特開 2023-155193 コンテナ搬送装置およびそれを含む物流搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023155193

(43)【公開日】2023-10-20

(54)【発明の名称】コンテナ搬送装置およびそれを含む物流搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20231013BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20231013BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G1/00 501C

【審査請求】未請求

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023059916

(22)【出願日】2023-04-03

(31)【優先権主張番号】10-2022-0043405

(32)【優先日】2022-04-07

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】598123150

【氏名又は名称】セメス株式会社

【氏名又は名称原語表記】ＳＥＭＥＳ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】７７，４ｓａｎｄａｎ ５－ｇｉｌ，Ｊｉｋｓａｎ－ｅｕｐ，Ｓｅｏｂｕｋ－ｇｕ，Ｃｈｅｏｎａｎ－ｓｉ，Ｃｈｕｎｇｃｈｅｏｎｇｎａｍ－ｄｏ，３３１－８１４ Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ

(74)【代理人】

【識別番号】110000671

【氏名又は名称】ＩＢＣ一番町弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ヨン，キ スプ

(72)【発明者】

【氏名】カン，ドン ピル

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022EE05

3F022JJ08

3F022MM61

3F022NN38

3F022QQ17

5F131AA02

5F131CA35

5F131CA53

5F131DA05

5F131DA22

5F131DA23

5F131DA43

5F131DC06

5F131DD42

5F131DD43

5F131DD74

5F131DD82

5F131KA27

5F131KA47

5F131KA62

5F131KA72

(57)【要約】      （修正有）

【課題】半導体製造工場内でコンテナを搬送する車両の駆動環境に適するように提供されるイベント記録ユニットを含むコンテナ搬送装置およびそれを含む物流搬送システムを提供する。
【解決手段】物流搬送システムにおいて、コンテナ搬送装置１１０は、複数の基板が収納されたコンテナ３１０を把持する把持モジュール２１０、把持モジュールを昇降させる昇降モジュール２２０、駆動ホイール２４０ａ、２４０ｂを制御してレールの上を走行するようにする駆動モジュール２３０、把持モジュール、昇降モジュールおよび駆動モジュールを制御する第１制御モジュール２６０並びに第１制御モジュールと同じ空間Ｈ内に設置することもでき、レールの上を走行するときに周辺を常時録画してイベントを記録するイベント記録ユニットを含み、イベント記録ユニットは、管理者端末の画面に録画映像を表示するときにデータも共に表示する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の基板が収納されたコンテナを把持する把持モジュール；
前記把持モジュールを昇降させる昇降モジュール；
駆動ホイールを制御してレールの上を走行するようにする駆動モジュール；
前記把持モジュール、前記昇降モジュールおよび前記駆動モジュールを制御する第１制御モジュール；および
レールの上を走行するときに周辺を常時録画してイベントを記録するイベント記録ユニットを含み、
前記イベント記録ユニットは管理者端末の画面に録画映像を表示するときにデータも共に表示する、コンテナ搬送装置。

【請求項2】

前記イベント記録ユニットは、
前記コンテナ搬送装置の互いに異なる方向を撮像する複数のカメラモジュール；
前記複数のカメラモジュールにより撮像された映像を保存する保存モジュール；および
前記複数のカメラモジュールおよび前記保存モジュールを制御する第２制御モジュールを含む、請求項１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項3】

前記イベント記録ユニットは常時録画と関連する第１映像およびイベントと関連する第２映像を記録し、
映像削除が可能な領域に前記第１映像を記録し、映像削除が不可能な領域に前記第２映像を記録する、請求項１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項4】

前記第２映像が記録される領域は前記第１映像が記録される領域内に含まれる、請求項３に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項5】

前記イベント記録ユニットはイベントと関連する第２映像を記録する領域が不足する場合、
常時録画と関連する第１映像を記録する領域内に前記第２映像を記録する領域を追加で設けるか、または、
既に保存されている複数の第２映像のうちいずれか一つの第２映像を管理者端末に送出して、前記管理者端末に送出された第２映像の代わりに新規に取得された第２映像を記録する、請求項１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項6】

前記イベント記録ユニットはイベント発生時点によって該当時点の映像を別に記録するか、
または前記該当時点以前の映像や前記該当時点以降の映像の少なくとも一つの映像を追加で記録する、請求項１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項7】

前記イベント記録ユニットは前記該当時点の映像を時間の経過によって第１区間、第２区間および第３区間に分割して、
前記イベント発生時点が前記第１区間と関連する場合は前記該当時点の映像と前記以前の映像を別に記録し、
前記イベント発生時点が前記第２区間と関連する場合は前記該当時点の映像を別に記録し、
前記イベント発生時点が前記第３区間と関連する場合は前記該当時点の映像と前記以降の映像を別に記録する、請求項６に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項8】

前記イベント記録ユニットは内部にエラーが発生すると、２進信号を用いて前記第１制御モジュールおよび管理者端末にエラー状況を説明するメッセージを送出するか、または、
第１信号発生器、前記第１信号発生器と異なる類型の第２信号発生器およびアラーム信号のうち少なくとも二つを用いて前記第１制御モジュールおよび前記管理者端末にエラー状況を説明するメッセージを送出する、請求項１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項9】

前記イベント記録ユニットの内部エラー状況は前記２進信号を用いる場合、２進信号で構成された各位置のビット値によって区分され、
前記第１信号発生器と前記第２信号発生器および前記アラーム信号のうち少なくとも二つを用いる場合、前記第１信号発生器、前記第２信号発生器および前記アラーム信号の動作類型によって区分される、請求項８に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項10】

前記イベント記録ユニットの保存媒体は分離可能なカード型であり、
前記イベント記録ユニットは前記保存媒体の残余寿命と関連する情報を提供する、請求項８に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項11】

前記イベント記録ユニットは管理者端末の画面に遠隔制御のためのユーザーインターフェースを提供する、請求項１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項12】

前記イベント記録ユニットはイベントと関連する第２映像の送出が要請される場合、パスワード入力のためのユーザーインターフェースを追加で提供する、請求項１１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項13】

前記データが表示される領域は前記録画映像が表示される領域の外側に配置される、請求項１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項14】

前記イベント記録ユニットはイメージ学習結果に基づいて前記コンテナ搬送装置が走行する経路上に障害物があるかどうかを判別する、請求項１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項15】

前記イベント記録ユニットは前記コンテナ搬送装置が事故現場に移動すると、前記事故現場と関連する映像を前記第１制御モジュールまたは管理者端末に送出する、請求項１に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項16】

前記コンテナ搬送装置は事故現場から最も近い距離に位置するか、またはアイドル状態である、請求項１５に記載のコンテナ搬送装置。

【請求項17】

複数の基板が収納されたコンテナを把持する把持モジュール；
前記把持モジュールを昇降させる昇降モジュール；
駆動ホイールを制御してレールの上を走行するようにする駆動モジュール；
前記把持モジュール、前記昇降モジュールおよび前記駆動モジュールを制御する第１制御モジュール；および
レールの上を走行するときに周辺を常時録画してイベントを記録するイベント記録ユニットを含み、
前記イベント記録ユニットは管理者端末の画面に録画映像を表示するときにデータも共に表示し、
前記イベント記録ユニットは常時録画と関連する第１映像およびイベントと関連する第２映像を記録し、映像削除が可能な領域に前記第１映像を記録し、映像削除が不可能な領域に前記第２映像を記録し、
前記イベント記録ユニットはイベント発生時点によって該当時点の映像を別に記録するか、または前記該当時点以前の映像や前記該当時点以降の映像の少なくとも一つの映像を追加で記録し、
前記イベント記録ユニットは内部にエラーが発生すると、２進信号を用いて前記第１制御モジュールおよび管理者端末にエラー状況を説明するメッセージを送出するか、または第１信号発生器、前記第１信号発生器と異なる類型の第２信号発生器およびアラーム信号のうち少なくとも二つを用いて前記第１制御モジュールおよび前記管理者端末にエラー状況を説明するメッセージを送出し、
前記イベント記録ユニットは管理者端末の画面に遠隔制御のためのユーザーインターフェースを提供し、
前記イベント記録ユニットは前記コンテナ搬送装置が事故現場に移動すると、前記事故現場と関連する映像を前記第１制御モジュールまたは管理者端末に送出する、コンテナ搬送装置。

【請求項18】

複数の基板が収納されたコンテナを目的地まで搬送する複数のコンテナ搬送装置；および
前記複数のコンテナ搬送装置を制御する搬送制御装置を含み、
前記複数のコンテナ搬送装置の少なくとも一つのコンテナ搬送装置は、
前記コンテナを把持する把持モジュール；
前記把持モジュールを昇降させる昇降モジュール；
駆動ホイールを制御してレールの上を走行するようにする駆動モジュール；
前記把持モジュール、前記昇降モジュールおよび前記駆動モジュールを制御する第１制御モジュール；および
レールの上を走行するときに周辺を常時録画してイベントを記録するイベント記録ユニットを含み、
前記イベント記録ユニットは管理者端末の画面に録画映像を表示するときにデータも共に表示する、物流搬送システム。

【請求項19】

前記搬送制御装置は前記イベント記録ユニットを含むコンテナ搬送装置が事故地点に位置するかどうかを判別する、請求項１８に記載の物流搬送システム。

【請求項20】

前記搬送制御装置は前記事故地点から最も近い距離に位置したコンテナ搬送装置を派遣する、請求項１９に記載の物流搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はコンテナ搬送装置およびそれを含む物流搬送システムに関する。より詳細には、ブラックボックスのようなイベント記録ユニットを含むコンテナ搬送装置およびそれを含む物流搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体の生産に用いられるウエハは半導体製造工場（例えば、ＦＡＢ）内で多様な工程を経ることができ、このためにそれぞれの工程設備に搬送され得る。例えば、複数のウエハはＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）のようなコンテナに収納され、前記コンテナは半導体製造工場の天井で移動可能に設けられるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）のような搬送車によりそれぞれの工程設備に搬送されることができる。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

半導体製造工場内で搬送車がコンテナを目的地まで搬送する場合、走行経路を離脱するか他の車両と衝突するなどのイベントが搬送車に発生し得る。したがって、このような多様な類型のイベントを記録するために、搬送車にブラックボックス（Ｂｌａｃｋ Ｂｏｘ）を設置することができる。

【0004】

しかし、従来のブラックボックスは車両に汎用的な適用に適するように製作されたものであるので、ＯＨＴのような搬送車の駆動環境には適しない様々な不合理な点が存在する。

【0005】

第一に、ＳＤメモリーカード（Ｓｅｃｕｒｅ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍｅｍｏｒｙ Ｃａｒｄ）の保存空間がケース別に区分されており、寿命が非常に短い。

【0006】

第二に、加速度センサを用いて振動変化に応じたイベントのみを確認することができ、不良条件別に多様な類型の映像を確保するには困難性がある。

【0007】

第三に、ブラックボックスのセッティング（Ｓｅｔｔｉｎｇ）がタッチスクリーンパネル（例えば、Ｔｏｕｃｈ ＬＣＤ）によってのみできる。また、ブラックボックスのアップデート（Ｕｐｄａｔｅ）のためにはＳＤメモリーカードを分離しなければならない不便さがある。

【0008】

第四に、車両と関連するデータが画面に表示されず、これを確認するためには別途の接続が必要となり、制御器と連動されないため車両と関連するデータを取得するのに困難性がある。

【0009】

本発明で解決しようとする技術的課題は、半導体製造工場内でコンテナを搬送する車両の駆動環境に適するように提供されるイベント記録ユニットを含むコンテナ搬送装置およびそれを含む物流搬送システムを提供することにある。

【0010】

本発明の技術的課題は、以上で言及した技術的課題に制限されず、言及されていないまた他の技術的課題は以下の記載から当業者に明確に理解されるものである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

前記技術的課題を達成するための本発明のコンテナ搬送装置の一態様（Ａｓｐｅｃｔ）は、複数の基板が収納されたコンテナを把持する把持モジュール；前記把持モジュールを昇降させる昇降モジュール；駆動ホイールを制御してレールの上を走行するようにする駆動モジュール；前記把持モジュール、前記昇降モジュールおよび前記駆動モジュールを制御する第１制御モジュール；およびレールの上を走行するときに周辺を常時録画してイベントを記録するイベント記録ユニットを含み、前記イベント記録ユニットは管理者端末の画面に録画映像を表示するときにデータも共に表示する。

【0012】

また、前記技術的課題を達成するための本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、複数の基板が収納されたコンテナを把持する把持モジュール；前記把持モジュールを昇降させる昇降モジュール；駆動ホイールを制御してレールの上を走行するようにする駆動モジュール；前記把持モジュール、前記昇降モジュールおよび前記駆動モジュールを制御する第１制御モジュール；およびレールの上を走行するときに周辺を常時録画してイベントを記録するイベント記録ユニットを含み、前記イベント記録ユニットは管理者端末の画面に録画映像を表示するときにデータも共に表示し、前記イベント記録ユニットは常時録画と関連する第１映像およびイベントと関連する第２映像を記録し、映像削除が可能な領域に前記第１映像を記録し、映像削除が不可能な領域に前記第２映像を記録し、前記イベント記録ユニットはイベント発生時点によって該当時点の映像を別に記録するか、または前記該当時点以前の映像や前記該当時点以降の映像の少なくとも一つの映像を追加で記録し、前記イベント記録ユニットは内部にエラーが発生すると、２進信号を用いて前記第１制御モジュールおよび管理者端末にエラー状況を説明するメッセージを送出するか、または第１信号発生器、前記第１信号発生器と異なる類型の第２信号発生器およびアラーム信号のうち少なくとも二つを用いて前記第１制御モジュールおよび前記管理者端末にエラー状況を説明するメッセージを送出し、前記イベント記録ユニットは管理者端末の画面に遠隔制御のためのユーザーインターフェースを提供し、前記イベント記録ユニットは前記コンテナ搬送装置が事故現場に移動すると、前記事故現場と関連する映像を前記第１制御モジュールまたは管理者端末に送出する。

【0013】

また、前記技術的課題を達成するための本発明の物流搬送システムの態様は、複数の基板が収納されたコンテナを目的地まで搬送する複数のコンテナ搬送装置；および前記複数のコンテナ搬送装置を制御する搬送制御装置を含み、前記複数のコンテナ搬送装置の少なくとも一つのコンテナ搬送装置は、前記コンテナを把持する把持モジュール；前記把持モジュールを昇降させる昇降モジュール；駆動ホイールを制御してレールの上を走行するようにする駆動モジュール；前記把持モジュール、前記昇降モジュールおよび前記駆動モジュールを制御する第１制御モジュール；およびレールの上を走行するときに周辺を常時録画してイベントを記録するイベント記録ユニットを含み、前記イベント記録ユニットは管理者端末の画面に録画映像を表示するときにデータも共に表示する。

【0014】

その他実施形態の具体的な内容は詳細な説明および図面に含まれている。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】複数のコンテナ搬送装置を含む物流搬送システムの内部構成を概略的に示すブロック図である。

【図2】物流搬送システムを構成するコンテナ搬送装置の構造を例示的に示す図である。

【図3】半導体製造工場内のコンテナ搬送装置の設置形状を例示的に示す図である。

【図4】本発明の一実施例によりコンテナ搬送装置に設置されるイベント記録ユニットの内部構成を概略的に示すブロック図である。

【図5】コンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する保存モジュールの構造を説明するための例示図である。

【図6】コンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの第１制御モジュールとの連動時の機能を説明するための例示図である。

【図7】コンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの映像記録機能を説明するための例示図である。

【図8】コンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの映像記録機能のための作動方法を例示的に示す流れ図である。

【図9】コンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの異常状況報告機能を説明するための例示図である。

【図10】コンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールのユーザー設定機能を説明するための例示図である。

【図11】コンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの映像表示機能を説明するための例示図である。

【図12】コンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの障害物感知機能のための作動方法を例示的に示す流れ図である。

【図13】コンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの非常状況監視機能のための作動方法を例示的に示す流れ図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下では添付する図面を参照して本発明の実施例について詳細に説明する。図面上の同じ構成要素に対しては同じ参照符号を使用し、これらに係る重複する説明は省略する。

【0017】

本発明は半導体製造工場内でコンテナを搬送する車両（例えば、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ））の駆動環境に適するように提供されるイベント記録ユニットおよびそれを含むコンテナ搬送装置に関するものである。以下では図面などを参照して本発明について詳細に説明する。

【0018】

図１は複数のコンテナ搬送装置を含む物流搬送システムの内部構成を概略的に示すブロック図である。図１によれば、物流搬送システム１００はコンテナ搬送装置１１０、搬送制御装置１２０およびデータベース１３０を含んで構成されることができる。このような物流搬送システム１００は半導体製造工場内で物流自動化サービスを提供するために適用することができる。

【0019】

コンテナ搬送装置１１０はコンテナを目的地まで搬送する役割をする。コンテナ搬送装置１１０は例えば、ＯＨＴとして設けられることができる。

【0020】

コンテナ搬送装置１１０は半導体製造工場の天井に設置される移動経路（例えば、レール（Ｒａｉｌ））の上を走行してコンテナを目的地まで搬送することができる。コンテナ搬送装置１１０は半導体製造工程が実行される工程設備（例えば、蒸着工程チャンバ、エッチング工程チャンバ、洗浄工程チャンバ、熱処理工程チャンバなど各種工程チャンバ（Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｃｈａｍｂｅｒ））にコンテナを搬送することができ、半導体製造工場内に複数１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎ配置されることができる。

【0021】

コンテナ搬送装置１１０がコンテナを半導体製造工程が実行される設備に搬送する場合、コンテナには複数の基板（例えば、ウエハ（Ｗａｆｅｒ））が収納されることができる。コンテナは例えば、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）として設けられることができる。

【0022】

コンテナ搬送装置１１０は搬送制御装置１２０の制御に応じて作動することができる。図１には示していないが、コンテナ搬送装置１１０はこのために搬送制御装置１２０と有線／無線通信をするための通信モジュールを含むことができる。

【0023】

コンテナ搬送装置１１０は搬送制御装置１２０のコントロールを受けず、自律的に作動することも可能である。この場合、半導体製造工場内に配置される複数のコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎが相互衝突しないように情報を提供するためのセンサが移動経路の周辺に多数設けられてもよく、複数のコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎが相互通信をするように設けられてもよい。

【0024】

図２は物流搬送システムを構成するコンテナ搬送装置の構造を例示的に示す図であり、図３は半導体製造工場内のコンテナ搬送装置の設置形状を例示的に示す図である。図２および図３によれば、コンテナ搬送装置１１０は把持モジュール２１０、昇降モジュール２２０、駆動モジュール２３０、駆動ホイール２４０、ガイドホイール２５０および第１制御モジュール２６０を含んで構成されることができる。

【0025】

把持モジュール（Ｇｒｉｐｐｉｎｇ Ｍｏｄｕｌｅ；２１０）はコンテナ３１０を把持するために提供される。把持モジュール２１０はコンテナ３１０を目的地まで搬送するためにコンテナ３１０が配置されている場所（例えば、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ））に下降してコンテナ３１０を把持することができる。把持モジュール２１０は例えば、ハンドグリッパ（Ｈａｎｄ Ｇｒｉｐｐｅｒ）として設けられることができる。

【0026】

昇降モジュール２２０は把持モジュール２１０を昇降させるために提供されるものである。昇降モジュール２２０は把持モジュール２１０がコンテナ３１０を把持できるように把持モジュール２１０を天井３２０付近で地面が位置する方向に下降させることができ、把持モジュール２１０がコンテナ３１０を把持すれば把持モジュール２１０を再び天井３２０付近で上昇させることができる。昇降モジュール２２０は例えば、ホイスト（Ｈｏｉｓｔ）として設けられることができる。

【0027】

このように把持モジュール２１０および昇降モジュール２２０によりコンテナ３１０が積載されると（Ｌｏａｄｉｎｇ）、コンテナ搬送装置１１０はこの状態でコンテナ３１０を目的地まで搬送することができる。コンテナ搬送装置１１０が目的地に到達すると、昇降モジュール２２０は把持モジュール２１０を再び下降させて、把持モジュール２１０はＥＦＥＭのロードポートモジュール（Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ Ｍｏｄｕｌｅ）の上に安着されたコンテナ３１０を把持解除し、コンテナ３１０に収納された複数の基板を次の半導体製造工程が実行される工程設備に伝達することができる。

【0028】

一方、図２および図３には示していないが、コンテナ搬送装置１１０は把持モジュール２１０の代わりに収納可能な空間を提供する収納モジュールを含むことも可能である。収納モジュールはコンテナ３１０を収納できるように上部が開放されている形状（例えば、Ｂａｓｋｅｔ Ｔｙｐｅ）に形成されることができ、側面に開閉可能なドアが設けられる形状（例えば、Ｃａｂｉｎｅｔ Ｔｙｐｅ）に形成されることも可能である。

【0029】

駆動モジュール２３０は半導体製造工場の天井３２０に設置された移動経路（例えば、一対のレール３３０ａ，３３０ｂ）に沿って走行する駆動ホイール２４０を制御する役割をする。図２および図３には示していないが、駆動モジュール２３０はこのために駆動モータ、駆動軸などを含むことができる。ここで、駆動モータは駆動力を生成する役割をすることができ、駆動軸は駆動モータにより生成された駆動力を駆動ホイール２４０に提供する役割をすることができる。

【0030】

駆動ホイール（Ｄｒｉｖｉｎｇ Ｗｈｅｅｌ；２４０）は駆動モジュール２３０により提供される駆動力を用いて回転する回転体であって、このような回転によりコンテナ搬送装置１１０が一対のレール３３０ａ，３３０ｂの上を走行できるようにする。駆動ホイール２４０はそれぞれの側のレール３３０ａ，３３０ｂの上を走行できるように一対２４０ａ，２４０ｂで設けられることができ、この場合、一対の駆動ホイール２４０ａ，２４０ｂは駆動モジュール２３０の両側面にそれぞれ結合されることができる。

【0031】

ガイドホイール（Ｇｕｉｄｅ Ｗｈｅｅｌ；２５０）はコンテナ搬送装置１１０が一対のレール３３０ａ，３３０ｂの上を走行する場合、コンテナ搬送装置１１０が前記レール３３０ａ，３３０ｂから離脱することを防止する役割をする。ガイドホイール２５０は駆動ホイール２４０と同様に一対２５０ａ，２５０ｂで設けられることができ、駆動モジュール２３０の下部面の両端に駆動ホイール２４０ａ，２４０ｂに対して垂直方向になるように設置されることができる。

【0032】

第１制御モジュール２６０はコンテナ搬送装置１１０を構成するそれぞれのモジュールを制御する役割をする。第１制御モジュール２６０は例えば、把持モジュール２１０と昇降モジュール２２０の作動を制御する役割をし、駆動モジュール２３０を構成する駆動モータの作動を制御する役割をすることができる。また、図２および図３には示していないが、第１制御モジュール２６０はその前面と後面にそれぞれ前方フレーム（Ｆｒｏｎｔ Ｆｒａｍｅ）と後方フレーム（Ｒｅａｒ Ｆｒａｍｅ）を備え、その下部面に結合される把持モジュール２１０および昇降モジュール２２０を支持する役割をすることもできる。第１制御モジュール２６０は例えば、ＯＨＴ制御器として設けられることができる。

【0033】

図２および図３には示していないが、第１制御モジュール２６０は速度調整部、位置調整部などを含むこともできる。ここで、速度調整部は駆動ホイール２４０の回転速度を制御する役割をすることができ、位置調整部はコンテナ３１０の位置を補正する役割をすることができる。

【0034】

位置調整部はスライダ（Ｓｌｉｄｅｒ）とロテータ（Ｒｏｔａｔｏｒ）を含むことができる。スライダはコンテナ３１０を上下方向や左右方向に移動させる役割をすることができ、ロテータはコンテナ３１０を時計回りや反時計回りに回転させる役割をすることができる。

【0035】

コンテナ搬送装置１１０に移動経路を提供するために、半導体製造工場の天井３２０には一対のレール３３０ａ，３３０ｂとレール支持モジュール３４０を含んでレール組立体が設置されることができる。一対のレール３３０ａ，３３０ｂは前述のようにコンテナ搬送装置１１０に走行経路を提供するものであって、半導体製造工場の天井３２０に固定されるレール支持モジュール３４０の両端に結合されることができる。

【0036】

一対のレール３３０ａ，３３０ｂは半導体製造工場内の天井３２０のレイアウト（Ｌａｙｏｕｔ）によって直線区間、曲線区間、傾斜区間、分岐区間、交差区間など多様な形態の区間を含むように構成されることができる。しかし、本実施例はこれに限定されるものではない。一対のレール３３０ａ，３３０ｂは前記複数の区間のうちいずれか一つの形態の区間のみを含むように構成されることも可能である。

【0037】

レール支持モジュール３４０は半導体製造工場の天井３２０に固定され、一対のレール３３０ａ，３３０ｂを支持する役割をする。レール支持モジュール３４０は地上から見るときキャップ形状（Ｃａｐ Ｔｙｐｅ）を有するように半導体製造工場の天井３２０に設置されることができる。

【0038】

再び図１を参照して説明する。

【0039】

搬送制御装置１２０は複数のコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎを制御する役割をする。このような搬送制御装置１２０はそれぞれのコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎが目的地（例えば、半導体製造工程が行われる各種工程設備）までコンテナ３１０を安全に搬送できるようにそれぞれのコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎを独立して制御することができる。

【0040】

搬送制御装置１２０はコンテナ搬送装置１１０に出発命令、停止命令、加速命令、減速命令などの信号を送出してコンテナ搬送装置１１０の走行を制御することができる。また、搬送制御装置１２０はコンテナ搬送装置１１０との有線／無線通信によりコンテナ搬送装置１１０に必要な情報（例えば、目的地までの経路）を提供することもできる。

【0041】

搬送制御装置１２０は前記のような役割をするためにそれぞれのコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎに対してその位置を認識することができる。この場合、搬送制御装置１２０は一対のレール３３０ａ，３３０ｂの周辺に設置される多数のセンサを用いてもよく、それぞれのコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎと有線／無線通信して得た結果を用いてもよい。

【0042】

前記で、前者の場合は、搬送制御装置１２０は該当センサの識別情報（例えば、一連番号（Ｓｅｒｉａｌ Ｎｕｍｂｅｒ））、該当センサの位置情報（例えば、二次元座標情報（ｘ，ｙ）または三次元座標情報（ｘ，ｙ，ｚ））、該当センサを通過したコンテナ搬送装置１１０の識別情報などを用いてそれぞれのコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎに対してその位置を認識することができる。反面、後者の場合は、それぞれのコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎが自ら自身の位置を計測することができ、搬送制御装置１２０は該当コンテナ搬送装置１１０との通信によりそれぞれのコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎに対してその位置を認識することができる。

【0043】

搬送制御装置１２０は複数のコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎを制御するためにプロセスコントローラ、制御プログラム、入力モジュール、出力モジュール（または表示モジュール）、メモリモジュールなどを含んでコンピュータやサーバなどとして設けられることができる。ここで、プロセスコントローラは物流搬送システム１００を構成するそれぞれの構成に対して制御機能を実行するマイクロプロセッサを含み得、制御プログラムはプロセスコントローラの制御に応じて物流搬送システム１００での各種処理を実行することができる。メモリモジュールは各種データおよび処理条件によって物流搬送システム１００での各種処理を実行させるためのプログラム、すなわち、処理レシピが保存されることができる。

【0044】

データベース１３０は搬送制御装置１２０が複数のコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎを制御するために必要な情報を保存する役割をする。データベース１３０は搬送制御装置１２０が必要とする情報を提供するために、搬送制御装置１２０の内部に搭載されるか、外部に別に設けられて有線／無線で連結されることも可能である。

【0045】

上で説明したが、車両に設置されるブラックボックス（Ｂｌａｃｋ Ｂｏｘ）は様々な理由でＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）のようなコンテナ搬送装置１１０の駆動環境には適しない。以下では本実施例によりコンテナ搬送装置１１０の駆動環境に適するように提供されるイベント記録ユニットについて説明する。

【0046】

図４は本発明の一実施例によりコンテナ搬送装置に設置されるイベント記録ユニットの内部構成を概略的に示すブロック図である。図４によれば、イベント記録ユニット４００は第１カメラモジュール４１０ａ、第２カメラモジュール４１０ｂ、複数のカメラモジュール４１０ａ，４１０ｂ，…，４１０ｎ、保存モジュール４２０および第２制御モジュール４３０を含んで構成されることができる。

【0047】

イベント記録ユニット４００はブラックボックスの役割と同様にコンテナ搬送装置１１０の周辺を常時録画し、コンテナ搬送装置１１０に発生するイベントを記録する役割をする。イベント記録ユニット４００はコンテナ搬送装置１１０の第１制御モジュール２６０と同じ空間Ｈ内に設置されることができ、別に設けられた空間に搭載されることも可能である。

【0048】

複数のカメラモジュール４１０ａ，４１０ｂ，…，４１０ｎはコンテナ搬送装置１１０に設置され、コンテナ搬送装置１１０の周辺を撮像する役割をする。以下の説明では例示的にイベント記録ユニット４００が二つのカメラモジュール、すなわち、第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂを含む場合について説明するが、本実施例がこれに限定されないのはもちろんである。

【0049】

第１カメラモジュール４１０ａはコンテナ搬送装置１１０の前方を撮像する役割をする。第１カメラモジュール４１０ａはこのためにコンテナ搬送装置１１０の前面に配置されることができ、例えば第１制御モジュール２６０が搭載されたハウジングＨの前面に配置される前方フレーム（Ｆｒｏｎｔ Ｆｒａｍｅ）上に設置されることができる。前記で、コンテナ搬送装置１１０の前方はコンテナ搬送装置１１０の走行方向を意味する。

【0050】

第２カメラモジュール４１０ｂはコンテナ搬送装置１１０の後方を撮像する役割をする。第２カメラモジュール４１０ｂはこのためにコンテナ搬送装置１１０の後面に配置されることができ、例えば第１制御モジュール２６０が搭載されたハウジングＨの後面に配置される後方フレーム（Ｒｅａｒ Ｆｒａｍｅ）上に設置されることができる。前記で、コンテナ搬送装置１１０の後方はコンテナ搬送装置１１０の逆走行方向を意味する。

【0051】

第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂはこのようにコンテナ搬送装置１１０で互いに異なる方向を撮像することができる。上記では第１カメラモジュール４１０ａがコンテナ搬送装置１１０の前方を撮像し、第２カメラモジュール４１０ｂがコンテナ搬送装置１１０の後方を撮像する場合を説明したが、本実施例はこれに限定されず、第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂが互いに異なる方向を撮像できればその方向はいかなる方向でも構わない。例えば、第１カメラモジュール４１０ａはコンテナ搬送装置１１０の前方を撮像し、第２カメラモジュール４１０ｂはコンテナ搬送装置１１０の側方を撮像することができる。または、第１カメラモジュール４１０ａはコンテナ搬送装置１１０の一側方を撮像し、第２カメラモジュール４１０ｂはコンテナ搬送装置１１０の他側方を撮像することができる。または、第１カメラモジュール４１０ａはコンテナ搬送装置１１０の前方と一側方を撮像し、第２カメラモジュール４１０ｂはコンテナ搬送装置１１０の後方と他側方を撮像することができる。

【0052】

第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂが互いに異なる方向を撮像しても、第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより撮像されない方向が存在し得る。本実施例では第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより撮像されないブラインドスポット（Ｂｌｉｎｄ Ｓｐｏｔ）をなくすために、第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂを回転可能に設けることも可能である。

【0053】

第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂは左右方向（第１方向１０または第２方向２０）に回転できるが、上下方向（第３方向３０）に回転することも可能である。第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂは左右方向だけでなく上下方向にも回転できるが、いずれか一つの方向にのみ回転することも可能である。

【0054】

第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂがいずれか一つの方向にのみ回転する場合、第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂは同じ方向に回転することができる。ここで、同じ方向に回転することは、例えば、第１カメラモジュール４１０ａが左右方向に回転可能に設けられ、第２カメラモジュール４１０ｂも左右方向に回転可能に設けられることを意味する。しかし、本実施例はこれに限定されるものではない。前記のような場合、第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂは互いに異なる方向に回転することも可能である。ここで、互いに異なる方向に回転することは、例えば、第１カメラモジュール４１０ａが左右方向に回転可能に設けられ、第２カメラモジュール４１０ｂが上下方向に回転可能に設けられることを意味する。

【0055】

なお、イベント記録ユニット４００は第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂのいずれか一つのカメラモジュールのみを含み、前記いずれか一つのカメラモジュールを用いて撮像されないブラインドスポットをなくすことも可能である。または、イベント記録ユニット４００は第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂを含み、それに加えて少なくとも一つのカメラモジュールをさらに含み、前記３個以上のカメラモジュールを用いて撮像されないブラインドスポットをなくすことも可能である。

【0056】

保存モジュール４２０は第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより撮像された映像を保存する役割をする。保存モジュール４２０は分離可能なカード型で設けられることができ、例えば、ブラックボックスに設置されるＳＤメモリーカード（Ｓｅｃｕｒｅ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍｅｍｏｒｙ Ｃａｒｄ）として設けられることができる。しかし、本実施例はこれに限定されるものではない。保存モジュール４２０は固定型メモリでイベント記録ユニット４００内に設けられることも可能である。

【0057】

車両用ブラックボックスに適用されるＳＤメモリーカードの場合、ケースによって録画映像が分離保存されるようにその保存空間が分割（Ｐａｒｔｉｔｉｏｎ）され得る。ＳＤメモリーカードがこのように構成される場合、ループ（Ｌｏｏｐ）時間が短くそのため有効寿命も短くなる問題が発生し得る。

【0058】

本実施例ではこのような問題を解決するために図５の例示に示すように保存モジュール４２０の保存空間が常時録画による映像が保存される第１録画領域５１０のみで構成されるようにしてループ時間が長くなるようにすることができ、そのためＳＤメモリーカードの有効寿命も延長させる効果を得ることができる。すなわち、本実施例ではイベント記録ユニット４００が常時録画機能のみを主に使用するようにしてＳＤメモリーカードの有効寿命を最大に維持させることができる。

【0059】

一方、保存モジュール４２０はその保存空間に第２録画領域５２０を含むことができる。ここで、第２録画領域５２０はコンテナ搬送装置１１０にイベントが発生する場合に生成された映像が保存される領域であり、図５の例示に示すように第１録画領域５１０内に含まれ得る。このように第２録画領域５２０を第１録画領域５１０内に含ませると、常時録画による映像の量やイベントが発生する場合に生成された映像の量によって第１録画領域５１０内で第２録画領域５２０の大きさを自由に調整する効果も得ることができる。

【0060】

しかし、本実施例はこれに限定されるものではない。第２録画領域５２０は第１録画領域５１０とは別の領域に分割されることも可能である。図５はコンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する保存モジュールの構造を説明するための例示図である。

【0061】

再び図４を参照して説明する。

【0062】

第２制御モジュール４３０はイベント記録ユニット４００を構成するそれぞれのモジュールを制御する役割をする。第２制御モジュール４３０は例えば、第１カメラモジュール４１０ａと第２カメラモジュール４１０ｂの作動を制御することができ、保存モジュール４２０にデータが保存されるように制御する役割をすることもできる。

【0063】

第２制御モジュール４３０は図６に示すようにコンテナ搬送装置１１０の第１制御モジュール２６０と連動し、コンテナ搬送装置１１０に設置される多様な類型のセンサを制御する役割をすることもできる。例えば、コンテナ搬送装置１１０には衝突／衝撃感知センサ６１０、速度測定センサ６２０、障害物感知センサ６３０などが設けられることができ、第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０との連動により前記センサ６１０，６２０，６３０を制御する役割をすることができる。

【0064】

前記で、衝突／衝撃感知センサ６１０はコンテナ搬送装置１１０と他装置の間の衝突や外部からコンテナ搬送装置１１０に加えられる衝撃を感知する役割をすることができ、接触式センサ（例えば、接触式衝突感知センサであるバンパー（Ｂｕｍｐｅｒ））または非接触式センサで設けられることができる。

【0065】

速度測定センサ６２０はコンテナ搬送装置１１０の速度を測定する役割をすることができ、例えば、加速度センサを含むＩｏＴ（Ｉｎｔｅｒｎｅｔ ｏｆ Ｔｈｉｎｇｓ）モジュールとして設けられることができる。

【0066】

障害物感知センサ６３０はコンテナ搬送装置１１０の周辺の障害物を感知する役割をすることができるが、このような役割だけでなく他のコンテナ搬送装置を感知するか、移動経路の下方を感知（Ｌｏｏｋ Ｄｏｗｎ）する役割をすることもできる。障害物感知センサ６３０も衝突／衝撃感知センサ６１０と同様に接触式センサまたは非接触式センサ（例えば、非接触式障害物感知センサであるＯＤＳ（Ｏｂｓｔａｃｌｅ Ｄｅｔｅｃｔ Ｓｅｎｓｏｒ））で設けられることができる。

【0067】

一方、第２制御モジュール４３０は衝突／衝撃感知センサ６１０、速度測定センサ６２０、障害物感知センサ６３０などに直接連結されて前記センサ（６１０，６２０，６３０）を制御することも可能である。図６はコンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの第１制御モジュールとの連動時の機能を説明するための例示図である。

【0068】

前述のように、イベント記録ユニット４００は第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより撮像された映像を記録する役割をすることができる。以下ではこれについて説明する。

【0069】

第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂはリアルタイム撮像によりコンテナ搬送装置１１０の周辺映像を取得し、第２制御モジュール４３０は前記映像を保存モジュール４２０の第１録画領域５１０に継続的に記録する（２４時間持続記録）。第１録画領域５１０が映像ですべて満たされると、第２制御モジュール４３０は新規に取得した映像を保存するために第１録画領域５１０に記録されている映像のうち時間的に最も古い映像を削除し、新規に取得された映像を第１録画領域５１０に記録する。

【0070】

また、第２制御モジュール４３０は連動している第１制御モジュール２６０からイベント信号が入力されると、該当時点の映像（すなわち、イベント信号が入力される時点に第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより撮像中の映像）を第２録画領域５２０に記録して前記イベント信号と関連する映像が削除されることを防止することができる。

【0071】

第１制御モジュール２６０は衝突／衝撃感知センサ６１０、速度測定センサ６２０、障害物感知センサ６３０などにより取得された情報に基づいてイベント信号を生成することができ、前記イベント信号を第２制御モジュール４３０に送出することができる。すると、第２制御モジュール４３０はイベント信号が入力された時点の映像を第２録画領域５２０に記録することができ、これに加えてイベント信号が入力された時点の前／後の映像も第２録画領域５２０に共に記録することができる。

【0072】

例えば、第１制御モジュール２６０は衝突／衝撃感知センサ６１０により得た情報に基づいてコンテナ搬送装置１１０と他装置の間に衝突が発生したかどうかを分析することができる。第１制御モジュール２６０によりコンテナ搬送装置１１０と他装置の間に衝突が発生したと判別されると、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像およびその前後の映像を第２録画領域５２０に記録することができる。または、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像のみを第２録画領域５２０に記録することができる。または、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像、その前後の映像のうちいずれか一つの映像などを第２録画領域５２０に記録することができる。

【0073】

また、第１制御モジュール２６０は障害物感知センサ６３０により得た情報に基づいてコンテナ搬送装置１１０の移動経路上に障害物が存在するかどうかを分析することができ、これに加えて速度測定センサ６２０により得た情報に基づいてコンテナ搬送装置１１０の現在の速度を算出してコンテナ搬送装置１１０の現在の速度を基準としてコンテナ搬送装置１１０と障害物の間に衝突可能性があるかどうかを分析することができる。第１制御モジュール２６０によりコンテナ搬送装置１１０と障害物の間に衝突可能性があると判別されると、第２制御モジュール４３０は該当時点の前方映像およびその前後の前方映像を第２録画領域５２０に記録することができる。または、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像のみを第２録画領域５２０に記録することができる。または、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像、その前後の映像のうちいずれか一つの映像などを第２録画領域５２０に記録することができる。このように本実施例では不良条件別に多様な類型の映像を確保することが可能である。

【0074】

なお、第２制御モジュール４３０は衝突／衝撃感知センサ６１０、速度測定センサ６２０、障害物感知センサ６３０などと直接連結されて前記のような役割を単独で実行することも可能である。

【0075】

第１録画領域５１０と同様に第２録画領域５２０も制限された保存容量を有するので、第２録画領域５２０にイベントと関連する映像をこれ以上保存できない状況が発生し得る。本実施例ではこのような問題を解決するために、第２制御モジュール４３０が第１録画領域５１０内に第２録画領域５２０を追加で生成し、第１録画領域５１０内に追加で生成された第２録画領域５２０にイベントと関連する映像を保存することができる。または、第２制御モジュール４３０は第２録画領域５２０に保存されている映像のうち時間的に最も古い映像を管理者端末（例えば、管理者が接続するコンピュータやスマートフォン、タブレットＰＣなど）に送出し、前記映像（すなわち、時間的に最も古い映像）を第２録画領域５２０から削除し、イベントと関連する映像を第２録画領域５２０に保存することができる。

【0076】

先立って説明したが、第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０からイベント信号が入力されると該当時点の映像を第２録画領域５２０に保存することができ、該当時点の映像とともにその時点の前後の映像の少なくとも一つの映像を該当時点の映像と共に第２録画領域５２０に保存することもできる。または、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像とその時点の前後の映像を結合して新規映像を生成して前記新規映像を第２録画領域５２０に保存することもできる。例えば、該当時点の映像、前記該当時点から３０秒以前の映像、前記該当時点から３０秒以降の映像などを結合して新規映像を生成して前記新規映像を第２録画領域５２０に保存することができる。

【0077】

第２制御モジュール４３０は第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂのリアルタイム撮像により取得される映像を一定の時間単位に分割して第１録画領域５１０に保存することができる。例えば、第２制御モジュール４３０は図７に示すように第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより６分間撮像された映像を２分単位にして映像Ａ７１０、映像Ｂ７２０、映像Ｃ７３０など３個の映像７１０，７２０，７３０に分割し、前記３個の映像７１０，７２０，７３０を第１録画領域５１０に保存することができる。

【0078】

第２制御モジュール４３０はそれぞれの映像を時間の経過よって第１区間、第２区間、第３区間など三つの区間に分割することができる。ここで、三つの区間は同じ長さを有することができ、互いに異なる長さを有することも可能である。または、三つの区間のうちいくつかの区間は同じ長さを有し、他のいくつかの区間は他の長さを有することも可能である。図７の例示では映像Ｂ７２０が第１区間７２１、第２区間７２２、第３区間７２３などの三つの区間７２１，７２２，７２３を有し、第１区間７２１は０秒（０：００）から１０秒（０：１０）までの長さを有し、第２区間７２２は１１秒（０：１１）から１分４９秒（１：４９）までの長さを有し、第３区間７２３は１分５０秒（１：５０）から２分（２：００）までの長さを有することができる。

【0079】

イベント信号入力時点が第１区間ないし第３区間のうち時間的に最も早い第１区間に含まれる場合、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像とそれ以前の時点の映像を第２録画領域５２０に保存することができる。この場合、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像とそれ以前の時点の映像をそれぞれ別の映像として第２録画領域５２０に保存することができ、該当時点の映像とそれ以前の時点の映像を結合して新規映像を生成した後に前記新規映像を第２録画領域５２０に保存することも可能である。

【0080】

例えば、第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより６分間撮像された映像を基準として第１制御モジュール２６０により２分（２：００）から２分１０秒（２：１０）の間にイベント信号が入力されると、第２制御モジュール４３０は映像Ｂ７２０とともに映像Ａ７１０を第２録画領域５２０に別にまたは結合して保存することができる。

【0081】

イベント信号入力時点が第１区間ないし第３区間のうち時間的に最も遅い第３区間に含まれる場合、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像とそれ以降の時点の映像を第２録画領域５２０に保存することができる。この場合、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像とそれ以降の時点の映像をそれぞれ別の映像として第２録画領域５２０に保存することができ、該当時点の映像とそれ以降の時点の映像を結合して新規映像を生成した後に前記新規映像を第２録画領域５２０に保存することも可能である。

【0082】

例えば、第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより６分間撮像された映像を基準として第１制御モジュール２６０により３分５０秒（３：５０）から４分（４：００）の間にイベント信号が入力されると、第２制御モジュール４３０は映像Ｂ７２０とともに映像Ｃ７３０を第２録画領域５２０に別にまたは結合して保存することができる。

【0083】

イベント信号入力時点が第１区間ないし第３区間のうち時間的に中間部分に該当する第２区間に含まれる場合、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像を第２録画領域５２０に保存することができる。例えば、第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより６分間撮像された映像を基準として第１制御モジュール２６０により２分１１秒（２：１１）から３分４９秒（３：４９）の間にイベント信号が入力されると、第２制御モジュール４３０は映像Ｂ７２０のみを第２録画領域５２０に保存することができる。図７はコンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの映像記録機能を説明するための例示図である。

【0084】

次に、以上説明した映像記録と関連して第２制御モジュール４３０の作動方法について説明する。図８はコンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの映像記録機能のための作動方法を例示的に示す流れ図である。

【0085】

先に、第２制御モジュール４３０は第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂによりリアルタイムで取得される映像を事前に決定された設定時間（例えば、２分）単位に分割し、分割されたそれぞれの映像を第１録画領域５１０に記録する（Ｓ８１０）。本実施例では第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂが設定時間単位で映像を撮像して、第２制御モジュール４３０に該当映像を提供することも可能である。この場合には、第２制御モジュール４３０が映像を分割する機能を省略することもできる。一方、前記で設定時間は管理者によって決定されることができ、変更できるのはもちろんである。

【0086】

第１録画領域５１０に映像をこれ以上記録できない場合（Ｓ８２０）、第２制御モジュール４３０は第１録画領域５１０に保存されている映像のうち時間的に最も古い映像を削除し、新規に取得された映像を第１録画領域５１０に記録する（Ｓ８３０）。

【0087】

第１制御モジュール２６０からイベント信号が入力されると（Ｓ８４０）、第２制御モジュール４３０は該当時点の映像を第２録画領域５２０に記録する（Ｓ８５０）。例えば、コンテナ搬送装置１１０に設置されたセンサによりＬｏｏｋ Ｄｏｗｎが感知されると、第１制御モジュール２６０は第２制御モジュール４３０にイベント信号を送出することができ、第２制御モジュール４３０は該当時点の積み下ろしのカメラ映像を第２録画領域５２０に移動させることができる。また、コンテナ搬送装置１１０に設置されたセンサにより衝突や衝撃、障害物などが感知されると、第１制御モジュール２６０は第２制御モジュール４３０にイベント信号を送出することができ、第２制御モジュール４３０は該当時点の走行カメラ映像を第２録画領域５２０に移動させることができる。

【0088】

第２制御モジュール４３０はイベント信号が入力された時点、すなわち、イベント発生時点の映像を時間の長さによって第１区間、第２区間、第３区間など三つの区間に分割し、イベント発生時点が第１区間に該当する場合（Ｓ８６０）、その時点以前の映像も第２録画領域５２０に記録する（Ｓ８７０）。また、第２制御モジュール４３０はイベント発生時点が第３区間に該当する場合（Ｓ８８０）、その時点以降の映像も第２録画領域５２０に記録する（Ｓ８９０）。

【0089】

本実施例では以上説明した映像記録方法によりイベント記録ユニット４００が第２録画領域５２０に記録した映像を今後の事故や異常発生などの原因の分析に活用することができる。

【0090】

次に、イベント記録ユニット４００の異常状況報告機能について説明する。

【0091】

第２制御モジュール４３０はイベント記録ユニット４００に異常状況が発生すると、この事実を第１制御モジュール２６０に報告することができる。第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０にイベント信号を送出してイベント記録ユニット４００に異常状況が発生したことを知らせ、次に第１制御モジュール２６０にエラー状況を具体的に説明するメッセージを送出することができる。

【0092】

第２制御モジュール４３０はＭビット（ここで、Ｍは２以上の自然数）の２進信号を用いて第１制御モジュール２６０にエラー状況を具体的に説明するメッセージを送出することができる。例えば図９を参照すると、ＣＡＭ １未締結の場合、第２制御モジュール４３０は０００００００１信号を第１制御モジュール２６０に送出することができ、ＣＡＭ ２未締結の場合、第２制御モジュール４３０は００００００１１信号を第１制御モジュール２６０に送出することができる。また、ＣＡＭ １ ＆ ２未締結の場合、第２制御モジュール４３０は０００００１１１信号を第１制御モジュール２６０に送出することができる。また、ＳＤメモリーカード未締結の場合、第２制御モジュール４３０は００００１１１１信号を第１制御モジュール２６０に送出することができ、ＳＤメモリーカードの寿命が間近になった場合には、第２制御モジュール４３０は０００１１１１１信号を第１制御モジュール２６０に送出することができる。

【0093】

しかし、本実施例はこれに限定されるものではない。第２制御モジュール４３０は二つの信号発生器（すなわち、第１信号発生器および前記第１信号発生器と異なる類型の第２信号発生器）を用いて第１制御モジュール２６０にエラー状況を具体的に説明するメッセージを送出することも可能である。または、第２制御モジュール４３０は二つの信号発生器とともにアラーム信号を追加で活用して第１制御モジュール２６０にエラー状況を具体的に説明するメッセージを送出することも可能である。

【0094】

一方、第２制御モジュール４３０は管理者端末にイベント信号を送出してイベント記録ユニット４００に異常状況が発生したことを知らせ、次に管理者端末にエラー状況を具体的に説明するメッセージを送出することも可能である。

【0095】

図９はコンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの異常状況報告機能を説明するための例示図である。図９に示されている第２制御モジュール４３０の異常状況報告機能は一つの例示であり、本実施例がこれに限定されて運用されるものではないのはもちろんである。

【0096】

図９において、ＣＡＭ １は第１カメラモジュール４１０ａを意味し、ＣＡＭ ２は第２カメラモジュール４１０ｂを意味する。そして、前記で言及した第１信号発生器および第２信号発生器は例えば、赤色ＬＥＤと緑色ＬＥＤであり得る。

【0097】

本実施例では以上説明したイベント記録ユニット４００の異常状況報告機能によりＳＤメモリーカードの寿命を計算してその交換時期を第１制御モジュール２６０に報告し、第１制御モジュール２６０は上位サーバ（例えば、管理者端末）に報告することによって、ＳＤメモリーカードの寿命が終了する前にＳＤメモリーカードに対する交換作業を可能にすることができる。また、作業者が管理者モードに接続してＳＤメモリーカードの寿命の残余時間を確認できるようにすることもできる。

【0098】

一方、第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０に異常状況発生報告およびエラー状況を説明した後、第１制御モジュール２６０と通信連結して該当内容をログとして記録することができ、そのため原因の分析に活用できるようにすることができる。

【0099】

次に、イベント記録ユニット４００のユーザー設定機能について説明する。図１０はコンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールのユーザー設定機能を説明するための例示図である。

【0100】

第２制御モジュール４３０は作業者（または管理者）がイベント記録ユニット４００と関連する情報を遠隔で設定できるように管理者端末１４０の画面Ｓ上にユーザーインターフェース（ＵＩ；Ｕｓｅｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）を提供することができる。この場合、管理者端末１４０の画面Ｓに表示されるユーザーインターフェースＵＩは例えば、現在の時間、映像キャプチャ、時間同期化、カメラの数、映像容量（時間単位）、イベントフォルダ容量（すなわち、第１録画領域５１０内での第２録画領域５２０の大きさ）、パスワード（Ｐａｓｓｗｏｒｄ）、プログラムアップデート（Ｆ／Ｗ Ｕｐｄａｔｅ）などの設定と関連する情報を含むことができる。

【0101】

第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０と通信連結され、第１制御モジュール２６０は管理者端末１４０と通信連結され、第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０を介して管理者端末１４０に接続して管理者端末１４０の画面Ｓ上にユーザーインターフェースＵＩを提供することができる。または、第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０を経ず管理者端末１４０に直接接続して管理者端末１４０の画面Ｓ上にユーザーインターフェースＵＩを提供することも可能である。本実施例では第２制御モジュール４３０のこのような機能により作業者が遠隔でプログラムアップデートなどを設定するようにすることができ、プログラムアップデートの際にイベント記録ユニット４００からＳＤメモリーカードを分離しなくても良い便利性を得ることができる。

【0102】

第２制御モジュール４３０は作業者が第１録画領域５１０または第２録画領域５２０に接近しようとするか、第１録画領域５１０または第２録画領域５２０に記録されている映像を実行しようとする場合、ユーザーインターフェースＵＩを介してパスワードを入力するようにする機能を提供することができる。第２制御モジュール４３０は管理者モードによってのみパスワードの変更を可能にし、権限がある者のみ第１録画領域５１０または第２録画領域５２０に記録されている映像を実行するようにすることができる。

【0103】

次に、イベント記録ユニット４００の映像表示機能について説明する。図１１はコンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの映像表示機能を説明するための例示図である。

【0104】

第２制御モジュール４３０は第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより撮像される映像を管理者端末１４０の画面Ｓ上にリアルタイムで表示することができる。この場合、第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０を介して管理者端末１４０に接続して前記のような機能を実行するか、管理者端末１４０に直接接続して前記のような機能を実行できるのはもちろんである。

【0105】

第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０によりコンテナ搬送装置１１０と関連する第１データ（例えば、ノード情報、エラー表示（発生時）、速度など）を取得することができる。また、第２制御モジュール４３０は撮像映像と関連する第２データ（例えば、撮像時間）を自身で取得することができる。第２制御モジュール４３０は撮像映像が管理者端末１４０の画面Ｓ上に表示される場合、第１データおよび／または第２データを撮像映像と共に管理者端末１４０の画面Ｓ上に表示することができる。本実施例では第１制御モジュール２６０と第２制御モジュール４３０の連動により第２制御モジュール４３０がコンテナ搬送装置１１０と関連するデータを容易に取得するようにする効果を得ることができる。

【0106】

また、第２制御モジュール４３０は図１１に示すように第１データおよび／または第２データが表示される領域９２０を撮像映像が表示される領域９１０の外側に配置して、作業者が撮像映像に表示された主な内容を肉眼で確認するのに不便が無いようにすることができる。本実施例では第２制御モジュール４３０のこのような機能により管理者端末１４０の画面Ｓ上にコンテナ搬送装置１１０と関連するデータも表示して、作業者が前記データの確認のためにコンテナ搬送装置１１０と通信しなければならない不便さをなくすことができる。

【0107】

次に、コンテナ搬送装置１１０の移動経路上の障害物感知機能について説明する。

【0108】

第２制御モジュール４３０は第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂにより取得された映像に基づいてコンテナ搬送装置１１０の移動経路上に障害物が位置するかどうかを感知することができる。第２制御モジュール４３０は一対のレール３３０ａ，３３０ｂの上に位置する多様な類型の障害物に対してイメージ学習を実施して、障害物と関連するイメージが第１カメラモジュール４１０ａまたは第２カメラモジュール４１０ｂにより取得されると、この事実を第１制御モジュール２６０に報告して、コンテナ搬送装置１１０と障害物の間の衝突を防止することができる。

【0109】

第２制御モジュール４３０はコンテナ搬送装置１１０の移動経路上に位置する障害物を感知する場合、一対のレール３３０ａ，３３０ｂのうち少なくともいずれか一方のレールにある異物を感知することができ、トラックケーブル（Ｔｒａｃｋ Ｃａｂｌｅ）の断線や摩耗などを感知することもできる。

【0110】

図１２はコンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの障害物感知機能のための作動方法を例示的に示す流れ図である。

【0111】

コンテナ搬送装置１１０がコンテナ３１０を目的地まで搬送するために一対のレール３３０ａ，３３０ｂの上を走行する場合、第２制御モジュール４３０は第１カメラモジュール４１０ａおよび第２カメラモジュール４１０ｂによりコンテナ搬送装置１１０の走行映像をリアルタイムで取得する（Ｓ１０１０）。

【0112】

その後、第２制御モジュール４３０はリアルタイムで取得されたコンテナ搬送装置１１０の走行映像を分析し（Ｓ１０２０）、コンテナ搬送装置１１０の移動経路上に障害物が位置するかどうかを判別する（Ｓ１０３０）。

【0113】

コンテナ搬送装置１１０の移動経路上に障害物が位置すると判別されると、第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０によりコンテナ搬送装置１１０の走行を停止させて、該当映像と分析結果を管理者端末１４０に報告する（Ｓ１０４０）。

【0114】

コンテナ搬送装置１１０は走行中にエラーが発生し得、このようなエラーは障害物として登録されていない異物によるものであり得る（Ｓ１０５０）。この場合、第２制御モジュール４３０は第１制御モジュール２６０によりコンテナ搬送装置１１０の走行を停止させて、該当映像に対して追加でイメージ学習を実行して該当映像に示されている移動経路上の異物を障害物に追加で登録する（Ｓ１０６０）。

【0115】

なお、第２制御モジュール４３０はコンテナ搬送装置１１０に走行中にエラーが発生すると、該当時点の映像をイメージ学習させてその原因が走行経路上に位置する異物であるかどうかを判別することも可能である。

【0116】

次に、イベント記録ユニット４００の非常状況監視機能について説明する。

【0117】

半導体製造工場内では複数のコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎが運用されることができ、それぞれのコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎが目的地までコンテナ３１０を搬送する過程で多様な事故が発生し得る。例えば、第１コンテナ搬送装置１１０ａが目的地まで走行する途中に移動経路を離脱するか第１コンテナ搬送装置１１０ａに火災が発生する事故が発生し得、交差点などで第２コンテナ搬送装置１１０ｂと第３コンテナ搬送装置１１０ｃが衝突する事故が発生する場合もある。本実施例ではこのような場合、イベント記録ユニット４００が次のように作動することができる。

【0118】

追突、火災などの非常状況が発生する場合、事故現場から最も近い距離に位置したコンテナ搬送装置１１０ｋが事故現場に移動することができる。その後、該当コンテナ搬送装置１１０ｋのイベント記録ユニット４００が事故現場を撮像し、コンテナ搬送装置１１０ｋの第１制御モジュール２６０が事故現場を撮像して得た映像を管理者端末１４０に送出および報告する。ここで、第１制御モジュール２６０は管理者が原因分析に活用できるように該当時点の映像だけでなくその時点以前の映像も共に管理者端末１４０に送出することができる。また、本実施例ではイベント記録ユニット４００の第２制御モジュール４３０が該当映像を管理者端末１４０に直接送出および報告することも可能である。事故現場を撮像した映像が管理者端末１４０に提供されると、作業者は管制センターや事務室、個人携帯電話などで現況を直ちに確認して措置することができる。

【0119】

追突、火災などの非常状況が発生する場合、事故現場から最も近い距離に位置したコンテナ搬送装置１１０ｋが事故現場に移動できるが、本実施例は必ずしもこれに限定されるものではない。事故現場から一定の距離以内に複数のコンテナ搬送装置が位置する場合、本実施例では複数のコンテナ搬送装置のうちいずれか一つのコンテナ搬送装置を選択して事故現場に移動させることができる。

【0120】

例えば、複数のコンテナ搬送装置のうちアイドル状態であるコンテナ搬送装置を検出し、該当コンテナ搬送装置を事故現場に移動させることができる。または、アイドル状態であるコンテナ搬送装置が複数である場合、最も近い距離に位置したコンテナ搬送装置を事故現場に移動させることもできる。または、最も近い距離に位置したコンテナ搬送装置が目的地までコンテナ３１０を搬送している場合、アイドル状態であるコンテナ搬送装置のうち事故現場から最も近い距離に位置したコンテナ搬送装置を事故現場に移動させることも可能である。

【0121】

図１３はコンテナ搬送装置のイベント記録ユニットを構成する第２制御モジュールの非常状況監視機能のための作動方法を例示的に示す流れ図である。

【0122】

搬送制御装置１２０は複数のコンテナ搬送装置１１０ａ，１１０ｂ，…，１１０ｎにより提供される映像をモニタリングして半導体製造工場内に非常状況が発生したかどうかを判別する（Ｓ１１１０）。

【0123】

半導体製造工場内に非常状況が発生したと判別されると、搬送制御装置１２０は事故地点にイベント記録装置４００を搭載したコンテナ搬送装置１１０ｉが存在するかどうかを判別する（Ｓ１１２０）。

【0124】

事故地点にイベント記録装置４００を搭載したコンテナ搬送装置１１０ｉが存在すると判別されると、搬送制御装置１２０の制御に応じて該当コンテナ搬送装置１１０ｉが事故現場に移動して事故現場を撮像して、該当映像を管理者端末１４０に提供する（Ｓ１１３０）。

【0125】

反面、事故地点にイベント記録装置４００を搭載したコンテナ搬送装置１１０ｉが存在しないと判別されると、搬送制御装置１２０が事故地点から最も近い距離に位置したコンテナ搬送装置１１０ｊを検出する（Ｓ１１４０）。

【0126】

その後、搬送制御装置１２０の制御に応じて該当コンテナ搬送装置１１０ｊが事故現場に移動して事故現場を撮像して、該当映像を管理者端末１４０に提供する（Ｓ１１５０）。

【0127】

本発明はブラックボックスの役割をするイベント記録ユニット４００とこれを搭載したコンテナ搬送装置１１０および物流搬送システム１００に関するものである。本発明の特徴をまとめると、次のとおりである。

【0128】

第一に、常時録画機能だけを主に使用してＳＤメモリーカードの寿命を最大に延長させることができる。

【0129】

第二に、イベント記録ユニット４００の第２制御モジュール４３０がコンテナ搬送装置１１０の第１制御モジュール２６０と有線／無線通信してコンテナ搬送装置１１０と関連するセンサの監視映像を別に確保することが可能になる。すなわち、第１制御モジュール２６０と第２制御モジュール４３０が通信連結されてコンテナ搬送装置１１０に設置された各種センサの信号を共有することができ、そのため関連映像の確保が容易になる。

【0130】

第三に、イベント記録ユニット４００のセッティング（Ｓｅｔｔｉｎｇ）およびアップデート（Ｕｐｄａｔｅ）を遠隔ですることができるため作業者に便宜性を提供することができる。

【0131】

第四に、管理者端末１４０の画面に映像と共にコンテナ搬送装置１１０と関連するデータを表示して作業者が容易に現況を把握することができ、不良発生時の原因把握が容易になる。

【0132】

第五に、非常状況が発生するとイベント記録ユニット４００を搭載したコンテナ搬送装置１１０を事故現場に急派して管理者が現場状況を肉眼で迅速に確認することが可能である。

【0133】

以上、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で製造されることができ、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明の技術的思想や必須の特徴を変更せず他の具体的な形態で実施できることを理解することができる。したがって、上記一実施例はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。

【符号の説明】

【0134】

１００ 物流搬送システム１１０ コンテナ搬送装置
１２０ 搬送制御装置 １３０ データベース
１４０ 管理者端末 ２１０ 把持モジュール
２２０ 昇降モジュール ２３０ 駆動モジュール
２４０ 駆動ホイール ２５０ ガイドホイール
２６０ 第１制御モジュール ３１０ コンテナ
４００ イベント記録ユニット ４１０ 第１カメラモジュール
４２０ 第２カメラモジュール ４３０ 保存モジュール
４４０ 第２制御モジュール ５１０ 第１録画領域
５２０ 第２録画領域 ６１０ 衝突／衝撃感知センサ
６２０ 速度測定センサ ６３０ 障害物感知センサ
７１０ 映像Ａ ７２０ 映像Ｂ
７２１ 第１区間 ７２２ 第２区間
７２３ 第３区間 ７３０ 映像Ｃ
９１０ 映像表示領域 ９２０ データ表示領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】