部９３０に多く供給されてしまい、塗布部９３０から多くの塗布液が基材に塗布されてしまう。その結果、図５に示すように塗布開始部Ｓにおける塗膜Ｍに盛り上りが生じる問題がある。

【0010】

本発明は、上記問題を鑑みてされたものであり、塗布開始部における塗膜の盛り上がりを防ぐことができる塗布装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記課題を解決するための本発明の塗布装置は、長尺方向に搬送される基材に塗布液を塗布して塗膜を形成する塗布装置であって、基材の幅方向に長い吐出口を有し、前記吐出口から搬送される基材に対して塗布液を塗布する塗布部と、塗布液を貯留するタンクと、前記タンクから前記塗布部に塗布液を供給する供給手段と、を備えており、前記供給手段は、塗布液を供給するための流路であり、前記塗布部と前記タンクとを接続する供給路と、前記供給路の途中に設けられ、前記供給路を開閉することによって前記塗布部への塗布液の供給と供給の停止を制御する供給バルブと、を有しており、前記供給バルブは、前記供給路を開閉するための弁体と、前記弁体と密接することで前記供給路を塞ぐ弁座と、前記弁体の位置を変化させることによって前記供給路の開閉を制御する弁体駆動部と、を有し、前記弁体が、塗布液の流路において前記弁座よりも上流に位置する部分に配置されることを特徴としている。

【0012】

上記塗布装置によれば、弁体が塗布液の流路において弁座よりも上流に位置する部分に配置されているため、塗布部による塗布液の開始時、すなわち塗布部への塗布液の供給開始時に、塗布液の流路において弁座よりも上流に向かう方向に弁体が弁体駆動部によって移動させられる。そのため、塗布部への塗布液の供給開始時に、弁体が塗布液を塗布部に向かって押し出して塗布液が塗布部に多く供給されることを防ぐことができ、塗布開始部における塗膜の盛り上がりを防ぐことができる。

【0013】

また、塗布液を回収するための流路であり、前記供給路において前記供給バルブよりも上流に位置する部分と前記タンクを接続する回収路と、前記回収路を開閉することによって塗布液の回収と回収の停止を制御する回収バルブと、を有しており、前記回収バルブは、前記供給バルブにより前記供給路が開状態となるときに前記回収路を閉状態とし、前記供給路が閉状態となるときに前記回収路を開状態とする構成としてもよい。

【0014】

この構成によれば、供給バルブにより供給路を開状態から閉状態に切り替えるときに、塗布液の流路において供給バルブよりも上流に位置する部分から塗布液を回収するため、塗布液の流路において供給バルブよりも上流に位置する供給路内の塗布液の内圧が高くなることを防ぐことができる。そのため、供給バルブにより供給路を閉状態から開状態に切り替えたときに塗布液が塗布部に多く供給されることを防ぐことができる。したがって、塗布開始部における塗膜の盛り上がりをより防ぐことができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明の塗布装置によれば、塗布開始部における塗膜の盛り上がりを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の一実施形態における塗布装置を概略的に示す図である。

【図2】本発明の一実施形態における塗布装置を概略的に示す図である。

【図3】本発明の一実施形態における塗布装置の塗布動作を説明するための図である。

【図4】従来の塗布装置を説明するための図である。

【図5】従来の塗布装置により形成された塗膜を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明の一実施形態における塗布装置について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、水平方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向と表現し、ＸＹ平面と垂直な方向（つまり、鉛直方向）をＺ軸方向と表現する。

【0018】

図１は、本実施形態における塗布装置１００を概略的に示す図であり、塗布開始部Ｓの形成時を示している。図２は、本実施形態における塗布装置１００を概略的に示す図であり、塗布終了部Ｅの形成時を示している。図３は、本実施形態における塗布装置１００の動作を説明するための図であり、図３（ａ）は、供給バルブ３２および回収バルブ５２のそれぞれの動作、図３（ｂ）および図３（ｃ）は、基材Ｗに形成される塗膜Ｍの状態を示している。

【0019】

本実施形態における塗布装置１００は、図１に示すように基材Ｗを搬送する搬送手段１と、基材Ｗに塗布液Ｌを塗布する塗布部２と、塗布部２に塗布液Ｌを供給する供給手段３と、塗布液Ｌが貯留されるタンク４と、を備えている。

【0020】

本実施形態における塗布装置１００は、搬送手段１により搬送される基材Ｗの所定面に塗布部２により塗布液Ｌを塗布し、塗膜Ｍを形成する。

【0021】

本実施形態における基材Ｗは、リチウムイオン電池などの電池の電池用極板となる金属箔であり、正極を構成する場合はアルミニウム箔などが用いられ、負極を構成する場合は銅箔などが用いられる。この基材Ｗは、一方向に長い帯状のシートであり、搬送手段１により搬送される。

【0022】

本実施形態における塗布液Ｌは、たとえば、活物質、バインダー、導電助剤、および溶媒を含むスラリーのことであり、リチウムイオン電池などの電池の電池用極板の材料（所謂、電極材料）として用いられる。この塗布液Ｌを基材Ｗに塗布することで、基材Ｗ上に塗膜が形成される。

【0023】

本実施形態における搬送手段１は、基材Ｗを搬送するためのものであり、複数のロールが回転することにより基材Ｗを搬送するロールツーロール方式を採用している。なお、本実施形態では、塗布液Ｌを塗布する場所に基材Ｗを案内する塗布ロール１１のみを図１および図２に示している。また、塗布ロール１１は、塗布部２と対向し、後述する吐出口２３と所定の間隔を空けて配置される。そのため、塗布部２と一定の間隔を保ちながら基材Ｗを搬送することができる。

【0024】

本実施形態における塗布部２は、搬送される基材Ｗに塗布液Ｌを塗布して塗膜Ｍを形成するためのものである。塗布部２は、基材Ｗの幅方向（図１におけるＹ軸方向）に沿って長く形成されている。ここで、前述した塗布ロール１１が、塗布部２に対して、塗布ロール１１の回転軸方向と、塗布部２の幅方向とが平行になるよう所定の間隔を空けて配置される。なお、以下の説明では、基材Ｗの幅方向を幅方向と呼ぶ。

【0025】

また、塗布部２は、図１に示すように後述する供給路３１に接続され、幅方向に長く塗布液Ｌを溜める空間であるマニホールド２１と、このマニホールド２１と繋がった幅方向に広いスリット２２と、幅方向においてスリット２２と同一の長さで開口し、塗布液Ｌを吐出する吐出口２３により構成される。これにより、マニホールド２２に溜められた塗布液Ｌがスリット２２を経由して、吐出口２３から基材Ｗに吐出される。

【0026】

また、吐出口２３は、塗布ロール１１と基材Ｗを挟んで対向している。すなわち、吐出口２３は基材Ｗの表面側で基材Ｗと対向している。これにより、吐出口２３と基材Ｗとの間隔を一定に保った状態で、基材Ｗの表面側に塗布液Ｌを塗布することができる。

【0027】

本実施形態における供給手段３は、塗布部２に塗布液Ｌを供給するためのものである。この供給手段３は、図１に示すように塗布液Ｌを貯留するタンク４とマニホールド２１とを接続する供給路３１と、塗布液Ｌを送液する図示しない送液ポンプと、供給路３１の開閉を制御する供給バルブ３２と、を有している。

【0028】

送液ポンプは、タンク４に貯留されている塗布液Ｌを塗布部２に圧送するためのものであり、たとえば、ギアポンプなどである。

【0029】

供給路３１は、図１に示すようにマニホールド２１とタンク４とを接続し、タンク４からマニホールド２１へ塗布液Ｌが送液ポンプにより送液される流路である。また、供給路３１の途中に供給バルブ３２が配置される。

【0030】

供給バルブ３２は、供給路３１の開閉を制御して塗布液Ｌの供給と供給の停止を切り替えるためのものであり、図１に示すように本体部３３と、弁座３４と、弁体３５と、シャフト３６と、弁体駆動部３７と、を有している。

【0031】

本体部３３は、塗布液Ｌの流路であり、図１に示すように供給路３１の途中に配置される。そして、図１に示すように本体部３３において流路を形成する開口を有する平坦な弁座３４が本体部３３の内壁から突出するように形成される。この弁座３４は、後述する弁体３５を受ける部材であり、弁体３５を受けるとき、すなわち、弁体３５と密接するときに弁座３４の開口が閉塞されて流路が塞がるようになっている。

【0032】

弁体３５は、供給路３１を開閉するためのものであり、図１に示すように本体部３３の内部に設けられる。また、弁体３５は、弁座３４と対向し、塗布液Ｌの流路において弁座３４よりも上流に位置する部分に配置される。なお、本実施形態では、弁体３５が円錐状に形成されており、弁座３４と対向する部分が平面となっている。この平面は、少なくとも弁座３４の開口よりも大きくなっており、平面が弁座３４と密接したときに弁座３４の開口が閉塞する。すなわち、供給路３１が閉状態となる。

【0033】

弁体駆動部３７は、弁体３５の位置を変化させるための駆動源であり、たとえば、エアシリンダーや電動モーターなどである。この弁体駆動部３７は、図１および図２に示すように弁体３５の位置を弁座３４と密接して弁座３４の開口を閉塞する位置と弁座３４から離れて弁座３４の開口を開放する位置に変化させるように、弁体３５につながるシャフト３６を直線移動させる。なお、弁体駆動部３７の制御は、図示しない制御部により行われる。この制御部はたとえば、汎用のコンピューターのことである。

【0034】

このように弁体駆動部３７によって弁体３５の位置を変化させることで、供給路３１の開閉を制御して塗布部２への塗布液Ｌの供給と供給の停止を切り替えている。

【0035】

具体的には、弁体駆動部３７によって、弁体３５の位置が、図２に示す弁座３４と密接して弁座３４の開口を閉塞した位置から、図１に示す弁座３４と離れて弁座３４の開口を開放する位置へと変化する。これにより、供給路３１が閉状態から開状態に切り替わり、塗布部２に塗布液Ｌが供給され、塗布部２により基材Ｗに塗布液Ｌが塗布される。

【0036】

また、弁体駆動部３７によって弁体３５の位置が、図１に示す弁座３４と離れて弁座３４の開口を開放した位置から、図２に示す弁座３４と密接して弁座３４の開口を閉塞する位置へと変化する。これにより、供給路３１が開状態から閉状態に切り替わり、塗布部２への塗布液Ｌの供給が停止され、塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布が停止される。

【0037】

これら構成により、供給バルブ３２は、塗布部２への塗布液Ｌの供給と供給の停止を切り替えることができる。この塗布部２への塗布液Ｌの供給と供給の停止を断続的に行うことで、搬送手段１により搬送される基材Ｗに塗布液Ｌを間欠的に塗布することができる。ここでいう、間欠的に塗布するとは、図３（ｂ）および図３（ｃ）に示すように基材Ｗ上に塗膜Ｍが形成された塗布領域Ｔを断続的に形成することである。なお、以下の説明では、基材Ｗの搬送方向（図１におけるＸ軸方向）における塗布領域Ｔ間の塗膜Ｍが形成されていない部分を不塗布領域Ｎと呼ぶ。

【0038】

本実施形態における塗布装置１００は、図１に示すように回収手段５をさらに備えている。以下、本実施形態における回収手段５について説明するが、供給手段３と同様な構成については詳細な説明を省略する。

【0039】

本実施形態における回収手段５は、塗布液Ｌの流路において供給バルブ３２よりも上流に位置する供給路３１からタンク４に塗布液Ｌを回収するためのものである。この回収手段５は、図１に示すように塗布液Ｌの流路において供給バルブ３２よりも上流に位置する供給路３１とタンク４とを接続する回収路５１と、回収路５１内の塗布液Ｌをタンク４に圧送する図示しない送液ポンプと、回収路５１の開閉を制御する回収バルブ５２と、を有している。

【0040】

回収路５１は、図１に示すように塗布液Ｌの流路において供給バルブ３２よりも上流に位置する供給路３１とタンク４とを接続し、この接続した供給路３１からタンク４へ塗布液Ｌが送液ポンプにより送液される流路である。また、回収路５１の途中に回収バルブ５２が配置される。

【0041】

回収バルブ５２は、回収路５１の開閉を制御して塗布液Ｌの回収と回収の停止を切り替えるためのものであり、図１に示すように本体部５３と、弁座５４と、弁体５５と、シャフト５６と、弁体駆動部５７と、を有している。これら回収バルブ５２の構成は前述した供給バルブ３２の構成と同様であるため、詳細な説明は省略する。

【0042】

この回収バルブ５２が有する弁体駆動部５７によって弁体５５の位置を変化させることで、回収路５１の開閉を制御して塗布液Ｌの回収と回収の停止を切り替えている。

【0043】

具体的には、弁体駆動部５７によって弁体５５の位置が、図１に示す弁座５４と密接して弁座５４の開口を閉塞した位置から、図２に示す弁座５４と離れて弁座５４の開口を開放する位置へと変化する。これにより、回収路５１が閉状態から開状態に切り替わり、塗布液Ｌの流路において供給バルブ３２よりも上流に位置する供給路３１からタンク４に塗布液Ｌが回収される。

【0044】

また、弁体駆動部５７によって弁体５５の位置が、図２に示す弁座５４と離れて弁座５４の開口を開放した位置から、図１に示す弁座５４と密接して弁座５４の開口を閉塞する位置へと変化する。これにより、回収路５１が開状態から閉状態に切り替わり、塗布液Ｌの回収が停止される。

【0045】

これら構成により、回収バルブ５２は、タンク４への塗布液Ｌの回収と回収の停止を切り替えることができる。

【0046】

以下に本実施形態における塗布装置１００の動作について具体的に説明する。

【0047】

まず、塗布装置１００は、塗布部２によって搬送手段１により搬送される基材Ｗに対して塗布液Ｌを塗布し、塗布開始部Ｓを形成する。具体的には、供給バルブ３２が、図２および図３（ａ）に示すように閉状態の供給路３１を図１および図３（ａ）に示すように開状態に切り替え、送液ポンプによりタンク４から供給路３１を通じて塗布液Ｌをマニホールド２１に供給する。そして、マニホールド２１に供給された塗布液Ｌがスリット２２を経由して吐出口２３から吐出される。

【0048】

ここで、供給路３１を開閉する供給バルブ３２の動作（以下、供給バルブ３２の動作と呼ぶ）と同時に回収バルブ５２は、図２および図３（ａ）に示すように開状態の回収路５１を図１および図３（ａ）に示すように閉状態にする。

【0049】

以上により、塗布部２に塗布液Ｌが供給されて塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布が開始されることによって、図３（ｂ）および図３（ｃ）に示すように塗布開始部Ｓが形成される。

【0050】

その後、塗布装置１００は、図３（ａ）に示すように供給バルブ３２および回収バルブ５２の状態を維持しながら塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布を続けて塗膜Ｍを形成していく。

【0051】

次に、塗布装置１００は、塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布を停止し、塗布終了部Ｅを形成する。なお、ここでいう塗布終了部Ｅは、図３（ｂ）に示すような塗布領域Ｔから不塗布領域Ｎになる塗膜Ｍの終端のことである。具体的には、供給バルブ３２が図１および図３（ａ）に示すように開状態の供給路３１を図２および図３（ａ）に示すように閉状態にし、塗布部２への塗布液Ｌの供給を停止する。これにより、塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布を停止する。

【0052】

ここで、供給バルブ３２の動作と同時に回収バルブ５２は、図１および図３（ａ）に示すように閉状態の回収路５１を図２および図３（ａ）に示すように開状態にし、塗布液Ｌの流路において供給バルブ３２よりも上流に位置する供給路３１からタンク４に塗布液Ｌを回収する。

【0053】

以上により、供給バルブ３２により供給路３１が閉状態になり、塗布部２による塗布液Ｌの塗布が完全に停止するまでの間に塗布液Ｌが吐出口２３から吐出される。これにより、図３（ｂ）および図３（ｃ）に示すように塗布終了部Ｅが形成される。そして、塗布部２による基材Ｗへの塗布液Ｌの塗布が停止する。

【0054】

そして、これら塗布装置１００の動作を図３（ａ）に示すように断続的に行うことで、塗布部２は基材Ｗに塗布液Ｌを間欠的に塗布する。これにより、図３（ｂ）および図３（ｃ）に示すように基材Ｗに塗膜Ｍが断続的に形成される。

【0055】

このように上記実施形態における塗布装置１００によれば、従来よりも塗布開始部Ｓにおける塗膜Ｍの盛り上がりを防ぐことができる。

【0056】

具体的に説明する。図４（ａ）および図４（ｂ）に示す従来の塗布装置９００の供給バルブ９１０が有する弁体９１２は、塗布液Ｌの流路において弁座９１３よりも下流に配置されている。そのため、塗布部９３０により塗布液Ｌの塗布を開始するときに、弁体９１２の位置が、図４（ｂ）に示す弁座９１３と密接して弁座９１３の開口を閉塞した位置から図４（ａ）に示す弁座９１３と離れて弁座９１３の開口を開放する位置に変化する。

【0057】

ここで、弁体９１２が塗布液Ｌの流路において弁座９１３よりも下流に向かうように移動させられている。すなわち、弁体９１２が塗布部９３０に向かう方向に移動させられている。そのため、弁体９１２が本体部９１１内の塗布液Ｌを供給路９２０を通じて塗布部９３０に押し出してしまう。その結果、多くの塗布液Ｌが塗布部９３０に供給され、基材Ｗに塗布される。これにより、図５に示すように塗布開始部Ｓにおける塗膜Ｍに盛り上がりが生じる。

【0058】

これに対して、本実施形態における塗布装置１００では、供給バルブ３２が有する弁体３５が、塗布液Ｌの流路において弁座３４よりも上流に位置する部分に配置されている。そして、塗布部２により塗布液Ｌの塗布を開始するときに、弁体駆動部３７によって弁体３５の位置が、弁座３４と密接して弁座３４の開口を閉塞した位置から弁座３４と離れて弁座３４の開口を開放する位置に変化させられる。すなわち、弁体３５が塗布液Ｌの流路において弁座３４よりも上流に向かう方向に移動している。

【0059】

そのため、弁体３５が本体部３３内の塗布液Ｌを供給路３１を通じて塗布部２に押し出し、塗布液Ｌが塗布部２に多く供給されることを防ぐことができる。これにより、塗布部２により塗布液Ｌの塗布を開始するときに塗布部２から塗布される塗布液Ｌの塗布量が多くなることを防ぎ、塗布開始部Ｓにおける塗膜Ｍの盛り上がりを防ぐことができる。

【0060】

また、弁体３５が円錐状に形成されているため、塗布部２への塗布液Ｌの供給時に弁体３５が塗布液Ｌの流路において供給バルブ３２よりも下流に位置する供給路３１に向かって塗布液Ｌを引き込みすぎないようにすることができる。すなわち、塗布部２への塗布液Ｌの供給量を減りにくくすることができる。

【0061】

具体的には、塗布部２へ塗布液Ｌの供給を開始するときに、弁体駆動部３７によって円錐状の弁体３５のとがった部分、すなわち、シャフト３６との接続部分に向かって先細り形状になる部分から塗布液Ｌの流路における下流側に弁体３５が移動させられる。そのため、円錐状の弁体３５の平面の部分から塗布液Ｌの流路における下流側に弁体３５を移動させる場合よりも、塗布液Ｌに対する抵抗が低減される。これにより、弁体３５が、塗布液Ｌの流路において供給バルブ３２よりも下流に位置する供給路３１に向かって塗布液Ｌを引き込みすぎないようにすることができる。

【0062】

また、本実施形態における塗布装置１００が回収手段５を有していることによって、塗布開始部Ｓおよび塗布終了部Ｅにおける塗膜Ｍを精度よく形成することができる。

【0063】

具体的には、回収手段５は、供給バルブ３２により供給路３１を開状態から閉状態に切り替えるときに、回収バルブ５２により回収路５１を閉状態から開状態に切り替えることによって、塗布液Ｌの流路において供給バルブ３２よりも上流に位置する供給路３１からタンク４に塗布液Ｌを回収している。

【0064】

これにより、供給バルブ３２により供給路３１を開状態から閉状態切り替えるときに供給バルブ３２よりも上流に位置する供給路３１内の塗布液Ｌの内圧が高くなることを防ぐことができる。そのため、供給バルブ３２により供給路３１を閉状態から開状態に切り替えたときに塗布液Ｌが塗布部２に多く供給されることを防ぐことができ、塗布開始部Ｓにおける塗膜Ｍの盛り上がりをより防ぐことができる。すなわち、塗布開始部Ｓにおける塗膜Ｍをより精度よく形成することができる。

【0065】

また、供給バルブ３２により供給路３１を開状態から閉状態に切り替えたときに、供給路３１から塗布部２に塗布液Ｌが漏れ出ることを防ぐことができる。そのため、塗布終了部Ｅにおいて塗布液Ｌの液切れがよくなり、不塗布領域Ｎに塗布液Ｌが付着することを防ぐことができる。すなわち、塗布終了部Ｅにおける塗膜Ｍを精度よく形成することができる。

【0066】

以上、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳述したが、各実施形態における構成およびそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の追加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。たとえば、上記実施形態では、弁体３５の弁座３４と対向する部分が平面である例について説明したが、弁座３４と密接したときに弁座３４の開口を閉塞することができる形状であればよい。たとえば、球状ないし半球状であってもよい。これは、弁体５５も同様である。

【0067】

また、塗布液Ｌの流路において供給バルブ３２よりも下流に位置する供給路３１と本体部３３の接続部分を弁座３４としてもよい。

【0068】

また、図１および図２において回収バルブ５２が有する弁体５５を塗布液Ｌの流路において弁座５４よりも上流に位置するよう配置した例を示しているが、塗布液Ｌの流路において弁座５４よりも下流に位置するように弁体５５を配置してもよい。

【0069】

また、上記実施形態では、供給バルブ３２と回収バルブ５２が同時に動作している例について説明したが、形成する塗膜Ｍの形状に応じて適宜変更しても構わない。

【符号の説明】

【0070】

１００ 塗布装置
１ 搬送手段
１１ 塗布ロール
２ 塗布部
２１ マニホールド
２２ スリット
２３ 吐出口
３ 供給手段
３１ 供給路
３２ 供給バルブ
３３ 本体部
３４ 弁座
３５ 弁体
３６ シャフト
３７ 弁体駆動手段
４ タンク
５ 回収手段
５１ 回収路
５２ 回収バルブ
５３ 本体部
５４ 弁座
５５ 弁体
５６ シャフト
５７ 弁体駆動手段
Ｌ 塗布液
Ｍ 塗膜
Ｓ 塗布開始部
Ｅ 塗布終了部
Ｔ 塗布領域
Ｎ 不塗布領域
Ｗ 基材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】