知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023152078
(43)【公開日】2023-10-16
(54)【発明の名称】センサユニット、制御方法及びプログラム
(51)【国際特許分類】
G01S 7/497 20060101AFI20231005BHJP
【ＦＩ】
G01S7/497
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022062019
(22)【出願日】2022-04-01
(71)【出願人】
【識別番号】000002945
【氏名又は名称】オムロン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002860
【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】岩本 慎太郎
【テーマコード（参考）】
5J084
【Ｆターム（参考）】
5J084AA04
5J084AA05
5J084AA06
5J084AA10
5J084AB07
5J084AB17
5J084AD01
5J084AD03
5J084BA02
5J084BA04
5J084BA36
5J084BA48
5J084BA49
5J084BB01
5J084BB26
5J084BB27
5J084CA22
5J084CA25
5J084CA32
5J084CA34
5J084CA70
5J084EA20
5J084EA29
(57)【要約】
【課題】異常の発生原因の箇所を特定する。
【解決手段】センサユニットは、発光部と、受光部と、ウィンドウと、信号処理部と、出射器と、反射体と、受光器とを有するセンサと、物体で反射された光が受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得部と、発光部から出射されてウィンドウで反射された光が受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、出射器から出射されてウィンドウを透過して反射体で反射された光及び出射器から出射されてウィンドウで反射された光が受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得部と、第１受光量と、第２受光量及び第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、物体側及びウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定部と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】センサユニットは、発光部と、受光部と、ウィンドウと、信号処理部と、出射器と、反射体と、受光器とを有するセンサと、物体で反射された光が受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得部と、発光部から出射されてウィンドウで反射された光が受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、出射器から出射されてウィンドウを透過して反射体で反射された光及び出射器から出射されてウィンドウで反射された光が受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得部と、第１受光量と、第２受光量及び第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、物体側及びウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定部と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
発光部と、受光部と、ウィンドウと、信号処理部と、出射器と、反射体と、受光器とを有し、前記信号処理部は、前記発光部から出射されて前記ウィンドウを透過して物体で反射された光が前記ウィンドウを透過して前記受光部によって受光されることにより前記物体までの距離を測定可能なセンサと、
前記物体で反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得部と、
前記発光部から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器から出射されて前記ウィンドウを透過して前記反射体で反射された光及び前記出射器から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得部と、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定部と、を備える
センサユニット。
前記物体で反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得部と、
前記発光部から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器から出射されて前記ウィンドウを透過して前記反射体で反射された光及び前記出射器から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得部と、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定部と、を備える
センサユニット。
【請求項2】
前記判定部は、
前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項１に記載のセンサユニット。
前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項１に記載のセンサユニット。
【請求項3】
前記判定部は、
前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第３受光量が第３所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第３受光量が前記第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項１に記載のセンサユニット。
前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第３受光量が第３所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第３受光量が前記第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項１に記載のセンサユニット。
【請求項4】
前記センサは、複数の方位における前記物体までの距離を測定可能であり、
前記第１取得部は、前記複数の方位における前記第１受光量を取得し、
前記第２取得部は、前記複数の方位における前記第２受光量を取得し、
前記判定部は、前記複数の方位における前記第１受光量と、前記複数の方位における前記第２受光量とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する、
請求項１に記載のセンサユニット。
前記第１取得部は、前記複数の方位における前記第１受光量を取得し、
前記第２取得部は、前記複数の方位における前記第２受光量を取得し、
前記判定部は、前記複数の方位における前記第１受光量と、前記複数の方位における前記第２受光量とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する、
請求項１に記載のセンサユニット。
【請求項5】
前記判定部は、
前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含
まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項４に記載のセンサユニット。
前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含
まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項４に記載のセンサユニット。
【請求項6】
前記判定部は、
前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項４に記載のセンサユニット。
前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項４に記載のセンサユニット。
【請求項7】
前記センサは、複数の方位における前記物体までの距離を測定可能であり、
複数の前記出射器、複数の前記反射体及び複数の前記受光器が、前記ウィンドウの外周に沿って配置されており、
前記第１取得部は、前記複数の方位における前記第１受光量を取得し、
前記第２取得部は、前記複数の方位における前記第３受光量を取得し、
前記判定部は、前記複数の方位における前記第１受光量と、前記複数の方位における前記第３受光量とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する、
請求項１に記載のセンサユニット。
複数の前記出射器、複数の前記反射体及び複数の前記受光器が、前記ウィンドウの外周に沿って配置されており、
前記第１取得部は、前記複数の方位における前記第１受光量を取得し、
前記第２取得部は、前記複数の方位における前記第３受光量を取得し、
前記判定部は、前記複数の方位における前記第１受光量と、前記複数の方位における前記第３受光量とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する、
請求項１に記載のセンサユニット。
【請求項8】
前記判定部は、
前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第３受光量が第３所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第３受光量が前記第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項７に記載のセンサユニット。
前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第３受光量が第３所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第３受光量が前記第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項７に記載のセンサユニット。
【請求項9】
前記判定部は、
前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第３受光量が第３所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第３受光量が前記第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項７に記載のセンサユニット。
前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第３受光量が第３所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、
前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第３受光量が前記第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定する、
請求項７に記載のセンサユニット。
【請求項10】
前記判定部により前記物体側に異常が発生していると判定された場合、前記物体側の異常に関する情報を生成し、及び、前記判定部により前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定された場合、前記ウィンドウ側の異常に関する情報を生成する生成部と、
前記物体側の異常に関する情報又は前記ウィンドウ側の異常に関する情報を表示する表
示部と、を備える
請求項１から９の何れか一項に記載のセンサユニット。
前記物体側の異常に関する情報又は前記ウィンドウ側の異常に関する情報を表示する表
示部と、を備える
請求項１から９の何れか一項に記載のセンサユニット。
【請求項11】
発光部と、受光部と、ウィンドウと、出射器と、反射体と、受光器とを有するセンサユニットの制御方法であって、
前記発光部から出射されて前記ウィンドウを透過して物体で反射された光が前記ウィンドウを透過して前記受光部によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、
前記物体で反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、
前記発光部から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器から出射されて前記ウィンドウを透過して前記反射体で反射された光及び前記出射器から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、を有する
センサユニットの制御方法。
前記発光部から出射されて前記ウィンドウを透過して物体で反射された光が前記ウィンドウを透過して前記受光部によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、
前記物体で反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、
前記発光部から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器から出射されて前記ウィンドウを透過して前記反射体で反射された光及び前記出射器から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、を有する
センサユニットの制御方法。
【請求項12】
発光部と、受光部と、ウィンドウと、出射器と、反射体と、受光器とを有するセンサユニットのプロセッサに、
前記発光部から出射されて前記ウィンドウを透過して物体で反射された光が前記ウィンドウを透過して前記受光部によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、
前記物体で反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、
前記発光部から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器から出射されて前記ウィンドウを透過して前記反射体で反射された光及び前記出射器から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、
を実行させるためのプログラム。
前記発光部から出射されて前記ウィンドウを透過して物体で反射された光が前記ウィンドウを透過して前記受光部によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、
前記物体で反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、
前記発光部から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器から出射されて前記ウィンドウを透過して前記反射体で反射された光及び前記出射器から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、
を実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、物体で反射された光を観測することにより測距を行う反射型のセンサユニットに関する。
【背景技術】
【0002】
光や電波などの電磁波を照射し、物体で反射された反射電磁波を観測することにより、物体までの距離を測定する方式の反射型センサが知られている。特許文献１には、ＴｏＦ（Time of Flight）方式により、対象物までの距離を測定する測距装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２１－１９６３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ＦＡ（Factory Automation）の分野においても、ヒトやモノを検出するために反射型センサが広く利用されている。例えば、セーフティレーザスキャナと呼ばれるセンサユニットは、所定の監視エリア内部にヒトやモノが侵入したことを検知し、装置を停止する信号を出力する、安全センサの一種である。
【0005】
安全センサは、開口部の枠や柱などの物体の所定位置を基準点に設定し、常に基準点を検出して、異常発生時に、制御出力をＯＦＦにする機能を有する場合がある。このような機能は、「基準点監視機能」、「輪郭検出機能」、「参照境界機能」、「Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ ｂｏｕｎｄａｒｙ ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ」または「Ｃｏｎｔｏｕｒ ａｓ ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ」などと呼ばれる。安全センサは、ウィンドウ内からウィンドウの外に向かって光が出射され、物体で反射された光を観測する。観測された光の受光量が許容範囲に収まらないことにより、物体に設定された基準点を検出できない場合がある。このとき、安全センサは制御出力をOFFにする。ユーザーは原因を特定し、対応することで制御出
力を再びONに出来るようになるまで、作業を中断させられる。このような場合において、受光量の変化の原因、すなわち、異常の発生原因の箇所を特定することが要望されている。
力を再びONに出来るようになるまで、作業を中断させられる。このような場合において、受光量の変化の原因、すなわち、異常の発生原因の箇所を特定することが要望されている。
【0006】
本発明は上記実情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、異常の発生原因の箇所を特定することが可能な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一観点に係るセンサユニットは、発光部と、受光部と、ウィンドウと、信号処理部と、出射器と、反射体と、受光器とを有し、前記信号処理部は、前記発光部から出射されて前記ウィンドウを透過して物体で反射された光が前記ウィンドウを透過して前記受光部によって受光されることにより前記物体までの距離を測定可能なセンサと、前記物体で反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得部と、前記発光部から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器から出射されて前記ウィンドウを透過して前記反射体で反射された光及び前記出射器から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得部と、前記第１受光量と、前記第２受
光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定部と、を備えるセンサユニットである。
光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定部と、を備えるセンサユニットである。
【0008】
本発明のセンサユニットによれば、第１受光量と、第２受光量及び第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、物体側及びウィンドウ側の何れに異常が発生してかを判定することで、第１受光量の変化の原因、すなわち、異常の発生原因が物体側にあるのか又はウィンドウ側にあるのかを把握することができる。異常の発生原因が物体側にあるのか又はウィンドウ側にあるのかを把握することで、異常の発生原因の箇所を特定することができる。すなわち、異常の発生原因の箇所が、物体側にあるのか又はウィンドウ側にあるのかを特定することができる。
【0009】
前記判定部は、前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定してもよい。例えば、第１受光量が変化しているが、第２受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が物体側にあると特定され、第１受光量及び第２受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ側にあると特定される。
【0010】
前記判定部は、前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第３受光量が第３所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記第３受光量が前記第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定してもよい。例えば、第１受光量が変化しているが、第３受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が物体側にあると特定され、第１受光量及び第３受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ側にあると特定される。
【0011】
前記センサは、複数の方位における前記物体までの距離を測定可能であり、前記第１取得部は、前記複数の方位における前記第１受光量を取得し、前記第２取得部は、前記複数の方位における前記第２受光量を取得し、前記判定部は、前記複数の方位における前記第１受光量と、前記複数の方位における前記第２受光量とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定してもよい。これにより、複数の方位における第１受光量及び第２受光量に基づいて、異常の発生原因の箇所を特定することができる。
【0012】
前記判定部は、前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定してもよい。例えば、複数の方位のうちの一つの方位における第１受光量が変化しているが、その一つの方位における第２受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が物体側にあると特定される。例えば、複数の方位のうちの一つの方位における第１受光量及び第２受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ側にあると特定される。
【0013】
前記判定部は、前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量
が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定してもよい。例えば、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量が変化しているが、その少なくとも二つの方位における第２受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が物体側にあると特定される。例えば、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量及び第２受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ側にあると特定される。
が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第２受光量が前記第２所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定してもよい。例えば、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量が変化しているが、その少なくとも二つの方位における第２受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が物体側にあると特定される。例えば、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量及び第２受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ側にあると特定される。
【0014】
前記センサは、複数の方位における前記物体までの距離を測定可能であり、複数の前記出射器、複数の前記反射体及び複数の前記受光器が、前記ウィンドウの外周に沿って配置されており、前記第１取得部は、前記複数の方位における前記第１受光量を取得し、前記第２取得部は、前記複数の方位における前記第３受光量を取得し、前記判定部は、前記複数の方位における前記第１受光量と、前記複数の方位における前記第３受光量とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定してもよい。これにより、複数の方位における第１受光量及び第３受光量に基づいて、異常の発生原因の箇所を特定することができる。
【0015】
前記判定部は、前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第３受光量が第３所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、前記複数の方位のうちの一つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記一つの方位における前記第３受光量が前記第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定してもよい。例えば、複数の方位のうちの一つの方位における第１受光量が変化しているが、その一つの方位における第３受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が物体側にあると特定される。例えば、複数の方位のうちの一つの方位における第１受光量及び第３受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ側にあると特定される。
【0016】
前記判定部は、前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第３受光量が第３所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、前記物体側に異常が発生していると判定し、前記複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における前記第１受光量が前記第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、前記少なくとも二つの方位における前記第３受光量が前記第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定してもよい。例えば、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量が変化しているが、その少なくとも二つの方位における第３受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が物体側にあると特定される。例えば、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量及び第３受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ側にあると特定される。
【0017】
本発明のセンサユニットは、前記判定部により前記物体側に異常が発生していると判定された場合、前記物体側の異常に関する情報を生成し、及び、前記判定部により前記ウィンドウ側に異常が発生していると判定された場合、前記ウィンドウ側の異常に関する情報を生成する生成部と、前記物体側の異常に関する情報又は前記ウィンドウ側の異常に関する情報を表示する表示部と、を備えてもよい。ユーザーは、物体側の異常に関する情報又はウィンドウ側の異常に関する情報を視認することで、異常の発生原因が物体側にあるの
か又はウィンドウ側にあるのかを把握することができる。
か又はウィンドウ側にあるのかを把握することができる。
【0018】
本発明は、発光部と、受光部と、ウィンドウと、出射器と、反射体と、受光器とを有するセンサユニットの制御方法であって、前記発光部から出射されて前記ウィンドウを透過して物体で反射された光が前記ウィンドウを透過して前記受光部によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、前記物体で反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、前記発光部から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器から出射されて前記ウィンドウを透過して前記反射体で反射された光及び前記出射器から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、を有するセンサユニットの制御方法である。
【0019】
本発明は、発光部と、受光部と、ウィンドウと、出射器と、反射体と、受光器とを有するセンサユニットのプロセッサに、前記発光部から出射されて前記ウィンドウを透過して物体で反射された光が前記ウィンドウを透過して前記受光部によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、前記物体で反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、前記発光部から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光部によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器から出射されて前記ウィンドウを透過して前記反射体で反射された光及び前記出射器から出射されて前記ウィンドウで反射された光が前記受光器によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、を実行させるためのプログラムである。
【0020】
本発明は、上記手段ないし機能の少なくとも一部を有するセンサシステムとして捉えてもよいし、このセンサシステムを有するセーフティシステムやＦＡシステムとして捉えてもよい。また、本発明は、上記処理の少なくとも一部を含むセンサユニットの制御方法として捉えてもよいし、センサユニットの検知方法として捉えてもよい。さらに、本発明は、かかる方法を実現するためのプログラムやそのプログラムを非一時的に記録したコンピュータ読取可能な記録媒体として捉えることもできる。なお、上記手段および処理の各々は可能な限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。
【発明の効果】
【0021】
本発明によれば、異常の発生原因の箇所を特定することが可能な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、適用例及び実施形態について図を参照しながら説明する。以下に示す適用例及び実施形態は、本願の一態様であり、本願の権利範囲を限定するものではない。
【0024】
＜適用例＞
図１～図３を参照して、本発明の適用例の一つについて説明する。図１は、センサユニット（センサシステム）１の構成を示す図である。センサユニット１は、反射型のセンサ１０、本体部１１、所定処理を行う処理装置１２、及び、所定情報を表示可能な表示装置１３を有する。センサユニット１は、処理装置１２及び表示装置１３を一つの筐体内に備える一体型の構成でもよいし、処理装置１２と表示装置１３とを分離して有線又は無線で接続した構成でもよい。図１に示す構成例では、本体部１１内に処理装置１２が設けられ、本体部１１の外表面に表示装置１３が設けられている。表示装置１３は、表示部の一例である。本体部１１には、処理装置１２及び表示装置１３の他に、センサ１０の一部である光源、光学系、受光装置などが設けられている。
図１～図３を参照して、本発明の適用例の一つについて説明する。図１は、センサユニット（センサシステム）１の構成を示す図である。センサユニット１は、反射型のセンサ１０、本体部１１、所定処理を行う処理装置１２、及び、所定情報を表示可能な表示装置１３を有する。センサユニット１は、処理装置１２及び表示装置１３を一つの筐体内に備える一体型の構成でもよいし、処理装置１２と表示装置１３とを分離して有線又は無線で接続した構成でもよい。図１に示す構成例では、本体部１１内に処理装置１２が設けられ、本体部１１の外表面に表示装置１３が設けられている。表示装置１３は、表示部の一例である。本体部１１には、処理装置１２及び表示装置１３の他に、センサ１０の一部である光源、光学系、受光装置などが設けられている。
【0025】
本明細書において、「反射型のセンサ」は、物体で反射された電磁波を観測することにより物体までの距離を測定可能なセンサを意味し、例えば、レーザ光を用いた測距センサ（ＬｉＤＡＲなど）、電波を用いた測距センサ（ミリ波レーダーなど）が含まれる。物体で反射された電磁波は光を含む。反射型のセンサの測定方式はいずれでもよく、例えば、ＴｏＦ方式、三角測距方式などがある。複数の方位の物体を測定するため、２次元の測定エリア（視野）又は３次元の測定エリア（視野）をもつエリアセンサが利用される。
【0026】
センサユニット１は、セーフティレーザスキャナ又はレーザスキャナとも呼ばれ、ＩＳＯ１３８４９－１などの安全規格に準拠した安全センサである。センサ１０は、ウィンドウ１０１及び天面部１０２を有する。センサ１０は、概略、本体部１１の上に逆円錐台形状のウィンドウ１０１が設けられた構造を有する。ウィンドウ１０１の上には天面部１０２が設けられている。図１に示すウィンドウ１０１は、一方の開口部から他方の開口部に向かって広がるテーパ形状であるが、この形状に限定されず、ウィンドウ１０１は、円柱形状であってもよい。
【0027】
ウィンドウ１０１は、透明又は半透明（所定の透過率を有する有色）であり、光の一部を透過し、光の他の一部を反射する。ウィンドウ１０１はレーザ光を透過する材質からなり、ポリゴンミラーなどの光学系を保護するための部材である。光源から出力されるレーザ光を、ウィンドウ１０１内部で高速回転するポリゴンミラーで反射することにより、センサ１０は、周囲約２７０度の方位をスキャンすることができる。このように、センサ１０は、複数の方位を測定することが可能である。すなわち、センサ１０は、複数の方位における物体までの距離を測定可能である。また、センサ１０は、所定間隔（規則的又は不規則的な間隔）で、物体までの距離を測定する。処理装置１２は、センサ１０によって測定された物体までの距離と設定された所定距離とを比較し、比較結果に基づいて所定処理を行う。
【0028】
図２は、センサ１０のブロック図である。センサ１０は、信号処理部２１と、発光部（発信部）２２と、受光部（受信部）２３と、駆動回路２４と、を有する。発光部２２は、例えば、レーザーダイオードである。信号処理部２１が駆動回路２４を制御することで、発光部２２に駆動電流が印加され、発光部２２がパルス発光して光信号を発信する。発光部２２が光信号を発信することにより、発光部２２から光が出射され、光がレンズ、ポリゴンミラーなどの光学部品２５を介してウィンドウ１０１を透過して外部に出射される。
【0029】
受光部２３は、例えば、フォトダイオードである。発光部２２から外部へ出射されて、測定対象である物体（以下、測定対象物体又はターゲットとも表記する。）に反射された光が、ウィンドウ１０１を透過し、光学部品２５を介して受光部２３に光信号として入力される。受光部２３は、入力された光信号の強度に応じて、光信号を電気信号に変換して出力する。受光部２３から出力された電気信号は、信号処理部２１に入力される。
【0030】
信号処理部２１は、ＴｏＦ方式により、測定対象物体までの距離を測定してもよい。例えば、信号処理部２１は、光を出射したときの時刻と、反射光を受光したときの時刻と、光の速度とに基づいて、測定対象物体までの距離を測定する。また、信号処理部２１は、受光部２３の受光量を測定する。信号処理部２１は、測定データを処理装置１２に送る。このように、センサ１０は、発光部２２から出射されてウィンドウ１０１を透過して測定対象物体で反射された光がウィンドウ１０１を透過して受光部２３によって受光されることにより測定対象物体までの距離を測定すると共に、受光部２３の受光量を測定する。処理装置１２は、センサ１０によって測定された測定対象物体までの距離及び受光部２３の受光量を取得する。
【0031】
測定対象物体の表面に付着物が付着すると、受光部２３の受光量が低下したり、上昇したりする場合がある。また、ウィンドウ１０１の表面に付着物が付着すると、受光部２３の受光量が低下したり、上昇したりする場合がある。受光部２３の受光量の変化だけを観察しても、受光部２３の受光量の変化の原因、すなわち、異常の発生原因が測定対象物体側にあるのか又はウィンドウ１０１側にあるのかを判別するのは難しい。
【0032】
そこで、センサユニット１では、処理装置１２が、発光部２２から出射されてウィンドウ１０１を透過して測定対象物体で反射された光がウィンドウ１０１を透過して受光部２３によって受光されたときの光の光量である受光量（以下、第１受光量と表記する。）を取得する。更に、処理装置１２は、発光部２２から出射されてウィンドウ１０１で反射された光が受光部２３によって受光されたときの光の光量である受光量（以下、第２受光量と表記する。）を取得する。測定対象物体で反射された光が受光部２３によって受光されたときの時刻と、ウィンドウ１０１で反射された光が受光部２３によって受光されたときの時刻とが異なるため、第１受光量と第２受光量とを区別することが可能である。処理装置１２は、第１受光量と、第２受光量とに基づいて、測定対象物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定する。
【0033】
測定対象物体の表面に付着物が付着すると、測定対象物体の表面に付着物が付着していない場合と比較して、第１受光量が変化する。例えば、測定対象物体の表面に測定対象物体の表面と比較して反射率の高い油などが付着すると、測定対象物体の表面に付着物が付着していない場合と比較して、第１受光量が上昇する。例えば、測定対象物体の表面に測定対象物体の表面と比較して反射率の低い砂や切子が付着すると、光の反射方向が変化し、測定対象物体の表面に付着物が付着していない場合と比較して、第１受光量が低下する。例えば、測定対象物体の表面に黒い粘着物質などが付着すると、測定対象物体の表面に付着物が付着していない場合と比較して、第１受光量が低下する。ウィンドウ１０１の表面に付着物が付着すると、ウィンドウ１０１の表面に付着物が付着していない場合と比較
して、第１受光量及び第２受光量が変化する。
して、第１受光量及び第２受光量が変化する。
【0034】
例えば、第１受光量が低下又は上昇しているが、第２受光量が低下又は上昇していない場合、処理装置１２は、第１受光量の変化の原因、すなわち、異常の発生原因が測定対象物体側に発生していると判定する。例えば、第１受光量が低下又は上昇しており、第２受光量が低下又は上昇している場合、処理装置１２は、異常の発生原因がウィンドウ１０１側に発生していると判定する。このように、処理装置１２が、第１受光量と、第２受光量とに基づいて、測定対象物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定することで、第１受光量の変化の原因、すなわち、異常の発生原因が測定対象物体側にあるのか又はウィンドウ１０１側にあるのかを把握することができる。異常の発生原因が測定対象物体側にあるのか又はウィンドウ１０１側にあるのかを把握することで、異常の発生原因の箇所を特定することができる。すなわち、異常の発生原因の箇所が、測定対象物体側にあるのか又はウィンドウ１０１側にあるのかを特定することができる。
【0035】
処理装置１２は、第１受光量が第１所定範囲（第１受光量範囲）内に含まれておらず、かつ、第２受光量が第２所定範囲（第２受光量範囲）内に含まれている、と所定回数判定した場合、測定対象物体側に異常が発生していると判定する。例えば、第１受光量が変化しているが、第２受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が測定対象物体側にあると特定される。処理装置１２は、第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、第２受光量が第２所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、ウィンドウ１０１側に異常が発生していると判定する。例えば、第１受光量及び第２受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ１０１側にあると特定される。第１所定範囲及び第２所定範囲は、設計、実験又はシミュレーションによって予め求められており、処理装置１２の記憶部に記憶されている。所定回数は、任意の回数を設定することが可能であり、１回であってもよいし、複数回であってもよい。
【0036】
図３は、センサユニット１を側面側から視た場合のセンサユニット１の模式図である。センサユニット１は、光を出射する出射器１０３と、光を受光する受光器１０４と、光を反射する反射体１０５とを有する。出射器１０３は、例えば、レーザーダイオード又はＬＥＤである。受光器１０４は、例えば、フォトダイオードである。反射体１０５は、光を反射する板状部材である。
【0037】
図３に示す構成例では、本体部１１に出射器１０３及び受光器１０４が設けられており、天面部１０２に反射体１０５が設けられている。したがって、出射器１０３及び受光器１０４が、ウィンドウ１０１の下方に配置され、反射体１０５が、ウィンドウ１０１の上方に配置されている。図３に示す構成例に限定されず、本体部１１に反射体１０５を設け、天面部１０２に出射器１０３及び受光器１０４を設けてもよい。すなわち、出射器１０３及び受光器１０４が、ウィンドウ１０１の上方に配置され、反射体１０５がウィンドウ１０１の下方に配置されてもよい。一つの出射器１０３、一つの受光器１０４及び一つの反射体１０５が配置されてもよい。複数の出射器１０３、複数の受光器１０４及び複数の反射体１０５が、ウィンドウ１０１の外周に沿って所定間隔で配置されてもよい。
【0038】
出射器１０３の位置と反射体１０５の位置とを結ぶ仮想線がウィンドウ１０１の外周面に対して傾き、かつ、受光器１０４の位置と反射体１０５の位置とを結ぶ仮想線がウィンドウ１０１の外周面に対して傾くように、出射器１０３、受光器１０４及び反射体１０５を配置する。これにより、出射器１０３から出射された光の一部がウィンドウ１０１を透過して反射体１０５で反射し、反射体１０５で反射された光がウィンドウ１０１を透過して受光器１０４により受光される。また、出射器１０３から出射された光の他の一部は、ウィンドウ１０１で反射し、ウィンドウ１０１で反射された光が受光器１０４により受光される。
【0039】
処理装置１２が、出射器１０３から出射されてウィンドウ１０１を透過して反射体１０５で反射された光及び出射器１０３から出射されてウィンドウ１０１で反射された光が受光器１０４によって受光されたときの光の光量である受光量（以下、第３受光量と表記する。）を取得する。処理装置１２は、受光器１０４から第３受光量を取得してもよい。また、処理装置１２は、出射器１０３及び受光器１０４を制御する制御回路を介して第３受光量を取得してもよい。処理装置１２は、第１受光量と、第３受光量とに基づいて、測定対象物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定する。
【0040】
ウィンドウ１０１の表面に付着物が付着すると、ウィンドウ１０１の表面に付着物が付着していない場合と比較して、第１受光量及び第３受光量が変化する。例えば、第１受光量が低下又は上昇しているが、第３受光量が低下又は上昇していない場合、処理装置１２は、異常の発生原因が測定対象物体側に発生していると判定する。例えば、第１受光量が低下又は上昇しており、第３受光量が低下又は上昇している場合、処理装置１２は、異常の発生原因がウィンドウ１０１側に発生していると判定する。このように、処理装置１２が、第１受光量と、第３受光量とに基づいて、測定対象物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定することで、第１受光量の変化の原因、すなわち、異常の発生原因が測定対象物体側にあるのか又はウィンドウ１０１側にあるのかを把握することができる。異常の発生原因が測定対象物体側にあるのか又はウィンドウ１０１側にあるのかを把握することで、異常の発生原因の箇所を特定することができる。すなわち、異常の発生原因の箇所が、測定対象物体側にあるのか又はウィンドウ１０１側にあるのかを特定することができる。
【0041】
処理装置１２は、第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、第３受光量が第３所定範囲（第３受光量範囲）内に含まれている、と所定回数判定した場合、測定対象物体側に異常が発生していると判定する。例えば、第１受光量が変化しているが、第３受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が測定対象物体側にあると特定される。処理装置１２は、第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、第３受光量が第３所定範囲内に含まれていない、と所定回数判定した場合、ウィンドウ１０１側に異常が発生していると判定する。例えば、第１受光量及び第３受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ１０１側にあると特定される。第３所定範囲は、設計、実験又はシミュレーションによって予め求められており、処理装置１２の記憶部に記憶されている。所定回数は、任意の回数を設定することが可能であり、１回であってもよいし、複数回であってもよい。
【0042】
処理装置１２は、第１受光量及び第２受光量に基づいて、測定対象物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定する第１異常判定、及び、第１受光量及び第３受光量に基づいて、測定対象物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定する第２異常判定、の少なくとも一方を行ってもよい。処理装置１２が、第１異常判定を行い、第２異常判定を行わない場合、センサユニット１に対する出射器１０３、受光器１０４及び反射体１０５の設置を省略することができる。
【0043】
＜実施形態＞
本発明の実施形態を説明する。信号処理部２１は、アナログ波の電気信号（アナログ値）を用いて、測定対象物体までの距離を測定してもよい。図４は、信号のタイムチャートの一例を示す図である。図４の（Ａ１）に、駆動回路２４から発光部２２に入力される発光（命令）信号を示す。図４の（Ａ２）及び（Ａ３）に、受光部２３から出力されるアナログ波の電気信号の波形を示す。図４の（Ａ２）は、発光部２２の出射光がセンサ１０の内部に設けられた反射物体で反射され、その反射光を受光部２３が受光したときの電気信号の波形である。図４の（Ａ３）は、発光部２２の出射光がセンサ１０の外部に出射され
、測定対象物体で反射された反射光を受光部２３が受光したときの電気信号の波形である。光を出射したときの時刻として、図４の（Ａ１）の波形の立ち上がり時刻を図４の（Ａ２）の波形がピークのときの時刻を用いて補正した値が用いられる。反射光を受光したときの時刻として、図４の（Ａ３）の波形がピークのときの時刻が用いられる。
本発明の実施形態を説明する。信号処理部２１は、アナログ波の電気信号（アナログ値）を用いて、測定対象物体までの距離を測定してもよい。図４は、信号のタイムチャートの一例を示す図である。図４の（Ａ１）に、駆動回路２４から発光部２２に入力される発光（命令）信号を示す。図４の（Ａ２）及び（Ａ３）に、受光部２３から出力されるアナログ波の電気信号の波形を示す。図４の（Ａ２）は、発光部２２の出射光がセンサ１０の内部に設けられた反射物体で反射され、その反射光を受光部２３が受光したときの電気信号の波形である。図４の（Ａ３）は、発光部２２の出射光がセンサ１０の外部に出射され
、測定対象物体で反射された反射光を受光部２３が受光したときの電気信号の波形である。光を出射したときの時刻として、図４の（Ａ１）の波形の立ち上がり時刻を図４の（Ａ２）の波形がピークのときの時刻を用いて補正した値が用いられる。反射光を受光したときの時刻として、図４の（Ａ３）の波形がピークのときの時刻が用いられる。
【0044】
信号処理部２１は、矩形波の電気信号（デジタル値）を用いて、測定対象物体までの距離を測定してもよい。図５は、信号のタイムチャートの一例を示す図である。図５の（Ｂ１）に、駆動回路２４から発光部２２に入力される発光（命令）信号を示す。図５の（Ｂ２）及び（Ｂ３）に、受光部２３から出力される矩形波の電気信号の波形を示す。図５の（Ｂ２）は、発光部２２の出射光がセンサ１０の内部に設けられた反射物体で反射され、その反射光を受光部２３が受光したときの電気信号の波形である。図５の（Ｂ３）は、発光部２２の出射光がセンサ１０の外部に出射され、測定対象物体で反射された反射光を受光部２３が受光したときの電気信号の波形である。受光部２３は、受光量が閾値以上である場合、受光した光を矩形波の電気信号に成形して出力する。また、受光部２３が、受光した光の強度に応じた電気信号を出力し、受光部２３から出力される電気信号が信号処理部２１に入力されてもよい。受光部２３から出力された電気信号の値が閾値以上である場合、信号処理部２１は、受光部２３から出力された電気信号を矩形波に成形する。光を出射したときの時刻として、図５の（Ｂ１）の波形の立ち上がり時刻を図５の（Ｂ２）の波形の立ち上がりの時刻を用いて補正した値が用いられる。反射光を受光したときの時刻として、図５の（Ｂ３）の波形の立ち上がりの時刻が用いられる。
【0045】
図６は、処理装置１２の機能ブロック図である。処理装置１２は、主な機能として、設定部３１と、第１取得部３２と、第２取得部３３と、判定部３４と、生成部３５と、表示制御部３６と、記憶部３７と、を有する。図６に示す処理装置１２の構成要素の全てが必須というわけではなく、適宜、処理装置１２の構成要素の追加又は削除がなされてもよい。例えば、処理装置１２は、生成部３５によって生成されたデータや情報を出力する出力部を有してもよい。また、処理装置１２が、信号処理部２１としての機能を備えてもよい。
【0046】
処理装置１２は、センサユニット１の動作全体を制御すると共に、表示装置１３を制御する機器（コントローラ）である。処理装置１２は、センサ１０によって測定された測定対象物体までの距離の測定データと、センサ１０によって測定された受光部２３の受光量の測定データとをセンサ１０から取得する。処理装置１２は、専用の機器により構成してもよいし、汎用のコンピュータにより構成してもよい。処理装置１２は、プロセッサ（ＣＰＵ）、メモリ、ストレージ、通信Ｉ／Ｆなどのハードウェア資源を備えている。メモリは、ＲＡＭであってもよい。ストレージは、不揮発性の記憶装置（例えばＲＯＭ、フラッシュメモリなど）であってもよい。処理装置１２の各処理部（機能部）としての機能は、ストレージに格納されたプログラムをメモリに展開しプロセッサによって実行することにより実現される。なお、処理装置１２の構成はこれらに限られない。例えば、機能の全部又は一部をＡＳＩＣやＦＰＧＡなどの回路で構成してもよいし、あるいは、機能の全部又は一部をクラウドサーバや他の装置で実行してもよい。
【0047】
設定部３１は、各種の設定を行う。第１取得部３２は、第１受光量を取得する。第２取得部３３は、第２受光量及び第３受光量の少なくとも一方を取得する。判定部３４は、第１受光量と、第２受光量及び第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、測定対象物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定する。
【0048】
第１取得部３２は、複数の方位における第１受光量を取得してもよい。第２取得部３３は、複数の方位における第２受光量を取得してもよい。判定部３４は、複数の方位における第１受光量と、複数の方位における第２受光量とに基づいて、測定対象物体側及びウィ
ンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定してもよい。これにより、複数の方位における第１受光量及び第２受光量に基づいて、異常の発生原因の箇所を特定することができる。
ンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定してもよい。これにより、複数の方位における第１受光量及び第２受光量に基づいて、異常の発生原因の箇所を特定することができる。
【0049】
第２取得部３３は、複数の方位における第３受光量を取得してもよい。複数の出射器１０３、複数の受光器１０４及び複数の反射体１０５を、ウィンドウ１０１の外周に沿って配置することで、第２取得部３３は、複数の方位における第３受光量を取得することができる。判定部３４は、複数の方位における第１受光量と、複数の方位における第３受光量とに基づいて、測定対象物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定してもよい。
【0050】
生成部３５は、判定部３４により測定対象物体側に異常が発生していると判定された場合、測定対象物体側の異常に関する情報（以下、ターゲット異常情報と表記する。）を生成する。ターゲット異常情報は、（１）ターゲットに付着物が付着している可能性を示す情報、（２）ユーザーにターゲットの表面の確認を促す情報、及び、（３）ユーザーにターゲットの表面の清掃を促す情報、の少なくとも一つを含んでもよい。ターゲット異常情報は、これらの（１）～（３）の情報に加えて、第１受光量の変動に関する情報を含んでもよい。第１受光量の変動に関する情報は、例えば、第１受光量が上昇していることを示す情報又は第１受光量が低下していることを示す情報である。
【0051】
生成部３５は、判定部３４によりウィンドウ１０１側に異常が発生していると判定された場合、ウィンドウ１０１側の異常に関する情報（以下、ウィンドウ異常情報と表記する。）を生成する。ウィンドウ異常情報は、（４）ウィンドウ１０１に付着物が付着している可能性を示す情報、（５）ユーザーにウィンドウ１０１の表面の確認を促す情報、及び、（６）ユーザーにウィンドウ１０１の表面の清掃を促す情報、の少なくとも一つを含んでもよい。ウィンドウ異常情報は、これらの（４）～（６）の情報に加えて、第１受光量の変動に関する情報及び第２受光量の変動に関する情報を含んでもよい。第２受光量の変動に関する情報は、例えば、第２受光量が上昇していることを示す情報又は第２受光量が低下していることを示す情報である。ウィンドウ異常情報は、これらの（４）～（６）の情報に加えて、第１受光量の変動に関する情報及び第３受光量の変動に関する情報を含んでもよい。第３受光量の変動に関する情報は、例えば、第３受光量が上昇していることを示す情報又は第３受光量が低下していることを示す情報である。
【0052】
表示制御部３６は、生成部３５によって生成された情報に基づいて、表示装置１３を制御する。生成部３５によって生成されたターゲット異常情報に基づいて、表示制御部３６が表示装置１３を制御することにより、表示装置１３は、ターゲット異常情報を表示する。表示装置１３に表示されたターゲット異常情報をユーザーが視認することで、ユーザーは、異常の発生原因が測定対象物体側にあることを把握することができ、異常の発生原因の箇所を特定することができる。
【0053】
生成部３５によって生成されたウィンドウ異常情報に基づいて、表示制御部３６が表示装置１３を制御することにより、表示装置１３は、ウィンドウ異常情報を表示する。表示装置１３に表示されたウィンドウ異常情報をユーザーが視認することで、ユーザーは、異常の発生原因がウィンドウ１０１側にあることを把握することができ、異常の発生原因の箇所を特定することができる。
【0054】
記憶部３７は、各種のデータや情報を記憶する。記憶部３７は、ＲＡＭ、不揮発性の記憶装置（例えばＲＯＭ、フラッシュメモリなど）などにより構成してもよい。
【0055】
表示装置１３は、各種のデータや情報を表示する機器である。表示装置１３は、例えば
、液晶ディスプレイ、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、表示灯などである。また、センサユニット１は、操作ボタン及びタッチパネルなどの入力機器を備えてもよい。タッチパネルは、表示装置１３と一体型の構成でもよい。表示装置１３は、データや情報を表示する画面を有するディスプレイ、及び、明滅パターンや点滅パターンを変えることで情報を表示する表示灯、の少なくとも一方を有してもよい。
、液晶ディスプレイ、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、表示灯などである。また、センサユニット１は、操作ボタン及びタッチパネルなどの入力機器を備えてもよい。タッチパネルは、表示装置１３と一体型の構成でもよい。表示装置１３は、データや情報を表示する画面を有するディスプレイ、及び、明滅パターンや点滅パターンを変えることで情報を表示する表示灯、の少なくとも一方を有してもよい。
【0056】
図７は、センサユニット１の設置の一例を示す図であり、図７に示す一例では、センサユニット１が枠２００に設けられ、枠２００の内側に監視エリア２０１が設定されている。監視エリア２０１は、枠２００の所定の各点を基準点として設定されたエリアである。センサユニット１は、監視エリア２０１を常時監視している。監視エリア２０１内に人や物が侵入した場合、センサユニット１から外部装置（外部機器）に対して停止信号が出力される。外部装置は、例えば、ロボットやプレス機などの装置であるが、これらに限定されない。また、図８に示すように、枠２００が傾くことで枠２００の位置ずれが発生し、枠２００と監視エリア２０１との間に隙間２０２が発生する場合がある。基準点監視機能が有効である場合、センサユニット１から外部装置に対して停止信号が出力される。枠２００と監視エリア２０１との間に隙間２０２が発生したことが原因で外部装置が突然停止すると、作業が中断され、作業効率が低下する。
【0057】
そこで、センサユニット１では、処理装置１２が、測定対象物体の位置ずれを検知し、表示装置１３が測定対象物体の位置ずれを表示することで、外部装置が停止する前にユーザーが測定対象物体の位置ずれを把握することができるようにしてもよい。以下、図９～図１１を参照して、測定対象物体の位置ずれを検知する一例について説明する。
【0058】
図９～図１１は、センサユニット１を側面側から視たときの模式図である。判定部３４は、測定対象物体までの距離が第１所定距離から第１所定距離よりも長い第２所定距離までの第１距離範囲内に含まれるか否かを判定する第１判定を行う。図９～図１１において、センサ１０の位置から所定位置（１）までの距離（以下、距離Ｌ１と表記する。）は、第１所定距離の一例である。図９～図１１において、センサ１０の位置から所定位置（２）までの距離（以下、距離Ｌ２と表記する）は、第２所定距離の一例である。図９～図１１において、距離Ｌ１から距離Ｌ２までの範囲（Ａ）は、第１距離範囲の一例である。判定部３４は、枠２００までの距離が距離Ｌ１から距離Ｌ２までの範囲（Ａ）内に含まれるか否かを判定する。すなわち、判定部３４は、枠２００の位置が所定位置（１）から所定位置（２）までの範囲（Ａ）に含まれるか否かを判定する。枠２００の位置は、センサユニット１が測定の対象としている物体の位置である。
【0059】
更に、判定部３４は、測定対象物体までの距離が第３所定距離から第３所定距離よりも長い第４所定距離までの第２距離範囲内に含まれるか否かを判定する第２判定を行う。図９～図１１において、センサ１０の位置から所定位置（３）までの距離（以下、距離Ｌ３と表記する。）は、第３所定距離の一例である。図９～図１１において、センサ１０の位置から所定位置（４）までの距離（以下、距離Ｌ４と表記する）は、第４所定距離の一例である。図９～図１１において、距離Ｌ３から距離Ｌ４までの範囲（Ｂ）は、第２距離範囲の一例である。判定部３４は、枠２００までの距離が距離Ｌ３から距離Ｌ４までの範囲（Ｂ）内に含まれるか否かを判定する。すなわち、判定部３４は、枠２００の位置が所定位置（３）から所定位置（４）までの範囲（Ｂ）に含まれるか否かを判定する。
【0060】
判定部３４は、第１判定及び第２判定の少なくとも一方を行う。判定部３４は、測定対象物体までの距離が第１距離範囲内に含まれると所定回数判定された場合、又は、測定対象物体までの距離が第２距離範囲内に含まれると所定回数判定された場合、測定対象物体の位置ずれに関する情報を生成する。所定回数は、任意の回数を設定することが可能であり、１回であってもよいし、複数回であってもよい。
【0061】
図１０では、枠２００が傾くことにより、枠２００の位置ずれが発生し、枠２００の位置が所定位置（１）から所定位置（２）までの範囲（Ａ）に含まれている。このため、枠２００までの距離が距離Ｌ１から距離Ｌ２までの範囲（Ａ）に含まれると判定され、生成部３５は、測定対象物体の位置ずれに関する情報を生成する。
【0062】
図１１では、枠２００が移動することにより、枠２００の位置ずれが発生し、枠２００の位置が所定位置（３）から所定位置（４）までの範囲（Ｂ）に含まれている。このため、枠２００までの距離が距離Ｌ３から距離Ｌ４までの範囲（Ｂ）に含まれると判定され、生成部３５は、測定対象物体の位置ずれに関する情報を生成する。
【0063】
生成部３５によって生成された測定対象物体の位置ずれに関する情報に基づいて、表示制御部３６が表示装置１３を制御することにより、表示装置１３は、測定対象物体の位置ずれに関する情報を表示する。測定対象物体の位置ずれに関する情報は、測定対象物体の位置がずれていることを示す情報を含んでもよい。測定対象物体の位置ずれに関する情報は、ユーザーに測定対象物体の設置状態の確認を促す情報を含んでもよい。表示装置１３に表示された測定対象物体の位置ずれに関する情報をユーザーが視認することで、外部装置が停止する前にユーザーが測定対象物体の位置ずれを把握することができる。このように、センサユニット１によれば、測定対象物体の位置ずれが原因によって外部装置が停止する前に測定対象物体の位置ずれを把握することが可能となる。
【0064】
判定部３４は、物体までの距離が第２所定距離から第３所定距離までの第３距離範囲内に含まれるか否かを判定する第３判定を行う。図９～図１１において、距離Ｌ２から距離Ｌ３までの範囲（Ｃ）は、第３距離範囲の一例である。判定部３４は、枠２００までの距離が距離Ｌ２から距離Ｌ３までの範囲（Ｃ）内に含まれるか否かを判定する。すなわち、判定部３４は、枠２００の位置が所定位置（２）から所定位置（３）までの範囲（Ｃ）に含まれるか否かを判定する。判定部３４は、物体までの距離が第３距離範囲内に含まれると所定回数判定された場合、物体の位置ずれに関する情報を生成しない。所定回数は、任意の回数を設定することが可能であり、１回であってもよいし、複数回であってもよい。
【0065】
また、判定部３４は、測定対象物体までの距離が第１所定距離よりも短いか否かを判定する第４判定、及び、測定対象物体までの距離が第４所定距離よりも長いか否かを判定する第５判定、の少なくとも一方を行う。生成部３５は、測定対象物体までの距離が第１所定距離よりも短いと所定回数判定された場合、又は、測定対象物体までの距離が第４所定距離よりも長いと所定回数判定された場合、外部装置を停止する停止信号を生成し、外部装置に停止信号を送る。所定回数は、任意の回数を設定することが可能であり、１回であってもよいし、複数回であってもよい。測定対象物体までの距離が第１所定距離よりも短い場合、又は、測定対象物体までの距離が第４所定距離よりも長い場合、測定対象物体の位置ずれが許容範囲を超えているため、生成部３５は、外部装置に停止信号を送る。このように、測定対象物体の位置ずれが許容範囲を超えた場合に、外部装置を停止することができる。
【0066】
一般的なパーソナルコンピュータに、センサユニット１の設定ツール（ソフトウェアプログラム）をインストールし、ユーザーが、設定ツールを用いて、許容範囲をセンサユニット１に設定することが可能である。上記のように、センサ１０は、複数の方位を測定することが可能である。測定対象物体までの距離は、複数の方位ごとに異なる。そのため、判定部３４は、測定対象物体までの距離と複数の方位ごとに設定された第１所定距離、第２所定距離、第３所定距離及び第４所定距離とを比較する。
【0067】
図１２は、基準点監視の設定処理の一例を示すフローチャートである。例えば、センサ
ユニット１を初めて配置した場合やセンサユニット１の配置を変更した場合に、設定処理が行われる。また、基準点監視の設定処理は、測定対象物体の表面及びウィンドウ１０１の表面が清掃された状態で行われる。Ｓ１において、所定のスキャン角度が設定され、発光部２２は光を出射（投光）する。Ｓ２において、受光部２３は、測定対象物体で反射された光及びウィンドウ１０１で反射された光を受光する。Ｓ３において、信号処理部２１は、測定対象物体までの距離（以下、距離Ｒと表記する。）を計算し、距離Ｒを記憶部３５に記憶する。Ｓ４において、センサ１０は、測定対象物体で反射された光の受光量（以下、受光量Ｃｔと表記する。）を計測し、設定部３１は、センサ１０によって計測された受光量Ｃｔを記憶部３５に記憶する。また、Ｓ４において、センサ１０は、ウィンドウ１０１で反射された光の受光量（以下、受光量Ｃｗと表記する。）を計測し、設定部３１は、センサ１０によって計測された受光量Ｃｗを記憶部３５に記憶する。
ユニット１を初めて配置した場合やセンサユニット１の配置を変更した場合に、設定処理が行われる。また、基準点監視の設定処理は、測定対象物体の表面及びウィンドウ１０１の表面が清掃された状態で行われる。Ｓ１において、所定のスキャン角度が設定され、発光部２２は光を出射（投光）する。Ｓ２において、受光部２３は、測定対象物体で反射された光及びウィンドウ１０１で反射された光を受光する。Ｓ３において、信号処理部２１は、測定対象物体までの距離（以下、距離Ｒと表記する。）を計算し、距離Ｒを記憶部３５に記憶する。Ｓ４において、センサ１０は、測定対象物体で反射された光の受光量（以下、受光量Ｃｔと表記する。）を計測し、設定部３１は、センサ１０によって計測された受光量Ｃｔを記憶部３５に記憶する。また、Ｓ４において、センサ１０は、ウィンドウ１０１で反射された光の受光量（以下、受光量Ｃｗと表記する。）を計測し、設定部３１は、センサ１０によって計測された受光量Ｃｗを記憶部３５に記憶する。
【0068】
Ｓ５において、設定部３１は、全てのスキャン角度について、距離Ｒの計算処理及び記憶処理と、受光量Ｃｔ，Ｃｗの計測処理及び記憶処理とが終わったかを判定する。全てのスキャン角度についての各処理が終わっていない場合（Ｓ５；ＮＯ）、Ｓ６に進み、設定部３１は、スキャン角度を変更する。Ｓ１～Ｓ４の各処理が実行されることで、センサ１０は、複数の方位を測定することが可能である。Ｓ７において、設定部３１は、基準点監視を行うスキャン角度を設定する。すなわち、設定部３１は、受光量の変動や測定対象物体の位置ずれを検知するための範囲（エリア）を設定する。
【0069】
Ｓ８において、設定部３１は、基準点監視を行う各スキャン角度に対して、各閾値を設定する。具体的には、設定部３１は、基準点監視の距離の閾値（Ｒ－Ａ，Ｒ＋Ａ）と、安定的に監視できる距離の閾値（Ｒ－Ｂ，Ｒ＋Ｂ）と、安定的に監視できる受光量の閾値（Ｃｔ－Ｃｔ’，Ｃｔ＋Ｃｔ’）と、ウィンドウ異常を検知するための閾値（Ｃｗ－Ｃｗ’，Ｃｗ＋Ｃｗ’）を設定する。閾値（Ｒ－Ａ，Ｒ＋Ａ）は、測定対象物体の位置ずれが許容範囲を超えたか否かの判定時に用いる閾値である。閾値（Ｒ－Ｂ，Ｒ＋Ｂ）は、測定対象物体の位置ずれを検知するために用いる閾値である。閾値（Ｒ－Ａ）は、閾値（Ｒ－Ｂ）よりも小さい値である。閾値（Ｒ＋Ａ）は、閾値（Ｒ＋Ｂ）よりも大きい値である。閾値（Ｃｔ－Ｃｔ’，Ｃｔ＋Ｃｔ’）は、第１受光量の変動を検知するために用いる閾値である。閾値（Ｃｗ－Ｃｗ’，Ｃｗ＋Ｃｗ’）は、第２受光量の変動を検知するために用いる閾値である。
【0070】
閾値（Ｒ－Ａ，Ｒ＋Ａ）、閾値（Ｒ－Ｂ，Ｒ＋Ｂ）、閾値（Ｃｔ－Ｃｔ’，Ｃｔ＋Ｃｔ’）及び閾値（Ｃｗ－Ｃｗ’，Ｃｗ＋Ｃｗ’）を、設計、実験又はシミュレーションによって求めてもよい。閾値（Ｒ－Ａ，Ｒ＋Ａ）、閾値（Ｒ－Ｂ，Ｒ＋Ｂ）、閾値（Ｃｔ－Ｃｔ’，Ｃｔ＋Ｃｔ’）及び閾値（Ｃｗ－Ｃｗ’，Ｃｗ＋Ｃｗ’）における（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃｔ’）及び（Ｃｗ’）の各値の設定方法は問わない。各閾値における（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃｔ’）及び（Ｃｗ’）の各値は、例えば、定数を用いてもよいし、アルゴリズムにより変動する場合がある。また、閾値（Ｒ－Ａ，Ｒ＋Ａ）、閾値（Ｒ－Ｂ，Ｒ＋Ｂ）、閾値（Ｃｔ－Ｃｔ’，Ｃｔ＋Ｃｔ’）及び閾値（Ｃｗ－Ｃｗ’，Ｃｗ＋Ｃｗ’）の上限及び下限に対して別の閾値（例えば、下限Ａｂ、上限Ａｔ）を更に設定してもよい。
【0071】
図１３は、基準点監視処理の一例を示すフローチャートである。１サイクルが開始され、Ｓ１１において、所定のスキャン角度が設定され、発光部２２は光を出射（投光）する。Ｓ１２において、受光部２３が測定対象物体で反射された光を受光する。Ｓ１３において、信号処理部２１は、測定対象物体までの距離（以下、距離ｒと表記する。）を計算する。Ｓ１４において、センサ１０は、測定対象物体で反射された光の受光量、すなわち、第１受光量（以下、受光量ｃｔとも表記する。）を計測する。第１取得部３２は、センサ１０から第１受光量の計測データを取得する。また、Ｓ１４において、センサ１０は、ウィンドウ１０１で反射された光の受光量、すなわち、第２受光量（以下、受光量ｃｗとも
表記する。）を計測する。第２取得部３３は、センサ１０から第２受光量の計測データを取得する。
表記する。）を計測する。第２取得部３３は、センサ１０から第２受光量の計測データを取得する。
【0072】
Ｓ１５において、判定部３４は、距離ｒが閾値（Ｒ－Ａ）以上であり、かつ、閾値（Ｒ＋Ａ）以下であるか否かを判定する。距離ｒが閾値（Ｒ－Ａ）よりも小さい場合、又は、距離ｒが閾値（Ｒ＋Ａ）よりも大きい場合（Ｓ１５；ＮＯ）、Ｓ１６に進む。判定部３４は、距離ｒが閾値（Ｒ－Ａ）よりも小さいか否かの判定、及び、距離ｒが閾値（Ｒ＋Ａ）よりも大きいか否かの判定、の少なくとも一方を行ってもよい。
【0073】
Ｓ１６において、生成部３５は、外部装置を停止する停止信号を生成し、出力する。停止信号が外部装置に送られ、外部装置が停止信号を受け取ることにより、外部装置が停止する。生成部３５は、センサユニット１に配線接続されたＯＳＳＤ（Output Signal Switching Device）を介して、外部装置に停止信号を送ってもよい。ＯＳＳＤは、オン状態及びオフ状態の何れか一方を示す安全制御信号を出力するための装置である。生成部３５は、有線通信（例えば、EtherNet（登録商標）通信）又は無線通信により、外部装置に停止信号を送ってもよい。
【0074】
一方、距離ｒが閾値（Ｒ－Ａ）以上であり、かつ、距離ｒが閾値（Ｒ＋Ａ）以下である場合（Ｓ１５；ＹＥＳ）、Ｓ１７に進む。Ｓ１７において、判定部３４は、距離ｒが閾値（Ｒ－Ｂ）よりも大きく、かつ、距離ｒが閾値（Ｒ＋Ｂ）よりも小さいか否かを判定する。距離ｒが閾値（Ｒ－Ｂ）以下である場合、又は、距離ｒが閾値（Ｒ＋Ｂ）以上である場合（Ｓ１７；ＮＯ）、Ｓ１８に進む。判定部３４は、距離ｒが閾値（Ｒ－Ｂ）よりも大きいか否かの判定、及び、距離ｒが閾値（Ｒ＋Ｂ）よりも小さいか否かの判定、の少なくとも一方を行ってもよい。距離ｒが閾値（Ｒ－Ａ）以上であり、かつ、距離ｒが閾値（Ｒ－Ｂ）以下である場合、判定部３４は、距離ｒが第１距離範囲内に含まれると判定する。また、距離ｒが閾値（Ｒ＋Ｂ）以上であり、かつ、距離ｒが閾値（Ｒ＋Ａ）以下である場合、判定部３４は、距離ｒが第２距離範囲内に含まれると判定する。
【0075】
Ｓ１８において、生成部３５は、測定対象物体の位置ずれに関する情報を生成する。表示装置１３は、測定対象物体の位置ずれに関する情報を表示する。測定対象物体の位置ずれに関する情報は、文字、数字、記号、文字列、数字列、ピクトグラム、グラフ及び画像のうちの少なくとも一つを含んでもよい。例えば、測定対象物体の位置ずれに関する情報として数字及び記号などが表示装置１３に表示された場合、ユーザーは、マニュアルなどを用いて調べることで、測定対象物体の位置がずれていることを把握することができる。また、表示装置１３は、明滅パターンや点滅パターンにより測定対象物体の位置ずれに関する情報を表示してもよい。Ｓ１８の処理が実行された後、Ｓ１９に進む。
【0076】
一方、距離ｒが閾値（Ｒ－Ｂ）よりも大きく、かつ、距離ｒが閾値（Ｒ＋Ｂ）よりも小さい場合（Ｓ１７；ＹＥＳ）、Ｓ１９に進む。Ｓ１９において、異常箇所特定処理が実行される。図１４は、異常箇所特定処理の一例を示すフローチャートである。Ｓ３１において、判定部３４は、受光量ｃｔが閾値（Ｃｔ－Ｃｔ’）以上であり、かつ、受光量ｃｔが閾値（Ｃｔ＋Ｃｔ’）以下であるか否かを判定する。
【0077】
受光量ｃｔが閾値（Ｃｔ－Ｃｔ’）以上であり、かつ、受光量ｃｔが閾値（Ｃｔ＋Ｃｔ’）以下である場合（Ｓ３１；ＹＥＳ）、判定部３４は、物体側及びウィンドウ１０１側の何れにも異常は発生していないと判定する。この場合、異常箇所特定処理が終了し、Ｓ２０に進む。
【0078】
一方、受光量ｃｔが閾値（Ｃｔ－Ｃｔ’）よりも小さい場合、又は、受光量ｃｔが閾値（Ｃｔ＋Ｃｔ’）よりも大きい場合（Ｓ３１；ＮＯ）、Ｓ３２に進む。Ｓ３２において、
判定部３４は、受光量ｃｗが閾値（Ｃｗ－Ｃｗ’）以上であり、かつ、受光量ｃｗが閾値（Ｃｗ＋Ｃｗ’）以下であるか否かを判定する。
判定部３４は、受光量ｃｗが閾値（Ｃｗ－Ｃｗ’）以上であり、かつ、受光量ｃｗが閾値（Ｃｗ＋Ｃｗ’）以下であるか否かを判定する。
【0079】
受光量ｃｗが閾値（Ｃｗ－Ｃｗ’）以上であり、かつ、受光量ｃｗが閾値（Ｃｗ＋Ｃｗ’）以下である場合（Ｓ３２；ＹＥＳ）、判定部３４は、測定対象物体側に異常が発生していると判定し、Ｓ３３に進む。このように、Ｓ３１の処理で否定判定が行われ、Ｓ３２の処理で肯定判定が行われた場合、判定部３４は、第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と判定する。Ｓ３３において、生成部３５は、ターゲット異常情報を生成する。Ｓ３４において、表示装置１３は、ターゲット異常情報を表示する。ターゲット異常情報は、文字、数字、記号、文字列、数字列、ピクトグラム、グラフ及び画像のうちの少なくとも一つを含んでもよい。また、表示装置１３は、明滅パターンや点滅パターンによりターゲット異常情報を表示してもよい。Ｓ３４の処理が実行された後、異常箇所特定処理が終了し、Ｓ２０に進む。
【0080】
一方、受光量ｃｗが閾値（Ｃｗ－Ｃｗ’）よりも小さい場合、又は、受光量ｃｗが閾値（Ｃｗ＋Ｃｗ’）よりも大きい場合（Ｓ３２；ＮＯ）、判定部３４は、ウィンドウ１０１側に異常が発生していると判定し、Ｓ３５に進む。このように、Ｓ３１の処理で否定判定が行われ、Ｓ３２の処理で否定判定が行われた場合、判定部３４は、第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、第２受光量が第２所定範囲内に含まれていない、と判定する。Ｓ３５において、生成部３５は、ウィンドウ異常情報を生成する。Ｓ３６において、表示装置１３は、ウィンドウ異常情報を表示する。ウィンドウ異常情報は、文字、数字、記号、文字列、数字列、ピクトグラム、グラフ及び画像のうちの少なくとも一つを含んでもよい。また、表示装置１３は、明滅パターンや点滅パターンによりウィンドウ異常情報を表示してもよい。Ｓ３６の処理が実行された後、異常箇所特定処理が終了し、Ｓ２０に進む。
【0081】
Ｓ２０において、判定部３４は、全てのスキャン角度について、Ｓ１１～Ｓ１５、Ｓ１７及びＳ１９の各処理が終わったかを判定する。判定部３４は、全てのスキャン角度についての各処理が終わっていない場合（Ｓ２０；ＮＯ）、Ｓ２１に進み、判定部３４は、スキャン角度を変更する。全てのスキャン角度についての各処理が終了することにより、１サイクルが終了する。所定間隔（規則的又は不規則的な間隔）で複数のサイクルが実行されてもよい。
【0082】
複数のスキャン角度について、Ｓ１１～Ｓ１４の各処理を実行することで、センサ１０は、複数の方位を測定する。複数のスキャン角度について、Ｓ１５の処理を実行することで、判定部３４は、複数の方位に対して第４判定及び第５判定の少なくとも一方を行う。生成部３５は、複数の方位のうちの一つの方位における測定対象物体までの距離が第１所定距離よりも短いと所定回数判定された場合、又は、複数の方位のうちの一つの方位における測定対象物体までの距離が第４所定距離よりも長いと所定回数判定された場合、外部装置を停止する停止信号を生成し、外部装置に停止信号を送る。これにより、複数の方位のうちの一つの方位における測定対象物体の位置ずれが許容範囲を超えた場合に、外部装置を停止することができる。
【0083】
複数のスキャン角度について、Ｓ１５及びＳ１７の各処理を実行することで、判定部３４は、複数の方位に対して第１判定及び第２判定の少なくとも一方を行う。生成部３５は、複数の方位のうちの一つの方位における距離ｒが第１距離範囲内に含まれると所定回数判定された場合、又は、複数の方位のうちの一つの方位における距離ｒが第２距離範囲内に含まれると所定回数判定された場合、測定対象物体の位置ずれに関する情報を生成する。ユーザーは、複数の方位のうちの一つの方位における測定対象物体の位置ずれを把握することができる。
【0084】
複数のスキャン角度について、Ｓ１４の処理が実行されることで、第１取得部３２は、センサ１０から複数の方位における第１受光量の計測データを取得し、第２取得部３３は、センサ１０から複数の方位における第２受光量の計測データを取得する。複数のスキャン角度について、Ｓ１９の処理（異常箇所特定処理）が実行されることで、判定部３４は、複数の方位における第１受光量と、複数の方位における第２受光量とに基づいて、物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定する。
【0085】
判定部３４及び生成部３５の少なくとも一方が、カウンタ機能を有してもよい。判定部３４及び生成部３５の少なくとも一方は、Ｓ１５、Ｓ１７及びＳ３２の各処理における否定判定（ＮＯ判定）の回数をカウントしてもよい。また、判定部３４及び生成部３５の少なくとも一方は、Ｓ３２の処理における肯定判定（ＹＥＳ判定）の回数をカウントしてもよい。
【0086】
カウント機能を用いた第１の処理例について説明する。判定部３４及び生成部３５の少なくとも一方は、１サイクル中の否定判定の回数をカウントする。Ｓ１５の処理において、否定判定が行われても、Ｓ１６に進まずに、Ｓ１７に進む。１サイクル中の連続した複数のスキャン角度について、Ｓ１５の処理で否定判定が行われた場合、生成部３５は、停止信号を生成し、出力する。生成部３５は、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における距離ｒが第１所定距離よりも短いと所定回数判定された場合、停止信号を生成し、停止信号を外部装置に送ってもよい。生成部３５は、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における距離ｒが第４所定距離よりも長いと所定回数判定された場合、停止信号を生成し、停止信号を外部装置に送ってもよい。これにより、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における測定対象物体の位置ずれが許容範囲を超えた場合に、外部装置を停止することができる。
【0087】
また、Ｓ１７の処理において、否定判定が行われても、Ｓ１８に進まずに、Ｓ１９に進む。１サイクル中の連続した複数のスキャン角度について、Ｓ１７の処理で否定判定が行われた場合、Ｓ１８に進み、生成部３５は、測定対象物体の位置ずれに関する情報を生成する。生成部３５は、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における距離ｒが第１距離範囲内に含まれると所定回数判定された場合、又は、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における距離ｒが第２距離範囲内に含まれると所定回数判定された場合、測定対象物体の位置ずれに関する情報を生成してもよい。ユーザーは、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における測定対象物体の位置ずれを把握することができる。
【0088】
また、Ｓ３２の処理において、肯定判定が行われても、Ｓ３３に進まずに、Ｓ２０に進む。１サイクル中の連続した複数のスキャン角度について、Ｓ３２の処理で肯定判定が行われた場合、Ｓ３３に進み、生成部３５は、ターゲット異常情報を生成する。判定部３４は、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、その少なくともの二つの方位における第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と所定回数判定した場合、測定対象物体側に異常が発生していると判定してもよい。これにより、例えば、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量が変化しているが、その少なくとも二つの方位における第２受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が測定対象物体側にあると特定される。
【0089】
また、Ｓ３２の処理において、否定判定が行われても、Ｓ３３に進まずに、Ｓ２０に進む。１サイクル中の連続した複数のスキャン角度について、Ｓ３２の処理で否定判定が行われた場合、Ｓ３３に進み、生成部３５は、ウィンドウ異常情報を生成する。判定部３４は、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、その少なくとも二つの方位における第２受光量が第２所定範囲内に
含まれていない、と所定回数判定した場合、ウィンドウ１０１側に異常が発生していると判定してもよい。これにより、例えば、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量及び第２受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ１０１側にあると特定される。
含まれていない、と所定回数判定した場合、ウィンドウ１０１側に異常が発生していると判定してもよい。これにより、例えば、複数の方位のうちの少なくとも二つの方位における第１受光量及び第２受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ１０１側にあると特定される。
【0090】
カウント機能を用いた第２の処理例について説明する。判定部３４及び生成部３５の少なくとも一方は、複数のサイクルにおける同じスキャン角度についての否定判定の回数をカウントする。Ｓ１５の処理において、否定判定が行われても、Ｓ１６に進まずに、Ｓ１７に進む。２以上のサイクルにわたって同じスキャン角度について、Ｓ１５の処理で否定判定が行われた場合、生成部３５は、停止信号を生成し、出力する。生成部３５は、複数の方位のうちの一つの方位における距離ｒが第１所定距離よりも短いと２回以上判定された場合、停止信号を生成し、外部装置に停止信号を送ってもよい。生成部３５は、複数の方位のうちの一つの方位における距離ｒが第４所定距離よりも長いと２回以上判定された場合、停止信号を生成し、外部装置に停止信号を送ってもよい。
【0091】
また、Ｓ１７の処理において、否定判定が行われても、Ｓ１８に進まずに、Ｓ１９に進む。２以上のサイクルにわたって同じスキャン角度について、Ｓ１７の処理で否定判定が行われた場合、Ｓ１８に進み、生成部３５は、測定対象物体の位置ずれに関する情報を生成する。このように、生成部３５は、複数の方位のうちの一つの方位における距離ｒが第１距離範囲内に含まれると２回以上判定された場合、又は、複数の方位のうちの一つの方位における距離ｒが第２距離範囲内に含まれると２回以上判定された場合、測定対象物体の位置ずれに関する情報を生成してもよい。
【0092】
また、Ｓ３２の処理において、肯定判定が行われても、Ｓ３３に進まずに、Ｓ２０に進む。２以上のサイクルにわたって同じスキャン角度について、Ｓ３２の処理で肯定判定が行われた場合、Ｓ３３に進み、生成部３５は、ターゲット異常情報を生成する。このように、判定部３４は、複数の方位のうちの一つの方位における第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、その一つの方位における第２受光量が第２所定範囲内に含まれている、と２回以上判定した場合、測定対象物体側に異常が発生していると判定してもよい。これにより、例えば、複数の方位のうちの一つの方位における第１受光量が変化しているが、その一つの方位における第２受光量が変化していない場合、異常の発生原因の箇所が測定対象物体側にあると特定される。
【0093】
また、Ｓ３２の処理において、否定判定が行われても、Ｓ３３に進まずに、Ｓ２０に進む。２以上のサイクルにわたって同じスキャン角度について、Ｓ３２の処理で否定判定が行われた場合、Ｓ３３に進み、生成部３５は、ウィンドウ異常情報を生成する。このように、判定部３４は、複数の方位のうちの一つの方位における第１受光量が第１所定範囲内に含まれておらず、かつ、その一つの方位における第２受光量が第２所定範囲内に含まれていない、と２回以上判定した場合、ウィンドウ１０１側に異常が発生していると判定してもよい。これにより、例えば、複数の方位のうちの一つの方位における第１受光量及び第２受光量が変化している場合、異常の発生原因の箇所がウィンドウ１０１側にあると特定される。
【0094】
図１２～図１４に示す各処理は、第１受光量と、第３受光量とに基づいて、物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかを判定する処理に適用してもよい。この場合、Ｓ１４において、受光器１０４又は制御回路が、ウィンドウ１０１で反射された光の受光量、すなわち、第３受光量を計測する。第２取得部３３は、受光器１０４又は制御回路から第３受光量の計測データを取得する。なお、全てのスキャン角度について、物体側及びウィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかの判定を行う必要はない。複数の受光器１０４が設置されている位置に対応するスキャン角度について、物体側及びウ
ィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかの判定を行えばよい。図１３及び図１４に示すフローにおいては、「第２受光量」を「第３受光量」と読み替え、「第２所定範囲」を「第３所定範囲」と読み替える。
ィンドウ１０１側の何れに異常が発生しているかの判定を行えばよい。図１３及び図１４に示すフローにおいては、「第２受光量」を「第３受光量」と読み替え、「第２所定範囲」を「第３所定範囲」と読み替える。
【0095】
生成部３５は、有線通信又は無線通信により、測定対象物体の位置ずれに関する情報、ターゲット異常情報及びウィンドウ異常情報の少なくとも一方を外部表示装置に送ってもよい。外部表示装置は、センサユニット１とは別体の表示機器である。外部表示装置は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどである。外部表示装置は、パーソナルコンピュータ、タブレット又はスマートフォンなどの情報処理装置に設けられていてもよい。
【0096】
なお、測定対象物体の表面に付着物が付着する共に、ウィンドウ１０１の表面に付着物が付着する場合がある。このような場合、まず、センサユニット１は、ユーザーにウィンドウ１０１側に異常が発生していることを知らせてもよい。ウィンドウ１０１の表面の清掃が終了した後、センサユニット１は、ユーザーに測定対象物体側に異常が発生していることを知らせるようにしてもよい。
【0097】
測定対象物体の位置ずれに関する情報は、測定対象物体の外形と、測定対象物体の位置ずれが発生している箇所とを含んでもよい。図１５は、表示装置１３の画面の一例を示す図である。例えば、図１５に示すように、枠２００の位置ずれが発生している箇所を強調表示して、枠２００の外形と、枠２００の位置ずれが発生している箇所とを、表示装置１３の画面に表示してもよい。図１５に示す例では、ターゲット（枠２００）の位置がずれていることを示す情報が表示装置１３の画面に表示されている。
【0098】
ターゲット異常情報は、測定対象物体の外形と、測定対象物体側の異常が発生している箇所とを含んでもよい。図１６は、表示装置１３の画面の一例を示す図である。例えば、図１６に示すように、枠２００側の異常が発生している箇所を強調表示して、枠２００の外形と、枠２００側の異常が発生している箇所とを、表示装置１３の画面に表示してもよい。図１６に示す例では、ターゲット（枠２００）側の受光量が変化していることを示す情報と、ターゲット（枠２００）の表面の清掃を促す情報と、が表示装置１３の画面に表示されている。
【0099】
また、ユーザーが、設定ツールを用いて、外部表示装置の画面に停止エリア及び警告エリアを設定してもよい。図１７は、停止エリア及び警告エリアの設定の一例を示す図である。図１７には、枠２００の外形、停止エリア及び警告エリアが示されている。ユーザーは、設定ツールを用いて、停止エリアの範囲及び警告エリアの範囲を設定する。警告エリアの範囲が、許容範囲であってもよい。ユーザーは、停止エリアに基づいて、閾値（Ｒ－Ａ，Ｒ＋Ａ）を設定し、警告エリアに基づいて、閾値（Ｒ－Ｂ，Ｒ＋Ｂ）を設定してもよい。
【0100】
＜その他＞
上記実施形態は、本発明の構成例を例示的に説明するものに過ぎない。本発明は上記の具体的な形態には限定されることはなく、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、センサユニット１は、スキャナタイプのセンサを用いているが、これに限定されず、非スキャナタイプのセンサを用いてもよい。センサユニット１として非スキャナタイプのセンサを用いる場合、物体又は物体の近傍に複数のセンサユニット１を設けるようにしてもよい。
上記実施形態は、本発明の構成例を例示的に説明するものに過ぎない。本発明は上記の具体的な形態には限定されることはなく、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、センサユニット１は、スキャナタイプのセンサを用いているが、これに限定されず、非スキャナタイプのセンサを用いてもよい。センサユニット１として非スキャナタイプのセンサを用いる場合、物体又は物体の近傍に複数のセンサユニット１を設けるようにしてもよい。
【0101】
上記で説明した各処理は、コンピュータが実行する方法として捉えてもよい。また、上記で説明した各処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを、ネットワークを通
じて、又は、非一時的にデータを保持するコンピュータ読取可能な記録媒体等からコンピュータに提供してもよい。
じて、又は、非一時的にデータを保持するコンピュータ読取可能な記録媒体等からコンピュータに提供してもよい。
【0102】
＜付記１＞
発光部（２２）と、受光部（２３）と、ウィンドウ（１０１）と、信号処理部（２１）と、出射器（１０３）と、反射体（１０５）と、受光器（１０４）とを有し、前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して物体で反射された光が前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記受光部（２３）によって受光されることにより前記物体までの距離を測定可能なセンサ（１０）と、
前記物体で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得部（３２）と、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記反射体（１０５）で反射された光及び前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光器（１０４）によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得部（３３）と、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ（１０１）側の何れに異常が発生しているかを判定する判定部（３４）と、を備える
センサユニット（１）。
発光部（２２）と、受光部（２３）と、ウィンドウ（１０１）と、信号処理部（２１）と、出射器（１０３）と、反射体（１０５）と、受光器（１０４）とを有し、前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して物体で反射された光が前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記受光部（２３）によって受光されることにより前記物体までの距離を測定可能なセンサ（１０）と、
前記物体で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得部（３２）と、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記反射体（１０５）で反射された光及び前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光器（１０４）によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得部（３３）と、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ（１０１）側の何れに異常が発生しているかを判定する判定部（３４）と、を備える
センサユニット（１）。
【0103】
＜付記２＞
発光部（２２）と、受光部（２３）とウィンドウ（１０１）と、出射器（１０３）と、反射体（１０５）と、受光器（１０４）とを有するセンサユニットの制御方法であって、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して物体で反射された光が前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記受光部（２３）によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、
前記物体で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記反射体（１０５）で反射された光及び前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光器（１０４）によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ（１０１）側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、を有する
センサユニット（１）の制御方法。
発光部（２２）と、受光部（２３）とウィンドウ（１０１）と、出射器（１０３）と、反射体（１０５）と、受光器（１０４）とを有するセンサユニットの制御方法であって、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して物体で反射された光が前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記受光部（２３）によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、
前記物体で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記反射体（１０５）で反射された光及び前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光器（１０４）によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ（１０１）側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、を有する
センサユニット（１）の制御方法。
【0104】
＜付記３＞
発光部（２２）と、受光部（２３）と、ウィンドウ（１０１）と、出射器（１０３）と、反射体（１０５）と、受光器（１０４）とを有するセンサユニット（１）のプロセッサに、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して物体で反射された光が前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記受光部（２３）によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、
前記物体で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記反射体（１０５）で反射された光及び前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光器（１０４）によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ（１０１）側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、
を実行させるためのプログラム。
発光部（２２）と、受光部（２３）と、ウィンドウ（１０１）と、出射器（１０３）と、反射体（１０５）と、受光器（１０４）とを有するセンサユニット（１）のプロセッサに、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して物体で反射された光が前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記受光部（２３）によって受光されることにより前記物体までの距離を測定する測定ステップと、
前記物体で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第１受光量を取得する第１取得ステップと、
前記発光部（２２）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光部（２３）によって受光されたときの光の光量である第２受光量、ならびに、前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）を透過して前記反射体（１０５）で反射された光及び前記出射器（１０３）から出射されて前記ウィンドウ（１０１）で反射された光が前記受光器（１０４）によって受光されたときの光の光量である第３受光量、の少なくとも一方を取得する第２取得ステップと、
前記第１受光量と、前記第２受光量及び前記第３受光量の少なくとも一方とに基づいて、前記物体側及び前記ウィンドウ（１０１）側の何れに異常が発生しているかを判定する判定ステップと、
を実行させるためのプログラム。
【符号の説明】
【0105】
１・・・センサユニット
１０・・・センサ
１１・・・本体部
１２・・・処理装置
１３・・・表示装置
２１・・・信号処理部
２２・・・発光部
２３・・・受光部
２４・・・駆動回路
２５・・・光学部品
３１・・・設定部
３２・・・第１取得部
３３・・・第２取得部
３４・・・判定部
３５・・・生成部
３６・・・表示制御部
３７・・・記憶部
１０１・・・ウィンドウ
１０２・・・天面部
１０３・・・出射器
１０４・・・受光器
１０５・・・反射体
１０・・・センサ
１１・・・本体部
１２・・・処理装置
１３・・・表示装置
２１・・・信号処理部
２２・・・発光部
２３・・・受光部
２４・・・駆動回路
２５・・・光学部品
３１・・・設定部
３２・・・第１取得部
３３・・・第２取得部
３４・・・判定部
３５・・・生成部
３６・・・表示制御部
３７・・・記憶部
１０１・・・ウィンドウ
１０２・・・天面部
１０３・・・出射器
１０４・・・受光器
１０５・・・反射体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】