特開 2023-159927 液滴吐出装置およびマルチノズルヘッドの調整方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023159927

(43)【公開日】2023-11-02

(54)【発明の名称】液滴吐出装置およびマルチノズルヘッドの調整方法

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/00 20060101AFI20231026BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20231026BHJP

   B41J 2/06 20060101ALI20231026BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20231026BHJP

【ＦＩ】

B05C5/00 101

B41J2/01 307

B41J2/01 451

B41J2/01 403

B41J2/06

B05C11/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022069860

(22)【出願日】2022-04-21

(71)【出願人】

【識別番号】506159976

【氏名又は名称】株式会社ＳＩＪテクノロジ

(74)【代理人】

【識別番号】110000408

【氏名又は名称】弁理士法人高橋・林アンドパートナーズ

(72)【発明者】

【氏名】村田 和広

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

4F041

4F042

【Ｆターム（参考）】

2C056EA04

2C056EA22

2C056EB07

2C056EC07

2C056EC33

2C056EC35

2C056FA07

2C056HA07

2C056HA08

2C056HA11

2C057AG12

2C057AN07

2C057BD06

4F041AA01

4F041AA05

4F041BA01

4F041BA10

4F041BA13

4F041BA23

4F041BA34

4F042AA02

4F042AA06

4F042AB00

4F042BA08

4F042BA10

4F042BA12

4F042DH09

(57)【要約】      （修正有）

【課題】交換するマルチノズルを用いて安定して液滴を吐出すること。
【解決手段】液滴吐出装置は、静電吐出方式で液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズル１５３を有し、交換可能なマルチノズルヘッド１５０と、前記マルチノズルヘッドを装着する装着部１４０と、前記装着部に装着された前記マルチノズルヘッドを検査する検査部１６０と、前記マルチノズルヘッドの検査結果に基づいて前記マルチノズルヘッドの傾きを調整する調整部１９０と、を含む。上記液滴吐出装置において、前記検査部は、前記マルチノズルヘッドのうち前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを検査し、前記調整部は、前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを調整してもよい。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

インクを供給するインク供給部と、
前記インク供給部から離れて設けられ、静電吐出方式で前記インクを含む液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを有し、交換可能なマルチノズルヘッドと、
前記マルチノズルヘッドを装着する装着部と、
前記装着部に装着された前記マルチノズルヘッドの傾きを検査する検査部と、
前記マルチノズルヘッドの検査結果に基づいて前記マルチノズルヘッドの傾きを調整する調整部と、を含む、
液滴吐出装置。

【請求項2】

前記検査部は、前記マルチノズルヘッドのうち隣接する前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを検査し、
前記調整部は、前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを調整する、
請求項１に記載の液滴吐出装置。

【請求項3】

前記調整部は、前記マルチノズルヘッドを対象物に平行な第１方向に対応する第１回動軸に対して回動させる第１調整部、前記マルチノズルヘッドを前記対象物に平行であって、前記第１方向と交差する第２方向に対応する第２回動軸に対して回動させる第２調整部、および前記マルチノズルヘッドを前記対象物に対して垂直であって前記第１方向および前記第２方向と交差する第３方向に対応する第３回動軸に対して回動させる、
請求項２に記載の液滴吐出装置。

【請求項4】

複数の液滴吐出ノズルが配置される方向に液滴を吐出したときに形成されるパターンの線幅が所定の条件を満たすように、前記調整部は、前記第３回動軸に対して前記マルチノズルヘッドを回動させる、
請求項３に記載の液滴吐出装置。

【請求項5】

ユーザによって操作可能な操作部を含み、
前記調整部は、前記操作部から入力された情報に基づいて前記第１回動軸、前記第２回動軸、および前記第３回動軸の少なくとも一つに対して前記マルチノズルヘッドを回動させる、
請求項３または４に記載の液滴吐出装置。

【請求項6】

検査された前記マルチノズルヘッドの情報を表示する表示部を含み、
検査された前記マルチノズルヘッドの第１情報が予め登録された第２情報との間で所定の条件を満たすときに、前記マルチノズルヘッドの傾きの調整が完了したこと知らせる情報を前記表示部に表示する、
請求項３または４に記載の液滴吐出装置。

【請求項7】

前記マルチノズルヘッドの前記液滴吐出ノズルが所定の交換条件を満たすときに、前記マルチノズルヘッドの交換を要求する交換要求情報を前記表示部に表示する、
請求項６に記載の液滴吐出装置。

【請求項8】

インクを供給するインク供給部と、
前記インク供給部から離れて設けられ、静電吐出方式で前記インクを含む液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを有する交換可能なマルチノズルヘッド、を装着する装着部と、
前記装着部に装着された前記マルチノズルヘッドの傾きを検査する検査部と、
前記マルチノズルヘッドの検査結果に基づいて前記マルチノズルヘッドの傾きを調整する調整部と、を含む、
液滴吐出装置。

【請求項9】

液滴吐出装置が、
インクを供給するインク供給部から離れて設けられ、静電吐出方式で前記インクを供給する液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを有し、交換可能なマルチノズルヘッドを用い、
前記マルチノズルヘッドが装着部に装着されたときに前記マルチノズルヘッドの傾きを検査し、
前記マルチノズルヘッドの検査結果に基づいて前記マルチノズルヘッドの傾きを調整することを含む、
マルチノズルヘッドの調整方法。

【請求項10】

前記液滴吐出装置が、
隣接する前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを検査し、
前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを調整することを含む、
請求項９に記載のマルチノズルヘッドの調整方法。

【請求項11】

前記液滴吐出装置が、
前記マルチノズルヘッドを対象物に平行な第１方向に対応する第１回動軸に対して回動させ、前記マルチノズルヘッドを前記対象物に平行であって、前記第１方向と交差する第２方向に対応する第２回動軸に対して回動させ、および前記マルチノズルヘッドを前記対象物に対して垂直であって前記第１方向および前記第２方向と交差する第３方向に対応する第３回動軸に対して回動させる、
請求項１０に記載のマルチノズルヘッドの調整方法。

【請求項12】

複数の液滴吐出ノズルが配置される方向に液滴を吐出したときに形成されるパターンの線幅が所定の条件を満たすように、前記第３回動軸に対して前記マルチノズルヘッドを回動させる、
請求項１１に記載のマルチノズルヘッドの調整方法。

【請求項13】

前記液滴吐出装置が、
検査された前記マルチノズルヘッドの第１情報を表示部に表示し、
検査された前記マルチノズルヘッドの第１情報が予め登録された第２情報との間で所定の条件を満たすときに、前記マルチノズルヘッドの傾きの調整が完了したこと知らせる情報を前記表示部に表示する、
請求項１１または１２に記載のマルチノズルヘッドの調整方法。

【請求項14】

前記マルチノズルヘッドの前記液滴吐出ノズルが所定の交換条件を満たすときに、前記マルチノズルヘッドの交換を要求する交換要求情報を前記表示部に表示する、
請求項１３に記載のマルチノズルヘッドの調整方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液滴吐出装置およびマルチノズルヘッドの調整方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、インクジェット印刷技術の工業用プロセスへの応用が行われている。例えば、液晶ディスプレー用のカラーフィルター製造工程などはその一例である。インクジェット印刷技術として、従来は機械的圧力や振動により液滴を吐出する、いわゆるピエゾ型ヘッドが多く使用されてきていたが、より微細な液滴を吐出できる静電吐出型インクジェットヘッドが注目されている。特許文献１には、静電吐出型インクジェット記録装置について開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１０－３４９６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

近年では、静電吐出型インクジェットヘッド用として、生産性向上の観点から、複数のノズルを有するマルチノズルヘッドの開発が進められている。マルチノズルから液滴を吐出する場合、ノズルの配置を変えることで、様々なパターンを有するように液滴を吐出することができる。

【0005】

一方で、形成したいパターンに応じてユーザがマルチノズルヘッドを交換する必要がある。ヘッドのノズルの配列方向と、ステージの移動方向のなす角は、同一仕様の異なるヘッドを取り付けた場合でも常に一定となるように調整される必要がある。最適な位置にマルチノズルヘッドが設置されないと、所望の精度のパターンが形成できない。

【0006】

そこで、本発明は、交換されるマルチノズルヘッドを用いて安定して液滴を吐出することを目的の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一実施形態によれば、インクを供給するインク供給部と、前記インク供給部から離れて設けられ、静電吐出方式で前記インクを含む液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを有し、交換可能なマルチノズルヘッドと、前記マルチノズルヘッドを装着する装着部と、前記装着部に装着された前記マルチノズルヘッドの傾きを検査する検査部と、前記マルチノズルヘッドの検査結果に基づいて前記マルチノズルヘッドの傾きを調整する調整部と、を含む、液滴吐出装置が提供される。

【0008】

上記液滴吐出装置において、前記検査部は、前記マルチノズルヘッドのうち隣接する前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを検査し、前記調整部は、前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを調整してもよい。

【0009】

上記液滴吐出装置において、前記調整部は、前記マルチノズルヘッドを対象物に平行な第１方向に対応する第１回動軸に対して回動させる第１調整部、前記マルチノズルヘッドを前記対象物に平行であって、前記第１方向と交差する第２方向に対応する第２回動軸に対して回動させる第２調整部、および前記マルチノズルヘッドを前記対象物に対して垂直であって前記第１方向および前記第２方向と交差する第３方向に対応する第３回動軸に対して回動させてもよい。

【0010】

上記液滴吐出装置において、複数の液滴吐出ノズルが配置される方向に液滴を吐出したときに形成されるパターンの線幅が所定の条件を満たすように、前記調整部は、前記第３回動軸に対して前記マルチノズルヘッドを回動させてもよい。

【0011】

上記液滴吐出装置において、ユーザによって操作可能な操作部を含み、前記調整部は、前記操作部から入力された情報に基づいて前記第１回動軸、前記第２回動軸、および前記第３回動軸の少なくとも一つに対して前記マルチノズルヘッドを回動させてもよい。

【0012】

上記液滴吐出装置において、検査された前記マルチノズルヘッドの情報を表示する表示部を含み、検査された前記マルチノズルヘッドの第１情報が予め登録された第２情報との間で所定の条件を満たすときに、前記マルチノズルヘッドの傾きの調整が完了したこと知らせる情報を前記表示部に表示してもよい。

【0013】

上記液滴吐出装置において、前記マルチノズルヘッドの前記液滴吐出ノズルが所定の交換条件を満たすときに、前記マルチノズルヘッドの交換を要求する交換要求情報を前記表示部に表示してもよい。

【0014】

本発明の一実施形態によれば、インクを供給するインク供給部と、前記インク供給部から離れて設けられ、静電吐出方式で前記インクを含む液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを有する交換可能なマルチノズルヘッド、を装着する装着部と、前記装着部に装着された前記マルチノズルヘッドの傾きを検査する検査部と、前記マルチノズルヘッドの検査結果に基づいて前記マルチノズルヘッドの傾きを調整する調整部と、を含む、液滴吐出装置が提供される。

【0015】

本発明の一実施形態によれば、液滴吐出装置が、インクを供給するインク供給部から離れて設けられ、静電吐出方式で前記インクを供給する液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを有し、交換可能なマルチノズルヘッドを用い、前記マルチノズルヘッドが装着部に装着されたときに前記マルチノズルヘッドの傾きを検査し、前記マルチノズルヘッドの検査結果に基づいて前記マルチノズルヘッドの傾きを調整することを含む、マルチノズルヘッドの調整方法が提供される。

【0016】

上記マルチノズルヘッドの調整方法において、前記液滴吐出装置が、隣接する前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを検査し、前記複数の液滴吐出ノズルの先端部の傾きを調整することを含んでもよい。

【0017】

上記マルチノズルヘッドの調整方法において、前記液滴吐出装置が、前記マルチノズルヘッドを対象物に平行な第１方向に対応する第１回動軸に対して回動させ、前記マルチノズルヘッドを前記対象物に平行であって、前記第１方向と交差する第２方向に対応する第２回動軸に対して回動させ、および前記マルチノズルヘッドを前記対象物に対して垂直であって前記第１方向および前記第２方向と交差する第３方向に対応する第３回動軸に対して回動させてもよい。

【0018】

上記マルチノズルヘッドの調整方法において、前記液滴吐出装置が、前記マルチノズルヘッドを対象物に平行な第１方向に対応する第１回動軸に対して回動させ、前記マルチノズルヘッドを前記対象物に平行であって、前記第１方向と交差する第２方向に対応する第２回動軸に対して回動させ、および前記マルチノズルヘッドを前記対象物に対して垂直であって前記第１方向および前記第２方向と交差する第３方向に対応する第３回動軸に対して回動させてもよい。

【0019】

上記マルチノズルヘッドの調整方法において、複数の液滴吐出ノズルが配置される方向に液滴を吐出したときに形成されるパターンの線幅が所定の条件を満たすように、前記第３回動軸に対して前記マルチノズルヘッドを回動させてもよい。

【0020】

上記マルチノズルヘッドの調整方法において、前記液滴吐出装置が、検査された前記マルチノズルヘッドの第１情報を表示部に表示し、検査された前記マルチノズルヘッドの第１情報が予め登録された第２情報との間で所定の条件を満たすときに、前記マルチノズルヘッドの傾きの調整が完了したこと知らせる情報を前記表示部に表示してもよい。

【0021】

上記マルチノズルヘッドの調整方法において、前記マルチノズルヘッドの前記液滴吐出ノズルが所定の交換条件を満たすときに、前記マルチノズルヘッドの交換を要求する交換要求情報を前記表示部に表示してもよい。

【発明の効果】

【0022】

本発明の一実施形態を用いることにより、交換されるマルチノズルヘッドを用いて安定して液滴を吐出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の概略図である。

【図2A】マルチノズルヘッドの平面図である。

【図2B】液滴吐出ノズルを拡大した上面図である。

【図2C】液滴吐出ノズルを拡大した断面図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の制御部の機能ブロック図である。

【図4】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置のマルチノズルヘッドの調整フロー図である。

【図5A】調整前のマルチノズルヘッドの模式図である。

【図5B】調整後のマルチノズルヘッドの模式図である。

【図6】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の概略図である。

【図7A】液滴を吐出する方向を説明する図である。

【図7B】液滴を吐出する方向を説明する図である。

【図8】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の概略図である。

【図9】検査部とマルチノズルとの関係を示す模式図である。

【図10】本実施例に用いられたマルチノズルヘッドの写真である。

【図11A】本発明の一実施形態に係るマルチノズルヘッドにおける調整前の液滴吐出ノズルの撮像写真である。

【図11B】本発明の一実施形態に係るマルチノズルヘッドにおける調整後の液滴吐出ノズルの撮像写真である。

【図12A】本発明の一実施形態に係るマルチノズルヘッドにおける調整前の液滴吐出ノズルの撮像写真である。

【図12B】本発明の一実施形態に係るマルチノズルヘッドにおける調整後の液滴吐出ノズルの撮像写真である。

【図13A】本発明の一実施形態に係るマルチノズルヘッドにおける調整前の液滴吐出ノズルの撮像写真である。

【図13B】本発明の一実施形態に係るマルチノズルヘッドにおける調整後の液滴吐出ノズルの撮像写真である。

【図14A】調整前のマルチノズルヘッド１５０により形成されたパターンの画像である。

【図14B】調整部を用いてマルチノズルヘッドの傾きを調整した後のマルチノズルヘッド１５０により形成されたパターンの画像である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、本出願で開示される発明の各実施形態について、図面を参照しつつ説明する。但し、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲において様々な形態で実施することができ、以下に例示する実施形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。

【0025】

なお、本実施形態で参照する図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号または類似の符号（数字の後にＡ、Ｂ等を付しただけの符号）を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なったり、構成の一部が図面から省略されたりする場合がある。

【0026】

さらに、本発明の詳細な説明において、ある構成物と他の構成物の傾き関係を規定する際、「上に」「下に」とは、ある構成物の直上あるいは直下に傾きする場合のみでなく、特に断りの無い限りは、間にさらに他の構成物を介在する場合を含むものとする。

【0027】

＜第１実施形態＞
（１－１．液滴吐出装置１００の構成）
図１は、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置１００の概略図である。

【0028】

液滴吐出装置１００は、制御部１１０、記憶部１２０、電源部１２５、駆動部１３０、装着部１４０、マルチノズルヘッド１５０、検査部１６０、表示部１７０、操作部１８０、調整部１９０、対象物保持部２００、および筐体２１０を含む。制御部１１０、記憶部１２０、電源部１２５、駆動部１３０、装着部１４０、インク供給部１４５、マルチノズルヘッド１５０、検査部１６０、表示部１７０、操作部１８０、調整部１９０、および対象物保持部２００は、配線バスにより電気的に接続されるとともに、筐体２１０の内側に設けられる。

【0029】

制御部１１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）、またはその他の演算処理回路を含む。制御部１１０は、あらかじめ設定された液滴吐出用プログラムを用いて、マルチノズルヘッド１５０による液滴吐出処理を制御する。また、制御部１１０は、マルチノズルヘッド１５０の傾きを制御する。

【0030】

記憶部１２０は、液滴吐出用プログラム、および液滴吐出用プログラムで用いられる各種情報を記憶するデータベースとしての機能を有する。記憶部１２０には、メモリ、ＳＳＤ、または記憶可能な素子が用いられる。また、記憶部１２０は、マルチノズルヘッド１５０の傾き情報（平行度ともいう）を記憶する。

【0031】

電源部１２５は、制御部１１０から入力される信号をもとに、マルチノズルヘッド１５０に電圧を印加する。この例では、電源部１２５は、マルチノズルヘッド１５０に対してパルス状の電圧（この例では、１０００Ｖ）を印加する。なお、パルス電圧に限定されず、一定の電圧が常時印加されてもよい。

【0032】

駆動部１３０は、モータ、ベルト、ギアなどの駆動部材により構成される。駆動部１３０は、制御部１１０からの指示に基づき、対象物２２０に対してマルチノズルヘッド１５０を相対的に一つの方向（この例では、第２方向Ｄ２）に移動させる。

【0033】

装着部１４０は、マルチノズルヘッド１５０を装着する。この例では、装着部１４０は、ノズルヘッドのプレート部と接着することにより、ノズルヘッドを装着する。このとき、装着部１４０は、治具および接着剤などを用いてマルチノズルヘッド１５０を装着してもよい。

【0034】

インク供給部１４５（インクタンクまたはインクカートリッジともいう）は、装着部１４０から離れて設けられる。インク供給部１４５は、インクを貯蔵する。インク供給部１４５は、貯蔵されたインクをマルチノズルヘッド１５０にインクを供給する。

【0035】

マルチノズルヘッド１５０は、インク供給部１４５および装着部１４０から離れて設けられる。図２Ａは、マルチノズルヘッド１５０の平面図である。図２Ｂは、液滴吐出ノズル１５３を拡大した上面図である。図２Ｃは、液滴吐出ノズル１５３を拡大した断面図である。図２Ａに示すように、マルチノズルヘッド１５０は、プレート部１５１と、複数の液滴吐出ノズル１５３を含む。プレート部１５１は、平坦状に設けられる。液滴吐出ノズル１５３は、プレート部１５１に設けられる。液滴吐出ノズル１５３には、静電吐出型のインクジェットノズルが用いられる。図２Ｂおよび図２Ｃに示すように、液滴吐出ノズル１５３は、先端部１５３ａに向かって先細る形状を有して形成される。マルチノズルヘッド１５０は、マルチノズルプレートともいう。本実施形態では、マルチノズルヘッド１５０に対して電源部１２５から印加された電圧によりインク供給部１４５に保持された液体がマルチノズルヘッド１５０のうち液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａから液滴として対象物２２０の方向（第３方向Ｄ３）に吐出される。

【0036】

図２Ａに示すように、マルチノズルヘッド１５０において、複数の液滴吐出ノズル１５３は、一列に（具体的には第１方向Ｄ１に）並んで設けられる。なお、複数の液滴吐出ノズル１５３は、一列に並んで設けられる場合に限定されず、２次元（具体的には第１方向Ｄ１および第１方向Ｄ１に交差する第２方向Ｄ２）に並んで設けられてもよいし、点在して設けられてもよい。

【0037】

また、マルチノズルヘッド１５０は、装着部１４０から交換可能に設けられる。これにより、形成したいパターンに応じて適切なノズル配置を有するマルチノズルヘッド１５０を用いることができる。

【0038】

検査部１６０は、装着部１４０に装着されたマルチノズルヘッド１５０の傾きを検査する。この例では、検査部１６０は、マルチノズルヘッド１５０における隣接する液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの傾きを検査する。このとき、検査部１６０は、基準面に対する一列に並んだ液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの傾きを検査する。基準面は、対象物２２０であってもよいし、あらかじめ設定された面であってもよい。マルチノズルヘッド１５０の傾きは、平行度として定義してもよい。この例では、検査部１６０には、撮像装置が用いられる。具体的には、検査部１６０には、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）方式のカメラまたはＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）方式のカメラが用いられる。検査部１６０で取得された情報は、制御部１１０および記憶部１２０に送られる。

【0039】

表示部１７０は、制御部１１０の制御に基づいて、制御情報（文字情報または画像情報）を表示する。このとき、表示部１７０は、ＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ Ｕｓｅｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）を介して制御情報を表示してもよい。また、表示部１７０は、マルチノズルヘッド１５０の傾き情報を表示する。

【0040】

操作部１８０は、操作可能な部材を含む。例えば、操作部１８０には、ボタン、レバーおよびテンキーなどが用いられる。操作部１８０を用いて上下左右への移動、押圧、または回転などの動作、または数値の入力がなされることにより、その動作に基づく情報が制御部１１０に取得される。なお、表示部１７０が操作部１８０の機能を有する場合には、表示部１７０はタッチパネルとして用いられてもよい。

【0041】

調整部１９０は、マルチノズルヘッド１５０の傾きを調整する。具体的には、調整部１９０は、マルチノズルヘッド１５０の液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの傾きを調整する。

【0042】

調整部１９０は、第１調整部１９１、第２調整部１９３、および第３調整部１９５を含む。第１調整部１９１は、マルチノズルヘッド１５０を第１回動軸Ａｘ１に対して回動させる。第２調整部１９３は、マルチノズルヘッド１５０を第２回動軸Ａｘ２に対して回動させる。第３調整部１９５は、マルチノズルヘッド１５０を第３回動軸Ａｘ３に対して回動させる。第１回動軸Ａｘ１、第２回動軸Ａｘ２、および第３回動軸Ａｘ３は、それぞれ交差する。第１回動軸Ａｘ１は、第１方向Ｄ１（液滴吐出装置１００の奥行方向）と対応する。第２回動軸Ａｘ２は、第２方向Ｄ２（液滴吐出装置１００の横方向）と対応する。第３回動軸Ａｘ３は、第３方向Ｄ３（地面に対して垂直方向）と対応する。第１調整部１９１および第２調整部１９３には、ゴニオステージが用いられる。第３調整部１９５には、θステージが用いられる。

【0043】

対象物保持部２００は、対象物２２０を保持する機能を有する。対象物保持部２００は、この例ではステージが用いられる。対象物保持部２００が対象物２２０を保持する機構は特に制限されず、一般的な保持機構が用いられる。この例では、対象物２２０は、対象物保持部２００に真空吸着している。なお、これに限定されず、対象物保持部２００は固定具を用いて対象物２２０を保持してもよい。

【0044】

図３は、制御部１１０における機能ブロック図である。図３に示すように、制御部１１０は、機能部として取得部１１１、検査処理制御部１１３、調整処理制御部１１５、判定部１１７、および送信部１１９を含む。

【0045】

取得部１１１は、各装置から送信された情報を取得する機能を有する。

【0046】

検査処理制御部１１３は、検査部１６０による検査処理を制御する機能を有する。

【0047】

調整処理制御部１１５は、調整部１９０による調整処理を制御する機能を有する。

【0048】

判定部１１７は、調整部１９０によって調整されたマルチノズルヘッド１５０の傾きが正しい傾きであるかを判断する。具体的には、検査部１６０が、調整後のマルチノズルヘッド１５０の液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａを撮像する。判定部１１７は、撮像された液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像が、登録された液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像と比べて同一かどうかを判定する。

【0049】

送信部１１９は、各装置に対して各種制御情報（指示情報）を送信する。

【0050】

（１－２．マルチノズルヘッドの調整方法）
以下に、図面を用いて液滴吐出装置におけるマルチノズルヘッド１５０の調整方法を説明する。図４は、液滴吐出装置におけるマルチノズルヘッド１５０の調整方法のフロー図である。

【0051】

まず、ユーザがマルチノズルヘッド１５０を装着部１４０に装着する。このとき、ユーザは、マルチノズルヘッドが装着部１４０に装着したことを、操作部１８０を介して入力してもよい（例えば、装着完了ボタンを押下する）。マルチノズルヘッド１５０が装着部１４０に装着された情報は、制御部１１０の取得部１１１に送信され、取得部は、マルチノズルヘッドの装着情報を取得する（Ｓ１１０）。

【0052】

次に、制御部１１０の検査処理制御部１１３は、マルチノズルヘッド１５０が装着部１４０に装着された情報に基づいて、検査処理を実行する（Ｓ１２０）。この場合、検査処理制御部１１３は、検査部１６０にマルチノズルヘッド１５０を検査する指示情報を送信する。検査部１６０は、受信した指示情報に基づいてマルチノズルヘッドを検査する。具体的には、検査部１６０は、マルチノズルヘッド１５０のうち液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａを撮像することにより、隣接する液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａとの位置関係を検査する。撮像された液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像は、制御部１１０に送信される。制御部１１０の送信部１１９は、液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像を表示部１７０に送信する。表示部１７０は、撮像された液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像を表示する。このとき、基準となる方向（第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ３、または第３方向Ｄ３）に対して隣接する液滴吐出ノズル１５３の傾きを数値で表示してもよい。

【0053】

表示部１７０に表示されたマルチノズルヘッド１５０の液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像をもとに、ユーザは操作部１８０を介してマルチノズルヘッド１５０を動かすための情報を入力してもよい。入力された情報は、制御部１１０の取得部１１１によって取得される（Ｓ１３０）。

【0054】

次に、制御部１１０の調整処理制御部１１５は、入力された情報に基づいて、マルチノズルヘッド１５０の調整処理を実行する（Ｓ１４０）。この場合、調整処理制御部１１５は、調整部１９０にマルチノズルヘッド１５０（液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａ）を調整する指示情報を送信する。調整部１９０は、受信した指示情報に基づいてマルチノズルヘッド１５０の傾きを調整する。この場合の傾きは、マルチノズルヘッド１５０の第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、および第３方向Ｄ３に対する傾きを含む。

【0055】

検査処理制御部１１３は、調整処理に併せて検査部１６０にマルチノズルヘッド１５０の検査指示情報を送信してもよい。この例では、検査部１６０は、マルチノズルヘッド１５０のうち液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａを撮像する。撮像された液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像は、制御部１１０に送信される。このとき、制御部１１０の取得部１１１は、調整後のマルチノズルヘッド１５０の傾き情報を取得する。制御部１１０の送信部１１９は、マルチノズルヘッド１５０の傾き情報（液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像）を表示部１７０に送信する。表示部１７０は、マルチノズルヘッド１５０の傾き情報（撮像された液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像）を表示する。

【0056】

次に、制御部１１０の判定部１１７は、判定処理を実行する（Ｓ１５０）。具体的には、判定部１１７は、取得された調整後のマルチノズルヘッド１５０の傾き情報（液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像、第１情報ともいう）と、予め登録されたマルチノズルヘッドの傾き情報（液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像、第２情報ともいう）とを比較する。その結果、調整後のマルチノズルヘッド１５０の傾きが設定傾きに対して不適合の場合（Ｓ１６０；Ｎｏ）、Ｓ１４０に戻って処理をループしてもよい。一方、調整後のマルチノズルヘッド１５０の傾きが設定された傾きに適合する場合（Ｓ１６０；Ｙｅｓ）、調整処理が完了する。このとき、制御部１１０は、表示部１７０にマルチノズルヘッド１５０の傾き調整が完了したことを表示するための指示情報を送信する。このとき、表示部１７０は、受信した情報に基づいて、マルチノズルヘッド１５０の傾き調整が完了したこと知らせる情報を表示する。

【0057】

図５Ａは、調整前のマルチノズルヘッドの模式図である。図５Ｂは、調整後のマルチノズルヘッドの模式図である。図５Ａおよび図５Ｂに示すように、マルチノズルヘッド１５０が装着部１４０に装着された時にマルチノズルヘッド１５０の傾きが所定の傾きからずれていたとしても、マルチノズルヘッド１５０の傾きを適正な傾きに調整することができる。

【0058】

本実施形態を用いることにより、従来の静電吐出型の液滴吐出装置では実施されなかったマルチノズルヘッドの交換作業を行った場合においても、安定して液滴を吐出することができる。

【0059】

また、本実施形態を用いることにより、装着部１４０に形状不良がある場合においても、その影響を軽減することができる。そのため、安定して液滴を吐出することができる。

【0060】

＜第２実施形態＞
本実施形態では、第１実施形態とは異なる液滴吐出装置について説明する。具体的には、複数の検査部が設けられている例について説明する。なお、説明の関係上、適宜部材を省略して説明する。

【0061】

図６は、液滴吐出装置１００Ａの模式図である。図６に示すように、液滴吐出装置１００Ａは、制御部１１０、記憶部１２０、電源部１２５、駆動部１３０、装着部１４０、インク供給部１４５、マルチノズルヘッド１５０、検査部１６０Ａ、表示部１７０、操作部１８０、調整部１９０、対象物保持部２００、および筐体２１０を含む。

【0062】

図６に示すように、本実施形態では、検査部１６０Ａは複数の検査部を含む。具体的にはマルチノズルヘッド１５０の第１方向Ｄ１に対応して検査部１６０Ａ－１が設けられる。マルチノズルヘッド１５０の第２方向Ｄ２に対応して検査部１６０Ａ－２が設けられる。マルチノズルヘッド１５０の第３方向Ｄ３に対応して検査部１６０Ａ－３が設けられる。

【0063】

また、本実施形態の場合、液滴吐出ノズル１５３が配置される方向に液滴を吐出することにより形成されたパターンを用いて評価してもよい。図７Ａおよび図７Ｂは、液滴を吐出する方向を説明する図である。液滴吐出ノズル１５３が傾いているとき、図７Ｂに示すように、形成されたパターンの線幅が大きくなる。そのため、図７Ａに示すように、吐出される液滴により形成されたパターンの線幅が最小となるようにマルチノズルヘッド１５０の第３方向Ｄ３に対する傾きを調整することが望ましい。パターンの線幅は、検査部１６０Ａ－３によって評価される。検査部１６０Ａ－３には、光学顕微鏡や、電子顕微鏡など用いられてもよい。また、検査部１６０Ａ－３に限定されず、パターンの線幅は、ほかの場所に設けられた検査部を用いて評価されてもよい。

【0064】

したがって、本実施形態を用いることにより、マルチノズルヘッド１５０の傾き（位置）をより高い精度で調整することができる。

【0065】

＜第３実施形態＞
本実施形態では、第２実施形態とは異なる液滴吐出装置について説明する。具体的には、検査部として撮像装置が設けられるだけではなく、レーザセンサが設けられる例について説明する。なお、説明の関係上、適宜部材を省略して説明する。

【0066】

図８は、液滴吐出装置１００Ｂの模式図である。図８に示すように、液滴吐出装置１００Ｂは、制御部１１０、記憶部１２０、電源部１２５、駆動部１３０、装着部１４０、インク供給部１４５、マルチノズルヘッド１５０、検査部１６０Ａ、表示部１７０、操作部１８０、調整部１９０、対象物保持部２００、および筐体２１０に加えて検査部１６１を含む。検査部１６１には、レーザセンサが用いられる。

【0067】

図９は、検査部１６１とマルチノズルヘッド１５０との関係を示す模式図である。検査部１６１のレーザ照射部は、マルチノズルヘッド１５０に対向するように上向きに配置される。検査部１６１は、マルチノズルヘッド１５０の四隅（プレート部１５１）と、検査部１６１との間の距離Ｄを測定してもよい。測定された値は、制御部１１０にフィードバックされる。調整処理制御部１１５は、四隅における距離Ｄが同じとなるようにマルチノズルヘッド１５０の傾きを調整する。本実施形態を用いることにより、マルチノズルヘッド１５０の第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２に対する傾きをより高い精度で調整することができる。

【実施例0068】

以下に、マルチノズルヘッドの傾き調整方法の実施例について説明する。

【0069】

図１０は、本実施例に用いられたマルチノズルヘッドの写真である。本実施例において、マルチノズルヘッドには１００個×４行＝４００個の液滴吐出ノズルが設けられる。

【0070】

図１１Ａは、検査部１６０によって撮像された調整前のマルチノズルヘッド１５０の画像である。図１１Ｂは、第１調整部１９１を用いて調整した後のマルチノズルヘッド１５０の画像である。この例では、画面上側に液滴吐出ノズルの実像、画面下側に液滴吐出ノズルの虚像が確認される。第１調整部１９１は、第１回動軸Ａｘ１に対してマルチノズルヘッド１５０を回動させる。これにより、図１１Ａにおいて、右側の液滴吐出ノズルが見えなくなっていたものが、図１１Ｂに示すように左右両側の液滴吐出ノズルを確認することができる。

【0071】

図１２Ａは、検査部１６０によって撮像された調整前のマルチノズルヘッド１５０の画像である。図１２Ａにおいて、虚像側は根本まで確認できるのに対し、実像側は先端がわずかに確認される。図１２Ｂは、第２調整部１９３を用いてマルチノズルヘッド１５０の傾きを調整した時の画像である。第２調整部１９３は、第２回動軸Ａｘ２に対してマルチノズルヘッド１５０を回動させる。第２調整部１９３によりマルチノズルヘッド１５０の傾きを調整することにより図１２Ｂに示すように、実像と虚像がほぼ同じように確認することができる。

【0072】

図１３Ａは、検査部１６０によって撮像された調整前のマルチノズルヘッド１５０の画像である。図１３Ｂは、第３調整部１９５を用いてマルチノズルヘッド１５０の傾きを調整した時の画像である。第３調整部１９５は、第３回動軸Ａｘ３に対してマルチノズルヘッド１５０を回動させる。これにより、図１３Ａにおいて画像のピントが合っていないものが、図１３Ｂに示すように、液滴吐出ノズルの画像のピントを合わせることができる。

【0073】

図１４Ａは、調整前のマルチノズルヘッド１５０により形成されたパターンの画像である。図１４Ｂは、第３調整部１９５を用いてマルチノズルヘッド１５０の傾きを調整した時の画像である。第３調整部１９５は、第３回動軸Ａｘ３に対してマルチノズルヘッド１５０を回動させる。これにより、図１４Ａに示される、調整前に形成されたパターン線幅（８１．９μｍ）に比べて図１４Ｂに示すように調整後に形成されたパターン線幅が細くなることが確認された（６７．８μｍ）。

【0074】

以上より、本発明の一実施形態を用いることにより、交換可能なマルチノズルヘッドを装着した場合において、マルチノズルヘッド（液滴吐出ノズル）を適正な位置および向きに調整することができる。これにより、交換されるマルチノズルヘッドを用いて安定して液滴を吐出することができる。

【0075】

（変形例）
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例および修正例に想到し得るものであり、それら変更例および修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、各実施形態の組み合わせ若しくは設計変更を行ったもの、又は、処理の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。

【0076】

本発明の第１実施形態では、検査処理と調整処理が異なるタイミングで行われる例を示したが、これに限定されない。検査処理と調整処理は、同時になされてもよい。また、検査処理および判定処理も同時に行われてもよい。

【0077】

本発明の第１実施形態では、検査部１６０として撮像装置が用いられる例を示したが、本発明はこれに限定されない。検査部１６０は、変位センサ、傾きセンサであってもよいし、角度センサなどの傾き情報を検査可能な装置が適宜用いられてもよい。各センサには、レーザが用いられてもよい。

【0078】

本発明の第１実施形態では、装着部１４０に装着されたマルチノズルヘッド１５０の傾きを調整する例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、マルチノズルヘッド１５０が使用されて、マルチノズルヘッドの液滴吐出ノズルが所定の条件を満たすときに、制御部１１０は表示部１７０にマルチノズルヘッドの交換を要求する交換要求情報を表示部１７０に送信してもよい。このときの所定の条件は、液滴吐出ノズルが閉塞することであってもよいし、吐出パターンの撮像結果であってもよい。これにより、マルチノズルヘッドの状態を検知することでき、液滴の吐出不良を防止することができる。

【0079】

本発明の第１実施形態では、判定部１１７は、撮像された液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像が、登録された液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの画像と比べて同一かどうかを判定する例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、液滴吐出ノズル１５３の先端部１５３ａの傾き情報を数値化してもよい。これにより、より正確にマルチノズルの傾きを調整することができる。

【0080】

本発明の第１実施形態では、ユーザが操作部１８０を操作したときに、調整部１９０がマルチノズルヘッド１５０を調整する例が示されたが、本発明はこれに限定されない。例えば、制御部１１０は、検査結果に応じてマルチノズルヘッド１５０が設定された傾きに配置されるように、調整部１９０に指示情報を送信してもよい。これにより、マルチノズルヘッド１５０の傾きを自動で調整することができる。

【符号の説明】

【0081】

１００・・・液滴吐出装置，１１０・・・制御部，１１１・・・取得部，１１３・・・検査処理制御部，１１５・・・調整処理制御部，１１７・・・判定部，１１９・・・送信部，１２０・・・記憶部，１２５・・・電源部，１３０・・・駆動部，１４０・・・装着部，１４５・・・インク供給部，１５０・・・マルチノズルヘッド，１５１・・・プレート部，１５３・・・液滴吐出ノズル，１５３ａ・・・先端部，１６０・・・検査部，１６１・・・検査部，１７０・・・表示部，１８０・・・操作部，１９０・・・調整部，１９１・・・第１調整部，１９３・・・第２調整部，１９５・・・第３調整部，２００・・・対象物保持部，２１０・・・筐体，２２０・・・対象物

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11A】

【図11B】

【図12A】

【図12B】

【図13A】

【図13B】

【図14A】

【図14B】