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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023015828
(43)【公開日】2023-02-01
(54)【発明の名称】モータ制御装置及びモータ制御方法
(51)【国際特許分類】
H02P 29/00 20160101AFI20230125BHJP
G05B 11/36 20060101ALI20230125BHJP
G05B 13/02 20060101ALI20230125BHJP
【ＦＩ】
H02P29/00
G05B11/36 B
G05B13/02 S
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021119846
(22)【出願日】2021-07-20
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100097113
【弁理士】
【氏名又は名称】堀 城之
(74)【代理人】
【識別番号】100162363
【弁理士】
【氏名又は名称】前島 幸彦
(74)【代理人】
【識別番号】100194283
【弁理士】
【氏名又は名称】村上 大勇
(72)【発明者】
【氏名】小林 永二
【テーマコード（参考）】
5H004
5H501
【Ｆターム（参考）】
5H004GA08
5H004GA30
5H004GA34
5H004GB15
5H004HA07
5H004HA08
5H004HA14
5H004HB07
5H004HB08
5H004HB14
5H004KB01
5H004KB32
5H004KC45
5H004KC47
5H004MA15
5H501AA22
5H501BB05
5H501BB09
5H501DD01
5H501GG10
5H501GG11
5H501JJ26
5H501LL07
5H501LL34
5H501MM09
(57)【要約】
【課題】オートチューニングの処理の短縮化を実現する。
【解決手段】モータ３００のゲインを調整するサーボアンプ１００により、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の設定が必要と判定し、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２のノッチ周波数を、判定直前の振動成分の周期に設定する。これにより、フーリエ級数展開による振動の抽出、及び周波数解析に必要なデータ量の取得が不要となるので、オートチューニングの処理の短縮化を実現できる。
【選択図】図１
【解決手段】モータ３００のゲインを調整するサーボアンプ１００により、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の設定が必要と判定し、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２のノッチ周波数を、判定直前の振動成分の周期に設定する。これにより、フーリエ級数展開による振動の抽出、及び周波数解析に必要なデータ量の取得が不要となるので、オートチューニングの処理の短縮化を実現できる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
モータのゲインを調整するサーボアンプと、
ノッチフィルタとを有し、
前記サーボアンプは、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、前記振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、前記ノッチフィルタの設定が必要と判定し、前記ノッチフィルタのノッチ周波数を、前記判定直前の前記振動成分の周期に設定する
ことを特徴とするモータ制御装置。
ノッチフィルタとを有し、
前記サーボアンプは、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、前記振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、前記ノッチフィルタの設定が必要と判定し、前記ノッチフィルタのノッチ周波数を、前記判定直前の前記振動成分の周期に設定する
ことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項2】
前記サーボアンプは、前記ノッチフィルタの設定後、前記振動成分が減衰していない場合、前記ノッチフィルタのノッチ周波数及び／又は強度を変更することを特徴とする請求項１に記載のモータ制御装置。
【請求項3】
モータのゲインを調整するサーボアンプにより、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、前記振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、ノッチフィルタの設定が必要と判定し、前記ノッチフィルタのノッチ周波数を、前記判定直前の前記振動成分の周期に設定することを特徴とするモータ制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、オートチューニング機能を有するモータ制御装置及びモータ制御方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ロボットや工作機械等の対象装置にサーボ系のモータを装着する際、サーボアンプのゲインを負荷イナーシャに応じて調整する必要がある。このようなサーボアンプのゲイン調整は、一般にオートチューニング機能を有するモータ制御装置によって行われることが多い。
【0003】
オートチューニングにおいては、チューニングパラメータを変更しながら複数回のテスト動作を実施し、各種テスト動作結果から、次に設定するパラメータを決定している。また、オートチューニングにおいては、モータの振動を抑制する設定も行われる。
【0004】
このようなモータの振動の抑制に関するものとして、たとえば特許文献１では、モータを回転制御する回転制御手段と、回転中におけるモータの振動を検出する振動検出手段としての加速度センサと、加速度センサによって検出された振動から特定周波数の振動成分を抽出する特定周波数成分抽出手段と、特定周波数の振動を当該特定周波数の主振動成分と主振動成分に重畳されている脈動振動成分とに分解する振動成分分解手段と、主振動成分と脈動振動成分の全てを同時に抑制する補償信号を生成し、繰返して回転制御手段へ入力する繰返し制御手段とを備えたモータ制御装置を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１２－０８０６１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上述した特許文献１のモータ制御装置では、特定周波数の振動を振幅が一定である主振動成分と脈動振動成分とに分解して補償信号を求めているので、モータの振動を効率よく抑制できるものと考えられる。
【0007】
しかしながら、このモータ制御装置では、特定周波数成分抽出手段により、加速度センサによって検出された振動から特定周波数の振動成分を抽出するに際し、フーリエ級数展開により特定周波数の振動のみを抽出している。
【0008】
このように、振動の抽出をフーリエ級数展開により行うようにすると、周波数解析の処理に時間がかかるばかりか、周波数解析に必要なデータ量の取得にも時間がかかってしまい、オートチューニングの処理の短縮化の妨げとなっている。
【0009】
このようなことから、オートチューニングの処理の短縮化を実現できるモータ制御装置の開発が望まれている。
【0010】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、上記問題点を解消することができるモータ制御装置及びモータ制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0011】
本発明のモータ制御装置は、モータのゲインを調整するサーボアンプと、ノッチフィルタとを有し、前記サーボアンプは、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、前記振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、前記ノッチフィルタの設定が必要と判定し、前記ノッチフィルタのノッチ周波数を、前記判定直前の前記振動成分の周期に設定することを特徴とする。
本発明のモータ制御方法は、モータのゲインを調整するサーボアンプにより、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、前記振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、ノッチフィルタの設定が必要と判定し、前記ノッチフィルタのノッチ周波数を、前記判定直前の前記振動成分の周期に設定することを特徴とする。
本発明のモータ制御装置及びモータ制御方法では、モータのゲインを調整するサーボアンプにより、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、ノッチフィルタの設定が必要と判定し、ノッチフィルタのノッチ周波数を、判定直前の振動成分の周期に設定する。
本発明のモータ制御方法は、モータのゲインを調整するサーボアンプにより、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、前記振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、ノッチフィルタの設定が必要と判定し、前記ノッチフィルタのノッチ周波数を、前記判定直前の前記振動成分の周期に設定することを特徴とする。
本発明のモータ制御装置及びモータ制御方法では、モータのゲインを調整するサーボアンプにより、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、ノッチフィルタの設定が必要と判定し、ノッチフィルタのノッチ周波数を、判定直前の振動成分の周期に設定する。
【発明の効果】
【0012】
本発明のモータ制御装置及びモータ制御方法によれば、フーリエ級数展開による振動の抽出、及び周波数解析に必要なデータ量の取得が不要となるので、オートチューニングの処理の短縮化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、本発明のモータ制御装置の一実施形態を、図１～図５を参照しながら説明する。なお、以下に説明するモータ制御装置Ｍは、オートチューニングを実行する際、サーボアンプ１００のゲインを負荷イナーシャに応じて調整する必要があるが、説明の都合上、負荷イナーシャについての図示及び説明を省略する。
【0015】
モータ制御装置Ｍは、オートチューニング機能を有するサーボアンプ１００を備えている。サーボアンプ１００は、たとえばトルク調整部１４０からの調整指令のトルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得する。また、サーボアンプ１００は、振動成分の振幅及び継続時間（振幅が高い場合には短時間、振幅が低い場合には長時間）により、後述のトルクノッチ及び又は１４２の設定の有無を自動判定する。また、サーボアンプ１００は、後述のノッチフィルタ１４１及び又は１４２の設定が必要と判定した場合、ノッチフィルタ１４１及び又は１４２のノッチ周波数を、判定直前の振動成分の周期に設定する。なお、符号３００はモータを示し、符号１５０は減算器を示し、符号１６０は加減算器を示している。
【0016】
サーボアンプ１００は、位置調整部１１０、フィードフォワード制御部１２０、フィードバック制御部１３０、トルク調整部１４０、電流制御部１７０を有している。
【0017】
位置調整部１１０は、図示しないコントローラからの位置、速度、トルクの指令値を含んだ目標値を示す指令に基づき、ゲイン設定に応じた位置指令を、フィードフォワード制御部１２０と減算器１５０とに出力する。
【0018】
フィードフォワード制御部１２０は、位置調整部１１０からの位置指令に基づき、速度、トルクを制御するための速度指令とトルク指令とを含むフィードフォワード指令（ＦＦ指令）を加減算器１６０に出力する。
【0019】
フィードバック制御部１３０は、フィードバック信号を元に、減算器１５０からの偏差を０とするようなフィードバック指令（ＦＢ指令）を加減算器１６０に出力する。
【0020】
トルク調整部１４０は、複数のノッチフィルタ１４１、１４２を有している。トルク調整部１４０は、加減算器１６０からの制御指令のトルク指令に含まれる振動に対し、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２によって減衰させた調整指令を、電流制御部１７０に出力する。
【0021】
なお、トルク指令に含まれる振動は、モータ３００の発振により生ずるものである。また、ノッチフィルタ１４１、１４２は、図示のように２個に限定されるものではなく、３個以上設けてもよい。また、ノッチフィルタ１４１、１４２としては、最適化アルゴリズムに従って伝達関数を自己適応させることができる適応フィルタを用いることができる。ノッチフィルタ１４１、１４２の設定に関わる詳細については後述する。
【0022】
減算器１５０は、位置調整部１１０からのゲイン設定に応じた位置指令と、フィードバック信号の位置及び速度信号とを減算し、偏差を出力する。加減算器１６０は、フィードフォワード指令とフィードバック指令とを減算し、減算器１５０からの偏差を０とするための制御指令を出力する。
【0023】
電流制御部１７０は、トルク調整部１４０からの調整指令が示すトルクが発生するように、モータ３００の駆動電流を制御する。
【0024】
このような構成のモータ制御装置は、図示しないコントローラからの指令が出力されると、フィードフォワード制御部１２０からのフィードフォワード指令（ＦＦ指令）に基づき、モータ３００が駆動を開始する。
【0025】
モータ３００の駆動に伴い、図示しないエンコーダで検出されたフィードバック信号が出力されると、フィードバック制御部１３０からのフィードバック指令（ＦＢ指令）により、減算器１５０からの偏差を０とするための制御指令が加減算器１６０から出力される。そして、電流制御部１７０がトルク調整部１４０からの振動を減衰させた調整指令が示すトルクを発生させるように、モータ３００の駆動電流を制御する。
【0026】
次に、図２を参照し、サーボアンプ１００による振動成分の振幅と振動周期の取得について説明する。なお、以下に説明する条件１～４は、あくまでも一例である。なお、図２において、横軸は時間（ｍｓ）を示し、縦軸は動作中のトルク指令値を示している。また、トルク指令値１０００［０．１％］が定格トルクを示している。
【0027】
図２Ａは、たとえばトルク調整部１４０からの調整指令に含まれるトルク指令値に含まれる振動成分を示している。なお、トルク指令値に含まれる振動成分は、電流制御器１７０の出力に含まれるものであってもよい。図２Ａにおいて、ａは振動成分の最小値Ｐ２、Ｐ４を探すフローを実施するための閾値を示し、ｂは振動成分の最大値Ｐ１、Ｐ３を探すフローを実施するための閾値を示している。なお、閾値ａ、ｂは、図示の位置に限定されるものではなく、任意に設定変更できる。また、振動周期Ｓ１、Ｓ２は、隣接する振動成分の最大値Ｐ１、Ｐ３同士及び最小値Ｐ２、Ｐ４同士の差分時間を示している。
【0028】
サーボアンプ１００は、トルク調整部１４０からの調整指令に含まれるトルク指令値を位置速度制御周期毎に常時監視し、トルク指令値の振動成分の振幅及び振動周期を取得する。また、サーボアンプ１００は、振動成分の振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を取得するに際し、極性切替の閾値ａと閾値ｂとを取得する。閾値ａ及び閾値ｂは、振動成分の振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を取得するための取得レベル（又は検知レベル）に応じて設定できる。
【0029】
サーボアンプ１００は、振動成分の最大値Ｐ１及び最小値Ｐ２が閾値ａ、ｂを超えた場合、振動成分の最大値Ｐ１と最小値Ｐ２との差分（振幅）であるPeaktoPeak（P-P）を求める。また、隣接する周期の振動成分の最大値Ｐ１、Ｐ３同士及び隣接する振動成分の最小値Ｐ２、Ｐ４同士の振動周期Ｓ１、Ｓ２を求める。
【0030】
サーボアンプ１００は、振動成分の最大値Ｐ１と最小値Ｐ２との差分（振幅）であるPeaktoPeak（P-P）と振動周期Ｓ１、Ｓ２とを求めた後、次の条件１、２を満たす場合はノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の設定が必要と判定する。
条件１ PeaktoPeak（P-P）が定格の３０％を超え、振動周期Ｓ１、Ｓ２が１０ｍｓを超えた場合。
条件２ PeaktoPeak（P-P）が定格の１０％を超え、振動周期Ｓ１、Ｓ２が５０ｍｓを超えた場合。
条件１ PeaktoPeak（P-P）が定格の３０％を超え、振動周期Ｓ１、Ｓ２が１０ｍｓを超えた場合。
条件２ PeaktoPeak（P-P）が定格の１０％を超え、振動周期Ｓ１、Ｓ２が５０ｍｓを超えた場合。
【0031】
なお、PeaktoPeak（P-P）が小さい場合でも継続して発振する場合には、人は不快に感じることがある。この場合、サーボアンプ１００は、次の条件３、４を満たす場合はノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の設定が必要と判定する。
条件３ PeaktoPeak（P-P）が定格の２５％を超え、振動周期Ｓ１、Ｓ２が１０ｍｓを超えた場合。
条件４ PeaktoPeak（P-P）が定格の１０％を超え、振動周期Ｓ１、Ｓ２が１００ｍｓを超えた場合。
条件３ PeaktoPeak（P-P）が定格の２５％を超え、振動周期Ｓ１、Ｓ２が１０ｍｓを超えた場合。
条件４ PeaktoPeak（P-P）が定格の１０％を超え、振動周期Ｓ１、Ｓ２が１００ｍｓを超えた場合。
【0032】
サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の設定が必要と判定すると、ノッチフィルタ１４１及び又は１４２のノッチ周波数を、判定直前の振動成分の周期に設定する。
【0033】
図２Ｂは、振動成分の振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２の誤検知を生じる場合の一例について示す図である。図示のように、振動成分の最小値Ｐ２からトルク指令値の振動成分が上昇し、閾値ｂを超えた直後、トルク指令値の振動成分が閾値ｂを下回る場合がある。これは、モータ３００の起動時において、サーボアンプ１００による制御パラメータのゲイン調整の追従が遅れているためと考えられる。
【0034】
この場合、サーボアンプ１００は、たとえば振動周期Ｓ２の最小値Ｐ２と最大値Ｐ５との差分（振幅）であるPeaktoPeak（P-P）と、振動周期Ｓ２の最大値Ｐ５と最小値Ｐ６との差分（振幅）であるPeaktoPeak（P-P）とが大幅に異なる場合、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の設定が必要ないと判定する。
【0035】
図３は、サーボアンプ１００によるノッチフィルタ１４１の設定後において、再設定が必要と判定した場合でのトルクノッチ１４１及び／又は１４２の再設定について説明するための図である。なお、図３において、横軸は時間（ｍｓ）を示し、縦軸は動作中のトルク指令値と、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の設定後の計測周波数とを示している。
【0036】
サーボアンプ１００は、たとえばノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１を判定直前(振動発生により、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の設定が必要と判定した時点の直前)の振動成分の周期に設定した場合であっても、振動成分が減衰せず、上記の条件１～４のいずれかに該当する場合、ノッチフィルタ１４１の再設定が必要と判定する。この場合、サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１をノッチ周波数ｆ２に変更する。
【0037】
ここで、サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１をノッチ周波数ｆ２に変更した場合であっても、振動成分が減衰せず、上記の条件１～４のいずれかに該当する場合、再設定が必要と判定する。この場合、振動周波数ｆ３とノッチ周波数ｆ２とが一定の範囲内（近い）であるため、ノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ２は変更せずに、ノッチフィルタ１４１の強度を変更する。これにより、ノッチ周波数ｆ２の深さが変更される。以降、サーボアンプ１００は、PeaktoPeak（P-P）と振動周期とを求め、上記条件１～４のいずれも該当しない場合、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の再設定が必要無いと判定する。
【0038】
なお、サーボアンプ１００は、たとえばノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ２を設定した場合に振動成分が減衰せず、上記条件１～４のいずれかに該当し、かつ振動周波数がｆ１（付近）の場合には、サーボアンプ１００は、他のノッチフィルタ１４２のノッチ周波数をｆ１に設定する。
【0039】
次に、図４を参照し、モータ制御装置Ｍのオートチューニング処理について説明する。なお、以下においては、トルク調整による振動低減に関わる場合について説明する。
【0040】
（ステップＳ１０１）
サーボアンプ１００は、目標位置が変更されたかどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、図示しないコントローラからの目標位置に変更が無ければ目標位置が変更されないと判断し（ステップＳ１０１：Ｎｏ）、ステップＳ１０３に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、図示しないコントローラからの目標位置に変更が有れば目標位置が変更されたと判断し（ステップＳ１０１：Ｙｅｓ）、ステップＳ１０２に移行する。
サーボアンプ１００は、目標位置が変更されたかどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、図示しないコントローラからの目標位置に変更が無ければ目標位置が変更されないと判断し（ステップＳ１０１：Ｎｏ）、ステップＳ１０３に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、図示しないコントローラからの目標位置に変更が有れば目標位置が変更されたと判断し（ステップＳ１０１：Ｙｅｓ）、ステップＳ１０２に移行する。
【0041】
（ステップＳ１０２）
サーボアンプ１００は、トルク調整部１４０の各種パラメータを初期化する。
サーボアンプ１００は、トルク調整部１４０の各種パラメータを初期化する。
【0042】
（ステップＳ１０３）
サーボアンプ１００は、トルク調整部１４０からの調整指令に含まれるトルク指令値を取得する。
サーボアンプ１００は、トルク調整部１４０からの調整指令に含まれるトルク指令値を取得する。
【0043】
（ステップＳ１０４）
サーボアンプ１００は、取得したトルク指令値がリミット以上かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、図示しないモータ３００の許容トルクを示すリミット値テーブルに格納されているトルク指令リミット値と、取得したトルク指令値とを比較し、トルク指令値がリミット以上ではない判断すると（ステップＳ１０４：Ｎｏ）、ステップＳ１０６に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、取得したトルク指令値がリミット値テーブルに格納されているトルク指令リミット値以上と判断すると（ステップＳ１０４：Ｙｅｓ）、ステップＳ１０５に移行する。
サーボアンプ１００は、取得したトルク指令値がリミット以上かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、図示しないモータ３００の許容トルクを示すリミット値テーブルに格納されているトルク指令リミット値と、取得したトルク指令値とを比較し、トルク指令値がリミット以上ではない判断すると（ステップＳ１０４：Ｎｏ）、ステップＳ１０６に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、取得したトルク指令値がリミット値テーブルに格納されているトルク指令リミット値以上と判断すると（ステップＳ１０４：Ｙｅｓ）、ステップＳ１０５に移行する。
【0044】
（ステップＳ１０５）
サーボアンプ１００は、図示しないチューニングテーブルのチューニングストップフラグを有効にする。
サーボアンプ１００は、図示しないチューニングテーブルのチューニングストップフラグを有効にする。
【0045】
（ステップＳ１０６）
サーボアンプ１００は、トルク指令値を監視する。
この場合、サーボアンプ１００は、モータ動作中において、たとえばトルク調整部１４０からの調整指令のトルク指令値を監視する。
サーボアンプ１００は、トルク指令値を監視する。
この場合、サーボアンプ１００は、モータ動作中において、たとえばトルク調整部１４０からの調整指令のトルク指令値を監視する。
【0046】
（ステップＳ１０７）
サーボアンプ１００は、振動成分のPeaktoPeak（P-P）を求める。
この場合、サーボアンプ１００は、図２Ａに示したように、振動成分の最大値Ｐ１と最小値Ｐ２との差分（振幅）であるPeaktoPeak（P-P）を求める。
サーボアンプ１００は、振動成分のPeaktoPeak（P-P）を求める。
この場合、サーボアンプ１００は、図２Ａに示したように、振動成分の最大値Ｐ１と最小値Ｐ２との差分（振幅）であるPeaktoPeak（P-P）を求める。
【0047】
（ステップＳ１０８）
サーボアンプ１００は、振動周期Ｓ１、Ｓ２を求める。
この場合、サーボアンプ１００は、図２Ａに示したように、隣接する振動成分の最大値Ｐ１、Ｐ３同士及び最小値Ｐ２、Ｐ４同士の差分時間である振動周期Ｓ１、Ｓ２を求める。
サーボアンプ１００は、振動周期Ｓ１、Ｓ２を求める。
この場合、サーボアンプ１００は、図２Ａに示したように、隣接する振動成分の最大値Ｐ１、Ｐ３同士及び最小値Ｐ２、Ｐ４同士の差分時間である振動周期Ｓ１、Ｓ２を求める。
【0048】
（ステップＳ１０９）
サーボアンプ１００は、条件を満たしているかどうかを判定する。
この場合、サーボアンプ１００は、ステップＳ１０７、Ｓ１０８で求めたPeaktoPeak（P-P）と振動周期Ｓ１、Ｓ２とが、上記の条件１、２のいずれにも該当しない場合、条件１、２を満たしていないと判定し（ステップＳ１０９：Ｎｏ）、処理を終了する。
これに対し、サーボアンプ１００は、PeaktoPeak（P-P）と振動周期Ｓ１、Ｓ２とが上記の条件１、２のいずれかに該当する場合、条件１又は２を満たしていると判定し（ステップＳ１０９：Ｙｅｓ）、ステップＳ１１０に移行する。
なお、上述したように、PeaktoPeak（P-P）が小さい場合でも継続して発振する場合には、人は不快に感じることがある。この場合、サーボアンプ１００は、上記の条件３、４を満たすかどうかを併せて判定する。
サーボアンプ１００は、条件を満たしているかどうかを判定する。
この場合、サーボアンプ１００は、ステップＳ１０７、Ｓ１０８で求めたPeaktoPeak（P-P）と振動周期Ｓ１、Ｓ２とが、上記の条件１、２のいずれにも該当しない場合、条件１、２を満たしていないと判定し（ステップＳ１０９：Ｎｏ）、処理を終了する。
これに対し、サーボアンプ１００は、PeaktoPeak（P-P）と振動周期Ｓ１、Ｓ２とが上記の条件１、２のいずれかに該当する場合、条件１又は２を満たしていると判定し（ステップＳ１０９：Ｙｅｓ）、ステップＳ１１０に移行する。
なお、上述したように、PeaktoPeak（P-P）が小さい場合でも継続して発振する場合には、人は不快に感じることがある。この場合、サーボアンプ１００は、上記の条件３、４を満たすかどうかを併せて判定する。
【0049】
（ステップＳ１１０）
サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１を設定する。
この場合、サーボアンプ１００は、条件１～４のいずれかを満たすと判定すると、ノッチフィルタ１４１及び又は１４２のノッチ周波数を、判定直前の振動成分の周期に設定する。
サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１を設定する。
この場合、サーボアンプ１００は、条件１～４のいずれかを満たすと判定すると、ノッチフィルタ１４１及び又は１４２のノッチ周波数を、判定直前の振動成分の周期に設定する。
【0050】
（ステップＳ１１１）
サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１の再設定が必要かどうかを判定する。
この場合、サーボアンプ１００は、図３に示したように、たとえばノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１を判定直前の振動成分の周期に設定した場合であっても、振動成分が減衰せず、上記の条件１～４のいずれかに該当する場合、ノッチフィルタ１４１の再設定が必要と判定し（ステップＳ１１１：Ｙｅｓ）、ステップＳ１１２に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、たとえばノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１を判定直前の振動成分の周期に設定した場合、振動成分が減衰し、上記の条件１～４のいずれも該当しない場合、ノッチフィルタ１４１の再設定が必要無いと判定し（ステップＳ１１１：Ｎｏ）、処理を終了する。
サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１の再設定が必要かどうかを判定する。
この場合、サーボアンプ１００は、図３に示したように、たとえばノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１を判定直前の振動成分の周期に設定した場合であっても、振動成分が減衰せず、上記の条件１～４のいずれかに該当する場合、ノッチフィルタ１４１の再設定が必要と判定し（ステップＳ１１１：Ｙｅｓ）、ステップＳ１１２に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、たとえばノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１を判定直前の振動成分の周期に設定した場合、振動成分が減衰し、上記の条件１～４のいずれも該当しない場合、ノッチフィルタ１４１の再設定が必要無いと判定し（ステップＳ１１１：Ｎｏ）、処理を終了する。
【0051】
（ステップＳ１１２）
サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１を再設定する。
この場合、サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１をノッチ周波数ｆ２に変更する。ここで、サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１をノッチ周波数ｆ２に変更した場合であっても、振動成分が減衰せず、上記の条件１～４のいずれかに該当する場合、振動周波数ｆ３とノッチ周波数ｆ２とが一定の範囲内（近い）であるため、ノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ２は変更せずに、ノッチフィルタ１４１の強度を変更する。これにより、ノッチ周波数ｆ２の深さが変更される。
なお、振動周波数がｆ１（付近）の場合には、サーボアンプ１００は、他のノッチフィルタ１４２のノッチ周波数をｆ１に設定する。
以降、サーボアンプ１００は、PeaktoPeak（P-P）と振動周期Ｓ１、Ｓ２とを求め、上記条件１～４のいずれも該当しない場合、ノッチフィルタ１４１の再設定を終了する。
サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１を再設定する。
この場合、サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１をノッチ周波数ｆ２に変更する。ここで、サーボアンプ１００は、ノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ１をノッチ周波数ｆ２に変更した場合であっても、振動成分が減衰せず、上記の条件１～４のいずれかに該当する場合、振動周波数ｆ３とノッチ周波数ｆ２とが一定の範囲内（近い）であるため、ノッチフィルタ１４１のノッチ周波数ｆ２は変更せずに、ノッチフィルタ１４１の強度を変更する。これにより、ノッチ周波数ｆ２の深さが変更される。
なお、振動周波数がｆ１（付近）の場合には、サーボアンプ１００は、他のノッチフィルタ１４２のノッチ周波数をｆ１に設定する。
以降、サーボアンプ１００は、PeaktoPeak（P-P）と振動周期Ｓ１、Ｓ２とを求め、上記条件１～４のいずれも該当しない場合、ノッチフィルタ１４１の再設定を終了する。
【0052】
【0053】
（ステップＳ２０１）
サーボアンプ１００は、極性が正であるか負であるを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に閾値ｂを取得すると、極性が正であると判断し（ステップＳ２０１：正）、ステップＳ２０２に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に閾値ａを取得すると、極性が負であると判断し（ステップＳ２０１：負）、ステップＳ２０９に移行する。
サーボアンプ１００は、極性が正であるか負であるを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に閾値ｂを取得すると、極性が正であると判断し（ステップＳ２０１：正）、ステップＳ２０２に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に閾値ａを取得すると、極性が負であると判断し（ステップＳ２０１：負）、ステップＳ２０９に移行する。
【0054】
（ステップＳ２０２）
サーボアンプ１００は、最大値を探すフローを実施し、最大値以上かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に現在値が最大値を超えていなければ、最大値未満と判断し（ステップＳ２０２：Ｎｏ）、ステップＳ２０４に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に現在値が最大値を超えていれば、最大値以上と判断し（ステップＳ２０２：Ｙｅｓ）、ステップＳ２０３に移行する。
サーボアンプ１００は、最大値を探すフローを実施し、最大値以上かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に現在値が最大値を超えていなければ、最大値未満と判断し（ステップＳ２０２：Ｎｏ）、ステップＳ２０４に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に現在値が最大値を超えていれば、最大値以上と判断し（ステップＳ２０２：Ｙｅｓ）、ステップＳ２０３に移行する。
【0055】
（ステップＳ２０３）
サーボアンプ１００は、最大値を現在値に更新する。
サーボアンプ１００は、最大値を現在値に更新する。
【0056】
（ステップＳ２０４）
サーボアンプ１００は、閾値以下かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に、閾値ａ以上であると判断すると（ステップＳ２０４：Ｎｏ）、処理を終了する。
これに対し、サーボアンプ１００は、閾値ａ以下であると判断すると（ステップＳ２０４：Ｙｅｓ）、ステップＳ２０５に移行する。
なお、サーボアンプ１００は、閾値ａ以下であると判断すると振動を検知する。
サーボアンプ１００は、閾値以下かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に、閾値ａ以上であると判断すると（ステップＳ２０４：Ｎｏ）、処理を終了する。
これに対し、サーボアンプ１００は、閾値ａ以下であると判断すると（ステップＳ２０４：Ｙｅｓ）、ステップＳ２０５に移行する。
なお、サーボアンプ１００は、閾値ａ以下であると判断すると振動を検知する。
【0057】
（ステップＳ２０５）
サーボアンプ１００は、前回の計測有りかどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、前回の計測が無い場合（ステップＳ２０５：Ｎｏ）、ステップＳ２０７に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、前回の計測が有る場合（ステップＳ２０５：Ｙｅｓ）、ステップＳ２０６に移行する。
なお、サーボアンプ１００は、前回の計測が無い場合、初回では振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を計測できないため振動を検知しない。
サーボアンプ１００は、前回の計測有りかどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、前回の計測が無い場合（ステップＳ２０５：Ｎｏ）、ステップＳ２０７に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、前回の計測が有る場合（ステップＳ２０５：Ｙｅｓ）、ステップＳ２０６に移行する。
なお、サーボアンプ１００は、前回の計測が無い場合、初回では振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を計測できないため振動を検知しない。
【0058】
（ステップＳ２０６）
サーボアンプ１００は、振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を取得する。
サーボアンプ１００は、振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を取得する。
【0059】
（ステップＳ２０７）
サーボアンプ１００は、最小値を現在値に変更する。
サーボアンプ１００は、最小値を現在値に変更する。
【0060】
（ステップＳ２０８）
サーボアンプ１００は、極性を負に変更する。
サーボアンプ１００は、極性を負に変更する。
【0061】
（ステップＳ２０９）
サーボアンプ１００は、最小値以下かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に現在値が最小値以下でないと判断すると（ステップＳ２０９：Ｎｏ）、ステップＳ２１１に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に現在値が最小値以下であると判断すると（ステップＳ２０９：Ｙｅｓ）、ステップＳ２１０に移行する。
サーボアンプ１００は、最小値以下かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に現在値が最小値以下でないと判断すると（ステップＳ２０９：Ｎｏ）、ステップＳ２１１に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に現在値が最小値以下であると判断すると（ステップＳ２０９：Ｙｅｓ）、ステップＳ２１０に移行する。
【0062】
（ステップＳ２１０）
サーボアンプ１００は、最大値を現在値に更新する。
サーボアンプ１００は、最大値を現在値に更新する。
【0063】
（ステップＳ２１１）
サーボアンプ１００は、閾値以上かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に、閾値ｂ以上であると判断すると（ステップＳ２１１：Ｙｅｓ）、ステップＳ２１２に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、閾値ｂ以下であると判断すると（ステップＳ２０４：Ｎｏ）、処理を終了する。
サーボアンプ１００は、閾値以上かどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、振動成分の解析中に、閾値ｂ以上であると判断すると（ステップＳ２１１：Ｙｅｓ）、ステップＳ２１２に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、閾値ｂ以下であると判断すると（ステップＳ２０４：Ｎｏ）、処理を終了する。
【0064】
（ステップＳ２１２）
サーボアンプ１００は、前回の計測有りかどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、前回の計測が無い場合（ステップＳ２１２：Ｎｏ）、ステップＳ２１４に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、前回の計測が有る場合（ステップＳ２１２：Ｙｅｓ）、ステップＳ２１３に移行する。
なお、サーボアンプ１００は、前回の計測が無い場合、初回では振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を計測できないため振動を検知しない。
サーボアンプ１００は、前回の計測有りかどうかを判断する。
この場合、サーボアンプ１００は、前回の計測が無い場合（ステップＳ２１２：Ｎｏ）、ステップＳ２１４に移行する。
これに対し、サーボアンプ１００は、前回の計測が有る場合（ステップＳ２１２：Ｙｅｓ）、ステップＳ２１３に移行する。
なお、サーボアンプ１００は、前回の計測が無い場合、初回では振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を計測できないため振動を検知しない。
【0065】
（ステップＳ２１３）
サーボアンプ１００は、振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を取得する。
サーボアンプ１００は、振幅及び振動周期Ｓ１、Ｓ２を取得する。
【0066】
（ステップＳ２１４）
サーボアンプ１００は、最大値を現在値に変更する。
サーボアンプ１００は、最大値を現在値に変更する。
【0067】
（ステップＳ２１５）
サーボアンプ１００は、極性を正に変更する。
サーボアンプ１００は、極性を正に変更する。
【0068】
このように、本実施形態では、モータ３００のゲインを調整するサーボアンプ１００により、トルク指令値に含まれる振動成分の振幅及び振動周期を取得し、振幅及び振動周期が一定の条件を満たす場合、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２の設定が必要と判定し、ノッチフィルタ１４１及び／又は１４２のノッチ周波数を、判定直前の振動成分の周期に設定する。これにより、フーリエ級数展開による振動の抽出、及び周波数解析に必要なデータ量の取得が不要となるので、オートチューニングの処理の短縮化を実現できる。
【符号の説明】
【0069】
１００ サーボアンプ
１１０ 位置調整部
１２０ フィードフォワード制御部
１３０ フィードバック制御部
１４０ トルク調整部
１４１、１４２ ノッチフィルタ
１５０ 減算器
１６０ 加減算器
１７０ 電流制御部
３００ モータ
Ｍ モータ制御装置
１１０ 位置調整部
１２０ フィードフォワード制御部
１３０ フィードバック制御部
１４０ トルク調整部
１４１、１４２ ノッチフィルタ
１５０ 減算器
１６０ 加減算器
１７０ 電流制御部
３００ モータ
Ｍ モータ制御装置
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図3】
【図4】
【図5】