ホーム > 特許ランキング > 三井化学東セロ株式会社
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023160308
(43)【公開日】2023-11-02
(54)【発明の名称】機械加工済み薄ガラスの製造方法
(51)【国際特許分類】
C03C 15/00 20060101AFI20231026BHJP
C03C 19/00 20060101ALI20231026BHJP
C03C 23/00 20060101ALI20231026BHJP
C03B 33/07 20060101ALI20231026BHJP
B32B 17/10 20060101ALI20231026BHJP
C09J 201/00 20060101ALI20231026BHJP
C09J 11/08 20060101ALI20231026BHJP
C09J 7/38 20180101ALI20231026BHJP
【ＦＩ】
C03C15/00
C03C19/00 A
C03C19/00 Z
C03C23/00 A
C03B33/07
B32B17/10
C09J201/00
C09J11/08
C09J7/38
【審査請求】未請求
【請求項の数】16
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022070574
(22)【出願日】2022-04-22
(71)【出願人】
【識別番号】000220099
【氏名又は名称】三井化学東セロ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100110928
【弁理士】
【氏名又は名称】速水 進治
(72)【発明者】
【氏名】北岸 直也
【テーマコード（参考）】
4F100
4G015
4G059
4J004
4J040
【Ｆターム（参考）】
4F100AB04
4F100AG00
4F100AG00A
4F100AK01B
4F100AK01C
4F100AT00D
4F100BA04
4F100BA07
4F100DE01B
4F100DE01C
4F100EJ15
4F100EJ15A
4F100EJ26A
4F100EJ34
4F100EJ34A
4F100EJ42C
4F100EJ641
4F100EJ64A
4F100JA02B
4F100JA02C
4F100JL11
4F100JL11B
4F100JL11C
4F100JL14
4F100JL14B
4G015FA02
4G015FB02
4G015FC02
4G059AA01
4G059AB06
4G059AC01
4G059AC03
4G059BB04
4J004AA10
4J004AB01
4J004CB03
4J004CC02
4J004FA08
4J040DF021
4J040JA09
4J040JB09
4J040KA03
4J040KA05
4J040LA06
4J040MA05
4J040NA17
4J040PA42
(57)【要約】
【課題】薄ガラスを加工するにあたり、該薄ガラスの割れや欠けの発生を抑制することができる機械加工済み薄ガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、支持体と、剥離型粘着テープと、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラスとがこの順で積層された積層体Ａを準備する工程ａと、前記積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る工程ｂと、前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程ｃと、を含み、前記剥離型粘着テープは、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球を含む。
【選択図】なし
【解決手段】本発明の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、支持体と、剥離型粘着テープと、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラスとがこの順で積層された積層体Ａを準備する工程ａと、前記積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る工程ｂと、前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程ｃと、を含み、前記剥離型粘着テープは、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球を含む。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
支持体と、剥離型粘着テープと、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラスとがこの順で積層された積層体Ａを準備する工程ａと、
前記積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る工程ｂと、
前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程ｃと、
を含み、
前記剥離型粘着テープは、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球を含む、
機械加工済み薄ガラスの製造方法。
前記積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る工程ｂと、
前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程ｃと、
を含み、
前記剥離型粘着テープは、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球を含む、
機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項2】
前記工程ｂにおける前記機械加工が、前記薄ガラス表面の研磨、エッジ処理、エッチング、サンドブラスト加工、洗浄、および溝形成から選択される少なくとも１種である、請求項１に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項3】
前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスは複数枚から構成され、
前記工程ｃは、複数枚の前記機械加工済み薄ガラスを前記積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程である、請求項１に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
前記工程ｃは、複数枚の前記機械加工済み薄ガラスを前記積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程である、請求項１に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項4】
工程ａと工程ｂとの間に、
前記積層体Ａ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ａ－１を得る工程を含み、
工程ｂは、個片化された複数個の前記積層体Ａ－１の少なくとも１つの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂ－１を得る工程であり、
積層体Ｂ－１は、支持体と、剥離型粘着テープと、機械加工済み薄ガラスとがこの順で積層された構造を備える、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
前記積層体Ａ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ａ－１を得る工程を含み、
工程ｂは、個片化された複数個の前記積層体Ａ－１の少なくとも１つの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂ－１を得る工程であり、
積層体Ｂ－１は、支持体と、剥離型粘着テープと、機械加工済み薄ガラスとがこの順で積層された構造を備える、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項5】
工程ｂと工程ｃとの間に、
前記機械加工済み薄ガラスを備える前記積層体Ｂ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ｂ－１を得る工程を含み、
積層体Ｂ－１は、支持体と、剥離型粘着テープと、機械加工済み薄ガラスとがこの順で積層された構造を備える、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
前記機械加工済み薄ガラスを備える前記積層体Ｂ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ｂ－１を得る工程を含み、
積層体Ｂ－１は、支持体と、剥離型粘着テープと、機械加工済み薄ガラスとがこの順で積層された構造を備える、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項6】
工程ａと工程ｂとの間に、
積層体Ａの前記薄ガラスを積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の薄ガラスが接合された積層体Ａ’を得る工程を含む、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
積層体Ａの前記薄ガラスを積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の薄ガラスが接合された積層体Ａ’を得る工程を含む、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項7】
工程ｂと工程ｃとの間に、
積層体Ｂの前記機械加工済み薄ガラスを積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の機械加工済み薄ガラスが接合された積層体Ｂ’を得る工程を含む、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
積層体Ｂの前記機械加工済み薄ガラスを積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の機械加工済み薄ガラスが接合された積層体Ｂ’を得る工程を含む、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項8】
前記薄ガラスは複数枚から構成され、
工程ａは、
前記支持体上に前記剥離型粘着テープを貼り付ける工程ａ－１と、
前記剥離型粘着テープ上に、複数枚の前記薄ガラスをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－２を得る工程ａ－２と、
を含む、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
工程ａは、
前記支持体上に前記剥離型粘着テープを貼り付ける工程ａ－１と、
前記剥離型粘着テープ上に、複数枚の前記薄ガラスをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－２を得る工程ａ－２と、
を含む、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項9】
工程ａ－２の前に、複数枚の前記薄ガラスに予め表面研磨またはエッジ処理を施す工程を含む、請求項８に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項10】
工程ａは、
前記剥離型粘着テープの一方の面に、前記薄ガラスを貼り付けて、薄ガラス付き粘着テープを得る工程ａ－１’と、
前記薄ガラス付き粘着テープを積層方向に切断して、個片化された複数枚の薄ガラス付き粘着テープを得る工程ａ－２’と、
前記支持体上に、個片化された複数枚の前記薄ガラス付き粘着テープをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－３を得る工程ａ－３’と
を含む、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
前記剥離型粘着テープの一方の面に、前記薄ガラスを貼り付けて、薄ガラス付き粘着テープを得る工程ａ－１’と、
前記薄ガラス付き粘着テープを積層方向に切断して、個片化された複数枚の薄ガラス付き粘着テープを得る工程ａ－２’と、
前記支持体上に、個片化された複数枚の前記薄ガラス付き粘着テープをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－３を得る工程ａ－３’と
を含む、請求項３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項11】
剥離型粘着テープは、基材層と、前記基材層の一方の面に設けられた、熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層の他方の面に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備え、
前記機械加工済み薄ガラスは粘着性樹脂層（Ａ）上に貼り付けられており、
工程ｃは、粘着性樹脂層（Ａ）を加熱することにより、前記機械加工済み薄ガラスを前記剥離型粘着テープから剥離する工程である、請求項１に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
前記機械加工済み薄ガラスは粘着性樹脂層（Ａ）上に貼り付けられており、
工程ｃは、粘着性樹脂層（Ａ）を加熱することにより、前記機械加工済み薄ガラスを前記剥離型粘着テープから剥離する工程である、請求項１に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項12】
工程ｃにおける、前記熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）の加熱温度は、前記工程ｂの前記機械加工における温度よりも高い、請求項１１に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項13】
剥離型粘着テープは、基材層と、前記基材層の一方の面に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層の他方の面に設けられた熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備え、
前記薄ガラスは粘着性樹脂層（Ａ）上に貼り付けられており、
工程ｃは、
粘着性樹脂層（Ｂ）を加熱することにより、前記支持体から前記機械加工済み薄ガラスと前記剥離型粘着テープとの積層体を剥離する工程ｃ－１と、
前記積層体の粘着性樹脂層（Ａ）から前記機械加工済み薄ガラスを剥離する工程ｃ－２と、
を含む、請求項１に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
前記薄ガラスは粘着性樹脂層（Ａ）上に貼り付けられており、
工程ｃは、
粘着性樹脂層（Ｂ）を加熱することにより、前記支持体から前記機械加工済み薄ガラスと前記剥離型粘着テープとの積層体を剥離する工程ｃ－１と、
前記積層体の粘着性樹脂層（Ａ）から前記機械加工済み薄ガラスを剥離する工程ｃ－２と、
を含む、請求項１に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項14】
工程ｃ－１における、前記熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）の加熱温度は、前記工程ｂの前記機械加工における加熱温度よりも高い、請求項１３に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項15】
前記熱膨張性微小球は、ガス化して膨張する物質を殻内に内包させた微小球を含む、請求項１１に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
【請求項16】
請求項１～１５のいずれかに記載の機械加工済薄ガラスの製造方法に用いられる剥離型粘着テープであって、粘着性樹脂層（Ａ）と粘着性樹脂層（Ｂ）を備え、少なくとも層（Ａ）ないし層（Ｂ）のいずれかに熱膨張性微小球を含む、剥離型粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、機械加工済み薄ガラスの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
スマートフォンやタブレットなどのモバイル端末や車載ディスプレイ用途にカバーガラスが広く用いられている。カバーガラスは、耐スクラッチ層やAR（反射防止）層、指紋防止層のような機能層を形成したり、研磨・面取り・カッティングといった機械加工を施して用いられている。
【0003】
特許文献１には、厚さ１０～１５０μｍの薄ガラス基板を、基材層の少なくとも一方の側に真空蒸着温度より高い温度で膨張及び／又は発泡を開始する熱膨張性微小球を含有する熱剥離型粘着剤層を有する両面粘着テープを介して支持板に仮固定し、薄ガラス基板上に電極を形成する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】国際公開第２０１０／００４７０３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１において有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法で示されているように、薄ガラス基板は非常に脆いため、薄ガラス基板単体で搬送を行うと、搬送中に薄ガラス基板に「割れ」や「欠け」が発生して歩留まりが低下することがあった。
【0006】
また、近年では該薄ガラス基板に、所望の形状等となるように種々の機械加工が実施されることが増えてきている。しかしながら、このような機械加工においても、薄ガラス基板に「割れ」や「欠け」が発生することがあった。
【0007】
本発明は、薄ガラスを機械加工するにあたり、該薄ガラスの割れや欠けの発生を抑制する機械加工済み薄ガラスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
すなわち本発明は以下に示すことができる。
［１］ 支持体と、剥離型粘着テープと、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラスとがこの順で積層された積層体Ａを準備する工程ａと、
前記積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る工程ｂと、
前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程ｃと、を含み、
前記剥離型粘着テープは、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球を含む、
機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［２］ 前記工程ｂにおける前記機械加工が、前記薄ガラス表面の研磨、エッジ処理、エッチング、サンドブラスト加工、洗浄、および溝形成から選択される少なくとも１種である、［１］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［３］ 前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスは複数枚から構成され、
前記工程ｃは、複数枚の前記機械加工済み薄ガラスを前記積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程である、［１］または［２］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［４］ 工程ａと工程ｂとの間に、
前記積層体Ａ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ａ－１を得る工程を含み、
工程ｂは、個片化された複数個の前記積層体Ａ－１の少なくとも１つの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂ－１を得る工程であり、
積層体Ｂ－１は、支持体と、剥離型粘着テープと、機械加工済み薄ガラスとがこの順で積層された構造を備える、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［５］ 工程ｂと工程ｃとの間に、
前記機械加工済み薄ガラスを備える前記積層体Ｂ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ｂ－１を得る工程を含み、
積層体Ｂ－１は、支持体と、剥離型粘着テープと、機械加工済み薄ガラスとがこの順で積層された構造を備える、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［６］ 工程ａと工程ｂとの間に、
積層体Ａの前記薄ガラスを積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の薄ガラスが接合された積層体Ａ’を得る工程を含む、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［７］ 工程ｂと工程ｃとの間に、
積層体Ｂの前記機械加工済み薄ガラスを積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の機械加工済み薄ガラスが接合された積層体Ｂ’を得る工程を含む、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［８］ 前記薄ガラスは複数枚から構成され、
工程ａは、
前記支持体上に前記剥離型粘着テープを貼り付ける工程ａ－１と、
前記剥離型粘着テープ上に、複数枚の前記薄ガラスをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－２を得る工程ａ－２と、
を含む、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［９］ 工程ａ－２の前に、複数枚の前記薄ガラスに予め表面研磨またはエッジ処理を施す工程を含む、［８］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１０］ 工程ａは、
前記剥離型粘着テープの一方の面に、前記薄ガラスを貼り付けて、薄ガラス付き粘着テープを得る工程ａ－１’と、
前記薄ガラス付き粘着テープを積層方向に切断して、個片化された複数枚の薄ガラス付き粘着テープを得る工程ａ－２’と、
前記支持体上に、個片化された複数枚の前記薄ガラス付き粘着テープをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－３を得る工程ａ－３’と
を含む、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１１］ 剥離型粘着テープは、基材層と、前記基材層の一方の面に設けられた、熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層の他方の面に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備え、
前記機械加工済み薄ガラスは粘着性樹脂層（Ａ）上に貼り付けられており、
工程ｃは、粘着性樹脂層（Ａ）を加熱することにより、前記機械加工済み薄ガラスを前記剥離型粘着テープから剥離する工程である、［１］～［１０］のいずれかに記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１２］ 工程ｃにおける、前記熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）の加熱温度は、前記工程ｂの前記機械加工における温度よりも高い、［１１］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１３］ 剥離型粘着テープは、基材層と、前記基材層の一方の面に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層の他方の面に設けられた熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備え、
前記薄ガラスは粘着性樹脂層（Ａ）上に貼り付けられており、
工程ｃは、
粘着性樹脂層（Ｂ）を加熱することにより、前記支持体から前記機械加工済み薄ガラスと前記剥離型粘着テープとの積層体を剥離する工程ｃ－１と、
前記積層体の粘着性樹脂層（Ａ）から前記機械加工済み薄ガラスを剥離する工程ｃ－２と、
を含む、［１］～［１０］のいずれかに記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１４］ 工程ｃ－１における、前記熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）の加熱温度は、前記工程ｂの前記機械加工における加熱温度よりも高い、［１３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１５］ 前記熱膨張性微小球は、ガス化して膨張する物質を殻内に内包させた微小球を含む、［１１］～［１４］のいずれかに記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１６］ ［１］～［１５］のいずれかに記載の機械加工済薄ガラスの製造方法に用いられる剥離型粘着テープであって、粘着性樹脂層（Ａ）と粘着性樹脂層（Ｂ）を備え、少なくとも層（Ａ）ないし層（Ｂ）のいずれかに熱膨張性微小球を含む、剥離型粘着テープ。
［１］ 支持体と、剥離型粘着テープと、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラスとがこの順で積層された積層体Ａを準備する工程ａと、
前記積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る工程ｂと、
前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程ｃと、を含み、
前記剥離型粘着テープは、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球を含む、
機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［２］ 前記工程ｂにおける前記機械加工が、前記薄ガラス表面の研磨、エッジ処理、エッチング、サンドブラスト加工、洗浄、および溝形成から選択される少なくとも１種である、［１］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［３］ 前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスは複数枚から構成され、
前記工程ｃは、複数枚の前記機械加工済み薄ガラスを前記積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程である、［１］または［２］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［４］ 工程ａと工程ｂとの間に、
前記積層体Ａ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ａ－１を得る工程を含み、
工程ｂは、個片化された複数個の前記積層体Ａ－１の少なくとも１つの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂ－１を得る工程であり、
積層体Ｂ－１は、支持体と、剥離型粘着テープと、機械加工済み薄ガラスとがこの順で積層された構造を備える、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［５］ 工程ｂと工程ｃとの間に、
前記機械加工済み薄ガラスを備える前記積層体Ｂ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ｂ－１を得る工程を含み、
積層体Ｂ－１は、支持体と、剥離型粘着テープと、機械加工済み薄ガラスとがこの順で積層された構造を備える、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［６］ 工程ａと工程ｂとの間に、
積層体Ａの前記薄ガラスを積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の薄ガラスが接合された積層体Ａ’を得る工程を含む、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［７］ 工程ｂと工程ｃとの間に、
積層体Ｂの前記機械加工済み薄ガラスを積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の機械加工済み薄ガラスが接合された積層体Ｂ’を得る工程を含む、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［８］ 前記薄ガラスは複数枚から構成され、
工程ａは、
前記支持体上に前記剥離型粘着テープを貼り付ける工程ａ－１と、
前記剥離型粘着テープ上に、複数枚の前記薄ガラスをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－２を得る工程ａ－２と、
を含む、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［９］ 工程ａ－２の前に、複数枚の前記薄ガラスに予め表面研磨またはエッジ処理を施す工程を含む、［８］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１０］ 工程ａは、
前記剥離型粘着テープの一方の面に、前記薄ガラスを貼り付けて、薄ガラス付き粘着テープを得る工程ａ－１’と、
前記薄ガラス付き粘着テープを積層方向に切断して、個片化された複数枚の薄ガラス付き粘着テープを得る工程ａ－２’と、
前記支持体上に、個片化された複数枚の前記薄ガラス付き粘着テープをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－３を得る工程ａ－３’と
を含む、［３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１１］ 剥離型粘着テープは、基材層と、前記基材層の一方の面に設けられた、熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層の他方の面に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備え、
前記機械加工済み薄ガラスは粘着性樹脂層（Ａ）上に貼り付けられており、
工程ｃは、粘着性樹脂層（Ａ）を加熱することにより、前記機械加工済み薄ガラスを前記剥離型粘着テープから剥離する工程である、［１］～［１０］のいずれかに記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１２］ 工程ｃにおける、前記熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）の加熱温度は、前記工程ｂの前記機械加工における温度よりも高い、［１１］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１３］ 剥離型粘着テープは、基材層と、前記基材層の一方の面に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層の他方の面に設けられた熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備え、
前記薄ガラスは粘着性樹脂層（Ａ）上に貼り付けられており、
工程ｃは、
粘着性樹脂層（Ｂ）を加熱することにより、前記支持体から前記機械加工済み薄ガラスと前記剥離型粘着テープとの積層体を剥離する工程ｃ－１と、
前記積層体の粘着性樹脂層（Ａ）から前記機械加工済み薄ガラスを剥離する工程ｃ－２と、
を含む、［１］～［１０］のいずれかに記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１４］ 工程ｃ－１における、前記熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）の加熱温度は、前記工程ｂの前記機械加工における加熱温度よりも高い、［１３］に記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１５］ 前記熱膨張性微小球は、ガス化して膨張する物質を殻内に内包させた微小球を含む、［１１］～［１４］のいずれかに記載の機械加工済み薄ガラスの製造方法。
［１６］ ［１］～［１５］のいずれかに記載の機械加工済薄ガラスの製造方法に用いられる剥離型粘着テープであって、粘着性樹脂層（Ａ）と粘着性樹脂層（Ｂ）を備え、少なくとも層（Ａ）ないし層（Ｂ）のいずれかに熱膨張性微小球を含む、剥離型粘着テープ。
【発明の効果】
【0009】
本発明の機械加工済み薄ガラスの製造方法によれば、薄ガラスを機械加工するにあたり、該薄ガラスの割れや欠けの発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】支持体と、剥離型粘着テープと、薄ガラスとが積層されてなる積層体の概略側面図である。
【図2】剥離型粘着テープの代表的な例の概略断面図である。
【図3】機械加工済み薄ガラスの剥離工程を示す概略工程図である。
【図4】機械加工済み薄ガラスの剥離工程を示す概略工程図である。
【図5】複数枚の機械加工済み薄ガラスが得られる、第１実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法を示す概略工程図である。
【図6】複数枚の機械加工済み薄ガラスが得られる、第２実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法を示す概略工程図である。
【図7】複数枚の機械加工済み薄ガラスが得られる、第３実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法を示す概略工程図である。
【図8】複数枚の機械加工済み薄ガラスが得られる、第４実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法を示す概略工程図である。
【図9】複数枚の機械加工済み薄ガラスが得られる、第５実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法を示す概略工程図である。
【図10】複数枚の機械加工済み薄ガラスが得られる、第６実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法を示す概略工程図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。また、例えば「１～１０」は特に断りがなければ「１以上」から「１０以下」を表す。
【0012】
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ：支持体と、剥離型粘着テープと、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラスとがこの順で積層された積層体Ａを準備する。
工程ｂ：前記積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する。
工程ａ：支持体と、剥離型粘着テープと、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラスとがこの順で積層された積層体Ａを準備する。
工程ｂ：前記積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する。
【0013】
［工程ａ］
当該工程においては、図１に示すような、支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
前記剥離型粘着テープ２０は、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球を含む。
当該工程においては、図１に示すような、支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
前記剥離型粘着テープ２０は、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球を含む。
【0014】
本実施形態においては、支持体１０上に剥離型粘着テープ２０を貼り付けた後、当剥離型粘着テープ２０の他方の面に薄ガラス３０を貼り付けて積層体Ａを得ることができる。
【0015】
具体的には、まず、支持体１０上に、粘着性フィルム２０を、粘着性樹脂層（Ｂ）が支持体１０側となるように貼着する。粘着性樹脂層（Ｂ）上にはセパレータと称する保護フィルムが貼付けられていてもよく、当該保護フィルムを剥がし、粘着性樹脂層（Ｂ）の露出面を支持体１０表面に貼着することができる。次いで、粘着性フィルム２０の粘着性樹脂層（Ａ）上の保護フィルムを剥がし、粘着性樹脂層（Ａ）の露出面を薄ガラス３０表面に貼着することができる。
【0016】
別の態様として、剥離型粘着テープ２０と薄ガラス３０とを積層した後、当該剥離型粘着テープ２０の他方の面上に支持体１０を貼り付けて積層体Ａを得ることができる。
【0017】
具体的には、まず、粘着性フィルム２０の粘着性樹脂層（Ａ）上の保護フィルムを剥がし、粘着性樹脂層（Ａ）の露出面に薄ガラス３０を貼着する。次いで、粘着性フィルム２０の粘着性樹脂層（Ｂ）上の保護フィルムを剥がし、支持体１０上に、粘着性フィルム２０を、粘着性樹脂層（Ｂ）が支持体１０側となるように貼着する。
【0018】
薄ガラス３０を粘着性樹脂層（Ａ）の表面に貼り付ける方法としては、例えば、薄ガラス３０の巻回体から順次巻き出して、粘着性樹脂層（Ａ）の表面に載置して仮固定する方法等を挙げることができる。
【0019】
複数個に個片化された薄ガラスを粘着性樹脂層１４の表面に貼り付ける方法としては、例えば、複数個に個片化された薄ガラスが保護フィルムに貼り付いた積層体を巻回体とし、当該積層体の巻回体から順次巻き出して、粘着性樹脂層（Ａ）の表面に載置し、次いで保護フィルムを剥がして一括で仮固定する方法、薄ガラスの巻回体から順次巻き出して、粘着性樹脂層１４の表面に載置し、次いで薄ガラスを個片化する方法等が挙げられる。
【0020】
支持体１０としては、例えば、石英基板、ガラス基板、ＳＵＳ基板等を使用することができる。
薄ガラス３０は、通常厚み１μｍ～２００μｍのものを言う。好ましくは厚み１μｍ～１５０μｍ、さらに好ましくは厚み１μｍ～１００μｍ、とりわけ厚み１μｍ～８０μｍの薄ガラスに対し、好適に用いられる。
薄ガラス３０は、通常厚み１μｍ～２００μｍのものを言う。好ましくは厚み１μｍ～１５０μｍ、さらに好ましくは厚み１μｍ～１００μｍ、とりわけ厚み１μｍ～８０μｍの薄ガラスに対し、好適に用いられる。
【0021】
剥離型粘着テープ２０は、基材層と、基材層の一方の面に設けられた、熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）と、基材層の他方の面に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備えることが好ましい。
別の態様として、一方の表面に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、他方の表面に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の間に中間層を備え、当該中間層が熱膨張性微小球を含むこともできる。このような中間層は、光硬化性樹脂を硬化させてなり、熱膨張性微小球を膨張させて剥離する温度で軟化すると熱膨張性微小球が膨張する際に変形できるため好ましい。
別の態様として、一方の表面に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、他方の表面に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の間に中間層を備え、当該中間層が熱膨張性微小球を含むこともできる。このような中間層は、光硬化性樹脂を硬化させてなり、熱膨張性微小球を膨張させて剥離する温度で軟化すると熱膨張性微小球が膨張する際に変形できるため好ましい。
【0022】
さらに他の態様として、何れかに微小球を含む、粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）をドライラミネート等により直接積層し、粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の何れかに微小球を含む２層構造の剥離型粘着テープとすることもできる。
【0023】
前記剥離型粘着テープ２０は、具体的に以下の層構成を採用することができる。剥離型粘着テープ２０は、粘着性樹脂層（Ｂ）を介して支持体１０上に貼り付けられ、粘着性樹脂層（Ａ）上に薄ガラス３０が積層される。
（１）熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）／粘着性樹脂層（Ｂ）
（２）粘着性樹脂層（Ａ）／熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）
（３）熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）／基材層／粘着性樹脂層（Ｂ）
（４）粘着性樹脂層（Ａ）／基材層／熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）
（５）粘着性樹脂層（Ａ）／熱膨張性微小球を含む中間層／粘着性樹脂層（Ｂ）
（６）熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）／中間層／基材層／粘着性樹脂層（Ｂ）
（７）熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）／基材層／中間層／粘着性樹脂層（Ｂ）
（８）粘着性樹脂層（Ａ）／中間層／基材層／熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）
（９）粘着性樹脂層（Ａ）／基材層／中間層／熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）
（１）熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）／粘着性樹脂層（Ｂ）
（２）粘着性樹脂層（Ａ）／熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）
（３）熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）／基材層／粘着性樹脂層（Ｂ）
（４）粘着性樹脂層（Ａ）／基材層／熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）
（５）粘着性樹脂層（Ａ）／熱膨張性微小球を含む中間層／粘着性樹脂層（Ｂ）
（６）熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）／中間層／基材層／粘着性樹脂層（Ｂ）
（７）熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ａ）／基材層／中間層／粘着性樹脂層（Ｂ）
（８）粘着性樹脂層（Ａ）／中間層／基材層／熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）
（９）粘着性樹脂層（Ａ）／基材層／中間層／熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層（Ｂ）
【0024】
図２に、剥離型粘着テープ２０の代表的な層構成である前記層構成（６）および（７）を示す。
層構成（６）は、図２に示すように、基材層２２と、基材層２２の第１面２２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ａ）と、基材層２２の第２面２２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、粘着性樹脂層（Ｂ）と基材層２２との間に設けられた中間層２８と、を備える。
層構成（７）は、図２に示すように、基材層２２と、基材層２２の第１面２２ａ側に設けられた、粘着性樹脂層（Ａ）と、基材層２２の第２面２２ｂ側に設けられた熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ｂ）と、粘着性樹脂層（Ｂ）と基材層２２との間に設けられた中間層２８と、を備える
層構成（６）は、図２に示すように、基材層２２と、基材層２２の第１面２２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ａ）と、基材層２２の第２面２２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、粘着性樹脂層（Ｂ）と基材層２２との間に設けられた中間層２８と、を備える。
層構成（７）は、図２に示すように、基材層２２と、基材層２２の第１面２２ａ側に設けられた、粘着性樹脂層（Ａ）と、基材層２２の第２面２２ｂ側に設けられた熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ｂ）と、粘着性樹脂層（Ｂ）と基材層２２との間に設けられた中間層２８と、を備える
【0025】
剥離型粘着テープ２０を構成する各層および熱膨張性微小球ａについては後述する。
【0026】
［工程ｂ］
工程ｂにおいては、工程ａで得られた積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る。
前記機械加工としては、前記薄ガラス表面の研磨、エッジ処理、エッチング、サンドブラスト加工、洗浄、溝形成等が挙げられ、これらから選択される１種または2種以上の機械加工を組み合わせることができる。
工程ｂにおいては、工程ａで得られた積層体Ａの前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂを得る。
前記機械加工としては、前記薄ガラス表面の研磨、エッジ処理、エッチング、サンドブラスト加工、洗浄、溝形成等が挙げられ、これらから選択される１種または2種以上の機械加工を組み合わせることができる。
【0027】
（研磨）
薄ガラス表面の研磨は、α－アルミナ、ダイヤモンドクロス、酸化セリウム、酸化チタン等の研磨粒子を水や有機溶剤に分散した研磨組成物を用いて行うことができる。研磨粒子の平均粒子径は０．１μｍ～数μｍ程度である。具体的には、薄ガラス表面に前記研磨組成物を滴下し、電動ポリッシャー等を用いてバフ等を回転させ、薄ガラス表面を研磨粒子で研磨することができる。
研磨工程の後、研磨組成物や研磨液を除去するために、薄ガラス表面を水や有機溶剤で洗浄することが好ましい。
薄ガラス表面の研磨は、α－アルミナ、ダイヤモンドクロス、酸化セリウム、酸化チタン等の研磨粒子を水や有機溶剤に分散した研磨組成物を用いて行うことができる。研磨粒子の平均粒子径は０．１μｍ～数μｍ程度である。具体的には、薄ガラス表面に前記研磨組成物を滴下し、電動ポリッシャー等を用いてバフ等を回転させ、薄ガラス表面を研磨粒子で研磨することができる。
研磨工程の後、研磨組成物や研磨液を除去するために、薄ガラス表面を水や有機溶剤で洗浄することが好ましい。
【0028】
（エッジ処理）
薄ガラスのエッジ処理（エッジ加工）としては、上面周縁端部のエッジを削り取る処理（糸面加工）や、側面を丸く加工することでエッジを削り取る処理（Ｒ加工）等を挙げることができる。エッジ処理を施すことにより、上面周縁端部のエッジや側面が滑らかな形状となることから薄ガラスのハンドリング性に優れ、その後の機械加工済み薄ガラスの生産効率や製品としての安全性が改善される。
薄ガラスのエッジ処理はディスクグラインダー等の研磨装置を用いて行うことができる。
本実施形態の薄ガラスのエッジ処理は、後述の工程において、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の機械加工済み薄ガラスが搭載されている場合に、複数個の機械加工済み薄ガラスに対してエッジ処理を行うこともできる。
薄ガラスのエッジ処理（エッジ加工）としては、上面周縁端部のエッジを削り取る処理（糸面加工）や、側面を丸く加工することでエッジを削り取る処理（Ｒ加工）等を挙げることができる。エッジ処理を施すことにより、上面周縁端部のエッジや側面が滑らかな形状となることから薄ガラスのハンドリング性に優れ、その後の機械加工済み薄ガラスの生産効率や製品としての安全性が改善される。
薄ガラスのエッジ処理はディスクグラインダー等の研磨装置を用いて行うことができる。
本実施形態の薄ガラスのエッジ処理は、後述の工程において、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の機械加工済み薄ガラスが搭載されている場合に、複数個の機械加工済み薄ガラスに対してエッジ処理を行うこともできる。
【0029】
（エッチング）
薄ガラスのエッチングは、例えば、薄ガラスの表面に樹脂組成物を塗布し、これを硬化させてレジスト膜を形成する工程と、薄ガラス表面のエッチングにより除去したい領域が露出するように当該レジスト膜をパターニングする工程と、パターニングされたレジスト膜を介して薄ガラスをエッチングする工程と、を含む。
エッチングする工程においては、フッ化水素酸水溶液やフッ化水素酸水溶液と強酸との混合物のエッチング液等を用いることができる。薄ガラスをエッチング液に浸漬して露出している薄ガラス部分をエッチングし、パターニングされたレジスト膜に被覆されていない薄ガラスが除去される。薄ガラスのエッチングにおいて腐食作用は等方性であり、全方向に進行する。
薄ガラスのエッチングにより、薄ガラスに所望の溝や段差を設け、後述する薄ガラスの複数個に個片化する切断工程において切断位置を予め示すとともに、さらに切断を容易に進行させることができる。さらに、配線や電極等を埋め込むこともできる
薄ガラスのエッチングは、例えば、薄ガラスの表面に樹脂組成物を塗布し、これを硬化させてレジスト膜を形成する工程と、薄ガラス表面のエッチングにより除去したい領域が露出するように当該レジスト膜をパターニングする工程と、パターニングされたレジスト膜を介して薄ガラスをエッチングする工程と、を含む。
エッチングする工程においては、フッ化水素酸水溶液やフッ化水素酸水溶液と強酸との混合物のエッチング液等を用いることができる。薄ガラスをエッチング液に浸漬して露出している薄ガラス部分をエッチングし、パターニングされたレジスト膜に被覆されていない薄ガラスが除去される。薄ガラスのエッチングにおいて腐食作用は等方性であり、全方向に進行する。
薄ガラスのエッチングにより、薄ガラスに所望の溝や段差を設け、後述する薄ガラスの複数個に個片化する切断工程において切断位置を予め示すとともに、さらに切断を容易に進行させることができる。さらに、配線や電極等を埋め込むこともできる
【0030】
（サンドブラスト加工）
薄ガラスのサンドブラスト加工は、薄ガラス表面に圧縮エア等で研磨材を吹き付ける加工法であり、薄ガラス表面をすりガラス状に加工したり、所定の部分を処理することで溝を形成することもできる。研磨材としては、砂、ガラスビーズ等を挙げることができる。研磨材の平均粒子径は５μｍ～１００μｍ程度である。目的や研磨量に応じて研磨材の種類や粒子径を選択することができる。
薄ガラスのサンドブラスト加工は、薄ガラス表面に圧縮エア等で研磨材を吹き付ける加工法であり、薄ガラス表面をすりガラス状に加工したり、所定の部分を処理することで溝を形成することもできる。研磨材としては、砂、ガラスビーズ等を挙げることができる。研磨材の平均粒子径は５μｍ～１００μｍ程度である。目的や研磨量に応じて研磨材の種類や粒子径を選択することができる。
【0031】
（洗浄）
薄ガラスの表面を、洗浄装置を用いて水や有機溶剤等により洗浄することができる。これにより、薄ガラスの表面に存在するゴミや油分等を除去することができ。
また、薄ガラスの表面を、フッ化水素酸等を含むガラス洗浄液で洗浄することもできる。フッ化水素酸のガラス表面を浸食する性質を利用して、極めて清浄な表面を要求される薄ガラスを製造する場合に利用することができる。
薄ガラスの表面を、洗浄装置を用いて水や有機溶剤等により洗浄することができる。これにより、薄ガラスの表面に存在するゴミや油分等を除去することができ。
また、薄ガラスの表面を、フッ化水素酸等を含むガラス洗浄液で洗浄することもできる。フッ化水素酸のガラス表面を浸食する性質を利用して、極めて清浄な表面を要求される薄ガラスを製造する場合に利用することができる。
【0032】
（溝形成）
薄ガラスに機械加工により溝を形成することができる。溝を設けることにより、後述する薄ガラスの複数個に個片化する切断工程において切断位置を予め示すことができ、さらに切断を容易に進行させることができる。
薄ガラスに溝を形成するには、上述のエッチングやサンドブラスト加工により行うこともでき、さらにディスクグラインダー等による機械加工や、レーザー光を照射することで表面に溝を形成することができる。
レーザー光としては、ＡｒＦエキシマレーザー、ＫｒＦエキシマレーザー、ＸｅＣｌエキシマレーザー、ＹＡＧレーザー、ＹＬＦ若しくはＹＶＯ４の固体レーザー、Ｔｉ：Ｓレーザー、半導体レーザー、ファイバーレーザーや炭酸ガスレーザー等が挙げられる。
薄ガラスに機械加工により溝を形成することができる。溝を設けることにより、後述する薄ガラスの複数個に個片化する切断工程において切断位置を予め示すことができ、さらに切断を容易に進行させることができる。
薄ガラスに溝を形成するには、上述のエッチングやサンドブラスト加工により行うこともでき、さらにディスクグラインダー等による機械加工や、レーザー光を照射することで表面に溝を形成することができる。
レーザー光としては、ＡｒＦエキシマレーザー、ＫｒＦエキシマレーザー、ＸｅＣｌエキシマレーザー、ＹＡＧレーザー、ＹＬＦ若しくはＹＶＯ４の固体レーザー、Ｔｉ：Ｓレーザー、半導体レーザー、ファイバーレーザーや炭酸ガスレーザー等が挙げられる。
【0033】
［工程ｃ］
当該工程においては、工程ｂで得られた積層体Ｂの前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する。
前記剥離型粘着テープは、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球ａを含むことから機械加工済み薄ガラスを前記剥離型粘着テープから容易に剥離することができる。当該観点から、粘着性樹脂層（Ａ）または粘着性樹脂層（Ｂ）に熱膨張性微小球ａを含むことが好ましい。
当該工程においては、工程ｂで得られた積層体Ｂの前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する。
前記剥離型粘着テープは、前記薄ガラス側の面に粘着性樹脂層（Ａ）を、前記支持体側の面に粘着性樹脂層（Ｂ）を備える複数層からなり、当該複数層の少なくとも1つの層に熱膨張性微小球ａを含むことから機械加工済み薄ガラスを前記剥離型粘着テープから容易に剥離することができる。当該観点から、粘着性樹脂層（Ａ）または粘着性樹脂層（Ｂ）に熱膨張性微小球ａを含むことが好ましい。
【0034】
具体的には、剥離型粘着テープ２０が、図２の層構成（６）である場合、すなわち、基材層２２と、前記基材層２２の一方の面に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層２２の他方の面に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備える場合、工程ｃは、図３（ａ）（ｂ）に示すように、粘着性樹脂層（Ａ）を加熱することにより、機械加工済み薄ガラス３０’を剥離型粘着テープ２０から剥離することができる。機械加工済み薄ガラス３０’は図示しない機能層が薄ガラス上に設けられていてもよい。
本実施形態においては、機械加工済み薄ガラスに熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ａ）が貼り付けられているため、機械加工済み薄ガラスから粘着性フィルムを容易に剥離することができる。
本実施形態においては、機械加工済み薄ガラスに熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ａ）が貼り付けられているため、機械加工済み薄ガラスから粘着性フィルムを容易に剥離することができる。
【0035】
また、剥離型粘着テープ２０が、図２の層構成（７）である場合、すなわち、基材層２２と、前記基材層２２の一方の面に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層２２の他方の面に設けられた熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ｂ）と、を備える場合、工程ｃは、粘着性樹脂層（Ｂ）を加熱することにより、支持体１０から機械加工済み薄ガラス３０’と剥離型粘着テープ２０との積層体を剥離する工程ｃ－１（図４（ａ）（ｂ））と、
前記積層体の粘着性樹脂層（Ａ）から機械加工済み薄ガラス３０’を剥離する工程ｃ－２（図４（ｃ）と、
を含むことができる。
前記積層体の粘着性樹脂層（Ａ）から機械加工済み薄ガラス３０’を剥離する工程ｃ－２（図４（ｃ）と、
を含むことができる。
【0036】
本実施形態においては、支持体１０上に熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ｂ）が貼り付けられているため、支持体１０から薄ガラス付き粘着性フィルムを容易に剥離することができる。
【0037】
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスは前記剥離型粘着テープ上に貼り付けられた複数枚から構成されていることが好ましく、前記工程ｃは、複数枚の前記機械加工済み薄ガラスを前記積層体Ｂの前記剥離型粘着テープから剥離する工程を含むことが好ましい。
以下、薄ガラスまたは機械加工済み薄ガラスが複数枚から構成されている態様について、第１実施形態～第６実施形態により説明する。なお、前記工程と同様の工程については説明を省略する。
以下、薄ガラスまたは機械加工済み薄ガラスが複数枚から構成されている態様について、第１実施形態～第６実施形態により説明する。なお、前記工程と同様の工程については説明を省略する。
【0038】
［第１実施形態］
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ：支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
工程ａ’：前記積層体Ａ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ａ－１を得る（図５（ａ））。
工程ｂ：前記積層体Ａ－１の前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂ－１を得る（図５（ｂ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂ－１の前記剥離型粘着テープから剥離する。
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ：支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
工程ａ’：前記積層体Ａ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ａ－１を得る（図５（ａ））。
工程ｂ：前記積層体Ａ－１の前記薄ガラスに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラスを備える積層体Ｂ－１を得る（図５（ｂ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラスを、積層体Ｂ－１の前記剥離型粘着テープから剥離する。
【0039】
工程ａ’においては、図５（ａ）に示すように、前記積層体Ａ全体を積層方向に切断する。切断するには、ダイヤモンドカッター等の切削手段を用いることができる。
当該切断により、個片化された複数個の積層体Ａ－１が得られる。積層体Ａ－１の形状は上面視において短冊状、正方形、長方形等であってもよく、用途に応じて決定することができる。
当該切断により、個片化された複数個の積層体Ａ－１が得られる。積層体Ａ－１の形状は上面視において短冊状、正方形、長方形等であってもよく、用途に応じて決定することができる。
【0040】
次いで、前述の工程ｂと同様にして、図５（ｂ）に示すように、複数個の積層体Ａ－１の薄ガラス３０ａに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０ａ'を備える積層体Ｂ－１を得る。複数個の積層体Ｂ－１は、支持体１０ａと、剥離型粘着テープ２０ａと、薄ガラス３０ａ'とが積層された構造を備える。
そして、前述の工程ｃと同様にして、機械加工済み薄ガラス３０ａ'を、積層体Ｂ－１の前記剥離型粘着テープから剥離し、機械加工済み薄ガラスを得ることができる。
そして、前述の工程ｃと同様にして、機械加工済み薄ガラス３０ａ'を、積層体Ｂ－１の前記剥離型粘着テープから剥離し、機械加工済み薄ガラスを得ることができる。
【0041】
［第２実施形態］
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ：支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
工程ｂ：前記積層体Ａの前記薄ガラス３０に機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０'を備える積層体Ｂを得る。
工程ｂ’：前記機械加工済み薄ガラス３０'を備える前記積層体Ｂ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ｂ－１を得る（図６（ａ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ'を、積層体Ｂ－１の前記剥離型粘着テープから剥離する（図６（ｂ））。
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ：支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
工程ｂ：前記積層体Ａの前記薄ガラス３０に機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０'を備える積層体Ｂを得る。
工程ｂ’：前記機械加工済み薄ガラス３０'を備える前記積層体Ｂ全体を積層方向に切断して、個片化された複数個の積層体Ｂ－１を得る（図６（ａ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ'を、積層体Ｂ－１の前記剥離型粘着テープから剥離する（図６（ｂ））。
【0042】
工程ｂにおいては、前述の工程ｂと同様にして、複数個の積層体Ａの薄ガラス３０に機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０’を備える積層体Ｂを得る。
工程ｂ’においては、図６（ａ）に示すように、工程ａおよび工程ｂにより得られた機械加工済み薄ガラス３０’を備える積層体Ｂ全体を積層方向に切断し、複数個の積層体Ｂ－１を得る。切断するには、ダイヤモンドカッター等の切削手段を用いることができる。
工程ｂ’においては、図６（ａ）に示すように、工程ａおよび工程ｂにより得られた機械加工済み薄ガラス３０’を備える積層体Ｂ全体を積層方向に切断し、複数個の積層体Ｂ－１を得る。切断するには、ダイヤモンドカッター等の切削手段を用いることができる。
【0043】
当該切断により、個片化された複数個の積層体Ｂ－１が得られる。積層体Ｂ－１の形状は上面視において短冊状、正方形、長方形等であってもよく、用途に応じて決定することができる。
工程ｂ’で得られた、個片化された複数個の積層体Ｂ－１は、支持体１０ａと、剥離型粘着テープ２０ａと、機械加工済み薄ガラス３０ａ'とが積層された構造を備える。
そして、前述の工程ｃと同様にして、機械加工済み薄ガラス３０ａ'を、積層体Ｂ－１の前記剥離型粘着テープ２０から剥離し、機械加工済み薄ガラスを得ることができる。
工程ｂ’で得られた、個片化された複数個の積層体Ｂ－１は、支持体１０ａと、剥離型粘着テープ２０ａと、機械加工済み薄ガラス３０ａ'とが積層された構造を備える。
そして、前述の工程ｃと同様にして、機械加工済み薄ガラス３０ａ'を、積層体Ｂ－１の前記剥離型粘着テープ２０から剥離し、機械加工済み薄ガラスを得ることができる。
【0044】
［第３実施形態］
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ：支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
工程ａ’： 積層体Ａの薄ガラス３０を積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ２０上に個片化された複数個の薄ガラス３０ａが接合された積層体Ａ’を得る（図７（ａ））。
工程ｂ：前記積層体Ａ’の前記薄ガラス３０ａに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０ａ’を備える積層体Ｂ’を得る（図７（ｂ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ’の前記剥離型粘着テープから剥離する。
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ：支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
工程ａ’： 積層体Ａの薄ガラス３０を積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ２０上に個片化された複数個の薄ガラス３０ａが接合された積層体Ａ’を得る（図７（ａ））。
工程ｂ：前記積層体Ａ’の前記薄ガラス３０ａに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０ａ’を備える積層体Ｂ’を得る（図７（ｂ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ’の前記剥離型粘着テープから剥離する。
【0045】
工程ａ’は、薄ガラス３０に機械加工を施す前に、工程ａで準備された積層体Ａの薄ガラス３０を積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ２０上に個片化された複数個の薄ガラス３０ａを備える積層体Ａ’を得る（図７（ａ））。薄ガラス３０を切断するには、ダイヤモンドカッター等の切削手段を用いることができる。当該切断により、剥離型粘着テープ２０上に、個片化された複数個の薄ガラス３０ａが得られる。複数個の薄ガラス３０ａの形状は上面視において短冊状、正方形、長方形等であってもよく、用途に応じて決定することができる。
【0046】
次いで、前述の工程ｂと同様にして、図７（ｂ）に示すように、積層体Ａ’の前記薄ガラス３０ａに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０ａ’を備える積層体Ｂ’を得る。積層体Ｂ’は、支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、個片化された複数個の薄ガラス３０ａ’とが積層された構造を備える。
【0047】
工程ｃにおいて、前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ’の前記剥離型粘着テープ２０から剥離して次工程に搬送される。この際、真空吸着や治具など公知の方法を用いて搬送することができる。
【0048】
［第４実施形態］
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ：支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
工程ｂ：前記積層体Ａの前記薄ガラス３０に機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０’を備える積層体Ｂを得る。
工程ｂ’：積層体Ｂの前記機械加工済み薄ガラス３０’を積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’が接合された積層体Ｂ’を得る（図８（ａ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ’の前記剥離型粘着テープから剥離する（図８（ｂ））。
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ：支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、厚み１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０とが積層された積層体Ａを準備する。
工程ｂ：前記積層体Ａの前記薄ガラス３０に機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０’を備える積層体Ｂを得る。
工程ｂ’：積層体Ｂの前記機械加工済み薄ガラス３０’を積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ上に個片化された複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’が接合された積層体Ｂ’を得る（図８（ａ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ’の前記剥離型粘着テープから剥離する（図８（ｂ））。
【0049】
工程ｂ’は、第３実施形態とは異なり、工程ａおよび工程ｂにより得られた積層体Ｂの機械加工済み薄ガラス３０’を前記剥離型粘着テープ２０上で積層方向に切断し、前記剥離型粘着テープ２０上に個片化された複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’を設ける（図８（ａ））。
切断するには、ダイヤモンドカッター等の切削手段を用いることができる。
当該切断により、個片化された複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’が得られる。機械加工済み薄ガラス３０ａ’の形状は上面視において短冊状、正方形、長方形等であってもよく、用途に応じて決定することができる。
切断するには、ダイヤモンドカッター等の切削手段を用いることができる。
当該切断により、個片化された複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’が得られる。機械加工済み薄ガラス３０ａ’の形状は上面視において短冊状、正方形、長方形等であってもよく、用途に応じて決定することができる。
【0050】
次いで、工程ｃにおいて、個片化された複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ’の前記剥離型粘着テープから剥離して次工程に搬送される。この際、真空吸着や治具など公知の方法を用いて搬送することができる。
【0051】
［第５実施形態］
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ－１：前記支持体１０上に前記剥離型粘着テープ２０を貼り付ける。
工程ａ－２：前記剥離型粘着テープ２０上に、複数枚の前記薄ガラス３０ａをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－２を得る（図９（ａ））。
工程ｂ：前記積層体Ａ－２の複数枚の前記薄ガラス３０ａに機械加工を施して、剥離型粘着テープ２０上に貼り付けられた複数枚の機械加工済み薄ガラス３０ａ’を備える積層体Ｂ－２を得る（図９（ｂ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ－２の前記剥離型粘着テープから剥離する（図９（ｃ））。
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ－１：前記支持体１０上に前記剥離型粘着テープ２０を貼り付ける。
工程ａ－２：前記剥離型粘着テープ２０上に、複数枚の前記薄ガラス３０ａをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－２を得る（図９（ａ））。
工程ｂ：前記積層体Ａ－２の複数枚の前記薄ガラス３０ａに機械加工を施して、剥離型粘着テープ２０上に貼り付けられた複数枚の機械加工済み薄ガラス３０ａ’を備える積層体Ｂ－２を得る（図９（ｂ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ－２の前記剥離型粘着テープから剥離する（図９（ｃ））。
【0052】
工程ａ－１においては、前述の工程ａに記載のように、支持体１０上に、粘着性フィルム２０を貼り付ける。
【0053】
工程ａ－２は、具体的には、複数個に個片化された薄ガラス３０ａが貼り付けられた樹脂フィルム付き薄ガラスの巻回体から順次巻き出して、粘着性樹脂層（Ａ）の表面に薄ガラス３０ａが対向するように載置し、次いで樹脂フィルム付き薄ガラスから樹脂フィルムを剥離して、剥離型粘着テープ２０上に、複数枚の前記薄ガラス３０ａをマトリックス状に貼り付ける方法や、または個片化された複数の薄ガラス３０ａを順次載置する方法が挙げられる。複数個に個片化された薄ガラス３０ａの形状は上面視において短冊状、正方形、長方形等であってもよく、用途に応じて決定することができる。
【0054】
次いで、前述の工程ｂと同様にして、図９（ｂ）に示すように、積層体Ａ－２の複数枚の前記薄ガラス３０ａに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０ａ’を備える積層体Ｂ－２を得る。積層体Ｂ－２は、支持体１０と、剥離型粘着テープ２０と、個片化された複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’とが積層された構造を備える。
【0055】
次いで、工程ｃにおいて、個片化された複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ－２の前記剥離型粘着テープ２０から剥離し（図９（ｃ））、次工程に搬送される。この際、真空吸着や治具など公知の方法を用いて搬送することができる。
【0056】
［第６実施形態］
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ－１’：前記剥離型粘着テープ２０の一方の面に、前記薄ガラス３０を貼り付けて、薄ガラス付き粘着テープを得る。
工程ａ－２’前記薄ガラス３０付き粘着テープ２０を積層方向に切断して、個片化された複数枚の薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａを得る工程ａ－２’と、
工程ａ－３’前記支持体１０上に、個片化された複数枚の前記薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－３を得る（図１０（ａ））。
工程ｂ：前記積層体Ａ－３の前記薄ガラス３０ａに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０ａ’を備える積層体Ｂ－３を得る（図１０（ｂ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ－３の前記剥離型粘着テープ２０ａから剥離する（図１０（ｃ））。
本実施形態の機械加工済み薄ガラスの製造方法は、以下の工程を含む。
工程ａ－１’：前記剥離型粘着テープ２０の一方の面に、前記薄ガラス３０を貼り付けて、薄ガラス付き粘着テープを得る。
工程ａ－２’前記薄ガラス３０付き粘着テープ２０を積層方向に切断して、個片化された複数枚の薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａを得る工程ａ－２’と、
工程ａ－３’前記支持体１０上に、個片化された複数枚の前記薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－３を得る（図１０（ａ））。
工程ｂ：前記積層体Ａ－３の前記薄ガラス３０ａに機械加工を施して、機械加工済み薄ガラス３０ａ’を備える積層体Ｂ－３を得る（図１０（ｂ））。
工程ｃ：前記機械加工の施された前記機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ－３の前記剥離型粘着テープ２０ａから剥離する（図１０（ｃ））。
【0057】
工程ａ－１’においては、前述の工程ａに記載のように、剥離型粘着テープ２０の一方の面に、前記薄ガラス３０を貼り付けて、薄ガラス付き粘着テープを得る。
【0058】
工程ａ－２’は、工程ａ－１’で得られた薄ガラス付き粘着テープを、薄ガラス面を樹脂フィルム上に貼り付けて仮固定して、当該薄ガラス付き粘着テープを粘着テープ側から積層方向に切断することができる。これにより、複数個に個片化された薄ガラス付き粘着テープが樹脂フィルム貼り付けられた積層体を得ることができる。
切断するには、ダイヤモンドカッター等の切削手段を用いることができる。
当該切断により、個片化された複数個の薄ガラス付き粘着テープが得られる。薄ガラス付き粘着テープの形状は上面視において短冊状、正方形、長方形等であってもよく、用途に応じて決定することができる。
切断するには、ダイヤモンドカッター等の切削手段を用いることができる。
当該切断により、個片化された複数個の薄ガラス付き粘着テープが得られる。薄ガラス付き粘着テープの形状は上面視において短冊状、正方形、長方形等であってもよく、用途に応じて決定することができる。
【0059】
工程ａ－３’は、支持体上に、個片化された複数枚の前記薄ガラス付き粘着テープをマトリックス状に貼り付けて、積層体Ａ－３を得る（図１０（ａ））。
具体的には、複数個に個片化された薄ガラス付き粘着テープが貼り付けられた樹脂フィルムの巻回体から順次巻き出して、支持体１０の表面に薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａを載置し、次いで薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａから樹脂フィルムを剥離して、基材１０上に、複数枚の薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａをマトリックス状に貼り付ける方法や、または個片化された複数の薄ガラス付き粘着テープを順次載置する方法が挙げられる。
具体的には、複数個に個片化された薄ガラス付き粘着テープが貼り付けられた樹脂フィルムの巻回体から順次巻き出して、支持体１０の表面に薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａを載置し、次いで薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａから樹脂フィルムを剥離して、基材１０上に、複数枚の薄ガラス３０ａ付き粘着テープ２０ａをマトリックス状に貼り付ける方法や、または個片化された複数の薄ガラス付き粘着テープを順次載置する方法が挙げられる。
【0060】
次いで、前述の工程ｂと同様にして、図１０（ｂ）に示すように、積層体Ａ－３の複数枚の前記薄ガラス３０ａに機械加工を施して、粘着テープ２０ａ上に機械加工済み薄ガラス３０ａ’を備える積層体Ｂ－３を得る。積層体Ｂ－２は、支持体１０と、剥離型粘着テープ２０ａと、個片化された複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’とが積層された構造を備える。
【0061】
次いで、工程ｃにおいて、複数個の機械加工済み薄ガラス３０ａ’を、積層体Ｂ－３の前記剥離型粘着テープ２０ａから剥離し（図１０（ｃ））、次工程に搬送される。この際、真空吸着や治具など公知の方法を用いて搬送することができる。
【0062】
以下、剥離型粘着テープ２０を構成する層および熱膨張性微小球ａについて説明する。
【0063】
（基材層２２）
剥離型粘着テープ２０を構成する基材層２２は、剥離型粘着テープ２０の取り扱い性や機械的特性、耐熱性等の特性をより良好にすることを目的として設けられる層である。
基材層２２は特に限定されないが、例えば、樹脂フィルムが挙げられる。
剥離型粘着テープ２０を構成する基材層２２は、剥離型粘着テープ２０の取り扱い性や機械的特性、耐熱性等の特性をより良好にすることを目的として設けられる層である。
基材層２２は特に限定されないが、例えば、樹脂フィルムが挙げられる。
【0064】
樹脂フィルムを構成する樹脂としては、公知の熱可塑性樹脂を挙げることができる。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ（４－メチル－１－ペンテン）、ポリ（１－ブテン）等のポリオレフィン；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ナイロン－６、ナイロン－６６、ポリメタキシレンアジパミド等のポリアミド；ポリアクリレート；ポリメタアクリレート；ポリ塩化ビニル；ポリ塩化ビニリデン；ポリイミド；ポリエーテルイミド；エチレン・酢酸ビニル共重合体；ポリアクリロニトリル；ポリカーボネート；ポリスチレン；アイオノマー；ポリスルホン；ポリエーテルスルホン；ポリフェニレンエーテル等から選択される一種または二種以上を挙げることができる。
【0065】
これらの中でも、透明性や機械的強度、価格等のバランスに優れる観点から、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミドから選択される一種または二種以上が好ましく、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートから選択される少なくとも一種がより好ましい。
【0066】
基材層２２は、単層であっても、二種以上の層であってもよい。
また、基材層２２を形成するために使用する樹脂フィルムの形態としては、延伸フィルムであってもよいし、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであってもよいが、基材層２２の機械的強度を向上させる観点から、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであることが好ましい。
また、基材層２２を形成するために使用する樹脂フィルムの形態としては、延伸フィルムであってもよいし、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであってもよいが、基材層２２の機械的強度を向上させる観点から、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであることが好ましい。
【0067】
基材層２２の厚さは、良好なフィルム特性を得る観点から、好ましくは１μｍ以上５００μｍ以下、より好ましくは５μｍ以上３００μｍ以下、さらに好ましくは１０μｍ以上２５０μｍ以下である。
基材層２２は、他の層との接着性を改良するために、表面処理を行ってもよい。具体的には、コロナ処理、プラズマ処理、アンダーコート処理、プライマーコート処理等を行ってもよい。
基材層２２は、他の層との接着性を改良するために、表面処理を行ってもよい。具体的には、コロナ処理、プラズマ処理、アンダーコート処理、プライマーコート処理等を行ってもよい。
【0068】
［熱膨張性微小球ａ］
粘着性樹脂層（Ａ）、粘着性樹脂層（Ｂ）または中間層２８は、熱膨張性微小球ａを含むことができ加熱剥離型の粘着性樹脂層である。これにより、加熱により剥離型粘着テープ２０から薄ガラス３０または支持体１０を容易に剥離することができる。
粘着性樹脂層（Ａ）、粘着性樹脂層（Ｂ）または中間層２８は、熱膨張性微小球ａを含むことができ加熱剥離型の粘着性樹脂層である。これにより、加熱により剥離型粘着テープ２０から薄ガラス３０または支持体１０を容易に剥離することができる。
【0069】
熱膨張性微小球ａとしては、例えば、マイクロカプセル化されている発泡剤を用いることができる。このような熱膨張性の微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタン等の加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球等が挙げられる。上記殻を構成する材料として、例えば、塩化ビニリデン－アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホン等が挙げられる。熱膨張性の微小球は、例えば、コアセルベーション法や、界面重合法等により製造することができる。
【0070】
熱膨張性微小球ａの含有量は、粘着性樹脂層（Ａ）、粘着性樹脂層（Ｂ）または中間層２８の膨張倍率や粘着力の低下性等に応じて適宜設定することができ、特に限定されないが、これらの層を構成する樹脂１００質量部に対して、例えば１質量部以上１５０質量部以下、好ましくは１０質量部以上１３０質量部以下、さらに好ましくは１２質量部以上１００質量部以下である。
気体が発生する温度や熱膨張性の微小球が熱膨張する温度が、１５０℃超または１７０℃超を超える温度になるように設計することが好ましい。
気体が発生する温度や熱膨張性の微小球が熱膨張する温度が、１５０℃超または１７０℃超を超える温度になるように設計することが好ましい。
【0071】
熱膨張性微小球ａの平均粒子径Ｄ５０は、例えば、１μｍ以上４７μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上２７μｍ以下であることがより好ましい。さらに、熱膨張性微小球ａの粒子径Ｄ９９．９は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、３０μｍ以上１８０μｍ以下であることがより好ましい。
熱膨張性微小球ａの平均粒子径は一般的な粒子形状・粒子径分析装置で測定することができ、例えばマイクロトラックＭＴ３０００IIやＦＰＩＡ－３０００、マスターサイザー３０００Ｅなどが挙げられる。
熱膨張性微小球ａの平均粒子径は一般的な粒子形状・粒子径分析装置で測定することができ、例えばマイクロトラックＭＴ３０００IIやＦＰＩＡ－３０００、マスターサイザー３０００Ｅなどが挙げられる。
【0072】
（粘着性樹脂層（Ａ））
本粘着性樹脂層（Ａ）は、例えば、薄ガラス３０の加工工程において薄ガラス３０の表面に接触して薄ガラスを仮固定するための層である。
本粘着性樹脂層（Ａ）は、例えば、薄ガラス３０の加工工程において薄ガラス３０の表面に接触して薄ガラスを仮固定するための層である。
【0073】
粘着性樹脂層（Ａ）を構成する粘着性樹脂（Ａ１）としては、例えば、（メタ）アクリル系樹脂（ａ）、ウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、フッ素系樹脂、スチレン－ジエンブロック共重合体系樹脂等を挙げることができる。これらの中でも（メタ）アクリル系樹脂（ａ）が好ましい。
【0074】
粘着性樹脂層（Ａ）に使用される（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ａ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー単位（ａ２）を含む共重合体が挙げられる。
本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
【0075】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）は、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー（ａ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ａ２）を含むモノマー混合物を共重合することにより得ることができる。
【0076】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ａ１）を形成するモノマー（ａ１）としては、炭素数１～１２程度のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。好ましくは炭素数１～８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルである。具体的には、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸－２－エチルヘキシル、メタクリル酸－２－エチルヘキシル等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
【0077】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ａ１）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１０質量％以上９８．９質量％以下であることが好ましく、５０質量％以上９７質量％以下であることがより好ましく、８５質量％以上９５質量％以下であることがさらに好ましい。
【0078】
架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ａ２）を形成するモノマー（ａ２）としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、メサコン酸、シトラコン酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸モノアルキルエステル、メサコン酸モノアルキルエステル、シトラコン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステル、マレイン酸モノアルキルエステル、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド、ターシャル－ブチルアミノエチルアクリレート、ターシャル－ブチルアミノエチルメタクリレート等が挙げられる。好ましくは、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド等である。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、モノマー単位（ａ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下であることが好ましく、１質量％以上２０質量％以下であることがより好ましく、１質量％以上１０質量％以下であることがさらに好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、モノマー単位（ａ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下であることが好ましく、１質量％以上２０質量％以下であることがより好ましく、１質量％以上１０質量％以下であることがさらに好ましい。
【0079】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）は、モノマー単位（ａ１）、モノマー単位（ａ２）以外に、２官能性モノマー単位（ａ３）や界面活性剤としての性質を有する特定のコモノマー（以下、重合性界面活性剤と称する）単位をさらに含んでもよい。
重合性界面活性剤は、モノマー（ａ１）、モノマー（ａ２）およびモノマー（ａ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
重合性界面活性剤は、モノマー（ａ１）、モノマー（ａ２）およびモノマー（ａ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
【0080】
２官能性モノマー単位（ａ３）を形成するモノマー（ａ３）としては、メタクリル酸アリル、アクリル酸アリル、ジビニルベンゼン、メタクリル酸ビニル、アクリル酸ビニル、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレートや、例えば、両末端がジアクリレートまたはジメタクリレートで主鎖の構造がプロピレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製；商品名：ＰＤＰ－２００、同ＰＤＰ－４００、同ＡＤＰ－２００、同ＡＤＰ－４００）、テトラメチレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製；商品名：ＡＤＴ－２５０、同ＡＤＴ－８５０）およびこれらの混合型（例えば、日本油脂（株）製；商品名：ＡＤＥＴ－１８００、同ＡＤＰＴ－４０００）であるもの等が挙げられる。
【0081】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、モノマー単位（ａ３）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが特に好ましい。
【0082】
重合性界面活性剤の例としては、例えば、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルのベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＲＮ－１０、同ＲＮ－２０、同ＲＮ－３０、同ＲＮ－５０等）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルの硫酸エステルのアンモニウム塩のベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＨＳ－１０、同ＨＳ－２０、同ＨＳ－１０２５等）、および分子内に重合性二重結合を持つ、スルホコハク酸ジエステル系（花王（株）製；商品名：ラテムルＳ－１２０Ａ、同Ｓ－１８０Ａ等）等が挙げられる。
【0083】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、重合性界面活性剤の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが特に好ましい。
【0084】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）は、さらに必要に応じて、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の重合性２重結合を有するモノマーにより形成されたモノマー単位をさらに含有してもよい。
【0085】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）の重合反応機構としては、ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合等が挙げられる。（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）の製造コスト、モノマーの官能基の影響および電子部品表面へのイオンの影響等を考慮すればラジカル重合によって重合することが好ましい。
ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
【0086】
乳化重合法により重合する場合には、これらのラジカル重合開始剤の中で、水溶性の過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物、同じく水溶性の４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を持
ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル
基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックア
シッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル
基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックア
シッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
【0087】
本実施形態に係る粘着性樹脂層（Ａ）は、粘着性樹脂（Ａ１）に加えて、架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ａ２）をさらに含むことが好ましい。
架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ａ２）は、粘着性樹脂（Ａ１）が有する官能基と反応させ、粘着力および凝集力を調整するために用いる。
このような架橋剤（Ａ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ａ２）は、粘着性樹脂（Ａ１）が有する官能基と反応させ、粘着力および凝集力を調整するために用いる。
このような架橋剤（Ａ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
【0088】
架橋剤（Ａ２）の含有量は、通常、架橋剤（Ａ２）中の官能基数が粘着性樹脂（Ａ１）中の官能基数よりも多くならない程度の範囲が好ましい。しかし、架橋反応で新たに官能基が生じる場合や、架橋反応が遅い場合等、必要に応じて過剰に含有してもよい。
粘着性樹脂層（Ａ）中の架橋剤（Ａ２）の含有量は、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１０質量部以下であることが好ましく、０．５質量部以上５質量部以下であることがより好ましい。
粘着性樹脂層（Ａ）中の架橋剤（Ａ２）の含有量は、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１０質量部以下であることが好ましく、０．５質量部以上５質量部以下であることがより好ましい。
【0089】
本実施形態に係る粘着性樹脂層（Ａ）は、支持基板への密着性を向上させる観点から、粘着性樹脂（Ａ１）に加えて、粘着付与樹脂を含むことが好ましい。粘着性樹脂層（Ａ）に粘着付与樹脂を含有させることが、常温付近における支持基板との密着性の調整が容易となるために好ましい。粘着付与樹脂としては、その軟化点が１００℃以上であるものが好ましい。粘着付与樹脂の具体例としては、エステル化等の処理をしたロジン系誘導体等のロジン系樹脂；α－ピネン系、β－ピネン系、ジペンテン系、テルペンフェノール系等のテルペン系樹脂；ガム系、ウッド系、トール油系等の天然系ロジン；これらの天然系ロジンに水素化、不均化、重合、マレイン化、石油樹脂；クマロン－インデン樹脂等を挙げることができる。
【0090】
これらのなかでも、軟化点が１００～１６０℃の範囲内であるものがより好ましく、１２０～１５０℃の範囲であるものが特に好ましい。軟化点が上記範囲内である粘着付与樹脂を用いると、支持基板への汚染、糊残りが少ないばかりでなく、作業環境下における支持基板との密着性をさらに向上させることが可能となる。さらに、粘着付与樹脂として重合ロジンエステル系の粘着付与樹脂を用いると、支持基板への汚染、糊残りが少ないばかりか、８０～１３０℃の環境下での支持基板との粘着性が向上するとともに、熱膨張性の微小球を含む加熱膨張型粘着剤の場合には、熱膨張性微小球ａの膨張後は、支持基板からさらに容易に剥離可能となる。
【0091】
粘着付与樹脂の配合割合は、粘着性樹脂層（Ａ）の弾性率を所望とする所定の数値範囲内に調整することができるように適宜選択すればよく、特に制限はない。ただし、粘着性樹脂層（Ａ）の弾性率と初期剥離力の面から、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対して、１～１００質量部とすることが好ましい。粘着付与樹脂の配合割合が、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対して、上記下限値以上であると、作業時の支持基板との密着性が良好になる傾向にある。一方、上記上限値以下であると、常温における支持基板との貼り付け性が良好になる傾向にある。支持基板との密着性、及び常温における貼り付け性の面から、粘着付与樹脂の配合割合を、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対して、２～５０質量部とすることがさらに好ましい。また、粘着付与樹脂の酸価は、３０以下であることが好ましい。粘着付与樹脂の酸価が上記上限値以下であると剥離時に支持基板に糊残りが生じ難くなる傾向にある。
【0092】
粘着性樹脂層（Ａ）は、その他の成分として、可塑剤等の添加剤を含んでもよい。粘着性樹脂層（Ａ）中の粘着性樹脂（Ａ１）、架橋剤（Ａ２）および粘着付与樹脂の含有量の合計は粘着性樹脂層（Ａ）の全体を１００質量％としたとき、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは７０質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上、特に好ましくは９５質量％以上である。さらに粘着性樹脂層（Ａ）が加熱膨張型粘着剤により構成されている場合は、粘着性樹脂層（Ａ）中の粘着性樹脂（Ａ１）、架橋剤（Ａ２）、粘着付与樹脂、気体発生成分および熱膨張性の微小球の含有量の合計は、粘着性樹脂層（Ａ）の全体を１００質量％としたとき、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは７０質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上、特に好ましくは９５質量％以上である。
【0093】
粘着性樹脂層（Ａ）は単層であっても多層であってもよい。例えば、加熱による膨張の程度が異なる２層以上を積層して粘着性樹脂層（Ａ）とすることで、粘着性樹脂層（Ａ）の一方の面と他方の面とで、粘着性／熱剥離性を変えることもできる。
粘着性樹脂層（Ａ）の厚さは、例えば、５μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上１５０μｍ以下であることがより好ましい。
粘着性樹脂層（Ａ）の厚さは、例えば、５μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上１５０μｍ以下であることがより好ましい。
【0094】
粘着性樹脂層（Ａ）は、図２の層構成（６）のように、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ａ１）の一層から構成されていてもよく、図２の層構成（７）のように、熱膨張性微小球ａを含まない以外は層（Ａ１）と同様な組成の粘着性樹脂層（Ａ２）の一層から構成されていてもよい。または、粘着性樹脂層（Ａ）は、粘着性樹脂層（Ａ１）と粘着性樹脂層（Ａ２）との複数層から構成されていてもよい。
【0095】
粘着性樹脂層（Ａ）は、例えば、基材層２２や中間層２８上に粘着剤塗布液を塗布する方法や、セパレータ上に形成した粘着性樹脂層（Ａ）を基材層２２や中間層２８上に移着する方法等により形成することができる。
粘着剤塗布液を塗布する方法としては、従来公知の塗布方法、例えば、ロールコーター法、リバースロールコーター法、グラビアロール法、バーコート法、コンマコーター法、ダイコーター法等が採用できる。塗布された粘着剤の乾燥条件には特に制限はないが、一般的には、８０～２００℃の温度範囲において、１０秒～１０分間乾燥することが好ましい。さらに好ましくは、８０～１７０℃において、１５秒～５分間乾燥する。架橋剤と粘着剤との架橋反応を十分に促進させるために、粘着剤塗布液の乾燥が終了した後、４０～８０℃において５～３００時間程度加熱してもよい。
粘着剤塗布液を塗布する方法としては、従来公知の塗布方法、例えば、ロールコーター法、リバースロールコーター法、グラビアロール法、バーコート法、コンマコーター法、ダイコーター法等が採用できる。塗布された粘着剤の乾燥条件には特に制限はないが、一般的には、８０～２００℃の温度範囲において、１０秒～１０分間乾燥することが好ましい。さらに好ましくは、８０～１７０℃において、１５秒～５分間乾燥する。架橋剤と粘着剤との架橋反応を十分に促進させるために、粘着剤塗布液の乾燥が終了した後、４０～８０℃において５～３００時間程度加熱してもよい。
【0096】
また、基材層２２と粘着性樹脂層（Ａ）とは共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層２２とフィルム状の粘着性樹脂層（Ａ）とをラミネート（積層）して形成してもよい。
基材層２２と中間層２８と粘着性樹脂層（Ａ）は共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層２２とフィルム状の中間層２８とフィルム状の粘着性樹脂層（Ａ）とをラミネート（積層）して形成してもよい。
基材層２２と中間層２８と粘着性樹脂層（Ａ）は共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層２２とフィルム状の中間層２８とフィルム状の粘着性樹脂層（Ａ）とをラミネート（積層）して形成してもよい。
【0097】
（粘着性樹脂層（Ｂ））
粘着性樹脂層（Ｂ）は、例えば、機械加工済み薄ガラスの製造方法において、支持体１０の表面に接触して、「薄ガラス付き剥離型粘着テープ」を仮固定するための層である。
粘着性樹脂層（Ｂ）は、例えば、機械加工済み薄ガラスの製造方法において、支持体１０の表面に接触して、「薄ガラス付き剥離型粘着テープ」を仮固定するための層である。
【0098】
粘着性樹脂層（Ｂ）は、通常、粘着性樹脂（Ｂ１）を含む。
粘着性樹脂（Ｂ１）としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等が挙げられる。
これらの中でも、粘着力の調整を容易にする観点等から、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）が好ましい。
粘着性樹脂（Ｂ１）としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等が挙げられる。
これらの中でも、粘着力の調整を容易にする観点等から、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）が好ましい。
【0099】
粘着性樹脂層（Ｂ）は、放射線により粘着力を低下させることができる放射線架橋型粘着性樹脂層であることもできる。放射線架橋型粘着性樹脂層に放射線を照射すると、架橋して粘着力が著しく減少するため、薄ガラスから剥離型粘着テープを剥離しやすくなる。放射線としては、紫外線、電子線、赤外線等が挙げられる。
放射線架橋型粘着性樹脂層としては、紫外線架橋型粘着性樹脂層が好ましい。
放射線架橋型粘着性樹脂層としては、紫外線架橋型粘着性樹脂層が好ましい。
【0100】
粘着性樹脂層（Ｂ）に使用される（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ｂ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー単位（ｂ２）を含む共重合体が挙げられる。
本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
【0101】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）は、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー（ｂ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ｂ２）を含むモノマー混合物を共重合することにより得ることができる。
【0102】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ｂ１）を形成するモノマー（ｂ１）としては、炭素数１～１２程度のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。好ましくは炭素数１～８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルである。具体的には、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸－２－エチルヘキシル、メタクリル酸－２－エチルヘキシル等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
【0103】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ｂ１）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１０質量％以上９８．９質量％以下であることが好ましく、５０質量％以上９７質量％以下であることがより好ましく、８５質量％以上９５質量％以下であることがさらに好ましい。
【0104】
架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ｂ２）を形成するモノマー（ｂ２）としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、メサコン酸、シトラコン酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸モノアルキルエステル、メサコン酸モノアルキルエステル、シトラコン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステル、マレイン酸モノアルキルエステル、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド、ターシャル－ブチルアミノエチルアクリレート、ターシャル－ブチルアミノエチルメタクリレート等が挙げられる。好ましくは、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド等である。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、モノマー単位（ｂ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下が好ましく、１質量％以上２０質量％以下がより好ましく、１質量％以上１０質量％以下がさらに好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、モノマー単位（ｂ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下が好ましく、１質量％以上２０質量％以下がより好ましく、１質量％以上１０質量％以下がさらに好ましい。
【0105】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）は、モノマー単位（ｂ１）、モノマー単位（ｂ２）以外に、２官能性モノマー単位（ｂ３）や界面活性剤としての性質を有する特定のコモノマー（以下、重合性界面活性剤と称する）単位をさらに含んでもよい。
重合性界面活性剤は、モノマー（ｂ１）、モノマー（ｂ２）およびモノマー（ｂ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
重合性界面活性剤は、モノマー（ｂ１）、モノマー（ｂ２）およびモノマー（ｂ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
【0106】
２官能性モノマー単位（ｂ３）を形成するモノマー（ｂ３）としては、メタクリル酸アリル、アクリル酸アリル、ジビニルベンゼン、メタクリル酸ビニル、アクリル酸ビニル、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレートや、例えば、両末端がジアクリレートまたはジメタクリレートで主鎖の構造がプロピレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製、商品名；ＰＤＰ－２００、同ＰＤＰ－４００、同ＡＤＰ－２００、同ＡＤＰ－４００）、テトラメチレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製、商品名；ＡＤＴ－２５０、同ＡＤＴ－８５０）およびこれらの混合型（例えば、日本油脂（株）製、商品名：ＡＤＥＴ－１８００、同ＡＤＰＴ－４０００）であるもの等が挙げられる。
【0107】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、モノマー単位（ｂ３）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下が好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下がより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下がさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下が特に好ましい。
【0108】
重合性界面活性剤の例としては、例えば、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルのベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＲＮ－１０、同ＲＮ－２０、同ＲＮ－３０、同ＲＮ－５０等）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルの硫酸エステルのアンモニウム塩のベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＨＳ－１０、同ＨＳ－２０、同ＨＳ－１０２５等）、および分子内に重合性二重結合を持つ、スルホコハク酸ジエステル系（花王（株）製；商品名：ラテムルＳ－１２０Ａ、同Ｓ－１８０Ａ等）等が挙げられる。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、重合性界面活性剤の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下が好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下がより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下がさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下が特に好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、重合性界面活性剤の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下が好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下がより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下がさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下が特に好ましい。
【0109】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）は、さらに必要に応じて、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の重合性二重結合を有するモノマーにより形成されたモノマー単位をさらに含有してもよい。
【0110】
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）の重合反応機構としては、ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合等が挙げられる。（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）の製造コスト、モノマーの官能基の影響および電子部品表面へのイオンの影響等を考慮すればラジカル重合によって重合することが好ましい。
ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
【0111】
乳化重合法により重合する場合には、これらのラジカル重合開始剤の中で、水溶性の過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物、同じく水溶性の４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を持
ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル
基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックア
シッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル
基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックア
シッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
【0112】
本実施形態に係る粘着性樹脂層（Ｂ）は、粘着性樹脂（Ｂ１）に加えて、架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ｂ２）をさらに含むことが好ましい。
【0113】
架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ｂ２）は、粘着性樹脂（Ｂ１）が有する官能基と反応させ、粘着力および凝集力を調整するために用いることができる。
このような架橋剤（Ｂ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
このような架橋剤（Ｂ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
【0114】
架橋剤（Ｂ２）の含有量は、通常、架橋剤（Ｂ２）中の官能基数が粘着性樹脂（Ｂ１）中の官能基数よりも多くならない程度の範囲が好ましい。しかし、架橋反応で新たに官能基が生じる場合や、架橋反応が遅い場合等、必要に応じて過剰に含有してもよい。
粘着性樹脂層（Ｂ）中の架橋剤（Ｂ２）の含有量は、粘着性樹脂層（Ｂ）の耐熱性や密着力とのバランスを向上させる観点から、粘着性樹脂（Ｂ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１５質量部以下であることが好ましい。
粘着性樹脂層（Ｂ）中の架橋剤（Ｂ２）の含有量は、粘着性樹脂層（Ｂ）の耐熱性や密着力とのバランスを向上させる観点から、粘着性樹脂（Ｂ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１５質量部以下であることが好ましい。
【0115】
粘着性樹脂層（Ｂ）は、その他の成分として、可塑剤、粘着付与樹脂等の添加剤を含んでもよい。粘着性樹脂層（Ｂ）が放射線架橋型粘着性樹脂層の場合は放射線架橋のための各種添加剤を含んでもよい。粘着性樹脂層（Ｂ）中の粘着性樹脂（Ｂ１）および架橋剤（Ｂ２）の含有量の合計は、粘着性樹脂層（Ｂ）の全体を１００質量％としたとき、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは７０質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上、特に好ましくは９５質量％以上である。これにより、支持体から剥離型粘着テープを剥離する際の支持体側の糊残りをより一層抑制することができる。
【0116】
粘着性樹脂層（Ｂ）は、図２の層構成（７）に示すように、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層（Ｂ１）の一層から構成されていてもよく、図２の層構成（６）に示すように、熱膨張性微小球ａを含まない以外は層（Ｂ１）と同様な組成の粘着性樹脂層（Ｂ２）の一層から構成されていてもよい。または、粘着性樹脂層（Ｂ）は、粘着性樹脂層（Ｂ１）と粘着性樹脂層（Ｂ２）との複数層から構成されていてもよい。
粘着性樹脂層（Ｂ）の厚さは特に制限されないが、例えば、１μｍ以上１００μｍ以下が好ましく、３μｍ以上５０μｍ以下がより好ましい。
粘着性樹脂層（Ｂ）の厚さは特に制限されないが、例えば、１μｍ以上１００μｍ以下が好ましく、３μｍ以上５０μｍ以下がより好ましい。
【0117】
粘着性樹脂層（Ｂ）は、例えば、基材層２２または中間層２８上に粘着剤を塗布することにより形成することができる。粘着剤は溶剤に溶解して塗布液として塗布してもよいし、水系エマルジョンとして塗布してもよいし、液状の粘着剤を直に塗布してもよい。
中でも水系エマルジョン塗布液が好ましい。水系エマルジョン塗布液としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等を水に分散させた塗布液が挙げられる。
中でも水系エマルジョン塗布液が好ましい。水系エマルジョン塗布液としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等を水に分散させた塗布液が挙げられる。
【0118】
有機溶剤に溶解した粘着剤塗布液を用いてもよい。有機溶剤は特に限定されず、溶解性や乾燥時間を鑑みて公知の中から適宜選択すればよい。有機溶剤としては、酢酸エチル、酢酸メチル等のエステル系；アセトン、ＭＥＫ等のケトン系；ベンゼン、トルエン、エチルベンゼン等の芳香族系；ヘプタン、ヘキサン、シクロヘキサン等の直鎖ないし環状脂肪族系；イソプロパノール、ブタノール等のアルコール系を例示することができる。有機溶剤として酢酸エチル、トルエンが好ましい。これらの溶剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。
【0119】
粘着剤塗布液を塗布する方法としては、従来公知の塗布方法、例えば、ロールコーター法、リバースロールコーター法、グラビアロール法、バーコート法、コンマコーター法、ダイコーター法等が採用できる。塗布された粘着剤の乾燥条件には特に制限はないが、一般的には、８０～２００℃の温度範囲において、１０秒～１０分間乾燥することが好ましい。さらに好ましくは、８０～１７０℃において、１５秒～５分間乾燥する。架橋剤と粘着剤との架橋反応を十分に促進させるために、粘着剤塗布液の乾燥が終了した後、４０～８０℃において５～３００時間程度加熱してもよい。
【0120】
また、基材層２２と粘着性樹脂層（Ａ）や中間層２８とは共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層２２とフィルム状の粘着性樹脂層（Ａ）とをラミネート（積層）して形成してもよい。後述の実施例においては、まず、セパレータ（剥離フィルム）の表面に粘着性樹脂層（Ａ）を形成し、その後、その粘着性樹脂層（Ａ）を、他の層と貼り合わせることで、剥離型粘着テープ２０を製造している。
【0121】
（中間層２８）
中間層２８は、熱膨張性微小球ａにより生じる粘着性樹脂層表面の凹凸を吸収し、支持体と薄ガラス３０との間の空壁の発生を抑制することができることから、当該薄ガラス３０を加工する際に薄ガラス３０を均一に仮固定することができ、さらに、薄ガラス３０の汚染を防止することができる。またさらに、中間層２８が存在することで、薄ガラス３０を支持体１０に対して位置決めでき、薄ガラス３０の加工性に優れる。
さらに、中間層２８は外部刺激によって架橋硬化することで、中間層２８の弾性率を高めることができる。これによって、薄ガラス３０の加工において、薄ガラス３０を支持体１０に対してより正確に位置決めすることができ、薄ガラス３０の加工性にさらに優れる。
外部刺激としては、例えば、熱または光が挙げられる。
中間層２８は、その作用から、凹凸吸収性樹脂層と記載することもできる。
中間層２８は、熱膨張性微小球ａにより生じる粘着性樹脂層表面の凹凸を吸収し、支持体と薄ガラス３０との間の空壁の発生を抑制することができることから、当該薄ガラス３０を加工する際に薄ガラス３０を均一に仮固定することができ、さらに、薄ガラス３０の汚染を防止することができる。またさらに、中間層２８が存在することで、薄ガラス３０を支持体１０に対して位置決めでき、薄ガラス３０の加工性に優れる。
さらに、中間層２８は外部刺激によって架橋硬化することで、中間層２８の弾性率を高めることができる。これによって、薄ガラス３０の加工において、薄ガラス３０を支持体１０に対してより正確に位置決めすることができ、薄ガラス３０の加工性にさらに優れる。
外部刺激としては、例えば、熱または光が挙げられる。
中間層２８は、その作用から、凹凸吸収性樹脂層と記載することもできる。
【0122】
中間層２８を構成する樹脂は、凹凸吸収性を示すものであれば特に限定されず、例えば、熱可塑性樹脂が好ましい。具体的には、ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、および（メタ）アクリル系樹脂からなる群から選択される一種または二種以上がより好ましい。別観点として、ＡＳＴＭ Ｄ－２２４０のＤ型ショアーによるショアーＤ型硬度が、好ましくは５０以下、より好ましくは４０以下の樹脂が好ましい。
中間層２８を構成する樹脂が熱可塑性樹脂でない場合でも、上記と同等の凹凸吸収性を有することが好ましい。
中間層２８を構成する樹脂が熱可塑性樹脂でない場合でも、上記と同等の凹凸吸収性を有することが好ましい。
【0123】
中間層２８は、樹脂と、架橋剤と、外部刺激により活性化学種を発生する開始剤とを含むことが好ましい。中間層２８がこれら成分を含むことにより、外部刺激により中間層２８をより効果的に架橋させることができ、中間層２８の弾性率をより一層向上させることが可能となる。
なお、樹脂や架橋剤の化学構造や反応性によっては、中間層２８は、必ずしも開始剤を含まずとも、外部刺激により架橋（硬化）する場合がある。
なお、樹脂や架橋剤の化学構造や反応性によっては、中間層２８は、必ずしも開始剤を含まずとも、外部刺激により架橋（硬化）する場合がある。
【0124】
中間層２８の形成に使用可能な樹脂は、特に限定されないが、例えば、前述の粘着性樹脂層における粘着性樹脂（Ａ１）として説明した樹脂などを好ましく挙げることができる。
【0125】
その他、中間層２８の形成に使用可能な樹脂は、特に限定されず、例えば、エチレンおよび炭素数３～２０のα－オレフィンとを含むエチレン・α－オレフィン共重合体、高密度エチレン系樹脂、低密度エチレン系樹脂、中密度エチレン系樹脂、超低密度エチレン系樹脂、直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）系樹脂、プロピレン（共）重合体、１－ブテン（共）重合体、４－メチルペンテン－１（共）重合体、エチレン・環状オレフィン共重合体、エチレン・α－オレフィン・環状オレフィン共重合体、エチレン・α－オレフィン・非共役ポリエン共重合体、エチレン・α－オレフィン・共役ポリエン共重合体、エチレン・芳香族ビニル共重合体、エチレン・α－オレフィン・芳香族ビニル共重合体等のオレフィン系樹脂；エチレン・不飽和無水カルボン酸共重合体、エチレン・α－オレフィン・不飽和無水カルボン酸共重合体等のエチレン・無水カルボン酸系共重合体；エチレン・エポキシ含有不飽和化合物共重合体、エチレン・α－オレフィン・エポキシ含有不飽和化合物共重合体等のエチレン・エポキシ系共重合体；エチレン・（メタ）アクリル酸エチル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸メチル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸プロピル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸ブチル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸ヘキシル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸－２－ヒドロキシエチル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸－２－ヒドロキシプロピル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸グリシジル共重合体等のエチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体；エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・マレイン酸共重合体、エチレン・フマル酸共重合体、エチレン・クロトン酸共重合体等のエチレン・エチレン性不飽和酸共重合体；エチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・プロピオン酸ビニル共重合体、エチレン・酪酸ビニル共重合体、エチレン・ステアリン酸ビニル共重合体等のエチレン・ビニルエステル共重合体；エチレン・スチレン共重合体等；（メタ）アクリル酸エステル（共）重合体等の不飽和カルボン酸エステル（共）重合体；エチレン・アクリル酸金属塩共重合体、エチレン・メタアクリル酸金属塩共重合体等のアイオノマー樹脂；ウレタン系樹脂；シリコーン系樹脂；アクリル酸系樹脂；メタアクリル酸系樹脂；環状オレフィン（共）重合体；α－オレフィン・芳香族ビニル化合物・芳香族ポリエン共重合体；エチレン・α－オレフィン・芳香族ビニル化合物；芳香族ポリエン共重合体；エチレン・芳香族ビニル化合物・芳香族ポリエン共重合体；スチレン系樹脂；アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体；スチレン・共役ジエン共重合体；アクリロニトリル・スチレン共重合体；アクリロニトリル・エチレン・α－オレフィン・非共役ポリエン・スチレン共重合体；アクリロニトリル・エチレン・α－オレフィン・共役ポリエン・スチレン共重合体；メタアクリル酸・スチレン共重合体；エチレンテレフタレート樹脂；フッ素樹脂；ポリエステルカーボネート；ポリ塩化ビニル；ポリ塩化ビニリデン；ポリオレフィン系熱可塑性エラストマー；ポリスチレン系熱可塑性エラストマー；ポリウレタン系熱可塑性エラストマー；１，２－ポリブタジエン系熱可塑性エラストマー；トランスポリイソプレン系熱可塑性エラストマー；塩素化ポリエチレン系熱可塑性エラストマー；液晶性ポリエステル；ポリ乳酸等から選択される一種または二種以上を用いることができる。
中間層２８は、１のみの樹脂を含んでもよいし、２以上の樹脂を含んでもよい。
中間層２８は、１のみの樹脂を含んでもよいし、２以上の樹脂を含んでもよい。
【0126】
中間層２８が含むことができる架橋剤としては、開始剤から発生する化学種により架橋反応するものを特に制限なく挙げることができる。
好ましい架橋剤としは、多官能（メタ）アクリレート化合物を挙げることができる。より具体的には、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
好ましい架橋剤としは、多官能（メタ）アクリレート化合物を挙げることができる。より具体的には、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【0127】
また、架橋剤としては、ウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系等、種々のモノマーまたはオリゴマーも挙げられる。
架橋剤の量は、（メタ）アクリル系重合体等の樹脂（ベースポリマー）１００質量部に対して、例えば５質量部以上５００質量部以下、好ましくは４０質量部以上１５０質量部以下である。
架橋剤の量は、（メタ）アクリル系重合体等の樹脂（ベースポリマー）１００質量部に対して、例えば５質量部以上５００質量部以下、好ましくは４０質量部以上１５０質量部以下である。
【0128】
別観点として、中間層２８は、前述の粘着性樹脂層（Ａ）が含むことができる架橋剤（Ａ２）を１または２以上含んでもよい。具体的には、中間層２８は、イソシアネート系化合物を含んでもよい。このような架橋材を用いる場合、その量は、樹脂（ベースポリマー）１００質量部に対して、例えば０．０１質量部以上５質量部以下、好ましくは０．０１質量部以上３質量部以下である。
【0129】
中間層２８が含むことができる開始剤（外部刺激により活性化学種を発生する開始剤）は、熱または光により、中間層２８中の樹脂および／または架橋剤を架橋させることが可能なものであれば、特に限定されない。
開始剤から発生する化学種は、樹脂および／または架橋剤が有する官能基に基づき適宜選択すればよい。開始剤から発生する化学種は、典型的には、ラジカルまたはカチオンである。
開始剤から発生する化学種は、樹脂および／または架橋剤が有する官能基に基づき適宜選択すればよい。開始剤から発生する化学種は、典型的には、ラジカルまたはカチオンである。
【0130】
開始剤の例としては、芳香族ケトン類、オニウム塩化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、ケトオキシムエステル化合物、ボレート化合物、アジニウム化合物、メタロセン化合物、活性エステル化合物、炭素ハロゲン結合を有する化合物、アゾ系化合物等が挙げられる。これらを１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
これらのうち、入手容易性、取扱性、などの点で、アゾ系化合物または有機過酸化物が好ましく、有機過酸化物がより好ましい。
これらのうち、入手容易性、取扱性、などの点で、アゾ系化合物または有機過酸化物が好ましく、有機過酸化物がより好ましい。
【0131】
開始剤の市販品としては、Ｖ－７０、Ｖ－６５、Ｖ－６０１、Ｖ－５９、Ｖ－４０、ＶＦ－０９６、Ｖ－３０、ＶＡｍ－１１０、ＶＡｍ－１１１（以上、富士フイルム和光純薬社製）、ナイパーＢＷ、ナイパーＢＭＴ、パーロイルＴＣＰ、パーロイルＬ、パーロイル３５５、パーロイルＳＡ、パーヘキサＨＣ、パーブチル３５５、パーブチルＤ、パーブチルＬ、パーブチルＮＤ、パーオクタＯ、パーヘキシルＤ、パーヘキシルＯ、パーヘキシルＰＶ（以上、日油製）、トリゴノックス３６－Ｃ７５、ラウロックス、パーカドックスＬ－Ｗ７５、パーカドックスＣＨ－５０Ｌ、トリゴノックスＴＭＢＨ、カヤクメンＨ、カヤブチルＨ－７０、パーカドックスＢＣ－ＦＦ、カヤヘキサＡＤ、パーカドックス１４、カヤブチルＣ、カヤブチルＤ、パーカドックス１２－ＸＬ２５、トリゴノックス２２－Ｎ７０（２２－７０Ｅ）、トリゴノックスＤ－Ｔ５０、トリゴノックス４２３－Ｃ７０、カヤエステルＣＮＤ－Ｃ７０、トリゴノックス２３－Ｃ７０、トリゴノックス２５７－Ｃ７０、カヤエステルＰ－７０、カヤエステルＴＭＰＯ－７０、トリゴノックス１２１、カヤエステルＯ、カヤエステルＨＴＰ－６５Ｗ、カヤエステルＡＮ、トリゴノックス４２、トリゴノックスＦ－Ｃ５０、カヤブチルＢ、カヤカルボンＥＨ、カヤカルボンＩ－２０、カヤカルボンＢＩＣ－７５、トリゴノックス１１７、カヤレン６－７０（以上、化薬アクゾ社製）などが挙げられる
【0132】
中間層２８が開始剤を含む場合、その量は、（メタ）アクリル系重合体等の樹脂（ベースポリマー）１００質量部に対して、０．１質量部以上が好ましく、０．３質量部以上がより好ましく、０．５質量部以上がさらに好ましい。また、保存安定性向の点から、１５質量部以下が好ましく、５質量部以下がより好ましい。
【0133】
本実施形態において、中間層２８は熱膨張性微小球ａを含むこともできる。このような中間層２８は、光硬化性樹脂を硬化させて得られる。
【0134】
中間層２８の厚さは、粘着性樹脂層表面の凹凸を吸収することができる厚さであれば、特に制限されないが、例えば、１０μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上９００μｍ以下であることがより好ましく、３０μｍ以上８００μｍ以下であることがさらに好ましく、５０μｍ以上７００μｍ以下であることが特に好ましい。
【0135】
中間層２８の形成方法は、特に限定されず、粘着性樹脂層（Ａ）や粘着性樹脂層（Ｂ）と同様の方法を採用することができる。
【0136】
本実施形態の剥離型粘着テープ２０は、本実施形態の効果を損なわない範囲で、各層の間に、例えば、易接着層等がさらに設けられていてもよい。
【0137】
以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、本発明の効果を損なわない範囲で、上記以外の様々な構成を採用することができる。
【符号の説明】
【0138】
１０ 支持体
２０ 剥離型粘着テープ
３０ 薄ガラス
Ａ 積層体
（Ａ） 粘着性樹脂層
（Ｂ） 粘着性樹脂層
２２ 基材層
２２ａ 第１面
ａ 熱膨張性微小球
２２ｂ 第２面
２８ 中間層
３０’ 機械加工済み薄ガラス
Ａ－１ 積層体
１０ａ 支持体
２０ａ 剥離型粘着テープ
３０ａ 薄ガラス
３０ａ’ 機械加工済み薄ガラス
Ｂ－１ 積層体
Ａ’ 積層体
Ｂ’ 積層体
Ａ－２ 積層体
Ｂ－２ 積層体
Ａ－３ 積層体
Ｂ－３ 積層体
２０ 剥離型粘着テープ
３０ 薄ガラス
Ａ 積層体
（Ａ） 粘着性樹脂層
（Ｂ） 粘着性樹脂層
２２ 基材層
２２ａ 第１面
ａ 熱膨張性微小球
２２ｂ 第２面
２８ 中間層
３０’ 機械加工済み薄ガラス
Ａ－１ 積層体
１０ａ 支持体
２０ａ 剥離型粘着テープ
３０ａ 薄ガラス
３０ａ’ 機械加工済み薄ガラス
Ｂ－１ 積層体
Ａ’ 積層体
Ｂ’ 積層体
Ａ－２ 積層体
Ｂ－２ 積層体
Ａ－３ 積層体
Ｂ－３ 積層体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】