2023-152418 電気的接触子及び電気的接続装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023152418

(43)【公開日】2023-10-17

(54)【発明の名称】電気的接触子及び電気的接続装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20231010BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20231010BHJP

【ＦＩ】

G01R1/073 E

G01R1/073 D

G01R31/26 J

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022062431

(22)【出願日】2022-04-04

(71)【出願人】

【識別番号】000153018

【氏名又は名称】株式会社日本マイクロニクス

(74)【代理人】

【識別番号】100180275

【弁理士】

【氏名又は名称】吉田 倫太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100161861

【弁理士】

【氏名又は名称】若林 裕介

(72)【発明者】

【氏名】福士 輝夫

【テーマコード（参考）】

2G003

2G011

【Ｆターム（参考）】

2G003AA07

2G003AG03

2G003AG04

2G003AH04

2G003AH05

2G011AA04

2G011AA15

2G011AA16

2G011AB01

2G011AC14

2G011AC21

2G011AE03

2G011AE11

2G011AF07

(57)【要約】

【課題】複数の電気的接触子の間で、先端の高さ位置を揃えて基板表面に接合する際、基板表面に微細な撓みがあるときでも、基板表面の撓みの影響を和らげて、先端が基板面に平行に接合することができるようにする。
【解決手段】本発明は、基板表面に据え付けられる板状の電気的接触子であって、被検査体の電極と電気的に接触する接触部と、接触部の一端と連結する梁部と、梁部を支持する本体支持部と、基板表面に形成された配線と接触しながら基板表面に接合する接合部とを備え、接合部が、接合時の荷重を受けて、基板表面に垂直な方向に弾性して、本体支持部、梁部及び接触部を含む本体部の姿勢を調整可能であり、本体部の接合時の姿勢を保持可能なものである。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板表面に据え付けられる板状の電気的接触子であって、
被検査体の電極と電気的に接触する接触部と、
前記接触部の一端と連結する梁部と、
前記梁部を支持する本体支持部と、
前記基板表面に形成された配線と接触しながら前記基板表面に接合する接合部と
を備え、
前記接合部が、接合時の荷重を受けて、前記基板表面に垂直な方向に弾性して、前記本体支持部、前記梁部及び前記接触部を含む本体部の姿勢を調整可能であり、前記本体部の接合時の姿勢を保持可能なものである
ことを特徴とする電気的接触子。

【請求項2】

前記接合部が、
前記本体部を支持する基部と、
前記基板表面と接触する基板面接触部と、前記基板面接触部の両端部のそれぞれに設けた保持部と、
前記基部と前記基板面接触部との間に存在して、前記接合時の荷重を受けて弾性する弾性部と、
前記弾性部の蓄勢により、前記本体部を支持する前記基部の姿勢を保持する姿勢保持部と
を備えることを特徴とする請求項１に記載の電気的接触子。

【請求項3】

前記姿勢保持部は、
前記基部の両端部のそれぞれの係合部と、
前記基板面接触部の両端部の各保持部に設けられた被係合部と
を有することを特徴とする請求項２に記載の電気的接触子。

【請求項4】

前記被係合部は、前記保持部の少なくとも一方の側面に設けられ、突起の間に形成された凹部であり、
前記係合部は、前記基部の端部に形成された凸部である
ことを特徴とする請求項３に記載の電気的接触子。

【請求項5】

検査装置と、被検査体の電極に接触する複数の接触子との間を電気的に接続する電気的接続装置において、
基板と、
前記基板の一方の端部側に設けられ、前記被検査体の前記電極に対して接触する複数の接触子と
を備え、
前記接触子が、請求項１～４のいずれかに記載の電気的接触子を有することを特徴とする電気的接続装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電気的接触子及び電気的接続装置に関し、例えば、半導体ウェハ上に形成された半導体集積回路等の電気的検査を行なう検査装置に用いられる電気的接触子に適用し得るものである。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェハ上に形成された半導体集積回路（以下、「被検査体」とも呼ぶ。）の電気的特性を検査する際、プローブカード等の電気的接続装置を、テストヘッダに取り付けた検査装置（「テスタ」とも呼ぶ。）が用いられる。

【0003】

プローブカードの一方の面（例えば下面）には、複数の電気的接触子（以下、「プローブ」とも呼ぶ。）が装着されており、被検査体の検査の際に、各電気的接触子の先端部が、被検査体の対応する電極端子に電気的に接触する。その後、検査装置からの電気信号が各電気的接触子を介して各被検査体に供給され、また各被検査体からの信号が各電気的接触子を介して検査装置側に取り込まれることで、各被検査体の電気的検査が行なわれる。

【0004】

従来、プローブカードの一方の面に複数の電気的接触子を装着させる際、図９に例示するように、プローブカードの基板９５に取り付ける部分である電気的接触子９１の接合部を基板９５の面側に向けて、プローブカードの基板９５の面に対して電気的接触子９１が垂直方向に起立するように、電気的接触子９１を基板９５の面に置く。そして、図中の上側から下側に向けて（すなわち、電気的接触子９１側から基板９５側に向けた方向に）一定の荷重を加えた状態で、電気的接触子９１の接合部を半田等で覆うようにして、電気的接触子９１の接合部とプローブカードの基板９５の面との間を半田等で固定する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】国際公開番号ＷＯ２００７／０８６１４７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、複数の電気的接触子を据えるプローブカード基板の表面は、必ずしもフラットではなく、基板が僅かに撓んで反りやうねりがある。被検査体の電極端子に対する位置合わせを確実にするために、複数の電気的接触子のそれぞれの先端の高さ位置を整列基準面ＳＦ（図９参照）に揃えて、プローブカード基板に対して各電気的接触子を接合しようとすると、基板表面に対して電気的接触子の接合部が浮いたり傾いたりしてしまい、その状態のまま電気的接触子をプローブカード基板に接合してしまうと、接合部分が不安定となってしまう。例えば、高温試験では熱により半田が軟化し、接合部分が不安定となってしまい、被検査体の電極端子に対する位置ずれ、電気的接触子の倒れが生じてしまう。

【0007】

そのため、本発明は、上述した課題に鑑み、複数の電気的接触子の間で、先端の高さ位置を揃えて基板表面に接合する際、基板表面に微細な撓みがあるときでも、基板表面の撓みの影響を和らげて確実に接合することができる電気的接触子及び電気的接続装置を提供しようとするものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

かかる課題を解決するため、第１の本発明は、基板表面に据え付けられる板状の電気的接触子であって、被検査体の電極と電気的に接触する接触部と、接触部の一端と連結する梁部と、梁部を支持する本体支持部と、基板表面に形成された配線と接触しながら基板表面に接合する接合部とを備え、接合部が、接合時の荷重を受けて、基板表面に垂直な方向に弾性して、本体支持部、梁部及び接触部を含む本体部の姿勢を調整可能であり、本体部の接合時の姿勢を保持可能なものであることを特徴とする。

【0009】

第２の本発明は、検査装置と、被検査体の電極に接触する複数の接触子との間を電気的に接続する電気的接続装置において、基板と、基板の一方の端部側に設けられ、被検査体の電極に対して接触する複数の接触子とを備え、接触子が、第１の本発明の電気的接触子を有することを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、複数の電気的接触子の間で、先端の高さ位置を揃えて基板表面に接合する際、基板表面に微細な撓みがあるときでも、基板表面の撓みの影響を和らげて確実に接合することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施形態において、プローブ基板の配線基板に据える電気的接触子の構成例を示す構成図である。

【図2】実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す構成図である。

【図3】実施形態に係る電気的接触子の配線基板への接合を説明する説明図である。

【図4】実施形態に係る姿勢保持部の構成を示す拡大構成図である。

【図5】実施形態に係る電気的接触子の第１の変形例を示す構成図である。

【図6】実施形態に係る電気的接触子の第２の変形例を示す構成図である。

【図7】実施形態に係る電気的接触子の第３の変形例を示す構成図である。

【図8】実施形態に係る電気的接触子の第４の変形例を示す構成図である。

【図9】従来の微妙に撓んでいる基板面への電気的接触子の接合を説明する説明図である。

【図10】実施形態において微妙に撓んでいる基板面への電気的接触子の接合を説明する説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

（Ａ）実施形態
以下、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

【0013】

（Ａ－１）実施形態の構成
（Ａ－１－１）電気的接続装置
まず、実施形態に係る複数の電気的接触子を据える電気的接続装置の構成例を、図２を参照しながら説明する。

【0014】

図２は、実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す構成図である。図２では、電気的接続装置３の主要な構成部材を図示しているが、これらの構成部材に限定されず、実際の電気的接続装置は、図２に図示しない構成部材も有する。

【0015】

図２において、この実施形態に係る電気的接続装置３は、平板状の配線基板４１と、配線基板４１と電気的に接続される電気的接続ユニット４２と、電気的接続ユニット４２と電気的に接続すると共に、被検査体２の電極端子５１と電気的に接続する複数の電気的接触子１が装着されたプローブ基板４３と、を備える。

【0016】

電気的接続装置３は、図示しない検査装置（テスター）のテストヘッドに装着されるものである。被検査体２をプローブ基板４３に向けて押圧し、プローブ基板４３の各電気的接触子１の先端部１６１と被検査体２の電極端子５１とを電気的に接触させる。そして、検査の際に、図示しない検査装置（テスタ）からの電気信号が各電気的接触子１を介して被検査体２の電極端子５１に電気信号を供給され、さらに被検査体２の電極端子５１からの電気信号が各電気的接触子１を介してテスタに与えられる。このようにして、テスタは、被検査体２の電気特性を捉えることで被検査体２の電気的検査を行なう。

【0017】

検査対象である被検査体２はチャックトップ５の上面に載置される。チャックトップ５は、水平方向のＸ軸方向、水平面上においてＸ軸方向に対して垂直なＹ軸方向、水平面（Ｘ－Ｙ平面）に対して垂直なＺ軸方向に位置調整が可能であり、さらに、Ｚ軸回りのθ方向に回転姿勢を調整可能である。被検査体２の電気的検査を実施する際には、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降可能なチャックを移動させて、被検査体２の電極端子５１をプローブ基板４３の各電気的接触子１の先端部に電気的に接触させるため、電気的接続装置３のプローブ基板４３の下面と、チャックトップ５上の被検査体２とが相対的に近づくように移動させる。

【0018】

［配線基板］
配線基板４１は、例えばポリイミド等の樹脂材料で形成されたものであり、例えば略円形板状に形成されたプリント基板等である。配線基板４１の上面の周縁部には、テスタのテストヘッド（図示しない）と電気的に接続する多数の電極端子（図示しない）が配置されている。また、配線基板４１の下面には、図示しない配線パターンが形成されており、配線パターンの接続端子と、電気的接続ユニット４２に設けられている複数の接続子（図示しない）の上端部とが電気的に接続するようになっている。

【0019】

配線基板４１は様々な構成をとることができるが、例えば以下のような構成をとることができる。例えば、配線基板４１の上面には、テストヘッドと電気的に接続する電極端子が形成され、配線基板４１の下面には、電気的接続ユニット４２の各接続子と電気的に接続する配線パターンが形成され、更に、配線基板４１の内部には配線回路が形成されている。配線基板４１の下面の配線パターンと、配線基板４１の上面の電極端子とは、配線基板４１内部の配線回路を介して接続可能となっている。したがって、配線基板４１内の配線回路を介して、電気的接続ユニット４２の各接続子と、テストヘッドとの間で電気信号を導通させることができる。なお、配線基板４１の上面には、被検査体２の電気的検査に必要な複数の電子部品も配置されている。

【0020】

［電気的接続ユニット］
電気的接続ユニット４２は、例えばポゴピン等のような複数の接続子を有している。電気的接続装置３の組み立て状態では、各接続子の上端部を、配線基板４１の下面の配線パターンの接続端子に電気的に接続され、また各接続子の下端部を、プローブ基板４３の上面に設けられたパッドに接続される。電気的接触子１の先端部が被検査体２の電極端子５１に電気的に接触するので、被検査体２の電極端子５１は、電気的接触子１及び接続子を通じて、テスタと電気的に接続される。

【0021】

［プローブ基板］
プローブ基板４３は、複数の電気的接触子１を有する基板であり、略円形若しくは多角形（例えば１６角形等）に形成されたものである。電気的接続装置３にプローブ基板４３が装着される際、プローブ基板４３は、その周縁部をプローブ基板支持部１８により支持される。プローブ基板４３に組み込まれる電気的接触子１は、例えば、カンチレバー型プローブ等を用いることができるが、これに限定されるものではない。被検査体（半導体集積回路）２の数や、各被検査体２の電極端子５１の数等に応じた数の電気的接触子１が、プローブ基板４３に組み込まれる。

【0022】

プローブ基板４３は様々な構成をとることができるが、図２ではその一例を示している。例えば、プローブ基板４３は、例えばセラミック板等で形成される基板部材４３１と、基板部材４３１の下面に形成された配線基板４３２とを有する。

【0023】

セラミック基板である基板部材４３１の内部には、板厚方向に貫通する多数の導電路（図示しない）が形成されたものとしてもよい。基板部材４３１の上面にはパッドが形成されており、基板部材４３１内の導電路の一端が、当該基板部材４３１の上面の対応する配線パターンの接続端子と接続するように形成されている。基板部材４３１の下面では、基板部材４３１内の導電路の他端が、配線基板４３２の上面に設けられた接続端子と接続されるように形成されている。

【0024】

配線基板４３２は、例えばポリイミド等の合成樹脂部材で形成された基板である。配線基板４３２の一方の面（例えば、下面）には複数の電気的接触子１のそれぞれと接合している。配線基板４３２の一方の面に接続している電気的接触子１は、電気的接続ユニット４２を介して、配線基板４１の対応する接続端子と電気的に接続している。

【0025】

（Ａ－１－２）電気的接触子の構成
次に、実施形態に係る電気的接触子１の構成を図面を参照しながら説明する。

【0026】

図１は、実施形態において、プローブ基板４３の配線基板４３２に据える電気的接触子１の構成例を示す構成図である。

【0027】

図１において、実施形態に係る電気的接触子１は、接合部１０、本体支持部１１、第１アーム部１３、第２アーム部１４、台座部１５、接触部１６を有する。

【0028】

電気的接触子１は、例えば金属等の導電性部材で形成されており、配線基板４３２の表面に形成された配線４５と、被検査体２の電極端子５１との間で電気信号を導通する。例えば、電気的接触子１の接合部１０が、配線基板４３２の配線４５と接触するように接合されて、配線基板４３２に電気的接触子１が据え付けられる。被検査体２の検査時に、電気的接触子１の接触部１６の先端部１６１が、被検査体２の電極端子５１と電気的に接触して、電気的接触子１が、配線４５と被検査体２の電極端子５１との間で電気信号を導通する。

【0029】

電気的接触子１は、例えば、メッキ加工、エッチング、リソグラフィ等のＭＥＭＳプロセス技術により形成することができ、電気的接触子１は、全体の厚さを同じ又は同程度で形成された板状部材である。また、電気的接触子１の寸法は、被検査体２の電極端子５１の大きさや電極端子５１間の間隔等に応じて決められるので特に限定されないが、例えば電気的接触子１の左右方向（長手方向）の寸法（長さ）は数ｍｍ程度とすることができる。

【0030】

電気的接触子１は、カンチレバー型プローブである。すなわち、接触部１６が被検査体２の電極端子５１と電気的に接触する際に、電極端子５１側から接触部１６側に向けて接触荷重が作用し、その接触荷重により、本体支持部１１側と連結している第１アーム部１３及び第２アーム部１４が弾性変形し、第１アーム部１３及び第２アーム部１４が接触部１６を弾性的に支持する。このように、カンチレバー型の電気的接触子１は、接触部１６と電極端子５１との接触荷重を抑制しながら、接触部１６と電極端子５１とを確実に電気的に接触させることができる。

【0031】

［本体支持部］
本体支持部１１は、接合部１０側から上方に向けて（配線基板４３２から被検査体２側に向けて）延びた部分である。本体支持部１１は、接触部１６が被検査体２の電極端子５１に接触した際に生じる接触荷重により弾性変形する、第１アーム部１３及び第２アーム部１４を支持する部分である。

【0032】

［第１アーム部及び第２アーム部］
第１アーム部１３及び第２アーム部１４の一端は、本体支持部１１と連結し、第１アーム部１３及び第２アーム部１４の他端は、台座部１５と連結している。第１アーム部１３及び第２アーム部１４は、接触部１６の電極端子５１への接触時に、接触部１６を弾性的に支持する部分である。第１アーム部１３及び第２アーム部１４は、接触荷重による接触部１６の上下方向の移動量や、オーバードライブによる左右方向のスクラブ量を調整する部分である。

【0033】

図１では、電気的接触子１が２本のアーム部（第１アーム部１３及び第２アーム部１４）を備える場合を例示するが、アーム部の本数はこれに限定されず、また、接触部１６を弾性的に支持可能であればアーム部の形状は限定されない。

【0034】

［台座部］
台座部１５は、第１アーム部１３及び第２アーム部１４の各他端と連結すると共に、接触部１６を備える部分である。

【0035】

［接触部］
接触部１６は、台座部１５の上部に設けられ、接触部１６の先端部１６１が被検査体２の電極端子５１と電気的に接触する。

【0036】

［接合部］
接合部１０は、プローブ基板４３の配線基板４３２に取り付けられる部分である。

【0037】

電気的接触子１を配線基板４３２に接合する際、電気的接触子１の接合部１０側を、配線基板４３２の基板面に向けて、配線基板４３２の基板面に対して電気的接触子１が垂直に起立した状態となるようにして、基板面に接合部１０を置く。このとき、配線基板４３２上の配線４５に、接合部１０が接触するようにする。

【0038】

その後、接合部１０と配線４５とを確実に接触させるため、上側から下側に向けて（電気的接触子１の接触部１６側から配線基板４３２側に向けて）、電気的接触子１の先端部１６１の高さ位置が整列基準面ＳＦ（図３参照）に揃うように、電気的接触子１の接合部１０を基板面に押し付け、その状態で、半田等の接合材Ｓを用いて、電気的接触子１の接合部１０と配線基板４３２の基板面とを接合する。

【0039】

このとき、図３に例示するように、電気的接触子１の接合部１０を、半田等の接合材Ｓで覆うようにして、電気的接触子１の接合部１０と配線基板４３２とを接合する。

【0040】

ここで、図１に示すように、電気的接触子１の接合部１０は、基端部１０６と、電気的接触子１の長手方向に延びた基部１０３と、配線基板４３２の基板面に対して接触する基板面接触部１０４と、基部１０３と基板面接触部１０４との間に存在する弾性部１０５と、基板面接触部１０４の一方の端部側で基板面に対して垂直方向に起立する第１保持部１０１と、基板面接触部１０４の他方の端部側で基板面に対して垂直方向に起立する第２保持部１０２とを有する。

【0041】

基端部１０６は、本体支持部１１の下方側（配線基板４３２の基板面側）と基部１０３とに連結する部分である。基端部１０６は、板状の電気的接触子１の側面から見ると、略台形の形状としている。

【0042】

基部１０３は、基端部１０６の下方側（配線基板４３２の基板面側）に連結して、電気的接触子１の長手方向に延びる板状部分である。基部１０３は、基端部１０６から上側に存在している各要素（すなわち、接触部１６、台座部１５、第１アーム部１３及び第２アーム部１４、本体支持部１１）の姿勢を保持する部分である。基部１０３の下方側（配線基板４３２の基板面側）には、基部１０３の長手方向に沿って、３個の弾性部１０５が設けられている。

【0043】

各弾性部１０５は、一方の端部（上側端部）が基部１０３に連結しており、他方の端部（下側端部）が基板面接触部１０４に連結している。各弾性部１０５は、一方の端部から、垂直下向きに一旦引き出され、その後折り曲げられて、長手方向に所定長だけ延ばし、更にその後折り曲げて逆向きに所定長だけ延ばすように複数回の折り返しを行ない、蛇腹状に形成されている。

【0044】

各弾性部１０５が、図１に例示するように蛇腹状とすることで、電気的接触子１の接合時に、上側から下側に向けて一様の荷重がかけられたときに、配線基板４３２の反りやうねり等に応じて、３個の弾性部１０５がそれぞれ独立して変形し、各弾性部１０５が基板面の反りやうねり等を吸収する。

【0045】

そのため、複数の電気的接触子１のそれぞれの先端部１６１の高さ位置を揃えながら、複数の電気的接触子１を配線基板４３２に接合する際、基部１０３と配線基板４３２の基板面とが平行となり、配線基板４３２の基板面に対して垂直に起立した姿勢で各電気的接触子１を接合することができる。

【0046】

なお、弾性部１０５の形状は、上下方向（配線基板４３２に対して垂直方向とその逆方向）に弾性を持つ形状であれば、図１に例示するもの限定されない。また、弾性部１０５の数は、１個、２個又は４個以上でもよい。

【0047】

第１保持部１０１は、基板面接触部１０４の一方の端部側で垂直に設けられ、第２保持部１０２は、基板面接触部１０４の他方の端部側で垂直に設けられており、基板面接触部１０４と第１保持部１０１と第２保持部１０２とは、略Ｕ字形状を形成している。すなわち、配線基板４３２の基板面に対して垂直方向に起立する部材のうち、上部が開口している。

【0048】

第１保持部１０１の内側面には、複数の係合凹部（以下では、「被係合部」と呼ぶ。）１１０が一定のピッチで設けられている。同様に、第２保持部１０２の内側面にも、複数の係合凹部１１１が一定のピッチで設けられている。

【0049】

また、基部１０３の第１端部１０３ａは、第１保持部１０１の係合凹部１１０と係合する係合凸部１０８を有している。同様に、基部１０３の第２端部１０３ｂは、第２保持部１０２の係合凹部１１１と係合する係合凸部１０９を有する。

【0050】

ここで、第１端部１０３ａの係合凸部１０８と、第１保持部１０１の係合凹部１１０とを有する構成と、第２保持部１０２の係合凹部１１１と、第２端部１０３ｂの係合凸部１０９とを有する構成のそれぞれを、「姿勢保持部１５０」とも呼ぶ。

【0051】

図１では、複数の係合凹部１１０が、垂直に起立している第１保持部１０１の中央部付近から下方に向けて（配線基板４３２の基板面側に向けて）配置されている場合を例示する。しかし、係合凸部１０８との係合が可能な位置に、係合凹部１１０が配置されていればよい。例えば、第１保持部１０１の下端で、係合凸部１０８と係合凹部１１０とが係合する可能性が少ないので、第１保持部１０１の下端に係合凹部１１０がなくてもよい。なお係合凹部１１１についても同様である。

【0052】

図１０は、実施形態において微妙に撓んでいる基板面への電気的接触子の接合を説明する説明図である。図１０（Ａ）は、荷重印加前の様子を説明する説明図であり、図１０（Ｂ）は、荷重印加時の様子を説明する説明図である。

【0053】

図４は、実施形態に係る姿勢保持部１５０の構成を示す拡大構成図である。図４は、基部１０３の第２端部１０３ｂ側に設けられている姿勢保持部１５０を例示している。第１端部１０３ａ側の姿勢保持部１５０も同様の概念である。

【0054】

例えば、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）において、配線基板４３２に電気的接触子１を接合する際、上側から下側に向けた荷重がかけられると、基部１０３が配線基板４３２の基板面側に押し込まれる。その際、弾性部１０５が変形することで、基板面の反りを吸収して、整列基準面と、電気的接続装置（プローブカード）に備わる複数の電気的接触子１の先端部１６１で形成される平面との平行状態を保持するが、基板面の反りが大きい場合、いずれかの弾性部１０５が大きく変形して、基部１０３のいずれかの端部（例えば、第２端部１０３ｂ）が基板面側に深く押し込まれる。そのとき、図４のように、例えば第２端部１０３ｂの係合凸部１０９が係合凹部１１１に嵌り、電気的接触子１の姿勢を保持することができる。

【0055】

すなわち、電気的接触子１の接合の際に、荷重が加わったときに、基部１０３の両端部にある係合凸部１０８及び係合凸部１０９のそれぞれが、係合凹部１１０及び係合凹部１１１に係合することで、電気的接触子１の姿勢を保持することができる。

【0056】

さらに、係合凸部１０８及び係合凸部１０９のそれぞれが、係合凹部１１０及び係合凹部１１１に係合している状態で、すなわち電気的接触子１の姿勢を保持体状態で、半田等の接合材Ｓを用いて電気的接触子１を配線基板４３２に接合できるので、安定した確実な接合が可能となる。

【0057】

また、接合部１０における各弾性部１０５の間隙は、板状部材を突き抜いた貫通部分である。したがって、各弾性部１０５の間隙に、接合材Ｓが入り込んだ状態で、接合材Ｓが固化するので、弾性変形した状態の各弾性部１０５を保持したまま、接合部１０を強固に接合することができる。

【0058】

その結果、配線基板４３２の基板面に反りやうねりがあっても、配線基板４３２の基板面に対する浮きや傾きを抑えた状態で、配線基板４３２に対して電気的接触子１を確実に接合することができる。

【0059】

また、高温試験により半田等の接合材Ｓが軟化しても、被検査体２の電極端子５１に対する先端部１６１の位置ずれや、電気的接触子１の倒れなどを抑えることができる。

【0060】

上述の例では、基部のいずれか端部が深く押し込まれる場合を例示したが、これに限らず、配線基板４３２の基板面の状態によっては、基部１０３の両端部が深く押し込まれて、第１端部１０３ａの係合凸部１０８が第１保持部１０１の係合凹部１１０に嵌ると同時に、第２端部１０３ｂの係合凸部１０９と、第２保持部１０２の係合凹部１１１に嵌ることもある。

【0061】

また、第１保持部１０１及び第２保持部１０２のそれぞれの内側面には、高さが異なる係合凹部１１０及び係合凹部１１１を設けているので、基部１０３の端部の沈み込みに応じて、係合凸部１０８と係合凸部１０９とがそれぞれ、高さが異なる係合凹部１１０と係合凹部１１１に嵌ることもある。その場合でも、配線基板４３２の基板面に対する浮きや傾きを軽減した状態を保持できる。

【0062】

（Ａ－２）変形例
（Ａ－２－１）第１の変形例
図５は、実施形態に係る電気的接触子の第１の変形例を示す構成図である。

【0063】

図５において、第１の変形例の電気的接触子１Ａの接合部１０Ａは、弾性部１０５Ａの構成が、図１の電気的接触子１の接合部１０の弾性部１０５と異なる。

【0064】

図５の電気的接触子１Ａにおいて、接合部１０Ａは、互いのピッチを略等間隔で配置した４個の弾性部１０５Ａを備え、各弾性部１０５Ａは板バネで形成されている。すなわち、各弾性部１０５Ａの一方の端部（上端部）は基部１０３に連結し、各弾性部１０５Ａの他方の端部（下端部）は基板面接触部１０４に連結している。

【0065】

４個の弾性部１０５Ａのうち、右側（第１保持部１０１側）にある２個の弾性部１０５Ａは、左上側から右下側に向けて斜めに、下に凸の湾曲しており、左側（第２保持部１０２側）にある２個の弾性部１０５Ａは、右上側から左下側に向けて斜めに下に凸の湾曲している。これにより、電気的接触子１の姿勢を保持することができる。

【0066】

図５の各弾性部１０５Ａの線径は、弾性変形量に応じて適宜決めることができる。例えば、各弾性部１０５Ａの一方の端部（上端部）側の線径を比較的太くし、他方の端部（下端部）側の線径を比較的細くすることで、各弾性部１０５Ａの変形量を大きくすることができる。

【0067】

（Ａ－２－２）第２の変形例
図６は、実施形態の電気的接触子の第２の変形例を示す構成図である。

【0068】

図６において、第２の変形例の電気的接触子１Ｂの接合部１０Ｂの構成が、図１の電気的接触子１の接合部１０と異なる。

【0069】

図６の電気的接触子１Ｂでは、姿勢保持部１５０Ｂの構成が、図１の姿勢保持部１５０の構成と異なる。以下では、第１保持部１０１Ｂ側の姿勢保持部１５０Ｂを用いて例示するが、第２保持部１０２Ｂ側のものも同様である。

【0070】

例えば、図６の第１保持部１０１Ｂの内側面に設けられる係合凹部１１０Ｂは、隣接する２個の突起のそれぞれが大きく形成されており、係合凸部１０８と係合する係合凹部１１０Ｂの奥行（すなわち、Ｘ方向の長さ）が深く形成されている。これにより、係合凸部１０８と強固に係合することができる。

【0071】

また例えば、第１保持部１０１Ｂの内側面には、２個の突起で形成される、１個の係合凹部１１０Ｂのみが設けられる場合を例示している。なお、係合凹部１１０Ｂの数は、２個であってもよいし、３個以上であってもよい。また、複数の係合凹部１１０Ｂを備える場合、係合凹部１１０Ｂ間のピッチは一定値であってもよいし、一定値でなくてもよい。後者の場合、例えば、第１保持部１０１Ｂの下側に向かうほど、係合凹部１１０Ｂ間のピッチ長が小さくなるようにしてもよい。これにより、配線基板４３２の基板面の微細なうねりがあるときでも、微細な高さ調整が可能である。

【0072】

さらに例えば、図１及び図５で例示した第１保持部１０１の上部は、内側方向に折れ曲がった部分を備えているのに対して、図６の第１保持部１０１Ｂは、その上部に折れ曲がった部分を備えていない。これにより、電気的接触子１Ｂの構成をより簡単な構造とすることができる。

【0073】

図６の電気的接触子１Ｂにおいて、接合部１０Ｂは、第１の変形例で説明した弾性部１０５Ａを２個備えるようにした。２個の弾性部１０５Ａについては第１の変形例で説明したので詳細な説明は省略する。

【0074】

（Ａ－２－３）第３の変形例
図７は、実施形態の電気的接触子の第３の変形例を示す構成図である。

【0075】

図７において、第３の変形例の電気的接触子１Ｃは、姿勢保持部１５０Ｃの構成が、図１及び図５～図６の姿勢保持部１５０及び１５０Ｂの構成と異なる。以下では、第１保持部１０１Ｃ側の姿勢保持部１５０Ｃを用いて例示するが、第２保持部１０２Ｃ側のものも同様である。

【0076】

図７において、第１保持部１０１Ｃ側の姿勢保持部１５０Ｃは、係合凹部１１０Ｃが、第１保持部１０１Ｃの外側面に設けられている。

【0077】

また、基部１０３の第１端部１０３ａ側は、逆Ｕ字形状に形成されており、逆Ｕ字形状の先端側（図７の右側）端部の内側面に、係合凹部１１０Ｃに対して係合する係合凸部１０８Ｃが設けられている。

【0078】

このように、第１保持部１０１Ｃの外側面にある係合凹部１１０Ｃに対して、更に外側から係合凸部１０８Ｃが係合する構造としてもよく、この場合でも上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0079】

（Ａ－２－４）第４の変形例
図８は、実施形態の電気的接触子の第４の変形例を示す構成図である。

【0080】

図８において、第４の変形例の電気的接触子１Ｄは、姿勢保持部１５０Ｄの構成が、図１及び図５～図７の姿勢保持部１５０及び１５０Ｂ、１５０Ｃの構成と異なる。以下では、第１保持部１０１Ｄ側の姿勢保持部１５０Ｄを用いて例示するが、第２保持部１０２Ｄ側のものも同様である。

【0081】

図８において、第１保持部１０１Ｄ側の姿勢保持部１５０Ｄは、係合凹部１１０Ｄが、第１保持部１０１Ｄの内側面及び外側面の両方に設けられている。

【0082】

また、基部１０３の第１端部１０３ａ側は、逆Ｕ字形状に形成されており、逆Ｕ字形状の図８の右側端部及び左側端部のそれぞれの内側面に、係合凹部１１０Ｄに対して係合する係合凸部１０８Ｄが設けられている。

【0083】

このように、基板面に対して垂直に起立する第１保持部１０１Ｄに対して、逆Ｕ字形状の第１端部１０３ａが上から嵌合するように、第１保持部１０１Ｄの内側面と外側面の両方に設けられた係合凹部１１０Ｃに対して、係合凸部１０８Ｃが係合する構造としてもよく、この場合でも上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0084】

（Ａ－３）実施形態の効果
以上のように、この実施形態によれば、電気的接触子の先端位置の高さを揃えながら電気的接触子を基板面に接合する際、基板面に反りやうねりがあっても、電気的接触子に荷重がかけられ、基板面の微小なうねり等に追従して、うねり等の影響を吸収する弾性部と、荷重により沈み込んだ電気的接触子の姿勢を保持する姿勢保持部とを備えることにより、基板面に対して接合部の浮き等を軽減して、電気的接触子を基板面に起立させることができる。その結果、電気的接触子の先端位置のバラツキを軽減でき、基板面に対して電気的接触子を確実に接合できる。

【0085】

（Ｂ）他の実施形態
上述した実施形態においても種々の変形例を言及したが、本発明は、以下の変形実施形態にも適用できる。

【0086】

（Ｂ－１）上述した実施形態で説明した姿勢保持部は、係合凹部が凹部形状であり、係合部が係合凹部に嵌る凸部形状である場合を例示したが、両者が嵌りあい、電気的接触子の姿勢を保持できるならば、係合部が凹部形状であり、係合凹部が凸部形状であってもよい。

【符号の説明】

【0087】

１（１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ）…電気的接触子、２…被検査体、３…電気的接続装置、５…チャックトップ、１０（１０Ａ、１０Ｂ）…接合部、１１…本体支持部、１３…第１アーム部、１４…第２アーム部、１５…台座部、１６…接触部、１６１…先端部、１８…プローブ基板支持部、
４１…配線基板、４２…電気的接続ユニット、４３…プローブ基板、４５…配線、５１…電極端子、４３１…基板部材、４３２…配線基板、
１０１（１０１Ｂ、１０１Ｃ、１０１Ｄ）…第１保持部、１０２（１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄ）…第２保持部、１０３…基部、１０３ａ…第１端部、１０３ｂ…第２端部、１０４…基板面接触部、１０５（１０５Ａ）…弾性部、１０６…基端部、１０８（１０８Ｃ、１０８Ｄ）…係合凸部、１０９（１０９Ｃ、１０９Ｄ）…係合凸部、１１０（１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄ）…係合凹部、１１１（１１１Ｂ、１１１Ｃ、１１１Ｄ）…係合凹部、１５０（１５０Ｂ、１５０Ｃ、１５０Ｄ）…姿勢保持部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】