特開 2023-161113 欠陥検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023161113

(43)【公開日】2023-11-07

(54)【発明の名称】欠陥検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/892 20060101AFI20231030BHJP

【ＦＩ】

G01N21/892 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022071276

(22)【出願日】2022-04-25

(71)【出願人】

【識別番号】591114641

【氏名又は名称】株式会社ヒューテック

(74)【代理人】

【識別番号】110001704

【氏名又は名称】弁理士法人山内特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】十河 俊一

(72)【発明者】

【氏名】高橋 巧

(72)【発明者】

【氏名】平田 健一郎

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA07

2G051AA32

2G051AA41

2G051AA51

2G051AA65

2G051AB02

2G051BA20

2G051BB07

2G051BB11

2G051CA03

2G051CA04

2G051CB05

(57)【要約】

【課題】暗視野型でありながら第１遮蔽部と第２遮蔽部との組み合わせをなくすることで、欠陥検査に用いられる検査光の割合を高くし、スリットの反射による迷光の発生をなくすことで欠陥検査の品質を高くするとともに、装置の大型化を抑制することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１０は、線光源１３と、受光装置１２と、を備えている。線光源１３には、検査光が明視野として受光装置へ到達しないようにするための遮蔽部１７が設けられ、被検査対象と線光源１３との間には面対称光学結像部材１５が設けられている。面対称光学結像部材１５は、遮蔽部１７に点光源５１が配置された場合に、点光源５１からの仮想検査光が、面対称光学結像部材１５により集光して受光装置１２で受光されるように配置されている。この構成により、検査光の割合を高くし、欠陥検査の品質を高くすることができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

シート状の被検査対象の欠陥を検査する装置であって、
前記被検査対象に向けて検査光を放出する線光源と、
該線光源からの前記検査光を、前記被検査対象を経由して受光する受光装置と、を備え、
前記線光源には、前記検査光が明視野として前記受光装置へ到達しないようにするための遮蔽部が設けられ、
前記被検査対象と前記線光源との間には面対称光学結像部材が設けられ、
前記面対称光学結像部材は、前記遮蔽部に点光源が配置された場合に、前記点光源からの仮想検査光が、前記面対称光学結像部材により集光して前記受光装置で受光されるように配置されている、
ことを特徴とする欠陥検査装置。

【請求項2】

前記被検査対象の一方の面側に、前記受光装置が設置され、
その他方の面側に、前記線光源と、前記面対称光学結像部材と、が設置され、
前記受光装置は、前記被検査対象で透過した検査光を受光する、
ことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。

【請求項3】

前記被検査対象の一方の面側に、前記受光装置と、前記線光源と、前記面対称光学結像部材と、が設置され、
前記受光装置は、前記被検査対象で反射した検査光を受光する、
ことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。

【請求項4】

前記線光源と前記受光装置との間に、
前記検査光を反射するミラーが配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。

【請求項5】

前記面対称光学結像部材の表面に、
前記線光源以外からの光の入射を抑制するためのマスクが設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、欠陥検査装置に関する。さらに詳しくは、暗視野を利用した欠陥検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

透明フィルムなどシート状の被検査対象において、その表面の欠陥、たとえば、スジ状の傷などの検査には、光学的手法を用いた検査が行われる。この光学的手法を用いた検査のうち、光源から照射された検査光を、直接的に受光装置に届かないようにし、欠陥において検査光が散乱した光のみを受光装置に届かせるようにする検査手法、すなわち暗視野を用いた検査手法が知られている。特許文献１では、暗視野型の欠陥検査装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－２１１３２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の欠陥検査装置では、検査光の進行方向に第１遮蔽部と第２遮蔽部とが並べられる遮蔽構造を採用することにより、明視野として検査光が受光装置に到達しないようにしている。
しかるに、この遮蔽構造を用いた方法では、複数の遮蔽部に設けられたスリットの隙間から漏れ出た検査光で検査するため、欠陥検査のために利用される検査光の割合が低いという問題がある。
また、スリットに反射して迷光が発生する場合があり、これにより欠陥検査の品質が低下するという問題がある。
さらに、検査光の進行方向に第１遮蔽部と第２遮蔽部とを設ける必要があり、検査光の進行方向に装置が大型化しやすいという問題がある。

【0005】

本発明は上記事情に鑑み、暗視野型でありながら第１遮蔽部と第２遮蔽部との組み合わせをなくすることで、欠陥検査に用いられる検査光の割合を高くし、スリットの反射による迷光の発生をなくすことで欠陥検査の品質を高くするとともに、装置の大型化を抑制することができる欠陥検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

第１発明の欠陥検査装置は、シート状の被検査対象の欠陥を検査する装置であって、
前記被検査対象に向けて検査光を放出する線光源と、該線光源からの前記検査光を、前記被検査対象を経由して受光する受光装置と、を備え、前記線光源には、前記検査光が明視野として前記受光装置へ到達しないようにするための遮蔽部が設けられ、前記被検査対象と前記線光源との間には面対称光学結像部材が設けられ、前記面対称光学結像部材は、前記遮蔽部に点光源が配置された場合に、前記点光源からの仮想検査光が、前記面対称光学結像部材により集光して前記受光装置で受光されるように配置されていることを特徴とする。
第２発明の欠陥検査装置は、第１発明において、前記被検査対象の一方の面側に、前記受光装置が設置され、その他方の面側に、前記線光源と、前記面対称光学結像部材と、が設置され、前記受光装置は、前記被検査対象で透過した検査光を受光することを特徴とする。
第３発明の欠陥検査装置は、第１発明において、前記被検査対象の一方の面側に、前記受光装置と、前記線光源と、前記面対称光学結像部材と、が設置され、前記受光装置は、前記被検査対象で反射した検査光を受光することを特徴とする。
第４発明の欠陥検査装置は、第１発明において、前記線光源と前記受光装置との間に、
前記検査光を反射するミラーが配置されていることを特徴とする。
第５発明の欠陥検査装置は、第１発明において、前記面対称光学結像部材の表面に、
前記線光源以外からの光の入射を抑制するためのマスクが設けられていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

第１発明によれば、線光源に、検査光が明視野として受光装置へ到達しないようにするための遮蔽部が設けられ、被検査対象と線光源との間に面対称光学結像部材が所定の態様で設けられていることにより、検査光の進行方向に２段で設ける必要があった遮蔽構造を設けずに暗視野型とすることができるので、欠陥検査に用いられる検査光の割合を高くし、遮蔽構造に設けられているスリットにおける反射による迷光の発生をなくすことができ、欠陥検査の品質を高くすることができる。また、遮蔽構造は、検査光の進行方向に２段で設ける必要があったところ、これを省略することができるので装置の大型化を抑制できる。
第２発明によれば、被検査対象の一方の面側に受光装置が設置され、他方の面側に線光源、所定の面対称光学結像部材が設置されているので、受光装置は被検査対象を透過した検査光を受光することとなり、透明な被検査対象の欠陥を検査することができる。
第３発明によれば、被検査対象の一方の面側に受光装置、線光源、所定の面対称光学結像部材が設置されているので、受光装置は被検査対象で反射した検査光を受光することとなり、検査光を透過する被検査対象だけでなく、検査光を透過しない被検査対象についても欠陥を検査することができる。
第４発明によれば、線光源と受光装置との間に検査光を反射するミラーが配置されていることにより、線光源などの配置の自由度が上がり、欠陥検査装置の大きさを小さくすることができる。
第５発明によれば、面対称光学結像部材の表面に、所定のマスクが設けられていることにより、検査光の強度と指向性を調整することが可能になり、検査の性能を調整することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の第１実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成の斜視図である。

【図2】図１の欠陥検査装置の側面図である。

【図3】図１の欠陥検査装置の受光装置の説明図である。

【図4】図１の欠陥検査装置で用いられる面対称光学結像部材の構造の説明図である。

【図5】図１の欠陥検査装置の受光方法の説明図である。（Ａ）は図１の欠陥検査装置の説明図であり、（Ｂ）は従来の明視野型の欠陥検査装置の説明図である。

【図6】本発明の第２実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成の側面図である。

【図7】本発明の第３実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成の側面図である。

【図8】本発明の第４実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための欠陥検査装置を例示するものであって、本発明は欠陥検査装置を以下のものに特定しない。なお、各図面が示す部材の大きさまたは位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。

【0010】

＜第１実施形態＞
図１に本発明の第１実施形態に係る欠陥検査装置１０の概略構成の斜視図を、図２にその側面図を示す。図１および図２ともに、欠陥検査装置１０の主要構成要素のみを記載し、他の部分は省略している。

【0011】

図１、図２に示すように、本実施形態に係る欠陥検査装置１０は、被検査対象に向けて検査光を放出する線光源１３と、この線光源１３からの検査光を、被検査対象を経由して受光する受光装置１２とが備えられている。この線光源１３には、検査光が明視野として受光装置１２へ到達しないようにするための遮蔽部１７が設けられている。そして、被検査対象と線光源１３との間には、面対称光学結像部材１５が所定の態様で設けられている。

【0012】

なお本明細書における欠陥検査装置１０は、いわゆる暗視野型である。図１は、この暗視野型の欠陥検査装置１０を示している。ただし、図１で示す一点鎖線（線光源１３に設けられている遮蔽部１７と面対称光学結像部材１５との間の一点鎖線、および面対称光学結像部材１５と受光装置１２との間の一点鎖線）は、検査光の通過経路をわかりやすくするために、明視野型、すなわち遮蔽部１７に点光源が配置されたと仮定した場合の、点光源からの仮想検査光の通過経路を記載したものである。

【0013】

図２に示すように、本明細書において「検査光」は、線光源１３から放出される光Ｌ１、この放出された光が面対称光学結像部材１５を経由した光Ｌ２、この経由した光のうち、被検査対象の欠陥で散乱されたあと受光装置１２で受光される光Ｌ３、のいずれをも含む概念である。

【0014】

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、被検査対象を透過した検査光を受光装置１２が受光する。この場合、図１に示すように被検査対象の一方の面側、すなわち被検査対象の上側に受光装置１２が設置され、被検査対象の他方の面側、すなわち被検査対象の下側に線光源１３と面対称光学結像部材１５とが設置されている。

【0015】

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、検査光は、シート状の被検査対象の欠陥において散乱し、その散乱した検査光のうち、後述するレンズ２２に入射したものの一部が受光装置１２に入射する。加えて、本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、線光源１３は、シート状の被検査対象に対して平行に検査光を照射し、面対称光学結像部材１５を経由することで、検査光をシート状の被検査対象に対し垂直に入射させている。なお本明細書では、「平行」、「垂直」の記載は、厳密に平行および垂直である必要はなく、「実質的平行」および「実質的垂直」に該当する。また、本実施形態では、図２に示すように「垂直」、「平行」と記載したが、図２の構成は例示であり、特にこの構成に限定されることはない

【0016】

（被検査対象）
本発明に係る欠陥検査装置１０は、光学的手法により樹脂フィルム１６などシート状の被検査対象の欠陥を検査する装置である。被検査対象には、表面を平坦面とすることができる樹脂フィルム１６をはじめ、シート状の被検査対象が広く含まれる。本実施形態に係る欠陥検査装置１０は、透明な樹脂フィルム１６のように、光が透過可能であり、張力を付加することで表面を平坦面とすることができるものが被検査対象に含まれるが、他にも、表面が平坦面であり、光を反射可能である金属、または厚みのある押し出し成形樹脂品、ガラス、シリコンウェハ、電子基板なども被検査対象に含むこともできる。なお、請求項における「被検査対象を経由して」との表現は、「被検査対象を透過して」、または「被検査対象で反射して」の表現の上位概念として使用している。また、これら被検査対象は、無色のものに限定されず、有色のものも含まれる。

【0017】

被検査対象である樹脂フィルム１６等は、欠陥検査装置１０の前後に設けられている２つのロール（不図示）などにより図２の紙面上右から左へ順次送られ、連続して樹脂フィルム１６の欠陥の有無が検査される。

【0018】

（制御器１１）
欠陥検査装置１０は、受光装置１２および線光源１３と電気的に接続し、これらの制御を行う制御器１１を有する。

【0019】

（線光源１３）
線光源１３は、被検査対象の幅方向に延びる直線形状をしたＬＥＤを内部に有している。そして線光源１３は、一方向だけが開口したケースを有している。この開口を通過して、内部のＬＥＤから照射される検査光が受光装置１２に向かう。なお線光源１３は、その長手方向、すなわち被検査対象の幅方向（図２の紙面において奥行き方向）の長さが、その短手方向、すなわち図２の紙面において上下方向の長さｄ（図１参照）と同じか、それよりも長い光源であれば問題ない。すなわち線光源１３は、正方形または長方形の開口から光を放出している。また本実施形態では線光源１３はＬＥＤを内部に有しているが、ＬＥＤに限定されない。例えば蛍光灯またはハロゲン光源であっても問題ない。

【0020】

また線光源１３の開口には、遮蔽部１７が設けられている。この遮蔽部１７は、線光源１３からの検査光を遮り、検査光が明視野として受光装置１２へ到達しないようにしている。遮蔽部１７の大きさ、すなわち線光源１３の長手方向の長さは、受光装置１２の大きさなどにより定められる。遮蔽部１７の長手方向の大きさは、後述するレンズ２２の大きさ以上であることが好ましく、同程度であることがさらに好ましい。また遮蔽部１７は、線光源１３の短手方向のすべてを遮蔽する場合、および線光源１３の短手方向の一部を遮蔽する場合があり、すべて遮蔽するのが好ましく、レンズ２２の大きさと同程度に遮蔽することがさらに好ましい。また、遮蔽部１７は必ずしも線光源１３の中央部分に位置する必要はなく、被検査の形状や検査範囲などに応じて端などに位置を変更することが可能である。

【0021】

（受光装置１２）
図３に示すように、受光装置１２は、例えば撮像部２１と、レンズ２２とを備えている。受光装置１２は、被検査対象の欠陥で散乱された検査光を受光するものであり、例えば、ラインセンサまたはエリアセンサ等のように複数の受光素子２１ｓを有している。レンズ２２は、検査光を集光して、撮像部２１の受光素子２１ｓに集光した光を入射する。

【0022】

なお、撮像部２１がラインセンサ等のように複数の受光素子２１ｓが並んで配設されているものの場合には、受光装置１２は、複数の受光素子２１ｓが並ぶ方向と被検査対象の幅方向とが平行となるように配設される。また、受光装置１２の撮像部２１は、受光素子２１ｓを複数有するものであれば問題ないが、単体であっても同様の機能を有し、被検査対象の表面で反射した光を検出できる受光素子を有する機器であれば、とくに限定されない。

【0023】

（面対称光学結像部材１５）
面対称光学結像部材１５は、コーナーキューブで見られる、２面直交ミラーの２回反射による再帰反射機能を利用する部材である。この面対称光学結像部材１５により、この面対称光学結像部材１５の一方側にある光源から発する入射光線それぞれが、この面対称光学結像部材１５において面対称に反射し、他方側にそれぞれ出射することにより他方側空間に集束する。この面対称光学結像部材１５は、例えば株式会社アスカネットのＡＳＫＡ３Ｄプレートが該当する。

【0024】

この面対称光学結像部材１５の構造の一例について図４を用いて説明する。面対称光学結像部材１５は、第１光学パネル３０および第２光学パネル３１を、その一面側を当接または隙間を有して向かい合わせて形成されている。第１光学パネル３０および第２光学パネル３１は、それぞれ厚みが一定な第１透明平板３２および第２透明平板３３の一方側の面に垂直に多数かつ帯状の第１平面光反射部３４および第２平面光反射部３５を一定のピッチで並べて形成されている。ここで、第１光学パネル３０の第１平面光反射部３４と、第２光学パネル３１の第２平面光反射部３５とは、面対称光学結像部材１５の平面に直交する方向から見た場合（以下、この方向を「面対称光学結像部材１５の平面視」とする）に交差（図４においては直交）して配置されている。

【0025】

この面対称光学結像部材１５の作用について説明する。図４の物体Ｎから発した光Ｓ１ は、第１光学パネル３０の第１平面光反射部３４のｃ点で反射し、次に第２光学パネル３１の第２平面光反射部３５のｄ点で反射する。これにより面対称光学結像部材１５は、面対称光学結像部材１５の一方の面側の空間にある物体Ｎの実像Ｎ’を、面対称光学結像部材１５の他方の面側の空間に結像する。

【0026】

ここで、面対称光学結像部材１５の平面視において、第２光学パネル３１の第２平面光反射部３５のピッチで区分けされる第１光学パネル３０の第１平面光反射部３４が、第１の微小反射面を形成し、面対称光学結像部材１５の平面視において、第１光学パネル３０の第１平面光反射部３４のピッチで区分けされる第２光学パネル３１の第２平面光反射部３５が第２の微小反射面を形成する。したがって、面対称光学結像部材１５の平面視において、交差する第１の微小反射面および第２の微小反射面がそれぞれ同一平面上に多数並べて立設されており、物体Ｎから発した光は、第１の微小反射面で反射し、対応する第２の微小反射面で再反射して、実像Ｎ’を形成する。

【0027】

なお、請求の範囲では、「被検査対象と線光源１３との間には面対称光学結像部材１５が設けられ、」または、「前記線光源１３と前記受光装置１２との間に、」と記載しているが、ここでの「間に」とは、線光源１３から放出し被検査対象に至る検査光の通過途中を意味する。

【0028】

図５を用いて面対称光学結像部材１５を用いた場合の作用を説明する。図５（Ａ）は本実施形態に係る欠陥検査装置１０の検査光の状態を示した説明図であり、図５（Ｂ）は、暗視野型ではなく、従来の明視野型の欠陥検査装置の検査光の状態を示した説明図である。図５では、光源を図の下に配置するととも、受光装置１２を図の上に配置している。そして、これらの図は、光源から放出した検査光の通過軌跡に沿って、下から上に検査光がどのように通過するかを示している。

【0029】

図５（Ｂ）は、本実施形態における線光源１３の遮蔽部１７の位置に点光源５１が配置されている。この図５（Ｂ）における一点鎖線は、受光装置１２で受光される検査光（この「検査光」が、請求の範囲に記載の「仮想検査光」である）の幅方向の境界を示している。点光源５１から放出された検査光は、面対称光学結像部材１５を経由する。この経由した検査光は、樹脂フィルム１６を通過し、受光装置１２で受光される。樹脂フィルム１６の欠陥において検査光は散乱するため、この欠陥は受光装置１２では検査光が受光されない部分として認識される。

【0030】

図５（Ａ）では、線光源１３に遮蔽部１７が設けられているため、面対称光学結像部材１５を経由した検査光は、明視野としては受光装置１２で受光されない。すなわち遮蔽部１７は、線光源１３からの検査光が、明視野として受光装置１２で受光されないように設けられる。遮蔽部１７が存在する部分以外の線光源１３から検査光は放出する。図５（Ａ）ではこの検査光の一部をＬ１として表示している。この検査光は面対称光学結像部材１５を経由して、その経由した検査光（Ｌ２に該当）が、樹脂フィルム１６へ到達する。樹脂フィルム１６に欠陥がある場合、その欠陥において検査光は散乱し、散乱した検査光の一部（Ｌ３に該当）が受光装置１２により受光される。

【0031】

線光源１３に、検査光が明視野として受光装置１２へ到達しないようにするための遮蔽部１７が設けられ、被検査対象と線光源１３との間に面対称光学結像部材１５が所定の態様で設けられていることにより、検査光の進行方向に２段で設ける必要があった遮蔽構造を設けずに暗視野型とすることができるので、欠陥検査に用いられる検査光の割合を高くし、遮蔽構造に設けられているスリットにおける反射による迷光の発生をなくすことができ、欠陥検査の品質を高くすることができる。また、遮蔽構造は、検査光の進行方向に２段で設ける必要があったところ、これを省略することができるので装置の大型化を抑制できる。

【0032】

被検査対象の一方の面側に受光装置１２が設置され、他方の面側に線光源１３、面対称光学結像部材１５が設置されているので、受光装置１２は被検査対象を透過した検査光を受光することとなり、透明な被検査対象の欠陥を検査することができる。

【0033】

（マスク１８）
本実施形態では、面対称光学結像部材１５の表面に、線光源１３以外からの光の入射を抑制するためのマスク１８が設けられている。本実施形態では、このマスク１８は、面対称光学結像部材１５の検査光の入射面に設けられている。ただし、マスク１８が設けられる場所はこれに限定されず、面対称光学結像部材１５の検査光の出射面に設けることも可能である。このマスク１８は、遮光性の板に矩形などの開口部を設けた構成であることが好ましい。マスク１８を設けることで検査光の強度と指向性を調整することが可能になり、検査の性能を調整することが可能になる。また、このマスク１８は設けられない場合もある。

【0034】

マスクの開口の形状は、楕円形、網目状など特に限定されるものではないが、均一な感度が得られることから長手方向に対称な形状であることが好ましく、矩形形状であれば加工も容易であるためさらに好ましい。

【0035】

図２に示すように、第１実施形態では、被検査対象である樹脂フィルム１６に直交するように検査光Ｌ２が入射しているが、検査光Ｌ２の入射の角度はこれに限定されない。被検査対象と検査光Ｌ２とが、あらかじめ定められた角度を有することにより、欠陥に対する入射角度が浅くなるため、光が屈折しやすくなり、より浅い欠陥でも検出することが可能になる。

【0036】

さらに、面対象光学結像部材１５については、図４に示す構成に限定されるものではない。面対称で像を結像する部材であれば良く、一例として断面形状が三角形であり、その一面が第１平面反射部３４および第２平面反射部３５となるような構成、すなわち三角形の溝に透明体を充填した構成も含まれる。

【0037】

＜第２実施形態＞
図６に本発明の第２実施形態に係る欠陥検査装置１０の概略構成の側面図を示す。図６では欠陥検査装置１０の主要構成要素のみを記載し、他の部分は省略している。また第１実施形態と第２実施形態との相違点は、線光源１３と面対称光学結像部材１５との間に、光学要素のミラー１９が２つ配置されている点であり、他の構成要素は、第１実施形態と同じであるので説明を省略する。このミラー１９により、線光源１２から出射した検査光が反射されたあと、面対称光学結像部材１５に到達する。

【0038】

この光学要素であるミラー１９は、入射した光が５０％以上の反射率で反射されるものが好ましい。例えば、ガラスやプラスチック、フィルムなどの基材の上に金属や誘電体多層膜がメッキ、蒸着されたものや金属板、フィルムを積層することで反射率を上げたものなどを使用することも可能である。

【0039】

線光源１３と受光装置１２との間に検査光を反射するミラー１９が配置されていることにより、線光源１３などの配置の自由度が上がり、欠陥検査装置１０の大きさを小さくすることができる。

【0040】

なお本実施形態におけるミラー１９の開口部の大きさは、面対称光学結像部材１５の開口部の面積以上であることが好ましい。

【0041】

＜第３実施形態＞
図７に本発明の第３実施形態に係る欠陥検査装置１０の概略構成の側面図を示す。図７では欠陥検査装置１０の主要構成要素のみを記載し、他の部分は省略している。また第１実施形態と第３実施形態との相違点は、構成要素の配置であり、各構成要素は、第１実施形態と同じであるので説明を省略する。

【0042】

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、被検査対象で反射した検査光を受光装置１２が受光する。この場合、図７に示すように被検査対象の一方の面側、すなわち被検査対象の上側に、受光装置１２と線光源１３と面対称光学結像部材１５とが設置されている。

【0043】

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、検査光は、シート状の被検査対象の欠陥において、図７にあるように側面視で所定の角度γをもって散乱した光Ｌ３が受光装置１２に入射する。加えて、本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、線光源１３から照射された光Ｌ１は、面対称光学結像部材１５を経由し光Ｌ２となって、シート状の被検査対象に対し、所定の角度γとして入射している。

【0044】

被検査対象の一方の面側に受光装置１２、線光源１３、面対称光学結像部材１５が設置されているので、受光装置１２は被検査対象の欠陥において散乱した検査光を受光することとなり、検査光を透過する被検査対象だけでなく、検査光を透過しない被検査対象についても欠陥を検査することができる。なお、検査光を透過する被検査対象において、被検査対象で反射した検査光を受光する場合、例えば被検査対象の表面にあるコーティングの異常などの欠陥を検出することが可能となる。

【0045】

なお、本実施形態においては、被検査対象に対して検査光が被検査対象に角度γで入射し、角度γで出射する正反射について説明したが、これに限定されない。すなわち、Ｌ３の反射角度γはＬ２の入射角度と必ずしも同一である必要はないが、同一である場合には散乱光が最も強く照射されるため、検出感度が高くなり、好ましい。

【0046】

＜第４実施形態＞
図８に本発明の第４実施形態に係る欠陥検査装置１０の概略構成の側面図を示す。図８では欠陥検査装置１０の主要構成要素のみを記載し、他の部分は省略している。また第１実施形態と第４実施形態との相違点は、構成要素の配置であり、各構成要素は、第１実施形態と同じであるので説明を省略する。

【0047】

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、第３実施形態と同様、被検査対象で反射した検査光を受光装置１２が受光する。この場合、図８に示すように被検査対象の一方の面側、すなわち被検査対象の上側に、受光装置１２と線光源１３と面対称光学結像部材１５とが設置されている。ここで第３実施形態との相違点は、検査光が被検査対象に入射する点を基準として、図８の紙面において一方側（具体的に右側）に受光装置１２が配置され、他方側（具体的に左側）に線光源１３が配置されている点である。

【0048】

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、検査光は、シート状の被検査対象の欠陥において、図８にあるように側面視で所定の角度γをもって散乱した光Ｌ３が受光装置１２に入射する。加えて、本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、線光源１３から照射された光Ｌ１は、面対称光学結像部材１５を経由し光Ｌ２となって、シート状の被検査対象に対し、所定の角度γとして入射している。第３実施形態と比較すると、第４実施形態では線光源１３および受光装置１２の配置の自由度が高くなる。

【0049】

なお、本実施形態においては、被検査対象に対して検査光が被検査対象に角度γで入射し、角度γで出射する正反射について説明したが、これに限定されない。すなわち、Ｌ３の反射角度γはＬ２の入射角度と必ずしも同一である必要はないが、同一である場合には散乱光が最も強く照射されるため、検出感度が高くなり、好ましい。

【0050】

（その他）
第１実施形態の説明において、図に記載された構成の説明の後に、他の構成の説明を行ったが、その構成は、第２実施形態から第４実施形態の欠陥検査装置１０に適用することも可能である。また第１実施形態から第４実施形態のいずれにおいても、面対称光学結像部材１５を含む部分をカバーまたは筐体で覆うことが好ましい。この場合、不要な散乱光を抑制して検査感度を上げることが可能になる。

【符号の説明】

【0051】

１０ 欠陥検査装置
１２ 受光装置
１３ 線光源
１５ 面対称光学結像部材
１７ 遮蔽部
１８ マスク
１９ ミラー
５１ 点光源

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】