特開 2023-159533 圧電素子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023159533

(43)【公開日】2023-11-01

(54)【発明の名称】圧電素子

(51)【国際特許分類】

   H10N 30/067 20230101AFI20231025BHJP

   H10N 30/87 20230101ALI20231025BHJP

   H10N 30/20 20230101ALI20231025BHJP

   H10N 30/50 20230101ALI20231025BHJP

【ＦＩ】

H01L41/297

H01L41/047

H01L41/09

H01L41/083

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022069258

(22)【出願日】2022-04-20

(71)【出願人】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100124062

【弁理士】

【氏名又は名称】三上 敬史

(72)【発明者】

【氏名】加藤 美帆

(72)【発明者】

【氏名】坂本 英也

(72)【発明者】

【氏名】太田 佳生

(72)【発明者】

【氏名】三井 拓樹

(72)【発明者】

【氏名】武田 明丈

(57)【要約】

【課題】変位を均一化することができる圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子２は、方向Ｄ１で互いに対向している主面１０ａ，１０ｂと、方向Ｄ２で互いに対向している側面１０ｃ，１０ｄと、を有する素体１０と、素体１０内に設けられ、方向Ｄ１において積層されている内部電極１５，１６，１７と、それぞれ、側面１０ｃ上に設けられている電極部分１１ｃ，１２ｃ，１３ｃと、主面１０ａ上に設けられている電極部分１１ａ，１２ａ，１３ａと、を有する外部電極１１，１２，１３と、を備える。素体１０は、複数の内部電極１５，１６，１７間に配置された圧電的に活性な活性領域Ｒ１１，Ｒ１２を含む。電極部分１１ａ，１２ａ，１３ａは、方向Ｄ１から見て活性領域Ｒ１１，Ｒ１２と重なっている重複領域１１ｄ，１２ｄ，１３ｄを含む。重複領域１１ｄ，１２ｄ，１３ｄの面積は、電極部分１１ａ，１２ａ，１３ａの面積の５０％以上である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第一方向で互いに対向している第一主面及び第二主面と、前記第一方向に直交する第二方向で互いに対向し、前記第一主面と前記第二主面とを接続している第一側面及び第二側面と、を有する素体と、
前記素体内に設けられ、前記第一方向において積層されている複数の内部電極と、
それぞれ、前記第一側面上に設けられ、対応する前記内部電極と接続されている第一電極部分と、前記第一主面上に設けられ、前記第一電極部分と接続されている第二電極部分と、を有する複数の外部電極と、を備え、
前記素体は、前記複数の内部電極間に配置された圧電的に活性な活性領域を含み、
前記第二電極部分は、前記第一方向から見て前記活性領域と重なっている重複領域を含み、
前記重複領域の面積は、前記第二電極部分の面積の５０％以上である、
圧電素子。

【請求項2】

前記第二電極部分の前記第二方向の長さは、前記第一主面の前記第二方向の長さの５０％以上である、
請求項１に記載の圧電素子。

【請求項3】

前記第一方向から見て、前記活性領域は、前記素体の外縁から離間している、
請求項１又は２に記載の圧電素子。

【請求項4】

前記重複領域は、配線部材と接合される接合領域を含む、
請求項１又は２に記載の圧電素子。

【請求項5】

前記重複領域は、前記配線部材から露出している露出領域を含む、
請求項４に記載の圧電素子。

【請求項6】

前記重複領域の全体が前記配線部材に覆われている、
請求項４に記載の圧電素子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、圧電素子に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、素体、複数の内部電極、及び、複数の外部電極を備える圧電素子が記載されている。この圧電素子では、素体が活性領域、及び、不活性領域複数を有し、不活性領域が活性領域の周囲を囲んでいる。これにより、圧電素子の共振点が低音側に移されるので、高い音圧を得ることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－１２１６６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記圧電素子では、素体の中央部で変位が最も大きくなる。スピーカ用途では、素体の中央部の共振に起因して、均一な音質が得られ難い。

【0005】

本開示の一態様は、変位を均一化することができる圧電素子を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様に係る圧電素子は、第一方向で互いに対向している第一主面及び第二主面と、第一方向に直交する第二方向で互いに対向し、第一主面と第二主面とを接続している第一側面及び第二側面と、を有する素体と、素体内に設けられ、第一方向において積層されている複数の内部電極と、それぞれ、第一側面上に設けられ、対応する内部電極と接続されている第一電極部分と、第一主面上に設けられ、第一電極部分と接続されている第二電極部分と、を有する複数の外部電極と、を備え、素体は、複数の内部電極間に配置された圧電的に活性な活性領域を含み、第二電極部分は、第一方向から見て活性領域と重なっている重複領域を含み、重複領域の面積は、第二電極部分の面積の５０％以上である。

【0007】

上記圧電素子では、複数の外部電極のそれぞれが素体の第一主面上に設けられた第二電極部分を有している。第二電極部分は、素体の活性領域と重なっている重複領域を含む。重複領域の面積は、第二電極部分の面積の半分以上であるため、活性領域が第二電極部分の重複領域により押さえられ、素体の中央部の変位が抑制される。これにより、変位を均一化することができる。

【0008】

第二電極部分の第二方向の長さは、第一主面の第二方向の長さの５０％以上であってもよい。この場合、素体の中央部の変位が更に抑制される。これにより、変位を更に均一化することができる。

【0009】

第一方向から見て、活性領域は、素体の外縁から離間していてもよい。この場合、活性領域が不活性領域で囲まれた構成となり、圧電素子の共振点が低音側に移動する。これにより、上記圧電素子を音響デバイスに適用した場合には実用上十分に高い音圧を得ることができる。

【0010】

重複領域は、配線部材と接合される接合領域を含んでもよい。この場合、接合領域は活性領域上に位置している。配線部材は活性領域の変位に追従して変位するので、配線部材が活性領域上に位置していない場合に比べて、配線部材の接合が取れ難い。

【0011】

重複領域は、配線部材から露出している露出領域を含んでもよい。この場合、第一主面の最も近くに配置された内部電極と、露出領域との間に形成された活性領域の変位が抑制され難い。

【0012】

重複領域の全体が配線部材に覆われていてもよい。この場合、重複領域の腐食を抑制することができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明の一態様によれば、変位を均一化することができる圧電素子を提供される。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、第一実施形態に係る振動デバイスを示す斜視図である。

【図2】図２は、図１の圧電素子を示す平面図である。

【図3】図３は、図１の圧電素子の分解斜視図である。

【図4】図４は、図１のIV-IV線に沿っての断面図である。

【図5】図５は、図１のV-V線に沿っての断面図である。

【図6】図６は、図１のVI-VI線に沿っての断面図である。

【図7】図７は、第二実施形態に係る圧電素子を含む振動デバイスを示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0016】

［第一実施形態］
図１～図６に示される第一実施形態に係る振動デバイス１は、例えば、スピーカに用いられる音響デバイスである。振動デバイス１は、圧電素子２と、配線部材３と、接合部材４，５と、を備える。圧電素子２は、素体１０と、素体１０の表面に設けられた外部電極１１，１２，１３と、を備える。図２では、外部電極１１，１２，１３の図示が省略されている。圧電素子２は、積層圧電素子であり、素体１０は、積層された複数の素体層１４を含んでいる。素体層１４は、圧電セラミック材料等の圧電材料で構成されている。圧電素子２は、例えば、バイモルフ型である。

【0017】

素体１０は、矩形平板状の外形を有している。素体１０は、主面１０ａ，１０ｂと、４つの側面１０ｃ～１０ｆと、を有している。４つの側面１０ｃ～１０ｆは、主面１０ａと主面１０ｂとを接続している。主面１０ａ，１０ｂは、複数の素体層１４の積層方向において互いに対向している。側面１０ｃ，１０ｄは、主面１０ａ，１０ｂの短辺方向において互いに対向している。側面１０ｅ，１０ｆは、主面１０ａ，１０ｂの長辺方向において互いに対向している。以下では、複数の素体層１４の積層方向を方向Ｄ１とし、主面１０ａ，１０ｂの短辺方向を方向Ｄ２とし、主面１０ａ，１０ｂの長辺方向を方向Ｄ３とする。

【0018】

外部電極１１，１２，１３は、例えば、Ａｇ又はＡｇ合金で構成されている。外部電極１１，１２，１３は、互いに離間して素体１０上に配置されている。外部電極１１，１２，１３は、この順で方向Ｄ３において並んでいる。外部電極１１は、最も側面１０ｅ寄りに配置されている。外部電極１３は、最も側面１０ｆ寄りに配置されている。外部電極１２は、外部電極１１と外部電極１３との間に配置されている。

【0019】

外部電極１１の方向Ｄ３の幅Ｌ１は、外部電極１２の方向Ｄ３の幅Ｌ２、及び、外部電極１３の方向Ｄ３の幅Ｌ３よりも広い。幅Ｌ２は、例えば、幅Ｌ３と同等である。外部電極１１と外部電極１２との方向Ｄ３の離間距離Ｌ４は、幅Ｌ２よりも長い。外部電極１２と外部電極１３との方向Ｄ３の離間距離Ｌ５は、幅Ｌ２よりも短く、幅Ｌ３よりも短い。

【0020】

外部電極１１は、電極部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃを有している。電極部分１１ａは、主面１０ａ上に設けられ、方向Ｄ２に延在している。電極部分１１ｂは、主面１０ｂ上に設けられている。電極部分１１ｃは、側面１０ｃ上に設けられている。電極部分１１ｃは、電極部分１１ａと電極部分１１ｂとに接続されている。

【0021】

外部電極１２は、電極部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃを有している。電極部分１２ａは、主面１０ａ上に設けられ、方向Ｄ２に延在している。電極部分１２ｂは、主面１０ｂ上に設けられている。電極部分１２ｃは、側面１０ｃ上に設けられている。電極部分１２ｃは、電極部分１２ａと電極部分１２ｂとに接続されている。

【0022】

外部電極１３は、電極部分１３ａ，１３ｂ，１３ｃを有している。電極部分１３ａは、主面１０ａ上に設けられ、方向Ｄ２に延在している。電極部分１３ｂは、主面１０ｂ上に設けられている。電極部分１３ｃは、側面１０ｃ上に設けられている。電極部分１３ｃは、電極部分１３ａと電極部分１３ｂとに接続されている。

【0023】

電極部分１１ａの方向Ｄ２の長さＬ６、電極部分１２ａの方向Ｄ２の長さＬ７、及び、電極部分１３ａの方向Ｄ２の長さＬ８は、それぞれ、主面１０ａの方向Ｄ２の長さＬ９の５０％以上であり、６０％以上であることがより好ましい。本実施形態では、６０％である。長さＬ６，Ｌ７，Ｌ８は、例えば、互いに同等である。

【0024】

圧電素子２は、素体１０内に設けられている複数の内部電極１５，１６，１７を備える。内部電極１５，１６，１７は、例えば、Ａｇ又はＡｇ合金で構成されている。内部電極１５，１６，１７は、複数の素体層１４と共に方向Ｄ１において積層されている。

【0025】

内部電極１５は、主電極部１５ａ及び接続部１５ｂを含む。主電極部１５ａは、４つの側面１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆから離間している。接続部１５ｂは、主電極部１５ａから方向Ｄ２に延在し、側面２ｃに露出している。接続部１５ｂは、電極部分１１ｃと接続されている。接続部１５ｂの方向Ｄ３の幅は、幅Ｌ１と同等である。

【0026】

内部電極１６は、主電極部１６ａ及び接続部１６ｂを含む。主電極部１６ａは、４つの側面１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆから離間している。接続部１６ｂは、主電極部１６ａから方向Ｄ２に延在し、側面２ｃに露出している。接続部１６ｂは、電極部分１２ｃと接続されている。接続部１６ｂの方向Ｄ３の幅は、幅Ｌ２と同等である。

【0027】

内部電極１７は、主電極部１７ａ及び接続部１７ｂを含む。主電極部１７ａは、４つの側面１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆから離間している。接続部１７ｂは、主電極部１７ａから方向Ｄ２に延在し、側面２ｃに露出している。接続部１７ｂは、電極部分１３ｃと接続されている。接続部１７ｂの方向Ｄ３の幅は、幅Ｌ３と同等である。

【0028】

主電極部１５ａ，１６ａ，１７ａは、互いに同形状を有し、方向Ｄ１から見て重なっている。接続部１５ｂは、方向Ｄ１から見て電極部分１１ａと重なっている。接続部１６ｂは、方向Ｄ１から見て電極部分１２ａと重なっている。接続部１７ｂは、方向Ｄ１から見て電極部分１３ａと重なっている。接続部１５ｂ，１６ｂ，１７ｂは、方向Ｄ３において互いに離間している。

【0029】

図３を参照して、複数の内部電極１５，１６，１７の積層順について説明する。主面１０ａを含む素体層１４を一層目の素体層１４とすると、二層目の素体層１４上には、内部電極１５が配置されている。三層目の素体層１４上には、内部電極１７が配置されている。四層目の素体層１４上には、内部電極１５が配置されている。五層目の素体層１４上には、内部電極１７が配置されている。六層目の素体層１４上には、内部電極１５が配置されている。七層目の素体層１４上には、内部電極１６が配置されている。八層目の素体層１４上には、内部電極１５が配置されている。九層目の素体層１４上には、内部電極１６が配置されている。十層目の素体層１４上には、内部電極１５が配置されている。

【0030】

つまり、素体１０の上側（主面１０ａ側）では、内部電極１５，１７が交互に積層され、素体１０の下側（主面１０ｂ側）では、内部電極１５，１６が交互に積層されている。二層目の素体層１４上に配置されている内部電極１５は、複数の内部電極１５，１６，１７のうち、最も主面１０ａの近くに配置されている。十層目の素体層１４上に配置されている内部電極１５は、複数の内部電極１５，１６，１７のうち、最も主面１０ｂの近くに配置されている。

【0031】

図４～図６に示されるように、素体１０は、圧電的に活性な活性領域Ｒ１と、圧電的に不活性な不活性領域Ｒ２と、を有している。活性領域Ｒ１は、活性領域Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４を含んでいる。活性領域Ｒ１１，Ｒ１２は、内部電極１５，１６，１７間に配置された領域である。より詳しくは、活性領域Ｒ１１は、内部電極１５，１６により挟まれた領域である。活性領域Ｒ１２は、内部電極１５，１７により挟まれた領域である。

【0032】

図２には、活性領域Ｒ１１，Ｒ１２が透視して示されている。図２に示されるように、方向Ｄ１から見て、活性領域Ｒ１１，Ｒ１２は、素体１０の外縁から離間している。方向Ｄ１から見て、活性領域Ｒ１１，Ｒ１２は、不活性領域Ｒ２（図４～図６）に全周を囲まれている。

【0033】

活性領域Ｒ１３は、図５に示されるように、外部電極１２と、二層目の素体層１４（図３参照）上に配置された内部電極１５とにより挟まれた領域である。活性領域Ｒ１４は、図６に示されるように、外部電極１３と、二層目の素体層１４（図３参照）上に配置された内部電極１５とにより挟まれた領域である。不活性領域Ｒ２は、素体１０のうち、活性領域Ｒ１以外の領域である。

【0034】

外部電極１１，１２間に電圧が印加されると、内部電極１５，１６間に生じた電界により活性領域Ｒ１１が伸縮すると共に、外部電極１２及び内部電極１５間に生じた電界により活性領域Ｒ１３が伸縮する。外部電極１１，１３間に電圧が印加されると、内部電極１５，１７間に生じた電界により活性領域Ｒ１２が伸縮すると共に、外部電極１３及び内部電極１５間に生じた電界により活性領域Ｒ１４が伸縮する。

【0035】

活性領域Ｒ１１，Ｒ１３は、互い同じ向きに分極されている。活性領域Ｒ１２，Ｒ１４は、互いに同じ向きに分極されている。活性領域Ｒ１１，Ｒ１３の分極の向きは、活性領域Ｒ１２，Ｒ１４の分極の向きとは逆である。このため、第一電圧を外部電極１１に印加し、第一電圧と異なる第二電圧を外部電極１２，１３の両方に印加することにより、活性領域Ｒ１１，Ｒ１３と、活性領域Ｒ１２，Ｒ１４とを互いに逆の方向に伸縮させることができる。

【0036】

図２及び図４に示されるように、電極部分１１ａは、方向Ｄ１から見て活性領域Ｒ１１，Ｒ１２と重なっている重複領域１１ｄを含んでいる。方向Ｄ１から見て、重複領域１１ｄの面積は、電極部分１１ａの面積の５０％以上である。

【0037】

図２及び図５に示されるように、電極部分１２ａは、方向Ｄ１から見て活性領域Ｒ１１，Ｒ１２と重なっている重複領域１２ｄを含んでいる。方向Ｄ１から見て、重複領域１２ｄの面積は、電極部分１２ａの面積の５０％以上である。

【0038】

図２及び図６に示されるように、電極部分１３ａは、方向Ｄ１から見て活性領域Ｒ１１，Ｒ１２と重なっている重複領域１３ｄを含んでいる。方向Ｄ１から見て、重複領域１３ｄの面積は、電極部分１３ａの面積の５０％以上である。

【0039】

図１，４～６に示されるように、配線部材３は、圧電素子２と外部の制御回路（不図示）とを電気的に接続し、圧電素子２に電圧を印加する。配線部材３は、例えば、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）又はフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）である。配線部材３は、主面１０ａ上に配置され、接合部材４，５により主面１０ａに接合されている。配線部材３は、主面１０ａの側面１０ｄ側から方向Ｄ２に沿って引き出されている。配線部材３は、板状、シート状、又は帯状である。

【0040】

接合部材４は、導電性粒子を含んでおらず、電気絶縁性を有する樹脂層である。接合部材４は、例えば、反応型フェノール樹脂とニトリルゴムを主成分にしたホットメルト樹脂である。接合部材４は、主面１０ａの側面１０ｄ側の長辺に沿って配置されている。接合部材４は、配線部材３の幅方向（方向Ｄ３）の全体を主面１０ａに接合している。接合部材４は、接合部材５から方向Ｄ２において離間している。

【0041】

接合部材５は、複数の導電性粒子（不図示）を含む樹脂層である。導電性粒子は、例えば、金属粒子、金めっき粒子である。接合部材５は、例えば熱硬化性エラストマーを含んでいる。接合部材５は、例えば、異方性導電ペースト又は異方性導電性膜が硬化することにより形成される。接合部材５は、配線部材３と電極部分１１ａ，１２ａ，１３ａと電気的に接続している。

【0042】

電極部分１１ａは、接合部材５により配線部材３と接合される接合領域１１ｅを含んでいる。電極部分１２ａは、接合部材５により配線部材３と接合される接合領域１２ｅを含んでいる。電極部分１３ａは、接合部材５により配線部材３と接合される接合領域１３ｅを含んでいる。

【0043】

本実施形態では、重複領域１１ｄが接合領域１１ｅの全体を含んでいる。重複領域１２ｄが接合領域１２ｅの全体を含んでいる。重複領域１３ｄが接合領域１３ｅの全体を含んでいる。重複領域１１ｄは、配線部材３から露出している露出領域１１ｆを更に含んでいる。重複領域１２ｄは、配線部材３から露出している露出領域１２ｆを更に含んでいる。重複領域１３ｄは、配線部材３から露出している露出領域１３ｆを更に含んでいる。

【0044】

配線部材３は、導体層３１，３２と、ベース３３と、カバー３４とを有している。導体層３１，３２は、例えば、Ｃｕからなる。ベース３３及びカバー３４は、例えば、ポリイミド樹脂からなる樹脂層である。導体層３１，３２は、ベース３３とカバー３４との間に配置されている。導体層３１，３２は、例えば、接着層（不図示）によってベース３３及びカバー３４に接着されている。

【0045】

導体層３１，３２は、主面１０ａ上において、方向Ｄ２に延在すると共に、方向Ｄ３で互いに離間している。導体層３１，３２の方向Ｄ２の一端部は、カバー３４から露出している。カバー３４から露出した導体層３１の一端部は、方向Ｄ１で接合領域１１ｅと対向し、接合部材５により接合領域１１ｅと電気的に接続されている。カバー３４から露出した導体層３２の一端部は、方向Ｄ１で接合領域１２ｅ，１３ｅと対向し、接合部材５により接合領域１２ｅ，１３ｅと電気的に接続されている。

【0046】

圧電素子２において、最も変位が大きくなるのは、素体１０の中心部、より詳しくは、方向Ｄ１から見て、主面１０ａの重心近傍と重なる部分である。このように変位が大きくなる部分で共振が起こると、特定の周波数で音が大きくなり、均一な音質が得られない場合がある。圧電素子２では、重複領域１１ｄ，１２ｄ，１３ｄの面積は、電極部分１１ａ，１２ａ，１３ａの面積の半分以上である。つまり、方向Ｄ１から見て、電極部分１１ａ，１２ａ，１３ａは、活性領域Ｒ１１，Ｒ１２が配置されていない領域よりも、活性領域Ｒ１１，Ｒ１２上に多く配置されている。このため、活性領域Ｒ１１，Ｒ１２が重複領域１１ｄ，１２ｄ，１３ｄにより押さえられ、素体１０の中央部の変位が抑制される。これにより、圧電素子２の変位を均一化し、均一な音質を得ることができる。

【0047】

電極部分１１ａ，１２ａ，１３ａの方向Ｄ２の長さＬ６，Ｌ７，Ｌ８は、主面１０ａの方向Ｄ２の長さＬ９の５０％以上である。このため、素体１０の中央部の変位が更に抑制される。これにより、圧電素子２の変位を更に均一化し、更に均一な音質を得ることができる。

【0048】

方向Ｄ１から見て、活性領域Ｒ１１，Ｒ１２は、素体１０の外縁から離間している。このため、活性領域Ｒ１１，Ｒ１２が不活性領域Ｒ２で囲まれた構成となり、圧電素子２の共振点が低音側に移動する。これにより、圧電素子２を音響デバイスに適用した場合には実用上十分に高い音圧を得ることができる。

【0049】

重複領域１１ｄ，１２ｄ，１３ｄは、配線部材３と接合される接合領域１１ｅ，１２ｅ，１３ｅを含んでいる。接合領域１１ｅ，１２ｅ，１３ｅは活性領域Ｒ１１，Ｒ１２上に位置している。配線部材３は活性領域Ｒ１１，Ｒ１２の変位に追従して変位するので、配線部材３が活性領域Ｒ１１，Ｒ１２上に位置していない場合に比べて、配線部材３の接続が取れ難い。

【0050】

重複領域１１ｄ，１２ｄ，１３ｄは、配線部材３から露出している露出領域１１ｆ，１２ｆ，１３ｆを含んでもいる。このため、複数の内部電極１５，１６，１７のうち、主面１０ａの最も近くに配置された内部電極１５と、露出領域１２ｆ，１３ｆとの間に形成された活性領域Ｒ１３，Ｒ１４の変位が抑制され難い。したがって、圧電素子２の変位を向上させることができる。

【0051】

主面１０ａの最も近くに配置された内部電極１５と、外部電極１２，１３とにより挟まれた領域は、活性領域Ｒ１３，Ｒ１４となるのに対し、主面１０ａの最も近くに配置された内部電極１５と、外部電極１１とにより挟まれた領域は、不活性領域Ｒ２となる。これにより、内部電極１５、及び内部電極１６が外部からの電気的影響を受けず信頼性が向上する。

【0052】

［第二実施形態］
図７に示される第二実施形態に係る振動デバイス１Ａは、主に、配線部材３が主面１０ａの側面１０ｃ側から方向Ｄ２に沿って引き出されている点で振動デバイス１と相違している。本実施形態では、電極部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃの全体が配線部材３に覆われている。すなわち、重複領域１１ｄ，１２ｄ，１３ｄは、それぞれ露出領域１１ｆ，１２ｆ，１３ｆを含まない。このように、重複領域１１ｄ，１２ｄ，１３ｄが露出していないので、重複領域１１ｄ，１２ｄ，１３ｄの腐食を抑制することができる。また、配線部材３により活性領域Ｒ１３，Ｒ１４の変位が抑制されるので、圧電素子２を側面１０ｃ側と側面１０ｄ側とでバランスよく変位させることができる。

【0053】

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

【0054】

圧電素子２は、モノモルフ型であってもよい。配線部材３は、主面１０ａの側面１０ｅ側又は側面１０ｆ側から引き出されてもよい。圧電素子２は、例えば、触覚デバイスに用いられてもよい。

【0055】

上記実施形態及び変形例は、適宜組み合わされてもよい。

【0056】

上述した実施形態及び変形例の記載から把握されるとおり、本明細書では以下に示す態様の開示を含んでいる。
（付記１）
第一方向で互いに対向している第一主面及び第二主面と、前記第一方向に直交する第二方向で互いに対向し、前記第一主面と前記第二主面とを接続している第一側面及び第二側面と、を有する素体と、
前記素体内に設けられ、前記第一方向において積層されている複数の内部電極と、
それぞれ、前記第一側面上に設けられ、対応する前記内部電極と接続されている第一電極部分と、前記第一主面上に設けられ、前記第一電極部分と接続されている第二電極部分と、を有する複数の外部電極と、を備え、
前記素体は、前記複数の内部電極間に配置された圧電的に活性な活性領域を含み、
前記第二電極部分は、前記第一方向から見て前記活性領域と重なっている重複領域を含み、
前記重複領域の面積は、前記第二電極部分の面積の５０％以上である、
圧電素子。
（付記２）
前記第二電極部分の前記第二方向の長さは、前記第一主面の前記第二方向の長さの５０％以上である、
付記１に記載の圧電素子。
（付記３）
前記第一方向から見て、前記活性領域は、前記素体の外縁から離間している、
付記１又は２に記載の圧電素子。
（付記４）
前記重複領域は、配線部材と接合される接合領域を含む、
付記１～３のいずれか１つに記載の圧電素子。
（付記５）
前記重複領域は、前記配線部材から露出している露出領域を含む、
付記４に記載の圧電素子。
（付記６）
前記重複領域の全体が前記配線部材に覆われている、
付記４に記載の圧電素子。

【符号の説明】

【0057】

２…圧電素子，１０…素体，３…配線部材，１１，１２，１３…外部電極，１５，１６，１７…内部電極，１１ｄ，１２ｄ，１３ｄ…重複領域，１１ｅ，１２ｅ，１３ｅ…接合領域，１１ｆ，１２ｆ，１３ｆ…露出領域，Ｒ１，Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４…活性領域。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】