特開2023-157053パッケージ型真空ポンプユニット

発明の名称　パッケージ型真空ポンプユニット

出願人　株式会社アンレット　（識別番号 127123）

　　　　特許公開件数ランキング 11664 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24536 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-157053

公報発行日　2023年10月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-157053

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