特開 2023-161104 部品実装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023161104

(43)【公開日】2023-11-07

(54)【発明の名称】部品実装装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20231030BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022071257

(22)【出願日】2022-04-25

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106116

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 健司

(74)【代理人】

【識別番号】100131495

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 健児

(72)【発明者】

【氏名】ワタリ エイリ

(72)【発明者】

【氏名】桧作 雅史

【テーマコード（参考）】

5E353

【Ｆターム（参考）】

5E353GG01

5E353HH30

5E353JJ14

5E353JJ21

5E353JJ45

5E353JJ48

5E353QQ08

5E353QQ21

(57)【要約】

【課題】作業ヘッドの操作エア供給部が消耗しない部品実装装置を提供する。
【解決手段】部品実装装置が備える作業ヘッド８は、回転軸を中心に回転して複数のシャフトのうちのいずれかを昇降作業ステーションに位置させる回転体１１と、帯状領域ＢＡに微小隙間Ｇをおいて対峙する対向面３０ａを有し、第１操作流路２３と第２操作流路２４の開口に切換弁を操作するための操作エアを供給する第１操作エア供給流路３１と第２操作エア供給流路３２の開口が対向面３０ａの内側に設けられた操作エア供給部３０と、を備える。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品を保持して基板に搭載する作業ヘッドを備えた部品実装装置であって、
前記作業ヘッドが、
本体フレームと、
負圧によって部品を保持するノズルを下端部に有し、内部に前記ノズルに負圧を導くためのシャフト内流路を有する複数のシャフトと、
前記本体フレームに回転軸を中心に回転可能に保持され、前記回転軸を中心とする円周上に前記複数のシャフトを等間隔で保持し、前記回転軸を中心に回転して前記複数のシャフトのうちのいずれかを作業ステーションに位置させる回転体と、
前記作業ステーションにおいて前記シャフトを昇降させるシャフト昇降部と、
前記回転体に形成され、前記シャフト内流路に連通するエア流路であって前記シャフト毎に設けられた第１エア流路と、
前記回転体に形成され、負圧源で発生した負圧を前記回転体の内部に導入する第２エア流路と、
前記第１エア流路毎に設けられ、空圧によって操作されることにより前記第１エア流路と前記第２エア流路を接続または遮断する切換弁と、
前記回転体に形成され、前記回転体の表面であって前記回転軸を中心に環状かつ一定の幅を有する帯状領域の内側に一端が開口するとともに他端が前記切換弁に接続された一対の操作流路と、
前記本体フレームに固定されて前記帯状領域に微小隙間をおいて対峙する対向面を有し、前記操作流路の開口に前記切換弁を操作するためのエアを供給する操作エア供給流路の開口を前記対向面の内側に設けた操作エア供給部と、を備えた、部品実装装置。

【請求項2】

前記回転体に形成され、前記回転体の表面に一端が開口するとともに他端が前記切換弁に接続された第３エア流路を更に備え、
前記切換弁は、前記第１エア流路と前記第２エア流路を遮断して前記第１エア流路と前記第３エア流路を接続し、
前記操作エア供給部に、前記第３エア流路にブロー用のエアを供給する時だけ前記回転体の表面に接触して前記第３エア流路の開口に接続されるエア供給プラグを設けた、請求項１記載の部品実装装置。

【請求項3】

前記エア供給プラグは、前記対向面に開口したブロー用エア供給路に突没可能に配置され、ブロー用のエアの圧力で前記対向面から前記帯状領域に向かって突出して接触する、請求項２記載の部品実装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、部品を負圧により保持して基板に実装する部品実装装置に関する。

【背景技術】

【0002】

基板に部品を実装する部品実装装置は、負圧源で発生した吸引力を利用して部品を保持するノズルを備えた作業ヘッドにより、部品供給部から部品を取り出して基板に搭載する。この作業ヘッドとして、下端にノズルが装着される複数のシャフトをインデックス回転する回転体に等間隔に備えるロータリー式のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１に記載の搭載ヘッド（作業ヘッド）は、ノズルが部品を保持するための負圧と、保持した部品をノズルから離脱させるための正圧を切り替える切換弁をノズル毎に回転体の内部に備えている。さらに、切換弁を操作するエアを供給する操作エア供給部を所定の作業ステーションの位置に固定して備えている。特許文献１の操作エア供給部は、バネ部材によって回転体の表面に押されて常時接触しているエア供給プラグを備えている。操作エア供給部は、作業ステーションの位置に停止したノズルの切換弁に対して、エア供給プラグから回転体の内部に形成されている流路を通じて切換弁に操作用のエアを供給し、ノズルの負圧と正圧を切り換えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１８－１３３４３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１の作業ヘッドは、回転体の外部から操作用のエアを供給してノズルの負圧と正圧を切り換える構造により、作業ヘッドのコンパクト化とコスト低減を実現しているものの、エア供給プラグが常に回転体に押し付けられる構成であるため次の問題点があった。すなわち、回転体の回転によってエア供給プラグが摩耗して粉塵が生じ、また、消耗したエア供給プラグを定期的に交換する必要があるという課題があった。

【0006】

そこで本発明は、作業ヘッドの操作エア供給部が消耗しない部品実装装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の部品実装装置は、部品を保持して基板に搭載する作業ヘッドを備えた部品実装装置であって、前記作業ヘッドが、本体フレームと、負圧によって部品を保持するノズルを下端部に有し、内部に前記ノズルに負圧を導くためのシャフト内流路を有する複数のシャフトと、前記本体フレームに回転軸を中心に回転可能に保持され、前記回転軸を中心とする円周上に前記複数のシャフトを等間隔で保持し、前記回転軸を中心に回転して前記複数のシャフトのうちのいずれかを作業ステーションに位置させる回転体と、前記昇降作業ステーションにおいて前記シャフトを昇降させるシャフト昇降部と、前記回転体に形成され、前記シャフト内流路に連通するエア流路であって前記シャフト毎に設けられた第１エア流路と、前記回転体に形成され、負圧源で発生した負圧を前記回転体の内部に導入する第２エア流路と、前記第１エア流路毎に設けられ、空圧によって操作されることにより前記第１エア流路と前記第２エア流路を接続または遮断する切換弁と、前記回転体に形成され、前記回転体の表面であって前記回転軸を中心に環状かつ一定の幅を有する帯状領域の内側に一端が開口するとともに他端が前記切換弁に接続された一対の操作流路と、前記本体フレームに固定されて前記帯状領域に微小隙間をおいて対峙する対向面を有し、前記操作流路の開口に前記切換弁を操作するためのエアを供給する操作エア供給流路の開口を前記対向面の内側に設けた操作エア供給部と、を備えた。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、作業ヘッドの操作エア供給部が消耗しない部品実装装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施の形態の部品実装装置の全体構成を示す斜視図

【図2】本発明の一実施の形態の部品実装装置が備える作業ヘッドの要部の構成説明図

【図3】本発明の一実施の形態の部品実装装置が備える作業ヘッドの部分断面図

【図4】本発明の一実施の形態の部品実装装置が備える作業ヘッドの要部の底面図

【図5】本発明の一実施の形態の部品実装装置が備える作業ヘッドが有する切換弁における（ａ）ノズルが部品を保持するための操作の説明図（ｂ）ノズルが部品を開放するための操作の説明図

【図6】本発明の一実施の形態の部品実装装置が備える作業ヘッドの回転体と操作エア供給部が対峙する部分の断面図

【図7】本発明の一実施の形態の部品実装装置が備える作業ヘッドが有する操作エア供給部が（ａ）ブロー用エアを供給していない時のエア供給プラグの状態の説明図（ｂ）ブロー用エアを供給している時のエア供給プラグの状態の説明図

【発明を実施するための形態】

【0010】

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１を参照して、部品実装装置１の構造を説明する。以下、基板の搬送方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向と水平面内において直交する方向をＹ軸方向、ＸＹ平面に対して直交する方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向を軸として回転する水平面内の方向をθ方向と定義する。

【0011】

図１において、部品実装装置１は、ノズルのノズル開口に負圧を作用させて部品を真空吸着により保持して基板に搭載する機能を有する。基台１ａの中央部には、Ｘ軸に沿って延びた一対の搬送コンベアを備えた基板搬送機構２が配置されている。基板搬送機構２は部品搭載対象の基板３を上流の装置から受け取って搬送し、以下に説明する部品搭載機構による搭載作業位置に位置決め保持する。

【0012】

基板搬送機構２の両側方には、部品供給部４が配置されている。部品供給部４は、フィーダテーブル４ａ上に複数のテープフィーダ５をＸ軸に沿って並列に配置して構成されている。テープフィーダ５は、基板３に搭載される部品を収納したキャリアテープをピッチ送りすることにより、搭載対象の部品を部品搭載機構の作業ヘッド８による取り出し位置に供給する。

【0013】

次に、部品搭載機構について説明する。図１において、基台１ａのＸ軸方向の端部には、リニア駆動機構を備えたＹ軸テーブル６が配置されている。Ｙ軸テーブル６には、リニア駆動機構７ａ（図２参照）を備えたビーム７がＹ軸に沿って移動自在に装着されている。ビーム７には、作業ヘッド８の本体フレーム９がＸ軸に沿って移動自在に装着されている。

【0014】

作業ヘッド８は、基板３に搭載される部品をノズル１３（図２参照）によって部品供給部４からピックアップして保持する機能を有している。ノズル１３は、先端部のノズル開口に負圧源によって発生された負圧を作用させて部品を保持する。作業ヘッド８は、Ｙ軸テーブル６、ビーム７を駆動することによりＸ方軸向、Ｙ軸方向へ水平移動し、ノズル１３に保持された部品を基板搬送機構２に位置決め保持された基板３に搭載する。部品実装装置１の各部は、部品実装装置１が備える制御装置Ｃによって制御される。

【0015】

次に、図２を参照して、作業ヘッド８の要部の構造を説明する。作業ヘッド８の本体フレーム９の下部には、ロータ保持部１０が水平方向に延出して設けられている。ロータ保持部１０には、回転体１１がＺ軸方向の回転軸ＣＬを回転軸として回転自在に保持されている。回転体１１の回転軸ＣＬを中心とする円周上には、複数（この例では１２本）のシャフト１２が昇降可能な状態で等間隔に保持されている。シャフト１２には、下端部に部品を保持するノズル１３がそれぞれ装着されている。

【0016】

回転体１１の上部には、回転シャフト１４が接続されている。回転シャフト１４は、本体フレーム９に固定して設けられたロータ駆動部１５によって、回転軸ＣＬを回転軸として回転される。制御装置Ｃがロータ駆動部１５を制御して、回転シャフト１４を回転駆動させることにより、回転体１１が回転軸ＣＬを中心としてθ方向に回転する。回転体１１が回転することにより、複数のシャフト１２は回転軸ＣＬを中心に周回移動する。

【0017】

図２において、ロータ駆動部１５は、回転体１１を回転させることによって複数のシャフト１２を、作業ヘッド８に設定された複数（この例では１２箇所）のステーションＳＴ１～ＳＴ１２に順番に位置させる。本体フレーム９には、複数のステーションＳＴ１～ＳＴ１２のうちの作業ステーションＳＴ１に停止したシャフト１２を昇降させるシャフト昇降部１６が固定して配置されている。

【0018】

このように、回転体１１は、本体フレーム９に回転軸ＣＬを中心に回転可能に保持され、回転軸ＣＬを中心とする円周上に複数のシャフト１２を等間隔で保持し、回転軸ＣＬを中心に回転して複数のシャフト１２のうちのいずれかを作業ステーションＳＴ１に位置させる。そして、制御装置Ｃはシャフト昇降部１６を制御して、作業ステーションＳＴ１の位置に停止したシャフト１２を昇降させる。これにより、シャフト１２に装着されたノズル１３が昇降する。

【0019】

次に図３～７を参照して、作業ヘッド８におけるシャフト１２の吸引・排気系の構成を説明する。図３は、回転体１１における作業ステーションＳＴ１と、作業ステーションＳＴ１と対角に位置するステーションＳＴ７を含む部分断面を示している。シャフト１２は、回転体１１を上下に貫通して設けられた貫通孔１１ａに挿通されている。

【0020】

図３、図５において、シャフト１２の内部には、下端部がノズル１３に通じるシャフト内流路１２ａが設けられている。シャフト内流路１２ａは、ノズル１３の内部に設けられたノズル内流路１３ａを通じてノズル１３の下面のノズル開口１３ｂに連通する。貫通孔１１ａの一部には、シャフト１２の外周面に開口するシャフト開口部１２ｂを介してシャフト内流路１２ａに連通する空隙部１１ｂが形成されている。空隙部１１ｂは、シャフト１２が上下動してもシャフト開口部１２ｂが空隙部１１ｂ内に位置する領域内に形成されている。

【0021】

回転体１１の内部には、シャフト１２毎に切換弁２０が配置されている。空隙部１１ｂと切換弁２０の第１ポート２０ａは、回転体１１の内部に形成された第１エア流路１７により接続されている。また、回転体１１の内部には、一端が負圧源１８に連通する第２エア流路１９が形成されている。第２エア流路１９は回転体１１の内部でシャフト１２の数に対応して分岐している。そして、第２エア流路１９の他端は、複数の切換弁２０の第２ポート２０ｂにそれぞれ接続されている。

【0022】

このように、第１エア流路１７は、回転体１１に形成され、空隙部１１ｂとシャフト開口部１２ｂを通じてシャフト内流路１２ａに連通するエア流路であってシャフト１２毎に設けられている。また、第２エア流路１９は、回転体１１に形成され、負圧源１８で発生した負圧を回転体１１の内部に導入する。また、切換弁２０は、第１エア流路１７毎に設けられ、後述するように空圧（操作エア）によって操作されることにより第１エア流路１７と第２エア流路１９を接続または遮断する。

【0023】

切換弁２０によって第１エア流路１７と第２エア流路１９が接続されると、シャフト内流路１２ａが負圧源１８に連通し、ノズル１３のノズル開口１３ｂに負圧が供給される。すなわち、複数のシャフト１２は、負圧によって部品を保持するノズル１３を下端部に有し、内部にノズル１３に負圧を導くためのシャフト内流路１２ａを有する。

【0024】

ここで、図５を参照して、切換弁２０の詳細な構成と機能について説明する。切換弁２０は、上下方向（Ｚ軸方向）に延びて上下を密閉したチューブ２１の中に、チューブ２１の内壁を摺動しながら上下に移動するスプール２２が配置されている。チューブ２１の上部には、スプール２２を押し下げる操作エアを供給する第１操作流路２３が連通する第３ポート２０ｃが形成されている。

【0025】

チューブ２１の下部には、スプール２２を押し上げる操作エアを供給する第２操作流路２４が連通する第４ポート２０ｄが形成されている。第１操作流路２３と第２操作流路２４は、切換弁２０を操作する操作エア（空圧）を供給する一対の操作流路を構成する。チューブ２１において、第３ポート２０ｃと第４ポート２０ｄの間の位置には、ノズル１３のノズル開口１３ｂから吐出させる正圧のブロー用エアを供給する第３エア流路２５が連通する第５ポート２０ｅが形成されている。

【0026】

図３、図４において、第１操作流路２３、第２操作流路２４、第３エア流路２５は、回転体１１の内部に形成されており、切換弁２０の第３ポート２０ｃ、第４ポート２０ｄ、第５ポート２０ｅに接続された端部とは反対側の端部は回転体１１の下面１１ｃに開口している。第１操作流路２３、第２操作流路２４、第３エア流路２５の回転体１１の下面１１ｃの開口は、回転軸ＣＬを中心に環状かつ一定の幅を有する帯状領域ＢＡの内側に形成されている。

【0027】

すなわち、一対の操作流路（第１操作流路２３と第２操作流路２４）は、回転体１１に形成され、回転体１１の表面であって回転軸ＣＬを中心に環状かつ一定の幅を有する帯状領域ＢＡの内側に一端が開口するとともに他端が切換弁２０に接続されている。また、第３エア流路２５は、回転体１１に形成され、回転体１１の表面に一端が開口するとともに他端が切換弁２０に接続されている。

【0028】

次に、図３、図４、図６、図７を参照して、作業ステーションＳＴ１に位置するノズル１３の切換弁２０にエアを供給する操作エア供給部３０について説明する。図３、図４、図６において、作業ステーションＳＴ１における回転体１１の帯状領域ＢＡに対向する位置には、本体フレーム９に固定された操作エア供給部３０が微小隙間Ｇをあけて配置されている。操作エア供給部３０には、作業ステーションＳＴ１の位置に停止したシャフト１２の切換弁２０に供給する操作エアを供給する第１操作エア供給流路３１と第２操作エア供給流路３２、ブロー用エアを供給するブロー用エア供給路３３が形成されている。

【0029】

操作エア供給部３０の上面である対向面３０ａには、帯状領域ＢＡの第１操作流路２３の開口に対峙する位置に第１操作エア供給流路３１の一端が開口している。同様に、操作エア供給部３０の対向面３０ａには、帯状領域ＢＡの第２操作流路２４の開口に対峙する位置に第２操作エア供給流路３２の一端が開口している。第１操作エア供給流路３１と第２操作エア供給流路３２の他端には、制御装置Ｃによって制御される所定のタイミングで切換弁２０を操作する操作エアが供給される。

【0030】

図６において、第１操作エア供給流路３１と第２操作エア供給流路３２から供給される操作エアは、ブロー用エア供給路３３から供給されるブロー用エアより高圧である。微小隙間Ｇの大きさは、操作エア供給部３０の第１操作エア供給流路３１（または第２操作エア供給流路３２）の開口から帯状領域ＢＡの第１操作流路２３（または第２操作流路２４）の開口に流れる操作エアが受ける抵抗と比較して、帯状領域ＢＡと対向面３０ａの間に流出する操作エアが受ける抵抗が十分に大きくなるように設計される。帯状領域ＢＡと対向面３０ａの間に流出する操作エアが受ける抵抗は操作エアの圧力と正の相関があるため、操作エアの圧力が大きな場合は微小隙間Ｇを大きくすることができる。

【0031】

また、第１操作流路２３の開口（または第１操作エア供給流路３１の開口）と第２操作流路２４の開口（または第２操作エア供給流路３２の開口）の間隔は、供給される操作エアが帯状領域ＢＡと対向面３０ａの間の微小隙間Ｇを通じて流入しない距離に設計される。このように、操作エア供給部３０は、本体フレーム９に固定されて帯状領域ＢＡに微小隙間Ｇをおいて対峙する対向面３０ａを有し、操作流路（第１操作流路２３、第２操作流路２４）の開口に切換弁２０を操作するための操作エアを供給する第１操作エア供給流路３１と第２操作エア供給流路３２（操作エア供給流路）の開口が対向面３０ａの内側に設けられている。

【0032】

図７において、操作エア供給部３０の対向面３０ａには、帯状領域ＢＡの第３エア流路２５の開口に対峙する位置にブロー用エア供給路３３の一端が開口している。第３エア流路２５の他端には、制御装置Ｃによって制御される所定のタイミングでノズル１３のノズル開口１３ｂから吐出されるブロー用エアが供給される。

【0033】

ブロー用エア供給路３３の一端に形成されたプラグ収容部３４には、エア供給プラグ３５が突没可能に収容されている。エア供給プラグ３５は、ブロー用エア供給路３３からブロー用エアが供給されていない時は、自重によって操作エア供給部３０の対向面３０ａから上面３５ａが突出しない位置まで下降する（図７（ａ））。なお、エア供給プラグ３５は、ブロー用エア供給路３３からブロー用エアが供給されていない時は、ばねなどの弾性体の付勢力によって下降するようにしてもよい。

【0034】

一方、エア供給プラグ３５は、ブロー用エア供給路３３からブロー用エアが供給されると、ブロー用エアの圧力で浮き上がり、上面３５ａが対向面３０ａから突出して帯状領域ＢＡに接触する（図７（ｂ））。この状態で、ブロー用エアがブロー用エア供給路３３から第３エア流路２５に供給される。これによって、ブロー用エア供給路３３から第３エア流路２５にブロー用エアを確実に供給することができる。

【0035】

このように、操作エア供給部３０には、第３エア流路２５にブロー用のエア（ブロー用エア）を供給する時だけ回転体１１の表面に接触して第３エア流路２５の開口に接続されるエア供給プラグ３５が設けられている。エア供給プラグ３５は、対向面３０ａに開口したブロー用エア供給路３３に突没可能に配置されており、ブロー用のエアの圧力で対向面３０ａから帯状領域ＢＡに向かって突出して接触する。

【0036】

微小隙間Ｇが高圧の操作エアに合わせて設計されている場合は、操作エアより低圧のブロー用エアが微小隙間Ｇから漏れるおそれがある。しかし、使用時に突出して帯状領域ＢＡに接触するエア供給プラグ３５を使用することで、微小隙間Ｇからブロー用エアが漏れることなく第３エア流路２５に確実に供給することができる。また、ブロー用エアを供給しない時は、エア供給プラグ３５は対向面３０ａより下方まで没入する。これにより、回転体１１が回転する時には、回転体１１と操作エア供給部３０が微小隙間Ｇだけ離れるため接触することがなく、作業ヘッド８の操作エア供給部３０が消耗することがない。そのため、摩耗によるエア供給プラグ３５の定期交換は不要である。

【0037】

次に、図５（ａ）、図５（ｂ）を参照して、切換弁２０の操作について説明する。図５（ａ）は、負圧によりノズル１３に部品を保持させるための操作を示す。ノズル１３に部品を保持させる際は、下降したノズル１３が部品の上面に接触した状態で、切換弁２０の第４ポート２０ｄに操作エアを供給してスプール２２を押し上げる。すなわち、制御装置Ｃは、操作エア供給部３０の第２操作エア供給流路３２に操作エアを供給させる。スプール２２が押し上げられると、切換弁２０を介して第１エア流路１７と第２エア流路１９が接続される。これにより、シャフト内流路１２ａが負圧源１８に連通され、ノズル１３のノズル開口１３ｂに負圧が供給されて部品がノズル１３に保持される。

【0038】

図５（ｂ）は、ノズル１３が保持した部品を基板３に搭載するための操作を示す。ノズル１３が保持した部品を基板３に搭載する際は、下降したノズル１３が保持する部品が基板３の上面に接触した状態で、切換弁２０の第３ポート２０ｃに操作エアを供給してスプール２２を押し下げる。すなわち、制御装置Ｃは、操作エア供給部３０の第１操作エア供給流路３１に操作エアを供給させる。

【0039】

スプール２２が押し下げられると、切換弁２０を介して第１エア流路１７と第３エア流路２５が接続される。すなわち、切換弁２０は、第１エア流路１７と第２エア流路１９を遮断して第１エア流路１７と第３エア流路２５を接続する。これにより、シャフト内流路１２ａが大気圧となる。さらに、制御装置Ｃが操作エア供給部３０のブロー用エア供給路３３にブロー用エアを供給させると、ノズル１３のノズル開口１３ｂからブロー用エアが突出されてノズル１３から部品が離脱して基板３に搭載される。

【0040】

上記説明したように、本実施の形態の部品実装装置１の作業ヘッド８は、ノズル１３を下端部に有して内部にシャフト内流路１２ａを有する複数のシャフト１２と、回転軸ＣＬを中心に回転して複数のシャフト１２をステーションＳＴ１～ＳＴ１２に位置させる回転体１１と、作業ステーションＳＴ１においてシャフト１２を昇降させるシャフト昇降部１６と、本体フレーム９に固定されて帯状領域ＢＡに微小隙間Ｇをおいて対峙する対向面３０ａを有し、操作流路の開口に切換弁２０を操作するための操作エアを供給する第１操作流路２３と第２操作流路２４の開口が対向面３０ａの内側に設けられた操作エア供給部３０と、を備える。

【0041】

回転体１１には、シャフト内流路１２ａに連通する第１エア流路１７と、負圧を回転体１１の内部に導入する第２エア流路１９と、回転体１１の帯状領域ＢＡの内側に一端が開口するとともに他端が切換弁２０に接続された一対の操作流路（第１操作流路２３と第２操作流路２４）と、が形成され、第１エア流路１７毎に設けられた第１エア流路１７と第２エア流路１９を接続または遮断する切換弁２０が配置されている。これによって、作業ヘッド８の操作エア供給部３０が回転する回転体１１とは接触せず、粉塵等が発生しない。

【産業上の利用可能性】

【0042】

本発明の部品実装装置は、作業ヘッドの操作エア供給部が消耗しない効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。

【符号の説明】

【0043】

１ 部品実装装置
３ 基板
８ 作業ヘッド
９ 本体フレーム
１１ 回転体
１２ シャフト
１２ａ シャフト内流路
１３ ノズル
１６ シャフト昇降部
１７ 第１エア流路
１８ 負圧源
１９ 第２エア流路
２０ 切換弁
２３ 第１操作流路
２４ 第２操作流路
２５ 第３エア流路
３０ 操作エア供給部
３０ａ 対向面
３１ 第１操作エア供給流路
３２ 第２操作エア供給流路
３３ ブロー用エア供給路
３５ エア供給プラグ
ＢＡ 帯状領域
ＣＬ 回転軸
Ｇ 微小隙間
ＳＴ１ 作業ステーション

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】