特開 2023-152878 基板処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023152878

(43)【公開日】2023-10-17

(54)【発明の名称】基板処理装置

(51)【国際特許分類】

   B65H 35/07 20060101AFI20231005BHJP

   H01L 21/60 20060101ALI20231005BHJP

   H05K 3/32 20060101ALI20231005BHJP

【ＦＩ】

B65H35/07 K

H01L21/60 311T

H05K3/32 B

B65H35/07 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023048583

(22)【出願日】2023-03-24

(31)【優先権主張番号】P 2022057402

(32)【優先日】2022-03-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2023047129

(32)【優先日】2023-03-23

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000002428

【氏名又は名称】芝浦メカトロニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(74)【代理人】

【識別番号】100112564

【弁理士】

【氏名又は名称】大熊 考一

(74)【代理人】

【識別番号】100163500

【弁理士】

【氏名又は名称】片桐 貞典

(74)【代理人】

【識別番号】230115598

【弁護士】

【氏名又は名称】木内 加奈子

(72)【発明者】

【氏名】菊池 一哉

【テーマコード（参考）】

3F062

5E319

5F044

【Ｆターム（参考）】

3F062AA05

3F062AA12

3F062AB04

3F062BA08

3F062BF11

3F062BG04

3F062FA08

3F062FA23

5E319AC01

5E319BB16

5E319CC12

5E319CD26

5E319CD36

5E319GG15

5F044LL09

5F044NN19

5F044PP11

5F044PP15

(57)【要約】      （修正有）

【課題】メンテナンスの際にオペレータの安全を確保しつつ、装置全体の大型化を抑制し、さらに生産性を向上させることが出来る基板処理装置を提供する。
【解決手段】隣接して設けられ、基板Ｗをそれぞれ保持する複数のステージ１０Ａ、１０Ｂと、ステージ１０Ａ、１０Ｂに対向してそれぞれ設けられ、基板Ｗに対して移動するユニット２０Ｂ、２０Ｃであって、基板Ｗの端子に対して処理をするユニット２０Ｂ、２０Ｃと、ステージ１０Ａ（１０Ｂ）に対向して設けられるユニット２０Ｂ（２０Ｃ）に追従して移動し、隣接するステージ１０Ｂ（１０Ａ）に対向して設けられるユニット２０Ｃ（２０Ｂ）を遮蔽する第１の遮蔽板３０と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

隣接して設けられ、基板をそれぞれ保持する複数のステージと、
前記ステージのそれぞれに対応して設けられ、前記ステージに保持された前記基板に対して移動するユニットであって、前記基板の端子に対して処理をする複数のユニットと、
前記ユニットに追従して移動し、隣接するステージに対応して設けられるユニットを遮蔽する第１の遮蔽板と、
を備える基板処理装置。

【請求項2】

前記ユニットは、前記基板の端子に粘着テープを貼着する貼着ユニットである、
請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項3】

前記第１の遮蔽板は、隣接する前記ステージに対応して設けられた前記ユニット同士が対向する箇所にそれぞれに設けられる、
請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項4】

前記貼着ユニットは、
前記基板に対して、離型テープに貼着された前記粘着テープを供給する供給リールと、
前記離型テープを回収する回収リールと、
を備え、
前記供給リールは、前記貼着ユニットから前記供給リールを着脱する側に当該供給リールの取り付け面を向けるように、前記第１の遮蔽板に対して傾けて設けられ、
前記回収リールは、前記第１の遮蔽板に対して、前記供給リールとは逆に傾けて設けられる、
請求項２に記載の基板処理装置。

【請求項5】

前記貼着ユニットは、
前記基板に対して、離型テープに貼着された前記粘着テープを供給する供給リールと、
前記離型テープを回収する回収リールと、
を備え、
前記回収リールは、前記貼着ユニットから前記回収リールを着脱する側に当該回収リールの取り付け面を向けるように、前記第１の遮蔽板に対して傾けて設けられる、
請求項２に記載の基板処理装置。

【請求項6】

前記ユニットは、
前記基板に対して、端子を清掃する清掃ユニットと、
端子を清掃する清掃テープを供給する清掃用供給リールと、
前記清掃テープを回収する清掃用回収リールと、
を備え、
前記清掃用供給リールは、前記ユニットから前記清掃用供給リールを着脱する側に当該清掃用供給リールの取り付け面を向けるように、前記第１の遮蔽板に対して傾けて設けられる、
請求項３に記載の基板処理装置。

【請求項7】

前記ユニットは、
前記基板に対して、端子を清掃する清掃ユニットと、
端子を清掃する清掃テープを供給する清掃用供給リールと、
前記清掃テープを回収する清掃用回収リールと、
を備え、
前記清掃用回収リールは、前記ユニットから前記清掃用回収リールを着脱する側に当該清掃用回収リールの取り付け面を向けるように、前記第１の遮蔽板に対して傾けて設けられる、
請求項３に記載の基板処理装置。

【請求項8】

前記ステージと前記ユニット間に第２の遮蔽板を備え、
前記第２の遮蔽板は、前記第１の遮蔽板と直交する方向に沿っており、前記第２の遮蔽板の下端と前記基板が干渉しない位置に設けられる、
請求項４乃至７のいずれかに記載の基板処理装置。

【請求項9】

前記第２の遮蔽板は、
前記基板に干渉しない高さに設けられた固定カバーと、
前記固定カバーより下に設けられたシャッタと、
を備え、
前記シャッタは、固定カバーの下端と前記シャッタの上端の間を調整する上下昇降機構を有し、
前記基板を保持した前記ステージは、前記固定カバーと前記シャッタの間を前後する、
請求項８に記載の基板処理装置

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶パネルや有機ＥＬパネルなどの表示パネルの製造工程においては、表示パネルの基板に、基板を駆動するためのドライバＩＣなどのチップ状電子部品や、ドライバＩＣを実装したＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）と称されるフィルム状電子部品を実装する工程が存在する。この工程に先んじて、基板の端子には、基板の端子と電子部品の端子とを接合するために、ＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）と称される異方性導電部材が貼着される。すなわち、ＡＣＦを介して、基板にドライバＩＣまたはＣＯＦが実装される。

【0003】

ＡＣＦは、基材となる熱硬化性樹脂の中に小さな導電粒子が多数入ったフィルム状の部材であり、離型テープに貼付されたテープ状部材（以下、ＡＣＦテープともいう。）として供給され、基板の端子に貼着される。このようなＡＣＦは、ドライバＩＣまたはＣＯＦの寸法に合わせて予め切れ目が入れられ、基板の端子に貼着後、基板から離型テープを引き離す際に、この切れ目で基板の端子に貼着されたＡＣＦとＡＣＦテープが分離される。

【0004】

基板の端子にＡＣＦを貼着する基板処理装置としては、例えば特許文献１に開示されているようなものが知られている。特許文献１に開示されている基板処理装置は、１枚の基板に対してＡＣＦを貼着するユニットを隣接配置し、１枚の基板の異なる端子に対して同時並行的にＡＣＦの貼着を行うことにより、生産性の向上を図っている。また、特許文献１においては、このような基板処理装置を隣接配置してなる大型の基板処理装置により、複数枚の基板に対して同時並行的にＡＣＦの貼着を行うことも開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】国際公開第２０１１／００１６９２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

このような大型の基板処理装置は、個別に基板処理装置を２台配置した時と比べると、装置の共通の部分等を省くことにより、コンパクトでフットプリントを縮小した装置にすることが出来る。しかしながら、装置内で各々のユニットが接近する構成になるので、ＡＣＦテープの交換作業やメンテナンス作業をする際、オペレータが安全に作業するために、装置全体を停止せざるを得なくなり、その分、生産性を下げてしまうという問題があった。また、このような問題は、基板の端子にＡＣＦを貼着するユニットを備える基板処理装置だけに限られるものではなく、例えば、基板の端子を清掃するユニットを備える基板処理装置にも存在していた。

【0007】

本発明は、メンテナンスの際にオペレータの安全を確保しつつ、装置全体の大型化を抑制し、さらに生産性を向上させることが出来る基板処理装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の基板処理装置は、隣接して設けられ、基板をそれぞれ保持する複数のステージと、前記ステージのそれぞれに対応して設けられ、前記ステージに保持された前記基板に対して移動するユニットであって、前記基板の端子に対して処理をする複数のユニットと、前記ユニットに追従して移動し、隣接するステージに対応して設けられるユニットを遮蔽する第１の遮蔽板と、を備える。

【発明の効果】

【0009】

本発明は、メンテナンスの際にオペレータの安全を確保しつつ、装置全体の大型化を抑制し、さらに生産性を向上させることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施形態の基板処理装置を示す平面図である。

【図2】実施形態の基板とその端子を示す平面図である。

【図3】実施形態のユニットを示す正面図である。

【図4】実施形態のユニットを示す平面図である。

【図5】実施形態のユニットを示す平面図である。

【図6】実施形態のユニットを示す左側面図（Ａ）、実施形態のユニットを示す右側面図（Ｂ）である。

【図7】実施形態のユニット全体と作業者を示す側面図である。

【図8】実施形態のユニットのはみ出しを示す左端の正面図（Ａ）、実施形態のユニットのはみ出しを示す右端の正面図（Ｂ）である。

【図9】実施形態のユニットの移動を示す平面図である。

【図10】実施形態のユニットの移動を示す平面図である。

【図11】実施形態の制御部を示す機能ブロック図である。

【図12】実施形態の基板処理装置の動作を示すフローチャートである。

【図13】実施形態のユニットの退避を示す平面図である。

【図14】変形例の基板処理装置を示す平面図である。

【図15】変形例の基板処理装置を示す平面図である。

【図16】変形例の基板処理装置を示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明の実施の形態（以下、本実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。なお、図面は、各部材、各構成部を模式的に示したものであり、その寸法や間隔等を正確に示したものではない。

【0012】

［構成］
本実施形態の基板処理装置１の構成を、図１乃至図１１を参照して説明する。基板処理装置１は、図１に示すように、隣接して設けられ、複数の基板Ｗをそれぞれ保持する複数のステージ１０と、ステージ１０に対向してそれぞれ設けられ、基板Ｗの端子Ｐを処理する複数のユニット２０と、一部のユニット２０に設けられる第１の遮蔽板３０と、ステージ１０とユニット２０との間に設けられる第２の遮蔽板４０と、を備える。また、基板処理装置１は、図１１に示すように、これらの構成を制御する制御部８０を備える。

【0013】

基板Ｗは、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネルなどの表示パネルの基板であり、概略長方形形状である。基板Ｗの一辺には、複数の端子からなる端子群である端子Ｐが、複数並べて設けられる。本実施形態では、端子Ｐは、等間隔に４つ並べて設けられ、この端子Ｐに対して、図２に示すように、後述するユニット２０によりＡＣＦ１００が貼着される。ＡＣＦ１００は、基材となる樹脂の中に、小さな導電粒子が多数入ったテープ状の部材であり、端子Ｐに貼着される。すなわち、各基板Ｗの一辺には、端子Ｐが４つ並べて設けられ、各端子Ｐに対して、ユニット２０によりＡＣＦ１００が貼着される。

【0014】

ステージ１０は、基板Ｗを保持する概略直方体形状の台である。本実施形態のステージ１０は、隣接するように２台並べて設けられ、各ステージ１０は、２枚の基板Ｗを並べて保持する。２台のステージ１０が並ぶ方向と２枚の基板Ｗが並ぶ方向は同じであり、以下ではこの方向をＸ方向という。したがって、基板Ｗの端子ＰがＸ方向に並ぶように基板Ｗはステージ１０に保持される。また、ステージ１０に基板Ｗが載置される平面において、Ｘ方向に垂直な方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に垂直な方向をＺ方向という。これは、図１において、図視方向で、左右方向がＸ方向であり、上下方向がＹ方向であり、紙面前後方向がＺ方向であることを示している。なお、図１において、図視下側（ステージ１０の側）が「前」、図視上側（ユニット２０の側）を「後ろ」ともいう。また、図１において、左側のステージ１０をステージ１０Ａ、右側のステージ１０をステージ１０Ｂという。さらに、ステージ１０は、図示しない移動機構を有し、ＸＹ方向に移動可能となっており、後述する貼着作業の際には、ユニット２０の下方に進出する。

【0015】

ユニット２０は、ステージ１０に対してＹ方向に、対向して設けられ、基板Ｗの端子Ｐを処理する装置である。本実施形態のユニット２０は、処理として基板Ｗの端子ＰにＡＣＦ１００を貼着する貼着ユニットである。本実施形態のユニット２０は、各ステージ１０に対して２台ずつ、各ステージ１０が保持する基板ＷにＹ方向に対向して、Ｘ方向に並べて設けられる。具体的には、各ユニット２０は、基板Ｗの端子Ｐが並べて設けられる一辺に対向して設けられる。

【0016】

ステージ１０Ａに対向して設けられるユニット２０を、図１における左側から順にユニット２０Ａ、ユニット２０Ｂという。また、ステージ１０Ｂに対向して設けられるユニット２０を、図１における左側から順にユニット２０Ｃ、ユニット２０Ｄという。すなわち、本実施形態においては、ユニット２０Ｂとユニット２０Ｃとが、ステージ１０Ａとステージ１０Ｂが隣接する位置に対応して、隣接して設けられる。

【0017】

このように、本実施形態では、一つのステージ１０に対して二つのユニット２０が配置され、この二つのユニット２０で、当該ステージ１０に保持された基板Ｗに対して処理を行う。この同じ基板Ｗに処理を行うステージ１０とユニット２０が互いに対応するという。すなわち、上記においては、ユニット２０Ａ、ユニット２０Ｂは、ステージ１０Ａに対応している。また、ユニット２０Ｃ、ユニット２０Ｄは、ステージ１０Ｂに対応している。

【0018】

本実施形態のユニット２０は、図３乃至図５に示すように、供給部２１と、切断部２２と、貼着部２３と、剥離部２４と、搬送部２５と、回収部２６と、を備え、図示しない、例えば、モータを駆動源として対象物を移動可能とするガイド機構等の移動機構によって、各々が独立してＸ方向に移動可能に設けられている。そして、貼着部２３を挟んで、供給部２１、切断部２２と、剥離部２４、搬送部２５、回収部２６とが配置される。このようなユニット２０は、後述するテープ状部材Ｔとして供給部２１から供給されるＡＣＦ１００を、切断部２２で切断し、貼着部２３によって基板Ｗの端子Ｐに貼着する。このとき、後述する離型テープＲを剥離部２４によってＡＣＦ１００から剥離し、ＡＣＦ１００貼着後の離型テープＲを回収部２６に回収する。なお、テープ状部材Ｔは、搬送部２５によって搬送する。また、ユニット２０は、図３、図８乃至図１０に示すように、基板Ｗに設定された端子Ｐの位置によっては、基板ＷのＸ方向の幅を越えてしまう。端子Ｐが基板Ｗの左端の場合、図８（Ａ）に示すユニット２０の領域Ａの部分が基板Ｗの左端からはみ出してしまう。すなわち、図９のユニット２０Ｃのように、ユニット２０の領域Ａが隣接するステージ１０Ａの領域にはみ出してしまうことになる。図８（Ｂ）においては、端子Ｐが基板Ｗの右端の場合にはみ出すユニット２０の領域をＢで示している。すなわち、図１０のユニット２０Ｂのように、ユニット２０の領域Ｂが隣接するステージ１０Ｂの領域にはみ出してしまうことになる。

【0019】

貼着部２３は、ユニット２０の前側部分で、ステージ１０の側に設けられる。ユニット２０の後ろ側部分で、貼着部２３が無いステージ側とは反対側（図４及び図５の領域Ｍ側）は、貼着部２３において使用するテープ状部材Ｔの供給、使用済みのテープ状部材Ｔである離型テープＲの回収や、各種メンテナンスが可能となっている（以下、ユニット２０の後ろ側であって、図４及び図５の領域Ｍ側を、着脱する側、ともいう）。

【0020】

テープ状部材Ｔは、ＡＣＦ１００からなる粘着テープＳが、離型テープＲに貼着されたものである。離型テープＲは、粘着テープＳから剥離可能なテープであり、例えば、ポリイミド等の樹脂フィルムによって形成されている。なお、本実施形態のテープ状部材Ｔの幅は、０．５～３．５ｍｍ程度である。

【0021】

供給部２１は、貼着部２３にテープ状部材Ｔを供給する。供給部２１は、供給リール２１１、テンション機構２１２、経路ローラ２１３を有する。

【0022】

供給リール２１１は、テープ状部材Ｔを巻装し、回動によりテープ状部材Ｔを送り出すリールである。図４に示すように、供給リール２１１は、ユニット２０の内部後ろ側に設置され、ステージ側から着脱する側に向かって、Ｙ方向に、貼着部２３、供給リール２１１の順になるように設置される。供給リール２１１の中心には、ユニット２０が有する図示しない支持部材の軸が嵌合され、回動可能となっている。そして、その軸は、ユニット２０のＸ方向側に軸が向くように設置される。したがって、供給リール２１１は、供給リール２１１の回転面がＸ方向側に向くように取り付けられる。つまり、供給リール２１１は、その回転面が上下方向（Ｚ方向）に沿うように立てられた状態で、回動可能に、かつ着脱可能にユニット２０に取り付けできるようになっている。そして、テープ状部材Ｔの交換などのメンテナンスの際には、供給リール２１１は、着脱する側（図４の領域Ｍ側）から取り外される。

【0023】

供給リール２１１は、図４に示すユニット２０Ｂにおいて、供給リール２１１を着脱する側（図４の領域Ｍ側）から、供給リール２１１の支持部材を認識し易い様、また、供給リール２１１を着脱しやすい様、供給リール２１１の取り付け面（供給リール２１１の円形の面、回転面）を、供給リール２１１を着脱する側に傾けて、例えば、Ｙ方向に対して１５°回転面をユニット２０Ｂの後ろ側に傾けて取り付けられる。基板処理装置１をコンパクトにするためには、供給リール２１１の取り付け面をＹ方向に対して０°にするのが最も好ましいが、そうしてしまうと、供給リール２１１を着脱する側から、供給リール２１１の取り付け位置を認識し辛くなって、供給リール２１１が着脱し難くなってしまう。さらには、図５に示すユニット２０Ｃの様に、後述する第１の遮蔽板３０を供給リール２１１側に設けることによって、Ｘ方向のスペースが少なくなるので、尚更、供給リール２１１の取り付け位置を認識し辛くなり、着脱し難くなってしまう。よって、供給リール２１１の取り付け面を、供給リール２１１を着脱する側に傾けることで、後述する第１の遮蔽板３０を設けても、供給リール２１１を着脱しやすい構造になっている。

【0024】

テンション機構２１２は、テープ状部材Ｔに張力を与える。図３に示すように、テンション機構２１２は、供給リール２１１から引き出されるテープ状部材Ｔの移動を案内するように、上下に距離を空けて配置された一対のローラである。一方のローラは上下動しない固定ローラ２１２ａであり、他方のローラが上下動可能な可動ローラ２１２ｂである。可動ローラ２１２ｂは、図示しない昇降機構によって上下に移動する。つまり、図中、黒塗りの矢印方向に移動する。経路ローラ２１３は、テンション機構２１２からのテープ状部材Ｔの移動方向を変えて、貼着部２３に向けて送り出すローラである。

【0025】

切断部２２は、テープ状部材Ｔにおける粘着テープＳを切断する。以下では、このように粘着テープＳだけを切断することをハーフカットと呼び、切断部２２の切断により粘着テープＳに形成された切れ目をハーフカットラインＨＣと呼ぶ。このハーフカットラインＨＣは、端子Ｐの寸法に対応する間隔で形成される。したがって、粘着テープＳ（ＡＣＦ１００）は、端子Ｐの寸法に対応する長さに切断される。

【0026】

切断部２２は、テンション機構２１２と経路ローラ２１３との間に設けられ、カッター２２１、バックアップ部材２２２を有する。カッター２２１は、粘着テープＳを幅方向に切断する部材である。すなわち、カッター２２１の先端の刃は、テープ状部材Ｔの幅方向に延びている。また、カッター２２１は、図示しない移動機構により、その先端の刃が粘着テープＳに接離する。カッター２２１は、上述のように、供給部２１によって供給されたテープ状部材Ｔの粘着テープＳ上に、端子Ｐの寸法に合わせてハーフカットラインＨＣを形成する。バックアップ部材２２２は、略直方体形状のブロックである。このバックアップ部材２２２は、カッター２２１との間でテープ状部材Ｔを挟み、離型テープＲに接する平坦面２２２ａを有する。

【0027】

貼着部２３は、経路ローラ２１３の下流側に設けられ、ステージ１０に保持された基板Ｗに設けられる端子Ｐに対して、テープ状部材Ｔにおける粘着テープＳを貼着する。基板Ｗは、貼着部２３の下方に進出するステージ１０により、貼着部２３の下方に位置付けられる。貼着部２３は、加圧ヘッド２３１を有する。加圧ヘッド２３１は、図示しない昇降装置により上下に移動することによりテープ状部材Ｔを押し下げ、基板Ｗに設けられた端子Ｐに対して、粘着テープＳを貼着する。加圧ヘッド２３１には、図示しないヒータが設けられ、テープ状部材Ｔとの接触面が、所定の温度に加熱されている。さらに、加圧ヘッド２３１におけるテープ状部材Ｔとの接触面には、緩衝部材２３１ａが図示しない供給機構により供給されている。この緩衝部材２３１ａは、例えば、弾性体により形成されたシートであり、加熱によって軟化した粘着テープＳが加圧ヘッド２３１に付着することを防止する。

【0028】

剥離部２４は、貼着部２３の下流側に設けられ、基板Ｗの端子Ｐに貼着された粘着テープＳから離型テープＲを剥離する。剥離部２４は、剥離棒２４１、２４２を有する。剥離棒２４１、２４２は、例えばＹ方向に延びるように設置した丸棒であり、離型テープＲと接する部材である。剥離棒２４１は、離型テープＲの表面、すなわち、粘着テープＳ側の面と接し、剥離棒２４２は、離型テープＲの裏面と接する。剥離棒２４１、２４２は、図示しない移動機構によって、離型テープＲを挟んだ状態でテープ状部材Ｔの上流側（点線の矢印方向）に水平移動することにより、基板Ｗの端子Ｐに貼着された粘着テープＳから離型テープＲを剥離する。

【0029】

搬送部２５は、供給部２１から貼着部２３を介して、回収部２６の回収リール２６１にテープ状部材Ｔを送り出す。搬送部２５は、送りローラ２５１、図示しない送り用モータを有する。送りローラ２５１は、一対のローラで離型テープＲを挟み、ローラの回動によってテープ状部材Ｔを供給部２１側から回収部２６側へ移動させる。送り用モータは、送りローラ２５１を回動させる駆動源である。送り用モータは、その回転軸が送りローラ２５１と連結されており、当該モータの駆動により回転軸が当該軸周りに回転することにより、送りローラ２５１を回転軸周りに回動させる。

【0030】

回収部２６は、剥離部２４の下流側に設けられ、基板Ｗの端子Ｐに貼着された粘着テープＳから剥離された離型テープＲを回収する。回収部２６は、回収リール２６１、経路ローラ２６２を有する。

【0031】

回収リール２６１は、離型テープＲを巻き取って回収するリールである。図４に示すように、ユニット２０の内部後ろ側に設置され、ステージ側から着脱する側に向かって、Ｙ方向に、貼着部２３、回収リール２６１の順になるように設置される。回収リール２６１の中心には、ユニット２０が有する図示しない支持部材の軸が嵌合され、回動可能となっている。そして、その軸は、ユニット２０のＸ方向側に軸が向くように設置される。したがって、回収リール２６１は、回収リール２６１の回転面がＸ方向側に向くように取り付けられる。つまり、回収リール２６１は、その回転面が上下方向（Ｚ方向）に沿うように立てられた状態で、回動可能に、かつ着脱可能にユニット２０に取り付けできるようになっている。そして、テープ状部材Ｔの交換などのメンテナンスの際には、回収リール２６１は、着脱する側（図４の領域Ｍ側）から取り外される。

【0032】

回収リール２６１は、図４に示すユニット２０Ｂにおいて、供給リール２１１と同様に、回収リール２６１を着脱する側（図４の領域Ｍ側）から、回収リール２６１の支持部材を認識し易い様、また、回収リール２６１を着脱しやすい様、回収リール２６１の取り付け面（回収リール２６１の円形の面、回転面）を、回収リール２６１を着脱する側に傾けて、例えば、Ｙ方向に対して１５°回転面をユニット２０Ｂの後ろ側に傾けて取り付けられる。基板処理装置１をコンパクトにするためには、回収リール２６１の取り付け面をＹ方向に対して０°にするのが最も好ましいが、そうしてしまうと、回収リール２６１を着脱する側から、回収リール２６１の取り付け位置を認識し辛くなって、回収リール２６１が着脱し難くなってしまう。さらには、図４の様に、後述する第１の遮蔽板３０を回収リール２６１側に設けることによって、Ｘ方向のスペースが少なくなるので、尚更、回収リール２６１の取り付け位置を認識し辛くなり、着脱し難くなってしまう。よって、回収リール２６１の取り付け面を、回収リール２６１を着脱する側に傾けることで、後述する第１の遮蔽板３０を設けても、回収リール２６１を着脱しやすい構造になっている。

【0033】

経路ローラ２６２は、貼着部２３側からの離型テープＲの移動方向を変えて、回収リール２６１に向けて送り出すローラである。なお、経路ローラ２６２は、剥離部２４と搬送部２５との間に設けられる。

【0034】

また、図４、図５に示すように、ユニット２０の供給リール２１１及び回収リール２６１を着脱する側には、メンテナンス用の領域Ｍが設けられる。つまり、領域Ｍは、ユニット２０の後方に設けられ、ユニット２０に対して供給リール２１１及び回収リール２６１の着脱を行うなど、オペレータがユニット２０に対してメンテナンス作業を行うための領域である。

【0035】

第１の遮蔽板３０は、ユニット２０の移動方向（Ｘ方向）と直交するＹＺ平面に平行な方向に延びてなる板状部材である。本実施形態の第１の遮蔽板３０は、例えばアクリル板やポリカーボネート板などの透明な部材からなる。第１の遮蔽板３０は、メンテナンス作業時に、隣接するユニット２０を遮蔽し、メンテナンス作業中のオペレータの安全を確保する。そのため、第１の遮蔽板３０は、稼働中のユニット２０がオペレータに接触するなどの干渉を防ぐのに十分な大きさと強度を有する。具体的には、少なくともユニット２０の側面を覆う大きさとする（図７参照）。

【0036】

第１の遮蔽板３０は、図４、図５に示すように、ユニット２０の側方に設けられた遮蔽板保持部２７に取り付けられる。例えば、図６に示すように、遮蔽板保持部２７によって第１の遮蔽板３０の下方が保持される。したがって、第１の遮蔽板３０は、ユニット２０に追従して移動する。

【0037】

第１の遮蔽板３０が取り付けられるユニット２０の側方とは、各ステージ１０に対応する複数のユニット２０のうち、各ステージ１０の隣接する側に設けられるユニット２０の、各ユニット２０の隣接する側である。例えば、ユニット２０Ｂ及び２０Ｃのそれぞれ隣接する側である。具体的には、第１の遮蔽板３０の一方は、ステージ１０Ａに対応するユニット２０Ａとユニット２０Ｂのうち、ユニット２０ＢのＸ方向右側（ユニット２０Ｂのステージ１０Ｂ側）に設けられ、第１の遮蔽板３０の他方は、ステージ１０Ｂに対応するユニット２０Ｃとユニット２０Ｄのうち、ユニット２０ＣのＸ方向左側（ユニット２０Ｃのステージ１０Ａ側）に設けられる。つまり、ユニット２０Ａとユニット２０Ｂの対抗する箇所にそれぞれ設けられる。

【0038】

第２の遮蔽板４０は、図１に示すように、ユニット２０の移動方向（Ｘ方向）と平行なＸＺ平面に平行な方向に延びてなる板状部材である。本実施形態の第２の遮蔽板４０は、例えばアクリル板やポリカーボネート板などの透明な部材からなる。第２の遮蔽板４０は、ステージ１０とユニット２０との間に設けられる。ここで言うステージ１０とユニット２０との間とは、本実施形態の場合、ステージ１０に保持される基板Ｗが、処理のためにユニット２０の貼着部の直下に進入する前の状態で、ステージ１０とユニット２０とが、互いに離間している状態（初期状態）において、平面視でその間であるということを示す。したがって、処理のために平面視においてステージ１０とユニット２０とが重なっている場合でも、初期状態のステージ１０とユニット２０との間に第２の遮蔽板４０が設けられるということである。

【0039】

第２の遮蔽板４０は、例えばＺ方向に開閉する遮蔽板である。第２の遮蔽板４０は、ユニット２０がステージ１０に保持される基板Ｗに対してＡＣＦの貼着を行っているときは、開かれていて、基板Ｗがユニット２０の貼着部まで進入することができる。第２の遮蔽板４０は、オペレータがユニット２０に対してメンテナンス作業を行うときは、オペレータの安全を確保するために、閉じられている。したがって、この場合には、ステージ１０とユニット２０とは初期状態に位置する。オペレータの安全を確保するために、第２の遮蔽板４０は、ステージ１０がオペレータに接触するなどの干渉を防ぐのに十分な大きさと強度を有する。後述する防塵効果も考慮すると、ステージ１０のＸ方向長さを覆う大きさとするのが好ましい（図１参照）。また、ステージまたはステージに保持された基板が貼着領域まで進入できないようにするために、第２の遮蔽板４０は、閉じた時にステージ１０の可動部分を遮蔽する大きさとする。

【0040】

第２の遮蔽板４０は、上記のように基板処理装置１のＸ方向に沿って設けられる。したがって、第１の遮蔽板３０とは直交するカバーであり、ユニット２０および第１の遮蔽板３０のＸ方向の移動を妨げないように、Ｙ方向に所定の間隔を有して設けられている。第２の遮蔽板４０は、固定カバー４１０とシャッタ４２０の２つからなる。

【0041】

固定カバー４１０は、ステージ１０とユニット２０の間に設置され、ステージ１０と直交し、装置の天井からＸＺ方向に延びた（ステージの長さ分）板状のものである。固定カバー４１０は、ユニット２０の稼働を妨げないように、Ｙ方向にユニット２０と隙間をもって設置される。また、固定カバー４１０とステージ１０のＺ方向の隙間は、ステージ１０が移動時、ＡＣＦを貼着時であってもステージ１０上にある基板Ｗに干渉しないように設けられる。つまり、基板Ｗが加圧ヘッドの直下に入る際に干渉しない高さにすればよい。また、固定カバー４１０の下端は、ユニット２０側に向かって所定の長さだけ延びる折部を有している。

【0042】

シャッタ４２０は、固定カバー４１０と同様に、ステージ１０とユニット２０との間であって、固定カバー４１０よりもユニット２０側に位置し、固定カバー４１０と対応するようにＸＺ方向に延びて板状のものである。シャッタ４２０は、ステージ１０及びユニット２０を載置する架台側に設けられた昇降駆動部（図示しない）により支持され、Ｚ方向に昇降が可能である。なお、シャッタ４２０の昇降を手動としてもよいが、メンテナンスモードとの連動できるものが望ましい。シャッタ４２０のＸ方向の長さは、ステージに対応する長さである。また、シャッタ４２０は、図６（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、下降することで、加圧ヘッド２３１の下にステージ１０及び基板Ｗが進入することができる。逆に、図７に示すように、シャッタ４２０を上昇することで、加圧ヘッド２３１の下にステージ１０を侵入することを阻止する。なお、シャッタ４２０の上下昇降範囲は、例えば、シャッタ４２０の最上端が、固定カバー４１０の下端と接触する高さを上限とし、ステージ１０に干渉しない高さを下限となるようにしてもよいし、それ以外の昇降範囲にしてもよい。なお、本実施形態では、シャッタ４２０と固定カバー４１０Ｙ方向にずれて設置される。この場合、シャッタ４２０の最上端が、固定カバー４１０の下端と接触する高さを上限とする必要はなく、正面から見て重なるようにしてもよい。また、そのＹ方向のズレによる隙間をなくすために固定カバー４１０には固定カバー４１０の下端（折部）が設けられてもよいし、シャッタ４２０の上端も折部がステージ側に向かって所定の長さに延長するようにしてもよいし、どちらか一方だけでなく、固定カバーとシャッタの両方に折部を設けても良い。

【0043】

制御部８０は、ユニット２０を制御する装置である。この制御部８０は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成される。制御部８０は、各部の制御内容がプログラムされており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置によりそのプログラムが実行される。

【0044】

制御部８０は、図１１に示すように、機構制御部８１、記憶部８２、入出力制御部８３を有する。機構制御部８１は、ステージ１０、ユニット２０の動作を制御する。特に、本実施形態においては、ユニット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄが接触しない様、制御される。記憶部８２は、ステージ１０、ユニット２０の動作を実現するためのプログラム、データ等、本実施形態の制御に必要な情報を記憶する。入出力制御部８３は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。

【0045】

さらに、制御部８０には、入力装置９１、出力装置９２が接続されている。入力装置９１は、オペレータが、制御部８０を介して電子部品実装装置を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力手段である。出力装置９２は、電子部品実装装置の状態を確認するための情報を、オペレータが視認可能な状態とする表示装置等の出力手段である。

【0046】

［作用］
以上のような基板処理装置１の作用を、図１２のフローチャートを参照して説明する。前提として、図１に示すように、ステージ１０Ａ、１０Ｂのそれぞれに基板Ｗが２枚ずつ保持され、ステージ１０Ａに対応し、ステージ１０Ａに保持される各基板Ｗに対向する位置にユニット２０Ａ、２０Ｂが設けられており、ステージ１０Ｂに対応し、ステージ１０Ｂに保持される各基板Ｗに対向する位置にユニット２０Ｃ、２０Ｄが、それぞれ設けられている。

【0047】

まず、各ユニット２０は、対応する基板Ｗに設けられた端子Ｐのうち、一番端の端子Ｐ、例えば、図２における一番左端の端子Ｐに位置づけられる（ステップＳ０１）。具体的には、各ユニット２０の貼着部２３が、一番左端の端子Ｐの上方に位置付けられる。すなわち、ユニット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄのそれぞれの貼着部２３が、対応する基板Ｗの一番左端の端子Ｐの上方に位置付けられる。なお、この位置付けは、例えば、基板Ｗを保持したステージ１０がユニット２０の貼着部２３の下方へ進出することや、ユニット２０がＸ方向に移動することにより実現される。

【0048】

このとき、貼着部２３において、テープ状部材Ｔは、図３に示すように、粘着テープＳに設けられたハーフカットラインＨＣを端子Ｐの両端に合わせるように位置決めされている。この状態で、貼着部２３の加圧ヘッド２３１が下降することにより、テープ状部材Ｔを離型テープＲ側から押し下げ、基板Ｗに設けられた端子Ｐにハーフカットされた粘着テープＳを貼着させる（ステップＳ０２）。

【0049】

粘着テープＳを貼着させた後、加圧ヘッド２３１を上昇させ、剥離棒２４１、２４２をテープ状部材Ｔの上流側に水平移動させることにより、端子Ｐに貼着された粘着テープＳから離型テープＲを剥離する（ステップＳ０３）。このように、基板Ｗに設けられた端子Ｐに粘着テープＳ、すなわちＡＣＦ１００が貼着される。

【0050】

基板Ｗの一番左端の端子ＰにＡＣＦ１００が貼着された後、各ユニット２０は、Ｘ方向に移動し、隣の端子Ｐに位置付けられる（ステップＳ０４）。この後、基板Ｗに設けられた全ての端子ＰにＡＣＦ１００が貼着されるまで（ステップＳ０５のＮＯ）、上述のステップＳ０２乃至Ｓ０４が繰り返される。そして、基板Ｗの一番右端の端子ＰにＡＣＦ１００が貼着された後、すなわち、基板Ｗに設けられた全ての端子ＰにＡＣＦ１００が貼着された後（ステップＳ０５のＹＥＳ）、各ステージ１０はＹ方向に移動して、貼着部２３の下方から基板Ｗの回収位置に後退すると共に、各ユニット２０はＸ方向に移動して、基板Ｗに設けられた一番左端の端子Ｐに位置づけられる。各ステージ１０からＡＣＦ１００が貼着された基板Ｗが回収され、各ステージ１０には、新たにＡＣＦ１００が貼着されていない基板Ｗが２枚ずつ保持される。すなわち、各ステージ１０において、基板Ｗの入れ替えが行われる（ステップＳ０６）。以下、各ユニット２０のいずれかにおいて、供給リール２１１に巻装されたテープ状部材Ｔが無くなるまで（ステップＳ０７のＮＯ）、上述のステップＳ０１乃至Ｓ０６が繰り返される。

【0051】

各ユニット２０のいずれかにおいて、供給リール２１１に巻装されたテープ状部材Ｔが無くなる等のメンテナンス作業が必要になると（ステップＳ０７のＹＥＳ）、当該ユニット２０と、同じステージ１０に対応しているユニット２０の貼着動作を停止させる（ステップＳ０８）。ここでは、ユニット２０Ｂにおいてテープ状部材Ｔが無くなったものとし、ユニット２０Ｂの貼着動作と、ユニット２０Ｂと同じくステージ１０Ａに対応しているユニット２０Ａの貼着動作とを停止させる。このとき、ユニット２０Ｃ、２０Ｄは、貼着動作を継続しているものとする。

【0052】

次に、貼着動作を停止したユニット２０Ａ、２０Ｂは、ステージ１０Ｂから離間するようにＸ方向に退避すると共に（ステップＳ０９）、ステージ１０ＡはＹ方向に移動して、貼着部２３の下方から基板Ｗを後退させる。例えば、ユニット２０Ａ、２０Ｂは、図１３に示すように、移動可能なＸ方向の最左に移動して退避する。

【0053】

このように、ユニット２０Ａ、２０Ｂは、ユニット２０Ｃ、２０Ｄの貼着動作を妨げないように、基板処理装置１の最左に寄せて退避させられる。なお、ユニット２０Ｃ、２０Ｄのメンテナンス作業を行う場合、ユニット２０Ｃ、２０Ｄは、ユニット２０Ａ、２０Ｂの貼着動作を妨げないように、基板処理装置１の最右に寄せて退避させられる。この退避する位置は、メンテナンス位置であり、メンテナンス位置は、装置の最右もしくは最左である。例えばユニット２０Ａ及び２０Ｂは、基板処理装置１の最左側面側となり、ユニット２０Ｃ及び２０Ｄは、基板処理装置１の最右側面側となる。

【0054】

基板処理装置１の最左に寄せられたユニット２０Ａ、２０Ｂは、オペレータによるメンテナンス作業が行われる（ステップＳ１０）。メンテナンスモードに切り替えると連動してシャッタ４２０が自動で昇降し、固定カバー４１０とシャッタ４２０によりユニット２０は、ステージ１０と仕切られる。このようにユニット２０がメンテナンス位置に来ることにより、作業者は、装置の側面、第１の遮蔽板３０、第２の遮蔽板４０によりユニットが囲まれた状態で作業することができる。

【0055】

以下、メンテナンス作業の具体的な例として、新しい供給リールの交換作業で説明する。オペレータは、ユニット２０Ｂからテープ状部材Ｔが無くなった供給リール２１１と離型テープＲを回収した回収リール２６１とを取り外す。さらに、オペレータは、テープ状部材Ｔが巻装された供給リール２１１と、空の回収リール２６１とをユニット２０Ｂに取り付ける。そして、オペレータは、供給リール２１１から引き出したテープ状部材Ｔを、テンション機構２１２、経路ローラ２１３、切断部２２、貼着部２３、剥離部２４、搬送部２５、経路ローラ２６２に架け渡して、回収リール２６１に取り付ける。これにより、ユニット２０Ｂのメンテナンス作業が終了する。なお、ユニット２０Ｂのメンテナンス作業と並行して、ユニット２０Ａのメンテナンス作業を行っても良い。メンテナンス作業の終了後は、例えば上述するステップＳ０１に戻ることにより、ユニット２０Ａ、２０Ｂの貼着作業を再開させることが出来る。

【0056】

［効果］
（１）本実施形態の基板処理装置１は、隣接して設けられ、基板Ｗをそれぞれ保持する複数のステージ１０Ａ、１０Ｂと、ステージ１０Ａ、１０Ｂにそれぞれ対応して設けられ、保持された基板Ｗに対して移動して、基板Ｗの端子Ｐに対して処理をする複数のユニット２０と、ステージ１０Ａ（１０Ｂ）に対応して設けられるユニット２０Ｂ（２０Ｃ）に追従して移動し、隣接するステージ１０Ｂ（１０Ａ）に対応して設けられるユニット２０Ｃ（２０Ｂ）を遮蔽する第１の遮蔽板３０と、を備える。また、ユニット２０Ｂ、２０Ｃは、基板Ｗの端子ＰにＡＣＦ１００を貼着する貼着ユニットである。

【0057】

従来の基板処理装置においては、ＡＣＦテープの交換作業やメンテナンス作業をする際、オペレータの安全を確保するために装置全体を停止させる必要があった。一方で、装置全体の停止により、生産性が下がるという問題であった。そこで、生産性を下げないために、隣接配置される基板処理装置の一方だけを停止させ、他方は稼働を継続させることが考えられる。この場合、オペレータの安全のために基板処理装置において両者の区域を遮蔽する遮蔽板を設けることが考えられる。

【0058】

したがって、隣接配置する基板処理装置の間に、遮蔽板を設けようとすると、遮蔽板の周辺に各々のユニットが支障なく移動するためのスペースが必要となり、このスペースが装置全体の大型化を招くことになる。このように、生産性を向上させつつオペレータの安全を確保するために遮蔽板を設けるとすると、装置全体が大型化するという問題が生じてしまう。

【0059】

そこで、本実施形態の基板処理装置１においては、ユニット２０に設けられた第１の遮蔽板３０が、接近してくる隣接するユニット２０を遮蔽するので、隣接するユニット２０の移動に影響を受けずに、メンテナンス対象のユニット２０のメンテナンス作業を安全に行うことが出来る。さらに、第１の遮蔽板３０は、ユニット２０に追従して移動するので、隣接するステージ１０の間にユニット２０Ｂとユニット２０Ｃとの間に遮蔽板を固定して設ける場合に比して、遮蔽板を設けるためのスペースを省くことが出来る。

【0060】

（２）貼着ユニットは、基板Ｗに対して、離型テープに貼着された前記ＡＣＦを供給する供給リール２１１と、離型テープＲを回収する回収リール２６１と、を備え、供給リール２１１は、貼着ユニットから供給リール２１１を着脱する側に当該供給リール２１１の取り付け面を向けるように、第１の遮蔽板３０に対して傾けて設けられる。これにより、供給リール２１１を着脱する側において供給リール２１１の取り付け位置が露出し、また、供給リール２１１と第１の遮蔽板３０との間にＸ方向のスペースを確保することが出来るので、オペレータは、供給リール２１１を容易に取り外し、また容易に取り付けることが出来る。

【0061】

（３）貼着ユニットは、基板Ｗに対して、離型テープに貼着された前記ＡＣＦを供給する供給リール２１１と、離型テープＲを回収する回収リール２６１と、を備え、回収リール２６１は、貼着ユニットから回収リール２６１を着脱する側に当該回収リール２６１の取り付け面を向けるように、第１の遮蔽板３０に対して傾けて設けられる。これにより、回収リール２６１を着脱する側において回収リール２６１の取り付け位置が露出し、また、回収リール２６１と第１の遮蔽板３０との間にＸ方向のスペースを確保することが出来るので、オペレータは、回収リール２６１を容易に取り外し、また容易に取り付けることが出来る。

【0062】

（４）本実施形態の第１の遮蔽板３０は、ユニット２０Ｂ、２０Ｃに設けられる。これにより、ユニット２０Ｂ、２０Ｃに追従して第１の遮蔽板３０を移動させるための移動機構を別途設ける必要が無いので、基板処理装置１の構成を簡略化することが出来る。

【0063】

（５）本実施形態の第１の遮蔽板３０、第２の遮蔽板４０は、透明な部材からなる。これにより、基板処理装置１周辺からの照明等を遮らないので、メンテナンス作業用の新たな照明を設けなくても良い。また、ユニット２０やステージ１０の状態を把握しやすいので、より安全に作業を行うことが出来る。

【0064】

（６）第２の遮蔽板４０が、固定カバー４１０とシャッタ４２０によって構成されることで、装置動作中は、埃、テープ屑、微細なダスト（以下、ゴミといいます）が出やすいユニット側とステージ側を仕切ることで、基板Ｗにゴミの付着を防止するとともに、メンテナンス中であっても、ユニット２０側からステージ１０側にゴミが入るのを防止及び軽減することが可能となる。またユニット２０とステージ１０側の気圧に差を利用して、空気の流れを作ることで、さらにゴミの防止及び軽減を図ることも可能である。さらに、メンテナンス中に誤動作などで、ステージがユニット２０側に移動するのを阻止するための防護シャッタの役割があり、作業者の安全性を確保が可能となる。

【0065】

［変形例］
上記実施形態のステージ１０Ａ、１０Ｂは、それぞれ２枚の基板Ｗを保持するものとしたが、それぞれ１枚の基板Ｗを保持しても良い。この場合、ユニット２０は、各基板Ｗに対して１台ずつ計２台設けられても良いし、各基板Ｗに対して２台ずつ計４台設けられても良い。１枚の基板Ｗに対して２台のユニット２０が設けられる場合、例えば一方のユニット２０が基板Ｗの左半分に設けられた端子ＰにＡＣＦ１００を貼着し、他方のユニット２０が基板Ｗの右半分に設けられた端子ＰにＡＣＦ１００を貼着しても良い。

【0066】

上記実施形態のステージ１０は、ステージ１０Ａ、１０Ｂの２台設けられたが、これに限られない。例えば、図１４に示すように、ステージ１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃの３台設けられても良い。図１４において、基板処理装置１と同様の構成を備える基板処理装置２においては、上記実施形態の構成の２台のステージ１０の間にステージ１０Ｃを設け、ステージ１０Ｃに対応して設けられるユニット２０Ｅ、ユニット２０Ｆに、第１の遮蔽板３０が設けられている。この場合、ステージ１０Ａに対応するユニット２０Ａ、ユニット２０Ｂのメンテナンス作業を行う場合、ステージ１０Ｂ、ステージ１０Ｃが稼働しているので、上記実施形態同様、ユニット２０Ａ、ユニット２０Ｂは、基板処理装置２の移動可能なＸ方向の最左に移動して退避する。また、ステージ１０Ｂに対応するユニット２０Ｃ、ユニット２０Ｄのメンテナンス作業を行う場合、ステージ１０Ａ、ステージ１０Ｃが稼働しているので、上記実施形態同様、ユニット２０Ｃ、ユニット２０Ｄは、基板処理装置２の移動可能なＸ方向の最右に移動して退避する。ステージ１０Ｃに対応するユニット２０Ｅ、ユニット２０Ｆのメンテナンス作業を行う場合は、ステージ１０Ａ、ステージ１０Ｂが稼働しているので、ユニット２０Ｅ、ユニット２０Ｆは、ステージ１０Ｃの中央に移動する。この時、ユニット２０Ｅに設けられている第１の遮蔽板３０は稼働しているステージ１０Ａ側に、ユニット２０Ｆに設けられている第１の遮蔽板３０は稼働しているステージ１０Ｂ側に設けられているので、ユニット２０Ｅ、ユニット２０Ｆのメンテナンス作業を安全に行うことができる。なお、図１４においては、基板Ｗについては、説明を容易にするために図示を省略している。このように、ステージ１０Ａ、ステージ１０Ｂの間に、ステージ１０Ｃに相当するステージを複数設けることもできる。

【0067】

さらには、例えば、図１５に示すように、基板処理装置１と同様の構成を備える基板処理装置３においては、ステージ１０が１台だけ設けられても良い。この場合、１台のステージを２つの領域ＡＡ、ＢＢに分けることにより、１台のステージ１０を仮想的に２台のステージ１０Ａ、１０Ｂとして機能させることが出来る。

【0068】

基板処理装置１～３に示した以外にも、複数のステージ１０と複数のユニット２０、ステージ１０に保持される基板数は、さまざまに組み合わせることができる。どのような場合においても、稼働を停止しメンテナンスを行うユニット２０に対して隣接して稼働を続けるユニット２０から遮蔽できるように、メンテナンスするユニット２０に第１の遮蔽板３０が設けられていればよい。

【0069】

上記実施形態の第１の遮蔽板３０や第２の遮蔽板４０は、透明な部材からなるものとしたが、不透明な部材からなっても良い。これにより、オペレータの視界に可動するユニットが入らないため、ステージ１０やユニット２０の正常な動作に驚いてしまうことがなく、安心して作業を行うことができる。

【0070】

また、第１の遮蔽板３０や第２の遮蔽板４０は、アクリルやポリカーボネートなどの樹脂部材に限らず、アルミニウムやステンレス等の金属部材でもよい。オペレータを防護できる強度があれば良い。また、網やパンチングボードなどの開口を有する部材であってもよい。このような開口を有する部材は軽量にでき、ユニット２０に追従して移動するのに適している。さらに、通気性を有するので、遮蔽板の移動に伴い巻き起こる風を抑制し、パーティクルの発散を抑制することが出来る。また、移動の負荷となる空気抵抗を減じることも出来る。

【0071】

上記実施形態の第２の遮蔽板４０は、必ずしも設置する必要はない。リール交換などのメンテナンスを行う場合、当該ユニット２０と組みとなっているユニット２０も停止する。また、当該ユニット２０が対応するステージ１０も停止する。さらに、オペレータが位置する領域Ｍは、当該ステージ１０に対して、ユニット２０を挟んでいるため、当該ステージがオペレータに直接接触するようなことはない。したがって、第２の遮蔽板４０が無くてもよい。

【0072】

ただし、上記実施形態の第２の遮蔽板４０を設けることにより、メンテナンスによって生じるパーティクルが基板Ｗへ飛散することを防止できる。

【0073】

また、第２の遮蔽板４０は、開閉しない固定の１枚の板であってもよい。構造が簡素とできる。また、この場合、第２の遮蔽板４０は、基板処理装置１に固定配置するのではなく、ユニット２０の前面に搭載することもできる。これによっても、メンテナンスによって生じるパーティクルが基板Ｗへ飛散することを防止できる。なお、第２の遮蔽板４０を基板処理装置１に固定すれば、ユニット２０の移動駆動すべき質量が軽くできるので、処理時の移動の精度や速度を確保しやすくなる。

【0074】

上記実施形態の第２の遮蔽板４０は、固定カバー４１０とシャッタ４２０の２つからなり、シャッタ４２０は架台側に設けられたが、固定カバー側にシャッタ４２０を設けることもできる。いずれにおいても、安全性の確保、防震の効果を同様に得ることが出来る。シャッタ４２０を上部に配置される固定カバーに搭載することで、シャッタ４２０自体のメンテナンス模様となるし、特に手動で開閉させることが容易とできる。

【0075】

上記実施形態の第２の遮蔽板４０は、固定カバー４１０とシャッタ４２０の２つからなるとしたが、これに限られない。ステージ１０の作業している領域への進入を妨げることが出来ればよく、例えば、シャッタ４２０のみでもよい。したがって、シャッタ４２０は、架台側でなく天井側に設けることもできる。なお、架台側に設けることで、シャッタの開閉動作にともなうパーティクルは基板Ｗの表面に到達しにくくなる。シャッタ４２０を天井側に設けることで、例えば、隣合う複数のステージ１０で共有することが出来る。これによりシャッタ４２０の台数を減らすことが出来るので、装置のコストを下げることが出来る。ここで、共有とは、シャッタ４２０が、天井をスライダによってステージ１０間を移動することができることをいい、メンテナンスを行っているステージ１０側に移動して、メンテナンスに伴う危険の回避や防塵を行うことが出来る。

【0076】

上記実施形態の第２の遮蔽板４０は、手動で開閉しても良いし、図示しない制御機構により開閉しても良い。また、第２の遮蔽板４０は、ユニット２０がステージ１０に保持される基板Ｗの端子Ｐに対してＡＣＦ１００の貼着を行うための領域を開口したものでも良く、オペレータの安全を確保するだけでなく、ユニット２０から発生する塵等が基板Ｗに付着するのを防止する。

【0077】

第２の遮蔽板４０の制御機構は、例えばオペレータが装置を、メンテナンスモードの設定した場合、自動的に、第２の遮蔽板４０のシャッタ４２０が閉じられ、メンテナンスモードを解除したとき、第２の遮蔽板４０のシャッタ４２０が開く。メンテナンスモードへの設定変更は、装置にメンテナンスモードへの切替ボタンやスイッチ設けてもよいし、装置に接続された入力装置から設定変更できるようにしてもよい。また、オペレータが装置のメンテナンス扉（領域Ｍ側の扉）の開閉を検知し、それに連動して、第２の遮蔽板４０のシャッタ４２０の開閉動作を行うようにしてもよい。

【0078】

上記実施形態の第１の遮蔽板３０は、ユニット２０に設けられるものとしたが、これに限られない。例えば、図１６に示すように、ユニット２０に追従して移動する移動機構Ｎを第１の遮蔽板３０に設け、この移動機構により第１の遮蔽板３０を移動させても良い。この場合、移動機構Ｎを基板処理装置１の天井側に設けることが出来る。そうすることで、複数あるユニット２０の移動機構の配置に制限されずに移動機構Ｎを設けることが出来る。

【0079】

また、第１の遮蔽板３０を、オペレータにより手動で設置しても良い。この場合、上記実施形態で、ユニット２０Ａ、２０Ｂが基板処理装置１の最左に寄せて退避させられた時と、ユニット２０Ｃ、２０Ｄが基板処理装置１の最右に寄せて退避させられた時の２か所の位置に、第１の遮蔽板３０を、オペレータが選択的に設置できる様にする。そうすることで、上記実施形態同様、オペレータは安全にメンテナンス作業をすることが出来る。なお、第１の遮蔽板３０の設置は、上述の実施形態と同様に、ユニット２０の遮蔽板保持部２７に行なうこともできるし、基板処理装置自体に設置するようにもできる。

【0080】

上記実施形態のユニット２０は、供給部２１、切断部２２、貼着部２３、剥離部２４、搬送部２５及び回収部２６を備えるものとしたが、これに限られない。ユニット２０は、少なくとも貼着部２３を備えればよく、他の構成、すなわち供給部２１、切断部２２、剥離部２４、搬送部２５及び回収部２６については、ユニット２０とは異なる構成としてもよい。

【0081】

上記実施形態の粘着テープＳには、切断部２２により切れ目となるハーフカットラインＨＣが形成されたが、これに限られない。粘着テープＳは、予め端子Ｐの寸法に合わせて切れ目が形成されたものを用いても良い。また、粘着テープＳには必ずしも切れ目が形成されている必要はなく、例えば粘着テープＳの全面に亘って微細な穴が無数に開けられており、剥離部２４によって基板Ｗの端部を境目にして引き裂かれるようにしてもよい。

【0082】

上記実施形態の基板処理装置１は、基板Ｗの端子ＰにＡＣＦ１００を貼着する装置として説明したが、同様な構成で、例えば、基板Ｗの端子Ｐを清掃する装置とすることもできる。基板Ｗの端子ＰにＡＣＦ１００を貼着する前には、基板Ｗの端子Ｐを清掃することもある。この場合、基板Ｗの端子Ｐを処理するユニット２０は、基板Ｗの端子Ｐを清掃する清掃ユニットである。清掃ユニットには、テープ状部材ＴとしてのＡＣＦ１００の代わりに、図示しない清掃テープがテープ状部材Ｔとして巻装される。また清掃テープには、洗浄液を供給し清掃力を向上させてもよい。これにより、清掃ユニットは、基板Ｗの端子Ｐを清掃することができる。もちろん、図４、図５に示すのと同様に、清掃テープの清掃用供給リールや清掃用回収リールを着脱する側に傾けて、例えば、Ｙ方向に対して１５°傾けて取り付けることもできる。したがって、基板処理装置１は、貼着を行うステージに加えて、清掃を行うためのステージを設けることもできる。また、清掃を行うための基板処理装置１であっても良い。

【0083】

上記実施形態のユニット２０に設けられるリール（供給リール、回収リール）を、ユニット２０の後ろ側に傾斜させている。この傾斜は１５°である例示を示した。ただし、この傾斜の角度は、例えば、ユニット２０と遮蔽板との間隔や、リールの直径、幅などの寸法、オペレータが位置する領域Ｍまでの距離などによって最適となるよう適宜決定することが出来る。

【0084】

また、必ずしもすべてのリールを傾斜させる必要はない。遮蔽板と対向するリールに対しては、傾斜させることが好ましい。しかし、遮蔽板と対向しないリールは、Ｙ方向に沿う（０°）ようにしてもよい。この場合、上述のように、リールを交換するための十分なスペースがあり、リールの交換に支障がない状態で、基板処理装置１をコンパクトにすることが出来る。

【0085】

［他の実施形態］
以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

【符号の説明】

【0086】

１、２、３ 基板処理装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ ステージ
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ ユニット
２１ 供給部
２１１ 供給リール
２１２ テンション機構
２１３ 経路ローラ
２２ 切断部
２２１ カッター
２２２ バックアップ部材
２３ 貼着部
２３１ 加圧ヘッド
２４ 剥離部
２４１、２４２ 剥離棒
２５ 搬送部
２５１ 送りローラ
２６ 回収部
２６１ 回収リール
２６２ 経路ローラ
２７ 遮蔽板保持部
３０ 第１の遮蔽板
４０ 第２の遮蔽板
４１０ 固定カバー
４２０ シャッタ
８０ 制御部
８１ 機構制御部
８２ 記憶部
８３ 入出力制御部
９１ 入力装置
９２ 出力装置
１００ ＡＣＦ
Ａ、Ｂ、ＡＡ、ＢＢ 領域
ＨＣ ハーフカットライン
Ｍ 領域
Ｎ 移動機構
Ｐ 端子
Ｒ 離型テープ
Ｓ 粘着テープ
Ｔ テープ状部材
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】