特開 2023-162608 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023162608

(43)【公開日】2023-11-09

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20231101BHJP

   G05D 1/02 20200101ALI20231101BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20231101BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

G05D1/02 P

G05D1/02 G

B65G1/00 535

【審査請求】有

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022073049

(22)【出願日】2022-04-27

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100098475

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 伊知郎

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(74)【代理人】

【識別番号】100123630

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邊 誠

(72)【発明者】

【氏名】北村 亘

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

5H301

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022BB09

3F022CC02

3F022EE05

3F022FF01

3F022LL12

3F022LL14

3F022LL38

3F022MM05

3F022MM08

3F022MM11

3F022MM42

3F022NN38

3F022NN41

3F022NN55

5F131AA02

5F131CA35

5F131DA05

5F131DA32

5F131DA43

5F131DC06

5F131DC26

5F131DD42

5F131DD73

5F131DD74

5F131DD82

5F131DD85

5F131GA14

5H301AA02

5H301AA09

5H301BB05

5H301CC03

5H301CC06

5H301DD07

5H301DD15

5H301EE02

5H301KK02

5H301KK03

5H301KK08

5H301KK09

5H301KK18

5H301KK19

(57)【要約】

【課題】搬送システムによる物品の搬送先が確定していない場合においても、物品の搬送効率を向上させることができる搬送システムを提供する。
【解決手段】本発明は、搬送システム(1)であって、物品を搬送する搬送車(2)と、物品を一時的に保管する複数の一時保管部(4)と、第１の処理装置において処理された物品を一時保管部まで搬送させると共に、物品を第２の処理装置まで搬送させるコントローラ(10)と、を有し、コントローラは、第１の処理装置(12a)において処理された物品に対して次の処理を行うことが予想される候補処理装置(12b, 12c, 12d)を複数抽出する候補処理装置抽出部(10b)と、複数の候補処理装置に基づいて、第１の処理装置において処理された物品を一時的に保管する一時保管部を選択する一時保管部選択部(10c)と、を有することを特徴としている。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の処理装置の間で物品を搬送する搬送システムであって、
上記処理装置において処理すべき物品を搬送する搬送車と、
搬送すべき物品を一時的に保管する複数の一時保管部と、
上記搬送車を制御して、第１の処理装置において処理された物品を上記一時保管部まで搬送させると共に、この一時保管部に物品が保管され、その物品に対して次工程の処理を行う第２の処理装置が決定されると、物品を第２の処理装置まで搬送させるコントローラと、
を有し、
上記コントローラは、上記第１の処理装置において処理された物品に対して次の処理を行うことが予想される第２の処理装置である候補処理装置を複数抽出する候補処理装置抽出部と、
この候補処理装置抽出部によって抽出された複数の候補処理装置に基づいて、上記第１の処理装置において処理された物品を一時的に保管する一時保管部を選択する一時保管部選択部と、
を有することを特徴とする搬送システム。

【請求項2】

上記一時保管部選択部は、上記一時保管部から、上記候補処理装置抽出部によって抽出された各候補処理装置までの搬送時間に基づいて、上記第１の処理装置において処理された物品を一時的に保管する一時保管部を選択する請求項１記載の搬送システム。

【請求項3】

上記一時保管部選択部は、一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間の平均値、一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間のばらつき、及び一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間の最大値のうちの少なくとも１つに基づいて一時保管部を選択する請求項２記載の搬送システム。

【請求項4】

上記一時保管部選択部は、一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間の平均値、一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間のばらつき、及び一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間の最大値のうちの少なくとも２つに、所定の重み係数を夫々乗じた数の和が最小となる一時保管部を選択する請求項３記載の搬送システム。

【請求項5】

上記コントローラは、或る処理装置において処理された物品に対して、次の処理を行う可能性がある候補処理装置を記憶した候補装置テーブルを備えており、上記候補処理装置抽出部は、上記候補装置テーブルを使用して候補処理装置を抽出する請求項１乃至４の何れか１項に記載の搬送システム。

【請求項6】

上記候補装置テーブルは、上記搬送システムによる過去の物品の搬送記録に基づいて生成される請求項５記載の搬送システム。

【請求項7】

上記複数の搬送車は、天井に設けられた走行軌道に沿って走行する天井搬送車であり、上記走行軌道は、複数の処理装置との間で物品を移載することができる複数のイントラベイ軌道と、これらのイントラベイ軌道を接続するインターベイ軌道から構成され、上記候補処理装置抽出部は、互いに異なるイントラベイ軌道に対応する処理装置を抽出する請求項１記載の搬送システム。

【請求項8】

上記インターベイ軌道は、複数の棟に夫々設けられたイントラベイ軌道を接続するように構成され、上記候補処理装置抽出部は、互いに異なる棟に設けられたイントラベイ軌道に対応する処理装置を抽出する請求項７記載の搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送システムに関し、特に、複数の処理装置の間で物品を搬送する搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許第４７８２１９４号公報（特許文献１）には、搬送システムが記載されている。この搬送システムは、搬送車が走行するイントラベイルートと、イントラベイルート間を接続するインターベイルートと、を有し、これらのイントラベイルート及びインターベイルートに沿って、搬送する半導体カセットを保管するための中継バッファが複数設けられている。また、特許文献１記載の搬送システムは、搬送指令作成手段を有し、この搬送指令作成手段は、搬送先の処理装置への到着時刻を指定した搬送要求が発生すると、搬送元の処理装置から中継バッファへの第１の搬送指令、中継バッファ間の搬送指令、及び最後の中継バッファから前記搬送先の処理装置への第２の搬送指令を作成する。半導体カセットは複数の中継バッファを経由し、中継バッファにて半導体カセットを一時保管して時間調整が行われる。これにより、半導体カセットが搬送先の処理装置へ指定された到着時刻に到着するようにしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第４７８２１９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１記載の搬送システムにおいては、半導体カセットが中継バッファに保管された後に、搬送先が、予定されていた搬送先よりも中継バッファから遠い、別の搬送先に変更される可能性がある。このような場合においては、半導体カセットの搬送距離が長くなり、搬送効率が低下する。

【0005】

本発明は、搬送システムにより搬送される物品の搬送先が変更される可能性がある場合や、物品の搬送先が確定していない場合においても、物品の搬送効率を向上させることができる搬送システムを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決するために、本発明は、複数の処理装置の間で物品を搬送する搬送システムであって、処理装置において処理すべき物品を搬送する搬送車と、搬送すべき物品を一時的に保管する複数の一時保管部と、搬送車を制御して、第１の処理装置において処理された物品を一時保管部まで搬送させると共に、この一時保管部に物品が保管され、その物品に対して次工程の処理を行う第２の処理装置が決定されると、物品を第２の処理装置まで搬送させるコントローラと、を有し、コントローラは、第１の処理装置において処理された物品に対して次の処理を行うことが予想される第２の処理装置である候補処理装置を複数抽出する候補処理装置抽出部と、この候補処理装置抽出部によって抽出された複数の候補処理装置に基づいて、第１の処理装置において処理された物品を一時的に保管する一時保管部を選択する一時保管部選択部と、を有することを特徴としている。

【0007】

このように構成された本発明においては、搬送車は、第１の処理装置において処理された物品を一時保管部に搬送する。また、一時保管部に物品が保管され、その物品に対して次工程の処理を行う第２の処理装置が決定されると、搬送車は物品を第２の処理装置に搬送する。

【0008】

このように構成された本発明によれば、第１の処理装置において物品の処理が終了すると、次工程の処理を行う第２の処理装置が決定していない場合であっても物品を一時保管部に搬送するので、物品が第１の処理装置の近傍に止まることがなく、搬送効率を向上させることができる。また、上記のように構成された本発明によれば、候補処理装置抽出部によって抽出された複数の候補処理装置に基づいて、第１の処理装置において処理された物品を一時的に保管する一時保管部が選択される。このため、各候補処理装置に物品を搬送しやすい一時保管部を選択することができ、物品の搬送先が変更される可能性がある場合や、物品の搬送先が確定していない場合においても搬送効率を高めることができる。

【0009】

本発明において、好ましくは、一時保管部選択部は、一時保管部から、候補処理装置抽出部によって抽出された各候補処理装置までの搬送時間に基づいて、第１の処理装置において処理された物品を一時的に保管する一時保管部を選択する。

【0010】

このように構成された本発明によれば、一時保管部から、候補処理装置抽出部によって抽出された各候補処理装置までの搬送時間に基づいて一時保管部が選択されるので、各候補処理装置までの搬送時間が短くなるように一時保管部を選択することができ、搬送時間の短縮を期待することができる。

【0011】

本発明において、好ましくは、一時保管部選択部は、一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間の平均値、一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間のばらつき、及び一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間の最大値のうちの少なくとも１つに基づいて一時保管部を選択する。

【0012】

このように構成された本発明によれば、搬送時間の平均値、搬送時間のばらつき、及び搬送時間の最大値のうちの少なくとも１つに基づいて一時保管部が選択される。このため、次工程を行う処理装置が、候補処理装置の中の、どの処理装置に決定された場合でも、極端に搬送時間が長くなるのを回避することができ、総合的な搬送効率の向上を期待することができる。

【0013】

本発明において、好ましくは、一時保管部選択部は、一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間の平均値、一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間のばらつき、及び一時保管部から各候補処理装置までの搬送時間の最大値のうちの少なくとも２つに、所定の重み係数を夫々乗じた数の和が最小となる一時保管部を選択する。

【0014】

このように構成された本発明によれば、搬送時間の平均値、搬送時間のばらつき、及び搬送時間の最大値のうちの少なくとも２つに、所定の重み係数を夫々乗じた数の和が最小となる一時保管部が選択されるので、搬送システムの特質に応じて適切な一時保管部を選択することができる。

【0015】

本発明において、好ましくは、コントローラは、或る処理装置において処理された物品に対して、次の処理を行う可能性がある候補処理装置を記憶した候補装置テーブルを備えており、候補処理装置抽出部は、候補装置テーブルを使用して候補処理装置を抽出する。

【0016】

このように構成された本発明によれば、コントローラが候補装置テーブルを備えているので、候補処理装置抽出部によって、迅速に候補処理装置を抽出することができる。

【0017】

本発明において、好ましくは、候補装置テーブルは、搬送システムによる過去の物品の搬送記録に基づいて生成される。

【0018】

このように構成された本発明によれば、候補装置テーブルが搬送システムによる過去の物品の搬送記録に基づいて生成されるので、ユーザーが候補装置テーブルを作成することなく、自動的に候補装置テーブルを生成することができる。

【0019】

本発明において、好ましくは、複数の搬送車は、天井に設けられた走行軌道に沿って走行する天井搬送車であり、走行軌道は、複数の処理装置との間で物品を移載することができる複数のイントラベイ軌道と、これらのイントラベイ軌道を接続するインターベイ軌道から構成され、候補処理装置抽出部は、互いに異なるイントラベイ軌道に対応する処理装置を抽出する。

【0020】

このように構成された本発明によれば、搬送車の走行軌道が複数のイントラベイ軌道とインターベイ軌道から構成され、候補処理装置抽出部によって抽出される処理装置が、互いに異なるイントラベイ軌道に対応するものであっても、適切な位置にある一時保管部を選択することができ、搬送効率を向上させることができる。

【0021】

本発明において、好ましくは、インターベイ軌道は、複数の棟に夫々設けられたイントラベイ軌道を接続するように構成され、候補処理装置抽出部は、互いに異なる棟に設けられたイントラベイ軌道に対応する処理装置を抽出する。

【0022】

このように構成された本発明によれば、インターベイ軌道が複数の棟に夫々設けられたイントラベイ軌道を接続するように構成され、候補処理装置抽出部によって抽出される処理装置が、互いに異なる棟に設けられたイントラベイ軌道に対応するものであっても、適切な位置にある一時保管部を選択することができ、搬送効率を向上させることができる。

【発明の効果】

【0023】

本発明の搬送システムによれば、搬送される物品の搬送先が変更される可能性がある場合や、物品の搬送先が確定していない場合においても、物品の搬送効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の第１実施形態による搬送システムを概略的に示す平面図である。

【図2】本発明の第１実施形態による搬送システムに備えられている搬送車及びバッファを示す側面図である。

【図3】本発明の第１実施形態による搬送システムに備えられているコントローラの構成を示すブロック図である。

【図4】本発明の第１実施形態による搬送システムに備えられているコントローラにおける処理を示すフローチャートである。

【図5】本発明の第１実施形態による搬送システムを適用した半導体製造工場の一例を模式的に表した平面図である。

【図6】本発明の第１実施形態による搬送システムにおいて、各バッファから各候補処理装置までの搬送時間の一例を示す図である。

【図7】本発明の第２実施形態による搬送システムを概略的に示す平面図である。

【図8】本発明の第２実施形態による搬送システムにおいて、各バッファから各候補処理装置までの搬送時間の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

次に、添付図面を参照して、本発明の実施形態による搬送システムを説明する。
まず、図１乃至図６を参照して、本発明の第１実施形態による搬送システムを説明する。
なお、本実施形態においては、半導体製造工場のクリーンルーム内において、半導体ウェーハを収容したフープ（Foup）や、レチクルを収容したレチクルポッド（Reticle Pod）等の物品を搬送する搬送システムに、本発明が適用されている。

【0026】

図１は、本発明の第１実施形態による搬送システムを概略的に示す平面図である。図２は、本発明の第１実施形態による搬送システムに備えられている搬送車及びバッファを示す側面図である。図３は、本発明の第１実施形態による搬送システムに備えられているコントローラの構成を示すブロック図である。

【0027】

図１に示すように、本発明の第１実施形態による搬送システム１は、処理装置において処理すべき物品を搬送する搬送車２と、搬送すべき物品を一時的に保管する複数の一時保管部であるバッファ４と、処理装置１２に物品を搬送することができる複数のイントラベイ軌道６と、これらのイントラベイ軌道６を接続するインターベイ軌道８と、を有する。さらに、搬送システム１はコントローラ１０を有し、コントローラ１０は、搬送車２を制御して、第１の処理装置１２において処理された物品をバッファ４に搬送すると共に、このバッファ４に物品が保管された後で、その物品に対して次工程の処理を行う第２の処理装置１２が決定されると、物品を第２の処理装置１２に搬送する。

【0028】

まず、イントラベイ軌道６は、天井に設けられたレールによって構成された走行軌道であり、処理装置に物品を搬送することができるように、このイントラベイ軌道６に沿って複数の処理装置１２が配置されている。搬送車２は、イントラベイ軌道６から吊り下げられた状態で走行することにより、イントラベイ軌道６に沿って配置された或る処理装置１２から他の処理装置１２へ物品Ｍを搬送することができる。従って、本実施形態において、搬送車２は、天井に設けられた走行軌道に沿って走行する天井搬送車である。また、本実施形態の搬送システム１は、複数のイントラベイ軌道６を備えており、各イントラベイ軌道６を構成するレールは、半導体製造工場の天井から吊り下げられている。

【0029】

次に、インターベイ軌道８は、半導体製造工場の天井から吊り下げられた環状のレールによって構成された走行軌道であり、分岐軌道６ａを介して各イントラベイ軌道６に夫々接続されている。これにより、搬送システム１に備えられた搬送車２は、インターベイ軌道８を介して、或るイントラベイ軌道６から、他のイントラベイ軌道６へ相互に乗り入れることができる。即ち、搬送システム１は、或るイントラベイ軌道６に沿って配置された処理装置１２から、他のイントラベイ軌道６に沿って配置された他の処理装置１２へ、物品Ｍを搬送することができる。

【0030】

また、本実施形態においては、図１に示された４つのイントラベイ軌道６に沿って配置された一群の処理装置１２により、半導体製造工場の１つのフェーズ１４が構成されている。本実施形態において、インターベイ軌道８は、図１に示された１つのフェーズ１４と、同様の機能を有する一群の処理装置１２からなる他の複数のフェーズ１４を相互に接続するように構成されている。即ち、或るフェーズ１４に属する１つの処理装置１２と同様の機能を有する処理装置１２が、他のフェーズ１４にも備えられている。従って、本実施形態においては、第１の処理装置による処理を終えた物品Ｍに対して、次工程の処理を行うことができる第２の処理装置は、処理を行った第１の処理装置と同一のフェーズ内、及び他のフェーズ内に、夫々少なくとも１つ存在する。

【0031】

次に、図２を参照して、搬送車２及びバッファ４の構成を説明する。
図２に示すように、搬送車２は、イントラベイ軌道６又はインターベイ軌道８を構成するレールから吊り下げられた状態で、走行機構１５により走行し、目標となる位置まで移動することができる。また、搬送車２は、スライド機構１６及び把持機構１８を備えている。

【0032】

スライド機構１６は、ボールねじ駆動機構（図示せず）によって水平方向に伸縮することができ、先端には物品Ｍに設けられたフランジＭ１を把持するための把持機構１８が取り付けられている。また、把持機構１８は、懸垂ベルト１８ａ及びグリッパ１８ｂを備えている。
懸垂ベルト１８ａは、１つの搬送車２に４本備えられており、スライド機構１６の先端に設けられたリール（図示せず）に巻回している。また、グリッパ１８ｂは、物品ＭのフランジＭ１を狭持可能な開閉機能を有している。

【0033】

グリッパ１８ｂは、４本の懸垂ベルト１８ａに吊るされており、モータ等の駆動装置（図示せず）によるリールの正逆回転により、懸垂ベルト１８ａを介してグリッパ１８ｂが上下移動するようになっている。また、懸垂ベルト１８ａの長さは、バッファ４の固定棚板２２ａ上の物品Ｍを、グリッパ１８ｂによって把持して上下移動させることができるように設定されている。スライド機構１６が伸張し、把持機構１８が物品Ｍの真上の位置に移動すると、グリッパ１８ｂが物品Ｍの上まで降下される。さらに、グリッパ１８ｂを開閉させてフランジＭ１を狭持するように構成されている。

【0034】

バッファ４は、図１に示すように、各処理装置１２の間に配置された、物品Ｍを一時的に保管する一時保管部である。さらに、図２に示すように、本実施形態において、バッファ４は、吊下ロッド２２ｂと固定棚板２２ａとから構成され、全体が天井から吊り下げられたオーバーヘッドバッファ（ＯＨＢ）である。

【0035】

処理装置１２による処理は各工程によって処理内容が異なるため処理時間もまた異なっており、次工程の処理を受けるまでの不定期間の待ち時間が発生する。この間に物品Ｍを保管できる装置としてストッカ（図示せず）を設けることもできるが、処理装置１２と距離が離れていたり、入出庫にも手間がかかったりするため、迅速に対応できないという欠点がある。したがって、この待ち時間の間の簡易な物品Ｍの保管箇所としてバッファ４が処理装置１２の近傍に配置されている。しかしながら、ストッカ（図示せず）等、物品を保管することができる任意の構成を一時保管部（バッファ）として利用することもできる。

【0036】

次に、搬送車２による物品Ｍのバッファ４への載置及び搬出の原理を説明する。
物品Ｍの搬出動作は以下のようになる。イントラベイ軌道６を走行し、バッファ４の対向位置に停止した搬送車２は、バッファ４へ向けてスライド機構１６を繰り出す。これにより物品Ｍを把持していない把持機構１８のグリッパ１８ｂを物品Ｍの真上まで移動させる。目的とする物品Ｍの真上までグリッパ１８ｂを移動させた後、懸垂ベルト１８ａを伸張させ、バッファ４内の所定の物品Ｍの上までグリッパ１８ｂを降下させて、グリッパ１８ｂで物品Ｍに配設されたフランジＭ１を把持する。

【0037】

次いで、物品Ｍを把持した後、リール（図示せず）を回転させることで懸垂ベルト１８ａを巻き上げ、グリッパ１８ｂと共に物品Ｍを上昇させ、続いてスライド機構１６を縮退させる。その後、搬送車２は物品Ｍの次の搬送先に向かいイントラベイ軌道６及びインターベイ軌道８を走行する。

【0038】

また、搬送車２がバッファ４に物品Ｍを載置する場合には、同様に、搬出とは逆の順序で載置作業を実施することができる。即ち、物品Ｍをグリッパ１８ｂにより把持しイントラベイ軌道６を走行してきた搬送車２は、物品Ｍを載置するバッファ４の所定の対向位置に停止する。次いで、スライド機構１６を繰り出して物品Ｍを固定棚板２２ａの真上に移動させ、リール（図示せず）を回転させることで懸垂ベルト１８ａ伸長させて、物品Ｍを把持したグリッパ１８ｂを、物品Ｍを載置する固定棚板２２ａの高さ位置まで降下させる。その後、グリッパ１８ｂを開放することで物品Ｍがバッファ４に載置される。

【0039】

このように、本実施形態においては、搬送車２から側方に向けてスライド機構１６が延び、上面視において搬送車２の側方にあるバッファ４の固定棚板２２ａに物品Ｍを載置している。これに対し、変形例として、搬送車２は、鉛直下方に位置するバッファの棚板に物品Ｍを載置するように本発明を構成することもできる。また、本実施形態において、バッファ４は各処理装置１２の間に配置されているが、処理装置１２の上方等、任意の位置にバッファを配置することができる。或いは、インターベイ軌道８に沿ってバッファを配置することもできる。

【0040】

次に、図３を参照して、コントローラ１０の構成を説明する。
図３に示すように、コントローラ１０は、第１の処理装置において物品Ｍの処理が終了したことを報知する信号が入力される信号入力部１０ａと、その物品Ｍに対して次の処理を行うことが予想される第２の処理装置である候補処理装置を複数抽出する候補処理装置抽出部１０ｂと、抽出された複数の候補処理装置に基づいて、第１の処理装置において処理された物品Ｍを一時的に保管するバッファ４を選択する一時保管部選択部１０ｃと、選択されたバッファ４に物品Ｍを搬送するよう、搬送車２に指令信号を送信する指令信号送信部１０ｄと、を有する。

【0041】

さらに、コントローラ１０には、或る処理装置１２において処理された物品Ｍに対して、次の処理を行う可能性がある候補処理装置を記憶した候補装置テーブル１０ｅ、及び或る処理装置１２から他の処理装置１２（候補処理装置）までの搬送時間を記録した搬送時間データベース１０ｆを備えている。具体的には、コントローラ１０は、マイクロプロセッサ、メモリ、インターフェイス回路、送受信器、外部記憶装置、及びこれらを作動させるソフトウェア等（以上、図示せず）から構成されている。

【0042】

信号入力部１０ａは、或る処理装置１２において物品Ｍの処理が終了したことを報知する信号が、上位のコントローラ２０から入力されるように構成されている。即ち、半導体製造工場内では、或る処理装置１２（第１の処理装置）において半導体ウェーハの処理が終了すると、その半導体ウェーハを収容したフープ（物品Ｍ）が、半導体ウェーハに次工程の処理を施す他の処理装置１２（第２の処理装置）に搬送される。ここで、本実施形態の搬送システム１は、所謂プッシュ方式による搬送を行うため、第１の処理装置における処理が終了すると、次工程の処理を実行する第２の処理装置が確定していない状態であっても、第１の処理装置からフープを搬出し、所定のバッファ４に一時的に保管する。

【0043】

本実施形態において、上位のコントローラ２０は、半導体の製造全体を統括するコントローラであり、半導体の製造工程において、第１の処理装置における処理が終了したことを報知する信号を、コントローラ１０の信号入力部１０ａに入力する。コントローラ１０は、このような信号が信号入力部１０ａに入力されると、第１の処理装置から物品Ｍを搬出してバッファ４まで搬送し、バッファ４に物品Ｍを一時的に保管する。なお、本実施形態においては、上位のコントローラ２０とコントローラ１０は別々に構成されているが、これらは一体に構成されていても良い。

【0044】

候補処理装置抽出部１０ｂは、第１の処理装置において処理された半導体ウェーハに対して、次工程の処理を施す第２の処理装置の候補を抽出するように構成されている。即ち、半導体ウェーハに対し、或る処理装置１２によって実行された処理の次に実行される次工程の処理は概ね決められているが、工場内に次工程の処理を実行可能な処理装置１２が複数存在する場合には、次工程の処理を実行する処理装置１２を１つに特定することはできない。

【0045】

ここで、コントローラ１０に備えられた候補装置テーブル１０ｅには、第１の処理装置において実行された処理の次に実行される処理を実行可能な全ての処理装置１２が、候補処理装置として列挙されている。候補処理装置抽出部１０ｂは、第１の処理装置における処理が終了したことを報知する信号が入力されると、候補装置テーブル１０ｅを参照して、次工程の処理を実行可能な全ての処理装置１２を、候補処理装置として抽出するように構成されている。また、第１の処理装置において実行された処理の次に実行され得る処理が複数存在する場合には、それらの処理を実行可能な全ての処理装置１２が、候補処理装置抽出部１０ｂによって候補処理装置として抽出される。

【0046】

なお、候補装置テーブル１０ｅは、半導体ウェーハの製造工程に応じて、搬送システム１を利用するユーザが作成しても良い。或いは、新規に導入された搬送システム１を、所定期間プル方式（次工程の処理を行う処理装置が確定された後、その処理装置近傍のバッファに物品Ｍを保管する搬送方式）等で稼動させ、取得された過去の物品の搬送記録に基づいて自動的に候補装置テーブル１０ｅが生成されるように本発明を構成することもできる。

【0047】

一時保管部選択部１０ｃは、候補処理装置抽出部１０ｂによって抽出された複数の候補処理装置に基づいて、第１の処理装置において処理された物品Ｍを一時的に保管するバッファ４を選択するように構成されている。即ち、一時保管部選択部１０ｃは、現在使用可能な（現在他の物品Ｍが保管されていない）全てのバッファ４から、各候補処理装置までの搬送時間に基づいて、物品Ｍを一時的に保管するバッファ４を選択する。

【0048】

ここで、コントローラ１０に備えられた搬送時間データベース１０ｆには、半導体製造工場内の全てのバッファ４から、工場内の全ての処理装置１２までの平均的な搬送時間が夫々記憶されている。基本的には、或るバッファ４から、或る処理装置１２までの距離が短ければ、その間の搬送時間は比較的短くなり、距離が長ければ、その間の搬送時間は比較的長くなる。しかしながら、実際には、高速で走行可能なイントラベイ軌道６又はインターベイ軌道８を通過するか否かや、搬送車２の通行量が多く混雑することの多いイントラベイ軌道６又はインターベイ軌道８を通過するか否か等によって搬送時間は変化する。このため、搬送時間データベース１０ｆに記憶された各バッファ４と各処理装置１２との間の搬送時間は、過去の搬送実績に基づく搬送時間の平均値が記憶されている。

【0049】

なお、物品を搬送すべき距離と搬送時間が概ね比例する搬送システムにおいては、搬送時間に代えて、搬送距離に基づいて物品を一時的に保管するバッファ４を選択するように本発明を構成することもできる。或いは、搬送時間を所定のルールに従ってスコア化し、このスコアに基づいて物品を一時的に保管するバッファ４を選択するように本発明を構成することもできる。

【0050】

一時保管部選択部１０ｃは、候補処理装置抽出部１０ｂによって候補処理装置が抽出されると、現在使用可能な全てのバッファ４から、各候補処理装置までの搬送時間を、搬送時間データベース１０ｆを使用して特定する。さらに、本実施形態において、一時保管部選択部１０ｃは、バッファ４から各候補処理装置までの搬送時間の平均値、及びバッファ４から各候補処理装置までの搬送時間のばらつきに基づいて、物品Ｍを一時的に保管するバッファ４を選択する。

【0051】

具体的には、一時保管部選択部１０ｃは、数式（１）に示す評価関数ｆ_iの値が最小となるバッファ４を選択する。

上式において、cost_ijは、使用可能なｉ番目のバッファ４から、ｊ番目の候補処理装置までの平均的な搬送時間を表し、αは平均的な搬送時間の平均値に乗じる重み係数、βは平均的な搬送時間の標準偏差（ばらつき）に乗じる重み係数を夫々表している。また、average()はcost_ijの平均値を表し、stdev()はcost_ijの標準偏差（ばらつき）を表している。

【0052】

このように、本実施形態においては、バッファ４から各候補処理装置までの搬送時間の平均値、及びバッファ４から各候補処理装置までの搬送時間のばらつき（標準偏差）に、所定の重み係数（α、β）を夫々乗じた数の和に基づいて、この値が最小となるバッファ４が、一時保管部選択部１０ｃによって選択される。具体的には、一時保管部選択部１０ｃは、評価関数ｆ_iの値を最小にするバッファ４を選択する。また、本実施形態においては、搬送時間のばらつきを表す指標として標準偏差を使用しているが、搬送時間の分散等、種々の指標を搬送時間のばらつきを表す指標として使用することができる。なお、本実施形態においては、搬送時間の平均値及び搬送時間のばらつきに基づいてバッファ４を選択しているが、これらに加えて、又はこれらに代えて、バッファ４から各候補処理装置までの搬送時間の最大値に基づいて、バッファ４が選択されるように本発明を構成することもできる。

【0053】

即ち、バッファ４から各候補処理装置までの搬送時間の平均値、バッファ４から各候補処理装置までの搬送時間のばらつき、及びバッファ４から各候補処理装置までの搬送時間の最大値のうちの少なくとも１つに基づいてバッファ４が選択されるように本発明を構成することができる。また、バッファ４から各候補処理装置までの搬送時間の平均値、バッファ４から各候補処理装置までの搬送時間のばらつき、及びバッファ４から各候補処理装置までの搬送時間の最大値のうちの少なくとも２つに、所定の重み係数を夫々乗じた数の和に基づいてバッファ４が選択されるように本発明を構成することもできる。

【0054】

なお、バッファ４の選択に使用する評価関数は、適用する搬送システムの特質に応じて設定するのが良い。即ち、バッファ４から次工程の処理装置１２までの搬送時間が多くの場合に短ければ、希に搬送時間が長い場合があっても、搬送効率が大きく低下しない搬送システムにおいては、搬送時間の平均値のみを使用した評価関数、又は搬送時間の平均値に乗じる重み係数（α）を大きくした評価関数を用いるのが良い。逆に、バッファ４から次工程の処理装置１２までの搬送時間の平均が短くても、希に搬送時間が長い場合があると全体として搬送効率が大きく低下してしまう搬送システムも存在する。このような搬送システムにおいては、搬送時間のばらつき及び／又は搬送時間の最大値を使用した評価関数、又は、搬送時間のばらつき及び／又は搬送時間の最大値に乗じる重み係数を大きくした評価関数を用いるのが良い。

【0055】

次に、コントローラ１０の指令信号送信部１０ｄは、搬送車２に対し、第１の処理装置における処理が終了した物品Ｍを、一時保管部選択部１０ｃによって選択されたバッファ４に搬送するよう、指令信号を送信するように構成されている。また、指令信号送信部１０ｄは、バッファ４に一時的に保管されている物品Ｍに対して、次工程の処理を行う処理装置１２が確定したとき、バッファ４から、その処理装置１２へ物品Ｍを搬送するよう、指令信号を送信するように構成されている。

【0056】

次に、図４乃至図６を参照して、本発明の第１実施異形態による搬送システム１の作用を説明する。
図４は、本発明の第１実施形態による搬送システムに備えられているコントローラにおける処理を示すフローチャートである。図５は、本発明の第１実施形態による搬送システムを適用した半導体製造工場の一例を模式的に表した平面図である。図６は、各バッファから各候補処理装置までの搬送時間の一例を示す図である。

【0057】

なお、図１においては工場内に配置されている各処理装置を符号「１２」で指示したが、図５においては個々の処理装置を区別して指示するために符号「１２ａ」、「１２ｂ」．．．として示している。同様に、図１においては各バッファを符号「４」で指示し、各フェーズを符号「１４」で指示したが、図５においては、夫々、符号「４ａ」、「４ｂ」．．．、符号「１４ａ」、「１４ｂ」．．．として示している。

【0058】

まず、図４のステップＳ１においては、上位のコントローラ２０からの指令信号が、コントローラ１０の信号入力部１０ａに入力される。上位のコントローラ２０からの指令信号には、或る処理装置１２における物品Ｍに対する処理が終了した旨の信号、或るバッファ４に一時的に保管されている物品Ｍに対して次工程の処理を行う処理装置１２が、物品Ｍを受け入れ可能になった旨の信号等が含まれる。例えば、図５に示す例において、第１のフェーズ１４ａに属する第１の処理装置１２ａにおいて、物品Ｍに対する処理が終了した旨の信号が、信号入力部１０ａに入力される。

【0059】

次に、ステップＳ２においては、コントローラ１０の候補処理装置抽出部１０ｂが、候補装置テーブル１０ｅを参照して、第１の処理装置１２ａにおいて処理された物品Ｍに対して次の処理を行うことが予想される第２の処理装置の候補が複数抽出される。例えば、図５に示す例において、第１の処理装置１２ａによって物品Ｍに対する工程ｋの処理が終了すると、工程ｋの次工程である工程ｋ＋１を実行可能な処理装置が、候補処理装置抽出部１０ｂによって抽出される。例えば、工程ｋ＋１の処理は第１のフェーズ１４ａ内では処理装置１２ｂにより実行可能であるが、工程ｋ＋１の処理は、第２のフェーズ１４ｂ内では処理装置１２ｃ、第３のフェーズ１４ｃ内では処理装置１２ｄによっても実行可能である。従って、次の処理を行うことが予想される候補処理装置として、処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄが抽出される。ここで、候補処理装置抽出部１０ｂによって抽出される候補処理装置は、多くの場合、互いに異なるフェーズに属しているため、各候補処理装置には、互いに異なるイントラベイ軌道６を介して物品が搬送される。

【0060】

さらに、ステップＳ３においては、コントローラ１０の一時保管部選択部１０ｃによって、現時点において使用可能なバッファ４に対する評価関数ｆの値が数式（１）を使用して計算される。例えば、図５に示す例では、現時点において使用可能なバッファ（物品を一時保管可能なバッファ）として、バッファ４ａ、４ｂ、４ｃが存在している。従って、この例においては、図６に示すように、３つのバッファ４ａ、４ｂ、４ｃから、候補処理装置である３つの処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄへの搬送時間に基づいて評価関数ｆの値が計算される。これらの各バッファ４から各処理装置１２への平均的な搬送時間は、コントローラ１０の搬送時間データベース１０ｆに記憶されている。

【0061】

即ち、図６に示すように、１番目のバッファ４ａから１番目の候補処理装置である処理装置１２ｂへの平均的な搬送時間は３０秒であり、１番目のバッファ４ａから２番目、３番目の候補処理装置である処理装置１２ｃ、１２ｄへの平均的な搬送時間は、夫々、９０秒、１５０秒である。同様に、２番目のバッファ４ｂから１番目、２番目、３番目の候補処理装置である処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄへの平均的な搬送時間は、夫々、９０秒、３０秒、９０秒であり、３番目のバッファ４ｃから１番目、２番目、３番目の候補処理装置である処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄへの平均的な搬送時間は、夫々、１５０秒、９０秒、３０秒である。

【0062】

次に、これらの搬送時間に基づいて、数式（１）を使用して、評価関数ｆ_iの値が計算される。なお、下記に示す例では、数式（１）の重み係数α＝１、β＝１としている。
まず、１番目のバッファ４ａから、１番乃至３番の候補処理装置（処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ）への搬送時間は、夫々、３０秒、９０秒、１５０秒であるから、１番目のバッファ４ａについては、各候補処理装置への搬送時間の平均値は９０秒と計算される。さらに、１番目のバッファ４ａから、各候補処理装置への搬送時間の標準偏差は約４８秒と計算される。従って、１番目のバッファ４ａに関する評価関数ｆ₁の値は、約１３８秒と計算される。

【0063】

同様に、２番目のバッファ４ｂから、１番乃至３番の候補処理装置への搬送時間は、夫々、９０秒、３０秒、９０秒であるから、２番目のバッファ４ｂについては、各候補処理装置への搬送時間の平均値は７０秒と計算される。さらに、２番目のバッファ４ｂから、各候補処理装置への搬送時間の標準偏差は約２８秒と計算される。従って、２番目のバッファ４ｂに関する評価関数ｆ₂の値は、約９８秒と計算される。さらに、３番目のバッファ４ｃから、１番乃至３番の候補処理装置への搬送時間は、夫々、１５０秒、９０秒、３０秒であるから、３番目のバッファ４ｃについては、各候補処理装置への搬送時間の平均値は９０秒と計算される。さらに、３番目のバッファ４ｃから、各候補処理装置への搬送時間の標準偏差は約４８秒と計算される。従って、３番目のバッファ４ｃに関する評価関数ｆ₃の値は、約１３８秒と計算される。

【0064】

次いで、図４のステップＳ４において、コントローラ１０の一時保管部選択部１０ｃは、各バッファ４について計算した評価関数ｆ_iの値が最小となるバッファを選択する。即ち、図６に示す例では、１番目のバッファ４ａに対する評価関数ｆ₁＝１３８秒、２番目のバッファ４ｂに対する評価関数ｆ₂＝９８秒、３番目のバッファ４ｃに対する評価関数ｆ₃＝１３８秒と計算されるので、評価関数の値が最も小さい２番目のバッファ４ｂが選択される。

【0065】

さらに、ステップＳ４において、コントローラ１０の指令信号送信部１０ｄは、処理装置１２ａ（図５）における処理が終了した物品Ｍを、一時保管部選択部１０ｃによって選択されたバッファ４ｂに搬送するよう、搬送車２に制御信号を送信する。これにより、処理装置１２ａにおいて処理された物品Ｍは、搬送車２により、バッファ４ｂに搬送される。次いで、図４のフローチャートにおける処理はステップＳ１に戻り、ステップＳ１～Ｓ５の処理が繰り返し実行される。

【0066】

また、選択されたバッファ４ｂに一時的に保管されていた物品Ｍに対し、次工程の処理を行う処理装置１２が決定されると、指令信号が、上位のコントローラ２０からコントローラ１０に入力される。コントローラ１０の指令信号送信部１０ｄは、この指令信号に基づいて搬送車２を制御し、バッファ４ｂに保管されていた物品Ｍを指定された処理装置１２に搬送する。上述したように、次工程の処理を行う第２の処理装置として処理装置１２ｂが指定された場合には、この処理装置１２ｂへ物品Ｍを搬送するために要する時間は約９０秒となる。同様に、第２の処理装置として処理装置１２ｃが指定された場合には搬送時間は約３０秒となり、処理装置１２ｄが指定された場合には搬送時間は約９０秒となる。

【0067】

このように、候補処理装置抽出部１０ｂによって抽出された複数の候補処理装置に基づいて、第１の処理装置１２ａにおいて処理された物品を一時的に保管するバッファとして、バッファ４ｂを選択することにより、次工程の処理を行う第２の処理装置への搬送時間を約９０秒以下に抑えることができる。これに対して、比較例として、処理装置１２ａにおいて処理された物品Ｍを、常に、処理装置１２ａと同一のフェーズ１４ａに属するバッファ４ａに一時的に保管しておくことも考えられる。しかしながら、この比較例では、次工程の処理を行う第２の処理装置としてフェーズ１４ｃに属する処理装置１２ｄが指定されると、この処理装置１２ｄまでの搬送時間に約１５０秒を要することになり、搬送システム１による搬送効率が低下してしまう。

【0068】

本発明の第１実施形態の搬送システム１によれば、第１の処理装置１２ａにおいて物品Ｍの処理が終了すると、次工程の処理を行う第２の処理装置が決定していない場合であっても物品Ｍをバッファ４に搬送するので、物品Ｍが第１の処理装置１２ａの近傍に止まることがなく、搬送効率を向上させることができる。また、本実施形態の搬送システム１によれば、候補処理装置抽出部１０ｂによって抽出された複数の候補処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄに基づいて、第１の処理装置１２ａにおいて処理された物品Ｍを一時的に保管するバッファ４ｂが選択される。このため、各候補処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄに物品Ｍを搬送しやすいバッファ４を選択することができ、搬送効率を更に高めることができる。

【0069】

また、本実施形態の搬送システム１によれば、候補処理装置抽出部１０ｂによって抽出された各候補処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄまでの搬送時間（図６）に基づいてバッファ４が選択されるので、各候補処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄまでの搬送時間が短くなるようにバッファ４を選択することができ、搬送時間を短縮することができる。

【0070】

さらに、本実施形態の搬送システム１によれば、搬送時間の平均値、及び搬送時間のばらつき（標準偏差）に基づいてバッファ４が選択される（数式１）。このため、次工程を行う処理装置が、候補処理装置１２ｂ、１２ｃ、１２ｄの中の、どの処理装置に決定された場合でも、極端に搬送時間が長くなるのを回避することができ、総合的な搬送効率を向上させることができる。

【0071】

また、本実施形態の搬送システム１によれば、搬送時間の平均値、及び搬送時間のばらつきに、所定の重み係数（数式１のα、β）を夫々乗じた数の和に基づいてバッファ４が選択されるので、搬送システムの特質に応じて適切なバッファ４を選択することができる。

【0072】

さらに、本実施形態の搬送システム１によれば、コントローラ１０が候補装置テーブル１０ｅ（図３）を備えているので、候補処理装置抽出部１０ｂによって、迅速に候補処理装置を抽出することができる。

【0073】

また、本実施形態の搬送システム１によれば、搬送車２の走行軌道が複数のイントラベイ軌道６とインターベイ軌道８から構成され、候補処理装置抽出部１０ｂによって抽出される処理装置１２が、互いに異なるイントラベイ軌道６を介して物品Ｍが搬送されるものであっても、適切な位置にあるバッファ４を選択することができ、搬送効率を向上させることができる。

【0074】

次に、図７及び図８を参照して、本発明の第２実施形態による搬送システムを説明する。図７は、本発明の第２実施形態による搬送システムを概略的に示す平面図である。図８は、各バッファから各候補処理装置までの搬送時間の一例を示す図である。

【0075】

本実施形態の搬送システムは、システム全体が２つの棟に分散して設けられ、各棟に設けられたインターベイ軌道が、中間インターベイ軌道によって接続されている点が、上述した本発明の第１実施形態とは異なっている。従って、ここでは、本発明の第２実施形態の、第１実施形態とは異なる点のみを説明し、同様の構成、作用、効果については説明を省略する。

【0076】

図７に示すように、本発明の第２実施形態による搬送システム１００は、第１の棟１０５ａと、第２の棟１０５ｂに分散して設けられている。第１の棟１０５ａ内には、環状の第１インターベイ軌道１０８ａ、及びこの第１インターベイ軌道１０８ａに接続された複数のイントラベイ軌道１０６が配置されている。一方、第２の棟１０５ｂ内には、環状の第２インターベイ軌道１０８ｂ、及びこの第２インターベイ軌道１０８ｂに接続された複数のイントラベイ軌道１０６が配置されている。さらに、第１の棟１０５ａ内の第１インターベイ軌道１０８ａと、第２の棟１０５ｂ内の第２インターベイ軌道１０８ｂが、中間インターベイ軌道１０８ｃによって接続されている。

【0077】

また、本実施形態の搬送システム１００にも、物品Ｍを搬送する複数の搬送車が備えられており、これらの搬送車は、各インターベイ軌道、各イントラベイ軌道に沿って物品を搬送することができる。なお、図７においては、図面を簡単化するため、搬送車の図示を省略している。さらに、本実施形態においても、各イントラベイ軌道１０６に沿って複数の処理装置が配置されており、物品に対して各処理工程を実行するように構成されている。なお、図７においては、図面を簡単化するため、処理装置１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃのみを示しているが、実際には各イントラベイ軌道１０６に沿って多数の処理装置が配置されている。

【0078】

また、本実施形態においても、各イントラベイ軌道１０６に沿って複数の一時保管部であるバッファが配置されており、或る処理装置における処理が終了した物品を一時的に保管するように構成されている。なお、図７においては、図面を簡単化するため、バッファ１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃのみを示しているが、実際には各イントラベイ軌道１０６又は各インターベイ軌道に沿って多数のバッファが配置されている。

【0079】

さらに、搬送システム１００はコントローラ１１０を有し、コントローラ１１０は、搬送車（図７には図示省略）を制御して、第１の処理装置において処理された物品をバッファに搬送すると共に、このバッファに物品が保管された後で、その物品に対して次工程の処理を行う第２の処理装置が決定されると、物品を第２の処理装置に搬送する。

【0080】

まず、搬送システム１００において、例えば、第１の処理装置１１２ａにおける物品の処理が完了し、次工程の処理を行う候補処理装置として処理装置１１２ｂ、１１２ｃが抽出された場合について評価関数ｆの値を計算する。ここで、候補処理装置として抽出される処理装置１１２ｂ、１１２ｃは、多くの場合、互いに異なる棟に配置されており、これらの処理装置には互いに異なる棟に設けられたイントラベイ軌道１０６を介して物品が搬送される。

【0081】

ここで、処理装置１１２ｂの近傍の、バッファ１０４ａに物品を一時的に保管した場合には、図８に示すように、処理装置１１２ｂまでの平均的な搬送時間は３０秒となり、処理装置１１２ｃまでの平均的な搬送時間は３４０秒となる。即ち、本実施形態のように、搬送システム１００が第１の棟１０５ａ及び第２の棟１０５ｂに分散している場合には、一時的に保管したバッファと同一の棟内の候補処理装置に物品を搬送する時間は短いものの、保管したバッファとは異なる棟内の候補処理装置に物品を搬送する搬送時間が極端に長くなる。この結果、バッファ１０４ａについては、各候補処理装置への搬送時間の平均値は１８５秒と計算される。さらに、バッファ１０４ａから、各候補処理装置への搬送時間の標準偏差は約１５５秒と計算される。従って、バッファ１０４ａに関する評価関数ｆ_aの値は、数式（１）より、約３４０秒と計算される（重み係数α＝１、β＝１とした）。

【0082】

次に、候補の処理装置１１２ｂ、１１２ｃの何れからも比較的離れているバッファ１０４ｂに物品を一時的に保管した場合、図８に示すように、処理装置１１２ｂまでの平均的な搬送時間は１９０秒となり、処理装置１１２ｃまでの平均的な搬送時間は１５０秒となる。即ち、候補の処理装置１１２ｂ、１１２ｃの何れからも離れた、両者の中間地点に近いバッファ１０４ｂに物品を保管することにより、各候補処理装置までの搬送時間の差が小さくなる。この結果、バッファ１０４ｂについては、各候補処理装置への搬送時間の平均値は１７０秒と計算される。さらに、バッファ１０４ｂから、各候補処理装置への搬送時間の標準偏差は約２０秒と計算される。従って、バッファ１０４ｂに関する評価関数ｆ_bの値は、約１９０秒と計算される（重み係数α＝１、β＝１とした）。

【0083】

このため、処理装置１１２ａにおける処理が終了した時点において使用可能なバッファが、バッファ１０４ａ、１０４ｂのみであった場合には、コントローラ１１０の一時保管部選択部（図７には図示省略）によって、評価関数の値が小さくなるバッファ１０４ｂが選択される。このように、複数の棟に分散している搬送システム１００では、物品を、別の棟へ搬送する場合と、同一の棟内で搬送する場合で大きく搬送時間がばらつき、搬送時間の標準偏差が大きくなる。このため、搬送時間のばらつきが少なくなるバッファが選択されやすくなる。

【0084】

さらに、バッファ１０４ｃのように、中間インターベイ軌道１０８ｃに沿ってバッファを設けることが可能な場合には、搬送時間のばらつきを抑えることができる。即ち、中間インターベイ軌道１０８ｃに沿って配置されているバッファ１０４ｃに物品を一時的に保管した場合、図８に示すように、処理装置１１２ｂまでの平均的な搬送時間は１１０秒となり、処理装置１１２ｃまでの平均的な搬送時間は１７０秒となる。この結果、バッファ１０４ｃについては、各候補処理装置への搬送時間の平均値は１４０秒と計算される。さらに、バッファ１０４ｃから、各候補処理装置への搬送時間の標準偏差は約３０秒と計算される。従って、バッファ１０４ｃに関する評価関数ｆ_cの値は約１７０秒と計算され（重み係数α＝１、β＝１とした）、評価関数の値をさらに小さくすることができる。

【0085】

本発明の第２実施形態の搬送システム１００によれば、インターベイ軌道１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃが複数の棟１０５ａ、１０５ｂに夫々設けられたイントラベイ軌道１０６を接続するように構成されている。そして、候補処理装置抽出部によって抽出される処理装置１１２ｂ、１１２ｃが、互いに異なる棟に設けられたイントラベイ軌道１０６を介して物品Ｍが搬送されるものであっても、適切な位置にあるバッファ１０４ｂ又は１０４ｃを選択することができ、搬送効率を向上させることができる。

【0086】

以上、本発明の実施形態を説明したが、上述した実施形態に種々の変更を加えることができる。特に、上述した実施形態においては、天井搬送車が天井に設けられた走行軌道に沿って走行するオーバーヘッド・ホイスト・トランスポートを使用した搬送システムに、本発明が適用されていた。しかしながら、搬送車が床面上の軌道（通路）を走行する無人搬送車（ＡＧＶ）や、有軌道式無人搬送車（ＲＧＶ）を使用した搬送システム等、種々の搬送システムに本発明を適用することができる。また、上述した実施形態においては、物品として、半導体ウェーハを収容したフープや、レチクルを収容したレチクルポッドが搬送されていたが、任意の物品を搬送する搬送システムに本発明を適用することができる。なお、上述した実施形態においては、各搬送車が走行する軌道がレールによって構成されていたが、各搬送車が走行する軌道は、「レール」のような物理的な部材によって構成されたものでなくても良い。

【符号の説明】

【0087】

１ 搬送システム
２ 搬送車（天井搬送車）
４ バッファ（一時保管部）
６ イントラベイ軌道（走行軌道）
６ａ 分岐軌道
８ インターベイ軌道（走行軌道）
１０ コントローラ
１０ａ 信号入力部
１０ｂ 候補処理装置抽出部
１０ｃ 一時保管部選択部
１０ｄ 指令信号送信部
１０ｅ 候補装置テーブル
１０ｆ 搬送時間データベース
１２ 処理装置
１４ フェーズ
１５ 走行機構
１６ スライド機構
１８ 把持機構
１８ａ 懸垂ベルト
１８ｂ グリッパ
２０ 上位のコントローラ
２２ａ 固定棚板
２２ｂ 吊下ロッド
１００ 搬送システム
１０４ａ バッファ
１０４ｂ バッファ
１０４ｃ バッファ
１０５ａ 第１の棟
１０５ｂ 第２の棟
１０６ イントラベイ軌道
１０８ａ 第１インターベイ軌道
１０８ｂ 第２インターベイ軌道
１０８ｃ 中間インターベイ軌道
１１２ａ 処理装置
１１２ｂ 処理装置
１１２ｃ 処理装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】