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特開2023-152954熱伝導性シート、熱伝導性シートの製造方法及び熱伝導性シートの表面の平滑度の検査方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023152954
(43)【公開日】2023-10-17
(54)【発明の名称】熱伝導性シート、熱伝導性シートの製造方法及び熱伝導性シートの表面の平滑度の検査方法
(51)【国際特許分類】
H01L 23/36 20060101AFI20231005BHJP
H01L 23/373 20060101ALI20231005BHJP
H05K 7/20 20060101ALI20231005BHJP
C08J 5/18 20060101ALI20231005BHJP
【ＦＩ】
H01L23/36 D
H01L23/36 M
H05K7/20 F
C08J5/18 CFH
【審査請求】未請求
【請求項の数】15
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023053590
(22)【出願日】2023-03-29
(31)【優先権主張番号】P 2022058413
(32)【優先日】2022-03-31
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000108410
【氏名又は名称】デクセリアルズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100113424
【弁理士】
【氏名又は名称】野口 信博
(74)【代理人】
【識別番号】100185845
【弁理士】
【氏名又は名称】穂谷野 聡
(72)【発明者】
【氏名】太田 栄治
(72)【発明者】
【氏名】戸端 真理奈
(72)【発明者】
【氏名】武笠 圭佑
(72)【発明者】
【氏名】久保 佑介
(72)【発明者】
【氏名】森 大地
(72)【発明者】
【氏名】宮崎 義知
【テーマコード（参考）】
4F071
5E322
5F136
【Ｆターム（参考）】
4F071AA67
4F071AB03
4F071AB18
4F071AB22
4F071AC16
4F071AD01
4F071AE22
4F071AF29Y
4F071AF44Y
4F071AG05
4F071AG24
4F071AG26
4F071AH12
4F071AH16
4F071BA03
4F071BA09
4F071BB01
4F071BB06
4F071BB13
4F071BC01
4F071BC03
4F071BC16
5E322AA11
5E322EA11
5E322FA04
5F136BA04
5F136BB18
5F136BC07
5F136FA25
5F136FA55
5F136FA63
5F136FA88
5F136GA12
5F136GA40
(57)【要約】
【課題】全熱抵抗値が低減された熱伝導性シートを提供する。
【解決手段】熱伝導性シート１は、異方性熱伝導材料３と、無機フィラー４と、バインダ樹脂２とを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる。熱伝導性シート１は、ＳＣＩ方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上である。また、熱伝導性シート１は、ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である。
【選択図】図１
【解決手段】熱伝導性シート１は、異方性熱伝導材料３と、無機フィラー４と、バインダ樹脂２とを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる。熱伝導性シート１は、ＳＣＩ方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上である。また、熱伝導性シート１は、ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
異方性熱伝導材料と、無機フィラーと、バインダ樹脂とを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる熱伝導性シートであって、
ＳＣＩ（Specular Component Include）方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ（Specular Component Exclude）方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上であり、かつ、
上記ΔＲ600-700nmに対する、上記ΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である、熱伝導性シート。
ＳＣＩ（Specular Component Include）方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ（Specular Component Exclude）方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上であり、かつ、
上記ΔＲ600-700nmに対する、上記ΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である、熱伝導性シート。
【請求項2】
厚みを０．３ｍｍとしたときに、荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２における全熱抵抗値が０．３００℃・ｃｍ２／Ｗ以下である、請求項１に記載の熱伝導性シート。
【請求項3】
厚みを１．０ｍｍとしたときに、荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２における全熱抵抗値が０．３１２℃・ｃｍ２／Ｗ以下である、請求項１に記載の熱伝導性シート。
【請求項4】
厚みを２．０ｍｍとしたときに、荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２における全熱抵抗値が０．５０２℃・ｃｍ２／Ｗ以下である、請求項１に記載の熱伝導性シート。
【請求項5】
上記異方性熱伝導材料が厚み方向に配向する、請求項１～４のいずれか１項に記載の熱伝導性シート。
【請求項6】
上記異方性熱伝導材料が炭素繊維である、請求項１～４のいずれか１項に記載の熱伝導性シート。
【請求項7】
上記ΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmが０．１％以上である、請求項１に記載の熱伝導性シート。
【請求項8】
異方性熱伝導材料と、無機フィラーと、バインダ樹脂とを含む熱伝導性組成物を所定の形状に成型して硬化させ、熱伝導性成形体を形成する工程と、
上記熱伝導性成形体をシート状にスライスしてシート状成形体を得る工程と、
上記シート状成形体表面を研磨して熱伝導性シートを形成する工程とを有し、
上記熱伝導性シートを形成する工程では、上記熱伝導性シート表面が以下の条件１及び条件２を満たすように、上記シート状成形体表面を研磨する、熱伝導性シートの製造方法。
条件１：ＳＣＩ（Specular Component Include）方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ（Specular Component Exclude）方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上である。
条件２：上記ΔＲ600-700nmに対する、上記ΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である。
上記熱伝導性成形体をシート状にスライスしてシート状成形体を得る工程と、
上記シート状成形体表面を研磨して熱伝導性シートを形成する工程とを有し、
上記熱伝導性シートを形成する工程では、上記熱伝導性シート表面が以下の条件１及び条件２を満たすように、上記シート状成形体表面を研磨する、熱伝導性シートの製造方法。
条件１：ＳＣＩ（Specular Component Include）方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ（Specular Component Exclude）方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上である。
条件２：上記ΔＲ600-700nmに対する、上記ΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である。
【請求項9】
上記ΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmが０．１％以上である、請求項８に記載の熱伝導性シートの製造方法。
【請求項10】
請求項１～４のいずれか１項に記載の熱伝導性シートを備える、電子機器。
【請求項11】
ＳＣＩ（Specular Component Include）方式による、熱伝導性シートの表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ（Specular Component Exclude）方式による、上記熱伝導性シートの表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）とを測定し、それらの差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmを求めることと、
上記ΔＲ600-700nmに対する、上記ΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めることにより、上記熱伝導性シートの表面の平滑度を検査する、熱伝導性シートの表面の平滑度の検査方法。
上記ΔＲ600-700nmに対する、上記ΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めることにより、上記熱伝導性シートの表面の平滑度を検査する、熱伝導性シートの表面の平滑度の検査方法。
【請求項12】
上記熱伝導性シートが、異方性熱伝導材料と、無機フィラーと、バインダ樹脂とを含む熱伝導性樹脂組成物からなる、請求項１１に記載の検査方法。
【請求項13】
異方性熱伝導材料と、無機フィラーと、バインダ樹脂とを含む熱伝導性組成物を所定の形状に成型して硬化させ、熱伝導性成形体を形成する工程と、
上記熱伝導性成形体をシート状にスライスしてシート状成形体を得る工程と、
ＳＣＩ（Specular Component Include）方式による、上記シート状成形体の表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ（Specular Component Exclude）方式による、上記シート状成形体の表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）とを測定し、それらの差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmを求めることと、上記ΔＲ600-700nmに対する上記ΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めることにより、上記シート状成形体の表面の平滑度を検査する工程とを有する、熱伝導性シートの製造方法。
上記熱伝導性成形体をシート状にスライスしてシート状成形体を得る工程と、
ＳＣＩ（Specular Component Include）方式による、上記シート状成形体の表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ（Specular Component Exclude）方式による、上記シート状成形体の表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）とを測定し、それらの差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmを求めることと、上記ΔＲ600-700nmに対する上記ΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めることにより、上記シート状成形体の表面の平滑度を検査する工程とを有する、熱伝導性シートの製造方法。
【請求項14】
上記シート状成形体をプレスする工程をさらに有する、請求項１３に記載の熱伝導性シートの製造方法。
【請求項15】
上記シート状成形体表面を研磨する工程をさらに有する、請求項１３又は１４に記載の熱伝導性シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本技術は、熱伝導性シート、熱伝導性シートの製造方法及び熱伝導性シートの表面の平滑度の検査方法に関する。
【背景技術】
【0002】
電子機器の更なる高性能化により、半導体素子の高密度化、高実装化が進んでいる。それと比例して、ＩＣ（Integrated Circuit）等からの発熱量、発熱密度も増大する傾向にあり、より効率的に熱伝導性シートを介して放熱フィン、放熱板等の放熱部材に熱を伝達することが求められる。また、電子機器は、小型化、薄型化が急速に進んでおり、必要とされる熱伝導性シートの厚みも薄くなる傾向にあり、より低熱抵抗なものが求められている。このような要求を満たす熱伝導性シートとしては、異方性熱伝導材料を用いた熱伝導性シートが挙げられる（例えば、特許文献１～４を参照）。異方性熱伝導材料の一例である炭素繊維は、繊維方向に約６００～１２００Ｗ／（ｍ・Ｋ）の熱伝導率を有する異方性フィラーである。炭素繊維の繊維方向を、熱の伝達方向である熱伝導性シートの厚み方向に配向させることによって、熱伝導性が飛躍的に向上することが知られている。この他、窒化ホウ素などの異方性フィラーも同様に注目されている。
【0003】
炭素繊維を配向した熱伝導性シートを用いて低熱抵抗化を実現するには、熱伝導性シートの接触熱抵抗を考慮することも重要である。しかし、高熱伝導の炭素繊維であっても、熱伝導性シート全体から見れば、被着体と炭素繊維との接触は点接触であり、圧力により炭素繊維がバインダ樹脂内に沈み込むとしても、熱伝導性シートと被着体との間にエアーが混入してしまい、熱伝導性シートと被着体とが密着しにくい課題がある。
【0004】
また、使用される熱伝導性シートが薄くなるにつれて、熱伝導性シートと、被着体との間に生じる接触熱抵抗の寄与が大きくなる傾向にある。接触熱抵抗とは、熱伝導シートと被着体の間に生じる熱抵抗である。特に、炭素繊維のような異方性熱伝導材料が厚み方向に配向した熱伝導性シートは、厚みが薄くなるほど、接触熱抵抗が大きくなる傾向があり、結果として、全熱抵抗値（熱伝導性シートそのものが有する熱抵抗値に接触熱抵抗値を加えたもの）も大きくなりやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特許５７５２２９９号
【特許文献2】特許４８１４５５０号
【特許文献3】特許６６５０１７５号
【特許文献4】国際公開第２０２０／０６７１４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本技術は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、全熱抵抗値が低減された熱伝導性シートを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本願発明者らは、鋭意検討の結果、異方性熱伝導材料と、無機フィラーと、バインダ樹脂とを含む熱伝導性シートについて、ＳＣＩ（Specular Component Include）方式における、表面の特定の波長範囲における平均反射率と、ＳＣＥ（Specular Component Exclude）方式における、表面の特定の波長範囲における平均反射率との差分が所定値以上であり、かつ、ＳＣＩ方式とＳＣＥ方式における、表面の特定の波長範囲における平均反射率の差分に対する、ＳＣＩ方式とＳＣＥ方式における、表面の特定の波長範囲における平均反射率の差分の比が所定値以上であることにより、上述した課題を解決できることを見出した。
【0008】
本技術は、異方性熱伝導材料と、無機フィラーと、バインダ樹脂とを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる熱伝導性シートであって、ＳＣＩ方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上であり、かつ、ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である。
【0009】
本技術に係る熱伝導性シートの製造方法は、異方性熱伝導材料と、無機フィラーと、バインダ樹脂に異方性熱伝導材料が含有された熱伝導性組成物を所定の形状に成型して硬化させ、熱伝導性成形体を形成する工程と、熱伝導性成形体をシート状にスライスしてシート状成形体を得る工程と、シート状成形体表面を研磨して熱伝導性シートを形成する工程とを有し、熱伝導性シートを形成する工程では、熱伝導性シート表面が以下の条件１及び条件２を満たすように、シート状成形体表面を研磨する。
条件１：ＳＣＩ方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上である。
条件２：ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である。
条件１：ＳＣＩ方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上である。
条件２：ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である。
【0010】
本技術に係る熱伝導性シートの表面の平滑度の検査方法は、ＳＣＩ方式による、熱伝導性シートの表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式による、熱伝導性シートの表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）とを測定し、それらの差分（ＲSCI－ＲSCE）を求めることと、ΔＲ600-700nmに対する、ΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めることにより、熱伝導性シートの表面の平滑度を検査する。
【0011】
本技術に係る熱伝導性シートの製造方法は、異方性熱伝導材料と、無機フィラーと、バインダ樹脂とを含む熱伝導性組成物を所定の形状に成型して硬化させ、熱伝導性成形体を形成する工程と、熱伝導性成形体をシート状にスライスしてシート状成形体を得る工程と、ＳＣＩ方式による、シート状成形体の表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式による、シート状成形体の表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）とを測定し、それらの差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmを求めることと、ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めることにより、シート状成形体の表面の平滑度を検査する工程とを有する。
【発明の効果】
【0012】
本技術は、全熱抵抗値が低減された熱伝導性シートを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【発明を実施するための形態】
【0014】
本明細書において、平均粒子径（Ｄ５０）とは、粒子径分布全体を１００％とした場合に、粒子径分布の小粒子径側から粒子径の値の累積カーブを求めたとき、その累積値が５０％となるときの粒子径をいう。なお、本明細書における粒度分布（粒子径分布）は、体積基準によって求められたものである。粒度分布の測定方法としては、例えば、レーザー回折型粒度分布測定機を用いる方法が挙げられる。
【0015】
＜熱伝導性シート＞
図１は、本技術に係る熱伝導性シート１の一例を示す断面図である。熱伝導性シート１は、バインダ樹脂２と、異方性熱伝導材料３と、異方性熱伝導材料３以外の無機フィラー４とを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる。熱伝導性シート１は、異方性熱伝導材料３と無機フィラー４とがバインダ樹脂２に分散しており、異方性熱伝導材料３が熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに配向していることが好ましい。ここで、熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに異方性熱伝導材料３が配向しているとは、例えば、熱伝導性シート１中の全ての異方性熱伝導材料３のうち、熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに長軸が配向している異方性熱伝導材料３の割合が５０％以上であり、５５％以上であってもよく、６０％以上であってもよく、６５％以上であってもよく、７０％以上であってもよく、８０％以上であってもよく、９０％以上であってもよく、９５％以上であってもよく、９９％以上であってもよい。異方性熱伝導材料３の長軸が熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに配向しているとは、例えば、異方性熱伝導材料３の長軸が、熱伝導性シート１の面方向Ａに対して６０～１２０度の範囲であってもよく、７０～１００度の範囲であってもよく、９０度（略垂直）であってもよい。
図１は、本技術に係る熱伝導性シート１の一例を示す断面図である。熱伝導性シート１は、バインダ樹脂２と、異方性熱伝導材料３と、異方性熱伝導材料３以外の無機フィラー４とを含む熱伝導性組成物の硬化物からなる。熱伝導性シート１は、異方性熱伝導材料３と無機フィラー４とがバインダ樹脂２に分散しており、異方性熱伝導材料３が熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに配向していることが好ましい。ここで、熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに異方性熱伝導材料３が配向しているとは、例えば、熱伝導性シート１中の全ての異方性熱伝導材料３のうち、熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに長軸が配向している異方性熱伝導材料３の割合が５０％以上であり、５５％以上であってもよく、６０％以上であってもよく、６５％以上であってもよく、７０％以上であってもよく、８０％以上であってもよく、９０％以上であってもよく、９５％以上であってもよく、９９％以上であってもよい。異方性熱伝導材料３の長軸が熱伝導性シート１の厚み方向Ｂに配向しているとは、例えば、異方性熱伝導材料３の長軸が、熱伝導性シート１の面方向Ａに対して６０～１２０度の範囲であってもよく、７０～１００度の範囲であってもよく、９０度（略垂直）であってもよい。
【0016】
本技術に係る熱伝導性シート１は、以下の条件１，２を満たす。
【0017】
条件１：ＳＣＩ方式における、表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式における、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）との差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmのうち少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上である。
【0018】
条件２：ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）が９３％以上である。
【0019】
熱伝導性シート１が条件１，２を満たすことにより、熱伝導性シート１の表面（表層）がより平滑化される傾向にあり、熱伝導性シート１と被着体との接触面積が増大し、熱伝導性シート１と被着体との間にエアーが混入することが抑制されるため、接触熱抵抗を低減でき、結果として、全熱抵抗値を低減できる。
【0020】
熱伝導性シートの表面（表層）が粗くなるほど、例えば波長４００～７００ｎｍの範囲において、長波長の光が熱伝導性シートの表面の凹凸内に入り込んで拡散反射されやすい傾向にある。一方、熱伝導性シートの表面（表層）が平滑化されるほど、例えば波長４００～７００ｎｍの範囲において、長波長の光が熱伝導性シートの表面の凹凸内に入り込まず、正反射光成分が増加する傾向にある。したがって、熱伝導性シートの表面が平滑化されるほど、条件１，２を満たしやすい傾向にある。
【0021】
以下、熱伝導性シート１が満たす条件１，２について説明する。なお、条件１，２に関する反射率は、後述する実施例の方法で測定することができる。
【0022】
＜条件１＞
熱伝導性シート１は、ΔＲ400-500nm、すなわち、ＳＣＩ方式における、表面の波長４００～５００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCI（400-500nm））と、ＳＣＥ方式における、表面の４００～５００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCE（400-500nm））との差分と、ΔＲ500-600nm、すなわち、ＳＣＩ方式における、表面の波長５００～６００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCI（500-600nm））と、ＳＣＥ方式における、表面の５００～６００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCE（500-600nm））との差分と、ΔＲ600-700nm、すなわち、ＳＣＩ方式における、表面の波長６００～７００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCI（600-700nm））と、ＳＣＥ方式における、表面の６００～７００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCE（600-700nm））との差分のうち、少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上であればよく、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmが０．１％以上であってもよく、ΔＲ400-500nm及びΔＲ500-600nmが０．１％以上であってもよく、ΔＲ400-500nm及びΔＲ600-700nmが０．１％以上であってもよく、ΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmが０．１％以上であってもよい。
熱伝導性シート１は、ΔＲ400-500nm、すなわち、ＳＣＩ方式における、表面の波長４００～５００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCI（400-500nm））と、ＳＣＥ方式における、表面の４００～５００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCE（400-500nm））との差分と、ΔＲ500-600nm、すなわち、ＳＣＩ方式における、表面の波長５００～６００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCI（500-600nm））と、ＳＣＥ方式における、表面の５００～６００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCE（500-600nm））との差分と、ΔＲ600-700nm、すなわち、ＳＣＩ方式における、表面の波長６００～７００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCI（600-700nm））と、ＳＣＥ方式における、表面の６００～７００ｎｍの範囲における平均反射率（ＲSCE（600-700nm））との差分のうち、少なくともΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmの少なくとも一方が０．１％以上であればよく、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmが０．１％以上であってもよく、ΔＲ400-500nm及びΔＲ500-600nmが０．１％以上であってもよく、ΔＲ400-500nm及びΔＲ600-700nmが０．１％以上であってもよく、ΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmが０．１％以上であってもよい。
【0023】
＜ΔＲ400-500nm＞
熱伝導性シート１は、ΔＲ400-500nmが０．１５５％以上であってもよく、０．１６３％以上であってもよく、０．１６５％以上であってもよく、０．１６６％以上であってもよく、０．２０６％以上であってもよく、０．２２８％以上であってもよく、０．２５９％以上であってもよく、０．２６８％以上であってもよく、０.３４５％以上であってもよく、０．３５９％以上であってもよく、０．４２６％以上であってもよく、０．４３３％以上であってもよく、０．５５３％以上であってもよい。熱伝導性シート１のΔＲ400-500nmの上限値は、特に限定されないが、例えば、０．９００％以下とすることができ、０．６８５％以下であってもよく、０．６１１％以下であってもよい。
熱伝導性シート１は、ΔＲ400-500nmが０．１５５％以上であってもよく、０．１６３％以上であってもよく、０．１６５％以上であってもよく、０．１６６％以上であってもよく、０．２０６％以上であってもよく、０．２２８％以上であってもよく、０．２５９％以上であってもよく、０．２６８％以上であってもよく、０.３４５％以上であってもよく、０．３５９％以上であってもよく、０．４２６％以上であってもよく、０．４３３％以上であってもよく、０．５５３％以上であってもよい。熱伝導性シート１のΔＲ400-500nmの上限値は、特に限定されないが、例えば、０．９００％以下とすることができ、０．６８５％以下であってもよく、０．６１１％以下であってもよい。
【0024】
＜ΔＲ500-600nm＞
熱伝導性シート１は、ΔＲ500-600nmが０．１２５％以上であってもよく、０．１３７％以上であってもよく、０．１４１％以上であってもよく、０．１５８％以上であってもよく、０．１８９％以上であってもよく、０．２１９％以上であってもよく、０．２４１％以上であってもよく、０．２４３％以上であってもよく、０．３０３％以上であってもよく、０．３１６％以上であってもよく、０．３８１％以上であってもよく、０．３９３％以上であってもよく、０．５０５％以上であってもよい。熱伝導性シート１のΔＲ500-600nmの上限値は、特に限定されないが、例えば、０．９００％以下とすることができ、０．６３０％以下であってもよく、０．５５４％以下であってもよい。
熱伝導性シート１は、ΔＲ500-600nmが０．１２５％以上であってもよく、０．１３７％以上であってもよく、０．１４１％以上であってもよく、０．１５８％以上であってもよく、０．１８９％以上であってもよく、０．２１９％以上であってもよく、０．２４１％以上であってもよく、０．２４３％以上であってもよく、０．３０３％以上であってもよく、０．３１６％以上であってもよく、０．３８１％以上であってもよく、０．３９３％以上であってもよく、０．５０５％以上であってもよい。熱伝導性シート１のΔＲ500-600nmの上限値は、特に限定されないが、例えば、０．９００％以下とすることができ、０．６３０％以下であってもよく、０．５５４％以下であってもよい。
【0025】
＜ΔＲ600-700nm＞
熱伝導性シート１は、ΔＲ600-700nmが０．１２０％以上であってもよく、０．１２９％以上であってもよく、０．１３２％以上であってもよく、０．１５４％以上であってもよく、０．１８９％以上であってもよく、０．２２５％以上であってもよく、０．２４５％以上であってもよく、０．２９５％以上であってもよく、０．３７２％以上であってもよく、０．３８４％以上であってもよく、０．４８３％以上であってもよい。熱伝導性シート１のΔＲ600-700nmの上限値は、特に限定されないが、例えば、０．９００％以下とすることができ、０．６１２％以下であってもよく、０．５４６％以下であってもよい。
熱伝導性シート１は、ΔＲ600-700nmが０．１２０％以上であってもよく、０．１２９％以上であってもよく、０．１３２％以上であってもよく、０．１５４％以上であってもよく、０．１８９％以上であってもよく、０．２２５％以上であってもよく、０．２４５％以上であってもよく、０．２９５％以上であってもよく、０．３７２％以上であってもよく、０．３８４％以上であってもよく、０．４８３％以上であってもよい。熱伝導性シート１のΔＲ600-700nmの上限値は、特に限定されないが、例えば、０．９００％以下とすることができ、０．６１２％以下であってもよく、０．５４６％以下であってもよい。
【0026】
＜ＲSCI（400-500nm）＞
熱伝導性シート１は、ＲSCI（400-500nm）が９．６０２％以下であってもよく、８．６１６％以下であってもよく、８．４９１％以下であってもよく、８．３７９％以下であってもよく、８．２９１％以下であってもよく、８．２２９％以下であってもよく、８．２２９％以下であってもよく、８．１２４％以下であってもよく、８．０６４％以下であってもよく、８．０１９％以下であってもよく、７．８７９％以下であってもよく、７．７７４％以下であってもよく、７．６８９％以下であってもよく、７．４９８％以下であってもよく、７．２７２％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCI（400-500nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、７．１１３％以上であってもよい。
熱伝導性シート１は、ＲSCI（400-500nm）が９．６０２％以下であってもよく、８．６１６％以下であってもよく、８．４９１％以下であってもよく、８．３７９％以下であってもよく、８．２９１％以下であってもよく、８．２２９％以下であってもよく、８．２２９％以下であってもよく、８．１２４％以下であってもよく、８．０６４％以下であってもよく、８．０１９％以下であってもよく、７．８７９％以下であってもよく、７．７７４％以下であってもよく、７．６８９％以下であってもよく、７．４９８％以下であってもよく、７．２７２％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCI（400-500nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、７．１１３％以上であってもよい。
【0027】
＜ＲSCI（500-600nm）＞
熱伝導性シート１は、ＲSCI（500-600nm）が９．１９８％以下であってもよく、８．２９０％以下であってもよく、８．２８４％以下であってもよく、８．２１４％以下であってもよく、８．０６５％以下であってもよく、８．０３０％以下であってもよく、７．９９５％以下であってもよく、７．９３０％以下であってもよく、７．７８４％以下であってもよく、７．６０５％以下であってもよく、７．４７２％以下であってもよく、７．４５４％以下であってもよく、７．２５９％以下であってもよく、７．０５２％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCI（500-600nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．８９１％以上であってもよい。
熱伝導性シート１は、ＲSCI（500-600nm）が９．１９８％以下であってもよく、８．２９０％以下であってもよく、８．２８４％以下であってもよく、８．２１４％以下であってもよく、８．０６５％以下であってもよく、８．０３０％以下であってもよく、７．９９５％以下であってもよく、７．９３０％以下であってもよく、７．７８４％以下であってもよく、７．６０５％以下であってもよく、７．４７２％以下であってもよく、７．４５４％以下であってもよく、７．２５９％以下であってもよく、７．０５２％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCI（500-600nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．８９１％以上であってもよい。
【0028】
＜ＲSCI（600-700nm）＞
熱伝導性シート１は、ＲSCI（600-700nm）が８．９３０％以下であってもよく、８．３９３％以下であってもよく、８．２１０％以下であってもよく、８．０９５％以下であってもよく、８．０８４％以下であってもよく、８．０６０％以下であってもよく、７．９７５％以下であってもよく、７．９２２％以下であってもよく、７．７０３％以下であってもよく、７．４６０％以下であってもよく、７．３８６％以下であってもよく、７．３３８％以下であってもよく、７．１２２％以下であってもよく、６．９６８％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCI（600-700nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．７８９％以上であってもよい。
熱伝導性シート１は、ＲSCI（600-700nm）が８．９３０％以下であってもよく、８．３９３％以下であってもよく、８．２１０％以下であってもよく、８．０９５％以下であってもよく、８．０８４％以下であってもよく、８．０６０％以下であってもよく、７．９７５％以下であってもよく、７．９２２％以下であってもよく、７．７０３％以下であってもよく、７．４６０％以下であってもよく、７．３８６％以下であってもよく、７．３３８％以下であってもよく、７．１２２％以下であってもよく、６．９６８％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCI（600-700nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．７８９％以上であってもよい。
【0029】
＜ＲSCE（400-500nm）＞
熱伝導性シート１は、ＲSCE（400-500nm）が９．２４３％以下であってもよく、８．１２５％以下であってもよく、８．１１１％以下であってもよく、８．０６４％以下であってもよく、７．９７０％以下であってもよく、７．９１７％以下であってもよく、７．８８０％以下であってもよく、７．８６５％以下であってもよく、７．８３５％以下であってもよく、７．７１４％以下であってもよく、７．６１１％以下であってもよく、７．２５６％以下であってもよく、６．９２６％以下であってもよく、６．８１４％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCE（400-500nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．６８６％以上であってもよい。
熱伝導性シート１は、ＲSCE（400-500nm）が９．２４３％以下であってもよく、８．１２５％以下であってもよく、８．１１１％以下であってもよく、８．０６４％以下であってもよく、７．９７０％以下であってもよく、７．９１７％以下であってもよく、７．８８０％以下であってもよく、７．８６５％以下であってもよく、７．８３５％以下であってもよく、７．７１４％以下であってもよく、７．６１１％以下であってもよく、７．２５６％以下であってもよく、６．９２６％以下であってもよく、６．８１４％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCE（400-500nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．６８６％以上であってもよい。
【0030】
＜ＲSCE（500-600nm）＞
熱伝導性シート１は、ＲSCE（500-600nm）が８．８８２％以下であってもよく、７．９７３％以下であってもよく、７．８２２％以下であってもよく、７．８８９％以下であってもよく、７．８０５％以下であってもよく、７．７８５％以下であってもよく、７．７１１％以下であってもよく、７．６４６％以下であってもよく、７．４４７％以下であってもよく、７．３４７％以下であってもよく、７．３３０％以下であってもよく、７．０６１％以下であってもよく、６．７４９％以下であってもよく、６．６２９％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCE（500-600nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．５１０％以上であってもよい。
熱伝導性シート１は、ＲSCE（500-600nm）が８．８８２％以下であってもよく、７．９７３％以下であってもよく、７．８２２％以下であってもよく、７．８８９％以下であってもよく、７．８０５％以下であってもよく、７．７８５％以下であってもよく、７．７１１％以下であってもよく、７．６４６％以下であってもよく、７．４４７％以下であってもよく、７．３４７％以下であってもよく、７．３３０％以下であってもよく、７．０６１％以下であってもよく、６．７４９％以下であってもよく、６．６２９％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCE（500-600nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．５１０％以上であってもよい。
【0031】
＜ＲSCE（600-700nm）＞
熱伝導性シート１は、ＲSCE（600-700nm）が８．６３５％以下であってもよく、７．９６５％以下であってもよく、７．８７１％以下であってもよく、７．８５１％以下であってもよく、７．８４７％以下であってもよく、７．７９０％以下であってもよく、７．７５１％以下であってもよく、７．５７４％以下であってもよく、７．６０１％以下であってもよく、７．３０６％以下であってもよく、７．２６６％以下であってもよく、６．９５５％以下であってもよく、６．５１０％以下であってもよく、６．６７４％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCE（600-700nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．４１７％以上であってもよい。
熱伝導性シート１は、ＲSCE（600-700nm）が８．６３５％以下であってもよく、７．９６５％以下であってもよく、７．８７１％以下であってもよく、７．８５１％以下であってもよく、７．８４７％以下であってもよく、７．７９０％以下であってもよく、７．７５１％以下であってもよく、７．５７４％以下であってもよく、７．６０１％以下であってもよく、７．３０６％以下であってもよく、７．２６６％以下であってもよく、６．９５５％以下であってもよく、６．５１０％以下であってもよく、６．６７４％以下であってもよい。熱伝導性シート１のＲSCE（600-700nm）の下限値は、特に限定されないが、例えば、６．４１７％以上であってもよい。
【0032】
＜条件２＞
熱伝導性シート１は、ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nmが９３％以上であり、９３．４％以上であってもよく、９３．５％以上であってもよく、９４．０％以上であってもよく、９５．７％以上であってもよく、９６．０％以上であってもよく、９７．１％以上であってもよく、９７．３％以上であってもよく、９７．６％以上であってもよく、９７．７％以上であってもよく、９８．６％以上であってもよく、１００．０％以上であってもよく、１００．７％以上であってもよく、１０１．５％以上であってもよい。熱伝導性シート１のΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nmの上限値は、特に限定されないが、例えば、１０２．５％以下であってもよい。
熱伝導性シート１は、ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nmが９３％以上であり、９３．４％以上であってもよく、９３．５％以上であってもよく、９４．０％以上であってもよく、９５．７％以上であってもよく、９６．０％以上であってもよく、９７．１％以上であってもよく、９７．３％以上であってもよく、９７．６％以上であってもよく、９７．７％以上であってもよく、９８．６％以上であってもよく、１００．０％以上であってもよく、１００．７％以上であってもよく、１０１．５％以上であってもよい。熱伝導性シート１のΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nmの上限値は、特に限定されないが、例えば、１０２．５％以下であってもよい。
【0033】
＜全熱抵抗値＞
熱伝導性シート１は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される０．７ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が低いほど好ましい。熱伝導性シート１の全熱抵抗値は、後述する実施例の方法で測定することができる。熱伝導性シート１は、例えば、厚みを０．３ｍｍとしたときに、０．７ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が０．３００℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２５０℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２２７℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２２１℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２２０℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２１８℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２１４℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２０２℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１７５℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１６４℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１は、厚みを１．０ｍｍとしたときに、荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２における全熱抵抗値が０．３１２℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよい。また、熱伝導性シート１は、厚みを２．０ｍｍとしたときに、荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２における全熱抵抗値が０．５０２℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１の０．７ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値の下限値は、特に限定されず、より低い値であることが好ましく、０℃・ｃｍ２／Ｗを超え、例えば０．０５℃・ｃｍ２／Ｗ以上となり得る。熱伝導性シート１は、厚みを０．３ｍｍとしたときに、０．７ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が、０．１７５～０．２５０℃・ｃｍ２／Ｗの範囲であってもよい。
熱伝導性シート１は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される０．７ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が低いほど好ましい。熱伝導性シート１の全熱抵抗値は、後述する実施例の方法で測定することができる。熱伝導性シート１は、例えば、厚みを０．３ｍｍとしたときに、０．７ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が０．３００℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２５０℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２２７℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２２１℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２２０℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２１８℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２１４℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２０２℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１７５℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１６４℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１は、厚みを１．０ｍｍとしたときに、荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２における全熱抵抗値が０．３１２℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよい。また、熱伝導性シート１は、厚みを２．０ｍｍとしたときに、荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２における全熱抵抗値が０．５０２℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１の０．７ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値の下限値は、特に限定されず、より低い値であることが好ましく、０℃・ｃｍ２／Ｗを超え、例えば０．０５℃・ｃｍ２／Ｗ以上となり得る。熱伝導性シート１は、厚みを０．３ｍｍとしたときに、０．７ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が、０．１７５～０．２５０℃・ｃｍ２／Ｗの範囲であってもよい。
【0034】
熱伝導性シート１は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って測定される２．１ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が低いほど好ましい。熱伝導性シート１は、例えば、厚みを０．３ｍｍとしたときに、２．１ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が０．２２０℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２１４℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．２１２℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１９７℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１９４℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１８７℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１７６℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１６９℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１６８℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１６５℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１５８℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１５４℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよく、０．１４９℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１は、厚みを１．０ｍｍとしたときに、２．１ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が０．３０３℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよい。また、熱伝導性シート１は、厚みを２．０ｍｍとしたときに、２．１ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が０．５３０℃・ｃｍ２／Ｗ以下であってもよい。熱伝導性シート１の２．１ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値の下限値は、より低い値であることが好ましく、０℃・ｃｍ２／Ｗを超え、例えば０．０５℃・ｃｍ２／Ｗ以上となり得る。熱伝導性シート１は、厚みを０．３ｍｍとしたときに、２．１ｋｇｆ／ｃｍ２加圧時の全熱抵抗値が、０．１５４～０．２１４℃・ｃｍ２／Ｗの範囲であってもよい。
【0035】
図２は、熱伝導性シート１の表面の一例を示す断面図である。熱伝導性シート１は、例えば図２に示すように、少なくとも一方の表面が研磨面であり、この研磨面に研磨残渣５を有することが好ましい。換言すると、熱伝導性シート１は、少なくとも一方の表面が研磨面であり、この研磨面に、研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料からなる研磨残渣５を有することが好ましい。研磨残渣５は、例えば、バインダ樹脂２、異方性熱伝導材料３及び無機フィラー４を含有する熱伝導性組成物からなる塊状物である。熱伝導性シート１が表面に研磨残渣５を有することにより、熱伝導性シート１の表面をより平滑にすることができ、上述のように熱伝導性シート１が条件１，２を満たしやすい傾向にある。
【0036】
熱伝導性シート１が研磨残渣５を有するとは、熱伝導性シート１が条件１，２を満たす程度に熱伝導性シート１の表面に研磨残渣５が存在することが好ましく、例えば、表面全体に亘ってほぼ均一に研磨残渣５を有していてもよいし、例えば図２に示すように表面に部分的に（島状に）研磨残渣５を有していてもよい。熱伝導性シート１が表面に研磨残渣５を有するかどうかは、例えば、熱伝導性シート１の表面に粘着テープを貼り付けた後、この粘着テープを剥離することで、粘着テープに研磨残渣５が転着されるかどうかで確認できる。
【0037】
研磨残渣５の大きさについて、上述のように熱伝導性シート１が条件１，２を満たしやすくするためには、研磨残渣５の平均粒子径や最大粒子径が大きすぎないことが好ましい。例えば、研磨残渣５の平均粒子径は、５０μｍ以下であってもよいし、４０μｍ以下であってもよいし、３５μｍ以下であってもよいし、３０μｍ以下であってもよいし、２０μｍ以下であってもよいし、１５μｍ以下であってもよいし、１０μｍ以下であってもよいし、０．５～４０μｍの範囲であってもよい。研磨残渣５の平均粒子径について、異形の研磨残渣５の場合は、粒子の最も長い部分の長さ（径）を考慮する。また、研磨残渣５の最大粒子径は、例えば、１００μｍ以下であってもよいし、９０μｍ以下であってもよいし、８０μｍ以下であってもよいし、７０μｍ以下であってもよいし、５０～１００μｍの範囲であってもよい。
【0038】
熱伝導性シート１の厚みは、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、０．０５ｍｍ以上とすることができ、０．１ｍｍ以上であってもよく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．３ｍｍ以上であってもよい。また、熱伝導性シート１の厚みの上限値は、例えば、５ｍｍ以下とすることができ、４ｍｍ以下であってもよく、３ｍｍ以下であってもよく、２ｍｍ以下であってもよく、１ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。例えば、熱伝導性シート１の厚みは、例えば、熱伝導性シート１の厚みＢを任意の５箇所で測定し、その算術平均値から求めることができる。
【0039】
熱伝導性シート１は、シート自体の熱抵抗が低くなるにつれて被着体との間に生じる全熱抵抗中の接触熱抵抗の寄与が大きくなる傾向にある。上述のように、シートが薄くなるとその傾向は顕著となる。換言すると、熱伝導性シート１は、シート自体の熱伝導率が上がるほど全熱抵抗値中の接触熱抵抗の占有率が大きくなる。本技術では、異方性熱伝導材料３が厚み方向に配向した熱伝導性シート１について、熱伝導性シート１が上述した条件１，２を満たすことにより、接触熱抵抗を低減することができ、結果として、全熱抵抗値を低減することができる。特に、接触熱抵抗が大きくなる傾向がある薄い厚み（例えば、厚みが０．２～０．５ｍｍ）の範囲において効果を発揮するが、厚みはこの範囲にとどまらない。
【0040】
次に、熱伝導性シート１の構成例である、バインダ樹脂２と、異方性熱伝導材料３と、無機フィラー４について説明する。
【0041】
＜バインダ樹脂＞
バインダ樹脂２は、異方性熱伝導材料３と無機フィラー４とを熱伝導性シート１内に保持するためのものである。バインダ樹脂２は、熱伝導性シート１に要求される機械的強度、耐熱性、電気的性質等の特性に応じて選択される。バインダ樹脂２としては、熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー、熱硬化性樹脂の中から選択することができる。
バインダ樹脂２は、異方性熱伝導材料３と無機フィラー４とを熱伝導性シート１内に保持するためのものである。バインダ樹脂２は、熱伝導性シート１に要求される機械的強度、耐熱性、電気的性質等の特性に応じて選択される。バインダ樹脂２としては、熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー、熱硬化性樹脂の中から選択することができる。
【0042】
熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン－プロピレン共重合体等のエチレン－αオレフィン共重合体、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、エチレン－酢酸ビニル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、ポリフッ化ビニリデン及びポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、スチレン－アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル－ブタジエン－スチレン共重合体（ＡＢＳ）樹脂、ポリフェニレン－エーテル共重合体（ＰＰＥ）樹脂、変性ＰＰＥ樹脂、脂肪族ポリアミド類、芳香族ポリアミド類、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリメタクリル酸、ポリメタクリル酸メチルエステル等のポリメタクリル酸エステル類、ポリアクリル酸類、ポリカーボネート、ポリフェニレンスルフィド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルニトリル、ポリエーテルケトン、ポリケトン、液晶ポリマー、アイオノマー等が挙げられる。
【0043】
熱可塑性エラストマーとしては、スチレン－ブタジエンブロック共重合体又はその水添化物、スチレン－イソプレンブロック共重合体又はその水添化物、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマー、塩化ビニル系熱可塑性エラストマー、ポリエステル系熱可塑性エラストマー、ポリウレタン系熱可塑性エラストマー、ポリアミド系熱可塑性エラストマー等が挙げられる。
【0044】
熱硬化性樹脂としては、架橋ゴム、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、付加反応型シリコーン樹脂や縮合反応型シリコーン樹脂等が挙げられる。架橋ゴムの具体例としては、天然ゴム、アクリルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン－ブタジエン共重合ゴム、ニトリルゴム、水添ニトリルゴム、クロロプレンゴム、エチレン－プロピレン共重合ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、ブチルゴム、ハロゲン化ブチルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、及びシリコーンゴムが挙げられる。
【0045】
バインダ樹脂２としては、例えば、発熱体（例えば電子部品）の発熱面とヒートシンク面との密着性の観点では、シリコーン樹脂が好ましい。シリコーン樹脂としては、例えば、アルケニル基を有するシリコーン（ポリオルガノシロキサン）を主成分とし、硬化触媒を含有する主剤と、ヒドロシリル基（Ｓｉ－Ｈ基）を有する硬化剤とからなる、２液型の付加反応型シリコーン樹脂を用いることができる。アルケニル基を有するシリコーンとしては、１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するポリオルガノシロキサンを用いることができる。一例として、ビニル基を有するポリオルガノシロキサンを用いることができる。硬化触媒は、アルケニル基を有するシリコーン中のアルケニル基と、ヒドロシリル基を有する硬化剤中のヒドロシリル基との付加反応を促進するための触媒である。硬化触媒としては、ヒドロシリル化反応に用いられる触媒として周知の触媒が挙げられ、例えば、白金族系硬化触媒、例えば白金、ロジウム、パラジウムなどの白金族金属単体や塩化白金、白金と有機化合物の錯体などを用いることができる。ヒドロシリル基を有する硬化剤としては、例えば、ヒドロシリル基を有するポリオルガノシロキサン（ケイ素原子に直接結合した水素原子を１分子中に少なくとも２個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン）を用いることができる。
【0046】
バインダ樹脂２として、例えば、上述した２液型の付加反応型シリコーン樹脂を用いる場合、主剤となる成分（シリコーン主剤）と硬化剤となる成分との割合、すなわち、ビニル基を有するポリオルガノシロキサンと、ヒドロシリル基を有するポリオルガノシロキサンの混合比率は、特に限定されず、ビニル基１ｍｏｌに対してヒドロシリル基が０．３～０．９ｍｏｌの範囲となるような混合比率であってもよく、０．４～０．７ｍｏｌの範囲となるような混合比率でもあってもよい。
【0047】
熱伝導性シート１中のバインダ樹脂２の含有量は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、熱伝導性シート１中のバインダ樹脂２の含有量は、２０体積％以上とすることができ、２４体積％以上であってもよく、２６体積％以上であってもよく、２８体積％以上であってもよく、３０体積％以上であってもよく、３２体積％以上であってもよい。また、熱伝導性シート１中のバインダ樹脂２の含有量の上限値は、６０体積％以下とすることができ、５０体積％以下であってもよく、４０体積％以下であってもよく、３８体積％以下であってもよく、３５体積％以下であってもよく、３２体積％以下であってもよく、３０体積％以下であってもよく、２８体積％以下であってもよい。熱伝導性シート１中のバインダ樹脂２の含有量は、例えば、２８～３２体積％の範囲とすることができる。バインダ樹脂２は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上のバインダ樹脂２を併用する場合、その合計量が上述した含有量を満たすことが好ましい。
【0048】
＜異方性熱伝導材料＞
異方性熱伝導材料３は、形状に異方性を有する熱伝導性材料である。例えば、異方性熱伝導材料３の一例として、長軸と短軸とを有する熱伝導性フィラーが挙げられ、具体例として繊維状フィラーが挙げられる。異方性熱伝導材料３の一例である繊維状フィラーは、繊維状であって必要な熱伝導性を有するものであれば特に限定されず、例えば、炭素繊維、窒化アルミニウムウィスカーなどが挙げられる。以下では、異方性熱伝導材料３として、炭素繊維を用いた場合を例に挙げて詳述する。異方性熱伝導材料３とは、長軸と短軸とを有し、長軸と短軸の長さが異なりアスペクト比（平均長軸長さ／平均短軸長さ）が１を超える形状であるものを含む。異方性熱伝導材料３は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
異方性熱伝導材料３は、形状に異方性を有する熱伝導性材料である。例えば、異方性熱伝導材料３の一例として、長軸と短軸とを有する熱伝導性フィラーが挙げられ、具体例として繊維状フィラーが挙げられる。異方性熱伝導材料３の一例である繊維状フィラーは、繊維状であって必要な熱伝導性を有するものであれば特に限定されず、例えば、炭素繊維、窒化アルミニウムウィスカーなどが挙げられる。以下では、異方性熱伝導材料３として、炭素繊維を用いた場合を例に挙げて詳述する。異方性熱伝導材料３とは、長軸と短軸とを有し、長軸と短軸の長さが異なりアスペクト比（平均長軸長さ／平均短軸長さ）が１を超える形状であるものを含む。異方性熱伝導材料３は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【0049】
炭素繊維は、例えば、ピッチ系炭素繊維、ＰＡＮ系炭素繊維、ＰＢＯ繊維を黒鉛化した炭素繊維、アーク放電法、レーザー蒸発法、ＣＶＤ法（化学気相成長法）、ＣＣＶＤ法（触媒化学気相成長法）等で合成された炭素繊維を用いることができる。これらの中でも、熱伝導性の観点では、ピッチ系炭素繊維が好ましい。
【0050】
異方性熱伝導材料３の平均繊維長（平均長軸長さ）は、例えば、５０～２５０μｍとすることができ、７５～２２０μｍであってもよい。また、異方性熱伝導材料３の平均繊維径（平均短軸長さ）は、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、４～２０μｍとすることができ、５～１４μｍであってもよい。異方性熱伝導材料３のアスペクト比は、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、熱伝導性の観点では、８以上とすることができ、９～３０の範囲であってもよい。異方性熱伝導材料３の平均長軸長さ及び平均短軸長さは、例えば、マイクロスコープや走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で測定できる。
【0051】
熱伝導性シート１中の異方性熱伝導材料３の含有量は、熱伝導性シート１の熱伝導性の観点では、例えば、５体積％以上とすることができ、１０体積％以上であってもよく、１４積％以上であってもよく、２０体積％以上であってもよく、２２体積％以上であってもよく、２４体積％以上であってもよく、２６体積％以上であってもよい。また、熱伝導性シート１中の異方性熱伝導材料３の含有量は、熱伝導性シート１の成形性の観点では、例えば、３０体積％以下とすることができ、２８体積％以下であってもよい。熱伝導性シート１中の異方性熱伝導材料３の含有量は、例えば、２４～２８体積％の範囲とすることができる。２種以上の異方性熱伝導材料３を併用する場合、その合計量が上述した含有量を満たすことが好ましい。
【0052】
＜無機フィラー＞
無機フィラー４は、異方性熱伝導材料３以外の熱伝導性フィラーである。無機フィラー４には、例えば、球状、粉末状、顆粒状などの熱伝導性フィラーが含まれる。無機フィラー４の材質は、熱伝導性シート１の熱伝導性の観点では、例えば、セラミックフィラーが好ましく、具体例としては、酸化アルミニウム（アルミナ、サファイア）、窒化アルミニウム、アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ホウ素などが挙げられる。無機フィラー４は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。例えば、無機フィラー４として、平均粒子径が異なる２種以上の熱伝導性フィラーを併用してもよい。
無機フィラー４は、異方性熱伝導材料３以外の熱伝導性フィラーである。無機フィラー４には、例えば、球状、粉末状、顆粒状などの熱伝導性フィラーが含まれる。無機フィラー４の材質は、熱伝導性シート１の熱伝導性の観点では、例えば、セラミックフィラーが好ましく、具体例としては、酸化アルミニウム（アルミナ、サファイア）、窒化アルミニウム、アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ホウ素などが挙げられる。無機フィラー４は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。例えば、無機フィラー４として、平均粒子径が異なる２種以上の熱伝導性フィラーを併用してもよい。
【0053】
特に、無機フィラー４としては、熱伝導性シート１の熱伝導率や、熱伝導性シート１の比重の観点などを考慮して、酸化アルミニウム及び窒化アルミニウムから選択される少なくとも１種以上であることが好ましく、酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとを併用してもよい。
【0054】
窒化アルミニウムの平均粒子径は、例えば熱伝導性シート１の比重の観点では、０．１～１０μｍの範囲であってもよく、０．５～５μｍの範囲であってもよく、０．５～３μｍの範囲であってもよく、０．５～２μｍの範囲であってもよい。酸化アルミニウムの平均粒子径は、例えば熱伝導性シート１の比重の観点では、０．１～１０μｍの範囲とすることができ、０．１～８μｍの範囲であってもよく、０．１～７μｍの範囲であってもよく、０．１～３μｍの範囲であってもよい。
【0055】
熱伝導性シート１中の無機フィラー４の含有量は、目的に応じて適宜選択することができる。熱伝導性シート１中における無機フィラー４の含有量は、例えば、１０体積％以上とすることができ、１５体積％以上であってもよく、２０体積％以上であってもよく、２５体積％以上であってもよく、３０体積％以上であってもよく、３５体積％以上であってもよく、３９体積％以上であってもよく、４５体積％以上であってもよい。また、熱伝導性シート１中の無機フィラー４の含有量の上限値は、例えば、５５体積％以下とすることができ、５０体積％以下であってもよく、４９体積％以下であってもよく、４７体積％以下であってもよく、４５体積％以下であってもよく、４０体積％以下であってもよい。熱伝導性シート１中における無機フィラー４の含有量は、例えば、３９～４７体積％の範囲とすることができる。２種以上の無機フィラー４を併用する場合、その合計量が上述した含有量を満たすことが好ましい。
【0056】
無機フィラー４として、例えば、酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとを併用する場合、熱伝導性シート１中、窒化アルミニウムの含有量を１０～３５体積％の範囲とし、酸化アルミニウムの含有量を５～２５体積％の範囲とすることができる。
【0057】
＜他の成分＞
熱伝導性シート１は、本技術の効果を損なわない範囲で、上述した成分以外の他の成分をさらに含有してもよい。他の成分としては、例えば、カップリング剤、分散剤、硬化促進剤、遅延剤、粘着付与剤、可塑剤、難燃剤、酸化防止剤、安定剤、着色剤、溶剤などが挙げられる。例えば、熱伝導性シート１は、異方性熱伝導材料３及び無機フィラー４の分散性をより向上させるために、カップリング剤で処理した異方性熱伝導材料３及び／又はカップリング剤で処理した無機フィラー４を用いてもよい。
熱伝導性シート１は、本技術の効果を損なわない範囲で、上述した成分以外の他の成分をさらに含有してもよい。他の成分としては、例えば、カップリング剤、分散剤、硬化促進剤、遅延剤、粘着付与剤、可塑剤、難燃剤、酸化防止剤、安定剤、着色剤、溶剤などが挙げられる。例えば、熱伝導性シート１は、異方性熱伝導材料３及び無機フィラー４の分散性をより向上させるために、カップリング剤で処理した異方性熱伝導材料３及び／又はカップリング剤で処理した無機フィラー４を用いてもよい。
【0058】
このような熱伝導性シート１の硬度は、研磨のしやすさと、シートの柔軟性による被着体への追従性の観点から、例えばショアＯＯ硬度として４０～９５であることが好ましい。
【0059】
＜熱伝導性シートの製造方法＞
次に、熱伝導性シート１の製造方法について説明する。熱伝導性シート１の製造方法は、以下の工程Ａと、工程Ｂと、工程Ｃとを有する。
次に、熱伝導性シート１の製造方法について説明する。熱伝導性シート１の製造方法は、以下の工程Ａと、工程Ｂと、工程Ｃとを有する。
【0060】
＜工程Ａ＞
工程Ａでは、バインダ樹脂２と、異方性熱伝導材料３と、無機フィラー４とを含む熱伝導性組成物を所定の形状に成型して硬化させ、熱伝導性組成物の成型体（熱伝導性成形体）を得る。
工程Ａでは、バインダ樹脂２と、異方性熱伝導材料３と、無機フィラー４とを含む熱伝導性組成物を所定の形状に成型して硬化させ、熱伝導性組成物の成型体（熱伝導性成形体）を得る。
【0061】
工程Ａの一例では、まず、異方性熱伝導材料３と無機フィラー４とをバインダ樹脂２に分散させることにより、バインダ樹脂２と、異方性熱伝導材料３と、無機フィラー４とを含む熱伝導性組成物を作製する。熱伝導性組成物は、バインダ樹脂２と、異方性熱伝導材料３と、無機フィラー４との他に、必要に応じて上述した他の成分を公知の手法により均一に混合することで調製できる。
【0062】
続いて、熱伝導性組成物を押出成形した後硬化し、柱状の硬化物（熱伝導性成形体）を得る。押出成形する方法は、特に制限されず、公知の各種押出成形法の中から、熱伝導性組成物の粘度や熱伝導性シート１に要求される特性等に応じて適宜採用できる。押出成形法において、熱伝導性組成物をダイより押し出す際、熱伝導性組成物中のバインダ樹脂２が流動し、その流動方向に沿って異方性熱伝導材料３が配向する。柱状の硬化物の大きさ・形状は、求められる熱伝導性シート１の大きさに応じて決めることができる。例えば、断面の縦の大きさが０．５～１５ｃｍで横の大きさが０．５～１５ｃｍの直方体が挙げられる。直方体の長さは必要に応じて決定すればよい。
【0063】
＜工程Ｂ＞
工程Ｂでは、工程Ａで得られた熱伝導性成形体をシート状に切断し、シート状成形体を得る。工程Ｂの一例では、工程Ａで得た柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し所定の厚みに切断してシート状成形体を得る。シート状成形体の表面（切断面）には、異方性熱伝導材料３が露出する。熱伝導性成形体の切断方法は、特に制限されず、熱伝導性成形体の大きさや機械的強度により、公知のスライス装置の中から適宜選択できる。熱伝導性成形体を得る際に押出成形法を採用する場合、押出し方向に異方性熱伝導材料３が配向しているものもあるため、熱伝導性成形体の切断方向としては、押出し方向に対して６０～１２０度であることが好ましく、７０～１００度の方向であることがより好ましく、９０度（略垂直）の方向であることがさらに好ましい。熱伝導性成形体の切断方向は、上記の他は特に制限はなく、熱伝導性シート１の使用目的等に応じて適宜選択できる。
工程Ｂでは、工程Ａで得られた熱伝導性成形体をシート状に切断し、シート状成形体を得る。工程Ｂの一例では、工程Ａで得た柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し所定の厚みに切断してシート状成形体を得る。シート状成形体の表面（切断面）には、異方性熱伝導材料３が露出する。熱伝導性成形体の切断方法は、特に制限されず、熱伝導性成形体の大きさや機械的強度により、公知のスライス装置の中から適宜選択できる。熱伝導性成形体を得る際に押出成形法を採用する場合、押出し方向に異方性熱伝導材料３が配向しているものもあるため、熱伝導性成形体の切断方向としては、押出し方向に対して６０～１２０度であることが好ましく、７０～１００度の方向であることがより好ましく、９０度（略垂直）の方向であることがさらに好ましい。熱伝導性成形体の切断方向は、上記の他は特に制限はなく、熱伝導性シート１の使用目的等に応じて適宜選択できる。
【0064】
＜工程Ｃ＞
通常、工程Ｂで得られるシート状成形体は、表面に凹凸が存在する。例えば、工程Ｂで得られるシート状成形体は、図２に示すように、表面に複数の凸部１ａと、凸部１ａに隣接した凹部とを有する。そのため、通常、工程Ｂで得られるシート状成形体は、上述した条件１，２を満たさない傾向にある。表面にこのような凹凸が存在するシート状成形体を用いると、シート状成形体と被着体との間にエアーが混入しやすくなり、シート状成形体の接触熱抵抗を低減するのが難しい傾向にある。また、従来の技術では、熱伝導性シートのバインダ樹脂を除去することにより炭素繊維を露出させる方法もあるが、圧力がかかり炭素繊維がシート内部に埋め込まれるとしても被着体と熱伝導性シートとの間の接触を損なうおそれがある。また、この場合、熱伝導性シートの表面から炭素繊維が突出するとしても、突出部の凹凸が大きいと接触性が損なわれるおそれがある。
通常、工程Ｂで得られるシート状成形体は、表面に凹凸が存在する。例えば、工程Ｂで得られるシート状成形体は、図２に示すように、表面に複数の凸部１ａと、凸部１ａに隣接した凹部とを有する。そのため、通常、工程Ｂで得られるシート状成形体は、上述した条件１，２を満たさない傾向にある。表面にこのような凹凸が存在するシート状成形体を用いると、シート状成形体と被着体との間にエアーが混入しやすくなり、シート状成形体の接触熱抵抗を低減するのが難しい傾向にある。また、従来の技術では、熱伝導性シートのバインダ樹脂を除去することにより炭素繊維を露出させる方法もあるが、圧力がかかり炭素繊維がシート内部に埋め込まれるとしても被着体と熱伝導性シートとの間の接触を損なうおそれがある。また、この場合、熱伝導性シートの表面から炭素繊維が突出するとしても、突出部の凹凸が大きいと接触性が損なわれるおそれがある。
【0065】
そこで、工程Ｃでは、熱伝導性シート１の表面が上述した条件１，２を満たすように、シート状成形体の表面を研磨する。このように、工程Ｃでは、工程Ｂで得られたシート状成形体の表面を研磨することにより、シート状成形体の表面の凸部１ａから削り出たバインダ樹脂２、異方性熱伝導材料３及び無機フィラー４によってシート状成形体の表面の凹部が被覆され（換言すると、凸部１ａから削り出された研磨残渣５が凹部に留まる）ことで、熱伝導性シート１の表面が上述した条件１，２を満たすことができ、熱伝導性シート１と被着体との接触面積が向上して、熱伝導性シート１と被着体との間にエアーが混入することを抑制し、熱伝導性シート１の接触熱抵抗を低減させることができる。また、これに加えて、ブリードしたバインダ樹脂２が熱伝導性シート１の表面を被覆することにより、熱伝導性シート１と被着体との接触面積がより向上し、熱伝導性シート１と被着体との間にエアーが混入することがより効果的に抑制され、熱伝導性シート１の接触熱抵抗をさらに低減させることができると考えられる。
【0066】
また、通常、熱伝導性シートの表面が十分に平滑化されたかどうか、換言すると、十分な表面処理が施されたかどうかは、熱伝導性シートのロットの数量に対して、その母集団の特性を十分に把握できるように熱特性の評価を行ったうえで、表面処理の状態を把握する必要がある。また、研磨の方法によっては、熱伝導性シートの表面全体に処理が施されず、微小な領域ごとに処理が施される場合もある。そのため、従来は、例えば半導体に実装される熱伝導性シートのサイズに対して十分に研磨処理が施されたかどうかを判断し、製造することは難しかった。
【0067】
一方、本技術に係る熱伝導性シート製造方法の工程Ｃでは、熱伝導性シート１の表面が上述した条件１，２を満たすように、シート状成形体の表面を研磨するため、熱伝導性シート１に対して十分に研磨処理が施されたかどうかを光学的な方法でより容易に判断することができる。また、本技術に係る熱伝導性シートの製造方法では、熱伝導性シート１の表面が上述した条件１，２を満たすように、シート状成形体の表面を研磨すればよく、上述のように、熱伝導性シートのロットの数量に対して、その母集団の特性を十分に把握できるように熱特性の評価を行わなくてもよいため、製法がより簡易となる。
【0068】
例えば、工程Ｃでは、シート状成形体を研磨部材によって研磨する。研磨部材としては、例えば、シート状成形体の表面に面接触させ研磨することができるものが挙げられる。このような研磨部材としては、例えば、紙やすり、ラッピングフィルム、ブラシが挙げられ、耐久性や砥粒の粒度の精度、処理量に応じて適宜選択される。ラッピングフィルムとは、基材となる樹脂製フィルムに接着剤を用いて砥粒を固定したフィルムである。ラッピングフィルムのようにシート状成形体の表面に面接触させて研磨することができる研磨部材を用いることにより、シート状成形体の表面の凸部１ａから削り出たバインダ樹脂２、異方性熱伝導材料３及び無機フィラー４によってシート状成形体の表面の凹部をより効率的に被覆できる。
【0069】
ラッピングフィルムは、例えば、基材としてポリエステルフィルムを用い、砥粒として平均粒子径２～４０μｍの酸化アルミニウムを用いたものを用いることができる。あるいは、砥粒の粒度を示すものとして公称値で＃４００～＃６０００のラッピングフィルムを用いることができる。ラッピングフィルムのサイズや厚みは、研磨するシート状成形体の大きさに応じて適宜変更することができる。例えば、ラッピングフィルムの厚みは、０．０１～０．５ｍｍとすることができる。
【0070】
図３は、研磨部材の一例であるブラシ６の斜視図である。ブラシ６は、例えば図３に示すように、柱状の基材７の長さ方向に毛材８が配列した形状を有する。毛材８は、複数の毛の束であり、長さＢと、奥行きＣと、幅Ａを有する。ブラシ６の材質は、特に限定されず、例えば、汎用性、耐摩耗性、柔軟性、曲げ復元性等の観点では、ナイロン、アクリル、塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリフェニレンスルファイド、銅、真鍮、ステンレス、馬、豚、羊などのブラシ用として扱われる材料が挙げられ、研磨効率を向上させる研磨剤、研磨紛のブラシへ汚染などを防止する静電処理、導通処理などを施したものも、使用することが可能である。なお、好ましくは毛の太さが０．０５ｍｍ～２．２ｍｍ、毛の長さが１～１００ｍｍであり、熱伝導性組成物の材料、硬さ、熱プレスなどの処理の有無、処理の程度、処理速度など、本発明を損なわない範囲にて適宜選択し組み合わせて使用することができる。
【0071】
図４は、シート状成形体９の表面をブラシ６で研磨する方法の一例を説明するための斜視図である。研磨部材としてブラシ６を用いて、１枚ずつシート状成形体９において研磨処理を行なう場合、図示しない吸着パッドやテープなどの固定手段で、シート状成形体９の研磨しようとする面の背面、または研磨処理を開始する側の端部を仮止めすることが好ましい。テープを用いた仮固定の例として、例えば図４中のＤ１の方向にブラシ６で研磨する場合は、シート状成形体９の一端側９Ａを仮固定し、固定されていない他端側９Ｂに向かってブラシ６を移動する。シート状成形体９の背面を仮固定する場合は、ブラシ６の移動方向に制限はない。ブラシ６の移動手段は、手動であっても自動であってもよい。シート状成形体９を研磨する場合には、毛材８の先端がＡ方向全体でシート状成形体９の表面に接触するようにしならせつつ、毛材８の先端で撫でるように、ブラシ６を移動させることが好ましい。
【0072】
研磨方法は、シート状成形体９表面の一端側９Ａから他端側９Ｂに一方向に研磨部材を移動させることに限定されない。例えばシート状成形体９表面の一端側９Ａから他端側９Ｂに亘って研磨部材で研磨することと、シート状成形体９表面の他端側９Ｂから一端側９Ａに亘って研磨部材で研磨することを繰り返す、すなわち、研磨部材を、シート状成形体９表面の一端側９Ａと他端側９Ｂに亘って往復して研磨してもよい。一例としてブラシ６を用いる場合、図４においてシート状成形体９表面の一端側９Ａから他端側９Ｂに亘って、Ｄ１方向とＤ２方向に往復して研磨してもよい。図５は、複数のシート状成形体の表面を連続してブラシで研磨する方法の一例を説明するための斜視図である。図５に示すように、複数の熱伝導性シート１を連続して研磨処理する場合には、例えば、研磨部材を固定し、シート状成形体９をコンベア１０上に複数枚配置し、コンベア１０を移動させることで複数のシート状成形体９を連続して研磨処理してもよい。コンベア１０の移動方向は、図５中のＤ３方向またはＤ４方向の一方向であってもよいし、Ｄ３方向とＤ４方向に往復してもよい。また、複数のブラシを設置して使用することも可能である。更には、ロール状ブラシを回転させて使用しても良い。
【0073】
研磨方法について、シート状成形体９の片面のみを研磨処理してもよいし、シート状成形体９の片面を研磨処理した後、他方の面も研磨処理してもよい。
【0074】
研磨部材としてラッピングフィルムを用いる場合、シート状成形体９の表面にラッピングフィルムを接触させ、シート状成形体９及びラッピングフィルムの少なくともいずれか一方を移動させる限りにおいては、上述のブラシ６における研磨方法と同様に、移動方法や移動方向、配置や形状において各種の変形が可能である。
【0075】
研磨回数は、研磨方法や、研磨部材の種類、研磨部材の粒度などに応じて適宜変更することができる。研磨回数は、多いほどシート状成形体９の表面の凸部１ａから削り出たバインダ樹脂２、異方性熱伝導材料３及び無機フィラー４によってシート状成形体９の表面の凹部が被覆されやすいと考えられるため、一定回数以上とすることが好ましい。研磨回数は、例えば、１回以上とすることができ、１０回以上としてもよく、２０回以上としてもよく、３０回以上としてもよく、４０回以上としてもよく、５０回以上としてもよく、６０回以上としてもよく、７０回以上としてもよく、８０回以上としてもよく、９０回以上としてもよく、１００回以上としてもよく、２００回以上としてもよく、３００回以上としてもよく、４００回以上としてもよく、１００～１０００回の範囲としてもよく、１００～４００回の範囲としてもよい。なお、本明細書において、研磨回数とは、例えば図４において、シート状成形体９表面の一端側９Ａから他端側９Ｂに亘って一方向に研磨することを１回とし、また、他端側９Ｂから一端側９Ａに亘って一方向に研磨することも１回とする。また、図４において、シート状成形体９表面の一端側９Ａから他端側９Ｂに亘って一方向に研磨することと、他端側９Ｂから一端側９Ａに亘って一方向に研磨することを合わせて１往復とする。
【0076】
熱伝導性シート１が表面に有する研磨残渣５の大きさは、使用する研磨部材の材質や粒度により適宜変更できる。例えば、研磨部材としてラッピングフィルムやブラシ６を用いる場合は、研磨残渣５の最大サイズを１００μｍ以下とすることができ、０．５～１００μｍの範囲とすることもできる。
【0077】
研磨部材は、研磨する工程（工程Ｃ）において同一の粗さを持つ研磨部材であってもよい。研磨する工程において同一の粗さを持つ研磨部材とは、例えば、工程Ｃにおいて、砥粒の粒度が異なる２種以上の研磨部材を併用するのではなく、砥粒の粒度が同一の研磨部材を用いることを意味する。熱伝導性シート１の製造方法では、工程Ｃにおいて、同一の粗さを持つ研磨部材を用いてシート状成形体９を研磨した場合でも、上述した条件１，２を満たすことができ、熱伝導性シート１の全熱抵抗値を低減することができる。このように、熱伝導性シート１の製造方法では、工程Ｃにおける研磨について、砥粒の粒度が異なる２種以上の研磨部材を併用しなくても、熱伝導性シート１が上述した条件１，２を満たすことができるため、工程を簡素化できる。なお、熱伝導性シート１の製造方法の工程Ｃでは、砥粒の粒度が異なる２種以上の研磨部材を併用してもよい。
【0078】
このような工程Ａと、工程Ｂと、工程Ｃとを有する熱伝導性シートの製造方法によれば、上述した熱伝導性シート１が得られる。熱伝導性シート１の製造方法は、上述した例に限定されず、プレスする工程Ｄをさらに有していてもよい。工程Ｄは、工程Ｂと工程Ｃとの間であってもよく、工程Ｃの後であってもよい。例えば、熱伝導性シート１の製造方法の一例は、上述した工程Ａ～Ｃの他に、工程Ｂで得られたシート状成形体９の表面をプレスする工程Ｄをさらに有し、工程Ｃでは、工程Ｄでプレスしたシート状成形体９の表面を研磨して熱伝導性シート１を得るようにしてもよい。このような工程Ｄをさらに有することで、得られる熱伝導性シート１の表面がより平滑化され、他の部材との密着性をより向上させることができる。プレスの方法としては、平盤と表面が平坦なプレスヘッドとからなる一対のプレス装置を使用することができる。また、ピンチロールでプレスしてもよい。プレスの際の圧力としては、例えば、０．１～１００ＭＰａとすることができる。プレスの効果をより高め、プレス時間を短縮するために、プレスは、バインダ樹脂２のガラス転移温度（Ｔｇ）以上で行うことが好ましい。例えば、プレス温度は、０～１８０℃とすることができ、室温（例えば２５℃）～１００℃の温度範囲内であってもよく、３０～１００℃であってもよい。
【0079】
また、本技術は、上述した工程Ａと、工程Ｂと、工程Ｃとをこの順に有する熱伝導性シートの製造方法において、シート状成形体の表面の平滑度を検査する工程Ｅをさらに有してもよい。この工程Ｅでは、ＳＣＩ方式による、シート状成形体の表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式による、表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）とを測定し、それらの差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmを求めることと、ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めることにより、シート状成形体の表面の平滑度を検査する。具体例として、工程Ｅでは、工程Ｃで研磨したシート状成形体９の表面が上述した条件１，２を満たすかどうかを検査し、この検査結果に応じて、シート状成形体９の表面をさらに研磨するようにしてもよい。例えば、検査する工程で、条件１，２を満たさないと判断した場合、シート状成形体９の表面をさらに研磨するようにしてもよい。
【0080】
また、熱伝導性シートの製造方法の一例は、上述した工程Ａと、工程Ｂとをこの順に有する熱伝導性シートの製造方法において、少なくとも工程Ｂの後に工程Ｅをさらに有してもよい。
【0081】
また、熱伝導性シートの製造方法の一例は、上述した工程Ａと、工程Ｂと、工程Ｄとをこの順に有する熱伝導性シートの製造方法において、少なくとも工程Ｄの後に工程Ｅをさらに有してもよい。
【0082】
また、熱伝導性シートの製造方法の一例は、上述した工程Ａと、工程Ｂと、工程Ｄと、工程Ｃとをこの順に有する熱伝導性シートの製造方法において、少なくとも工程Ｃの後に工程Ｅをさらに有してもよい。
【0083】
＜熱伝導性シートの表面の平滑度の検査方法＞
本技術は、熱伝導性シートの表面の平滑度を検査する方法にも適用できる。検査方法の一例として、ＳＣＩ方式による、熱伝導性シートの表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式による、熱伝導性シートの表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）とを測定し、それらの差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmを求めることと、ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めることにより、熱伝導性シートの表面の平滑度を検査してもよい。具体例として、熱伝導性シートの表面が上述した条件１，２を満たすかどうかにより、熱伝導性シートの表面の平滑化度を検査してもよい。このような検査方法によれば、熱伝導性シートの表面が平滑かどうかを光学的な方法でより容易に判断することができる。
本技術は、熱伝導性シートの表面の平滑度を検査する方法にも適用できる。検査方法の一例として、ＳＣＩ方式による、熱伝導性シートの表面の波長４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各範囲における平均反射率（ＲSCI）と、ＳＣＥ方式による、熱伝導性シートの表面の４００～５００ｎｍ、波長５００～６００ｎｍ及び波長６００～７００ｎｍの各波長範囲における平均反射率（ＲSCE）とを測定し、それらの差分（ＲSCI－ＲSCE）であるΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm及びΔＲ600-700nmを求めることと、ΔＲ600-700nmに対するΔＲ500-600nmの比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めることにより、熱伝導性シートの表面の平滑度を検査してもよい。具体例として、熱伝導性シートの表面が上述した条件１，２を満たすかどうかにより、熱伝導性シートの表面の平滑化度を検査してもよい。このような検査方法によれば、熱伝導性シートの表面が平滑かどうかを光学的な方法でより容易に判断することができる。
【0084】
＜電子機器＞
熱伝導性シート１は、例えば、発熱体と放熱体との間に配置させることにより、発熱体で生じた熱を放熱体に逃がすためにそれらの間に配された構造の電子機器（サーマルデバイス）とすることができる。電子機器は、発熱体と放熱体と熱伝導性シート１とを少なくとも有し、必要に応じて、その他の部材をさらに有していてもよい。このように、熱伝導性シート１を適用した電子機器は、発熱体と放熱体との間に熱伝導性シート１が挟持されているため、熱伝導性シート１により高熱伝導性を実現しつつ、発熱体への熱伝導性シート１の密着性に優れ、熱伝導性シート１からのバインダ樹脂２の過剰なブリードを抑制できる。
熱伝導性シート１は、例えば、発熱体と放熱体との間に配置させることにより、発熱体で生じた熱を放熱体に逃がすためにそれらの間に配された構造の電子機器（サーマルデバイス）とすることができる。電子機器は、発熱体と放熱体と熱伝導性シート１とを少なくとも有し、必要に応じて、その他の部材をさらに有していてもよい。このように、熱伝導性シート１を適用した電子機器は、発熱体と放熱体との間に熱伝導性シート１が挟持されているため、熱伝導性シート１により高熱伝導性を実現しつつ、発熱体への熱伝導性シート１の密着性に優れ、熱伝導性シート１からのバインダ樹脂２の過剰なブリードを抑制できる。
【0085】
特に、熱伝導性シート１を適用した電子機器は、上述のように、熱伝導性シート１が上述した条件１，２を満たすため、熱伝導性シート１と被着体である発熱体や放熱体との接触面積がより増大し、熱伝導性シート１と被着体との間にエアーが混入することが抑制され、熱伝導性シート１の接触熱抵抗の低減に寄与し、結果として、全熱抵抗値を低減することができる。
【0086】
発熱体としては、特に限定されず、例えば、ＣＰＵ、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、フラッシュメモリなどの集積回路素子、トランジスタ、抵抗器など、電気回路において発熱する電子部品等が挙げられる。また、発熱体には、通信機器における光トランシーバ等の光信号を受信する部品も含まれる。
【0087】
放熱体としては、特に限定されず、例えば、ヒートシンクやヒートスプレッダなど、集積回路素子やトランジスタ、光トランシーバ筐体などと組み合わされて用いられるものが挙げられる。ヒートシンクやヒートスプレッダの材質としては、例えば、銅、アルミニウムなどが挙げられる。放熱体としては、ヒートスプレッダやヒートシンク以外にも、熱源から発生する熱を伝導して外部に放散させるものであればよく、例えば、放熱器、冷却器、ダイパッド、プリント基板、冷却ファン、ペルチェ素子、ヒートパイプ、ベーパーチャンバー、金属カバー、筐体等が挙げられる。ヒートパイプは、例えば、円筒状、略円筒状又は扁平筒状の中空構造体である。
【0088】
図６は、熱伝導性シートを適用した半導体装置の一例を示す断面図である。例えば、熱伝導性シート１は、図６に示すように、各種電子機器に内蔵される半導体装置５０に実装され、発熱体と放熱体との間に挟持される。図６に示す半導体装置５０は、電子部品５１と、ヒートスプレッダ５２と、熱伝導性シート１とを備え、熱伝導性シート１がヒートスプレッダ５２と電子部品５１との間に挟持される。熱伝導性シート１が、ヒートスプレッダ５２とヒートシンク５３との間に挟持されることにより、ヒートスプレッダ５２とともに、電子部品５１の熱を放熱する放熱部材を構成する。熱伝導性シート１の実装場所は、ヒートスプレッダ５２と電子部品５１との間や、ヒートスプレッダ５２とヒートシンク５３との間に限らず、電子機器や半導体装置の構成に応じて、適宜選択できる。ヒートスプレッダ５２は、例えば方形板状に形成され、電子部品５１と対峙する主面５２ａと、主面５２ａの外周に沿って立設された側壁５２ｂとを有する。ヒートスプレッダ５２は、側壁５２ｂに囲まれた主面５２ａに熱伝導性シート１が設けられ、主面５２ａと反対側の他面５２ｃに熱伝導性シート１を介してヒートシンク５３が設けられる。
【実施例0089】
以下、本技術の実施例について説明する。なお、本技術は、これらの実施例に限定されるものではない。
【0090】
＜実施例１＞
シリコーン樹脂３２体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）１４体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２５体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２８体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで０．３ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維が厚み方向に配向したシート状成形体を得た。
シリコーン樹脂３２体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）１４体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２５体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２８体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで０．３ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維が厚み方向に配向したシート状成形体を得た。
【0091】
実施例１では、図３に示すように、毛太さ０．２ｍｍ、毛長さ（図３中のＢ）２５ｍｍ、毛束（奥行：図３中のＣ）４ｍｍ、幅（図３中のＡ）７０ｍｍのナイロン製のブラシ６（角田ブラシ社製）を用いた。そして、図４に示すように、ブラシ６の毛材８の先端がＡ方向全体でシート状成形体９に接触するようにしならせつつ、毛材８の先端で撫でるように、シート状成形体９の表面の一端側から他端側に亘って一方向に４００回ブラシ６を移動させた。このようにシート状成形体９の表面を研磨することにより、熱伝導性シートを得た。研磨は、シート状成形体の両面に対して片面ずつ行った。実施例１で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0092】
＜実施例２＞
実施例２では、研磨回数を６００回に変更したこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。実施例２で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例２では、研磨回数を６００回に変更したこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。実施例２で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0093】
＜実施例３＞
実施例３では、研磨回数を１０００回に変更したこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。実施例３で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例３では、研磨回数を１０００回に変更したこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。実施例３で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0094】
＜実施例４＞
実施例４では、図４に示すように、ブラシ６の毛材８の先端がＡ方向全体でシート状成形体９に接触するようにしならせつつ、毛材８の先端で撫でるように、シート状成形体９表面の一端側から他端側に亘って一方向にブラシ６を移動させることと、シート状成形体９表面の他端側から一端側に亘って一方向にブラシ６を移動させることを合計で４００回（２００往復）行ったこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。すなわち、実施例４では、シート状成形体９表面の一端側と他端側に亘って往復して研磨したこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。実施例４で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例４では、図４に示すように、ブラシ６の毛材８の先端がＡ方向全体でシート状成形体９に接触するようにしならせつつ、毛材８の先端で撫でるように、シート状成形体９表面の一端側から他端側に亘って一方向にブラシ６を移動させることと、シート状成形体９表面の他端側から一端側に亘って一方向にブラシ６を移動させることを合計で４００回（２００往復）行ったこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。すなわち、実施例４では、シート状成形体９表面の一端側と他端側に亘って往復して研磨したこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。実施例４で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0095】
＜実施例５＞
実施例５では、図４に示すように、ブラシ６の毛材８の先端がＡ方向全体でシート状成形体９に接触するようにしならせつつ、毛材８の先端で撫でるように、シート状成形体９表面の一端側から他端側に亘って一方向にブラシ６を移動させることと、シート状成形体９表面の他端側から一端側に亘って一方向にブラシ６を移動させることを合計で６００回（３００往復）行ったこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。すなわち、実施例５では、シート状成形体９表面の一端側と他端側に亘って往復して研磨したこと以外は、実施例２と同様に熱伝導性シートを得た。実施例５で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例５では、図４に示すように、ブラシ６の毛材８の先端がＡ方向全体でシート状成形体９に接触するようにしならせつつ、毛材８の先端で撫でるように、シート状成形体９表面の一端側から他端側に亘って一方向にブラシ６を移動させることと、シート状成形体９表面の他端側から一端側に亘って一方向にブラシ６を移動させることを合計で６００回（３００往復）行ったこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。すなわち、実施例５では、シート状成形体９表面の一端側と他端側に亘って往復して研磨したこと以外は、実施例２と同様に熱伝導性シートを得た。実施例５で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0096】
＜実施例６＞
実施例６では、ナイロン製のブラシ６に替えて、厚みが約１００μｍである４０００番（＃４０００）のラッピングフィルム（３Ｍ社製）を用いて、シート状成形体９の表面の一端側から他端側に亘って一方向に研磨することと、シート状成形体９の表面の他端側から一端側に亘って一方向に研磨することを合計で２００回（１００往復）行ったこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。このように、実施例６では、シート状成形体９表面の一端側と他端側に亘って往復して研磨した。実施例６で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例６では、ナイロン製のブラシ６に替えて、厚みが約１００μｍである４０００番（＃４０００）のラッピングフィルム（３Ｍ社製）を用いて、シート状成形体９の表面の一端側から他端側に亘って一方向に研磨することと、シート状成形体９の表面の他端側から一端側に亘って一方向に研磨することを合計で２００回（１００往復）行ったこと以外は、実施例１と同様に熱伝導性シートを得た。このように、実施例６では、シート状成形体９表面の一端側と他端側に亘って往復して研磨した。実施例６で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0097】
＜実施例７＞
シリコーン樹脂２８体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）２２体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２５体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２４体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、６０℃のオーブンで４時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで０．３ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維が厚み方向に配向したシート状成形体を得た。
シリコーン樹脂２８体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）２２体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２５体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２４体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、６０℃のオーブンで４時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで０．３ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維が厚み方向に配向したシート状成形体を得た。
【0098】
そして、実施例７では、厚みが約１００μｍである６００番（＃６００）のラッピングフィルム（３Ｍ社製）を用いて、シート状成形体９の表面の一端側から他端側に亘って一方向に研磨することを２０回行って熱伝導性シートを得た。実施例７で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0099】
＜実施例８＞
実施例８では、研磨回数を５０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。実施例８で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例８では、研磨回数を５０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。実施例８で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0100】
＜実施例９＞
実施例９では、研磨回数を１００回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。実施例９で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例９では、研磨回数を１００回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。実施例９で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0101】
＜実施例１０＞
実施例１０では、厚みが約１００μｍである６００番（＃６００）のラッピングフィルムに替えて、厚みが約１００μｍである１０００番（＃１０００）のラッピングフィルムを用いたことと、研磨回数を１０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。実施例１０で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例１０では、厚みが約１００μｍである６００番（＃６００）のラッピングフィルムに替えて、厚みが約１００μｍである１０００番（＃１０００）のラッピングフィルムを用いたことと、研磨回数を１０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。実施例１０で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0102】
＜実施例１１＞
実施例１１では、研磨回数を２０回に変更したこと以外は、実施例１０と同様に熱伝導性シートを得た。実施例１１で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例１１では、研磨回数を２０回に変更したこと以外は、実施例１０と同様に熱伝導性シートを得た。実施例１１で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0103】
＜実施例１２＞
実施例１２では、研磨回数を５０回に変更したこと以外は、実施例１０と同様に熱伝導性シートを得た。実施例１２で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例１２では、研磨回数を５０回に変更したこと以外は、実施例１０と同様に熱伝導性シートを得た。実施例１２で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0104】
＜実施例１３＞
実施例１３では、研磨回数を１００回に変更したこと以外は、実施例１０と同様に熱伝導性シートを得た。実施例１３で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例１３では、研磨回数を１００回に変更したこと以外は、実施例１０と同様に熱伝導性シートを得た。実施例１３で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0105】
＜実施例１４＞
シリコーン樹脂２８体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）２２体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２３体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２６体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで１．０ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維が厚み方向に配向したシート状成形体を得た。その後、厚みが約１００μｍである４０００番（＃４０００）のラッピングフィルム（３Ｍ社製）を用いて、シート状成形体９の表面の一端側から他端側に亘って一方向に研磨することと、シート状成形体９の表面の他端側から一端側に亘って一方向に研磨することを合計で２００回（１００往復）行った。研磨は、シート状成形体の両面に対して行なった。得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
シリコーン樹脂２８体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）２２体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２３体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２６体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで１．０ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維が厚み方向に配向したシート状成形体を得た。その後、厚みが約１００μｍである４０００番（＃４０００）のラッピングフィルム（３Ｍ社製）を用いて、シート状成形体９の表面の一端側から他端側に亘って一方向に研磨することと、シート状成形体９の表面の他端側から一端側に亘って一方向に研磨することを合計で２００回（１００往復）行った。研磨は、シート状成形体の両面に対して行なった。得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0106】
＜実施例１５＞
実施例１５では、実施例１４の柱状の硬化物をスライサーで２．０ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）する以外は同じ作業を行った。このように、実施例１５では、シート状成形体９表面の一端側と他端側に亘って往復して研磨した。得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
実施例１５では、実施例１４の柱状の硬化物をスライサーで２．０ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）する以外は同じ作業を行った。このように、実施例１５では、シート状成形体９表面の一端側と他端側に亘って往復して研磨した。得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、表面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料を有していた。
【0107】
＜比較例１＞
比較例１では、実施例１で得られたシート状成形体をそのまま用いた。すなわち、比較例１では、シート状成形体の表面を研磨しなかったこと以外は、実施例１と同様に行った。
比較例１では、実施例１で得られたシート状成形体をそのまま用いた。すなわち、比較例１では、シート状成形体の表面を研磨しなかったこと以外は、実施例１と同様に行った。
【0108】
＜比較例２＞
比較例２では、実施例７で得られたシート状成形体をそのまま用いた。すなわち、比較例２では、シート状成形体の表面を研磨しなかったこと以外は、実施例７と同様に行った。
比較例２では、実施例７で得られたシート状成形体をそのまま用いた。すなわち、比較例２では、シート状成形体の表面を研磨しなかったこと以外は、実施例７と同様に行った。
【0109】
＜比較例３＞
比較例３では、研磨回数を１０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。
比較例３では、研磨回数を１０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。
【0110】
＜比較例４＞
比較例４では、厚みが約１００μｍである６００番（＃６００）のラッピングフィルムに替えて、厚みが約１００μｍである６０００番（＃６０００）のラッピングフィルムを用いたことと、研磨回数を１０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。
比較例４では、厚みが約１００μｍである６００番（＃６００）のラッピングフィルムに替えて、厚みが約１００μｍである６０００番（＃６０００）のラッピングフィルムを用いたことと、研磨回数を１０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。
【0111】
＜比較例５＞
比較例５では、厚みが約１００μｍである６００番（＃６００）のラッピングフィルムに替えて、厚みが約１００μｍである６０００番（＃６０００）のラッピングフィルムを用いたことと、研磨回数を２０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。
比較例５では、厚みが約１００μｍである６００番（＃６００）のラッピングフィルムに替えて、厚みが約１００μｍである６０００番（＃６０００）のラッピングフィルムを用いたことと、研磨回数を２０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。
【0112】
＜比較例６＞
比較例６では、厚みが約１００μｍである６００番（＃６００）のラッピングフィルムに替えて、厚みが約１００μｍである６０００番（＃６０００）のラッピングフィルムを用いたことと、研磨回数を５０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。
比較例６では、厚みが約１００μｍである６００番（＃６００）のラッピングフィルムに替えて、厚みが約１００μｍである６０００番（＃６０００）のラッピングフィルムを用いたことと、研磨回数を５０回に変更したこと以外は、実施例７と同様に熱伝導性シートを得た。
【0113】
＜比較例７＞
シリコーン樹脂２８体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）２２体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２３体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２６体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで１．０ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維が厚み方向に配向したシート状成形体を得た。研磨は行わなかった。
シリコーン樹脂２８体積％と、酸化アルミニウム（平均粒子径：約２μｍ）２２体積％と、窒化アルミニウム（平均粒子径：約１μｍ）２３体積％と、炭素繊維（平均繊維長：約１５０μｍ）２６体積％と、カップリング剤１体積％とを均一に混合することにより熱伝導性組成物を調製した。この熱伝導性組成物を、押出成形法により、直方体状の内部空間を有する金型（開口部：５０ｍｍ×５０ｍｍ）中に流し込み、１００℃のオーブンで６時間加熱して、柱状の硬化物（成形体ブロック）を形成した。なお、金型の内面には、剥離処理を行なったポリエチレンテレフタレートフィルムを、剥離処理面が内側となるように貼り付けておいた。得られた柱状の硬化物を柱の長さ方向に対し略直交する方向に、柱状の硬化物をスライサーで１．０ｍｍ厚のシート状に切断（スライス）することにより、炭素繊維が厚み方向に配向したシート状成形体を得た。研磨は行わなかった。
【0114】
＜比較例８＞
比較例８では、シート状成形体の厚みを２．０ｍｍとした以外は、比較例７と同様にしてシート状成形体を得た。
比較例８では、シート状成形体の厚みを２．０ｍｍとした以外は、比較例７と同様にしてシート状成形体を得た。
【0115】
＜反射率の測定＞
各実施例及び比較例で得られた熱伝導性シート（シート状成形体）について、分光測色計（コニカミノルタ社製、品番：ＣＭ－２６００ｄ）のターゲットマスク（直径８ｍｍのリング）上に熱伝導性シートを載せ、ＳＣＩ方式による波長４００～７００ｎｍの範囲の反射率を測定し、続けて、同じ測定箇所についてＳＣＥ方式による波長４００～７００ｎｍの範囲の反射率を測定した。次に、波長ごとに得られた反射率から、波長４００～５００ｎｍの範囲の平均反射率と、波長５００～６００ｎｍの範囲の平均反射率と、波長６００～７００ｎｍの範囲の平均反射率とを求め、ＳＣＩ方式における平均反射率（ＲSCI（400-500nm）、ＲSCI（500-600nm）、ＲSCI（600-700nm））と、ＳＣＥ方式における平均反射率（ＲSCE（400-500nm）、ＲSCE（500-600nm）、ＲSCE（600-700nm））を求めた。そして、得られた各平均反射率を用いて、ＳＣＩ方式による平均反射率とＳＥＣ方式による平均反射率との差分（ΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm、ΔＲ600-700nm）、すなわち、正反射分の反射率を求めた。さらに、波長６００～７００ｎｍの範囲の正反射分の反射率と、波長５００～６００ｎｍの正反射分の反射率の比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めた。結果を表１に示す。
各実施例及び比較例で得られた熱伝導性シート（シート状成形体）について、分光測色計（コニカミノルタ社製、品番：ＣＭ－２６００ｄ）のターゲットマスク（直径８ｍｍのリング）上に熱伝導性シートを載せ、ＳＣＩ方式による波長４００～７００ｎｍの範囲の反射率を測定し、続けて、同じ測定箇所についてＳＣＥ方式による波長４００～７００ｎｍの範囲の反射率を測定した。次に、波長ごとに得られた反射率から、波長４００～５００ｎｍの範囲の平均反射率と、波長５００～６００ｎｍの範囲の平均反射率と、波長６００～７００ｎｍの範囲の平均反射率とを求め、ＳＣＩ方式における平均反射率（ＲSCI（400-500nm）、ＲSCI（500-600nm）、ＲSCI（600-700nm））と、ＳＣＥ方式における平均反射率（ＲSCE（400-500nm）、ＲSCE（500-600nm）、ＲSCE（600-700nm））を求めた。そして、得られた各平均反射率を用いて、ＳＣＩ方式による平均反射率とＳＥＣ方式による平均反射率との差分（ΔＲ400-500nm、ΔＲ500-600nm、ΔＲ600-700nm）、すなわち、正反射分の反射率を求めた。さらに、波長６００～７００ｎｍの範囲の正反射分の反射率と、波長５００～６００ｎｍの正反射分の反射率の比（ΔＲ600-700nm／ΔＲ500-600nm）を求めた。結果を表１に示す。
【0116】
＜熱インピーダンス（全熱抵抗値）＞
実施例で得られた熱伝導性シート及び比較例で得られたシート状成形体を直径２０ｍｍのサイズに打ち抜き加工し、所定の圧力（０．７０ｋｆｇ／ｃｍ２又は２．１ｋｆｇ／ｃｍ２）での加圧条件下、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って熱インピーダンス（全熱抵抗値）を測定した。測定は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に準拠した熱抵抗測定装置（デクセリアルズ株式会社製）を用いて行った。測定時の加圧時間は２５０秒間とし、熱インピーダンス値は２５０秒間のうち、最後の５０秒間の値の平均値とした。測定は、１枚の熱伝導性シートに対して、順次加圧条件を変えながら行なった。結果を表１に示す。
実施例で得られた熱伝導性シート及び比較例で得られたシート状成形体を直径２０ｍｍのサイズに打ち抜き加工し、所定の圧力（０．７０ｋｆｇ／ｃｍ２又は２．１ｋｆｇ／ｃｍ２）での加圧条件下、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に従って熱インピーダンス（全熱抵抗値）を測定した。測定は、ＡＳＴＭ－Ｄ５４７０に準拠した熱抵抗測定装置（デクセリアルズ株式会社製）を用いて行った。測定時の加圧時間は２５０秒間とし、熱インピーダンス値は２５０秒間のうち、最後の５０秒間の値の平均値とした。測定は、１枚の熱伝導性シートに対して、順次加圧条件を変えながら行なった。結果を表１に示す。
【0117】
【表1】
【0118】
【表2】
【0119】
実施例１～１５で得られた熱伝導性シートは、異方性熱伝導材料と、無機フィラーと、バインダ樹脂とを含む熱伝導性組成物の硬化物からなり、上述した条件１，２を満たすことにより、全熱抵抗値を低減できることが分かった。
【0120】
具体的に、実施例１～１３で得られた熱伝導性シートは、荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２おける全熱抵抗値が０．３００℃・ｃｍ２／Ｗ以下、具体的には０．２６３℃・ｃｍ２／Ｗ以下であることが分かった。また、実施例１～１３で得られた熱伝導性シートは、荷重２．１ｋｇｆ／ｃｍ２おける全熱抵抗値が０．２１４℃・ｃｍ２／Ｗ以下であることが分かった。
【0121】
実施例１～６で得られた熱伝導性シートは、低荷重域（荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２）における全熱抵抗値が、研磨処理を行っていない比較例１のシート状成形体と比較して、４０％以上軽減されていることが分かった。同様に、実施例７～１３で得られた熱伝導性シートは、低荷重域（荷重０．７ｋｇｆ／ｃｍ２）における全熱抵抗値が、研磨処理を行っていない比較例２のシート状成形体と比較して、４０％以上軽減されていることが分かった。
【0122】
実施例１～６で得られた熱伝導性シートは、高荷重域（荷重２．１ｋｇｆ／ｃｍ２）における全熱抵抗値が、研磨処理を行っていない比較例１のシート状成形体と比較して、２０％以上軽減されていることが分かった。同様に、実施例７～１３で得られた熱伝導性シートは、高荷重域（荷重２．１ｋｇｆ／ｃｍ２）における全熱抵抗値が、研磨処理を行っていない比較例２のシート状成形体と比較して、２０％以上軽減されていることが分かった。
【0123】
実施例１～１５で得られた熱伝導性シートは、表面が研磨面であり、研磨面に研磨により脱離した熱伝導性組成物の構成材料（研磨残渣）を有していた。この研磨残渣は、研磨によって生じた、シリコーン樹脂、炭素繊維及び無機フィラー（酸化アルミニウム、窒化アルミニウム）を含有する塊状物であることが確認された。
【0124】
一方、比較例１～６で得られた熱伝導性シート（又はシート状成形体）は、上述した条件１，２を満たさず、実施例１～１３の熱伝導性シートと比べて全熱抵抗値が高いことが分かった。具体的に、比較例１～６で得られた熱伝導性シート（又はシート状成形体）は、荷重０．７ｋｇｆ/ｃｍ２おける全熱抵抗値が０．３００℃・ｃｍ２／Ｗを超えることが分かった。
【0125】
実施例１４，１５と、比較例７，８は、実施例１～１３、比較例１～６よりも熱伝導性シートないしシート状成形体の厚みが厚いものである。厚みの薄い熱伝導性シートのみならず、厚みが厚い熱伝導性シートにおいても、上述した条件１，２を満たすことにより、全熱抵抗値を低減できることが分かった。
【符号の説明】
【0126】
１ 熱伝導性シート、１ａ 凸部、２ バインダ樹脂、３ 異方性熱伝導材料、４ 無機フィラー、５ 研磨残渣、６ ブラシ、７ 基材、８ 毛材、９ シート状成形体、１０ コンベア、５０ 半導体装置、５１ 電子部品、５２ ヒートスプレッダ、５２ａ 主面、５２ｂ 側壁、５２ｃ 他面、５３ ヒートシンク
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】