(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023158580
(43)【公開日】2023-10-30
(54)【発明の名称】光学特性測定システム
(51)【国際特許分類】
G01N 21/89 20060101AFI20231023BHJP
G01N 21/23 20060101ALI20231023BHJP
【ＦＩ】
G01N21/89 S
G01N21/23
【審査請求】有
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022068502
(22)【出願日】2022-04-18
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2023-01-19
(71)【出願人】
【識別番号】522052831
【氏名又は名称】エバー測機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100125265
【弁理士】
【氏名又は名称】貝塚 亮平
(74)【代理人】
【識別番号】100224007
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷 潮
(72)【発明者】
【氏名】江越 顕太郎
【テーマコード（参考）】
2G051
2G059
【Ｆターム（参考）】
2G051AA41
2G051AB01
2G051BB01
2G051CA04
2G051CB02
2G051DA06
2G051EA12
2G051EA14
2G059AA02
2G059AA05
2G059BB10
2G059CC12
2G059EE01
2G059EE05
2G059GG06
2G059JJ19
2G059KK04
(57)【要約】
【課題】樹脂フィルム等の試料の表面から所定距離離間して測光部を移動させることによって、移動の方向の任意の箇所で前記試料を測定でき、かつ測光部の移動に伴って発生する異物の試料への付着を抑えることができる光学特性測定システムを提供する。
【解決手段】光学特性測定システム１は、試料Ｆの表面から所定距離離間して配置される測定フレーム１０と、測定フレーム１０の延在方向に沿って往復動可能に設けられたスライダ３１と、スライダ３１をスライド移動させるスライダ移動機構と、スライダ３１に一体的に接続され、試料Ｆから出射される測定光を測定する測光部３５と、を備え、測定フレーム１０内には、隔壁によって画定されたスライダ移動空間が測定フレーム１０の延在方向に沿って設けられており、測光部３５は、当該スライダ移動空間内を移動するスライダ３１と一体的に移動する。
【選択図】図１
【解決手段】光学特性測定システム１は、試料Ｆの表面から所定距離離間して配置される測定フレーム１０と、測定フレーム１０の延在方向に沿って往復動可能に設けられたスライダ３１と、スライダ３１をスライド移動させるスライダ移動機構と、スライダ３１に一体的に接続され、試料Ｆから出射される測定光を測定する測光部３５と、を備え、測定フレーム１０内には、隔壁によって画定されたスライダ移動空間が測定フレーム１０の延在方向に沿って設けられており、測光部３５は、当該スライダ移動空間内を移動するスライダ３１と一体的に移動する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
試料から所定距離離間して配置される測定フレームと、
前記測定フレーム内で隔壁によって画定されて該測定フレームの延在方向に沿って設けられたスライダ移動空間と、
前記スライダ移動空間内に設けられて該スライダ移動空間の延在方向に沿って往復動可能なスライダと、
前記スライダをスライド移動させるスライダ移動機構と、
前記試料から出射される測定光を測定するための測光部と、
前記スライダ移動空間の外側において前記隔壁から離間されて配置されて前記測光部を保持する光学系保持手段と、を備え、
前記スライダ移動空間内の前記スライダと前記スライダ移動空間外の前記測光部とが一体的に移動するように構成した
ことを特徴とする光学特性測定システム。
前記測定フレーム内で隔壁によって画定されて該測定フレームの延在方向に沿って設けられたスライダ移動空間と、
前記スライダ移動空間内に設けられて該スライダ移動空間の延在方向に沿って往復動可能なスライダと、
前記スライダをスライド移動させるスライダ移動機構と、
前記試料から出射される測定光を測定するための測光部と、
前記スライダ移動空間の外側において前記隔壁から離間されて配置されて前記測光部を保持する光学系保持手段と、を備え、
前記スライダ移動空間内の前記スライダと前記スライダ移動空間外の前記測光部とが一体的に移動するように構成した
ことを特徴とする光学特性測定システム。
【請求項2】
前記隔壁は、その延在方向に沿って設けられたスリット状の開口部を備え、
前記開口部を介して前記スライダと前記光学系保持手段とが一体的に接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
前記開口部を介して前記スライダと前記光学系保持手段とが一体的に接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
【請求項3】
前記スライダ移動機構は、前記スライダ移動空間内にその延在方向に沿って設けられ、前記スライダを支持しながら移動させる軌道部を有し、
前記スライダ移動空間内には、その延在方向に沿ってガイド部材が設けられており、
前記スライダは、前記ガイド部材によって滑動可能に支持される
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
前記スライダ移動空間内には、その延在方向に沿ってガイド部材が設けられており、
前記スライダは、前記ガイド部材によって滑動可能に支持される
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
【請求項4】
前記測定フレームを前記試料から所定距離離間させて支持するための支持フレームをさらに備え、
前記支持フレームは、前記スライダ移動空間に流体連通しているダクトと、前記スライダ移動空間から前記ダクトに流入する気体を前記スライダ移動空間の外部へ排出可能な通気口と、を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
前記支持フレームは、前記スライダ移動空間に流体連通しているダクトと、前記スライダ移動空間から前記ダクトに流入する気体を前記スライダ移動空間の外部へ排出可能な通気口と、を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
【請求項5】
前記試料は、表面と裏面を有するフィルム状又は板状であり、
前記測定フレームは、前記試料の前記表面側に離間して配置される第１測定フレームと、前記試料の前記裏面側に離間して配置される第２測定フレームと、を含み、
前記スライダ移動空間は、前記第１測定フレーム内の第１スライダ移動空間と、前記第２測定フレーム内の第２スライダ移動空間と、を含み、
前記スライダは、前記第１スライダ移動空間内を移動する第１スライダと、前記第２スライダ移動空間内を移動する第２スライダと、を含み、
前記測光部は、前記第１スライダと一体的に移動するように構成されて前記試料に向けて測定光を出射する光源部と、前記第２スライダと一体的に移動するように構成されて前記試料から出射される測定光を受光する受光部と、を備え、
前記スライダ移動機構は、前記第１スライダと前記第２スライダを同期移動させる
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
前記測定フレームは、前記試料の前記表面側に離間して配置される第１測定フレームと、前記試料の前記裏面側に離間して配置される第２測定フレームと、を含み、
前記スライダ移動空間は、前記第１測定フレーム内の第１スライダ移動空間と、前記第２測定フレーム内の第２スライダ移動空間と、を含み、
前記スライダは、前記第１スライダ移動空間内を移動する第１スライダと、前記第２スライダ移動空間内を移動する第２スライダと、を含み、
前記測光部は、前記第１スライダと一体的に移動するように構成されて前記試料に向けて測定光を出射する光源部と、前記第２スライダと一体的に移動するように構成されて前記試料から出射される測定光を受光する受光部と、を備え、
前記スライダ移動機構は、前記第１スライダと前記第２スライダを同期移動させる
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
【請求項6】
前記光源部は、光源と、前記光源からの測定光が入射する偏光子と、前記偏光子で偏光された前記測定光が入射する光弾性変調素子と、を備え、
前記受光部は、検光子及び光検出器を備える
ことを特徴とする請求項５に記載の光学特性測定システム。
前記受光部は、検光子及び光検出器を備える
ことを特徴とする請求項５に記載の光学特性測定システム。
【請求項7】
前記受光部は、前記試料から出射される前記測定光を少なくとも２方向に分離するビームスプリッタをさらに備え、
前記検光子及び前記光検出器は、少なくとも２組が設けられ、
前記ビームスプリッタで分離された前記測定光のそれぞれは、別々の組の前記検光子及び前記光検出器に入射し、
別々の組の前記検光子は、互いに異なる偏向角に設定されている
ことを特徴とする請求項６に記載の光学特性測定システム。
前記検光子及び前記光検出器は、少なくとも２組が設けられ、
前記ビームスプリッタで分離された前記測定光のそれぞれは、別々の組の前記検光子及び前記光検出器に入射し、
別々の組の前記検光子は、互いに異なる偏向角に設定されている
ことを特徴とする請求項６に記載の光学特性測定システム。
【請求項8】
前記光源部は、前記光源、前記偏光子、及び前記光弾性変調素子を有する光源光学系を少なくとも２組備え、
前記受光部は、前記検光子及び前記光検出器を有する受光光学系を少なくとも２組備え、
１組の前記光源光学系及び前記受光光学系は、前記試料の面に直交する直交軸に沿って配置され、
前記１組以外の前記光源光学系及び前記受光光学系は、前記直交軸が前記試料の面と交差する測定点を通り前記直交軸に対して所定角傾いた軸に沿って配置される
ことを特徴とする請求項６に記載の光学特性測定システム。
前記受光部は、前記検光子及び前記光検出器を有する受光光学系を少なくとも２組備え、
１組の前記光源光学系及び前記受光光学系は、前記試料の面に直交する直交軸に沿って配置され、
前記１組以外の前記光源光学系及び前記受光光学系は、前記直交軸が前記試料の面と交差する測定点を通り前記直交軸に対して所定角傾いた軸に沿って配置される
ことを特徴とする請求項６に記載の光学特性測定システム。
【請求項9】
前記試料は、搬送手段によって搬送される長尺の樹脂フィルムであって、
前記測定フレームは、該測定フレームの前記延在方向が前記樹脂フィルムの搬送方向に直交するように配置され、
前記樹脂フィルムは、その表面及び裏面が前記測定フレームから前記所定距離離間された状態で前記搬送手段によって搬送され、
前記測光部は、前記搬送方向に直交する方向である前記樹脂フィルムの幅方向に往復動する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
前記測定フレームは、該測定フレームの前記延在方向が前記樹脂フィルムの搬送方向に直交するように配置され、
前記樹脂フィルムは、その表面及び裏面が前記測定フレームから前記所定距離離間された状態で前記搬送手段によって搬送され、
前記測光部は、前記搬送方向に直交する方向である前記樹脂フィルムの幅方向に往復動する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、樹脂フィルム等の光学特性を測定するための光学特性測定システムに関し、より詳しくは、製造ラインにおいて搬送される樹脂フィルムの光学特性を測定するための光学特性測定システムに関する。
【背景技術】
【0002】
樹脂フィルムは、包装、雑貨、農業、工業、食品、医療、光学など広範囲の分野に亘って利用されている。樹脂フィルムは、例えば、弾性率向上、脆弱性改善、水蒸気透過率改善、光学的異方性付与など、機能性を持たせることを目的として、一軸方向又は二軸以上の方向に延伸される場合がある。
【0003】
近年、延伸フィルムは、用途の多様化、軽量化、高機能化に伴い成形性や品質の要求も厳しく、延伸中の破断、偏肉精度の低下、配向の不均一など様々な課題がある。例えば、延伸して作製される光学フィルムの製造に際しては、その位相差を、フィルムの面の広い領域において精密に制御することが求められる。また、光学フィルムの製造に際しては、その製造効率の向上のため、製造ラインにおいて高速且つ連続的な製造を行うことが求められる。したがって、高速且つ連続的に搬送される光学フィルムの面の広い領域の位相差を、製造ラインにおいて正確且つ迅速に測定し、それにより測定の結果をフィルム形成の工程にフィードバックしたり、位相差が規格外である部分を最終製品から除去したりする手段が求められる。
【0004】
製造ライン中の光学フィルムの位相差を監視するための光学特性測定システムの多くは、搬送されるフィルムの幅方向の特定箇所、例えば中央部のみを測定するものである。搬送されるフィルムの幅方向の複数箇所を測定可能な光学特性測定システムは、例えば、特許文献１及び特許文献２に記載されている。
【0005】
特許文献１に記載の測定システムは、測定装置及び当該測定装置を移動させるレールが含まれる構成となっている。測定装置は、Ｃ型フレームの先端部に測定部が配置されている。測定部は、受光部と投光部からなり、その間にフィルムを挟んでフィルムを測定する構成となっている。Ｃ型フレームは、当該フレームの下部に設置されたレールによりフィルムの幅方向に移動可能であり、移動することにより、フィルムの幅方向プロファイルを測定することができる。
【0006】
特許文献２に記載の測定システムは、測定器を移動させる移動装置からの異物の発生を課題とするシステムである。特許文献２に記載のシステムは、フィルムを搬送経路において搬送する搬送器と、搬送経路の幅方向に離隔して設けられ、当該幅方向に離隔する複数の測定箇所のそれぞれにおいて、測定箇所を通過するフィルムの面上の複数の測定点で計測する複数の測定器であって、２以上の測定点のそれぞれにおいて、測定器のうちの２以上により、複数の極角方向から計測する測定器と、を含む。受光素子としては、ラインスキャンカメラ又は二次元カメラを利用したものを用いることになる。光源としては、測定に必要な波長の光を安定して出光することができ、且つ、測定箇所を含む領域において均一な出光を行うことができる、冷陰極管、光ファイバ照明、平面発光光源等の既知の光源を用いることになる。また、偏光子としては、透過偏光の方向が領域ごとに異なるようなパターンを有する、例えば、フォトニック結晶偏光子を用いることになる。すなわち、測定器の構成が制限される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特開２００１－００４５３５号公報
【特許文献2】特開２０１６－０８０４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
特許文献１に記載されている装置は、Ｃ型フレームがレールによりフィルムの幅方向に移動するので、Ｃ型フレームが移動するときに異物を発生させる虞がある。異物がフィルムに付着すると、フィルムが不良となる。また、Ｃ型フレームの可動範囲として、フィルム幅の２倍の範囲を確保することが必要である。すなわち、フットプリントが大きくなる。
【0009】
特許文献２に記載の測定システムは、測定器を移動させる移動装置からの異物の発生という課題を解決するシステムである。しかしながら、上記のとおり、測定器の構成が制限されるので、測定できる樹脂フィルムの光学特性も限定的である。また、原理的には幅方向のすべての箇所について測定が可能であるが、データ処理が煩雑になるため、予め定めた測定点でのみ測定することになる。
【0010】
本発明は上述の点に鑑みてなされたものであり、その目的は、フィルム等の試料の表面から所定距離離間して測光部を移動させることによって、測光部の移動方向の任意の箇所で試料を測定でき、かつ測光部の移動に伴って発生する異物の試料への付着を抑えることができる光学特性測定システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記課題を解決するため、本発明に係る光学特性測定システム（１）は、試料（Ｆ）から所定距離離間して配置される測定フレーム（１０）と、前記測定フレーム（１０）内で隔壁（１３）によって画定されて該測定フレーム（１０）の延在方向に沿って設けられたスライダ移動空間（１２）と、前記スライダ移動空間（１２）内に設けられて該スライダ移動空間（１２）の延在方向に沿って往復動可能なスライダ（３１）と、前記スライダ（３１）をスライド移動させるスライダ移動機構（１６）と、前記試料（Ｆ）から出射される測定光を測定するための測光部（３５）と、前記スライダ移動空間（１２）の外側において前記隔壁（１３）から離間されて配置されて前記測光部（３５）を保持する光学系保持手段（３７）と、を備え、前記スライダ移動空間（１２）内の前記スライダ（３１）と前記スライダ移動空間（１２）外の前記測光部（３５）とが一体的に移動するように構成したことを特徴とする。
【0012】
本発明に係る光学特性測定システムによれば、フィルム等の試料から所定距離離間して測光部を移動させることによって、測光部の移動方向の任意の箇所で試料を測定でき、かつ測光部の移動に伴って発生する異物の試料への付着を抑えることができる。
【0013】
また、本発明に係る光学特性測定システム（１）では、前記隔壁（１３）は、その延在方向に沿って設けられたスリット状の開口部（１５）を備え、前記開口部（１５）を介して前記スライダ（３１）と前記光学系保持手段（３７）とが一体的に接続されてるようにしてもよい。このように構成することによって、簡単な構成で、ほぼ閉鎖されたスライダ移動空間内を移動するスライダと、スライダ移動空間外を移動する測光光学系とを空間的に分離でき、スライダから発生する異物の測光光学系への影響を抑えることができる。
【0014】
また、本発明に係る光学特性測定システム（１）は、前記スライダ移動機構（１６）は、前記スライダ移動空間（１２）内にその延在方向に沿って設けられ、前記スライダ（３１）を支持しながら移動させる軌道部（１７，９１，９６）を有し、前記スライダ移動空間（１２）内には、その延在方向に沿ってガイド部材（１４）が設けられており、前記スライダ（３１）は、前記ガイド部材（１４）によって滑動可能に支持されるようにすることができる。このように構成することによって、スライダの移動中の振動を抑えることができ、スライダと一体的に接続された測光部の光軸のブレを抑えることができる。
【0015】
また、本発明に係る光学特性測定システム（１）は、前記測定フレーム（１０）を前記試料（Ｆ）から所定距離離間させて支持するための支持フレーム（２０）をさらに備え、前記支持フレーム（２０）は、前記スライダ移動空間（１２）に流体連通しているダクト（２３）と、前記スライダ移動空間（１２）から前記ダクト（２３）に流入する気体を前記スライダ移動空間（１２）の外部へ排出可能な通気口（２２）と、を有する構成にすることができる。このように構成することによって、スライダ移動空間（１２）内で発生した塵埃を測光光学系（３６）等に悪影響を及ぼさないように通気口（２２）から排出させることができる。また、光学特性測定システム（１）の設置環境（例えば、樹脂フィルムの製造ライン）に設けられた排気装置又は空気浄化装置に通気口（２２）を流体連通させることにより、スライダ移動空間（１２）内で発生した塵埃は、測光部（３５）に拡散することも、光学特性測定システム（１）の設置環境に拡散することも防止できる。
【0016】
また、本発明に係る光学特性測定システム（１）では、前記試料（Ｆ）は、表面と裏面を有するフィルム状又は板状であり、前記測定フレーム（１０）は、前記試料（Ｆ）の前記表面側に離間して配置される第１測定フレーム（１０ａ）と、前記試料（Ｆ）の前記裏面側に離間して配置される第２測定フレーム（１０ｂ）と、を含み、前記スライダ移動空間（１２）は、前記第１測定フレーム（１０ａ）内の第１スライダ移動空間（１２ａ）と、前記第２測定フレーム（１０ｂ）内の第２スライダ移動空間（１２ｂ）と、を含み、前記スライダ（３１）は、前記第１スライダ移動空間（１２ａ）内を移動する第１スライダ（３１ａ）と、前記第２スライダ移動空間（１２ｂ）内を移動する第２スライダ（３１ｂ）と、を含み、前記測光部（３５）は、前記第１スライダ（３１ａ）と一体的に移動するように構成されて前記試料（Ｆ）に向けて測定光を出射する光源部（４０）と、前記第２スライダ（３１ｂ）と一体的に移動するように構成されて前記試料（Ｆ）から出射される測定光を受光する受光部（５０）と、を備え、前記スライダ移動機構（１６）は、前記第１スライダ（３１ａ）と前記第２スライダ（３１ｂ）を同期移動させるようにすることができる。このように構成することによって、光源部から出射され、フィルム状又は板状の試料内を透過し、当該試料から出射された測定光を受光部が検出する透過光測定を行うことができる。
【0017】
また、本発明に係る光学特性測定システム（１）は、前記光源部（４０）は、光源（４１）と、前記光源（４１）からの測定光が入射する偏光子（４２）と、前記偏光子（４２）で偏光された前記測定光が入射する光弾性変調素子（４３）と、を備え、前記受光部（５０）は、検光子（５１）及び光検出器（５２ａ，５２ｂ）を備える構成にすることができる。このように構成することによって、試料内の光学特性の分布を高速に測定できるので、測定点の移動の軌跡に沿ってほぼ連続的な測定データを取得することができる。
【0018】
また、本発明に係る光学特性測定システム（１）は、前記受光部（５０）は、前記試料（Ｆ）から出射される前記測定光を少なくとも２方向に分離するビームスプリッタ（５３）をさらに備え、前記検光子（５１ａ，５１ｂ）及び前記光検出器（５２ａ，５２ｂ）は、少なくとも２組が設けられ、前記ビームスプリッタ（５３）で分離された前記測定光のそれぞれは、別々の組の前記検光子（５１ａ，５１ｂ）及び前記光検出器（５２ａ，５２ｂ）に入射し、別々の組の前記検光子（５１ａ，５１ｂ）は、互いに異なる偏向角に設定されている構成にすることができる。このように構成することによって、試料内の配向軸の方向を評価することができる。
【0019】
また、本発明に係る光学特性測定システム（１）は、前記光源部（４０）は、前記光源（４１Ｐ，４１Ｔ）、前記偏光子（４２Ｐ，４２Ｔ）、及び前記光弾性変調素子（４３Ｐ，４３Ｔ）を有する光源光学系（３６Ｐａ，３６Ｔｂ）を少なくとも２組備え、前記受光部（５０）は、前記検光子（５１Ｐ，５１Ｔ）及び前記光検出器（５２Ｐ，５２Ｔ）を有する受光光学系（３６Ｐｂ，３６Ｔｂ）を少なくとも２組備え、１組の前記光源光学系（３６Ｐａ）及び前記受光光学系（３６Ｐｂ）は、前記試料（Ｆ）の面に直交する直交軸（Ｉ１）に沿って配置され、前記１組以外の前記光源光学系（３６Ｔａ）及び前記受光光学系（３６Ｔｂ）は、前記直交軸（Ｉ１）が前記試料（Ｆ）の面と交差する測定点（Ｍ）を通り前記直交軸（Ｉ１）に対して所定角（θ）傾いた軸（Ｉ２，Ｉ３）に沿って配置される構成にすることができる。このように構成することによって、三次元的な光学特性を測定することができる。
【0020】
また、本発明に係る光学特性測定システム（１）は、前記試料（Ｆ）は、搬送手段（７０）によって搬送される長尺の樹脂フィルム（Ｆ）であって、前記測定フレーム（１０）は、該測定フレーム（１０）の前記延在方向が前記樹脂フィルム（Ｆ）の搬送方向に直交するように配置され、前記樹脂フィルム（Ｆ）は、その表面及び裏面が前記測定フレーム（１０）から前記所定距離離間された状態で前記搬送手段（７０）によって搬送され、前記測光部（３５）は、前記搬送方向に直交する方向である前記樹脂フィルム（Ｆ）の幅方向に往復動する構成にすることができる。このように構成することによって、製造ラインから出てくる長尺の樹脂フィルムの光学特性の分布を、当該フィルムの幅方向及び搬送方向で測定できる。
【発明の効果】
【0021】
本発明に係る光学特性測定システムによれば、フィルム等の試料の表面から所定距離離間して測光部を移動させることによって、測光部の移動方向の任意の箇所で試料を測定でき、かつ測光部の移動に伴って発生する異物の試料への付着を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】本発明の一実施形態としての光学特性測定システムの外観斜視図である。
【図2(a)】光学特性測定システムを示す正面図である。
【図2(b)】光学特性測定システムを示す上面図である。
【図4】光学特性測定システムが備える制御部の具体例の説明図である。
【図5】光学特性測定システムが備える測定光学系の説明図である。
【図7】光学特性測定システムにおいて３つの測定光学系を設けた構成の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態である光学特性測定システムを説明する。図１は、本発明の一実施形態としての光学特性測定システムの外観斜視図である。また、図２及び図３は、光学特性測定システムを示す図で、図２（ａ）は正面図、図２（ｂ）は上面図である。また、図３（ａ）は図２（ｂ）のＡ－Ａにおける断面図、図３（ｂ）は図２（ａ）のＢ－Ｂにおける断面図、図３（ｃ）は図２（ａ）のＣ－Ｃにおける断面図、図３（ｄ）は図３（ｂ）のＤ部分の拡大図である。
【0024】
これらの図に示すように、光学特性測定システム１は、搬送される長尺の樹脂フィルムＦの幅方向及び搬送方向の光学特性の分布測定に好適に使用できるように構成されたものである。光学特性測定システム１は、測定フレーム１０と、側方フレーム２０と、走査測定部３０と、制御部６０と、を備える。長尺の樹脂フィルムＦは、搬送手段７０によって搬送される。側方フレーム２０は、測定フレーム１０の両端において測定フレーム１０を支持する。走査測定部３０は、樹脂フィルムＦの幅方向に移動しながら、又は所定位置に停止した状態で、測光部３５により樹脂フィルムＦの光学特性を測定する。スライダ移動機構１６は、走査測定部３０が有するスライダ３１を移動させる。走査測定部３０は、スライダ３１が移動することによって、樹脂フィルムＦの幅方向に移動する。スライダ移動機構１６は、スライダ３１が有する移動子３２と、測定フレーム１０に設けられた固定子１７とから構成されたリニアモータである。制御部６０は、走査測定部３０の動作を制御する。
【0025】
図１に示す破線は、走査測定部３０の測定フレーム１０内に配置されている部分を示す。図１及び２に示すように、走査測定部３０は、測定フレーム１０内に配置されている部分と、測定フレーム１０から樹脂フィルムＦ側に突出している部分と、を有する。スライダ３１は、測定フレーム１０内に配置されている部分に含まれる。測光部３５（光源部４０，受光部５０）は、主に測定フレーム１０から樹脂フィルムＦ側に突出している部分に含まれる。図１～３は、走査測定部３０が樹脂フィルムＦの透過光を測定する構成を示している。すなわち、樹脂フィルムＦを挟んで、一方側に、走査測定部３０の光源側ユニット３０ａが設けられ、他方側に、走査測定部３０の受光側ユニット３０ｂが設けられている。走査測定部３０の詳細は、後述する。
【0026】
〔測定フレーム〕
測定フレーム１０は、その延在方向が樹脂フィルムＦの搬送方向に直交するように配置される。また、測定フレーム１０は、樹脂フィルムＦの表面から所定距離離間して配置される。測定フレーム１０は、その延在方向（樹脂フィルムＦの幅方向）に沿って走査測定部３０を移動させるように構成されている。
測定フレーム１０は、その延在方向が樹脂フィルムＦの搬送方向に直交するように配置される。また、測定フレーム１０は、樹脂フィルムＦの表面から所定距離離間して配置される。測定フレーム１０は、その延在方向（樹脂フィルムＦの幅方向）に沿って走査測定部３０を移動させるように構成されている。
【0027】
測定フレーム１０は、その延在方向に沿って走査測定部３０のスライダ３１が移動するスライダ移動空間１２を備える。スライダ移動空間１２は、隔壁１３によって画定された空間である。スライダ移動空間１２を画定する隔壁１３は、スライダ３１をできるだけ囲むように形成されることが望ましい。このように隔壁１３が形成されていると、スライダ３１の移動によって生ずる異物がスライダ移動空間１２外へ飛散することを抑えられる。これにより、スライダ３１の移動によって発生する異物による樹脂フィルムＦや測光光学系３６（図５を参照）の汚染が抑えられる。
【0028】
スライダ移動空間１２には、その延在方向に沿って、移動子３２を有するスライダ３１を支持しつつ移動させる固定子１７（軌道部）が設けられている。固定子１７は、磁界向きが互いに逆向きの複数の永久磁石がスライダ移動空間１２の延在する方向に交互に配列されて構成されている。固定子１７を構成する各永久磁石は、スライダ３１が有する移動子３２を嵌装可能な凹部を有する。移動子３２は、印可する電圧を交番させることによって交番磁界を発生させることができる電磁石である。固定子１７は、スライダ３１の底面に設けられた移動子３２を支持するように、スライダ移動空間１２の底面を画定する隔壁１３から突設されることが望ましい。移動子３２への電圧の印可用などの、走査測定部３０に電力を供給するための電力ケーブル、及び走査測定部３０と制御部６０との間で信号を送受信するための信号ケーブルは、スライダ移動空間１２内に配設することができる。
【0029】
スライダ移動空間１２内には、その延在方向に沿ってガイド部材１４が少なくとも１本設けられている。ガイド部材１４は、例えば、隔壁１３の内面に敷設されている。ガイド部材１４は、スライダ３１のスライド部３３が有する凹部に嵌装され、スライド部３３を滑動可能に支持する。ガイド部材１４は、スライダ３１を異なる方向から支持するように、複数本設けることが望ましい。図３に図示した具体例では、矩形のスライダ３１の両側面を支持するように、２本のガイド部材１４が設けられている。当該具体例では、スライダ３１は、その底面に設けた移動子３２が固定子１７の凹部に嵌装され、滑動可能に支持される。また、スライダ３１は、両側面に設けたスライド部３３がその凹部に嵌装されたガイド部材１４によって滑動可能に支持される。すなわち、スライダ３１は、底面及び両側面の３箇所で確実に支持される。したがって、走査測定部３０は、走査中の光軸のブレが抑制される。
【0030】
以上のように測定フレーム１０が構成されていることによって、スライダ３１は、リニアモータによって、スライダ移動空間１２内を移動（往復動）できる。スライダ移動空間１２内をスライダ３１が往復動することによって、走査測定部３０は、測定フレーム１０の延在方向に往復動する。なお、ここでは固定子１７が永久磁石であり、移動子３２が交番磁界を発生させる電磁石である場合を示したが、これとは逆に、固定子１７を電磁石とし、移動子３２を永久磁石とすることもできる。
【0031】
図１～３に示したように、本実施形態では、測定フレーム１０は、樹脂フィルムＦの上面から上方へ所定距離離間して配置された第１測定フレーム１０ａと、樹脂フィルムＦの下面から下方へ所定距離離間して配置された第２測定フレーム１０ｂとを含む。これにより、走査測定部３０が樹脂フィルムＦから所定距離離間する位置で透過光を測定するように構成されている。樹脂フィルムＦの上面側に配置された第１測定フレーム１０ａには、走査測定部３０の光源側ユニット３０ａが設けられる。一方、樹脂フィルムＦの下面側に配置された第２測定フレーム１０ｂには、走査測定部３０の受光側ユニット３０ｂが設けられる。なお、図示は省略するが、走査測定部３０が樹脂フィルムＦからの反射光を測定するように構成されている場合、測定フレーム１０には、樹脂フィルムＦからの反射光を測定する受光ユニットを設けることができる。この受光ユニットは、樹脂フィルムＦの反射面から所定距離離間して配置することができる。
【0032】
〔側方フレーム〕
側方フレーム（支持フレーム）２０は、例えば測定フレーム１０の両端において、測定フレーム１０を支持する。側方フレーム２０の長手方向の所定位置（測光レベルＭＬ）を樹脂フィルムＦが搬送される場合、側方フレーム２０は、樹脂フィルムＦから所定距離離間されるように測定フレーム１０を支持する。また、側方フレーム２０は、その下端（一方端）にベース部２１を備える。ベース部２１は、光学特性測定システム１が載置される製造ラインの床面等の載置面に当接する設置面を有する。ベース部２１は、樹脂フィルムＦが測光レベルＭＬに搬送されるように、位置調整手段を備えることができる。例えば、樹脂フィルムＦが搬送手段７０によって水平に搬送される場合、位置調整手段は、樹脂フィルムＦが搬送される高さ（搬送レベル）と測光レベルＭＬとが一致するように調整するアジャスタである。
側方フレーム（支持フレーム）２０は、例えば測定フレーム１０の両端において、測定フレーム１０を支持する。側方フレーム２０の長手方向の所定位置（測光レベルＭＬ）を樹脂フィルムＦが搬送される場合、側方フレーム２０は、樹脂フィルムＦから所定距離離間されるように測定フレーム１０を支持する。また、側方フレーム２０は、その下端（一方端）にベース部２１を備える。ベース部２１は、光学特性測定システム１が載置される製造ラインの床面等の載置面に当接する設置面を有する。ベース部２１は、樹脂フィルムＦが測光レベルＭＬに搬送されるように、位置調整手段を備えることができる。例えば、樹脂フィルムＦが搬送手段７０によって水平に搬送される場合、位置調整手段は、樹脂フィルムＦが搬送される高さ（搬送レベル）と測光レベルＭＬとが一致するように調整するアジャスタである。
【0033】
側方フレーム２０は、中空の筒状体である。ベース部２１は通気口２２を有する。側方フレーム２０の中空部は、通気口２２と流体連通しており、ダクト２３として機能する。ダクト２３は、その内部に（例えば、ベース部２１近傍又はベース部２１内に）に排気ファン２４を有する。また、ダクト２３は、測定フレーム１０のスライダ移動空間１２に流体連通している。したがって、スライダ移動空間１２内で発生した塵埃は、測光光学系３６（図５を参照）に悪影響を及ぼさないように、通気口２２から排出できる。光学特性測定システム１の設置環境（例えば、樹脂フィルムの製造ライン）に設けられた排気装置又は空気浄化装置に通気口２２を流体連通させることにより、スライダ移動空間１２内で発生した塵埃が光学特性測定システム１の設置環境に拡散することも防止できる。
【0034】
図３（ａ）に示すように、側方フレーム２０は接続端子２５を有する。接続端子２５は、その一方端が側方フレーム２０の内側に設けられ、他方端が側方フレーム２０の外側に設けられている。スライダ移動空間１２内に配設された電力ケーブル及び信号ケーブル（不図示）は、ダクト２３内を経て接続端子２５の一方端に接続される。制御部６０から伸びる接続ケーブル６６は、接続端子２５の他方端に接続される。
【0035】
図２（ａ）に示すように、側方フレーム２０には、校正試料２６を支持する校正試料ホルダ２７が設けられている。具体的には、校正試料ホルダ２７は、側方フレーム２０の側面からホームポジションＨＰ側に突出して設けられている。また、校正試料ホルダ２７は、搬送手段７０によって搬送される樹脂フィルムＦが通過する試験エリアＴＡとは重ならないように構成されている。走査測定部３０がホームポジションＨＰに位置しているときに測光光学系３６（光源光学系３６ａ及び受光光学系３６ｂ）が校正試料２６を測定できるように、校正試料ホルダ２７は、校正試料２６の一部、例えば周縁を支持している。走査測定部３０がホームポジションＨＰにおいて樹脂フィルムＦの測定を待機しているときに、校正試料２６は測定される。校正試料２６は、測光光学系３６の光軸に直交するように、校正試料ホルダ２７によって支持される。校正試料２６の位置は、樹脂フィルムＦを測定する測光レベルＭＬにできるだけ近いことが望ましい。図３に図示した例では、樹脂フィルムＦを測定する測光レベルＭＬに校正試料２６は配置されている。
【0036】
校正試料２６は、走査測定部３０が備える測光光学系３６を校正するために使用される。校正試料２６は、具体的には、ゼロ次シングルプレート波長板又はゼロ次ダブルプレート波長板から構成される。ゼロ次シングルプレート波長板は、１枚の複屈折材料（水晶板、マイカ板等）を極薄く加工して作られた波長板である。ゼロ次ダブルプレート波長板は、相互間で非常に小さな位相差を有するように加工された２枚の複屈折材料（水晶板、マイカ等）の結晶軸を直交させる構造で作られた波長板である。ゼロ次ダブルプレート波長板は、２枚の複屈折材料を直交させる構造により、それぞれ各材料に生じる位相差シフト量が相殺されるため、温度などの環境依存度が小さく抑えられ、均一に位相差を提供できる。
【0037】
〔走査測定部〕
図１～３に示す本実施形態の光学特性測定システム１では、走査測定部３０が樹脂フィルムＦの透過光を測定するように構成している。そのため、樹脂フィルムＦの上面側（一方側）に走査測定部３０の光源側ユニット３０ａが設けられ、下面側（他方側）に走査測定部３０の受光側ユニット３０ｂが設けられている。また、光源側ユニット３０ａは測光部３５の光源部４０を備え、受光側ユニット３０ｂは測光部３５の受光部５０を備える。走査測定部３０の光源側ユニット３０ａ及び受光側ユニット３０ｂはそれぞれ、スライダ３１ａ及び３１ｂを備える。光源部４０は、スライダ３１ａに一体的に接続されており、受光部５０は、スライダ３１ｂに一体的に接続されている。したがって、光源部４０は、測定フレーム１０ａの延在方向に沿ってスライダ３１ａと一体的に移動し、受光部５０は、測定フレーム１０ｂの延在方向に沿ってスライダ３１ｂと一体的に移動する。
図１～３に示す本実施形態の光学特性測定システム１では、走査測定部３０が樹脂フィルムＦの透過光を測定するように構成している。そのため、樹脂フィルムＦの上面側（一方側）に走査測定部３０の光源側ユニット３０ａが設けられ、下面側（他方側）に走査測定部３０の受光側ユニット３０ｂが設けられている。また、光源側ユニット３０ａは測光部３５の光源部４０を備え、受光側ユニット３０ｂは測光部３５の受光部５０を備える。走査測定部３０の光源側ユニット３０ａ及び受光側ユニット３０ｂはそれぞれ、スライダ３１ａ及び３１ｂを備える。光源部４０は、スライダ３１ａに一体的に接続されており、受光部５０は、スライダ３１ｂに一体的に接続されている。したがって、光源部４０は、測定フレーム１０ａの延在方向に沿ってスライダ３１ａと一体的に移動し、受光部５０は、測定フレーム１０ｂの延在方向に沿ってスライダ３１ｂと一体的に移動する。
【0038】
スライダ３１（３１ａ，３１ｂ）は、測定フレーム１０（１０ａ，１０ｂ）のスライダ移動空間１２内を移動することができる。スライダ３１は、ホームポジションＨＰを起点に折返しポジションＲＰに向けて移動し、折返しポジションＲＰで折り返した後は再びホームポジションＨＰに向けて移動する（往復動する）。スライダ３１は、移動子３２及び凹状のスライド部３３を備える。移動子３２は、スライダ移動空間１２に設けられた凹部を有する固定子１７とともに、スライダ移動機構１６としてのリニアモータを構成する。移動子３２は、固定子１７が有する凹部に嵌装されている。また、凹部を有するスライド部３３は、スライダ移動空間１２内に設けられたガイド部材１４が嵌装されている。スライダ３１は、その移動子３２が固定子１７によって滑動可能に支持されている。また、スライダ３１は、そのスライド部３３がガイド部材１４によって滑動可能に支持されている。スライド部３３は、スライダ３１を異なる方向から支持するように複数設けることが望ましい。ガイド部材１４は、スライド部３３の数に応じて設けられる。図３に図示した具体例では、矩形のスライダ３１の両側面それぞれにスライド部３３が設けられ、２本のガイド部材１４に支持されている。２本のガイド部材１４は、スライダ移動空間１２を画定する隔壁１３の側面に敷設されている。これにより、スライダ３１は、底面及び両側面の３箇所で確実に支持される。したがって、走査測定部３０は、走査中の光軸のブレが抑制される。また、スライダ３１は、２つのスライド部３３を除き、隔壁１３の内面から離間されている。したがって、スライダ３１の滑動による発塵が抑えられる。
【0039】
光源側ユニット３０ａは、光学系保持手段３７ａを備える。光学系保持手段３７ａは、測光光学系３６の光源側を構成する光源光学系３６ａを備える光源部４０を保持する。また、光学系保持手段３７ａは、スライダ３１に接続する接続部３８を有する。受光側ユニット３０ｂは、光学系保持手段３７ｂを備える。光学系保持手段３７ｂは、測光光学系３６の受光側を構成する受光光学系３６ｂを備える受光部５０を保持する。また、光学系保持手段３７ｂは、スライダ３１に接続する接続部３８を有する。ここでは、光学系保持手段３７（３７ａ，３７ｂ）について説明し、測光光学系３６については後述する。
【0040】
隔壁１３は、スライダ移動空間１２の延在方向に沿って設けられたスリット状の開口部（隙間）１５を備える。光源側ユニット３０ａのスライダ３１ａの上部（図ではスライダ３１の側壁の上部）は、図３（ｄ）の拡大図に示すように、開口部１５を貫通するように配置されている。そして、この開口部１５を貫通するスライダ３１ａの上部によって、スライダ３１が光学系保持手段３７ａの接続部３８に接続されている。一方、受光側ユニット３０ｂのスライダ３１ｂの下部（図ではスライダ３１の側壁の下部）は、開口部１５を貫通するように配置されている。そして、この開口部１５を貫通するスライダ３１ｂの下部によって、スライダ３１ｂが光学系保持手段３７ｂの接続部３８に接続されている。開口部１５の幅は、貫通するスライダ３１（３１ａ，３１ｂ）の側壁の厚みよりも若干大きくなっている。したがって、光学系保持手段３７は、スライダ３１と一体的に移動できる。ここで、スライダ３１の移動によって生ずる異物がスライダ移動空間１２に生ずる虞がある。そして、異物は、測光部３５（光源部４０及び受光部５０）を汚染する虞がある。したがって、スライダ移動空間１２外への異物の飛散を防止するために、隔壁１３は、開口部１５を除き、スライダ３１を囲むように形成される。また、開口部１５は、測光部３５から遠い位置に設けられている。そして、スライダ移動空間１２は、排気ファン２４を設けたダクト２３に流体連通されている。ダクト２３の末端の通気口２２を、光学特性測定システム１の設置環境（例えば、樹脂フィルムＦの製造ライン）に設けられた排気装置又は空気浄化装置に流体連通させることにより、スライダ移動空間１２内で発生した塵埃は、測光光学系３６に拡散することも、光学特性測定システム１の設置環境に拡散することも防止される。
【0041】
図３（ｂ）及び図３（ｄ）に示すように、光学系保持手段３７は、隔壁１３の外周面を囲むように構成されている。また、光学系保持手段３７は、ガイド部材１４により隔壁１３の内周面に支持されたスライダ３１に支持されている。光学系保持手段３７と隔壁１３の外面との間には、所定の空隙が設けられている。すなわち、光学系保持手段３７は、実質的に非接触状態で、測定フレームの延在方向に沿って隔壁１３の外周面を移動できる。
【0042】
図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、光学系保持手段３７に保持された光源部４０及び受光部５０は、スライダ移動空間１２と樹脂フィルムＦが通過する測光レベルＭＬとの間に配置される。光源部４０及び受光部５０は、測光光学系３６（光源光学系３６ａ及び受光光学系３６ｂ）を構成する光学要素を所定の位置及び姿勢で支持するための支持具（不図示）を備えている。この支持具は、光学要素の位置関係を調節する機構を有することができる。光源部４０及び受光部５０は、測光レベルＭＬと対向する面に窓部３９を有する。窓部３９は、測定光が透過可能な材質の板材（例えば、石英板）又は開口で構成されている。光源部４０及び受光部５０は、窓部３９以外が遮光されるように遮光材で囲むことができる。
【0043】
〔制御部〕
図４は、光学特性測定システム１が備える制御部の概略構成を示すブロック図である。同図に示す制御部６０は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）などから構成されている。この制御部６０は、ＣＰＵなどの主制御部６１と、ディスプレイなどの表示装置を備えた表示部６２と、不揮発性メモリなどからなる記憶装置６３と、マウスやキーボードなどの入力デバイス６４と、インターフェースユニット６５から主として構成されている。制御部６０がＰＣの場合、光学特性測定システム１が含む被制御要素、具体的には、図５に示すスライダ３１を移動させるためのスライダ移動機構１６を制御するモータコントローラ８３、光源光学系３６ａの光弾性変調素子（ＰＥＭ）４３を制御するＰＥＭコントローラ８１、及びロック・インアンプ８２の制御部として当該ＰＣを機能させるための制御用プログラムがＰＣにインストールされている。制御用プログラムは、入力デバイス６４から入力された光学特性測定システム１の動作パラメータに基づいて被制御要素を動作させる。また、制御用プログラムは、光学特性測定システム１の状態、例えば、測定フレーム１０上の走査測定部３０の光源側ユニット３０ａ及び受光側ユニット３０ｂの位置、スライダ移動機構１６及び測光光学系３６（光源光学系３６ａ及び受光光学系３６ｂ）の動作状態、並びに測定フレーム１０付近における樹脂フィルムＦの搬送状態等を監視するために設けられている各種センサ（不図示）からの出力を取得し、当該出力の表示部６２への表示や、当該出力による被制御要素のフィードバック制御またはフィードフォワード制御を行う。また、ＰＣには、測光光学系３６の出力を取得し、データ解析部としてＰＣを機能させるための解析用プログラムがインストールされている。解析用プログラムは、図５に示す受光光学系３６ｂの光検出器５２（５２ａ，５２ｂ）の出力を取得し、この取得した出力や、入力デバイス６４から入力された解析パラメータを用いて、光検出器５２の出力を解析し、解析結果を表示部６２に表示するとともに、記憶装置６３に記憶する。
図４は、光学特性測定システム１が備える制御部の概略構成を示すブロック図である。同図に示す制御部６０は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）などから構成されている。この制御部６０は、ＣＰＵなどの主制御部６１と、ディスプレイなどの表示装置を備えた表示部６２と、不揮発性メモリなどからなる記憶装置６３と、マウスやキーボードなどの入力デバイス６４と、インターフェースユニット６５から主として構成されている。制御部６０がＰＣの場合、光学特性測定システム１が含む被制御要素、具体的には、図５に示すスライダ３１を移動させるためのスライダ移動機構１６を制御するモータコントローラ８３、光源光学系３６ａの光弾性変調素子（ＰＥＭ）４３を制御するＰＥＭコントローラ８１、及びロック・インアンプ８２の制御部として当該ＰＣを機能させるための制御用プログラムがＰＣにインストールされている。制御用プログラムは、入力デバイス６４から入力された光学特性測定システム１の動作パラメータに基づいて被制御要素を動作させる。また、制御用プログラムは、光学特性測定システム１の状態、例えば、測定フレーム１０上の走査測定部３０の光源側ユニット３０ａ及び受光側ユニット３０ｂの位置、スライダ移動機構１６及び測光光学系３６（光源光学系３６ａ及び受光光学系３６ｂ）の動作状態、並びに測定フレーム１０付近における樹脂フィルムＦの搬送状態等を監視するために設けられている各種センサ（不図示）からの出力を取得し、当該出力の表示部６２への表示や、当該出力による被制御要素のフィードバック制御またはフィードフォワード制御を行う。また、ＰＣには、測光光学系３６の出力を取得し、データ解析部としてＰＣを機能させるための解析用プログラムがインストールされている。解析用プログラムは、図５に示す受光光学系３６ｂの光検出器５２（５２ａ，５２ｂ）の出力を取得し、この取得した出力や、入力デバイス６４から入力された解析パラメータを用いて、光検出器５２の出力を解析し、解析結果を表示部６２に表示するとともに、記憶装置６３に記憶する。
【0044】
〔搬送手段〕
光学特性測定システム１は、図１に示すように、製造ラインから出てくる長尺の樹脂フィルムＦの光学特性を測定するように構成することができる。長尺の樹脂フィルムＦを搬送する搬送手段７０は、製造ラインに設けられているものを用いることができる。すなわち、光学特性測定システム１は、樹脂フィルムＦを平坦な状態を保って搬送する搬送手段７０を横切るように配置することができる。光学特性測定システム１付近での樹脂フィルムＦの搬送状態を監視するセンサ（例えば、カメラ）を光学特性測定システム１に設け、当該センサの出力に基づいて走査測定部３０の光源側ユニット３０ａ及び受光側ユニット３０ｂを制御するようにすることもできる。また、光学特性測定システム１が、搬送手段７０の一部、例えば、光学特性測定システム１前後の部分を制御するようにすることもできる。かかる変形例は、後述する。
光学特性測定システム１は、図１に示すように、製造ラインから出てくる長尺の樹脂フィルムＦの光学特性を測定するように構成することができる。長尺の樹脂フィルムＦを搬送する搬送手段７０は、製造ラインに設けられているものを用いることができる。すなわち、光学特性測定システム１は、樹脂フィルムＦを平坦な状態を保って搬送する搬送手段７０を横切るように配置することができる。光学特性測定システム１付近での樹脂フィルムＦの搬送状態を監視するセンサ（例えば、カメラ）を光学特性測定システム１に設け、当該センサの出力に基づいて走査測定部３０の光源側ユニット３０ａ及び受光側ユニット３０ｂを制御するようにすることもできる。また、光学特性測定システム１が、搬送手段７０の一部、例えば、光学特性測定システム１前後の部分を制御するようにすることもできる。かかる変形例は、後述する。
【0045】
〔測光光学系〕
測光光学系３６の好適な具体例として、光弾性変調による複屈折位相差測定のための構成について、図３及び図５を用いて説明する。測光部３５は、光源側ユニット３０ａに設けられた光源部４０と、受光側ユニット３０ｂに設けられた受光部５０と、を含む。測光光学系３６は、光源部４０が備える光源光学系３６ａと、受光部５０が備える受光光学系３６ｂと、を含む。
測光光学系３６の好適な具体例として、光弾性変調による複屈折位相差測定のための構成について、図３及び図５を用いて説明する。測光部３５は、光源側ユニット３０ａに設けられた光源部４０と、受光側ユニット３０ｂに設けられた受光部５０と、を含む。測光光学系３６は、光源部４０が備える光源光学系３６ａと、受光部５０が備える受光光学系３６ｂと、を含む。
【0046】
光源光学系３６ａは、光源４１、偏光子ユニット４２、及び光弾性変調素子（ＰＥＭ）４３がこの順で樹脂フィルムＦの遠位側から配置される。受光光学系３６ｂは、測定光の入射方向に沿って、検光子ユニット５１（５１ａ，５１ｂ）及び光検出器５２（５２ａ，５２ｂ）がこの順で配置される。受光光学系３６ｂは、図３（ａ）及び図５に示す具体例のように、ビームスプリッタ５３をさらに含むことができる。また、受光光学系３６ｂは、外乱光の影響を除くための光学フィルタをさらに含むことができる。
【0047】
光源４１は、測定する光学特性に応じて選択され、例えば、ヘリウム・ネオンレーザ（波長：５４３．５ｎｍ、５９４．１ｎｍ、又は６３２．８ｎｍ）、ＬＥＤ光源（波長：４０５ｎｍ、４５０ｎｍ、５９０ｎｍ、又は６４０ｎｍ）、或いは半導体レーザ（波長：４０５ｎｍ、４５０ｎｍ、５２０ｎｍ、又は６３７ｎｍ）である。後述する図７に示すように、複数の測光光学系３６Ｐ，３６Ｔを設ける場合、各測光光学系の光源４１Ｐ，４１Ｔは、別々の光源装置で構成されても、単一の光源装置から出射する光をビームスプリッタや光ファイバ等で分割するように構成されてもよい。
【0048】
光源４１を出た光は、偏光子ユニット４２が有する偏光子（例えば、グラントムソンプリズム）により直線偏光となる。偏光子ユニット４２は、偏光方向が基準軸に対して所定の角度（例えば、＋４５°）であるように配置される。
【0049】
偏光子ユニット４２により直線偏光となった光は、ＰＥＭ４３に入射される。ＰＥＭ４３は、基準軸に対して０°で配置される。ＰＥＭ４３は、例えば５０ｋＨｚの交流的な電場がＰＥＭコントローラ８１から変調信号として与えられることによって制御される。ＰＥＭコントローラ８１は、光検出器５２のプリアンプ８４に接続されたロック・インアンプ８２から発信されるレファレンス信号Ｒを参照して変調信号を発信する。ＰＥＭ４３は、入射光を円偏光から直線偏光へと時間的に連続して変化する測定光に変調する。ＰＥＭコントローラ８１の変調信号をレファレンス信号として、ロック・インアンプ８２が同期検波するように構成することもできる。
【0050】
測定光は、樹脂フィルムＦの測定点Ｍに入射し、樹脂フィルムＦ内を厚み方向に通過する。樹脂フィルムＦは、測定光が通過した位置（測定点Ｍ）における歪みや分子配向に応じた複屈折位相差を測定光に生じさせる。複屈折位相差が生じた測定光は、受光部５０に入射する。
【0051】
図３及び図５に示す具体例では、受光部５０は、ビームスプリッタ５３と、複数組の検光子ユニット５１ａ，５１ｂ及び光検出器５２ａ，５２ｂと、を備える。樹脂フィルムＦの測定点Ｍを通過し、複屈折位相差が生じた測定光は、ビームスプリッタ５３に入射する。ビームスプリッタ５３に入射した測定光は、ビームスプリッタ５３内を直進する光（直進光）と、ビームスプリッタ５３内で反射された光（反射光）とに分離される。反射光は、直進光の進行方向に対して直交する方向に指向される。
【0052】
検光子ユニット５１ａ，５１ｂが有する検光子は、例えば、グラントムソンプリズムである。偏光子ユニット４２が有する偏光子が基準軸に対して＋４５°になる偏光方向に配置される場合、直進成分が入射する検光子ユニット５１ａは、偏光方向が基準軸から－４５度であるように配置される。一方、反射成分が入射する検光子ユニット５１ｂは、偏光方向が基準軸から０度であるように配置される。したがって、検光子ユニット５１ａを通過した直進光は、基準軸から－４５°の偏光成分が光検出器５２ａに入射する。一方、検光子ユニット５１ｂを通過した反射光は、基準軸から０°の偏光成分が光検出器５２ｂに入射する。
【0053】
－４５°の偏光成分及び０°の偏光成分はそれぞれ、光検出器５２ａ及び光検出器５２ｂにおいて光電流に変換される。光検出器５２ａ，５２ｂは、例えば、フォトダイオードや光電子増倍管である。変換された光電流は、光検出器５２ａ，５２ｂに接続されたプリアンプ８４、及びプリアンプ８４に接続されたロック・インアンプ８２に順次入力され、増幅される。ロック・インアンプ８２の出力は、制御部６０としてのＰＣに、当該ＰＣが有するインターフェースユニット６５（Ａ／Ｄ変換器）を介して取り込まれる。ＰＣは、インストールされた所定の解析用プログラムにより、取り込んだ出力のデータを解析する。当該ＰＣは、データの解析結果として、測定点Ｍにおける複屈折位相差及び配向軸の方向を出力する。ＰＣは、データ及び解析結果を記憶装置６３に記憶する
【0054】
受光部５０は、1組の検光子ユニット５１ａ及び光検出器５２ａのみで構成することもできる。このように構成した場合は、複屈折位相差のみが解析結果として得られる。検光子ユニット５１ａは、例えば、偏光子ユニット４２が有する偏光子が基準軸に対して＋４５°になる偏光方向に配置される場合、偏光方向が基準軸から－４５°であるように配置される。
【0055】
光弾性変調による複屈折位相差測定法は、高速にかつ高感度に複屈折位相差を測定できる。製造ラインにおける搬送速度（～５００ｍ／ｍｉｎ）で樹脂フィルムＦが移動した場合、測定点Ｍ毎の測定に要する時間に測定点Ｍが移動する量はわずかである。したがって、製造ラインで搬送される樹脂フィルムＦを面方向に連続的に測定することができる。樹脂フィルムＦの製造装置の下流側に光学特性測定システム１を設置した場合、樹脂フィルムＦの幅方向に走査される走査測定部３０の測光光学系３６による測定点Ｍは、樹脂フィルムＦ上をジグザグ状に移動する。樹脂フィルムＦの幅方向の測定位置を予め設定しておき、設定した測定位置のみを測定することも可能である。
【0056】
〔変形例〕
上記実施形態の光学特性測定システムは、簡素化または高度化の変形が可能である。簡素化または高度化の変形例について、以下で説明する。
上記実施形態の光学特性測定システムは、簡素化または高度化の変形が可能である。簡素化または高度化の変形例について、以下で説明する。
【0057】
＜樹脂フィルムＦの三次元光学特性を測定可能な構成＞
図６は、本発明の一実施形態の光学特性測定システムにおいて３つの測定光学系を設けた構成を示す図で、図２（ａ）のＢ－Ｂに対応する位置の断面図である。また、図７は、３つの測定光学系を設けた構成の説明図である。これらの図に示すように、光源部４０は、光源光学系３６Ｐａと、光源光学系３６Ｔａと、を備えることができる。また、受光部５０は、受光光学系３６Ｐｂと、受光光学系３６Ｔｂと、を備えることができる。光源光学系３６Ｐａと受光光学系３６Ｐｂは、搬送される樹脂フィルムＦに対して直交する方向が光軸Ｉ１となる垂直測光光学系を構成する。光源光学系３６Ｔａと受光光学系３６Ｔｂは、光軸Ｉ２，Ｉ３が上記の直交する方向から所定角θ傾斜した傾斜測光光学系を構成する。傾斜測光光学系３６Ｔは１つでもよいが、図６及び図7に示すように、垂直測光光学系３６Ｐの光軸Ｉ１に対して線対称に２つ設けられることが望ましい。光学特性測定システム１は、垂直測光光学系と、少なくとも１つの傾斜測光光学系と、を備えることにより、樹脂フィルムＦの三次元の光学特性を測定することができる。なお、校正試料２６は、光軸Ｉ１、光軸Ｉ２、及び光軸Ｉ３のそれぞれに応じたものが設けられる。各校正試料２６は、各光軸（Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３）に直交するように、校正試料ホルダ２７によって支持される。図６に図示した例では、樹脂フィルムＦを測定する測光レベルＭＬから光源部４０寄りに校正試料ホルダ２７は配置されている。
図６は、本発明の一実施形態の光学特性測定システムにおいて３つの測定光学系を設けた構成を示す図で、図２（ａ）のＢ－Ｂに対応する位置の断面図である。また、図７は、３つの測定光学系を設けた構成の説明図である。これらの図に示すように、光源部４０は、光源光学系３６Ｐａと、光源光学系３６Ｔａと、を備えることができる。また、受光部５０は、受光光学系３６Ｐｂと、受光光学系３６Ｔｂと、を備えることができる。光源光学系３６Ｐａと受光光学系３６Ｐｂは、搬送される樹脂フィルムＦに対して直交する方向が光軸Ｉ１となる垂直測光光学系を構成する。光源光学系３６Ｔａと受光光学系３６Ｔｂは、光軸Ｉ２，Ｉ３が上記の直交する方向から所定角θ傾斜した傾斜測光光学系を構成する。傾斜測光光学系３６Ｔは１つでもよいが、図６及び図7に示すように、垂直測光光学系３６Ｐの光軸Ｉ１に対して線対称に２つ設けられることが望ましい。光学特性測定システム１は、垂直測光光学系と、少なくとも１つの傾斜測光光学系と、を備えることにより、樹脂フィルムＦの三次元の光学特性を測定することができる。なお、校正試料２６は、光軸Ｉ１、光軸Ｉ２、及び光軸Ｉ３のそれぞれに応じたものが設けられる。各校正試料２６は、各光軸（Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３）に直交するように、校正試料ホルダ２７によって支持される。図６に図示した例では、樹脂フィルムＦを測定する測光レベルＭＬから光源部４０寄りに校正試料ホルダ２７は配置されている。
【0058】
垂直測定光学系は、傾斜角が５°以下であれば、光軸Ｉ１が傾いてもよい。傾斜測光光学系の光軸Ｉ２，Ｉ３の傾斜角θは、２０°～５０°であり、４０°±５°が好ましい。このように構成にすることによって、樹脂フィルムＦの三次元の光学特性をより正確に測定することができる。
【0059】
各受光光学系３６Ｐｂ及び３６Ｔｂは、図５に示した受光光学系３６ｂと同様に、ビームスプリッタと、複数組の検光子ユニット及び光検出器と、を備えるように構成することができる。このように構成にすることによって、樹脂フィルムＦの三次元の光学特性として、複屈折位相差及び配向軸の方向が得られる。
【0060】
＜送りねじによるスライダ移動機構の構成＞
光学特性測定システム１は、スライダ移動機構として、図３などに示すリニアモータの構成に代えて、送りねじによる構成を採用することができる。図８は、送りねじによるスライダ移動機構を備えた構成を示す図で、図８（ａ）は、図２（ｂ）のＡ－Ａに対応する位置の断面図、図８（ｂ）は、図２（ａ）のＢ－Ｂに対応する位置の断面図である。図８においてスライダ３１以外の構成は、リニアモータの構成を採用した光学特性測定システム１と同様であるので、説明を割愛する。
光学特性測定システム１は、スライダ移動機構として、図３などに示すリニアモータの構成に代えて、送りねじによる構成を採用することができる。図８は、送りねじによるスライダ移動機構を備えた構成を示す図で、図８（ａ）は、図２（ｂ）のＡ－Ａに対応する位置の断面図、図８（ｂ）は、図２（ａ）のＢ－Ｂに対応する位置の断面図である。図８においてスライダ３１以外の構成は、リニアモータの構成を採用した光学特性測定システム１と同様であるので、説明を割愛する。
【0061】
送りねじによるスライダ移動機構は、円柱状の雄ねじ９１、ブロック状の雌ねじ部９２、雄ねじ９１を回転させる回転モータ９３、及び軸受９４を含む。円柱状の雄ねじ９１は、スライダ３１を支持しつつ移動させる軌道部として、スライダ移動空間１２内にその延在する方向に沿って設けられている。回転モータ９３（例えば、サーボモータやステッピングモータ）は、雄ねじ９１の一方端に接続され、雄ねじ９１を回転させる。回転モータ９３は、モータコントローラ８３（図４参照）に接続されている。雄ねじ９１の他方端は、軸受９４によって軸支されている。スライダ３１は、雄ねじ９１によって伝達される駆動力を受けるためのブロック状の雌ねじ部９２を有する。制御部６０は、回転モータ９３を制御する制御信号をモータコントローラ８３に送信することによって、スライダ３１を有する走査測光部３０の移動を制御する。
【0062】
凹部を有するスライド部３３は、スライダ移動空間１２内に設けられたガイド部材１４が嵌装されている。スライド部３３は、ガイド部材１４によって滑動可能に、かつスライダ３１が雄ねじ９１回りで回転しないように支持される。スライド部３３は、スライダ３１を異なる方向から支持するように、複数設けることが望ましい。図８に図示した具体例では、２つのスライド部３３が矩形のスライダ３１の両側面に設けられ、２本のガイド部材１４に支持されている。スライダ３１は、中央部が雄ねじ９１によって支持される。
【0063】
＜タイミングベルトによるスライダ移動機構の構成＞
光学特性測定システム１は、スライダ移動機構として、図３などに示すリニアモータの構成に代えて、タイミングベルトによる構成を採用することができる。図９は、タイミングベルトによるスライダ移動機構を備えた構成を示す図で、図９（ａ）は、図２（ｂ）のＡ－Ａに対応する位置の断面図、図９（ｂ）は、図２（ａ）のＢ－Ｂに対応する位置の断面図である。図９においてスライダ３１以外の構成は、リニアモータの構成を採用した光学特性測定システム１と同様であるので、説明を割愛する。
光学特性測定システム１は、スライダ移動機構として、図３などに示すリニアモータの構成に代えて、タイミングベルトによる構成を採用することができる。図９は、タイミングベルトによるスライダ移動機構を備えた構成を示す図で、図９（ａ）は、図２（ｂ）のＡ－Ａに対応する位置の断面図、図９（ｂ）は、図２（ａ）のＢ－Ｂに対応する位置の断面図である。図９においてスライダ３１以外の構成は、リニアモータの構成を採用した光学特性測定システム１と同様であるので、説明を割愛する。
【0064】
タイミングベルトによるスライダ移動機構は、回転モータ９３、タイミングベルト９６、駆動プーリー９７、及び従動プーリー９８を含む。タイミングベルト９６は、スライダ３１を支持しつつ移動させる軌道部として、スライダ移動空間１２内にその延在する方向に沿って設けられている。スライダ３１は、その底部がタイミングベルト９６に固定されている。タイミングベルト９６は、駆動プーリー９７及び従動プーリー９８に掛けられている。回転モータ９３（例えば、サーボモータやステッピングモータ）は、駆動プーリー９７を回転させる。回転モータ９３は、モータコントローラ８３に接続されている。制御部６０は、回転モータ９３を制御する制御信号をモータコントローラ８３に送信することによって、スライダ３１を有する走査測定部３０の移動を制御する。
【0065】
凹部を有するスライド部３３は、スライダ移動空間１２内に設けられたガイド部材１４が嵌装されている。スライド部３３は、ガイド部材１４によって滑動可能に支持される。スライド部３３は、スライダ３１を異なる方向から支持するように、複数設けることが望ましい。図９に図示した具体例では、２つのスライド部３３が矩形のスライダ３１の両側面に設けられ、２本のガイド部材１４に支持されている。
＜搬送手段に係る変形例＞
＜搬送手段に係る変形例＞
【0066】
光学特性測定システム１は、搬送手段７０の一部、例えば、光学特性測定システム１の前後の部分を制御するようにすることもできる。この場合、光学特性測定システム１によって制御される搬送手段７０は、樹脂フィルムＦの張力を調整する張力調整装置や、樹脂フィルムＦを滞留させるためのバッファ部を設けることが望ましい。このように構成することで、樹脂フィルムＦは、光学特性測定システム１による測定に最適な速度で搬送され得る。また、光学特性測定システム１に対して樹脂フィルムＦを間欠的に搬送することで、樹脂フィルムＦの搬送が停止している間に樹脂フィルムＦを測定することも可能となる。
【0067】
光学特性測定システム１は、搬送される樹脂フィルムＦの幅方向の縁部又は樹脂フィルムＦに設けられたマークを検出するように構成することもできる。そして、これら縁部等の検出結果に基づいて、測定点Ｍの樹脂フィルムＦ上の位置情報を補正するように構成することができる。また、光学特性測定システム１は、測定フレーム１０に対する樹脂フィルムＦの搬送方向を、機械的に又は空圧で調節する手段を設けるようにしてもよい。
【0068】
光学特性測定システム１は、搬送される樹脂フィルムＦが平坦な状態を保って測定フレーム１０を通過するように、樹脂フィルムＦを下面側からエア浮上機構などにより支持するように構成することもできる。
【0069】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、および明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【0070】
１ 光学特性測定システム
１０ 測定フレーム
１０ａ 第１測定フレーム
１０ｂ 第２測定フレーム
１２ スライダ移動空間
１３ 隔壁
１４ ガイド部材
１５ 開口部
１６ スライダ移動機構
１７ 固定子（軌道部）
２０ 側方フレーム（支持フレーム）
２１ ベース部
２２ 通気口
２３ ダクト
２４ 排気ファン
２６ 校正試料
２７ 校正試料ホルダ
３０ 走査測定部
３０ａ 光源側ユニット
３０ｂ 受光側ユニット
３１，３１ａ，３１ｂ スライダ
３２ 移動子
３３ スライド部
３５ 測光部
３６（３６Ｐ，３６Ｔ） 測光光学系
３６ａ，３６Ｐａ，３６Ｔａ 光源光学系
３６ｂ，３６Ｐｂ，３６Ｔｂ 受光光学系
３７，３７ａ，３７ｂ 光学系保持手段
３８ 接続部
３９ 窓部
４０ 光源部
４１，４１Ｐ，４１Ｔ 光源
４２，４２Ｐ，４２Ｔ 偏光子ユニット（偏光子）
４３，４３Ｐ，４３Ｔ 光弾性変調素子（ＰＥＭ）
５０ 受光部
５１，５１Ｐ，５１Ｔ，５１ａ，５１ｂ 検光子ユニット（検光子）
５２，５２Ｐ，５２Ｔ，５２ａ，５２ｂ 光検出器
５３ ビームスプリッタ
６０ 制御部
６１ 主制御部
６２ 表示部
６３ 記憶装置
６４ 入力デバイス
６５ インターフェースユニット
６６ 接続ケーブル
７０ 搬送手段
８１ ＰＥＭコントローラ
８２ ロック・インアンプ
８３ モータコントローラ
８４ プリアンプ
９１ 雄ねじ（軌道部）
９２ 雌ねじ部
９３ 回転モータ
９４ 軸受
９６ タイミングベルト（軌道部）
９７ 駆動プーリー
９８ 従動プーリー
Ｆ 樹脂フィルム
Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３ 光軸／軸線
ＨＰ ホームポジション
Ｍ 測定点
ＭＬ 測光レベル
Ｒ レファレンス信号
ＲＰ 折返しポジション
ＴＡ 試験エリア
１０ 測定フレーム
１０ａ 第１測定フレーム
１０ｂ 第２測定フレーム
１２ スライダ移動空間
１３ 隔壁
１４ ガイド部材
１５ 開口部
１６ スライダ移動機構
１７ 固定子（軌道部）
２０ 側方フレーム（支持フレーム）
２１ ベース部
２２ 通気口
２３ ダクト
２４ 排気ファン
２６ 校正試料
２７ 校正試料ホルダ
３０ 走査測定部
３０ａ 光源側ユニット
３０ｂ 受光側ユニット
３１，３１ａ，３１ｂ スライダ
３２ 移動子
３３ スライド部
３５ 測光部
３６（３６Ｐ，３６Ｔ） 測光光学系
３６ａ，３６Ｐａ，３６Ｔａ 光源光学系
３６ｂ，３６Ｐｂ，３６Ｔｂ 受光光学系
３７，３７ａ，３７ｂ 光学系保持手段
３８ 接続部
３９ 窓部
４０ 光源部
４１，４１Ｐ，４１Ｔ 光源
４２，４２Ｐ，４２Ｔ 偏光子ユニット（偏光子）
４３，４３Ｐ，４３Ｔ 光弾性変調素子（ＰＥＭ）
５０ 受光部
５１，５１Ｐ，５１Ｔ，５１ａ，５１ｂ 検光子ユニット（検光子）
５２，５２Ｐ，５２Ｔ，５２ａ，５２ｂ 光検出器
５３ ビームスプリッタ
６０ 制御部
６１ 主制御部
６２ 表示部
６３ 記憶装置
６４ 入力デバイス
６５ インターフェースユニット
６６ 接続ケーブル
７０ 搬送手段
８１ ＰＥＭコントローラ
８２ ロック・インアンプ
８３ モータコントローラ
８４ プリアンプ
９１ 雄ねじ（軌道部）
９２ 雌ねじ部
９３ 回転モータ
９４ 軸受
９６ タイミングベルト（軌道部）
９７ 駆動プーリー
９８ 従動プーリー
Ｆ 樹脂フィルム
Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３ 光軸／軸線
ＨＰ ホームポジション
Ｍ 測定点
ＭＬ 測光レベル
Ｒ レファレンス信号
ＲＰ 折返しポジション
ＴＡ 試験エリア
【図1】
【図2(a)】
【図2(b)】
【図3(a)】
【図3(b)】
【図3(c)】
【図3(d)】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8(a)】
【図8(b)】
【図9(a)】
【図9(b)】
【手続補正書】
【提出日】2022-10-13
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
試料から所定距離離間して配置される測定フレームと、
前記測定フレーム内で中空柱状の隔壁によって画定されて該測定フレームの延在方向に沿って設けられたスライダ移動空間と、
前記スライダ移動空間内に設けられて該スライダ移動空間の延在方向に沿って往復動可能なスライダと、
前記スライダをスライド移動させるスライダ移動機構と、
前記試料から出射される測定光を測定するための測光部と、
前記スライダ移動空間の外側において前記隔壁から離間されて配置されて前記測光部を保持する光学系保持手段と、を備え、
前記スライダ移動機構は、前記スライダ移動空間内にその延在方向に沿って設けられ、前記スライダを支持しながら移動させる軌道部を有し、
前記スライダ移動空間は、前記軌道部よりも前記試料に近い側が前記隔壁によって封止され、
前記スライダ移動空間内の前記スライダと前記スライダ移動空間外の前記測光部とが一体的に移動するように構成した
ことを特徴とする光学特性測定システム。
前記測定フレーム内で中空柱状の隔壁によって画定されて該測定フレームの延在方向に沿って設けられたスライダ移動空間と、
前記スライダ移動空間内に設けられて該スライダ移動空間の延在方向に沿って往復動可能なスライダと、
前記スライダをスライド移動させるスライダ移動機構と、
前記試料から出射される測定光を測定するための測光部と、
前記スライダ移動空間の外側において前記隔壁から離間されて配置されて前記測光部を保持する光学系保持手段と、を備え、
前記スライダ移動機構は、前記スライダ移動空間内にその延在方向に沿って設けられ、前記スライダを支持しながら移動させる軌道部を有し、
前記スライダ移動空間は、前記軌道部よりも前記試料に近い側が前記隔壁によって封止され、
前記スライダ移動空間内の前記スライダと前記スライダ移動空間外の前記測光部とが一体的に移動するように構成した
ことを特徴とする光学特性測定システム。
【請求項2】
前記隔壁は、その延在方向に沿って設けられたスリット状の開口部を備え、
前記開口部を介して前記スライダと前記光学系保持手段とが一体的に接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
前記開口部を介して前記スライダと前記光学系保持手段とが一体的に接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
【請求項3】
前記スライダ移動空間内には、その延在方向に沿ってガイド部材が設けられており、
前記スライダは、前記ガイド部材によって滑動可能に支持される
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
前記スライダは、前記ガイド部材によって滑動可能に支持される
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
【請求項4】
前記測定フレームを前記試料から所定距離離間させて支持するための支持フレームをさらに備え、
前記支持フレームは、前記スライダ移動空間に流体連通しているダクトと、前記スライダ移動空間から前記ダクトに流入する気体を前記スライダ移動空間の外部へ排出可能な通気口と、を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
前記支持フレームは、前記スライダ移動空間に流体連通しているダクトと、前記スライダ移動空間から前記ダクトに流入する気体を前記スライダ移動空間の外部へ排出可能な通気口と、を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定システム。
【請求項5】
試料から所定距離離間して配置される測定フレームと、
前記測定フレーム内で隔壁によって画定されて該測定フレームの延在方向に沿って設けられたスライダ移動空間と、
前記スライダ移動空間内に設けられて該スライダ移動空間の延在方向に沿って往復動可能なスライダと、
前記スライダをスライド移動させるスライダ移動機構と、
前記試料から出射される測定光を測定するための測光部と、
前記スライダ移動空間の外側において前記隔壁から離間されて配置されて前記測光部を保持する光学系保持手段と、を備え、
前記スライダ移動空間内の前記スライダと前記スライダ移動空間外の前記測光部とが一体的に移動するように構成し、
前記試料は、表面と裏面を有するフィルム状又は板状であり、
前記測定フレームは、前記試料の前記表面側に離間して配置される第１測定フレームと、前記試料の前記裏面側に離間して配置される第２測定フレームと、を含み、
前記スライダ移動空間は、前記第１測定フレーム内の第１スライダ移動空間と、前記第２測定フレーム内の第２スライダ移動空間と、を含み、
前記スライダは、前記第１スライダ移動空間内を移動する第１スライダと、前記第２スライダ移動空間内を移動する第２スライダと、を含み、
前記測光部は、前記第１スライダと一体的に移動するように構成されて前記試料に向けて測定光を出射する光源部と、前記第２スライダと一体的に移動するように構成されて前記試料から出射される測定光を受光する受光部と、を備え、
前記スライダ移動機構は、前記第１スライダと前記第２スライダを同期移動させる
ことを特徴とする光学特性測定システム。
前記測定フレーム内で隔壁によって画定されて該測定フレームの延在方向に沿って設けられたスライダ移動空間と、
前記スライダ移動空間内に設けられて該スライダ移動空間の延在方向に沿って往復動可能なスライダと、
前記スライダをスライド移動させるスライダ移動機構と、
前記試料から出射される測定光を測定するための測光部と、
前記スライダ移動空間の外側において前記隔壁から離間されて配置されて前記測光部を保持する光学系保持手段と、を備え、
前記スライダ移動空間内の前記スライダと前記スライダ移動空間外の前記測光部とが一体的に移動するように構成し、
前記試料は、表面と裏面を有するフィルム状又は板状であり、
前記測定フレームは、前記試料の前記表面側に離間して配置される第１測定フレームと、前記試料の前記裏面側に離間して配置される第２測定フレームと、を含み、
前記スライダ移動空間は、前記第１測定フレーム内の第１スライダ移動空間と、前記第２測定フレーム内の第２スライダ移動空間と、を含み、
前記スライダは、前記第１スライダ移動空間内を移動する第１スライダと、前記第２スライダ移動空間内を移動する第２スライダと、を含み、
前記測光部は、前記第１スライダと一体的に移動するように構成されて前記試料に向けて測定光を出射する光源部と、前記第２スライダと一体的に移動するように構成されて前記試料から出射される測定光を受光する受光部と、を備え、
前記スライダ移動機構は、前記第１スライダと前記第２スライダを同期移動させる
ことを特徴とする光学特性測定システム。
【請求項6】
前記光源部は、光源と、前記光源からの測定光が入射する偏光子と、前記偏光子で偏光された前記測定光が入射する光弾性変調素子と、を備え、
前記受光部は、検光子及び光検出器を備える
ことを特徴とする請求項５に記載の光学特性測定システム。
前記受光部は、検光子及び光検出器を備える
ことを特徴とする請求項５に記載の光学特性測定システム。
【請求項7】
前記受光部は、前記試料から出射される前記測定光を少なくとも２方向に分離するビームスプリッタをさらに備え、
前記検光子及び前記光検出器は、少なくとも２組が設けられ、
前記ビームスプリッタで分離された前記測定光のそれぞれは、別々の組の前記検光子及び前記光検出器に入射し、
別々の組の前記検光子は、互いに異なる偏向角に設定されている
ことを特徴とする請求項６に記載の光学特性測定システム。
前記検光子及び前記光検出器は、少なくとも２組が設けられ、
前記ビームスプリッタで分離された前記測定光のそれぞれは、別々の組の前記検光子及び前記光検出器に入射し、
別々の組の前記検光子は、互いに異なる偏向角に設定されている
ことを特徴とする請求項６に記載の光学特性測定システム。
【請求項8】
前記光源部は、前記光源、前記偏光子、及び前記光弾性変調素子を有する光源光学系を少なくとも２組備え、
前記受光部は、前記検光子及び前記光検出器を有する受光光学系を少なくとも２組備え、
１組の前記光源光学系及び前記受光光学系は、前記試料の面に直交する直交軸に沿って配置され、
前記１組以外の前記光源光学系及び前記受光光学系は、前記直交軸が前記試料の面と交差する測定点を通り前記直交軸に対して所定角傾いた軸に沿って配置される
ことを特徴とする請求項６に記載の光学特性測定システム。
前記受光部は、前記検光子及び前記光検出器を有する受光光学系を少なくとも２組備え、
１組の前記光源光学系及び前記受光光学系は、前記試料の面に直交する直交軸に沿って配置され、
前記１組以外の前記光源光学系及び前記受光光学系は、前記直交軸が前記試料の面と交差する測定点を通り前記直交軸に対して所定角傾いた軸に沿って配置される
ことを特徴とする請求項６に記載の光学特性測定システム。
【請求項9】
前記試料は、搬送手段によって搬送される長尺の樹脂フィルムであって、
前記測定フレームは、該測定フレームの前記延在方向が前記樹脂フィルムの搬送方向に直交するように配置され、
前記樹脂フィルムは、その表面及び裏面が前記測定フレームから前記所定距離離間された状態で前記搬送手段によって搬送され、
前記測光部は、前記搬送方向に直交する方向である前記樹脂フィルムの幅方向に往復動する
ことを特徴とする請求項１又は５に記載の光学特性測定システム。
前記測定フレームは、該測定フレームの前記延在方向が前記樹脂フィルムの搬送方向に直交するように配置され、
前記樹脂フィルムは、その表面及び裏面が前記測定フレームから前記所定距離離間された状態で前記搬送手段によって搬送され、
前記測光部は、前記搬送方向に直交する方向である前記樹脂フィルムの幅方向に往復動する
ことを特徴とする請求項１又は５に記載の光学特性測定システム。