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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023157363
(43)【公開日】2023-10-26
(54)【発明の名称】めっき装置およびめっき方法
(51)【国際特許分類】
C25D 17/00 20060101AFI20231019BHJP
C25D 21/12 20060101ALI20231019BHJP
C25D 7/12 20060101ALI20231019BHJP
【ＦＩ】
C25D17/00 C
C25D21/12 A
C25D17/00 K
C25D7/12
【審査請求】有
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022067236
(22)【出願日】2022-04-14
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2022-07-11
(71)【出願人】
【識別番号】000233044
【氏名又は名称】株式会社日立パワーソリューションズ
(74)【代理人】
【識別番号】110001807
【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】濱地 彬文
(72)【発明者】
【氏名】門田 裕行
(72)【発明者】
【氏名】岡崎 浩平
【テーマコード（参考）】
4K024
【Ｆターム（参考）】
4K024AA09
4K024AB07
4K024BB12
4K024CA05
4K024CB02
4K024CB04
4K024CB16
(57)【要約】
【課題】被めっき物の表裏両面にめっき液流路を備え、めっき液をそれぞれのめっき液流路に予め設定した分流比で分流して供給し、被めっき物の表裏両面を同時かつ高速にめっき処理できるめっき装置およびめっき方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るめっき装置Ａは、めっき槽１内において把持部１２の一側面１２ａ側に形成される第一のめっき液流路１３ａおよび前記一側面１２ａの裏面となる他側面１２ｂ側に形成される第二のめっき液流路１３ｂと、めっき液循環供給口７側の保持部１１である第一の保持部１１ａに固定保持された分流部１０と、を備え、前記めっき液循環供給口７から供給されためっき液を、前記分流部１０により前記第一のめっき液流路１３ａと前記第二のめっき液流路１３ｂに予め設定した分流比で分流して供給し、前記第一のめっき液流路１３ａと前記第二のめっき液流路１３ｂとを通過するめっき液流により被めっき物５をめっき処理する。
【選択図】図２
【解決手段】本発明に係るめっき装置Ａは、めっき槽１内において把持部１２の一側面１２ａ側に形成される第一のめっき液流路１３ａおよび前記一側面１２ａの裏面となる他側面１２ｂ側に形成される第二のめっき液流路１３ｂと、めっき液循環供給口７側の保持部１１である第一の保持部１１ａに固定保持された分流部１０と、を備え、前記めっき液循環供給口７から供給されためっき液を、前記分流部１０により前記第一のめっき液流路１３ａと前記第二のめっき液流路１３ｂに予め設定した分流比で分流して供給し、前記第一のめっき液流路１３ａと前記第二のめっき液流路１３ｂとを通過するめっき液流により被めっき物５をめっき処理する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第一のめっき対象面と第二のめっき対象面とを有する薄板状の被めっき物の、前記第一のめっき対象面と前記第二のめっき対象面に同時にめっき液を供給することによって前記被めっき物を同時にめっき処理するめっき装置であって、
めっき槽と、
前記めっき槽内において一対の保持部により固定保持されて前記被めっき物を把持する把持部と、
前記めっき槽内において前記把持部の一側面側に形成される第一のめっき液流路および前記一側面の裏面となる他側面側に形成される第二のめっき液流路と、
前記めっき液を前記めっき槽の底部から前記めっき槽内に供給するめっき液循環供給口と、
前記めっき液を前記めっき槽の底部から前記めっき槽外に排出するめっき液循環排出口と、
前記めっき液循環供給口側の保持部である第一の保持部における前記把持部と対向する位置に固定保持される分流部と、を備え、
前記めっき液循環供給口から供給された前記めっき液を、前記分流部により前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路に予め設定した分流比で分流して供給し、前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路とを通過した前記めっき液を合流して前記めっき液循環排出口から排出して形成するめっき液流により前記被めっき物をめっき処理すること、
を特徴とするめっき装置。
めっき槽と、
前記めっき槽内において一対の保持部により固定保持されて前記被めっき物を把持する把持部と、
前記めっき槽内において前記把持部の一側面側に形成される第一のめっき液流路および前記一側面の裏面となる他側面側に形成される第二のめっき液流路と、
前記めっき液を前記めっき槽の底部から前記めっき槽内に供給するめっき液循環供給口と、
前記めっき液を前記めっき槽の底部から前記めっき槽外に排出するめっき液循環排出口と、
前記めっき液循環供給口側の保持部である第一の保持部における前記把持部と対向する位置に固定保持される分流部と、を備え、
前記めっき液循環供給口から供給された前記めっき液を、前記分流部により前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路に予め設定した分流比で分流して供給し、前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路とを通過した前記めっき液を合流して前記めっき液循環排出口から排出して形成するめっき液流により前記被めっき物をめっき処理すること、
を特徴とするめっき装置。
【請求項2】
請求項１に記載のめっき装置であって、
前記分流部は、前記被めっき物の表面の第一の回路パターンに基づく第一のめっき条件と、前記被めっき物の裏面の第二の回路パターンに基づく第二のめっき条件と、によって定まる分流比で前記めっき液流を分流して、前記第一のめっき液流路および前記第二のめっき液流路に供給すること、
を特徴とするめっき装置。
前記分流部は、前記被めっき物の表面の第一の回路パターンに基づく第一のめっき条件と、前記被めっき物の裏面の第二の回路パターンに基づく第二のめっき条件と、によって定まる分流比で前記めっき液流を分流して、前記第一のめっき液流路および前記第二のめっき液流路に供給すること、
を特徴とするめっき装置。
【請求項3】
請求項２に記載のめっき装置であって、
前記第一のめっき液流路の第一のめっき液取込口と、前記第二のめっき液流路の第二のめっき液取込口と、の面積比が前記分流比になるように前記分流部の形状を設定すること、
を特徴とするめっき装置。
前記第一のめっき液流路の第一のめっき液取込口と、前記第二のめっき液流路の第二のめっき液取込口と、の面積比が前記分流比になるように前記分流部の形状を設定すること、
を特徴とするめっき装置。
【請求項4】
請求項３に記載のめっき装置であって、
前記分流部は、長手方向に垂直な断面の外線が三角形を形成する柱状構造物であり、
前記柱状構造物は、前記三角形の何れかの頂点を含む長手方向の稜線を示す分流辺が前記めっき液流の上流側を向いて配設すると共に、前記分流辺に対向する底面により前記第一の保持部に固定保持され、
前記第一のめっき液流路の第一のめっき液取込口と、前記第二のめっき液流路の第二のめっき液取込口と、の面積比が前記分流比になるように前記頂点を挟む前記三角形の二辺の長さ比率を設定すること、
を特徴とするめっき装置。
前記分流部は、長手方向に垂直な断面の外線が三角形を形成する柱状構造物であり、
前記柱状構造物は、前記三角形の何れかの頂点を含む長手方向の稜線を示す分流辺が前記めっき液流の上流側を向いて配設すると共に、前記分流辺に対向する底面により前記第一の保持部に固定保持され、
前記第一のめっき液流路の第一のめっき液取込口と、前記第二のめっき液流路の第二のめっき液取込口と、の面積比が前記分流比になるように前記頂点を挟む前記三角形の二辺の長さ比率を設定すること、
を特徴とするめっき装置。
【請求項5】
請求項３に記載のめっき装置であって、
前記分流部は、長手方向に垂直な断面の外線が四角形を形成する柱状構造物であり、
前記柱状構造物は、前記第一の保持部の前記めっき液循環供給口と相対する側の面に一平面によって固定保持され、
前記第一のめっき液流路の第一のめっき液取込口と、前記第二のめっき液流路の第二のめっき液取込口と、の面積比が前記分流比になるように、前記第一のめっき液流路へのめっき液流の流入量を制限するように前記分流部の一部が前記第一のめっき液流路に張り出して形成する第一の遮蔽部の大きさ、または、前記第二のめっき液流路へのめっき液流の流入量を制限するように前記分流部の一部が前記第二のめっき液流路に張り出して形成する第二の遮蔽部の大きさを設定すること、
を特徴とするめっき装置。
前記分流部は、長手方向に垂直な断面の外線が四角形を形成する柱状構造物であり、
前記柱状構造物は、前記第一の保持部の前記めっき液循環供給口と相対する側の面に一平面によって固定保持され、
前記第一のめっき液流路の第一のめっき液取込口と、前記第二のめっき液流路の第二のめっき液取込口と、の面積比が前記分流比になるように、前記第一のめっき液流路へのめっき液流の流入量を制限するように前記分流部の一部が前記第一のめっき液流路に張り出して形成する第一の遮蔽部の大きさ、または、前記第二のめっき液流路へのめっき液流の流入量を制限するように前記分流部の一部が前記第二のめっき液流路に張り出して形成する第二の遮蔽部の大きさを設定すること、
を特徴とするめっき装置。
【請求項6】
請求項１に記載のめっき装置であって、
前記第一のめっき液流路は、前記一側面と所定の間隔をあけて相対する第一の陽極板を備え、
前記第二のめっき液流路は、前記他側面と所定の間隔をあけて相対する第二の陽極板を備え、
前記第一の陽極板と前記把持部に把持された被めっき物との間に第一の直流電源を接続し、
前記第二の陽極板と前記把持部に把持された被めっき物との間に第二の直流電源を接続し、
前記第一の直流電源により、前記被めっき物の第一のめっき対象面の第一の回路パターンに基づく第一のめっき条件に基づいて設定する電流を付与し、
前記第二の直流電源により、前記被めっき物の第二のめっき対象面の第二の回路パターンに基づく第二のめっき条件に基づいて設定する電流を付与すること、
を特徴とするめっき装置。
前記第一のめっき液流路は、前記一側面と所定の間隔をあけて相対する第一の陽極板を備え、
前記第二のめっき液流路は、前記他側面と所定の間隔をあけて相対する第二の陽極板を備え、
前記第一の陽極板と前記把持部に把持された被めっき物との間に第一の直流電源を接続し、
前記第二の陽極板と前記把持部に把持された被めっき物との間に第二の直流電源を接続し、
前記第一の直流電源により、前記被めっき物の第一のめっき対象面の第一の回路パターンに基づく第一のめっき条件に基づいて設定する電流を付与し、
前記第二の直流電源により、前記被めっき物の第二のめっき対象面の第二の回路パターンに基づく第二のめっき条件に基づいて設定する電流を付与すること、
を特徴とするめっき装置。
【請求項7】
請求項１に記載のめっき装置であって、
循環ポンプと、めっき液供給路と、めっき液回収路と、を備え、
前記循環ポンプの吐出側と前記めっき液循環供給口とを前記めっき液供給路で接続し、前記循環ポンプの吸込側と前記めっき液循環排出口とを前記めっき液回収路で接続して前記めっき槽と前記循環ポンプとの間で循環路を形成し、前記循環ポンプにより所定の吐出圧にて前記めっき液を循環すること、
を特徴とするめっき装置。
循環ポンプと、めっき液供給路と、めっき液回収路と、を備え、
前記循環ポンプの吐出側と前記めっき液循環供給口とを前記めっき液供給路で接続し、前記循環ポンプの吸込側と前記めっき液循環排出口とを前記めっき液回収路で接続して前記めっき槽と前記循環ポンプとの間で循環路を形成し、前記循環ポンプにより所定の吐出圧にて前記めっき液を循環すること、
を特徴とするめっき装置。
【請求項8】
第一のめっき対象面と第二のめっき対象面とを有する薄板状の被めっき物の、前記第一のめっき対象面と前記第二のめっき対象面に同時にめっき液を供給することによって前記被めっき物を同時にめっき処理するめっき装置であって、めっき槽と、前記めっき槽内において一対の保持部により固定保持されて前記被めっき物を把持する把持部と、前記めっき槽内において前記把持部の一側面側に形成される第一のめっき液流路および前記一側面の裏面となる他側面側に形成される第二のめっき液流路と、前記めっき液を前記めっき槽の底部から前記めっき槽内に供給するめっき液循環供給口と、前記めっき液を前記めっき槽の底部から前記めっき槽外に排出するめっき液循環排出口と、前記めっき液循環供給口側の保持部である第一の保持部における前記把持部と対向する位置に固定保持される分流部と、を備えるめっき装置を用いるめっき方法であり、
前記めっき液循環供給口から供給された前記めっき液を、前記分流部により前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路に予め設定した分流比で分流して供給し、前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路とを通過した前記めっき液を合流して前記めっき液循環排出口から排出して形成するめっき液流により前記被めっき物をめっき処理すること、
を特徴とするめっき方法。
前記めっき液循環供給口から供給された前記めっき液を、前記分流部により前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路に予め設定した分流比で分流して供給し、前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路とを通過した前記めっき液を合流して前記めっき液循環排出口から排出して形成するめっき液流により前記被めっき物をめっき処理すること、
を特徴とするめっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、めっき装置およびめっき方法に関する。
【背景技術】
【0002】
本発明の背景技術として、例えば、特許文献１に記載の技術がある。この特許文献１には、めっき槽と、該めっき槽に配設した陽極板と、該陽極板に対向して配設する被めっき物を保持する保持手段とを有するめっき装置が記載されている。このめっき装置において、前記めっき槽は、めっき液を一方向に流すめっき液流路を形成する流路壁と、前記めっき液流路に前記被めっき物のめっきしたい被めっき物表面に対応した開口部とを有している。また、このめっき装置は、前記めっき液に渦流を発生させる渦発生器と、該渦発生器に前記めっき液を送る循環ポンプとを有している。そして、このめっき装置は、前記渦発生器と前記循環ポンプとによって前記めっき液を前記めっき槽の下部より前記めっき液流路に供給し、前記めっき槽の下部より排出させる循環経路を有する。
【0003】
特許文献１に記載のめっき装置は、循環ポンプによってめっき液の一様な流速分布を持つ高速めっき液流を形成できる。そのため、このめっき装置は、深い穴や深い溝またはアスペクト比の高い穴や溝を有する被めっき物表面に新しいめっき液を供給し易くし、高速でめっきが行える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第４４４７４３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１に記載のめっき装置には片面流路しか形成されていない。従って、このめっき装置で両面をめっき処理するためには、片面ずつ２回のめっき処理を施さなければならなかった。
【0006】
本発明の課題は、被めっき物の表裏両面にめっき液流路を備え、めっき液をそれぞれのめっき液流路に予め設定した分流比で分流して供給し、被めっき物の表裏両面を同時かつ高速にめっき処理できるめっき装置およびめっき方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記課題を解決した本発明に係るめっき装置は、第一のめっき対象面と第二のめっき対象面とを有する薄板状の被めっき物の、前記第一のめっき対象面と前記第二のめっき対象面に同時にめっき液を供給することによって前記被めっき物を同時にめっき処理するめっき装置であって、めっき槽と、前記めっき槽内において一対の保持部により固定保持されて前記被めっき物を把持する把持部と、前記めっき槽内において前記把持部の一側面側に形成される第一のめっき液流路および前記一側面の裏面となる他側面側に形成される第二のめっき液流路と、前記めっき液を前記めっき槽の底部から前記めっき槽内に供給するめっき液循環供給口と、前記めっき液を前記めっき槽の底部から前記めっき槽外に排出するめっき液循環排出口と、前記めっき液循環供給口側の保持部である第一の保持部における前記把持部と対向する位置に固定保持される分流部と、を備え、前記めっき液循環供給口から供給された前記めっき液を、前記分流部により前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路に予め設定した分流比で分流して供給し、前記第一のめっき液流路と前記第二のめっき液流路とを通過した前記めっき液を合流して前記めっき液循環排出口から排出して形成するめっき液流により前記被めっき物をめっき処理することとしている。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、被めっき物の表裏両面にめっき液流路を備え、めっき液をそれぞれのめっき液流路に予め設定した分流比で分流して供給し、被めっき物の表裏両面を同時かつ高速にめっき処理できるめっき装置およびめっき方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本実施形態に係るめっき装置の全体構成を示す概略側面図である。
【図2】本実施形態に係るめっき装置のめっき槽内部を説明する水平断面図である。
【図3】本実施形態に係るめっき装置の保持部、把持部および分流部の構成を説明する説明図である。
【図4A】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す斜視図である。
【図4B】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す概略断面図である。
【図4C】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す概略断面図である。
【図4D】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す概略断面図である。
【図5A】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す正面図である。
【図5B】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す概略断面図である。
【図5C】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す概略断面図である。
【図5D】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す概略断面図である。
【図6A】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す、めっき液流の上流側から見た正面図である。
【図6B】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す、めっき液流の上流側から見た正面図である。
【図6C】本実施形態に係るめっき装置の分流部の一態様を示す、めっき液流の上流側から見た正面図である。
【図7】本実施形態に係るめっき装置を用いて被めっき物に銅（Ｃｕ）をめっきする一例を示す概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、適宜図面を参照して、本発明の一実施形態に係るめっき装置およびめっき方法について詳細に説明する。なお、以下の説明において、上流および下流という用語は、説明対象となる装置に流れるめっき液の流れる方向における上流と下流を表す。
【0011】
【0012】
本実施形態に係るめっき装置Ａは、第一のめっき対象面５ａ（図２参照）と第二のめっき対象面５ｂ（図２参照）とを有する半導体ウェハなどの薄板状の被めっき物５をめっき処理する装置である。このめっき装置Ａは、第一のめっき対象面５ａと第二のめっき対象面５ｂに同時にめっき液を供給することによって、被めっき物５の表裏両面、すなわち第一のめっき対象面５ａおよび第二のめっき対象面５ｂを同時にめっき処理する。
【0013】
図１に示すように、めっき装置Ａは、主な構成要素として、めっき槽１、めっき液供給路２、めっき液回収路３、および循環ポンプ４を有している。循環ポンプ４はインバータにより回転速度を可変制御可能であり、めっき液を高速で循環させることができるとともに、めっき液の流速を制御できる。めっき液供給路２は、めっき槽１のめっき液循環供給口７と循環ポンプ４の吐出側とを接続する。めっき液回収路３は、めっき液循環排出口８と循環ポンプ４の吸込側とを接続する。循環ポンプ４は、所定の吐出圧によってめっき液をめっき液循環供給口７からめっき槽１に流入して、めっき液循環排出口８からめっき液を排出し、循環ポンプ４に回収する循環路によってめっき液流を形成し、めっき液を循環させる。
【0014】
次に、図２を参照して、めっき装置Ａのめっき槽１の内部を説明する。図２は、本実施形態に係るめっき装置Ａのめっき槽１の内部を説明する水平断面図である。
図２に示すように、めっき槽１は、めっき槽１内において一対の保持部１１により固定保持されて被めっき物５を把持する把持部１２を備えている。めっき槽１は、めっき槽１内において第一のめっき対象面５ａに隣接して形成する第一のめっき液流路１３ａおよび第二のめっき対象面５ｂに隣接して形成する第二のめっき液流路１３ｂを備えている。すなわち、めっき槽１は、めっき槽１内において把持部１２の一側面１２ａ側に形成される第一のめっき液流路１３ａおよび前記した一側面１２ａの裏面となる他側面１２ｂ側に形成される第二のめっき液流路１３ｂを備えている。また、めっき槽１は、めっき液をめっき槽１の底部からめっき槽１内に供給するめっき液循環供給口７を備えている。さらに、めっき槽１は、めっき液をめっき槽１の底部からめっき槽１外に排出するめっき液循環排出口８を備えている。めっき槽１は、めっき液循環供給口７側の保持部１１である第一の保持部１１ａにおける把持部１２と対向する位置に固定保持される分流部１０を備えている。
図２に示すように、めっき槽１は、めっき槽１内において一対の保持部１１により固定保持されて被めっき物５を把持する把持部１２を備えている。めっき槽１は、めっき槽１内において第一のめっき対象面５ａに隣接して形成する第一のめっき液流路１３ａおよび第二のめっき対象面５ｂに隣接して形成する第二のめっき液流路１３ｂを備えている。すなわち、めっき槽１は、めっき槽１内において把持部１２の一側面１２ａ側に形成される第一のめっき液流路１３ａおよび前記した一側面１２ａの裏面となる他側面１２ｂ側に形成される第二のめっき液流路１３ｂを備えている。また、めっき槽１は、めっき液をめっき槽１の底部からめっき槽１内に供給するめっき液循環供給口７を備えている。さらに、めっき槽１は、めっき液をめっき槽１の底部からめっき槽１外に排出するめっき液循環排出口８を備えている。めっき槽１は、めっき液循環供給口７側の保持部１１である第一の保持部１１ａにおける把持部１２と対向する位置に固定保持される分流部１０を備えている。
【0015】
めっき装置Ａは、めっき液循環供給口７から供給されためっき液を、分流部１０により第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂに所定の比率で分流して供給し、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂとを通過しためっき液を合流してめっき液循環排出口８から排出して形成するめっき液流を形成できる。このめっき液流は、循環ポンプ４により循環されるため、高速で流れるだけでなく、めっき液の一様な流速分布を持つ。したがって、めっき装置Ａは、このめっき液流により、被めっき物５の第一のめっき対象面５ａと第二のめっき対象面５ｂとを同時かつ高速にめっき処理できる。
【0016】
一対の保持部１１のうち第一の保持部１１ａは、めっき液導入流路９が、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂとに接続する位置であるとともに、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂとの中間となる位置に配設する。
【0017】
また、めっき液循環排出口８側のものである第二の保持部１１ｂは、めっき液排出流路１５が、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂとに接続する位置であるとともに、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂとの中間となる位置に配設する。
【0018】
次に、図２および図３を参照して、一対の保持部１１により分流部１０と把持部１２とを保持する構造、および把持部１２により被めっき物５を把持する構造について説明する。図３は、本実施形態に係るめっき装置Ａの保持部１１、把持部１２および分流部１０の構成を説明する説明図である。
【0019】
保持部１１は、柱状構造物である第一の保持部１１ａと第二の保持部１１ｂとにより構成する。第一の保持部１１ａは、めっき液循環供給口７側に配設する。第二の保持部１１ｂは、めっき液循環排出口８側に配設する。把持部１２の両端には、端部（側面）から外側方向に突出するリッジ部１２ｃ、１２ｃが設けられている。第一の保持部１１ａおよび第二の保持部１１ｂは、把持部１２の両端のリッジ部１２ｃを差し仕込むように対向して配置する溝１１ｃを有している。前記したリッジ部１２ｃ、１２ｃはそれぞれ、第一の保持部１１ａの溝１１ｃおよび第二の保持部１１ｂの溝１１ｃに差し込んでの着脱が可能な幅寸法および高さ寸法で形成されている。被めっき物５を把持部１２で把持し、その状態で把持部１２のリッジ部１２ｃを前記溝１１ｃに差し込むことにより、把持部１２を保持部１１に保持する。
【0020】
さらに、第一の保持部１１ａには、めっき液流の上流側に分流部１０を当接して固定保持する。
把持部１２は、把持部本体１２１と取付枠１７から構成する。把持部本体１２１の水平方向（めっき液流の流れる方向）の大きさは被めっき物５の大きさに依存せず、第一の保持部１１ａの溝１１ｃと第二の保持部１１ｂの溝１１ｃとの離間距離に等しく、溝１１ｃにリッジ部１２ｃを差し込んで保持することが可能となっている。
把持部１２は、把持部本体１２１と取付枠１７から構成する。把持部本体１２１の水平方向（めっき液流の流れる方向）の大きさは被めっき物５の大きさに依存せず、第一の保持部１１ａの溝１１ｃと第二の保持部１１ｂの溝１１ｃとの離間距離に等しく、溝１１ｃにリッジ部１２ｃを差し込んで保持することが可能となっている。
【0021】
取付枠１７は、被めっき物５の大きさによって定まる開口部１８を有する。取付枠１７は、開口部１８の全周にわたって被めっき物５と直流電源の負極側とを接続する電極１６を備え、被めっき物５の縁を全周に亘って挟みこむようにして固定把持する。
該電極１６は、第一のめっき対象面５ａに対応する第一の電極１６ａ（図７参照）、および第二のめっき対象面５ｂに対応する第二の電極１６ｂ（図７参照）により構成する。
なお、開口部１８の形状は、被めっき物５の形状に従って決定する。従って、開口部１８の形状は、円形の場合もあれば、四角形の場合もある。
該電極１６は、第一のめっき対象面５ａに対応する第一の電極１６ａ（図７参照）、および第二のめっき対象面５ｂに対応する第二の電極１６ｂ（図７参照）により構成する。
なお、開口部１８の形状は、被めっき物５の形状に従って決定する。従って、開口部１８の形状は、円形の場合もあれば、四角形の場合もある。
【0022】
次に、分流部１０について図４から図６により説明する。なお、図４Ａは、本実施形態に係るめっき装置Ａの分流部１０の一態様を示す斜視図である。図４Ｂ～図４Ｄは、本実施形態に係るめっき装置Ａの分流部１０の一態様を示す概略断面図である。図５Ａは、本実施形態に係るめっき装置Ａの分流部１０の一態様を示す正面図である。図５Ｂ～図５Ｄは、本実施形態に係るめっき装置Ａの分流部１０の一態様を示す概略断面図である。図６Ａ～図６Ｃは、本実施形態に係るめっき装置Ａの分流部１０の一態様を示す、めっき液流の上流側から見た正面図である。
【0023】
分流部１０は、めっき液導入流路９を介してめっき液循環供給口７から供給されるめっき液流を、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂとに分流する。その分流する比率を示す分流比は、被めっき物５の第一のめっき対象面５ａの第一の回路パターンに基づく第一のめっき条件と、被めっき物５の第二のめっき対象面５ｂの第二の回路パターンに基づく第二のめっき条件とに基づいて予め設定しておく。なお、めっき条件は、めっき処理に用いる電流の値とめっき液流の流速とによって定めるものである。めっき液流の流速に関しては、循環ポンプ４の回転速度を制御することによって調整するが、より効果的にするため、第一のめっき液流路１３ａおよび第二のめっき液流路１３ｂは、流路幅を１０ｍｍ以下にすることが望ましい。
【0024】
めっき槽１において分流比は、図４Ｂ～図４Ｄ、図５Ｂ～図５Ｄ、図６Ａ～図６Ｃに示すように、第一のめっき液流路１３ａの第一のめっき液取込口２２ａと、第二のめっき液流路１３ｂの第二のめっき液取込口２２ｂとの面積比で設定する。
【0025】
次に、第一のめっき液取込口２２ａと第二のめっき液取込口２２ｂとの面積比の設定について詳述する。これらの面積比は、分流部１０の形状によって設定する。該形状は、二つのケースがある。
【0026】
第一のケースは、図４Ａに示すように、分流部１０の形状が、長手方向に垂直な断面の外線が三角形を形成する柱状構造物（三角柱構造物）である。該柱状構造物を、当該三角形の何れかの頂点を含む長手方向の稜線を示す分流辺２１がめっき液流の上流側を向くように配設すると共に、分流辺２１に対向する底面により保持部１１（具体的には、第一の保持部１１ａ）に固定保持する。また、第一のめっき液流路１３ａの第一のめっき液取込口２２ａと、第二のめっき液流路１３ｂの第二のめっき液取込口２２ｂとの面積比が前述の分流比になるように、頂点を挟む当該三角形の二辺の長さ比率を設定する。
【0027】
図４Ｂ～図４Ｄに示すように、めっき液取込口２２は、上流側を向いた三角形の頂点を境として、第一の斜辺１９ａ側の第一のめっき液取込口２２ａと、第二の斜辺１９ｂ側の第二のめっき液取込口２２ｂと、により構成される。図４Ｂ～図４Ｄに示すように、第一のケースでは、第一の斜辺１９ａと第二の斜辺１９ｂの長さ比率によって、第一のめっき液取込口２２ａと第二のめっき液取込口２２ｂとの面積比を設定する。
【0028】
分流比を５０％対５０％で設定する場合について図４Ｂにより説明する。この場合は、第一の斜辺１９ａと第二の斜辺１９ｂとの長さを同じにする（第一の斜辺１９ａ＝第二の斜辺１９ｂ）。これにより、第一のめっき液取込口２２ａと第二のめっき液取込口２２ｂとの開口面積が等しくなり、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂに供給するめっき液流は、同量となる。
【0029】
第一のめっき液流路１３ａへのめっき液流供給量を第二のめっき液流路１３ｂへのめっき液流供給量よりも多くする場合について図４Ｃにより説明する。この場合は、分流比に基づいて第一の斜辺１９ａを第二の斜辺１９ｂよりも長くする（第一の斜辺１９ａ＞第二の斜辺１９ｂ）。これにより、第一のめっき液取込口２２ａの開口面積は第二のめっき液取込口２２ｂの開口面積よりも大きくなり、第一のめっき液流路１３ａに供給するめっき液流は第二のめっき液流路１３ｂに供給するめっき液流よりも多くなる。
【0030】
第二のめっき液流路１３ｂへのめっき液流供給量を第一のめっき液流路１３ａへのめっき液流供給量よりも多くする場合について図４Ｄにより説明する。この場合は、分流比に基づいて第二の斜辺１９ｂを第一の斜辺１９ａよりも長くする（第一の斜辺１９ａ＜第二の斜辺１９ｂ）。これにより、第二のめっき液取込口２２ｂの開口面積は第一のめっき液取込口２２ａの開口面積よりも大きくなり、第二のめっき液流路１３ｂに供給するめっき液流は第一のめっき液流路１３ａに供給するめっき液流よりも多くなる。
【0031】
次に、分流部１０の形状の第二のケースについて説明する。
第二のケースは、図５Ａに示すように、分流部１０の形状が、長手方向に垂直な断面の外線が四角形を形成する柱状構造物（四角柱構造物）である。該柱状構造物は、前記めっき液流の下流側に隣接する保持部１１（具体的には、第一の保持部１１ａ）に一平面によって固定保持する。すなわち、該柱状構造物は、第一の保持部１１ａのめっき液循環供給口７と相対する側の面に一平面によって固定保持する。
第二のケースは、図５Ａに示すように、分流部１０の形状が、長手方向に垂直な断面の外線が四角形を形成する柱状構造物（四角柱構造物）である。該柱状構造物は、前記めっき液流の下流側に隣接する保持部１１（具体的には、第一の保持部１１ａ）に一平面によって固定保持する。すなわち、該柱状構造物は、第一の保持部１１ａのめっき液循環供給口７と相対する側の面に一平面によって固定保持する。
【0032】
また、第一のめっき液流路１３ａの第一のめっき液取込口２２ａと、第二のめっき液流路１３ｂの第二のめっき液取込口２２ｂと、の面積比が前述の分流比になるように、第一のめっき液流路１３ａへのめっき液流の流入量を制限するように分流部１０の一部が第一のめっき液流路１３ａに張り出して形成する第一の遮蔽部２３ａの大きさ、または、第二のめっき液流路１３ｂへのめっき液流の流入量を制限するように分流部１０の一部が第二のめっき液流路１３ｂに張り出して形成する第二の遮蔽部２３ｂの大きさを設定する。
【0033】
第一のめっき液取込口２２ａと第二のめっき液取込口２２ｂは、めっき液流の流入量を制限しない方は遮蔽部の大きさをゼロとして開口面積を１００％とし、めっき液流の流入量を制限する方は分流比によって定まる遮蔽部を張り出すことにより開口面積の大きさを設定する。
【0034】
分流比を５０％対５０％で設定する場合について図５Ｂにより説明する。この場合は、第一の遮蔽部２３ａと第二の遮蔽部２３ｂとの大きさをゼロにする。これにより、第一のめっき液取込口２２ａと第二のめっき液取込口２２ｂとの開口面積が等しくなり、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂに供給するめっき液流は、同量となる。
【0035】
第一のめっき液流路１３ａへのめっき液流供給量を第二のめっき液流路１３ｂへのめっき液流供給量よりも多くする場合について図５Ｃにより説明する。この場合は、第一の遮蔽部２３ａの大きさをゼロとし、第二の遮蔽部２３ｂの大きさを分流比によって定まる大きさとする。これにより、第一のめっき液取込口２２ａの開口面積は第二のめっき液取込口２２ｂの開口面積よりも大きくなり、第一のめっき液流路１３ａに供給するめっき液流は第二のめっき液流路１３ｂに供給するめっき液流よりも多くなる。
【0036】
第二のめっき液流路１３ｂへのめっき液流供給量を第一のめっき液流路１３ａへのめっき液流供給量よりも多くする場合について図５Ｄにより説明する。この場合は、第二の遮蔽部２３ｂの大きさをゼロとし、第一の遮蔽部２３ａの大きさを分流比によって定まる大きさとする。これにより、第二のめっき液取込口２２ｂの開口面積は第一のめっき液取込口２２ａの開口面積よりも大きくなり、第二のめっき液流路１３ｂに供給するめっき液流は第一のめっき液流路１３ａに供給するめっき液流よりも多くなる。
【0037】
なお、分流部１０が四角形の柱状構造物の場合、遮蔽部は、図６Ａに示すように、単に四角形の構造のうちの対辺により第一のめっき液取込口２２ａおよび第二のめっき液取込口２２ｂを設けた構造とすることができる。また、遮蔽部は、図６Ｂに示すように、スリット部により第一のめっき液取込口２２ａおよび第二のめっき液取込口２２ｂを設けた構造とすることができる。また、遮蔽部は、図６Ｃに示すように、切欠部により第一のめっき液取込口２２ａおよび第二のめっき液取込口２２ｂを設けた構造とすることができる。これらのいずれの態様も、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂに供給するめっき液流の分流比を適切に制御できる。
【0038】
【0039】
第一のめっき液流路１３ａは、被めっき物５の遠方側に第一の陽極板１４ａを備える。つまり、第一のめっき液流路１３ａは、把持部１２の一側面１２ａと所定の間隔をあけて相対する第一の陽極板１４ａを備える。
第二のめっき液流路１３ｂは、被めっき物５の遠方側に第二の陽極板１４ｂを備える。つまり、第二のめっき液流路１３ｂは、把持部１２の他側面１２ｂと所定の間隔をあけて相対する第二の陽極板１４ｂを備える。
この場合、第一の陽極板１４ａおよび第二の陽極板１４ｂはいずれも銅（純銅）で形成されている。なお、第一の陽極板１４ａおよび第二の陽極板１４ｂは、形成するめっき膜に応じて金、銀、白金など任意に変更可能である。
第二のめっき液流路１３ｂは、被めっき物５の遠方側に第二の陽極板１４ｂを備える。つまり、第二のめっき液流路１３ｂは、把持部１２の他側面１２ｂと所定の間隔をあけて相対する第二の陽極板１４ｂを備える。
この場合、第一の陽極板１４ａおよび第二の陽極板１４ｂはいずれも銅（純銅）で形成されている。なお、第一の陽極板１４ａおよび第二の陽極板１４ｂは、形成するめっき膜に応じて金、銀、白金など任意に変更可能である。
【0040】
ユーザが、電気めっきに使用する第一の直流電源２４ａの正極を第一の陽極板１４ａに接続し、第一の直流電源２４ａの負極を把持部１２内の第一の電極１６ａを介して第一のめっき対象面５ａに接続する。また、ユーザが、第二の直流電源２４ｂの正極を第二の陽極板１４ｂに接続し、第二の直流電源２４ｂの負極を把持部１２内の第二の電極１６ｂを介して第二のめっき対象面５ｂに接続する。
【0041】
めっき装置Ａは、第一のめっき条件に基づいて第一の直流電源２４ａにより第一の電極１６ａを介して所定電流を付与する。また、めっき装置Ａは、第二のめっき条件に基づいて第二の直流電源２４ｂにより第二の電極１６ｂを介して所定電流を付与する。このようにすることにより、めっき装置Ａは、電気めっきにより銅イオン（Ｃｕ２＋）をそれぞれのめっき対象面に誘導して被めっき物５の表面に銅をめっきする。
なお、第一の電極１６ａおよび第二の電極１６ｂは、めっき対象面の電流密度を一様にするために、めっき対象面の外周部全周に配する（図３参照）。
把持部１２本体には、図示していないが、電極１６と直流電源からくる導線とを結ぶ電線が溝を切って配置され、ねじや樹脂で固定されている。
なお、第一の電極１６ａおよび第二の電極１６ｂは、めっき対象面の電流密度を一様にするために、めっき対象面の外周部全周に配する（図３参照）。
把持部１２本体には、図示していないが、電極１６と直流電源からくる導線とを結ぶ電線が溝を切って配置され、ねじや樹脂で固定されている。
【0042】
次に、本実施形態に係るめっき方法について説明する。
本めっき方法は、前述しためっき装置Ａを用いてめっき処理を行うものである。なお、めっき装置Ａの構成については、既に詳述しているので説明を省略する。
本めっき方法は、前述しためっき装置Ａを用いてめっき処理を行うものである。なお、めっき装置Ａの構成については、既に詳述しているので説明を省略する。
【0043】
本めっき方法は、まず、ユーザの操作により、めっき槽１内にめっき液が供給される。次に、ユーザは被めっき物５を把持部１２で把持する。次に、ユーザは被めっき物５を把持した把持部１２の両端のリッジ部１２ｃをめっき槽１内の一対の保持部１１の溝１１ｃに差し込み、固定保持させる。そして、ユーザはめっき装置Ａを操作して直流電源から電流を付与し、被めっき物５のめっき処理を行う。電流の付与は、前述したように、第一の直流電源２４ａにより、被めっき物５の第一のめっき対象面５ａの第一の回路パターンに基づく第一のめっき条件に基づいて設定するとよい。同様に、電流の付与は、前述したように、第二の直流電源２４ｂにより、被めっき物５の第二のめっき対象面５ｂの第二の回路パターンに基づく第二のめっき条件に基づいて設定するとよい。
【0044】
そして、本めっき方法は、めっき液循環供給口７から供給されためっき液を、分流部１０により第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂに予め設定した分流比で分流して供給し、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂとを通過しためっき液を合流してめっき液循環排出口８から排出して形成するめっき液流により被めっき物５をめっき処理できる。
【0045】
以上に説明したように、めっき装置Ａおよびめっき方法は、前述しためっき槽１と、把持部１２と、第一のめっき液流路１３ａおよび第二のめっき液流路１３ｂと、めっき液循環供給口７と、めっき液循環排出口８と、分流部１０とを備えている。したがって、めっき装置Ａおよびめっき方法は、めっき液循環供給口７から供給されためっき液を、分流部１０により第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂに予め設定した分流比で分流して供給し、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂとを通過しためっき液を合流してめっき液循環排出口８から排出して形成するめっき液流を得ることができる。めっき装置Ａおよびめっき方法は、このようにして形成されためっき液流により被めっき物５をめっき処理する。つまり、めっき装置Ａおよびめっき方法は、被めっき物５の表裏両面に予め設定した分流比でめっき液を分流して供給できるめっき液流路を備えており、それにより被めっき物５の表裏両面を同時かつ高速にめっき処理できる。
また、めっき装置Ａおよびめっき方法は、前述した構成としているので、被めっき物５として近年主流となっている貫通孔を有する半導体基板などに対して、貫通孔内のめっき処理を均一に行うことが容易となり、歩留まりが向上する。
また、めっき装置Ａおよびめっき方法は、前述した構成としているので、被めっき物５として近年主流となっている貫通孔を有する半導体基板などに対して、貫通孔内のめっき処理を均一に行うことが容易となり、歩留まりが向上する。
【0046】
以上、本発明に係るめっき装置Ａおよびめっき方法について実施形態により詳細に説明したが、本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施形態は本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、それぞれの実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【0047】
例えば、上述の説明では、めっき槽１における分流比を第一のめっき液取込口２２ａと第二のめっき液取込口２２ｂとの面積比で調整する旨説明したが、これに限定されない。例えば、分流比の調整の変形例の一つとして、第一のめっき液流路１３ａと第二のめっき液流路１３ｂのそれぞれの流路上に邪魔板などの障害物を設けるなどしてもよい。このようにしても、分流比を任意に調整できる。
【符号の説明】
【0048】
Ａ めっき装置
１ めっき槽
２ めっき液供給路
３ めっき液回収路
４ 循環ポンプ
５ 被めっき物
５ａ 第一のめっき対象面
５ｂ 第二のめっき対象面
７ めっき液循環供給口
８ めっき液循環排出口
９ めっき液導入流路
１０ 分流部
１１ 保持部
１１ａ 第一の保持部
１１ｂ 第二の保持部
１１ｃ 溝
１２ 把持部
１２１ 把持部本体
１２ａ （把持部の）一側面
１２ｂ （把持部の）他側面
１２ｃ リッジ部
１３ａ 第一のめっき液流路
１３ｂ 第二のめっき液流路
１４ａ 第一の陽極板
１４ｂ 第二の陽極板
１５ めっき液排出流路
１６ 電極
１６ａ 第一の電極
１６ｂ 第二の電極
１７ 取付枠
１８ 開口部
１９ａ 第一の斜辺
１９ｂ 第二の斜辺
２１ 分流辺
２２ めっき液取込口
２２ａ 第一のめっき液取込口
２２ｂ 第二のめっき液取込口
２３ａ 第一の遮蔽部
２３ｂ 第二の遮蔽部
２４ａ 第一の直流電源
２４ｂ 第二の直流電源
１ めっき槽
２ めっき液供給路
３ めっき液回収路
４ 循環ポンプ
５ 被めっき物
５ａ 第一のめっき対象面
５ｂ 第二のめっき対象面
７ めっき液循環供給口
８ めっき液循環排出口
９ めっき液導入流路
１０ 分流部
１１ 保持部
１１ａ 第一の保持部
１１ｂ 第二の保持部
１１ｃ 溝
１２ 把持部
１２１ 把持部本体
１２ａ （把持部の）一側面
１２ｂ （把持部の）他側面
１２ｃ リッジ部
１３ａ 第一のめっき液流路
１３ｂ 第二のめっき液流路
１４ａ 第一の陽極板
１４ｂ 第二の陽極板
１５ めっき液排出流路
１６ 電極
１６ａ 第一の電極
１６ｂ 第二の電極
１７ 取付枠
１８ 開口部
１９ａ 第一の斜辺
１９ｂ 第二の斜辺
２１ 分流辺
２２ めっき液取込口
２２ａ 第一のめっき液取込口
２２ｂ 第二のめっき液取込口
２３ａ 第一の遮蔽部
２３ｂ 第二の遮蔽部
２４ａ 第一の直流電源
２４ｂ 第二の直流電源
【図1】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図6A】
【図6B】
【図6C】
【図7】