特開 2023-153248 Ｘ線検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023153248

(43)【公開日】2023-10-17

(54)【発明の名称】Ｘ線検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01T 7/00 20060101AFI20231005BHJP

   G01N 23/04 20180101ALI20231005BHJP

   G01N 23/18 20180101ALI20231005BHJP

【ＦＩ】

G01T7/00 A

G01N23/04

G01N23/18

【審査請求】有

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023131854

(22)【出願日】2023-08-14

(62)【分割の表示】P 2018053046の分割

【原出願日】2018-03-20

(71)【出願人】

【識別番号】000147833

【氏名又は名称】株式会社イシダ

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100180851

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼口 誠

(72)【発明者】

【氏名】近藤 慎吾

(57)【要約】

【課題】Ｘ線検出部の温度変化を抑制することができる、Ｘ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送する搬送部５と、搬送部５によって搬送される物品ＧにＸ線を照射するＸ線照射部６と、物品Ｇを透過したＸ線を検出するＸ線検出部７と、内部に前記Ｘ線による物品Ｇの検査が実施される検査領域Ｒが設けられた筐体２と、熱交換により冷却された冷気を供給する冷風機４０と、冷風機４０から供給された冷気をＸ線照射部６及びＸ線検出部７のそれぞれに導風する流路である通風路５０，６１，６２と、を備える。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を搬送する搬送部と、
前記搬送部によって搬送される物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、
前記物品を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
内部に前記Ｘ線による前記物品の検査が実施される検査領域が設けられた筐体と、
熱交換により冷却された冷気を供給する冷風機と、
前記冷風機から供給された冷気を前記Ｘ線照射部及び前記Ｘ線検出部のそれぞれに導風する流路である通風路と、を備える、Ｘ線検査装置。

【請求項2】

前記通風路は、前記冷風機の供給口に接続されている、請求項１に記載のＸ線検査装置。

【請求項3】

前記通風路は、前記Ｘ線照射部及び前記Ｘ線検出部のそれぞれに分岐して導風する、請求項１又は２記載のＸ線検査装置。

【請求項4】

前記Ｘ線検出部は、前記Ｘ線検出部を制御する制御基板を含む、請求項１～３の何れか一項記載のＸ線検査装置。

【請求項5】

前記Ｘ線検出部は、前記Ｘ線検出部を制御する制御基板と共に、ユニットとして一体的に形成されている、請求項４記載のＸ線検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、Ｘ線検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来のＸ線検査装置としては、例えば、特許文献１に記載されている装置が知られている。特許文献１に記載のＸ線検査装置は、Ｘ線照射部（Ｘ線発生器）から発生する熱を外部へ導く通風路と、通風路の一部をなすと共にＸ線照射部を密封する基板と、基板を貫通して設けられ、Ｘ線照射部において発生する熱を通風路に伝達する冷却フィンと、を備えている。特許文献１のＸ線検査装置では、Ｘ線照射部の冷却を図ることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００１－３１８０６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

Ｘ線検査装置は、Ｘ線照射部が照射するＸ線を検出するラインセンサ等のＸ線検出部を備えている。このようなＸ線検出部は、熱等の影響によってノイズが増える等の不具合が発生し、検出精度が低下するおそれがある。したがって、Ｘ線検出部の温度は、可能な限り一定に維持されることが好ましい。上記従来のＸ線検査装置では、Ｘ線照射部の冷却を図ることはできるものの、Ｘ線検出部の温度変化を抑制することはできない。

【0005】

そこで、本発明は、Ｘ線検出部の温度変化を抑制することができる、Ｘ線検査装置を提供すること目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線を照射するＸ線照射部と、Ｘ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部の少なくとも一部に対して空気を導風する導風部と、を備える。

【0007】

この構成のＸ線検査装置では、導風部によって導風される空気によって、Ｘ線検出部を冷やすことが可能になる。これにより、Ｘ線検出部における温度の変化を抑制することができる。

【0008】

本発明に係るＸ線検査装置では、Ｘ線検出部は、複数のエネルギー帯のＸ線を検出するセンサであってもよい。この構成のＸ線検査装置では、例えば、相対的に高いエネルギー帯のＸ線によって取得できる透過画像と相対的に低いエネルギー帯のＸ線によって取得できる透過画像とを同時に得ることができる。

【0009】

本発明に係るＸ線検査装置では、Ｘ線検出部は、Ｘ線検出部を制御する制御基板と共に、ユニットとして一体的に形成されており、導風部は、ユニットの少なくとも一部に対して空気を導風してもよい。この構成のＸ線検査装置では、発熱量の大きい制御基板がＸ線検出部と一体的に形成されている場合であっても、Ｘ線検出部における温度の変化を抑制することができる。

【0010】

本発明に係るＸ線検査装置では、導風部は、空気の流路である通風路と、通風路に空気を給気するファン、及び通風路から空気を排気するファンの少なくとも一方と、を有してもよい。これにより、より効果的に、Ｘ線検出部に空気を導風することができる。

【0011】

本発明に係るＸ線検査装置では、通風路とファンとは、シール部材を介して接続されてもよい。この構成のＸ線検査装置では、通風路とファンとが気密に接続されるので、これにより、より効果的に、Ｘ線検出部に空気を導風することができる。

【0012】

本発明に係るＸ線検査装置では、通風路に冷気を供給する冷風機を更に備え、通風路は、分岐部を有し、冷風機によって供給された冷たい空気は、分岐部を介してＸ線検出部とＸ線照射部とに導風されてもよい。この構成のＸ線検査装置では、Ｘ線照射部に冷気を供給することができる。また、Ｘ線照射部冷却用の冷風機を利用することができる。

【0013】

本発明に係るＸ線検査装置では、通風路から空気が排気される一端は、冷風機において空気を給気する給気口に向かって開口していてもよい。この構成のＸ線検査装置では、冷風機と通風路との間で、効果的にＸ線検出部を冷却することができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、Ｘ線検出部の温度変化を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】一実施形態に係るＸ線検査装置の外観を示す斜視図である。

【図2】図１のＸ線検査装置の断面側面図である。

【図3】図１のＸ線検査装置の背面ドアを開放した状態の斜視図である。

【図4】図１のＸ線検査装置の筐体内部を示す斜視図である。

【図5】図４のＸ線検出部に面するように配置された通風路を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。図１、図２及び図５には、説明の便宜のため、「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」方向を設定するが、実施形態はこれらの方向に限定されない。

【0017】

図１～図４に示されるように、Ｘ線検査装置１は、筐体２と、支持脚３と、搬送部５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、表示操作部８と、制御部１０と、を備えている。Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送しつつ物品ＧのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査（例えば、収納数検査、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等）を行う。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア（図示せず）によってＸ線検査装置１に搬入される。検査後の物品Ｇは、搬出コンベア（図示せず）によってＸ線検査装置１から搬出される。Ｘ線検査装置１によって不良品と判定された物品Ｇは、搬出コンベアの下流に配置された振分装置（図示省略）よって生産ライン外に振り分けられる。Ｘ線検査装置１によって良品と判定された物品Ｇは、当該振分装置をそのまま通過する。

【0018】

筐体２は、搬送部５、Ｘ線照射部６、Ｘ線検出部７、及び制御部１０を収容している。筐体２は、Ｘ線を遮蔽するステンレス鋼で形成されており、外部へのＸ線の漏洩を防止する。筐体２の内部には、Ｘ線による物品Ｇの検査が実施される検査領域Ｒが設けられている。筐体２には、検査領域Ｒに物品Ｇを搬送する搬入口４ａ及び検査領域Ｒから物品Ｇを搬出する搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ｇは、搬入コンベアから搬入口４ａを介して検査領域Ｒに搬入される。検査後の物品Ｇは、検査領域Ｒから搬出口４ｂを介して搬出コンベアに搬出される。搬入口４ａ及び搬出口４ｂのそれぞれには、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線遮蔽カーテン４ｃが設けられている。

【0019】

支持脚３は、筐体２を支持している。搬送部５は、搬入口４ａから検査領域Ｒを介して搬出口４ｂまで、搬送方向Ａに沿って物品Ｇを搬送する。搬送部５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。

【0020】

Ｘ線照射部６は、搬送部５によって搬送される物品ＧにＸ線を照射する。Ｘ線照射部６は、Ｘ線を出射するＸ線管（図示せず）と、Ｘ線管を絶縁性の冷却油内に浸漬した収容部６ａと、収容部６ａの下方に配置され、Ｘ線管から出射されたＸ線を搬送方向Ａに垂直な面内において扇状に広げるコリメータ６ｂと、を有する。収容部６ａの外周面には、上下方向に伸びる冷却フィン（図示せず）が設けられている。収容部６ａの上面には、収容部６ａの下方から上方に向かう風路を形成するファン６ｃが設けられている。

【0021】

Ｘ線検出部７は、第一ラインセンサ１１と、第二ラインセンサ１２と、を有している。第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２は、それぞれ、搬送方向Ａに垂直な水平方向に沿って一次元に配列されたＸ線検出素子によって構成されている。第一ラインセンサ１１は、物品Ｇ及び搬送部５の搬送ベルトを透過した低エネルギー帯のＸ線を検出する。第二ラインセンサ１２は、物品Ｇ、搬送部５の搬送ベルト及び第一ラインセンサ１１を透過した高エネルギー帯のＸ線を検出する。

【0022】

Ｘ線検出部７は、第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２を含んでいる。本実施形態では、第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２に制御基板１４を加え、Ｘ線検出ユニット７０ａとして構成されている。Ｘ線検出ユニット７０ａは、収容部９に収容されている。収容部９は、Ｘ線検出部７を上下前後左右方向から覆う筐体である。収容部９の上面には、Ｘ線照射部６から照射されるＸ線が通過するスリットが設けられている。

【0023】

図５に示されるように、収容部９は、第一流路（通風路）６１と、第二流路（通風路）６２と、配置部６３と、を有している。第一流路６１は、Ｘ線検出ユニット７０の少なくとも一部７０ａに面するように配置されており、一端６１ａから他端６１ｂまで延在する。本実施形態では、一端６１ａ及び他端６１ｂは、閉められた状態のドア２ａに向かって開口している。第一流路６１は、上下方向から見た平面視においてＵ字状に形成されている。第二流路６２は、第一流路６１と同様に、Ｘ線検出ユニット７０の少なくとも一部７０ａに面するように配置されており、一端６２ａから他端６２ｂまで延在する。本実施形態では、一端６２ａ及び他端６２ｂは、閉められた状態のドア２ａに向かって開口している。第一流路６１は、上下方向から見た平面視においてＵ字状に形成されている。配置部６３は、Ｘ線検出ユニット７０が配置される部位である。

【0024】

第一流路６１の他端６１ｂ及び第二流路６２の他端６２ｂには、排気ファン６６，６６を支持するブラケット６５が設けられている。第一流路６１の他端６１ｂ及び第二流路６２の他端６２ｂとブラケット６５とは、ガスケット（シール部材）６７を介して接続されている。また、第一流路６１の他端６１ｂ及び第二流路６２の他端６２ｂとブラケット６５とは、溶接等によって接続されてもよい。ブラケット６５は、排気ファン６６，６６の取付面６５ａが後斜め上方向に直交するように形成されている。すなわち、第一流路６１の他端６１ｂ及び第二流路６２の他端６２ｂは、後斜め上方向に直交するように開口している。排気ファン６６，６６から見て、上記後斜め上方向には、冷風機４０の給気口４２が配置されている。

【0025】

図２に示されるように、表示操作部８は、筐体２に設けられている。表示操作部８は、各種情報を表示すると共に、各種条件の入力を受け付ける。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して各種条件を入力することができる。

【0026】

図１及び図２に示されるように、制御部１０は、筐体２の内部に配置されている。制御部１０は、Ｘ線検査装置１の各部の動作を制御する。制御部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されている。制御部１０には、Ｘ線検出部７の第一ラインセンサ１１（図４参照）から低エネルギー帯のＸ線の検出結果が入力されると共に、Ｘ線検出部７の第二ラインセンサ１２（図４参照）から高エネルギー帯のＸ線の検出結果が入力される。制御部１０は、低エネルギー帯のＸ線の検出結果、及び高エネルギー帯のＸ線の検出結果に基づいて、物品Ｇに異物が含まれているか否かを判定する処理部として機能する。

【0027】

図１～図３に示されるように、Ｘ線検査装置１の後面には、冷風機４０が配置されている。冷風機４０は、筐体２内部及び筐体２外部の空気を給気口４２から給気し、給気した空気を熱交換器（図示しない）において熱交換し、熱交換により冷却された空気（冷気）を供給口４１からダクト（通風路）５０を介して筐体２内部に供給する。本実施形態では、冷風機４０は、筐体２を開閉可能にするドア２ａに取り付けられている。ドア２ａには、冷風機４０の下端を支持するブラケット４４が設けられている。

【0028】

ダクト５０は、ドア２ａを閉めた状態において前後方向に延在する第一ダクト５１と、第一ダクト５１から分岐部５４を介して分岐され、上下方向に延在する二つの分岐ダクト５２，５３と、を有している。第一ダクト５１は、一端５１ａと他端５１ｂとに開口を有し、一端５１ａと他端５１ｂとの間に分岐ダクト５２及び分岐ダクト５３に分岐する分岐部５４が設けられている。第一ダクト５１の一端５１ａは、供給口４１に接続されている。第一ダクト５１の他端５１ｂは、ドア２ａが閉められた状態において後方に向かって開口している。すなわち、ドア２ａが閉められた状態において、他端５１ｂは、コリメータ６ｂが配置された収容部６ａの下方の空間に向かって開口している。

【0029】

分岐ダクト５２は、一端５２ａと他端５２ｂとに開口を有する。分岐ダクト５２の一端５２ａは分岐部５４に接続される。分岐ダクト５２の他端５２ｂは、ドア２ａを閉めた状態において、第一流路６１の一端６１ａと対向するように、かつ近接するように設けられている（図５参照）。分岐ダクト５３は、一端５３ａと他端５３ｂとに開口を有する。分岐ダクト５３の一端５３ａは、分岐部５４に接続される。分岐ダクト５３の他端５３ｂは、ドア２ａを閉めた状態において、第二流路６２の一端６２ａと対向するように、かつ近接するように設けられている（図５参照）。

【0030】

次に、冷風機４０から供給される冷気の流れについて説明する。本実施形態では、Ｘ線検出部７の少なくとも一部に対して空気を導風する導風部は、上述した冷風機４０、第一流路６１、第二流路６２、及び排気ファン６６を含んで構成される。図２及び図３に示されるように、冷風機４０から供給される冷気は、冷風機４０の供給口４１から第一ダクト５１に供給される。第一ダクト５１に供給された冷気は、分岐部５４を介して分岐ダクト５２及び分岐ダクト５３に流れ込む。分岐ダクト５２に流れ込んだ冷気は、分岐ダクト５２の他端５２ｂから排気される。分岐ダクト５３に流れ込んだ冷気は、分岐ダクト５３の他端５３ｂから排気される。

【0031】

図５に示されるように、分岐ダクト５２の他端５２ｂから排気される冷気は、ドア２ａを閉めた状態において、第一流路６１の一端６１ａから第一流路６１に流入する。第一流路６１に流れ込んだ冷気は、図５に示される矢印のように、収容部９の後方から前方に向かって流れ、再び、前方から後方に向かって流れる。Ｘ線検出ユニット７０の一部に面する第一流路６１を流れる冷気は、Ｘ線検出ユニット７０から熱を奪う。そして、温度が上昇した空気（暖気）は、排気ファン６６によって第一流路６１の他端６１ｂから排気される。排気ファン６６から排気される暖気は、冷風機４０の給気口４２に向かって排気される。したがって、上記暖気は、冷風機４０の給気口４２から給気され、再び冷気として供給口４１から供給される。

【0032】

分岐ダクト５３の他端５３ｂから排気される冷気は、第一流路６１の一端６２ａから第二流路６２に流入する。第二流路６２に流れ込んだ冷気は、図５に示される矢印のように、収容部９の後方から前方に向かって流れ、再び、前方から後方に向かって流れる。Ｘ線検出ユニット７０の一部に面する第二流路６２を流れる冷気は、Ｘ線検出ユニット７０から熱を奪う。そして、温度が上昇した空気（暖気）は、排気ファン６６によって第二流路６２の他端６２ｂから排気される。排気ファン６６から排気される暖気は、冷風機４０の給気口４２に向かって排気される。したがって、上記暖気は、冷風機４０の給気口４２から給気され、再び冷気として供給口４１から供給される。

【0033】

図２に示される矢印のように、第一ダクト５１の他端５１ｂから排気される冷気は、収容部６ａの下方であって、コリメータ６ｂが配置された空間に向かって排気される。コリメータ６ｂが配置された空間に向かって排気された冷気は、ファン６ｃによって上方に導風（導流）される。このとき、収容部６ａの外周面に設けられた冷却フィンに沿って導風されるので、冷却フィンから熱を奪う。そして、温度が上昇した空気は、ファン６ｃによって冷風機４０の給気口４２に向かって導風される。したがって、上記空気は、冷風機４０の給気口４２から給気され、再び冷気として供給口４１から供給される。

【0034】

上記実施形態のＸ線検査装置１では、図５に示されるように、第一流路６１及び第二流路６２によって導風される空気によって、第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２を冷やすことが可能になる。これにより、第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２における温度の変化を抑制することができる。

【0035】

上記実施形態のＸ線検査装置１では、図５に示されるように、Ｘ線検出ユニット７０が一端６１ａ（一端６２ａ）から他端６１ｂ（他端６２ｂ）まで延在する第一流路６１（第二流路６２）に面しているので、Ｘ線検出ユニット７０において発生した熱（暖気）を収容部９の外部に導風、又は収容部９の外部からＸ線検出ユニット７０に冷気を導風することができる。この結果、Ｘ線検出ユニット７０における温度の変化を抑制することができる。

【0036】

上記実施形態のＸ線検査装置１では、Ｘ線検出ユニット７０は、複数のエネルギー帯のＸ線を検出するセンサ（第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２）である。この構成のＸ線検査装置１では、例えば、相対的に高いエネルギー帯のＸ線によって取得できる透過画像と相対的に低いエネルギー帯のＸ線によって取得できる透過画像とを同時に得ることができる。これにより、異物等の検出精度を高めることができる。

【0037】

上記実施形態のＸ線検査装置１では、第一流路６１の他端６１ｂ及び第二流路６２の他端６２ｂに、空気を排気する排気ファン６６，６６が設けられている。これにより、より効果的に、Ｘ線検出ユニット７０において発生した熱を収容部９の外部に導風、又は収容部９の外部からＸ線検出ユニット７０に冷気を導風することができる。

【0038】

上記実施形態のＸ線検査装置１では、第一流路６１及び第二流路６２の他端６１ｂ，６２ｂと排気ファン６６，６６が設置されるブラケット６５とは、ガスケット６７を介して接続されるので、第一流路６１及び第二流路６２の密閉性が向上し、より効果的にＸ線検出ユニット７０において発生した熱を収容部９の外部に導風、又は収容部９の外部からＸ線検出ユニット７０に冷気を導風することができる。

【0039】

上記実施形態のＸ線検査装置１では、Ｘ線検出部７は、第一ラインセンサ１１、第二ラインセンサ１２と共に制御基板１４を含んで、Ｘ線検出ユニット７０として構成されており、第一流路６１及び第二流路６２は、Ｘ線検出ユニット７０の少なくとも一部７０ａ，７０ａに面するように配置されている。この構成のＸ線検査装置１では、発熱量の大きい制御基板１４が第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２と一体的に形成されている場合であっても、第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２における温度の変化を抑制することができる。

【0040】

上記実施形態のＸ線検査装置１では、第一流路６１及び第二流路６２に冷気を供給する冷風機４０を備えるので、Ｘ線検出ユニット７０の温度が上昇することを抑制することができる。

【0041】

上記実施形態のＸ線検査装置１では、Ｘ線検出ユニット７０に冷気を供給するダクト５０が分岐部４５を有しており、Ｘ線照射部６にも冷気が導風される構成となっている。この構成のＸ線検査装置１では、Ｘ線照射部６の温度が上昇することを抑制できる。

【0042】

上記実施形態のＸ線検査装置１では、第一流路６１の他端６１ｂ及び第二流路６２の他端６２ｂに配置される排気ファン６６は、冷風機４０において空気を吸引する給気口４２に向かって開口している。この構成のＸ線検査装置１では、冷風機４０と第一流路６１及び第二流路６２との間で、効果的にＸ線検出ユニット７０を冷却することができる。

【0043】

以上、一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0044】

上記実施形態では、Ｘ線検出部７として、第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２を備える、いわゆるデュアルエナジーセンサーを例に挙げて説明したが、一のラインセンサからなるＸ線検出部７であってもよい。

【0045】

上記実施形態及び変形例では、Ｘ線検出部７は、制御基板１４を含めて一体的に形成されたＸ線検出ユニット７０として構成されている例を挙げて説明したが、第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２等のセンサと制御基板１４とはそれぞれ別の位置に配置されていてもよい。この場合には、第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２等のセンサを冷却する構成を必須とするが、制御基板１４も冷却することが好ましい。

【0046】

上記実施形態及び変形例では、第一流路６１の他端６１ｂ及び第二流路６２の他端６２ｂに排気ファン６６，６６をそれぞれ配置した例を挙げて説明したが、この構成に代えて又は加えて、第一流路６１の一端６１ａ及び第二流路６２の一端６２ａに給気ファンを配置してもよい。

【0047】

上記実施形態及び変形例では、第一流路６１の他端６１ｂ及び第二流路６２の他端６２ｂに設けられた排気ファン６６，６６が冷風機４０に向けて暖気を排気する例を挙げて説明したが、筐体２の外部に排気する構成としてもよい。

【0048】

上記実施形態及び変形例では、一の冷風機４０から供給される冷気が、Ｘ線照射部６及びＸ線検出ユニット７０の両方に導風される例を挙げて説明したが、分岐部４５等を設けず、Ｘ線検出ユニット７０専用の冷風機４０としてもよい。この場合は、分岐部４５等を設ける必要がなく、冷風機４０は、ダクトを介してＸ線検出ユニット７０に冷気を供給してもよいし、第一流路６１及び第二流路６２に直接冷気を供給してもよい。

【0049】

上記実施形態及び変形例では、冷風機４０は、筐体２の内部を開閉可能なドア２ａに設けられる例を挙げて説明したが、筐体２の内部に配置されてもよい。また、筐体２の外部に配置された冷風機４０からダクト等を介して第一流路６１及び第二流路６２に冷気を供給してもよい。

【0050】

上記実施形態及び変形例では、冷風機４０を備え、Ｘ線検出部７に面する第一流路６１及び第二流路６２に冷気を供給する例を挙げて説明したが、冷風機４０に代えて、ヒータ等を備え、第一流路６１及び第二流路６２に暖気を供給してもよい。この場合には、屋外等、温度が低い場所で使用される場合であっても、Ｘ線検出部７近傍の冷気を外部に導風、又は外部からＸ線検出部７に暖気（熱）を導風したりすることができる。この結果、Ｘ線検出部７における温度の変化を抑制することができる。

【0051】

上記実施形態及び変形例では、冷風機４０又はヒータ等を備え、冷気又は暖気を第一流路６１及び第二流路６２に送風する例を挙げて説明したが、冷風機４０及びヒータ等は、必ずしも備えなくてもよい。Ｘ線検出部７の一部に面するように第一流路６１及び第二流路６２を設ければ、自然対流によって空気が対流し、Ｘ線検出部７における温度の変化を抑制することができる。

【0052】

上記実施形態及び変形例では、第一流路６１及び第二流路６２を設ける例を挙げて説明したが、第一流路６１及び第二流路６２を設けず、冷風機４０及びファンの少なくとも一方のみを備える構成としてもよい。この場合であっても、第一ラインセンサ１１及び第二ラインセンサ１２又はＸ線検出ユニット７０に風が導風される。

【0053】

上記実施形態及び変形例では、図５に示されるように第一流路６１及び第二流路６２が形成された例を挙げて説明したが、Ｘ線検出部７の一部に面するような流路（通風路）であれば、形状、配置、及び風の向き等は限定されるものではない。

【符号の説明】

【0054】

１…Ｘ線検査装置、２…筐体、２ａ…ドア、６…Ｘ線照射部、７…Ｘ線検出部、９…収容部、１１…第一ラインセンサ、１２…第二ラインセンサ、１４…制御基板、４０…冷風機、４１…供給口、４２…給気口、５０…ダクト（通風路）、５１…第一ダクト、５２，５３…分岐ダクト、５４…分岐部、６１…第一流路（通風路）、６１ａ…第一流路の一端、６１ｂ…第一流路の他端、６２…第二流路（通風路）、６２ａ…第二流路の一端、６２ｂ…第二流路の他端、６５…ブラケット、６６…排気ファン、６７…ガスケット（シール部材）、７０…Ｘ線検出ユニット。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】