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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023015900
(43)【公開日】2023-02-01
(54)【発明の名称】回転往復駆動アクチュエーター
(51)【国際特許分類】
H02K 33/16 20060101AFI20230125BHJP
G02B 26/10 20060101ALI20230125BHJP
【ＦＩ】
H02K33/16 A
H02K33/16 B
G02B26/10 104Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】18
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021119976
(22)【出願日】2021-07-20
(71)【出願人】
【識別番号】000006220
【氏名又は名称】ミツミ電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002952
【氏名又は名称】弁理士法人鷲田国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】高橋 勇樹
(72)【発明者】
【氏名】北村 泰隆
(72)【発明者】
【氏名】加賀美 雅春
(72)【発明者】
【氏名】正本 佳
【テーマコード（参考）】
2H045
5H633
【Ｆターム（参考）】
2H045AA13
2H045AB34
2H045AB44
2H045BA02
5H633BB08
5H633BB10
5H633BB18
5H633GG02
5H633GG04
5H633GG07
5H633GG17
5H633HH03
5H633HH06
5H633HH15
5H633JA02
5H633JA09
5H633JB05
(57)【要約】
【課題】コアの剛性を確保しつつ組み立てが容易であり、且つ、制作コストを抑えて、可動対象物をより高振幅で駆動すること。
【解決手段】可動対象物が接続される軸部と軸部に固定されたマグネットとを有する可動体と、複数の磁極を有するコア体と複数のコイルとを含むコア組立体を有し、複数の磁極をマグネットの外周に対向させてコア組立体を配置した固定体と、軸部の延在方向でコア組立体を挟持し、コア組立体の両側で夫々軸部を回転自在に支持する一対の軸支持体と、を有し、複数のコイルへの通電により、コア体を通過する磁束を発生させて、磁束とマグネットとの電磁相互作用により可動体を軸部の軸回りに往復回転させる。
【選択図】図４
【解決手段】可動対象物が接続される軸部と軸部に固定されたマグネットとを有する可動体と、複数の磁極を有するコア体と複数のコイルとを含むコア組立体を有し、複数の磁極をマグネットの外周に対向させてコア組立体を配置した固定体と、軸部の延在方向でコア組立体を挟持し、コア組立体の両側で夫々軸部を回転自在に支持する一対の軸支持体と、を有し、複数のコイルへの通電により、コア体を通過する磁束を発生させて、磁束とマグネットとの電磁相互作用により可動体を軸部の軸回りに往復回転させる。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
可動対象物が接続される軸部と前記軸部に固定されたマグネットとを有する可動体と、
複数の磁極を有するコア体と複数のコイルとを含むコア組立体を有し、前記複数の磁極を前記マグネットの外周に対向させて前記コア組立体を配置した固定体と、
前記軸部の延在方向で前記コア組立体を挟持し、前記コア組立体の両側で夫々前記軸部を回転自在に支持する一対の軸支持体と、
を有し、
前記複数のコイルへの通電により、前記コア体を通過する磁束を発生させて、前記磁束と前記マグネットとの電磁相互作用により前記可動体を前記軸部の軸回りに往復回転させる、
回転往復駆動アクチュエーター。
複数の磁極を有するコア体と複数のコイルとを含むコア組立体を有し、前記複数の磁極を前記マグネットの外周に対向させて前記コア組立体を配置した固定体と、
前記軸部の延在方向で前記コア組立体を挟持し、前記コア組立体の両側で夫々前記軸部を回転自在に支持する一対の軸支持体と、
を有し、
前記複数のコイルへの通電により、前記コア体を通過する磁束を発生させて、前記磁束と前記マグネットとの電磁相互作用により前記可動体を前記軸部の軸回りに往復回転させる、
回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項2】
前記コア体は、
前記複数の磁極を含む一体構造の磁極コアと、
前記磁極コアとともに前記磁束の磁路を構成する磁路コアと、
を有し、前記磁極コアと前記磁路コアとは、前記軸部の延在方向で対面して面接触した状態で前記軸支持体に挟持されることにより互いに組み付けられている、
請求項１に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
前記複数の磁極を含む一体構造の磁極コアと、
前記磁極コアとともに前記磁束の磁路を構成する磁路コアと、
を有し、前記磁極コアと前記磁路コアとは、前記軸部の延在方向で対面して面接触した状態で前記軸支持体に挟持されることにより互いに組み付けられている、
請求項１に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項3】
前記磁路コアは、前記軸部を中心に前記複数の磁極を位置決めした状態で、前記磁極コアと組み付けられる、
請求項２に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項２に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項4】
前記一対の軸支持体の少なくとも一方は、前記コア組立体の内側に突出して設けられ、前記複数の磁極と前記磁路コアとの間に介在して双方の位置を保持するコア保持部を有する、
請求項２または３記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項２または３記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項5】
前記固定体は、前記マグネットに対向して配置された磁性体であって、前記マグネットを基準位置に磁気吸引するマグネット位置保持部を有する、
請求項１から４のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１から４のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項6】
前記マグネット位置保持部が前記マグネットを磁気吸引する前記基準位置は、前記マグネットの往復回転の回転中心位置である、
請求項５に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項５に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項7】
前記複数のコイルは、前記複数の磁極それぞれに隣接し且つ互いに並行して配置されている、
請求項１から６のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１から６のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項8】
前記一対の軸支持体は夫々、前記軸部が挿入される軸受部と、前記コア組立体を前記軸部の延在方向で被覆する電磁シールド材で構成される支持体本体部とを有する、
請求項１から７のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１から７のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項9】
前記電磁シールド材はアルミ合金を含む、
請求項８記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項８記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項10】
前記コア体は積層部材で構成される、
請求項１から９のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１から９のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項11】
前記一対の軸支持体は、第１軸支持体及び第２軸支持体を含み、
前記第１軸支持体に対して前記コア組立体の反対側に、前記可動対象物が配置され、
前記第２軸支持体に対して前記コア組立体の反対側に、前記軸部の回転角度を検知する角度センサーが配置されている、
請求項１～１０のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
前記第１軸支持体に対して前記コア組立体の反対側に、前記可動対象物が配置され、
前記第２軸支持体に対して前記コア組立体の反対側に、前記軸部の回転角度を検知する角度センサーが配置されている、
請求項１～１０のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項12】
前記角度センサーを覆うように前記第２軸支持体に取り付けられたカバーを有する、
請求項１１記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１１記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項13】
前記一対の軸支持体のうち第１軸支持体から突出する前記軸部の一端部に前記可動対象物が接続され、
前記軸部の一端部に固定された前記可動対象物の先端には、前記第１軸支持体とで前記可動対象物を挟むように配置された支持壁部に固定される回転支軸部が設けられている、
請求項１から１２のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
前記軸部の一端部に固定された前記可動対象物の先端には、前記第１軸支持体とで前記可動対象物を挟むように配置された支持壁部に固定される回転支軸部が設けられている、
請求項１から１２のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項14】
前記回転支軸部は、滑り軸受である、
請求項１３記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１３記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項15】
前記回転支軸部は、樹脂からなるブッシュである、
請求項１３記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１３記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項16】
前記軸部の前記コア組立体に対して回転往復動する際の最大回転角度を規制する回転角度規制部を有する、
請求項１から１５のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１から１５のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項17】
前記コア組立体には、前記コア組立体を挟持する前記一対の軸支持体の位置を規定する位置決め部が設けられている、
請求項１から１６のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
請求項１から１６のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【請求項18】
前記可動対象物は、走査光を反射するミラーである、請求項１から１７のいずれか一項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、回転往復駆動アクチュエーターに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、複合機、レーザービームプリンタ等のスキャナーに使用されるアクチュエーターとして、回転駆動アクチュエーターが使用されている。具体的には、回転往復駆動アクチュエーターは、スキャナーのミラーを往復回転させることで、レーザー光の反射角度を変更して対象物に対する光走査を実現する。
【0003】
この種の回転往復駆動アクチュエーターとしてガルバノモーターを用いたものが、特許文献１に開示されている。ガルバノモーターとしては、特許文献１に開示された構造のタイプのものや、コイルをミラーに取り付けたコイル可動タイプの他、様々なタイプのものが知られている。
【0004】
特許文献１には、４つの永久磁石が、ミラーが取り付けられる回転軸に、回転軸径方向に着磁するように設けられ、コイルが巻回された磁極を有するコアが、回転軸を挟むように配置されたビームスキャナが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特許第４７２７５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ところで、コイル可動タイプの回転往復駆動アクチュエーターにおいては、駆動時のコイルの発熱により、ミラーの表面状態、回転軸へのミラーの接合状態、反りを含むミラーの形状等に悪影響を与えるおそれがある。また、コイル可動タイプの回転往復駆動アクチュエーターにおいては、通電時のコイルの発熱を考慮するとコイルへの入力電流も大きくしにくく、可動体であるミラーの大型化や高振幅化が困難であるという問題がある。さらに、可動体であるミラーに対して、コイルへの配線を固定体側に引き出す必要があり組み立て性が悪いという問題がある。
【0007】
また、特許文献１の装置では、互いに離間して対向配置された一対の軸受壁間に、回転軸が架設されるとともに、可動体対象物であるミラーと、ミラーを回転往復移動させるコイル及びマグネットとが配設されている。
【0008】
近年、スキャナーに用いられる回転往復駆動アクチュエーターは、小型化されたスキャナー製品のサイズに応じて、小型化及び省スペース化が望まれている。
よって、
よって、
【0009】
本発明は、以上の点を考慮してなされたものであり、より小型化及び小スペースを図ることができ、耐衝撃性や耐振動特性を有し、軸部を介して可動対象物を、より安定した状態で、高振幅で駆動できる回転往復駆動アクチュエーターを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の回転往復駆動アクチュエーターの一つの態様は、
可動対象物が接続される軸部と前記軸部に固定されたマグネットとを有する可動体と、
複数の磁極を有するコア体と複数のコイルとを含むコア組立体を有し、前記複数の磁極を前記マグネットの外周に対向させて前記コア組立体を配置した固定体と、
前記軸部の延在方向で前記コア組立体を挟持し、前記コア組立体の両側で夫々前記軸部を回転自在に支持する一対の軸支持体と、
を有し、
前記複数のコイルへの通電により、前記コア体を通過する磁束を発生させて、前記磁束と前記マグネットとの電磁相互作用により前記可動体を前記軸部の軸回りに往復回転させる構成を採る。
可動対象物が接続される軸部と前記軸部に固定されたマグネットとを有する可動体と、
複数の磁極を有するコア体と複数のコイルとを含むコア組立体を有し、前記複数の磁極を前記マグネットの外周に対向させて前記コア組立体を配置した固定体と、
前記軸部の延在方向で前記コア組立体を挟持し、前記コア組立体の両側で夫々前記軸部を回転自在に支持する一対の軸支持体と、
を有し、
前記複数のコイルへの通電により、前記コア体を通過する磁束を発生させて、前記磁束と前記マグネットとの電磁相互作用により前記可動体を前記軸部の軸回りに往復回転させる構成を採る。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、より小型化及び小スペースを図ることができ、耐衝撃性や耐振動特性を有し、軸部を介して可動対象物を、より安定した状態で、高振幅で駆動できる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】実施の形態の回転往復駆動アクチュエーターの外観斜視図である。
【図2】回転往復駆動アクチュエーターの駆動ユニットの斜視図である。
【図3】回転往復駆動アクチュエーターの駆動ユニットの縦断面図である。
【図4】回転往復駆動アクチュエーターの正面側分解斜視図である。
【図5】回転往復駆動アクチュエーターの背面側分解斜視図である。
【図6】回転往復駆動アクチュエーターのコア組立体の要部構成を示す断面図である。
【図7】コア体の分解図である。
【図8】駆動ユニットの組み立ての説明に供する駆動ユニットの分解斜視図である。
【図9】第１軸支持体の裏面側斜視図である。
【図10】コア組立体におけるコア保持部の説明に供する図である。
【図11】角度センサー装置の説明に供する図である。
【図12】ストッパの斜視図である。
【図13】回転往復駆動アクチュエーターの磁気回路の動作の説明に供する図である。
【図14】回転往復駆動アクチュエーターの磁気回路の動作の説明に供する図である。
【図15】変形例１の回転往復駆動アクチュエーターの外観斜視図である。
【図16】回転往復駆動アクチュエーターの正面側分解斜視図である。
【図17】回転往復駆動アクチュエーターを用いたスキャナーシステムの要部構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【0014】
図１は、実施の形態の回転往復駆動アクチュエーターの外観斜視図であり、図２は、回転往復駆動アクチュエーターの駆動ユニットの斜視図であり、図３は、同駆動ユニットの縦断面図である。また、図４は、回転往復駆動アクチュエーターの正面側分解斜視図である。また、図５は、回転往復駆動アクチュエーターの背面側分解斜視図である。
【0015】
回転往復駆動アクチュエーター１は、例えば、ライダー（ＬｉＤＡＲ：Laser Imaging Detection and Ranging）装置に用いられる。なお、回転往復駆動アクチュエーター１は、複合機、レーザービームプリンタ等の光走査装置にも適用可能である。
【0016】
図１に示す回転往復駆動アクチュエーター１は、大きく分けて、ミラー部２２と、ミラー部２２を回転自在に支持し且つ往復回転駆動する駆動ユニット１０と、ミラー部２２の回転角度位置を検出する角度センサー部７０と、を有する。
【0017】
＜ミラー部２２＞
ミラー部２２は、回転往復駆動アクチュエーター１における可動対象物であり、回転軸２４に接続される。ミラー部２２は、例えば、ミラーホルダー２２２の一面にミラー２２１を貼り付けることで形成される。回転軸２４は、その一端部を、ミラーホルダー２２２の挿通孔２２３に挿通され、固着される。なお、回転軸２４において、駆動ユニット１０のユニット固定部３０内に配置される部位では、可動マグネット（以下、単に「マグネット」と称する）２６が固着されている。マグネット２６は、後述するユニット固定部３０により発生される磁束によって往復回転駆動される。
ミラー部２２は、回転往復駆動アクチュエーター１における可動対象物であり、回転軸２４に接続される。ミラー部２２は、例えば、ミラーホルダー２２２の一面にミラー２２１を貼り付けることで形成される。回転軸２４は、その一端部を、ミラーホルダー２２２の挿通孔２２３に挿通され、固着される。なお、回転軸２４において、駆動ユニット１０のユニット固定部３０内に配置される部位では、可動マグネット（以下、単に「マグネット」と称する）２６が固着されている。マグネット２６は、後述するユニット固定部３０により発生される磁束によって往復回転駆動される。
【0018】
【0019】
駆動ユニット１０は、キューブ状のユニット固定部３０から突出する回転軸２４でミラー部２２を支持し、回転軸２４を介してミラー部２２を往復回転駆動する。なお、ユニット固定部３０は、柱状等どのような形状でもよく、直方体形状であってもよい。ユニット固定部３０は、本実施の形態では、キューブ状であるので、配置スペースを小さくでき、対応する立方形状の隙間等、省スペースで配置させることができる。なお、駆動ユニット１０では、回転軸２４は、ユニット固定部３０を挿通して両端部がユニット固定部３０から突出した状態で往復回転自在に支持されている。なお、ユニット可動部２０は、ミラー部２２とともに、回転往復駆動アクチュエーター１の可動体を構成する。
【0020】
【0021】
ユニット固定部３０は、回転往復駆動アクチュエーター１の固定体を構成する。
ユニット固定部３０は、内部にユニット可動部２０のマグネット２６を収容し、ユニット可動部２０の回転軸２４が突出したコア組立体４０と、第１軸支持体５０と、第２軸支持体６０とを有する。
ユニット固定部３０は、内部にユニット可動部２０のマグネット２６を収容し、ユニット可動部２０の回転軸２４が突出したコア組立体４０と、第１軸支持体５０と、第２軸支持体６０とを有する。
【0022】
ユニット固定部３０は、コア組立体４０を、回転軸２４の延在方向の両側から、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０で挟持して、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０がコア組立体４０に固定することで構成されている。
【0023】
ユニット固定部３０では、第１軸支持体５０、コア組立体４０及び第２軸支持体６０は止着材３２により、一体に固定される。ユニット固定部３０では、直方形状のコア組立体４０の回転軸２４の延在方向の両側の端面が、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０によりそれぞれ全面的に被覆されている。
【0024】
＜コア組立体４０＞
図６は、回転往復駆動アクチュエーターのコア組立体の説明に供する図であり、ユニット固定部３０を軸方向中央で切断して第２軸支持体側からみた斜視図である。図６は、回転往復駆動アクチュエーターのコア組立体の要部構成を示す断面図であり、図３のＡ－Ａ線断面図である。
図６は、回転往復駆動アクチュエーターのコア組立体の説明に供する図であり、ユニット固定部３０を軸方向中央で切断して第２軸支持体側からみた斜視図である。図６は、回転往復駆動アクチュエーターのコア組立体の要部構成を示す断面図であり、図３のＡ－Ａ線断面図である。
【0025】
コア組立体４０は、コイル４４、４５、コイル４４、４５が巻回されるコア体Ｋ、及び、回転角度位置保持部４８を有する。
【0026】
コア組立体４０は、本実施の形態では、内側に磁極４１１ａ、４１２ａが配設された直方形状に形成されている。
【0027】
＜コア体Ｋ＞
図７は、コア体の分解図である。
コア体Ｋは、本実施の形態では、２つの分割体を軸方向で組み合わせることで構成されている。コア体Ｋは、複数の磁極４１１ａ、４１２ａを含む一体構造の磁極コア４１と、磁極コア４１と磁気的に結合されて一体化し、磁極コア４１とともに磁路を構成する磁路コア４２とを有する。
図７は、コア体の分解図である。
コア体Ｋは、本実施の形態では、２つの分割体を軸方向で組み合わせることで構成されている。コア体Ｋは、複数の磁極４１１ａ、４１２ａを含む一体構造の磁極コア４１と、磁極コア４１と磁気的に結合されて一体化し、磁極コア４１とともに磁路を構成する磁路コア４２とを有する。
【0028】
コア体Ｋは、本実施の形態では、複数の磁極４１１ａ、４１２ａを有する棒状体４１１、４１２と、棒状体４１１、４１２の四方を囲むように配置され、且つ磁極４１１ａ、４１２ａの間を繋ぐ磁路を構成する包囲部４２０とを有する。なお、コア体Ｋは、本実施の形態では、磁極コア４１及び磁路コア４２を組み合わせることにより、磁路の幅よりも軸方向の長さの方が長く、直方体状の棒状体４１１、４１２と、長方体状の辺部で矩形枠状に形成される包囲部４２０と、から構成されている。
【0029】
磁極コア４１及び磁路コア４２は、コイル４４、４５に通電したときに発生する磁束を複数の磁極４１１ａ、４１２ａに通過させる。磁極コア４１及び磁路コア４２は、例えば、ケイ素鋼板等の電磁鋼板（積層部材）を積層してなる積層コアである。磁極コア４１及び磁路コア４２を積層構造とすることにより、低コストで、且つ、複雑な形状に形成可能となっている。
【0030】
＜磁極コア４１＞
磁極コア４１は、複数の磁極４１１ａ、４１２ａを先端部にそれぞれ有する複数の棒状体４１１、４１２と、複数の磁極４１１ａ、４１２ａを接続する接続枠状体４１３とを一体構造で有する。
磁極コア４１は、複数の磁極４１１ａ、４１２ａを先端部にそれぞれ有する複数の棒状体４１１、４１２と、複数の磁極４１１ａ、４１２ａを接続する接続枠状体４１３とを一体構造で有する。
【0031】
棒状体４１１、４１２は、基端部４１１ｂ、４１２ｂから先端部（磁極４１１ａ、４１２ａを含む）まで互いに並行して延在し、中間部に複数のコイル４４、４５がそれぞれ外装される。
【0032】
コイル４４、４５への通電により励磁したときに、棒状体４１１、４１２の先端部の磁極４１１ａ、４１２ａは、通電方向に応じた極性を生じる。
【0033】
棒状体４１１、４１２は、コア体Ｋの厚み（回転軸２４の延在方向の長さ）と同様の厚みである。棒状体４１１、４１２は、接続枠状体４１３に対して、一方側（図１における下側）の面の面どうしでは面一であるが、他方側（図１における上側）の面どうしでは、棒状体４１１、４１２の方が接続枠状体４１３よりも突出する位置に配置されている。
【0034】
このように他方側の面には、棒状体４１１、４１２と接続枠状体４１３とにより段差部分が設けられ、この段差部分が、磁路コア４２側の段差部分と係合する。これにより、棒状体４１１、４１２、包囲部とは軸方向の両側の面でそれぞれ略面一となっている。
【0035】
磁極４１１ａ、４１２ａのマグネット２６と対向する部分は、マグネット２６の外周面に沿って湾曲する形状を有している。これら湾曲する形状は、例えば、棒状体４１１、４１２の延在方向と直交する方向で対向するように配置される。
【0036】
磁極４１１ａ、４１２ａは、例えば、コイル４４、４５が巻回されたボビン４６、４７を、先端側から外挿可能な外形寸法を有する。これにより、棒状体４１１、４１２の延在方向の先端側、つまり、磁極４１１ａ、４１２ａの先端から、ボビン４６、４７を外挿して、棒状体４１１、４１２を囲む位置まで位置させることができる。
【0037】
接続枠状体４１３は、Ｕ字状をなし、棒状体４１１、４１２どうしを接続して、複数の磁極４１１ａ、４１２ａを一体化して接合している。なお、接続枠状体４１３は、磁極コア４１が磁路コア４２に組付けられた際に、磁路コア４２の包囲部４２０に当接して囲み磁路を構成する。
接続枠状体４１３は、直方形状の接続辺部４１３ａと、接続辺部４１３ａの両端部から、接続辺部４１３ａと直交する方向に延在する突出辺部４１３ｂ、４１３ｃを有する。
接続枠状体４１３は、直方形状の接続辺部４１３ａと、接続辺部４１３ａの両端部から、接続辺部４１３ａと直交する方向に延在する突出辺部４１３ｂ、４１３ｃを有する。
【0038】
接続辺部４１３ａは、棒状体４１１、４１２の並行方向と直交する方向に延在して配置され、両端部のそれぞれが棒状体４１１、４１２の基端部４１１ｂ、４１２ｂと一体に設けられている。接続辺部４１３ａでは、棒状体４１１、４１２は、突出辺部４１３ｂ、４１３ｃの間で突出辺部４１３ｂ、４１３ｃと並行に接合されている。
【0039】
接続辺部４１３ａは、主に、棒状体４１１、４１２の基端部４１１ｂ、４１２ｂと、磁路コア４２の側辺部４２１、４２２の基端部４２１ｂ、４２２ｂとを接続し、コイル４４、４５を囲むように配置される磁路を形成する。接続辺部４１３ａと突出辺部４１３ｂ、接続辺部４１３ａと突出辺部４１３ｃとがそれぞれ接合する角部には、取付孔４０ａが設けられている。これら角部は、コア体Ｋにおいて平面視して四隅のうちの角部でもあり、取付孔４０ａに止着材３２を挿入して、第１軸支持体５０、磁路コア４２、第２軸支持体６０を固定する。
【0040】
突出辺部４１３ｂ、４１３ｃは、接続辺部４１３ａと、それぞれ磁路コア４２の磁路側接触面４２０ａと面接触する面状の磁極側接触面４１３０を有する。
【0041】
磁極側接触面４１３０は、Ｕ字状の接続枠状体４１３において磁路コア４２と対向する部位に全面的に設けられている。接続枠状体４１３は、磁極側接触面４１３０を、磁路コア４２の磁路側接触面４２０ａに面接触させて接合することにより、磁路コア４２の磁路側接続辺部４２４に全面的に積層した状態で接合される。
【0042】
また、接続辺部４１３ａには、磁路コア４２、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０を一体に接合する際に、各部を位置決めするための位置決め孔４０ｃが設けられている。
【0043】
なお、磁極コア４１では、棒状体４１１、４１２及び接続枠状体４１３が一体構造であるので、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てる際に、複数の磁極４１１ａ、４１２ａの位置関係が変化することがない。すなわち、磁路コア４２とともにコア組立体４０のコア体として、磁極４１１ａ、４１２ａをマグネット２６と向かい合う位置に配置してユニット固定部３０を配置する場合、磁極４１１ａ、４１２ａどうしを向かい合う正確な位置で互いにずれることなく位置させることができる。
【0044】
＜磁路コア４２＞
磁路コア４２は、磁極コア４１に接続して、コイル４４、４５へ通電した際に、磁極４１１ａ、４１２ａに磁束が通過する磁路を形成する。
磁路コア４２は、磁極コア４１に接続して、コイル４４、４５へ通電した際に、磁極４１１ａ、４１２ａに磁束が通過する磁路を形成する。
【0045】
磁路コア４２は、回転軸２４の延在方向で磁極コア４１の接続枠状体４１３と対面して互いに面接触し、且つ、回転軸２４を中心に複数の磁極４１１ａ、４１２ａを位置決めした状態で、磁極コア４１と組み付けられる。
【0046】
磁路コア４２は、包囲部４２０の他、磁路側接触面４２０ａ、切り欠き部４２０ｂ、係合凹部４０ｂ、位置決め孔４０ｄを有する。
【0047】
磁路コア４２は、コイル４４、４５を包囲する包囲部４２０を有し、その包囲部４２０の一部の切り欠き部４２０ｂで、磁極コア４１の接続枠状体４１３が係合して接続する。
包囲部４２０は、コイル４４、４５に加えて、磁極４１１ａ、４１２ａも包囲するよう回転軸２４の周囲に配置される。
包囲部４２０は、コイル４４、４５に加えて、磁極４１１ａ、４１２ａも包囲するよう回転軸２４の周囲に配置される。
【0048】
包囲部４２０は、例えば、矩形枠状に形成され、高い強度を有する。磁路コア４２は、包囲部４２０に接続枠状体４１３が係合した際には、磁路側接触面４２０ａと、磁極側接触面４１３０とで面接触して密着し、四方全て同じ厚み（軸方向の長さ）の一体化された矩形枠状体となる。
【0049】
包囲部４２０は、磁極コア４１の磁極４１１ａ、４１２ａを安定的に位置決めできる。また、磁路コア４２の包囲部４２０は、コイル４４、４５を四方から包囲しているので、外部からコイル４４、４５への接触を防ぐことができる。
【0050】
包囲部４２０は、具体的には、枠状に接合された磁路側接続辺部４２４、両側辺部４２１、４２１及び橋架部４２３を有する。包囲部４２０では、切り欠き部４２０ｂは、磁路側接続辺部４２４と、両側辺部４２１、４２２のそれぞれの一部を、磁極コア４１との対向面側を切り欠いて形成されている。
【0051】
磁路側接触面４２０ａは、接続枠状体４１３に対応したＵ字状であり、切り欠き部４２０ｂの底面部分、すなわち、磁路側接続辺部４２４及び両側辺部４２１、４２２の磁極４１側の面の一部に設けられている。磁路側接触面４２０ａが、接続枠状体４１３の磁極側接触面４１３０と全面と重なるように接触することで、包囲部４２０と接続枠状体４１３との接合部分における磁気抵抗を減少できる。
【0052】
側辺部４２１、４２２は、一対の棒状体４１１、４１２を挟むように、且つ、一対の棒状体４１１、４１２の並行方向に沿って延在して配置されている。側辺部４２１、４２２は、基端部４２１ｂ、４２２ｂで磁路側接続辺部４２４の両端部がそれぞれ接合され、先端部間には、磁路側接続辺部４２４と並行な橋架部４２３が架設されている。
【0053】
磁路側接続辺部４２４は、接続枠状体４１３に当接して重なるように積層した状態において、磁路側接続辺部４２４のマグネット２６側の面に、複数の棒状体４１１、４１２の基端面が当接し、磁束が通過し易くなっている。
【0054】
係合凹部４０ｂは、包囲部４２０の四隅、つまり、磁路の角部の屈曲部分のそれぞれに、軸方向に延在するように設けられている。なお、係合凹部４０ｂには、第１軸支持体５０の取付脚部５６が嵌合する。
【0055】
位置決め孔４０ｄ、４０ｅは、ユニット固定部３０を構成する軸方向で積層する各部の位置決めのために用いられる孔である。位置決め孔４０ｄは、磁極コア４１の位置決め孔４０ｃ、第１軸支持体５０の位置決め孔５０１、第２軸支持体６０の位置決め孔６０ａのそれぞれと軸一軸心を有し同径で形成され、軸方向に連続する位置決め貫通孔を形成する。
【0056】
位置決め孔４０ｅは、第１軸支持体５０の位置決め孔５０２、第２軸支持体６０の位置決め孔６０ｂのそれぞれと軸一軸心を有し同径で形成され、軸方向に連続する位置決め貫通孔を形成する。磁路コア４２の位置決め孔４０ｅ、第１軸支持体５０の位置決め孔５０２、第２軸支持体６０の位置決め孔６０ｂは、本実施の形態では長穴である。
【0057】
図８は、駆動ユニットの組み立ての説明に供する駆動ユニットの分解斜視図である。
この構成において、コア組立体４０、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０を接合する際には、図８に示すように、位置決め孔４０ｃ、４０ｄ、５０１、６０ａを軸方向で連続するように配置して位置決め用の棒体を挿通させる。加えて、位置決め孔４０ｅ、５０２、６０ｂを軸方向で連続するように配置して位置決め用の棒体を挿通させことで、コア組立体４０、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０を接合する際の位置決めを行うことができる。
この構成において、コア組立体４０、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０を接合する際には、図８に示すように、位置決め孔４０ｃ、４０ｄ、５０１、６０ａを軸方向で連続するように配置して位置決め用の棒体を挿通させる。加えて、位置決め孔４０ｅ、５０２、６０ｂを軸方向で連続するように配置して位置決め用の棒体を挿通させことで、コア組立体４０、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０を接合する際の位置決めを行うことができる。
【0058】
このようにコア組立体４０を、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０で夫々位置決めした状態で挟む。次いで、止着材３２を、第２軸支持体６０側から、第２軸支持体６０の止着孔６０ｃ、コア組立体４０の取付孔４０ａ、第１軸支持体５０の止着孔５０３の順に挿入して締め付ける。これにより、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０は、コア組立体４０を挟んだ状態で、コア組立体４０に固定される。
【0059】
このように、位置決め孔４０ｃ、４０ｄ、５０１、６０ａと、位置決め孔４０ｅ、５０２、６０ｂが、それぞれ共通の位置決め孔として機能する。これら共通の位置決め貫通孔に棒体を挿入して、これを基準して各部を位置決めでき、その後、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てるので、組立精度の向上を図ることができ、往復回転性能の低下を抑制し、往復回転出力のばらつき発生の抑制を図ることができる。
【0060】
回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態では、磁極４１１ａ、４１２ａで囲まれた空間に回転軸２４が挿通される。また、この空間に、回転軸２４に取り付けられたマグネット２６が位置し、このマグネット２６に対して、正確な位置で磁極４１１ａ、４１２ａがエアギャップＧを介して対向する。
【0061】
コイル４４、４５は、筒状のボビン４６、４７に巻回される。コイル４４、４５及びボビン４６，４７からなるコイル体が、磁極コア４１の棒状体４１１、４１２に外挿されることにより、コイル４４、４５は、棒状体４１１、４１２を巻回するように配置される。こうして、コイル４４、４５は、棒状体４１１、４１２の先端部の磁極４１１ａ、４１２ａに隣接配置されている。
【0062】
コイル４４、４５の巻線方向は、通電が行われた際に、磁極コア４１の磁極４１１ａ、４１２ａの一方から他方に向かって好適に磁束が生じるように設定される。
【0063】
＜回転角度位置保持部(マグネット位置保持部)４８＞
回転角度位置保持部４８は、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、マグネット２６とエアギャップＧを介して対向するようにコア組立体４０に組み込まれる。回転角度位置保持部４８は、ユニット固定部３０、例えば、コア組立体４０に固定されてもよい。回転角度位置保持部４８は、例えば、磁路コア４２の橋架部４２３（磁極コア４１の棒状体４１１、４１２の上方の部分）に、磁極がマグネット２６に対向する姿勢で取り付けられる。
回転角度位置保持部４８は、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、マグネット２６とエアギャップＧを介して対向するようにコア組立体４０に組み込まれる。回転角度位置保持部４８は、ユニット固定部３０、例えば、コア組立体４０に固定されてもよい。回転角度位置保持部４８は、例えば、磁路コア４２の橋架部４２３（磁極コア４１の棒状体４１１、４１２の上方の部分）に、磁極がマグネット２６に対向する姿勢で取り付けられる。
【0064】
回転角度位置保持部４８は、例えば、マグネット２６とは別のマグネットにより構成され、マグネット２６との間に磁気吸引力を生じさせ、マグネット２６を吸引する。すなわち、回転角度位置保持部４８は、棒状体４１１、４１２とともに、マグネット２６との間に磁気バネを形成する。この磁気バネにより、コイル４４、４５への通電が行われていない常態時（非通電時）には、マグネット２６の回転角度位置、すなわち、回転軸２４の回転角度位置が中立位置に保持される。
【0065】
中立位置とは、マグネット２６の往復回転動作の回転中心位置であり、マグネット２６の揺動の中心位置である基準位置である。マグネット２６が、回転角度保持部４８との間の磁気吸引力により、中立位置に保持されているとき、マグネット２６の境界部分２６ｃ、２６ｄは、棒状体４１１、４１２の磁極４１１ａ、４１２ａと正対する。また、マグネット２６が中立位置にある状態を基準にして、ミラー部２２の取付け姿勢が調整される。なお、回転角度位置保持部４８は、マグネットでなくてもよく、マグネット２６との間に磁気吸引力を発生する磁性体で構成されてもよい。
【0066】
＜第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０＞
図２～図６及び図８に示す第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０は、電磁シールドとして機能するとともに、回転軸２４を回動自在に支持し、コア組立体４０を挟持して、コア組立体４０に固定される。
図２～図６及び図８に示す第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０は、電磁シールドとして機能するとともに、回転軸２４を回動自在に支持し、コア組立体４０を挟持して、コア組立体４０に固定される。
【0067】
第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０は、コア組立体４０のコア体Ｋの軸方向の両側に、それぞれ配置されている。第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０により、外部からコア体Ｋへのノイズの入射及びコア体Ｋから外部へのノイズの出射を抑制することができる。なお、第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０には、それぞれ側面に、回転往復駆動アクチュエーター１自体を製品に実装する際の位置決めとして機能する位置決め凹部１５が設けられている。これにより、例えば、製品の実装箇所に設けた係合部に、位置決め凹部１５に係合することで、回転往復駆動アクチュエーター１の位置決めを行うことができる。
【0068】
第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０は、貫通孔５２１、６２ａが設けられた支持本体部５２、６２と、貫通孔５２１、６２ａに嵌合する軸受５４、６４とを有する。
【0069】
支持本体部５２、６２は、それぞれ電気伝導材からなり、コア組立体４０、具体的には、コア体Ｋの軸方向で離間する端面のそれぞれを被覆する。第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０の支持本体部５２、６２は、例えば、アルミ合金により形成されるのが好ましい。アルミ合金は設計の自由度が高く、容易に所望の剛性を付与することができる。したがって、回転軸２４を受けて支持する軸受支持体として第１軸支持体５０、第２軸支持体６０を機能させる場合に好適である。
【0070】
【0071】
第１軸支持体５０は、支持本体部５２の貫通孔５２１に嵌入された第１軸受５４を有する。第１軸受５４には、回転軸２４が回転自在に挿通されている。第１支持体５０は、回転軸２４を、その一端部側を突出させた状態で、支持本体部５２に設けられた第１軸受５４を介して、往復回転自在に支持している。なお、貫通孔５２１には、裏面側（コア組立体４０側）に軸受取付部が形成されている。
【0072】
第１軸受５４は、支持本体部５２において裏面の軸受取付部にコア組立体４０側（裏面側）から貫入することで、貫通孔５２１の開口縁部に、第１軸受５４のフランジ部が係合して嵌入方向への移動が規制された状態で貫通孔５２１内に取り付けられる。軸受取付部は、例えば、第１軸支持体５０の裏面に、貫通孔５１ａに連続した凹状に形成され、第１軸受５４は、この凹状内に嵌入される。なお、第１軸受５４は、例えば、転がり軸受や滑り軸受で構成される。
【0073】
図１０は、コア組立体４０におけるコア保持部の説明に供する図であり、コア組立体４０をコア保持部５８の先端部分で軸方向と直交する方向で切断した状態を示す図である。
第１軸支持体５０は、本実施の形態では、支持本体部５２からコア組立体４０の内側に突出して設けられたコア保持部５８を有する。
第１軸支持体５０は、本実施の形態では、支持本体部５２からコア組立体４０の内側に突出して設けられたコア保持部５８を有する。
【0074】
コア保持部５８は、コア組立体４０のコア体Ｋの磁路間に配置されて介在し、磁路の移動を抑制する。コア保持部５８は、磁極４１１ａ、４１２ａと磁路を構成する側辺部４２１、４２２、突出辺部４１３ｂ、４１３ｃとの間に介在する。これにより、コア組立体４０において、磁極４１１ａ、４１２ａが、磁極４１１ａ、４１２ａと磁路を構成する側辺部４２１、４２２、突出辺部４１３ｂ、４１３ｃに対して移動することを防止してその位置で保持することができる。
【0075】
よって、コア組立体４０におけるコア体Ｋの衝撃や振動に対する変形等を抑制できる。なお、コア保持部５８は、磁極４１１ａ、４１２ａと、一体化された側辺部４２１、４２２及び突出辺部４１３ｂ、４１３ｃからなる大包囲部の両側辺部のそれぞれとの間に介在すればよい。コア保持部５８は、図１０に示すように、第１軸支持体５０の支持本体部５２の裏面から突出して、磁極４１１ａ、４１２ａの中央部分までの高さまで突出するように配置されている。
【0076】
また、第１軸支持体５０の支持本体部５２には、位置決め孔５０１、５０２と取付脚部５６とが、設けられている。
【0077】
位置決め孔５０１、５０２は、支持本体部５２に、対向する辺部のそれぞれの中央部にそれぞれ軸方向に貫通して形成されている。
【0078】
取付脚部５６は、支持本体部５２の裏面側で、四隅から突出して設けられている。取付脚部５６は、第１軸支持体５０、第２軸支持体６０、コア組立体４０を一体に接合するために用いられる。
【0079】
取付脚部５６の形状は、例えば、コア体Ｋの係合凹部４０ｂの形状に対応している。取付脚部５６には、それぞれ軸方向に貫通する止着孔５０３が形成されている。この止着孔５０３には、第１軸支持体５０を第２軸支持体６０に止着するための止着材３２が挿通される。止着孔５０３に挿通される止着材３２を介して第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０は、コア組立体４０に固定される。
【0080】
取付脚部５６は、立方体形状、直方体形状等を含む矩形柱状、例えば、立方体形状のユニット固定部３０において、回転軸２４の軸方向に沿って延在する四隅の辺部に配置され、コア組立体４０の係合凹部４０ｂに係合する。この係合状態で、取付脚部５６内の止着孔５０３に止着材３２が挿入されて、対応するコア組立体４０の四隅の取付孔４０ａを挿通して第２軸支持体６０に止着される。
【0081】
これにより、第１軸支持体５０は、コア体Ｋ、ひいてはコア組立体４０を、第１軸支持体５０に対して軸方向で離脱するのみに移動するように規制し、止着材３２により軸方向への移動も規制して固定される。つまり、第１軸支持体５０とコア組立体４０とは互いに回転軸２４の軸方向と交差する方向への移動が規制され、確実に一体的に取り付けられる。
【0082】
第２軸支持体６０は、回転軸２４の他端側からコア組立体４０を覆うようにコア組立体４０に取り付けられる。
【0083】
第２軸支持体６０は、支持本体部６２の貫通孔６２ａに嵌入された第２軸受６４を有する。第２軸受６４には、回転軸２４が回転自在に挿通されている。第２軸支持体６０は、回転軸２４を、その他端部側を突出させた状態で、支持本体部６２に設けられた第２軸受６４を介して、往復回転自在に支持している。なお、貫通孔６２ａには、裏面側（コア組立体４０側）に軸受取付部が形成されている。
【0084】
第２軸受６４は、軸受取付部にコア組立体４０側から貫入することで、貫通孔６２ａの開口縁部でフランジ部が係合して嵌入方向への移動が規制された状態で取り付けられる。軸受取付部は、例えば、第２軸支持体６０の裏面に、貫通孔６１ａに連続した凹状に形成され、第２軸受６４は、この凹状内に嵌入される。なお、第２軸受６４は、例えば、転がり軸受で構成されるが滑り軸受等の軸受で構成されてもよい。
【0085】
これら第１軸支持体５０及び第２軸支持体６０は、止着材３２により、磁極コア４１及び磁路コア４２からなるコア体Ｋを有するコア組立体４０を挟持し、且つ、コア組立体４０に固定されて、駆動ユニット１０のユニット固定部３０として一体化される。
【0086】
第２軸支持体６０は、止着材３２を介して、第１軸支持体５０とともに、コア組立体４０を構成として、止着材３２とともに用いられる止着部としての止着孔６０ｃを有する。
【0087】
止着孔６０ｃは、支持本体部６２において、第１軸支持部５０の止着孔５０３とコア組立体４０の取付孔４０ａと対応する位置、つまり、軸方向で対向する位置に設けられている。支持本体部６２では、四隅に夫々形成され、止着材３２が挿入されて止着材３２のそれぞれの一部、ここでは頭部のフランジ部が係合するように形成されている。なお、支持本体部６２には、止着材３２がねじ等の場合、ねじ頭部（止着材３２の頭部）を逃がす凹部が設けられ、止着孔６０ｃは凹部に配置されている。これにより、支持本体部６２では、ボルトやねじ等の止着材３２の軸を止着孔６０ｃから挿通し、止着材３２の頭部を止着孔６０ｃの周囲で係合させる場合でも、止着材３２の頭部を逃がして頭部が外方に突出することがない。
【0088】
＜ユニット可動部２０＞
マグネット２６は、Ｓ極２６ａ及びＮ極２６ｂが周方向に交互に配置されているリング型マグネットである。マグネット２６は、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、コア体Ｋの磁極４１１ａ、４１２ａで囲まれた空間に位置するように、回転軸２４の周面に取り付けられる。コイル４４、４５に通電が行われると、棒状体４１１、４１２及び磁路コア４２が励磁されて磁極４１１ａ、４１２ａに通電方向に応じた極性が生じ、磁極４１１ａ、４１２ａとマグネット２６との間で磁気力（吸引力及び反発力）が生じる。
マグネット２６は、Ｓ極２６ａ及びＮ極２６ｂが周方向に交互に配置されているリング型マグネットである。マグネット２６は、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、コア体Ｋの磁極４１１ａ、４１２ａで囲まれた空間に位置するように、回転軸２４の周面に取り付けられる。コイル４４、４５に通電が行われると、棒状体４１１、４１２及び磁路コア４２が励磁されて磁極４１１ａ、４１２ａに通電方向に応じた極性が生じ、磁極４１１ａ、４１２ａとマグネット２６との間で磁気力（吸引力及び反発力）が生じる。
【0089】
本実施の形態では、マグネット２６は、回転軸２４の軸方向に沿う平面を境界として異なる極性に着磁されている。すなわち、マグネット２６は、Ｓ極２６ａとＮ極２６ｂに等分割されるように着磁された２極マグネットである。マグネット２６の磁極の数（本実施の形態では２つ）は、コア体Ｋの磁極４１１ａ、４１２ａの数と等しい。なお、マグネット２６は、可動時の振幅に応じて２極以上に着磁されていてもよい。この場合、コア体Ｋの磁極部は、マグネット２６の磁極に対応して設けられる。
【0090】
また、図３～図５に示すように、マグネット２６は、第１軸支持体５０の軸受５４と、第２軸支持体６０の軸受６４との間で、環状のスペーサ２５と、予圧バネ２７との間に配置されている。また、マグネット２６は、回転軸２４に固着されている。回転軸２４には、第２軸受６４を挿通してコア組立体４０の外側に突出する他端部側の部位に、軸支持リング２８が放射方向に突出するように設けられている。軸支軸リング２８は、具体的には、回転軸２４に形成された切り欠き２４６に嵌め込まれることで取りつけられており、第２軸受６４に対して、回転軸２４の他端側で隣接する。
【0091】
マグネット２６は、回転軸２４を、ユニット固定部３０に取り付けると、軸方向においてユニット固定部３０内では、回転軸２４の他端部側で、第２軸受６４との間にスペーサ２５を介して配置される。一方、マグネット２６は、回転軸２４の一端部側では、第１軸受５４との間で、ワッシャー２７ａ、２７ａで挟まれた予圧バネ２７を介して、スペーサ側に予圧を付与された状態で配置される。
【0092】
このように、マグネット２６はユニット固定部３０内で位置決めされた状態で配置される。この状態において、予圧バネ２７に対して予圧バネ２７の圧縮方向に外力が加わる場合に、軸支持リング２８は、回転軸２４及びマグネット２６のユニット固定部３０に対するスラスト方向（例えば図３上側）への移動を規制する。よって、特に、回転軸２４の他端部側に設けられる角度センサー部７０の部品（エンコーダディスク７４等）が、回転軸２４とともに移動して、他の部品、例えば、第２軸受６４に衝突したりすることがなく、損傷することがない。
【0093】
マグネット２６は、図６に示すように、Ｓ極２６ａとＮ極２６ｂとの境界部分２６ｃ、２６ｄ（以下、「磁極切替部」と称する）で極性が切り替わる。磁極切替部２６ｃ、２６ｄは、マグネット２６が中立位置で保持されているとき、磁極４１１ａ、４１２ａのそれぞれと正対する。
【0094】
中立位置において、マグネット２６の磁極切替部２６ｃ、２６ｄが、磁極４１１ａ、４１２ａと正対することにより、ユニット固定部３０は最大トルクを発生して可動体を安定して駆動することができる。
【0095】
また、マグネット２６を２極マグネットで構成することにより、コア体Ｋとの協働により、可動対象物を高振幅で駆動しやすくなるとともに、駆動性能の向上を図ることができる。なお、実施の形態では、マグネット２６が一対の磁極切替部２６ｃ、２６ｄを有する場合について説明したが、二対以上の磁極切替部を有していてもよい。
【0096】
図１１は、角度センサー装置の説明に供する図である。
図１、図４、図５及び図１１に示すように、角度センサー部７０は、回路基板７１と、回路基板７１に実装された光センサー７３と、エンコーダーディスク７４とセンサー取付部７８と、を有する。回路基板７１は止着材３３によりセンサー取付部７８に固定される。センサー取付部７８は、光センサー７３を覆うカバーとしても機能し、センサー取付部７８は、止着材３４により第２軸支持体６０の支持本体部６２に固定される。センサー取付部７８は、光センサー７３を覆う。これにより、光センサー７３へのごみ等の不純物の侵入を防ぎ、また光の干渉を防ぐことができ、安定した検出を行うことができる。
図１、図４、図５及び図１１に示すように、角度センサー部７０は、回路基板７１と、回路基板７１に実装された光センサー７３と、エンコーダーディスク７４とセンサー取付部７８と、を有する。回路基板７１は止着材３３によりセンサー取付部７８に固定される。センサー取付部７８は、光センサー７３を覆うカバーとしても機能し、センサー取付部７８は、止着材３４により第２軸支持体６０の支持本体部６２に固定される。センサー取付部７８は、光センサー７３を覆う。これにより、光センサー７３へのごみ等の不純物の侵入を防ぎ、また光の干渉を防ぐことができ、安定した検出を行うことができる。
【0097】
エンコーダーディスク７４は、円環状をなし内周部分の円筒部を介して回転軸２４に固着して取り付けられ、マグネット２６及びミラー部２２と一体に回転する。エンコーダーディスク７４の回転位置が回転軸２４の回転位置と同一となるように設けられ、光センサー７３は、エンコーダーディスク７４に光を出射しその反射光に基づいてエンコーダーディスク７４の回転位置（角度）を検出する。これにより、光センサー７３によってマグネット２６及びミラー部２２の回転位置を検出できる。
【0098】
本実施の形態の回転往復駆動アクチュエーター１においては、ミラー部２２を、回転軸２４により往復回転駆動する駆動する駆動ユニット１０を有する。駆動ユニット１０は、マグネット２６や、ミラー部２２に接続される回転軸２４を有するユニット可動部２０と、第１軸支持体５０、コア組立体４０及び第２軸支持体６０を有するユニット固定部３０とを有する。
【0099】
ユニット固定部３０では、第１軸支持体５０側から突出する回転軸２４でミラー部２２を支持し、第２軸支持体６０に、第２軸支持体６０側から突出する回転軸２４の回転角度を検知する角度センサー部７０が設けられている。角度センサー部７０は、第２軸支持体６０と回転軸２４とに跨って第２軸支持体６０の外面側に取り付けられている。
【0100】
角度センサー部７０は、マグネット２６及び回転軸２４を含む可動体の回転角度を検知可能とし、駆動時の可動体、具体的には、可動対象物であるミラー部２２の回転角度位置及び回転速度を制御する。
【0101】
角度センサー部７０の光センサー７３は、第２軸支持体６０に取り付けられるセンサー取付部７８に取り付けられている。センサー取付部７８を第２軸支持体６０から取り外すだけで、光センサー７３の取り外しを容易に行うことができる。なお、センサー取付部７８には、振動アクチュエーター１の駆動電源用の基板７９が取り付けられている。この基板７９にコイル４４、４５が接続され、コイル４４、４５に電源供給する。
【0102】
これにより、角度センサー部７０に不具合が生じた場合に容易に交換できるようになる。また、角度センサー部７０の組み付けを組み立ての最終段階で行うことが可能となる。この結果、他の部品の組み立てが正常であることを確認してから高価な角度センサー部７０を組み付けることができるので、高価な角度センサー部７０、特に光センサー７３を、他の部品の組み立て不良が原因で無駄にするといったリスクを抑制することができる。また、取付後、アクチュエーターに不具合があった場合でも、センサー取付部７８を外すことで光センサー７３をすぐに取り外すことができる。
【0103】
図１２は、ストッパを示す斜視図である。
回転軸２４において、ミラー部２２が接続された一端部とは反対側の端部は、センサー取付部７８から突出して配置され、回転軸２４の回転を規制するストッパ部７５が設けられている。ストッパ部７５には半径方向に突出する突部７６が設けられている。センサー取付部７８の外面において、突部７６の回転範囲内に、規制部７７が配置されている。ストッパ部７５は、回転した際に、突部７６が規制部７７に当接することにより、その回転範囲が規制される。これにより回転軸２４の最大回転角度を限定し、他部品との干渉を防ぐことができ、干渉による変形・破損を防ぐことができる。
回転軸２４において、ミラー部２２が接続された一端部とは反対側の端部は、センサー取付部７８から突出して配置され、回転軸２４の回転を規制するストッパ部７５が設けられている。ストッパ部７５には半径方向に突出する突部７６が設けられている。センサー取付部７８の外面において、突部７６の回転範囲内に、規制部７７が配置されている。ストッパ部７５は、回転した際に、突部７６が規制部７７に当接することにより、その回転範囲が規制される。これにより回転軸２４の最大回転角度を限定し、他部品との干渉を防ぐことができ、干渉による変形・破損を防ぐことができる。
【0104】
次に、往復回転駆動アクチュエーター１の動作について、図６、図１３及び図１４を用いて説明する。図１３及び図１４は、回転往復駆動アクチュエーター１の磁気回路の動作の説明に供する図であり、図３のＢ－Ｂ線断面図に基づいた磁気回路構成を示す図である。
【0105】
コア組立体４０のコア体Ｋの２つの磁極４１１ａ、４１２ａは、エアギャップＧを空けてマグネット２６を挟むように配置されている。コイル４４、４５への非通電時は、図３に示すように、マグネット２６は、回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力により、中立位置に保持される。
【0106】
この中立位置では、マグネット２６のＳ極２６ａ及びＮ極２６ｂの一方（図１３でＳ極２６ａ）が回転角度位置保持部４８に吸引される（図１３の磁気バネトルクＦＭ、図１４の磁気バネトルク－ＦＭ参照）。このとき、磁極切替部２６ｃ、２６ｄは、コア体Ｋの磁極４１１ａ、４１２ａの中心位置と対向する。
【0107】
コイル４４、４５に対して通電が行われると、コア体Ｋが励磁され、磁極４１１ａ、４１２ａに通電方向に応じた極性が生じる。図１３に示すようにコイル４４、４５への通電が行われると、コア体Ｋの内部に磁束が生じ、磁極４１１ａはＳ極、磁極４１２ａはＮ極となる。これにより、Ｓ極に磁化された磁極４１１ａは、マグネット２６のＮ極２６ｂと引き合い、Ｎ極に磁化された磁極４１２ａは、マグネット２６のＳ極２６ａと引き合う。そして、マグネット２６には回転軸２４の軸回りにＦ方向のトルクが発生し、マグネット２６はＦ方向に回転する。これに伴い、回転軸２４もＦ方向に回転し、回転軸２４に固定されているミラー部２２もＦ方向に回転する。
【0108】
次に、図１４に示すように、コイル４４、４５に対して逆向きに通電が行われると、コア体Ｋの内部に生じる磁束の流れは逆方向になり、磁極４１１ａは、Ｎ極、磁極４１２ａはＳ極となる。Ｎ極に磁化された磁極４１１ａは、マグネット２６のＳ極２６ａと引き合い、Ｓ極に磁化された磁極４１２ａは、マグネット２６のＮ極２６ｂと引き合う。そして、マグネット２６には回転軸２４の軸回りにＦ方向とは逆向きのトルク－Ｆが発生し、マグネット２６は－Ｆ方向に回転する。これに伴い、回転軸２４も回転し、回転軸２４に固定されるミラー部２２も回転する。
回転往復駆動アクチュエーター１は、以上の動作を繰り返すことで、ミラー部２２を回転往復駆動する。
回転往復駆動アクチュエーター１は、以上の動作を繰り返すことで、ミラー部２２を回転往復駆動する。
【0109】
実際上、回転往復駆動アクチュエーター１は、電源供給部（例えば図１７の駆動信号供給部１０３に相当）からコイル４４、４５に入力される交流波によって駆動される。つまり、コイル４４、４５の通電方向は周期的に切り替わる。通電方向の切り替わり時には、回転角度位置保持部４８とマグネット２６との間の磁気吸引力、つまり磁気バネの復元力（図１３及び図１４で示す磁気バネトルクＦＭ、－ＦＭ）により、マグネット２６は中立位置に戻るように付勢される。これにより、可動体には、軸回りにＦ方向のトルクと、Ｆ方向とは逆の方向（－Ｆ方向）のトルクが交互に作用する。これにより、可動体は、往復回転駆動される。
【0110】
以下に、回転往復駆動アクチュエーター１の駆動原理について簡単に説明する。本実施の形態の回転往復駆動アクチュエーター１では、可動体（可動体）の慣性モーメントをＪ［ｋｇ・ｍ２］、磁気バネ（磁極４１１ａ、４１２ａ、回転角度位置保持部４８及びマグネット２６）のねじり方向のバネ定数をＫｓｐとした場合、可動体は、固定体（ユニット固定部３０）に対して、式（１）によって算出される共振周波数Ｆｒ［Ｈｚ］で振動（往復回転）する。
【0111】
【数1】
【0112】
可動体は、バネマス系の振動モデルにおけるマス部を構成するので、コイル４４、４５に可動体の共振周波数Ｆｒに等しい周波数の交流波が入力されると、可動体は共振状態となる。すなわち、電源供給部からコイル４４、４５に対して、可動体の共振周波数Ｆｒと略等しい周波数の交流波を入力することにより、可動体を効率良く振動させることができる。
【0113】
回転往復駆動アクチュエーター１の駆動原理を示す運動方程式及び回路方程式を以下に示す。回転往復駆動アクチュエーター１は、式（２）で示す運動方程式及び式（３）で示す回路方程式に基づいて駆動する。
【0114】
【数2】
【0115】
【数3】
【0116】
すなわち、回転往復駆動アクチュエーター１における可動体の慣性モーメントＪ［ｋｇ・ｍ２］、回転角度θ（ｔ）［ｒａｄ］、トルク定数Ｋｔ［Ｎ・ｍ／Ａ］、電流ｉ（ｔ）［Ａ］、バネ定数Ｋｓｐ［Ｎ・ｍ／ｒａｄ］、減衰係数Ｄ［Ｎ・ｍ／（ｒａｄ／ｓ）］、負荷トルクＴＬｏｓｓ［Ｎ・ｍ］等は、式（２）を満たす範囲内で適宜変更できる。また、電圧ｅ（ｔ）［Ｖ］、抵抗Ｒ［Ω］、インダクタンスＬ［Ｈ］、逆起電力定数Ｋｅ［Ｖ／（ｒａｄ／ｓ）］は、式（３）を満たす範囲内で適宜変更できる。
【0117】
このように、回転往復駆動アクチュエーター１は、可動体の慣性モーメントＪと磁気バネのバネ定数Ｋｓｐにより決まる共振周波数Ｆｒに対応する交流波によりコイルへの通電を行った場合に、効率良い大きな振動出力を得ることができる。
【0118】
【0119】
図１５及び図１６に示す回転往復駆動アクチュエーター１Ａは、回転往復駆動アクチュエーター１と比較して、可動対象物が大型化した場合等の可動対象物を往復回転動自在に支持する回転往復駆動アクチュエーターである。
【0120】
回転往復駆動アクチュエーター１Ａは、回転往復駆動アクチュエーター１と比較して、補助フレーム８０を有する点と、補助フレーム８０が取り付けられる第１軸支持体５０Ａの構成と、回転軸２４Ａの長さが異なり、その他の構成は同様である。よって、以下では、回転往復駆動アクチュエーター１Ａについて、回転往復駆動アクチュエーター１と比較して、異なる構成のみ説明し、その他、同様の構成についての説明は省略する。
【0121】
回転往復駆動アクチュエーター１Ａは、回転往復駆動アクチュエーター１と同様の機能を有し、駆動ユニット１０Ａと、ミラー部２２Ａと、補助フレーム８０と、角度センサー部７０と、を有する。
【0122】
駆動ユニット１０Ａは、駆動ユニット１０と比較して、ユニット固定部３０における第１軸支持体５０の構成が異なる。駆動ユニット１０Ａでは、ユニット固定部３０Ａの第１軸支持体５０Ａの支持本体部５２Ａの天面は、補助フレーム８０の一対の壁部８１ａ、８１ｂのうちの一側壁部８１ａが固定されるフレーム固定面５７を有する。
【0123】
フレーム固定面５７には、補助フレーム８０が止着材３６を介して固定される。駆動ユニット１０Ａは、駆動ユニット１０と比較して、ユニット可動部２０の回転軸２４Ａは長く、第１軸支持体５０Ａと、第２軸支持体６０とで、コア組立体４０を挟持して構成される。
回転軸２４Ａは、補助フレーム８０の壁部８１ａ、８１ｂ間を架設するような長さを有し、連通孔８２ｂから連通孔８２ａにまで延在するように配置される。
回転軸２４Ａは、補助フレーム８０の壁部８１ａ、８１ｂ間を架設するような長さを有し、連通孔８２ｂから連通孔８２ａにまで延在するように配置される。
【0124】
回転往復駆動アクチュエーター１Ａは、駆動ユニット１０Ａに、補助フレーム８０を取り付けて、可動対象物であるミラー部２２Ａを往復回転駆動自在に支持する。
【0125】
補助フレーム８０は、一対の壁部８１ａ、８１ｂを有する断面が略コ字状の部材である。一対の壁部８１ａ、８１ｂにはそれぞれ回転軸２４Ａが挿通される挿通孔８２ａ、８２ｂが形成されている。連通孔８２ａには、回転軸２４Ａの先端が回動自在に挿通される回転支持部３９が嵌合されている。さらに、一対の壁部８１ａ、８１ｂにはそれぞれ挿通孔８２ａ、８２ｂと壁部８１ａ、８１ｂの外縁とを連通する切欠穴８３ａ、８３ｂが形成されている。
【0126】
回転支持部３９は、挿入される回転軸２４Ａを、回転自在に支持すればどのように構成されてもよく、すべり軸受、樹脂からなるブッシュ等で構成されてもよい。回転支持部３９は、補助フレーム８０の一対の壁部８１ａ、８１ｂ間でミラー部２２Ａが取り付けられた回転軸２４Ａの先端部２４２を支持する。
【0127】
これにより、回転軸２４Ａにミラー部２２Ａを固着させた状態で、回転軸２４Ａを切欠穴８３ａ、８３ｂを介して回転軸２４Ａの位置に配置させることができる。
また、回転軸２４Ａは、補助フレーム８０の壁部８１ａ、８１ｂ間に配置される。
また、回転軸２４Ａは、補助フレーム８０の壁部８１ａ、８１ｂ間に配置される。
【0128】
切欠穴８３ａ、８３ｂが無い場合には、一対の壁部８１ａ、８１ｂの間にミラー部２２Ａを配置させた状態で、回転軸２４Ａを壁部８１ａ、８１ｂの挿通孔８２ａ、８２ｂの両方に挿通し、さらに回転軸２４Ａとミラー部２２Ａを固着させるといった煩雑な組立て作業が必要となる。これに対して、本実施の形態においては、切欠穴８３ａ、８３ｂを形成したので、予めミラー部２２Ａを固着させた回転軸２４Ａを、簡単に挿通孔８２ａ、８２ｂに挿通させることができる。
【0129】
この構成によれば、可動対象物が大型化した場合、つまり、ミラー部２２Ａを、片持ち構造の駆動ユニット１０Ａで支持する場合であっても、ミラー部２２Ａの挙動を安定させて、耐衝撃性や振動特性を確保して、安定して往復回転動自在に支持させることができる。
【0130】
図１７は、回転往復駆動アクチュエーター１を用いたスキャナーシステム１００の要部構成を示すブロック図である。
【0131】
スキャナーシステム１００は、回転往復駆動アクチュエーター１に加えて、レーザー発光部１０１、レーザー制御部１０２、駆動信号供給部１０３及び位置制御信号計算部１０４を有する。
【0132】
レーザー発光部１０１は、例えば、光源となるＬＤ（レーザーダイオード）と、この光源から出力されるレーザー光を収束するためのレンズ系などを有する。レーザー制御部１０２は、レーザー発光部１０１を制御する。レーザー発光部１０１から照射されたレーザー光は、回転往復駆動アクチュエーター１のミラー２２１に入射される。
【0133】
位置制御信号計算部１０４は、角度センサー部７０により取得された回転軸２４（ミラー２２１）の角度位置と、目標角度位置とを参照して、回転軸２４（ミラー２２１）を目標角度位置となるように制御する駆動信号を生成して出力する。例えば、位置制御信号計算部１０４は、取得した回転軸２４（ミラー２２１）の角度位置と、図示しない波形メモリに格納されているのこぎり波形データ等を用いて変換された目標角度位置を示す信号とに基づいて位置制御信号を生成して、この位置制御信号を駆動信号供給部１０３に出力する。
【0134】
駆動信号供給部１０３は、位置制御信号に基づいて、回転往復駆動アクチュエーター１のコイル４４、４５に、回転軸２４（ミラー２２１）の角度位置が所望の角度位置となるような駆動信号を供給する。これにより、スキャナーシステム１００は、回転往復駆動アクチュエーター１から所定の走査領域に走査光を出射することができる。
【0135】
＜まとめ＞
以上説明したように、本実施の形態に係る回転往復駆動アクチュエーター１は、ミラー部（可動対象物）が接続される回転軸（軸部）２４と、回転軸２４に固定されたマグネット２６とを有する可動部２０を有する。なお、マグネット２６は、外周面においてＳ極２６ａ及びＮ極２６ｂが周方向に交互に配置されているリング型マグネットである。
以上説明したように、本実施の形態に係る回転往復駆動アクチュエーター１は、ミラー部（可動対象物）が接続される回転軸（軸部）２４と、回転軸２４に固定されたマグネット２６とを有する可動部２０を有する。なお、マグネット２６は、外周面においてＳ極２６ａ及びＮ極２６ｂが周方向に交互に配置されているリング型マグネットである。
【0136】
加えて、回転往復駆動アクチュエーター１は、ユニット固定部３０を有する。ユニット固定部３０は、複数の磁極４１１ａ、４１２ａを有するコア体Ｋ及び通電時にコア体Ｋに磁束を発生させる複数のコイル４、４５を含むコア組立体４０を有する。ユニット固定部３０は、複数の磁極４１１ａ、４１２ａをマグネット２６の外周に対向させ且つ複数のコイル４４、４５を互いに並行にして、コア組立体４を配置している。
【0137】
コア組立体４０の回転軸２４の延在方向の両側には、それぞれ回転軸２４を回転自在に支持する一対の軸支持体である第１軸支持体５０、第２軸支持体６０が設けられている。これら一対の軸支持体５０、６０は、コア組立体４０を挟持して固定され、磁束とマグネット２６との電磁相互作用により可動部２０を回転軸２４の軸回りに往復回転させる。
【0138】
このように可動対象物であるミラー部２２は、コア組立体４０を挟み固定された一対の軸支持部５０、６０の双方で回動自在に支持され、ユニット固定部３０から一方に突出した回転軸２４を介して、往復回転自在に支持されている。これにより、回転往復駆動アクチュエーター１では、片持ちであっても回転軸２４を介して、ミラー部２２を確実に安定して可動可能に支持できる。
【0139】
すなわち、ユニット固定部３０では、回転軸２４のマグネット２６が配置されている部分は、第１軸支持体５０と第２軸支持体６０によってコア組立体４０を挟んで２点支持されている。これにより、マグネット２６と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなっても、回転軸２４の直線性を確保することができる。つまり、回転軸２４のマグネット２６が配置されている部分が、第２軸支持体６０だけで支持され片持ちとなっている場合には、マグネット２６と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなると、回転軸２４が回転角度位置保持部４８側に撓んで直線性が低下する虞があるが、このような問題は生じない。
【0140】
このように、回転往復駆動アクチュエーター１によれば、より小型化及び小スペースを図ることができ、耐衝撃性や耐振動特性を有し、軸部を介して可動対象物を、より安定した状態で、高振幅で駆動できる
【0141】
なお、変形例１の回転往復駆動アクチュエーター１Ａのように、第１軸支持体５０と略同様に構成された第１軸支持体５０Ａと、回転軸２４の先端が第１軸受５４から離れた構成でも、補助フレーム８０、回転支持部３９により好適に支持できる。
【0142】
コア体Ｋを、磁極コア４１と磁路コア４２の別体で構成し、磁極コア４１では磁極４１１ａ、４１２ａがマグネット２６の外周に対向させた位置で一体構造であるので、磁極コア４１及び磁路コア４２を有するコア体Ｋの形状が複雑であっても、複数の磁極４１１ａ、４１２ａの配置精度を下げることなく容易に製造できる。
【0143】
なお、マグネット２６の磁極の数と磁極４１１ａ、４１２ａの数は等しい。ユニット固定部３０は、マグネット２６にエアギャップＧを介して対向して設けられた回転角度位置保持部（マグネット位置保持部）４８を有する。回転角度位置保持部４８は、マグネット２６、を基準位置、つまり、回転軸２４またはマグネット２６の回転角度位置を中立位置に、マグネット２６との間で発生する磁気吸引力により保持する。基準位置は、マグネット２６の往復回転の回転中心位置である。
【0144】
複数のコイル４４、４５への通電方向を切り替えることにより、一体構造の磁極コア４１及び磁路コア４２を通過する磁束の流れを切り替えてコア組立体４０に発生させて、磁束とマグネット２６との電磁相互作用により、可動体は、回転軸２４の軸回りに往復回転する。
【0145】
磁極コア４１および磁路コア４２は積層部材であるので、製造に手間がかからず、低コストで複雑な形状の磁極コア４１及び磁路コア４２を構成することができる。
磁極コア４１は、複数の棒状体４１１、４１２と、複数の棒状体４１１、４１２を互いに接続する接続枠状体４１３と、を一体構造で有する。複数の棒状体４１１、４１２は、先端部に複数の磁極４１１ａ、４１２ａをそれぞれ有し、基端部４１１ｂ、４１２ｂから先端部まで互いに並行して延在し、中間部に複数のコイル４４、４５がそれぞれ外装される。接続枠状体４１３は、基端部４１１ｂ、４１２ｂで棒状体４１１、４１２の並行方向と交差する方向に延在する。
磁極コア４１は、複数の棒状体４１１、４１２と、複数の棒状体４１１、４１２を互いに接続する接続枠状体４１３と、を一体構造で有する。複数の棒状体４１１、４１２は、先端部に複数の磁極４１１ａ、４１２ａをそれぞれ有し、基端部４１１ｂ、４１２ｂから先端部まで互いに並行して延在し、中間部に複数のコイル４４、４５がそれぞれ外装される。接続枠状体４１３は、基端部４１１ｂ、４１２ｂで棒状体４１１、４１２の並行方向と交差する方向に延在する。
【0146】
磁路コア４２は、回転軸２４の延在方向で接続枠状体４１３と対面して互いに面接触し、且つ、回転軸２４を中心に複数の磁極４１１ａ、４１２ａを、コイル４４、４５を隣接させた安定した状態で位置決めして、磁極コア４１が組み付けられる。
【0147】
これにより、マグネット２６を挟んで向かい合うように配置される磁極４１１ａ、４１２ａを有するコアであっても、高出力化を実現しつつ、製造コストの低廉化を図り、磁極４１１ａ、４１２ａの配置精度を高めて、ばらつきなく配置することができる。よって、回転往復駆動アクチュエーター１の信頼性の向上を図ることができる。
【0148】
また、磁路コア４２は、棒状体４１１、４１２の外側に延長する延長部（側辺部４２１、４２２、橋架部４２３）を有し、延長部は、接続枠状体４１３とともにコイル４４、４５を包囲するよう回転軸２４の周囲に配置されている。これにより、通電されるコイル４４、４５から発生する電磁ノイズを抑制することができ、さらにコイル４４、４５およびマグネット２６からの漏れ磁束を抑制することができ、外部機器への電磁的な影響を防ぐことができる。
【0149】
また、回転角度位置保持部４８が、マグネットであれば、可動体を往復回転駆動する際の可動体の基準位置へ、より正確に位置させ、その位置から往復駆動させることができ、確実に往復駆動させることができる。
【0150】
また、可動対象物は、走査光を反射するミラー部２２（特にミラー２２１）である。これにより、回転往復駆動アクチュエーター１を、光走査を行うスキャナーの用途に使用することができる。
【0151】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
【0152】
例えば、実施の形態では、可動対象物がミラー部２２である場合について述べたが、可動対象物はこれに限らない。可動対象物は、例えば、カメラなどの撮像装置であってもよい。
【0153】
また例えば、実施の形態では、回転往復駆動アクチュエーター１を共振駆動する場合について説明したが、本発明は、非共振駆動する場合にも適用できる。
【0154】
また、ユニット固定部３０の構成は、実施の形態で説明したものに限定されない。例えば、コアは、コイルへの通電により励磁され極性を生じる磁極部を有し、回転軸をユニット固定部に取り付けたときに、磁極部とマグネットの外周面とがエアギャップを介して対向するようになっていればよい。また、コイルは、通電したときに、コアの磁極部の一方から他方に向かって好適に磁束を生じさせる構成を有していればよい。
【0155】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【0156】
本発明は、例えばＬｉＤＡＲ装置やスキャナーシステム等に好適である。
【符号の説明】
【0157】
１、１Ａ 回転往復駆動アクチュエーター
１０、１０Ａ 駆動ユニット
２０ ユニット可動部
２２、２２Ａ ミラー部
２４、２４Ａ 回転軸
２５ スペーサ
２６ マグネット
２６ａ、２６ｂ 極
２６ｃ、２６ｄ 境界部分（磁極切替部）
２７ 予圧バネ
２７ａ ワッシャー
２８ 軸支持リング
３０、３０Ａ ユニット固定部
３２、３３、３４、３６ 止着材
３９ 回転支持部
４０ コア組立体
４０ａ 取付孔
４０ｂ 係合凹部
４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ、６０ａ、６０ｂ、５０１、５０２ 位置決め孔
４１ 磁極コア
４２ 磁路コア
４４、４５ コイル
４６、４７ ボビン
４８ 角度位置保持部
５０、５０Ａ 第１軸支持体
５１ａ、６１ａ 貫通孔
５２、５２Ａ、６２ 支持本体部
５４ 第１軸受（軸受部）
５６ 取付脚部
５７ フレーム固定面
５８ コア保持部
６０ 第２軸支持体
６４ 第２軸受（軸受部）
７０ 角度センサー部
７１ 回路基板
７３ 光センサー
７４ エンコーダーディスク
７５ ストッパ部
７６ 突部
７７ 規制部
７８ センサー取付部
７９ 基板
８０ 補助フレーム
８１ａ、８１ｂ 壁部
８２ａ、８２ｂ 挿通孔
８３ａ、８３ｂ 切欠穴
１００ スキャナーシステム
１０１ レーザー発光部
１０２ レーザー制御部
１０３ 信号供給部
１０４ 信号計算部
２２１ ミラー
２２２ ミラーホルダー
２２３ 挿通孔
２４２ 先端部
２４２ａ 切り欠き面
４１１、４１２ 棒状体
４１１ａ、４１２ａ 磁極
４１１ｂ、４１２ｂ、４２１ｂ、４２２ｂ 基端部
４１３ 接続枠状体
４１３ａ 接続辺部
４１３ｂ、４１３ｃ 突出辺部
４２０ 包囲部
４２０ａ 磁路側接触面
４２０ｂ 切り欠き部
４２１、４２２ 側辺部
４２３ 橋架部
４２４ 磁路側接続辺部
５０３、６０ｃ 止着孔
５２１、６２ａ 貫通孔
４１３０ 磁極側接触面
Ｋ コア体
１０、１０Ａ 駆動ユニット
２０ ユニット可動部
２２、２２Ａ ミラー部
２４、２４Ａ 回転軸
２５ スペーサ
２６ マグネット
２６ａ、２６ｂ 極
２６ｃ、２６ｄ 境界部分（磁極切替部）
２７ 予圧バネ
２７ａ ワッシャー
２８ 軸支持リング
３０、３０Ａ ユニット固定部
３２、３３、３４、３６ 止着材
３９ 回転支持部
４０ コア組立体
４０ａ 取付孔
４０ｂ 係合凹部
４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ、６０ａ、６０ｂ、５０１、５０２ 位置決め孔
４１ 磁極コア
４２ 磁路コア
４４、４５ コイル
４６、４７ ボビン
４８ 角度位置保持部
５０、５０Ａ 第１軸支持体
５１ａ、６１ａ 貫通孔
５２、５２Ａ、６２ 支持本体部
５４ 第１軸受（軸受部）
５６ 取付脚部
５７ フレーム固定面
５８ コア保持部
６０ 第２軸支持体
６４ 第２軸受（軸受部）
７０ 角度センサー部
７１ 回路基板
７３ 光センサー
７４ エンコーダーディスク
７５ ストッパ部
７６ 突部
７７ 規制部
７８ センサー取付部
７９ 基板
８０ 補助フレーム
８１ａ、８１ｂ 壁部
８２ａ、８２ｂ 挿通孔
８３ａ、８３ｂ 切欠穴
１００ スキャナーシステム
１０１ レーザー発光部
１０２ レーザー制御部
１０３ 信号供給部
１０４ 信号計算部
２２１ ミラー
２２２ ミラーホルダー
２２３ 挿通孔
２４２ 先端部
２４２ａ 切り欠き面
４１１、４１２ 棒状体
４１１ａ、４１２ａ 磁極
４１１ｂ、４１２ｂ、４２１ｂ、４２２ｂ 基端部
４１３ 接続枠状体
４１３ａ 接続辺部
４１３ｂ、４１３ｃ 突出辺部
４２０ 包囲部
４２０ａ 磁路側接触面
４２０ｂ 切り欠き部
４２１、４２２ 側辺部
４２３ 橋架部
４２４ 磁路側接続辺部
５０３、６０ｃ 止着孔
５２１、６２ａ 貫通孔
４１３０ 磁極側接触面
Ｋ コア体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】